全身振动曝光计

简单易解的用户界面，满足国际标准ISO 8041: 2005（人体振动反应-测量设备）、ISO 2631-1:1997（全身振动暴露级的测量和评估）、ISO 5349-1及-2:2001（手臂传输振动暴露级的测量和评估）要求，对手臂振动、全身振动进行测量，对振动暴露级进行评估。测量数据可用随机软件BZ-5623通过USB传送至电脑。产品货源Bruel & Kjaer的所有产品均为丹麦原产产品报价本商铺不提供网上报价，如需产品报价，请直接联系Bruel & Kjaer中国

美国quest HAVPro个体手臂及全身振动监测仪 应用目的：工作场所个体手臂及全身振动量测量主要技术特点：● 符合标准：○ ISO 8041:1990 及1:1999.2631.5349○ ANSI S3.34&3.18○ 欧盟标准2002/44/EC● 体积小、重量轻、坚固耐用，一体成型设计；● 可配戴在移动性操作人员身上；● 无需另加讯号处理器或多重发讯器；● 同时量测X、Y、Z 三向输入，减少量测时间，资料更具代表性；● 可预先设定手部与全身测量参数、操作快速便捷；● 标准三向加速器，仪器与传感器间仅需一条线● 防电磁波干扰的设计：制造标准依据89/336/EEC；EN50081-1，EN50082-2；● 大容量内存（1/2MB）可储存100个档案数据及10个设定；● 标准接口RS-232（选项USB适配器）；● 可与QSP Ⅱ计算机数据分析软件连接进行数据分析。规格HAVPro输入型式3个输入通道，接受1个3轴加速度计标准传感器　手臂﹝Hand-Arm﹞传感器编号072-010电压模式，3轴加速计，灵敏度10mV/g手臂 RMS范围0.01到5,000m/s2，依增益设定及加速计手臂 Peak峰值范围0.2到7,000 m/s2，依增益设定全身﹝Whole Body﹞传感器编号072-011电压模式，3轴座垫加速度计，灵敏度10mV/g全身 RMS范围0.001到500 m/s2，依增益设定全身 Peak峰值范围0.2到700 m/s2，依增益设定测量　单位英制，公制，dB振动模式加速度，速度，位移机械模式Arms，Amin，Amax，Aeq，Amp，PEAK，时间历史手臂﹝Hand-Arm﹞振动Arms，Amin，Amax，Aeq，Amp，PEAK，A(1)，A(2)，A(4)，A(8)全身﹝Whole Body﹞振动Arms，Amin，Amax，Aeq，Amp，PEAK，CFmp，CF，VDV，时间历史声级无动态范围60dB频率范围0.5-3000Hz ± 5%；0.3-5000Hz ± 10%采样速率14,400Hz分析仪无频率计权　振动Ws(Severity)，Fa(0.4-100Hz)，Fb(0.4-1250Hz)，Fc(6.3-1250Hz)声音无手臂﹝Hand-Arm﹞Wh全身﹝Whole Body﹞Wb，Wc，Wd，We，Wg，Wj，Wk，WB内存　设定档可达10个用户设定文件美国Quest公司为高知名度的世界级制造厂。常年为国内企业提供精密仪器。其主要产品分为：1． 实时频谱及噪声分析仪2． 个体噪声剂量计3． 声级计4． 脉冲积分声级计5． 热指数监测仪WBGT/个体热应力监测仪6． 个体手臂，全身振动监测仪7． 机械振动监测仪8． 室内空气品质监测仪9． 听力测试分析仪/生物声学模拟器10． 有毒气体监测仪/可燃性气体监测仪11． 美国QUEST的实时频谱及噪声分析仪包括：SoundPro SE/DL系列实时频谱及噪声分析仪，SoundPro SE/DL-2实时频谱及噪声分析仪，SoundPro SE/DL-2-1/1实时频谱及噪声分析仪，SoundPro SE/DL-2-1/3实时频谱及噪声分析仪，SoundPro SE/DL-1实时频谱及噪声分析仪，SoundPro SE/DL-1-1/1实时频谱及噪声分析仪，SoundPro SE/DL-1-1/3实时频谱及噪声分析仪。美国QUEST的个体噪声剂量计包括：Noise Pro个体噪声剂量计，Noise Pro DL个体噪声剂量计，Noise Pro DLX个体噪声剂量计，Noise Pro DLX-1个体噪声剂量计，Edge3个体噪声剂量计，EG3个体噪声剂量计，EG-3个体噪声剂量计，Edge-3个体噪声剂量计，Edge4个体噪声剂量计，EG4个体噪声剂量计，EG-4个体噪声剂量计，Edge-4个体噪声剂量计，Edge5个体噪声剂量计，EG5个体噪声剂量计，EG-5个体噪声剂量计，Edge个体噪声剂量计。美国QUEST的声级计和脉冲积分声级计包括：QUEST 210声级计，QUEST 1100声级计，QUEST 2100声级计，QUEST 1200脉冲积分声级计，QUEST 2200脉冲积分声级计美国QUEST热指数监测仪WBGT/个体热应力监测仪包括：QT-32热指数监测仪（QUESTemp 32），QT-34热指数监测仪(QUESTemp 34)，QT-36热指数监测仪(QUESTemp 36)。美国QUEST机械振动监测仪包括：QUEST个体手臂及全身振动监测仪HAVPro，美国QUEST个体实时振动频率分析仪VI-400Pro。

厂家：Svantek / 波兰型号：SV106 波兰Svantek公司SV 106型是一台数字式、六通道的个体手臂及全身振动分析仪，符合ISO 8041:2005，ISO 2631-1，2&5与ISO 5349。具革命性的设计，SV 106型可以同时地测量2个三轴加速度传感器，包括三轴手臂振动或三轴全身（坐垫）振动，测量不同振动计权的RMS，Peak，Peak-Peak，VDV，MTVV，A(8)或Dose数值。此外，还可以选配1/1或1/3倍频程实时分析功能，测量结果也可以保存在内置的Micro SD记忆卡，提供几乎无限的记忆容量。 特点： 六通道同时地测量两组三轴加速度传感器 可选三轴全身（坐垫）振动加速度传感器SV 38V 可选三轴手臂振动加速度传感器SV 50 时间-领域信号记录（符合ISO 2631-5） 选配功能，包括1/1及1/3倍频程实时分析 高级的时间历史记录，包括频谱分析 使用Micro SD记忆卡保存大量数据 提供USB 1.1，伸延的I/O-AC输出或数字式输入/输出 编程时间可达24小时 选配SvanPC+_VR软件，易于为仪器设置及数据下载 信息全面彩色显示屏，易于使用的操作接口 技術規格：振动计模式RMS，VDV，MTVV或Max，Peak，Peak-Peak，Vector，A(8)，Dose，ELV，EAV同时测量多达6个通道，可设置独立的过滤器及探头常数 过滤器Wd，Wk，Wm，Wb，Wc，Wj，Wg，Wf（ISO 2631），Wh（ISO 5349）及带限制滤波器 RMS & RMQ 探测器数字式真实RMS及RMQ探测器，可测峰值，分辨率0.1dB。时间常数由100ms～10s 测量范围SV 38V坐垫传感器，Wd滤波器：0.01m/s2 RMS～50 m/s2 峰值SV 50手臂传感器，Wh滤波器：0.1m/s2 RMS～5,000 m/s2 峰值因应不同传感器而不同 频率范围0.1Hz～2,828Hz；因应不同传感器而不同 数据记录器时间历史数据，包括Meter模式及频谱模式 时间-领域记录时间-领域信号记录，可调采样频率：375Hz，3kHz或6kHz（选配） 分析仪（选配）1/1倍频程实时分析，0.5Hz～2,000Hz & 1/3倍频程实时分析，0.5Hz～2,500HzFFT实时分析，多达1,600线。FFT互频谱测量 加速度传感器（选配）用于全身振动测量，SV 38V坐垫加速度传感器用于手臂振动测量，SV 50（Dytran 3023M2加速度传感器，另选配SA50，SA51，SA52适配器）输入2组IEPE 5针内存内存16M非挥发性内存，Micro SD记忆卡(支持8～16GB)显示屏彩色OLED 2.4”，320x240象素，超对比度10,000:1界面USB 1.1，外置I/O-AC输出或数字式输入/输出（触发/脉冲）电源 / 使用时间4个AA碱性电池（12hr），4个AA可充电电池（16hr），USB界面：500mA HUB尺寸 / 重量140x83x33mm / 390g（含电池，不包括加速传感器）

概 述：AWA6256B+环境振动分析仪由环境振动加速度计、主机、环境振动测量分析软件组成，主要用于环境振动测量。环境振动可同时符合ISO8041：1990及GB/T 23716-2009（ISO8041：2005）标准；符合现行GB10070-1988标准中对仪器的要求，也可满足修订中环境振动测量仪器的要求。AWA6256B+环境振动分析仪安装人体振动测量软件（S6291-01107），符合GB/T13441和ISO8041：2005标准，软件可以对0.5 Hz～100 Hz的全身振动进行7种频率计权、4种时间计权测量及统计分析，配置相应的座垫式加速度计用于全身振动测量；配置相应的手传振动加速度计可对5 Hz～1600 Hz的手传振动进行测量。安装低频1/3 OCT分析软件(S6291-03110) ，满足GB/T 50355-2005 标准对仪器的要求，对中心频率0.5 Hz～200 Hz.低频振动进行实时1/3 OCT分析。 主要技术性能：配置1：环境振动； 配置2：环境振动+人体振动； 配置3：环境振动+人体振动+低频1/3 OCT；注：手传振动因使用的传感器不同，需要单独配置。 环境振动测量人体振动测量低频振动测量（新产品）软件配置人体振动分析软件包（S 6291－01107）人体振动分析软件包（S 6291－01107）低频1/3 OCT分析软件包（S 6291－01310 ）符合标准ISO 8041：1990 （JJG921-1996）可升级符合GB/T 23716-2009（ISO 8041:2005）GB/T 23716-2009（ISO 8041:2005）全身振动测量符合GB/T13441（ISO 2631）标准，手传振动符合GB/T 14790.1（ISO 5349-1），GBZ/T 189.9 GB/T 50355-2005JGJ/T 170-2009GB/T 3241-2010传感器AWA14400型压电加速度计，灵敏度: 40 mV/ m· s-2，质量:550 g全身振动：AWA84410型三轴向座垫加速度计，灵敏度: 约3 pC/ m· s-2，质量:250 g手传振动：AWA84181传感器，灵敏度：1 pC m· s-2，质量:14 gAWA14400型压电加速度计，灵敏度: 40 mV/ m· s-2，质量:550 g频率范围1 Hz～80 Hz全身振动：0.5 Hz～125 Hz手传振动：5 Hz～1.6 kHz0.63 Hz～250 Hz测量范围48 dB～158 dB（以10-6 m/s2为参考）全身振动：90 dB～160 dB（以10-6 m/s2为参考）手传振动：100 dB～190 dB（或0.1 m/s2 ～3160 m/s2）总值振级：48 dB～158 dB（以10-6 m/s2为参考）；1/3倍频带振级：40 dB～158 dB 频率计权并行W.B.z（全身垂直）、W.B.x-y（全身水平）、以及平直频率响应全身振动：并行Wb、Wc、Wd、We、Wj、Wk、Wm 手传振动：Wh、BL（带限） 检波器并行有效值、峰值、峰峰值并行有效值、峰值并行有效值、峰值时间平均方式并行（同时）指数平均、线性平均时间平均常数125 ms、1 s、 8 s主要测量指标并行瞬时VL、VLmax、VLmin、VLeq、VL5、VL10、VL50、VL90、VL95、SD全身振动测量：并行（同时）频率计权Wb、Wc、Wd、We、Wj、Wk、Wm和时间平均的瞬时值、最大值、最小值、等效值等。手传振动测量：并行（同时）频率计权Wh、BL（带限）的瞬时值、最大值、最小值、等效值、A（4）或A(8)1/3 倍频带的振级，1/3 倍频程滤波器的中心频率0.63 Hz～250 Hz；WZ，WK计权振级，总值振级及用户自定义频率计权振级显示分辨率0.1 dB0.01 dB基本测量误差± 1 dB ± 1 dB ± 1 dB显示器240× 160点阵LCD显示器，有LED背光积分测量时间1 s到24 h分档或任意设定级线性范围大于90 dB采样频率积分采样时间间隔：0.1s全身振动测量：750 Hz；手传振动测量：12 kHz750 Hz数据存贮64 kB的FLASH可以保存128组测量结果，也可将数据转存到U盘中输出接口RS 232接口，可接微型打印机打印测量结果，也可接PC机送出测量结果和实时分析结果；mini B型USB接口。符合USB1.1，兼容USB2.0，可读出测量结果到PC机，也可通过此接口将仪器内的数据转存到U盘中工作电源6节LR 6 碱性电池或可充电电池，可连续使用12小时以上；也可使用5 V外接电源，电流不大于150 mA尺寸(mm)260 × 90 × 38主机质量（kg）主机：0.5工作环境工作温度：-10 ℃～50 ℃，相对湿度：25 % ～90 %

美国SRS的SR470系列超低振动激光快门控制系统，帮您轻松控制激光束的开与关！ SR470:单通道激光快门控制器SR474:四通道激光快门控制器SR475/SR476:快门头作为自动化激光通断和多路激光切换的专业设备，SR470系列超低振动激光快门控制系统优点多多： 激光光束纯机械阻隔 超低振动快门头与传统的电磁线圈快门不同，SR475型快门包含一个闭循环DSP控制系统，精确的控制快门刀片在开/关之间的位置，不需要实体限位器。振动和机械噪声因此被控制得极小，让您的光学平台成为无干扰的环境。 一千万次循环寿命快门叶片安装在蓝宝石轴承上，摩擦被减至最低，寿命可达千万次，与常规快门比完全是量级上的大大提升。 微处理器精确控制时间曝光时间4ms-10000s，时间分辨率100us 多种触发模式：内触发、外触发、面板操作，使用及其方便

概 述：当AWA6291配置不同加速度传感器和相应软件后，可用于机器振动、人体响应振动测量、住宅建筑室内振动测量和轨道交通引起建筑物振动测量。特 点：● 同时测量a、v、s三种振动量的有效值、峰值、峰峰值；● 可进行积分测量，计算并显示振动的等效值；● 可选配FFT分析和1/3 OCT分析。主要技术性能：、 机器振动测量人体响应振动测量低频振动测量（新产品）软件配置振动FFT分析软件包(S 6291－02406)振动1/3 OCT分析软件包(S 6291－02305)人体振动分析软件包（S 6291－01107）低频1/3 OCT分析软件包（S 6291－01010）符合标准 GB/T 23716-2009（ISO 8041:2005）全身振动测量符合ISO 2631标准，手传振动符合GB/T 14790.1（ISO 5349-1），GBZ/T 189.9GB/T 50355-2005JGJ/T 170-2009传感器AWA84106型压电加速度计，电荷灵敏度：&asymp 2.5 pC/m· s-2全身振动：三轴向座垫式传感器手传振动：CA-YD-181或CA-YD-182AWA14400型压电加速度计，灵敏度:40 mV/ m· s-2，质量:550 g频率范围加速度：2 Hz ~ 20 kHz速度：2 Hz ~ 1.5 kHz位移：2 Hz ~ 200 Hz全身振动：0.5 Hz～80 Hz手传振动：8 Hz～1 kHz0.63Hz～250 Hz± 1 dB测量范围加速度：0.05～5000 m/s2速度：0.5～50000 mm/s位移：5 &mu m～500 mm全身振动：48 dB～158 dB（以10-6 m/s2为参考）手传振动：100 dB～190 dB（或0.1 m/s2 ～3160 m/s2）总值振级：48 dB～158 dB（以10-6 m/s2为参考）；1/3倍频带振级：40 dB～158 dB频率计权加速度a，速度v和位移s全身振动：并行Wb、Wc、Wd、We、Wj、Wk、Wm手传振动：Wh、BL（带限） 检波器并行有效值、峰值、峰峰值并行有效值、峰值并行有效值、峰值时间平均方式并行（同时）指数平均、线性平均时间平均常数125 ms、1 s、8 s主要测量指标FFT分析：对机器振动信号进行实时512点实时FFT分析（可看到200条谱线），加速度、速度、位移测量。1/3 OCT分析：测量机器振动的加速度、速度和位移的，12.5 Hz~16 kHz中心频率下的1/3 OCT频带加速度、速度和位移值。全身振动测量：并行（同时）频率计权Wb、Wc、Wd、We、Wj、Wk、Wm和时间平均的瞬时值、最大值、最小值、等效值、累计分布值等。手传振动测量：并行（同时）频率计权Wh、BL（带限）的瞬时值、最大值、最小值、等效值、4小时等效值、8小时等效值1/3 倍频带的振级、WZ，WK计权振级，总值振级及用户自定义频率计权振级1/3 倍频程数字滤波器的中心频率0.63 Hz～250 Hz显示分辨率4位有效数0.01 dB基本测量误差5 %（15.92 Hz为参考频率）0..5 dB(参考频率处)显示器240× 160点阵LCD显示器，有LED背光积分测量时间1 s到24 h分档或任意设定级线性范围大于90 dB采样频率FFT：48 kHz、24 kHz、12 kHz、6 kHz、3 kHz、1.5 kHz、750 Hz全身振动测量：750 Hz；手传振动测量：12 kHz750 Hz数据存贮最多12288组，也可将测量结果转存到U盘64 kB的FLASH可以保存128组测量结果，也可将数据转存到U盘中输出接口RS 232接口，可接微型打印机打印测量结果，也可接PC机送出测量结果和实时分析结果；mini B型USB接口。符合USB1.1，兼容USB2.0，可读出测量结果到PC机，也可通过此接口将仪器内的数据转存到U盘中工作电源6节LR 6 碱性电池或可充电电池，可连续使用12小时以上，也可使用5V外接电源，，电流不大于150 mA尺寸260 × 90 × 38 (mm)质量0.50.5 kg主机：0.5，加速度传感器：0.55工作环境 工作温度：-10 ℃～50 ℃，相对湿度：25 % ～90 %

产品概述：AWA6256B+型环境振动分析仪采用数字信号处理技术，能同时测量全身垂向（W.B.z）计权振级（也是环境振级）、全身水平（W.B.x-y）计权振级，以及不计权振动加速度级。满足GB/T 10071-1988 《环境振动测量方法》标准对振动测量仪器的要求，也符合ISO 8041：1990《人体对振动的响应&mdash &mdash 测量仪器》。AWA6256B+型是AWA6256B型的换代产品，与AWA6256B型环境振动分析仪相比，主要是频率计权、检波和时间计权是通过数字信号处理技术实现，因此稳定性更好，动态范围更大，而且以后可升级为符合正在修订中的新环境振动国家标准要求（按ISO 8041：2005制订），外形也更加美观。主要性能指标：1) 符合标准：GB/T 10071-1988和ISO 8041：19902) 加速度传感器：灵敏度：40 mV/m· s-2，质量：550 g3) 频率范围：1 Hz ~ 80 Hz4) 频率计权：并行 W.B.z（全身垂向）、W.B.x-y （全身水平）、以及平直频率响应5) 时间平均方式：并行指数平均(时间常数1 s, 8 s)、 线性平均6) 测量范围： 48 dB~158 dB（以10-6 m/s2为参考）7) 量程：48 ~ 138 dB、58 ~ 148 dB、68 ~ 158 dB8) 主要测量指标：并行瞬时VL、VLmax、VLmin、 VLeq、VL5、VL10、VL50、VL90、VL95、SD9) 显示器：240× 160点阵LCD显示，有EL背光， 分辨率：0.01dB10) 积分测量时间：1 s到24 h分档或任意设定11) 线性范围：大于90 dB12) 统计采样时间间隔：0.1 s13) 数据存贮：64 kB的FLASH，可以保存128组测量结果14) 输出接口：RS 232接口，可接微型打印机打印测量结果，也可接PC机送出测量结果15) 内部日历时钟：误差小于1分钟每月16) 仪器内部自带符合GB 2312标准的汉字库，可在仪器上输入中英文测点名17) 工作电源：4节LR 6 碱性电池或可充电电池，可连续使用8小时以上，也可使用5 V外接电源18) 外形尺寸：210× 90× 38 (mm)19) 质量：主机：0.5 kg，加速度传感器：550 g20) 工作环境： 工作温度：-10 ℃~ 50 ℃， 存贮温度：-20 ℃~70 ℃， 相对湿度：25 %~90 %盐城银河科技有限公司专业生产大气采样器，个体大气采样器，定点大气采样器，防爆大气采样器，防爆个体大气采样器，粉尘采样器，个体粉尘采样器，防爆粉尘采样器，防爆个体粉尘采样器，矿用粉尘采样器，矿用个体采样器，恒流大气采样器

概 述：AWA6256B+环境振动分析仪由环境振动加速度计、主机、环境振动测量分析软件组成，主要用于环境振动测量。可同时符合ISO8041：1990及GB/T 23716-2009（ISO8041：2005）标准；符合现行GB10070-1988标准中对仪器的要求，也可满足修订中环境振动标准对测量仪器的要求。配置低频1/3 OCT分析软件(S6291-03110) ，满足GB/T 50355-2005 标准，对中心频率0.5 Hz～200 Hz.低频振动进行实时1/3 OCT分析。AWA6256B+T型三轴向振动分析仪安装人体振动测量软件（S6291-01107），符合GB/T13441和ISO8041：2005标准。配置三轴向座垫式加速度计，可对0.5 Hz～100 Hz的全身振动进行测量，内置7种频率计权、4种时间计权测量及统计分析。配置三轴向手传振动加速度计可对5 Hz～1600 Hz的手传振动进行测量。配置三轴向加速度计和机器振动分析软件可用于三轴向机器振动测量和1/3倍频程频谱分析。 主要技术性能： AWA6256B+型环境振动分析仪AWA6256B+T型三轴向振动分析仪（新产品）环境振动测量低频振动测量三轴向人体全身振动测量三轴向人体手传振动测量三轴向机器振动测量通道数11333软件配置人体振动分析软件包（S 6291－01107）低频1/3 OCT分析软件包（S 6291－01310 ）人体振动分析软件包（S 6291－01107）机器振动测量软件包符合标准GB10070-1988和GB/T10071-1988 仪器符合ISO 8041：1990 可升级符合新的环境振动标准和GB/T 23716-2009（ISO 8041:2005）GB/T 50355-2005JGJ/T 170-2009GB/T 3241-2010GB/T13441（ISO 2631）仪器符合GB/T 23716-2009（ISO 8041:2005）GB/T 14790.1（ISO 5349-1）和GBZ/T 189.9仪器符合GB/T 23716-2009（ISO 8041:2005）传感器AWA14400型压电加速度计，灵敏度: 40 mV/ ms-2，质量:550 gAWA84410型三轴向座垫加速度计，灵敏度: 约10 mV/ ms-2，质量:250 gAWA84152三轴向加速度计，灵敏度：2 mV/ms-2，质量:90 gAWA84152三轴向加速度计，灵敏度：2 mV/ms-2，质量:90 g频率范围1 Hz～80 Hz0.3 Hz～250 Hz0.5 Hz～250 Hz5 Hz～1.6 kHz加速度：2 Hz ~ 2 kHz速度：2 Hz ~ 1.5 kHz位移：2 Hz ~ 200 Hz测量范围48 dB～158 dB（以10-6 m/s2为参考）总值振级：40 dB～155 dB（以10-6 m/s2为参考）；1/3倍频带振级：40 dB～158 dB 60 dB～170 dB（以10-6 m/s2为参考）70 dB～185 dB（或0.01 m/s2 ～1000 m/s2）加速度：0.03～1800 m/s2速度：0.5～5000 mm/s位移：5 μm～500 mm频率计权并行W.B.z（全身垂直）、W.B.x-y（全身水平）、以及平直频率响应并行Wb、Wc、Wd、We、Wj、Wk、Wm Wh、BL（带限）检波器并行有效值并行有效值、峰值时间平均方式并行（同时）指数平均、线性平均时间平均常数125 ms、1 s、 8 s主要测量指标并行瞬时VL、VLmax、VLmin、VLeq、VL5、VL10、VL50、VL90、VL95、SD1/3 倍频带的振级，1/3 倍频程滤波器的中心频率0.63 Hz～250 Hz；WZ，WK计权振级，总值振级及用户自定义频率计权振级并行（同时）频率计权Wb、Wc、Wd、We、Wj、Wk、Wm和时间平均的瞬时值、最大值、最小值、等效值、Peak值和VDV值等。并行（同时）频率计权Wh、BL（带限）的瞬时值、最大值、最小值、等效值、A（4）或A(8)同时测量a、v、s三种振动量的有效值、峰值、峰峰值；1/3 OCT实时分析 显示分辨率0.1 dB0.01 dB显示器240×160点阵LCD显示器，有LED背光积分测量时间1 s到24 h分档或任意设定级线性范围大于90 dB采样频率积分采样时间间隔：0.1s750 Hz750 Hz 12 kHz12 kHz数据存贮32 MitB的FLASH可以保存1024组测量结果，也可将数据转存到U盘中输出接口AC、DC、RS 232和USB工作电源6节LR 6 碱性电池或可充电电池，可连续使用12小时以上；也可使用5 V外接电源尺寸(mm)210 × 90 × 38主机质量（kg）主机：0.5工作环境工作温度：-10 ℃～50 ℃，相对湿度：25 % ～90 %

AHAI 6256型振动分析仪简介：多功能振动分析仪AHAI6256型采用全数字信号处理技术，模块化设计，具有测量范围大、耗电省、体积小等优点，长期运行可靠稳定。仪器采用模块化设计，用户可以根据需求选择不同的软件，从而实现不同的功能，得到不同的测量指标。仪器可广泛应用在环境保护、劳动卫生、科研教学、工业企业、计量检测等领域，完成环境振动测量、机器设备的振动分析等应用上。集成多种振动测量模块可供用户选择使用：统计分析仪功能、工作测振仪、1/3OCT分析仪、低频1/3OCT、手传振动测量和FFT分析仪功能。产品满足GB/T 10071-1988 《环境振动测量方法》对振动测量仪器的要求，也符合GB/T 23716-2009《人体对振动的响应—测量仪器》（IDT ISO 8041:2005）的要求。技术指标：一、统计分析仪该模块内置JJG 921-1996《公害噪声振动计》规定的全身垂直频率计权（W.B.z）和全身水平频率计权（W.B.z-y），可分别直接测量全身垂直计权振级VLZ和全身水平计权振级VLX—Y。模块内还具有平直频率计权特性，用于测量非计权加速度级VLa。根据GB/T 10070-1988《城市区域环境振动标准》，城市区域环境振动采用铅垂向z振级，也就是全身垂直计权振级VLZ作为评价量，因此该模块可直接用于环境振动测量。执行标准：ISO 8041:1990 GB/T 23716-2009《人体对振动的响应—测量仪器》（IDT ISO 8041:2005）频率计权：并行W.B.z（全身垂向，简称z计权）、W.B.x-y（全身水平，简称x计权）主要测量指标：并行瞬时值、大值、小值、VLeqT、VL5、VL10、VL50、VL90、VL95、SD加速度传感器：灵敏度: 40 mV/ms-2，频率范围：1 Hz～63 Hz±1 dB；1 Hz～80 Hz±2 dB测量范围：45 dB～160 dB（以10-6m/s2为参考）二、工作测振仪该模块支持对振动1秒的加速度、速度、位移的峰值、峰峰值、有效值同时进行测量和一段时间内的线性平均值，大值，小值，峰值，峰峰值，频率的测量。频率范围：加速度：1Hz～3.5kHz速度： 1Hz～1.6kHz位移： 1Hz～1.0kHz测量范围：（灵敏度40mV/ms-2）15.92Hz为参考频率加速度：0.0001ms-2m-100ms-2速度：0.01mm/s-1000mm/s位移：0.002mm～10mm三、1/3OCT分析仪滤波器类型：并行(实时)1/3倍频程，G以10为底的数字滤波器:滤波器中心频率：1.6 Hz、2.0 Hz、2.5 Hz、3.15 Hz、4.0 Hz、5.0 Hz、6.3 Hz、8 Hz、10 Hz、12.5 Hz、16 Hz、20 Hz、25 Hz、31.5 Hz、40 Hz、50 Hz、63 Hz、80 Hz、100 Hz、125 Hz、160 Hz、200 Hz、250 Hz、315Hz、400Hz、500Hz、630Hz、800Hz、1kHz、1.25kHz、1.6kHz、2kHz、2.5kHz 频率范围：1.6 Hz～2.5 kHz； ±1 dB四、低频1/3OCT滤波器类型：并行(实时)1/3倍频程，G以10为底的数字滤波器:滤波器中心频率：0.4 Hz、0.5 Hz、0.63 Hz、0.8 Hz、1.0 Hz、1.25 Hz、1.6 Hz、2.0 Hz、2.5 Hz、3.15 Hz、4.0 Hz、5.0 Hz、6.3 Hz、8 Hz、10 Hz、12.5 Hz、16 Hz、20 Hz、25 Hz、31.5 Hz、40 Hz、50 Hz、63 Hz、80 Hz、100 Hz、125 Hz、160 Hz、200 Hz、250 Hz 频率范围：0.63 Hz～250 Hz； ±1 dB0.315 Hz～250 Hz；±2 dBFFT分析:窗函数：平顶窗、布氏窗、汉宁窗、距形窗可选FFT分析线数：2048线采样频率（Hz）8192409620481024512分析频率上限（Hz）35841792896448224可选配置：在基本型上增加低频振动1/3OCT在基本型上增加数据记录仪在基本型上增加机械振动1/3OCT在基本型上增加机械振动FFT在基本型上增加工作测振仪（速度、加速度、位移）在基本型上增加手传振动

AHAI6256噪声振动分析仪（声级计） 噪声和振动二合一检测仪AHAI6256-AV（配置：主机、统计分析功能、噪声1/1OCT、振动统计、打印机）1.概述AHAI6256噪声振动分析仪（声级计）采用数字信号处理技术，模块化设计，通过更换不同的传感器可实现噪声测量与低频振动的测量；具有测量范围大、耗电省、体积小等优点，长期运行可靠稳定。产品符合GB/T 3785.1-2010、GB/T3241-2014、GB/T 23716—2009 标准的相关要求。本主要功能为噪声统计分析、1/1OCT分析；振动统计分析。 满足GB/T 10071—1988 城市区域环境振动测量方法；GB/T 13441.1—2007 机械振动与冲击人体暴 露于全身振动的评价第 1 部分：一般要求 （ISO 2631-1:1997 , IDT）；GB/T 13441.2—2008 机械振动与冲击人体暴 露于全身振动的评价 第 2 部分：建筑物内的振动（1 Hz～80 Hz） （ISO 2631-2:2003, IDT）； GB/T 50355-2018 住宅建筑室内振动限值及其 测量方法标准；JGJ/T 170-2009 城市轨道交通引起建筑物振动与二次辐射噪声限值及其测量方法标准等；该系列产品主要应用于环境保护、劳动卫生、工业企业、科研教学等领域，完成环境噪声测量。2.主要特点1) 多分析功能同步启动；2) 大于124 dB的超大级线性范围，无需切换量程。3) 低功耗，续航时间长，达30小时。4) 多分析功能同步启动；5) 彩屏显示，3.5 寸，分辨率240×320。6) 通过更换传感器可实现噪声或低频振动的测量2.主要性能指标1) 传声器：AHAI5225型预极化测试电容传声器；2) 振动传感器：AHAI6104低频振动传感器3) 传声器和前置级组合灵敏度级：-35 dB4) 振动传感器灵敏度：400mV/g测量范围：25dB(A)～144dB(A)；35dB(C)～144dB(C)；50dB(Z)～144dB(Z)；5) 频率范围：噪声10 Hz～25kHz（电信号）；振动1Hz~250Hz本机电噪声：6) 频率计权：噪声并行A、C、Z计权；振动ap/ Wx/Wz/Wm。7) 时间计权：噪声并行F(快)，S(慢)，I(脉冲)，振动1s，8s。8) 准确度：GB/T 3785.1-2010/IEC 61672-1:2013 1；GB/T 3241-2010/IEC 61260-1:2014 1级。9) 数据存贮：4 MB Flash RAM。10) 存贮组数（基本分析功能）：512组。11) 其它存贮：8组参数模板，128个测点名，64次校准记录。12) 测量时间：1 s到24 h。13) 统计分析功能：单次或24h。14) 噪声统计分析指标：Lxyi、Lxyp、Lxeq,T、Lxmax、Lxmin、LxN、SD、SEL。15) 噪声24h模式分析指标：Lxyi、Lxyp、Lxeq,T、Lxmax、Lxmin、LxN、SD、SEL、Ld、Ln、Ldn等。16) 噪声1/1倍频程频谱滤波器中心频率：16Hz、31.5Hz、63Hz、125Hz、250Hz、500Hz、1kHz、2kHz、4kHz、8kHz、16kHz。17) 振动测量指标：ap/Wx/Wz/Wm/Wk计权下的VLmax、VLmin、VLeq,T、5个Ln(n可以从1到99之间设定)和SD18) 振动低频1/3倍频程频谱滤波器中心频率：中心频率为0.4 Hz～315 Hz19) 实时分析：同时完成所有中心频率及A计权，C计权，Z计权、用户自定义频率计权。20) 日历时钟：每月误差小于1分钟。21) 数据接口：RS232、直流信号、交流信号。22) 显示：3.5寸彩屏，分辨率240×320。23) 电源：4节AA碱性电池：连续工作大于30 h；外接电源：5 V/1 A，USB Type-C口。尺寸：24) 使用条件：气温：-10 ℃～50 ℃。相对湿度：25 %～90 %。气 压：65 kPa～108 kPa。25) 重量：约350 g。

AWA6258型多功能振动分析仪是一种采用数字信号处理技术的多通道手持式分析仪，可以同时进行三轴向振动测量。它具有多种评价振动用的频率计权。可以进行全身振动测量、手传振动测量、环境振动测量，还可以对振动进行1/3 OCT频谱分析。 执行标准GB/T 23716—2009 人体对振动的响应 测量仪器 （ISO 8041：2005 , IDT）GB/T 3241—2010 电声学 倍频程和分数倍频程滤波器 （IEC 61260：1995, MOD）适用标准GB/T 10071—1988 城市区域环境振动测量方法；GB/T 13441.1—2007 机械振动与冲击 人体暴露于全身振动的评价 第1部分：一般 要求 （ISO 2631-1:1997 , IDT）；GB/T 13441.2—2008 机械振动与冲击 人体暴露于全身振动的评价 第2部分：建筑 物内的振动（1 Hz～80 Hz） （ISO 2631-2:2003, IDT）；GB/T 14790.1—2009 机械振动 人体暴露于手传振动的测量与评价 第1部分：一般 要求 （ISO 5349-1:2001, IDT）；GB/T 14790.2—2014机械振动 人体暴露于手传振动的测量与评价 第1部分：工作 场所测量实用指南 （ISO 5349-1:2001, IDT）；GB/T 50355-2005 住宅建筑室内振动限值及其测量方法标准；GB/T 50452-2008 古建筑防工业振动技术规范；JGJ/T 170-2009 城市轨道交通引起建筑物振动与二次辐射噪声限值及其测量方法标准；其他相关标准等；频率计权及其量程（以10-6m/s2为参考）VLx-y（全身水平） 70 ～ 175VLz（全身垂向） 80 ～ 185Wb（z轴,座椅表面） 81 ～ 185Wc（x轴,座椅-靠背） 78 ～ 183Wd（x,y轴,座椅表面） 73 ～ 184We（rx,ry,rz轴,座椅表面） 70 ～ 168Wj（垂直,卧姿(头部)） 88 ～ 185Wk（z轴,座椅表面） 80 ～ 185Wm（建筑物） 70 ～ 180Wh（手臂） 70 ～ 185频率范围全身振动测量VLx-y/VLz ：1.25 Hz～63 Hz(±1 dB)1 Hz～80 Hz(±2 dB)Wb/Wc/Wd/We/Wj/Wk：0.63 Hz～63 Hz(±1 dB)0.315 Hz～125 Hz(±2 dB)0.315Hz～250Hz(+2dB～-∞)Wm：1.25Hz～63Hz(±1dB)0.63Hz～125Hz(±2 dB)0.315Hz～250Hz(+2dB～-∞)手传振动测量Wh ：10 Hz～800 Hz(±1 dB)5 Hz～1600 Hz(±2 dB) VBLe ：12.5 Hz～630 Hz(±1 dB)8 Hz～1000 Hz(±2 dB)低频1/3 OCT分析0.315 Hz～250 Hz(±1 dB)振动1/3 OCT分析20 Hz～2000 Hz(±5%)2.5 Hz～2000 Hz(±12%)爆破振动在线测量4 Hz～180 Hz(±1 dB)时间平均常数1s、8s时间平均方式指数平均、线性平均主要测量指标全身振动测量：Max、Min、Leq,T、5个Ln(n可以从1到99之间设定)、SD、Peak、VDV、VLxyz、VLcdd、VLddk手传振动测量：Max、Min、Leq,T、Leq,4h、Leq,8h低频1/3 OCT分析：Max、Min、Leq,T、5个Ln(n可以从1到99之间设定)、30个中心频率点、AP、SD、5个合成频率计权（wz、wx、wm、wk、wu）振动1/3 OCT分析：Max、Min、Leq,T、30个中心频率点、acc、vel、disp爆破振动在线测量：三个方向的速度峰值、峰值频率采样频率750 Hz或12 kHz统计采样间隔0.1s存储容量内置32M bit Flash RAM，最多1024组数据或81920s记录结果输出接口直流、交流、RS232、USB、蓝牙工作电源6节LR 6 碱性电池或可充电电池，可连续使用12小时以上；也可使用4 V～6 V外接直流电源工作环境工作温度：-10 ℃～ 50 ℃存贮温度：-20 ℃～70 ℃相对湿度：25 %RH～90 %RH可选功能模块介绍1.全身振动测量模块1)执行标准：GB/T23716—2009人体对振动的响应测量仪器（ISO8041：2005,IDT）2)适用标准：GB/T13441—2007机械振动与冲击人体暴露于全身振动的评价3)频率计权及其量程（以10-6m/s2为参考）：频率计权量程（dB）评价说明VLx-y70～175全身水平VLz80～185全身垂向Wb81～185z轴,座椅表面Wc78～183x轴,座椅-靠背Wd73～184x,y轴,座椅表面We70～168rx,ry,rz轴,座椅表面Wj88～185垂直,卧姿(头部)Wk80～185z轴,座椅表面Wm70～180建筑物4) 频率范围及测量精度:分析仪功能频率范围及测量精度全身振动测量VLx-y/VLz：1.25Hz～63Hz(±1dB)、1Hz～80Hz(±2dB)Wb/Wc/Wd/We/Wj/Wk：0.63Hz～63Hz(±1dB)、0.315Hz～125Hz(±2dB)、0.315Hz～250Hz(+2dB～-∞)Wm：1.25Hz～63Hz(±1dB)、0.63Hz～125Hz(±2dB)、0.315Hz～250Hz(+2dB～-∞)5）时间平均方式：指数平均1s,指数平均8s，线性平均1s6）主要测量指标：Max、Min、Leq,T、5个Ln(n可以从1到99之间设定)、SD、Peak、VDV、VLxyz、VLcdd、VLddk7) 传感器参数：传感器型号灵敏度质量尺寸（mm）AWA844102mv/ms-2250gφ205×108）采样频率：750Hz9）统计采样间隔：0.1s2.手传振动测量模块1) 执行标准：GB/T23716—2009人体对振动的响应测量仪器（ISO8041：2005,IDT）2) 适用标准：GB/T14790—2009机械振动人体暴露于手传振动的测量与评价3) 频率计权及其量程（以10-6m/s2为参考）：频率计权量程（dB）评价说明Wh70～185手臂4）频率范围及测量精度:分析仪功能频率范围及测量精度手传振动测量Wh：10Hz～800Hz(±1dB)、5Hz～1600Hz(±2dB)VBLe：12.5Hz～630Hz(±1dB)、8Hz～1000Hz(±2dB)5）时间平均方式：指数平均1s,指数平均8s，线性平均1s，线性平均8s6）主要测量指标：Max、Min、Leq,T、Leq,4h、Leq,8h7)传感器参数：传感器型号灵敏度质量尺寸（mm）AWA84152A2mV/ms-224g20×20×208）采样频率：12kHz3.低频1/3OCT分析模块1) 执行标准： GB/T23716—2009人体对振动的响应测量仪器（ISO8041：2005,IDT）； GB/T3241—2010电声学倍频程和分数倍频程滤波器（IEC61260：1995,MOD）；2) 适用标准： GB/T10071—1988城市区域环境振动测量方法 GB/T13441—2007机械振动与冲击人体暴露于全身振动的评价 GB/T50355-2005住宅建筑室内振动限值及其测量方法标准JGJ/T170-2009城市轨道交通引起建筑物振动与二次辐射噪声限值及其测量方法标准3) 频率计权及其量程（以10-6m/s2为参考）：频率计权量程（dB）评价说明VLx-y70～175全身水平VLz80～185全身垂向Wd73～184x,y轴,座椅表面Wk80～185z轴,座椅表面Wm70～180建筑物4) 频率范围及测量精度:分析仪功能频率范围及测量精度低频1/3OCT分析VLx-y/VLz：1.25Hz～63Hz(±1dB)、1Hz～80Hz(±2dB)Wd/Wk：0.63Hz～63Hz(±1dB)、0.315Hz～125Hz(±2dB)、0.315Hz～250Hz(+2dB～-∞)Wm：1.25Hz～63Hz(±1dB)、0.63Hz～125Hz(±2dB)、0.315Hz～250Hz(+2dB～-∞)低频1/3OCT分析：0.315Hz～250Hz(±1dB)5）时间平均方式：指数平均1s,指数平均8s6）主要测量指标：Max、Min、Leq,T、5个Ln(n可以从1到99之间设定)、30个中心频率点、AP、SD、5个合成频率计权（wz、wx、wm、wk、wu）7)传感器参数：传感器型号灵敏度质量尺寸（mm）备注AWA844102mv/ms-2250gφ205×10选配AWA8430340mv/ms-2800g60×60×60选配AWA1440040mv/ms-2800g60×60×60选配，单轴向8）采样频率：750Hz9）统计采样间隔：0.1s10)测量模式：三轴向模式、四通道模式4.振动1/3OCT分析模块1) 执行标准：GB/T3241—2010电声学倍频程和分数倍频程滤波器（IEC61260：1995,MOD）；2) 适用标准：3）频率范围及测量精度:20Hz～2000Hz(±5%)、2.5Hz～2000Hz(±12%)4）时间平均方式：指数平均1s,指数平均8s5）主要测量指标：Max、Min、Leq,T、30个中心频率点、acc、vel、disp6）传感器参数：传感器型号灵敏度质量尺寸（mm）AWA84152A2mv/ms-224g20×20×207）采样频率：12kHzAWA6258 型多功能振动分析仪 AWA6258 型多功能振动分析仪

OAI 超过35年的历史按照您的具体规格设计和制造紫外线仪器和曝光系统在世界范围内亨有声誉无论复杂还是简单，OAI都有最聪明的解决方案。OAI 200型光刻机和紫外曝光系统 OAI系统可以处理各种常规和不规则形状的宽范围的基材。 高效光源在各种光谱上提供均匀的紫外线照射。. OAI 200型光刻机和紫外线曝光系统是一种经济高效的高性能工具，采用行业验证的模块化组件进行设计，使OAI成为MEMS，纳米技术和半导体设备行业的领先者。200型是台式机型，需要最小的洁净室空间。它为研发，试验或小批量生产提供了经济的替代方案。利用创新的空气轴承/真空卡盘校平系统，基板被快速和平缓地平整以用于平行光掩模对准和在接触暴露期间在晶片上的均匀接触。该系统具有微米分辨率和对准精度。对准模块具有掩模插入件组和快速更换晶片卡盘，其允许使用各种衬底和掩模，而不需要对机器重新设定。对准模块包含X，Y和θ轴（微米）。200型对准器可以广泛地安装进对准光学仪器，包括背面IR。 IR照明真空吸盘可以被配置用于整个或或部分晶片的对准。 OAI 200型可配置OAI纳米压印模块，使其成为最低成本的NIL工具。 OAI还提供了一个模块，设计用于使用液体光引物进行快速成型或生产微流体器件。 Model 200具有可靠的OAI光源，在近紫外或深紫外线下使用200至2000瓦功率的灯提供准直的紫外光。双传感器，光学反馈回路与恒定强度控制器相关联，以提供在所需强度的±2％内的曝光强度的控制。可以简单快速地改变UV波长。 型号200是一个高度灵活的， 经济的解决方 案，适合任何 入门级掩模对准和紫外线照射应用。 特点:&bull 高效，均匀，曝光系统与强度控制电源&bull 近，中，深紫外线能力可用&bull 亚微米套印和逐层校准&bull 易于互换的掩膜架和掩膜&bull 用户可设置，“基板到掩膜”间的压力&bull 软接触，硬接触，真空接触，接近曝光模式&bull 暴露可用时氮气N2吹扫&bull 超精确的卡盘运动&bull 可变速率电子操纵杆(可选)&bull 红外对准能力(型号200IR)(可选)&bull 顶部侧对齐以及背面对齐选项&bull 系统隔振具有四(4)象限独立调节(可选)&bull 高可靠性和低维护设计与优秀的文件应用MEMSNIL微流体纳米技术II-VI和III-V器件制造多级抗蚀剂处理LCD和FED显示器MCM’S薄膜器件太阳能电池SAW器件 选项提供单或双相机和屏幕（双相机/双屏版本如照片所示）可以安装NIL的Nano Imprint模块可安装微流体模块 OAI 200型台式光刻机和紫外线曝光系统 OAI 200型掩模对准器和UV曝光系统 特征 规格 体积小 基板平台 X, Y TravelZ TravelMicrometerGraduationsRotation ± 10mm 真空吸盘 1,500 microns.001" .0001"or .01mm .001mm± 3.5? 精密对准模块 可互换的面罩架和基板卡盘 掩膜 大小 Up to 14" x 14" 好处 光源 光束尺寸灯功率 Up to 12" square200, 350, 500, 1,000, and2,000 Watt NUV I 需要最小的洁净室空间 500, 1,000 and 2,000 Watt DUV I 对易碎基材材料造成损坏降至最低 快门定时器设施 定时器 0.1 to 99.0 sec. at 0.1second incrementsor 1 to 999 sec. at 1second increments I 精确对准至1微米 I 可轻松容纳各种基材和面罩 电压 110或220 / 400vac（或根据其他国家电源要求） I IR透明晶片的背面掩模对准，精度高达3-5微米 真空 20 - 28” Hg. I 高度准直，均匀的紫外线 空气和氮气 CDA at 60 PSI andN2at 40 PSI 排气 .35“至.5”水 I 快速更改UV光波长 I 曝光控制强度为±2％ 尺寸 高度宽度深度运输重量 37” (200mm), 45” (300mm)31” (200mm) , 60” (300mm)25” (200mm), 70” (300mm)250 Lbs. (200mm), 400lbs (300mm) I 可以配置为NIL的Nano Imprint工具

AWA6258型多功能振动分析仪AWA6258型多功能振动分析仪是一种采用数字信号处理技术的多通道手持式分析仪，可以同时进行三轴向振动测量。它具有多种评价振动用的频率计权。可以进行全身振动测量、手传振动测量、环境振动测量，还可以对振动进行1/3 OCT频谱分析。执行标准GB/T 23716—2009 人体对振动的响应 测量仪器 （ISO 8041：2005 , IDT）GB/T 3241—2010 电声学 倍频程和分数倍频程滤波器 （IEC 61260：1995, MOD）适用标准GB/T 10071—1988 城市区域环境振动测量方法；GB/T 13441.1—2007 机械振动与冲击 人体暴露于全身振动的评价 第1部分：一般 要求 （ISO 2631-1:1997 , IDT）；GB/T 13441.2—2008 机械振动与冲击 人体暴露于全身振动的评价 第2部分：建筑 物内的振动（1 Hz～80 Hz） （ISO 2631-2:2003, IDT）；GB/T 14790.1—2009 机械振动 人体暴露于手传振动的测量与评价 第1部分：一般 要求 （ISO 5349-1:2001, IDT）；GB/T 14790.2—2014机械振动 人体暴露于手传振动的测量与评价 第1部分：工作 场所测量实用指南 （ISO 5349-1:2001, IDT）；GB/T 50355-2005 住宅建筑室内振动限值及其测量方法标准；GB/T 50452-2008 古建筑防工业振动技术规范；JGJ/T 170-2009 城市轨道交通引起建筑物振动与二次辐射噪声限值及其测量方法标准；其他相关标准等；频率计权及其量程（以10-6 m/s2为参考）VLx-y（全身水平） 70 ～ 175VLz（全身垂向） 80 ～ 185Wb（z轴,座椅表面） 81 ～ 185Wc（x轴,座椅-靠背） 78 ～ 183Wd（x,y轴,座椅表面） 73 ～ 184We（rx,ry,rz轴,座椅表面） 70 ～ 168Wj（垂直,卧姿(头部)） 88 ～ 185Wk（z轴,座椅表面） 80 ～ 185Wm（建筑物） 70 ～ 180Wh（手臂） 70 ～ 185频率范围全身振动测量VLx-y/VLz ：1.25 Hz～63 Hz(±1 dB)1 Hz～80 Hz(±2 dB)Wb/Wc/Wd/We/Wj/Wk：0.63 Hz～63 Hz(±1 dB)0.315 Hz～125 Hz(±2 dB)0.315Hz～250Hz(+2dB～-∞)Wm：1.25Hz～63Hz(±1dB)0.63Hz～125Hz(±2 dB)0.315Hz～250Hz(+2dB～-∞)手传振动测量Wh ：10 Hz～800 Hz(±1 dB)5 Hz～1600 Hz(±2 dB) VBLe ：12.5 Hz～630 Hz(±1 dB)8 Hz～1000 Hz(±2 dB)低频1/3 OCT分析0.315 Hz～250 Hz(±1 dB)振动1/3 OCT分析20 Hz～2000 Hz(±5%)2.5 Hz～2000 Hz(±12%)爆破振动在线测量4 Hz～180 Hz(±1 dB)时间平均常数1s、8s时间平均方式指数平均、线性平均主要测量指标全身振动测量：Max、Min、Leq,T、5个Ln(n可以从1到99之间设定)、SD、Peak、VDV、VLxyz、VLcdd、VLddk手传振动测量：Max、Min、Leq,T、Leq,4h、Leq,8h低频1/3 OCT分析：Max、Min、Leq,T、5个Ln(n可以从1到99之间设定)、30个中心频率点、AP、SD、5个合成频率计权（wz、wx、wm、wk、wu）振动1/3 OCT分析：Max、Min、Leq,T、30个中心频率点、acc、vel、disp爆破振动在线测量：三个方向的速度峰值、峰值频率采样频率750 Hz或12 kHz统计采样间隔0.1s存储容量内置32M bit Flash RAM，最多1024组数据或81920s记录结果输出接口直流、交流、RS232、USB、蓝牙工作电源6节LR 6 碱性电池或可充电电池，可连续使用12小时以上；也可使用4 V～6 V外接直流电源工作环境工作温度：-10 ℃～ 50 ℃存贮温度：-20 ℃～70 ℃相对湿度：25 %RH～90 %RH青岛路博为您提供专业的技术支持和售后服务

AWA6256B+型环境振动分析仪AWA6256B+型环境振动分析仪由环境振动加速度计、主机、环境振动测量分析软件组成，主要用于环境振动测量。环境振动可同时符合ISO 8041：1990及GB/T 23716-2009（ISO 8041：2005）标准，符合现行GB/T 10071-1988标准中对仪器的要求，也可满足修订中环境振动测量仪器的要求。性能指标环境振动测量人体振动测量低频1/3振动测量执行标准ISO 8041:1990ISO 8041:2005GB/T 23716-2009IEC 61260：1995传感器AWA14400型环境振动加速度计 灵敏度：40 mV/ms-2，质量：550g。频率范围1 Hz～63 Hz±1 dB1 Hz～80 Hz±2 dBWb/Wc/Wd/We/Wj/Wk：（0.63～63）Hz； ±1 dB（0.50～125）Hz；±2 dBWm：（1.25～63）Hz；±1 dB（0.63～125）Hz；±2 dB0.63 Hz～250 Hz；±1 dB0.315 Hz～250 Hz；±2 dB测量范围48 dB～158 dB（以10-6m/s2为参考）频率计权并行W.B.z（全身垂向，简称z计权）、W.B.x-y（全身水平，简称x计权）并行（同时）Wb、Wc、Wd、We、Wj、Wk、WmAP、 Wk、 Wz、 Wu(用户自定义)级线性范围大于90 dB采样频率750 HzA/D位数24位数据存贮64 kB的FLASH可以保存128组测量结果输出接口RS232,可接微型打印机打印测量结果，也可将数据导入电脑工作电源6节LR6 碱性电池或可充电电池，可连续使用16小时以上，也可使用5 V外接电源工作环境工作温度：-10 ℃～ 50℃存贮温度：-20 ℃～70 ℃相对湿度：25 %～90 %青岛路博为您提供专业的技术支持和售后服务

技术参数：· 振级测量范围 60-140dB（以10-6m/s2为参考） 　　· 频率范围 1-80 HZ 　　· 频率计权 全身垂直VLz、全身水平VLx-y、线性VAL 　　· 尺寸、重量　主机（24× 8.1× 3.1）cm、0.4kg 　　　　　　　　　打印机(17.8× 8.1× 3.1)cm、0.41kg 　　 　　· 基本配置 主机、配套打印机、振动传感器、充电器输入 　　　　　　　 电缆各一、打印纸5卷、配携带箱一只。　　　　主要特点：是一种数字化，便携式环境振动自动测量仪器，性能符合ISO9041标准对2型仪器的要求。可选择手动及自动10秒或1，5，10，20分钟及1，8，24小时测量等效连续振级Vleq，统计振级（VL10，VL50，VL90）和最大值及标准偏差SD，所测数据可现场显示或打印，可储存127组数据。

AHAI 6256型振动分析仪简介：多功能振动分析仪AHAI6256型采用全数字信号处理技术，模块化设计，具有测量范围大、耗电省、体积小等优点，长期运行可靠稳定。仪器采用模块化设计，用户可以根据需求选择不同的软件，从而实现不同的功能，得到不同的测量指标。仪器可广泛应用在环境保护、劳动卫生、科研教学、工业企业、计量检测等领域，完成环境振动测量、机器设备的振动分析等应用上。集成多种振动测量模块可供用户选择使用：统计分析仪功能、工作测振仪、1/3OCT分析仪、低频1/3OCT、手传振动测量和FFT分析仪功能。产品满足GB/T 10071-1988 《环境振动测量方法》对振动测量仪器的要求，也符合GB/T 23716-2009《人体对振动的响应—测量仪器》（IDT ISO 8041:2005）的要求。可以完全替代原来AWA6256B+环境振动分析仪和AWA6291系列的振动分析仪的功能。技术指标：一、统计分析仪该模块内置JJG 921-1996《公害噪声振动计》规定的全身垂直频率计权（W.B.z）和全身水平频率计权（W.B.z-y），可分别直接测量全身垂直计权振级VLZ和全身水平计权振级VLX—Y。模块内还具有平直频率计权特性，用于测量非计权加速度级VLa。根据GB/T 10070-1988《城市区域环境振动标准》，城市区域环境振动采用铅垂向z振级，也就是全身垂直计权振级VLZ作为评价量，因此该模块可直接用于环境振动测量。执行标准：ISO 8041:1990 GB/T 23716-2009《人体对振动的响应—测量仪器》（IDT ISO 8041:2005）频率计权：并行W.B.z（全身垂向，简称z计权）、W.B.x-y（全身水平，简称x计权）主要测量指标：并行瞬时值、大值、小值、VLeqT、VL5、VL10、VL50、VL90、VL95、SD加速度传感器：灵敏度: 40 mV/ms-2，频率范围：1 Hz～63 Hz±1 dB；1 Hz～80 Hz±2 dB测量范围：45 dB～160 dB（以10-6m/s2为参考）二、工作测振仪该模块支持对振动1秒的加速度、速度、位移的峰值、峰峰值、有效值同时进行测量和一段时间内的线性平均值，大值，小值，峰值，峰峰值，频率的测量。频率范围：加速度：1Hz～3.5kHz速度： 1Hz～1.6kHz位移： 1Hz～1.0kHz测量范围：（灵敏度40mV/ms-2）15.92Hz为参考频率加速度：0.0001ms-2m-100ms-2速度：0.01mm/s-1000mm/s位移：0.002mm～10mm三、1/3OCT分析仪滤波器类型：并行(实时)1/3倍频程，G以10为底的数字滤波器:滤波器中心频率：1.6 Hz、2.0 Hz、2.5 Hz、3.15 Hz、4.0 Hz、5.0 Hz、6.3 Hz、8 Hz、10 Hz、12.5 Hz、16 Hz、20 Hz、25 Hz、31.5 Hz、40 Hz、50 Hz、63 Hz、80 Hz、100 Hz、125 Hz、160 Hz、200 Hz、250 Hz、315Hz、400Hz、500Hz、630Hz、800Hz、1kHz、1.25kHz、1.6kHz、2kHz、2.5kHz 频率范围：1.6 Hz～2.5 kHz； ±1 dB四、低频1/3OCT滤波器类型：并行(实时)1/3倍频程，G以10为底的数字滤波器:滤波器中心频率：0.4 Hz、0.5 Hz、0.63 Hz、0.8 Hz、1.0 Hz、1.25 Hz、1.6 Hz、2.0 Hz、2.5 Hz、3.15 Hz、4.0 Hz、5.0 Hz、6.3 Hz、8 Hz、10 Hz、12.5 Hz、16 Hz、20 Hz、25 Hz、31.5 Hz、40 Hz、50 Hz、63 Hz、80 Hz、100 Hz、125 Hz、160 Hz、200 Hz、250 Hz 频率范围：0.63 Hz～250 Hz； ±1 dB0.315 Hz～250 Hz；±2 dBFFT分析:窗函数：平顶窗、布氏窗、汉宁窗、距形窗可选FFT分析线数：2048线采样频率（Hz）8192409620481024512分析频率上限（Hz）35841792896448224

仪器简介： 光刻机/紫外曝光机 (Mask Aligner) 原产国: 韩国MIDAS公司 型号：MDA-400M, MDA-400LJ，MDA-600S 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统，光刻机，紫外曝光机等；MIDAS为全球领先的半导体设备供应商，多年来致力于掩模对准光刻机和匀胶机研发与生产，并且广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域；该公司是目前世界上最早将光刻机商品化的公司之一，拥有雄厚的技术研发力量和设备生产能力；并且其设备被众多著名企业、研发中心、研究所和高校所采用；以优秀的技术、精湛的工艺和良好的服务，赢得了用户的青睐。 感谢南开大学，中科院半导体所,中科院长春应化所，中科院物理所，浙江师范大学使用此设备做课题研究！！ 此型号光刻机是所有进口设备中性能价格比最高的型号，达到欧美品牌的对准精度，CCD显示屏对准更为方便，液晶触摸屏操作，采用Ushio紫外灯或者LED光源，寿命长。整机效果皮实耐用，正常使用3年内不会出问题！！ 技术参数：项目 技术规格 曝光系统光源功率 350W 紫外光源及电源品牌：Ushio，使用寿命保证1000小时 *也可以采用LED光源，使用寿命保证10000小时 *以上两种光源需选择一种分辨率 - 真空接触模式 : 1um ( Thin PR@Si Wafer )- 硬接触模式 : 1um- 软接触模式 : 2um- 20um 渐进模式: 5um 最大光束尺寸*4.25×4.25 inch光束均匀性 *≤ 3% (4inch standard)光束强度 max 30mW/cm2 (365nm Intensity)曝光时间可调整0.1 to 999.9 sec对准系统对准精度0.5um对准间隙手动调节光刻模式真空,硬接触，软接触，渐进模式卡盘水平调节楔形错误补偿Wedge Error Compensation (专利技术)真空卡盘移动范围*X, Y: 10 mm, Theta: ±5°Z向移动范围*10mm接近调整步幅 1um整体对准移动*气动式，前后纵向移动显微镜及显示器 显微镜及显示器 CCD and Monitor*双CCD显微镜，Dual CCD zoom microscope 17寸LCD显示器 ，放大倍数 : 80x ~ 480x 样品尺寸大小2, 3, 4 inch掩模板尺寸4 and 5 inch安装要求真空 Vacuum -200 mbar (*包含进口无油真空泵)压缩空气 CDA 5Kg/cm2氮气 N23Kg/cm2电力 Electricity220V, 15A, 1Phase 1）高分辨光刻，至1um水平；2）可使用各种掩模板，小尺寸~4英寸均可用；再大尺寸，可以定制化服务。3）特殊的基底卡盘可定做；4）高精度对准台及显微镜操纵器；5）用于不同紫外曝光的高强度光学装置；6）用于楔形补偿的空气方位系统；7）所有部件均可接触；8）符合人体工程学操作；9）低成本，高品质；10） *两年保修主要特点：- 光源强度可控；- 紫外曝光，深紫外曝光(Option)；- 系统控制：手动、半自动和全自动控制；- 曝光模式：真空接触模式(接触力可调),Proximity接近模式, 投影模式；- 真空吸盘范围可调；- 专利技术：可双面对准，可双面光刻，具有IR和CCD模式- 两个CCD显微镜系统，最大放大1000倍，显示屏直接调节，比传统目镜对准更方便快捷，易于操作。- 特殊的基底卡盘可定做；- 具有楔形补偿功能；

一、产品介绍AHAI6256型多功能振动分析仪是一种采用数字信号处理技术的手持式振动分析仪，它既能测量环振振动、全身振动、手传振动，又可以测量设备振动；既能测量振动信号的加速度、速度、位移，又可以对振动信号进行1/3 OCT频谱分析,FFT分析。是AWA6256，AWA6256B+，AWA6291的更新换代产品。一台仪器就可以替代工作测振动、人体对振动的响应测量仪器、实时1/3 OCT分析仪、FFT分析仪、记录仪。二、参数规格性能指标环境振动测量人体振动测量低频1/3振动测量执行标准ISO 8041:1990ISO 8041:2005GB/T 23716-2009IEC 61260：1995传感器AWA14400型环境振动加速度计 灵敏度：40 mV/ms-2，质量：550g。频率范围1 Hz～63 Hz±1 dB1 Hz～80 Hz±2 dBWb/Wc/Wd/We/Wj/Wk：（0.63～63）Hz； ±1 dB（0.50～125）Hz；±2 dBWm：（1.25～63）Hz；±1 dB（0.63～125）Hz；±2 dB0.63 Hz～250 Hz；±1 dB0.315 Hz～250 Hz；±2 dB测量范围48 dB～158 dB（以10-6m/s2为参考）频率计权并行W.B.z（全身垂向，简称z计权）、W.B.x-y（全身水平，简称x计权）并行（同时）Wb、Wc、Wd、We、Wj、Wk、WmAP、 Wk、 Wz、 Wu(用户自定义)级线性范围大于90 dB采样频率750 HzA/D位数24位数据存贮64 kB的FLASH可以保存128组测量结果输出接口RS232,可接微型打印机打印测量结果，也可将数据导入电脑工作电源6节LR6 碱性电池或可充电电池，可连续使用16小时以上，也可使用5 V外接电源工作环境工作温度：-10 ℃～ 50℃存贮温度：-20 ℃～70 ℃相对湿度：25 %～90 %

产品介绍： LSCE-800接触式曝光机指掩膜板直接与基板的光刻胶层接触，曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当 精确，设备简单。产品特点：分辨率相当精确，更广范围的紫外光波长选择； 支持恒定光强或恒定功率模式，广泛应用于半导体、微电子、 生物器件和纳米科技领域。参数：应用领域：半导体制造；光电电子、平板；射频微波，衍射光学；微机电系统；凹凸或覆晶设备等。

AHAI 6256 振动型分析仪AHAI6256型多功能振动分析仪是一种采用数字信号处理技术的手持式振动分析仪，它既能测量环振振动、全身振动、手传振动，又可以测量设备振动；既能测量振动信号的加速度、速度、位移，又可以对振动信号进行1/3 OCT频谱分析,FFT分析。是AWA6256，AWA6256B+，AWA6291的更新换代产品。一台仪器就可以替代工作测振动、人体对振动的响应测量仪器、实时1/3 OCT分析仪、FFT分析仪、记录仪。性能指标环境振动测量人体振动测量低频1/3振动测量执行标准ISO 8041:1990ISO 8041:2005GB/T 23716-2009IEC 61260：1995传感器AWA14400型环境振动加速度计 灵敏度：40 mV/ms-2，质量：550g。频率范围1 Hz～63 Hz±1 dB1 Hz～80 Hz±2 dBWb/Wc/Wd/We/Wj/Wk：（0.63～63）Hz； ±1 dB（0.50～125）Hz；±2 dBWm：（1.25～63）Hz；±1 dB（0.63～125）Hz；±2 dB0.63 Hz～250 Hz；±1 dB0.315 Hz～250 Hz；±2 dB测量范围48 dB～158 dB（以10-6m/s2为参考）频率计权并行W.B.z（全身垂向，简称z计权）、W.B.x-y（全身水平，简称x计权）并行（同时）Wb、Wc、Wd、We、Wj、Wk、WmAP、 Wk、 Wz、 Wu(用户自定义)级线性范围大于90 dB采样频率750 HzA/D位数24位数据存贮64 kB的FLASH可以保存128组测量结果输出接口RS232,可接微型打印机打印测量结果，也可将数据导入电脑工作电源6节LR6 碱性电池或可充电电池，可连续使用16小时以上，也可使用5 V外接电源工作环境工作温度：-10 ℃～ 50℃存贮温度：-20 ℃～70 ℃相对湿度：25 %～90 %

一 、产品介绍 AWA6256B+型环境振动分析仪由环境振动加速度计、主机、环境振动测量分析软件组成，主要用于环境振动测量。环境振动可同时符合ISO 8041：1990及GB/T 23716-2009（ISO 8041：2005）标准，符合现行GB/T 10071-1988标准中对仪器的要求，也可满足修订中环境振动测量仪器的要求。二、产品参数性能指标环境振动测量人体振动测量低频1/3振动测量执行标准ISO 8041:1990ISO 8041:2005GB/T 23716-2009IEC 61260：1995传感器AWA14400型环境振动加速度计 灵敏度：40 mV/ms-2，质量：550g。频率范围1 Hz～63 Hz±1 dB1 Hz～80 Hz±2 dBWb/Wc/Wd/We/Wj/Wk：（0.63～63）Hz； ±1 dB（0.50～125）Hz；±2 dBWm：（1.25～63）Hz；±1 dB（0.63～125）Hz；±2 dB0.63 Hz～250 Hz；±1 dB0.315 Hz～250 Hz；±2 dB测量范围48 dB～158 dB（以10-6m/s2为参考）频率计权并行W.B.z（全身垂向，简称z计权）、W.B.x-y（全身水平，简称x计权）并行（同时）Wb、Wc、Wd、We、Wj、Wk、WmAP、 Wk、 Wz、 Wu(用户自定义)线性范围大于90 dB采样频率750 HzA/D位数24位数据存贮64 kB的FLASH可以保存128组测量结果输出接口RS232,可接微型打印机打印测量结果，也可将数据导入电脑工作电源6节LR6 碱性电池或可充电电池，可连续使用16小时以上，也可使用5 V外接电源工作环境工作温度：-10 ℃～ 50℃存贮温度：-20 ℃～70 ℃相对湿度：25 %～90 %

海思科技 吴先生 全自动接近式曝光机、半自动光刻机主要应用：MEMS制造、CMOS图像传感器、存储器、声波器件、微流体芯片、化合物半导体、 晶圆级先进封装、（TSV）等领域。技术参数：1．工作方式：装载机械手将晶圆片从 A 晶圆盒自动装载至预定位工作台，经过定位传感器及自动旋转系统的调节，实现工件的预定位；装载机械手再将完成预定位后的晶圆片装载至对准工作台，经过计算机图像识别及自动对准系统的调节，实现掩模版上图形与晶圆片上的图形的自动对准，也可以不用对位图形完成一次曝光，经过曝光系统的自动曝光后，再由卸载机械手将晶圆片自动放入 B 晶圆盒，直至整个晶圆盒内的晶圆全部完成套刻曝光。2．曝光面积：110×110mm； 支持晶圆4-12寸3．曝光照度不均匀性：≤3%；4．曝光强度：0～≥50mw/cm2可调；5．紫外光束角：≤3°（可选 2?或 1°相对曝光照度会变弱）；6．紫外光中心波长：365nm；7．紫外光源寿命：≥2 万小时；8．分离量：0～≥1090um 可调；9．对准精度：≤1μm；10．曝光方式：硬接触、软接触和接近式曝光；11. 曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光12. 定位传感器及自动旋转系统（含预订位工作台）：旋转角度 Q≥±180°旋转精度 Q≤0.001°；13．图像识别及自动对准系统（含对准工作台）：对准范围 X.Y≥±5mm，升旋转角度 Q≥±3°，显微镜整体横向相对移动≥±70mm。14．掩模版尺寸：5″×5″； 可定制15．晶圆尺寸：4″； 、6、816.A.B 晶圆盒移动：Z≥±100mm；17．装卸载机械手：X≥±100mm，Y≥±100mm,Z≥±20mm；18.晶圆盒晶圆片数量：根据客户晶圆盒晶圆数量定；19．版架台移动：X.Y≥±3mm，Z≥±2mm；20．曝光定时：0～999.9 秒可调；21. 生产节拍：10 秒+曝光时间；22．电源：单相 AC220V 50HZ ，功耗≤1KW；23．洁净空气压力：≥0.4MPa；24．真空度：-0.07MPa～-0.09MPa；25．尺寸：1200*1000*1500mm ；26．重量：约 200kg

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统，紫外曝光机等；美国公司为全球领先的半导体设备供应商，多年来致力于掩模对准光刻机和匀胶机研发与生产，并且广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域；该公司是目前世界上最早将光刻机商品化的公司之一，拥有雄厚的技术研发力量和设备生产能力；并且其设备被众多著名企业、研发中心、研究所和高校所采用；以优秀的技术、精湛的工艺和良好的服务，赢得了用户的青睐。产地：美国；型号：M-150技术规格：- 掩模尺寸：最大7英寸；- 样品尺寸：最大6英寸；- 卡盘移动：X,Y,Z,Theta轴手动，楔形补偿调平；- 紫外光源：6.25" X 6.25"；- 光源功率：350瓦紫外灯；- 光源均匀性：+/-3%；- 光源365nm波长强度：最大30毫瓦；- 显微镜：双显微镜系统；- 显微镜移动：X,Y,Z轴手动调节；- 显微镜物镜空间：50-150mm；- 标配放大倍率：80X-400X；- 显示器：20" LCD；- 曝光时间：0.1-999秒；- 接触模式：真空接触，硬接触，软接触，接近接触(距离可调)；- 对准精度：1um (Vacuum Contact), 1.5um(Hard Contact), 3um(Soft Contact), 5um(Proximity Mode)；- 电源：220V，单相，15安培；主要特点:- 光源强度可控；- 紫外曝光，深紫外曝光(Option)；- 系统控制：手动、半自动和全自动控制；- 曝光模式：真空接触模式(接触力可调),Proximity接近模式, 投影模式；- 真空吸盘范围可调；- 专利技术：可双面对准，可双面光刻，具有IR和CCD模式- 双CCD显微镜系统，最大放大1000倍，显示屏直接调节，比传统目镜对准更方便快捷，易于操作。- 特殊的基底卡盘可定做；- 具有楔形补偿功能；

AWA6256B+型环境振动分析仪由环境振动加速度计、主机、环境振动测量分析软件组成，主要用于环境振动测量。环境振动可同时符合ISO 8041：1990及GB/T 23716-2009（ISO 8041：2005）标准，符合现行GB/T 10071-1988标准中对仪器的要求，也可满足修订中环境振动测量仪器的要求。AWA6256B+环境振动分析仪安装人体振动测量软件（S6291-01107），符合GB/T 13441和ISO 8041：2005标准，软件可以对0.5Hz～100Hz的全身振动进行7种频率计权、4种时间计权测量及统计分析，配置相应的座垫式加速度计用于全身振动测量；配置相应的手传振动加速度计可对5 Hz～1600 Hz的手传振动进行测量。安装低频1/3 OCT分析软件(S6291-03110)，满足GB/T 50355-2005标准对仪器的要求，对中心频率0.5Hz～200Hz低频振动进行实时1/3OCT分析。性能指标环境振动测量人体振动测量低频1/3振动测量执行标准ISO 8041:1990ISO 8041:2005GB/T 23716-2009IEC 61260：1995传感器AWA14400型环境振动加速度计 灵敏度：40 mV/ms-2，质量：550g。频率范围1 Hz～63 Hz±1 dB1 Hz～80 Hz±2 dBWb/Wc/Wd/We/Wj/Wk：（0.63～63）Hz； ±1 dB（0.50～125）Hz；±2 dBWm：（1.25～63）Hz；±1 dB（0.63～125）Hz；±2 dB0.63 Hz～250 Hz；±1 dB0.315 Hz～250 Hz；±2 dB测量范围48 dB～158 dB（以10-6m/s2为参考）频率计权并行W.B.z（全身垂向，简称z计权）、W.B.x-y（全身水平，简称x计权）并行（同时）Wb、Wc、Wd、We、Wj、Wk、WmAP、 Wk、 Wz、 Wu(用户自定义)级线性范围大于90 dB采样频率750 HzA/D位数24位数据存贮64 kB的FLASH可以保存128组测量结果输出接口RS232,可接微型打印机打印测量结果，也可将数据导入电脑工作电源6节LR6 碱性电池或可充电电池，可连续使用16小时以上，也可使用5 V外接电源工作环境工作温度：-10 ℃～ 50℃存贮温度：-20 ℃～70 ℃相对湿度：25 %～90 %序号型号功能配置备注1AWA6256B+型环境振动分析仪（配置1）环境振动，含打印机2AWA6256B+型环境振动分析仪（配置2）环境振动、人体振动测量，含打印机3AWA6256B+型环境振动分析仪（配置3）环境振动、低频1/3振动、人体振动测量，不含打印机AWA6256B+ 环境振动分析仪 AWA6256B+ 环境振动分析仪

RAITH电子束曝光设备资料一、基本信息:品牌名称：RAITH主要设备：电子束曝光及成像系统、图形发射器。主要用途：在化合物半导体等领域加工线宽8-350纳米图形或掩膜板加工。 二、设备及应用:(一). 多功能电子束光刻设备Pioneer Two: Pioneer Two是一款高性价比的成套的电子束光刻设备，采用30kV Gemini电子束技术，应用于2英寸以下晶圆的纳米级光刻、高分辨成像及低压电子束光刻。 20keV下在HSQ胶上曝光亚8nm线条(二). 多功能电子束光刻设备eLine Plus: eLine Plus是一款集成了纳米操纵设备，如纳米探针、用于聚焦电子束诱导过程的气体注入系统等各种多功能选件的电子束光刻设备，广泛应用于学校和各大科研机构，采用30kV Gemini电子束技术，应用于4英寸以下基板的纳米级光刻、纳米工程、纳米操纵、纳米探测、纳米轮廓仪、聚焦电子束诱导和成像分析等。 HSQ胶上制作亚5nm线条(三). 专业型电子束光刻设备Raith150 Two: Raith150 Two是一款高分辨电子束光刻设备，采用30kV Gemini电子束技术，应用于8英寸以下基板（可曝光面积6英寸）的纳米级光刻、高分辨成像及低压电子束光刻，可实现亚5nm的曝光结构。 HSQ胶上制作亚4.5nm线条及PMMA胶上制作精细的11nm线条(四). 专业型电子束光刻设备Voyager: Voyager是一款高性价比采用创新的eWrite体系结构的电子束光刻设备，采用50kV eWrite 电子束技术，应用于8英寸以下基板（可曝光面积6英寸）的高速直写，适合衍射光学元件、防伪元件的加工及化合物半导体器件的高速加工。 HSQ胶上制作亚7nm线条(五). 专业型电子束光刻设备EBPG5150/5200: EBPG5150/5200是一款高自动化的电子束光刻设备，采用100kV EBPG 电子束技术，应用于8英寸以下基板（5150可曝光面积6英寸、5200可曝光面积8英寸）的高深宽比纳米结构曝光、高速电子束直写，适合防伪标识的加工及化合物半导体器件的高速加工。 制作GaAs T型器件及在化合物半导体上的应用(六). 纳米加工和纳米光刻升级配件Elphy: Elphy系列光刻升级配件可以将现有的SEM、SEM-FIB、HIM等聚焦离子束电子束系统升级为纳米光刻和纳米加工设备。

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统，紫外曝光机等；美国公司为全球领先的半导体设备供应商，多年来致力于掩模对准光刻机和匀胶机研发与生产，并且广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域；该公司是目前世界上最早将光刻机商品化的公司之一，拥有雄厚的技术研发力量和设备生产能力；并且其设备被众多著名企业、研发中心、研究所和高校所采用；以优秀的技术、精湛的工艺和良好的服务，赢得了用户的青睐。产地：美国；型号：M-150技术规格：- 掩模尺寸：最大7英寸；- 样品尺寸：最大6英寸；- 卡盘移动：X,Y,Z,Theta轴手动，楔形补偿调平；- 紫外光源：6.25" X 6.25"； - 光源功率：350瓦紫外灯；- 光源均匀性：+/-3%；- 光源365nm波长强度：最大30毫瓦；- 显微镜：双显微镜系统；- 显微镜移动：X,Y,Z轴手动调节；- 显微镜物镜空间：50-150mm；- 标配放大倍率：80X-400X；- 显示器：20" LCD；- 曝光时间：0.1-999秒；- 接触模式：真空接触，硬接触，软接触，接近接触(距离可调)； - 对准精度：1um (Vacuum Contact), 1.5um(Hard Contact), 3um(Soft Contact), 5um(Proximity Mode)；- 电源：220V，单相，15安培；主要特点:- 光源强度可控；- 紫外曝光，深紫外曝光(Option)；- 系统控制：手动、半自动和全自动控制；- 曝光模式：真空接触模式(接触力可调),Proximity接近模式, 投影模式；- 真空吸盘范围可调；- 专利技术：可双面对准，可双面光刻，具有IR和CCD模式 - 双CCD显微镜系统，最大放大1000倍，显示屏直接调节，比传统目镜对准更方便快捷，易于操作。- 特殊的基底卡盘可定做；- 具有楔形补偿功能；

瑞士idonus提出了一种创新的紫外线照明系统，该系统基于大功率LED和高级微透镜阵列的使用。该产品可用于光致抗蚀剂曝光，适用于多种基材。我们完整的UV照明产品线可满足300 mm宽的掩模和晶圆的光刻需求。可以设计定制的解决方案来满足您的特定要求（例如，对掩模对准器进行改造，为将来的产品提供OEM）。LED的好处直到最近，水银弧光灯能够提供适合UV光刻曝光的高强度光的光源。由于LED技术的进步，UV-LED已成为耗能汞灯的极具吸引力的替代品。除了生态和安全方面，与传统的汞灯相比，UV-LED的技术优势众多，并且对光刻具有重要意义。UV-LED的最重要的优点是，它们具有稳定的发射性，使用寿命长。结果，不需要日常校准和维护。此外，通过提高能源效率，LED减少了发热量，从而大大简化了系统冷却。UV-LED技术的好处LED使用寿命长，这意味着不再需要消耗品无需每日校准，即时稳定的照明即时开启，光线仅在曝光期间开启，无需机械快门低功耗有限的加热，这意味着非常低的空气冷却成本没有维护费用紫外线LED曝光系统idonus已经推出了完整的UV-LED曝光产品线。我们的系统将市场上最有效的UV-LED与高级微透镜阵列集成在一起。它们完全组装并在内部进行控制。我们的设计采用全远心光学元件，可在整个曝光区域提供可重复且均匀的照明条件-即高度均匀且稳定的强度，并且发散角很小。这种光学器件可确保整个基板完全均匀地曝光，从而生产出具有笔直侧壁的固化光致抗蚀剂，并具有微米级。应用：光刻曝光纳米压印紫外固化优点：工艺稳定免校准，免维护即时开/关无有害物质，无特殊安全规定

机械耦合传感器习惯上被用来测量振动。尽管如此，一般、持续的朝着小型化的趋势，正提出对测量系统全新的要求，该系统需通过宽的频率范围且以纳米分辨率来测量物体的移动。激光干涉振动计用于对宏观和微观物体的非接触，无反应测量，频率在0-2MHz,分辨率在纳米范围内。这些系统很适合于需要分析难以达到的物体振动的应用程序。LSV激光干涉振动计系列激光干涉振动计的设计是建立在迈克耳孙干涉仪的基础之上的，在它里面，一束相干光纤分离成两个部分的光束：参考光束和测量光束。参考光束有固定的长度。测量光束集中在测量的表面，它的长度由于测量物体的移动而改变。测量光束从被测量物体上反射出以后，两个返回的局部光束相互干涉。它们的相位差与测量物体的位移是相称的，且测量也是可变的。这个测量可以追溯到国际长度标准，因为激光频率充当直线标度。优化的光学粗糙表面激光干涉仪振动计是为测量光学粗糙表面优化了的干涉仪。他们区别于其它长度测量干涉仪的最重要的特征，是它们在测量方位上有一个集中在测量光束上的镜头。从光学粗糙表面上的反射生成一个散斑图。传感头是设计用来确保一个好的信号噪声比，即使当这样一个散斑图产生的时候。测量光束的聚焦把测量范围限制到几个mm，作为表面反射率的一个功能。尽管如此，在振动测试中这通常不是个问题，因为测定的振动幅度通常更小。正常的位移测量也可以在有效的测量范围内进行。氦氖激光器被用来当做长度和振动测量的光源，因为它们的特性例如相干性和频率的稳定性，对于度量衡是至关重要的。串联LSV振动计的测量头，通过光纤电缆耦合保持头相当小地或者免于热辐射。传感头中的考面镜可以调节，以便简化校准和提高性能。LSV系列的新特征是用一个变焦目标来聚焦测量光束，而不是以前传统的定焦镜。这使得测量头和测量点之间的距离领域自由选择在20cm到2m.这可让测量设置中有相当大的灵活性，因此测试仪器可以用于一系列不同的应用。电子估算单元的设计用来处理从测量头接收到的干涉仪信号的氦氖激光器和电子设备被封装在10英寸的估算单元里。信号处理，考面镜和可变输入放大器通过多微机系统和非常快的可编程序逻辑电路来控制。估算单元有一个模块结构，所以测量系统可以通过添加各种各样的信号处理卡灵活适应一个应用程序。两个系列LSV传感头的评估可以封装在一个19英寸的设备中。数据捕捉可以和外部事项同时进行，这通过极短的延迟时间下利用触发脉冲输入完成。这也使得目标的相位响应在一个已知的激发下测量。估算单元可以装备有不同的接口卡以适应预期的目标高速估算卡提供一个USB和一个RS232接口连接到电脑上。还有一个触发输入，外部激发源同步振动测量 。这个估算卡可以用来控制振动计的各种功能，还可以控制最大采样频率1MHz和最大数据块长32768值。用该卡进行交流的应用程序接口对用户来说是可行的。A DLL,一个矩阵实验室图书馆和相应的模块支持整合成独立申请。并行接口卡使得解调的干涉仪信号作为一个数字的平行32位字来利用。 分辨率（字的最低有效位）相当大约0.078nm。平行32位数值在一个很短的潜伏期内有效的，并且可以在扫描速度达4MHz下读出来。这个促进完全可能带宽2MHz的利用。这个情况下，振动分析系统经常提供传感器的模拟输入。模拟接口因此有一个模拟输出，用来整合成这些系统。这使得传统的振动传感器很容易被激光干涉振动计所替代。串联 LSV振动计的动态范围比传统传感器的测量范围要大的多，就像合理支出下模拟分辨率的可实现。映射在模拟输出上的测量范围因而可以在七个阶段选择，以适应不同的应用领域。这个通常用前面板上的旋钮完成，但是范围也可以通过PC界面合适的软件来转换。重置模拟信号的追加输入进一步简化使用，总的来说，模拟接口卡以最大输出率10MHz来提供16位分辨率。尽管各种各样的于激光干涉振动计有效的接口可以结合到几乎每个测量系统中，经验证明大多数应用包含PC软件的单独操作。INFAS-Vibro软件通过USB或RS232接口或与高速并行接口振动计连用的DIO卡。软件使得振动信号呈现出来，保存且处理。记录原始信号使得测量无限制地离线分析。ASCII格式化数据的可配置出口使得初始和预加工能进一步加工处理。为融合进独立的应用中，INFAS Vibro可以由一个简单的TCP-IP协议来控制。无接触机械振动的量测和分析串联LSV激光干涉振动计可以用在机械振动需要无接触地分析和测量的所有领域。它与其他振动测量方法相比的主要优势是它的非接触和无反应操作方式， 以时间范围内小于1纳米的距离分辨能力的大测量范围，通过FFT增加到频率范围小于80微微米。当然，频率范围从0Hz到电流最大2MHz.振动光谱，自然频率和振动模式也可以确定。多坐标测量和微差测量可以再多系统援助下进行。串联LSV振动计的特别说明在真空运行时可能的，但是技术上很复杂。尽管如此，经常可以看到目标通过真空室的一个窗户测量，在真空室内通过外置测量头来测量。这使得真空下测量目标变得简单。激光干涉振动计是对于要求精度，物体非接触测量的所有应用都非常宝贵的工具。非接触操作模式在无需传感器机械影响下，提供不同位置快速分析物体的方法。该系统具有高精度和高分辨率，非常广泛的频率范围等特性。由缩放目标扩大的可变测量范围，评估电子设备的不同接口和综合软件支持，使串联LSV振动计成为生产，质保，研究和发展中一个重要的测量仪器。Worldwide Technology(S.H) Co.,Ltd.WAD (H.K) Co.,LtdTel: Fax: Email:

iAS系列创新型整面曝光机，适用于高端显示、封装基板、先进封装等领域的 Micro-LED 大面积曝光、封装基板大面积曝光和扇出大芯片曝光。

可见光分幅相机（双曝光）● 通道数：4 通道● 画幅数：4画幅& 8画幅● 空间分辨率: 25lp/mm● 光谱响应范围： 350-850nm● 门控宽度：3ns—DC● 门控及延迟调节精度：1ns● 延时调节范围：0-1s● 增强器阴极尺寸：18mm● 增强器最大增益：1*104● 读出面阵： 1932*1452 (4X）4.5um*4.5um 像素● A/D位：12bit● 一体化数据采集软件使用与四分幅相机相同的分光光路，将耦合相机改为双曝光的CCD 相机，可以获得最高八分幅的相机。此种相机结构即可以工作在四分幅模式下，也可以工作在八分幅模式下。四分幅画幅之间最小时间间隔1ns, 八分幅相机的画幅之间第四和第五幅最小时间间隔为250ns（双曝光模式），其余画幅间隔最小1ns。此种工作模式的优势是在减少通道数及硬件成本的基础上得到更多的画幅数。基于4通道八分幅相机的 微秒闪光灯的放电过程测试： 20ns门宽，500ns 画幅间隔分幅相机汇总一览型 号FC-2-S-VISFC-4-S-VISFC-4-D-VISFC-8-S-VISFC-8-D-VIS主要描述2分幅4分幅4分幅双曝光8分幅8分幅双曝光单次画幅数2幅4幅4幅 & 8幅8幅8幅 & 16幅光路2路4路4路8路8路光路实现方式反射平行分光反射分光反射平行分光光瞳分光光瞳分光相机sCMOS2048*2048sCMOS2048*2048双曝光CCD1932*1420sCMOS2048*2048双曝光CCD1932*1420增强器口径18mm18mm18mm18mm18mm荧光屏P43P43P47P43P47最小门宽3ns3ns3ns3ns3ns耦合方式光纤面板光纤面板镜头耦合面板耦合镜头耦合分辨率=30lp/mm=30lp/mm=30lp/mm=30lp/mm=30lp/mm最小固有延迟120ns120ns36.5u+4us120ns36.5us+4usJitter（触发输入与输出）典型值100ps，最大200ps延迟及门控精度Step：1ns最小画幅间隔1ns1ns1-4 & 5-8：1ns4-5：300ns1ns1-4 & 5-8：1ns4-5：300ns