纳米双轴位移台

“55mm 系列”— Linear55-x-Slim (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列纳米级压电位移台Linear55-x-Slim主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 55*55*10.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 2500 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 30 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um纳米级压电位移台Linear55-x-Slim⼆ 维尺⼨ Linear55-x-Slim, SpeciÞ cation*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。 可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 55.× 55 mm × 10.5 mm2 质量130 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 -2 pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程30 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载2500 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程30 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

NanoMax&trade 6轴挠性位移台，纳米定位特性X轴、Y轴和Z轴行程为4 mm(0.16英寸)θx、θy、θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad)公共支点，实现所有旋转自由度，简化对准，减少串扰平行挠性设计，确保平滑连续的运动和长期的稳定性顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准压电选项提供最高1 nm的分辨率高刚度挠性设计：X轴和Z轴：1 N/µ m Y轴：0.5 N/µ m共振频率高：130 Hz(±10%)一体式单移动平台设计所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低模块化设计，便于交换驱动器维护成本低，降低总持有成本Thorlabs的NanoMax&trade 6轴纳米定位挠性位移台非常适合光纤耦合系统，或需要亚微米分辨率的应用。每个装置在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，在θx、θy和θz的行程为6°(105 mrad)，最大负载能力为1 kg(2.2 lbs)。我们提供带或不带预配置压电驱动器、差分或步进电机驱动器的版本。位移台的标称载物台高度为112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度为112.5 mm的5轴位移台套件。我们也提供转接板，用于将3轴和4轴挠性位移台的载物台高度从62.5 mm提升到112.5 mm，从而兼容我们的6轴位移台。平行的挠性设计确保精确平滑的连续运动，摩擦几乎可以忽略。对于复杂的多轴定位应用，平行挠性位移台将三个以上自由度集成在单个小型装置中，明显比按序堆叠位移台的设计具有更好的性能。更多信息，请看设计特性标签。 我们的6轴NanoMax位移台作为功能强大的纳米定位工具还有2个创新点：一是公共旋转支点，二是将所有调节器直接耦合到底座的专利设计，以尽量减少系统中不必要的运动。NanoMax 6轴位移台，带步进电机驱动器预配置DRV208步进电机驱动器，用于自动对准提供内部带闭环或开环的压电元件，或没有压电元件的版本选用的压电驱动器行程为30 µ m模块化设计便于拆卸和更换驱动器所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低Thorlabs带步进电机驱动器的NanoMax 6轴位移台在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，θx、θy和θz(摆动、俯仰和偏转)的行程为6°(105 mrad)。驱动器的双向重复性为5.0 µ m。霍尔效应限位开关提供高重复性，非常适用于电机归位。这一点对于依赖高重复性零点的自动对焦应用很关键。这些位移台重复性高，步进尺寸小，非常适合高精度自动光纤耦合系统或常规应用。附带驱动器的模块化设计便于随时更换；更多详情以及我们所有兼容的驱动器信息，请看驱动标签。每个位移台还包含六根PAA613 3 m延长电线，用于步进电机驱动器。除了以上特性，MAX682(/M)和MAX683(/M) NanoMax位移台分别整合了开环和闭环压电驱动器，行程为30 µ m。开环设计内部没有应变式传感器。压电驱动器X轴、Y轴和Z轴的理论分辨率为1.0 nm，θx、θy和θz旋转轴的理论分辨率为0.018 µ rad。使用闭环系统时会产生反馈回路，适用于补偿所有压电元件固有的滞后、蠕变和温度漂移。这些压电位移台还包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，则为6根PAA622反馈变换器电缆。

Thorlabs 6轴挠性位移台MAX683，纳米定位Thorlabs的NanoMax? 6轴纳米定位挠性位移台采用平行的挠性设计确保精确平滑的连续运动，摩擦几乎可以忽略。对于复杂的多轴定位应用，平行挠性位移台将三个以上自由度集成在单个小型装置中，明显比按序堆叠位移台的设计具有好的性能。非常适合光纤耦合系统，或需要亚微米分辨率的应用。同时我们提供带或不带预配置压电驱动器（开环/闭环）、差分或步进电机驱动器的版本。位移台的标称载物台高度为112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度为112.5 mm的5轴位移台套件。我们也提供转接板，用于将3轴和4轴挠性位移台的载物台高度从62.5 mm提升到112.5 mm，从而兼容我们的NanoMax?6轴位移台。我们的6轴NanoMax位移台作为功能强大的纳米定位工具还有2个创新点：一是公共旋转支点，二是将所有调节器直接耦合到底座的专有设计，以尽量减少系统中不必要的运动。公共旋转点如下图所示，每个NanoMax 6轴位移台在移动平台前都有不锈钢探针，标记所有旋转轴的公共支点。所有旋转轴具有公共支点，可以减少系统的对准时间，因为这样在调整θx、θy和θz时不需要补偿横向运动。如果移动平台开始平移，支点也会相对底座移动，保持支点和移动平台的相对位置。可拆下的不锈钢探针顶部标记了所有旋转轴的公共支点点P是所有三个旋转轴（偏转、俯仰和摆动）的公共支点。Thorlabs NanoMax? 6轴挠性位移台MAX603D，纳米定位精密驱动NanoMax?6轴位移台提供预配置差分测微头驱动器或步进电机驱动器的位移台，即开即用。NanoMax 6轴位移台的模块化设计允许在任何时候拆卸和更换驱动器。驱动器都直接耦合到底座，以尽量减少系统中不必要的运动。这种特性非常适合需要亚微米级分辨率的应用。对于纳米定位应用，我们有内置压电驱动器的版本包括开环和闭环。压电选项开环或闭环的压电选项让这些位移台实现纳米级的分辨率。内置于位移台的压电驱动器具有30 μm的行程，可使用多种开环或闭环压电控制器控制。将这些位移台与NanoTrak控制器(K-Cube、台式或机架系统模块)耦合时，系统具有强大的自对准功能，能够维持光通量，并消除由于热漂移或其它外力引起的耦合效率损耗。这些压电位移台包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，包含6根PAA622反馈变换器电缆。具有开环压电驱动器的位移台没有应变仪位移传感器，非常适合需要定位分辨率低至20 nm的应用。带闭环压电驱动器的版本内部有应变仪位移传感器，可提供与压电元件的位移呈线性比例的反馈电压信号。这种反馈信号将分辨率提高到5 nm，可用于补偿所有压电元件中固有的迟滞、蠕变和热漂移，使这些位移台成为需要纳米级分辨率应用的好的选择。请注意，压电机制利用与测微计驱动器的接触来移动顶部平台。不管出于任何原因，如果位移台在拆除测微计驱动器的情况下工作，必须在压电驱动器运行之前安装盲塞。配件的简易对准我们提供多种配件来安装产品，比如显微物镜、准直器、波导、光纤等更多产品。这些配件可以通过中心键槽在6轴位移台的顶部平台上轻的松实现对准。顶部平台的中心键槽便于快速重新配置系统，同时还能在整个实验中维持配件的对准。Thorlabs NanoMax? 6轴挠性位移台MAX603D，纳米定位产品特性与参数X轴、Y轴和Z轴行程为4 mm(0.16英寸)θx、θy、θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad)公共支点，实现所有旋转自由度，简化对准，减少串扰平行挠性设计，确保平滑连续的运动和长期的稳定性顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准压电选项提供z高1 nm的分辨率高刚度挠性设计： X轴和Z轴：1 N/μm Y轴：0.5 N/μm共振频率高：130 Hz(±10%)一体式单移动平台设计所有调节器都耦合到底座，将串扰降到z低模块化设计，便于交换驱动器维护成本低，降低总持有成本不带驱动器带步进电机驱动器带差分驱动器

仪器简介：If smallest parts or samples have to be moved or positioned with nanometer precision in the millimetre range, nanopositioning systems with piezo inertial drive are used. Very compact actors with appropriate control units are available for rotational and linear movements. The compatibility to each other allows the assembly of multi-axes combinations for complex movements. All the nanopositioning system have a piezo inertialdrive. With a travel in the millimetre range and steos in the nano meter range or with large adjustment range and steps in the &mu rad range, they are suitable for manifold applications. The basic components of the gonimeter are made of high strength aluminium. Due to a black anodized coating, the surface is protected and reflexion-poor. For the mounting of the nanopositioners, the mounting plate NMP 50is recommend. It is available as a ccessory. In order to operate the nanopositioners,the manual control unit NHS06 has to be used. The complete system is pluggable and ready for connection.技术参数：仪器名称,型号/参数行程最小步长最大步长负载 (N)重复定位精度(双向)倾斜力矩(Mx,My,Mz)(Nm)速度 纳米旋转位移台 NDT 24-30无限旋转角度40 &mu rad100&mu radmax.2 max.0.1max.100mrad/s 纳米旋转位移台 NDT 24-30-MSI无限旋转角度40 &mu rad100&mu radmax.240&mu radmax.0.1max.300mrad/s 纳米角度位移台 NAGO P 24－8± 3.3 度2 &mu rad6 &mu radmax.2 max.0.1 纳米角度位移台 NAGO T 24－8± 4度2 &mu rad6 &mu radmax.2 max.0.1 纳米升降位移台 NHV 24－66mm100nm300nmmax.3 max.0.1 纳米升降位移台 NHV 24－6－MSI6mm50nm700nmmax.3400 nmmax.0.1 纳米线性位移台 NLV 24-77mm200nm300nmmax.2 max.0.1max.0.3mm/s 纳米线性位移台 NLV 24-7-MSI7mm50nm700nmmax.2400nmmax.0.1max.0.7mm/s 纳米线性位移台 PT 30-54.8mm300nm800nmmax.30 max.0.5max.0.8mm/s 纳米线性位移台 PT 30-5-MSI4.8mm100nm2000nmmax.30400nmmax.0.5max.2mm/s 主要特点：&bull high power density on little space &bull 纳米量级或&mu rad量级可调 &bull 停止是无摆动或振荡 &bull 由高强度的铝制成，黑色阳极氧化 &bull with ceramic guide for high life time Option &bull version for use in cacuum

室温纳米精度位移台-attoECS 德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商，其生产的位移器以稳定而优异的性能，原子定位精度，纳米位移步长和厘米位移范围受到科学家的肯定和赞誉。attoECS系列纳米位移台在提供高精度位移控制的同时，保证了优异而高的稳定性能，适用于室温、大气到超高真空环境中，负载可达几公斤，行程达到50mm，小步长50nm，配备的光学位移传感器可将位移精度控制到10nm，提供多维度位移功能。attoECS位移台应用领域加速器及同步辐射计量测量学半导体空间科学attoECS位移台特点+ 在厘米的行程范围内，达到纳米高精度位移控制+ 高的机械稳定性+ 位移驱动电压45V，无需高压屏蔽+ 10nm位移精度，+/-200nm位移重复性，0.01% 精度+ 特殊材质，兼容各种光学实验环境和超高真空环境+ 快速样品更换装置设备型号ECS系列纳米位移台ECS系列线性位移器采用闭环（/NUM光栅式反馈）或开环控制，典型单步位移步长为： 50nm。位移范围大为：50mm。位移器尺寸小为：30X30 mm。负载大24Kg。 线性纳米精度位移台型号尺寸mm3(长宽高)步长行程(mm)载重(N)ECSx303030x30 9.550nm2090ECSx3030/NUMECSx304030x40 9.550nm25120ECSx3040/NUMECSx305030x50 9.550nm30150ECSx3050/NUMECSx306030x60 9.550nm35180ECSx3060/NUMECSx307030x70 9.550nm40210ECSx3070/NUMECSx308030x80 9.550nm50240ECSx3080/NUMECSx505050x50 9.550nm30150ECSx5050/NUMECSxy505050x50 16.450nm25x25150ECSxy5050/NUMECSz505050x50 3230nm88ECSz5050/NUMECR系列旋转台ECR系列旋转台技术参数表ECR系列旋转器采用闭环（/NUM光栅式反馈）或开环控制，典型步长为： 0.4m°。可360度连续旋转。旋转台尺寸小为：30 mm × 30 mm。负载大2Kg。 高精度旋转台型号尺寸mm3(长宽高)步长行程 载重(N)ECR3030 30x30 13.50.4m°360度（连续旋转）20ECR3030/NUMECR4040 40x40 14.50.2m°360度（连续旋转）20ECR4040/NUMECR5050hs 50x50 13.50.2m°360度（连续旋转）20ECR5050hs/NUM ECG系列倾角台ECG系列倾角台技术参数表ECG系列倾角台采用闭环（/NUM光栅式反馈）或开环控制，典型步长为： 0.4m°。倾角范围：10°。倾角台尺寸为：50 mm × 50 mm。负载大1000g。 高精度倾角台型号尺寸mm3(长宽高)步长行程载重(N)ECGt505050x50 170.1m°10°10ECGt5050/NUMECGp505050x50 170.1m°10°10ECGp5050/NUM应用案例■ attocube纳米位移台在大尺寸昆虫自然色三维高分辨率成像的应用 关键词：高分辨三维成像； 纳米精度位移台； C-SIM高分辨率三维成像技术在生物领域已经有非常多的应用。然而，当研究大型标本时，如厘米大小的昆虫，现有的三维成像工具往往非常耗时。此外，大多数3D成像系统无法得到标本的自然颜色信息。为了突破现有3D成像的局限性，中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术重点实验室姚保利课题组出了一种基于结构照明的方法，能够提供大的视场三维图像方法。采用这种方法，获得了580nm横向分辨率的自然彩色全尺寸昆虫的三维图像和三维形态数据。这种方法提供了一种很有前景的方法，可以用在不同类型的昆虫学研究，包括分类学、进化学、仿生学，发育生物学、功能形态学、古生物学、林业等。实验采用全新设计的彩色结构化照明显微镜（C-SIM），C-SIM中集成了德国attocube 的纳米精度位移台ECS3040（行程为25mm，分辨率1nm，精度50nm），这也是能够得到纳米分辨率的三维全彩图像的关键。 两种中华虎的三维成像结果 参考文献Vol. 27, No. 4 | 18 Feb 2019 | OPTICS EXPRESS 4845用户单位attocube公司产品以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了130多位低温强磁场显微镜用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎......国内部分用户北京大学中国科技大学中科院物理所中科院武汉数学物理所中科院上海应用技术物理研究所复旦大学清华大学南京大学中科院半导体所上海同步辐射中心北京理工大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所… … 国外部分用户

低温mK纳米精度位移台德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造公司。拥有20多年的高精度低温纳米位移台的研发和生产经验。公司已经为全科学家提供了5000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和扫描器。德国attocube公司的位移器以稳定而优异的性能，原子的定位精度，纳米位移步长和厘米位移范围受到科学家的肯定和赞誉。产品广泛应用于普通大气环境和端环境中，包括超高环境(5E-11mbar)、低温环境（10mK）和强磁场中（31Tesla）。德国attocube公司一直以来保持与科学家的亲密合作关系，不断为量子光学领域提供新的实验平台来保证科学家们进行具有突破性的研究。近期重磅推出了适用于低温mK温区的铍铜材质纳米位移台。mK位移台应用领域表面科学磁/电学输运测量微腔光学量子光学适用于稀释制冷机的终解放方案mK位移台技术优势 当步进到制定位置后，施加在压电陶瓷上的电压变为0V，因此不存在由于外加电信号而产生噪音或飘逸问题； 驱动定位器所需要的电压一般较低（60V或150V），因此不需要进行高压屏蔽，很多低压中使用的电缆和接口都可以在这里使用； Attocube位移器可以同时作为粗逼近装置和精细扫描头使用，因此大的提高了设备的稳定性和结构的紧凑性 Attocube mK位移器采用铍铜（BeCu）材质，在端温度下会有更高的热导性和稳定性而且不会产生额外的磁场影响测量信号mK位移台基本参数 工作温度范围：10mK - 373K 工作磁场环境：0 - 31Tesla 工作环境：大气 - 5E-11mbar 闭环位移控制精度：1nm 负载重量：大可到2Kg 大位移范围：50mm 位移器小尺寸：11X11mm应用案例■ Attocube mK纳米位移台在分数量子霍尔效应区的非线性光学中的应用关键词：量子霍尔效应；四波混频；化激元设计光学光子之间的强相互作用是量子科学的一项重要挑战。来自瑞士苏黎世联邦理工学院（Institute of Quantum Electronics, ETH Zürich, Zürich,）的研究团队报告了在光学腔中嵌入一个二维电子系统的时间分辨四波混频实验，证明当电子初始处于分数量子霍尔态时，化激元间的相互作用会显著增强。此外，激子-电子相互作用导致化子-化激元的生成，还对增强系统非线性光学响应发挥重要作用。该研究有助于促进强相互作用光子系统的实现。（https://doi.org/10.1038/s41586-019-1356-3）值得指出的是，该实验在温度低于100mK的环境下进行，使用了德国attocube公司的低温mK环境适用纳米精度位移台来实现物镜的移动和聚焦。参考文献Knüppel, P., Ravets, S., Kroner, M. et al. Nonlinear optics in the fractional quantum Hall regime. Nature 572, 91–94 (2019). ■ Attocube mK纳米位移台在二维铁磁材料研究中的应用关键词：二维铁磁材料； 低温纳米精度位移台； 反铁磁态；二次谐波近年来，二维磁性材料在国际上成为备受关注的研究热点。近日，中国与美国的研究团队合作，在二维磁性材料双层三碘化铬中观测到源于层间反铁磁结构的非互易二次谐波非线性光学响应，并揭示了三碘化铬中层间反铁磁耦合与范德瓦尔斯堆叠结构的关联。研究团队同时发现，双层反铁磁三碘化铬的二次谐波信号相比于过去已知的磁致二次谐波信号（例如氧化铬Cr2O3），在响应系数上有三个以上数量的提升，比常规铁磁界面产生的二次谐波更是高出十个数量。利用这一强烈的二次谐波信号，团队得以揭示双层三碘化铬的原胞层堆叠结构的对称性。运用光学二次谐波这一方法来探测二维磁性材料的磁结构与相关特性是此实验的关键。团队利用自主研发搭建了的无液氦可变温强磁场显微光学扫描成像系统，完成了关键数据的探测。（https://doi.org/10.1038/s41586-019-1445-3）值得指出的是，该无液氦可变温强磁场显微光学扫描成像系统采用的是德国attocube公司的低温强磁场纳米精度位移台和低温扫描台来来实现样品的位移和扫描。德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商。公司已经为全科学家生产了4000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和纳米精度扫描器。参考文献Sun, Z., Yi, Y., Song, T. et al. Giant nonreciprocal second-harmonic generation from antiferromagnetic bilayer CrI3. Nature 572, 497–501 (2019). ■ Attocube mK旋转台在石墨烯摩尔超晶格可调超导特性研究中的应用关键词：石墨烯；超晶格；高温超导高温超导性机制是凝聚态物理领域世纪性的课题。这种超导性被认为会在以Hubbard模型描述的掺杂莫特缘体中出现。近期，来自美国和中国的国际科研团队合作在nature上发表文章报道了在ABC-三层石墨烯（TLG）以及六方氮化硼（hBN）摩尔超晶格中发现可调超导性特征。研究人员通过施加垂直位移场，发现ABC-TLG/hBN超晶格在20开尔文的温度下表现出莫特缘态。进一步冷却操作发现，在温度低于1K的时候，该异质结的超导的特特性开始出现。通过进一步调控垂直位移场，研究人员还成功实现了超导体-莫特缘体-金属相的转变。电学输运工作的测量是在进行仔细的信号筛选后，在本底温度为40mK的稀释制冷剂内进行的。值得指出的是，样品的面内测量需要保证样品方向与磁场方向平行，这必须要求能够在低温（40mK）环境下能够良好工作工作的旋转台来移动样品，确保样品与磁场方向平行。实验中使用了德国attocube公司的mK纳米精度旋转台。Attocube公司能够提供水平和竖直方向的旋转台，实现使样品与单轴线管的超导磁场方向的夹角调整为任意角度。通过电学输运结果，证实了样品中存在的超导与Mott缘体与金属态的转变（结果如图所示），证明了三层石墨烯/氮化硼的超晶格为超导理论模型（Habbard model）以及与之相关的反常超导性质与新奇电子态的研究提供了模型系统。 ABC-TLG/hBN的超导性图左低温双轴旋转台；图右下：石墨烯/氮化硼异质节的超导性测量测试结果，样品通过attocube的mK适用旋转台旋转后方向与磁场方向平行参考文献Guorui CHEN et al, “Signatures of tunable superconductivity in a trilayer graphene moiré superlattice” Nature, 572, 215-219 (2019)■ Attocube 低温位移台在NV center在加压凝聚态系统中的量子传感中的应用关键词：NV色心；量子传感器压力引起的影响包括平面内部性质变化与量子力学相转变。由于高压仪器内产生巨大的压力梯度，例如金刚石腔，常用的光谱测量技术受到限制。为了解决这一难题，一个新奇的纳米尺度传感器被三个课题组研发，三个团队分别为巴黎十一大学，香港中文大学和加州伯克利大学。研究者把量子自旋缺陷集成到金刚石压腔中来探测端压力和温度下的微小信号，空间分辨率不受到衍射限限制。为此，加州伯克利大学团队使用与光学平台高度集成的闭循环德国attocube公司的attoDRY800低温恒温器来进行试验，attoDRY800中集成了attocube公司的低温纳米精度位移台，以此来实现快速并且控制金刚石压强的移动以及测量实验。参考文献[1] S. Hsieh et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1349~1354 (2019) ；[2] M. Lesik, et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1359~1362 (2019)；[3] K. Yau Yip et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1355~1359 (2019).■ Attocube mK位移台在外加磁场和电场的加速化子中的应用人们普遍认为光子不能用电场或磁场操纵。尽管光子与电子化的杂化形成激子化子为在半导体微腔中进行了许多开创性的实验，这些微腔的中性玻色子性质准粒子严重限制了它们对外部规范场的响应。近，来自瑞士苏黎世联邦理工大学（ETH Zürich）Prof. Atac Imamoglu课题组展示了在非微扰耦合下的外电场和磁场加速化子和流动电子形成的新准粒子，称为化子。值得注意的是，我们还观察到化子的不同化成分可以当电子处于π1整数量子霍尔态时，能够在相反方向被加速。下图展示了其实验装置光路示意图和k | |=0处的对应光谱，x轴代表面内动量k |，y轴代表能量E，时间演化由激子腔失谐给出。 值得指出的是，值得指出的是，该实验在温度低于100mK的环境下进行，其使用了德国attocube公司的低温mK环境适用纳米精度位移台来实现样品的移动和聚焦。参考文献Chervy T , Knüppel, Patrick, Abbaspour H , et al. Accelerating Polaritons with External Electric and Magnetic Fields[J]. 2019.■ Attocube mK位移台在材料输运性质随磁场角度的变化研究中的应用 北京大学量子材料科学中心林熙课题组成功研制出基于attocube低温mK位移台研制的低温强磁场下的样品旋转台，用于测量材料的输运性质随磁场角度的变化研究。基本参数：旋转台型号: Attocube ANR101/RES系统环境温度: 20 mK电学测量温度: 22 mK旋转角度范围: -10°~90°实现角度分辨率:0.1°该系统是基于Leiden CF-CS81-600稀释制冷机系统的一个插杆，插杆的直径为81mm，attocube的mK位移台通过一个自制的转接片连接到插杆上，如图1所示，位于磁场中心的样品台的尺寸为5mm*5mm，系统磁场强度为10T。系统的制冷功率为340μW@120mK，得益于attocube低温位移台低的发热功率及工作时非常小的漏电流，使得旋转台能够很好的在＜200mK的温度下工作（工作参数：60V，4Hz, 300nF）。 图1. 实现的旋转示意图和ANR101装配好的实物图图2. 侧视图，电学测量的12对双绞线从旋转台的中心孔穿过 图3中是一个GaAs/AlGaAs样品在不同角度下测试结果，每一个出现小电导率的点，代表着不同的填充因子。很好的验证了其实验方案的可行性和稳定性。图3. Shubnikov–de Haas Oscillation at T = 100 mK 参考文献Rev. Sci. Instrum. 90, 023905 (2019)发表文章[1] P. Knüppel et al. Nonlinear optics in the fractional quantum Hall regime. Nature 572, 91 (2019). [2] C.T. Nguyen et al. An integrated nanophotonic quantum register based on silicon-vacancy spins in diamond. Phys. Rev. B 100, 165428 (2019).[3] P. Wang et al. Piezo-driven sample rotation system with ultra-low electron temperature. Rev. Sci. Instrum. 90, 023905 (2019). [4] G. Chen et al. Signatures of tunable superconductivity in a trilayer graphene moiré superlattice. Nature 572, 215 (2019). [5] S. Guiducci et al. Full electrostatic control of quantum interference in an extended trenched Josephson junction. Phys. Rev. B 99, 235419 (2019).[6] S. Ravets et al. Polaron polaritons in the integer and fractional quantum Hall regimes. Phys. Rev. Lett. 120, 057401 (2018).[7] L. Bours et al. Manipulating quantum Hall edge channels in graphene through scanning gate microscopy. Phys. Rev. B 96, 195423 (2017)[8] K. Yasuda et al. Quantized chiral edge conduction on domain walls of a magnetic topological insulator. Science 358, 1311 (2017).[9] A. M. Nikitin et al. Superconducting and ferromagnetic phase diagram of UCoGe probed by thermal expansion. Phys. Rev. B 95, 115151 (2017).[10] Y. Pan et al. Rotational symmetry breaking in the topological superconductor SrxBi2Se3 probed by upper-critical field experiments. Sci. Rep. 6, 28632 (2016).[11] G. Zhang et al. Global and local superconductivity in boron-doped granular diamond. Adv. Mater. 26, 2034, (2014).[12] M. Timmermans et al. Observing vortex motion on NbSe2 with STM. Physica C 503, 154 (2014).[13] M. Timmermans et al. Dynamic visualization of nanoscale vortex orbits. ACS Nano 8, 2782 (2014).[14] M. Pelliccione et al. Design of a scanning gate microscope in a cryogen-free dilution refrigerator. Rev. Sci. Instrum. 84, 033703 (2013)用户单位attocube纳米精度位移器以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了4000多位用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎......国内部分用户国外部分用户

德国PI压电纳米位移台应用领域扫描显微镜测量技术测试程序和质量保证光子光纤定位带电容式传感器，实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。自动配置和快速部件更换机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。零间隙柔性铰链导向带来高导向精度柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对振动和冲击不敏感。它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。直接位置测量带来最大精度运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现优异的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

德国PI六轴六足纳米位移台 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91六轴六足位移台六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小，用于全天候应用的重型精密轴承。绝对编码器绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。六轴六足位移台无刷直流电机(BLDC)无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行，因此能够实现较长的使用寿命。六轴六足位移台应用领域科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。 科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。

压电纳米定位台是一款三维运动的压电平 台，行程可高达 100μm，适用于小型样品的三维纳米定位应用。产品特点■ 高速响应■ 压电陶瓷驱动■ 较高的重复定位精度■ 纳米级位移分辨率■ 机体材料为铝合金■ 具有开环和闭环两种控制方式■ 采用数控、线切割等加工工艺，严格保证结构精度■ 采用计算机有限元仿真分析等现代设计方案设计微动结构■ 采用精机的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力

高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台产品负责人：姓名：李工(Maple)电话：（微信同号）邮箱： 昊量光电推出全新一代高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台，在保证纳米级精度（双向线性可重复性30nm）的前提下可以达到80kG（可选）的中心负载。 10 多年来，ALIO 一直专注于纳米精密运动和可重复性。由 ALIO 引入的 Nano Point Precision™ 6-D 和 True Nano™ 概念现已被 NIST 采用，并被认为是未来运动系统测量和量化的标准方法。 Nano Point Precision 6-D 包括移动工作台的所有 6 个误差自由度：它允许您根据精确点（在 3D 空间中）指示“精度数字”，并用于许多应用，从激光处理到计量。ALIO 生产一系列线性运动控制解决方案，这些解决方案的设计和制造符合可保证其性能的标准。该公司的机械轴承台可以以任何空气轴承台无法复制的精度水平运行。 在用户群体中，ALIO 提供了超精确且具有成本效益的运动控制解决方案，即使对于苛刻的应用也是如此。该公司由一支无与伦比的杰出工程师团队组成，他们痴迷于纳米级运动控制，并尽可能突破感知界限。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 带有交叉滚子轴承的整体式 XY 系统 凭借纳米直线度和纳米平面度，您可以放心，您的精度是 True Nano。该系列位移台还提供中间开口和 50 毫米至 450 毫米的行程。标准的双向可重复性小于 50 纳米，但对于更苛刻的计量和生产需求，可以提供双向可重复性为 10 纳米配置（可选）。 纳米精度由 NIST 可追溯数据保证，而不是由数据表中指示的数字保证。 也可提供不对称版本（不同的 X 和 Y 行程）。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 带有伺服电机 CM的直线工作台 由 ALIO 设计的带有伺服电机的直线工作台是希望在不牺牲 True Nano 精度的情况下限制成本的客户的理想解决方案。带有 CM 伺服电机的工作台仍然具有 ALIO 6-D 精度，但由于力较小，它们适用于所有需要低水平加速度和力的应用。该系列中的板使用集成在其他 ALIO 产品中的相同精密防滑轴承。可提供从 25 毫米到 400 毫米的行程。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 定制化需求 ALIO 真正定制其核心运动控制解决方案的能力使其与替代解决方案提供商区别开来，通过精确匹配 OEM 客户的需求以及推动纳米精密应用的极限，提供显着的附加值。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 详细参数请下载数据单

ANP系列 低温强磁场纳米精度位移台德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商。公司已经为全科学家生产了4000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和扫描器。德国attocube公司的位移器以稳定而优异的性能，原子定位精度，纳米位移步长和厘米位移范围受到科学家的肯定和赞誉。产品广泛应用于普通大气环境和端环境中，包括超高环境(5E-11mbar)、低温环境（10mK）和强磁场中（31Tesla）。 产品特点与技术优势：当步进到制定位置后，施加在压电陶瓷上的电压变为0V，因此不存在由于外加电信号而产生噪音或飘逸问题；驱动定位器所需要的电压一般较低（60V或150V），因此不需要进行高压屏蔽，很多低压中使用的电缆和接口都可以在这里使用；Attocube定位器可以同时作为粗逼近装置和精细扫描头使用，因此大的提高了设备的稳定性和结构的紧凑性。基本参数： 工作温度范围：10mK - 373K 工作磁场环境：0 - 31Tesla 工作环境：大气 - 5E-11mbar 闭环位移控制精度：1nm 负载重量：大可到2Kg 大位移范围：50mm 位移器小尺寸：11X11mm ANP系列线性位移器采用闭环（/RES电阻式反馈与/NUM光栅式反馈）或开环控制，典型单步位移步长为：室温300K下，50nm；低温4K下，10 nm。位移范围大为：20mm，位移器尺寸小为：11mm。负载大2000g。ANP系列线性位移台技术参数表 线性纳米精度位移台型号尺寸mm3(长宽高)步长行程(mm)载重(N)ANPz30?11 1250nm@300K 10nm@4K2.50.1ANPx5115x15 9.250nm@300K 10nm@4K30.25ANPx51/RESANPx51/NUM+ANPz5115x15 13.550nm@300K 10nm@4K2.50.5ANPz51/RESANPz51/NUM+ANPz51eXT15x15 1750nm@300K 10nm@4K60.5ANPz51eXT/RESANPx10124x24 1150nm@300K 10nm@4K51ANPx101/RESANPx101/NUM+ANPz10124x24 2050nm@300K 10nm@4K52ANPz101/RESANPz101/NUM+ANPz101eXT1224x24 3250nm@300K 10nm@4K122ANPz101eXT12/RESANPz101eXT12/NUM+ANPz10224x24 2750nm@300K 10nm@4K52ANPz102/RESANPx31130x30 10100nm@300K 20nm@4K620ANPx101/RESANPx32140x41.6 11.5100nm@300K 20nm@4K1520ANPx321/RESANPx321/NUM+ANPx34140x45 11.5100nm@300K 20nm@4K2020国内部分用户名单（排名不分先后）attocube纳米精度位移器以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了4000多位用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎......北京大学清华大学中国科技大学南京大学中科院物理所中科院半导体所中科院武汉数学物理所上海同步辐射中心中科院上海应用技术物理研究所北京理工大学复旦大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……

产品描述PS3100-300UA系列为XYZ轴运动纳米位移台。XYZ轴设计为300微米大行程运动双向运动，方便样品移动，可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。由于FEA的优化这款平台提供动态性能和出色的引导精度。 即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以实现这一点。 本系列系列专为大承载动态应用领域设计。压电平台由集成在带有内部杠杆传动装置的壳体中的执行器组成。 压电平台通过四个对角孔固定在基板上。特别注意因平台为XY叠加结构，压电平台的固定孔为最下端的压电平台，切勿锁定上方的运动平台，否则导致柔性机构的损坏。产品特性—XYZ位移300μmx300μmx80μm（闭环）—多种负载安装孔位—大承载设计—XY双向驱动带来更高动态特性选配功能—可定制孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—4通道驱动控制应用领域—精密加工领域—测量、计量—光学镜片调整与对准—图像处理与扫描 结构原理 堆叠形式 典型应用PS3L100-300UA系列技术参数

FeaturesHigh speed, direct driveTwo or three axis motion50 μm or 75 μm ranges of motionLarge apertureLarge load capacityClosed loop controlTypical ApplicationsFast multi-axis scanningOptical trap calibrationParticle trackingProduct DescriptionThe Nano-PDQ Series are high speed multi-axis precision nanopositioning systems. The Nano-PDQ Series offers a compact footprint with a large center aperture while still offering fast performance and a resonant frequency greater than 2kHz. The Nano-PDQ Series are ideal for applications that demand high scan rates or large load capacities. When used with the Nano-Drive® 85 controller (model numbers with the HS suffix) step response times down to 2 milliseconds are achievable, nearly 10 times the speed of comparable systems! The Nano-PDQ Series features parallel, uncoupled motion in up to three axes and fully integrated position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology to provide absolute, repeatable position measurement and picometer accuracy under closed loop control. Another system to consider: The new low profile Nano-LPQ has similar 3-axis, high speed positioning performance but is sized to be more convenient when used on inverted research microscopes.Compatible Software Packages: Technical SpecificationsRange of motion (X)50 μm/75 μmRange of motion (Y)50 μm/75 μmRange of motion (Z)50 μmResolution (50/75 μm)0.1/0.15 nmResonant Frequency (X)2.5 kHz ±20%Resonant Frequency (Y)1.5 kHz ±20%Resonant Frequency (Z)1.0 kHz ±20%Scanning Speedup to 400 HzStiffness3.0 N/μmθ roll, θ pitch (typical)≤1 μradθ yaw (typical)≤3 μradRecommended max. load (horizontal)*0.5 kgRecommended max. load (vertical)*0.2 kgBody MaterialAl, Invar or TitaniumControllerNano-Drive® /Nano-Drive® 85* Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-PDQ Series Drawing (2 Axis)Nano-PDQ Series Drawing (3 Axis)Nano-PDQ Series Catalog PagesRelated ProductsNano-LPQNano-MET SeriesNano-Z50HSNano-T SeriesNano-Max50Nano-View® SeriesNano-View® /M SeriesMicroStage SeriesManual MicroStage SeriesManual MicroStage-LT SeriesAccessoriesNano-Drive® /Nano-Drive® 85

FeaturesEconomical multi-axis nanopositionerTwo or three axis motion100 μm or 200 μm XY ranges of motion20 μm or 50 μm Z range of motionLarge apertureClosed loop controlTypical ApplicationsMulti-axis alignmentFluorescence imagingClosed-loop AFM scannerSuper resolution microscopy Product DescriptionThe Nano-T Series are economical, multi-axis nanopositioning systems which are available in a variety of configurations. The Nano-T Series have up to 200 microns range of motion in X and Y, and up to 50 microns in Z. The large center aperture accomodates lenses and probes without compromising performance. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology provide absolute, repeatable position measurement and picometer accuracy under closed loop control. The Nano-T Series is well suited to applications in which precise positioning is required but the overall stage height is not critical. If extremely low profile systems are required, both the Nano-Bio2 and the Nano-LP Series should be considered.Compatible Software Packages: Technical SpecificationsRange of motion (X, Y)100 μm/200 μmRange of motion (Z)20 μm/50 μmResolution XY (100/200 μm)0.2/0.4 nmResolution Z (20/50 μm)0.04/0.1 nmResonant FrequenciesX axis (100/200 μm)450/400 Hz ±20%Y axis (100/200 μm)250/200 Hz ±20%Z axis (20/50 μm)450/350 Hz ±20%Stiffness1.0 N/μmθ roll, θ pitch (typical)≤1 μradθ yaw (typical)≤3 μradRecommended max. load (horizontal)*0.5 kgRecommended max. load (vertical)*0.2 kgBody MaterialAl or InvarControllerNano-Drive® * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-T Series (2 Axis) DrawingNano-T Series (3 Axis) DrawingNano-T Series Catalog PagesRelated ProductsNano-LP SeriesNano-LPS SeriesNano-Bio SeriesNano-BioS SeriesNano-PDQ SeriesNano-H SeriesNano-Max50Nano-F3DNano-SPM200AccessoriesNano-Drive®

产品描述X轴纳米定位线性位移台是基于压电控制的线性位移台，行程包括12/30/45/60μm及可定制其他行程版本，本系列产品包含X、XY可供用户选择。该压电纳米定位器是我们高速产品线的一部分（可提供大功率控制器，进行高速运动）。二维产品型号为PS2H45-xx。PS1H45系列压电纳米位移台采用高可靠多层低压压电叠堆陶瓷作为驱动元件，利用有限元优化的固态挠性导向系统可确保完美的平移运动。平台采用了无摩擦柔性机构，压电位移台无需维护，无磨损，并具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪，快速步进或连续扫描等。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上，请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会损坏位移台。产品特性—高速运动、直接驱动—设计小巧紧凑PS1H45系列技术参数—闭环控制—可堆叠进行XY运动选配功能—可定制转接工装—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可组维、可定制其他行程应用领域—扫描显微镜、光纤端面检测—干涉仪、测量技术、3D锡膏检测—光子、光纤定位、干涉—纳米光刻、纳米定位、电化学加工 结构原理 高速响应 典型应用PS1H45系列技术参数

FeaturesAperture for microscopy: 2" x 2"Two axis motion100 μm or 50 μm ranges of motionCompact sizeEconomicalClosed loop controlTypical ApplicationsOptical microscopyAFMFluorescence imagingOptical trappingProduct DescriptionThe Nano-H Series is a compact 2-axis positioning stage which provides excellent positioning performance at an economical price. The large center aperture makes the Nano-H Series ideal for applications requiring transmitted beams, or the mounting of bulky components such as multiple fibers, optics, and metrology probes. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology provide absolute, repeatable position measurement and picometer accuracy when operated with the Nano-Drive® controller. The Nano-H Series is available in and can be constructed from aluminum, invar or titanium.Compatible Software Packages: Technical SpecificationsRange of motion (Nano-H100)100 μm x 100 μmRange of motion (Nano-H50)50 μm x 50 μmResolution (Nano-H100)0.2 nmResolution (Nano-H50)0.1 nmResonant Frequency (X)500 Hz ±20%Resonant Frequency (Y)250 Hz ±20%Stiffness1.0 N/μmθ roll, θ pitch (typical)≤1 μradθ yaw (typical)≤3 μradRecommended max. load (horizontal)*0.5 kgRecommended max. load (vertical)*0.2 kgBody MaterialAl, Invar or TitaniumControllerNano-Drive® * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-H Series DrawingNano-H Series Catalog PagesRelated ProductsNano-Bio SeriesNano-BioS SeriesNano-T SeriesNano-PDQ SeriesNano-Max50Nano-SPM200AccessoriesNano-Drive® MadPLL® Instrumentation for AFM/NSOM

FeaturesLowest profile 2-axis nanopositioner availableLarge aperture50 μm x 50 μm, 100 μm x 100 μm, 200 μm x 200 μm, or 300 μm x 300 μm ranges of motionClosed loop controlHigh stabilityTypical ApplicationsOptical microscopy, easy to retrofitFluorescence imagingClosed-loop AFM scannerNanolithographyOptical tweezersSuper resolution microscopy Product DescriptionThe Nano-Bio Series are ultra low profile, two axis nanopositioning systems. The low profile design allows the Nano-Bio Series to be easily integrated into existing inverted microscopes, AFMs and other instrumentation where space is limited. The large center aperture allows the Nano-Bio to accommodate the lenses of all major microscope manufacturers. The Nano-Bio Series includes internal position sensors with proprietary PicoQ® technology to provide absolute, repeatable position measurement and picometer accuracy under closed loop feedback control. The Nano-Bio100, Nano-Bio200, and Nano-Bio300 are constructed from aluminum and are ideal for optical microscopy. The invar Nano-Bio2M has increased thermal stability, reduced overall size, and is an easily implemented closed-loop scanner upgrade for instruments using Veeco NanoScope controllers (needs a Nano-Drive® controller with the AR-10 option). See the Nano-LP Series for a low profile, 3-axis nanopositioning system.Compatible Software Packages: Nano-Bio200 Position Noise SpectrumTechnical SpecificationsRange of motion (Nano-Bio2M)50 μm x 50 μmRange of motion (Nano-Bio100)100 μm x 100 μmRange of motion (Nano-Bio200)200 μm x 200 μmRange of motion (Nano-Bio300)300 μm x 300 μmResolution (50/100/200/300 μm)0.1/0.2/0.4/0.6 nmResonant Frequencies (Nano-Bio100, Nano-Bio200, and Nano-Bio300)X axis (100/200/300 μm)450/400/260 Hz ±20%Y axis (100/200/300 μm)350/300/200 Hz ±20%Resonant Frequencies (Nano-Bio2M)X axis500 Hz ±20%Y axis400 Hz ±20%Stiffness1.0 N/μmθ roll, θ pitch (typical)≤1 μradθ yaw (typical)≤3 μradRecommended max. load (horizontal)*0.5 kgRecommended max. load (vertical)*0.2 kgBody MaterialAl (all models), Invar or Titanium (100 or 200μm only)ControllerNano-Drive® * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-Bio100, Nano-Bio200, and Nano-Bio300 Drawing Bio-2M DrawingNano-Bio Series Catalog PagesRelated ProductsNano-BioS SeriesNano-LP SeriesNano-LPS SeriesNano-LPQNano-PDQ SeriesNano-Max50Nano-H SeriesNano-T SeriesNano-View® SeriesNano-View® /M SeriesMicroStage SeriesManual MicroStage SeriesManual MicroStage-LT SeriesAccessoriesNano-Drive®

FeaturesLowest profile 2-axis nanopositioner availableLarge rectangular aperture for slides100 μm x 100 μm, 200 μm x 200 μm, or 300 μm x 300 μm ranges of motionClosed loop controlHigh stabilityTypical ApplicationsAperture sized for 3 inch slidesOptical microscopy, easy to retrofitFluorescence imagingClosed-loop AFM scannerNanolithographyOptical tweezersSuper resolution microscopy Product DescriptionLike the popular Nano-Bio Series, the new Nano-BioS Series are ultra low profile, two axis nanopositioning systems designed to be easily integrated into existing inverted microscopes, AFM’s and other instrumentation where space is limited. The large, rectangular center aperture allows the Nano-BioS to hold re-entrant sample holders for standard 3 inch slides and other similar sized biological samples such as Lab-Tek chamber slides. The Nano-BioS Series stages include internal position sensors with proprietary PicoQ® technology to provide absolute, repeatable position measurement and picometer resolution under closed loop feedback control. The Nano-BioS stages are constructed from anodized aluminum and are offered in three ranges of motion: 100μm, 200μm, and 300μm. If motion in all three axes is needed, the Nano-LPS Series is a similar sized microscopy stage which is also able to move in the Z-axis for focusing operations. See the Nano-LPS Series for a low profile, 3-axis nanopositioning system.See the accessories page for Nano-BioS Series compatible accessories.Compatible Software Packages: Technical SpecificationsRange of motion (Nano-BioS100)100 μm x 100 μmRange of motion (Nano-BioS200)200 μm x 200 μmRange of motion (Nano-BioS300)300 μm x 300 μmResolution (100/200/300 μm)0.2/0.4/0.6 nmResonant FrequenciesX axis (100/200/300 μm)400/350/300 Hz ±20%Y axis (100/200/300 μm)280/230/180 Hz ±20%Stiffness1.0 N/μmθ roll, θ pitch (typical)≤1 μradθ yaw (typical)≤3 μradRecommended max. load (horizontal)*0.5 kgRecommended max. load (vertical)*0.2 kgBody MaterialAl (all models), Invar or Titanium (100 or 200μm only)ControllerNano-Drive® * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-BioS Series DrawingNano-BioS Series Catalog PagesRelated ProductsNano-Bio SeriesNano-LP SeriesNano-LPS SeriesNano-LPQNano-Max50Nano-H SeriesNano-T SeriesNano-View® SeriesNano-View® /M SeriesMicroStage SeriesManual MicroStage SeriesManual MicroStage-LT SeriesAccessoriesNano-Drive® Cyto-Lite™ Laser

产品描述PS2H30-005U系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供的多功能性，可以配置XY或XYZ运动，并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。体积小，外形尺寸仅有30x30x30mm，具有高谐振频率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。PS2H30-005U系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。产品特性—高速1ms响应，多轴定位—最短的响应时间—亚纳米范围内的高分辨率—高度紧凑的设计带来卓越的性能选配功能—可定制孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可提供XYZ版本应用领域—原子力显微镜、扫描探针显微镜—测量、计量—光学探针、光学扫描、光束对准—微流体技术 结构原理 位移特性 典型应用PS2H30-005U系列技术参数

FeaturesHigh speed, multi-axis2 and 3 axis configurationsClosed loop controlUltra-low noise performancePicometer positioning resolutionHigh stabilityTypical ApplicationsHigh speed, high resolution positioningMetrologyAFMSPMProduct DescriptionThe Nano-MET2 and Nano-MET3 are ultra-low noise, high precision nanopositioning systems with picometer positioning resolution. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology provide absolute, repeatable position measurement under closed loop control. The ultra-low position noise (4 picometers/Hz in XY and 400 femtometers/√Hz in Z) of these nanopositioning systems make them ideal for demanding metrology applications. With a resonant frequency of 13.5kHz, the z-axis of the Nano-MET3 offers ultra-fast response needed for demanding AFM applications. Related products include the Nano-METZ, Nano-MET10 and Nano-MET20 nanopositioning systems.Technical SpecificationsRange of motion (XY)75 μmRange of motion (Z)5 μmResolution (XY)0.15 nmResolution (Z)0.005 nmResonant Frequency (XY, Nano-MET2)1.4 kHzResonant Frequency (XY, Nano-MET3))1.0 kHzResonant Frequency (Z, Nano-MET3)13.5 kHzRecommended max. load (horizontal)*100 gRecommended max. load (vertical)*100gBody MaterialAluminumControllerNano-Drive® * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Position Noise SpectrumThe Nano-MET Series demonstrates less than 4 picometers of position noise on X and Y and less than 400 femtometers of position noise on Z. Click below to enlarge and view the data for each axis.X-AxisY-AxisZ-AxisAdditional InformationNano-MET2 Drawing (2 Axis)Nano-MET3 Drawing (3 Axis)Nano-MET Series Catalog PagesRelated ProductsNano-LPQNano-PDQ SeriesNano-METZNano-MET10 and Nano-MET20AccessoriesNano-Drive®

FeaturesHigh speed, multi-axisXY and XYZ configurationsZ-axis step response time down to 2msZ-axis scans up to 300 HzClosed loop controlPicometer positioning resolutionHigh stabilityTypical ApplicationsHigh speed, high resolution positioningMetrologyAFMSPMProduct DescriptionThe Nano-HS Series is a high speed, multi-axis, precision nanopositioning system with picometer positioning resolution. Offering maximum versatility, the Nano-HS can be configured to provide XY or XYZ motion. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology provide absolute, repeatable position measurement under closed loop control. The compact footprint, ultra-low noise characteristics, and a Z-axis resonant frequency of 5kHz make it ideal for metrology applications that require noise floors less than 10 picometers and/or high speed performance. The Nano-HS2 is an ideal high speed XY scanning stage for use with the MadPLL® system. See the SPM-M Kit for an example of how to combine Mad City Labs equipment to build an AFM or NSOM. For an XYZ system with even higher speed Z, see the Nano-HS3M.Technical SpecificationsRange of motion (XYZ)10 μmResolution0.01 nmXY (HS2) Resonant Frequency1.5 kHz ±20%XY (HS3) Resonant Frequency1.0 kHz ±20%Z (HS3) Resonant Frequency5.0 kHz ±20%Scanning Speedup to 300 HzStiffness (Z-axis)8 N/μmRecommended max. load (horizontal)*0.1 kgRecommended max. load (vertical)*0.1 kgBody MaterialAl, Invar or TitaniumControllerNano-Drive® * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Position Noise SpectrumThe Nano-HS Series demonstrates less than 2 picometers of position noise on all three axes. Click below to enlarge and view the data for each axis.X-AxisY-AxisZ-AxisAdditional InformationNano-HS2 DrawingNano-HS3 DrawingNano-HS Series Catalog PagesRelated ProductsNano-HS3MNano-HSZNano-LPQNano-PDQ SeriesNano-Man5Nano-M350Nano-MZNano-3D200AccessoriesNano-Drive® MadPLL® Instrumentation for AFM/NSOMSPM-M Kit Build Your Own AFM/NSOM

FeaturesCompact sizeTwo axis motion50 μm x 50 μm ranges of motion0.5 inch apertureClosed loop controlTypical ApplicationsAlignmentNanolithographyScanning microscopy Product DescriptionThe Nano-M250 is a compact, two axis nanopositioning system constructed from titanium or invar. The small dimensions of the Nano-M250 allow it to be easily integrated into existing instrumentation for applications such as nanolithography and SEM. The 0.5” center aperture provides a convienent optical pathway or feedthrough for probe assemblies. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology provide absolute, repeatable position measurement with picometer accuracy under closed loop control. The Nano-M250 is also available in high vacuum and ultra high vacuum compatible models.Technical SpecificationsRange of motion (XY)50 μm x 50 μmResolution0.1 nmResonant Frequency (X)1.0 kHz ±20%Resonant Frequency (Y)700 Hz ±20%Stiffness1.0 N/μmθ roll, θ pitch (typical)≤1 μradθ yaw (typical)≤3 μradRecommended max. load (horizontal)*0.5 kgRecommended max. load (vertical)*0.2 kgBody MaterialInvar or TitaniumControllerNano-Drive® * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-M250 DrawingNano-M250 Catalog PagesRelated ProductsNano-SPM200Nano-M350Nano-Man5Nano-M3ZNano-MZAccessoriesNano-Drive®

产品描述PSVH30-005U为Z向直驱压电平移台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。底部平台固定安装孔可选择M3螺纹孔，便于用户方便安装，订购时需要指出。默认版本的平台固定孔为直径2.2通孔。本系列产品形行程范围为5μm（闭环）。产品特性—单轴运动—运动可达5μm（闭环）—承载0.8kg—Z轴紧凑型设计选配功能—可定制安装、负载固定孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可提供XZ、XY和XYZ版本 结构原理 位移特性 典型应用PSVH30-005U系列技术参数

FeaturesLarge load capacityTwo axis motion50 μm x 50 μm ranges of motionExtra large apertureClosed loop controlTypical ApplicationsPrecision cryostat positioningLow temperature optical microscopyQuantum dot researchProduct DescriptionThe Nano-Max50 is a heavy duty, two axis nanopositioning stage designed to carry heavy experimental assemblies. With a load capacity of 5 kg, the Nano-Max50 to be used in applications such as precision positioning of cryostats for low temperature optical microscopy. The low profile and extra large aperture allows the Nano-Max50 to be integrated into existing optical microscopes. Internal position sensors utilizing proprietary PicoQ® technology provide absolute, repeatable position measurement with picometer accuracy under closed loop control. Special Nano-Max systems can be built with ranges of motion that exceed the standard 50 microns.Technical SpecificationsRange of motion (X)50 μmRange of motion (Y)50 μmResolution0.1 nmResonant Frequency (X)1.5 kHz ±20%Resonant Frequency (Y)1.0 kHz ±20%Stiffness5.0 N/μmθ roll, θ pitch (typical)≤1 μradθ yaw (typical)≤3 μradRecommended max. load (horizontal)*5 kgBody MaterialAlControllerNano-Drive® /Nano-Drive® 85* Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-Max50 DrawingNano-Max50 Catalog PagesRelated ProductsNano-PDQ SeriesNano-Bio SeriesNano-BioS SeriesNano-H SeriesNano-HL SeriesNano-T SeriesAccessoriesNano-Drive® /Nano-Drive® 85

FeaturesCompact Size200μm two-axis motion (XY)Closed loop controlTrue flexure guided motionLarge sample mounting areaTypical ApplicationsAFM, NSOM, and other types of scanning probe microscopy (SPM)XY precision alignmentNanofabricationProduct DescriptionThe Nano-SPM200 is a compact two axis (XY) nanopositioning system constructed from aluminum. The compact design of the Nano-SPM200 makes it ideal for integration into scanning probe microscopy systems. Internal position sensors combined with the closed loop Nano-Drive controller to provide sub-nanometer positioning resolution and long term stability. Independent flexure guided motion for each axis provides mechanical isolation and ensures minimum cross-talk between axes. Samples can be mounted in any location on the flat top surface and secured with the four threaded mounting holes. The Nano-SPM200 is the ideal XY scanning stage for use with the MadPLL® system. See theSPM-M Kit for an example of how to combine Mad City Labs equipment to build an AFM or NSOM.Technical SpecificationsRange of motion (XY)200 μmResolution0.4 nmResonant Frequency (X)300 Hz ±20%Resonant Frequency (Y)300 Hz ±20%Stiffness1.0 N/μmRecommended max. load (horizontal)*0.5 kgRecommended max. load (vertical)*0.2 kgBody MaterialAluminumControllerNano-Drive® * Larger load requirements should be discussed with our engineering staff.Additional InformationNano-SPM200 DrawingNano-SPM200 Catalog PagesAFM Video TutorialRelated ProductsAFM Video Tutorial SPM-M Kit Build Your Own AFM/NSOMMadPLL® Instrumentation for AFM/NSOMNano-M250Nano-H SeriesNano-T SeriesNano-OP SeriesAccessoriesNano-Drive®

产品描述PK2H70-012U为微扫描红外成像超分辨重建专用型产品。微扫描技术包括不同的模式，拍摄同一场景的多张图像，同时每次将图像在检测器平面上移位等于检测器间距的一小部分的距离，然后将场景的采样帧用于形成单个高分辨率帧。压电位移台PK2L70-012U-S使焦平面阵列中的聚焦透镜沿X轴和Y轴移动本系列产品具有超紧凑、超高动态、超高精度等特性，是超高分辨客户应用的理想选则。利用精密并联运动设计通过FEA优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PK1L130-050U/100U位移台可提供很好的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现高精度和快速的闭环响应。本产品具有亚纳米性能。PK2H70-012U压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于0.02％的精度和重复性。PK2H70-012U压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供钛金属材料，具有更高的温度稳定性和定制真空制备版本。产品特性—XY位移：12μm（闭环）—中孔尺寸：?28mm—承载能力：1Kg—紧凑型设计—直接驱动具有更高的动态特性选配功能—可定制转接装置及中心孔径大小—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可定制其他行程版本应用领域—红外微扫描成像—超分辨率显微镜—掩模、晶圆定位—干涉测量、测量技术—显微操纵 结构原理 叠堆形式 典型应用PK2H70-012U系列技术参数

产品描述PK1H100-030U系列X向压电扫描台是采用压电陶瓷驱动的一维并联压电纳米定位扫描台，压电扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电扫描台具有很好的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性。压电扫描台内部采用并联式结构设计，结构紧凑，所有促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。具有更轻的质量，更低的惯量和更高的动态性。中空式设计，且中央通孔较大，可更好的适用于显微及扫描系统中。产品特性—X位移：30μm（闭环）—中孔尺寸：50mmx50mm—并联直驱结构设计—超快响应时间、超高动态应用选配功能—可定制转接装置、可定制中心孔径大小—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可选配XY轴运动应用领域—扫描显微镜—超分辨率显微镜—掩模、晶圆定位—干涉测量、测量技术—显微纳米操纵 结构原理 叠堆形式 典型应用PK1H100-030U系列技术参数

产品描述PKWL60-080U是一款超紧凑的亚纳米闭环控制扫描台，显微镜中的物镜对准通常需要一个开放的中心空间（例如，用于光线通过），PKWL60-080U压电扫描台（带有25mm的中心孔）是针对此类应用而开发的，每个轴都经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑，在XZ运动轴上的运动均可达80μm（闭环）行程，并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。其紧凑的设计使其是许多应用的理想工具，例如：光纤对准、双光子聚合和激光写入应用等。可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞的影响，并且PKWL60-080U定位系统可以配备电容测量系统，PKWL60-080U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。PKWL60-080U系列非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。本系列产品种类包括X、Z、XZ、XY、XYZ轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。产品特性—XZ位移：80μm（闭环）—中孔尺寸：?25mm—承载能力：0.7Kg—高度紧凑型设计—高精度柔性铰链结构导向选配功能—可定制转接装置及中心孔径大小—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可选择XYZ轴版本（80μm）应用领域—扫描显微镜—超分辨率显微镜—掩模、晶圆定位—干涉测量、测量技术—显微操纵 结构原理 叠堆形式 典型应用PKWL60-080U系列技术参数

德国PI六轴六足纳米平移台 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91六轴六足位移台六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小，用于全天候应用的重型精密轴承。绝对编码器绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。六轴六足位移台无刷直流电机(BLDC)无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行，因此能够实现较长的使用寿命。六轴六足位移台应用领域科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。 科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。

产品描述“简易执行机构”系列是具有结合在弹性铰链机构中的压电元件的致动器。带有螺纹孔，易于固定和拆卸，简易执行机构内部无内置传感器，所以本产品开环操作时具有迟滞和蠕变特性。压电执行器通电后会收缩运动。采用机械放大结构设计，因此行程比单个压电元件长几倍。柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。高推拉力，大行程，紧凑的尺寸，亚纳米分辨率，亚毫秒级快速响应。机械放大式压电促动器是由不锈钢材质的外部椭圆框架将压电陶瓷的主轴变形沿短轴进行放大。这个椭圆形的框架也提供了压电陶瓷对拉力的抵抗。为客户提供了易于集成机械接口。此预应力和放大曲张框架给压电陶瓷施加预紧力保证其比传统的基于杠杆臂和弯曲支点的传统的机械式放大器，在动态应用下有更长的使用寿命和更好的性能。产品特性—轴向收缩运动—行程：1500μm—出力: 1300 N—位移放大式选配功能—可定制安装固定螺纹尺寸—可定制线缆长度—可定制闭环方式—可定制位移典型应用:• 光子学/集成光学 • 纳米级微调操作纳米定位 • 光纤拉伸 • 高速切换• 微扫描 • 激光腔调谐 • 测流技术 • 生物技术迟滞和蠕变特性：在开环操作中，具有滞后和蠕变现象 位移放大结构形式：行程比单个压电陶瓷大几倍