纳米检测显微镜

LEXT OLS4500是结合了传统光学显微镜、激光扫描显微镜(LSM)以及扫描探针显微镜(SPM)功能为一体的革新机，从而可以实现对观测对象从几十倍到百万倍的连续放大, 可以满足不同样品的超高分辨率三维观察，以及尺寸测量、微粗糙度测量等各种观测需求。通过在多种显微镜和观察模式间自由切换，LEXT OLS4500可以轻松实现从毫米到纳米的超大范围观察和测量，这使得观察对象的定位变得精准快捷，在大大缩短了获取影像时间的同时保护了探针，并且不用担心观测目标的丢失。另外，这种一体的革新设计可以实现对同一对象的多手段原位观测，从而提高了对观测结果分析解释的准确性和可信度！ l 光学显微镜：装有倍率不同的四种物镜，集合了明视野观察（BF）、微分干涉观察（DIC）、简易偏振光观察及HDR（高动态范围）观察等多种功能。l 激光显微镜：采用短波长405nm的激光光源和高数值孔径的专用物镜、以及独特的共焦光学系统，实现了优异的平面分辨率。在激光微分干涉模式中还可以实现观察纳米级的微小凹凸。l 扫描探针显微镜：专业的针尖对齐夹具避免了在仪器上调节激光光斑位置的繁琐；搭载导航功能，可以在已扫图像中任意制定特定区域进一步扫描观测；多种观察模式满足对样品表面形貌和物性的观察分析。

SKYSCAN 2214 是布鲁克推出的新纳米断层扫描系统，是显微 CT 技术领域的先行者，在为用户带来了终级分辨率的同时,提供非常好的用户体验。SKYSCAN 2214 的每个组件都融入的新的技术，使其成为当今市场上性能很强、适用性很广的系统。■多用途系统，样品尺寸可达300mm，分辨率（像素尺寸）可达 60 纳米■金刚石窗口x射线源，焦斑尺寸500nm■创新的探测器模块化设计，可支持 4 个探测器、可现场升级。■全球速度很快的 3D 重建软件（InstaRecon）。■支持精确的螺旋扫描重建算法。■近似免维护的系统，缩短停机时间并降低拥有成本。地质、石油和天然气勘探■常规和非常规储层全尺寸岩心或感兴趣区的高分辨率成像■测量孔隙尺寸和渗透率，颗粒尺寸和形状■测量矿物相在3D空间的分布■原位动态过程分析聚合物和复合材料■以500 nm 的真正的 3D 空间分辨率解析精细结构■评估微观结构和孔隙度■量化缺陷、局部纤维取向和厚度电池和储能■电池和燃料电池的无损 3D 成像■缺陷量化■正负极极片微观结构分析■电池结构随时间变化的动态扫描生命科学■以真正的亚微米分辨率解析结构，如软组织、骨细胞和牙本质小管等■对骨整合生物材料和高密植体的无伪影成像■对生物样品的高分辨率表征，如植物和昆虫

布鲁克Hysitron PI 88是布鲁克公司生产的新一代原位纳米力学测试系统，其最大特点是系统设计高度模块化，后期可在已有系统上自行配置并拓展其他功能。该系统通过视频接口将材料的力学数据（载荷-位移曲线）与相应SEM视频之间实现时间同步，允许研究者在整个测试过程中极其精确地定位压头并对变形过程成像。解决了传统纳米压痕方法，只能通过光学显微镜或原位扫描成像观察压痕前后的形貌变化，因无法监测中间过程，而最终对载荷-位移曲线上的一些突变无法给出解释甚至错误解释的问题。PI 88安装于SEM，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下进行压痕、压缩、弯曲、划痕、拉伸和疲劳等力学性能测试；此外，通过升级电学、加热模块，还可研究材料在力、电、热等多场耦合条件下结构与性能的关系。

轻松实现从毫米到纳米无缝转换测量。兼具激光显微镜和探针显微镜功能的一体机。轻松检测85°尖锐角 采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统（能最大限度发挥405 nm 激光性能），LEXT OLS4500 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。 LEXT 专用物镜 有尖锐角的样品（剃刀）高度分辨率10nm，轻松测量微小轮廓 由于采用405 nm的短波长激光和更高数值孔径的物镜，OLS4500达到了0.12μm的平面分辨率。因此，可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的光栅读取能力和奥林巴斯独有的亮度检测技术，OLS4500可以分辨出亚微米到数百微米范围内的高度差。此外， 激光显微镜测量还保证了测量仪器的两大指标——“正确性”（测量值与真正值的接近程度）和“重复性”（多次测量值的偏差程度）的性能。 0.12μm行间距 高度差标准类型B, PTB-5从大范围拼接影像中指定目标区域高倍率影像容易使视场范围变小，而通过设置，OLS4500的拼接功能最多可以拼接625幅影像，从而能够获得高分辨率的大范围视图数据。不仅如此，还可以在该大范围视图上进行3D显示或3D测量。 -END-

LEXT OLS4500是结合了传统光学显微镜、激光扫描显微镜(LSM)以及扫描探针显微镜(SPM)功能为一体的革新机，从而可以实现对观测对象从几十倍到百万倍的连续放大, 可以满足不同样品的超高分辨率三维观察，以及尺寸测量、微粗糙度测量等各种观测需求。通过在多种显微镜和观察模式间自由切换，LEXT OLS4500可以轻松实现从毫米到纳米的超大范围观察和测量，这使得观察对象的定位变得精准快捷，在大大缩短了获取影像时间的同时保护了探针，并且不用担心观测目标的丢失。另外，这种一体的革新设计可以实现对同一对象的多手段原位观测，从而提高了对观测结果分析解释的准确性和可信度！ l 光学显微镜：装有倍率不同的四种物镜，集合了明视野观察（BF）、微分干涉观察（DIC）、简易偏振光观察及HDR（高动态范围）观察等多种功能。l 激光显微镜：采用短波长405nm的激光光源和高数值孔径的专用物镜、以及独特的共焦光学系统，实现了优异的平面分辨率。在激光微分干涉模式中还可以实现观察纳米级的微小凹凸。l 扫描探针显微镜：专业的针尖对齐夹具避免了在仪器上调节激光光斑位置的繁琐；搭载导航功能，可以在已扫图像中任意制定特定区域进一步扫描观测；多种观察模式满足对样品表面形貌和物性的观察分析。

产品特点：GATTA-AFM纳米标尺具有准确、高度平行的结构，可以完美地用于检测或优化原子力显微镜。在实际环境中测试原子力显微镜可以达到的分辨率非常重要，不仅可以测出原子力显微镜达到产品标称分辨率的可能性，还可以测出实际使用时可达到的极限。如今GATTA也提供适合测试的GATTA-AFM纳米标尺，现在，有了GATTA原子力显微镜纳米标尺之后，就有了足够的测试样品，这些样本用DNA做成，呈现70nm*90nm*2nm（高）的长方体形状。技术参数：

Queensgate生产高速、高精度的压电式平台和皮米级分辨率的电容式传感器，用于最苛刻的纳米定位应用。专门从事要求高性能、高负载和高速的定制解决方案，通常适用于要求很高的环境。提供OP400物镜定位器和NanoScan SP纳米定位平台系列产品。最佳步进稳定及定位性能高通量筛选和分析是生物和材料科学成像的支柱。因此，OP400和SP系列的设计考虑到了速度，产品在全行程范围内可提供快速性能以及市场上较快的步进整定时间。这意味着高分辨率的长距离z–stacking在速度上迈入了新的领域。高速扫描会导致振荡，进而影响图像质量和z-stacking，甚至对纳米定位系统造成损坏。Queensgate产品具有高谐振频率；与Queensgate专有的数字控制技术结合，系统可以在没有振荡风险的情况下以同类最佳速度运行。有了Queengate的专业技术，不再需要由于系统不稳定或牺牲z-stack采集速度，而舍弃每个stack开始的图像。速度不会影响性能。SP系列有 400nm 和 600nm 行程范围可选，拥有同级较短行程产品相当或更优越的性能。OP400的线性度是典型压电式物镜定位器的两倍，同时具有良好的线性度和可重复性。这两种产品在实验中都具有极高的轴向分辨率，提供亚纳米分辨率。生物科学家认为，显微镜z轴的机械分辨率显然会高于其成像技术的光学分辨率。根据不同的分析方法，可检测或成像低至0.7nm的形态变化，是半导体或冶金样品表面检测的理想选择。这一系列操作都是通过集成的超灵敏电容式传感器实现的，无论移动速度或系统温度如何，传感器都能提供最高的定位灵敏度。轻松集成，助力实验成功尽管纳米定位设备的性能在市场上有很大优势，但相对于其系统的其他组件来说，用户几乎不需要校准这些纳米设备。产品的最高速度设置可与重达500g的物镜兼容，并为专业物镜提供二次校准。Queensgate的NPC控制器系列可完成其余工作。用户有理由相信Queensgate能够提供适合其实验需求且开箱即用的产品。 OP400和SP系列不仅易于设置，而且能够与各类显微镜兼容。OP400可兼容任何螺纹尺寸的显微镜鼻轮和物镜，包括32mm宽视场系统。NanoScan SP系列与所有的Prior Scientific倒置步进、直线电机平台兼容，也可兼容尼康，奥林巴斯和其他主流显微镜制造商的电动平台，以及东海希多和Okolabs的培养箱。此外，系统还可用于增强Prior的硬件PureFocus 850快速自动对焦系统的性能，为长时间延时实验提供 +/- 50nm 的聚焦稳定性。应用 共聚焦，超分辨，电生理，形貌测量等要求样品绝对稳定性的显微镜应用。

SKYSACN 3d纳米x射线显微镜ct - 一款用于显微样品三维成像的实验室级超高分辨率CT扫描仪,可对直径为30cm，长度40cm样品的内部结构进行3D无损检测与重建，对样品的细节检测能力（标称分辨率）最高可达60纳米。利用 X 射线无损成像的特性提供样品内部结构的三维图像，并且无需对相关区域进行切割或切片。 ▼维护成本低,开放管，只需要更换灯丝。 SkyScan 2214采用了布鲁克独家所有的自动可变扫描几何系统，不但样品到光源的距离可调，探测器到光源的距离也可调。因此，可变几何系统能在空间分辨率、可扫描样品尺寸、扫描速度、图像质量之间找到完美的平衡。相比于传统的探测器-光源固定距离模式，在分辨率不变的情况下，扫描速度可提高2-5倍，同时保证得到相同的甚至更好的图像质量。而且这种扫描几何的改变，无需人工干预，软件会自动根据用户选定的图像放大倍数，自动优化扫描几何，以期在最佳分辨率、最短时间内得到高质量数据。SkyScan 2214配备了分层重构软件InstaRecon，得益于其独特的算法，重建速度比常规Feldkamp算法快10-100倍，适用于更大规模数据的成像处理。 了解更多应用方向，请致电束蕴仪器（上海）有限公司

原子力显微镜（工业型）产品简介基于专利的、源自德国的主动式针尖技术，百及纳米科技开发了下一代工业智能型原子力显微镜系统，针对工业领域应用提供快速、智能的样品形貌表征，适用于工业型检错、质量评定和量化测量等，尤其适用于检测大尺寸晶圆或光学晶圆。系统集成了大尺寸样品位移台、全自动光学导航系统和配套自动控制软件，可对大尺寸样品进行的光学成像定位，根据光学成像结果自动标定多个准确测量区域，并根据缺陷/待测结构的特点进行模式识别，智能选取原子力显微镜测量参数，在样品多个位置间自动移动，进行可重复的高分辨率测量，生成检测书面报告，整个过程无需人工参与，实现对大尺寸样品形貌的智能化、自动化的高速、高质量纳米级测量。产品特点： 顶级自动化功能、测量过程无需激光调节、即插即用式针尖更换方案、快速自动进针， 针对高深宽比的沟槽或孔洞结构，采用特制的长针尖提供微纳米结构的三维形貌准确测量， 可升级至多针尖并行测量模式，大幅提高微纳结构表征的范围和效率， 可升级为基于针尖光刻的微纳米结构高性能加工系统，大气环境下快速直写5nm以下结构。功能指标样品尺寸100 mm x 100 mm (4英寸) 至 300 mm x 300 mm (12英寸)成像分辨率优于1 nm (水平方向：0.3 nm, 垂直方向：0.2 nm)样品台定位精度运动精度优于1nm，重复精度优于10nm，采用闭环回路定位准确控制。单场扫描范围 (X, Y, Z)35μm x 35μm x 10μm （备选: 100μm x 100μm x 30μm）测量模式1. 非接触式（形貌、相位、误差） 接触式&力曲线2. 扩展模式(导电探针(C-AFM)、开尔文探针力显微镜 (KPFM)、磁力显微镜 (MFM)、扫描针尖光刻 (SPL)等)

、产品简介—国内首台教学型数字全息显微镜 苏州海兹思纳米科技有限公司研发的数字全息显微镜，以全息技术为理论基础，采用全息干涉技术、显微技术和数字图像处理技术相结合，可实现对微观物体三维形貌的高分辨率观察和动态测量。产品的应用范围：1）显微光学元件和面形测量；2）MEMS显微器件的面形或变形测量；3）空间微粒和核径迹检测；4）生物样本和活体细胞的研究与观察；5）物质参数测量(如泊松比、热膨胀系数、杨氏模量)；6）生物芯片测量；7）激光加工过程监控；8）聚合物粒子生长检测；9) 医疗诊断。二、产品的优势： 1）与国外产品比较：同类产品稳定性相近，但具有高性价比优势。现阶段国外市场，仅仅有瑞士Lyncee Tec SA数字全息显微镜系列产品销售，由于处于垄断地位，其售价超过160万元，价格过高。而本项目产品在技术性能上与国外产品相近，但在生产成本和销售价格上远低于国外产品，适合发展经济型和普及性的生物全息显微镜。 2）与国内产品比较：目前国内没有此类产品，应该说我们所研发的项目产品是国内首家。因此具备先天的优势。本项目研究成果技术已成熟，具备市场推广条件，随着本项目的数字全息显微镜产业化，将填补国内的技术空白。三、教学型生物全息显微镜第一阶段（已完成、开始试销）：已研发出适合中学和大学教学用的教学型数字全息显微镜，目前该产品已经成功研制出样机。 样机的主要参数指标为： 1.视场范围：4mm； 2.垂直测量范围：可达500nm（取决于样品）； 3.纵向分辨率：10nm；横向分辨率：5um； 4.撷取影像速率：4fps (512×512像素)；1fps (1024×1024像素)； 5.抓图时间：小于2us 6.最大样品尺寸：200mm×200mm第二阶段（研发进入后期阶段） 适合于大学、科研院所科研用以及工业用的工业型数字全息显微镜，仪器参数指标为： 1.视场范围：4mm； 2.垂直测量范围：可达500nm（取决于样品）； 3.纵向分辨率：10nm；横向分辨率：400nm； 4.撷取影像速率：15fps (512×512像素)；4fps (1024×1024像素)； 5.抓图时间：小于2us 6.最大样品尺寸：200mm×200mm

在材料生产检测领域中，纳米材料表征共聚焦显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。它基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像。产品功能(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；(2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；VT6000纳米材料表征共聚焦显微镜在陶瓷、金属、半导体、芯片等材料科学及生产检测领域中具有广泛的应用。应用领域对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：性能特色1、高精度、高重复性1）以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，保证仪器的高测量精度；2）隔震设计能够消减底面振动噪声，仪器在嘈杂的环境中稳定可靠，具有良好的测量重复性。2、一体化操作的测量分析软件1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作。4、双重防撞保护措施除软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。VT6000纳米材料表征共聚焦显微镜显微成像主要采用3D捕获的成像技术，使其具有较高的三维图像分辨率。横向分辨率更高，所展示的图像形态细节更清晰更微细，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。应用场景1、镭射槽测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。2、光伏在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。VT6000可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。3、其他部分技术指标型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量宽度测量XY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

产品特点：GATTA-PAINT 系列纳米标尺是适用于各种定位技术的超高分辨显微镜的理想标尺。因为采用DNA PAINT技术实现亮暗转换，GATTA-PAINT 纳米标尺几乎不会淬灭。此外，标尺的设计中包含了三个荧光发射点，可以获取到醒目的图像。荧光标记间的距离有如下几个尺寸：20nm, 40nm, 80nm。每种距离都有如下几种颜色可供选购：红色（ATTO 647N），绿色（ATTO 542）或蓝色（Alexa Fluor 488），或者红/绿组合(ATTO 655/ ATTO 542)技术参数：

洞察纳米世界的利器 ：纳米级光学成像 + 高光谱扫描您手边纳米研究神器：无标记识别 + 纳米表征 + 映射产品介绍 Cytoviva超分辨率荧光显微成像系统技术最初源于美国国防部和美国宇航局共同开发空中成像技术。Cytoviva已经发展成为一个专有技术，并将其专利整合到的显微成像系统中，可以在纳米尺度进行材料的光谱定量分析和活细胞的观察。并在2006和2007连续两年获得著名的R＆D 100奖的获奖荣誉，2007获得了Nano50TM奖，源于它对纳米科学研究的杰出的贡献。 2005年进入市场以来，Cytoviva在全球范围内已有几百台的装机，包括美洲、亚洲到欧洲国家重点实验室、学术科研机构和独立的工业实验室。 Cytoviva超光谱成像系统配合cytoviva显微镜系统，可以广泛应用于量化细胞和组织中的纳米材料。该系统捕获扫描范围内近红外（400-1000nm）内每个像素的光谱信号。先进的分析软件可以提供的扫描材料的详细光谱信息。 CytoVivac超光谱成像系统配合CytoViva纳米显微镜可以同时提供材料及生物样品的光谱分析和图像数据。该系统在可见-近红外光谱范围内（VNIR）进行数据采集。Cytoviva HSI有着广泛的应用研究范围：纳米药物递送、纳米毒理学、纳米材料、细胞生物学、病理学、病毒学、植物学等等。光谱分析方法支持非荧光、荧光标记的成分在活细胞、组织和纳米材料等不同样本中的观察分析。 Cytoviva技术正迅速成为纳米材料和生命科学研究的实验室标准。Cytoviva能提供您所需要的实验结果。为客户采集到真实，定量的研究数据提供了一套无缝的解决方案。 产品特点● 无需荧光标记● 纳米尺度样品光学图像表征（20-50nm）● 纳米高光谱表征● 映射多种环境中纳米尺度样品应用方向● 药物递送，纳米药物研发及临床试验● 外泌体研究，肿瘤早期诊断、研究及治疗● 食品及组织中细菌检测● 脑疾病研究：Alzheimer’s Disease,AD ；帕金森● 纳米乳剂● Liposomes● 免疫组化，组织切片直接观察，纳米级表征● 病毒、病原体检测与表征● 高分子材料检测与表征● 小分子材料检测与表征● MOF 材料检测与表征● 纳米尺寸材料检测与表征● 表面等离激元（单分子发光）● 环境污染治理● 稀土材料、上转换纳米材料表征● 复合纳米材料研究● 生物燃料研发组合光谱成像技术 多功能集成显微镜系统可同时提供宽场成像模式（反射，透射，明场，暗场，偏振光和荧光），以及高光谱显微成像模式（拉曼，荧光，光致发光，透射和反射）；又保证了无论在哪种成像模式之间切换都不需要移动样品，确保呈现同一区域的所有多模态图像信息。 拉曼系统内置四个光栅，用于优化光谱分辨率，可配备最多 3 个激光器（从蓝色到 NIR+），用于实现 Raman，PL 以及 FL 高光谱成像。检测器从普通 CCD 到 EMCCD 根据不同需求可供选择。

仪器简介： CSPM5500是本原纳米仪器有限公司于2008年8月研制成功的新一代扫描探针显微镜,其功能齐全、性能优越、运行稳定、使用方便，非常适合用户开展纳米研究工作。 技术参数：(1)国际主流的研究级专业仪器，集成原子力显微镜(AFM)，横向力显微镜(LFM)，扫描隧道显微镜(STM) (2)分辨率： 原子力显微镜：横向0.2nm，垂直0.1nm（以云母晶体标定） 扫描隧道显微镜：横向0.1nm，垂直0.01nm（以石墨晶体标定） (3)高精度计量型仪器，采用NanoSensors提供的可溯源于国际计量权威机构Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)的标准样品进行校准 (4)一键式快速全程全自动进样，无需手动预调，行程大于30mm，可容纳超大样品 (5)两级可读数样品调节机构，可对样品进行精确的检测区域定位 (6)一次扫描技术，图像分辨高达4096×4096物理象素，微米级扫描即可得到纳米级的实际信息 (7)先进PID反馈算法实现快速高精度作用力控制，确保系统在高速扫描中稳定成像，实际扫描速度提升一个数量级 (8)系统采用10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)或USB 2.0与计算机连接 (9)主控机箱前面板具有16×4液晶显示屏，系统当前状态实时显示 (10)具备实时在线三维图像显示功能，便于用户在检测过程中随时直观获得样品信息主要特点：(1) 标准配置： 原子力显微镜(AFM)：包括接触、轻敲、相移成像(Phase Imaging)等多种工作模式 横向力显微镜(LFM)：具有摩擦力回路曲线、摩擦力载荷曲线、摩擦力恒载荷曲线等摩擦学性能分析测量功能 扫描隧道显微镜(STM)：包括恒流模式、恒高模式、I-V曲线、I-Z曲线等 曲线测量分析功能：力-距离曲线、振幅-距离曲线、相移-距离曲线等(2)选配功能： 纳米加工：包括图形刻蚀模式、压痕/机械刻画、矢量扫描模式、DPN浸润笔模式等； 磁力显微镜/静电力显微镜； 环境控制扫描探针显微镜； 液相扫描探针显微镜； 导电原子力显微镜； 扫描探针声学显微镜； 扫描开尔文探针显微镜； 扫描电容显微镜； 压电力显微镜

如有需要请通过伯英科技联系我们。多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）型号：NT-206，是集多功能于一身的原子力显微镜，带有复杂的硬件与软件分析系统，可分析形貌与力学性能，分辨率为纳米级别。可添加：纳米压痕、划痕、磨损，附着力、摩擦力测试，纳米光刻等功能。A probe is positioned above journal neck of watch gearEmbedded videosystem in combination with motorized XY micropositioning stage provide convenient tuning of the instrument and its fine targeting onto the features on the sample surface. All that dramatically enhances the instrument' s functionality when researching micro- and nanosize objects.To meet requirements of specific research tasks, AFM NT-206 can include specialized changeable probe holders for microtribometry and adhesiometry or for nanoindentation.NT-206 ::: Description ::: Features ::: Delivery set ::: Software 多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）技术指标：Measurement modes:测量模式： Motion patterns at the measurements: - area (matrix) - line - single point.Contact static AFM 接触静态Lateral force microscopy /with contact static AFM/ 横向力显微镜/用静态接触AFMNon-contact dynamic AFM 非接触式动态AFMIntermittent contact AFM (similar to Tapping Mode) 间隙接触（敲击）Phase contrast imaging /with intermittent contact AFM/ 相衬成像/用间隙接触AFMTwo-pass mode (for static and dynamic AFM) 6. 两回合模式（适合静态与动态AFM）Two-pass mode with varying separation (for static and dynamic AFM) /Original technique!/两回合模式，伴随变化的间距，Multicycle scanning (for static and dynamic AFM) /Original technique!/多回合扫描（适合静态与动态AFM）Multilayer scanning with varying load (for static and dynamic AFM) /Original technique!/多回合扫描，伴随变化的载荷（适合静态与动态AFM）Electrostatic force microscopy (two-pass technique) *, **静电力显微镜（双回合技术）Current mode *, **电流模式Magnetic force microscopy (two-pass technique) *, **磁力显微镜（双回合技术）Static force spectroscopy (with calculation of quantitative parameters, surface energy and elastic modulus in the measurement point)静态力谱（在测量点，计算定量参数、表面能与弹性模量）Dynamic force spectroscopy动态力谱Dynamic frequency force spectroscopy /Original technique!/动态频率力谱Nanoindentation *纳米压痕Nanoscratching *纳米划痕Linear nanowear *线性纳米磨损Nanolithography (with control of i load, ii depth and iii bias voltage) *纳米光刻（控制力，深度，偏压）Microtribometry * /Original technique!/微观摩擦力计量Microadhesiometry * /Original technique!/微观附着力计量Shear-force microtribometry * /Original technique!/剪切力微观摩擦力计量Temperature-dependent measurements (under all above modes) *基于温度的测量（适用于所以以上模块）Note. * - Specialized accessories or rig required*需要特殊的附件或工具 ** - Specialized probes required **需要特殊的探针Scan field area:扫描面积from 5x5 micron up to 50x40 micronsMaximum range of measured heights:最大高度范围from 2 to 4 micronLateral resolution (plane XY):侧面分辨率1–5 nm (depending on sample hardness)Vertical resolution (direction Z):竖直分辨率0.1–0.5 nm (depending on sample hardness)Scanning matrix:扫描矩阵Up to 1024x1024 pointsScan rate:扫描速度40–250 points per second in X-Y planeNonlinearity correction :非线性校正A software nonlinearity correction providedMinimum scanning step:最小扫描步阶0.3 nmScanning scheme:扫描步骤The sample is moved in X-Y plane (horizontal) and in Z-direction (vertical) under stationary probe.Scanner type:扫描器类型A piezoceramic tube.Cantilevers (probes):悬臂（探针）Commercial AFM cantilevers of 3.4x1.6x0.4 mm. Recommended are probes from Mikromasch or NT-MDT. Checked for operation with probes by BudgetSensor and NanosensorsCantilever deflection detection system:悬臂倾斜探测系统Laser beam scheme with four-quadrant position-sensitive photodetectorSample size:样品尺寸Up to 30x30x8 mm (w–d–h) extending block insert allows measurement of samples with height up to 35 mmHigh voltage amplifier output: 高压放大器输出+190 VADC:16 bitOperation environment:操作环境Open air, 760+40 mm Hg col., T = 22+4°С, relative humidity 70%Range of automated movement of measuring head:测量头自动移动范围10x10 mm in XY plane for micropositioning of probe relative measured sample at step 2.5 micron with optical visual monitoringOverall dimensions:总尺寸Scanning unit: 185x185x290 mm Control electronic unit: 195x470x210 mmField of view of embedded videosystem:植入视频系统的视场1x0.75 mm, visualization window 640x480 pixel, frame rate up to 30 fps.Vibration isolation:防震隔离Additional antivibration table is recommendedHost computer:控制计算机Not less than: Celeron 2.2, RAM 256 MB, HDD 80 GB, VRAM 128 MB, monitor 17" 1024x768x32 bit, Windows XP SP1, 2 USB port. Recommended: Core i5 or equivalent, RAM 2 GB, HDD 320 GB, VRAM 1 GB, monitor 1600x1200x32 bit, Windows XP SP2 or higher, 2 free USB port.Software:软件Special control software SurfaceScan and the AFM image processing package SurfaceView / SurfaceXplorer are included. * Before measurements, the probe can be positioned to necessary place over the sample with help of automated motorized stage. To provide monitoring for the scan area and objects below the probe, the instrument embeds a videosystem allowing to watch the probe motion over the sample surface. Videosystem and the motorized stage for the probe positioning over sample are included in base set by default. A combination of these two options allows rather flexible selection of objects to be measured on the sample surface at direct visual monitoring by the opeartor.多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）组成模块： DELIVERY SETNT-206 ::: Description ::: Features ::: Delivery set ::: Software ::: BASIC SETScanning unit (atomic force microscope)Includes a base platform with embedded XY positioning stage and a detachable measuring head with integrated video systemControl electronic unit with the connetcion cables in the set (the case variants)Software package including:The software runs under Win32. Supplied on CD. Updates available at this site in section ARCHIVE SOFTWAREAFM control software SurfaceScan for driving complex and data acqusition and visualization .SurfaceView and SurfaceXplorersoftware package for the measured data processing, visualization and analysis.The software can include plug-ins for processing AFM-data obtained with other microscopes.A set of drivers for connection of control electronic unit with host PC and running videosystem.Note:1 Base set includes also the control software (for Win32) and user manual.多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）可选配件 ::: ADDITIONAL ACCESSORIES (optional)A specialized antivibration rackA changeable probe holderChangeable scaners for ranges: 5x5x2 um10x10x3 um20x20x3.5 um40x40x3.5 um50x50x3.5 um90x90x3.5 umSet for scanning the sample emmersed in liquid mediumThermocell: a changeable sample platform for measured sample heating up to 150 °С with stand-allone controllerA changeable holder for conducting probesExtending block insert allowing measurement of thick samples with height up to 35 mmA changeable microtribometer-adhesiometer unitOption: a set of AFM probes(Prod. by Mikromasch)A changeable shear-force microtribometer unitOption: a set of calibration test gratings(Prod. by Mikromasch)A changeable nanoindentor unit多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）软件 SOFTWARENT-206 ::: Description ::: Features ::: Delivery set ::: SoftwareControl software for AFM NT-206 SurfaceScan is a 32-bit Windows application. It runs under Windows XPsp2/Vista/7 operating systems.The control software provides all preliminary tunings and settings necessary for the AFM operation: visual control over the laser-beam detection system adjustment, tuning of the cantilever oscillations (in dynamic modes), feed-back system adjusting, sample positioning under the probe and sample approach to the probe before measurements and removal after the measurements. A full-field or any reduced area within the full field of the scanner can be selected for measurements.Operator can watch any combination of acquired AFM/LFM images in data visualization window or switch to look at them in one window. Additionally, profile of currenly acquired line can be monitored as well.Acquired data are saved in files of special format that can be then processed, visualised (in 2-D and 3-D presentation) and analysed with a specialized software package SurfaceView or SurfaceXplorer.

百及纳米ParcanNano 高速原子力显微镜AFM系统 产品简介公司以全球独家专利的探针技术为核心竞争力，技术源自于德国伊尔默瑙工业大学 Rangelow 教授，致力于主动式探针技术在微纳米结构制备和表征方面的研发，及其相关设备的产业化。 本款扫描探针显微镜使用主动式智能探针，集传感器、驱动器和可功能化的探针于一身，实现自激发和自传感，无需复杂的激光校准，是取代现有 AFM 激光传感的巨大改进，具有极高性价比优势。该系统可在大气、液态及真空环境下实现对微纳米结构的高速、高效表征，成像精度达到 0.3 nm 的极限精度。 产品拥有像美国麻省理工学院、加州伯克利国家实验室、荷兰德尔夫特大学和清华大学等国内外知名科研客户，以及韩国三星、荷兰 ASML 等高端工业客户。扫描示例：

【实验箱配件列表】 1. 教学型扫描隧道显微镜，包括：(1)STM扫描头；(2)具有10倍放大镜的屏蔽罩；(3)大理石隔震台；(4)电子控制器；(5)USB线和电源线。 2. 工具盒：扁嘴钳子、剪刀、尖口镊子、样品支架、铂铱丝（Pt-Ir）金属探针等。 3. 软件安装盘。【特点】 ● 一体化精致设计，安装简单，携带方便 ● 操作步骤简单，适于中学或大学教学 ● 在普通实验环境下便可快速获得原子图像 ● 低电压操作，确保实验安全 ● 功能强大的图像处理、数据 分析软件，可观测三维原子图像【应用】 ● 多学科教学：物理、化学、纳米科技等 ● 观测原子、分子等微观粒子，认识纳米尺度下的微观图像 ● 可分区导体和非导体 ● 可拓展：实现纳米操纵和刻蚀，操纵微观粒子【主要技术指标】

VT6000大倾角超清纳米共聚焦测量显微镜用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。它是基于光学共轭共焦原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。应用案例1、镭射槽测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。2、光伏在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。3、其他VT6000大倾角超清纳米共聚焦测量显微镜可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，在半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中具有广泛应用。产品功能(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；(2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；应用领域VT6000大倾角超清纳米共聚焦测量显微镜对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：性能特色1、高精度、高重复性1）以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，保证仪器的高测量精度；2）隔震设计能够消减底面振动噪声，仪器在嘈杂的环境中稳定可靠，具有良好的测量重复性。2、一体化操作的测量分析软件1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作。4、双重防撞保护措施除软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。部分技术指标型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量重复性(1σ)12nm显示分辨率0.5nm宽度测量重复性(1σ)40nm显示分辨率1nmXY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

名称：GATTA-AFM (原子力显微镜)纳米尺 应用：用于原子力显微镜测试及校准 Testing the achievable resolution of atomic force microscopes under realistic conditions is important in order to know the possibilities but also the limits of real applications. With GATTA?AFM nanorulers, now adequate test samples are finally available. These DNA-based samples are in a well-defined rectangular shape with a size of 70 nm times 90 nm and a height of 2 nm. The GATTA-AFM nanorulers represent accurate and highly parallelized structures and are therefore perfectly suited to optimize and test the resolution of atomic force microscopes.The samples are shipped in solution. The amount of material is sufficient for at least 10 AFM surfaces, densely packed with DNA?origami rectangles. The ladder like substructure in the middle of the GATTA-AFM sample shows a line spacing of around 6 nm. Samples are shipped in solution. 尺寸:≈ 90 nm x 70 nm x 2 nm建議 使:Tapping Mode in liquid梯间距 正中接縫:6 ± 1 nm卷: 20 μl浓度: 2 nM

产品特点：GATTA-Confocal 系列的纳米标尺为传统显微镜使用者设计，它有两个荧光标记端，均含有量子效率高的染料分子。标记点的距离为350nm。GATTA-Confocal纳米标尺有如下颜色可选：红色（ATTO 647N），黄色（Alexa Fluor 568），绿色（ATTO 532）或蓝色（Alexa Fluor 488），或者红/黄/蓝组合(ATTO 647N/ Alexa Fluor 568/ Alexa Fluor 488)，红/绿/蓝组合(ATTO 647N/ ATTO 532/ Alexa Fluor 488)技术参数：

Hysitron BioSoft生物型纳米压痕仪 布鲁克的Hysitron BioSoft纳米压痕仪是专门设计用于生物材料和软质（如水凝胶）多尺度定量机械测试的仪器。BioSoft 同步强大的力学和光学表征技术，以全面了解生物材料的力学性能。此便携式系统与现有的倒置光学显微镜联用，将先进的生物力学测试功能引入实验室。定量力学性能测量提供独特的力灵敏度和位移范围组合，专门设计用于测量从亚细胞到组织水平的生物样品。兼容性测试灵活性轻松与倒置显微镜集成，以表征各种生物材料。先进生物力学控制模块在单个测试中实现不同控制，包括载荷、位移和开环控制。

热点检测微光显微镜THEMOS系列THEMOS-1000发热分析工具是一套用于通过半导体器件探测、热信号定位来进行半导体失效分析的系统。通过将高精度热探测器探测到的发热图与从红外共焦激光显微镜获取的高分辨率模板图像叠加，可快速、高精度地识别失效位置。特性高灵敏度是通过以下方式获得的：InSb相机在3 μm到5 μm波段内具有高灵敏度专为3 μm 到 5 μm波段优化的镜头设计使用lock-in功能（选配）实现低噪声使用斯特林循环冷却器实现高制冷性能噪声等效温差(NETD)只有20mK高分辨率是通过以下方式获得的：InSb相机为640 × 512像素（像素尺寸：15μm）叠加的激光模板图像来自红外共焦激光显微镜可选择热纳米镜头(选配) 使用窗口功能，可获得高速探测能力视频功能连接测试机，可获得动态分析功能系统结构灵活，可进行微观到宏观的观测与PHEMOS、μAMOS系列一样具有用户友好型操作全系列的选配选项应用金属布线短路接触孔异常氧化物层微等离子体泄露氧化物层击穿TFT-LCD泄露/有机EL泄露定位器件开发过程中温度异常监测器件和PC板的温度映射在器件设计早期，通过获取器件工作时的温度信息，反馈回设计流程，可以缩短器件验证时间，也可增强产品可靠性。在观测基于工作环境的温度行为改变上，该功能也很有用。通过增加U11389温度测量功能，便可以方便地获得该测量功能。IR-OBIRCH分析功能极受欢迎的IR-OBIRCH（Infrared Optical Beam Induced Resistance CHange，红外光致阻值变化）分析功能可以作为选配增加到设备中，来探测漏电流或静态电流缺陷（leakage or IDDQ defects）等的线缺陷。可以以4象限电压/电流的形式测量。使用激光激励组件进行动态分析（DALS）使用激光激励组件进行动态分析（DALS）是一种利用激光照射来分析器件工作状况的新方式。在使用LSI测试机的测试模板操作器件过程中，使用1.3 μm激光激励器件，器件的工作状态（通过/失败）因激光产生的热量而改变。通过/失败信号的改变以图像形式呈现，表明了引起时序延迟的点，边际缺陷等等。热纳米镜头系统（Thermal NanoLens System）热纳米镜头系统因为高数值孔径，大大提高了光校正效率和分辨率。通过在样品（即便样品表面平整度很差）和透镜之间施加显微镜浸润油来获取高数值孔径。使用操纵器来简化纳米透镜系统的设计，可使工作设备的更新更简单。LSI测试机对接半导体器件变得越来越复杂，因此必须通过与LSI测试机对接来初始化采样测量、设置特殊条件。安装专用探针卡适配器后，可以用线缆与LSI测试机对接，执行分析。激光标记在定位后的失效点附近进行标记，或者在失效点周围的四个点进行标记，可以轻松地将失效点的位置信息传输到其他的分析设备上。EO探针单元EO探针单元是一款工具，通过使用非连续光源，透过硅基底来观察晶体管状态。它由EOP（Electro Optical Probing）来快速测量晶体管工作电压，由EOFM（Electro Optical Frequency Mapping）以特定频率对活跃晶体管成像。测量示例案例研究：封装器件观测案例研究：对器件一侧开口进行失效层观测案例研究：CMOS观测发现凸球下的缺陷案例研究：PCB和封装器件之间的布线失效在打开封装之前观测热源；打开封装以后获取相位图像以缩小热源范围。参数尺寸/重量主单元：1360 mm(W)×1410 mm(D)×2120 mm(H), Approx. 900 kg控制台：880 mm (W)×700 mm (D)×1542 mm (H), Approx. 255 kgPC桌：1000 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H), Approx. 45 kg线电压AC220 V (50 Hz/60 Hz)功耗约 3000W真空度约80 kPa或更大压缩空气0.5 MPa to 0.7 MPa系统配置C9985-04 InSb相机标配红外共焦显微镜标配自动平台控制XYZ标准透镜0.8×、4×、15×样品平台PM8、PM8DSP探测目镜标配探测镜头NIR 5×抗震桌标配黑盒标配THEMOS分析软件标配FOV（mm）12×9.6 to 0.64×0.51目标晶片(可达12英寸), Si 片, 封装功能热lock-in测量选配 3D-IC测量选配热测量功能选配热纳米镜头选配视频功能标配外部触发标配窗口功能标配IR-OBIRCH分析功能选配DALS选配光发射分析选配EO探测单元选配光发射观测的相机选择型号制冷类型有效像素数光谱灵敏度InGaAs 相机 C8250-21液氮制冷640(H)×512(V)900 nm to 1550 nmInGaAs 相机 C8250-27半导体制冷640(H)×512(V)900 nm to 1550 nmInGaAs 相机 C8250-31液氮制冷1000(H)×1000(V)900 nm to 1550 nm制冷型CCD 相机 C4880-59水冷1024(H)×1024(V)300 nm to 1100 nmSi-CCD 相机 C11231-01半导体制冷1024(H)×1024(V)400 nm to 1100 nm红外共焦激光显微镜1.3 μm激光二极管输出: 100 mW1.3 μm高功率激光器（选配）输出: 超过400 mW1.1 μm脉冲激光器（选配）输出: 200 mW (CW), 800 mW (pulse)光学系统物镜/微距镜头N.A.WD（mm）FOV（mm）配置MWIR 0.8×0.132212.0×9.6标配MWIR 4×0.52252.4×1.9标配MWIR 8×0.75151.2×0.96选配MWIR 15×0.71150.64×0.51标配MWIR 30×0.71130.32×0.26选配M Plan NIR 5×0.1437.52.6×2.6标配M Plan NIR 20×0.4200.65×0.65标配M Plan NIR 100×0.5120.13×0.13标配

中图仪器VT6000粗糙度显微镜检测仪即为激光共聚焦显微镜，是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。产品功能(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；(2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；VT6000粗糙度显微镜检测仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。应用领域对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：应用场景1、镭射槽测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。2、光伏在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。3、其他部分技术指标型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量宽度测量XY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

一, 磁畴观察显微镜 BH-742系列高灵敏度克尔显微镜，用于在短时间内动态（实时）观察磁场下的磁畴。磁畴观察显微镜 BH-742系列,磁畴观察显微镜 BH-742系列通用参数光源高亮度白光观察克尔效应极向克尔效应纵向克尔效应频域分辨率(Domain Resolution) 1μm*带 x50 放大倍数，Polar Kerr 观察可用放大倍率×20、×50*也可提供其他放大倍数。可用磁场平面外方向：Max。±20kOe (±2T)面内方向：Max。±20kOe (±2T)观察示例永磁体永磁体非晶带坡莫合金（镍铁）电磁钢板铁磁薄膜二,紧凑型克尔显微镜 BH-753 系列专为软磁材料灵敏磁畴观察设计的台式克尔显微镜。紧凑型克尔显微镜 BH-753 系列,紧凑型克尔显微镜 BH-753 系列通用参数光源高亮度白光 LED目标克尔效应纵向克尔效应频域分辨率Domain Resolution3μm*x50 放大倍数可用放大倍率×20、×50可用磁场面内方向：Max. ±1kOe (±0.1T)观察示例三, 极紫外和软x射线辐射EUV显微镜 (Metrology计量学 无损亚纳米级次表面成像)三维无损成像技术在材料科学和医学等许多应用领域都非常重要。我们开发了一种成像技术，利用极紫外和软x射线辐射来获得纳米分辨率的横截面图像。例如，我们能够无损地研究硅片或生物样品中的近表面结构。在下边的图片中，你可以看到几个埋在硅下的金层。它们的位置可以用我们的计量仪测量，精度低于1nm。这些层位于表面下的110 nm和128 nm处。极紫外和软x射线辐射EUV显微镜 (Metrology计量学 无损亚纳米级次表面成像),极紫外和软x射线辐射EUV显微镜 (Metrology计量学 无损亚纳米级次表面成像)通用参数关键信息● 无损成像● 反射成像● 轴向分辨率（厚度）30nm● 轴向位置精度1nm● Max深度1µ m● 高材料对比度● 易于安装样品

SKYSCAN 微纳米ct/高容量三维X射线显微镜, 该探测器具有600万像素，视野范围大，输出速度快，15秒内即可提供高清晰度图像，是快速CT的理想之选。即使是大尺寸样品，也能在数分钟内完成扫描。 高分辨率X射线三维成像系统具有较低的拥有成本。不同于落地式系统，台式SKYSCAN 高分辨率X射线三维成像系统在寸土寸金的实验室中占地面积较小。它无需冷水机或其它压缩机，只需一个简易的家用电源插座。它采用封闭式X射线源，无需维护，不存在其它隐藏成本。 达到真正的4D效果检测~ 特点介绍：节省空间的台式系统与最低安装要求家用电源插头，无水或压缩空气，免维护封闭式X射线源大的样品室，以适应样品样品尺寸可达 ?300 mm和高500 mm ,扫描体积 ?250 mm和高250 mm 130 kV 反射式X射线源，带 6 Mpix平板探测器通过更大、密度更高的材料传输支持自动选择最优能量设置的8位滤波更换器像素尺寸 3 μm (小样本)综合3D套件软件1)重构，2)通过面和体渲染可视化，3)分析 可根据不同需求订制了解更多应用方向，请致电束蕴仪器（上海）有限公司

产品描述PFR150系列超薄型XY（Z）多轴纳米定位压电平台，可用于与倒置显微镜的标准大范围纳米定位压电平台集成在一起。载物台具有较大的孔径，可容纳行业标准的样品架/微孔板、便于进行进行活细胞研究。PFR150系列为研究人员提供了对Z轴的快速，高精度控制，是反卷积，3D重建和共聚焦显微镜的理想选择；尤其适用于需要活细胞的应用。与其他仅移动一个物镜的压电聚焦设备不同，PFR150可以在载物框架位置使用，从而确保不失去共焦性。PFR150系列的闭环行程为80~200 μm，可与蔡司、尼康、奥林巴斯、莱卡等显微镜配合使用。其中压电平台，压电控制器和专接板均单独出售。可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿压电陶瓷的蠕变特性，闭环装置可以用于开环或闭环控制。可选附件转接环，方便用户安装到指定设备中。产品特性—位移：80μm/150μm（闭环）—中空尺寸：83×93 mm—适用于质量达1000g样品扫描—嵌入型设计—并联结构设计具有高谐振频率选配功能—可定制转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可选择定制其它固定方式及培养皿支架应用领域—超分辨率显微镜—表面扫描和分析、测量技术—筛选、生物技术—自动聚焦系统—共聚焦显微镜 结构原理 响应特性 典型应用PFR150-XYZ100U/200U系列技术参数

mini是一款发热显微镜，配备了高灵敏度InSb相机，可探测半导体器件的内部发热。通过将高精度热探测器探测到的发热图与模板图像叠加，可高精度地识别失效位置。特性高灵敏度是通过以下方式获得的：InSb相机在3 μm到5 μm波段内具有高灵敏度专为3 μm 到 5 μm波段优化的镜头设计使用lock-in功能（选配）实现低噪声使用斯特林循环冷却器实现高制冷性能噪声等效温差(NETD)只有20mK高分辨率是通过以下方式获得的：InSb相机为640 × 512像素（像素尺寸：15μm）可选择热纳米镜头(选配)使用窗口功能，可获得高速探测能力视频功能连接测试机，可获得动态分析功能系统结构灵活，可进行微观到宏观的观测与PHEMOS、μAMOS系列一样具有用户友好型操作全系列的选配选项应用金属布线短路接触孔异常氧化物层微等离子体泄露氧化物层击穿TFT-LCD泄露/有机EL泄露定位器件开发过程中温度异常监测器件和PC板的温度映射温度测量功能在器件设计早期，通过获取器件工作时的温度信息，反馈回设计流程，可以缩短器件验证时间，也可增强产品可靠性。在观测基于工作环境的温度行为改变上，该功能也很有用。通过增加U11389温度测量功能，便可以方便地获得该测量功能。宏观分析新研发的0.29×红外镜头可提供无水仙现象、无阴影的清晰视场图像。热纳米镜头系统（Thermal NanoLens System）热纳米镜头系统因为高数值孔径，大大提高了光校正效率和分辨率。通过在样品（即便样品表面平整度很差）和透镜之间施加显微镜浸润油来获取高数值孔径。使用操纵器来简化纳米透镜系统的设计，可使工作设备的更新更简单。LSI测试机对接半导体器件变得越来越复杂，因此必须通过与LSI测试机对接来初始化采样测量、设置特殊条件。安装专用探针卡适配器后，可以用线缆与LSI测试机对接，执行分析。激光标记在定位后的失效点附近进行标记，或者在失效点周围的四个点进行标记，可以轻松地将失效点的位置信息传输到其他的分析设备上。测量示例案例研究：封装器件观测案例研究：对器件一侧开口进行失效层观测案例研究：CMOS观测发现凸球下的缺陷案例研究：PCB和封装器件之间的布线失效在打开封装之前观测热源；打开封装以后获取相位图像以缩小热源范围。参数尺寸/重量880 mm(W)×840 mm(D)×1993 mm(H), Approx. 450 kgPC桌：700 mm(W)×700 mm(D)×700 mm(H), Approx. 50 kg线电压AC220 V (50 Hz/60 Hz)功耗约 700W真空度约80 kPa或更大压缩空气0.5 MPa to 0.7 MPa系统配置C9985-04 InSb相机标配自动平台控制手动标准透镜0.8×、4×、15×样品平台HPK 平台 (8英寸)探测目镜标配探测镜头NIR 5×抗震桌标配THEMOS分析软件标配FOV（mm）12×9.6 to 0.64×0.51目标PCB*，晶片(可达12英寸)，Si 片, 封装*：集成0.29×物镜时。功能热lock-in测量选配 3D-IC测量选配热测量功能选配热纳米镜头选配视频功能标配外部触发标配窗口功能标配光学系统物镜/微距镜头N.A.WD（mm）FOV（mm）配置MWIR 0.29×0.0481233×26td选配MWIR 0.8×0.132212.0×9.6标配MWIR 4×0.52252.4×1.9标配MWIR 8×0.75151.2×0.96选配MWIR 15×0.71150.64×0.51标配MWIR 30×0.71130.32×0.26选配M Plan NIR 5×0.1437.52.6×2.6标配外形图（单位：mm）

SkyScan 2214多量程x射线纳米ct系统，X射线源电压最高可达160kV。最多可提供四个探测器，CMOS探测器用于高能量快速扫描，3个CCD探测器用于各种情形下的高分辨率扫描。高能量与高分辨的完美结合，使其能够灵活地适用于各种类型、各种大小的样品，并实现纳米级分辨率的样品扫描，为不同领域材料的3D成像和精确建模提供独一无二地解决方案，广泛应用于油气开采，复合材料，燃料电池，电子产品等领域。SkyScan 2214高分辨三维X射线显微成像系统可对直径为30cm，长度40cm样品的内部结构进行3D无损检测与重建，对样品的细节检测能力（标称分辨率）最高可达60纳米。 特点介绍： ●最大程度上保护样品：无需制备样品，无损三维重现● 对样品的细节检测能力（分辨率）最高可达：60nm● 最大样品直径：30cm； 最大样品长度：40cm●自动可变扫描几何系统：根据用户设定的放大倍率，仪器可自动优化扫描几何，找到最快的测试方案，用最短时间，得到高质量数据●全新的160kV超高强度开放式微焦斑X射线光源，提供更高的光通量和更好的光束稳定性，20-160kV连续可调，完全免维护● 配备多探测器：600万像素CMOS探测器适用于高能量X射线，800/1100万像素CCD探测器更适合高分辨测试模式 了解更多应用方向，请致电束蕴仪器（上海）有限公司~

仪器介绍：性能优越 原子级分辨率和稳定度 大样品腔设计，适应性强 主控制系统采用德州仪器(TI)32位高性能数字信号处理器(DSP} 高压扫描驱动采用APEX集成高压运算放大器 主控制系统内置实时操作系统 系统采用快速以太网接口(Fast Ethernet)与计算机连接功能强大 原子力显微镜(AFM) 扫描隧道显微镜(STM) 横向力/摩擦力显微镜(LFM) I-V，I一Z、力一距离等多种曲线测量分析 在线实时三维图像显示，检测过程可即时得到更直观的形貌和丰富的细节 多通道信号同时采集和显示，一次扫描即可同时得到样品多种性质与特征 具有图像及曲线数据导出功能，可取得全部原始数据 探针表征和图像重建功能(针尖形貌估算/图像重建/用已知探针重建图像)操作简便 全程全自动进针，无需手工粗调 只需更换探针架，即可在STM和AFM等不同类型仪器中切换 全数字控制，仪器类型、系统状态等参数智能识别和控制 软件控制样品移动 当前全部工作环境参数和扫描图像同步保存 样品粒度和粗糙度自动分析功能，可得到国家、国际相关标准的全系列参数服务完善 业内唯一800免费技术支持热线 业内唯一南北(京广)均设有机构，为用户提供最贴身的服务 专家级的技术支持、服务团队 长期以最优惠的价格向用户提供全系列探针技术指标系统功能 原子力显微镜(Atomic Farce Microscope, AFM )‘ 横向力/摩擦力显微镜(Lateral Force Microscope, LFM )‘ 扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope, 5TM )’分辨率 扫描隧道显微镜(S丁M):：横向0.1 nm,垂直0.01 nm 原子力显微镜}AFM)：横向0.2nm.垂直0.1 nm参数性能 x 一y 扫乎苗范围：~10μm Z方向扫描范围：~2μm 图像分辨率：128x1 28 , 256x256, 512x512, 1024x1024 扫描角度：0~360° 扫描频率：0.1一100Hz主控制系统 中央处理器：德州仪器(TI) 32位数字信号处理器(DSP) 高速16-bit DAC 高速16-bit ADC 高压扫描驱动：5路APEX集成高压运算放大器 通信接口： 1 0M/ 100M 快速以太网(Fast Ethernet 10/100)接口机械性能 样品尺寸:最大可达直径45mm，厚度15mm 全自动步进电机控制进样系统:行程15mm，定位精度50nm/步 软件系统 基干Windows XP/2000/9X 的在线控制软件和图像处理软件

仪器介绍：性能优越 原子级分辨率和稳定度 大样品腔设计，适应性强 主控制系统采用德州仪器(TI)32位高性能数字信号处理器(DSP} 高压扫描驱动采用APEX集成高压运算放大器 主控制系统内置实时操作系统 系统采用快速以太网接口(Fast Ethernet)与计算机连接功能强大 原子力显微镜(AFM) 扫描隧道显微镜(STM) 横向力/摩擦力显微镜(LFM) I-V，I一Z、力一距离等多种曲线测量分析 在线实时三维图像显示，检测过程可即时得到更直观的形貌和丰富的细节 多通道信号同时采集和显示，一次扫描即可同时得到样品多种性质与特征 具有图像及曲线数据导出功能，可取得全部原始数据 探针表征和图像重建功能(针尖形貌估算/图像重建/用已知探针重建图像)操作简便 全程全自动进针，无需手工粗调 只需更换探针架，即可在STM和AFM等不同类型仪器中切换 全数字控制，仪器类型、系统状态等参数智能识别和控制 软件控制样品移动 当前全部工作环境参数和扫描图像同步保存 样品粒度和粗糙度自动分析功能，可得到国家、国际相关标准的全系列参数服务完善 业内唯一800免费技术支持热线 业内唯一南北(京广)均设有机构，为用户提供最贴身的服务 专家级的技术支持、服务团队 长期以最优惠的价格向用户提供全系列探针技术指标系统功能 原子力显微镜(Atomic Farce Microscope, AFM )‘ 横向力/摩擦力显微镜(Lateral Force Microscope, LFM )‘ 扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope, 5TM )’分辨率 扫描隧道显微镜(S丁M):：横向0.1 nm,垂直0.01 nm 原子力显微镜}AFM)：横向0.2nm.垂直0.1 nm参数性能 x 一y 扫乎苗范围：~10μm Z方向扫描范围：~2μm 图像分辨率：128x1 28 , 256x256, 512x512, 1024x1024 扫描角度：0~360° 扫描频率：0.1~100Hz主控制系统 中央处理器：德州仪器(TI) 32位数字信号处理器(DSP) 高速16-bit DAC 高速16-bit ADC 高压扫描驱动：5路APEX集成高压运算放大器 通信接口： 1 0M/ 100M 快速以太网(Fast Ethernet 10/100)接口机械性能 样品尺寸:最大可达直径45mm，厚度15mm 全自动步进电机控制进样系统:行程15mm，定位精度50nm/步 软件系统 基干Windows XP/2000/9X 的在线控制软件和图像处理软件