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天瑞仪器2011年展望：上市新平台 腾飞新起点天瑞仪器董事长 刘召贵博士　　尊敬的各位朋友：　　大家新年好!爆竹声中一岁除，东风送暖入屠苏。借此机会，感谢一直以来支持和关注天瑞仪器的社会各界人士。恭祝大家新春快乐，生活万事如意，家庭幸福美满，事业财源广进!　　展望2011，上市后的天瑞仪器通过融资，可以拥有更加充沛的资金去提高自身短缺的部分。天瑞仪器2011年主要发展方向为手持式智能化能量色散X射线荧光光谱仪产业化项目、研发中心与营销网络及服务体系建设等项目。具体来说主要有如下三个发展计划：　　(1)手持式智能化能量色散X射线荧光光谱仪产业化：手持式产品是全球化学分析仪器发展的重要技术方向和发展趋势，市场快速成长，规模不断扩大。公司研发团队，通过综合运用光、机、电等多项技术，自主研发出的手持式能量色散X射线荧光光谱仪，具备较强的便捷性，能较好的满足地质、矿业、合金、环保、冶金等行业的户外、现场分析的需求，快速、简便、精准，具有较大的行业应用前景和市场发展潜力。手持式产品产业化项目完成后，公司将具备年产600台手持式X射线荧光光谱仪系列产品的生产条件和生产能力，将快速推动公司进入手持式X射线荧光光谱仪市场，为公司主营业务拓展开辟全新盈利增长点。　　(2)研发中心项目：公司的快速发展给公司研究能力和研发效率带来了挑战，研发中心项目的建设将使公司具备超精密部件的研发能力，全面提升公司硬件、软件研发的效率，满足公司研发团队扩展、基础技术研究、产品技术升级、新产品开发及国际技术合作等方面的要求。　　(3)营销网络及服务体系建设：通过该项目，公司将成功的“5S区域营销中心”模式复制至公司主要的销售市场，以“5S区域营销中心”为核心，通过销售网点和总部管理体系的建设，形成覆盖国内主要客户聚集区域的营销网络和服务体系，大幅增强客户市场渗透力、产品的销售能力、技术服务能力、综合管理能力，不断扩展优势产品市场和新领域的应用，为各行业客户提升效率，创造价值。　　挑战和机遇并存，天瑞仪器将立足新平台，迈出新的步伐。也一定无愧于各位朋友对我们的支持。天瑞仪器，与您携手同行，再攀高峰。　　谢谢!

12月30日，LinkPark（滨河）产业社区及先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台启用仪式在杭州青山湖科技城隆重举行，杭州市人大常委会副主任、临安区委书记卢春强，市政府副市长柯吉欣，市政府党组成员、杭州城西科创产业集聚党工委副书记、管委会主任李玲，临安区区委常委、青山湖科技城党工委书记蔡萌等出席启用仪式，杭州市委组织部、市经信局、市科技局、临安区有关部门等领导一行参加活动。 为深入推进中国先进精密仪器产业发展，杭州谱育科技发展有限公司（聚光科技旗下自孵化子公司）携手杭州青山湖科技城，搭建“一平台两中心”——先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台、先进精密仪器创新中心、工程师协同创新中心，争取国家和省市资源，围绕产业链部署创新链，合力打造先进精密仪器全产业链的创新策源高地。先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台一平台两中心打通创新链 在仪器创新的研究、工程化、产业化链条上，工程化阶段成为创新链上的瓶颈和产业破局的关键，通过建设高水平、全链条的先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台，打通创新链、带动产业链，形成支撑仪器整机、核心零部件、试剂耗材、技术服务、高端专用仪器与系统五位一体的产业集群服务能力，打造“面向世界、引领未来、服务全国、带动全省”的先进精密仪器全产业链共性技术研发与工程化创新策源地。 带动产业链 先进精密仪器创新平台启用后，将加速区域内仪器技术创新研究成果的工程化、产业化进程，孵化培育一批生命科学、半导体、先进工业、新材料、食品药品、环境安全等领域的产业项目，加速集聚龙头企业，促进在杭州城西科创大走廊带动先进精密仪器产业集群，打造具备全球竞争力的中国“仪器谷”。 面向世界科技前沿，为我国科研院校与企业创新实验室，开发高端质谱、光学、色谱、电镜等科学仪器。 面向经济主战场，为我国新材料与先进制造业，开发高端智能品控、在线监测分析自动化系统。 面向国家重大需求，为半导体、先进工业等行业，解决“卡脖子”关键技术和高纯检测设备国产化。 面向人民生命健康，开发食药品检验、环境安全监测、生命科学分析与精准医学诊断先进解决方案。 五位一体：打造仪器整机、关键零配件、耗材与试剂、技术服务、高端专用系统集成五位一体的全产业链生态。

（从左到右分别为，联公精密测量联合创始人陈方，首席科学家马蒂亚斯，东南大学仪器科学与工程学宋爱国教授。）3月14日，为深入贯彻落实加强基础研究，实现高水平科技自立自强，建设世界科技强国的方针。《溅射技术在高精度力学传感器上的应用》技术研讨会在东南大学召开。此次技术研讨会校企合作，协同创新，实现科技仪器设备的自主可控搭建平台。由东南大学机器人传感与控制技术研究所、中国仪器仪表学会力触觉感知与交互专业委员会与IEEE机器人与自动化学会南京分会主办，联公精密测量技术（合肥）有限公司协办。在研讨会上，联公精密测量有限公司的首席科学家，马蒂亚斯与联公精密测量联合创始人陈方先生首先介绍了当前德国同行在力学传感器制造领域相对成熟的技术，东南大学首席教授宋爱国随后介绍了团队在力反馈应用技术当中所作出的进展。中国航天科技44所与江苏省计量院的专家们同时参与了会议。2022年国金证券的一份调研报告指出，中国科学仪器市场的国产化率只有5%。而现在更加火热的半导体设备的国产化率是18%。科学仪器属于国产替代难度系数最高的领域之一，业内普遍认为需要5-10年的攻克时间，而科学仪器的高端市场更是完全被外资品牌垄断，形势非常严峻，而其“卡脖子“的难点在于仪器核心的传感器以及配合高端传感器的经验算法。东南大学与联公精密测量有限公司未来会携手将一种新型的溅射技术引用到力学传感器的制造工艺当中，此项尝试可以非常有效地降低传感器使用的环境要求，对高低温，真空高压，高辐射，潮湿腐蚀等恶劣环境，针对当前的航天领域，半导体制造领域有着至关重要的作用，可以有效的避免核心零部件频繁替换所带来的不利影响。同时，联公还即将突破高精度实验室称重仪器的完全国产化。据不完全统计，从2020年开始，在中国工业市场，国产替代的旺盛已逐渐体现，而企业与高校同心协力，发挥各自的优势，可早日实现用我国自主的研究平台、仪器设备来解决重大基础研究问题的需求。

海顿科克直线传动是世界领先的直线运动产品制造商，公司最近发布了一个驱动精密显微镜窄片平台的应用，该工作平台移动的最小步长为15微米，最大推力为13N，在这个非常紧凑空间里的实现传动要求，无疑这是一个完美的机械结构，在精密的微流体或者光学仪器中经常会有这种需求。这个结构大约有22MM宽，25.2MM高，其行程最大可以达到64MM。 一个轻型的经过阳极氧化的铝合金型材做成的底座，底座两端分别安装有螺杆衬套和电机安装支架，整个结构的核心是海顿15000系列的永磁式直线步进电机，该电机已经成功应用在几千种结构应用中，该电机不需要复杂的控制设备，只需要简单的速度脉冲和方向信号。 整个结构的移动滑块是用带有自润滑效果的聚缩醛材料做成，滑块本身带有张紧弹簧，这能使滑块在运动过程中保证运动的精确性，滑块由2根涂有TFE涂层的直线滑轨做导向。滑块由KERK的螺杆驱动，螺杆由303不锈钢制成，并且由5种导程可选，分别是0.3MM,0.4MM,0.5MM,1.0MM,2.0MM,该螺杆一端固定在底座的螺杆衬套中，由于螺杆精密，所以当电机工作时，自然可以实现高精度的运动控制。 该电动载片平台结构还可以客户化定制，比如客户特定的底座，不同的行程（最高可达64MM）,传感器安装，客户化的布线等等，都可以根据客户要求定制。 更多信息请访问海顿直线电机（常州）有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn

实验室中的精密仪器和敏感实验往往要求高度精确的测量与控制，微小的振动都可能对实验结果产生不可忽视的影响。因此，为什么主动隔振台会成为众多实验室不可或缺的设备，以下是几个关键原因：1. 保护精密仪器的精确度与稳定性精密科学仪器如显微镜、光谱仪、电子显微镜、原子力显微镜(AFM)及各类光学平台等，对振动极其敏感。即使是微小的地壳振动、人员走动或空调运行等日常因素引起的震动，都可能导致测量结果失真、图像模糊或数据采集错误。主动隔振台通过动态监测并抵消外界振动，为这些精密设备创造一个几乎“零振动”的工作环境，确保实验结果的准确性和可重复性。2. 提升实验研究的质量与效率在生命科学、纳米技术、材料科学等领域，很多实验需要长时间曝光、微观结构观察或进行精密测量。若无有效的隔振措施，持续的外部振动会显著增加实验失败率，延长实验周期。主动隔振台能够有效减少因振动导致的重做次数，提升实验效率，同时保障研究成果的高质量。3. 促进创新研究与复杂实验的开展随着科学研究的深入，越来越多的前沿实验要求在极端条件下进行，如量子计算、生物分子成像等，这些实验对环境的稳定性和纯净度提出了更高要求。主动隔振台不仅能隔离低频到高频的广泛振动范围，还能适应不同的负载和实验条件，为科学家探索未知领域提供稳定的技术支撑平台，推动科学进步。4. 保障研究人员的安全与健康在进行某些涉及危险物质或高压环境的实验时，任何意外的振动都可能引发安全问题。主动隔振台通过减少外部干扰，不仅保护了实验的顺利进行，也间接保障了实验室人员的安全健康，营造了一个更加安全可靠的研究环境。综上所述，主动隔振台作为现代实验室基础设施的重要组成部分，对于维护实验的精确性、促进科研效率、推动科技前沿探索以及保障实验室安全均具有非常重要的作用。在此茂默科学推荐VarioBasic系列主动隔振台。基础信息：Vario Basic 40尺寸：396x120x111mm 载重：0-300kg，0-600kg Vario Basic 60尺寸：636x130x111mm载重：0-300kg，0-600kgVario Basic 90尺寸：932x130x111mm载重：0-300kg，0-600kg主要特征： 相比于气囊式被动隔振台,主动隔振台没有低频共振,即使在低频范围内也有出色的隔振性能。 超快的稳定时间:低至0.3秒(普通被动隔振台的稳定时间为30秒至60秒)。 主动隔振台带宽0.6/1Hz至200Hz(远超被动隔振台)。 6个自由度主动隔振。 真正的主动隔振:即时产生反作用力来抵消振动。 操作简单-按钮式解决方案。 设计紧凑,安装简便。 高度的位置稳定性-1Hz时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。 接电即可,无需压缩空气。 适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离， 广泛的适用范围:拥有标准化产品和用户定制产品。茂默科学力求解决行业内客户对科学仪器选型难、维护难的处境。欲了解更多隔振台相关的产品，Welcome to consult~咨询有惊喜哦！

在庆祝中国共产党百年华诞之际，由国家发改委立项支持、中科院高能物理研究所承建的高能同步辐射光源（HEPS）首台科研设备于6月28日上午安装，为其提供技术研发与测试支撑能力的先进光源技术研发与测试平台（PAPS）启动试运行。其中，中科科仪控股公司中科科美研制的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置也于同一天正式投入使用。直线式劳埃透镜镀制装置及纳米聚焦镜镀制装置可实现各类高能物理装置聚焦镜、单色镜、劳埃镜、纳米聚焦镜等膜层制备。在两装置研制过程中，中科科美突破了多项先进制造技术：精密加工制造技术，实现大型真空腔室及复杂运动系统精密加工与装配、减震及超洁净等严苛设计指标；大型真空系统超高真空获得技术，实现结构复杂、内部零部件放气量大的大型真空腔室系统极限真空度达到10-6Pa；高精度直线运动控制技术，实现长距离导轨运行平行度达到微米量级、运动系统速率稳定性控制在千万之一以内；复杂镀膜工艺技术，实现高精度纳米量级万层镀膜工艺，膜厚精度控制在0.1纳米以内。经相关主管部门和院所专家委员会现场测试，高精密镀膜装置结构设计合理、制造工艺先进、主要性能指标达到国际同类产品水平，填补了该领域内多项国内技术空白。直线式劳埃透镜镀制装置HEPS是国家“十三五”重大科技基础设施项目之一，该项目于2019年6月29日开工建设，建设周期6.5年。建成时，HEPS将成为中国第一台高能量同步辐射光源之一，为基础科学和工程科学领域原创性、突破性创新研究提供重要支撑平台。中科科仪控股公司中科科美凭借在真空系统集成领域深厚的专业技术积淀、强大的整体方案解决能力和一站式服务能力参与到该项目中，为国家重大科技基础设施项目实施和技术攻关贡献了力量。

一、项目基本情况1.项目编号：CFTC-BJ01-2311044项目名称：北京理工大学超精密低噪声测试平台系统采购预算金额：490.000000 万元（人民币）采购需求：采购标的用途数量是否接受进口产品投标简要技术参数或要求描述超精密低噪声测试平台系统用于教学及科研1套是详见招标文件第四章“货物需求一览表及技术规格”合同履行期限：签订合同之日起至质保期结束。本项目( 不接受 )联合体投标。2.项目编号：CFTC-BJ01-2311043项目名称：北京理工大学低温、强磁场、高压显微红外测试系统采购预算金额：306.000000 万元（人民币）采购需求：采购标的用途数量是否接受进口产品投标简要技术参数或要求描述低温、强磁场、高压显微红外测试系统用于教学及科研1套是详见招标文件第四章“货物需求一览表及技术规格”合同履行期限：签订合同之日起至质保期结束。本项目( 不接受 )联合体投标。3.项目编号：GXTC-A1-23630980项目名称：北京理工大学场发射环境扫描电子显微镜采购预算金额：462.000000 万元（人民币）最高限价（如有）：462.000000 万元（人民币）采购需求：序号货物名称主要规格单位数量交货时间交货地点是否接受进口产品投标1北京理工大学场发射环境扫描电子显微镜采购详见附件套1签订合同之日起10个月内货到采购人指定地点并安装调试验收完毕北京理工大学西山实验区是合同履行期限：签订合同之日起10个月内货到采购人指定地点并安装调试验收完毕 。本项目( 不接受 )联合体投标。4.项目编号：CFTC-BJO1-2311045项目名称：北京理工大学红外焦平面探测器综合测试与成像设备采购预算金额：430.000000 万元（人民币）采购需求：采购标的用途数量是否接受进口产品投标简要技术参数或要求描述红外焦平面探测器综合测试与成像设备教学及科研1套是详见招标文件第四章“货物需求一览表及技术规格”合同履行期限：签订合同之日起至质保期结束。本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件时间：2023年12月04日 至 2023年12月11日，每天上午8:30至12:00，下午12:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）地点：北京市朝阳区东三环南路甲52号顺迈金钻国际商务中心9层9C方式：现场获取售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和三、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：北京理工大学　　　　　地址：北京市海淀区中关村南大街5号　　　　　　　　联系方式：陈老师010-68912384 　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：国金招标有限公司　　　　　　　　　　　　地　址：北京市朝阳区东三环南路甲52号顺迈金钻国际商务中心9层9C　　　　　　　　　　　　联系方式：杨振豪、刘晓红、孙涛、王树凡、张含勇、王珊珊、边璐、谢丹丹010-53681306/1309（获取采购文件电话：010-53670136）　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：杨振豪、刘晓红、孙涛、王树凡、张含勇、王珊珊、边璐、谢丹丹电　话：　　010-53681306/1309（获取采购文件电话：010-53670136）

近日，南宁市市长黄方方一行在广西区质监局局长邓于仁等领导的陪同下，考察了广西计量检测研究院、国家量具中心等广西精密计量检测技术服务平台，并在区质监局举行专题会议，共商筹建广西光电及精密机械产品质量监督检验中心大计。　　考察过程中，邓于仁局长、黄方方市长认真听取了广西计量检测研究院负责人关于筹建广西光电及精密机械产品质量监督检验中心的项目建议汇报。双方调研工作组就项目建设用地、资金和配套优惠政策进行了深入研究，全力以赴促进项目建设。一是南宁市政府从项目用地、资金支持和配套优惠政策等方面对该质检中心建设给予大力支持，并协助自治区质监局年底前完成向自治区发改委、国家质检总局申请立项，办理项目施工的有关手续；二是南宁市政府按公益用地无偿划拨50亩土地用于项目建设；三是南宁市财政每年拨付500万元，拨付总额为1000万元建设资金给予支持， 2010年春首笔资金到位并正式动工；四是尽可能减免申报项目等涉及的相关费用；五是对该质检中心在高层次人才引进、科研开发、设备引进等方面享受南宁市高新技术产业开发区的各种优惠政策。　　据悉，广西光电及精密机械产品质量监督检验中心建设项目计划投资9000万元，占地面积50亩左右，总建设面积2.9万平方米。项目建成投入使用后，可以满足制造装备业所涉及的机械量、电学量、热工量等理化参数以及电磁兼容方面的检测需求，实现对南宁高新技术产业对光电子信息及机电产品精密部件质量检测需求的全覆盖。邓于仁局长表示，广西质监部门将竭尽全力把质检中心建成国际先进、国内一流的公共检测服务平台，为自治区、南宁市优势产业的聚集和发展交上满意答卷。

2012年4月11日消息 IDEX公司(纽约证交码：IEX)今天宣布，公司以2000万美元的现金价格，完成了对精密光电公司(Precision Photonics Corporation，PPC)的收购。据了解，PPC将并入IDEX公司的健康及科学技术部门，加入其光学光子学平台的运营队伍。　　光学和光子学平台是IDEX今年年初新形成的一个业务部门，除新加入的PPC外，旗下还拥有CVI Melles Grio、AT Films和Semrock。其中，2011年6月以4亿美金收购激光和光学设备制造厂商CVI Melles Grio；2011年初IDEX收购ATFilms；2008年收购为生命科学市场提供用于分析的光学滤波器制造商Semrock。　　值得注意的是，在健康及科学技术部门中，光学和光子学平台2011年的销售业绩达到了6.223亿美元，快速增长了47.4%。　　PPC公司位于科罗拉多州博尔德市，专业从事光学元器件和涂料的开发生产，主要供科学研究、航空航天，电信和电子设备制造领域使用。　　IDEX公司是一家应用解决方案公司，专门从事流体和测量技术、卫生及科学技术、配药设备、消防、安全及其它多样化产品制造，其产品也销往全球多种行业。

近日，据媒体报道，台积电首批300名骨干员工的家属登上美国客机，直飞凤凰城芯片工厂的配套住宅区。两周后12月初，再有大批精密设备将运过去，目前台岛工程师正在拆卸设备进行打包。美方随后还会安排大量客机把剩余的过千名芯片骨干接到凤凰城。台湾“中央社”、联合新闻网消息称，台积电创办人张忠谋21日证实，台积电将在美国亚利桑那州设立3纳米先进制程的晶圆厂。美国《华尔街日报》9日援引匿名知情人士的话透露，台积电计划在未来几个月内宣布将在美国亚利桑那州凤凰城北部再建造一座尖端的半导体工厂，投资规模约120亿美元，接近2020年拍板的5纳米工厂。新厂将采用最先进的3纳米制程，可用于制造目前最小、速度最快的芯片。报道称，台积电的这一决定是在华盛顿同意向半导体制造商提供补助金，以使先进的制造业回到美国本土后，该公司对在美国制造芯片所下的大赌注。

作为精密制造的重要下游应用之一，医疗领域应用3D打印由来已久。1996年，全球第一家药物3D打印公司Therics成立。2012年，3D打印开始应用到医疗器械领域，首次打印出人造肝脏组织。2015年，3D打印药物Spritam获得FDA上市批准。目前，3D打印在医疗器械领域主要应用在人体植入物和生物打印等方面。以血管支架为例，过去人们仅可在市场已有支架尺寸中选择，今天则可以选择根据患者特点定制、3D打印。定制化、个性化的精准医疗是3D精密制造的一大方向。而另一方向，则是以技术创新赋能医疗产业，合作研发改良式、颠覆式的创新产品。重庆摩方精密科技股份有限公司（后简称“摩方精密”），是全球唯一的，可将3D打印精度精确到2μm级别，兼具超高公差控制能力，并能实现工业化应用的企业。作为全球微纳3D精密打印领先者，摩方精密要进军医疗行业了？为此，动脉网独家访谈了摩方精密市场部总监邢羽翔。全球独创技术，攻克精密复杂器件的加工制造“2016年成立以来，摩方精密一直坚持走一条非常具有挑战性又非常性感的道路——以装备制造为基础逐步过渡到产品公司，以技术赋能行业发展的道路。”邢羽翔提到，“我们做的第一步是夯实我们的技术创新和基础研发。”邢羽翔介绍，“具体而言，摩方精密主攻的是3D打印下的微纳3D打印领域，主要用于解决传统技术难以攻克的精密小型产品和复杂器件的加工与制造，符合全球工业制造日益精密化、精准化和小型化趋势。”“面投影微立体光刻”（PμSL）即为摩方精密全球独创的技术，可提供目前全球唯一的最高精度达到2μm的高打印精度，且兼具工业水准的加工公差控制能力。工业化方面，摩方精密在1μm—20μm的打印精度范围内占据了全球垄断地位，并结合多种性能材料和相关后处理工艺，实现装备、材料、工艺三位一体技术，提供了一种全新的精密制造解决方案。PμSL的突破革新也为摩方精密带来了全球声量。2018、2019入选MIT STEX25；2021年凭借超高精密3D打印系统microArch S240荣获年度全球光电科技领域最高奖“棱镜奖”；2022年获得日本精密工学会制造奖，成为全球第三个获得该奖项的非日本企业。屡屡获奖背后，摩方精密的超高精密3D打印系统也不断迭代，充分满足生产商对精密复杂连接器等零部件的批量生产需求，将中国制造推向了全球市场。截至2023年11月，全球35个国家，近2000家科研机构及工业企业与摩方精密建立了合作，其中既有强生、GE医疗等在内的全球排名前10的医疗器械企业，也有全球前10的精密连接器企业。摩方精密全球分布目前，摩方精密立足重庆、布局全球，在深圳、北京、上海、厦门、珠海等多地设立办事处，在日本、美国等地设立海外分公司，已成长为200人的全球化团队，其中团队成员博士占比达10%，硕士占比达15%。邢羽翔谈到，“走过第7个年头，摩方精密正在从设备、服务、技术创新、终端应用四方面同步推进，致力于用高精密制造为技术赋能，推动医疗高精尖制造领域的发展。”为精密制造的创新型产品赋能“长期以来，精密复杂器件的加工一直是传统制造和3D打印的难点，也决定了其耗时且昂贵的特点。普通精度的3D打印技术无法满足样件设计的公差要求，小于200μm的细节难以体现。”邢羽翔强调，“而这正是我们所擅长的领域”。在医疗领域，高精尖器械的精细化、复杂化、孔道设计需求等趋势正盛。摩方精密的PμSL技术正是对标这一超高精密3D打印领域。7月30日，摩方精密与北大口腔医院合作，投资1200万元在重庆搭建起超高精度牙齿表面强化技术联合实验室。这一实验室基于摩方精密与北大口腔医院联合研发的“极薄强韧氧化锆牙齿贴面”终端产品。牙齿贴面采用陶瓷修复材料“贴”在牙齿表面，以恢复牙齿形态、改善色泽，其中，材料厚度决定了是否需要打磨原有牙釉质。联合研发的“极薄强韧氧化锆牙齿贴面”样例“利用超高精密3D打印技术，研发团队将氧化锆牙齿贴面厚度从全球300μm的机加工水平降至40μm左右，让患者不磨牙或尽量少磨牙，实现极微创，甚至可能无创牙齿表面美学重建和快速强化。”邢羽翔说。9月12日，摩方精密发布首款自研体外医疗器械终端应用“毛细血管器官芯片”。这是一款可直接用于体外、实现更高细胞培养培养密度、连续数周长期培养的体外3D培养芯片，可应用于疾病模型分析、新药开发研究、化妆品检测等的检测分析。自研“毛细血管器官芯片”样例“在内窥镜、微针贴片、混合微针、青光眼导流钉、雾化器、质谱仪等生物医疗赛道，我们都建立了大量的研发合作和创新赋能。”邢羽翔提到，摩方精密以技术为产品创新、行业发展赋能主要有三种方式：● 与行业前沿企业建立战略合作“通过与行业前沿企业建立战略合作，摩方精密抓住后端实际需求，打造联合实验室的研发平台和市场化合作，加速超高精密3D打印技术应用落地。”例如在质谱仪、牙齿贴面等赛道与企业签署战略合作，联合组建联合实验室平台，加速产品化及市场化进程。● 携手政府支持，产学研合作一体“通过与政府、高校、科研机构推广技术落地，我们也在探索更多元的合作形式，比如建立‘共享服务平台’。”高校方面，与北大南昌院建立精密增材制造技术联合实验室，拓展微纳能源应用；与北京理工大学重庆创新中心联合获批国家重点研发计划“科技型中小企业技术创新应用示范项目”等等。“共享服务平台”的理念被摩方精密广泛应用在产学研共建中。此前，摩方精密与重庆两江新区合作打造“明月湖超高精密增材研究院”的创新公共服务平台，将高精密3D打印技术以及其他高精密技术，开放性地提供给国内乃至全球的企业及院校使用，大大降低新技术使用门槛。同时，技术共享将反哺摩方精密，与多家科研院联合攻关下一代精密打印材料、工艺以及相关应用。● 自有品牌研讨活动“年内，摩方精密在全球范围内举办一系列研讨会、先进制造研讨会等多类交流活动，将自身品牌打造成为行业内的技术交流合作、共识形成、力量凝聚的平台。”摩方精密品牌研讨圆桌论坛“下一站”——技术赋能型平台公司在对于摩方精密的品牌打造、战略赋能的分析中，邢羽翔多次重复提及的一个词是“平台”。中国人民大学数字经济研究中心执行主任程华在分析“实体经济与数字经济融合”的文章中曾经提到，“赋能是平台型企业的生存方式和内在冲动。”这一逻辑并不适用于早期的摩方精密——一个技术研发驱动的前沿制造业、一类高技术壁垒的实体经济。但在分析中我们看到，摩方精密正在自发地构建一个以技术赋能行业的平台型企业。其内驱力在哪里？也许是摩方精密官网上“秉承将3D打印转变为真正的精密快速成型及直接生产制造”的愿景。邢羽翔的答案是“摩方精密希望最终过渡成为技术赋能性平台公司”。更有可能的是，作为领先全球的前沿技术，摩方精密所在的高精度3D打印赛道仍显荒芜，潜在空间广阔，但急需培育市场的“开垦者”。做“开荒者”，也做“开垦者”，最终成长为行业引领者，这一路径已在无数赛道被验证。最终，市场空间有多大，要看“开垦者”如何拓展赛道边界、如何搭建起创新与内卷并存的生态圈。来源：动脉网

2023年7月，宁波柯力传感科技股份有限公司（“柯力传感”）与深圳点联传感科技有限公司（“点联传感”）正式签署协议，完成天使轮投资。柯力传感是此次点联传感天使轮融资的领投方。 　　深圳点联传感科技有限公司正式成立于2022年，是由多名清华大学博士领衔的高层次人才硬核团队，精密仪器专业出身，专注传感检测研究15年。 　　点联传感在精密光学系统、高速硬件电路以及综合检测算法方面有深厚的研究基础，依托底层高速高精度CMOS激光测量传感器技术框架，逐步拓展对射式、反射式以及同轴共聚焦的产品矩阵，实现对工业品形位尺寸的精密检测与定位，提高生产效率与性能。未来，点联传感将在产学研基础上，进一步构建名校传感器成果转化平台，立志解决中国工控及其他领域中高端传感器卡脖子问题。据悉，柯力投资点联传感主要是基于以下三个方面的考虑： 　　第一、当前国内精密测量传感器的发展仍处于起步阶段，未来是一个确定性的发展机会，是柯力布局传感器行业的重要市场方向。 　　第二、高精密测量传感器有一定的技术壁垒，需要依赖技术型团队才能打造升级产品，形成品牌。点联传感团队是由多名精密仪器专业出身的博士组成，专业技术能力强。 　　第三、通过柯力投资与赋能，可以快速提升点联传感的客户拓展能力，整体价值实现1+1＞2。 　　当前，中国制造业正在向高精度、智能化的方向转型升级。高精度工控传感器是制造装备的基础要素，柯力传感对点联传感的投资与赋能，将助力其成为中国制造业转型升级过程中的国内外一流传感器品牌，同时，也将加速柯力从单一物理量传感器向多物理量传感器融合的步伐与进程。

作为天开高教科创园津南园的承接载体之一，日前，天津高端精密仪器产业园项目一期交付，今后将为天津大学精密仪器的成果转化落地提供平台。作为全市首家以精密仪器、传感器以及工业过程控制为主导产业的专业化主题园区，天津高端精密仪器产业园一期占地52亩，能为企业提供建筑面积约500至5000平方米的三至五层双拼、独栋、多层厂房，可用于科技研发、小试中试研发组装、集合性办公等。随着众多企业入驻，园区将形成产业聚集效应，并在校企对接、研产科技转化、解决企业用工需求、市场对接撮合、股权融资、银行机构融资方面发力，为入园企业发展赋能。天津高端精密仪器产业园相关负责人介绍说：“截至目前，园区一期招商引资工作已经全部完成，累计引进企业26家，其中，国家高新技术企业10家、专精特新企业3家、雏鹰企业4家。”

制造业是国家经济命脉所系，是立国之本、强国之基。把制造业高质量发展作为主攻方向，能促进我国产业迈向全球价值链中高环。制造业被国外限制升级 广东制造业高质量发展”十四五“规划出台当前，经济全球化噪音逆流，保护主义上升、世界经济低迷、全球市场萎缩。再加上新冠肺炎疫情对全球经济产生巨大冲击，世界进入动荡变革期。国内制造业出口增长收到抑制，发达国家在关键核心领域对国内制造业发展的限制升级，国内产业链安全和稳定面临前所未有的压力。广东省作为我国制造业发展的排头兵，近期发布《制造业高质量发展”十四五“规划》，为国内战略性产业供应链稳定发展保驾护航。《规划》提出高起点谋划发展战略性支柱企业、战略性新兴产业以及未来产业。战略性支柱产业包括生物医药与健康、现代农业与食品、绿色石化、智能家电等；战略性新兴产业包括半导体及集成电路、高端装备制造、精密仪器设备、前沿新材料等；未来产业包括卫星互联网、光通信与太赫兹、干细胞等。广东省制造业高质量发展”十四五“规划十大战略性新兴产业空间布局图巩固提升生物医药与健康细分领域 2025年实现营收1万亿元《规划》指出要加速创新药物战略布局，大力发展抗体、蛋白及多肽、核酸等新型生物技术药物，着力突破精准医学与干细胞、新药创制、生物安全、生物制造等关键核心技术。建设高端化智能终端产业集聚区，发展健康监测仪器和监测设备。要发展智慧医疗，推动高端医疗器械研发产业化，发展高质量植介入产品、康复产品和高性能体外诊断产品。到2025年，生物医药与健康产业力争实现营业收入1万亿元。1.打造粤港澳大湾生命科学合作研发区 布局生命科学、研发外包等医药制造领域 十四五期间，广东要打造粤港澳大湾区生命科学合作区和研发中心，布局生命科学、生物安全、研发外包等领域，加快发展生物制药、化学药、现代中药。建设全球生物医药创新发展策源地，做精做深生物信息、细胞与基因治疗等领域，重点推进新靶点化学药、抗体药物创制及中药现代化发展，开展高端仿制药、首仿药等研发。打造生物医药资源新型配置中心，加快发展精准医疗和中医药医疗服务，重点发展现代中药标准化、高端制剂等领域。发展生物药、化学药、中药。打造生物医药科技成果转化基地、生物医药科技国际合作创新区。打造国内重要的核医学研发中心、生物医药研发制造基地。建设再生医学大动物实验基地、南药健康产业基地。布局建设化学原料药生产基地、道地药材和岭南特色中药材原料产业基地。2. 加快体外诊断、高端医用耗材产品研发 发展基因测序、细胞治疗高端领域大力发展医疗器械行业，加快体外诊断产品、高端医用耗材和先进医疗设备等产品研发。着力发展医学影像诊断类、放射治疗类、医用电子仪器类、介入治疗类、骨科植入体类、口腔义齿类和体外诊断试剂类产品。加快打造唐家湾医疗器械研发生产基地，集聚以医疗器械为主的生物医药创新研发企业。加快发展口腔器材、康复医疗器械、医用导管等医疗器械。重点发展医疗装备器械、家庭医疗康复设备、家庭护理设备等诊断器械、治疗器械和辅助器械。加快建设广东省智能化超声成像技术装备创新中心，着力发展医学影像诊断装备产业。广州重点布局生命科学、高端医疗、健康养老等领域。深圳重点发展基因测序、细胞治疗等领域。珠海发挥宜居城市健康生态资源优势，发展“医药养冶大健康产业。粤东粤西粤北地区发展康复保健、养生养老等产业。对生命健康更高层次的追求是社会发展进步的直接体现。生物医药产业是近年来中国成长性最好、发展最为活跃的经济领域之一。根据国家《" 十四五 " 规划和 2035 远景目标纲要》，国家重点强化国家战略科技力量，科技前沿领域攻关，基因与生物技术纳入前沿领域范畴。从生物医药产业链上市企业的区域分布情况来看，中国生物医药产业链上市企业分布在广东、浙江、江苏、上海、北京等地区，且规模较大，广东省产业集聚效应明显。广东孵育出了四十余家医药上市企业，包括华大基因、金域医学、迈瑞医疗、达安基因、万孚生物、键帆生物、凯普医疗、阳普医疗、开立医疗等一流企业。而本次出台的《广州高质量发展" 十四五 " 规划》政策扶持将会生物医药行业协同发展。前瞻布局精密仪器设备 2025年产业规模到3000亿元《规划》表示要巩固提升示波器、监护仪、血细胞分析仪、功率分析仪、基因测序仪、质谱仪等国内国际领先优势。重点突破工业自动化测控仪器与系统、大型精密科学测试分析仪器、高端信息计测与电测仪器等领域技术研发与产业化应用。支持新型传感技术、智能化技术、计量测量技术、功能安全控制技术等共性核心技术研究与产业化应用，打造贯穿创新链、产业链的创新生态系统。目标是到2025 年，精密仪器设备产业规模达到约 3000 亿元，基本建成产业结构布局合理、自主创新能力突出、具有核心国际竞争力的世界级现代化产业集群。广东省”十大“战略新兴产业布局1.OCA自动全贴合设备、共焦显微仪器等工业自动化测控仪器以珠三角地区为核心，重点支持广州、深圳开展精密仪器设备研发创新、制造, 广州加快推进面向消费电子产线的模块化嵌入式仪器平台、基于AI的产线视觉测试平台、面向自动化产线的模块化夹具与载板平台等研制工作。深圳加快 OCA(光学胶) 自动全贴合设备研发。中山加快“超精密仪器技术与工程产业化及研发中心冶 建设，研发共焦显微仪器、超精密多轴基台和平板在线检测装备等。2.以质谱仪开发为主线 重点攻克激光器、离子源等关键核心技术发挥生产制造优势, 建设精密仪器设备生产基地。支持高校、科研院所加强精密仪器设备检测创新原理和方法的基础研究，解决精密仪器设备的关键技术问题，逐步实现精密仪器设备产业的短板技术与关键设备国产化突破和进口替代。支持广州加快建设粤港澳大湾区高端科学仪器创新中心，以质谱仪器开发为主线，重点攻克激光器、离子源、真空系统、数据采集等关键核心技术。布局建设精密仪器设备科技产业园区，支持中山西湾国家重大仪器科学园、东莞松山湖科技产业园区、广州生命科学大型仪器区域中心等各类专业园区 (中心) 建设。3.高端信息计测与电测仪器 加快红外光谱仪器研发创新加快高精度电测仪器、户外高加速老化试验仪、高精度多声道超声波流量计、5G数据采集综合测试仪、高精密触发测量、高精密扫描测量等仪器研发创新, 支持开展环境应力筛选、可靠性强化、产品寿命等可靠性工程试验、产品可靠性检验检测等应用。支持佛山加快红外光谱仪等测量仪器研发创新。《规划》特别提到了要加强高端科学仪器如基因测序仪器、质谱仪和红外光谱仪的研发：深圳重点发展基因测序、细胞治疗等领域；解决精密仪器设备的关键技术问题，重点攻克质谱仪激光器、离子源、真空系统、数据采集等关键核心技术；支持佛山加快红外光谱仪等测量仪器研发创新。其实许多国产高端科学仪器出自广东省，国内二代基因测序领头羊华大智造总部在深圳，国产质谱仪优秀代表禾信仪器坐落于广州。广东的发展定位是世界先进水平的先进制造业基地，全球重要的制造业创新聚集地，制造业高水平开放合作先行地，国际一流的制造业发展环境高地。后期将会加大制造业重大项目招商引资和建设力度。加强与国内外制造业龙头企业精准对接，吸引优质项目入驻广东。《规划》的发布，无疑将会吸引一大批拥有自主研发核心技术的生物技术企业入驻广东。而广东发展的目标是到2025年，制造业整体实力达到世界先进水平部分领域取得战略性领先优势，形成若干世界级先进制造业集群。到2035年，制造强省地位巩固，关键核心技术实现重大突破，制造业综合实力达到世界制造强国领先水平，成为全球制造业核心区和主阵地。 广东把每个地级市安排的妥妥的，仪器和生物技术企业们，来广东发展吧！

1月18日，合肥国家中德智能制造国际创新园揭牌仪式暨2017年度合肥高新区智能制造项目集中签约仪式在合肥市政务中心举行。创新园将成为中德两国科技创新、成果转化、产业发展合作的示范区，中德两国的科研人员将在合肥“碰撞”出“智能制造”的火花。　　研发全球首台量子精密测量谱仪　　此次签约的项目团队多为高、精、尖人才，其中包括中科大的量子研究团队。　　“中科大杜江峰院士主要开展量子精密测量领域的研究工作，其团队在该领域的研究成果处于世界领先水平。”高新区负责人介绍，杜江峰院士承担量子精密仪器研发和制造项目，将在高新区研发全国首台脉冲式电子顺磁共振谱仪，及全球首台量子精密测量(量子探针)谱仪并实现产业化。　　该负责人介绍，在本次智能制造项目集中签约仪式上，将围绕中德合作、高校院所及知名企业合作等进行12个重大项目的签约。　　创新园重点发展五大产业集群　　合肥国家中德智能制造国际创新园位于合肥高新区，规划面积15平方公里，南区规划面积5平方公里，功能定位为科研培训区、企业孵化区、配套服务区。北区规划面积约10平方公里，位于合肥高新区南岗科技园，功能定位为产业集中区。　　创新园以智能制造产业为主，重点发展新一代信息技术、高端装备制造、节能和新能源汽车、生物医药和高端医疗器械、应急装备制造五大产业集群，建设中德智能制造国际交流与教育合作基地、中德智能制造成果转移与企业孵化基地两大创新平台和一个技术创新中心，形成一套综合性金融创新服务体系。　　成为中德两国科技创新示范区　　合肥国家中德智能制造国际创新园是科技部批准设立的国际合作基地，是落实中德合作的重要平台和抓手。　　该负责人介绍，目前国际创新园已集聚了一批德资企业，在技术研发、人才交流等方面中德双方也建立了良好的合作关系。下一步，合肥高新区将集聚相关资源，进一步加强与德国在项目、人才、物流、交通等领域的合作，将合肥国家中德智能制造国际创新园打造成为合肥对外开放合作发展的新窗口、“中国制造2025”和“德国工业4.0”融合发展的新平台和深度结合的集中区、科技金融与高端国际人才的聚合区，最终成为中德两国科技创新、成果转化、产业发展合作的示范区。

近日，广东省计量科学研究院公开招标，购买精密露点仪标准温度计、空气离子测量仪等多台仪器，预算784.35万元。　　项目编号：CLF0121GZ02ZC99　　项目名称：2021年度国产计量检测仪器设备采购项目(第一批)　　采购方式：公开招标　　预算金额：7,843,500.00元　　采购需求：　　合同包1(比对类检测设备):　　合同包预算金额：678,500.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1试验仪器及装置精密露点仪标准温度计1(套)详见采购文件--1-2试验仪器及装置高精度直流标准表1(套)详见采购文件--1-3试验仪器及装置一般压力表15(个)详见采购文件--1-4试验仪器及装置高精密数字测温仪4(台)详见采购文件--1-5试验仪器及装置温湿度巡检仪1(套)详见采购文件--　　本合同包不接受联合体投标　　合同履行期限：自签订之日起至所有设备质保期满后 。　　合同包2(财政专项类检测设备):　　合同包预算金额：4,421,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)2-1试验仪器及装置气体活塞式压力真空计1(套)详见采购文件--2-2试验仪器及装置三相电能表检定装置1(套)详见采购文件--2-3试验仪器及装置直流电能表综合检测装置1(套)详见采购文件--2-4试验仪器及装置三相电能表耐久性试验装置1(台)详见采购文件--2-5试验仪器及装置磁场标准装置1(套)详见采购文件--2-6试验仪器及装置高精度直流测试系统(标准表)1(套)详见采购文件--2-7试验仪器及装置全自动活塞式压力计1(套)详见采购文件--2-8试验仪器及装置温湿度标准箱1(套)详见采购文件--2-9试验仪器及装置直流电压传感器校准装置1(台)详见采购文件--2-10试验仪器及装置高低温湿热试验箱3(套)详见采购文件--2-11试验仪器及装置双通道高精度直流多用表1(套)详见采购文件--2-12试验仪器及装置交流电压传感器校准装置1(台)详见采购文件--2-13试验仪器及装置单相电能表耐久性试验装置1(台)详见采购文件--2-14试验仪器及装置三相电能表检定装置1(套)详见采购文件--　　本合同包不接受联合体投标　　合同履行期限：自签订之日起至所有设备质保期满后　　合同包3(监督抽查类检测设备):　　合同包预算金额：1,585,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)3-1试验仪器及装置膜式燃气表温度适应性装置1(套)详见采购文件--3-2试验仪器及装置直流高压浪涌耦合/去耦合网络1(台)详见采购文件--3-3试验仪器及装置紫外线耐气候试验箱1(套)详见采购文件--3-4试验仪器及装置电子式交流电能表射频电磁场感应的传导骚扰抗扰度试验装置1(套)详见采购文件--3-5试验仪器及装置电能表继电器负载测试台1(套)详见采购文件--3-6试验仪器及装置三相耐久性程控源5(台)详见采购文件--3-7试验仪器及装置三相电能表检定装置1(套)详见采购文件　　本合同包不接受联合体投标　　合同履行期限：自签订之日起至所有设备质保期满后　　合同包4(化学省站建设项目检测设备):　　合同包预算金额：1,159,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)4-1试验仪器及装置30m3环境测试舱（玻璃舱体）2(套)详见采购文件--4-2试验仪器及装置高纯气体脱氧、脱水系统1(套)详见采购文件--4-3试验仪器及装置气体标准物质自动配气装置1(套)详见采购文件--4-4试验仪器及装置3m3环境测试舱（玻璃舱体）1(套)详见采购文件--4-5试验仪器及装置1m3环境测试舱（玻璃舱体）2(套)详见采购文件--4-6试验仪器及装置空气消毒机消毒效率检测系统1(套)详见采购文件--4-7试验仪器及装置空气离子测量仪1(台)详见采购文件--　　本合同包不接受联合体投标　　合同履行期限：自签订之日起至所有设备质保期满后　　开标时间：2021年05月20日 09时30分00秒(北京时间)委托协议.pdf2021年度国产计量检测仪器设备采购项目（第一批）招标文件（2021042903）.pdf

市政府办公厅近日印发《青岛市精密仪器仪表产业园发展若干政策》。青岛将以政策撬动加快推动精密仪器仪表企业向位于高新区的青岛市精密仪器仪表产业园集聚，借此提升产业链完整度和竞争力，打造北方仪器仪表产业总部基地。精密仪器仪表产业是青岛面向未来重点布局发展的新兴产业之一。青岛市精密仪器仪表产业园总占地2903.5亩。根据政策，园区将重点发展工业测控系统与装置、实验分析仪器、传感器及核心元器件三大领域，并围绕这三大领域开展延链、补链、强链。政策共涵盖十条支持措施。青岛将连续三年由市财政每年出资1亿元用于园区建设，同时从加速优质项目集聚、支持企业规模化发展、支持企业加强科技创新、鼓励产品推广应用等方面给予支持。根据政策，新入园的精密仪器仪表企业申请租用研发、办公用房或生产厂房的，可依条件连续获得5年房租补贴。对满足条件的投资企业和项目，竣工投产后按照设备投资的20%给予最高1000万元的一次性奖补。企业是产业发展的主体，企业做大做强是产业发展的根本支撑。政策提出，对园区内具有独立法人资格并纳统的精密仪器仪表制造企业，年营业收入首次达到5000万元、1亿元、3亿元的企业，分别给予不同数额的一次性奖励。对实施技术改造并达到一定标准的规模以上的制造业企业，按照企业年度设备投资不超过16%的比例给予奖补。搭建良好创新生态对新兴产业发展而言至关重要。政策支持园区领军企业联合高校院所协同创新，强化共性技术供给。支持园区企业开展技术攻关、平台建设等，按现行市级科技计划体系给予支持。对园区内加大研发投入的产业链上下游企业、研发机构，按照企业当年加计抵扣确认研发费用的8%-15%予以每年最高不超过600万元的奖励。针对产品技术集成和功能创新，对通过省级认定首台（套）技术装备及关键核心零部件的企业，按照认定年度产品销售额5%给予奖补，成套设备最高奖补150万元，单台设备（关键核心零部件）最高奖补100万元。产业发展离不开人才。政策对入驻园区企业从产业人才引进、产业人才培育以及高端人才聘用等三方面给予奖励。根据规划，到2028年，青岛市精密仪器仪表产业园目标营收规模突破300亿元，“四上”及高新技术企业数量达到180家以上，国家级、省级创新平台达到20个以上，上市企业达到8家以上。培育一批细分领域隐形冠军，打造一批供应链稳定、要素链完备、创新链活跃、“根植性”和竞争力强的现代产业集群，塑造“青岛制造”新优势。

十几年前，当数位战略科学家聚首探讨精密测量物理学科发展走向时，他们预判中国会一步步缩小和国际先进水平的差距，有一天会走在国际前沿，甚至引领发展。他们没料到的是，这一天来得如此之快，当然也没料到“卡脖子”同样来得很快。当下，世界正经历百年未有之大变局，科研环境也发生了巨大变化。所幸十几年前，在国家自然科学基金等的资助下，我国布局了一批前瞻性、引领性的基础研究。在国家自然科学基金重大研究计划——“精密测量物理”项目稳定资助下，我国不仅在精密测量领域取得了多项“世界最好”“精度最高”的成就，凝聚、培养了一支队伍，大大增强了在该领域的国际话语权和竞争力，还辐射带动了相关学科发展。“算是对我们10年‘打工’的鼓励吧。”谈及“精密测量物理”重大研究计划的研究成果对相关学科的引领带动作用，中国科学院院士，华中科技大学、中山大学教授罗俊的语调中透着实现“小目标”的轻松。实际上，这项超前布局的研究计划仅酝酿谋划就用了5年时间。此后在研10年，“聚队伍、聚智慧、聚重点、聚资源、聚突破”，项目成果全面超越预期目标。“十几年前，国家自然科学基金支持一批科研人员开展精密测量物理研究确实很有开拓性。”罗俊告诉《中国科学报》，“这项研究计划虽然圆满结题了，但精密测量永无止境，精益求精是无尽的追求。”破局，始于“香山科学会议”2008年7月，第327次香山科学会议（创立地点及会址在北京香山）破例在位于湖北省武汉市的华中科技大学召开。7位院士、50余位物理学家相聚喻家山，参加为期3天的“精密测量物理和方法”主题研讨会。“在香山科学会议之前，叶老师（中国科学院院士叶朝辉）和几位专家动念提出开展‘精密测量物理’研究，是因为我们遇到了一些问题。”罗俊回忆说，“当时我国很多学科面临怎样向前沿延伸的困境。一个严峻的现实是，我们的科研仪器基本全靠进口。别人生产的仪器卖给我们之前，实验室里该做的研究都做完了，我们一直跟在后面做，这样很难触及科学最前沿。”没有自己的仪器，跻身前沿都很难，更别说超越引领。科研仪器如此重要，但问题是，这种尖端的科研仪器谁来研制？在此背景下，叶朝辉等人提出了“精密测量物理”的概念。“我们现在对‘精密测量物理’有很多期待，赋予它很多内涵。但当时的出发点和最基本的想法就是做出一套最先进的仪器给科学家用。”罗俊说，“要挺进学科最前沿，验证物理学家的想法，进行实验研究，必须有自己的仪器设备。”香山科学会议后，叶朝辉、罗俊等人在国家自然科学基金支持下，开始推动重大研究计划立项，在数理科学部的主持下，组织双清论坛进行论证。2013年，“精密测量物理”重大研究计划获准立项。引领，辐射学科带动人才按照该重大研究计划最初的设计，研究目标分为三部分。一是精密测量工具仪器研制，以时间频率测量为代表，将光频这些和国际水平差距较大且非常基础的测量仪器“做上去”；二是在更高精度上测量物理基本常数并检验物理基本规律，这是精密测量物理的难点和重点；三是研究精密测量新体系，发展新方法和新技术，不断突破测量极限，包括突破标准量子极限等。实际上，在该重大研究计划执行的10年中，他们不仅圆满完成了三大目标，还屡屡取得突破性进展，获得多项“世界最好”“精度最高”的成就。“这项重大研究计划的特点之一是带动了整个中国精密测量物理学科的发展。”中国科学院精密测量科学与技术创新研究院研究员詹明生说，“也带动了其他一些项目，辐射和延伸到了相关领域，比如影响了中国科学院的先导科技专项，带动基于原子分子的物理研究向精密测量物理延伸。”中国科学院国家授时中心研究员张首刚认为，该重大研究计划的意义在于10年前就有了明确目标，把精密测量这项前沿基础研究和国家战略需求相结合，从而做出一系列方向性、引领性的研究工作。“通过国家自然科学基金项目牵引，这些年我国精密测量物理研究队伍不断壮大，并从基础研究向前沿基础研究推进。”张首刚说，“我们不但超额完成了该重大研究计划的各项指标，还产生了原创性的想法，取得一批‘国际首次’级的成果，并在部分领域领先国际。”“量子精密测量是精密测量物理的一个前沿方向，很多微弱信号测量，比如引力波探测、量子操控、原子分子和光物理等研究都离不开精密测量。”上海交通大学教授张卫平补充道，“这个项目将我们的学术生涯和国家战略需求完美对接起来，我觉得最大成果之一是凝聚并培养了一支队伍。”清华大学教授尤力同样认为，这是个高瞻远瞩的研究计划。“过去四五年，国际科研环境发生了巨变，出现了更多的不确定性。我们必须科学上自主、技术上独立。好在我们进行了预研，建立了这么一支队伍。”求精，追求永无止境精密测量物理对实验条件要求极高，数千米外的振动、电流波动、地球磁场，甚至空气温湿度都会影响测量精度。为避免外界扰动，30多年前，罗俊等人就将实验室建在位于喻家山的一个山洞里。在罗俊团队的引力常数测量进行到关键时期时，地方政府按规划准备在喻家山下修一条路。“修路会引发两个问题：一是山体稳定性发生变化，这些微小变化会导致实验环境不稳定；二是修路过程中及修好后，车辆经过产生的震动会影响测量精度。”了解到罗俊的担忧，华中科技大学和武汉市都非常支持实验研究。最后，武汉市调整道路规划，终止了道路修建。得益于安静的实验环境，罗俊团队测出了世界上测量精度最高的G值（引力常数）。至今，该数值仍保持着世界第一的纪录。“精密测量物理要测的通常是非常小的数值，它无限趋近于‘0’，但永远不会达到‘0’。例如，我们进行粒子、量子、多粒子纠缠等前沿研究，背景补偿（抵消环境磁场的影响）做得越好，测量结果就越准。”尤力感慨地说，“我们测一个量，总希望向小数点后再多推一位，但最终要推到什么地方、推到什么程度，没有人知道。所以精密测量物理没有止境，需要长期坚持，也需要长期支持。”“精密测量的本质是永无尽头。”罗俊说，“精密永无止境。这种无限精密、精益求精的特点造就了精密测量物理研究者不断提高精度、不断开发新技术，挑战新极限的信念。”传承，精密测量精神“我们常说十年磨一剑，从事精密测量物理研究真的需要长期积累。”华中科技大学教授胡忠坤说，“它需要10年、20年，甚至更长时间才有可能见到成效，因此研究者要耐得住寂寞，但也需要得到长期稳定的支持。”“精密测量物理有两个特点：一是高精尖，二是研究周期特别长。”山西大学教授张靖补充说。20世纪90年代初，张靖还在华中科技大学读本科，有时会到位于喻家山山洞的实验室上课。他记得当时山洞两边都是实验室，里面很安静，感觉很神秘。“精密测量物理研究不是三两个人花两三年时间就能取得成果的。罗老师选择在山洞里做实验，还带出一支队伍，一步步把精度提高再提高，确实很有魄力。”张靖说。“我们国家的科学研究已经形成了崭新的局面，上了一个历史性的新台阶。现在我们山洞的实验条件是30年前根本无法想象的，每个实验室都‘鸟枪换炮’，不知道好到哪儿去了。”罗俊说，“但当初也没觉得条件多艰苦，因为有兴趣、有追求，希望能精益求精，所以并未在意‘苦’还是‘不苦’。”“进行精密测量物理研究，总是想精益求精，把精度提高点，再提高点。”清华大学教授尤力对《中国科学报》说，“进实验室打开仪器，我们就知道北京地铁4号线列车什么时间进站、什么时间出站，地铁运转产生的磁场会严重影响原子能级……”尽管北京地铁4号线从清华大学、北京大学两所高校旁通过时采取了一系列减震措施，但轻轨列车进站减速、出站加速时电流变化产生的磁场，还是会影响1.5公里外清华大学的原子分子与光物理实验。磁场变化会引起原子能级移动，给光学测量带来不确定性，使科学家无法判断是否出现了误差。虽然研究人员已经习惯在夜深人静时做实验，但很多扰动仍无法避免。“我们做原子分子与光物理研究时，原子的磁矩就像一块小磁石，它周围的磁场扰动会让原子磁矩抖动，导致测量信号不确定。”尤力说，“环境中各种扰动、噪声、磁场等都会影响测量结果。”尤力团队曾对实验室环境进行检测，不只地铁4号线列车进出站，包括地球磁场、实验室照明电路，甚至光学实验平台上的金属器件（螺丝钉、钻头等）所带磁性都会影响测量精度。“这些磁场是‘躲不掉’的，那就想办法把它‘干掉’。”尤力说。在多次测量、分析、计算的基础上，尤力团队创造性地应用了“背景补偿”这样一个解决方案。简单地说，就是针对一些无法改变的干扰因素，比如地球磁场、实验室电流磁场等，研究人员先测出环境磁场强度，计算出平均值，然后绕制一个通电线圈，使其产生相反的磁场，用“前置反馈”的手段，将环境磁场的磁力抵消。“用‘前置反馈’补偿（抵消）背景磁场是个亮点。”中国科学院院士，华中科技大学、中山大学教授罗俊说，“虽然‘前置反馈’不是新概念，但要把它做成，需要很好地掌握背景磁场，用它解决问题简单、高效。”“我们用的物理概念并不新鲜，但它能解决实际问题。”尤力说，“我们用一块电路板就解决了问题，同很多兄弟单位分享了这项技术，能为大家做点事我很高兴。”在反馈补偿技术的“加持”下，尤力团队取得了一系列重要突破。他们突破了标准量子极限测量非经典双数态新体系，解决了双数态确定性制备难题，该体系在原子数、原子数涨落、压缩系数以及相干性等多项重要指标上远超国际同类实验。团队通过调控量子相变过程，解决了传统动力学制备方法所存在的问题，在国际上首次确定性地制备了大粒子数双数态87Rb原子玻色爱因斯坦凝聚体。目前，该实验平台能在40秒内确定性地制备约1万个粒子组成的多体纠缠态，从非纠缠的初态到双数态凝聚体的转换效率高达（96±2）%。该双数态的量子噪声的压缩度为（13.3±0.6）dB，是国际同类实验中最好的指标。双数态的相干性更是达到了接近理想值的0.99，远优于此前国际上最好的0.9。由此，实验可以表征的纠缠粒子数也是目前能确定性制备量子纠缠数目的世界纪录。这项工作大大提高了双数态在精密测量中的实用性，首次验证了量子相变可以作为制备多体量子纠缠态的有效手段，为纠缠态的制备提供了新思路。追求极限, 刷新“钙帮”世界纪录近年来，中国科学院精密测量科学与技术创新研究院研究员高克林团队研制出不确定度为 3×10-18（相当于105亿年不差1秒）、稳定度为6.3×10-18@524000s的钙离子光频标，成为第五种不确定度指标达10-18水平的光频标、第二种稳定度达10-18量级的离子光频标，并研制出目前搬运距离最远的光钟，实现精度达到10-16的钙离子光频的溯源测量。该成果被国际时间频率咨询委员会推荐为次级秒定义。“钙离子有很多优点，比如其光频跃迁是搭建高精度光频标的理想参考，可有效抑制离子特有的微运动频移。其离子的量子态制备、激光冷却及钟跃迁探测所用的激光均可用商品化的半导体激光器发射，因此极有可能实现广泛应用。”高克林说，“但是钙离子光频标也面临两个世界级难题：一是钙离子对磁场非常敏感；二是钙离子在室温下对黑体辐射效应（环境温度）敏感。”频率标准研究对外场控制（环境中各种效应，如振动、噪声、磁场和温度等）的要求非常高，国际上许多光频标研究机构已经放弃参考钙离子搭建高精度光频标。目前，国际上仅有锶原子光频标、镱原子光频标、铝离子光频标，以及镱离子光频标的不确定度达到10-18量级。“能否直面这些国际难题，将钙离子光频标推进至更高精度是我们面临的艰巨挑战。”高克林说，“在叶朝辉、罗俊院士领导的精密测量项目专家组与频标科学家王义遒、王育竹、李天初等人的关心和支持下，我们一步步解决了这些难题，将钙离子光频标推至国际第一方阵。”为进一步提高钙离子光频标的性能，研究人员通过改进钟跃迁激光性能，建立了第二台钙离子光频标并进行比对，大幅降低了电四极频移、光频移和微运动频移，实现了不确定度达5.5×10-17、稳定度达7×10-17的钙离子光频标。2018年，团队通过“魔幻射频囚禁场”抑制了微运动频移，又通过降低黑体辐射频移、改进光频标伺服软件等措施，进一步将钙离子光频标不确定度提升至2.2×10-17。2019年，通过对两台钙离子光频标长达31天的频率比对，研究人员测得稳定度达到6.3×10-18@524000s。为降低钙离子光频标黑体辐射频移的影响，团队将离子阱置于液氮低温环境中，使黑体辐射频移对温度的敏感度降低了约两个数量级。与国际上采用的液氦系统相比，液氮系统造价低廉、操作简单。但缺点是使用中液氮会蒸发，系统运行时液氮容积变化易造成离子位置移动，从而导致荧光信号损失。为解决低温系统问题，研究人员反复迭代和纠错，并采用清华大学教授尤力团队的“前置反馈”技术，大幅降低了背景磁场噪声。最终，该团队在国际上首次实现了液氮低温钙离子光频标，不确定度达到3×10-18。2020年，该团队实现钙离子光频标系统集成、可靠和高精度运行等关键技术突破，研制出一台精度24亿年偏差不到1秒的可搬运钙离子光钟，首次将钙离子光频测量精度推进到国际最高水平，并实现从武汉到北京千公里级车载搬运。“研究钙离子的人称自己为‘钙帮’。”高克林说，“在实验关键时期，大家加班轮岗的故事很多，但没人觉得辛苦，因为热爱，所以乐在其中。”在精密测量领域实现量子优势前不久，中国科学院院士、中国科学技术大学教授潘建伟，中国科学技术大学教授陆朝阳等基于“九章二号”中自主设计的受激双模量子压缩光源，结合非线性干涉仪，提出并演示了一种新方案来实现可扩展的、无条件的、鲁棒的量子精密测量优势。相关成果发表于《物理评论快报》。“实际上，该成果是在‘精密测量物理’重大研究计划前期工作的基础上衍生出的一项新成果。”陆朝阳告诉《中国科学报》。“精密测量物理”重大研究计划有几个子研究方向，其中中国科学技术大学团队的目标更具探索性质，主要是基于单光子和纠缠光子探索精密测量的新原理、新方法。在研期间，团队基于高品质单光子和多光子纠缠突破超越标准量子极限，在国际上首次同时解决了单光子源的三个关键问题，实现国际上综合性能最优秀的单光子源。“制备单光子源是这个重大研究计划中的一项代表性工作。”陆朝阳解释说，“进行量子精密测量或量子计算时，有用的是单光子源。这就像幼儿园小朋友‘排排坐’，如果有100个小朋友，每个小朋友坐一条板凳是理想状态。但自然界的光源（灯光或阳光）是热光源，它们衰减之后只有约8%是单光子（相当于一个小朋友坐一条板凳），约90%是‘空板凳’，另有2%是两个或多个光子（一条板凳上坐多个人）。在量子技术中，‘空板凳’无法用于测量，而一条板凳坐多个人会引起测量误差。因此，科学家要在实验室通过主动量子调控制造一种非经典的量子光源。”精密物理测量往往会受一些在原理上都无法避免的“散粒噪声”的影响。因此，任何测量都存在精度极限。不过，量子光源可以打破这种物理极限。中国科学技术大学团队用制备出的新光源进行测量，发现它比之前用激光光源测量的精度提高了0.6dB，而且首次实现了强度压缩。此后，该团队又研发出“九章”系列光量子计算原型机。在“九章二号”的相关研究中，团队受到激光的启发，发明了一种受激辐射放大量子光源的新方法。在调节这种新光源的位相时，他们意外发现数据对相位特别敏感。“我们当时灵机一动，想利用这个现象做量子精密测量。”陆朝阳说。抱着试试看的想法，研究人员基于“九章二号”中自主设计的受激双模量子压缩光源，结合非线性干涉仪，提出了一种新方案来达到海森堡极限。该方案同时具有可扩展性、无条件优势、对外部光子损失鲁棒等优点。在未扣除任何实验噪声的情形下，在相位测量实验中直接观察到的单光子信息量（用于衡量测量的精度），达到了目前国际最高水平。精密物理测量领域有一个共识：如果把精度向前推进一个数量级（10倍），就有可能发现新物理、新规律。这一次，中国科学技术大学团队基于量子受激光源发展出新的量子精密测量技术，将测量精度极限提高了5.8倍。“学术界将量子计算在特定问题上的能力超越经典的超级计算机的里程碑称为‘量子计算优越性’。现在，类似的，我们又首次实现了‘量子精密测量优越性’。”陆朝阳说，“这有点像立体农业中塘中养鱼、塘泥肥田，在国家的整体布局下，量子信息的基础研究不仅开花结果，还可催生肥鱼。”

p /pp style="text-align:center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/859a4489-caf9-42a5-8abc-7feca5114b48.jpg" title="20180720.jpg"//pp style="text-align: center " 图 ORC通过弯曲DNA来进一步加载DNA复制解旋酶MCM2-7的过程模式图/pp 在国家自然科学基金项目(项目批准号：31761163004、31725007、31630087)等资助下，北京大学生命科学学院高宁教授课题组与香港科技大学戴碧瓘教授课题组合作，解析了酿酒酵母ORC结合DNA复制起始位点3-Å 分辨率的冷冻电镜结构。研究成果以 “Structure of the Origin Recognition Complex Bound to DNA Replication Origin”(结合有复制起点DNA的起点识别复合物结构)为题，于2018年7月4日以长文(Article)形式在Nature(《自然》)上发表。北京大学高宁教授和香港科技大学戴碧瓘教授、翟元樑博士为共同通讯作者。高宁课题组博士后李宁宁、博士生程稼萱以及戴碧瓘组博士后林伟熙、翟元樑为共同第一作者。/pp DNA复制起始在真核生物细胞中受到严格而精密的调控。DNA复制启动因子(ORC，Origin Recognition Complex)首先结合到DNA复制起点，以加载DNA复制解旋酶MCM2-7复合物到DNA上，随后MCM2-7被激活，DNA双链被解螺旋，从而启动DNA复制。所有真核生物都是利用由6个亚基组成的ORC来标记DNA复制起始的位点，在维持基因组稳定性过程中的重要作用，其功能缺失突变与肿瘤的发生发展也密切相关。/pp 虽然在不同的真核生物中，ORC的蛋白质序列高度保守，但是ORC对DNA复制起点序列的选择性在不同物种间差别很大。酿酒酵母的ORC可以识别特异的DNA复制起点，而人源细胞ORC结合的DNA序列却没有序列特异性，主要依赖染色体结构识别复制起点。而由于一直缺少ORC结合DNA状态的高分辨结构，ORC序列识别差异背后的分子机制长期以来难以解释。/pp 高宁研究员课题组解析的3-Å 分辨率ORC-ARS305 DNA复合物结构发现，ARS305包含一段ARS高度保守序列(ARS Consensus Sequence, ACS)和一段B1元件序列，长度为72 bp。在这个结构中，ORC的六个亚基通过与磷酸骨架的非特异性以及与碱基的特异性相互作用环绕DNA，并在ACS和B1位点使DNA发生弯曲。该结构的一个关键特征是Orc1的保守碱性氨基酸区域(Orc1-BP，basic patch)深深地插入ACS的小沟中进行序列特异的碱基识别。另外，酵母特有的具有物种特异性的位于Orc4 Wing Helix结构域(WHD)中的Helix Insertion(Orc4-IH)嵌入ACS的大沟中，与相应的碱基形成疏水相互作用。更重要的是，在ACS区域形成的这些碱基特异的相互作用的碱基都非常保守。此外，在B1区域中，也有类似的来自Orc2和Orc5的碱性氨基酸区域插入到大沟和小沟中，与碱基相互作用，并使DNA弯曲。因此，酿酒酵母ORC高度序列特异性主要是通过ORC亚基的大沟、小沟插入基序与ACS保守碱基之间的特异性相互作用实现的。序列比对分析显示，所有真核生物Orc1的N端都具有类似酿酒酵母的Orc1-BP 然而Orc4-IH却只在酿酒酵母中存在。这些发现，很大程度上解释了不同物种ORC识别起始DNA特异性差异背后的原因。/pp 此高分辨率结构不仅为理解酵母ORC如何识别和结合序列特异性的DNA复制起点提供了分子基础，同时也从分子机制角度阐明了ORC如何通过弯曲DNA来进一步加载DNA复制解旋酶MCM2-7的过程。/p

p　　为深入贯彻习近平新时代中国特色社会主义思想和党的十九大精神，认真落实党中央、国务院关于统筹推进疫情防控和经济社会发展的决策部署，深入落实省委“1+1+9”工作部署，坚定推动高质量发展，加快建设现代产业体系，促进产业迈向全球价值链中高端，满足人民美好生活需要，现结合本省实际，广东省人民政府提出了关于培育发展战略性支柱产业集群和战略性新兴产业集群的意见。其中包括打造精密仪器设备产业集群。/pp　　精密仪器设备产业集群包括：在工业自动化测控仪器与系统、大型精密科学测试分析仪器、高端信息计测与电测仪器等领域取得传感、测量、控制、数据采集等核心技术突破与产业化应用，打造贯穿创新链、产业链的创新生态系统。以珠三角为核心重点发展中高端产品，辐射带动粤东、粤北错位有序发展，形成高中低端互补的区域协同发展布局。培育形成一批国内领先、具有主导地位和国际影响力的自主品牌产品，基本建成结构布局合理、自主创新能力突出、重点领域优势明显的产业集群。/pp　　全文如下：/pp　strong　span style="color: rgb(255, 0, 0) "一、发展基础/span/strong/pp　　改革开放以来，广东产业经济发展先行一步，规模质量走在全国前列，市场消费规模巨大，区域创新综合能力多年保持全国第一，形成了强大的产业整体竞争优势，但也存在发展支撑点不多、新兴产业支撑不足、关键核心技术受制于人、高端产品供给不够、发展载体整体水平不高、稳产业链供应链压力大等困难和问题，在提升供应链、产业链和价值链，增强自主创新能力，培育本土领军企业和自主知名品牌等方面仍有较大空间，急需攻坚克难不断突破。/pp　　世界产业发展实践表明，产业集群是产业现代化发展的主要形态，是提升区域经济竞争力的内在要求，也是现代产业体系建设的主要内容。目前，广东产业集群化发展具备一定基础，新一代电子信息、绿色石化、智能家电、汽车产业、先进材料、现代轻工纺织、软件与信息服务、超高清视频显示、生物医药与健康、现代农业与食品等十大战略性支柱产业集群2019年营业收入合计达15万亿元，具有坚实发展基础和增长趋势，是广东经济的重要基础和支撑 半导体与集成电路、高端装备制造、智能机器人、区块链与量子信息、前沿新材料、新能源、激光与增材制造、数字创意、安全应急与环保、精密仪器设备等十大战略性新兴产业集群2019年营业收入合计达1.5万亿元，集聚效应初步显现，增长潜力巨大，对广东经济发展具有重大引领带动作用。立足广东实际，谋划高起点、稳中求进培育发展战略性支柱产业集群和战略性新兴产业集群(简称“战略性产业集群”)，十大战略性支柱产业集群突出“稳”，十大战略性新兴产业集群体现“进”，对推动我省产业链、创新链、人才链、资金链、政策链相互贯通，加快建立具有国际竞争力的现代化产业体系意义重大。/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong二、发展思路及基本原则/strong/span/pp　　strong(一)发展思路。/strong以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，深入贯彻习近平总书记对广东重要讲话和重要指示批示精神，落实新发展理念，深化供给侧结构性改革，紧紧抓住建设粤港澳大湾区和支持深圳建设中国特色社会主义先行示范区重大机遇，突出抓创新、强主体、拓开放、促融合，促进产业由集聚发展向集群发展全面提升，提升产业链、供应链的稳定性和竞争力，实现集群质量变革、效率变革、动力变革，为我省经济高质量发展奠定坚实基础。/pp　　strong(二)基本原则。/strong/pp　　市场主导，政府引导。充分发挥市场在资源配置中的决定性作用，强化企业主体地位。更好发挥政府作用，强化顶层设计，优化产业布局，提高要素配置效率，推动产业集群联动发展。/pp　　创新引领，重点突破。坚持创新驱动，推动科技创新、产业创新与制度创新协调互促，带动重点领域和关键环节取得新突破，增强产业集群发展能级。/pp　　质量为先，绿色发展。大力推动品质革命，以质量品牌提档升级带动产业集群提质增效，促进集群价值链整体跃升。树立绿色发展理念，加强绿色技术、工艺推广应用，构建绿色产业体系。/pp　　目标导向，分类施策。对标最好最优最先进，聚焦产业共性短板，因地制宜，采取“一群一策”方式，分行业、分步骤，积极推动产业集群专业化、差异化发展。/pp　　开放合作，协同推进。充分发挥双区驱动、双核联动优势，着力推进“一核一带一区”产业协同，加强“一带一路”建设，推动产业集群深度参与全球分工，提升国际分工地位。/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong三、发展目标/strong/span/pp　　到2025年，瞄准国际先进水平，落实“强核”“立柱”“强链”“优化布局”“品质”“培土”等六大工程，打好产业基础高级化和产业链现代化攻坚战，培育若干具有全球竞争力的产业集群，打造产业高质量发展典范。/pp　　strong(一)现代化产业体系更加完善。/strong十大战略性支柱产业集群营业收入年均增速与全省经济社会发展增速基本同步，成为我省经济社会发展的基本盘和稳定器 十大战略性新兴产业集群营业收入年均增速10%以上，不断开创新的经济增长点。区域分工合理、差异化发展的产业集群发展格局基本确立。/pp　　strong(二)供给侧结构性改革持续深化。/strong十大战略性支柱产业集群加快转型升级，十大战略性新兴产业集群持续优化提升，集群供给体系更好适应社会需求结构变化。集群技术、人才、资本、土地等要素配置更加优化科学，形成与产业集群发展相匹配的学科建设和人才支撑体系。/pp　　strong(三)产业结构更加优化。/strong集群产业链上中下游衔接协同更加紧密，大部分产业集群达到国际先进水平。高端产品供给能力显著增强，培育一批世界顶尖产品。集群绿色发展和可持续发展取得明显成效。集群深度融入全球产业链、价值链和创新链，更加开放包容。/pp　　strong(四)创新能力显著增强。/strong集聚全球创新资源，突破一批集群关键核心技术和薄弱环节，部分领域形成战略优势，基本解决“卡脖子”问题。区域创新综合能力继续保持全国前列，有效支撑产业集群发展需要。集群产业链、供应链安全性和自主性全面提升。/pp　strong　(五)质量、品牌与标准化水平持续进步与提升。/strong集群主要行业产品质量水平达到国际先进水平。培育一批国内领先的集群区域品牌和世界一流的企业品牌。各集群标准体系进一步完善升级，部分优势特色行业标准成为全球标准。/pp　strong　span style="color: rgb(255, 0, 0) "四、发展重点/span/strong/pp　　strong(一)十大战略性支柱产业集群。/strong/pp　strong　1.新一代电子信息产业集群。/strong重点发展新一代通信设备、新型网络、手机与新型智能终端、高端半导体元器件、物联网传感器、新一代信息技术创新应用等产业。以补齐短板做强产业链、以市场导向提升价值链、以核心技术发展创新链，基本解决“缺芯少核”问题。继续做强做优珠江东岸电子信息产业带，推动粤东粤西粤北地区主动承接珠三角产业转移发展配套产业。保持全球领先地位，实现从“世界工厂”向“广东创造”转变，形成世界级新一代电子信息产业集群。/pp　　strong2.绿色石化产业集群。/strong充分发挥广东沿海“两种资源、两个市场”优势，扩大提升炼油化工规模和水平，延伸中下游产业链条，提升有机原料、电子化学品等高端精细化工产品和高性能合成材料、功能性材料、可降解材料等化工新材料占比，推动石化产业绿色化、智能化改造，提升安全环保水平。打造以湛江、茂名、广州、惠州、揭阳等为核心的沿海石化产业带，形成“一带、两翼、五基地、多园区协同发展”特色产业布局。打造国内领先、世界一流的绿色石化产业集群。/pp　　strong3.智能家电产业集群。/strong巩固扩大空调、冰箱、电饭锅、微波炉等家电产品世界领先地位，做优做强电视机、照明灯饰等优势产业。推动传统家电、小家电与互联网深度融合，实现数字化、智能化转型。打造以广州、深圳、佛山为核心的创新网络和生产性服务业网络，以深圳、珠海、佛山、惠州、中山、湛江等为核心的制造网络。形成全球领先的智能家电产业集群。/pp　strong　4.汽车产业集群。/strong坚持传统与新能源汽车共同发展，推广新能源及智能网联汽车，扩大高端车型比例，提升新能源车比重。建立安全可控的关键零部件配套体系，显著提高自主品牌影响力。结合国内外汽车产业发展新趋势，立足现有汽车产业园区基础，优化以广州、深圳、珠海、佛山、肇庆为重点的汽车产业区域布局，打造具有国际影响力的汽车产业集群。/pp　　strong5.先进材料产业集群。/strong推动现代建筑材料、绿色钢铁、有色金属、化工材料、稀土材料等先进材料向规模化、绿色化、高端化转型发展，优化产业布局、完善产业链供应链、稳步提升关键技术水平和高端产品。在广州、深圳、珠海、佛山、韶关、惠州、东莞、阳江、湛江、茂名、肇庆、清远、云浮等地形成若干个特色优势产业集群。巩固支撑经济社会发展的基础性地位，力争迈入世界级先进材料产业集群行列。/pp　　strong6.现代轻工纺织产业集群。/strong推动纺织服装、塑料、皮革、日化、五金、家具、造纸、工艺美术等重点行业创新发展模式，加快与新技术、新材料、文化、创意、时尚等融合，发展智能、健康、绿色、个性化等中高端产品，培育全国乃至国际知名品牌。构建以广州、深圳为核心的创新创意中心，以沿海经济带、各特色产业集聚地为重点的先进制造基地网络。形成国内领先、具有全球竞争力的现代轻工纺织产业集群。/pp　　strong7.软件与信息服务产业集群。/strong加快研发具有自主知识产权的操作系统、数据库、中间件、办公软件等基础软件，重点突破CAD、EDA等工业软件，推动大数据、人工智能、区块链等新兴平台软件实现突破和创新应用。强化广州、深圳等中国软件名城的产业集聚效应和辐射带动作用，支持珠海、佛山、惠州、东莞、云浮等地市大力发展特色软件产业，加强新一代信息技术与优势特色产业的创新应用，加快培育自主软件产业生态。打造国内领先、具有国际竞争力的软件和信息服务产业发展高地。/pp　　strong8.超高清视频显示产业集群。/strong支持发展OLED、AMOLED、MicroLED、QLED、印刷显示、量子点、柔性显示、石墨烯显示等新型显示产业。推进摄录设备、核心芯片、内容制作、编解码、信号传输、终端显示等关键技术取得突破。以建设超高清视频显示产业发展试验区为契机，促进珠三角核心区超高清视频产业各有侧重、紧密协作，带动沿海经济带和北部生态发展区配套发展上下游产业。巩固国内领先优势，打造具有全球竞争力的超高清视频显示产业集群。/pp　　strong9.生物医药与健康产业集群。/strong推动精准医疗、智慧医疗、海洋医药、医养融合等新业态发展壮大，在岭南中药、化学药、生物药、高端医疗器械、生物医用材料、体外诊断、医疗服务、公共卫生等领域形成若干个优势产业。在精准医学与干细胞、新药创制、生物安全、生物制造等领域突破一批关键核心技术。打造广州、深圳、珠海、佛山、惠州、东莞、中山等创新集聚区。布局建设化学原料药生产基地、道地药材和岭南特色中药材原料产业基地。加快进位赶超，建成具有国际影响力的产业高地。/pp　　strong10.现代农业与食品产业集群。/strong重点发展粮食、岭南水果、蔬菜、畜禽、水产、南药、饲料、特色食品及饮料、花卉、茶叶、现代种业、调味品等产业。聚焦菠萝、荔枝、茶叶、柚子、生猪、深海网箱养殖等优势产业区(带)，推动集群一二三产业融合创新发展。聚力发展烘焙、凉果、糖果、腊味、特殊膳食用等特色食品，加快发展中央厨房、即食食品、速冻快消食品等潜力新兴食品。科学布局“一县一园、一镇一业、一村一品”现代农业产业平台，重点推进数字农业试验区等“三个创建”，推动数字农业产业园区等“八个一批培育”，打造综合效益和竞争力全国领先的产业集群。/pp　　strong(二)十大战略性新兴产业集群。/strong/pp　　strong1.半导体与集成电路产业集群。/strong积极发展第三代半导体芯片，加快推进EDA软件国产化，布局建设较大规模特色工艺制程生产线和先进工艺制程生产线，积极发展先进封装测试。着重解决“缺芯少核”问题，保持芯片设计领先地位，补齐芯片制造短板。以广州、深圳、珠海等为核心形成两千亿级芯片设计产业集群，做强广州、深圳特色工艺制造，加快深圳、珠海、东莞等第三代半导体发展。建成具有国际影响力的半导体与集成电路产业聚集区。/pp　　strong2.高端装备制造产业集群。/strong以服务国家战略需求为导向，发挥广东应用市场规模大的独特优势，重点发展高端数控机床、航空装备、卫星及应用、轨道交通装备、海洋工程装备等产业，推动集群企业与科研单位、用户单位协同创新，着力突破机床整机及高速高精、多轴联动等产业发展瓶颈和短板。将广州、深圳、珠海、佛山、东莞、中山、江门、阳江等地打造成为主导产业突出的全国高端装备制造重要基地。/pp　strong　3.智能机器人产业集群。/strong以需求为导向，培育一批深度应用场景，重点发展工业机器人、服务机器人、特种机器人、无人机、无人船等产业，集中力量突破减速器、伺服电机和系统、控制器等关键零部件和集成应用技术。支持广州、深圳等地市开展机器人研发创新，珠海、佛山、东莞、中山等地市建设机器人生产基地，其它各地市做好产业配套。持续优化产业生态，完善产业支撑体系，建设国内领先、世界知名的机器人产业创新、研发和生产基地。/pp　　strong4.区块链与量子信息产业集群。/strong突破共识机制、智能合约、加密算法、跨链等关键核心技术，开发自主可控的区块链底层架构，推进可信服务网络基础设施建设 聚焦自主可控和互联互通等关键要素，完善标准体系 强化区块链技术在数字政府、智慧城市、智能制造等领域应用 在广州、深圳、珠海、佛山、东莞等地打造全国领先的产业集聚区、创新引领区、应用先行区，推动区块链技术和产业发展走在全国前列。开展量子计算、量子精密测量与计量、量子网络等新兴技术研发与应用，建立先进科学仪器与“卡脖子”设备研发平台，打造全国量子信息产业高地。/pp　　strong5.前沿新材料产业集群。/strong重点发展低维及纳米材料、先进半导体材料、电子新材料、先进金属材料、高性能复合材料、新能源材料、生物医用材料等前沿新材料。加快先进研发、测试和验证等创新能力建设，强化应用基础研究和关键技术攻关，着力提高关键原材料、高端装备、先进仪器设备等的支撑保障，推动上下游产业协同发展，在广州、深圳、珠海、佛山、韶关、东莞、湛江、清远、潮州等地打造各具特色的前沿新材料集聚区，巩固综合实力全国前列地位，在若干领域实现引领全国发展。/pp　　strong6.新能源产业集群。/strong大力发展先进核能、海上风电、太阳能等优势产业，加快培育氢能等新兴产业，推进生物质能综合开发利用，助推能源清洁低碳化转型，保持非化石能源消费全国领先地位，逐步建立满足全省经济社会发展需求的现代化能源体系。建设沿海新能源产业带，重点打造阳江海上风电全产业链基地，建设珠三角太阳能制造业集聚区，培育广州、深圳、佛山、湛江、茂名、云浮等地市氢能产业基地，形成国内领先、世界一流的新能源产业集群。/pp　　strong7.激光与增材制造产业集群。/strong重点发展前沿/领先原创性技术、高性能激光器与装备、增材制造装备与系统、应用技术与服务等，突破基础与专用材料、关键器件、装备与系统等关键共性技术。促进以广州、深圳为核心，珠海、佛山、惠州、东莞、中山、江门等地各具特色的产业集聚区，在航空航天、电子信息、汽车、船舶、核电、模具、新能源、量子信息、医疗器械、文化创意等领域实现产业创新应用与融合。巩固国内领先优势，形成具有国际竞争力的激光与增材制造产业集群。/pp　　strong8.数字创意产业集群。/strong以数字技术为核心驱动力，以高端化、专业化、国际化为主攻方向，大力推进5G、AI、大数据、VR/AR等新技术深度应用，巩固提升游戏、动漫、设计服务等优势产业，提速发展电竞、直播、短视频等新业态，培育一批具有全球竞争力的数字创意头部企业和精品IP，高标准建设一批省级数字创意产业园等发展载体，形成以广州、深圳为核心引擎，珠海、汕头、佛山、东莞、中山等地特色集聚的“双核多点”发展格局，打造全球数字创意产业高地。/pp　　strong9.安全应急与环保产业集群。/strong重点推动安全应急监测预警设备、救援特种装备、公共卫生等突发事件应急物资、高效节能电气设备、绿色建材、环境保护监测处理设备、固体废物综合利用、污水治理、安全应急与节能环保服务等跨行业、多领域协同发展。健全安全应急物资生产保供体系和绿色生产消费体系。在珠三角地区形成以技术研发和总部基地为核心的产业聚集带，在粤东粤西粤北地区形成以安全应急装备制造和资源综合利用为特色的产业聚集带，建成国内先进的产业集群。/pp　　strong10.精密仪器设备产业集群。/strongspan style="color: rgb(0, 176, 240) "strong在工业自动化测控仪器与系统、大型精密科学测试分析仪器、高端信息计测与电测仪器等领域取得传感、测量、控制、数据采集等核心技术突破与产业化应用，打造贯穿创新链、产业链的创新生态系统。以珠三角为核心重点发展中高端产品，辐射带动粤东、粤北错位有序发展，形成高中低端互补的区域协同发展布局。培育形成一批国内领先、具有主导地位和国际影响力的自主品牌产品，基本建成结构布局合理、自主创新能力突出、重点领域优势明显的产业集群。/strong/span/pp　　span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong五、保障措施/strong/span/pp　　strong(一)改革创新治理方式。/strong依托制造强省建设领导小组，统筹协调战略性产业集群培育发展全局性工作。省各有关部门要加大产业集群建设支持力度，分别制订出台20个战略性产业集群行动计划。各地要加强对集群建设的组织领导，加大政策支持力度，省市联动、协同推进产业集群培育发展工作。深化“放管服”、要素市场化配置改革，在集群内率先建设高标准市场体系，实现要素价格市场决定、流动自主有序、配置高效公平，创造稳定公平透明可预期的一流营商环境。按照“一核一带一区”发展新格局，调整优化集群发展布局，推动城市功能定位与集群发展协同匹配。鼓励各地区培育一批区域特色产业集群，争创国家级产业集群。鼓励发展由市场主体牵头的新型集群促进机构，促进政产学研金介用合作。加大产业集群跟踪评估及重点企业、项目服务力度，试点开展企业高质量发展综合评价，探索完善集群统计监测分析指标，对集群发展较好的地市予以通报表扬，及时总结推广成功经验。/pp　　strong(二)有效提升创新水平。/strong对标世界最先进水平，系统梳理集群的突出短板与弱项，实施短板突破计划，以揭榜制等方式持续支持关键核心技术产业化协作攻关。围绕集群需求，推进高水平大学和学科建设，布局重大科技基础设施和重大创新平台。大力推进集群内企业建立研发机构，全球布局研发网络，开展前沿先导技术和重大战略产品研发。完善科技成果转化机制，积极推动集群企业开展高价值专利培育布局，强化知识产权保护与产业化应用。深入实施新一轮技术改造，持续支持企业加大设备更新和质量基础设施提升，加速建设5G网络、数据中心、人工智能、物联网等新型基础设施，促进集群数字化网络化智能化转型升级。持续推进质量品牌标准建设，树立质量标杆，推动质量认证国际合作互认，推行“先进标准+”工程，支持集群参与国际标准化活动，建立全产业链质量标准管理体系，建设一批“出口产品质量安全示范区”。全面推进绿色化改造，推动全产业链和产品全生命周期绿色发展，提升产业集群绿色发展水平。/pp　　strong(三)全面增强要素保障能力。/strong各地各部门要聚焦政策资源协同支持集群发展，引导社会各界围绕集群发展需要配置要素资源。充分发挥省产业发展、创新、农业等政策性基金作用，省财政结合财力统筹安排资金支持产业集群建设。切实提升金融服务集群建设能力，拓宽产业融资渠道，支持集群中符合条件的重点企业境内外上市、挂牌，多渠道扩大直接融资，大力发展龙头企业带动上下游中小企业的供应链金融。将产业集群建设内容纳入各地国土空间规划，加强用地、用海、用能和交通设施保障。实施产业人才专项工程，依托“双区”面向全球汇聚关键领军人才和团队。推进实施“广东技工”“粤菜师傅”“南粤家政”、高素质农民培育工程，围绕集群高质量发展布局，建立紧密对接的职业技能发展体系。/pp　　strong(四)着力提升企业竞争力。/strong深入实施大型骨干企业培育计划、高新技术企业树标提质计划、“专精特新”中小企业专项培育工程、农业龙头企业培育工程，打造一批集群领军企业、创新型企业、“隐形冠军”企业。支持社会资本参与集群国有企业改制重组，支持重点企业瞄准产业链关键环节和核心技术实施兼并重组，加快产业链关键资源整合，培育一批“链主”企业和生态主导型企业。构建线上线下相结合的大中小企业创新协同、产能共享、产业链供应链互通的新型产业生态。推动集群企业与信息服务、数字创意、智慧物流、现代供应链、会展经济等生产性服务业融合发展，提升集群产业价值链。/pp　strong　(五)高水平推进开放合作。/strong整合发布粤港澳大湾区科技、产业合作供需信息，促进粤港澳大湾区集群联动发展。依托省领导联系跨国公司直通车机制和国际交流平台，构建招商网络，围绕产业集群开展招商引资。积极推进产业链国际合作，支持集群企业开拓欧洲、日韩、东南亚和“一带一路”沿线市场，实现原产地多元化、出口市场多元化和资产组合多元化布局。鼓励优势企业海外并购重组，推动研发技术的国际化，引导龙头企业带动上下游企业“结伴出海”，深度参与全球分工。/ppbr//p

江苏省工信厅日前印发《装备行业稳增长工作方案贯彻落实措施》（以下简称《措施》），明确提出，2024年，全省装备行业保持平稳运行态势，工业增加值增幅高于全部工业1个百分点左右。《措施》提出一系列具体目标，涉及3大集群12条产业链。具体目标包括，2024年，新型电力装备集群、智能电网产业链国际竞争力进一步增强；高端装备集群规模稳中有升，工程机械、现代农机装备、工业母机、机器人、精密仪器仪表、轨道交通装备产业链供给能力显著提升，质量效益进一步提升；航空航天集群快速蓬勃发展，飞机配套、低空产业、商业航天产业链成为装备工业运行的重要增长极；高技术船舶与海工装备集群市场份额继续保持全国第一，高技术船舶产业链、海洋工程装备产业链三大指标继续保持较快增长。其中，《措施》对12条重点产业链明确了具体的工作任务。其中对于精密仪器仪表产业链，要加快推动产业链补短板锻长板，进一步提高产品在细分领域的市场占有率；举办仪器仪表产业链上下游对接会，推动市场合作共赢；落实《智能检测装备产业发展行动计划（2023-2025年）》等相关文件要求，加快推动智能检测装备创新发展，培育一批国家智能检测装备创新产品。正文如下：装备行业稳增长工作方案贯彻落实措施 为贯彻落实中央经济工作会议、全国新型工业化推进大会和省委经济工作会议、全省新型工业化推进会议精神，根据工信部《电力装备行业稳增长工作方案（2023-2024年）》和工信部等七部门《机械行业稳增长工作方案（2023-2024年）》要求，把稳增长摆在首要位置，推动全省装备行业运行平稳健康发展，持续提升重点产业链供应链韧性和安全水平，努力推动实现工业经济平稳增长，结合我省实际制定以下贯彻落实措施：一、总体要求坚持以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，深入贯彻落实党的二十大和习近平总书记对江苏工作的重要讲话重要指示精神，完整、准确、全面贯彻新发展理念，着力优化重大技术装备供给，推进产业链强链补链延链，健全推广应用体系，促进装备行业稳增长、提质量、促升级、保安全，推动质的有效提升和量的合理增长，力促装备行业运行保持在合理区间，为全省工业经济稳定增长作出积极贡献。2024年，全省装备行业保持平稳运行态势，工业增加值增幅高于全部工业1个百分点左右。其中，新型电力装备集群、智能电网产业链国际竞争力进一步增强；高端装备集群规模稳中有升，工程机械、现代农机装备、工业母机、机器人、精密仪器仪表、轨道交通装备产业链供给能力显著提升，质量效益进一步提升；航空航天集群快速蓬勃发展，飞机配套、低空产业、商业航天产业链成为装备工业运行的重要增长极；高技术船舶与海工装备集群市场份额继续保持全国第一，高技术船舶产业链、海洋工程装备产业链三大指标继续保持较快增长。二、重点工作举措（一）紧跟有效需求。紧盯物流交通体系、现代能源体系、城市基础设施、农田水利建设、防灾减灾救灾等重点领域，围绕国家和省“十四五”规划纲要重大工程项目建设，抢抓国家发展低空经济、商业航天机遇，聚焦2024年省重大项目清单和省重大工业项目清单，深入推进制造业智改数转网联，加快释放固定资产投资和装备购置需求，有效带动智能电网、工程机械、农机装备、轨道交通装备、飞机配套等行业发展。（二）开拓国际市场。鼓励企业用好《区域全面经济伙伴关系协定》（RCEP）等自由贸易协议，积极参与“一带一路”战略，开拓全球新兴市场，引导行业优质企业“走出去”。支持工程机械、农机装备、轨道交通装备、高技术船舶、海工装备等领域企业开展全球化经营，完善全球服务体系。鼓励企业参加行业内国际性展览展会，提升品牌知名度和影响力。鼓励行业组织加强国际贸易规则和贸易形势研究，帮助企业提高风险应对能力，增强海外合规经营、安全和可持续发展能力。（三）搭建对接平台。高水平办好世界智能制造大会、世界物联网博览会等品牌会展，组织企业参加中国国际工业博览会、世界机器人大会等重大活动。支持行业组织举办细分领域会展论坛，促进技术交流、产业对接，激发市场需求。支持行业组织举办供需对接会、成果交易会等对接交流活动，帮助企业及时获取有效市场信息，推广创新成果。鼓励互联网平台企业构建一批符合机械行业特点的专业化线上交易平台，形成一站式供需对接机制，提高对接效率。（四）强化推广应用。积极参与国家组织的工业母机、仪器仪表、农机装备、机器人等创新产品推广应用系列活动，围绕“1650”产业体系开展行业对接活动，推广一批应用验证单元、产线或典型场景。组织开展2024年首台套重大装备认定工作，支持首台（套）重大装备首购首用，优先将省内首台套装备列入政府采购创新产品目录，积极推荐符合条件的装备申报国家首台套保险补偿。（五）培育优质企业。加快培育一批主营业务突出、竞争力强、成长性好的制造业领航企业、专精特新中小企业、制造业单项冠军企业和技术创新示范企业。加强行业标准建设，强化质量管理，培育质量标杆。加快布局发展重点领域专业检测验证机构，进一步完善计量、标准、认证、检测试验、电磁兼容等基础服务体系。（六）加快智改数转网联。组织制订、宣贯、实施重点产业链智能化改造数字化转型网络化联接实施指南。对标国际领先水平，支持装备企业建设一批智能制造示范工厂、示范车间、优秀场景，争创标杆企业。加快推进“5G+工业互联网”、工业互联网标识解析与装备行业的融合应用。围绕装备行业智改数转网联需求，加快培育一批优秀服务商。（七）深化对外合作。进一步推动我省与中航工业、中国商飞、中国航发、国机集团、中国船舶、中国电气装备集团等装备领域央企战略合作，组织开展专题对接，推动省内企业加快进入上游整机企业供应链体系。支持央企在我省深度布局和优化发展，鼓励省内民营企业、科研机构参与承接央企集团研发制造项目，主动融入央企供应链体系，建立与重点央企全面战略合作关系。支持国内外龙头企业来我省设立分支机构和建设产业投资项目。主动融入长三角重大技术装备合作发展机制，开展重大技术装备产业链供应链合作。三、重点产业链工作任务（一）智能电网产业链。支持我省电力装备企业参与国家能源领域重大工程建设，依托国家重点工程示范应用扩展我省电力装备应用领域，提升电力装备供给质量；主动加强与国家电网、三峡集团、国家能源集团、华能集团、国家电投、华电集团、大唐集团等电力领域央企对接，推动国内市场合作。（二）工程机械产业链。加强产业对接，组织召开徐州工程机械先进制造业集群创新发展大会，支持举办中国（徐州）国际工程机械展览会，搭建产业对接平台，有效激发市场需求；组织开展工程机械“主配协同、供需对接”合作交流会暨大中小融通发展对接活动。（三）现代农机装备产业链。会同省农业农村厅联合甘肃省加快建设“一大一小”农机装备研发制造推广应用先导区，推动新型丘陵山区适用机械在先导区推广应用；充分发挥农机购置与应用补贴政策引导作用，支持购置先进适用农机。（四）轨道交通装备产业链。支持企业开展轨道交通领域标志性产品和关键系统部件的研发攻关；鼓励企业以“一带一路”战略为牵引，加快产业“走出去”，推动我省轨道交通装备产品推广应用。（五）工业母机产业链。组织国家工业母机基金与制造企业开展交流对接，引导社会资本加大投入，带动有效需求；组织整机制造企业、零部件企业及应用企业开展产需对接，引导组织企业参加汉诺威机床展（EMO）、中国国际机床展览会（CIMT）等国际行业重点展会，积极开拓国际国内市场。（六）机器人产业链。以需求为牵引推动龙头企业牵头联合产学研用组成创新联合体，组织开展关键核心技术攻关，持续提升供给能力；深入实施“机器人+”应用行动，组织开展典型应用场景征集遴选，形成应用推广示范，提升机器人应用深度和广度，深挖市场潜能，激活新兴应用。加快推进人形机器人创新发展。（七）精密仪器仪表产业链。加快推动产业链补短板锻长板，进一步提高产品在细分领域的市场占有率；举办仪器仪表产业链上下游对接会，推动市场合作共赢；落实《智能检测装备产业发展行动计划（2023-2025年）》等相关文件要求，加快推动智能检测装备创新发展，培育一批国家智能检测装备创新产品。（八）飞机配套产业链。推进省政府与中国商飞、中航工业、中国航发等央企战略合作协议落实执行，建立对接工作机制，支持引导企业融入航空领域央企供应链体系；组织开展专题供需对接活动，新增一批中国商飞、中航工业供应商。（九）低空产业链。学习先进地区低空产业商业模式和发展经验，结合我省实际研究制定推动低空产业发展的意见。在市政管理、应急救援、低空旅游、商务出行、驾驶培训等领域，开发开放一批典型应用场景。推动无人机在巡检监测、农业植保、应急救援、物流配送等领域规模化应用。（十）商业航天产业链。跟踪国际行业发展和前沿科技变革最新动态，制定推动我省商业航天产业链高质量发展三年行动方案；举办“走进主机厂”活动，进一步加强与院所总体单位以及商业航天龙头的交流合作，推动更多省内企业主动融入重大工程建设。（十一）高技术船舶产业链。聚焦新能源船舶产业发展，积极抓好《江苏省新能源船舶产业高质量发展三年行动方案（2023-2025年）》实施，加强绿色新能源典型船型研发，大力推动电动船发展，推进甲醇动力新能源船舶的船型技术开发及应用，积极推动向大型化、智能化发展，突破一批关键技术，形成综合解决路径与船型方案。推进产业链供应链融合发展，确保大批订单平稳交付。（十二）海洋工程装备产业链。依托链主企业，积极推进大型海洋工程装备总装集成能力提升，大力培育具备总承包能力和较强国际竞争力的专业化总装制造企业。加快海工产品谱系化能力建设，提升取得技术突破的海洋工程装备产业化步伐，扩大自升式钻井平台、半潜式钻井平台、圆筒型钻井储油平台、浮式储油船等海洋工程装备产品系列化、批量化生产。加快研发新型海洋工程装备，集中力量突破深水海洋工程装备钻井船、高附加值浮式生产储油卸油船等高端装备。

p　　据悉，近日中科院微观磁共振重点实验室杜江峰、石发展、王亚等人在金刚石单自旋量子精密测量研究方向取得重要进展，提出并通过实验实现了一种以金刚石氮-空位(NV)色心单自旋为量子传感器(以下简称“金刚石量子传感器”)的电探测方法，并首次通过磁抑制的NV色心实现了金刚石近表面电噪声信息的提取，为金刚石量子传感器在电探测方向的应用提供新的途径。且该研究成果以“编辑推荐”形式发表在近期的《物理评论快报》上 [Nanoscale Electrometry Based on a Magnetic-Field-Resistant Spin Sensor, Phys. Rev. Lett. 124, 247701 (2020)]。/pp　　对电、磁等基本物理量高分辨率高灵敏度的探测在物理、材料、生命科学等领域均有重要应用。金刚石中的NV色心以其室温大气环境下优越的相干性质而成为高灵敏的磁量子传感器，在磁性探测与成像方面兼具高灵敏度高分辨率的综合优势，已用于单分子磁共振和纳米尺度磁成像等领域[杜江峰团队在该方向的代表性论文：Nature Physics 10, 21 (2014) Science 347, 1135 (2015) Nature Methods 15, 697 (2018) Science Advances 5, eaau8038 (2019) Science Advances 6, eaaz8244 (2020)]。同时，NV色心作为电信号量子传感器早在2011年被提出[Nat. Phys. 7, 459 (2011)]，且被证明在室温大气环境下具备单个电荷的探测灵敏度，目前已实现对金刚石体内的电荷与电场探测。但NV色心作为量子传感器，最终实用化的目标是将其应用于金刚石体外信号表征。为了将NV色心用于金刚石体外样品的电信号高灵敏度与高分辨率的表征，需要将其制备于10纳米到几十纳米深度位置的金刚石浅表层处。但是金刚石近表面磁噪声环境复杂，NV色心易受到磁信号干扰，限制了其对电场探测的实际应用。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 247px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/69305224-156a-4a31-a381-c7e6fbc655cd.jpg" title="实验示意图.png" alt="实验示意图.png" width="600" height="247" border="0" vspace="0"//pp　　图 1：(a) 实验示意图，金刚石表面覆盖电极施加电场，旁边放上通电流的螺线管施加磁场。(b) NV色心新本征态的能级随电极电压(即电场，红线及圆环所示)与螺线管内电流(即磁场，蓝线及方块所示)的关系，可见其仅对电场变化有响应。/pp　　为了解决这一局限性，该研究提出了一种能抑制磁信号和噪声同时对电场敏感的方法。NV色心作为一种自旋体系，其对磁场具有天然的敏感性，相对而言对电场的敏感度较低，因此消除磁场干扰是电探测的前提。研究中设计了一种连续动力学解耦序列，形成特定的缀饰态空间，有效地抑制了NV色心对磁场的响应，同时保留对电场的线性响应(如图1所示)，从而构建了一个更加有效的电信号量子传感器。更进一步，研究人员利用这种新的电探测方法，研究了金刚石近表面的电噪声分布。过去认为金刚石近表面NV色心感受到的噪声主要来源于金刚石上表面分布的未配对电子或自旋引起的电磁噪声。另外，他们还发现除了金刚石上表面的电噪声，距离金刚石表面约10纳米深的内部(NV色心周围)的电噪声也不可忽略。通过建立模型与定量的实验研究这两处电噪声，发现它们之间存在显著的相关性。这种定量的探测和分析是以往研究方式无法实现的，而新方法对磁噪声呈现出高度抑制的作用，因此可以被用于金刚石近表面纯电噪声信息的提取。这有助于更准确地分析表面噪声的性质和来源，从而进行针对性的消除。/pp　　该研究成果验证了新的基于金刚石量子传感器的电探测方法，这种方法相对于以往基于NV色心的电探测方式大幅增强了对磁噪声的抑制，从而延长了其相干时间并提高了电探测的灵敏度。该方法非常适用于电磁场共存样品的表征，例如多铁材料。结合NV色心高分辨成像的特性，有望在材料的电磁性质表征领域取得重要应用。除此之外，该方法同样具有室温大气环境下单个电子电荷的探测灵敏度，其可应用于凝聚态以及半导体等材料的电信号表征。/pp　　/pp/pp　　国仪量子公司发布的量子钻石单自旋谱仪，也可应用于该类研究，用于验证实现基于金刚石氮-空位(NV)色心量子传感器的高分辨电磁探测。量子钻石单自旋谱仪是一台基于NV色心的以自旋磁共振为原理的量子实验平台，通过控制光、电、磁等基本物理量，实现对钻石中氮?空位(NV色心)发光缺陷的自旋进行量子操控与读出，与传统顺磁共振、核磁共振相比，具有初态是量子纯态，自旋量子相干时间长，量子操控能力强大，量子塌缩测量实验结果直观等独特优势。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 427px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/ec49a55e-b66b-42c2-b332-a244aa2ed2d2.jpg" title="量子钻石单自旋谱仪.png" alt="量子钻石单自旋谱仪.png" width="600" height="427" border="0" vspace="0"//pp　　量子钻石单自旋谱仪在谱学分析和结构解析等应用中具有独到优势，可实现单蛋白等单分子电子顺磁共振，纳米尺度核磁共振，活体细胞温度、磁场、动作电位探测等。/pp　　/ppbr//p

近日，上海市科学技术委员会向通过验收的复旦大学上海市超精密光学工程技术研究中心授牌。至此，经过一年的筹备建设，复旦大学上海市超精密光学工程技术研究中心正式成立。　　2013年底，上海市科委组织专家对复旦大学上海市超精密光学工程技术研究中心进行了验收。上海市科委领导、业内专家以及复旦大学副校长金力，科技处处长殷南根、副处长胡建华，信息科学与工程学院院长郑立荣、党委书记周立志、副院长刘冉以及中心成员20余人参加验收。　　金力副校长表示，学校将对中心的发展给予大力支持，希望中心积极对接国家重大需求、在协同创新，工程化方面加大力度，引领超精密光学制造工程技术领域的发展。　　工程中心主任徐敏教授汇报了工程中心目前的研究工作和取得的成绩。通过现场考察，超精密光学工程技术研究中心的建设工作得到了与会专家的一致肯定。之后，工程中心副主任、光科系主任陆明教授参加了上海市科委验收答辩，得到了与会专家的高度评价并通过验收。　　据悉，上海超精密光学制造工程技术研究中心由超精密光学制造技术研发室、超精密光学检测与表面评定技术研发室、超精密光学应用技术研发室、超精密光学工艺仿真模拟技术研发室和超精密光学系统设计研发室组成。并设有1个产业化创新研究管理办公室和中心管理办公室。　　超精密光学工程技术是关系国家安全和科技发展的关键技术，是衡量一个国家工业发展水平以及自主创新能力的主要标志之一。我国在该领域的科技水平尚不能满足此类零部件的制造要求，严重制约了其尖端技术的发展。研究中心旨在建设我国光学工程技术领域尖端光学制造的技术平台，研究超精密光学制造工程技术关键工艺，满足国家发展科技进步以及产业化的需要。　　据工程中心主任徐敏教授介绍，上海超精密光学制造工程技术研究中心将以国家中长期科技发展纲要以及&ldquo 十二五&rdquo 国家战略性新兴产业发展规划为指导，规划该中心的自身科技发展：以精密光学工程、光电集成制造及检测技术的应用基础研究为核心，着力开展前沿技术、关键材料、核心器件、装备集成、特色工艺等方面的研究，提升自主创新能力，解决高端装备制造等领域中的科学问题，搭建有自身特色的科技研发及自主创新平台，同时建立一支富有研究活力的科研创新团队，不断提升该工程中心在本领域的影响力。

新品推荐——减压馏程测定仪01产品介绍产品名称：在线精密露点仪型号：C2010C2010在线精密露点仪适用于压缩空气或工业过程气体湿度的连续测量,坚固可靠的经济型阻抗露点变送器适应气体:H2,压缩空气,SF6等02技术参数技术参数1、变送器：芬兰VAISALA湿度变送器2、露点测试范围：-100~+20°C或-60~+60°C3、电源：12~28VDC4、输出：4~20mA电流源覆盖整个露点范围5、互换性：变送器完全可互换6、精度：±2°C露点7、工作温度：-40~+60°C8、温度系数：具有温度补偿9、工作压力：30MPa10、流量：安装在标准采样系统时：1~5L/min；11、安装方式为直接插入(80μm烧结防护套)时：0~10Nlmin-112、可溯源性指标：-75~+20°C露点溯源至NPL(英国)和NIST(美国).[对于露点13、出错情况指示：情况输出(出厂已编程)变送器出错23mA14、低于露点范围:4mA15、超出露点范围:20mAEND

2007年，费业泰被授予国际测量与仪器委员会“终身贡献奖” 神舟浴火腾飞升空，蛟龙耐寒深潜入海，高度精密的仪器在热胀冷缩时会产生什么变化?如何才能保证它们正常运转?我国高新技术领域的每一项重大突破，都离不开精密仪器学科的支撑。　　在我国精密仪器领域，很多知名专家自称“费家军”，因为他们有着共同的导师——我国现代精度理论及工程应用的奠基人、合肥工业大学教授费业泰。在把60年人生奉献给精密仪器事业后，今年2月26日，费业泰教授在合肥逝世，享年82岁。　　60年努力，奠基我国现代精度理论及工程应用　　“精度”与“误差”这对反义词，是人类科学研究中不可回避的问题。而费业泰一辈子的工作，正是不断消除误差，追求越来越高的精度。　　1955年，费业泰在合肥工业大学留校任教，同年6月加入中国共产党，1959年来到新开办的精密仪器专业。那时，新中国工业建设刚刚起步，我国对精度与误差的研究几近空白，机械工业总是难逃噪音大、震动大、能耗大的“傻大粗”模式。　　现在精度测量以微米为标准，而当时的标准是毫米甚至厘米，相差千倍、万倍，为了改变这一切，费业泰养成了没日没夜工作的习惯。由于精密仪器特别敏感，为了确保实验质量，多年来，费业泰在忙碌一天后，晚上仍会趁夜深人静继续待在实验室。　　经过长期的研究，费业泰提出了精度误差理论，半个多世纪来，这一理论在我国社会主义现代化建设的各个领域中得到了广泛应用，并成为我国精度评定的基本方法以及精密仪器学科的理论基础。　　航天器在太空中飞行，向阳与背阳的两面温度相差数百摄氏度，由于膨胀系数标准有误，用什么材料才能确保卫星正常使用，一直长期困扰我国航空业的发展。九十年代末，时任我国某型卫星研制部门负责同志找到了费业泰。　　在大量实验的基础上，费业泰发现原有的检测方法和计算标准存在较大误区，于是创新膨胀系数的检测和制定方法，不仅成功解决了精密仪器的稳定问题，还依此提出了全新的热误差理论体系。　　在我国精密机械领域，曾一度陷入加工设备每个部件都要高精度的误区。这不仅大大提高了成本，而效果也并不稳定。针对这一情况，费业泰在我国率先提出“最好的部件在一起不一定能有最好的性能”这一理念，找到了误差传递的规律，并利用这一规律提出了新的方法，不再要求每个部件均为高精度，而是通过不同部件之间的最优组合，保证机械设备的高精度。这一方法成为我国最新精度理论的重要内容。　　60年来，费业泰承担并完成了40余项高水平科研项目，发表过320余篇论文，获得9项省部级奖励，是安徽省五一劳动奖章获得者，为我国重点科研项目解决了大量实践难题，被称为我国精度理论的开拓者。2007年，费业泰被国际测量与仪器委员会(ICMI)授予终身贡献奖。　　2010年，费业泰入选“感动工大十大人物”　　潜心钻研，淡泊名利拒绝美国抛出的“橄榄枝”　　《误差理论与数据处理》是费业泰的9本专著之一，他的学生、合肥工业大学仪器科学与光电工程学院院长于连栋教授介绍，该书1981年被列为国家重点教材，成为我国精密仪器学科理论的开拓之作。30多年来，该书再版7次，被全国200余所高校采用，很多年轻一代的杰出青年、长江学者，都是读着它迈进了精密仪器科学的殿堂。　　“做科研不能带有一点功利心。”合肥工业大学仪器科学与光电工程学院苗恩铭教授至今牢记着费业泰的教导。　　其实热误差理论，费业泰早在1980年代就已经发现并进行总结，但很长一段时间内，热误差的研究一直是领域内的“冷门”，甚至其理论的科学性也受到质疑。　　如今苗恩铭率领的热误差研究团队，在全国已处于领头羊的位置，但最初这个研究之“冷”，曾让他想到放弃。　　“科研不能追名逐利，什么方向热门做什么，你在科学的路上走不远。”费业泰的一再告诫，让苗恩铭坚持了下来。如今，热误差理论，已经成为精密仪器学科典型的三个学科方向之一。而热误差理论研究团队，也不断在我国重大项目中建功立业。　　费业泰的老伴郭子顺还记得，1989年费业泰在美国西雅图华盛顿大学做客座教授时，他所负责的波音公司一项科研项目原计划要做9个月，但在他的努力下仅用时6个月。费业泰的出色表现引起了美国方面的兴趣，向他抛出橄榄枝，表示如果他愿意留下，就可以拿到绿卡。但费业泰毫不犹豫地拒绝了，甚至放弃了应得的3个月优厚报酬，毅然提前回国。　　虽然淡薄名利，但费业泰对国内相关产业的发展一直十分关注。　　“中国数控机床的落后，让老先生一直耿耿于怀。”苗恩铭说，费业泰在1980年代发现热误差后，研究了国际上近30年来数控机床精度的发展，预测未来机床如果要提高精度，必须利用其材料结构的热特性来设计。　　当时费业泰找了很多国内大型企业，建议企业进行相关研发提高产品精度，但当时普通数控机床很好卖，他的建议被一一拒绝。1990年代中期，费业泰受邀到日本作学术报告，他的理论引起现场日本、德国专家的注意，并特意向他请教。2005年，日本企业生产了第一台热亲和数控机床，现在这种机床已经成为全世界最著名的数控机床之一。　　“现在很多国内企业产品卖不出去，又去模仿，但只能模仿个外形，其实它的核心思想是我们这边出来的，但是当年国内却没有人相信。”苗恩铭说。　　2013年，80岁的费业泰仍坚持工作　　教书育人，言传身教关注每个学生前行　　为了保证人才培养质量，费业泰不但对学生因材施教，还始终坚持在科研一线，用自己的言行给学生们做好榜样。　　“费老师知道每个学生的特点，哪怕我们毕业了，他还会一直关注着。” 于连栋说，费老师去世后，有同学在微信群里晒出老师以前寄来的信，老人家对这位学生从专业方向到人生道路，都给出了言辞真切的建议，让人十分感动。　　费业泰一生严谨，今年48岁、早已是博士生导师的胡鹏浩教授回忆起恩师的严谨时说：“怕挨训、被训怕了，但总是被训得心服口服。”　　2003年的暑假期间，时任学院副院长的胡鹏浩去找费业泰汇报工作，因穿着随意让老师很不高兴。　　最初胡鹏浩不以为然，他觉得不是工作日，也不在正式场合，穿着随便一些无所谓，但老师的反问让他意识到自己的不足：“老师说，如果现在学院有急事，需要你立即送一份材料到教育主管部门，你觉得你现在的穿着合适吗?这就是费老师的做事风格。”　　“我参加工作后，学校安排我授课，但费老师坚持让我再等一年，用一年的时间备课。” 费业泰的学生、合肥工业大学仪器科学与光电工程学院副院长夏豪杰副教授说，费老师认为“照本宣科是没有质量的授课”，只有精心准备，才能真正传授给学生知识。　　除了专业知识和严谨的科研态度，费业泰带给学生的，还有做人的道理。　　2004年，胡鹏浩评上了教授，但费业泰却说其实不希望他这么早获评，随后老先生的一席话让胡鹏浩非常感动。　　“他说虽然我评上教授，但知识的宽度和广度沉淀不够，可能会碍于面子，到哪都端着架子，不懂的也不好意思问，时间一长，就会越来越空。”胡鹏浩说，从那时起，他不管到哪，遇到不懂的就会直接问，　　2011年夏天，77岁高龄的费业泰在北京进行完一项国家专项答辩后，急着赶回合肥，由于北京暴雨，等到23点仍然不能起飞，临时也买不到火车票。　　“下着大雨，他跑到火车站，没有票又回到机场，这么大年纪，我看着很心疼，就劝他住一晚明天再走，他却坚持要当天回去。”当时随行的夏豪杰说，当天老人家等到凌晨4点，才得到登机的通知。　　早上7点，费业泰带着一身疲惫抵达合肥，随后立即赶到办公室时，这时夏豪杰才发现，费业泰坚持赶回来的原因，只是答应给一位研究生修改论文。　　“费教授辛勤工作60年，精于专业，一心教书育人，忠诚于人民的教育事业，是一位有理想信念、有道德情操、有扎实知识、有仁爱之心的好老师。”合肥工业大学党委副书记周军说。　　2013年，80岁的费业泰仍坚持工作　　2013年，费业泰与学生们在桃李园合影

9月13日至17日，由国家国防科工局会同总装备部联合组织专家组对依托我校建设的特种环境复合材料技术和金属精密热加工两个国家级重点实验室进行了运行评估。校长王树国、副校长韩杰才、科学与工业技术研究院总工程师赵航、相关职能部处负责人及重点实验室相关成员参加了运行评估工作会议。　　9月13日和16日，由重点实验室运行评估办公室组织部分专家对实验室提交的评估申报材料进行了审核。王树国对评估组的到来表示欢迎，同时强调这次评估既是对实验室前期工作的一次全方位总结和检验，也是实验室下一步建设工作的新起点，对实验室今后的发展具有十分重要的意义。学校对实验室建设非常重视，集中学校相关优势资源，全力支持实验室发展。希望通过此次运行评估，进一步促进我校国家级实验室建设工作，为下一步基础研究以及高水平人才培养做出更大贡献。　　特种环境复合材料技术国家级重点实验室主任韩杰才、金属精密热加工国家级重点实验室主任张凯锋分别向专家组汇报了实验室在评估期内的运行情况和取得的成绩，孟松鹤教授和武高辉教授分别代表两个实验室作了相关专题学术报告。专家组一行听取了汇报并现场考察了实验室，对两个实验室工作状态、研究水平与贡献、可持续发展能力、开放交流与运行管理工作等情况进行了核实。在随后进行的质疑和答辩过程中，实验室的相关人员对专家组提出的问题给予了回答。　　17日，在专家组评估意见反馈交流会上，专家组对重点实验室在评估期内取得的创新性成果、学术水平、队伍建设以及实验室运行给予了充分肯定。同时也对重点实验室存在的问题和未来的发展提出了中肯的意见和建议。此次评估工作是新的评估规则发布实施后我校实验室首次参评，对实验室的管理提供了决策依据，促进了实验室的良性健康发展，同时也对其它依托我校建设的国家级实验室评估工作提供了宝贵的经验。　　 　　 　　评估会现场　　 　　考察特种环境复合材料技术国家级重点实验室

第8届中国被动房设计师大会将于2024年6月18日在北京华腾美居酒店多功能厅举行。本届会议由都市发展设计集团有限公司、南通温科新材料科技有限公司主办，绿色建筑研习社承办，会议将邀请10位嘉宾，以项目为例，分享超低能耗建筑设计策略、先进技术、实践经验等。GTI吉泰精密作为超低能耗建筑产业优质产品供应商，应邀参加此次会议，与您面对面交流被动房工程中建筑气密性、门窗气密性测试解决方案，为广大行业人员提供产品参考。一、建筑气密性测试系统GTI650GTI650 是一款技术先进、设计科学的建筑物气密性检测设备，主要用于测试建筑围护结构的气密性水平，诊断和演示空气渗透问题以及估计自然空气渗透率以及空气渗透所产生的能效损失，并可用于对建筑整体性能进行评估，用于建筑物能效，建筑物气密性检测，降低用能需求，提高能源利用效率。二、手持式微差压计GTI115GTI 115 是一款测量精度高、性能稳定、操作简单，用于非腐蚀气体的手持式微差压测试仪。适用于测量气体的正压，负压及差压，是医院，洁净室，实验室，暖通空调，壁挂炉燃气压力测试或标定压力的理想仪器。连接皮托管可测风速、风量。具有数据存储功能和导出功能，更加方便用户使用。三、叶轮风速仪GTI600GTI 600是一款手持式叶轮风速仪，可更换大、中、小三种叶轮式传感器，广泛应用于精确测试散流器、格栅出风口和过滤器等不均匀分布的风速、温度并计算风量。在“双碳”目标战略背景下，被动式超低能耗建筑产业发展其时已至，其风正劲。GTI吉泰精密致力于为建筑节能行业提供高效、精确的气密性检测解决方案，以帮助企业实现超低能耗标准、近零能耗标准和零能耗标准的目标,我们期待在本次大会上与您建立深入的交流与合作，共同推动建筑节能行业的繁荣发展，期待您的到来。

p　　300多年前，当列文虎克(Leeuwenhoek)架起全球第一台显微镜，人类第一次进入了肉眼不可及的微观世界。/pp　　1924年，德布罗意提出微观粒子中的波粒二重性，这一理论基础助力了电子显微镜的发展，微观世界变得更加清晰。/pp　　而今，我们对微观奥秘的探知仍在继续。“科学之眼”——电镜技术将亚纳米的微观世界呈现于世透过它，Dan Shechtman看到了准晶体， Richard Henderson看到了膜蛋白结构，这些发现都推动了各自学科的发展。古往今来，科学技术衍生的一流仪器设备引领着每一次科研突破。/pp　　赛默飞世尔科技(Thermo Fisher Scientific)每年投入高达10亿美金用于自身产品的研发，旨在为科研工作者提供稳定可靠、先进的仪器设备和相关试剂。我们深知学术科研作为产业孵化起点的重要性，因此搭建丰富多样的产品组合，服务于不同学科的研究领域。在农业科学上，赛默飞MicroArray技术帮助科研工作者进行科学育种 在生命科学领域，赛默飞PCR分析仪和CE技术为分子生物学实验室平台的搭建添砖加瓦，冷冻电镜技术为结构生物学的发展增速 在分析化学领域，赛默飞色谱质谱技术已经成为各大高校和科研院所在定性定量分析中的常用工具。/pp　　赛默飞科研平台解决方案，与您一同开启微观世界的奥秘。让我们通过视频，一起来了解赛默飞和学术科研的不解之缘!/ppscript src="https://p.bokecc.com/player?vid=87C59BB133DC66659C33DC5901307461&siteid=D9180EE599D5BD46&autoStart=false&width=600&height=490&playerid=5B1BAFA93D12E3DE&playertype=2" type="text/javascript"/scriptbr//ppbr//p

超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1，2，付海金 1，2，胡鹏程 1，2*，杨睿韬 1，2，邢旭 1，2，于亮 1，2，常笛 1，2，谭久彬 1，2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150080； 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求，哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉仪，激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10，位移分辨力为 0. 077 nm，光学非线性误差最低为 13 pm，最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域，为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造；激光干涉；超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量（DMLI）技术是一种以激光 波长为标尺，通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点，DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪，已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例，其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪，来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求，目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米，并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级；而位移测量速度需求，则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言，影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求，以美国 Keysight 公司（原 Agilent 公司）和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构，长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破， 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而， 一方面，上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单，不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求；另一方面，上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求， 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉 仪，可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段，而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性，本课题组围绕这 3 个核心指标（特别是光学非线性）设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入，具备抗环境干扰能力强的优点，是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径，并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于，通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性，并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统，保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性［19- 20］。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组（图 11） 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″，与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上， 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠，优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年，本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构［2，21］，具体结构如图 12 所示，测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源，建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法，改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组［2-3］，并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K［22- 25］。同时，本课题组也采用多光纤高精度平行分光，突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光，致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题，保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 （图 17），其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 （k=3），位移分辨力为 0. 077 nm，最低光学非线性误差为 13 pm，最大测量速度为 5. 37 m/s（表 2）。并成功应用于上海微电子装备（集团）股份有限公司 （SMEE）、中国计量科学研究院（NIM）、德国联邦物理技术研究院（PTB）等十余家单位 ，在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。（a）20轴以上超精密高速激光干涉仪；（b）单轴亚纳米级激光干涉仪；（c）三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量， 不仅考验仪器的研制水平，更考验仪器的应用水 平，如复杂系统中的多轴同步测量，亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理，高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制：多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面，多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是，一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运；另一方面该类仪器技术复杂、难度极大，我国一直未能完整掌握，这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域，典型应用如图 18 所示，其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求，打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁，在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中，干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上，最大测量速度可达 5. 37 m/s，激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10（k=3），位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm，光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴（3~5 mK@ 10 min）和隔振环境，可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦，以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求，进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制：亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面，如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义，被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中，关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量，其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此，本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪，并成功应用于我国首套量子化质量基准装置（图 19），在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用，并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一［30- 32］。为达到亚纳米级测量精度，除了精密的隔振与温控环境以外，该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响， 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外，为了实现对被测对象的姿态监测，该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来，随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展，光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此，本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展，下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面： 1）围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中，其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升，将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度，对激光干涉仪的研发提出严峻挑战；极紫外光刻机采用真空工作环境，可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差，同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2）皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年， 国家自然科学基金委员会（NSFC）联合德国科学基 金会（DFG）共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”（2021 至 2023 年）。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院（PTB）合作完成，预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪，并进行国际范围内的直接 比对。3）空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后，各国纷纷开展了空间引力波探测计划，这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中，中国的空间引力波探测计划，将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上，实现皮米精度的超精密测量，本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下，将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究，特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作，预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础，建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队，并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持，建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台，开发了系列超精密激光干涉测量仪，在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用，推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展，并将通过进一步研发，为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见：超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf

8月21日，摩方超高精密器件国际创新中心（上海摩方启赋科技有限公司）（以下简称：“摩方精密”）与杭州睿思纳德精密科技有限公司（以下简称：“睿思纳德”）战略合作签约仪式暨联合实验室揭牌仪式在上海举行。双方进一步强化战略合作关系，发挥自身优势，共同推动3D打印技术在质谱关键器件及耗材应用端的技术研发、产品设计和产业转化，联合组建“超高精密3D打印质谱仪关键器件及相关技术联合实验室”。睿思纳德将逐步建立基于摩方精密设备的国内首条超高精密3D打印中试生产线，加速形成批量化生产能力。通过双方合作，解决现有产品在传统生产工艺上的难点、卡点，结合产品对耐酸碱性、耐有机溶剂、耐高温等需求，共同开发适用于质谱前端系统组件的新材料、新结构及新工艺，逐步形成系统解决方案，完成质谱高值耗材及核心部件国产解决方案。同时，双方将对基于摩方精密提供的超高精密加工解决方案及共同研发的技术成果，所形成的产品或服务产生的销售收入、相关补助等收益进行共同分配，实现共同利益最大化。摩方精密、睿思纳德相关代表出席了本次活动，双方共同完成签约及揭牌仪式长期以来，我国在产业创新与先进制造业发展的过程中，一直面临着缺少国产高端分析仪器的困境。其中，质谱仪在芯片制造、医学诊断和环境污染物检测等领域中不可或缺。目前，我国质谱行业发展势头良好，但所需高端零部件及耗材仍高度依赖进口。摩方精密与睿思纳德将以此次合作为契机，进一步加强技术交流，依托摩方精密颠覆性加工能力，以及睿思纳德在质谱仪关键核心零部件领域的研发能力和产业化基础，建立联合实验室，集中优势资源，加强合作研发，推动超高精密3D打印质谱仪关键器件及相关技术革新，解决质谱仪关键零部件及高值耗材供应难题，逐步实现质谱仪全生命周期核心零部件及高值耗材的本土化生产。同时，基于对已有产品的迭代升级，以国内市场为切入点，进军国际质谱部件和耗材百亿市场。以质谱仪雾化器为例，作为高性能ICP质谱前端进样系统高值耗材，是发挥整机性能的关键组件，具有更换周期短、技术含量高、制造工艺复杂、单个产品价值高等特点，目前市场产品仍依靠手工制造，全球仅Glass expansion、Burgener和Meinhard等少数几家国外公司具备生产能力。睿思纳德通过应用摩方精密的超高精密3D打印技术，将现有传统手工制造升级为智能制造，双方不断优化设计和工艺，通过控制同心雾化结构、内部通道尺寸和载气出口尺寸，以提高雾化效率和单细胞液滴传输的稳定性，在缩短制造周期的同时实现批量生产，并可适配当前市场上国内外各种形式质谱仪。基于3D打印技术具备快速产品原型开发、批量特异化生产、降低生产成本等优势，睿思纳德根据合作企业应用需求，与摩方精密共同开发了雾化器全系列产品，并提出了免清洗“日抛型”、“周抛型”耗材的理念，更适合医疗检验、纳米颗粒样本检测等多种应用场景。目前已经过一系列联合测试工作，得到了合作企业的一致肯定。目前，睿思纳德的单细胞进样器及高值耗材雾化器、雾化室已完成商业化生产并实现销售，并与北京莱伯泰科仪器股份有限公司达成ODM/OEM合作协议；与杭州谱育科技发展有限公司达成战略合作协议；与岛津企业管理(中国)有限公司签订销售合同。睿思纳德已分别在北京莱伯泰科和美国安捷伦ICP-MS上进行了测试。结果表明：相较于竞品雾化器，睿思纳德与摩方精密合作开发的雾化器具有：①雾化效果良好；②测试样本信号强度稳定；③连续不间断测试中无杂质浸出等优势。莱伯泰科产品研发部和市场部负责人均表示，该系列雾化器填补了雾化器细分领域空白，具备强大的市场竞争力。关于重庆摩方精密科技股份有限公司：重庆摩方精密科技股份有限公司成立于2016年，依托前沿微纳3D打印技术，是全球高精密3D打印技术及精密加工能力解决方案提供商。摩方精密采用面投影微立体光刻（PμSL: Projection Micro Stereolithography）技术，该技术具有成型效率高、加工成本低等突出优势，可应用于精密医疗器械、电子器件、微流控、微机械等众多工业及科研领域。摩方精密总部位于中国重庆，在中国深圳、美国波士顿、英国伦敦、德国法兰克福、日本东京均设有分支机构，目前拥有来自全球35个国家近2000家合作客户。关于杭州睿思纳德精密科技有限公司：杭州睿思纳德精密科技有限公司于2023年5月成立。依托中科院生态环境研究中心、国科大杭州高等研究院相关平台，共同推动产业转化，做好产学研用协同。以企业需求侧为导向，促进研发端落地。致力于解决质谱检测仪器核心零部件及高值耗材核心技术攻关，联动产业上下游，实现质谱高值耗材及核心部件定制解决方案，逐步提升国内质谱产业综合创新能力。公司通过全新技术理念，升级迭代现有国外产品，形成具有独立知识产权的全国产核心部件、耗材。