精密空气隔振台

实验室中的精密仪器和敏感实验往往要求高度精确的测量与控制，微小的振动都可能对实验结果产生不可忽视的影响。因此，为什么主动隔振台会成为众多实验室不可或缺的设备，以下是几个关键原因：1. 保护精密仪器的精确度与稳定性精密科学仪器如显微镜、光谱仪、电子显微镜、原子力显微镜(AFM)及各类光学平台等，对振动极其敏感。即使是微小的地壳振动、人员走动或空调运行等日常因素引起的震动，都可能导致测量结果失真、图像模糊或数据采集错误。主动隔振台通过动态监测并抵消外界振动，为这些精密设备创造一个几乎“零振动”的工作环境，确保实验结果的准确性和可重复性。2. 提升实验研究的质量与效率在生命科学、纳米技术、材料科学等领域，很多实验需要长时间曝光、微观结构观察或进行精密测量。若无有效的隔振措施，持续的外部振动会显著增加实验失败率，延长实验周期。主动隔振台能够有效减少因振动导致的重做次数，提升实验效率，同时保障研究成果的高质量。3. 促进创新研究与复杂实验的开展随着科学研究的深入，越来越多的前沿实验要求在极端条件下进行，如量子计算、生物分子成像等，这些实验对环境的稳定性和纯净度提出了更高要求。主动隔振台不仅能隔离低频到高频的广泛振动范围，还能适应不同的负载和实验条件，为科学家探索未知领域提供稳定的技术支撑平台，推动科学进步。4. 保障研究人员的安全与健康在进行某些涉及危险物质或高压环境的实验时，任何意外的振动都可能引发安全问题。主动隔振台通过减少外部干扰，不仅保护了实验的顺利进行，也间接保障了实验室人员的安全健康，营造了一个更加安全可靠的研究环境。综上所述，主动隔振台作为现代实验室基础设施的重要组成部分，对于维护实验的精确性、促进科研效率、推动科技前沿探索以及保障实验室安全均具有非常重要的作用。在此茂默科学推荐VarioBasic系列主动隔振台。基础信息：Vario Basic 40尺寸：396x120x111mm 载重：0-300kg，0-600kg Vario Basic 60尺寸：636x130x111mm载重：0-300kg，0-600kgVario Basic 90尺寸：932x130x111mm载重：0-300kg，0-600kg主要特征： 相比于气囊式被动隔振台,主动隔振台没有低频共振,即使在低频范围内也有出色的隔振性能。 超快的稳定时间:低至0.3秒(普通被动隔振台的稳定时间为30秒至60秒)。 主动隔振台带宽0.6/1Hz至200Hz(远超被动隔振台)。 6个自由度主动隔振。 真正的主动隔振:即时产生反作用力来抵消振动。 操作简单-按钮式解决方案。 设计紧凑,安装简便。 高度的位置稳定性-1Hz时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。 接电即可,无需压缩空气。 适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离， 广泛的适用范围:拥有标准化产品和用户定制产品。茂默科学力求解决行业内客户对科学仪器选型难、维护难的处境。欲了解更多隔振台相关的产品，Welcome to consult~咨询有惊喜哦！

产品介绍 细胞生长对培养环境有着极高的要求， 如温度、CO2浓度、剪切、培养基浓度等。尤其是动物细胞，生长周期较长， 对培养条件运行的连续性、 稳定性和可靠性提出了非常高的要求。 ZWYC-290系列精密细胞培养振荡器是ZHICHENG公司推出的具有我国自主知识产权的细胞振荡器新品。 该产品凝聚了ZHICHENG公司中国研发团队二十年恒温振荡器的专业设计经验和现代生物技术的应用经验，携手海外专家攻关，在引进、消化、吸收国外一线同类旗舰产品的基础上，再创新提高而形成的技术成果。 应用范围ZWYC-290系列精密细胞培养振荡器是生物培养在进入发酵培养前最完善的培养装置，可广泛应用于微生物细胞发酵、动物细胞和植物细胞培养， 在生物医药、食品开发、生物农业环境治理等领域进行微生物培育、菌种或细胞系筛选等有着很好的应用前景， 也可应用于对温度、供氧、剪切等具有较高要求的细菌培养、动植物细胞培养、杂交和生物化学反应以及酶反应研究。 产品特点三大系统：指纹（密码）识别电子门系统、手机天网系统、数据无线传输采集系统五大功能：恒温、振荡、恒湿，光照、CO2六大亮点：自保温聚氨酯壳体、杀菌加湿器、紫外高效灭菌、导流冲洗通道、便捷可卸托盘，绿色粘板功能介绍:? 基本功能(恒温振荡)1、ZHICHENG公司精密细胞培养振荡器，单层振荡培养箱体，振幅12.5mm、25mm、50mm三档可调。全温型；转速为30-300r/min，可调并显示。2、专利技术的单轴悬挂滑杆五驱自平衡驱动单元，连续工作时间长，耗能少，能承受不平衡负载。3、稳定性能高，设备可在最大负荷状态下不间断运行，在启动、运转和停止过程中能保持平稳，设备在重启（包括断电来电）后，维持原有设置自动开启。4、独特的空气循环系统，内外空气持续环流，保证培养过程中有充足的空气补入确保温场均匀性，使腔体内无温度死角。5、超温报警保护功能：l 当实测温度超过报警设定值时培养振荡器报警；l 当实测温度超过断电设定值时加热器停止工作。6、 超速报警保护功能:l 当实测转速超过报警设定值时培养振荡器报警；l 当实测转速超过最高转速时，振荡平台停止振荡。 ? 可选功能（恒湿培养）l 控制范围：40-90%RH，精度：± 5%RH（可修正）l 最新发明专利技术：1）采用金属模块腔体蒸发技术，体积小，效率高，反应快。2）腔体内多通道的独特设计，形成了一次加热蒸发、二次高温消毒、三次压缩增压的制湿技术， 最终形 成高达140℃的雾状蒸汽迅速喷射，均匀扩散，不易形成水滴，而且湿度分布非常均匀。 ? 可选功能（光照培养）l 两种光照单元供选择：（1）日光光照系统：模拟日夜光照环境（2）LED不同光波组合系统：波长主要集中在红橙光和蓝紫光波段区域，主要应用于光合生物的培养 ? 可选功能（CO2培养）l 浓度范围：0-20%l 控制精度：±0.2%（浓度5%时），显示精度：±0.1%（可修正）l 国际顶级品牌的红外传感器，确保控制的高精度和高稳定性l 控制方式：P.I.D（微电脑环境扫描微处理芯片）l CO2供气瓶可自动切换 ? 可选功能（OD在线检测）l 完全替代繁琐的手工定时采样测量方法，是一种自动化教学、科研设备l 采用非接触式检测技术，在动态环境中获得真实的微生物细胞生长曲线l 可在线实时测量微生物细胞浓度的光密度（optical density,OD）值l 可选4、8、12和16通道, 适合正交试验、均匀实验和DOE设计实验l 可高效实现菌种筛选、培养基优化、发酵工艺优化研究和动力学分析l 根据研究需要，可更换激光波长，应用于酶、蛋白质等活性物质的检测 ? 可选功能（可选模块）l 具有短信报警等手机互联功能。l 数据无线传输采集系统。能更方便地记录设备的运行数据，实时监控摇床的运行状态。 ? 六大亮点l 一次成型的自保温高强度聚氨酯壳体，保温性能良好，强化了箱体的密封效果，提高了操作的稳定性和安全性。l 拥有最新发明专利技术的温度达140℃的灭菌加湿器，腔体灭菌彻底，加湿效果良好。l 紫外灭菌与循环风扇配合在风道内实现对循环空气的紫外高效灭菌功能。l 导流冲洗通道，便于及时冲洗，避免细菌污染。l 托盘与箱门连动，装卸便捷。l 独特的绿色粘板，粘性和稳定性好，节省空间，易于清洗维护。 技术参数产品名称ZWYC-290系列精密细胞培养振荡器控制方式P.I.D（微电脑环境扫描微处理芯片）显示方式5.6吋640×480点阵65K色真彩触摸式显示屏对流方式强制对流式振荡方式回旋振荡式驱动方式单轴驱动环境温度要求（℃）5～35工作室（个）1～3空气循环360m3/h曲线编程设定（段/步）反复、步调、温度阶梯、曲线编程设定：9/18(段/步)，每段时间：999.9（min）定时时间（min）0～9999温度传感器Pt100温度控制范围（℃）4～60温度分辨精度（℃）≤0.1温度波动度（℃）≤±0.1温度均匀度（℃）≤ 0.2（37℃时）可选功能湿度控制范围（%RH）40～90湿度控制精度（%RH）2～3湿度波动度（%RH）≤2振荡幅度（mm）∮12.5、25、50三档可调转速范围（r/min）30～300转速精度（r/min）≤±1平均照度（Lux）≥300紫外强度（mW/m2）≥400可选功能CO2传感器进口品牌的NDIR单束双波红外传感器CO2控制范围（%）0～20CO2控制精度（%）0.2（浓度5%时）CO2显示精度（%）0.1CO2恢复速度（开门1分钟后）10min（浓度5%时）可选功能光密度OD6000.03～2.5 OD±0.03光密度稳定性OD600=1.0±0.03 相同实验条件下的稳定性≥95%（7天）测量通道选4、8、12和16通道可选噪音水平dB（A）≤70 dB（距离设备表面1m处）安全功能上、下限超温报警，上、下限超速报警，上、下限湿度报警，传感器故障报警，独立式过升防止器，独立式超温保护器（可调），独立式漏电、过电流跳闸保护，制冷机超荷保护，门与摇板连锁保护附属功能光照培养系统、自动停机、自动开机、温度/湿度表示校正、监视计时器、时钟显示、来电恢复、参数记忆、参数加密、可扩展RS-485接口制冷功能空冷式、R134.a 功率可控式制冷、无霜运行加速度柔性慢启动摇板数量1～3托盘类型粘性托盘（八块/单元）摇板尺寸（mm）850*450容积/单元（L）225最大装瓶量（支*容量）60*250ml 32*500ml 18*1000ml 10*2000ml 　8*3000ml 内胆尺寸/单元（长*宽*高）（mm）937*572*420外型尺寸/单元（长*宽*高）（mm）1080*960*590重量/单元（kg）98电源AC 220V 50/60Hz，1200W 创新点：一次成型的自保温高强度聚氨酯壳体，保温性能良好，强化了箱体的密封效果，提高了操作的稳定性和安全性。拥有最新发明专利技术的温度达140℃的灭菌加湿器，腔体灭菌彻底，加湿效果良好。紫外灭菌与循环风扇配合在风道内实现对循环空气的紫外高效灭菌功能。采用非接触式检测技术，在动态环境中获得真实的微生物细胞生长曲线精密细胞培养振荡器

5月22日至7月11日，南航保障了16票次共计205274公斤的芝加哥至深圳核磁共振精密仪器运输。据了解，深圳是精密医疗设备仪器的重要生产地，不仅向全国各地供应了大量的医疗设备，远销欧美的产品也大幅增加。 据悉，此次MRI项目是核磁共振精密仪器在深圳的首次越洋运输，由于该货物为精密仪器，价值昂贵、运输保障的操作难度高、疫情防控要求高，经过与各保障单位多方协调，通过深圳机场海关推行的“畅流计划”，航班起飞后向海关发送预申报，即航班落地后机下交接到货物提取，实现无缝衔接即卸即提，以高效率高质量的服务赢得了货主的高度评价，助力国内医药企业的发展。

主动隔振台在现代科技和工业领域中扮演着重要角色。随着科技的进步，对测量精度和制造质量的要求不断提高，传统的被动隔振台已难以满足这些需求。主动隔振台以其优越的隔振性能和快速响应能力，广泛应用于科学研究、工业生产和高科技领域。科学研究领域在科学研究中，尤其是涉及纳米技术、微电子学和高分辨率显微镜的实验中，环境振动会极大地影响实验结果的精度。主动隔振台能够提供超低频率范围内的优异隔振性能，确保实验设备在极其稳定的环境中运行。其快速稳定时间和高固有刚度使得实验设备能够在极短时间内达到稳定状态，大大提高了实验效率和数据的可靠性。工业生产领域在精密制造和加工过程中，如半导体制造、光学仪器生产和超精密加工，环境振动同样是一个关键问题。主动隔振台通过即时产生反作用力来抵消振动，提供卓越的振动隔离效果。其宽带隔振能力和多自由度隔振功能，确保了生产设备在各种振动频率和方向上的稳定性。这不仅提高了生产精度和产品质量，还减少了设备的磨损和维护成本。医疗和生物科技领域在医疗和生物科技领域，如显微手术、医学成像和生物实验，环境振动对操作精度和成像质量的影响尤为显著。主动隔振台的高稳定性和快速响应能力，使得这些精密操作和实验能够在极为稳定的环境中进行，从而保证了操作的成功率和实验结果的准确性。其简单的操作方式和无需压缩空气的设计，进一步提高了使用的便利性和安全性。建筑振动隔离在建筑工程中，特别是高精度测量设备安装的建筑物，如天文台、精密实验室和高科技研究机构，主动隔振台也得到了广泛应用。它们能够有效隔离来自建筑物和外部环境的振动，确保高精度设备在最佳条件下运行。其标准化产品和定制化解决方案，满足了不同建筑环境和设备的特殊需求，提供了可靠的振动隔离保障。茂默科学在此推荐欧库睿因i4系列 桌面式主动隔振系统无低频共振：相较于气囊式被动隔振台，主动隔振台在低频范围内也能提供出色的隔振性能。超快稳定时间：稳定时间低至0.3秒，而普通被动隔振台的稳定时间为30秒-60秒。宽带隔振：主动隔振台的带宽为0.6/1Hz至200Hz，远超被动隔振台。六个自由度隔振：提供全方位的振动隔离，适应多种振动方向。即时反作用力：真正的主动隔振，通过即时产生反作用力来抵消振动。简便操作：按钮式操作解决方案，用户友好，易于使用。紧凑设计：设计紧凑，安装简便，适合各种工作环境。高度位置稳定性：在1Hz时的固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍，确保设备的高度位置稳定。无需压缩空气：接电即可使用，无需额外的压缩空气支持。广泛适用：适用于分辨率测量设备与建筑振动隔离，拥有标准化产品和定制产品，满足多种需求。茂默科学力求解决行业内客户对科学仪器选型难、维护难的处境。欲了解更多色差仪相关的产品，Welcome to consult~咨询有惊喜哦！

一块看似光洁的玻璃片在光学3D表面轮廓仪的镜头下，竟神似凹凸不平的丘陵。在白光干涉技术的扫描下，软件对玻璃表面3D图像进行数据处理与分析，显示从最凹处低点到最凸处高点的距离居然有60纳米。　　“我们还测量过高低点仅相距0.1纳米的表面材料，不同光洁度的材料可以在一些特殊领域大展拳脚。”深圳市中图仪器股份有限公司副总经理张和君说。　　纤毫之间见真功，作为深圳“20+8”产业集群中的一员，深圳市精密仪器设备产业已初具规模，一批代表企业成长为所在领域的佼佼者。伴随《深圳市培育发展精密仪器设备产业集群行动计划(2022—2025年)》(以下简称《行动计划》)的发布，补短板、强攻关、塑品牌、搭平台、活生态的脚步更趋稳健。　　为高端仪器国产化贡献“深圳智慧”　　无论是材料器件的外观标准测量、大型数控机床的校准，还是肉眼看不见的声音、气体、温度、压强，抑或细胞的细微变化、电流的强弱、电子信号的瞬息波动，都在各类精密仪器设备的“火眼金睛”下无所遁形。当前制造业转型升级也对设备和生产过程的高精尖程度提出了新要求，进一步刺激精密仪器设备产业链上下游快速成长。　　据统计，2021年，深圳市精密仪器设备产业增加值达到128亿元，产品竞争力不断增强。其中，数字多用表、电子测量仪器、电能表等细分领域集聚了一批重点企业，高速高精点位操作技术、厘米级型谱化移动测量装备等关键技术研究成果获得国家科技奖，建成深圳市大型科学仪器共享平台等一批公共服务平台和创新载体，涌现出华盛昌、中图仪器、万测试验、浩宁达仪表、达实智能、科陆电子、拓邦股份、迈瑞、华大基因、鼎阳科技、中科飞测、宇星科技等一批代表性企业，为高端仪器国产化贡献了“深圳智慧”。　　剖析精密仪器设备产业链，可以发现深圳企业在产业链中下游的表现尤为突出。　　华盛昌所处的电子电力检测、红外检测、环境检测等智能检测技术是精密测量仪器领域的重要环节。在南山区西丽百旺信科技园内的华盛昌展厅陈列着各类与国际领先品牌站在同一起跑线的高精度测量仪器，包括专业电气安全检测仪表、可远程监控并进行智能物联网大数据分析的电能质量和能源管理仪器、专业红外热成像仪、检验空气质量的颗粒物计数仪等。当记者朝一块外观时尚的智能手表呵口气时，它甚至能准确测量出酒精含量是否超标。　　在精密仪器设备的下游应用端，2003年成立的华测检测认证集团股份有限公司是中国第三方检测认证行业首家上市公司，已在全球90多座城市设立150多间实验室，其检测和认证服务覆盖衣食住行的供应链上下游。　　标准的背后是惊心动魄的技术攻关　　作为一个“标准”密集型产业，精密仪器设备比拼的是精益求精的劲头。在“失之毫厘谬以千里”的微观世界里，谁掌握标准的制定权，就拥有创新发展的主动权。　　担任深圳市传感器与智能化仪器仪表行业协会会长单位的华盛昌是《穿戴式快速筛选酒精检测仪》《婴幼儿室内空气质量分级》和《过滤式空气净化器颗粒物净化性能分级》标准参编单位，也是《红外人体表面温度快速筛检仪》国标起草单位。　　标准的背后是惊心动魄的技术攻关。　　以迈瑞所在的医疗器械领域为例，这是各类精密仪器的兵家必争之地，其中对血液细胞的分析尤为激烈。　　人体内分布着数十万亿个细胞，观测分析其变化规律，可作为许多疾病的诊断依据。1998年以前，中国血液细胞分析产品市场上是清一色的外国品牌。1998年，迈瑞推出了中国第一台准全自动三分群血液细胞分析仪，这一格局才被打破。如今，在高端血液细胞分析系统方面，迈瑞生产的五分类血液分析仪已占据重要位置。　　工作人员解释，它采用半导体激光散射技术和细胞化学染色技术，当激光照射到细胞时，不同角度的散射光可反映细胞的体积大小、颗粒等不同信息，再结合其他特殊技术完成白细胞的五分类测定。研发团队在试剂、光学、算法、液路、系统设计、机械、软硬件、可靠性等方面攻克了多项技术难关，突破了多项国际技术封锁。　　硬核科技凸显“专精特新”特质　　“精”是精密仪器设备产业当之无愧的内核。无论是纳米级别的测量精度，还是长期专注于某一领域的企业发展战略，无不凸显“专精特新”特质。　　去年12月1日登陆科创板的深圳市鼎阳科技股份有限公司是数字示波器、信号发生器、频谱分析仪和矢量网络分析仪四大通用电子测试测量仪器主力产品领域中的国家级专精特新“小巨人”企业。其开发的数字示波器产品被称作电子工程师的“眼睛”，能把肉眼看不见的电信号转化为波形图像，方便工程师研究各种电现象的变化过程，采集电路中的电信号并进行测量、分析和处理。　　“专精特新”的灵魂是持续创新。目前鼎阳科技累计专利数量达233项，其中发明专利153项，多项核心技术在行业内处于领先地位。今年一季度，鼎阳科技境内外营业收入均保持增长，其中，中高端产品以及境内市场增长势头尤为明显。　　专注精密测量领域的中图仪器是另一家跻身工信部第三批专精特新“小巨人”企业榜单的企业。2019年，该公司通过了广东省科学技术厅“广东省高精度3D测量工程技术研究中心”认定，次年又荣获中国机械工业联合会机械工业创新大赛银奖，获得中国仪器仪表学会科技进步二等奖。　　公共平台既是黏合剂更是催化器　　一个产业集群的做强，势必要求一个融合了科研机构、共性技术研发平台、中试验证平台、孵化平台在内的产业支撑。　　光明区高科创新中心四楼是深圳中国计量科学研究院技术创新研究院的过渡院区所在地。在启动运营不足两年的时间里，已建成多间实验室。微纳仪器与精密测量实验室内，研究人员正在开展微纳尺度测量技术与仪器技术攻关。一台即将交付用户的衍射法栅格间距测量装置可以在狭小的内部空间内实现激光光束的层叠式传播，量值直接溯源至米定义波长基准，并有效缩短溯源链，实现扁平化量值传递。　　按照规划，总建筑面积6.84万平方米的中国计量院深圳创新院永久院区将在不远处的光明科学城大科学装置集群区建设。　　“研究院将边建设、边运行、边转化，未来将打造成为计量基础技术和共性技术扩散中心。”研究院副院长宋振飞说。　　作为科技创新的公共服务平台代表，深圳市大型科学仪器共享平台已经运营近3年，在整合深圳高校、科研院所、企业等单位的科技资源方面开展了有效探索。2021年度，进入共享平台的单台原值超过50万元(含)且利用财政资金出资购置的科研仪器总数量为4434台套，涉及电子信息、海洋、化工、生物等行业的十多个仪器类别，平均开放率为86.3%，使用率为104.3%。缺少大型科研设备的中小企业可以在平台上便捷预约价值不菲的高端精密仪器，有效盘活了深圳精密仪器设备资源。　　另一方面，行业协会也在推动产业集群做大做强方面，发挥了不可或缺的黏合剂作用。　　成立于1989年的深圳市传感器与智能化仪器仪表行业协会是行业内的代表性协会，已聚集480多家企业、高校及科研机构，在服务精密仪器设备产业集群发展方面开展了大量工作。　　如何建设高效能的公共服务平台?深圳市传感器与智能化仪器仪表行业协会执行会长钱宗春建议，首先要发挥协会在政府和企业之间的桥梁和纽带作用。其次要强化企业服务能力建设，引导中小企业注重开发新兴和细分市场，与企业联合制定高端精密仪器整机和核心零部件行业标准、地方标准和团体标准。　　不止于黏合剂，更要做产业催化剂。钱宗春建议，要持续推动企业、高校、科研院所等创新主体联合开展高端仪器整机和核心零部件攻关。他透露，协会已启动国家重大科学仪器设备开发专项“工业物料成分实时在线检测仪器的开发和应用”产业化工作，推动科尔达电气设备总公司与南京航空航天大学等开展产学研用合作，目前正在进行用户工业性试验。　　政策“活水”润泽实体经济　　今年6月发布的《行动计划》中提出，到2025年，深圳市精密仪器设备产业增加值将达到200亿元，其中工业自动化测控仪器增加值达到百亿级规模，信息计测与电测仪器、科学测试分析仪器及各类专用检测与测量仪器实现快速增长。　　为实现上述目标，深圳将实施核心关键环节创新突破工程、产业支撑服务能力强化工程、标准和知识产权体系建设工程、质量提升与品牌培育工程、自主产品规模化应用工程、企业竞争力成长工程。　　从政策、资金到人才，深圳正在为推动精密仪器设备产业集群发展构筑坚实基础。

p　　北京地铁4号线列车在13.5米深的地下呼啸而过，100米外北京大学信息科学技术学院大楼中，一台电子显微镜内“仿佛刮起了一阵飓风”。/pp　　用肉眼看，这台1米多高的白色金属镜筒安稳立在桌上。将它调至最高精度却会发现，显示屏上的黑白图像长了“毛刺”，原本纤毫毕现的原子图案因为振动变得模糊不清。/pp　　在北大校园内，因地铁运行受到影响的精密仪器，远不止这台价值数百万元的电镜。4号线开通时，北大有价值11亿元的精密仪器，其中4亿元的仪器受到影响。/pp　　为了减少地铁振动对这些仪器的干扰，北京市和北大都付出了巨大努力。在4号线北大东门段，地铁公司铺设了最先进的减振轨道。北大专门在较远处新修了综合科研楼，转移了部分精密仪器，但地铁振动的影响仍难以消除。一些学者只能在地铁停运后的半夜做实验。/pp　　2019年，离综合科研楼600米的地铁16号线二期全线将会开通，北大内精密仪器将面临两面夹击的窘境。北大实验室与设备管理部环境保护办公室主任张志强认为，如果不采取更多减振措施，形势不容乐观。/pp　　面临地铁振动干扰的科研单位不止北大。记者了解得知，清华大学、中国科学院、复旦大学、南京大学、首都医科大学、郑州大学医学院也曾遭遇相似困境。中国科学技术大学、浙江大学、南通大学周边即将修建地铁。/pp　　城市里越来越密集的地铁网络、科研机构中越来越灵敏的精密仪器，都是中国经济社会快速发展的标志。可当高精尖仪器遇上地铁线路，谁该避让，成了难以调和的矛盾。/pp style="text-align: center "img title="2018-04-28_131104.jpg" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201804/insimg/c8defcc7-172c-4a07-a8d5-c29e404fa5e1.jpg"//pp style="text-align: center "规划后的2020年北京地铁线路网。/pp　　strong地铁振动的蝴蝶效应/strong/pp　　一条条地铁轨道正在北京快速生长。到2020年，它们的总里程将有近千公里。高峰时期，近千辆列车将同时在轨道上飞驰。/pp　　在运载乘客的同时，这些重量超过100吨的列车，也成了一个个巨大的振动源。振动通过钢轮、钢轨、隧道和土壤，像波纹一样扩散到地表，进入建筑物内。/pp　　很少有人注意到这种振动给城市带来的影响。北京交通大学轨道减振与控制实验室是国内较早开展研究的团队。他们测试的数据显示，10多年间，北京市离地铁100米内的地层微振动提高了近10倍。/pp　　交通带来的微振动强度虽不算大，但持续时间长，影响隐蔽不易被发觉。它曾让捷克一座古教堂出现裂纹继而倒塌，曾长期影响巴士底歌剧院的演出效果，也曾干扰英特尔公司在集成板上雕刻纳米级电路。/pp　　在地铁激荡起的振动中，对精密仪器干扰最严重的是低频振动。这种振动波长很长，不易在土层中衰减。北大环境振动监测与评估实验室主任雷军，曾和学生拎着地震仪，测量过北京多条地铁线路，他们发现，在精密仪器更敏感的低频范围内，离地铁100米内地表振动强度比没有列车通过时高了30~100倍。/pp　　对北大和清华的精密仪器来说，地铁几乎意味着“灾难性打击”。/pp　　地铁开通之前，在这两所中国最著名的高校，因公交和铁路引起的环境振动，已逼近甚至超过某些仪器规定的安全值。不过，因为这些仪器在制订正常使用环境振动要求时留有富余量，绝大部分仍能正常工作。临近的地铁线一旦开通，两所大学中对振动敏感的精密仪器，很可能无法在最高精度下正常工作。/pp　　有学者认为，这造成巨大的浪费，“花100万美元买回来的仪器，只能当10万美元的用”。/pp　　许多仪器的使用者并不知晓，地铁振动会影响仪器。曾有同事找到雷军，抱怨实验室一台测量岩石年龄的精密仪器突然不正常了。这位老师叫来厂家，左调右调，愣是修不好，厂家也摸不着头脑。/pp　　雷军问：“什么时候开始不正常的?”对方说：“从2009年开始。”事实上，并非仪器坏了，而是地铁4号线开通后，振动干扰了仪器。/pp　　“国内研究地铁振动问题的专家，包括设备厂商，总共不到百来人。”北交大副教授马蒙感慨，这是一个非常小的学术圈子，其中大部分专家还在同一个微信群里。/pp　　10多年来，雷军一直在各种场合呼吁关注地铁振动问题。作为九三学社社员，他多次写建议书希望向全国人大反映这一问题。一有机会，他便向不了解的学者和学生科普地铁振动的影响。/pp　　在很长一段时间内，原本搞地震学的他，一门心思扑进这个冷门的学术领域。家人常劝他，别“不务正业”。/pp　　在雷军看来，这个领域相当重要。他敲着桌子问：“中国正经历工业化转型，可为什么这些年我们的科技成果都是大块头的?一些核心电子元件，包括芯片、光刻机、光栅薄材等许多领域零部件的加工，为什么即便我们买回了国外全套生产线，也造不出一样的东西?很大一个原因就是环境振动超标。今天我们已经能生产粗犷的工业品，我们的短板主要在精度上，一小一精就不行。”/pp　　他曾为两个单位做过环境振动评估。一个是中国计量科学研究院，是国家最高计量科学研究中心，原址环境振动严重超标，后来搬迁到昌平，评估却发现新址仍有一些问题。另一个是某国防计量站，环境振动超标100多倍。/pp　　对专门研究环境振动的专家来说，地铁引起的微振动，看似蝴蝶扇动翅膀，但在对振动敏感的高精尖领域，足以酿成灾难性的风暴，从而制约一个国家的发展：光刻机需要在1毫米内画上千条线，需要外部环境保持极度稳定 导弹系统中高速旋转的陀螺仪，加工时必须保证质量中心和几何中心完全重合，否则就会指东打西。/pp style="text-align: center "img title="微信图片_20180428192304.jpg" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201804/insimg/dab9ff9c-1156-4ee7-a200-09189a4076b1.jpg"//pp style="text-align: center "地图上与地铁线路相邻的北京大学校园。/pp　strong　两败俱伤的妥协/strong/pp　　同许多外界学者一样，雷军原本也不知道地铁振动对精密仪器有影响。在中国，北大与地铁的激烈抗争，头一回让这一问题浮出水面。/pp　　2003年，北京市地铁4号线方案公布，将贴北大东门一路向北。地铁线两边紧密分布着北大几大理工科学院及众多重要实验室，北大相当一部分精密仪器集中在这些科研楼中。有学者提醒北大，得研究下地铁对精密仪器是否有影响。/pp　　雷军此前研究建筑物抗震，都是较大级别的振动，没怎么关注过微振动的影响。着手采集北京市其他地铁线的振动数据后，他才发现，“这个问题很复杂，比想象的要严峻得多”。/pp　　因为他和同事的报告，北大反对4号线经过。当时北大和地铁公司为两个方案反复争论：要么北大整个搬走，要么地铁4号线改线。/pp　　直至最后一次研讨会，双方仍僵持不下。那次会议由北京市一位副市长主持，邀请了一位院士和多位北大校外专家。/pp　　那位院士在会上表示，轨道隔振方案可行。他拿自己做过的一个方案打比方，“用手一摸，振动感觉不到了。”/pp　　北大一位代表当场反问：“人的手这种传感器灵敏度有多高?”北大对振动最为敏感的那台电子显微镜，敏感度是人体的成百上千倍。/pp　　会上最终形成决议，采用一个折中的方案——4号线经过北大的789米轨道段，将采用世界上最先进的轨道减振技术，也就是在钢轨下铺设钢弹簧浮置板。这种浮置板由一家德国公司发明，上面是约50厘米厚的钢筋混凝土板，下面是支撑着的钢弹簧，能将列车的振动与道床隔离。/pp　　“对列车来说，这相当于垫了一个很软的垫子，同时弹簧将振动隔开了。”北京交通大学的马蒙副教授告诉中国青年报?中青在线记者，这种轨道减振技术目前在一定程度上已到极限，更软的话，列车运行安全性可能得不到保证。/pp　　这种浮置板在总体上能很好隔振，但它也有一个很大的缺点：由于隔振原理，它对低于自振频率的振动没什么用，甚至很可能会放大。/pp　　2009年，4号线北大东门段开通后，马蒙和同事又作了测试，验证了这一理论。在马蒙看来，这段轨道减振措施还是有用的，保证了很多要求没那么高的仪器能正常使用，但对于一些极度敏感的设备，它反而会加重干扰。/pp　　北大对这个结果并不满意。经观测发现，西南边的校医院旧址振动强度稍小。北大决定在该地盖综合科研楼，将部分受影响的仪器搬过来。但受限于场地和经费，只有约三分之一的设备能入驻。/pp　　2011年，大楼地基已经打好，低层正在施工之时，另一个消息传来：地铁16号线将绕经北大西门，离综合科研楼仅200米。/pp　　由于校内精密仪器已无处可挪，北大强烈抗议。雷军分析，之所以会出现这种尴尬局面，是因为地铁公司以为减振成功了，并不知道北大正打算搬仪器。同时，他们也没将规划方案提前告知北大。/pp　　北京市拨出上千万元专项资金，让市政总院、北交大、中国电子工程设计研究院、中国铁道科学研究院及北大联合组成攻关项目组，拿出一套综合的解决方案，除了地铁轨道减振外，还包括重新设计综合科研楼，考虑在低层装减振平台，用弹簧将上面的建筑整体悬浮起来。/pp　　雷军记得那几个月，每周有两三天要开会讨论，几方经常为具体方案争得脸红脖子粗。一位电子设计院专家告诉记者，北大的要求过于理想化，而且双方对数据的采集和分析方法不同，导致数倍的差异。/pp　　有专家听过一句玩笑话：如果这事处理得不好，会影响北大“冲击诺贝尔奖”。/pp　　正当各方吵得不可开交之时，项目戛然而止。据说北大领导和一位市领导在某个会议碰面，双方握手言好。地铁16号退后一步，往西绕开300多米，甩掉两座车站，北大也不再提要求。/pp　　中国铁道科学研究院研究员杨宜谦是项目组专家之一。在他看来，在这场博弈中，北大看似赢了，实则不然。这不是完美的解决方案，这恰恰是“两败俱伤的妥协”。/pp　　strong缺失的环保标准/strong/pp　　杨宜谦认为，地铁退后一步，能减少对北大精密仪器的干扰，但这个距离往往不足以消除影响。另一方面，地铁改线后，失去了吸引客流的作用。/pp　　他当时建议，北大将精密仪器楼搬至郊区，从而完全排除干扰。但对许多北大教师来说，这样的建议难以接受。杨宜谦也能理解，毕竟北大建校在先，地铁在后，让谁搬谁都不乐意。/pp　　他和雷军都认同，避免这样的矛盾冲突，应当在规划时讲究先来后到。新规划的地铁线应尽可能避开对振动敏感的高新技术区域，新修建的高新区应尽可能选在没有地铁的郊区。/pp　　目前问题的症结在于，科研单位的精密仪器往往购置在先，地铁规划方案形成时却没有考虑相关影响。/pp　　杨宜谦对国外相关法律法规标准很熟悉。日本有专门的《振动法》。美国的轨道交通环境影响评价标准中涉及振动敏感设备。/pp　　这两个国家也曾有过教训。东京大学曾将一整栋楼用弹簧悬AX起，仍无法消除振动影响。美国华盛顿大学由于轻轨穿越校园，采用轨道减振措施，并降低车速，但15栋敏感建筑中仍有5栋振动超标。/pp　　“减振是世界难题，目前最好的办法就是避让。”雷军常举日本筑波科学城的例子。这个集聚了日本科研人才的城市始建于1963年，直到40多年后才通地铁，且同城区相隔2.5公里。/pp　　中国尚无环境振动污染防治法，虽然环境保护标准中有关于振动对居住建筑、办公建筑、医院、学校内的人影响的规定，却未涉及对精密仪器的干扰。这导致地铁规划方案进入环境影响评价阶段时，环保部门很少考虑这一层面。/pp　　最近，生态环境部发布了《环境影响评价技术导则 城市轨道交通(征求意见稿)》，但仍未提及振动对振动敏感仪器的影响。/pp　　杨宜谦还发现，连环保从业人员都对这一问题的态度存在分歧。有人认为，这一问题理所当然归环保部门管，也有人斩钉截铁地认为不归。/pp　　相关评价标准的缺位，导致很多途经科研机构及工业园区的地铁方案考虑欠周。有省会城市在规划地铁时，为了方便病人出行，特意在一家大学附属医院内设了地铁站，没想到让一些医疗检查设备没法正常使用。/pp　　发现潜在问题时，往往已经晚了。一旦某条具体地铁方案通过层层审批，“往外挪个100米都几乎不可能”。/pp　　这常造成高校与地铁的对抗。15号线原计划下穿清华大学，遭清华极力反对。最终，15号线只进入清华校内120米，没与4号线相连，形成换乘站。/pp　　早在1955年，清华大学就曾让铁路改过线。京张铁路位于清华校园同侧，振动曾严重干扰科研，在清华的争取下，铁路线向东迁了800米。/pp　　并非所有大学都拥有强大的谈判能力。有985高校没经太多考虑，直接在同意文件上盖了章。有的高校遭遇了损失，不愿意公开化。/pp　　等到地铁方案已成事实，只能采用其他减振措施。中国电子工程设计院有限公司曾给复旦大学、南京大学等多个受地铁影响的高校做过减振方案。/pp　　振动技术研究中心工程师左汉文告诉记者，目前效果最好的方案是综合减振，除了在轨道下铺设钢弹簧浮置板，同时在仪器楼修建之初装上靠弹簧撑起来的隔振支架。如果楼已竣工，只能在每一台仪器下加装减振台，成本将大大提升。/pp　　16号线开通后，北大只能采取第二种方案。北大实验室与设备管理部环境保护办公室主任张志强估计，一个最先进的空气弹簧减振台，大约要花费一两百万元，北大需要减振的仪器“在几十上百个这样的数量级”。/pp　　见证了高级的德国浮置板、繁琐的修楼搬迁和昂贵的地铁改线，北大最精密的电子显微镜未来身下还将装上复杂的减振台。但它能否逃脱地铁振动的干扰，谁也不敢保证。/ppbr//p

第8届中国被动房设计师大会将于2024年6月18日在北京华腾美居酒店多功能厅举行。本届会议由都市发展设计集团有限公司、南通温科新材料科技有限公司主办，绿色建筑研习社承办，会议将邀请10位嘉宾，以项目为例，分享超低能耗建筑设计策略、先进技术、实践经验等。GTI吉泰精密作为超低能耗建筑产业优质产品供应商，应邀参加此次会议，与您面对面交流被动房工程中建筑气密性、门窗气密性测试解决方案，为广大行业人员提供产品参考。一、建筑气密性测试系统GTI650GTI650 是一款技术先进、设计科学的建筑物气密性检测设备，主要用于测试建筑围护结构的气密性水平，诊断和演示空气渗透问题以及估计自然空气渗透率以及空气渗透所产生的能效损失，并可用于对建筑整体性能进行评估，用于建筑物能效，建筑物气密性检测，降低用能需求，提高能源利用效率。二、手持式微差压计GTI115GTI 115 是一款测量精度高、性能稳定、操作简单，用于非腐蚀气体的手持式微差压测试仪。适用于测量气体的正压，负压及差压，是医院，洁净室，实验室，暖通空调，壁挂炉燃气压力测试或标定压力的理想仪器。连接皮托管可测风速、风量。具有数据存储功能和导出功能，更加方便用户使用。三、叶轮风速仪GTI600GTI 600是一款手持式叶轮风速仪，可更换大、中、小三种叶轮式传感器，广泛应用于精确测试散流器、格栅出风口和过滤器等不均匀分布的风速、温度并计算风量。在“双碳”目标战略背景下，被动式超低能耗建筑产业发展其时已至，其风正劲。GTI吉泰精密致力于为建筑节能行业提供高效、精确的气密性检测解决方案，以帮助企业实现超低能耗标准、近零能耗标准和零能耗标准的目标,我们期待在本次大会上与您建立深入的交流与合作，共同推动建筑节能行业的繁荣发展，期待您的到来。

5月24 - 26日，在首届“科学仪器开发者大会”上，致真精密仪器自主研发的原子力显微镜系列产品重磅发布！此次发布的产品包括多功能原子力显微镜（AtomicaPrecision）、晶圆级原子力显微镜（Wafer Mapper-M）。该产品稳定性强、可拓展性良好、提供定制服务；可拓展横向力显微镜、静电力显微镜、磁力显微镜、扫描开尔文探针显微镜、刻蚀和纳米操作等。该产品作为高速、高精度微观形貌表征及综合物性分析工具，可以为高端科研与企业生产研发提供更多的选择与助力。“精彩花絮致真精密仪器携新品亮相展位，莅临的嘉宾们在现场通过亲自参与操作，快速了解产品的核心卖点。体验结束后，表示新产品在性能、操作便捷性等方面都有较好的感受，非常期待未来能够与致真精密仪器展开更深入的合作。致真精密仪器董事长兼首席技术官张学莹博士在大会上作了《高精度扫描探针显微镜的研制和应用》的报告，从原子力显微镜系列新品的开发背景、相关核心技术、多物性分析应用和市场前景等方面对新品进行全面讲解，详细展示了产品在纳米结构高清成像、液下生物细胞成像、高清磁畴（斯格明子）成像、铁电畴成像等方面的精彩效果，引起现场专家学者的浓厚兴趣，获得高度关注。“产品介绍致真精密仪器科研级原子力显微镜AtomicaPrecision产品介绍利用微悬臂探针结构对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征，纵向噪音水平低至0.03 nm(开环），可实现样品表面单个原子层结构形貌图像绘制。可以测量表面的弹性、塑性、硬度、黏着力、磁性、电极化等性质，还可以在真空，大气或溶液下工作，在材料研究中获得了广泛的使用。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境：空气、液相● 多功能配置● 稳定性强● 可拓展性良好典型案例晶圆级原子力显微镜Wafer Mapper-M产品介绍利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征。样品台兼容12寸晶圆，电动样品定位台与光学图像相结合，可在300X300mm区域实现1μm的定位精度，激光对准，探针逼近和扫描参数调整完全自动化操作。可用于产线，对晶圆粗糙度进行精密测试。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境：空气、液相● 可旋转式扫描头● 多功能配置● 稳定性强、可拓展性良好典型案例在新质生产力与大规模设备更新的推动下，国产替代的呼声愈发高涨，已成为行业发展不可逆转的潮流，致真精密仪器一直以来致力于实现高端科技仪器和集成电路测试设备的自主可控和国产替代，通过工程化和产业化攻关，已经研发了一系列磁学与自旋电子学领域的前沿科研设备，包括“原子力显微镜、高精度VSM、MOKE等磁学测量设备、各类磁场探针台、磁性芯片测试机等产线级设备、物理气相沉积设备、芯片制造与应用教学训练成套系统等”等，如有需要，我们的产品专家可以提供免费的项目申报辅助、产品调研与报价、采购论证工作。致真精密仪器拥有强大的自主研发和创新能力，产品稳定精良，多次助力中国科研工作者取得高水平科研成果。我们希望与更多优秀科研工作者合作，持续提供更加专业的技术服务和完善的行业解决方案！欢迎联系我们！除此之外，我们还可以为各位老师提供免费测试服务，有“磁畴测试”、“SOT磁畴翻转”、“斯格明子观测”、“转角/变场二次谐波”、“ST-FMR测量”、“磁控溅射镀膜”等相关需求的老师，可以随时与我们联系。

随着科学技术的快速发展，精密仪器和设备在各个领域中的应用越来越广泛。这些精密仪器对环境的稳定性要求高，尤其是对振动的敏感度。在科研实验室、半导体制造、医药研究、光学设备以及高精度测量等领域，环境振动可能导致数据不准确、产品缺陷或实验失败。因此，如何有效隔离环境振动，保障仪器的稳定运行，成为了一个关键问题。应用领域科研实验室：在物理、化学、生物等实验室中，高精度仪器如原子力显微镜、光学显微镜和质谱仪等对振动非常敏感。主动隔振台能够有效隔离外部环境的微小振动，确保实验数据的准确性和可靠性。半导体制造：半导体制造过程中涉及的光刻、蚀刻和测试等环节，需要在极为稳定的环境中进行。主动隔振台可以大幅减少机械振动和地面振动对设备的影响，提高产品良品率。医药研究：在药物研发和生物技术研究中，诸如核磁共振成像（MRI）、X射线衍射仪等设备对环境振动有严格的要求。主动隔振台提供了一个稳定的工作平台，确保实验的准确性和可重复性。光学设备：光学设备如激光干涉仪和光谱仪对振动特别敏感。主动隔振台的应用可以提高这些设备的性能，确保测量和实验结果的精确度。高精度测量：在计量学和工程检测领域，主动隔振台可以提供一个无振动的测量环境，确保测量仪器的精度和稳定性。小型主动隔振台的市场需求和优势随着科技的进步和各领域对高精度、高稳定性要求的提升，小型主动隔振台的市场需求日益增加。小型主动隔振台具有以下优势：紧凑设计：小型主动隔振台设计紧凑，占用空间小，适合在各种有限空间内使用，如实验室通风橱和生物安全柜中。操作简便：这些设备通常操作简便，只需简单的设置和调整即可使用，降低了用户的操作难度。高性价比：相较于大型隔振设备，小型主动隔振台价格更为实惠，适合中小型实验室和企业使用。灵活应用：小型主动隔振台可以灵活应用于各种精密仪器的隔振需求，满足多样化的实验和生产环境要求。快速响应：小型主动隔振台具有超快的稳定时间，能够迅速应对环境变化，保持设备的稳定性。Accurion主动隔振台，欧库睿因 Nano系列：操作简单，高度稳定，专为小型和轻型应用而设计。产品概述Nano系列Accurion主动隔振台采用全新设计，专为小型和轻量的隔震应用而设计，例如原子力显微镜的隔震。该系统操作简便，不需要任何负载调整，只需释放运输锁即可使用，用户无需进一步操作。设计优势由于设计简洁，Nano系列隔震台价格实惠，并配有较小的外部控制器。通过数据线连接控制器和隔震台，这种设计确保隔震台本身不产生热量，因此不会影响隔震仪器。这在需要隔音罩且对热敏感的应用中尤为重要。控制器远离被隔震的仪器，以消除控制器电子器件可能产生的电磁干扰。承重桌选项主动隔震台可选配专门设计的焊接钢架结构承重桌。承重桌具有很高的水平和垂直刚度，是实现优秀隔离性能的理想实验桌。用户可以根据实际需要选择不同尺寸的承重桌。主要特征无低频共振：与气囊式被动隔振台相比，主动隔振台即使在低频范围内也能表现出色的隔振性能。超快稳定时间：稳定时间低至0.3秒（普通被动隔振台的稳定时间为30秒至60秒）。宽带隔振：主动隔振台带宽为0.6/1Hz至200Hz，远超被动隔振台。六自由度隔振：提供全方位的隔振效果。即时反作用力：真正的主动隔振，能即时产生反作用力来抵消振动。操作简便：按钮式解决方案，使用方便。设计紧凑：安装简便，占用空间小。高度位置稳定性：1Hz时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。无需压缩空气：接电即可使用，简化操作。适用范围广：适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离，提供标准化和用户定制产品。产品信息：尺⼨ ：300x400x75mm载重：5-25kg或10-30kg 茂默科学力求解决行业内客户对科学仪器选型难、维护难的处境。欲了解更多相关主动隔振台的产品，Welcome to consult~咨询有惊喜哦！

中国计量科学研究院专家接受本报记者采访时表示：日本地震对我国精密测量和计量产生影响　　3月11日，日本东北地区发生9.0级强烈地震。中国计量科学研究院力学与声学研究所振动冲击研究室的副研究员蔡晨光在接受本报记者采访时表示，如此强度的大地震，对我国精密测量和计量将带来一些影响。　　蔡晨光所在的振动冲击研究室是从事振动、冲击、转速3个计量专业的实验室。振动冲击转速计量是涉及多学科的动态测量技术，它广泛应用于机械制造、车辆船舶、航空航天地球物理、地质物探等众多科研和工程领域，在国民经济建设中发挥着十分重要的作用。蔡晨光说，日本地震对精密测量和计量的影响，从时间上可以分为两个阶段：第一个阶段是地震和余震持续发生时 第二个阶段是震后地质稳定周期。　　这次日本地震的震级达到了9.0级，释放的能量较大，其低频振动分量传递较远，对我国高精密计量仪器有显著的影响。　　据了解，高精密测量和计量仪器对环境振动的要求极高。美国环境科学和技术研究院经过大量的理论和实验研究推荐：微米级的测量要求1～100赫兹频带内的环境振动控制在12.5微米/秒以下(VC-C级)，否则无法保证精密测量的测量精度。例如，1000倍的精密显微镜，要想保证其测量精度，必须对环境振动进行严格控制，否则就会出现丢失像素，甚至丢失整帧图像的问题 而对于测量精度更高的扫描电子显微镜和透射电子显微镜，则要求环境振动控制在VC-D级(即1～100赫兹频带内的环境振动控制在6微米/秒以下) 对于纳米级的精密测量，例如半导体线宽、三磷酸腺苷及DNA测量，对环境振动的要求更高。美国国家标准和技术研究院(NIST)还针对纳米尺度的计量开展了大量研究，制定了纳米计量需要满足的环境振动标准。　　据蔡晨光介绍，由于日本地震的影响，中国计量科学研究院的环境振动远远超出了精密计量所需要控制的量级。“虽然计量院昌平基地的一些精密实验室位于地下14米，可以隔离掉一部分地表传播的地震波，但是对于深度传播的低频地震波却无法进行有效衰减，致使高精密测量仪器无法正常工作。”他举例说，由于地震的影响，精密质量比较仪会长时间内无法稳定，致使高精度的质量量值无法传递和溯源 纳米尺度的精密测量仪器也会受影响而导致无法正常工作。　　蔡晨光说，目前中国计量科学研究院昌平基地还没有建立起环境振动的实时监测系统，还无法实时、有效、准确地评估日本大地震这类偶发事件对高精度计量溯源系统的具体影响。“我国现在急需建立环境振动的实时监测系统。”　　除了地震波给精密测量造成的直接影响外，在震后的地质稳定周期，精密测量和计量也会受到影响。据蔡晨光介绍，地震将会造成一定程度的地质运动，在震后需要长时间的稳定周期。例如由于地质的液化会造成地面倾斜，地面的倾斜角会在地质状况稳定过程中发生持续漂移变化，而地面倾斜角是精密导航系统中的一个关键参数，需要进行精确测量。　　据介绍，在地质情况稳定状态下，地面倾斜角的累积变化量较小，不会对精密导航系统造成太大的初始误差。而当地震发生时，由于地质运动及地质液化造成的倾斜角偏移，将极大地改变当地的倾斜角，从而带来较大的初始误差。所以在地震发生后的很长一段时间内，都需要对倾斜角进行监测，从而保证导航测量的精准。　　“在计量院昌平基地有很多精密隔振平台，这些平台上的很多测量系统对倾斜角都比较敏感。例如长度计量中，激光平台和被测平台可能在相邻两米的两个平台上，如果地面倾斜角发生0.001度的变化，垂直方向即会发生35 微米的位移变化，这么大的位移变化即使是微米级的测量都无法允许的，更不要说是纳米测量。”蔡晨光说，我国急需建立倾斜角测量系统和监测系统，来保障我国计量量值复现的准确性和可靠性。

超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1，2，付海金 1，2，胡鹏程 1，2*，杨睿韬 1，2，邢旭 1，2，于亮 1，2，常笛 1，2，谭久彬 1，2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150080； 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求，哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉仪，激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10，位移分辨力为 0. 077 nm，光学非线性误差最低为 13 pm，最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域，为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造；激光干涉；超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量（DMLI）技术是一种以激光 波长为标尺，通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点，DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪，已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例，其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪，来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求，目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米，并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级；而位移测量速度需求，则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言，影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求，以美国 Keysight 公司（原 Agilent 公司）和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构，长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破， 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而， 一方面，上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单，不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求；另一方面，上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求， 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉 仪，可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段，而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性，本课题组围绕这 3 个核心指标（特别是光学非线性）设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入，具备抗环境干扰能力强的优点，是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径，并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于，通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性，并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统，保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性［19- 20］。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组（图 11） 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″，与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上， 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠，优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年，本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构［2，21］，具体结构如图 12 所示，测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源，建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法，改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组［2-3］，并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K［22- 25］。同时，本课题组也采用多光纤高精度平行分光，突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光，致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题，保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 （图 17），其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 （k=3），位移分辨力为 0. 077 nm，最低光学非线性误差为 13 pm，最大测量速度为 5. 37 m/s（表 2）。并成功应用于上海微电子装备（集团）股份有限公司 （SMEE）、中国计量科学研究院（NIM）、德国联邦物理技术研究院（PTB）等十余家单位 ，在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。（a）20轴以上超精密高速激光干涉仪；（b）单轴亚纳米级激光干涉仪；（c）三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量， 不仅考验仪器的研制水平，更考验仪器的应用水 平，如复杂系统中的多轴同步测量，亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理，高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制：多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面，多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是，一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运；另一方面该类仪器技术复杂、难度极大，我国一直未能完整掌握，这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域，典型应用如图 18 所示，其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求，打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁，在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中，干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上，最大测量速度可达 5. 37 m/s，激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10（k=3），位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm，光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴（3~5 mK@ 10 min）和隔振环境，可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦，以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求，进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制：亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面，如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义，被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中，关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量，其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此，本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪，并成功应用于我国首套量子化质量基准装置（图 19），在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用，并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一［30- 32］。为达到亚纳米级测量精度，除了精密的隔振与温控环境以外，该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响， 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外，为了实现对被测对象的姿态监测，该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来，随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展，光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此，本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展，下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面： 1）围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中，其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升，将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度，对激光干涉仪的研发提出严峻挑战；极紫外光刻机采用真空工作环境，可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差，同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2）皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年， 国家自然科学基金委员会（NSFC）联合德国科学基 金会（DFG）共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”（2021 至 2023 年）。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院（PTB）合作完成，预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪，并进行国际范围内的直接 比对。3）空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后，各国纷纷开展了空间引力波探测计划，这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中，中国的空间引力波探测计划，将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上，实现皮米精度的超精密测量，本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下，将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究，特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作，预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础，建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队，并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持，建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台，开发了系列超精密激光干涉测量仪，在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用，推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展，并将通过进一步研发，为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见：超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf

项目编号：OITC-G220321054项目名称：中国科学院精密测量科学与技术创新研究院钛宝石飞秒振荡器等仪器设备采购项目预算金额：230.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：230.0000000 万元（人民币）采购需求：1、采购项目的名称、数量：包号货物名称数量（台/套）是否允许采购进口产品分项最高限价1钛宝石飞秒振荡器1是170万元双通道成像光谱仪1是30万元多通道锁相放大器1是30万元2、投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。合同履行期限：详见采购需求本项目( 不接受 )联合体投标。

9月26日，沃特世宣布其在马萨诸塞州陶顿新建的精密化学品制造工厂已获得LEED(能源和环境设计领域的领导者)认证，该工厂生产的产品对于很多实验室来说至关重要，这些实验室确保了全球数百万人的药品、食品和水的质量和安全。 　　沃特世的陶顿工厂由美国绿色建筑委员会(USGBC)指定，是马萨诸塞州第一个也是唯一一个LEED认证的化学制造工厂，也是美国少数几个LEED认证的工业制造项目之一。该工厂几乎将沃特世的制造足迹扩大了两倍，已经创造了25个新的工作岗位，并为未来几年提供了增长空间。 　　为了满足不断增长的客户需求，实现更高水平的运营效率，并继续其可持续发展的承诺，沃特世自2018年以来投资超过2.15亿美元，将这一先进的设施建成卓越的制造中心。 　　沃特世公司总裁兼首席执行官Udit Batra博士表示:“沃特世陶顿工厂生产的材料是开发和测试mRNA疫苗和疗法的科学核心，这些疫苗和疗法用于预防和治疗COVID以及检测饮用水中的PFAS等污染物。作为美国为数不多的获得LEED认证的化学制造工厂之一，我们很自豪能够带头帮助改善我们的环境、健康和社区福祉，并确保生命科学产业在马萨诸塞州继续繁荣发展。" 　　这座占地140，000平方英尺的化学制造厂与沃特世自1976年以来生产实验室用品和化学消耗品的工厂相邻。沃特世在该工厂生产色谱颗粒，这是其化学消耗品业务的支柱，每年的经常性收入超过3亿美元。更具体地说，它合成了全球数千家分析实验室使用的色谱介质，以支持药物、生物制药、材料、食品的研究、开发和制造，并支持临床诊断和生物医学研究。 　　鉴于典型的化工制造工厂消耗大量的能源和水，沃特世工厂采用了许多创新功能来减少对环境的影响，包括: 　　先进的现场工业废物控制和处理技术，旨在将总体建筑排放降低到沃特世传统制造设施的六倍； 　　废水回收技术，回收和过滤废水，用于物业灌溉、气候控制和建筑物的洗手间设施； 　　此外，该建筑的LEED设计针对能效和室内空气质量进行了优化，融入了促进可持续发展的建筑材料。 　　“沃特世通过其投资和设计表明，除了创造就业机会和支持生命科学之外，化学制造厂还可以成为环境可持续发展的典范。”美国众议员Jake Auchincloss (D-MA)说。 　　“获得LEED认证不仅仅是实施可持续发展的做法。它代表了让世界变得更美好并影响他人做得更好的承诺，”USGBC临时总裁兼首席执行官Peter Templeton说。“鉴于气候保护的重要性以及建筑在这一努力中发挥的核心作用，沃特世对可持续发展的承诺表明，作为马萨诸塞州第一家获得LEED认证的化学品制造厂，我们可以做到什么。" 　　为了庆祝这一成就，Batra博士接待了当地政府、商业和学术领袖，包括美国第四选区(MA)众议员Jake Auchincloss马克帕切科，参议院院长，州参议员标准时间普利茅斯和布里斯托尔区(马萨诸塞州)；汤顿市市长肖娜奥康奈尔；伊丽莎白比尔兹利，美国绿色建筑委员会高级政策顾问；和其他尊贵的客人于9月26日在其位于迈尔斯斯坦迪什工业园区的陶顿工厂。 　　沃特斯公司(纽约证券交易所代码:WAT)60多年来一直是色谱、质谱和热分析创新的先驱，服务于生命、材料和食品科学。沃特世在全球拥有7，800多名员工，在超过35个国家直接运营，包括14个制造工厂，产品销往100多个国家。

量子精密测量，就是使用量子技术对物理量进行个更高分辨率和更高精度的测量技术。而很多高端科学仪器天然就在追求更高的分辨率和更准的精确度，这些正是量子精密测量可以发挥长处的地方。“所以我觉得量子精密测量技术给我们的科学仪器行业带来了一个‘弯道超车’甚至于‘换道超车’的变革式机遇。”国仪量子联合创始人、董事长、CEO贺羽在接受仪器信息网采访时如是说道。事实上，国仪量子也正在致力于以量子精密测量和量子计算为核心技术，打造以测量仪器为核心的先进仪器产业集群。基于金刚石NV色心的量子信息处理，国仪量子形成了两大业务线：一是磁共振业务线，主要产品有电子顺磁共振产品家族，以及量子钻石原子力显微镜、量子钻石单自旋谱仪、金刚石量子计算教学机等；二是量子测控产品线，包括任意波形发生器、数字延时脉冲发生器、量子态控制与读出系统、温度控制仪等。国仪量子源自于中国科学技术大学中科院微观磁共振重点实验室，将实验室技术转化的同时，公司自身也投入了很高的研发费用。“2020年度，国仪量子实现销售收入1个亿出头，投入研发费用就有4800万左右。”贺羽讲到。国仪量子不断加大研发投入的同时，新品推出的脚步也在不断加快，仅2020年就有十多款仪器推出。2020年，国仪量子发布的第一款新品是量子钻石原子力显微镜；6月，推出了任意波形发生器AWG4100；10月，重磅发布了EPR200-Plus升级版X波段电子顺磁共振谱仪、EPR200M台式电子顺磁共振谱仪、EPR-W900 W波段电子顺磁共振谱仪、无液氦变温系统CVTI-CF Series等电子顺磁共振谱仪系列新品。贺羽在接受采访时表示：“国仪量子在2021年还会有不少的新品上市。”谈到量子精密测量技术产业化面临的关键问题，贺羽提到了两点：“一是工程化，基于实验室的核心技术从理论到技术上已经得到了很多验证，但是将这些技术做成可靠性、可应用性、可生产性、可维护性都比较好的仪器，需要一支非常强大的工程化队伍；二是行业应用，虽然仪器有了更高分辨率和更准精确度，但还要找到一个‘杀手级’的应用场景，这个应用场景要足够需要更高分辨率和更准精确度的仪器，并且市场空间也要足够的大。”更多关于贺羽的采访内容，请点击以下视频观看：

精密位移传感器技术比较PIEZOCONCEPT 在其压电级中使用什么类型的位移传感器？为什么它优于其他传感器技术？PIEZOCONCEPT 使用单晶硅传感器，称为Si-HR 传感器。尽管它是应变仪传感器大系列的一部分，但它的性能优于其他两种常用技术（电容式传感器和金属应变仪）。这两种位置传感技术有其自身的特定缺点。 电容式传感器与 PIEZOCONCEPT 公司Si-HR 传感器的比较电容式传感器非常常用。他们提供了不错的表现，但他们对以下情况很敏感：• 气压变化：空气的介电常数取决于气压。电容测量将受到任何压力变化的影响。• 温度变化：同样的，空气的介电常数会随温度变化• 污染物的存在以上所有都会导致一些纳米级的不稳定性，因此如果您想实现真正的亚纳米级稳定性，则需要将它们考虑在内。即使可以对气压和温度进行校正，也无法校正其他因素（污染物、脱气）的影响。这解释了电容式传感器在真空环境中性能不佳的原因。此外，电容式传感器非常昂贵且体积庞大。因此，带有电容传感器的位移台不可能做的有像的 BIO3/LT3 这样薄，即使设计的好也会在稳定性方面进一步牺牲性能。因为它是一种固态技术，所以Si-HR 传感器的电阻不依赖于气压或污染物的存在。其次，温度变化会对测量产生影响（主要是因为材料的热膨胀），但这可以通过使用传感器阵列来纠正。基本上，我们为每个轴平行使用 2 个硅传感器 - 一个用于测量，另一个用于考虑由于温度变化导致的材料膨胀。金属应变计与 PIEZOCONCEPT Silicon HR 技术的比较金属应变计与我们的 Silicon HR 技术（也是应变计）之间的差异更大。金属应变计和硅传感器应变计之间存在两个巨大差异。竞争对手试图说所有的应变仪都具有相同的性能，因为它们测量的是应变。这是不正确的。半导体应变计在稳定性方面与金属应变计有很大不同。金属应变计和Si-HR 传感器（PIEZOCONCEPT 使用）之间的第yi个区别是应变系数：半导体应变仪（Si-HR）的应变系数大约是金属应变仪的 100 倍。更高的规格因子导致更高的信噪比，最终导致更高的稳定性。 更重要的是，第二个区别是金属应变计不能直接安装在弯曲本身上（即实现运动的地方）：金属应变计必须安装在某种“背衬”上。因此，它必须安装在执行器本身上，因为您没有足够的空间将其安装在挠性件上。仅在执行器上测量的问题是压电执行器有很多缺陷......存在蠕变或滞后等现象。因此，由于压电执行器的伸长不均匀，因此仅测量执行器的部分伸长率并不能精确地扣除其完全伸长率。通过对弯曲本身进行测量，我们不会遇到这种“不均匀”问题。由于上述原因，如果您比较应变计（金属）和 PIEZOCONCEPT 的Si-HR 传感器，在信噪比和稳定性方面存在巨大差异。 关于法国PIEZOCONCEPT公司 PIEZOCONCEPT 是压电纳米位移台领域的领宪供应商，其应用领域包括但不限于超分辨率显微镜、光阱、纳米工业和原子力显微镜。其产品已被国内外yi流大学和研究所从事前沿研究的知名科学家使用，在工业和科研领域受到广泛好评。 多年来，纳米定位传感器领域电容式传感器一直占据市场主导地位。但这项技术存在明显的局限性。PIEZOCONCEPT经过多年研究，开发出硅基高灵敏度位置传感器（Silicon HR）技术，Si-HR传感器可以实现更高的稳定性和线性度，以满足现代显微镜技术的更高分辨率要求。 PIEZOCONCEPT的目标是为客户提供一个物美价廉的纳米或亚纳米定位解决方案，让客户享受到市面上蕞高的定位准确性和稳定性的产品使用体验。我们开发了一系列超稳定的纳米定位器件，包含单轴、两轴、三轴、物镜扫描台、快反镜和配套器件，覆盖5-1500um行程，品类丰富，并提供各类定制化服务。与市场上已有的产品相比具有显着优势，Piezoconcept的硅传感器具有很好的稳定性、超本低噪声和超高的信号反馈，该技术优于市场上昂贵的高端电容传感器。因此，我们的舞台通过其简单而高效的柔性设计和超本低噪声电子器件提供皮米级稳定性和亚纳米（或亚纳米弧度）本底噪声。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。

由中国仪器仪表行业协会和仪器信息网共同举办的2019年度“科学仪器行业年度用户青睐仪器”获奖名单近日出炉。上海智城公司自主研发制造的“ZWYC—290A精密细胞培养振荡器”喜获生物工程领域“用户青睐仪器”奖项。ZWYC—290A精密细胞培养振荡器含有多项自主知识产权。该产品温场极为均匀，能满足对温场要求极高的，使用PP实验管进行动、植物母细胞培养的国产细胞培养设备。精密细胞智能培养摇床或称细胞培养振荡器，广泛应用于动、植物细胞在离体条件下，将愈伤组织或其他易分散的组织置于液体培养基中，通过振荡、继代培养增殖获得大量的细胞，这实际是通过“生物细胞反应器”完成细胞增殖的一个过程。ZWYC—290A精密细胞培养振荡器国家微生物相关的重点实验室、部分重点高校生物实验室和不少疫苗生产企业都开始采用该型号设备替代进口。有几家用户采用该型号产品与国际顶级同类产品进行母细胞培养的对照实验，其结果表明：“细胞密度”、“细胞活率”和“细胞产量”这三大重要的指标，可以媲美国际一线同类产品。该型号产品2019年被收录于“上海市自主创新产品推荐目录”，也被国内同行誉为“德国人爱上中国智造”的一个案例。目前，该型号产品已经批量进入十多个欧州国家。据了解，本次评选最终选出科学仪器行业国内、国外用户青睐仪器共40台。

12月30日，LinkPark（滨河）产业社区及先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台启用仪式在杭州青山湖科技城隆重举行，杭州市人大常委会副主任、临安区委书记卢春强，市政府副市长柯吉欣，市政府党组成员、杭州城西科创产业集聚党工委副书记、管委会主任李玲，临安区区委常委、青山湖科技城党工委书记蔡萌等出席启用仪式，杭州市委组织部、市经信局、市科技局、临安区有关部门等领导一行参加活动。 为深入推进中国先进精密仪器产业发展，杭州谱育科技发展有限公司（聚光科技旗下自孵化子公司）携手杭州青山湖科技城，搭建“一平台两中心”——先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台、先进精密仪器创新中心、工程师协同创新中心，争取国家和省市资源，围绕产业链部署创新链，合力打造先进精密仪器全产业链的创新策源高地。先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台一平台两中心打通创新链 在仪器创新的研究、工程化、产业化链条上，工程化阶段成为创新链上的瓶颈和产业破局的关键，通过建设高水平、全链条的先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台，打通创新链、带动产业链，形成支撑仪器整机、核心零部件、试剂耗材、技术服务、高端专用仪器与系统五位一体的产业集群服务能力，打造“面向世界、引领未来、服务全国、带动全省”的先进精密仪器全产业链共性技术研发与工程化创新策源地。 带动产业链 先进精密仪器创新平台启用后，将加速区域内仪器技术创新研究成果的工程化、产业化进程，孵化培育一批生命科学、半导体、先进工业、新材料、食品药品、环境安全等领域的产业项目，加速集聚龙头企业，促进在杭州城西科创大走廊带动先进精密仪器产业集群，打造具备全球竞争力的中国“仪器谷”。 面向世界科技前沿，为我国科研院校与企业创新实验室，开发高端质谱、光学、色谱、电镜等科学仪器。 面向经济主战场，为我国新材料与先进制造业，开发高端智能品控、在线监测分析自动化系统。 面向国家重大需求，为半导体、先进工业等行业，解决“卡脖子”关键技术和高纯检测设备国产化。 面向人民生命健康，开发食药品检验、环境安全监测、生命科学分析与精准医学诊断先进解决方案。 五位一体：打造仪器整机、关键零配件、耗材与试剂、技术服务、高端专用系统集成五位一体的全产业链生态。

十几年前，当数位战略科学家聚首探讨精密测量物理学科发展走向时，他们预判中国会一步步缩小和国际先进水平的差距，有一天会走在国际前沿，甚至引领发展。他们没料到的是，这一天来得如此之快，当然也没料到“卡脖子”同样来得很快。当下，世界正经历百年未有之大变局，科研环境也发生了巨大变化。所幸十几年前，在国家自然科学基金等的资助下，我国布局了一批前瞻性、引领性的基础研究。在国家自然科学基金重大研究计划——“精密测量物理”项目稳定资助下，我国不仅在精密测量领域取得了多项“世界最好”“精度最高”的成就，凝聚、培养了一支队伍，大大增强了在该领域的国际话语权和竞争力，还辐射带动了相关学科发展。“算是对我们10年‘打工’的鼓励吧。”谈及“精密测量物理”重大研究计划的研究成果对相关学科的引领带动作用，中国科学院院士，华中科技大学、中山大学教授罗俊的语调中透着实现“小目标”的轻松。实际上，这项超前布局的研究计划仅酝酿谋划就用了5年时间。此后在研10年，“聚队伍、聚智慧、聚重点、聚资源、聚突破”，项目成果全面超越预期目标。“十几年前，国家自然科学基金支持一批科研人员开展精密测量物理研究确实很有开拓性。”罗俊告诉《中国科学报》，“这项研究计划虽然圆满结题了，但精密测量永无止境，精益求精是无尽的追求。”破局，始于“香山科学会议”2008年7月，第327次香山科学会议（创立地点及会址在北京香山）破例在位于湖北省武汉市的华中科技大学召开。7位院士、50余位物理学家相聚喻家山，参加为期3天的“精密测量物理和方法”主题研讨会。“在香山科学会议之前，叶老师（中国科学院院士叶朝辉）和几位专家动念提出开展‘精密测量物理’研究，是因为我们遇到了一些问题。”罗俊回忆说，“当时我国很多学科面临怎样向前沿延伸的困境。一个严峻的现实是，我们的科研仪器基本全靠进口。别人生产的仪器卖给我们之前，实验室里该做的研究都做完了，我们一直跟在后面做，这样很难触及科学最前沿。”没有自己的仪器，跻身前沿都很难，更别说超越引领。科研仪器如此重要，但问题是，这种尖端的科研仪器谁来研制？在此背景下，叶朝辉等人提出了“精密测量物理”的概念。“我们现在对‘精密测量物理’有很多期待，赋予它很多内涵。但当时的出发点和最基本的想法就是做出一套最先进的仪器给科学家用。”罗俊说，“要挺进学科最前沿，验证物理学家的想法，进行实验研究，必须有自己的仪器设备。”香山科学会议后，叶朝辉、罗俊等人在国家自然科学基金支持下，开始推动重大研究计划立项，在数理科学部的主持下，组织双清论坛进行论证。2013年，“精密测量物理”重大研究计划获准立项。引领，辐射学科带动人才按照该重大研究计划最初的设计，研究目标分为三部分。一是精密测量工具仪器研制，以时间频率测量为代表，将光频这些和国际水平差距较大且非常基础的测量仪器“做上去”；二是在更高精度上测量物理基本常数并检验物理基本规律，这是精密测量物理的难点和重点；三是研究精密测量新体系，发展新方法和新技术，不断突破测量极限，包括突破标准量子极限等。实际上，在该重大研究计划执行的10年中，他们不仅圆满完成了三大目标，还屡屡取得突破性进展，获得多项“世界最好”“精度最高”的成就。“这项重大研究计划的特点之一是带动了整个中国精密测量物理学科的发展。”中国科学院精密测量科学与技术创新研究院研究员詹明生说，“也带动了其他一些项目，辐射和延伸到了相关领域，比如影响了中国科学院的先导科技专项，带动基于原子分子的物理研究向精密测量物理延伸。”中国科学院国家授时中心研究员张首刚认为，该重大研究计划的意义在于10年前就有了明确目标，把精密测量这项前沿基础研究和国家战略需求相结合，从而做出一系列方向性、引领性的研究工作。“通过国家自然科学基金项目牵引，这些年我国精密测量物理研究队伍不断壮大，并从基础研究向前沿基础研究推进。”张首刚说，“我们不但超额完成了该重大研究计划的各项指标，还产生了原创性的想法，取得一批‘国际首次’级的成果，并在部分领域领先国际。”“量子精密测量是精密测量物理的一个前沿方向，很多微弱信号测量，比如引力波探测、量子操控、原子分子和光物理等研究都离不开精密测量。”上海交通大学教授张卫平补充道，“这个项目将我们的学术生涯和国家战略需求完美对接起来，我觉得最大成果之一是凝聚并培养了一支队伍。”清华大学教授尤力同样认为，这是个高瞻远瞩的研究计划。“过去四五年，国际科研环境发生了巨变，出现了更多的不确定性。我们必须科学上自主、技术上独立。好在我们进行了预研，建立了这么一支队伍。”求精，追求永无止境精密测量物理对实验条件要求极高，数千米外的振动、电流波动、地球磁场，甚至空气温湿度都会影响测量精度。为避免外界扰动，30多年前，罗俊等人就将实验室建在位于喻家山的一个山洞里。在罗俊团队的引力常数测量进行到关键时期时，地方政府按规划准备在喻家山下修一条路。“修路会引发两个问题：一是山体稳定性发生变化，这些微小变化会导致实验环境不稳定；二是修路过程中及修好后，车辆经过产生的震动会影响测量精度。”了解到罗俊的担忧，华中科技大学和武汉市都非常支持实验研究。最后，武汉市调整道路规划，终止了道路修建。得益于安静的实验环境，罗俊团队测出了世界上测量精度最高的G值（引力常数）。至今，该数值仍保持着世界第一的纪录。“精密测量物理要测的通常是非常小的数值，它无限趋近于‘0’，但永远不会达到‘0’。例如，我们进行粒子、量子、多粒子纠缠等前沿研究，背景补偿（抵消环境磁场的影响）做得越好，测量结果就越准。”尤力感慨地说，“我们测一个量，总希望向小数点后再多推一位，但最终要推到什么地方、推到什么程度，没有人知道。所以精密测量物理没有止境，需要长期坚持，也需要长期支持。”“精密测量的本质是永无尽头。”罗俊说，“精密永无止境。这种无限精密、精益求精的特点造就了精密测量物理研究者不断提高精度、不断开发新技术，挑战新极限的信念。”传承，精密测量精神“我们常说十年磨一剑，从事精密测量物理研究真的需要长期积累。”华中科技大学教授胡忠坤说，“它需要10年、20年，甚至更长时间才有可能见到成效，因此研究者要耐得住寂寞，但也需要得到长期稳定的支持。”“精密测量物理有两个特点：一是高精尖，二是研究周期特别长。”山西大学教授张靖补充说。20世纪90年代初，张靖还在华中科技大学读本科，有时会到位于喻家山山洞的实验室上课。他记得当时山洞两边都是实验室，里面很安静，感觉很神秘。“精密测量物理研究不是三两个人花两三年时间就能取得成果的。罗老师选择在山洞里做实验，还带出一支队伍，一步步把精度提高再提高，确实很有魄力。”张靖说。“我们国家的科学研究已经形成了崭新的局面，上了一个历史性的新台阶。现在我们山洞的实验条件是30年前根本无法想象的，每个实验室都‘鸟枪换炮’，不知道好到哪儿去了。”罗俊说，“但当初也没觉得条件多艰苦，因为有兴趣、有追求，希望能精益求精，所以并未在意‘苦’还是‘不苦’。”“进行精密测量物理研究，总是想精益求精，把精度提高点，再提高点。”清华大学教授尤力对《中国科学报》说，“进实验室打开仪器，我们就知道北京地铁4号线列车什么时间进站、什么时间出站，地铁运转产生的磁场会严重影响原子能级……”尽管北京地铁4号线从清华大学、北京大学两所高校旁通过时采取了一系列减震措施，但轻轨列车进站减速、出站加速时电流变化产生的磁场，还是会影响1.5公里外清华大学的原子分子与光物理实验。磁场变化会引起原子能级移动，给光学测量带来不确定性，使科学家无法判断是否出现了误差。虽然研究人员已经习惯在夜深人静时做实验，但很多扰动仍无法避免。“我们做原子分子与光物理研究时，原子的磁矩就像一块小磁石，它周围的磁场扰动会让原子磁矩抖动，导致测量信号不确定。”尤力说，“环境中各种扰动、噪声、磁场等都会影响测量结果。”尤力团队曾对实验室环境进行检测，不只地铁4号线列车进出站，包括地球磁场、实验室照明电路，甚至光学实验平台上的金属器件（螺丝钉、钻头等）所带磁性都会影响测量精度。“这些磁场是‘躲不掉’的，那就想办法把它‘干掉’。”尤力说。在多次测量、分析、计算的基础上，尤力团队创造性地应用了“背景补偿”这样一个解决方案。简单地说，就是针对一些无法改变的干扰因素，比如地球磁场、实验室电流磁场等，研究人员先测出环境磁场强度，计算出平均值，然后绕制一个通电线圈，使其产生相反的磁场，用“前置反馈”的手段，将环境磁场的磁力抵消。“用‘前置反馈’补偿（抵消）背景磁场是个亮点。”中国科学院院士，华中科技大学、中山大学教授罗俊说，“虽然‘前置反馈’不是新概念，但要把它做成，需要很好地掌握背景磁场，用它解决问题简单、高效。”“我们用的物理概念并不新鲜，但它能解决实际问题。”尤力说，“我们用一块电路板就解决了问题，同很多兄弟单位分享了这项技术，能为大家做点事我很高兴。”在反馈补偿技术的“加持”下，尤力团队取得了一系列重要突破。他们突破了标准量子极限测量非经典双数态新体系，解决了双数态确定性制备难题，该体系在原子数、原子数涨落、压缩系数以及相干性等多项重要指标上远超国际同类实验。团队通过调控量子相变过程，解决了传统动力学制备方法所存在的问题，在国际上首次确定性地制备了大粒子数双数态87Rb原子玻色爱因斯坦凝聚体。目前，该实验平台能在40秒内确定性地制备约1万个粒子组成的多体纠缠态，从非纠缠的初态到双数态凝聚体的转换效率高达（96±2）%。该双数态的量子噪声的压缩度为（13.3±0.6）dB，是国际同类实验中最好的指标。双数态的相干性更是达到了接近理想值的0.99，远优于此前国际上最好的0.9。由此，实验可以表征的纠缠粒子数也是目前能确定性制备量子纠缠数目的世界纪录。这项工作大大提高了双数态在精密测量中的实用性，首次验证了量子相变可以作为制备多体量子纠缠态的有效手段，为纠缠态的制备提供了新思路。追求极限, 刷新“钙帮”世界纪录近年来，中国科学院精密测量科学与技术创新研究院研究员高克林团队研制出不确定度为 3×10-18（相当于105亿年不差1秒）、稳定度为6.3×10-18@524000s的钙离子光频标，成为第五种不确定度指标达10-18水平的光频标、第二种稳定度达10-18量级的离子光频标，并研制出目前搬运距离最远的光钟，实现精度达到10-16的钙离子光频的溯源测量。该成果被国际时间频率咨询委员会推荐为次级秒定义。“钙离子有很多优点，比如其光频跃迁是搭建高精度光频标的理想参考，可有效抑制离子特有的微运动频移。其离子的量子态制备、激光冷却及钟跃迁探测所用的激光均可用商品化的半导体激光器发射，因此极有可能实现广泛应用。”高克林说，“但是钙离子光频标也面临两个世界级难题：一是钙离子对磁场非常敏感；二是钙离子在室温下对黑体辐射效应（环境温度）敏感。”频率标准研究对外场控制（环境中各种效应，如振动、噪声、磁场和温度等）的要求非常高，国际上许多光频标研究机构已经放弃参考钙离子搭建高精度光频标。目前，国际上仅有锶原子光频标、镱原子光频标、铝离子光频标，以及镱离子光频标的不确定度达到10-18量级。“能否直面这些国际难题，将钙离子光频标推进至更高精度是我们面临的艰巨挑战。”高克林说，“在叶朝辉、罗俊院士领导的精密测量项目专家组与频标科学家王义遒、王育竹、李天初等人的关心和支持下，我们一步步解决了这些难题，将钙离子光频标推至国际第一方阵。”为进一步提高钙离子光频标的性能，研究人员通过改进钟跃迁激光性能，建立了第二台钙离子光频标并进行比对，大幅降低了电四极频移、光频移和微运动频移，实现了不确定度达5.5×10-17、稳定度达7×10-17的钙离子光频标。2018年，团队通过“魔幻射频囚禁场”抑制了微运动频移，又通过降低黑体辐射频移、改进光频标伺服软件等措施，进一步将钙离子光频标不确定度提升至2.2×10-17。2019年，通过对两台钙离子光频标长达31天的频率比对，研究人员测得稳定度达到6.3×10-18@524000s。为降低钙离子光频标黑体辐射频移的影响，团队将离子阱置于液氮低温环境中，使黑体辐射频移对温度的敏感度降低了约两个数量级。与国际上采用的液氦系统相比，液氮系统造价低廉、操作简单。但缺点是使用中液氮会蒸发，系统运行时液氮容积变化易造成离子位置移动，从而导致荧光信号损失。为解决低温系统问题，研究人员反复迭代和纠错，并采用清华大学教授尤力团队的“前置反馈”技术，大幅降低了背景磁场噪声。最终，该团队在国际上首次实现了液氮低温钙离子光频标，不确定度达到3×10-18。2020年，该团队实现钙离子光频标系统集成、可靠和高精度运行等关键技术突破，研制出一台精度24亿年偏差不到1秒的可搬运钙离子光钟，首次将钙离子光频测量精度推进到国际最高水平，并实现从武汉到北京千公里级车载搬运。“研究钙离子的人称自己为‘钙帮’。”高克林说，“在实验关键时期，大家加班轮岗的故事很多，但没人觉得辛苦，因为热爱，所以乐在其中。”在精密测量领域实现量子优势前不久，中国科学院院士、中国科学技术大学教授潘建伟，中国科学技术大学教授陆朝阳等基于“九章二号”中自主设计的受激双模量子压缩光源，结合非线性干涉仪，提出并演示了一种新方案来实现可扩展的、无条件的、鲁棒的量子精密测量优势。相关成果发表于《物理评论快报》。“实际上，该成果是在‘精密测量物理’重大研究计划前期工作的基础上衍生出的一项新成果。”陆朝阳告诉《中国科学报》。“精密测量物理”重大研究计划有几个子研究方向，其中中国科学技术大学团队的目标更具探索性质，主要是基于单光子和纠缠光子探索精密测量的新原理、新方法。在研期间，团队基于高品质单光子和多光子纠缠突破超越标准量子极限，在国际上首次同时解决了单光子源的三个关键问题，实现国际上综合性能最优秀的单光子源。“制备单光子源是这个重大研究计划中的一项代表性工作。”陆朝阳解释说，“进行量子精密测量或量子计算时，有用的是单光子源。这就像幼儿园小朋友‘排排坐’，如果有100个小朋友，每个小朋友坐一条板凳是理想状态。但自然界的光源（灯光或阳光）是热光源，它们衰减之后只有约8%是单光子（相当于一个小朋友坐一条板凳），约90%是‘空板凳’，另有2%是两个或多个光子（一条板凳上坐多个人）。在量子技术中，‘空板凳’无法用于测量，而一条板凳坐多个人会引起测量误差。因此，科学家要在实验室通过主动量子调控制造一种非经典的量子光源。”精密物理测量往往会受一些在原理上都无法避免的“散粒噪声”的影响。因此，任何测量都存在精度极限。不过，量子光源可以打破这种物理极限。中国科学技术大学团队用制备出的新光源进行测量，发现它比之前用激光光源测量的精度提高了0.6dB，而且首次实现了强度压缩。此后，该团队又研发出“九章”系列光量子计算原型机。在“九章二号”的相关研究中，团队受到激光的启发，发明了一种受激辐射放大量子光源的新方法。在调节这种新光源的位相时，他们意外发现数据对相位特别敏感。“我们当时灵机一动，想利用这个现象做量子精密测量。”陆朝阳说。抱着试试看的想法，研究人员基于“九章二号”中自主设计的受激双模量子压缩光源，结合非线性干涉仪，提出了一种新方案来达到海森堡极限。该方案同时具有可扩展性、无条件优势、对外部光子损失鲁棒等优点。在未扣除任何实验噪声的情形下，在相位测量实验中直接观察到的单光子信息量（用于衡量测量的精度），达到了目前国际最高水平。精密物理测量领域有一个共识：如果把精度向前推进一个数量级（10倍），就有可能发现新物理、新规律。这一次，中国科学技术大学团队基于量子受激光源发展出新的量子精密测量技术，将测量精度极限提高了5.8倍。“学术界将量子计算在特定问题上的能力超越经典的超级计算机的里程碑称为‘量子计算优越性’。现在，类似的，我们又首次实现了‘量子精密测量优越性’。”陆朝阳说，“这有点像立体农业中塘中养鱼、塘泥肥田，在国家的整体布局下，量子信息的基础研究不仅开花结果，还可催生肥鱼。”

近日，广东省计量科学研究院公开招标，购买精密露点仪标准温度计、空气离子测量仪等多台仪器，预算784.35万元。　　项目编号：CLF0121GZ02ZC99　　项目名称：2021年度国产计量检测仪器设备采购项目(第一批)　　采购方式：公开招标　　预算金额：7,843,500.00元　　采购需求：　　合同包1(比对类检测设备):　　合同包预算金额：678,500.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1试验仪器及装置精密露点仪标准温度计1(套)详见采购文件--1-2试验仪器及装置高精度直流标准表1(套)详见采购文件--1-3试验仪器及装置一般压力表15(个)详见采购文件--1-4试验仪器及装置高精密数字测温仪4(台)详见采购文件--1-5试验仪器及装置温湿度巡检仪1(套)详见采购文件--　　本合同包不接受联合体投标　　合同履行期限：自签订之日起至所有设备质保期满后 。　　合同包2(财政专项类检测设备):　　合同包预算金额：4,421,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)2-1试验仪器及装置气体活塞式压力真空计1(套)详见采购文件--2-2试验仪器及装置三相电能表检定装置1(套)详见采购文件--2-3试验仪器及装置直流电能表综合检测装置1(套)详见采购文件--2-4试验仪器及装置三相电能表耐久性试验装置1(台)详见采购文件--2-5试验仪器及装置磁场标准装置1(套)详见采购文件--2-6试验仪器及装置高精度直流测试系统(标准表)1(套)详见采购文件--2-7试验仪器及装置全自动活塞式压力计1(套)详见采购文件--2-8试验仪器及装置温湿度标准箱1(套)详见采购文件--2-9试验仪器及装置直流电压传感器校准装置1(台)详见采购文件--2-10试验仪器及装置高低温湿热试验箱3(套)详见采购文件--2-11试验仪器及装置双通道高精度直流多用表1(套)详见采购文件--2-12试验仪器及装置交流电压传感器校准装置1(台)详见采购文件--2-13试验仪器及装置单相电能表耐久性试验装置1(台)详见采购文件--2-14试验仪器及装置三相电能表检定装置1(套)详见采购文件--　　本合同包不接受联合体投标　　合同履行期限：自签订之日起至所有设备质保期满后　　合同包3(监督抽查类检测设备):　　合同包预算金额：1,585,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)3-1试验仪器及装置膜式燃气表温度适应性装置1(套)详见采购文件--3-2试验仪器及装置直流高压浪涌耦合/去耦合网络1(台)详见采购文件--3-3试验仪器及装置紫外线耐气候试验箱1(套)详见采购文件--3-4试验仪器及装置电子式交流电能表射频电磁场感应的传导骚扰抗扰度试验装置1(套)详见采购文件--3-5试验仪器及装置电能表继电器负载测试台1(套)详见采购文件--3-6试验仪器及装置三相耐久性程控源5(台)详见采购文件--3-7试验仪器及装置三相电能表检定装置1(套)详见采购文件　　本合同包不接受联合体投标　　合同履行期限：自签订之日起至所有设备质保期满后　　合同包4(化学省站建设项目检测设备):　　合同包预算金额：1,159,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)4-1试验仪器及装置30m3环境测试舱（玻璃舱体）2(套)详见采购文件--4-2试验仪器及装置高纯气体脱氧、脱水系统1(套)详见采购文件--4-3试验仪器及装置气体标准物质自动配气装置1(套)详见采购文件--4-4试验仪器及装置3m3环境测试舱（玻璃舱体）1(套)详见采购文件--4-5试验仪器及装置1m3环境测试舱（玻璃舱体）2(套)详见采购文件--4-6试验仪器及装置空气消毒机消毒效率检测系统1(套)详见采购文件--4-7试验仪器及装置空气离子测量仪1(台)详见采购文件--　　本合同包不接受联合体投标　　合同履行期限：自签订之日起至所有设备质保期满后　　开标时间：2021年05月20日 09时30分00秒(北京时间)委托协议.pdf2021年度国产计量检测仪器设备采购项目（第一批）招标文件（2021042903）.pdf

本文作者：清华大学张书练教授1. 激光干涉仪的发展史做衣量身、体检量高都由尺子完成，这些日常的尺子的刻度是毫米。机械零件加工和检验都要用尺子，在机械制造企业，卡尺、千分尺随处可见，其精确度是0.1 μm，1 μm。1887年迈克尔逊（Michelson）和莫雷（Morley）研究以太[1]是否存在，使用了光。他们以光波长作尺子刻度测量了水平面和垂直面的光速之差，第一次否定了以太的存在。他们利用的是光的干涉现象，这就是光学干涉仪的诞生。注[1]：根据古代和中世纪科学，以太被称为第五元素，是填充地球球体上方宇宙区域的物质。以太的概念在一些理论中被用来解释一些自然现象，例如光和重力的传播。19世纪末，物理学家假设以太渗透到整个空间，以太是光在真空中传播的介质，但是在迈克尔逊-莫利实验中没有发现这种介质存在的证据，这个结果被解释为没有光以太存在。1961年研究人员发明了氦氖激光器，开始用氦氖激光器作为迈克尔逊干涉仪的光源，从而诞生了激光干涉仪。图1是迈克尔逊干涉仪简图。迈克尔逊干涉仪是普通物理的基本实验之一。但今天在科学研究和工业中应用的激光干涉仪出于迈克尔逊，但性能远远胜于迈克尔逊。图1 迈克尔逊干涉仪简图基本上，激光干涉仪都使用氦氖激光器的632.8 nm波长的光，橙红灿烂的光束射向远方，发散角可以小到0.1 mrad，光束截面的光斑均匀。氦氖激光器还可输出绿光、黄光、红外光，但只有632.8 nm波长的光适合作激光干涉仪的光源。其它类型的激光器，如半导体（LD）、固体激光器等的相干等性能都远不及氦氖激光器，研究人员多有尝试，但都没有成功。激光干涉仪有很多应用，但本质都是测量中学课本讲的“位移”，诸多应用都是“位移”的延伸和转化。激光干涉仪有两个主流类型：单频激光干涉仪和双频激光干涉仪。单频干涉仪能做的双频激光干涉仪都能做，但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因，两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上，双频激光干涉仪独占市场。单频干涉仪不需要对市场上的氦氖激光器进行改造，直接可用。但双频激光干涉仪用的激光器需要附加技术使其产生双频（两个频率）。历史上，双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪，自发明了双折射-塞曼双频激光器，双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米，与单频激光器看齐了。按产生双频的方法，双频激光干涉仪分为塞曼双频激光（国外）干涉仪和双折射-塞曼双频激光（国内）干涉仪。现在干涉仪的指标：最小可感知1 nm（十亿分之1 m），可以测量百米长的零件，且测量70 m长的导轨误差仅为几微米。2. 测量位移的干涉仪和测量表面的干涉仪？有几个概念的定义比较混乱（特别是有些研究发展趋势的报告），需要注意。一是“激光测距”和“激光测位移”没有界定，资料往往鹿马不分。二是不少资料所说“激光干涉仪”实际上包含两种不同的仪器，一种是测量面型（元件表面）的激光干涉仪，一种是测量位移（长度）的激光干涉仪。如海关的统计和一些年度报告往往混在一起。激光测距机发出的激光束是一个持续时间纳秒的光脉冲，利用光脉冲达到目标和返回的时间之半乘以光速得到距离，完全和光的干涉无关。尽管激光波面干涉仪和测量位移（长度）的干涉仪都是利用光干涉现象，但仪器的设计、光路结构、探测方式、应用场合几乎没有共同之处。激光波面干涉仪能够测量光学元件表面的形貌，光束直径要覆盖被测零件，在整个零件表面形成系列干涉条纹，根据测量条纹的亮度（也即相位）算出表面的形貌，其光束口径、零件直径可达百毫米；另一种则是测量位移（长度）干涉仪，光干涉发生在直径几毫米光路上，表现为只有光电探测器（眼睛）正对着射来的光线才能“看”到光强度的波动，由波动的整次数和（不足半波长的）小数算出被测件的位移。 3. 双频激光干涉仪的原理和构成当图1的可动反射镜有位移时，光电探测器光敏面会感受到的光强度正弦变化，动镜移动半个波长，光强变化一个周期。光电探测器将光强变化转化为电信号。如探测到电信号变化了一个周期，我们就知道动镜移动了半个波长。计出总周期数测得动镜的位移。 （1）式中：λ为激光波长，N 为电脉冲总数。今天的激光干涉仪使用632.8 nm波长的激光束，半波长即316.4 nm。动镜安装在被测目标上与目标一起位移，如光刻机的机台，机床的动板上。为了提高分辨力，半波长的正弦信号被细分，变成1 nm甚至0.1 nm的电脉冲，可逆计数器计算出总脉冲数，再由计算机计算出位移量S。也常用下式表示动镜的位移， （2）其中∆f为目标运动速度为V时的多普勒频移。式（1）和（2）是等价的，可以互相推导推出来，仅是表方式的不同。图2是今天的双频激光干涉仪框图。它由7个部分构成。图2 双频激光干涉仪原理框图（1） 双频氦氖激光器氦氖激光器上有磁体。磁体为筒形，激光器上加的是纵向磁场，称为纵向塞曼双频激光器。四分之一波长（λ/4）片把激光器输出的左旋和右旋光变成偏振态互相垂直的线偏振光。前文所说的双折射-塞曼双频激光器则是在激光器内置入双折射元件（图内未画出），并加图2所示的磁条。双折射元件使激光器形成双频，横向磁场消除两个频率之间的耦合。双折射-塞曼双频激光干涉仪不需使用四分之一波长片。双频激光器是双频激光干涉仪的核心，很大程度上，它的性能决定激光干涉仪的性能，要求波长（频率）精度高，功率大，寿命长，双频间隔（频差）大且稳定，偏振状态稳定，两频率之间不偏振耦合。这一问题的解决是作者较突出的贡献之一。（2） 频率稳定单元它的作用是保证波长（频率）这把尺子的精确性，达到10-8甚至10-9，即4.74×1014的激光频率长期的变化仅1 MHz左右。（3） 扩束准直器实际上是一个倒装的望远镜，防止光束发散。要求激光出射80 m，光束光斑直径仍然在10 mm之内。（4） 测量干涉光路测量干涉光路包括：从分光镜向右直到可动反射镜（实际是个角锥棱镜），向下到光电探测器2。可动反射镜装在被测目标上（如光刻机工作台上的反射镜），目标的移动产生激光束的频移Δf，Δf和目标速度成正比，积分就是目标走过的距离（位移或长度）。积分由信号处理单元完成。（5） 参考光路参考光路由分光镜-偏振片-光电探测器1实现，参考光路中没有任何元件移动，它测得的位移是“假位移”真噪声。噪声来自环境的扰动。信号处理单元从干涉光路的位移中扣除这一噪声。（6） 温度和空气折射率补偿单元干涉仪测量的目标位移可能长达百米，空气折射率（及改变）和长度的乘积成为激光干涉仪的最主要误差来源之一。用传感器测出温度、气压、湿度，信号处理单元计算出空气折射率引入的假位移，并从结果中扣除。（7）信号处理单元光电探测器1和2，分别把信号f1-(f2±∆f)和f1-f2的光束转化为电信号，±∆f是可动反射镜位移时因多普勒效应产生的附加频率，正负号表示位移的方向。电信号经放大器、整形器后进入减法器相减，输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算即可得出可动反射镜的位移量。环境温度，气压，湿度引入的折射率变化（假位移）送入计算机计算，扣除他们的影响。最后显示。相当多的应用要求计算机和应用系统通讯，实现对加工过程的闭环控制。4. 激光干涉仪的应用一般说来，激光干涉仪的主要用途是测量目标的运动状态，即目标的线性位移大小、旋转角度（滚转、俯仰和偏摆）、直线度、垂直度、两个目标在运动的平行性（度）、平面度等。无论光刻机的机台，还是数控机床的导轨（包括激光加工机床），不论是飞行物，还是静止物的热膨胀、变形，一旦需要高精度，都要用激光干涉仪测量，得到目标的运动状态。运动状态用由多个参数给出。以光刻机两维运动中的一个方向运动时为例，位移（走过的长度）、机台位移过程中的偏 转（ 角 ）、俯仰 （ 角 ）和滚转（角）都需要测出。很多类型的设备需要测量，如各类机床、三坐标测量机、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。图3（a）（b）（c）（d）（e）是几个应用的例子。美国LIGO激光干涉仪实验室宣称首次直接测量到了引力波(2016)，使用的仪器是激光干涉仪，单程臂长4 km。见图4。图3 激光干涉仪几个应用的例子来源：(a)(b)(c)由北京镭测科技有限公司提供，(d)(e)来自深圳市中图仪器股份有限公司网页图4 LIGO激光干涉仪来源：https://www.ligo.caltech.edu/image/ligo20150731c 5. 双频激光干涉仪发展存在的问题（1）国内外单频和双频激光干涉仪的进展及问题多年来，国内外在单频和双频激光干涉仪方面进步不大，特例是双折射-塞曼双频激光器的发明。由于从国外购买的激光器不能产生大间隔的双频光，原有国内双频激光干涉仪的供应商基本停产。以前作为基础研究的双折射-塞曼双频激光器被推到前台。双频激光器是干涉仪的核心技术，走在了世界前端，也解决了国内无源的重大难题。北京镭测科技有限公司的开发、纠错，终于使双折射-塞曼双频激光干涉仪实现产品化，进入先进制造全行业，特别是光刻机。北京镭测科技有限公司双折射-塞曼双频激光器达到指标：频率间隔可在1 ~ 30 MHz之间选择，功率可达1 mW。 频率差与激光功率之间没有相互影响，没有塞曼效应的双频激光器高功率和大频率差不能兼得的缺点。尽管取得进展，但氦氖激光器的制造工艺等是个系统性技术问题，需要全面改善。特别是，国外双频激光干涉仪的几家企业的激光器都是自产自用，不对外销售，因此，我们必须自己解决问题。（2）业界往往忽略干涉仪的非线性误差很长时期以来，业界认为单频干涉仪没有非线性误差。德国联邦物理技术研究院(PTB) 经严格测试发现，单频干涉仪也存在几纳米的非线性误差，甚至大于10 nm。塞曼效应的双频干涉仪也有非线性误差，也是无法消除。对此干涉仪测量误差，大多使用者是不知情的。到目前，中国计量科学院的测试得出，北京镭测科技生产的双频激光干涉仪的非线性误差在1 nm以下。建议把中国计量科学院的仪器批准为国家标准，并和德国、美国计量院作比对。非线性误差发生在半个波长的位移内，即使量程很小也照样存在。图5 中国计量科学研究院：镭测LH3000双频激光干涉仪在进行测长比对6. 双频激光干涉仪的未来挑战本文作者从事研究双折射-塞曼双频激光器起步到成批生产双折射-塞曼双频激光干涉仪，历经近40年，建议加强以下研究。（1）高测速制造业的发展很快，精密数控机床运动速度已达几m/s，有特殊应用提出达到10 m/s的要求。目前单频激光的测量速度还没有超过5 m/s。双折射-塞曼双频激光干涉仪的测速也处于这一水平，但其频率差的实验已经达到几十MHz，有待信号处理技术的跟进发展，实现10 m/s以上的测量速度。（2）皮米干涉仪市场上的干涉仪基本都标称分辨力1 nm，也有0.1 nm的广告。需要发展皮米分辨力的激光干涉仪以满足对原子、病毒尺度上的观测要求。（3）溯源前文已经提到，小于半波长的位移是把正弦波动信号电子细分得到标称的1 nm，和真实的1 nm相差多少？没有人知道，所以需要建立纳米、皮米的标准。作者曾做过初步努力，达到10 nm的纯光学信号，还需做长期艰苦的研究。（4）提高氦氖激光器寿命在未来很长一段时间，氦氖激光器仍然是激光干涉仪最好的光源，但其漏气的特点导致其使用寿命有限，替换寿命终结的氦氖激光器导致光刻机停机，会带来巨大经济损失。因此，延长氦氖激光器寿命十分有必要。没有测量就没有科学技术，没有精密测量就没有当今的先进制造，为此作者最近出版了题名《不创新我何用，不应用我何为：你所没有见过的激光精密测量仪器》的书籍，书的主标题似是铭志抒怀，而实际内容是一本地道的学术专著，书籍内容为作者的课题组近40年做出的创新成果总结。作者简介张书练，清华大学教授，博导。曾任清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室主任，清华大学光学工程研究所所长，主要研究方向为激光技术与精密测量，致力于激光器特性的研究和把这些特性应用于精密测量，是国内外正交偏振激光精密测量领域的的主要创始人。

二维铁磁材料因其薄层结构和独特的物理特性，在电子、自旋电子学和磁性存储等领域具有广泛的应用潜力。这些材料的研究对于推动相关技术的发展至关重要。低温强场微区激光克尔显微成像系统在研究二维铁磁材料时具有独特的优势。近日，山西师范大学的许小红教授和薛武红教授合作，利用致真自主研发的低温强场微区激光克尔显微成像系统进行实验研究，报道了二维铁磁Cr5Te8材料的亚毫米级可控制备，并发现该材料具有畴壁成核控制的磁化反转过程和非单调磁场相关的磁电阻，研究成果以“Controlled Growth of Submillimeter-ScaleCr5Te8 Nanosheets and the Domain-wall Nucleation Governed Magnetization Reversal Process”为题，在国际顶级期刊Nano Letters（SCI一区TOP，影响因子：10.8）上发表。论文原文：https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.nanolett.3c04200亚毫米级二维Cr5Te8及其磁畴演化和非单调磁电阻低温强场微区激光克尔显微成像系统对该研究助力具体表现在：1. 磁化反转过程的直接观察：高分辨率的克尔显微镜结合真空制冷台，对Cr5Te8纳米片的磁化过程进行了全面的研究。通过首先用大磁场饱和样品的一个方向，然后施加相反方向的磁场，观察到了磁化反转的详细过程。2. 磁畴结构和演化的分析：克尔显微镜用于捕捉Cr5Te8纳米片的磁畴演化过程，包括磁畴壁的传播。文章中指出，通过逐步增加磁场，清晰地捕捉到了磁化反转过程中的磁畴壁传播。3. 磁畴壁传播的最小场强确定：通过克尔显微镜的观察，确定了在样品中磁畴壁传播所需的最小场强大约是30-45 mT，无论是对于两个磁化方向中的哪一个。4. 磁化反转机制的理解：克尔显微镜的观察结果揭示了磁畴壁成核在控制磁化反转过程中的主导作用，这为优化相关设备的性能（如效率、稳定性等）提供了重要的参考。6. 温度依赖性研究：通过在不同温度下使用克尔显微镜，研究了Cr5Te8纳米片的磁化过程随温度变化的行为，发现了居里温度（Curie temperature, TC）随样品厚度变化的倾向。低温强场微区激光克尔显微成像系统是研究Cr5Te8纳米片磁化过程、磁畴结构和演化、以及磁化反转机制的关键工具，为深入理解材料的磁性能和优化磁电子器件的性能提供了重要的实验数据和见解。二维铁磁材料磁性能表征利器低温强场微区激光克尔显微成像系统，能够将高分辨率磁畴成像与高精度磁滞回线扫描结合，常温垂直强磁场(1.4 T)与面内强磁场(1 T)；样品处温度范围:5K-420 K,温度稳定性±50 mK；激光功率可调；磁铁及样品托采用滑道设计，方便不同需求测试的切换；预留扩展接口，将磁场及低温环境平台化，方便兼容其他类型的光学测试；运用差分放大和锁相技术可实现二维材料磁性的精确探测；适用于自旋器件或微米尺寸材料的磁性精确测量，集电学、磁学、光学、变温测试于一身，是专为二维磁性材料研究打造的专家级科研设备。微米级光斑和精确定位在样品待测区域,实现微区的磁滞回线精确探测弱磁薄膜测试结果对比致真激光克尔显微镜测试结果↑↑↑某国际顶尖公司产线级设备测试结果↑↑↑研究背景：以电子自旋为主要信息载体的自旋电子器件具有体积小、速度快、功耗低等优势，是后摩尔时代信息存储器件的有力竞争者。特别是，二维磁性材料的发现为构建新功能的磁电子器件提供了材料基础。二维磁性材料在原子层厚度依然保持长程磁序，具有表面无悬挂键、弱层间耦合、可进行“原子乐高”功能异质集成、易于调控等优势，在高密度磁信息存储和自旋电子学领域具有重要应用前景，成为国际上的前沿热点。然而，二维磁性材料目前存在居里温度较低、环境不稳定、难以大尺寸可控制备等困难，极大地限制了其应用和发展。因此，探索稳定性更好的新型二维磁性材料，并用简便、经济可控的方法实现其大尺寸超薄制备，对于推动二维磁性材料的应用具有重要的意义与价值。此外，磁性二维材料的磁畴及其演变能够为相关器件的性能优化提供重要参考。结论：基于此，该团队开发了一种简单、经济、可扩展、氢修饰的化学气相沉积方法，可控合成了亚毫米级超薄高质量Cr5Te8磁性纳米片。值得一提的是，纳米片横向尺寸最大可达450μm、空气稳定性好且居里温度较高。此外，通过对Cr5Te8纳米片的磁畴演化的直接观察，揭示了畴壁成核在控制磁化逆转过程中的主导作用。有趣的是，Cr5Te8纳米片表现出非单调磁电阻特性。该工作在CVD法制备大尺寸二维磁性材料领域实现了重要突破，为在二维尺度理解和调控磁相关性质提供了理想平台，有望推动二维磁性材料在自旋电子学器件中的应用和发展。致真精密仪器拥有核心专利四十余项，研发的多款产品曾多次助力国内优秀的科研工作者取得高水平科研成果。我们拥有一支专业且经验丰富的研发、销售、技术支持和本地化服务的团队，团队中大多数人员为高学历专业硕博人才，致力于为先进材料科学与技术创新领域的科研及企业客户提供个性化、专业化的产品、服务和整体解决方案，让先进材料领域的科研与创新更加简单、高效。致真精密仪器一直以来致力于实现高端科技仪器和集成电路测试设备的自主可控和国产替代。致真精密仪器通过工程化和产业化攻关，已经研发了一系列磁学与自旋电子学领域的前沿科研设备，包括“产品包含原子力显微镜、高精度VSM、MOKE等磁学测量设备、各类磁场探针台、磁性芯片测试机等产线级设备、物理气相沉积设备、芯片制造与应用教学训练成套系统等”等，如有需要，我们的产品专家可以提供免费的项目申报辅助、产品调研与报价、采购论证工作。另外，我们可以为各位老师提供免费测试服务，有“磁畴测试”、“SOT磁畴翻转”、“斯格明子观测”、“转角/变场二次谐波”、“ST-FMR测量”、“磁控溅射镀膜”等相关需求的老师，可以随时与我们联系。

2022年9月，重庆摩方精密科技有限公司(BMF Precision Tech Inc.)宣布在美国加利福尼亚州圣地亚哥设立全新的3D打印研发中心。该研发中心的设立是专门为了孵化和开发由摩方微纳3D打印系统制造的独有终端产品创意。自2018 年第一批打印系统交付以来，截止今年9月，全球已经有来自33个国家的近1400家客户选择了摩方微纳精密3D打印技术。这些设备通常被用于原型设计、研发和生产认证，其中应用最广泛的领域包括精密电子器件、医疗器械、微流控和生命科学等。摩方精密的面投影微立体光刻技术（PµSL）的开发是为了满足现有技术未能充分解决的增材制造市场高价值需求。这些客户需求的零部件通常是厘米级大小，并且公差被要求控制在几十微米范围以内。众多工业客户已经通过测试和使用摩方精密3D打印系统，最终发现了终端零部件的生产潜力。摩方精密也将持续改进3D打印系统并确保满足这些客户的生产需求。“然而，今天标志着摩方精密迈出了新的一步”，摩方精密欧美分公司CEO John Kawola表示：“在进入3D打印市场几年后，我们现在看到了许多终端产品是只能由摩方的打印系统制造。摩方精密目前正在与研究人员、产品设计师和其他合作伙伴就新产品创意展开合作。我们近期的融资将持续用于3D打印设备研发，同时也将用于终端产品的开发和商业化。我们希望这两个发展方向可以相辅相成，在精密制造领域能够创造更大的价值。”这项工作将由摩方精密首席技术官兼联合创始人夏春光博士主导，新研发中心将会与摩方精密在中国重庆、深圳、日本东京和美国波士顿的研发团队展开进一步合作与研究。

HERZ主动隔振台成功为STM/SEM隔振 近日，我司工程师赴上海及遵义为客户安装调试扫描隧道显微镜（STM）和扫描电镜(SEM)的隔振，经过HERZ AVI 200隔振后，STM和SEM方可正常运行，放大倍数达到20-30万倍，极大地提高了其图像的稳定性，客户对此深表满意。 HERZ的AVI 200主动隔振台是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年。 图1-1，图1-2，图1-3为我司工程师为上海客户的STM 隔振现场图；广州市固润光电科技有限公司拥有多年的光电仪器销售经验，以技术为导向，通过与国内外知名厂商合作，积极开拓光电子领域市场，可提供相关实验室的完整解决方案，已经得到广大客户的认同。同时，我司是HERZ在中国的代理商，致力于为客户提供优质的产品和专业的项目服务。欢迎咨询！

哈尔滨工业大学（深圳）马星教授联合中科院深圳先进技术研究院刘志远研究员，提出了一种通过将镓基液态金属转变为固态并通过塑性变形制备复杂3D结构柔性导体的方法。在本项研究中，由摩方精密25 μm精度的nanoArch P150设备3D打印的高精度模具，为制备2D应变传感电路和3D拱形跳线提供了精密支持。

为了避暑，我们有暑假或高温假。 那大家有没有想过，显微镜因为高温会产生一些问题？那这些问题又应该如何避免呢？一旦出现了问题，我们又该如何处理呢? 今天我们就来探讨一下显微镜的日常养护！工业显微镜的安放环境：干净、干燥、防震避免阳光直射恒温、恒湿（空调房间）净化无尘车间清洁工具：清洁液：用于清洁光学、金属、油漆表面。溶液瓶：盛放混合液的容器，方便沾取，避免挥发。镊子：擦拭工具，要求头部细长，便于卷纸，避免尖头过于尖锐，划伤表面。擦镜纸：长纤维制成，避免纸张纤维对光路污染，为降低成本也可使用脱脂棉或脱脂棉线。吹气球：产生气流，吹除物体表面的浮尘及颗粒物。电吹风：用于加热使用粘接剂（如不干胶）的粘合面，以便于分解。羽毛：比较柔软，适合清洁易损表面，如反光镜。放大镜：可以倒转目镜代替，用于微小区域的表面状态观察。清洁液：混合液：由“无水乙醇 : 无水乙醚＝3 : 7混合而成，其中乙醇为有机溶剂，主要担负清洁作用，乙醚为挥发剂；特点是配制及使用方便，清洁效果良好，对人体影响小，缺点是易挥发，易燃，有微量表面残留。中性清洁液：如肥皂水、洗洁精、清洁剂、去污剂等品种，主要用于显微镜机身表面的清洁，不适用于光学器件。除霉剂：专门用于去除光学部件上霉菌污染的化学膏体，效果明显。使用后需要用混合液作二次清洁。压缩空气：罐装高压空气，通过高压高速气流吹掉特殊光学部件表面的附着物，主要用于高度易损表面的清洁，对人体无害，无表面残留。纯净水：纯净水在某些场合也可以作为清洁液的一种，比如电生理试验室的设备经常发现盐类结晶，使用纯净水融化是一种安全的手段。各种光学部件的清洁方法：1、目镜、物镜的清洁： 卷纸方法：如图所示 清洁方法：先用吹气球或压缩气罐将浮尘及坚硬颗粒吹掉。 按右图所示方向从镜片的中心转圈向外沿推，擦拭时注意按压的力度，过度用力可能导致划痕。清洁物镜顶部等细小的透镜时，将纸卷压在镜片上，通过转动镜头擦拭。擦拭时蘸取清洁液，切忌干擦。 2、大面积光学部件的清洁 ： 卷纸方法：如图所示，将擦镜纸卷在食指上。 清洁方法：如图所示，食指在表面上以均匀的压力和速度单向抹向外侧。3、单片独立透镜或滤光片的清洁： 卷纸方法：使用大面积折纸按下图折叠。 清洁方法：如下图左手手持镜片，右手以擦镜纸按箭头所示方向擦拭：4、易损表面的清洁： 清洁方法：部分光学表面属于表面软镀膜，擦拭时极易划伤，需要特别注意 （例如表面镀膜反光镜、荧光滤色镜、部分非球面镜等），擦拭前为避免表面上浮尘 颗粒划伤，先用吹气球或压缩空气吹除。 使用羽毛：将羽毛浸入清洁混合液，取出后甩去多余液体，然后沿着一个方向扫过 镜面。其他注意事项蘸取的混合液不易太多，如蘸取太多应适当甩干。清洁前先哈气，有利于各种污物特别是干涸凝固在光学表面的污物清除。针对某些特殊部位的污渍，使用中性清洁液及润滑剂（非有机溶剂）等。不要重复使用擦拭过擦镜纸，特别是最后一次清洁时。光路污染的判断显微镜的光学部件有物镜、目镜、观察筒、聚光镜和光源聚光镜。光学部件又是由棱镜、透镜等光学零件组成，这些光学零件大部分都密封在各光学部件的内部，通常情况下这些内部光学零件并不容易受到污染。但物镜、目镜、聚光镜、光源聚光镜等仍有部分光学零件的表面暴露在外部。放置在实验室中的显微镜，由于空气中的浮尘，使用显微镜时使用者皮肤接触，说话时产生的唾液飞沫，高倍物镜使用的浸油，液体物质污染的标本表面等种种因素，使得物镜、目镜、聚光镜顶镜、光源出口等外露表面极其容易受到污染，从而影响观察效果。所以，在日常的使用过程中应该经常进行清洁和维护。1、目镜污染的判断 目镜表面污染：指暴露在外部的目镜顶镜污染，主要由空气浮尘、人眼皮肤油脂接触、唾液飞沫等原因造成。通过正面观察往往不容易看到目镜是否被污染。 检查方法：正面观察不容易看到污染现象，当视线偏离光轴一个角度时，表面层特殊的反光现象很容易被看到，如图所示。 目镜内部透镜污染：因经常性的拔出目镜、或自行分解目镜透镜组造成，透镜内部灰尘污染会造成视野中产生点状阴影，但是静止不动时不容易被察觉。 检查方法：目视观察时转动目镜，如果视野中发现有移动的阴影，说明目镜透镜组的某个光学面存在污染。用此方法还可以检查出目镜外表面极其微小的污染点。2、物镜污染的判断 物镜日常使用时，由于工作距离短，顶镜非常容易接触到标本上的浸油、封片胶、水珠等污染物，污染物常常积累在顶镜处，会严重影响观察效果。 检查方法：顶镜由于面积极小，肉眼观察比较困难，检查时需要借助辅助工具如放大镜等，实际工作中可将10X目镜倒过来使用，替代放大镜，见图。经目镜放大后的物镜表面污染可以很容易看到。3、光路中其它部位污染的判断 取下目镜，适当调节光源强度，并按以下方法检查。增加光源强度，视线偏离光轴，可以看到光路中粉尘类污染。如图所示。减弱光源强度，视线平行光轴，可以看到深层光路的污染情况，如中间附件、镜头、出光口等部位。4、光路污染的其它检查方法缩小孔径光栏，可以观察到光路中存在的微小污点、灰尘等类型的污染。拉动光路切换杆，如果发现视野里存在移动的阴影，可以确认污染存在于分光棱镜上。5、图像系统的污染判断一般图像系统的污染，主要体现在采集图像时，显示区域存在可见的阴影。阴影的性质一般是颗粒状异物的遮挡。判断图像系统的污染一般涉及 CCD和“接口适配器”两部分。污染判断顺序：在 C型接口适配器处平稳转动 CCD，同时实时预览同步观察，如果此时阴影在浏览区的位置没有变化，仅仅是图像层转动，则说明污染物在 CCD上。固定“C型接口适配器”处，使用专用工具松开 “适配器安装面”的紧固螺丝，平稳转动 “CCD +适配器”，如果阴影不动则可以判断污染在专用适配器的内部透镜上。如果阴影仍然转动，则污染物很可能在显微镜内部，可参考显微镜部分的判断方法。

位于华盛顿汉福德的激光干涉引力波观测台内景　　法媒称，令科学家们第一次得以窥见引力波“真容”的机器，是有史以来最先进的、用于探测宇宙中最轻微振动的探测仪。　　据法新社2月11日报道，置于美国地下的这两台探测仪，名为激光干涉仪引力波观测台(LIGO)。其中一台位于华盛顿的汉福德，另一台位于约3000公里外的路易斯安那州的利文斯顿。　　报道称，观测台的建设工作始于1999年，并在2001年到2007年间开展了观测工作。之后，这两个观测台经历了一次重大升级，令其功能增强了10倍。　　2015年9月，升级后的高级LIGO探测仪首次开始全面运转。当月14日，路易斯安那州的探测仪首先捕捉到了一个来自13亿年前南部天空的引力波信号。　　报道称，这种波是一种对于太空中的波动的测量方式，即拉伸时空结构的大规模质量体的运动所产生的影响——这是一种将时间和空间视为一个单一的、交织的连续统一体的方式。　　7.1毫秒后，华盛顿的探测仪也捕捉到了相同的信号，这使得科学家们能够证实这一发现真实不虚。　　报道称，这些超精密工具通过利用单个长约4千米的大型激光干涉仪工作。这些干涉仪都被埋在地下，令其能够得出最精确的测量结果。　　这种L型仪器根据激光物理学和空间物理学原理追踪引力波。它们不像望远镜那样依赖天空中的光线。它们感知太空中的振动，这种优势令它们可以揭示黑洞的特性。　　麻省理工学院的高级LIGO项目负责人戴维休梅克说：“当一个引力波通过太空传播的时候，它便会拉伸时空。”　　报道称，简言之，引力波探测仪“就是一台将太空中的波动转变为电子信号的大型仪器”。

北京时间4月20日8点02分，四川省雅安市芦山县(北纬30.3度，东经103.0度)发生7.0级地震，震源深度13千米。　　国家卫星定位系统工程技术研究中心——武汉大学卫星导航定位技术研究中心利用“广域实时精密定位系统”成功捕获芦山地震信号。图中显示的是四川天全GNSS观测站(SCTQ)在地震期间的水平运动曲线和水平运动速度曲线。该测站为“中国大陆构造环境监测网络”观测站，位于震中的西部，距震中约33公里，观测站建设在基岩上，地震造成的最大振幅为2-3cm。　　“广域实时精密定位系统”是“十一五”国家863计划支持完成的重点科研成果，该系统以广域差分和精密单点定位技术为基础，集成先进GNSS实时数据处理、互联网和卫星通信等技术，可实现全国范围厘米级到分米级的实时精密定位服务。该项研究成果可广泛应用于精密农业、交通运输、空中交通管理、国土资源调查、物联网、精确位置服务等重要领域，使其向信息化、服务型结构转变，实现跨越式发展。

Accurion主动隔振台是一款采用先进主动隔振技术的设备，专为满足高精度测量和高标准生产需求设计。这种隔振台可以有效地隔离和消除来自环境的各种振动，保证设备运行在最佳状态。以下为隔振系列产品，适合多种应用场景。选择Accurion主动隔振台，为您打造一个无振动、更精确的工作环境。工作原理 Accurion主动隔振台采用了压电式主动隔振技术，利用内置的高精度传感器实时捕捉环境中任何微小的振动，并通过先进的数字信号处理技术和高性能执行器快速生成反向振动抵消作用，从而实现实时、6个自由度的主动隔振。无论是对于精密实验室仪器还是对振动极其敏感的测量设备，它都能有效隔离振动，确保其在任何负载状况下都能维持超高位置稳定性及作业精度。应用行业Accurion主动隔振台广泛应用于多个行业，包括但不限于：生物科技和医疗设备：在进行细胞培养、显微成像等精细操作时，确保设备稳定是获取准确数据的前提。半导体制造：在芯片制造过程中，任何微小的振动都可能导致产品缺陷，使用主动隔振台可以显著提高产品质量。精密工程：在精密加工和组装操作中，振动控制是确保高质量成果的关键。仪器特点高性能隔振效果：通过主动控制技术，Accurion隔振台可以实现超过传统被动隔振技术的效果，大幅度提升稳定性，并且可以实现六个自由度主动隔振。易于集成和操作：设计简洁，易于安装和维护，用户界面友好，适合各种工作环境。广泛的适用范围：能够适应不同的工作环境和应用要求，并且拥有标准化产品和用户定制产品。 茂默科学力求解决行业内客户对科学仪器选型难、维护难的处境。欲了解更多关于Accurion主动隔振台的信息，Welcome to consult~

2019年度上海市自主创新产品推荐目录最近公布。由上海智城分析仪器制造有限公司研发制造的ZWYC—290A精密细胞培养振荡器，被列入2019年度上海市自主创新产品推荐目录。据了解，本次创新产品的推荐活动经过专家的严格评审，最终遴选出80个具有代表性的创新产品。为贯彻落实上海市加快具有全球影响力的科技创新中心建设和“创新驱动、转型发展”等战略，促进创新产品的市场化和产业化，推动产业转型升级和企业创新发展，由上海市经济信息化委、上海市科委、上海张江高新技术产业开发区管理委员会牵头，制定了上海市创新产品推荐目录编制办法。据了解，上海市以推荐目录形式，在促进政府采购招标环节中鼓励创新的举措至今已经连续了第五年。 细胞生长对温度、CO2浓度、剪切、培养基浓度等培养环境有着极高的敏感度。尤其对于抗体、动物细胞这一类既价格昂贵，又十分娇弱的细胞样品，实验室人员一般都采用进口的细胞培养振荡器进行实验。国家每年耗用大量外汇采购进口高价的细胞培养振荡器。随着细胞研究、应用领域的快速发展，精密细胞培养振荡器的需求正面临着一个爆发式的增长，科研人员急盼国产的精密细胞振荡器能及早面世。ZWYC-290A型精密细胞培养振荡器ZWYC-290A型精密细胞培养振荡器含有多项发明专利。产品凝聚了上海智城公司中国研发团队二十多年恒温培养振荡器的专业设计经验和现代生物技术的应用经验，是携手海外专家技术攻关，在引进、消化、吸收基础上，再创新，再提高而形成的一个填补国内空白的创新产品。该产品的研发融入了先进的设计思想和领先的控制技术，体现了对细胞培养各个环境因素的最优化考量。目前，产品已经进入了国内大型动物疫苗制造企业和具有美资背景的大型培养基制造企业。这些企业对这款产品均作了与国际顶尖同类产品的母细胞对照试验，其结果表明，在细胞密度、细胞活率和细胞产量这三个核心指标中，智城的这款产品完全可以与国际顶尖品牌的细胞培养设备媲美。据了解，目前，该产品已经批量进入德国、英国等十几个国外市场。

p style="text-align: justify text-indent: 2em "2019年度上海市自主创新产品推荐目录最近公布。由上海智城分析仪器制造有限公司研发制造的ZWYC—290A精密细胞培养振荡器，被列入2019年度上海市自主创新产品推荐目录。据了解，本次创新产品的推荐活动经过专家的严格评审，最终遴选出80个具有代表性的创新产品。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/de5048e3-0fff-4da4-be41-45ceb11ae3d9.jpg" title="001.jpg" alt="001.jpg"//pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/57e5d9ef-de76-4e94-844e-5bebe5fca12d.jpg" title="002.jpg" alt="002.jpg"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "为贯彻落实上海市加快具有全球影响力的科技创新中心建设和“创新驱动、转型发展”等战略，促进创新产品的市场化和产业化，推动产业转型升级和企业创新发展，由上海市经济信息化委、上海市科委、上海张江高新技术产业开发区管理委员会牵头，制定了上海市创新产品推荐目录编制办法。据了解，上海市以推荐目录形式，在促进政府采购招标环节中鼓励创新的举措至今已经连续了第五年。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "细胞生长对温度、CO2浓度、剪切、培养基浓度等培养环境有着极高的敏感度。尤其对于抗体、动物细胞这一类既价格昂贵，又十分娇弱的细胞样品，实验室人员一般都采用进口的细胞培养振荡器进行实验。国家每年耗用大量外汇采购进口高价的细胞培养振荡器。随着细胞研究、应用领域的快速发展，精密细胞培养振荡器的需求正面临着一个爆发式的增长，科研人员急盼国产的精密细胞振荡器能及早面世。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/5d3ace4c-25ef-4712-9227-aaac3b49ba07.jpg" title="ZWYC-290A型精密细胞培养振荡器.jpg" alt="ZWYC-290A型精密细胞培养振荡器.jpg"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong2019年01月11日由上海市高新技术成果转化项目认定办公室召开的2018年度第10批高新技术成果转化认定颁证大会上，共有70个项目被认定为上海市高新技术成果转化项目，其中上海智城分析仪器制造有限公司自主研制生产的“ZWYC-290A精密细胞培养振荡器”（简称：“细胞摇床”）名列其中。/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "WYC-290A精密细胞培养振荡器是智城公司推出的具有我国自主知识产权的细胞振荡器新品。该产品凝聚了智城公司中国研发团队二十年恒温振荡器的专业设计经验和现代生物技术的应用经验，携手海外专家攻关，在引进、消化、吸收国外一线同类旗舰产品的基础上，再创新提高而形成的技术成果。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "产品/spanspan style="text-indent: 2em "广泛应用于微生物细胞发酵、动物细胞和植物细胞培养，在生物医药、食品开发、生物农业环境治理等领域进行微生物培育、菌种或细胞系筛选等有着很好的应用前景，也可应用于对温度、供氧、剪切等具有较高要求的细菌培养、动植物细胞培养、杂交和生物化学反应以及酶反应研究。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strongbr//strongstrong延伸阅读：/strong/ppa href="http://https://www.instrument.com.cn/news/20190221/480423.shtml" target="_blank"上海智城细胞摇床获上海市高新技术成果转化扶持/a/pphttps://www.instrument.com.cn/news/20190221/480423.shtml/p