塑膜果袋

仪器信息网塑膜果袋专题为您整合塑膜果袋相关的最新文章,在塑膜果袋专题,您不仅可以免费浏览塑膜果袋的资讯, 同时您还可以浏览塑膜果袋的相关资料、解决方案,参与社区塑膜果袋话题讨论。
当前位置: 仪器信息网 > 行业主题 > >

塑膜果袋相关的耗材

  • 过氯乙烯滤膜
    过氯乙烯测尘滤膜属于合成纤维类,具有静电性、憎水性、阻力小、耐酸碱和重量轻等特点,该滤膜空白值中的微量元素除个别外,含量都较低,适用于对大气TSP中微量元素的分析。适用范围广、阻力小、耐酸碱、重量轻、可溶解,使采样结果更准确、更合理。我公司现生产的过氯乙烯测尘滤膜规格有:直径25mm、37mm、40mm、75mm、90mm等多种规格。
  • 过氯乙烯采样滤膜
    根据《中华人民共和国职业病防治法》制定的GBZ/T192.1-2007标准工作场所空气中总粉浓度、GBZ/T192.2-2007呼吸性粉尘浓度、GBZ/T192.3-2007粉尘分散度、GBZ/T192.5-2007石棉纤维浓度的测定方法,过氯乙烯滤膜为首选测尘滤膜。该滤膜广泛用于环境监测、疾病预防控制、职业卫生监测、各大专院校、科研院所及煤碳、冶金、石化、化工、建材、制药等领域。过氯乙烯滤膜特点:适用范围广、阻力小、耐酸碱、重量轻、可溶解,过氯乙烯测尘滤膜属于合成纤维类,具有静电性、憎水性、阻力小、耐酸碱和重量轻等特点,适用于对大气TSP中微量元素的分析。吸尘效率达99.99%以上,使采样结果更准 鉴别过氯乙烯测尘滤膜的最基本办法就是将此滤膜切片放入(乙酸丁酯)有机溶液中,可自然溶解,是做粉尘分散度最理想和最合理的耗材!我公司现生产的过氯乙烯测尘滤膜规格有:直径Φ25mm、Φ37mm、Φ40mm、Φ75mm、Φ90mm等多种规格,欢迎新老客户来电垂询。
  • 不锈钢过墙式两通
    不锈钢过墙式两通 用于固定在嵌板上(所有两通均带有配套压环) 1. 死体积小; 2. 可高温使用; 3. 不需要后置压环; 4. 可配用石墨、石墨/Vespel® 、直型Vespel或PTFE压环和垫片; 5. 适用于玻璃、熔融石英、金属、玻璃内衬或塑料管路; 6. Non-swaging (Swagelok® ) 并且无管路变形。 订货信息: 描述 规格 货号 带锁定螺母的过墙两通 1/8" x 1/8" 管外径 101320 1/16" x 1/16" 管外径 101340 带锁定螺母的过墙变径两通 1/8" x 1/16" 管外径 101300 用于毛细柱的过墙两通 0.25mm 内径 1236302 0.32mm 内径 1236300 0.53mm 内径 1236306 替换压环(100%石墨) 1/8" 管外径 072602 1/16"管外径 072603 过墙两通 1/8" x 1/8" 货号101320 变径过墙两通 1/8" x 1/16" 货号101300 用于毛细柱的过墙两通(玻璃内衬) 过墙式两通 1. 可以固定在嵌板上; 2. 死体积小; 3. 可高温使用。

塑膜果袋相关的仪器

  • 产品简述:适用于塑料薄膜、铝箔塑膜、防水材料、金属箔片等高阻隔材料的氧气、水蒸气渗透性能。可扩展测试瓶、袋等 容器。技术参数:型号 OTR-D3测试范围(膜) 0.01~6500(cc/㎡.24h) 分辨率 0.001 透过面积 50 c ㎡(其他定制) 试样厚度 3 mm(更厚需加附件) 试样数量 3 测试模式 传感独立 温控范围 15℃~55℃(控温装置另购) 控温精度 ±0.1℃ 载 气 99.999%高纯氮气(气源用户自备) 载气流量 0~100 mL/min 气源压力 ≥0.2MPa 接口尺寸 1/8 英寸金属管 外形尺寸 740mm (L)×415 mm (W)×430mm (H) 电 源 AC 220V 50Hz 净 重 50Kg测试原理及产品描述试样安装在测试腔样气、载气腔之间,控制测试腔的温度,样气腔氧气渗透到载气腔,由载气携带至痕量氧传感 器;精确测量痕量氧传感器产生的电流,计算样品氧气透过量和其它参数。参照标准 YBB 00082003、GB/T 19789、ASTM D3985、ASTM F2622、ASTM F1307、ASTM F1927、ISO 15105-2、JIS K7126-B产品特点 备基线校正功能,测量系统误差,保证测试精度; 具备标准膜校正功能、传感器外校功能; 实时监控测试状态,全程保存测试状态,实现测试全部数据曲线可复现,便于事后评估测试进程; 各腔测试曲线可单独显示,也可成组对比显示,便于对比测试;测试曲线具备全屏显示、局部观察、变比显示等能力; 具备停电数据保存功能、数据采样率可调、自动重复测试功能; 开放数据库系统,便于数据分析; 痕量氧传感器,可测低至 ppb 级氧含量;Pa 级微电流测量,更高测量精度; 高精度质量流量计,精密流量控制; 专业的管道系统,保证载气的洁净度; 专利的管道冲洗技术,加快测试速度,测试效率更高; 试样防侧漏密封安装技术,增强试样密封; 试验湿度可精确控制,控湿精度不受试验室环境的变化影响; 整体控温技术,对试验腔及管路整体进行控温,控温精度高; 全程监控、自动记录、采样率可调、自动重复测试、断电自动保存功能; 测试过程可全程重现;强大的图形曲线功能,便于对比测试、分析; 自动测试:设定测试参数,开始后测试自动进行,自动判断试验结束并保存测试结果; 主机软件加密数据库系统,数据可导出及数据存储、查询、打印、等功能。通过对历史数据的分析,便于掌握产品的历史动态。 高效测试,氮气低消耗, 可用国家一级标准物测试验证; 可扩展容器测试; 系统具备自检测能力,避免故障状态下继续测试; 气体流量监控,少气或者无气时自动报警;OTR-D3铝箔塑膜氧气透过率检测仪 OTR-D3 铝箔塑膜氧气透过率检测仪
    留言咨询
  • 普创-铝塑膜拉伸强度测试仪-ETT-AM产品介绍:ETT系列多用途试验机是材料拉、压力(抗张)等物理性能检测的基本仪器。采用立式、多柱结构,夹头间距可在 一定范围内任意设定,拉伸行程大 、上下运行平稳性好,测试精度高。该拉力试验机广泛适用于纤维、塑料、纸张、纸 板、薄膜以及其他非金属材料顶压、软塑包装热封强度、撕裂、拉伸、各种穿刺、压缩、安瓿瓶折断力、180度剥离、 90度剥离、剪切力等试验项目。同时本仪器可测量纸张抗张力、抗张强度、伸长率、裂断长、抗张能量吸收、抗张指 数、抗张能量吸收指数等项目。 本产品适用于医疗、食品、制药、包装、造纸等行业。产品特征:● 采用了进口仪器夹具夹持的设计方法,避免了操作人员因为操作技术问题而导致检测误差的情况发生 ● 进口定制高灵敏度荷重元,进口丝杠确保精确位移 ● 可以在5-600mm/min的速度区间任意选择,该功能可以满足180°剥离、安瓿瓶折断力、薄膜拉力等试样的检测 ● 具备拉力,塑料瓶体顶压测试,塑料薄膜、纸张的伸长率、拉断力、纸张的裂断长、抗张能量吸收、抗张指数、抗张能量吸收指数等功能 ● 马达电机保修3年,传感器保修5年,整机保修1年,是国内保修期最长的产品 ● 超长行程与大负载(500公斤)结构设计及灵活的传感器选择便于多试验项目扩展产品标准:ISO 37、GB 8808、GB/T 1040.1-2006、GB/T 1040.2-2006、GB/T 1040.3-2006、GB/T 1040.4-2006、GB/T 1040.5-2008、GB/T 4850- 2002、 GB/T 12914-2008、GB/T 17200、 GB/T 16578.1-2008、 GB/T 7122、 GB/T 2790、GB/T 2791、GB/T 2792、GB/T 17590、 GB 15811、ASTM E4、ASTM D882、ASTM D1938、 ASTM D3330、ASTM F88、 ASTM F904、JIS P8113、 QB/T 2358、 QB/T 1130 、 YBB332002-2015 、YBB00172002-2015 、YBB00152002-2015技术参数:测量范围 5KG、20KG、50KG(其它量程可选) 力值分解度 1/10000 最小分辨率 0.001N 精度 0.3级 加载速度 5.5~600mm/min(任意可调) 速度精度 1 ~ 10 mm/min ±1%,10 ~ 600 mm/min ±0.5% 试样宽度 ≤20mm((可根据客户材料,定制测试夹具))行程 1000mm (其它行程可选) 位移分辨率 0.001mm 微电脑控制 3.5in点阵液晶显示,曲线波形图显示 电脑控制 电脑显示测试曲线检测图(标配不含软件) 人机界面 window平台报告编辑,曲线分析图A4打印输出(连接电脑及打印机) 打印输出 自带模块式一体热敏打印机 螺杆 定制滚珠螺杆(台湾) 工作环境 温度(20±10)℃,湿度<85% 外形尺寸 460mm(L)×400 mm (W) ×1460mm (H) 净重 70 kg 配置 主机、剪切夹具、电源线、保修卡、说明书、打印纸普创-铝塑膜拉伸强度测试仪-ETT-AM 普创-铝塑膜拉伸强度测试仪-ETT-AM
    留言咨询
  • SUMO单频激光器 400-860-5168转3181
    仪器简介:SUMO型激光器是一款专为OEM客户设计的紧凑型、可调谐窄线宽激光器可提供超窄线宽, 位相与频率噪声低。技术参数:SUMO Model -10 -15 Tuning range 1050 - 1060 nm 1536 - 1546 nm Linewidth ~ 10 kHz (3*10-7 cm-1) ~ 10 kHz (3*10-7 cm-1) Output power 20 mW 15 mW FM modulation bandwidth 10 kHz FM frequency deviation &le 10 GHz Side-mode suppression 60 dB PM fiber output PER 13 dB Amplitude noise 0.5 % rms (1h) Warm-up time 15 minutes Operation temperature 10° C - 40° C Size laser head 300 x 117 x 48 mm3 Power consumption 10 W Power supply 90 &ndash 264 VAC, 47 &ndash 63 Hz
    留言咨询

塑膜果袋相关的方案

塑膜果袋相关的论坛

  • 显微硬度计可测量铝塑膜硬度吗?

    我公司生产软包锂电池复合材料铝塑膜,铝塑膜是以铝箔(厚度 25um、35um、40um)为基础,外层覆PA尼龙膜(厚度15um、25um),内层覆CPP聚丙烯膜 (厚度30um、40um、50um、80um)的一种复合膜,厚度从76um~156um,现在想要测试铝塑膜的硬度,不知道使用显微硬度计是否可以测量,压痕会压穿材料本身吗?如果不行那该选择哪种仪器测量硬度呢?

  • SUMO标签蛋白优势及应用

    [font=宋体][url=https://cn.sinobiological.com/resource/protein-review/sumo-tag-purification][b][font=Calibri]SUMO [/font][font=宋体]([/font][font=Calibri]small ubiquitin-like modifier[/font][/b][/url][font=宋体][url=https://cn.sinobiological.com/resource/protein-review/sumo-tag-purification][b])标签蛋白[/b][/url]是一种小分子泛素样修饰蛋白,研究发现[/font][font=Calibri]SUMO[/font][font=宋体]可以作为重组蛋白表达的融合标签和分子伴侣,不但可以进一步提高融合蛋白的表达量,且具有抗蛋白酶水解以及促进靶蛋白正确折叠,提高重组蛋白可溶性等功能。[/font][/font][font=宋体] [/font][font=宋体][font=Calibri]SUMO[/font][font=宋体]蛋白最早于[/font][font=Calibri]1996[/font][font=宋体]年在酵母中发现其修饰的蛋白,后来发现从酵母到真核细胞都有泛素化修饰的蛋白。泛素化修饰作为一种很常见的蛋白翻译后修饰,也是目前一个研究热点。目前研究发现真核细胞中有多种[/font][font=Calibri]SUMO[/font][font=宋体]蛋白, [/font][font=Calibri]SUMO[/font][font=宋体]化主要修饰蛋白质的赖氨酸残基,[/font][font=Calibri]SUMO[/font][font=宋体]化修饰是一个动态可逆的过程,通过修饰解离动态调节蛋白结构以维持不同的生理功能。[/font][/font][font=宋体] [/font][b][font=宋体][font=Calibri]SUMO[/font][font=宋体]作为融合标签蛋白的优势[/font][/font][/b][font=宋体] [/font][font=宋体][font=宋体]与[/font][font=Calibri]MBP,GST,GFP,TrX[/font][font=宋体]等标签比较具有更大优势:[/font][/font][font=宋体] [/font][font=宋体][font=Calibri]1. [/font][font=宋体]促进靶蛋白可溶性表达;[/font][/font][font=宋体] [/font][font=宋体][font=Calibri]2. [/font][font=宋体]作为伴侣蛋白,促进蛋白质正确折叠;[/font][/font][font=宋体] [/font][font=宋体][font=Calibri]3. [/font][font=宋体]对热和蛋白酶有很强的耐受性;[/font][/font][font=宋体] [/font][font=宋体][font=Calibri]4. [/font][font=宋体]有配套的特异性蛋白酶可以切除标签,精准结构性识别,相比较于以来蛋白氨基酸序列的酶切位点具有更好的特异性;[/font][/font][font=宋体] [/font][font=宋体][font=Calibri]5. [/font][font=宋体]标签的分子量较小,相对于目标蛋白占比性较高。[/font][/font][font=宋体] [/font][font=宋体][b][font=Calibri]SUMO[/font][font=宋体]在蛋白质表达中的应用[/font][/b][/font][font=宋体] [/font][font=宋体][font=Calibri]Sumo[/font][font=宋体]融合标签被广泛的应用于原核表达系统,除了用于常规蛋白的表达外还用于毒性蛋白,抗菌肽,蛋白二聚体的表达;但是其不能用于真核表达系统,原因是真核细胞内有[/font][font=Calibri]SUMO[/font][font=宋体]蛋白酶。但是道高一尺,魔高一丈,目前已经有公司开发出既可用于真核又可用于原核系统的[/font][font=Calibri]SUMO[/font][font=宋体]标签,以及配套的蛋白酶。[/font][/font][font=宋体] [/font][font=宋体][font=宋体]详情可以关注:[/font][font=Calibri]https://cn.sinobiological.com/resource/protein-review/sumo-tag-purification[/font][/font]

塑膜果袋相关的资料

塑膜果袋相关的资讯

  • 明冠新材料李涛勇:铝塑膜的发展现状及技术优势
    p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201805/insimg/36c7834e-7e93-4aac-bcaf-669fdc58bf38.jpg" title=" 1527497525857072070.jpg" /    /p p style=" text-align: center "   图为明冠新材料股份有限公司董事、副总经理、首席技术官李涛勇 /p p   以“突破· 融合——迎接产业新时代”为主题的“2018第一届新能源汽车及动力电池(CIBF深圳)国际交流会”于5月22-23日在深圳会展中心举办。 /p p   5月22日上午,在主题为“融· 突破桎梏携手发展”的动力电池产业链专场论坛上,明冠新材料股份有限公司(以下简称“明冠新材料”)董事、副总经理、首席技术官李涛勇作题为《铝塑膜的发展现状及技术优势》的演讲。 /p p   作为软包电池的关键材料,铝塑膜对电池轻量化起着非常重要的作用。相较于钢壳、铝壳或塑料壳等包装材料,铝塑膜具有质量轻、厚度薄、外形设计灵活等优势,在3C数码产品、动力电池和储能等领域需求日益加大。铝塑膜是软包锂电池中技术壁垒最高的材料,目前我国软包电池生产用铝塑膜仍主要依赖进口。李涛勇表示,经过多年技术研发创新,目前明冠新材料铝塑膜产品已比肩进口产品。 /p p   李涛勇在演讲中介绍道,明冠集团公司成立于2007年,注册资本1.2亿元,是一家以新材料研发、制造及销售为主的国家重点高新技术企业。公司产品主要有锂电池软包封装材料、柔性线路板材料、功能性薄膜材料、光伏新能源材料及导热散热材料。电池中国网获悉,明冠新材料铝塑膜项目成立于2010年, 多年来明冠新材料一直从事干法涂装产品和热法功能薄膜的研发、生产和销售工作,且在胶黏剂领域有其核心的研发团队,在铝塑膜专案项目方面有坚实的理论和实践基础。 /p p   当前铝塑膜生产技术路线主要有干法技术路线和热法技术路线。干法的优势在于冲深成型性能优异、外观好(杂质、针孔、鱼眼少),但受复合强度影响,其剥离力偏小,耐电解液性能偏弱 热法的主要特点为在耐电解液和抗水性方面有一定优势,而在冲深成型、外观等方面表现较差,因铝箔和CPP之间用热熔MPP连接,高温高压的制作过程使铝箔脆化,从而导致冲深性能劣化。李涛勇表示,明冠新材料经过技术创新,把这两种技术方法综合,研发出了干热复合法技术路线。干热法的优势在于吸取干法工艺优势的同时,兼顾了热法在耐电解液和抗水性方面具有优势的工艺特点,使得铝塑膜在冲深成型、外观差、裁切性能差、耐电解液及阻水性能方面的综合性能得到了全面提升。电池中国网获悉,目前明冠新材料铝塑膜研发人员超过30人,获得铝塑膜专利30+项。 /p p   通过干热复合法生产的铝塑膜,明冠新材料做了一系列第三方测试认证,产品在阻隔性、防护性、工艺性和稳定性方面较之前都有很大提升。据李涛勇介绍,铝塑膜冲壳成型方面,公司产品优于国产同类产品,达到进口标准 耐腐蚀性能方面,采用复合结构PP、铝箔耐腐涂层及特殊专用耐电解液胶黏剂,三层保护使电解液难以侵入到铝箔层腐蚀铝箔,保护铝塑膜整体性,并且具有长期稳定的耐电解液性质,耐电解液浸泡测试,7天剥离力在10N/15mm以上,30天在8N/15mm以上 绝缘性能测试方面,外层和AL间加DC1000V电压,测定电阻值始终在GΩ级别。 /p p   李涛勇表示,明冠新材料还通过对原料、制程、检验和预防等多个环节严格监控,实现了产品过程控制,保证了产品品质。目前明冠新材料铝塑膜主要有轻型(超薄)系列-68、中型系列-88& amp 113及重型系列153等系列产品,广泛应用于消费数码及动力储能类产品。 /p p   卓越的产品品质正是源于公司强大的科研实力。据李涛勇介绍,公司除拥有江西省光电复合材料工程技术研究中心外,还建有多个重点实验室,为公司产品研发创新提供保障。 /p p   下一步,明冠新材料产品研发将重点放在钢箔及超薄系列、重型系列、轻型系列和中型系列产品上。其中,钢箔及超薄系列以钢箔作为基膜,进一步提高软包封装的耐腐蚀、耐穿刺、耐磨等特性,以提高产品的使用安全性,开发超薄系列产品CAN060以满足高端数码市场需求 重型系列以153PET结构为主要结构,以适应动力储能电池在耐腐、耐压、耐磨方面的需求 轻型系列以88透明与黑色两个系列适应数码类产品轻量需求和68系列超轻系列需求 中型系列将以耐电解液、高冲深为特点进行相关产品的研发。 /p p br/ /p
  • 大连化物所基于纳米离子通道器件开发出检测SUMO1蛋白的新方法
    近日,大连化学物理研究所生物技术研究部生物分离与界面分子机制研究组(1824组)卿光焱研究员团队和生物分子高效分离与表征研究组(1810组)张丽华研究员团队合作,在蛋白质SUMO化研究方面取得新进展,开发了一种基于噬菌体表面展示技术筛选出的环肽修饰的金属纳米离子通道器件,实现了SUMO1蛋白的实时感知与测量,并在监测去SUMO化反应和细胞成像中展现出很好的应用潜力。蛋白质SUMO化是一种重要的细胞活动调节机制,异常的SUMO化与多种癌症和神经退行性疾病密切相关,其中去SUMO化作为整个SUMO化循环过程的一部分,也发挥着非常重要的作用。目前,针对去SUMO化的药物“TAK-981”已进入临床试验阶段。为了理解SUMO化在疾病进展中的作用,首先需要对SUMO化蛋白进行精准测量。   SUMO蛋白主要分为3种类型,分别为SUMO1/2/3,SUMO2/3具有97%的同源性,而与SUMO1的同源性仅为47%。商业化的SUMO2/3抗体具有很高的识别精度,而SUMO1由于缺乏识别的抗体,目前不能被有效地检测。因此,开发一种精确、高效、低成本、无标记检测SUMO化蛋白,以及能用于监测去SUMO化反应的方法十分重要。   本工作中,合作团队通过噬菌体展示筛选技术得到SUMO1蛋白的亲和环肽,并将其修饰到镀金的锥形纳米孔道中,制备出一种功能离子通道器件,通过法拉第电流和跨膜离子电流,将环肽和SUMO1蛋白的结合通过电信号可视化呈现。   借助于对SUMO1蛋白的识别,该离子通道器件能够监测SENP1酶催化的蛋白去SUMO化反应,并且在细胞成像中进一步证实了环肽优于商业化SUMO1抗体。未来,环肽有望用于开发SUMO1探针、SUMO1靶向药物释放系统和药物设计,以及有助于开发富集材料,推进SUMO1蛋白质组学发展,从而提高对SUMO蛋白,特别是SUMO1在疾病和生理作用中的认识。   相关成果以“A highly sensitive nanochannel device for the detection of SUMO1 peptides”为题,发表在《化学科学》(Chemical Science)上。该工作的第一作者是我所1824组联合培养硕士研究生秦玥和博士后张晓雨。上述工作得到国家自然科学基金、辽宁省兴辽英才计划、大连化学物理研究所创新特区组启动基金等项目的支持。
  • 专家约稿|辉光放电发射光谱仪的应用—涂层与超薄膜层的深度剖析
    摘要:本文首先简单回顾了辉光放电光谱仪(Glow Discharge Optical Emission Spectrometry,GDOES)的发展历程及特性,然后通过实例介绍了GDOES在微米涂层以及纳米超薄膜层深度剖析中的应用,并简介了深度谱定量分析的混合-粗糙度-信息深度(MRI)模型,最后对GDOES深度剖析的发展方向作了展望。1 GDOES发展历程及特性辉光放电发射光谱仪应用于表面分析及深度剖析已经有近100年的历史。辉光放电装置以及相关的光谱仪最早出现在20世纪30年代,但直到六十年代才成为化学分析的研究重点。1967年Grimm引入了“空心阳极-平面阴极”的辉光放电源[1],使得GDOES的商业化成为可能。随后射频(RF)电源的引入,GDOES的应用范围从导电材料拓展到了非导电材料,而毫秒或微秒级的脉冲辉光放电(Pulsed Glow Discharges,PGDs)模式的推出,不仅能有效地减弱轰击样品时的热效应,同时由于PGDs可以使用更高激发功率,使得激发或电离过程增强,大大提高了GDOES测量的灵敏程度,极大推动了GDOES技术的进步以及应用领域的拓展。GDOES被广泛应用于膜层结构的深度剖析,以获取元素成分随深度变化的关系。相较于其它传统的深度剖析技术,如俄歇电子能谱(AES)、X射线光电子能谱(XPS)和二次离子质谱(SIMS)或二次中性质谱(SNMS),GDOES具有如下的独特性[2]:(1)分析样品材料的种类广,可对导体/非导体/无机/有机…膜层材料进行深度剖析,并可探测所有的元素(包括氢);(2)分析样品的厚度范围宽,既可对微米量级的涂层/镀层,也可对纳米量级薄膜进行深度剖析;(3)溅射速率高,可达到每分钟几微米;(4)基体效应小,由于溅射过程发生在样品表面,而激发过程在腔室的等离子体中,样品基体对被测物质的信号几乎不产生影响;(5)低能级激发,产生的谱线属原子或离子的线状光谱,因此谱线间的干扰较小;(6)低功率溅射,属层层剥离,深度分辨率高,可达亚纳米级;(7)因为采用限制式光源,样品激发时的等离子体小,所以自吸收效应小,校准曲线的线性范围较宽;(8)无高真空需求,保养与维护都非常方便。基于上述优势,GDOES被广泛应用于表征微米量级的材料表面涂层/镀层、有机膜层的涂布层、锂电池电极多层结构和用于其封装的铝塑膜层、以及纳米量级的功能多层膜中元素的成分分布[3-6],下面举几个具体的应用实例。2 GDOES深度剖析应用实例2.1 涂层的深度剖析用于材料表面保护的涂层或镀层、食品与药品包装的柔性有机基材的涂布膜层、锂电池的多层膜电极,以及用于锂电池包装的铝塑膜等等的膜层厚度一般都是微米量级,有的膜层厚度甚至达到百微米。传统的深度剖析技术,如AES,XPS和SIMS显然无法对这些厚膜层进行深度剖析,而GDOES深度剖析技术非常适合这类微米量级厚膜的深度剖析。图1给出了利用Horiba-Profiler 2(一款脉冲—射频辉光放电发射光谱仪—Pulsed-RF GDOES,以下深度谱的实例均是用此设备测量),在Ar气压700Pa和功率55w条件下,测量的表面镀镍的铁箔GODES深度谱,其中的插图给出了从表面到Ni/Fe界面各元素的深度谱,测量时间与深度的转换是通过设备自带的激光干涉仪(DIP)对溅射坑进行原位测量获得。从全谱来看,GDOES测量信号强度稳定,未出现溅射诱导粗糙度或坑道效应(信号强度随溅射深度减小的现象,见下),这主要是因为铁箔具有较大的晶粒尺寸。同时还可以看到GDOES可连续测量到~120μm,溅射速率达到4.2μm/min(70nm/s)。从插图来看, Ni的镀层约为1μm,在表面有~100nm的氧化层,Ni/Fe界面分辨清晰。图1 表面镀镍铁箔的GODES深度谱,其中的插图给出了从表面到Ni/Fe界面的各元素的深度谱图2给出了在氩-氧(4 vol%)混合气气压750Pa、功率20w、脉冲频率3000Hz、占空比0.1875条件下,测量的用于锂电池包装铝塑膜(总厚度约为120μm)的GODES深度谱,其中的插图给出了铝塑膜的层结构示意图[7]。可以看出有机聚酰胺层主要包含碳、氮和氢等元素。在其之下碳、氮和氢元素信号的强度先降后升,表明在聚酰胺膜层下存在与其不同的有机涂层—粘胶剂,所含主要元素仍为碳、氮和氢。同时还可以看出在粘胶剂层下面的无机物(如Al,Cr和P)膜层,其中Cr和P源于为提高Al箔防腐性所做的钝化处理。很明显,图2测量的GDOES深度谱明确展现了锂电池包装铝塑膜的层结构。实验中在氩气中引入4 vol%氧气有助于快速溅射有机物的膜层结构,同时降低碳、氮信号的相对强度,提高了无机物如铬信号的相对强度,非常适合于无机-有机多层复合材料的结构分析,而在脉冲模式下,选用合适的频率和占空比,能够有效地散发溅射产生的热量,从而避免了低熔点有机物的碳化。图2一款锂电池包装铝塑膜的GDOES溅射深度谱,其中的插图给出了铝塑膜的层结构示意图[7]2.2 纳米膜层及表层的深度剖析纳米膜层,特别是纳米多层膜已被广泛应用于光电功能薄膜与半导体元器件等高科技领域。虽然传统的深度剖析技术AES,XPS和SIMS也常常应用于纳米膜层的表征,但对于纳米多层膜,传统的深度剖析技术很难对多层膜整体给予全面的深度剖析表征,而GDOES不仅可以给予纳米多层膜整体全面的深度剖析表征,而且选择合适的射频参数还可以获得如AES和SIMS深度剖析的表层元素深度谱。图3给出了在氩气气压750Pa、功率20w、脉冲频率1000Hz、占空比0.0625条件下,测量的一款柔性透明隔热膜(基材为PET)的GODES深度谱,如图3a所示,其中最具特色的就是清晰地表征了该款隔热膜最核心的三层Ag与AZO(Al+ZnO)共溅射的膜层结构,如图3b Ag膜层的GDOES深度谱所示。根据获得的溅射速率及Ag的深度谱拟合(见后),前两层Ag的厚度分别约为5.5nm与4.8nm[8]。很明显,第二层Ag信号较第一层有较大的展宽,相应的强度值也随之下降,这是源于GDOES对金属膜溅射过程中产生的溅射诱导粗糙度所致。图3(a)一款柔性透明隔热膜GDOES深度谱;(b)其中Ag膜层GDOES深度谱[8]图4给出了在氩气气压650Pa、功率20w、脉冲频率10000Hz、占空比0.5的同一条件下,测量的SiO2(300nm)/Si(111)标准样品和自然生长在Si(111)基片上SiO2样品的GODES深度谱[9]。如果取测量深度谱的半高宽为膜层的厚度,由此得到标准样品SiO2层的溅射速率为6.6nm/s(=300nm/45.5s),也就可以得到自然氧化的SiO2膜层厚度约为1nm(=6.6nm/s*0.15s)。所以,GDOES完全可以实现对一个纳米超薄层的深度剖析测量,这大大拓展了GDOES的应用领域,即从传统的钢铁镀层或块体材料的成分分析拓展到了对纳米薄膜深度剖析的表征。图4 (a)SiO2(300nm)/Si(111)标准样品与(b)自然生长在Si(111)基片上SiO2样品的GDOES深度谱[9]3 深度谱的定量分析3.1 深度分辨率对测量深度谱的优与劣进行评判时,深度分辨率Δz是一个非常重要的指标。传统Δz(16%-84%)的定义为[10]:对一个理想(原子尺度)的A/B界面进行溅射深度剖析时,当所测定的归一化强度从16%上升到84%或从84%下降到16%所对应的深度,如图5所示。Δz代表了测量得到的元素成分分布和原始的成分分布间的偏差程度,Δz越小表示测量结果越接近真实的元素成分分布,测量深度谱的质量就越高。但是随着科技的发展,应用的薄膜越来越薄,探测元素100%(或0%)的平台无法实现,就无法通过Δz(16%-84%)的定义确定深度分辨率,而只能通过对测量深度谱的定量分析获得(见下)。图5深度分辨率Δz的定义[10]3.2 深度谱定量分析—MRI模型溅射深度剖析的目的是获取薄膜样品元素的成分分布,但溅射会改变样品中元素的原始成分分布,产生溅射深度剖析中的失真。溅射深度剖析的定量分析就是要考虑溅射过程中,可能导致样品元素原始成分分布失真的各种因素,提出相应的深度分辨率函数,并通过它对测量的深度谱数据进行定量分析,最终获取被测样品元素在薄膜材料中的真实分布。对于任一溅射深度剖析实验,可能导致样品原始成分分布失真的三个主要因素源于:①粒子轰击产生的原子混合(atomic Mixing);②样品表面和界面的粗糙度(Roughness);③探测器所探测信号的信息深度(Information depth)。据此Hofmann提出了深度剖析定量分析著名的MRI深度分辨率函数[11]: 其中引入的三个MRI参数:原子混合长度w、粗糙度和信息深度λ具有明确的物理意义,其值可以通过实验测量得到,也可以通过理论计算得到。确定了分辨率函数,测量深度谱信号的归一化强度I/Io可表示为如下的卷积[12]: 其中z'是积分参量,X(z’)为原始的元素成分分布,g(z-z’)为深度分辨率函数,包含了深度剖析过程中所有引起原始成分分布失真的因素。MRI模型提出后,已被广泛应用于AES,XPS,SIMS和GDOES深度谱数据的定量分析。如果假设各失真因素对深度分辨率影响是相互独立的,相应的深度分辨率就可表示为[13]:其中r为择优溅射参数,是元素A与B溅射速率之比()。3.3 MRI模型应用实例图6给出了在氩气气压550Pa、功率17w、脉冲频率5000Hz、占空比0.25条件下,测量的60 Mo (3 nm)/B4C (0.3 nm)/Si (3.7 nm) GDOES深度谱[14],结果清晰地显示了Mo (3 nm)/B4C (0.3 nm)/Si (3.7 nm) 膜层结构,特别是分辨了仅0.3nm的B4C膜层, B和C元素的信号其峰谷和峰顶位置完全一致,可以认为B和C元素的溅射速率相同。为了更好地展现拟合测量的实验数据,选择溅射时间在15~35s范围内测量的深度剖析数据进行定量分析[15]。图6 60×Mo (3 nm)/B4C (0.3 nm)/Si (3.7 nm) GDOES深度谱[14]利用SRIM 软件[16]估算出原子混合长度w为0.6 nm,AFM测量了Mo/B4C/Si多层膜溅射至第30周期时溅射坑底部的粗糙度为0.7nm[14],对于GDOES深度剖析,由于被测量信号源于样品最外层表面,信息深度λ取为0.01nm。利用(1)与(2)式,调节各元素的溅射速率,并在各层名义厚度值附近微调膜层的厚度,Mo、Si、B(C)元素同时被拟合的最佳结果分别如图7(a)、(b)和(c)中实线所示,对应Mo、Si、B(C)元素的溅射速率分别为8.53、8.95和4.3nm/s,拟合的误差分别为5.5%、6.7%和12.5%。很明显,Mo与Si元素的溅射速率相差不大,但是B4C溅射速率的两倍,这一明显的择优溅射效应是能分辨0.3nm-B4C膜层的原因。根据拟合得到的MRI参数值,由(3)式计算出深度分辨率为1.75 nm,拟合可以获得Mo/B4C/Si多层薄膜中各个层的准确厚度,与HR-TEM测定的单层厚度基本一致[15]。图7 测量的GDOES深度谱数据(空心圆)与MRI最佳拟合结果(实线):(a) Mo层,(b) Si层,(c) B层;相应的MRI拟合参数列在图中[15]。4 总结与展望从以上深度谱测量实例可以清楚地看到,GDOES深度剖析的应用非常广泛,可测量从小于1nm的超薄薄膜到上百微米的厚膜;从元素H到Lv周期表中的所有元素;从表层到体层;从无机到有机;从导体到非导体等各种材料涂层与薄膜中元素成分随深度的分布,深度分辨率可以达到~1nm。通过对测量深度谱的定量分析,不仅可以获得膜层结构中原始的元素成分分布,而且还可以获得元素的溅射速率、膜层间的界面粗糙度等信息。虽然GDOES深度剖析技术日趋完善,但也存在着一些问题,比如在GDOES深度剖析中常见的溅射坑底部凸凹不平的“溅射坑道效应”(溅射诱导的粗糙度),特别是对多晶金属薄膜的深度剖析尤为明显,这一效应会大大降低GDOES深度谱的深度分辨率。消除溅射坑道效应影响一个有效的方法就是引入溅射过程样品旋转技术,使得各个方向的溅射均等。此外,缩小溅射(分析)面积也是提高溅射深度分辨率的一种方法,但需要考虑提高探测信号的强度,以免降低信号的灵敏度。另外,GDOES深度剖析的应用软件有进一步提升的空间,比如测量深度谱定量分析算法的植入,将信号强度转换为浓度以及溅射时间转换为溅射深度算法的进一步完善。作者简介汕头大学物理系教授 王江涌王江涌,博士,汕头大学物理系教授。现任广东省分析测试协会表面分析专业委员会副主任委员、中国机械工程学会高级会员、中国机械工程学会表面工程分会常务委员;《功能材料》、《材料科学研究与应用》与《表面技术》编委、评委。研究兴趣主要是薄膜材料中的扩散、偏析、相变及深度剖析定量分析。发表英文专著2部,专利十余件,论文150余篇,其中SCI论文110余篇。代表性成果在《Physical Review Letters》,《Nature Communications》,《Advanced Materials》,《Applied Physics Letters》等国际重要期刊上发表。主持国家自然基金、科技部政府间国际合作、广东省科技计划及横向合作项目十余项。获2021年广东省科技进步一等奖、2021年广东省高校科研成果转化路演赛“新材料”小组赛一等奖、2021年粤港澳高价值大湾区专利培育布局大赛优胜奖、2020年广东省高校科研成果转化路演赛“新材料”小组赛一等奖、总决赛一等奖。昆山书豪仪器科技有限公司总经理 徐荣网徐荣网,昆山书豪仪器科技有限公司总经理,昆山市第十六届政协委员;曾就职于美国艾默生电气任职Labview设计工程师、江苏天瑞仪器股份公司任职光谱产品经理。2012年3月,作为公司创始人于创立昆山书豪仪器科技有限公司,2019年购买工业用地,出资建造12300平方米集办公、研发、生产于一体的书豪产业化大楼,现已投入使用。曾获2020年朱良漪分析仪器创新奖青年创新入围奖;2019年昆山市实用产业化人才;2019年江苏省科技技术进步奖获提名;2017年《原子发射光谱仪》“中国苏州”大学生创新创业大赛二等奖;2014年度昆山市科学技术进步奖三等奖;2017年度昆山市科学技术进步奖三等奖;多次获得昆山市级人才津贴及各类奖励项目等。主持研发产品申请的已授权专利47项专利,其中发明专利 4 项,实用新型专利 25项,外观专利7项,计算机软件著作权 11项。论文2篇《空心阴极光谱光电法用于测定高温合金痕量杂质元素》,《Application of Adaptive Iteratively Reweighted Penalized Least Squares Baseline Correction in Oil Spectrometer 》第一编著人;主持编著的企业标准4篇;承担项目包括3项省级项目、1项苏州市级项目、4项昆山市级项目;其中:旋转盘电极油料光谱仪获江苏省工业与信息产业转型升级专项资金--重大攻关项目(现已成功验收,获政府补助660万元)、江苏省首台(套)重大装备认定、江苏省工业与信息产业转型升级专项资金项目、苏州市姑苏天使计划项目等;主持研发并总体设计的《HCD100空心阴极直读光谱仪》、《AES998火花直读光谱仪》、《FS500全谱直读光谱仪》《旋转盘电极油料光谱仪OIL8000、OIL8000H、PO100》均研发成功通过江苏省新产品新技术鉴定,实现了产业化。参考文献:[1] GRIMM, W. Eine neue glimmentladungslampe für die optische emissionsspektralanalyse[J]. Spectrochimica Acta, Atomic Spectroscopy, Part B, 1968, 23 (7): 443-454.[2] 杨浩,马泽钦,蒋洁,李镇舟,宋一兵,王江涌,徐从康,辉光放电发射光谱高分辨率深度谱的定量分析[J],材料研究与应用, 2021, 15: 474-485.[3] Hughes H. Application of optical emission source developments in metallurgical analysis[J]. Analyst, 1983, 108(1283): 286-292.[4] Lodhi Z F, Tichelaar F D, Kwakernaak C, et al., A combined composition and morphology study of electrodeposited Zn–Co and Zn–Co–Fe alloy coatings[J]. Surface and Coatings Technology, 2008, 202(12): 2755-2764.[5] Sánchez P, Fernández B, Menéndez A, et al., Pulsed radiofrequency glow discharge optical emission spectrometry for the direct characterisation of photovoltaic thin film silicon solar cells[J]. Journal of Analytical Atomic Spectrometry, 2010, 25(3): 370-377.[6] Zhang X, Huang X, Jiang L, et al. Surface microstructures and antimicrobial properties of copper plasma alloyed stainless steel[J]. Applied surface science, 2011, 258(4): 1399-1404.[7] 胡立泓,张锦桐,王丽云,周刚,王江涌,徐从康,高阻隔铝塑膜辉光放电发射光谱深度谱测量参数的优化[J],光谱学与光谱分析,2022,42:954-960.[8] 吕凯, 周刚, 余云鹏, 刘远鹏, 王江涌, 徐从康,利用ToF-SIMS 和 Rf-GDOES 深度剖析技术研究柔性衬底上的隔热多层膜[J], 材料科学,2019,9:45-53.[9] 周刚, 吕凯, 刘远鹏, 余云鹏, 徐从康, 王江涌,柔性功能薄膜辉光光谱深度分辨率分析[J], 真空, 2020,57:1-5.[10] ASTM E-42, Standard terminology relating to surface analysis [S]. Philadelphia: American Society for Testing and Materials, 1992.[11] Hofmann S. Atomic mixing, surface roughness and information depth in high‐resolution AES depth profiling of a GaAs/AlAs superlattice structure[J]. Surface and interface analysis, 1994, 21(9): 673-678.[12] Ho P S, Lewis J E. Deconvolution method for composition profiling by Auger sputtering technique[J]. Surface Science, 1976, 55(1): 335-348.[13] Wang J Y, Hofmann S, Zalar A, et al. Quantitative evaluation of sputtering induced surface roughness in depth profiling of polycrystalline multilayers using Auger electron spectroscopy[J]. Thin Solid Films, 2003, 444(1-2): 120-124.[14] Ber B, Bábor P, Brunkov P N, et al. Sputter depth profiling of Mo/B4C/Si and Mo/Si multilayer nanostructures: A round-robin characterization by different techniques[J]. Thin Solid Films, 2013, 540: 96-105.[15] Hao Yang, SongYou Lian, Patrick Chapon, Yibing Song, JiangYong Wang, Congkang Xu, Quantification of high resolution Pulsed RF GDOES depth profiles for Mo/B4C/Si nano-multilayers[J], Coatings, 2021, 11: 612.[16] Ziegler J F, Ziegler M D, Biersack J P. SRIM–The stopping and range of ions in matter[J]. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2010, 268(11-12): 1818-1823.
Instrument.com.cn Copyright©1999- 2023 ,All Rights Reserved版权所有,未经书面授权,页面内容不得以任何形式进行复制