高性能精密转台

RAuK系列超高精密电控旋转台 RAuK系列超高精密电控旋转台是我公司在RAK系列旋转台的基础上，内置了进口圆光栅，实现了360° 全闭环的超高精密旋转台，闭环分辨率可达1.8&Prime （RAuK100）或1.2&Prime （RAuK200）。该系列产品已通过多方用户的测试（如哈工大、北航等），主要应用于需要超高角度定位的应用领域，如：卫星定位跟踪系统、超高精密多维扫描测量、超精密的激光加工等。 ■ 产品特点：◆内置进口超高精度圆光栅，配合MC600系列控制器，实现了360° 全闭环，闭环分辨率可达1.8&Prime （RAuK100）或1.2&Prime （RAuK200）◆精研蜗轮蜗杆采用耐磨材料并通过特殊工艺处理，可实现超高定位精度和更好的耐用性和精度保持性◆采用高刚性的进口超高等级交叉滚柱轴环，配合我公司特有的精密磨削工艺，能有效保证旋转台的端跳、径跳等各项指标，而且具有较高的负载能力，可用于竖直使用甚至倒置使用◆严格的装配工艺和高于国标要求的检验方法，保证每一台产品，出厂时具有最优性能◆电机接口和圆光栅信号接口分开设计，可以根据要求灵活使用◆具有零位开关（反向旋转时遇零位开关停止），可以方便的进行绝对定位◆使用三相步进电机和伺服电机的该系列产品以及其他规格尺寸的产品，也在规划中，敬请期待！■产品一览表型号RAuK100RAuK2008细分开环分辨率(° )0.001250.00125闭环分辨率(＂)1.81.2传动比180:1180:1最大速度（Deg./sec.）2525重复定位精度(° )0.0050.005径向跳动(&mu m)1510轴向跳动(&mu m)1510步进电机（步距角）42（1.8° ）57（1.8° ）工作电流（A）1.72.4中心负载（Kg）3050 ■关联产品◆ 42、57步进电机◆ 专用数据连接线◆ 电控位移台控制箱

RSM56-1/73-1精密旋转台RSM56-1与RSM73-1精密旋转台均采用粗微调设计，圆周360° 刻划，游标读数。采用精密轴系设计，M6x0.25超细牙螺杆驱动，精度高，稳定性好。中心有26mm直径的通孔，可通光，还可装配附件，连接固定多种物品或其它调整架。上下均有标准孔距螺纹孔，适配性强。■技术指标 RSM56-1RSM73-1台面直径（mm）5673粗调范围360° 360° 微调范围± 3° ± 2.5° 最小刻划2° 1° 最小读数0.2° 5´ 中心通光孔直径26mmM27X1负载（kg）25自重（kg）0.150.35

KSMR系列高精密手动旋转台 KSMR系列是采用交叉滚柱轴环的高精密手动旋转台。该系列旋转台具有大角度粗调和小角度精密调整两种功能。采用分厘卡或超细牙螺纹副驱动，灵敏度高。交叉滚柱轴环保证了台面在旋转时，有很好的运动特性，端跳等关键指标，可达国际同类产品水平。尺寸较多，分为带通光孔和不带通光孔的产品，可以根据需要灵活选择，适合于对于手动角度调整有较高要求的领域。■ 产品特点：◆导向机构采用高精度的交叉滚柱轴环，端跳等关键性指标，达到国际水平◆分厘卡或超细牙螺纹副驱动，可提供很高的灵敏度◆负载能力较强，超薄结构，小尺寸◆可以同其他KSMx系列产品组合使用 ■ 产品一览表：型号KSMR5A-100KSMR5A-120主体材料合金铝台面直径( mm)100120粗调角度范围（° ）360精调角度范围（° ）± 5灵敏度（&Prime ）4最小读数（&prime ）5驱动方式分厘卡台面跳动(µ m)30中心负载(水平)10kg

RAuK系列超高精密电动旋转台说明：RAuK 系列超高精密电动旋转台是卓立汉光在RAK 系列旋转台的基础上，内置了进口圆光栅，实现了360°全闭环的超高精密旋转台，闭环分辨率可达1.8″ (RAuK100) 或1.2″ (RAuK200)。该系列产品已通过多方用户的测试( 如哈工大、北航等)，主要应用于需要超高角度定位的应用领域，如：卫星定位跟踪系统、超高精密多维扫描测量、超精密的激光加工等。特点：● 内置进口超高精密圆光栅，提供超高闭环分辨率● 使用精研蜗轮蜗杆传动，实现超高定位性能● 采用进口超高等级交叉滚柱轴环，具有超高运动性能● 标配二相步进电机，稳定、可靠光栅尺接线图接线图接线图：配套产品：TMC全功能运动控制系统MC6003P系列控制器应用案例：选型表：型号RAuK100RAuK2008细分开环分辨率(°)0.00125闭环分辨率(″)1.81.2传动比180:1最大速度(°/s)25重复定位精度(°)﹤0.005径向跳动((μm)﹤15﹤10轴向跳动((μm)﹤15﹤10步进电机(步距角)42(1.8°)57(1.8°)工作电流(A)1.72.4中心负载(Kg)3050

PSMR系列精密手动旋转台 PSMR 系列是卓立汉光正在研制的精密手动旋转台。设计思路：● 导向机构采用球轴承，具有良好的运动特性● 分厘卡或超细牙螺纹副驱动，可提供较高的灵敏度● 负载能力较强，小尺寸● 可以同其它PSMx系列产品组合使用组合示意图：

RSM100-W型旋转台精密手动调整，精加工蜗轮蜗杆传动。台面上的标准孔距可以和我公司生产的标配系列产品连接，台面外圈为刻度圈，可使旋转角度数量化。■技术指标 RSM100-W台面直径(mm)100粗调范围360° 最小刻划1° 灵敏度0.001° 负重(kg)15自重(kg)0.85

NFPR系列超高精密手动旋转台 说明：NFPR 系列产品是卓立汉光正在研制的超高精密手动旋转台。设计思路：● 采用进口交叉滚柱轴环作为导向机构● 该系列产品主体材料为304不锈钢● 采用分厘卡驱动● 粗调加微调机构，方便使用● 径跳、端跳等关键指标，达到国际水平

DVID系列-L型高性能隔振平台特点:◆研究室用，在国内首次安装了水平隔振器具，提高了水平/垂直全方位的隔振性能。◆采用三聚氰胺上板(Top Cover)，具有与一般台子一样的美观。◆作业部分与隔振部分相分离，便于使用。◆安装有小脚轮，需变更室内布局时移动方便。◆可选择各种附件选项，能达到多种功能和充分利用空间。 技术指标◆固有频率: 1.2Hz ~ 2.0Hz ◆隔振效率: at 10Hz : 75% ~ 95% at 20Hz : 85% ~ 98%◆水平复位精度 :± 0.05㎜◆静负载 : 500kg ◆自重 : 150 ~ 250kg◆材料 : 支架及顶部：钢管，沙化处理 顶盖：三聚氰胺 精抛光台板◆工作气源 : 3~5kg/cm2 压缩空气或瓶装液氮 用途◆表面粗糙度/真圆度 (Roughness/Roundness Tester) 测定仪◆Vision System◆光学显微镜 (Optical Microscope)◆万能测试仪◆其它精密仪器

RSA系列电控旋转台RSA系列电控旋转台通过步进电机驱动，实现角度调整自动化。精加工蜗轮蜗杆传动，精密轴系设计，保证调整精度高，承载大。步进电机与传动件通过进口高品质弹性联轴器连接，排除空回和加工形位误差。旋转台面外圈刻度直观。标准接口，方便信号传输。手动手轮配置，电控手动均可。可换装伺服电机。 ■技术规格型 号RSA60RSA100RSA200RSA400传动比90:1180:1720:18细分下分辨率0.0025° 0.00125° 0.0003125° 最大速度(Deg./sec)5025 5重复定位精度＜0.01° ＜0.005° ＜0.003° 步进电机(步距角)42(1.8° )57(1.8° )工作电流（A）1.72.4中心负载(kg)30506080自重(kg)11.547.719.75

RAK系列高精度电控旋转台采用新结构、新工艺，经过严格检测，关键指标达到国际同类产品水平。该系列产品主要应用于激光精密加工、三维扫描测量系统等应用领域■步进电机驱动，实现角度调整自动化■蜗轮、蜗杆采用耐磨材料，并采用特殊工艺处理，因而其耐磨性高，旋转台的精度可靠性高■进口高精密高刚性轴系使得旋转精度高,承载大,运行平稳■旋转台面外圈有刻度，直观方便，有物理零位■标准接口，方便信号传输■可加装圆光栅和编码器，配合我们自主开发的MC系列控制箱可以实现闭环控制 ■技术规格 型 号RAK100RAK200RAK350主体材料合金铝传动比180:1180:1320:18细分下分辨率(Deg.)0.00125° 0.00125° 0.0007° 最大速度 (Deg./sec.)2514重复定位精度0.005° 0.003° 径向跳动(")151020轴向跳动(")151020步进电机(步距角)42(1.8° )57(1.8° )工作电流 (A)1.72.4中心负载 (Kg) 3050100

RSM50-C旋转平台可快速调整角度，斜齿轮传动，增加传动的准确性和可靠性。中心M52x1螺纹孔可用螺纹压圈直接固定2英寸或50mm直径的光学件或与其它底板系列，调整架系列产品配合使用。转台端面360° 刻划，转角定量直观。精密轴系设计，稳定舒适。可水平或垂直使用。锁紧手轮安全可靠。 加装步进电机可变成电动转台■技术指标 RSM50-C台面直径(mm)50粗调范围360° 最小刻划1° 灵敏度0.001° 负重(kg)5自重(kg)0.75

RSM82-1精密旋转台均采用粗微调设计，圆周360° 刻划，游标读数。采用精密轴承组轴系设计，细牙螺杆驱动（可选用分厘卡驱动，型号为 RSM82-1A）精度高，承载大。台面多种标准孔位的安装孔适合不同需要，下方标准固定孔方便将其与其它位移台连接，组成多维移动台。■技术指标 RSM82-1RSM82-1A台面直径（mm）8282粗调范围360° 360° 微调范围± 10° ± 10° 最小刻划1° 1° 最小读数2´ 2´ 中心通光孔直径无无负载（kg）55自重（kg）0.480.5 RSM82-1 RSM82-1A RSM82-1 RSM82-1A

特点:◆采用光学实验用的蜂窝芯式（Honeycomb Breadboard）的高刚性上板。◆为固定光学仪器或配件的Top Hole(M6, 25㎜间距)固定孔。◆采用高性能隔振系统(Pneumatic Isolator)的支撑与固定型隔振支撑(Rigid support)形式两种。◆为提高操作性及作业效率，在气囊内置阻尼孔，提高了衰减功能。用途◆片夹细胞注射◆细胞处理 扫描分光计◆其它精密光学实验用(Precision Optical Experiments) 技术指标◆固有频率和隔振 : 1.2Hz ~ 1.5Hz◆阻尼 : 孔式空气阻尼◆水平方式：3个自动调平阀来自动水平调整。◆水平复位精度 : ± 1.2㎜ / ± 0.1㎜◆静负载 : 300kg ~ 800kg◆工作气源: 3~5kg/ 压缩空气或氮气瓶◆顶板结构 : 蜂窝内核三层夹芯结构◆内核：强化钢板蜂窝（0.25mm钢箔3.2cm2单元面积）◆表层板：4.0mm厚度430系列高导磁镍合不锈钢，沙化表面处理◆底层板：4.0mm厚度碳钢氧化表面处理◆表面平整度 : ± 0.1mm每600mmx600mm◆固定螺孔：公制：M6螺孔 25mm栅格 37.5mm边缘 英制：1/4-20螺孔 1英寸栅格 1.5英寸边缘◆蜂窝式顶板厚度：50t,100t可选

RV系列高性能精密转台双向重复精度: 0.0012–0.007度最大读书: 2–80度/s摇摆度: 16–40 μrad负载能力:: 900–6500 N

精密微调手动旋转台OMXE系列产品介绍：OMTOOLS精密微调手动旋转台OMXE系列采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。并采用蜗轮蜗杆结构驱动，旋转手轮可进行高分辨率的精密角度调整，操作方便，承载能力较好，适合需要精密旋转角度的场合使用。旋转台高度低，适合负载较重、水平旋转的场合使用； 产品底部有安装螺孔，可以直接连接到其他台面或标准光学平台、平板上。旋转台台面上有安装孔，可供客户安装物件。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■进口精密轴承导向，端跳等关键指标达到国内先进水平；■使用精研涡轮蜗杆传动，实现高定位性能；■超薄结构，紧凑精巧；■可以同其它系列产品组维使用 选型表：型号OMXE40ROMXE60ROMXE100R行程（°）360台面直径(mm)Φ40Φ60Φ100导轨球轴承驱动方式蜗轮蜗杆传动比1:621:901:160主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）0.20.51.3游标刻度分辨率5 arcmin静态平行度(mm)≦0.05端面跳动（μm）≦50径向跳动（μm）≦50中心负载（Kg）51015

Standa公司于1987年在立陶宛维尔纽斯成立，至今已有20多年历史。多年来，Standa始终专注于精密光学机械的设计和制造。 其产品包括：手动/电动平移台及旋转台，位移控制器，光学平台，面包板，隔振系统，光学元件固定调整架，光学元件，DPSS激光器以及激光测试仪器。 在标准产品之外，Standa还可以根据客户需求提供各种OEM产品。多年的开发、制造以及销售经验使得Standa的产品必能满足您在光学实验各领域的诸多要求。 特点：精密电动连续旋转台350mm口径最大负载150kg低高度转速最高538MRB450-350-60超大口径精密旋转台，可以精密角度定位，同时具有很高的负载能力。旋转台主体是由一整块氧化铝加工而成。精密轴承和涡轮传动系统保证了旋转精度，这样提供了很好的刚度，却不会牺牲动态性能。旋转台由步进电机驱动，具有可编程细分分辨率，提供亚角分角度 详细参数参见“顶尖科仪”官网。

RSM56-1/73-1精密旋转台RSM56-1与RSM73-1精密旋转台均采用粗微调设计，圆周360° 刻划，游标读数。采用精密轴系设计，M6x0.25超细牙螺杆驱动，精度高，稳定性好。中心有26mm直径的通孔，可通光，还可装配附件，连接固定多种物品或其它调整架。上下均有标准孔距螺纹孔，适配性强。■技术指标 RSM56-1RSM73-1台面直径（mm）5673粗调范围360° 360° 微调范围± 3° ± 2.5° 最小刻划2° 1° 最小读数0.2° 5´ 中心通光孔直径26mmM27X1负载（kg）25自重（kg）0.150.35

KSMR系列高精密手动旋转台 KSMR系列是采用交叉滚柱轴环的高精密手动旋转台。该系列旋转台具有大角度粗调和小角度精密调整两种功能。采用分厘卡或超细牙螺纹副驱动，灵敏度高。交叉滚柱轴环保证了台面在旋转时，有很好的运动特性，端跳等关键指标，可达国际同类产品水平。尺寸较多，分为带通光孔和不带通光孔的产品，可以根据需要灵活选择，适合于对于手动角度调整有较高要求的领域。■ 产品特点：◆导向机构采用高精度的交叉滚柱轴环，端跳等关键性指标，达到国际水平◆分厘卡或超细牙螺纹副驱动，可提供很高的灵敏度◆负载能力较强，超薄结构，小尺寸◆可以同其他KSMx系列产品组合使用 ■ 产品一览表：型号KSMR5A-100KSMR5A-120主体材料合金铝台面直径( mm)100120粗调角度范围（° ）360精调角度范围（° ）± 5灵敏度（&Prime ）4最小读数（&prime ）5驱动方式分厘卡台面跳动(µ m)30中心负载(水平)10kg

RAuK系列超高精密电动旋转台说明：RAuK 系列超高精密电动旋转台是卓立汉光在RAK 系列旋转台的基础上，内置了进口圆光栅，实现了360°全闭环的超高精密旋转台，闭环分辨率可达1.8″ (RAuK100) 或1.2″ (RAuK200)。该系列产品已通过多方用户的测试( 如哈工大、北航等)，主要应用于需要超高角度定位的应用领域，如：卫星定位跟踪系统、超高精密多维扫描测量、超精密的激光加工等。特点：● 内置进口超高精密圆光栅，提供超高闭环分辨率● 使用精研蜗轮蜗杆传动，实现超高定位性能● 采用进口超高等级交叉滚柱轴环，具有超高运动性能● 标配二相步进电机，稳定、可靠光栅尺接线图接线图接线图：配套产品：TMC全功能运动控制系统MC6003P系列控制器应用案例：选型表：型号RAuK100RAuK2008细分开环分辨率(°)0.00125闭环分辨率(″)1.81.2传动比180:1最大速度(°/s)25重复定位精度(°)﹤0.005径向跳动((μm)﹤15﹤10轴向跳动((μm)﹤15﹤10步进电机(步距角)42(1.8°)57(1.8°)工作电流(A)1.72.4中心负载(Kg)3050

精密电动旋转台MERA系列产品特点：材质：6061T4 铝合金；精加工蜗轮蜗杆传动，角度全圆无极限调整；可设零位光电开关；可换装伺服电机；更换运动部件和电机，核心零件经特殊处理后，可应用于真空环境中。 产品介绍：OMTOOLS精密电动旋转台MERA系列具有较高精度、价位适中的产品，采用精研蜗轮蜗杆，保证了高旋转精度，端跳、径跳等关键指标达到同行先进水平。该产品具有较高的负载能力，可用于竖直使用甚至倒置使用，可组合多维使用。旋转轴系采用多道工艺精密加工而成，配合精度高，承载大，寿命长。精密蜗轮蜗杆传动和转轴系设计，调整精度高，空回小，消空回结构可调整使用造成的空回间隙。旋转台面的端跳和偏心低，旋转运动平稳。旋台中心通孔与旋转中心严格同轴，中心孔径严格配合公差限制，方便精密定位。进电机和蜗杆通过进口高品质弹性联轴节连接，传动同步，消偏性能号，排除空回和形位误差。提供步进与伺服的电气配件，可提供相关技术支持，接受产品的改制和量身定制。 选型表：型号MERA60MERA100MERA200MERA300台面直径60mm100mm200mm300mm传动比90：1180：1180：1270：1驱动方式蜗轮蜗杆导轨形式轴承主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑自重1.2kg1.9kg7.2kg13.5kg水平最大中心承载 10204060分辨率（无细分）0.02°0.01°0.01°0.0067°最大速度13°/sec6.5°/sec6.5°/sec4.3°/sec重复定位精度0.01°端跳精度50u50u80u80u平行度80u80u80u100u

RSM100-W型旋转台精密手动调整，精加工蜗轮蜗杆传动。台面上的标准孔距可以和我公司生产的标配系列产品连接，台面外圈为刻度圈，可使旋转角度数量化。■技术指标 RSM100-W台面直径(mm)100粗调范围360° 最小刻划1° 灵敏度0.001° 负重(kg)15自重(kg)0.85

NFPR系列超高精密手动旋转台 说明：NFPR 系列产品是卓立汉光正在研制的超高精密手动旋转台。设计思路：● 采用进口交叉滚柱轴环作为导向机构● 该系列产品主体材料为304不锈钢● 采用分厘卡驱动● 粗调加微调机构，方便使用● 径跳、端跳等关键指标，达到国际水平

详细信息回转轴测量原理：回转轴测量需借助WR50自动精密转台，与SJ6000角度测量配合使用。将WR50连接到回转轴上，作为测角标准器，WR50可实现0~360°的角度测量范围，±1″的测量精度，最高转速为10rpm。假设回转轴转动了5°，相连的WR50则反转5°，相对于SJ6000角度测量而言并未产生角度偏转，基于该原理即可实现回转轴0~360°的高精度测量。回转轴测量软件会将WR50的角度值和SJ6000角度值合并进行计算，作为回转轴实际转动的角度值。回转轴测量配置及使用方法：回转轴测量配置主要由SJ6000主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000静态测量软件等组件构成。

瑞士丹青LabStandardAIR系列精密气浮转台，采用全气浮轴承结构，减少了磨擦阻力。旋 转轴采用电机直接驱动，方便调节旋转速度及制动，控制系统为新型自动控制器。瑞士丹青LabStandard系列立卧两用转台，组合使用预加载轴向及径向滚珠轴承，使转台 在两个面都具有具有极高刚性，因此特别适合偏心大负载应用。使用自锁蜗杆传动及高 精度角度编码器保证高灵敏度及精确定位。适合于计量、精加工及精密测量领域。

RGV100BL高速度精密转台双向重复精度: 0.0004度最大读书: 720度/s摇摆度: 20μrad负载能力:100 N技术参数角度范围360°偏心率，典型值±1.0 μm 最大速度720°/s 偏心率，保证值±1.5μm 电机持续驱动扭矩0.61 Nm (rms) 惯性0.00104 kgm2峰值驱动扭矩2.7 Nm 横向顺应性15 μrad/Nm 中心负载100 N 原点Optical, centered 螺纹类型M4 and M6 原点重复精度±0.1 mdeg 最小位移增量0.10 mdeg 限位开关Two optical limit switches at approx. ±168°, disabled by external switch 单向重复精度，典型值±0.08 mdeg 单向重复精度，保证值±0.15 mdeg 双向重复精度，典型值±0.15 mdeg 编码器分辨率1 Vpp 0.024° pitch 精度，典型值±3.0 mdeg 孔径30 mm 精度，保证值±5.0 mdeg 重量2.6 kg 摆动，典型值±5.0 μrad MTBF20,000 h (25% load, 30% duty cycle) 摆动，保证值±10 μrad RoHSCompliant

ALIO高精度纳米级高负载电动旋转台产品负责人：姓名：李工(Maple)电话：（微信同号）邮箱：ALIO高精度纳米级高负载电动旋转台产品简介： 昊量光电推出全新一代高精度纳米级高负载电动旋转台，通过集成无框扭矩伺服电机，这些高负载电动旋转台能够处理需要极大质量和加速度的应用，同时保持纳米级精度。ALIO高负载电动旋转台 对材料和零件机械加工的关注保证了这些旋转器的标准重复性高达 0.2 弧秒。 可提供不同型号（从 80 毫米到 300 毫米的可变直径）和电机，以满足任何负载、加速度和工作循环的要求。 10 多年来，ALIO高负载电动旋转台 一直专注于纳米精密运动和可重复性。由 ALIO高负载电动旋转台 引入的 Nano Point Precision™ 6-D 和 True Nano™ 概念现已被 NIST 采用，并被认为是未来运动系统测量和量化的标准方法。 Nano Point Precision 6-D 包括移动工作台的所有 6 个误差自由度：它允许您根据精确点（在 3D 空间中）指示“精度数字”，并用于许多应用，从激光处理到计量。ALIO高负载电动旋转台 生产一系列线性运动控制解决方案，这些解决方案的设计和制造符合可保证其性能的标准。该公司的机械轴承台可以以任何空气轴承台无法复制的精度水平运行。 在用户群体中，ALIO高负载电动旋转台 提供了超精确且具有成本效益的运动控制解决方案，即使对于苛刻的应用也是如此。该公司由一支无与伦比的杰出工程师团队组成，他们痴迷于纳米级运动控制，并尽可能突破感知界限。带有交叉滚子轴承的整体式 XY 系统 ALIO 的机械轴承旋转台采用交叉滚子轴承设计，以提高偏置负载的刚度和旋转精度。与伺服扭矩无框电机集成，这些平台可以处理质量和加速度需求比较苛刻的应用，同时仍保持纳米级精度性能。 使用 ALIO 提供的运动控制器，标准 ALIO 旋转平台具有 0.2 弧秒的可重复性。 也提供真空版本和用于安装主轴的附件。有带角接触轴承的旋转台 这些是市场上紧凑的转台，专门设计有角接触轴承，可将轮廓减小到很小。通过集成无铁芯伺服电机，这些工作台非常适合需要具有纳米精度的小角位移的计量应用。同样对于该产品线，ALIO 保证高达 0.2 弧秒的标准重复性和不同的直径/电动组合，以满足任何负载、加速度和工作循环要求。定制化需求 ALIO 真正定制其核心运动控制解决方案的能力使其与替代解决方案提供商区别开来，通过精确匹配 OEM 客户的需求以及推动纳米精密应用的极限，提供显着的附加值。

中图仪器Mars高性能坐标测量机几何尺寸精密检测仪采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，精度高、重复性优。不管是复杂的三维形状还是细微的尺寸差异，每一次测量都能达到微米级精度，实现对产品质量的严格把控。高精度：精密制造的核心1、精密的光栅系统：采用高分辨率金属光栅尺，确保机器在使用过程中具有高精度和长时间的稳定性。2、高精度测头：接触式或非接触式测头均经过精确校准，以捕捉细微的几何特征。3、测量分析软件：PowerDMIS三坐标测量软件是中图仪器自主研发，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB最小二乘法和最小区域法的双认证。高重复性：持续稳定的质量保障1、稳定的机械结构：关键部件一体铸造成型，结构紧凑、重量轻、强度高，运行更为快速平稳。2、精确的控制系统：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性。3、校准和维护：定期的校准和专业维护确保设备长期保持最佳状态。 Mars高性能坐标测量机几何尺寸精密检测仪是具有高性价比的一款移动桥式测量机，支持触发探测系统，能够对各种零部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测。支持中图Power DMIS、Rational DMIS、ARCOCAD等测量软件，支持中图Alpha系列控制器、Pantec控制器、雷尼绍UCC控制器等。用于机械制造、汽车工业、电子工业、航空航天工业以及计量检测等领域，是现代工业检测和质量控制的检测设备。主要特点1.三轴均采用低热膨胀系数的花岗岩导轨，机器具有良好的温度适应性，抗时效变形能力。2.环抱式气浮布局，使机器在高效稳定运行的同时保持高精度。3.关键部件一体铸造成型，重量轻，强度高，提升机器精度及运动平稳性。4.Z轴采用柔性平衡系统，降低摩擦阻力，提高Z轴运动精度。5.采用高精度、高分辨光栅尺，确保机器高精度和长时间稳定。6.高刚性传动方式，保证机器传动的平稳性和刚性。7.开放式的工作台面，具备良好的承载能力，以及开阔的测量视野。8.气压检测安全装置，时刻监测Z轴不因断气而下坠，确保测座测头使用安全。国产化品牌：创新与成本效益的平衡Mars高性能坐标测量机几何尺寸精密检测仪以更经济的价格获得高性能的测量设备，同时减少长期的维护和运营开支。国产化品牌本地化生产和供应链管理降低了生产和运营成本，使产品价格更具竞争力，而且性能同样可靠，提供了高性价比的选择。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，国产三坐标测量机功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进，国产品牌也能够更快地响应客户需求，提供及时的售后服务。测控部分测控部分的配置可以根据需求进行选择不同的型号和品牌。1、控制器中图Alpha系列控制器，是中图自主研发的三坐标控制器，可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。性能特点：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；固态电子开关设计，无大功率继电器，具有更小的体积和冲击电流，更高的可靠性；同步PWM控制技术和共模抑制设计，环路响应快，驱动效率高，发热低； 微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性；控制器符合I++标准，能兼容市面上的主流测量软件。2、测座ACH100T全自动旋转测座为中图仪器自主研发的自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。性能特点：测座能实现A角度0-105°，B角度-180°-﹢180°的运动；测座采用精密的6点定位，实现测座的高定位精度；关键零部件采用复合材料、高强度材料；测座通过动态防撞、静态防撞设计，确保测座的使用安全。3、测头CP100T触发测头为中图仪器自主研发的机械式触发测头，可以在空间5个方向进行触发受力，经过长时间的反复对比测试，性能优于同类型进口测头。精度高，稳定性好。4、测量软件Power DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB认证。

应用领域QFR系列气浮转台轻量化设计、有效降低高度、减小多轴系统集成情况下的阿贝误差；提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级同步跳动。产品设计满足晶圆加工及检测、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。结构特点由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和圆光栅反馈组成，最大限度地提高定位性能。闭式气浮结构设计使工作台面降到最低，减小系统误差影响。具有高轴向刚度和大承载能力。解决气浮抱死的问题，力矩电机固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，适合在各种速度下平滑转动。精度性能瑞邦精控的QFR系列气浮转台同步轴向跳动误差和径向跳动误差10nm，摆角误差3μrad，最大负载100kg，电动控制和手动转动跳动误差一致，使用寿命10年以上。闭环反馈使用圆光栅闭环反馈，分辨率优于0.01arc sec，同时采用高性能控制系统，优化气浮结构，气浮转台能精准回零。定制化气浮转台可安装滑环，用于空间模拟装置，MEMS和惯性导航等应用。规格指标型号单位QFR-100QFR-200QFR-300行程°360台面直径mm134184284通孔直径mm162240补偿后定位精度 Plus (1)arc sec±0.5标准值±2双向重复定位精度Plus (1)arc sec≤0.5标准值≤1轴向跳动误差 (2)Plus (1)nm10标准值200径向跳动误差 (2)Plus (1)nm10标准值200摆角误差Plus (1)μrad3标准值6电子分辨率 (3) arc sec＜0.01最大速度 (空载) (4)rpm300,（≥1000 定制）最大负载轴向kg2045100径向122760供气压力 (5)MPa0.5±0.05空气消耗量SL/min263560自重kg51026材料/航空7075铝合金（表面氧化处理）注：以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在转动台面上25mm处，测试速度2-10deg/s，Renishaw激光干涉仪及自带分析方法测量，精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如需非标准测试，请咨询我们。1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。2. 轴向和径向跳动为同步跳动误差，测微仪和标准球测量，计算为最大值-最小值-标准球误差-同心度。3. 电子分辨率取决编码器线数及控制器的细分倍数。4. 最大转速取决于负载大小，最大定制转速7800 rpm。5. 为保护气浮轴承建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。订购信息型号QFR-100-PLUS-1-3-Y描述气浮转台转动台面直径134mmPLUS高精度版增量式光栅1Vpp反馈线缆长度3米有压力保护开关名称型号描述气浮转台QFR气浮转台台面-100-200-300转动台面φ134mm转动台面φ184mm转动台面φ284mm精度等级-N-PLUS标准值PLUS高精度版反馈方式-1-T-ABS增量式光栅1Vpp反馈增量式光栅TTL反馈绝对式光栅反馈线缆长度-3-5-DZ长度3米（标配）长度5米定制压力保护开关-Y-N有压力保护开关（标配）无压力保护开关

DVID系列-L型高性能隔振平台特点:◆研究室用，在国内首次安装了水平隔振器具，提高了水平/垂直全方位的隔振性能。◆采用三聚氰胺上板(Top Cover)，具有与一般台子一样的美观。◆作业部分与隔振部分相分离，便于使用。◆安装有小脚轮，需变更室内布局时移动方便。◆可选择各种附件选项，能达到多种功能和充分利用空间。 技术指标◆固有频率: 1.2Hz ~ 2.0Hz ◆隔振效率: at 10Hz : 75% ~ 95% at 20Hz : 85% ~ 98%◆水平复位精度 :± 0.05㎜◆静负载 : 500kg ◆自重 : 150 ~ 250kg◆材料 : 支架及顶部：钢管，沙化处理 顶盖：三聚氰胺 精抛光台板◆工作气源 : 3~5kg/cm2 压缩空气或瓶装液氮 用途◆表面粗糙度/真圆度 (Roughness/Roundness Tester) 测定仪◆Vision System◆光学显微镜 (Optical Microscope)◆万能测试仪◆其它精密仪器

专为动静态角度测量设计，主要用于产生高精度角度和高稳定性角速度；转台采用超精密气浮轴承，提高了运动精度和超平滑率；配置高精度圆光栅，通过多读数头实现自校准，实现高空间定位精度；高可靠线性驱动控制系统，超高运动精度和运动速率稳定性；实现深亚秒级静态角度和1ppm 稳定角速度生成；各项参数可根据用户需求定制；本单位承接0.1角秒至10角秒级各类高精度转台的定制开发。典型参数值回转精度0.05um定位精度0.1角秒角位置重复定位精度0.1角秒倾斜回转误差0.5角秒速率稳定性高速（≥50°/s，360°范围）：0.0001%；中速（5°/s～50°/s，10°范围）：0.001%；低速（≤5°/s，1°范围）：0.02%。速度范围±500°/s安装台面尺寸φ300mm承载能力≥30kg