高新磁控溅射器

一、项目基本情况项目编号：0705-2240 02012003项目名称：上海期智研究院磁控溅射仪采购预算金额：300.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：300.0000000 万元（人民币）采购需求：包件号项目数量简要技术规格备注1磁控溅射仪1套配置304L不锈钢超高真空不锈钢反应腔体，预留RHEED、RGA等接口，后续可按需升级。沉积腔室可升级集成9个2英寸超高真空溅射靶枪。预算：人民币300万元。 合同履行期限：交货期：收到预付款后8到10个月内。本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：（1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；（2） 投标人应为投标产品的制造商或其合法代理商，代理商投标应提供投标产品的制造商针对本项目的唯一授权；（3） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部认可的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册；（4） 本项目不允许联合体投标；（5） 本项目不允许分包和转包（代理商中标后提供由其投标文件中承诺的投标产品制造商生产的产品不视为转包）。 3.本项目的特定资格要求：（1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；（2） 投标人应为投标产品的制造商或其合法代理商，代理商投标应提供投标产品的制造商针对本项目的唯一授权；（3） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部认可的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册；（4） 本项目不允许联合体投标；（5） 本项目不允许分包和转包（代理商中标后提供由其投标文件中承诺的投标产品制造商生产的产品不视为转包）。三、获取招标文件时间：2022年08月02日 至 2022年08月09日，每天上午8:30至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：上海国际招标有限公司电子采购平台方式：电子发售售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2022年08月31日 09点30分（北京时间）开标时间：2022年08月31日 09点30分（北京时间）地点：上海国际招标有限公司电子采购平台五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜供应商首次注册应按要求提供《供应商注册专用授权函和承诺书》（可从供应商注册页面下载）和营业执照等扫描件，供应商应当提前准备，尽早办理，以免影响领购招标文件。已注册的潜在投标人可从网站采购公告栏的相应公告或者网站上方“SITC电子采购平台”中进入在线领购招标文件流程。若公告要求提供其他领购资料的，潜在投标人应当上传相关资料的原件扫描件，否则招标代理有权拒绝向其出售招标文件。无需提供领购资料的项目，潜在投标人提交领购申请并支付费用到账后即可下载电子招标文件。项目经理会将纸质招标文件快递给潜在投标人，电子发票将发至投标人登记的邮箱。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：上海期智研究院     地址：上海市徐汇区云锦路701号40-41层        联系方式：徐瑞；021-54652653      2.采购代理机构信息名 称：上海国际招标有限公司            地 址：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼            联系方式：胡羡聪、刘洲烨；86-21-32173682            3.项目联系方式项目联系人：胡羡聪、刘洲烨电 话：  86-21-32173682

自从2020年Quantum Design中国子公司将英国Moorfield nanotechnology公司生产的台式高精度薄膜制备与加工系统引进国内市场以来受到了国内科研工作者的广泛关注。Moorfield Nanotechnology推出的台式设备体积小巧但性能可以和大型设备相媲美，并且自动化程度高、操作简单、性能可靠、配置灵活。设备所具有的这些优点正是现代实验所需要的。Moorfield Nanotechnology长期收集用户的需求并对产品线进行不断的优化丰富，以满足各种个性化的实验需求。近年来，越来越多的前沿研究中需要用到多种薄膜制备手段，而传统的设备往往只有一种薄膜制备功能，制备一个样品就需要先后在不同的设备中进行操作，并且容易对样品的性质造成破坏。针对这样的需求，Moorfield Nanotechnology公司全新推出了台式高精度溅射与热蒸发系统——nanoPVD ST15A。该系统可以集成金属/绝缘体溅射、金属热蒸发、有机物蒸发功能，在同一台设备中可以实现多种制备手段的组合，将薄膜制备带入了新的高度。系统通过7英寸触摸屏控制，自动化程度高，各种制备方式可以自由切换，甚至可以同时进行。用户可以通过灵活的制备手段在在同一台设备中制备不同的薄膜或者是复合薄膜。nanoPVD ST15A外观图设备技术特点☛ 台式设备配置灵活☛ 磁控溅射、热蒸发、有机物蒸发☛ 三种制备手段可灵活组合☛ 可制备金属、有机物、电介质薄膜☛ 多达3个流量计控制过程气体☛ 高精度自动气压控制选件☛ 全自动触屏操作系统☛ 基片大至4英寸☛ 可选基片加热☛ 本底真空☛ 可选晶振膜厚标定功能☛ 定义保存多个制备程序☛ 全面的安全性设计☛ 超净间兼容☛ 稳定的性能左：nanoPVD ST15A 双蒸发源与磁控溅射组合，右：系统的样品台与挡板背景介绍Moorfield Nanotechnology是英国材料科学领域高性能仪器研发公司，成立25年来专注于高质量的薄膜生长与加工技术，拥有雄厚的技术实力，推出的多种高性能设备受到科研与工业领域的广泛好评。Moorfield公司近十年来与曼彻斯特大学诺奖技术团队紧密合作，推出的台式高精度薄膜制备与加工系列产品由于其体积小巧、性能优异、易于操作更是受到很多科研单位的赞誉。这些设备已经进入了欧洲多所科研院所的实验室，诸如曼彻斯特大学、剑桥大学、帝国理工学院、诺森比亚大学、巴斯大学、埃克塞特大学、哈德斯菲尔德大学、莱顿大学、亚森工业大学、西班牙光子科学研究所、英国国家物理实验室等单位都是Moorfield Nanotechnology的用户和长期合作者。诸多的用户与合作者让产品的性能和设计理念得到了高速发展，并迈入全球化的进程。Quantum Design中国子公司与Moorfield Nanotechnology正式合作，作为中国的代理和战略合作伙伴，为中国用户提供高性能的设备与优质的服务。除了台式设备之外我们还提供多种大型设备和定制服务。目前国内已有包括清华大学、西湖大学、大连理工大学、广东工业大学、中科院等多个单位采购了不同型号的Moorfield高性能薄膜制备与加工设备。产品链接1、台式高性能多功能PVD薄膜制备系列—nanoPVD

一、项目基本情况项目编号：0664-2260SUMEC787D项目名称：东南大学微纳系统国际创新中心磁控溅射镀膜仪采购预算金额：260.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：260.0000000 万元（人民币）采购需求：东南大学微纳系统国际创新中心采购磁控溅射镀膜仪 一套本项目接受进口产品。合同履行期限：合同签约后12个月到货安装调试合格。本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目若符合扶持福利企业、促进残疾人就业、支持中小微企业、支持监狱和戒毒企业等政策， 将落实相关政策。3.本项目的特定资格要求：（1）供应商必须是所投产品的制造商或代理商，若投标人不是投标产品制造商的，投标人必须具有下列授权文件之一（本条只适用于进口产品）：a.供应商必须提供制造商出具的授权函正本； b.制造商的国内全资子公司出具的授权函正本； c.制造商对授权的区域代理商出具的授权函复印件及该区域代理商出具的授权函正本； d.投标人取得的产品代理证书复印件(正本备查)。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。三、获取招标文件时间：2023年01月05日 至 2023年01月11日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：线上方式：在线获取售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2023年01月29日 09点30分（北京时间）开标时间：2023年01月29日 09点30分（北京时间）地点：南京市长江路198号苏美达大厦辅楼303会议室,五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜申请人的资格要求：1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照，自然人的身份证明）；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）的会计报表或者上一年度的财务审计报告，成立不足一年的提供开标前六个月内的银行资信证明原件。）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（根据项目需求提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）； （4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料）；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供参加本次政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明）（格式见后附件）。（6）法律、行政法规规定的其他条件。2、凭以下材料获取：（1）获取采购文件材料：1、营业执照【复印件加盖公章，扫描件】2、介绍信或者法定代表人授权书【原件加盖公章，扫描件，开具日期不得早于公告日期】3、委托代理人身份证【复印件加盖公章，扫描件】4、采购文件获取登记表word版【详见招标公告附件】（2）凡有意参加本次采购活动的供应商必须提供第（1）条规定证件登记并获取，不按规定获取的视为获取失败。3、我司提供了在线获取采购文件服务，操作流程如下：（1）、用微信关注我司公众号“苏美达达天下”。（2）、进入公众号-“在线服务”-“在线购标”。（3）、输入本项目的项目编号，举例：0664-2260SUMEC787D，点击查询。添加您所要获取的采购文件到购物车，输入投标单位名称、领购人信息以及发票信息，提交订单并确认微信支付，支付完成后将报名材料扫描件和登记表word版一并发至采购代理机构联系人：焦立阳，邮箱：jiaoly_work@163.com 即可，我们将会把采购文件电子版发送到领购人的邮箱。注意事项：（1）确保领购人邮箱真实准确无误，电子版采购文件将发送到此邮箱。（2）目前标书费发票支持开标现场领取或者顺丰到付。（3）“苏美达达天下”付款平台填写的投标单位名称必须与开票信息一致。如不一致投标人自行承担后果。请认真填写领购人信息及发票信息。（4）非采购代理机构或平台公司原因，发票一经开具不予退换。4、疫情防控期间注意事项（本项目采取在线流程）：在线流程：因疫情原因，本项目进行线上开标，请供应商尽量提前准备投标文件，以便及时送达代理机构指定的地点。供应商按照不见面开标通知（附件1）的要求参加开标会议。如因投标文件未及时送至代理机构造成的后果由供应商自负。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：东南大学地址：南京市玄武区四牌楼2号联系方式：技术咨询：微纳系统国际创新中心：贺老师 电话：025-83792632 分机号8806； 实验室与设备管理处：刘加彬 电话：025-83792693。2.采购代理机构信息名称：苏美达国际技术贸易有限公司地址：南京市长江路198号苏美达大厦联系方式：项目联系人：杨 扬、焦立阳 电话：025-84532455、025-845324523.项目联系方式项目联系人：杨 扬、焦立阳电话：025-84532455、025-84532452

p style=" text-align: justify text-indent: 2em " span style=" text-indent: 28px " 薄膜沉积是集成电路制造过程中必不可少的环节，传统的薄膜沉积工艺主要有物理气相沉积（ /span span style=" text-indent: 28px " PVD /span span style=" text-indent: 28px " ）、化学气相沉积（ /span span style=" text-indent: 28px " CVD /span span style=" text-indent: 28px " ）等气相沉积工艺。物理气相沉积 /span span style=" text-indent: 28px " (Physical Vapour Deposition /span span style=" text-indent: 28px " ， /span span style=" text-indent: 28px " PVD) /span span style=" text-indent: 28px " 技术是在真空条件下，采用物理方法，将材料源 /span span style=" text-indent: 28px " —— /span span style=" text-indent: 28px " 固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。 /span /p p style=" text-indent: 28px text-align: justify " 物理气相沉积技术工艺过程简单，对环境改善，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基体的结合力强。该技术广泛应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域，可制备具有耐磨、耐腐蚀、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑、超导等特性的膜层。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 仪器信息网近期特对一年内的 span PVD /span 设备的中标讯息整理分析，供广大仪器用户参考。 span style=" color: rgb(127, 127, 127) font-size: 14px " （注：本文搜集信息全部来源于网络公开招投标平台，不完全统计分析仅供读者参考。） /span /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " span style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 240px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/a2ad4457-7ade-41a5-b0c8-6b0bfc0f3001.jpg" title=" 1.png" alt=" 1.png" width=" 400" height=" 240" border=" 0" vspace=" 0" / & nbsp & nbsp /span /p p style=" text-align: center " strong span style=" font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:#444444" 各月中标量占比 /span /strong /p p style=" text-indent: 28px text-align: justify " span 2019 /span 年 span 10 /span 月至 span 2020 /span 年 span 9 /span 月，根据统计数据， span PVD /span 设备的总中标为 span 218 /span 台，涉及金额上亿元。 span 2019 /span 年 span 10 /span 月至 span 12 /span 月，平均中标量约 span 25 /span 台每月。 span 2020 /span 上半年，由于疫情影响， span 1 /span 月至 span 4 /span 月中标市场持续低迷，平均中标量约 span 5 /span 台每月，其中二月份无成交量。随着国内疫情稳定以及企业复产复工和高校复学的逐步推进， span PVD /span 设备中标市场活力回升，从二月份到七月份中标量不断增长，其中 span 7 /span 月 span PVD /span 中标量达 span 27 /span 台。第三季度的 span PVD /span 设备采购基本恢复正常，平均中标量约 span 24 /span 台每月。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 252px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/98f0aae5-cd0b-4c37-a638-6e07e56be8b6.jpg" title=" 2.png" alt=" 2.png" width=" 400" height=" 252" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong span style=" font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:#444444" 采购单位性质分布 /span /strong /p p style=" text-indent: 28px text-align: justify " 从 span PVD /span 设备的招标采购单位来看，高校是采购的主力军，采购量占比高达 span 68% /span ，而企业和科研院所的采购量分别占比 span 12% /span 和 span 19% /span 。值得注意的是，企业和科研院所采购设备的单价较高，集中于高端设备，高校采购低端设备比例略高。企业方面的采购单位主要为电子产业，高校方面的采购单位以大学为主。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 265px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/16cf7cf8-1078-4811-92cb-06cb57740068.jpg" title=" 3.png" alt=" 3.png" width=" 400" height=" 265" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong span style=" font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:#444444" 招标单位地区分布 /span /strong /p p style=" text-indent: 28px text-align: justify " 本次盘点，招标单位地区分布共涉及 span 25 /span 个省份、自治区及直辖市。广东、北京、浙江、江苏和湖北为 span PVD /span 设备采购排名前 span 5 /span 的地区，其中广东的采购量最大，达 span 32 /span 台。在这些地区中，上海、浙江和江苏的 span PVD /span 设备采购以高校为主力，北京以科研院所和高校采购为主力，只有湖北以企业采购为主。这主要是因为湖北武汉聚集了国内一批半导体企业，如武汉天马微电子有限公司和湖北长江新型显示产业创新中心有限公司，致力于打造“中国光谷”。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 233px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/35dfbb36-d83c-4bcf-894d-3a587cdd8da8.jpg" title=" 4.png" alt=" 4.png" width=" 400" height=" 233" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong span style=" font-family:& #39 微软雅黑& #39 ,sans-serif color:#444444" 不同类型 span PVD /span 设备占比 /span /strong /p p style=" text-indent: 28px text-align: justify " span PVD /span 设备种类繁多，包含了磁控溅射、蒸发镀膜、真空镀膜等类型。根据搜集到的中标数据可知，磁控溅射占据了中标 span PVD /span 设备的主流、高达 span 72% /span 的 span PVD /span 设备采购为磁控溅射。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多种材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪 span 70 /span 年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。 /p p style=" text-indent: 28px text-align: justify " 本次 span PVD /span 设备中标盘点，涉及品牌有泰科诺、 span Kurt J. Lesker /span 、创世威纳、 span Moorfield /span 、 span Leica /span 、合肥科晶、 span VEECO Instruments Inc. /span 、 span Teer Coatings Ltd. /span 、 span QUORUM /span 、 span style=" font-size:15px" Syskey /span span style=" font-size:15px" 、 span Applied Materials ,lnc. /span 、 span ULVACInc /span 、株式会社昭和真空 /span 等。 /p p style=" text-indent: 29px text-align: justify " span style=" font-size:15px" 其中，各品牌比较受欢迎的产品型号有： /span /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/08db5967-4529-4f60-88a7-518f97a384c8.jpg" title=" 5.jpg" alt=" 5.jpg" / /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " strong span a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/sh102205/C242800.htm" span style=" font-size:15px" span 三靶射频磁控溅射镀膜仪 /span /span /a /span /strong /p p style=" text-indent: 29px text-align: justify " span style=" font-size:15px" 这是一款小型台式 span 3 /span 靶等离子溅射仪 span ( /span 射频磁控型 span ) /span ，配有三个 span 1 /span 英寸的磁控等离子溅射头和射频（ span RF /span ）等离子电源，此款设备主要用于制作非导电薄膜，特别是一些氧化物薄膜。对于新型非导电薄膜的探索，它是一款廉价并且高效的实验帮手。这款 span 1 /span 英寸的射频溅射镀膜仪主要是用于在单晶基片上制备氧化物膜，所以并不需要太高的真空度。 /span /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/c7c1521d-c5b9-4668-b178-66ac2ce7cd98.jpg" title=" 6.jpg" alt=" 6.jpg" / /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " strong span a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/sh101374/C191053.htm" span style=" font-size:15px" span 双靶磁控溅射仪 /span /span /a /span /strong /p p style=" text-indent: 29px text-align: justify " span style=" font-size:15px" & nbsp /span span style=" font-size: 15px " 双靶磁控溅射仪是沈阳科晶自主新研制开发的一款高真空镀膜设备，可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。 /span span style=" font-size: 15px " VTC-600-2HD /span span style=" font-size: 15px " 双靶磁控溅射仪配备有两个靶枪，一个弱磁靶用于非导电材料的溅射镀膜，一个强磁靶用于铁磁性材料的溅射镀膜。与同类设备相比，且具有体积小便于操作的优点，且可使用的材料范围广，是一款实验室制备各类材料薄膜的理想设备。 /span /p p style=" text-indent: 0em text-align: center " img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/2ed2b9b6-bb58-4779-ab5e-aa97cdaaaa2b.jpg" title=" 7.jpg" alt=" 7.jpg" / /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " strong span a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/SH104149/C283599.htm" span style=" font-size:15px" span 科特莱思科热阻蒸发镀膜系统 /span /span /a /span /strong /p p style=" text-indent: 29px text-align: justify " span style=" font-size:15px" 这款仪器由预真空进样室（可选）前开门蒸发腔体、冷凝泵和干泵、多个热阻蒸发源或 span OLED /span 低温蒸发源、 span 6” /span 基片、基片旋转、基片偏压（可选）、离子源清洗基片（可选）、基片加热 span 1000 /span 度 span ( /span 可选 span ) /span 等部分构成。晶振沉积速率及膜厚控制可选择系统手动或自动控制等方式，能够沉积金属、半导体和绝缘材料，还可沉积多层膜及合金薄膜。 /span span style=" font-size: 15px " & nbsp /span /p p style=" text-indent: 29px text-align: justify " span style=" font-size:15px" 点击此处进入 /span span a href=" https://www.instrument.com.cn/list/sort/241.shtml" span style=" font-size:15px" span 【 span 半导体行业专用仪器 span 】 /span /span /span /span /a /span span style=" font-size:15px" 专场，获取更多产品信息。 /span /p p style=" text-indent: 29px text-align: center " span style=" font-size:15px" 更多资讯请扫描下方二维码，关注【材料说】 /span /p p style=" text-indent: 28px text-align: center " img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/2a630f7c-a2f9-4376-bd8c-911592840aa9.jpg" title=" 材料说.jpg" alt=" 材料说.jpg" / /p

项目编号：N5101012023000011项目名称：红外光谱仪、磁控溅射镀膜机、X-射线衍射仪采购项目采购方式：公开招标预算金额：2,400,000.00元采购需求：详见采购需求附件合同履行期限：采购包1：自合同签订生效后起10日内采购包2：自合同签订生效后起10日内采购包3：自合同签订生效后起10日内本项目是否接受联合体投标：采购包1：不接受联合体投标采购包2：不接受联合体投标采购包3：不接受联合体投标8a69c98f85909e000185957d38207018.docx

据广州南沙发布消息，6月28日，广州市南沙区在明珠湾大桥桥面举办重大项目集中签约动工竣工（投产）暨明珠湾大桥通车活动。76个项目于当天集中签约、动工竣工（投产），涵盖新能源汽车、芯片等先进制造产业。在当天的签约仪式上，10个重点项目分两批进行现场签约，总投资额160亿元，达产产值796亿元，其中包括湾区半导体高端设备智造基地。据介绍，湾区半导体高端设备智造基地是先导集团拟在南沙投资建现代化的半导体设备产业园，项目建成后拥有生产各类镀膜沉积设备、磁控溅射设备、离子蚀刻设备及交钥匙工程的综合生产能力。先导集团目前已掌握核心专利和工艺技术，项目产品将拥有100%自主产权，满足半导体产业链国产化替代的需求。广州南沙发布消息指出，目前，南沙正积极促进第三代半导体与新能源汽车产业的融合创新，成立第三代半导体创新中心，形成以晶科电子、芯粤能、爱思威为代表，以联晶智能、芯聚能为龙头的从晶圆生产到芯片设计、封装及应用的第三代半导体全产业链，为将来三千亿级新能源汽车产业集群发展提供“芯”能量。

近年来，随着量子材料研究的兴起对薄膜制备方法的需求更加的多样化，而传统的薄膜制备设备往往只有一种薄膜制备功能，制备一个样品就需要先后在不同的设备中进行操作，并且容易对样品的性质造成破坏，也需要更多的科研经费投入。英国Moorfield Nanotechnology公司立足于多种成熟的薄膜制备设备，并长期收集用户的需求并对产品线进行不断的优化丰富，以满足各种个性化的实验需求。针对目前日趋多样化的需求，Moorfield Nanotechnology公司全新推出了台式高精度溅射与热蒸发系统——nanoPVD ST15A。该系统可以集成金属/绝缘体溅射、金属热蒸发、有机物蒸发功能，在同一台设备中可以实现多种制备手段的组合，将薄膜制备带入了新的高度。有别于传统台式系统仅用于制备电极等简单用途，nanoPVD ST15A系统是真正的学术研究级设备，可以制备多种高质量的薄膜样品。体统通过7英寸触摸屏控制，自动化程度高，各种制备方式可以自由切换。用户可以通过灵活的制备手段在在同一台设备中制备不同的薄膜或者是复合薄膜。nanoPVD ST15A外观图设备技术特点☛ 台式设备配置灵活☛ 磁控溅射、热蒸发、有机物蒸发☛ 三种制备手段可灵活组合☛ 可制备金属、有机物、电介质薄膜☛ 多达3个流量计控制过程气体☛ 高精度自动气压控制选件☛ 全自动触屏操作系统☛ 基片大至4英寸☛ 可选基片加热☛ 本底真空左：nanoPVD ST15A 双蒸发源与磁控溅射组合，右：系统的样品台与挡板 背景介绍Moorfield Nanotechnology是英国材料科学领域高性能仪器研发公司，成立25年来专注于高质量的薄膜生长与加工技术，拥有雄厚的技术实力，推出的多种高性能设备受到科研与工业领域的广泛好评。Moorfield公司近十年来与曼彻斯特大学诺奖技术团队紧密合作，推出的台式高精度薄膜制备与加工系列产品由于其体积小巧、性能优异、易于操作更是受到很多科研单位的赞誉。这些设备已经进入了欧洲多所科研院所的实验室，诸如曼彻斯特大学、剑桥大学、帝国理工学院、诺森比亚大学、巴斯大学、埃克塞特大学、伦敦玛丽女王大学、哈德斯菲尔德大学、莱顿大学、亚森工业大学、西班牙光子科学研究所、英国国家物理实验室等单位都是Moorfield Nanotechnology的用户和长期合作者。诸多的用户与合作者让产品的性能和设计理念得到了高速发展，并迈入全球化的进程。Quantum Design中国子公司与Moorfield Nanotechnology正式合作，作为中国的代理和战略合作伙伴，为中国用户提供高性能的设备与优质的服务。除了台式设备之外我们还提供多种大型设备和定制服务。目前国内已有包括清华大学、西湖大学、大连理工大学、广东工业大学、中科院等多个单位采购了不同型号的Moorfield高性能薄膜制备与加工设备。

一、项目基本情况1、项目编号：豫财招标采购-2023-12202、项目名称：河南省科学院中原量子谷仪器共享中心四期建设项目3、采购方式：公开招标4、预算金额：29,311,200.00元最高限价：29311200元序号包号包名称包预算（元）包最高限价（元）1豫政采(2)20231986-1包1：X射线光电子能谱仪644000064400002豫政采(2)20231986-2包2：X射线粉末射仪（落地式）、电子顺磁共振波谱仪、磁控溅射镀膜系统、热蒸发镀膜仪、电化学工作站953120095312003豫政采(2)20231986-3包3：有机元素分析仪、傅里叶变换红外光谱仪、瞬态稳态荧光光谱仪、原子力显微镜616400061640004豫政采(2)20231986-4包4：电感耦合等离子体发射光谱仪、拉曼光谱仪、高级流变仪拓展系统、形状测量激光显微系统、圆二色谱仪717600071760005、采购需求（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）5.1项目地点：郑州（采购方指定地点）5.2招标范围：河南省科学院中原量子谷仪器共享中心四期建设项目：包含X射线光电子能谱仪、X射线粉末射仪（落地式）、电子顺磁共振波谱仪、磁控溅射镀膜系统、热蒸发镀膜仪、电化学工作站、有机元素分析仪、傅里叶变换红外光谱仪、瞬态/稳态荧光光谱仪、原子力显微镜、电感耦合等离子体发射光谱仪、拉曼光谱仪、高级流变仪拓展系统、形状测量激光显微系统、圆二色谱仪等仪器配套设施的采购、安装、调试、验收及质保服务等工作。5.3标包划分：本招标项目共划分两个标包。5.4计划供货安装周期：包1：签订合同后240日历天内完成供货、安装；包2：签订合同后180日历天内完成供货、安装；包3：签订合同后180日历天内完成供货、安装；包4：签订合同后180日历天内完成供货、安装。5.5质量要求：合格，满足采购人要求。6、合同履行期限：详见招标文件要求。7、本项目是否接受联合体投标：否8、是否接受进口产品：是9、是否专门面向中小企业：否二、获取招标文件1.时间：2023年11月21日 至 2023年11月27日，每天上午00:00至12:00，下午12:00至23:59（北京时间，法定节假日除外。）2.地点：登录河南省公共资源交易中心（http://www.hnggzy.net）；3.方式：凭CA密钥市场主体登录并在规定时间内按网上提示下载招标文件及资料；投标人需要完成信息登记及CA数字证书办理，才能通过省公共资源交易平台参与交易活动，具体办理事宜请查询河南省公共资源交易中心网站-公共服务-办事指南-新交易平台使用手册（培训手册））。4.售价：0元三、凡对本次招标提出询问，请按照以下方式联系1. 采购人信息名称：河南省科学院地址：郑州市郑东新区龙子湖湖心岛崇德街与明理路交叉口西南角联系人：何老师联系方式：0371-657200102.采购代理机构信息（如有）名称：河南豫信招标有限责任公司地址：郑州市郑东新区商务外环路3号中华大厦16、19层联系人：周圆芳 刘梦柯 李玉龙 张娜联系方式：0371-69092276/613119023.项目联系方式项目联系人：周圆芳 刘梦柯 李玉龙 张娜联系方式：0371-69092276/61311902

为了支撑集成电路产业快速发展，集成电路高端装备制造已经上升为国家战略。破解集成电路产业“卡脖子”问题，一大关键是实现高端装备制造的自主可控。（1）自主创新面向后摩尔时代集成电路领域高水平科技自立自强的重大需求，亟需打破垄断、突破相关高端装备关键制造技术。北京航空航天大学赵巍胜教授团队创新突破超高精度复杂薄膜制备、多靶超高真空共溅射技术，超高真空下超快磁光测量技术，离子束调控设备高真空集成、离子束能量连续精确调节技术，超高真空互联和无磁传输技术，研制全球首套原子尺度界面自旋电子的原位实时表征与调控系统，应用于自旋芯片相关技术研究，并对关键技术突破进行产业化应用推广。超高真空磁控溅射设备（2）追求卓越团队从2017年开始进行自旋芯片制造和测试核心设备工程化开发：超高真空磁控溅射设备，薄膜沉积精度达到单原子层级别；多物理场高分辨率磁光克尔显微镜，关键技术指标如磁场反应特征时间达到400 ns；晶圆级磁光克尔测试仪可用于自旋芯片生产过程中的晶圆薄膜性质精确表征。系列自旋芯片材料制备和表征仪器的研制成功和推广应用，填补了相关领域的空白，促进了我国自旋芯片和集成电路产业的独立自主发展。晶圆级磁光克尔测试仪（3）产学研结合目前团队基于技术推广应用，联合致真精密仪器（青岛）有限公司和合肥致真精密设备有限公司两家仪器设备公司，完成超高真空高精度磁控溅射仪等3类设备的研制和量产，相关成果已应用于清华大学、中科院物理所、北京超弦存储器研究院、中国电科集团、电子科技大学、上海科技大学、中国计量大学、吉林大学等行业顶尖单位，实现了集成电路领域若干“卡脖子”设备的国产替代，推动了自旋芯片产业发展，取得了显著的经济效益和社会效益，累计创造经济产值7000余万元。2023年10月，“原子尺度界面自旋电子的原位实时表征与调控系统”项目荣获中国仪器仪表学会科技进步一等奖。

微塑料通常被定义为尺寸小于5 mm的塑料碎片，在海洋、陆地、淡水系统中均有所发现，对环境安全和生物健康均有一定程度的影响。更令人担忧的是，微塑料通过机械磨损、光降解和生物降解等作用会进一步分解，形成尺寸更小的微塑料甚至是纳米塑料。它们的危害可能更大，因为它们可以穿过生物膜并容易在不同组织间转移，如果吸入空气中的微纳塑料甚至可以穿过肺组织。据已有的研究显示，应用在微塑料检测的传统技术仅能检测到10 μm 左右的大小，远远不能满足当前和未来研究的需要。因此，迫切需要开发适用于小尺寸微纳塑料的检测新方法。表面增强拉曼光谱（SERS）技术是一种强有力的基于拉曼光谱的原位分析技术。一般来说，分子的拉曼效应很弱。然而，当这些分子被吸附在贵金属（例如金和银）的粗糙表面时，分子的拉曼效应会大大提高。甚至可以在单分子水平上获得高灵敏度。在我们之前的研究工作中，首次报道利用SERS技术实现了环境纳米塑料的检测（EST, 2020, 54(24): 15594）。但是，采用的商业化Klarite基底的高昂成本使其不适宜广泛大规模的应用。因此，本研究利用一种低成本的具有大量有序的V型纳米孔阵列的阳极氧化铝（AAO）模板，通过磁控溅射或离子溅射将金纳米粒子沉积在模板上，开发得到用于小尺寸微纳塑料检测的 SERS 基底（AuNPs@V-shaped AAO SERS substrate）。由于AAO模板中纳米孔阵列特殊的V型结构以及有序规则的排列，使得AuNPs@V-shaped AAO SERS基底可以提供大量“热点”和额外的体积增强拉曼效应，在检测微塑料时表现出高 SERS 灵敏度。图1 摘要图本研究首先使用不同尺寸（1 μm、2 μm和5 μm）的聚苯乙烯（PS）和聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）两种标准样品在AuNPs@V-shaped AAO SERS基底和硅基底上进行检测，并计算相应的增强因子（图2、图3）。结果显示，单个PS和PMMA两种颗粒在硅基底上均不能检测到1 μm的尺寸大小，且其他尺寸的拉曼信号强度也相对较弱。而在AuNPs@V-shaped AAO SERS基底上，在相同的检测条件下，各尺寸的单个PS和PMMA颗粒的拉曼信号强度大大增强，且1 μm的PS和2 μm的PMMA都有拉曼信号检出。增强因子的计算结果显示，使用AuNPs@V-shaped AAO SERS基底检测单个微塑料颗粒可获得最大20倍的增强效果。此外，通过比较磁控溅射和离子溅射两种沉积方式所分别形成的基底检测微塑料的拉曼光谱结果和增强因子计算结果，我们可以得出磁控溅射所形成的基底具有更好的检测性能。这个结果可以联系到SERS基底的扫描电镜表征结果（图4）进行解释，磁控溅射所形成的金纳米层更加细腻平整，而离子溅射所形成的金纳米层出现了一定的团聚，导致形貌结构较为粗糙，因此信号强度有所减弱。图2：PS的拉曼检测。（a）不同尺寸的单个PS颗粒在硅基底上的拉曼光谱；（b）显微镜下不同尺寸的单个PS颗粒在硅基底上的形态分布；（c）不同尺寸的单个PS颗粒在离子溅射形成的SERS基底上的拉曼光谱；（d）不同尺寸的单个PS颗粒在磁控溅射形成的SERS基底上的拉曼光谱；（e）显微镜下不同尺寸的单个PS颗粒在磁控溅射形成的SERS基底上的形态分布；（f）显微镜下不同尺寸的单个PS颗粒在离子溅射形成的SERS基底上的形态分布；（g）增强因子的箱线图。图3：PMMA的拉曼检测。（a）不同尺寸的单个PMMA颗粒在硅基底上的拉曼光谱；（b）显微镜下不同尺寸的单个PMMA颗粒在硅基底上的形态分布；（c）不同尺寸的单个PMMA颗粒在离子溅射形成的SERS基底上的拉曼光谱；（d）不同尺寸的单个PMMA颗粒在磁控溅射形成的SERS基底上的拉曼光谱；（e）显微镜下不同尺寸的单个PMMA颗粒在磁控溅射形成的SERS基底上的形态分布；（f）显微镜下不同尺寸的单个PMMA颗粒在离子溅射形成的SERS基底上的形态分布；（g）增强因子的箱线图。图4：AAO模板和SERS基底的扫描电镜表征。（a）空白的AAO模板；（b）经过离子溅射形成的SERS基底；（c）经过磁控溅射形成的SERS基底；（d）（e）微塑料标准样品在基底上的形态分布。之后，本研究采集了雨水作为大气样品，对基底检测实际样品的能力进行了测试。采集到的雨水样品经过过滤、消解等前处理后，被滴加在基底上进行后续的拉曼检测，获得若干疑似微塑料的拉曼光谱。通过将这些采集到的拉曼光谱与标准微塑料样品的拉曼光谱进行比对，找到了雨水样品中所含有的微纳塑料颗粒，证实了大气中微塑料颗粒的存在以及基底检测实际样品的能力。图5：雨水样品的检测。（a）在基底上发现的疑似微塑料颗粒，尺寸约为2 μm × 2 μm；（b）疑似微塑料颗粒的拉曼光谱。该研究了提出了一种新型的适用于环境微纳塑料检测的低成本SERS基底，具备热点均一、增强效果好的优点，有望推广到环境各介质中微纳塑料的检测，为尺寸更小的纳米塑料检测分析提供了新方法。

x射线多层膜在静态和超快x射线衍射中的应用x射线光学组件类型根据x射线和物质作用的不同原理和机制，目前主流的x射线光学组件可以大致分为四类：以滤片、窗片、针孔光阑为代表的吸收型组件；基于反射，全反射原理的各种镜片以及毛细管、波导等反射型器件，还有基于折射原理的各种复折射镜。而本文的主题多层膜镜片，其底层原理和晶体、光栅、波带片一样，都是基于衍射原理。吸收型反射型折射型衍射型滤片窗口针孔/光阑镜片：kb、wolter、超环面镜… … 毛细管：玻璃毛细管、金属镀层毛细管复折射镜：抛物面crl、菲涅尔crl、马赛克crl、… … 晶体光栅多层膜波带片多层膜的原理和工艺一般来说，反射型镜片存在“掠射角小、反射率低”的问题。而多层膜镜片则是通过构建多个反射界面和周期，并使反射界面等周期重复排列，相邻界面上的反射线有相同的相位差，就会发生干涉，如果相位差刚好为2pi的整数倍，则会干涉相长，得到强反射线。从布拉格公式可以看出：多层膜就是通过对d值的控制，来实现波长选择的人工晶体。而在工艺实现方面，目前制备x射线多层膜镜的主要工艺有：磁控溅射、电子束蒸镀、离子束蒸镀。一般使用较多的是磁控溅射或离子束镀膜工艺，即在基板上交替沉积金属和非金属层，通过选择材料，控制镀膜的厚度及周期的选定，实现对硬x射线到真空紫外波段的光的调制。上图为来自德国incoatec的四靶材磁控溅射镀膜系统。可实现多种膜系组合的高精度镀膜。[la/b4c]40 多层膜b-kα（183ev）用多层膜，d：10nm单层膜厚：1-10nm0.x nm的镀膜精度tem: 完美的镀层界面frank hertlein, a.e.m. 2008上图为40层la-b4c多层膜的剖面透射电镜图像和选区电子衍射，弥散的衍射环说明膜层是非晶结构。同时可以明显看到：周期为10nm的膜层界面非常清晰和规则。这套镀膜系统可获得0.x nm的镀膜精度。多层膜的特点示例—单色和塑形多层膜最显著的特点和优势在于可以通过基底的面型控制和镀层的膜厚控制，将x光的塑形和单色统一起来。当然，这是以精度极高的镀膜工艺为前提。下图的数据展示了进行梯度渐变镀膜时，从镜片一端到另一端镀膜的周期设计数值 vs. 实际工艺水平。可以看到：长度为150mm的基底上，单层镀膜膜厚需要控制在3.8-5.7nm，公差需要在1%以内。相当于在1500公里的长度上，厚度起伏要控制mm水平。这是非常惊人的原子层级的工艺水平。frank hertlein, a.e.m. 2008通过面型控制来实线x射线的塑形；通过极高精度的膜厚控制实现2d值渐变—继而实现单色；0.x nm尺度的镀膜误差——需要具备原子层级的工艺水平！多层膜的特点示例—带宽和反射率除了可以通过曲面基底和梯度镀膜实现对x光的塑形和单色，还可通过对膜层材料、膜厚、镀膜层数等参数的设计和控制，来实现带宽和反射率的灵活调整。如窄带宽的高分辨多层膜，以及宽带宽的高积分反射率多层膜。要实现高分辨：首先要选择对比度较低的镀膜材料，如be、c、b4c、或al2o3；其次减小膜的厚度，多层膜的厚度降为10~20å；最后增加镀膜层数，几百甚至上千。from c. morawe, esrf多层膜的特点示例—和现有器件的高度兼容左侧: [ru/c]100, d = 4 nm r 80% for 10 e 22 kev中间: si111 δorientation0.01°右侧: [w/si]100, d = 3 nm r 80% for 22 e 45 kevdcmm at sls, switzerland, m. stampanoni精密、灵活的膜层设计和镀膜控制镀膜材料的组合搭配；d/2d值的设计和控制；带宽和反射率的灵活调整。和现有器件的高度兼容多层膜主流应用方向目前，多层膜的主流应用方向和场景主要有：粉末、x射线荧光、单晶衍射以及同步辐射的单色、衍射、散射装置搭建。粉末衍射x射线荧光单晶衍射同步辐射基于dac的原位高压静态x射线衍射典型的静高压研究中，常利用金刚石对顶砧来获得一些极端条件。在极端的高压、高温下，利用x射线来诊断新的物相及其演化过程是重要的研究手段。x-ray probe利用金刚石对顶砧可以获得极端条件(数百gpa, 几千°c) 利用x射线探针来诊断和发现新物相；由于对x光源、探测器以及实验技术等方面的苛刻要求，尤其是需要将微束的x光，精准的穿过样品而不打到封垫上。长期以来，基于dac的x射线高压衍射实验只能在同步辐射实现。但同步辐射有限的机时根本无法满足庞大的用户需求。不能在实验室进行基于dac的x射线高压衍射实验和样品筛选，一直是广大高压科研群高压衍射实验室体的一大痛点。以多层膜镀膜工艺为技术核心，将多层膜镜片与微焦点x光源耦合，我们可以为科研用户提供单能微焦斑x射线源，使得在实验室实现高压衍射成为可能。下图是利用mo靶（左）和ag靶（右）单能微焦斑x射线源获得的dac加载下的lab6样品的衍射图。曝光时间300s，探测器为ip板，样品和ip板距离为200mm。可以看到：300s曝光获得的衍射数据质量是可接受的。特别地，对于银靶，由于其能量更高，可以压缩倒易空间，在固定的2thelta角范围内，可以获得更多的衍射信息，这对于很多基于dac的静高压应用来说非常有吸引力。dac加载下的lab6样品的衍射数据：多层膜耦合mo靶（左）和ag靶（右）曝光时间300s，探测器为ip板，样品和ip板距离为200mmbernd hasse, proc. of spie vol. 7448, 2009 (doi: 10.1117/12.824855)基于激光驱动超快x射线衍射在利用激光驱动的x射线脉冲进行超快时间分辨研究中，泵浦探针是常用的技术手段。脉宽为几十飞秒的入射激光经分束后，一路用于激发超快x射线脉冲，也就是探针光；另一路经倍频晶体倍频作为泵浦光。通过延时台的调节，控制泵浦激光和x射线探针到达样品的时间间隔，可实现亚皮秒量级时间分辨的测量。而在基于激光驱动的超快x射线衍射实验中，如何提升样品端的光通量？如何获得低发散角的单色光束？如何抑制飞秒脉冲的时间展宽？如何同时兼顾以上的实验要求？都是需要考虑的问题。很多时候还需要兼顾多个技术指标，所以我们非常有必要对各类光学组件和x射线飞秒脉冲源的耦合效果和特点有一个比较清晰的认知。四种光学组件和激光驱动x射线源的耦合效果对比首先我们先对弯晶、多层膜镜、多毛细管和单毛细管四种组件的聚焦效果有个直观的了解。以下是将四种光学组件和激光驱动飞秒x射线源耦合，然后进行了对比。四种光学组件在聚焦和离焦位置的光斑：激光参数：800nm/1khz/5mj/45fs源尺寸：10um 打靶产额：4*109 photons/s/sr这是四种组件的理论放大倍率和实测聚焦光斑的对比。可以看到：弯晶和多层膜的工艺控制精度很高，实测光斑和理论值比较接近。而毛细管的大光斑并不是工艺精度的误差，而是反射型器件的色差导致的，不同能量的光都会对聚焦光斑有贡献，导致光斑较大。而各种组件的工艺误差，导致的强度不均匀分布，则是在离焦位置处的光斑中得到较为明显的体现。ge(444)双曲弯晶多层膜镜片单毛细管多毛细管放大倍率1270.7收集立体角 (sr)+---++反射率--+++-有效立体角 (sr)---+++1维会聚角 (deg)+---++耦合输出通量(ph/s)---+++聚焦尺寸 (μm)2332155105光谱纯度好好差差时间展宽 (fs)++++--激光参数：800nm/1khz/5mj/45fs打靶产额：4*109 photons/s/sr等级: ++ + - --利用针孔+sdd，在单光子条件下，测量有无光学组件时的强度和能谱，可以推演出相应的技术参数。这里我们直接给出了核心参数的总结对比。其中，大多数用户最为关注，同时也是对于实验最为重要的，主要是有效立体角、输出光通量、光谱纯度和时间展宽。可以看到：典型的有效收集立体角在-4、-5sr的水平，而在样品上的输出光通量在5-6次方每秒这样的水平。但是需要指出的是：毛细管并不具备单色的能力，虽然有效立体角大，但输出的是复色光。对于时间展宽的比较，很难通过实验手段获得测量精度在几十到百飞秒水平的结果，所以主要通过理论分析和计算来获得。对于同为衍射型组件的ge(444)双曲弯晶和多层膜镜片，光程差引入项主要是x光在组件内的贯穿深度。对于ge(444)，8kev对应的布拉格角约为70度，x光的衰减长度约为28um，对应的时间展宽约90fs。对于多层膜镜片，因为它属于掠入射型的衍射组件，x光的衰减长度在um量级，对应的时间展宽甚至可以到10fs水平，因此这里的数据相对比较保守的。而对于毛细管这种反射型器件，光程差引入项主要是毛细管的长度差。对于单毛细管，光程差在10fs水平，对于多毛细管，位于中心区域和边缘的子毛细管长度是有较大的差异的，光程差可达ps水平。小结1. 弯晶：单色性好、时间展宽较小、有效立体角小、输出通量低；2. 多层膜：单色性好、时间展宽较小、有效立体角大、kα输出通量高；3. 单毛细管：复色、时间展宽很小、有效立体角大、复色光通量高；4. 多毛细管：复色、时间展宽较大、有效立体角最大、复色光通量最高。每一种光学组件都有其适用的场景，对于非单色的超快应用，如超快荧光、吸收谱，毛细管可能更为合适，而对于追求单色的超快应用，如超快衍射，多层膜是比较好的选择，兼顾了单色性、时间展宽和有效立体角（输出通量）三个核心指标！如果您有任何问题，欢迎联系我们进行交流和探讨。北京众星联恒科技有限公司致力于为广大科研用户提供专业的x射线产品及解决方案服务！

中国科学技术大学作为中国科学院所属的一所以前沿科学和高新技术为主、兼有医学和特色文科的综合性全国重点大学，在量子信息、单分子科学、高温超导、纳米科学、地球环境、生命与健康等前沿领域取得了一批具有世界水平的科研成果。前沿的研究离不开仪器的支持，中国科学技术大学是科研成果的产出大户，也是科学仪器的使用大户。2月15日，中国科学技术大学公布了一批2022年政府采购意向，采购项目涉及透射电子显微镜、高分辨质谱仪、极低温扫描隧道显微镜、无液氦综合物性测量系统、X射线光电子能谱仪、小动物PET/CT成像系统、疲劳试验机等多种仪器类型，预算金额相加达8.5亿元（详情链接）。6月9日，中国科学技术大学再公布一批2022年政府采购意向，采购项目涉及纳米压痕仪、圆偏振荧光光谱仪、流式细胞分选仪、X射线衍射仪、三维纳米物性测试仪、X射线三维成像分析系统、离子束刻蚀机等仪器设备，总预算约2.8亿元，详情如下：序号采购项目预算金额（万元）预计采购日期项目详情1纳米压痕仪1986月详情链接2圆偏振荧光光谱仪2306月详情链接3流式细胞分选仪1906月详情链接4飞行时间质谱仪1686月详情链接5三维纳米物性测试仪3206月详情链接6磁控溅射系统3206月详情链接7质子转移反应飞行时间质谱仪3906月详情链接8东区科研楼B区中央空调改造1206月详情链接9超净实验室中央空调改造1206月详情链接10化学试剂采购4806月详情链接11高新园区图书馆科技成果展厅1206月详情链接12稀释制冷机1557月详情链接13核磁共振波谱仪3207月详情链接14拉曼光谱仪1607月详情链接15流式细胞分选仪1907月详情链接16热工设计与系统安全分析软件1707月详情链接17脉冲激光沉积设备2257月详情链接18液氦恒温器1997月详情链接19X射线三维成像分析系统10007月详情链接20电子顺磁共振波谱仪（EPR）4007月详情链接21自动进样高分辨X射线衍射仪1307月详情链接22X射线衍射微区分析系统1807月详情链接23共焦拉曼光谱系统1907月详情链接24低温扫描探针显微镜系统4407月详情链接25ICP–RIE刻蚀系统5007月详情链接26超导磁体系统3508月详情链接27会议室硬件系统1708月详情链接28Nd:YAG激光器1988月详情链接29微波功率源2608月详情链接30材料试验机高温炉系统1708月详情链接31高新园区图书馆语言学习培训中心1008月详情链接32改善基本办学条件60008月详情链接33改善基本办学条件70008月详情链接34光学望远镜1309月详情链接35速调管1509月详情链接36脉冲调制器1509月详情链接37离子束刻蚀机10009月详情链接38紫外光刻机2509月详情链接39安徽省教育和科研计算机主干网专线租用（1年）1109月详情链接40单双站信号收发系统及其配套设备4459月详情链接41脉冲IV/射频表征系统1909月详情链接42飞秒激光加工系统4509月详情链接43会议服务4009月详情链接44扫描转台13010月详情链接45软X射线共振散射光束线52010月详情链接46超导高频水平测试防辐射棚屋65010月详情链接47高精度反射镜14010月详情链接48波荡器73010月详情链接49融合计算系统扩容购置65010月详情链接50载车移动平台19811月详情链接51液氦扫描探针系统43011月详情链接52东区科研楼A区空调改造14512月详情链接

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3月14日，“淄博高新区2013年工作会议、2012年度总结表彰会议暨“项目建设深化年”动员大会透露的信息显示，今年淄博高新区将投资171.95亿元力争新开工38个项目。淄博高新区将围绕建设“新材料科技城”，全力壮大新材料高端产业链项目，统筹带动新装备、新能源、新电子、新医药四大关联产业发展，形成全国新材料产业发展高地，并加强与中航工业北京航空材料研究院战略合作，不断完善航空钛、航空铝、航空复合材料等产业链条，形成产业链完善的百亿级、千亿级产业集群。 　　在此次会议进行的同期，淄博高新技术创业服务中心也开始了相关仪器的采购，其中无机非金属材料公共技术服务平台分三批次采购了近1500万元的仪器，下面是采购的结果。 项目编号 包号 采购内容 台数 中标单位 中标金额（万元） ZGXTP201306 1 搅拌磨 2台 --- 废标 2 高温抗折试验机 1台 洛阳市谱瑞慷达耐热测试设备有限公司 69.9 陶瓷抗热震性测试仪 1台 耐火度炉（红外可视） 1台 荷软蠕变试验仪 1台 应力应变仪 1台 3 碳钨研磨机 1台 济南玉玺仪器有限公司 55.69 刚玉研钵 30个 玛瑙研钵 10个 实验室蜂窝陶瓷挤出机， 1台 真空练泥机（实验室用） 1台 胶混机（开炼机） 1台 陶瓷注射成型机 1台 冷等静压机 1台 粉末压片机 1台 4 无釉砖耐磨试验机 1台 宁夏机械研究院（有限责任公司） 25.63 陶瓷吸水率真空装置 1台 陶瓷砖釉面抗龟裂蒸压釜 1台 陶瓷砖综合尺寸测定仪 1台 陶瓷砖抗冻性试验机 1台 陶瓷砖抗热震性试验机 1台陶瓷砖静摩擦系数测定仪 1台 5 粉碎机 1台 潍坊达盛仪器设备有限公司 54.4 振动台 1台 鞍座移动式平面磨床 1台 自动钻铣床 1台 切割机 1台 砂磨机 1台 6 高压反应釜 2台 济南玉玺仪器有限公司 73.7 手套箱 1台 高分子成型机（自动硫化成型机） 1台 静电纺丝设备 1台 高温熔块炉 1台 等离子喷涂设备 1台 7 电热鼓风干燥箱 8台 潍坊驰翔科技贸易有限公司 89.5 电子单纤维强力仪 1台 多功能束纤维强力机 1台 散射式光电浊度计 1台 超声波清洗器 3台 高压电源 1台 低频交变脉冲电源 1台 紫外加速老化试验机 1台 高分子材料防火性能系列测试仪 1台 超高压直流耐压测试器 1台 高低温实验箱 1台 冷冻干燥机 1台 防爆烘箱 1台 离心喷雾干燥机 1台 磁力搅拌器 20台 纯水机 5台 ZGXTP201307 1 铁电分析仪 1台 德仪国际贸易（上海）有限公司 130.85 2 全谱直读电感耦合等离子发射光谱仪(ICP) 1台 济南恩齐科技发展有限公司 132.8 原子吸收光谱 1台 3 傅立叶变换红外光谱仪 1台 济南海能仪器股份有限公司 112.8 综合热分析仪(差热\失重一体) 1台 4 氧氮氢分析仪 1台 中国科学器材公司 68.9 5 纳米粒度分析仪 1台 山东伟恩商贸有限公司 75 激光衍射粒度分析仪 1台 6 阻抗分析仪 1台 济南优拓经贸有限公司 49.88 7 微波消解仪（高温） 1台 山东东岳国际经贸合作股份有限公司 43.9 微波合成仪 1台 ZGXTP201308 1 多功能粉末流动性测定仪 1台 济南汇海龙盛科技有限公司 78.5 2 热机械分析仪 1台 济南海能仪器股份有限公司 71.2 3 激光热导率仪 1台 济南博扬分析仪器有限公司 164.9 4 比表面积及孔径分析仪 1台 中国科学器材公司 85.8 高性能全自动压汞仪 1台 5 电子台秤 1台 济南东方科信科技发展有限公司 59.98 电子天平 10台 数显维氏显微硬度计 1台 6 热电参数测量仪 1台 济南优拓经贸有限公司 62.88 7 快速热处理系统 1台 北京凯普瑞盛科技有限公司 37 8 显微镜及图像处理系统 1台 北京普瑞赛司仪器有限公司 31 相关采购信息：淄博高新区生物医药公共技术服务平台采购304台仪器

1月28日讯(通讯员 宋伟光 亓杰)近日，国家科技部下发通知，同意烟台高新区山东绿叶制药股份有限公司“长效缓控释和靶向制剂及技术”等56个国家重点实验室的建设申请，实现了烟台市“国家重点实验室”零的突破。 　　国家重点实验室作为国家技术创新体系的重要组成部分，是开展行业应用基础研究、聚集和培养优秀科技人才、开展科技交流的重要基地，是发展共性关键技术、增强技术辐射能力、推动产学研相结合的重要平台。入选国家重点实验室后，国家将通过政策、科技立项等方式，对企业国家重点实验室的建设、运行和科研工作全力支持。同时，科技部确定将在“863”计划、“973”计划及各类国家科技支撑计划中对国家重点实验室进行倾斜，优先支持国家重点实验室承担的具有技术前瞻性的科研项目。 　　“长效缓控释和靶向技术实验室”将瞄准国际创新药物制剂研发的技术前沿，针对医药产业和行业发展需求，重点开展长效和靶向注射给药制剂及其高端辅料的研制开发工作。“长效缓控释和靶向技术实验室”跻身国家重点实验室行列，标志着绿叶制药在创新药物的研究开发方面走在了全国前列，将提升我国医药产业的整体水平与国际竞争力，对于促进和带动创新型城市建设将会产生十分重要的示范作用。

仪器信息网搜索覆盖了用户找仪器、找厂商、找方案、查资料的全场景需求，每月为用户执行数百万次搜索请求。特有的多模态语义算法，将科学仪器行业碎片化的信息分门别类，为用户打造了一款高质量内容的行业搜索。近期国家财政贴息贷款的利好消息推动国内高校、科研院所纷纷启动仪器设备更新改造工作，我国科学仪器行业迎来一波仪器采购大潮。10月仪器热搜词变化较大，质谱、电镜等仪器需求量增长较快！特整理10月用户热搜词表，以飨读者。一、10月仪器热搜词TOP101、化学分析仪器热搜词TOP10TOP热搜词TOP热搜词1离子色谱6液相色谱2气相色谱7XRDnew3ICP-MS8液质联用4 近红外new9紫外分光光度计5 飞行时间质谱new10 红外光谱仪new2、 实验室常用设备热搜词TOP10TOP热搜词TOP热搜词1离心机6纯水机2氮气发生器7旋转蒸发仪3微波消解仪8磁力搅拌器new4马弗炉9洗瓶机5氮吹仪10氢气发生器3、 生命科学仪器及设备热搜词TOP10TOP热搜词TOP热搜词1酶标仪new6生物安全柜2流式细胞仪7荧光定量PCRnew3超低温冰箱new8分子互作分析仪new4蛋白纯化系统new9高内涵细胞成像new5数字PCR仪new10核酸提取仪4、 物性测试热搜词TOP10TOP热搜词TOP热搜词1高低温试验箱6硬度计2粘度计7DSC3激光粒度仪8密度计4流变仪9熔点仪5热重分析仪10 万能试验机new5、 环境监测仪器用户热搜词TOP10TOP热搜词TOP热搜词1TOC6烟气分析仪2COD7水质分析仪3 BODnew8VOC4红外测油仪9测油仪new5非甲烷总烃10大气采样器new6、 光学仪器热搜词TOP10TOP热搜词TOP热搜词1扫描电镜6冷冻电镜new2原子力显微镜7体视显微镜new3透射电镜8红外热像仪new4 共聚焦显微镜new9椭圆偏振仪new5旋光仪10能谱仪new7、 半导体行业专用仪器TOP10TOP热搜词TOP热搜词1光刻机6退火炉new2ALD7 化学气相沉积new3磁控溅射8显影机new4探针台9 芯片分选机new5匀胶机10四探针二、10月消耗品热搜词TOP10TOP热搜词TOP热搜词1气相色谱柱6保护柱new2液相色谱柱7滤芯new3电缆new8橡胶制品new4阀门new9毛细管柱new5手性柱new10lednew三、10月厂商热搜词TOP10TOP热搜词TOP热搜词1安捷伦6沃特世2赛默飞7谱育3岛津8 赛多利斯new4珀金埃尔默9 钢研纳克new5布鲁克10莱伯泰科四、10月行业相关热搜词TOP10TOP热搜词TOP热搜词1锂电池6微塑料2白酒new7农药残留3化妆品8 燃料电池new4 贴息贷款new9土壤三普5 地下水new10中国药典扫码，搜一搜！

日立高新技术公司最新球差校正透射电子显微镜HF5000 2016年10月17日，天美科学仪器有限公司与日立高新技术公司联合主办的“球差校正透射电镜HF5000新品发布会”在北京北大博雅国际酒店召开。近四十名来自个科研院所、高校的专家学者出席了本次发布会。 日立高新北京分公司总经理加藤先生和天美中国副总裁赵薇女士分别致辞，感谢各位专家学者参加本次发布会，并表示HF5000是日立新研制的200kV球差校正透射电镜，具有优秀的性能和很多新颖实用的设计，是一款旗舰产品，欢迎大家交流讨论。日立高新北京分公司总经理加藤博司先生致辞天美公司副总裁赵薇女士致辞 中科院理化所公共仪器平台主任孟祥敏研究员为发布会致辞。孟祥敏研究员对日立电镜的品质给予了充分的肯定，并表示球差校正透射电镜是一个日益增长的市场，日立新发布的球差校正透射电镜HF5000使研究人员多了一个选择。同时，他提出球差透射电镜售后服务普遍不足的问题，并希望天美和日立在球差电镜产品上面能为用户提供更好的服务。最后，他祝愿日立和天美发展的越来越好。中科院理化所公共仪器平台主任孟祥敏研究员致辞 章效锋博士自2006年起受聘于日立高新，作为资深透射电镜专家，参与了HF5000的设计。本次发布会中，章博士为大家详细介绍了HF5000的技术特点。该机型采用新型高稳定冷场发射电子枪，内置日立高新的全自动球差校正器，可一键操作实现自动球差校正。HF5000具有TEM、STEM、SEM三位一体和电子衍射等多种图像观察模式，可同时获取样品内部结构和表面形貌。HAADF-STEM模式点分辨率可以达到0.78埃，二次电子像可达原子级分辨率。HF5000最多可配置两个无窗EDS探头，其固体角最大可达2.0sr，可实现快速、高效高灵敏的元素分析需求。非常适用于繁忙的分析测试中心和设备平台。同时章博士介绍了HF5000的应用实例，并回答了与会专家提出的问题。 随后，章效锋博士介绍了日立原位环境透射电镜H-9500 ETEM、HF-3300 ETEM/STEM/SEM（选配球差校正器）。环境透射电镜可以通过特制样品台施加外场刺激，实时观察样品的变化。章博士透露，国内H-9500的用户都在短时间内取得了非常好的研究成果。章效锋博详细介绍了日立最新球差透射电镜HF5000西安交大谢德刚博士做了名为“环境透射电镜在研究氢与金属交互作用中的应用”的报告 西安交大在2012年6月就与日立高新公司合作成立了西安交大-日立联合研发中心，中心拥有日立H-9500环境透射电子显微镜，日立SU6600可变气压场发射扫描电镜，单智伟教授任主任。研发中心副主任解德刚博士受邀参加了本次发布会，并报告了环境透射电镜在研究氢与金属交互作用中的应用，包括氢损伤和与氢脆、热处理对微纳尺度材料力学行为的影响、纳米金属材料的气相摧化、锂电池和钠电池等原位研究等成果。 会议在和谐的气氛中进行，现场讨论热烈，最后集体与会人员参加了合影。关于天美：　　天美(控股)有限公司(“天美(控股)”)从事表面科学、分析仪器、生命科学 设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销 为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。继2004年於新加坡SGX主板上市后，2011年12月 21日天美(控股)又在香港联交所主板上市(香港股票代码1298)，成为中国分析仪器行业第一家在国际主要市场主板上市的公司。近年来天美(控股)积极 拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国 Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司、英国 Edinburgh Instruments公司等多家海外知名生产企业和布鲁克公司Scion气相和气质产品生产线，加强了公司产品的多样化。　　更多详情欢迎访问天美(中国)官方网站：http://www.techcomp.cn

p 　　2015年7月21日，日立高新宣布推出200kV场发射 a title=" " href=" http://www.instrument.com.cn/zc/1139.html" target=" _self" strong 透射电子显微镜 /strong /a span style=" COLOR: rgb(84,141,212)" /span HF5000，HF5000集合了日立高新的透射电镜及扫描透射电镜技术，达到了亚埃级的空间分辨率(0.1 nm或更低)，球差校正器为其标准配置。将于2015年10月正式启动销售。 /p p 　　从纳米材料、电子器件的科学研究，到企业研发及质量控制，用户对于电子显微镜的空间分辨率及元素分析能力的需求都在提升。这反过来也促进了对于电子显微镜像差校正和高灵敏度分析的需求。 /p p 　　为了响应这方面的需求，日立高新开发了200kV及300kV透射电镜专用的STEM球差校正器和大立体角EDX。根据用户的反馈，日立高新将这两种技术整合到了200kV的透射电镜平台上，推出了HF5000场发射透射电镜，同时实现了亚埃级的高分辨率成像和高灵敏度分析。 /p p style=" TEXT-ALIGN: center" img title=" 23.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201507/insimg/a29bbaca-f26c-47cf-aceb-83c7b04e8ec7.jpg" / /p p style=" TEXT-ALIGN: center" HF5000透射电镜 br/ /p p 　　HF5000继承了日立高新HD-2700扫描透射电子显微镜的技术特点，如它的内部球差校正器，自动像差校正功能，原子分辨率的二次电子像，并综合了日立高新HF系列透射电镜的技术。 /p p 　　另外，HF5000采用了日立高新经过考验而被认可的冷场发射电子枪技术，并且它的镜筒和样品台经过了重新的设计，从而显著提升了仪器的性能和稳定性。 /p p & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp strong 主要技术参数 /strong br/ /p p style=" TEXT-ALIGN: center" img title=" 3.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201507/insimg/2bdb33e9-e1c4-4a12-880a-83b462498079.jpg" / /p

近年来，沈阳市民营企业规模实力逐渐增强，创新能力随之提升，转型升级不断加快。今年初，沈阳市工商联首次开展民营企业“就业百强、纳税百强、科技创新百强、规模百强”评选活动，通过对民营企业的百强排名，更进一步展示其风采和形象，发挥百强企业的领头雁作用。2019年8月5日沈阳市工商业联合会发布了2018年度沈阳市民营企业“就业百强”“纳税百强”“科技创新百强”“规模百强”名单。沈阳科晶成功入选沈阳市“科技创新百强企业”。这次评选由13个部门参与，评选委员会主任由市政府主管民营经济工作的领导担任，并明确了由市工商联牵头组织，市人社局、税务局、科技局、工信局、统计局等13个部门共同参与。委员会首先确定了“四个百强”企业的评选标准，并由人社局、税务局、科技局、工商联、统计局按照评选标准分别组织评选出120家候选企业后，向应急管理、环保、法院、税务、人社、公安、人民银行进行征信认证，然后将征信筛选出的候选名单提报评选委员会审核和综合评议，确定出“四个百强”企业入围名单，并提报市委、市政府审定，最终确定了此次评选结果。 “科技创新百强”入围企业的效益明显高于全市整体水平，100家企业营业收入总体规模为562亿元。从行业分布看，入围企业全面覆盖了国家重点支持的八大高新技术领域，其中前五名的行业是：先进制造技术41家、生物与新医药18家、新材料15家、电子信息10家、高新技术服务6家。从区域分布看，除新民市、辽中各有2家，法库有1家企业上榜外，其余95家企业均分布在市内九区，其中浑南区依然最多，有34家企业入围。这份来之不易的荣耀与每一位科晶人的努力和坚守密不可分 ，沈阳科晶将继续秉承务实、奉献、拼搏、诚信、创新、责任、奋发进取、用户至上的企业理念，与广大客户相扶相持共同成长，相信在不久的将来，沈阳科晶将会成为国际市场上专业的、杰出的材料分析设备品牌。让我们凝心聚力共奋斗，砥砺前行再起航！ 产品推荐STX-202A小型金刚石线切割机SYJ-200自动精密切割机SYJ-400 CNC划片切割机 32工位高通量XRF检测仪MSK-NFES-3C台式静电纺丝机GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪 PCE-6小型等离子清洗机VTC-100PA真空旋转涂膜机,匀胶机

为优化政府采购营商环境，提升采购绩效，《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定要求各预算单位按采购项目公开采购意向，内容应包括采购项目名称、采购需求概况、预算金额、预计采购时间等。近两年来，各大高校、科研院所等纷纷在相关平台公布本单位政府采购意向。中国科学院半导体研究所以国家重大需求为导向，开展前沿基础和应用技术研究，拥有2个国家级研究中心、3个国家重点实验室、2个院级实验室，并设有半导体集成技术工程研究中心、光电子研究发展中心、半导体照明研发中心、全固态光源实验室和元器件检测中心等，与地方政府、科研机构、大学和企业等共建了近40个联合实验室，在半导体领域取得了一系列科研成果，培养了一批批优秀人才。成果的产出和人才的培养都离不开仪器的支持，中国科学院半导体研究所每年都会投入一定的经费采购科学仪器，以建立具有国际先进水平的实验研究和测试平台。为方便仪器信息网用户及时了解仪器采购信息，本文特对中国科学院半导体研究所2022年1至12月政府采购意向进行了整理汇总。共收集到41个采购项目，预算金额相加达1.7亿元，采购品目涉及高分辨场发射透射电子显微镜、扫描电子显微镜、双腔分子束外延系统、金属有机气相化学沉积、高真空化学沉积系统、高分辨X射线衍射仪等多种仪器类型。中国科学院半导体研究所2022年政府采购意向汇总表序号项目名称预算金额（万元）采购日期项目详情1超低振动无液氦闭循环低温恒温器1802月详情链接2矢量超导磁体1902月详情链接3反应磁控溅射系统2933月详情链接4反应磁控溅射光学膜镀膜机2453月详情链接5低温真空面内磁场旋转探针台1004月详情链接6低温PL mapping测试设备230.025月详情链接7高分辨场发射透射电子显微镜8005月详情链接8双腔分子束外延系统（MBE）19835月详情链接9扫描电子显微镜（SEM）418.15月详情链接10ICP刻蚀机3555月详情链接11离子束沉积系统7005月详情链接12超高精密加工飞秒激光光源1665月详情链接13微光红外显微镜2805月详情链接14可调谐飞秒光参量放大器1515月详情链接15光/电芯片贴片键合系统1795月详情链接16高精度光路偏振综合测试系统1106月详情链接17金属有机气相化学沉积（MOCVD）16596月详情链接18超声扫描显微镜1206月详情链接19参数曲线跟踪仪1206月详情链接20窄线宽激光器自动光学耦合机1156月详情链接21高性能计算集群9006月详情链接22高分辨X射线衍射仪2306月详情链接23MOCVD外延生长设备15006月详情链接2467G矢量网络分析仪2297月详情链接25闭式冷却塔3907月详情链接26高分辨X射线衍射仪2207月详情链接27蝶形管壳密封机1217月详情链接28高温气相外延系统1707月详情链接29高分辨场发射透射电子显微镜7009月详情链接30高真空化学沉积系统16009月详情链接31微区荧光测试系统2579月详情链接32基于宽谱光源的光纤电流传感装置测试系统1609月详情链接33人才配套支撑6009月详情链接34变温变磁场输运测量系统1809月详情链接35扫描电子显微镜5309月详情链接36低温半导体参数综合测试设备162.810月详情链接37磁控溅射设备18010月详情链接38高分辨X射线衍射仪229.6410月详情链接39逻辑分析仪15010月详情链接40晶圆表面缺陷扫描测试系统17210月详情链接41高分辨X射线衍射仪22012月详情链接

落地青岛市精密仪器仪表产业园，拥有青岛市精密仪器仪表产业“链主”企业，汇聚海克斯康、鼎信通讯、艾普智能等一批产业链上下游重点企业……青岛高新区通过出台扶持政策、加大资金奖补力度等方式，持续加大精密仪器仪表产业招引、培育力度，打造北方仪器仪表产业高地。以优质服务助推项目稳落地仪器仪表是工业生产的“倍增器”、科学研究的“先行官”，也是中国制造走向“中国智造”的关键核心。今年4月份，伴随青岛市精密仪器仪表产业园在青岛高新区的揭牌，包括木牛毫米波雷达制造在内的6个精密仪器仪表产业项目签约。如今，木牛毫米波雷达制造项目已完成内部装修，预计年底前投用。毫米波雷达是通过电磁波反射实现监测预警的传感技术，可广泛应用于辅助驾驶、智能家居、健康监测等领域。该项目总投资1亿元，计划建设5条毫米波雷达生产线，达产后可实现年产设备500万台。据悉，在该项目落地过程中，青岛高新区不仅为其减免了租金，还为其提供了市场对接等方面的服务，确保项目按计划推进。“帮我们与银行对接，做生产厂区的选择推荐，政策租金的减免，对我们人才引进的支持和帮助，和隐形客户的介绍、牵线搭桥，让我们更有信心与高新区政府开展长期的合作。”木牛（青岛）科技有限公司负责人林春鹏表示。产业链上下游重点企业集聚伴随青岛市精密仪器仪表产业园的启用，6个精密仪器仪表产业项目签署合作协议，青岛高新区精密仪器仪表产业规模初显，集聚了一批产业链上下游重点企业。全球最大的三坐标测量仪器制造商海克斯康，国内单相电能表产量最高的生产企业鼎信通讯，微电机检测系统连续5年国内排名第一的艾普智能……截至目前，产业园已集聚上下游重点企业26家。其中，海克斯康在精密计量领域拥有200多年的丰富经验，拥有全球测量精度最高、测量范围最大和产品线最广的计量产品和方案，在工业传感器领域和工业软件领域拥有14项全球首创产品，8项“世界之最”测量技术。青岛艾普智能仪器有限公司创新性地将原先只能在实验室才能开展的质量检测方式引入到生产线中，填补了国内行业空白。力争5年实现营收破300亿元日前，青岛市政府办公厅印发《青岛市精密仪器仪表产业园发展若干政策》（以下简称“政策”），政策共涵盖十条支持措施。青岛将连续三年由市财政每年出资1亿元用于园区建设，同时从加速优质项目集聚、支持企业规模化发展、支持企业加强科技创新、鼓励产品推广应用等方面给予支持。锚定精密仪器仪表赛道，青岛高新区不断加大龙头、领军企业的招引力度，并注重延链、补链、强链，目前已汇聚海克斯康、鼎信通讯等一批产业链上下游重点企业，产业规模约占青岛市三分之一，2022年辖区精密仪器仪表产业营收规模突破70亿元，增速超30%。伴随占地2900亩青岛市精密仪器仪表产业园的落地，将重点发展工业测控系统与装置、实验分析仪器、传感器及核心元器件三大领域。“我们聘请专业机构编制了高水平产业规划，出台了园区专项支持政策，组建了专业招商队伍，设立了总规模7亿元的产业基金，加快集聚产业资源，营造良好产业生态。”青岛高新区管委会经济发展部副部长康凤表示。接下来，青岛高新区将以服务企业发展为抓手，推进产业集聚，实现精密仪器仪表产业高质量发展，力争到2028年，相关产业营收规模突破300亿元，“四上”及高新技术企业数量达到180家以上。

近日，广东监管局披露了关于广东汇成真空科技股份有限公司（以下简称：汇成真空）辅导备案登记受理信息，其辅导机构为东莞证券，已于6月21日办理了辅导备案登记。资料显示，汇成真空是一家面向全球的真空应用解决方案提供商，研发、生产和销售各类真空设备、半导体设备、电子生产设备、光电设备、光伏设备、动力电池设备及产品相关配件的国家高新技术企业，专注设备与产品的相关制造工艺和应用技术、控制软件、工艺流程控制软件及相关生产自动化软件的研发、应用，并提供技术转让、技术咨询和技术服务。今年4月，汇成真空与中科院兰州化学物理研究所、中国科学宁波材料技术与工程研究所合作的“面向5G高频高速覆铜板用大面积柔性纳米薄膜镀膜设备研发及产业化”项目完成签约，此项目针对5G高频高速小型、轻量及薄型化柔性覆铜板工艺需求，开发出大面积柔性纳米薄膜等离子体磁控溅射镀膜设备与工艺，实现装备产业化。在5G技术带动下，电子资讯工业近几年来在中国的迅速发展，结合各种相关产业，已经成为中国最为蓬勃发展、举足轻重的新兴产业，汇成真空多年来坚持自主研发，在光学薄膜设备、功能涂层设备、柔性薄膜设备、大面积镀膜设备等领域拥有多项PVD专利技术，此次与中科院兰州化学物理研究所、中国科学宁波材料技术与工程研究所共同研发合作，建设“面向5G高频高速覆铜板用大面积柔性纳米薄膜镀膜设备研发及产业化”的项目，推动传统覆铜板产品结构面向5G时代需求的转型升级发展。

精密仪器仪表产业是推动经济发展、科技进步的重要力量，也是青岛面向未来重点布局发展的新兴产业之一。青岛高新区通过出台扶持政策、加大资金奖补力度等方式，持续加大精密仪器仪表产业招引、培育力度，打造北方仪器仪表产业高地。近日，位于青岛高新区的木牛毫米波雷达制造项目完成内部装修，即将进入机电安装阶段，预计年底前投用。毫米波雷达是通过电磁波反射实现监测预警的传感技术，具有精准度高、探测距离广、抗干扰能力强等优势，可广泛应用于辅助驾驶、智能家居、健康监测等领域。项目总投资1亿元，计划建设5条毫米波雷达生产线，达产后可实现年产设备500万台。在项目落地过程中，高新区不仅为其减免了租金，还提供市场对接等方面的服务，确保项目按计划推进。木牛（青岛）科技有限公司负责人林春鹏：“对当地银行的对接，帮我们做生产厂区的选择推荐，政策租金的减免，对我们人才引进的支持和帮助，和隐形客户的介绍、牵线搭桥，让我们更有信心与高新区政府开展长期的合作。”青岛高新区管委投资促进部高级招商总监华熙凤：“通过产业政策加持、资本助力，建设有科学家支撑的公共服务平台、科学研究院；链接青岛优势产业市场背景，在应用链安全，自主可控等方面为我国仪器仪表产业高质量发展提供‘青岛样本’。”锚定精密仪器仪表赛道，青岛高新区加大龙头、领军企业的招引力度，并注重延链、补链、强链，目前已汇聚海克斯康、鼎信通讯等一批产业链上下游重点企业，产业规模约占全市三分之一，2022年辖区精密仪器仪表产业营收规模突破70亿元，增速超30%。日前，青岛市精密仪器仪表产业园在高新区落地，园区占地约2900亩，将重点发展工业测控系统与装置、实验分析仪器、传感器及核心元器件三大领域，为高新区打造精密仪器仪表产业集群再添“生力军”。青岛高新区管委经济发展部副部长康凤：“聘请专业机构编制了高水平产业规划，出台了园区专项支持政策，组建了专业招商队伍，设立了总规模7亿元的产业基金，加快集聚产业资源，营造良好产业生态。”未来，青岛高新区将继续以服务企业发展为抓手，推进产业集聚，实现精密仪器仪表产业高质量发展，力争到2028年，相关产业营收规模突破300亿元，“四上”及高新技术企业数量达到180家以上。

html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 哈工大郑州研究院磁控溅射镀膜机等一批设备采购项目公开招标公告 河南省-郑州市 状态：公告 更新时间： 2023-10-22 哈工大郑州研究院磁控溅射镀膜机等一批设备采购项目公开招标公告 一、项目基本情况 1.采购项目编号：豫教招标采购-2023-112 2.采购项目名称：哈工大郑州研究院磁控溅射镀膜机等一批设备采购项目 3.采购方式：公开招标 4.预算金额：260万元 最高限价：260万元 序号 包名称 包预算（万元） 包最高限价（万元） 1 哈工大郑州研究院磁控溅射镀膜机等一批设备采购项目 260 260 5.采购需求 5.1项目概况：根据哈工大郑州研究院需要，需对磁控溅射镀膜机、手套箱、电化学工作站等四十五项仪器设备进行采购，项目已具备采购条件，现对该批次仪器设备进行公开招标。 5.2采购内容包括：手套箱、电化学工作站、测试系统、恒温试验箱、电池封装机、切片机、高低温箱、压片机、旋转圆盘电极仪、超纯水机、冷冻干燥仪、超声机、电子天平、马弗炉、管式炉、鼓风烘箱、真空烘箱、分子泵、机械泵、抛光机、探针台、磁控溅射镀膜机等一批仪器设备的采购、运输、安装、培训等工作内容。 5.3资金情况：资金已落实。 5.4包段划分：不分包。 5.5交货期：合同签订后2个月内。 5.6交货地点：采购人指定地点。 5.7质量标准：符合国家或行业规定的合格标准，满足采购人提出的技术标准及要求。 5.8验收标准：满足采购人的验收标准及要求。 5.9质保服务要求：国产设备免费质保3年，进口设备免费质保1年（从验收合格之日起计算）。 6.合同履行期限：合同签订至质保期满。 7.本项目是否接受联合体投标：否 8.是否接受进口产品：是 9、是否专门面向中小企业：否 二、申请人资格要求 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定： 1.1供应商须具有法人或者其他组织的营业执照等证明文件； 1.2供应商须具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度，企业财务状况良好，没有财务被接管、破产或其他关、停、并、转情况的，须提供2022年度经审计的财务报告或其基本开户银行出具的资信证明； 1.3供应商须具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录，提供本年度任意一个月的企业依法缴纳税收和社会保障资金的证明资料； 1.4供应商须具有履行合同所必需的设备和专业技术能力(自拟格式，自行承诺)； 1.5参加政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明(自拟格式，自行承诺)； 1.6其他要求：对参与投标竞争的单位，需承诺2020年1月1日以来供应商、法定代表人、项目负责人无行贿犯罪记录（由供应商出具承诺，格式自拟）； 1.7根据财政部《关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》（财库〔2016〕125号）和豫财购〔2016〕15号的规定，对列入“失信被执行人”、“重大税收违法失信主体”和“政府采购严重违法失信行为记录名单”的潜在供应商，将拒绝其参加本项目招标采购活动； 1.8单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得同时参加本项目的投标【提供在“国家企业信用信息公示系统”中查询打印的相关材料并加盖公章（需包含公司基本信息、股东信息及股权变更信息）】。 2.落实政府采购政策满足的资格要求：无 3.本项目的特定资格要求： 无 三、获取招标文件 1.时间：2023年10月23日至2023年11月11日（北京时间）。每天上午00：00至12：00，下午12：00至23：59（北京时间，法定节假日除外）。 2.方式：供应商报名时需要将法人授权委托书、授权人身份证、被授权人身份证、营业执照副本扫描并发送至项目负责人邮箱291363822@qq.com，对报名合格的供应商在缴费完成后，通过邮箱发送招标文件电子版或供应商携带上述资料到招标代理公司现场购买。 3.售价：300元人民币 户名：河南省教育招标服务有限公司 账号：371903102310201 开户行：招商银行股份有限公司郑州分行农业路支行 联系电话：18736086547扶会计。 四、投标截止时间（投标文件递交截止时间）及地点 1.时间：2023年11月13日9:30（北京时间） 2.地点：河南省教育招标服务有限公司第一开标室 五、开标时间及地点 1.时间：2023年11月13日9:30（北京时间） 2.地点：河南省教育招标服务有限公司第一开标室 六、发布公告的媒介及公示期限 本公告在中国招标投标公共服务平台、河南省电子招标投标公共服务平台、河南省教育招标服务有限公司网、哈工大郑州研究院官网上发布，公告期限为5个工作日。 七、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策： 1.1执行《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库﹝2021﹞46号）； 1.2执行《财政部、司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库﹝2014﹞68号）； 1.3执行《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库﹝2017﹞141号）； 1.4执行《财政部、国家发展改革委关于印发〈节能产品政府采购实施意见〉的通知》（财库﹝2004﹞185号）、《财政部环保总局关于环境标志产品政府采购实施的意见》（财库﹝2006﹞90号）；和《财政部、发展改革委、生态环境部、市场监管总局关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）； 1.5与招标人存在利害关系可能影响招标公正性的法人、其他组织或个人，不得参加投标。单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一标段投标或者未划分标段的同一招标项目投标。 八、凡对本次招标提出询问，请按照以下方式联系 1.采购人信息 名称：哈工大郑州研究院 地址：河南省郑州市郑东新区龙源东七街26号 联系人：薛老师 联系方式：0371-61680818 2.采购代理机构信息 名称：河南省教育招标服务有限公司 地址：郑州市花园路116号河南省农科院院内西南角原农信楼 联系人：田老师、郭老师 联系方式：0371-56058511 3.项目联系方式 联系人：田老师、郭老师 联系方式：0371-56058511 × 扫码打开掌上仪信通App查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容：电化学工作站,天平,高低温试验箱,探针台,超纯水器,电化学部件,切片机,手套箱,压片机,镀膜机 开标时间：2023-11-13 09:30 预算金额：260.00万元 采购单位：哈工大郑州研究院 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：河南省教育招标服务有限公司代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 哈工大郑州研究院磁控溅射镀膜机等一批设备采购项目公开招标公告 河南省-郑州市 状态：公告 更新时间： 2023-10-22 哈工大郑州研究院磁控溅射镀膜机等一批设备采购项目公开招标公告 一、项目基本情况 1.采购项目编号：豫教招标采购-2023-112 2.采购项目名称：哈工大郑州研究院磁控溅射镀膜机等一批设备采购项目 3.采购方式：公开招标 4.预算金额：260万元 最高限价：260万元 序号 包名称 包预算（万元） 包最高限价（万元） 1 哈工大郑州研究院磁控溅射镀膜机等一批设备采购项目 260 260 5.采购需求 5.1项目概况：根据哈工大郑州研究院需要，需对磁控溅射镀膜机、手套箱、电化学工作站等四十五项仪器设备进行采购，项目已具备采购条件，现对该批次仪器设备进行公开招标。 5.2采购内容包括：手套箱、电化学工作站、测试系统、恒温试验箱、电池封装机、切片机、高低温箱、压片机、旋转圆盘电极仪、超纯水机、冷冻干燥仪、超声机、电子天平、马弗炉、管式炉、鼓风烘箱、真空烘箱、分子泵、机械泵、抛光机、探针台、磁控溅射镀膜机等一批仪器设备的采购、运输、安装、培训等工作内容。 5.3资金情况：资金已落实。 5.4包段划分：不分包。 5.5交货期：合同签订后2个月内。 5.6交货地点：采购人指定地点。 5.7质量标准：符合国家或行业规定的合格标准，满足采购人提出的技术标准及要求。 5.8验收标准：满足采购人的验收标准及要求。 5.9质保服务要求：国产设备免费质保3年，进口设备免费质保1年（从验收合格之日起计算）。 6.合同履行期限：合同签订至质保期满。 7.本项目是否接受联合体投标：否 8.是否接受进口产品：是 9、是否专门面向中小企业：否 二、申请人资格要求 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定： 1.1供应商须具有法人或者其他组织的营业执照等证明文件； 1.2供应商须具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度，企业财务状况良好，没有财务被接管、破产或其他关、停、并、转情况的，须提供2022年度经审计的财务报告或其基本开户银行出具的资信证明； 1.3供应商须具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录，提供本年度任意一个月的企业依法缴纳税收和社会保障资金的证明资料； 1.4供应商须具有履行合同所必需的设备和专业技术能力(自拟格式，自行承诺)； 1.5参加政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明(自拟格式，自行承诺)； 1.6其他要求：对参与投标竞争的单位，需承诺2020年1月1日以来供应商、法定代表人、项目负责人无行贿犯罪记录（由供应商出具承诺，格式自拟）； 1.7根据财政部《关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》（财库〔2016〕125号）和豫财购〔2016〕15号的规定，对列入“失信被执行人”、“重大税收违法失信主体”和“政府采购严重违法失信行为记录名单”的潜在供应商，将拒绝其参加本项目招标采购活动； 1.8单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得同时参加本项目的投标【提供在“国家企业信用信息公示系统”中查询打印的相关材料并加盖公章（需包含公司基本信息、股东信息及股权变更信息）】。 2.落实政府采购政策满足的资格要求：无 3.本项目的特定资格要求： 无 三、获取招标文件 1.时间：2023年10月23日至2023年11月11日（北京时间）。每天上午00：00至12：00，下午12：00至23：59（北京时间，法定节假日除外）。 2.方式：供应商报名时需要将法人授权委托书、授权人身份证、被授权人身份证、营业执照副本扫描并发送至项目负责人邮箱291363822@qq.com，对报名合格的供应商在缴费完成后，通过邮箱发送招标文件电子版或供应商携带上述资料到招标代理公司现场购买。 3.售价：300元人民币 户名：河南省教育招标服务有限公司 账号：371903102310201 开户行：招商银行股份有限公司郑州分行农业路支行 联系电话：18736086547扶会计。 四、投标截止时间（投标文件递交截止时间）及地点 1.时间：2023年11月13日9:30（北京时间） 2.地点：河南省教育招标服务有限公司第一开标室 五、开标时间及地点 1.时间：2023年11月13日9:30（北京时间） 2.地点：河南省教育招标服务有限公司第一开标室 六、发布公告的媒介及公示期限 本公告在中国招标投标公共服务平台、河南省电子招标投标公共服务平台、河南省教育招标服务有限公司网、哈工大郑州研究院官网上发布，公告期限为5个工作日。 七、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策： 1.1执行《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库﹝2021﹞46号）； 1.2执行《财政部、司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库﹝2014﹞68号）； 1.3执行《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库﹝2017﹞141号）； 1.4执行《财政部、国家发展改革委关于印发〈节能产品政府采购实施意见〉的通知》（财库﹝2004﹞185号）、《财政部环保总局关于环境标志产品政府采购实施的意见》（财库﹝2006﹞90号）；和《财政部、发展改革委、生态环境部、市场监管总局关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）； 1.5与招标人存在利害关系可能影响招标公正性的法人、其他组织或个人，不得参加投标。单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一标段投标或者未划分标段的同一招标项目投标。 八、凡对本次招标提出询问，请按照以下方式联系 1.采购人信息 名称：哈工大郑州研究院 地址：河南省郑州市郑东新区龙源东七街26号 联系人：薛老师 联系方式：0371-61680818 2.采购代理机构信息 名称：河南省教育招标服务有限公司 地址：郑州市花园路116号河南省农科院院内西南角原农信楼 联系人：田老师、郭老师 联系方式：0371-56058511 3.项目联系方式 联系人：田老师、郭老师 联系方式：0371-56058511

4月1日，科技部、国家发展改革委、工业和信息化部、人民银行、银保监会和证监会等六部门发布《长三角G60科创走廊建设方案》（以下简称《方案》），以持续有序推进G60科创走廊建设。《方案》提出，到2022年，地区研发投入强度达到3%，战略性新兴产业增加值占地区生产总值比重达到15%，上市（挂牌）企业数量年均新增100家以上，高新技术企业年均新增3000家左右，引进高层次人才、应届高校毕业生等各类人才每年不少于20万人；到2025年，地区研发投入强度达到3.2%以上，战略性新兴产业增加值占地区生产总值比重达到18%。以下为《方案》详细内容：长三角G60科创走廊建设方案长三角G60科创走廊包括G60国家高速公路和沪苏湖、商合杭高速铁路沿线的上海市松江区，江苏省苏州市，浙江省杭州市、湖州市、嘉兴市、金华市，安徽省合肥市、芜湖市、宣城市9个市（区），总面积7.62万平方公里。为持续有序推进长三角G60科创走廊建设，制定本方案。一、总体要求（一）指导思想。以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，全面贯彻党的十九大和十九届二中、三中、四中、五中全会精神，坚持新发展理念，实施创新驱动发展战略，落实《长江三角洲区域一体化发展规划纲要》，紧扣“一体化”和“高质量”两个关键词，以市场化、法治化为导向，以“科创+产业”为抓手，以高标准创新能力建设为支撑，促进长三角基层加强合作和跨行政区域协调联动，着力打造科技创新策源地，着力打造世界级产业集群，着力打造产城融合典范，着力打造一流营商环境，形成资金共同投入、技术共同转化、利益共同分享的协同创新共同体，建成科技和制度创新双轮驱动、产业和城市一体化发展的先行先试走廊。（二）战略定位。——中国制造迈向中国创造的先进走廊。以市场化方式加强合作，夯实先进制造业基础，壮大战略性新兴产业，培育以科技创新为核心的产业竞争新优势，形成实体经济、科技创新、现代金融、人力资源协同发展的现代产业体系。——科技和制度创新双轮驱动的先试走廊。积极培育多元化创新主体，优化G60科创走廊创新资源配置，加强改革举措系统集成、集中落实，形成创新主体协同互动、创新要素高效配置、创新成果有效转化的制度体系。——产城融合发展的先行走廊。统筹G60科创走廊生产生活生态空间，围绕产业发展完善城市功能，根据不同城市特点优势发展各具特色的新兴产业和服务业，形成规划布局合理、产业基础良好、城市功能完善的产城融合发展格局。（三）建设目标。到2022年，科创走廊建设初显成效。先进制造业和战略性新兴产业集群建设走在全国前列，现代服务业和先进制造业融合发展，产业链、创新链、价值链一体化布局达到较高水平，区域政策制度协同实施机制基本建立，一批改革创新举措集中落地，科技创新能力明显增强，掌握重点领域关键核心技术的企业显著增加。地区研发投入强度达到3%，战略性新兴产业增加值占地区生产总值比重达到15%，上市（挂牌）企业数量年均新增100家以上，高新技术企业年均新增3000家左右，引进高层次人才、应届高校毕业生等各类人才每年不少于20万人。到2025年，基本建成具有国际影响力的科创走廊。区域政策制度制定实施高效协同，金融服务体系更加完善，产业高端人才加快集聚，新兴产业蓬勃发展，形成若干世界级制造业集群，在国内外产业分工和价值链中的地位明显提升，成为我国重要创新策源地。地区研发投入强度达到3.2%以上，战略性新兴产业增加值占地区生产总值比重达到18%。二、强化区域联动发展，共同打造世界级产业集群以科技创新提升产业层次，夯实先进制造业基础，延伸高端服务业链条，推动创新链、产业链、价值链融合，打造产业升级版。（一）打造先进制造业集群。坚持市场机制主导和产业政策引导相结合，联合编制先进制造业发展规划，围绕人工智能、集成电路、生物医药、高端装备、新能源、新材料、新能源汽车等领域，强化区域优势产业协同、错位发展，推动产业结构升级，建设若干具有全球竞争力的国家级战略性新兴产业基地，在重点领域培育一批具有国际竞争力的龙头企业，加快培育布局量子信息、类脑芯片、第三代半导体、基因编辑等一批未来产业。（二）以金融服务为重点加快发展现代服务业。支持符合条件的高成长创新企业上市融资。依托上证G60创新综合指数和上证G60战略新兴产业成份指数，设立并做大做强交易型开放式指数基金（ETF）产品。鼓励证券服务机构跨行政区域合作。探索在长三角各股权交易中心设立G60科创走廊分中心。加快发展知识产权等轻资产质押融资。加快G60科创走廊征信平台建设。围绕研发设计、供应链服务、检验检测、节能环保、大健康等重点领域培育壮大一批服务业企业，推动形成一批特色服务业集聚区。（三）打造协同开放的经济发展高地。在电信、保险、科研和技术服务等重点领域加大对外开放力度，放宽注册资本、投资方式等限制，促进各类市场主体公平竞争。优化区域内综合保税区产业布局，加强保税区之间产业协同和信息共享，进一步提升货物、资金、人员流动的自由便利。依托中国国际进口博览会等平台，提升G60科创走廊进出口商品常年展示中心和跨境电商产业联盟功能，打造一批进口贸易集聚区。（四）推动产业协同创新中心建设。发挥上海龙头带动作用，加快建设跨行政区域产业协同创新中心，探索产业合作、税收分享、一体化统计新模式，打造创新政策联动区。依托区域内高新技术产业园区、经济技术开发区等，采取“园区整合”“一区多园”“合建园区”等方式加强合作，整合区域内科技创新资源，统筹和优化重点产业布局。（五）推动产业链深度合作。充分发挥产业、区位、要素优势，通过跨区域、多层次的产业分工，构筑区域联系紧密、产业配套完善、梯度转移有序的产业组织体系。持续完善产业联盟体系，开展产业链联合招商，搭建G60科创走廊要素对接平台，加强重大创新项目落地的协同合作。共建产业合作示范园区，实现各地优势产业相对集聚、产业链上下游分工合作和协同发展。建立区域标准化联合组织，促进企业参与国际、国家和行业技术标准制定。三、加强区域协同创新，共同打造科技创新策源地强化企业科技创新的主体地位，不断优化创新环境，建立健全科技资源共享和协同联合攻关机制，加速成果转化，显著提升创新能力。（六）培育壮大创新主体。建立国家高新技术企业在G60科创走廊范围内互认机制，支持高新技术企业自由流动。推动落实激励企业研发的普惠性政策，引导企业成为技术创新投入主体，支持企业建设应用导向型基础研发机构。加强创新链与产业链跨区域市场化协同合作，支持科技型中小企业做强做大，加快培育壮大以高成长性科创企业为代表的创新集群。设立G60科创走廊科技创新奖，发挥提升区域科技创新能力的激励导向作用。（七）共同建设重大研发平台。加强安徽合肥综合性国家科学中心建设，支持布局建设国家技术创新中心、国家产业创新中心、国家制造业创新中心等国家级科技创新基地，推进G60脑智科创基地、作物种质创新与保藏基地建设，加快提升原始创新能力。加强产学研联动，推动跨区域合作共建联合实验室、技术中心。鼓励国内外知名科研机构、高等院校、科学家和科研团队设立研发基地。在基础研究、关键共性技术研发与创新成果转化领域，探索建立投资多元化、运行市场化的新型研发机构。（八）建立关键技术联合攻关机制。国家科技计划优先考虑区域内优质科研机构参加。组织实施G60科创走廊重大科技项目，促进央地联动和科技资源跨区域流动，协同攻关重大装备、关键环节，吸引和培养关键人才，形成一批基础研究和应用基础研究的原创性成果，突破一批“卡脖子”关键核心技术，建设具有自主研发能力、国际领先的技术集群，共同推进关键核心技术产品国产化，提升产业核心竞争力。（九）促进科技资源开放共享。有效破除制约技术、成果、人才、资金等创新要素自由流动的体制机制障碍，引导创新要素有序流动，深化科技创新券跨区域互认互通。加快建设和优化“G60科创云”等一批科技资源共享服务平台，通过政府引导与市场运营双轮驱动，推动重大科研基础设施、大型科研仪器、科技文献和数据等资源开放共享。建立科技计划项目信息一体化发布和科技成果共享机制，打造统一的科技项目管理平台，建立全球专家资源库。（十）促进科技成果转移转化。建立健全协同联动机制，共建一批科技成果转移转化示范基地、新型研发机构战略联盟，制定跨区域科技成果转移转化政策，建立统一的技术交易市场。鼓励有条件的地方和单位创建国家级双创示范基地和众创空间，大力建设科技企业孵化器、留学人员创业园、大学科技园、产教融合实训基地、人才资源服务园等创新创业平台。定期举办创新创业大赛、科技成果拍卖会、两院院士走进G60等活动，加速科技成果产业化、项目化。四、聚焦产业和城市一体化发展，共同打造产城融合宜居典范以产业发展提升城市能级，以城市发展支撑产业转型，打造便捷交通网络，提升城市智能化管理水平，加快推进产业和城市一体化发展。（十一）健全互联互通的综合交通体系。加快沪苏湖高铁、沪嘉城际轨道等工程建设，推进区域内高速铁路和城际铁路有机衔接、便捷换乘。加强基础设施互联互通，加快综合交通枢纽城市建设，增强重要交通节点枢纽功能，放大同城效应，形成要素汇聚、统筹整合、功能互补、辐射带动的空间布局，推动创新产业和城市功能融合发展。（十二）加强标准统一的建设用地管理。鼓励开展土地审批制度改革探索，大幅缩减审批时限，对产业集聚度高的区域合理提高土地利用效率和开发强度。加大批而未供和闲置土地处置力度，进一步盘活存量低效建设用地，推进落实国有建设用地转让、出租、抵押二级市场的相关政策，制定产业集群发展的土地配套政策。（十三）一体推动重点领域智慧应用。聚焦社会治理、民生服务、产业融合等重点领域开展示范应用，支持发展“互联网+”“智能+”等新业态，提升城市居住品质。全面部署IPv6，加快5G商用进程，深入推进工业互联网创新发展工程，推进工业互联网标志解析体系建设，加强上海松江区等工业互联网试点示范，构建全要素、全价值链、全产业链的工业互联网生态体系。深化“城市大脑”交通场景应用，利用车联网技术提升高速公路智能化信息水平。（十四）示范带动产城融合发展。依托上海临港松江科技城、苏州工业园区、嘉兴科技城、合肥滨湖科技城，建设产城融合发展示范园区，打造产城深度融合发展标杆。充分发挥产城融合发展示范园区引领作用，复制推广制度经验，以产促城、以城兴产，留足生态空间，促进生产、生活、生态融合发展，示范带动G60科创走廊全域形成生态友好型高质量融合发展新高地。五、着眼深化改革和优化服务，共同打造一流营商环境探索创新改革举措，优化政府服务管理，合理分配创新收益，持续提升开放水平，建立知识产权保护机制，加强要素资源配置供给，协同推动区域营商环境提升。（十五）协同推进创新改革试验。建立支持政府采购创新产品和服务的政策体系，探索出台政府采购促进中小企业创新发展的政策措施。深化政府部门和科研单位项目资金管理制度改革，开展科研资金跨区域使用试点。深入推进职务科技成果所有权和长期使用权改革试点。研究将上海、安徽（合芜蚌）支持创新相关改革举措推广到G60科创走廊范围内其他区域，探索建立改革创新试点示范成果异地复制推广机制。（十六）打造高效便捷统一的政务服务生态。深化“放管服”改革，促进服务流程再造、标准互信互认、数据汇聚共享，打造区域一体化企业服务平台。探索试行商事主体登记确认制，尊重市场主体民事权利，对申请人提交的文件实行形式审查。深入实施“证照分离”改革。率先实践一批营商环境改革举措。建立G60科创走廊产权交易市场。推进市场主体事中事后监管制度创新，营造规则统一、公开透明的监管环境。（十七）优化创新人才工作生活环境。落实互认互通的人才培养评价体系，支持协同举办人才峰会、知名高校招聘会等活动。制定和完善海外人才引进政策和管理办法，对海外科研创新领军人才及团队成员办理工作许可、永久或长期居留手续给予更大便利。建立人才流动机制，对高端人才和紧缺人才实行奖补政策，放宽异地就业人才在购房、落户、子女教育等方面的条件，出台购房、租房优惠政策，创造更具吸引力的人才引进环境。（十八）建立知识产权协同保护机制。依托国家知识产权试点（示范）城市（区），建立以快速审查、快速确权、快速维权于一体的区域联动知识产权保护机制。建立G60科创走廊知识产权保护中心和产业领域知识产权分中心，联合实施“知识产权战略行动计划”，加强跨行业、跨地区知识产权保护协作，保持对侵权假冒行为的高压打击态势。六、保障措施（一）加强组织保障。充分发挥党统揽全局、协调各方的领导核心作用，加强党对长三角G60科创走廊建设的全面领导。发挥G60科创走廊联席会议机制及其办公室作用，推动落实各项任务，协调解决有关问题。由科技部牵头会同有关部门设立长三角G60科创走廊建设专责小组，统筹本方案的实施。（二）强化政策支撑。建立多元投入机制，重点支持先进制造业集群和战略性新兴产业集群、重大产业项目、产业协同创新中心建设。健全区域政策协同机制，加强区域政策制定、执行和评估的衔接。组织开展重大前瞻性课题研究，做好政策储备。探索建立联合招商、资源分享、产值核算、税收分成等协同机制。推进资源、能耗、产权、技术等要素资源跨行政区域交易。（三）建立评估机制。聚焦创新研发投入、创新产业发展、创新资源集聚、创新生态构建、创新协作共享等重点领域，建立科学实用、系统规范的一体化发展评估指标体系，引入第三方评估，加强动态监测，科学评价G60科创走廊建设情况。（四）营造良好氛围。加强宣传引导，彰显品牌效应和资源集聚能力。创新宣传方式，提高公众参与度，营造全社会关注支持推动G60科创走廊建设的浓厚氛围。

近年来，磁性斯格明子受到了广泛的关注。这些拓扑保护的非共线磁性自旋结构纳米粒子稳定在反转对称破坏的磁性化合物中，是手性洛辛斯基-莫里亚相互作用(DMI)以及铁磁交换相互作用的结果。为广泛研究的自旋结构先是在单晶和外延薄膜中非中心对称B20化合物中观察到的类布洛赫斯格明子，其次是在超薄铁磁层和重金属层形成的薄膜异质结构中的斯格明子。对非共线自旋结构的观察很多都是利用从晶体中提取的薄片进行的。磁性纳米粒子，即反斯格明子和布洛赫斯格明子，已被发现同时存在于由具有二维对称的反四方赫斯勒化合物形成的单晶片层中。然而，制作四方赫斯勒化合物的薄膜以及在其中的自旋结构测量仍然具有挑战性。图1. 100K温度MFM成像研究35 nm厚Mn2RhSn薄膜中纳米磁性结构的演化 通过各种直接成像技术可以在真实空间中观察到斯格明子。近期，德国科学家Parkin等人使用低温强磁场磁力显微镜(MFM)成像来研究[001]取向的Mn2RhSn薄膜中的磁性结构。图1展示了在100K下随磁场增加而变化的典型MFM结果。为了进一步研究Mn2RhSn薄膜中观察到的纳米物体的稳定性，在矢量磁场存在下对35 nm厚的薄膜进行了MFM测量（图2）。图2 ：200K温度下，35 nm厚Mn2RhSn薄膜中纳米粒子在矢量磁场中的稳定性科学家在很大的温度范围内(从2k到280K)和磁场的作用下观察磁性纳米物体，从研究结果可知，形成不同的椭圆和圆形的大小孤立粒子取决于场和温度（图3）。此外，借助于由MFM产生的局部磁场梯度，科学家还演示了这些纳米粒子的产生和湮灭（图4）。图3. 35 nm厚Mn2RhSn薄膜中, MFM研究不同温度下的纳米粒子， 图a-f分别是5K， 50K, 100K, 150K, 200K, 250K温度下MFM成像数据 图4. 基于MFM显微探针技术控制35 nm厚Mn2RhSn薄膜中纳米粒子的产生和湮灭综上所述，由磁控溅射形成的Mn2RhSn外延薄膜中存在磁性纳米粒子。类似于单晶薄片，这些纳米粒子在广泛的尺寸范围内以及在磁场和温度下都具有稳定性。然而，纳米粒子并没有形成明确定向的阵列，也没有任何证据发现螺旋自旋结构，这可能是薄膜中化学顺序均匀性较差导致的结果。然而，在外延薄膜中发现了沿垂直晶体方向的椭圆扭曲纳米粒子，这与在单晶片中观察到的椭圆布洛赫斯格明子一致。因此，这些测量结果为Mn2RhSn薄膜中非共线自旋结构的形成提供了强有力的证据。实验结果表明，在这些薄膜中，可以利用磁性的局部磁场来删除单个纳米物体，也可以写出纳米粒子的集合。 低温强磁场原子力/磁力显微镜attoAFM/MFM I主要技术特点：温度范围：1.8K ..300 K磁场范围：0...9T (取决于磁体, 可选12T，9T-3T矢量磁体等)工作模式：AFM（接触式与非接触式）, MFM样品定位范围：5×5×4.8 mm3扫描范围: 50×50 μm2@300 K, 30×30 μm2@4 K 商业化探针可升PFM, ct-AFM, CFM，cryoRAMAN, atto3DR等功能 图5. 低温强磁场原子力磁力显微镜以及attoDRY2100低温恒温器 参考文献：[1]. Parkin et al, Nanoscale Noncollinear Spin Textures in Thin Films of a D2d Heusler Compound，Adv. Mater. 2021, 33, 2101323.

仪器是科学创新的重要基础和条件，科学发现不仅仅需要理论创新，还需要依靠仪器进行实验观察和检测。中科院宁波材料所，作为新材料及相关领域的重要研究基地和技术提供者，至2021年12月底，共承担了各类科研项目5300多项，累计发表论文7200多篇，累计申请专利近5200件，授权专利近2700件，这一系列成果的取得离不开仪器的支持。为进一步开展科研，中科院宁波材料所于近日公布了一批仪器类政府采购意向，采购项目涉及高温凝胶色谱、扫描探针显微镜、核酸质谱分析系统、Micro-CT、核磁共振波谱仪、3D金属打印机等，预算金额相加达1.02亿元，预计采购时间为2022年6-11月。中科院宁波材料所2022年6-11月政府采购意向汇总表序号采购项目预算金额（万元）预计采购日期项目详情1超高真空多靶磁控溅射系统1996月详情链接2高温凝胶色谱1806月详情链接3真空压力浸渍炉一台2156月详情链接4高频矢量网络分析仪2506月详情链接5扫描探针显微镜SPM/AFM1796月详情链接6氧氮氢分析仪1106月详情链接7全电动磁场成型压机1996月详情链接8微束定点离子刻蚀修复系统3646月详情链接9涵道测试大功率直流电源86.36月详情链接10地面综合测试直流电源526月详情链接11涵道风扇测力试验台906月详情链接12三轴转台836月详情链接13无人机测控系统4006月详情链接14AVDIM管理软件656月详情链接15地面综合测试设备3506月详情链接16混合动力综合能源试车台及管理系统60011月详情链接17发动机15011月详情链接18发电机10011月详情链接19电池20011月详情链接20综合控制器10011月详情链接21飞控系统12011月详情链接22组合导航系统6011月详情链接23海水电解10 kW设备20010月详情链接24Power-to-X(P2X)-高通量测试分析系统15010月详情链接25千克级装填量固定床催化加氢装置20010月详情链接26小面积燃料电池评价系统17510月详情链接27全尺寸燃料电池评价系统19210月详情链接28热熔挤压机18510月详情链接29核酸质谱分析系统37010月详情链接30超灵敏蛋白组学检测系统26010月详情链接31Micro-CT32010月详情链接32600MHz（低温）核磁共振波谱仪99010月详情链接33等温滴定微量热仪11510月详情链接34自动化飞秒瞬态吸收光谱仪44610月详情链接35双通道型台式三维原子层沉积系统23410月详情链接36X射线吸收精细结构谱仪36810月详情链接37岱山液态聚碳硅烷工程化装置35010月详情链接38无液氦综合物性测量系统50010月详情链接39互联磁控溅射系统22010月详情链接40X射线机29810月详情链接41中型3D金属打印机40010月详情链接42100L聚酯反应系统10310月详情链接

为优化政府采购营商环境，提升采购绩效，《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定要求各预算单位按采购项目公开采购意向，内容应包括采购项目名称、采购需求概况、预算金额、预计采购时间等。近两年来，各大高校、科研院所等纷纷在相关平台公布本单位政府采购意向。中国科学院光电技术研究所（简称光电所）始建于1970年。建所以来，围绕国家重大战略需求，聚焦世界科技前沿开展光电领域基础性、前瞻性、颠覆性的创新研究，逐步成为国家科技战略体系中不可或缺的光电科技力量。光电所建有微细加工光学技术国家重点实验室、中国科学院光束控制重点实验室、中国科学院自适应光学重点实验室、中国科学院空间光电精密测量技术重点实验室，和光电工程总体研究室等10个创新研究室，以及中科院成都几何量及光电精密机械测试实验室；还建有精密机械制造、先进光学研制、轻量化镜坯研制、光学工程总体集成、质量检测等5个研制中心，以及科技信息中心等技术保障中心。目前承担有国家重点研发计划、自然科学基金、部委重大重点项目及企业委托开发项目研究，研究水平居国内领先或国际先进。成果的产出离不开仪器的支持，中国科学院光电技术研究所每年都会投入一定的经费采购科学仪器，以建立具有国际先进水平的实验研究和测试平台。为方便仪器信息网用户及时了解仪器采购信息，本文特对中国科学院光电技术研究所2022年政府采购意向进行了整理汇总。共收集到16个仪器采购项目，预算金额相加为1.0248亿元，采购品目涉及磁控溅射、匀胶机、共聚焦显微镜、套刻精度检测设备、光学系统辐射定标系统、力矩测量系统、抛光机等多种仪器设备类型。序号采购项目名称采购品目预算金额(万元)预计采购日期项目详情1亚分辨辅助图形（SRAF）添加软件A021006992256月详情链接2光学邻近效应修正（OPC）验证软件A021006992706月详情链接3磁控溅射A0210069914606月详情链接4套刻精度检测设备A0210069928006月详情链接5大口径光学系统辐射定标系统A033499其他专用仪器仪表5606月详情链接6微干扰力-力矩测量系统A033499其他专用仪器仪表1706月详情链接7大口径高精度匀胶机A033499其他专用仪器仪表8806月详情链接8φ800真空光管A033499其他专用仪器仪表7756月详情链接9大口径清洗设备A033499其他专用仪器仪表5386月详情链接10空间环境辐照模拟仿真试验系统A021099其他仪器仪表5406月详情链接11光学级聚酰亚胺薄膜真空流延成膜设备A033499其他专用仪器仪表4306月详情链接126轴光学抛光中心A021099其他仪器仪表4506月详情链接13球面数控抛光机A021099其他仪器仪表3306月详情链接14光学中继通道检测装置A021099其他仪器仪表2406月详情链接15大口径共聚焦显微镜A021006994308月详情链接16环境监测数据综合分析系统A021006991508月详情链接

没有响亮的口碑，就没有广阔的前景。今年以来，济南高新区大力开展企业产品品牌建设，让辖区内企业打响产品知名度。山东特检科技有限公司作为驻鲁央企，位于济南高新区，是一家专业致力于过程智慧检测技术研发与应用的企业。企业自主研发了50余种在线检测及智能调控产品，其中“溴系化学品全流程检测及智能调控系统”产品，填补了国内空白。山东特检科技智能测控事业部经理黄元凤博士告诉记者：“这款产品实现了溴素生产全流程物料成分反应进程的在线检测和智能调控，能帮助溴素企业实现自动化减人，同时节省物料使用量、提升装置产能、稳定产品质量，实现企业降本增效。”虽然企业研发的产品十分优秀，但在企业发展前期，由于行业过于小众，大部分化工企业对特检科技并不熟悉，产品在市场上知名度并不高。“溴素企业因为之前尝试过很多的检测仪器、检测手段，但是由于溴素生产环境相对恶劣，均未成功，因此对于我们的检测产品也是持有怀疑态度的。”黄元凤博士说。为了帮助企业证明产品的使用效果，济南高新区助力企业打造样板工程，通过大量的现场实验证明产品的准确性稳定性，赢得了其它企业的认可。同时还通过“高新优品”积极帮助企业打造品牌。济南高新区市场监管部孙村市场监管所副所长靳海燕向记者介绍了具体做法：“我们主动向企业宣传‘高新优品’，介绍‘高新优品’的申报流程，动员企业积极申报，提供申报指导，同时在日常监管和行政执法中把标准品牌服务手册带进企业、送到车间，让企业能够了解国家的质量方针政策，树立品牌意识。”经过企业和市场监管部门的共同努力，山东特检科技有限公司成功入选2023年度“高新优品”企业，其自主研发的“溴系化学品全流程检测及智能调控系统”荣获“高新优品”奖，黄元凤博士被授予“高新优品产品能工巧匠”荣誉称号，全方位展示了特检科技打造的精品产品与推进测控过程数智化、一体化转变技术能力，吸引了众多企业。“基于溴素无人工厂项目的成功应用，我们继续瞄准国家智能化的发展战略，研发了多款智能测控产品，其中在工业水管理领域，研发了多款水质在线分析仪器，实现了工业水系统的全参数高精度检测。”黄元凤博士说。今年以来，济南高新区全力推进质量强区建设，质量品牌建设呈现出蓬勃发展良好态势。日前济南高新区有7家企业入选第二批“好品山东”品牌遴选名单，占比济南市58.3%，其中有6家是“高新优品”获评单位，品牌培育成效显著。

9月4日，zycgr21070801公布2024年10月采购意向，总预算金额5410万元，涉及CPU服务器、磁控溅射镀膜机、稀释制冷机等设备，共计51台/套，其中CPU服务器相关设备40台，包括36台计算节点服务器，1台登录管理服务器，1台IB交换机，2台千兆交换机。序号采购单位采购项目名称采购品目采购需求概况预算金额（万元）预计采购日期1zycgr21070801真空泵A02109900其他仪器仪表详见项目详情1702024年10月2zycgr21070801尾气处理设备A02109900其他仪器仪表详见项目详情2702024年10月3zycgr21070801稀释制冷机A02109900其他仪器仪表详见项目详情6002024年10月4zycgr21070801CPU服务器A02010103服务器详见项目详情3002024年10月5zycgr21070801稀释制冷机A02109900其他仪器仪表详见项目详情6752024年10月6zycgr21070801磁控溅射镀膜机A02109900其他仪器仪表详见项目详情2702024年10月7zycgr21070801稀释制冷机A02109900其他仪器仪表详见项目详情3502024年10月8zycgr21070801时频比对处理机电路电性件A02109900其他仪器仪表详见项目详情5002024年10月9zycgr21070801高精度标准平面A02109900其他仪器仪表详见项目详情20002024年10月10zycgr21070801热蒸发系统A02109900其他仪器仪表详见项目详情2752024年10月