高精度直线平台

新型LMA 系列直线电机平移台新型LMA 系列直线电机平移台特点： 优选直线电机，满足高速、高精度、高扭矩的要求，精度达到卓立汉光“超高精密”的标准 采用进口超高精密（SP级）线性滑块导轨，产品负载能力大、运动平稳，具有超高运动精度，达到国际先进水平 左右两侧均采用双光电开关（非接触式），起到减速、限位作用 左右两侧均采用双油压缓冲器，有效阻止高速碰撞 在多重保护的基础上，又增加聚氨酯防撞垫块，进一步提高安全性 可选择不同精度的玻璃式光栅尺或者钢带式光栅尺，配置灵活新型LMA 系列直线电机平移台技术指标型号LMA-TR-100LMA-TR-200LMA-TR-400LMA-TR-600LMA-TR-800LMA-TR-1000导轨形式线性滑块导轨，四滑块编码器分辨率（μm）0.1，1，5（可选）行程（mm）1002004006008001000理论最大速度（m/s）3510重复定位精度（mm）≤0.001（同光栅尺及控制器有关）定位精度（mm）±0.005或±0.010（同光栅尺及控制器有关）直线度（μm /100mm）＜3＜5平直度（μm/100mm）＜5＜8偏摆（″）＜10＜15俯仰（″）＜15＜20水平负载（Kg）253555自重（Kg）101216202530

LMA-TE系列直线电机平移台 说明：LM-TE 系列采用进口无铁芯直线电机，高精密线性滑块导轨，配合卓立汉光精密磨削工艺，可以提供高速度、高负载、高精度的电动平移台解决方案。LMA-TE 直线电机平移台自带霍尔元件作为极限开关，双向限位缓冲器，带拖链，可以选装不同类型和精度的光栅尺，详情请联系我们。 配套产品： 特点： ● 采用进口直线电机，性价比高 ● 高速、高精度、高扭矩 ● 无磨损、免维护 ● 光栅尺可选、配置灵活 TMC全功能运动控制系统进口直线电机技术指标一览表：（研制中，以最终发布内容为准，此表不做为选型依据）型号LMA-TE-100LMA-TE-200LMA-TE-400LMA-TE-600导轨形式线性滑块导轨，四滑块编码器分辨率(&mu m)0.1，0.5，1(可选)行程(mm)100200400600理论最大速度(m/s)5重复定位精度(mm)0.001(同光栅尺及控制器有关)定位精度(mm)0.003(同光栅尺及控制器有关)直线度(&mu m /200mm)＜3＜4平直度(&mu m/200mm)＜4＜5偏摆(&Prime )＜15＜20俯仰(&Prime )＜20＜40水平负载(Kg)2535自重(Kg)10121620

LMA-TR系列直线电机平移台 说明：●LMA-TR 系列采用国产直流永磁同步直线电机，为无铁心U 型槽式结构，进口精密级线性滑块导轨，配合卓立汉光精密磨削工艺，可以提供高速度、高负载、高精度的电动平移台解决方案。LMA-TR 直线电机平移台自带霍尔元件作为极限开关，双向限位缓冲器，带拖链，可以选装不同类型和精度等级的光栅尺，详情请联系我们。 配套产品：TMC全功能运动控制系统特点：● 采用国产直线电机，性价比高● 进口精密级线性滑块导轨，导轨安装有基准面和定位面，运动特性好● 高速、高精度、高扭矩● 无磨损、免维护● 光栅尺可选、配置灵活 技术指标一览表：（研制中，以最终发布内容为准，此表不做为选型依据）型号LMA-TR-100LMA-TR-200LMA-TR-400LMA-TR-600LMA-TR-800LMA-TR-1000导轨形式线性滑块导轨，四滑块编码器分辨率(&mu m)0.1，0.5，1(可选)行程(mm)1002004006008001000理论最大速度(m/s)3510重复定位精度(mm)0.001(同光栅尺及控制器有关)定位精度(mm)0.003(同光栅尺及控制器有关)直线度(&mu m /100mm)＜3＜4＜5平直度(&mu m/100mm)＜4＜5＜6偏摆(&Prime )＜15＜20＜25俯仰(&Prime )＜20＜40＜50水平负载(Kg)253555自重(Kg)101216202530

OMTOOLS高精度二维直线电机平台EPSZ系列应用电磁直接驱动器的线性电机。此类电机省去了动力传动系统中的机械部件，并将驱动力无摩擦地直接传递到运动平台。驱动器可实现高速度和高加速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。非接触式、超高精度的光学编码器直接测量平台的位置。使用交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。直线电机位移台应用于各种高精度场合。 材质：7075T6铝合金 型号EPSZ50EPSZ100EPSZ150EPSZ200行程(mm)50x50100x100150x150200x200台面(mm)250x250280x280320x320420x420导轨类型精密交叉滚柱导轨电机规格无铁芯直线电机电机额定/峰值推力（N）26.4/13235.2/176力常数 ±10% （N/Arms）16.522电机常数@25°(N/Sqrt)W4.45持续电流 （Arms）1.61.6峰值电流 （Arms）88负载能力（kg）1020光栅分辨率nm20nm台面最大速度mm/s≥200mm/s上轴空载最大加速度（g）43.53 2.5下轴空载最大加速度（g）3.22.52.21.8双向重复定位精度（nm）≤500≤600单向重复定位精度（nm）≤300≤400传感器霍尔开关、24V、NPN常闭直线度（um）≤±5≤±5≤±5≤±5平行度(um)≤±5≤±5≤±10≤±10正交性（arc sec） 30材质铝，黑色阳极氧化重量（kg）8101826连接器两个航空插头\GX12-4\4PIN、两个航空插头\GX12-5\5PIN、两个DB15\三排注：速度为空载时理论计算和实际测试值。

产品介绍：OMTOOLS 一体式高精度电动位移台OMST系列为解决中小尺寸、高重复使用频率等情况专门设计的高精度不锈钢电动直线位移台。主体材料采用高强度440C不锈钢，表面无电解镀镍处理，刚性好，强度高，外观精美。采用精密滚珠丝杆传动，一体构造的哥特式直线滚珠导轨导向，可实现X/Y轴线方向较高精度的往复直线运动。标配五相东方马达，可提供较高的分辨率和定位精度。具备多种行程范围可选，及一定的水平负载能力，是各种平移应用的理想解决方案。最适合自动对焦、镜头、电子元件的精密位置对齐。 产品特点：■主体材质采用无电解镀镍处理的高强度440C不锈钢，刚性好，强度高，外观精美■一体构造的哥特式直线滚珠导轨结构，使得滑台厚度最小化实现流畅外形和高刚性，具有一定的负载能力和较高的定位精度■标配为五相东方马达，实现自动调整，自动控制■滚珠丝杆传动机构，具有高精度和高传动效率 选型表：型号OMST60100A机械规格 行程(mm)100台面尺寸(mm)60x60传动机构精密滚珠丝杠?8X1导轨（导向机构）一体构造的哥特式直线滚珠导轨主体材料及表面处理440C不锈钢，表面无电解镀镍处理总厚度（mm）30自重（Kg）1.6联轴器（外径-孔径1-孔径2）mm12-5-5精度规格整步分辨率（μm）220细分开环分辨率（μm）0.1最大速度（mm/s）*5单向定位精度（μm）10重复定位精度（μm）±3静态平行度（μm）20运动平行度（μm）15运动直线度（μm）20回程间隙（μm）≤5电气规格电机及步距角（゜）五相28步进电机，步距角0.72电机品牌及型号东方马达工作电流（A）1.2电机扭矩（Nm）0.052驱动器品牌及型号东方马达CVD512BR-K滑台接头DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.2限位传感器（内置）微型光电传感器原点传感器（内置）微型光电传感器传感器电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V； OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；负载水平负载（Kg）10倒置负载（Kg）6竖直负载（Kg）6

行程:70 和150nm双向重复精度：0.2um最大速度:50mm/s负载能力:100N

艾罗德克Aerotech PlanarDL系列两轴机械轴承直线电机平台产品经理：赵贵军 性能1.集成平台，小体积，X-Y两轴直线电机平台2.优异的几何性能(±0.4μm平直度 平面度±1μm)3.高刚性，精密交叉滚子轴承4.可选范围广，9个行程系列可选Aerotech的planardl系列级在一个紧凑、低姿态的封装中提供了出色的几何和动态性能。多种行程和性能选项使这一阶段的理想应用范围从表面轮廓测量到LED晶片划片。用途：PlanarDL XY设计允许工业的平面几何性能在应用中，直线度和平直度的运动是至关重要的。高精度的抗蠕变交叉滚子轴承，精密加工的表面和Aerotech直线电机驱动通过轴的刚度中心，导致一个特殊的几何公差的定位阶段。平面的结构元素是优化的高动态和高刚度的要求最严格的动态应用。能够达到1m /s的速度和1.5 g的加速度，PlanarDL能够实现高吞吐量、高精度的处理，从而获得优异的工艺成品率和较低的总拥有成本。与使用循环轴承的竞争性产品不同，本设计中使用的抗蠕变交叉滚子轴承允许平稳的运动，使其成为挑战性扫描应用的理想阶段解决方案。非接触式直接驱动技术只有非接触式，直接驱动技术提供高速、准确的定位，免维护操作，使用寿命长。该计划的核心是Aerotech公司专有的直接驱动技术。这种驱动技术允许无与伦比的性能相比，其他竞争的螺旋和直线电机设计。PlanarDL-200XY和-300XY级每轴都有一个或两个电机，可以根据特定的应用和工艺对每个轴进行优化。无论选择多少个电机，产生的驱动力通过摩擦中心和刚度产生，从而获得优异的几何性能和精度。集成的电缆管理系统集成到舞台上，优化使用寿命和性能。额外的标准选项可用于额外的伺服轴或真空卡盘或其他工艺气动的空气/真空管道。极限定位性能PlanarDL有三种定位性能选项。凭借数十年的系统级设计经验，不仅包括定位机制，还包括软件和电子技术，Aerotech已经开发出先进的技术来推动精度的极限。高性能的-PLUS和-ULTRA选项可以使精度和直线度值下降到400 nm，正交性下降到1角秒。型号：PlanarDL-100XYPlanarDL-200XYPlanarDL-300XY

高精度气浮旋转平台采用闭式气浮结构设计,直驱电机驱动,圆光栅闭环反馈,实现高分辨率、高精度运动控制。技术特点：直接驱动无槽,无刷伺服马达高速、高稳定性极佳的误差运动与偏转特性负载:2kg运动模式:支持开环与闭环轻量化、结构紧凑,高可靠性模块化设计,摩擦单元可替换超高真空兼容性 应用领域：工业机器人 纳米表面测量晶圆检测 光纤光学和光子学航空电子设备 精密扫描硅片检查 半导体设备智能制造 超精密微细加工规格参数：型号RAF-85C* 运动轴θX传感器类型光栅传感器行程（°） 360定位重复性（μrad） ≤5（带载750g）定位精度（μrad）≤10（带载750g）30°闭环响应时间（ms）≤10（带载750g）最大负载 (kg) 5 轴向跳动（nm）50径向跳动（nm）50平行度 (μm)40旋转惯量 (kg*m² )11.2x10-4抵抗过载冲击（带载750g）4g(四倍重力加速度)轴向与径向过载冲击自重（g）1544尺寸（mm）150x150x96材料铝合金/钛合金纳米定位平台

产品简介本系列的半导体温控平台是专门为激光器件、医疗器件、半导体器件、红外探测器、光电倍增管、或其它任何需要温度控制IC等产品定制开发，其特点是高精度和高稳定度。半导体制冷是利用帕尔帖效应原理工作的，具有高精度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染、既可制冷又可加热等优点，是真正的绿色产品。整机配置完善、性能稳定、性价比高，在国内外同类产品中处于先进地位。非常适合对温度的精度和稳定度要求较高的各类厂家、公司、大学、科研机构、个人等使用。应用方向 半导体激光器、晶体温度控制、固体温度控制实验、科研温度控制高低温实验等液体 控温（特殊定制）非标定制 产品选型表 产品尺寸

产品简介本系列的半导体温控平台是专门为激光器件、医疗器件、半导体器件、红外探测器、光电倍增管、或其它任何需要温度控制IC等产品定制开发，其特点是高精度和高稳定度。半导体制冷是利用帕尔帖效应原理工作的，具有高精度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染、既可制冷又可加热等优点，是真正的绿色产品。整机配置完善、性能稳定、性价比高，在国内外同类产品中处于先进地位。非常适合对温度的精度和稳定度要求较高的各类厂家、公司、大学、科研机构、个人等使用。应用方向 半导体激光器、晶体温度控制、固体温度控制实验、科研温度控制高低温实验等液体 控温（特殊定制）非标定制 产品选型表 产品尺寸 定制类产品无固定尺寸

产品简介本系列的半导体温控平台是专门为激光器件、医疗器件、半导体器件、红外探测器、光电倍增管、或其它任何需要温度控制IC等产品定制开发，其特点是高精度和高稳定度。半导体制冷是利用帕尔帖效应原理工作的，具有高精度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染、既可制冷又可加热等优点，是真正的绿色产品。整机配置完善、性能稳定、性价比高，在国内外同类产品中处于先进地位。非常适合对温度的精度和稳定度要求较高的各类厂家、公司、大学、科研机构、个人等使用。应用方向 半导体激光器、晶体温度控制、固体温度控制实验、科研温度控制高低温实验等液体 控温（特殊定制）非标定制 产品选型表 产品尺寸

产品简介本系列的半导体温控平台是专门为激光器件、医疗器件、半导体器件、红外探测器、光电倍增管、或其它任何需要温度控制IC等产品定制开发，其特点是高精度和高稳定度。半导体制冷是利用帕尔帖效应原理工作的，具有高精度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染、既可制冷又可加热等优点，是真正的绿色产品。整机配置完善、性能稳定、性价比高，在国内外同类产品中处于先进地位。非常适合对温度的精度和稳定度要求较高的各类厂家、公司、大学、科研机构、个人等使用。应用方向 半导体激光器、晶体温度控制、固体温度控制实验、科研温度控制高低温实验等液体 控温（特殊定制）非标定制 产品选型表 产品尺寸

精密电动平移台EPSB系列产品介绍：精密电动平移台EPSB系列产品是OMTOOLS在EPSA系列产品基础上改进而成。产品采用高精密研磨滚珠丝杠、进口精密级自调心滚珠线性导轨和高品质联轴器等部件进行传动，采用大转矩、高稳定性的两相步进电机作为动力源，采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。产品精度高、承载能力强，稳定性好、通用性强、组合方便，适用于各类科研、工业用户的精密光学实验、精密定位和精密加工等领域，如：高精密激光加工、高精密三维扫描测量等，是性价比超高的电移台产品。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■研磨级滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、无颤动和滞后，定位和重复定位精度高；■采用进口精密级自调心滚珠线性导轨，通过轻预压装配工艺，负载能力强，运行直线度、平行度好；运行平行度和直线度≤20μm■采用标准两相步进电机驱动，转矩大、稳定性高；■标准电机配有手轮，实现手自调节一体化；■2个机械限位开关，可实现超程降速和限位保护；■1个光电零位开关，实现零位精密定位和误差校正，防止误差累积；■标准DB9接口，通用性强，也可与我公司两相步进电机控制器兼容；■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；■可选配光栅尺进行闭环控制，闭环分辨率可达1μm； 命名规则：EPSB-50G-系列代码：精密电动平移台行程：50：50mm100：100mm150：150mm200：200mm300：300mm400：400mm可定制特殊规格光栅尺：选配：G代表含光栅尺 选型表：型号EPSB50EPSB100 EPSB150EPSB200EPSB300EPSB400 机械规格台面尺寸(mm)125X124160X160行程(mm)50100150200300400传动机构精密滚珠丝杠?12X4精密滚珠丝杠?16X4导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）55mm66mm自重3.553.854.154.59.410.8联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）25-6-525-10-6.3520细分开环分辨率1μm最大速度（mm/s）20单向定位精度（参考值μm）≤10≤15≤20≤25≤35≤45重复定位精度（参考值μm）≤±5回程间隙（μm）≤5静态平行度（μm）≤40运动直线度（μm）≤20≤25运动平行度（μm） ≤25≤30偏摆（“）≤50≤60俯仰（“）≤50≤60 电气规格电机及步距角（゜）二相42步进电机，步距角1.8二相57步进电机，步距角1.8电机品牌及型号雷赛工作电流（A）2.54.2电机扭矩（Nm）0.61.3光栅尺品牌贵阳新天驱动器品牌及型号雷赛滑台接头&光栅尺接头两个DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙原点传感器（内置）欧姆龙传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）； 负载水平负载20kg30kg倒置负载10kg 15kg竖直负载10kg15kg配合Z轴转接板型号OMLB01BOMLB01BOMLB02BOMLB02BOMLB03BOMLB03B最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。精密电动平移台 高精度电动位移台 电控位移平台

中图仪器SJ6000国产单频激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。SJ6000国产单频激光干涉仪可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品特点 精度高SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。功能广（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。软件强（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。 SJ6000国产激光干涉仪直线导轨平行度平台平面度数控机床线性测量非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH 环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m 便携箱尺寸：613*460*230mm标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

UTS系列中行程钢制直线平台行程:50-150mm双向重复精度：4.0-6.0um最大速度：20-40mm/s负载能力:200N

P-752高精度纳米定位平台P-752高精度纳米定位平台应用领域扫描显微镜测量技术测试程序和质量保证光子光纤定位带电容式传感器，实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。自动配置和快速部件更换机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。零间隙柔性铰链导向带来高导向精度柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对振动和冲击不敏感。它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。直接位置测量带来最大精度运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现优异的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

xpert高精度测量机领域的典范xpert固定桥式高精度三坐标测量机（cmm）是海克斯康整合多年来精密测量系统制造和应用经验，全新自主研发的国产最高精度测量机，是面向基本特征和复杂几何特征高精度检测需求的理想解决方案。40载本土经验传承，与中国市场同频共振海克斯康中国技术的每一次飞跃，都是中国制造发展的主角。从1984年开始三坐标测量机的本地化研发进程，到1988年研发出国内首台高精度桥式固定测量机zc8645，再到全新自主研发的国产最高精度测量机xpert。海克斯康中国深耕本土化研发创新40年，始终与客户需求同频共振，对高精度应用有丰富的经验。领跑国产最高精度，多项技术匠心独运xpert汇聚全球领先科技，测量精度高达0.5μm，持续刷新国产测量精度。拥有新型平衡气缸与支架柔性连接结构等多项专利技术，采用整体花岗岩框架结构等经典设计，提供卓越的高精度及高稳定性。随需应变，多场景灵活拓展xpert打造了面向rv减速器、齿轮、叶片、半导体等检测场景的特色专机平台,在保留原有高精度测量机优势的基础上，具有更加灵活的拓展功能，可用于各种应用方案的集成。rv减速器高精度检测rv减速器，是工业机器人的核心组件。因其具有较高的刚度和回转精度，一般被放置在工业机器人的大臂、肩部等重负载位置，是机器人的‘关节’。xpert固定桥式三坐标测量机可覆盖rv减速器各主要零部件的检测需求，零件测量效率提升近1倍。齿轮高精度检测在进行复杂的齿轮测量时，xpert固定桥式三坐标测量机能够以最高精度完成其测量任务，尤其是对于具有严格公差要求的零部件更是如此。基于xpert优异的速度和加速度，在具备高精度的同时，也提供了更高的检测效率，从而显著减少检测成本和设备的闲置时间。叶片高精度检测快速精确地获取叶片表面的尺寸数据，对于提高叶片加工质量、保证整机设备工作性能等都有重要意义。xpert可为叶片检测提供可定制化开发的装夹、全尺寸的测量与检测、高效的测量程序编制、全面准确的图形分析报告等一站式解决方案。半导体高精度检测“类型多，产品精”是半导体行业的特点之一，xpert基于先进的传感器技术和40多年的成熟经验沉淀，可满足半导体行业多样化零部件的亚微米级的测量与检测，对于半导体行业零部件微小、轻薄、易变形的特点可提供低测力的探测系统支持。驱动多行业转型，向卓越质量工程加速攀升当前“中国制造”正进入量变向质变转变的关键期，但大多数企业质量管理能力不高，缺少质量精益管控的关键工具和国产高性价比方案，仍处在价值链的中低端，难以完成价值链跃迁。xpert拥有高达0.5μm的测量精度与强大的软件评估功能，始终能从容应对多行业、多场景复杂精密零件检测需求，助力模具检测、航空航天、精密制造及电子行业等多种高精度领域打造卓越质量工程。技术特点01 全新工业设计滑架外罩有足够刚性，降低引起的滑架振动的几率；外罩的装配对平衡支架产生形变小进而对机器精度影响甚微；减少螺钉的使用，方便拆装外罩。02 增强型的滑架和平衡支架优化结构和材质，提升刚性和稳定性，严格执行时效工艺，使平衡支架的焊接应力，滑架铸造应力趋于平衡稳定状态。03 精密三角梁结构重心更低，机器稳定性高；滑架和气浮导向结构紧凑，允许机器有较好的运动性能和较高的测量效率；三角梁的导向精度高，气浮轴承的气浮刚性稳定；确保机器精度的一致性和稳定性。04 整体花岗石封闭框架封闭框架确保了测量机的长久稳定性。大刚性的导向轴可以保证在整个测量范围内机器精度的高度一致性。05 移动工作台移动台组件采用中心布置的丝杠驱动，确保运动高效无扭摆倾斜。双燕尾气浮导轨，确保导向系统的高重复性和高精度稳定性。06 稳定的花岗石定台得益于花岗石的优良特性，花岗石封闭框架结构确保了测量机主体结构的稳定性；借助获得专利的一整套加工检验工装，大大提高了三向气浮导轨的研磨精度。07 电气优化严格防范静电干扰，所有金属零部件接地；按照车间型的要求，改善电机轴承等热源的隔热和散热条件；调整动台电机减速比，优化电机的工作状态；避免温度传感器暴露于外界环境；优化标准扫描测力参数。08 多楔带传动系统多楔带平带代替同步带，消除传动中的周期振动对机器的干扰；采用VFT技术，用弹性连接的方式，隔除带的抖动对机器的干扰。09 固定桥设计允许被测工件可以不受限制的从各个方向放置到检测平台上。允许使用更长的测针或者加长杆，减少探针更换，测量空间的利用率高。10 精密滚珠丝杠传动优化提升传动机构和导向机构的行走平行度，通过柔性二维滑台连接驱动动台运动，有效释放垂直于丝杠传动方向的位移量，确保机器兼具良好的加速性、定位精度以及优异的扫描性能。11 气浮轴承导向新型气浮块的气浮刚性一致性高，结构刚性好；精密减压阀提供精准稳定的工作气压；叶型弹性板、新型碟簧确保提供给气浮导向机构平稳的弹性预紧力。产品参数型号行程范围(mm)外形尺寸(mm)06.05.05600×500×5001927×1596×308206.08.06600×800×6001927×2012×3082E0自0.5μm起

产品简介本系列的半导体温控平台是专门为激光器件、医疗器件、半导体器件、红外探测器、光电倍增管、或其它任何需要温度控制IC等产品定制开发，其特点是高精度和高稳定度。半导体制冷是利用帕尔帖效应原理工作的，具有高精度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染、既可制冷又可加热等优点，是真正的绿色产品。整机配置完善、性能稳定、性价比高，在国内外同类产品中处于先进地位。非常适合对温度的精度和稳定度要求较高的各类厂家、公司、大学、科研机构、个人等使用。应用方向 半导体激光器、晶体温度控制、固体温度控制实验、科研温度控制高低温实验等液体 控温（特殊定制）

仪器简介：德国OWIS公司的LIMES122系列高精度线性位移台被广泛应用于科研及工业领域，特殊的导轨实现了无空回和高负载能力，预紧球形螺杆确保了高精度和长寿命，铝质材料表面均采用特殊工艺顶级黑色电镀。技术参数：技术参数（无负载，20摄氏度） 步进电机驱动 直流伺服电机驱动 行程 50/80/155/195/260mm 50/80/155/195/260mm 速度/最大 25mm/s 负载/最大 150N 驱动力/最大 60N 螺距 1mm 重复定位精度/双向 2um 位置误差 16um/100mm 偏转角 75urad 俯仰角 75urad 垂直偏差 2um 水平偏差 2um 电机电压/最大 40V 24V 保持电压 3.2V 电机电流/最大 1.8A 3.3A 每转步数 200 2000主要特点：&bull 高强度铝合金材质 &bull 50/80/155/195/260mm行程可选，最长可达260mm &bull 双向重复定位精度优于2um &bull 无空回球形螺杆 &bull 预紧球形轴承 &bull 高精度Hall-effect ，机械，感应限位开关 可选项 &bull 制动刹车 &bull 光栅尺（精度± 3 µ m/m 分辨率0.1 µ m）

ALIO电动垂直运动平台-高精度纳米级高负载产品负责人：姓名：李工(Maple)电话：（微信同号）邮箱：10 多年来，ALIO 一直专注于纳米精密运动和可重复性。由 ALIO 引入的 Nano Point Precision™ 6-D 和 True Nano™ 概念现已被 NIST 采用，并被认为是未来运动系统测量和量化的标准方法。电动垂直运动平台-ALIO高精度纳米级高负载产品简介：Nano Point Precision 6-D 包括移动工作台的所有 6 个误差自由度：它允许您根据精确点（在 3D 空间中）指示“精度数字”，并用于许多应用，从激光处理到计量。ALIO 生产一系列线性运动控制解决方案，这些解决方案的设计和制造符合可保证其性能的标准。该公司的机械轴承台可以以任何空气轴承台无法复制的精度水平运行。在用户群体中，ALIO 提供了超精确且具有成本效益的运动控制解决方案，即使对于苛刻的应用也是如此。该公司由一支无与伦比的杰出工程师团队组成，他们痴迷于纳米级运动控制，并尽可能突破感知界限。Z-tables / Elevators：具有纳米级精度的垂直运动平台设计是 ALIO 接受并能够获胜的真正挑战。过去的解决方案，例如楔子，当然很紧凑，但在所有 6 个自由度上都缺乏亚微米级精度，而带有配重的线性工作台需要复杂的设计并占用空间。带有空气平衡器的 ALIO垂直运动平台设计出色地解决了这个问题，同时保证了紧凑性和纳米精度。电动垂直运动平台定制化需求ALIO 真正定制其核心运动控制解决方案的能力使其与替代解决方案提供商区别开来，通过精确匹配 OEM 客户的需求以及推动纳米精密应用的极限，提供显着的附加值。

产品介绍A601-2型平台安装式倾角计采用了我们先进的测微计调节设计，用于高精度的倾角测量。它配有内置的测微计调平支腿，便于安装在任何水平面上。A601-2还包括两个可切换的增益和两个低通滤波器的设置开关。由于使用了以绝对重力方向为基准的电解液传感器，A601-2具有超高的分辨力，高达25 nrad，且几乎没有长期漂移。输出为稳定的±8V直流电压（±16V差分）。A601-2坚固、可靠、极其精确，是火山监测、高精度岩土工程、桥梁挠度监测、精密计量、雷达平台调平和高准确度倾角监测等应用的选择。技术规格

产品简介本系列的半导体温控平台是专门为激光器件、医疗器件、半导体器件、红外探测器、光电倍增管、或其它任何需要温度控制IC等产品定制开发，其特点是高精度和高稳定度。半导体制冷是利用帕尔帖效应原理工作的，具有高精度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染、既可制冷又可加热等优点，是真正的绿色产品。整机配置完善、性能稳定、性价比高，在国内外同类产品中处于先进地位。非常适合对温度的精度和稳定度要求较高的各类厂家、公司、大学、科研机构、个人等使用。 应用方向 半导体激光器、晶体温度控制、固体温度控制实验、科研温度控制高低温实验等液体 控温（特殊定制）非标定制 产品选型表 产品尺寸

三维高精度倾斜棱镜台OMXD52A 产品特点：材质：6061-T6 铝合金产品介绍：OMTOOLS 三维高精度倾斜棱镜台OMXD52A提供两个独立的倾斜度调整，以及平面内旋转调整的更多功能。这些调整允许像棱镜这样的光学组件定向为与所需平面平行，然后在该平面内旋转。测微头提供卓越的分辨率。所有三个轴都装有弹簧，以消除间隙。可调夹臂安装在φ6笼杆上，将夹臂移至光学元件上方锁紧，拧紧带尼龙把手就可以固定光学元件。为了适应更高的光学元件，可在上面接更多的φ6笼杆。底座前后设计有M6 U型槽，可固定在光学平台或面包板上，下方配有4个M4的螺纹孔。 型号倾斜角度范围旋转角度范围灵敏度负载OMXD52A±2.5°±2.5°3”50N

RM-PLA-HF精密力控型直线平台型推杆RM-PLA-HF精密力控型直线平台型推杆RM-PLA-HF精密力控型直线平台型推杆RM-PLA-HF精密力控型直线平台型推杆RM-PLA-HF精密力控型直线平台型推杆RM-PLA-HF精密力控型直线平台型推杆RM-PLA-HF精密力控型直线平台型推杆可并排安装高速稳定高重复精度自适应推压高刚性兴恒安智能科技（深圳）有限公司，专注于工业机器人产品和自动化设备研发、生产和销售，为客户提供自动化整体解决方案。主要产品：电缸、机械手、工业机器人、直线电机、DD马达、工业传感器 、伺服压机拧紧机、工业相机以及非标设备。产品广泛应用于：电脑、通讯、消费电子、汽车、制造等产业中的点胶、涂胶、装配、检测、搬运、切割、上下料、钻孔、焊锡、抛光、包装等领域。根据客户的要求定制适合客户的机型，解决客户人工成本高、招工难等实际问题，以可持续性为客户提供更好的服务，进而帮助客户提高市场核心竞争力。

直线模组滑台广泛应用于各行各业，除了既定的精度和速度以外，应该根据哪些情况选购直线模组滑台呢？1、抗振性与稳定性：稳定性是指在给定的运转条件下不出现自激振动的性能；而抗振性则是指模组副接受受迫振动和冲击的能力。2、刚度对于精密机械与仪器尤为重要。模组变形包括导轨本体变形导轨副接触变形，导轨抵抗受力变形的能力。变形将影响构件之间的相对位置和导向精度。伺服电动缸两者均应考虑。3、重复定位精度，定位精度是指运动构件能按要求停止在指定位置的能力。定位精度与导轨类型、摩擦特性、运动速度、传动刚度、运动构件质量等因素有关。直线模组滑台的选择，可根据自身需求来筛选定位精度的高低模组！4、精度坚持性：是指工作过程中保持原有几何精度的能力。模组的精度坚持性主要取决于导轨的耐磨性极其尺寸稳定性。耐磨性与导轨副的资料匹配、受力、加工精度、润滑方式和防护装置的性能的因素有关。线性马达导轨及其支承件内的剩余应力也会影响导轨的精度坚持性。5、导向精度以及模组和支承件的热变形等。导向精度是指运动构件沿导轨导面运动时其运动轨迹的准确水平。影响导向精度的主要因素有导轨承导面的几何精度、导轨的结构类型、导轨副的接触精度、外表粗糙度、导轨和支承件的刚度、导轨副的油膜厚度及油膜刚度。微型电钢直线运动导轨的几何精度一般包括：垂直平面和水平平面内的直线度 两条导轨面间的平行度。导轨几何精度可以用导轨全长上的误差或单位长度上的误差表示。6、运动平稳性模组运动平稳性是指导轨在低速运动或微量移动时不出现爬行现象的性能。单轴手臂平稳性与导轨的结构、导轨副材料的匹配、润滑状况、润滑剂性质及导轨运动之传动系统的刚度等因素有关。7、这是一个很容易被忽略的问题--电机。需要根据不同的要求，选用不同的电机，要求低的可以选用普通的步进电机。如果对速度有要求的话可以考虑用闭环步进电机。对速度和精度都有要求的可以用伺服电机。对安装空间有要求的常喝可以选用驱动和电机集成式一体的电机。选取滑台模组的时候首先确定的是需求手动调理还是电机节制，然后顺次确定位移行程，负载大小，位移精度，分辩率，但愿的外形尺寸，能否定量。直交机械手由于可以进行电路细分，分辩率可以到达超微米级，还可以经过核算机节制，到达自动化生产的目标。深圳安成机电有限公司是拥有多年直线滑台模组定制经验的生产厂家。深圳安成机电所生产的同步带直线滑台模组的特点是：模组体积小、结构紧凑、模块化的设计使得安装维护简易，实现高速度、高精度直线运动，这种产品的性能显著优于传统产品。直线滑台模组可应用于自动贩卖机，机械手，机电一体化，绘图机，写真机，平板打印机，自动送料，移动平台，摄像平台，自动化设备，刻字机，喷码机，机械裁床，激光切割机，雕刻机，送料机械，自动机械手，堆码机，鞋机，激光载床，喷涂机，下料机，点胶机，焊接机，摄影导轨，生产改良机，延时导轨，电视滑轨等行业的相关产业生产设备上。同时可按照客户的需求定制产品，在代替人工，提高生产效率，稳定产品质量等方面都具备显著的应用价值。

直线电机位移台EPSZ系列产品说明：直线电机位移台应用的线性电机为电磁直接驱动器。此类电机省去了动力传动系统中的机械部件，并将驱动力无摩擦地直接传递到运动平台。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。非接触式、超高精度的光学编码器直接测量平台的位置。使用交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。直线电机位移台应用于各种高精度场合。非常适合高精度要求领域:医药行业、激光切割扫描、生物技术、计量、AOI（自动光学检验）、激光打标等。产品介绍：■三相无铁芯线性电机直接驱动 ■精密交叉滚柱导轨，有效保证运动精度和直线性■纳米级分辨率的非接触式线性编码器■独特装配工艺要求，保证产品的一致性 选型表：型号EPSZ50EPSZ100EPSZ150EPSZ200机械规格外形尺寸165X165225X225300X300360X360行程(mm)X轴:50， Y轴50X轴:100，Y轴100X轴:150，Y轴150X轴:200，Y轴200台面尺寸(mm)165X165225X225300X300360X60导轨（导向机构）精密交叉滚柱导轨精密交叉滚柱导轨精密交叉滚柱导轨精密交叉滚柱导轨主体材料及表面处理6061T66061T66061T66061T6负载（KG）551010上轴最大加速度（g）3.52.53.53.5下轴最大加速度(g)1.511.51.5总厚度（mm）80808080自重（Kg）6101620精度规格光栅尺分辨率（μm）0.050.050.050.05最大速度（mm/s）*200200300300重复定位精度（μm）±0.5±0.5±1±1俯仰（"）10101515偏摆（"）10101515电机规格电机三相无铁芯线性电机三相无铁芯线性电机三相无铁芯线性电机三相无铁芯线性电机持续推力/峰值推力（N）17.6/88 17.6/8835.2/17635.2/176电机力常数（N/Arms）11112222 持续电流（Arms）1.81.81.81.8峰值电流(Arms)8888滑台接头两个DB15、两个四芯航空插头、两个五芯航空插头两个DB15、两个四芯航空插头、两个五芯航空插头两个DB15、两个四芯航空插头、两个五芯航空插头两个DB15、两个四芯航空插头、两个五芯航空插头注：精度参数为实验室测得数据

中图仪器NS系列纳米级高精度台阶仪接触式表面形貌测量是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。台阶仪工作原理当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。结构主要组成部分1、测量系统（1）单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。（2）线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。（3）传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。2、工件台（1）精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台，可以对样品的位置以及角度进行调节，三维位置均可以调节，利于样品调整。（2）超高直线度导轨，有效避免运动中的细微抖动，提高扫描精度，真是反映工件微小形貌。3、成像系统500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上，使得测量更加直观。4、软件系统测量软件包含多个模块。5、减震系统防止微小震动对测量结果的影响，使实验数据更加准确。NS系列纳米级高精度台阶仪接触式表面形貌测量应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。2.测量模式与分析功能1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.双导航光学影像功能在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。4.快速换针功能NS系列纳米级高精度台阶仪接触式表面形貌测量采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。 磁吸针实物外观图（330μm量程）应用场景介绍

中图仪器国产高精度台阶仪品牌NS200是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。工作原理测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。结构主要组成部分1、测量系统（1）中图仪器国产高精度台阶仪品牌NS200单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。（2）线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。（3）传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。2、工件台（1）精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台，可以对样品的位置以及角度进行调节，三维位置均可以调节，利于样品调整。（2）超高直线度导轨，有效避免运动中的细微抖动，提高扫描精度，真是反映工件微小形貌。 3、成像系统500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上，使得测量更加直观。4、软件系统测量软件包含多个模块。5、减震系统防止微小震动对测量结果的影响，使实验数据更加准确。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。中图仪器国产高精度台阶仪品牌NS200对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，它可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。台阶仪对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，应用场景适应性强。仪器数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义，是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。部分技术参数型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器NS系列纳米台阶测厚仪高精度测量薄膜厚度是一款超精密接触式微观轮廓测量仪，其采用LVDC电容传感器，主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点。NS系列纳米台阶测厚仪高精度测量薄膜厚度应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。测量过程测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。典型应用NS系列纳米台阶测厚仪高精度测量薄膜厚度集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。仪器结构单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。部分技术指标型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术样品观察光学导航摄像头:500万像素高分辨率 彩色摄像机,FoV,2200*1700μm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。