德国UnitemP真空快速退火炉RTP-150, 单晶圆,150mm,最快升温速率可达150K/s 6”单晶圆 升温速率可达到150K/s 7“液晶触控面板操作 SPS SIMATIC 软件控制 真空度可达10^-3hPa MFC 控制特点 精确控制快速升降温速率 优异的温度均匀性 可升级4 路工艺气体(MFC) 集成数据存储 红外卤素灯加热 不少于50 个可编程序,50 步 小型化设计应用 离子注入退火与电极合金化 RTP, RTA, RTO, RTN 不同气氛下退火,氧气、氮气等常见气体 SiAu,SiAl,SiMo 合金化 低k 电介质 晶相化和坚化、、、德国RTP-150 真空快速退火炉 技术参数:样品尺寸: 150mm 直径最高温度: 1200℃温度均匀性: ≤1.5% @设定温度升温速率: 升温速率降温速率: T=1000℃→400℃:200K/min,T=400℃→100℃:30K/min真空度: 可达10^-3hPa样品室材质: 石英玻璃腔体带通用石英载物台样品室高度: 18mm 134×169×18mm工艺室尺寸:(W×D×H)加热方式:24只红外卤素灯(21kW)上下排列加热工艺气体:MFC 控制( 氮气5nlm) 控制系统:SIMATIC,50 个可编程序,50 个步样品室冷却:水冷静基片冷却:气冷设备:设备尺寸:505mm×525(700)mm×570mm(W×D×H)重量:55kg水电:CEE 3×32A, 230V, 3~ + N + PE,选配:1. RTP-H2:氢气气路含安全装置(传感器和氢气检测器)2. RTP-H2S:硫化氢气路含安全装置(防护罩和传感器)3. RTP-MFC:其他工艺气路,MFC 控制,最多4 路4. RTP-OxAtAn:氧气分析仪用以测量氧气残余5. RTP-MM: 湿度分析仪用以检测样品室湿度6. RTP-SW: 开关箱7. RTP-TC: 额外的热电偶8. RTP-VAC I: 真空测量系统,本底真空到3hPa,真空规,真空阀,不包含真空泵。9. RTP-VAC II:真空测量系统,适用真空到10^-3hPa,皮拉尼真空规,真空阀,不包含真空泵。10. RTP-VCR:VCR 管(焊接)附件:1. RTP-GP-150:石墨托盘or 适配器(选配:SiC 涂层)2. RTP-GP-100:石墨托盘or 适配器(选配:SiC 涂层)3. RTP-QR-50:50mm 晶圆基座(石英)4. RTP-QR-75:75mm 晶圆基座(石英)5. MP:隔膜泵,真空:3hPa6. RVP:旋片泵or 干泵,真空:10-3hPaRTP-150 的实际温度曲线
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