SIMS 工作站(SIMS Workstation-a complete SIMS Analysis Facility) ,综合UHV / SIMS 设备,进行高级的表面分析。可靠的、普遍适用的SIMS分析工作站。整合的离子源,便于RGA和SNMS 各类型样品的快速转向 阴、阳离子、中性粒子、自由基的质量、能量分析仪 整合的离子枪光栅控制和信号选通,进行深度分析 绝缘体研究中的电子流枪用于电荷中和 液氮冷井和真空室烘烤加热器 自动的SIMS 离子光学透镜调谐和质量数列表,使SIMS性能最佳 Hiden EQS SIMS 分析仪,运行于 MASsoft O/S 之下,检测限至ppb级 基本的激发源选择: 带差式泵的Hiden IG20 Ion,IFG200 FAB或高性能液态镓枪 快速样品传递,样品固定,负载锁定的操纵器 4 轴:X, Y, Z, θ UHV 操纵器,以最佳定位样品 加上ESM LabVIEW和SIMS 成像程序,进行SIMS元素成像 静态SIMS谱图库可用
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