高麦电子级碳酰氟分析解决方案
碳酰氟,分子式为CF2O,也称为氟光气、羰基氟、氟化羰,常温常压下外观为无色气体状,可加压液化,便于储存,有刺激性,有毒性,有强腐蚀性。碳酰氟可溶于乙醇,可溶于水,遇水可水解排放出剧毒氟化氢、二氧化碳气体,不可燃,遇高温可分解,分解产物为四氟化碳、二氧化碳,在密闭容器中有爆炸危险。碳酰氟应用领域包括有机合成原料、有机合成中间体、有机合成氟化剂以及有机合成的纯化与干燥等方面。高纯碳酰氟可应用于半导体产业中,用作晶圆蚀刻剂、半导体设备清洗剂。碳酰氟的ODP(消耗臭氧潜能值)为零,GWP(全球变暖潜能值)低,是一种环保性好的气体,在全球半导体产业规模不断扩大背景下,其需求持续增长,是主要电子气体产品之一。