应用范围:灵活的OEM设备,用于多种不同样品的在线寿命测量:从单晶硅到多晶硅锭,从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。标准软件接口,易于连接到许多处理或自动化系统。在线面扫和单点检测MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元,可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测,每个晶圆的测量速度小于一秒。电池生产线上的来料质量检查是最常用的一种应用方向,同样,钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。 还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成,只需要以太网连接和电源。 产品介绍l 各种不同的样品,从单晶硅到多晶硅,从生长的晶片到加工过的晶片,都可以通过MDPlinescan使用少子寿命测量进行检测。 l MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元,可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。 l 样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测,每个晶圆的测量速度小于一秒。 该仪器有许多专门应用可能性。由于其易于集成,只需要以太网连接和电源即可。例如,电池生产线上的来料质量检查是其最常用的一种应用方向,同样,钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。优势l 在μ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。l 用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆,包括材料制备,和各种工艺处理阶段。小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。优势是长时间的可靠性和测量结果的高精度。技术参数样品种类多晶或单晶晶元片, 晶锭,晶胞样品尺寸大约50 x 50 mm2电阻率0.2 - 103 Ohm cm电导类型p, n材质硅晶圆,部分或完全加工晶圆,化合物半导体等测量属性载流子的少子寿命硬件接口ethernet大小174 x 107 x 205 mm, 重量: 3 kg电源24 V DC, 2 A
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