划痕仪原理

摩擦学和划痕测试你已经知道如何使用我们的摩擦测试仪了，但你想了解滑动速度和接触压力等测试参数是如何影响摩擦系数和磨损吗？或者您已经熟悉划痕测试，但想知道如何评估划痕抗力和优化薄膜涂层附着力测试的测试参数？请加入我们的摩擦学和划痕测试高级数字研讨会。研讨会分为四部分：第1课时中，我们将着重讲解不同测试参数对刹车片摩擦系数和磨损的影响，解释使用TRB3线性模块时获得的数据。第2-4课时重点介绍划痕测试：第2课时中，将学习如何对薄膜涂层进行附着力测试，以NST3测试聚酰亚胺涂层ITO玻璃为例；我们将在网络研讨会的最后两个课时上重点介绍MCT3，我们将首先简要介绍汽车透明涂层的耐擦伤性，然后介绍三种木材涂料的弹性恢复测定示例。在研讨会的最后一节中，我们将演示划痕法，以及更精确地确定锂离子电池阳极涂层的附着力。内容第1课时：15：00-15：45使用TRB3研究刹车片的摩擦磨损性能第2课时：15：45-16：15光学聚合物薄膜的附着力评估第3课时：16：15-16：35木材上油漆的耐刮擦性的测试第4课时：16：35-17：00锂离子电池涂层的附着力时间/报名时间： 2022-05-23, 15:00 - 17:00语言：English主讲人：Jiří Nohava, PhD., Mihaela Dubuisson, Maryam Bahrami, PhD.报名方式：点击“阅读原文”!注册：iphone手机需复制链接，浏览器打开安东帕中国总部销售热线：+86 4008202259售后热线：+86 4008203230官网：www.anton-paar.cn在线商城：shop.anton-paar.cn

注塑汽车部件的耐划伤性在保持汽车原有的漂亮外观方面起着非常重要的作用。添加剂可以提高注塑材料的耐划伤性能，而共聚焦显微镜可以快速对添加剂增强耐划伤性的效果进行非常精确的量化分析。Croda International（克罗达国际公司）的研究科学家们使用奥林巴斯的LEXT OLS5000共聚焦显微镜完成了一些标准化划痕检测，以证明其所生产的添加剂在提高耐划伤性方面具有积极的作用。结果表明，这种检测方法不仅可以消除操作人员在技能上的差异，而且还显著提高了检测的精确性和速度。塑料由于具有用途广泛、寿命较长且成本较低的特性，而被用于生产多种汽车部件。聚合物材料在性能上的提高，加上汽车制造业追求更轻便材料的动力，促使汽车制造业中所使用的塑料呈现出更为多样化的发展趋势。汽车上的很多塑料部件都暴露在外，清楚可见，这就意味着这些部件的外观在保持汽车的美观和价值方面起着举足轻重的作用。具有耐划伤性的材料可以减少汽车外观受到磨损的情况，从而有助于汽车在长期使用后仍然保持原有的价值。构成材料的精确成分可以决定材料的耐划伤性能，而对某种特定材料进行的详细检测可以表明其耐划伤性的水平。在克罗达公司完成的划痕检测作为耐划伤性添加剂的供应商，克罗达公司会定期进行划痕检测，以证明他们的添加剂产品对提高塑料性能所起到的积极作用。Martin Read是克罗达公司聚合物添加剂应用团队的领导，也是抗划伤项目的首席科学家。在谈到可检测的材料范围时，Martin解释说：“我们可以检测汽车上的所有材料，从透明材料，如：手势控制装置中使用的材料以及用于隐藏传感器的表面材料，到具有高光泽度的所谓的“钢琴黑”表面。在对这些表面进行清洁和抛光时，非常容易留下细微的划痕。为了证明添加剂可以提高耐划伤性能，研究人员制造了一些由不同成分构成的板子，并使用一种标准化工具，以规定的1–20N力量在板子上留下划痕。Martin说：“在检测之前，要在聚合物板上制造划痕，划痕的两侧各有两行凸起，类似于犁过的田地。” 然后，要对划痕的深度、宽度和轮廓进行测量，通过对不同材料成分的聚合物板进行同类的测量，可以确定不同材料成分在耐划伤性方面的差异。克罗达公司最初的设置是使用宽场材料显微镜测量划痕的宽度，再使用白光干涉仪显示划痕轮廓的方法确定划痕的深度。然而，这种方法极为耗时，特别是因为设置干涉仪和分析其结果的过程非常复杂。此外，在使用干涉测量法时，测量结果还会因操作人员较大的技能差异而有所不同，并会因表面轮廓上出现的伪影而有失准确。为了获得更精确的数据，并加快工作流程，研究人员对奥林巴斯的LEXT OLS5000共聚焦显微镜进行了测试（图3），以确认是否可以通过使用一台仪器测量所有相关的参数。LEXT OLS5000显微镜既可以快速完成扫描，又可以为创建宽范围的3D样品图像提供可量化的详细数据。通过使用LEXT OLS5000显微镜，克罗达公司的研究人员将测量结果的精度提高了一个以上的量级。在评估划痕的深度和轮廓方面，精度的改进表现得最为明显：测量精度接近于10纳米。Martin评论道：“由于LEXT系统可以在3D图像中进行准确的测量，我们只需观察划痕的一个切片图像，即可对划痕的深度进行测量，这种方法简单多了”。使用干涉测量法测量划痕的深度和轮廓所面临的关键性挑战，是聚丙烯等材料的轮廓会显示为尖状凸起的边缘。这些伪影是干涉仪未能探测到表面的结果，而且会影响测量的效果。Martin解释说：“由于聚丙烯材料具有多孔结构，因此干涉仪可能没有探测到表面，而是通过空隙看到了材料的内部。”在使用LEXT显微镜测量相同的样品时，研究人员可以获得划伤表面的更平滑的图像。这种图形可以准确地呈现划痕的轮廓，从而有助于进行精确的测量。在成像、测量和分析的速度方面，LEXT OLS5000显微镜的优势甚至表现得更加明显。克罗达公司的研究人员发现使用LEXT OLS5000显微镜对划痕的宽度和深度进行测量，可以使检测速度高出干涉测量法的10到100倍。“要测量划痕，我们必须尽量对干涉仪进行较为粗糙的设置，”Martin说，“而进行这种设置极为困难。进行一次测量，需要花费约1小时的时间。而使用共聚焦显微镜，我们可以在2分钟内测量和处理塑料表面上的10个划痕。”耐划伤性添加剂可以提升汽车外观的审美性，并确保汽车在更长的时间内保持其自身的价值。在划痕检测中完成的精确测量，可以可靠地验证添加剂对加强注塑部件的耐划伤性所起到的积极作用。克罗达公司最初使用的测量划痕的方法基于光学显微镜和干涉测量法。这个方案不仅非常耗时，而且还会使表面轮廓出现伪影。在购买了奥林巴斯的LEXT OLS5000共聚焦显微镜之后，克罗达公司的研究人员就可以完成比光学显微镜和干涉测量法更精确的测量，而且还可以避免因操作人员在技能水平上的差异而对测量结果产生的影响。他们还设法以快于原先方法10到100倍的速度完成测量，从而可以说明LEXT显微镜不仅可以改善数据质量，还可以提高检测效率。

RTEC参加2023国际表面科学技术与应用大会，携三维划痕仪荣获电视台报道，并受到表面工程研究领域专家学者普遍关注。这次大会吸引了600多名国际行业人士参与，共同交流表面科学领域的前沿技术和行业趋势。作为活动参展商，RTEC展示了最新的三维划痕仪，该仪器可用于材料表面性能评估，能够提供高精度、高分辨率、高自动化和高效率的表面质量评估解决方案。电视台特写镜头-三维划痕仪/压痕仪此次大会主题为“聚焦表面科学技术，推进创新驱动发展"，邀请了潘复生院士担任主席。通过举办大会报告、主题学术论坛等活动，参与者可以搭建起学术交流、科技成果转化、前沿技术展示的国际平台，聚焦海内外高层次人才服务重庆市，促进海内外高质量科技创新成果在重庆市的转化。Rtec参展仪器受到电视台和专家学者围观专家们一致认为，表面科学技术在工业制造领域应用广泛，例如，跨海大桥的耐腐蚀性能和汽车的车漆的耐腐蚀和抗疲劳特性，都离不开表面科学技术的应用。在表面科学方面，重庆市在理论研究方面已累积了一定影响力，特别是在自修复涂层的研究方面进展较为迅速，多款应用产品已经推出。这些涂层具有30分钟内能够修复到损伤之前的形状的能力，是专业研发的解决方案之一。会议现场本次大会历时4天，由西南技术工程研究所、北京工业大学、哈尔滨工业大学、郑州大学、西南交通大学、国家镁合金材料工程技术研究中心、重庆科技学院等国内研究所和高校共同组织策划，吸引了来自全球14位院士和250位专家的学术团队，参会代表超过600位。RTEC作为本次大会的参展商，展示了最新的表面测量评估解决方案，受到了广泛的关注和认可。

如果是黄金交易商或典当行老板，就需要适当的工具来确保您提供给客户的是纯金、白银和其他贵金属。有几种方法可以用来检测黄金和其他贵金属的纯度和真伪。这些方法包括电导率测量、酸划痕试验，以及X射线荧光（XRF）检测。这篇文章将详细介绍每一种黄金检测方法，并对它们进行比较，以便您利用正确的技术帮助实现贵金属真伪判断。电导率测量电导率测量涉及到使用电子设备来测量金属的导电性。不同的金属有独特的电导率水平，所以这种方法可以用来识别某一金属类型。然而，这种方法并不总是准确的，因为一些合金和混合金属可能有类似的电导率水平。实际上，样品的温度也会影响测试结果。酸划痕试验酸划痕试验涉及到在金属的一小块区域滴上一小滴酸，并观察其反应。不同的酸被用来测试不同的金属，如用盐酸测试金，用硝酸测试银。如果金属是真的，酸不会对其表面造成明显的影响。如果金属不纯或为合金，酸会与其发生反应，金属表面会出现划痕或变色。尽管这种方法快速且容易执行，但可能得到主观的结果。此外，通常认为酸划痕试验的准确度很低。因此，酸划痕试验不能被认为是一种定量方法。XRF检测XRF检测是一种更加准确和全面的测试贵金属含量和贵金属纯度的方法。X射线荧光分析仪向金属发射X射线，测量受激电子释放的能量以确定样品的成分，并在几秒钟内提供结果。这种检测方法不仅快速简单，而且X射线荧光分析仪通常被认为是测试金属的较为可靠的方法。下表显示了X射线荧光分析仪的准确度和精度，该表将贵金属X射线荧光分析仪的检测结果（测试样品中元素的百分比）与黄金珠宝合金的认定参考标准进行了比较。XRF检测也是一种无损贵金属分析方法。换句话说，XRF检测不会对被评估的金属（而酸划痕试验可能会在金属上面留下痕迹）造成损害。为了提高灵活性，X射线荧光分析仪有坚固耐用的手持式版本，用于在现场测试金属，也有为展厅环境设计的台式版本。介绍一种检测金银珠宝的更简单的方法全新Vanta GX贵金属分析仪可满足此需求，这是一种台式X射线荧光分析仪，易于使用且价格合理。只需按下一个按钮就能证实金、银、白金、钯和其他贵金属的纯度和百分比。该分析仪还提供内容全面的成分结果，以便您能准确地为物品定价。检测多达27种化学元素，包括有害元素（铅或镉）和低价元素。有了这些可操作的检测结果，一旦出现镀金警报，我们就能很容易地识别出赝品。Vanta GX贵金属分析仪使用贵金属X射线荧光分析仪来验证贵金属，可以保证您向客户提供的是正品。您可以对产品的纯度充满信心。您的客户也可以在现场测试自己的贵金属。这对那些从其他矿场或经销商处购买贵金属的人来说特别有用。有了贵金属X射线荧光分析仪，贸易商可以对他们所销售产品的纯度充满信心。例如，如果一件物品被认为是纯金，但实际上是一种合金，卖方可能会错误地将其作为纯金定价，进而导致交易亏损。同样，如果一件物品被认为是低档次金属，但实际上是一种贵价金属，买方可能会大大低估该物品的价格，并错过一次高回报的投资机会。使用Vanta GX贵金属分析仪，黄金交易商和他们的客户可以充满信心地确定珠宝的成分，从纯金物品中识别出镀金物品，并做出明智的购买决定。

p style=" text-indent: 2em " span style=" text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 font-size: 14px " 近日， /span span style=" text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) " 南方科技大学 /span span style=" text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) " 发布公告招标“ /span span style=" text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) " 材料原位真空微纳表征系统 /span span style=" text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) " ”， /span span style=" text-align: justify text-indent: 28px font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0px font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254) " 填补学校科研仪器设备的空白，总招标金额高达750万。 /span /p p style=" text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 据南方科技大学介绍，该校招标的 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 材料原位真空微纳表征系统是按需搭建的一套开放式系统 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" ， /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 用于 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 材料表征和开发、材料性能评价、化学反应性能研究等 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 。 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 该 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 材料原位真空微纳表征系统 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 中所涉及的仪器类型包括 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 场发射扫描电镜 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 、 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 离子溅射仪 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 、 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 能谱仪 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" - /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 电子背散射衍射仪 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 、 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 原位定量纳米力学测试仪 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 、 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 阴极荧光光谱仪 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 等，项目招标所有仪器都接受进口。 /span /span /p p style=" text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 据南方科技大学介绍，学校 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" 2/3院系的科研工作中都会对扫描电子显微镜、能谱表征、原位力学、表面光谱等表面分析测试有需求，其中材料科学与工程系、化学系、电子与电气工程系、环境科学与工程系的需求量最大。 /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 而南方科技大学 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 还没有全面进行此类分析的综合分析平台 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" ， /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 尤其较为 /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 缺乏关于 /span 10nm以下超高分辨率的样品表面细节表征、原位力学性能测试分析手段 /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 。 /span /span /p p style=" text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 项目名称： /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 材料原位真空微纳表征系统 /span /span /p p style=" text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 采购编号： /span /span span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" PLAN-2020-0108016001-01166 /span /p p style=" text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 预算： /span 750万元 /span /p p style=" text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 采购单位：南方科技大学 /span /span /p p style=" text-indent:28px text-align:justify text-justify:inter-ideograph" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px background: rgb(251, 253, 254)" span style=" font-family:宋体" 采购详情： /span /span /p table border=" 1" cellspacing=" 1" style=" margin-left: 6px background: rgb(204, 204, 204) border-width: 1px border-style: solid border-color: windowtext " width=" 646" tbody tr class=" firstRow" td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 53" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 序号 /span /p /td td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 68" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 货物名称 /span /p /td td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 招标技术要求 /span /p /td /tr tr td valign=" center" rowspan=" 34" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 53" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1 /span /p /td td valign=" center" rowspan=" 34" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 68" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 场发射扫描电镜 /span /p /td td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.1 运行环境： /span /p p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.1.1 房间温度：15 ~ 25℃ /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.1.2 相对湿度：小于60% /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.1.3 适用电源：单相，220V± 10%，50/60Hz，4kVA，要求连续供电 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.1.4 地线：接地电阻范围40 ~100 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.2电子光学系统： /span /p p style=" margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ★1.2.1 分辨率： 0.6nm@15kV； 0.7nm@1kV /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.2.2 加速电压：最低 0.5kV； 最高 30kV；0.1kV/步 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.2.3着陆电压：0.01 -20kV（减速模式） /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.2.4 放大倍数：最小 20倍； 最大 200万倍（底片模式） /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲1.2.5电子枪：冷场发射电子枪 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲1.2.6 配备10年场发射灯丝耗材 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ★1.2.7最大电子束流： ≦20nA，且连续可变 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲1.2.8物镜光栏：内外加热自清洁式，四孔，可移动物镜光栏 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.3样品室： /span /p p style=" margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.3.1 样品台： 5轴自动马达驱动，机械优中心 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.3.2样品移动：X 0-110mm；Y 0-110mm；Z 1.5-40mm；R = 360 连续旋转，T -5～ +70 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.3.3样品防撞警报装置：有 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.3.4容纳样品尺寸： 150mm直径 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.3.5样品换样方式 /span /p p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲1.3.5.1配备交换仓，交换仓端面透明，可观察到样品交换过程 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲1.3.5.2交换仓能容纳 150mm的样品 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.3.5.3具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.3.6检测器： 配有顶位、高位以及低位二次电子探测器，顶位探测器可选择接收二次电子像或背散射电子信号，高位探测器可选择接收二次电子或背散射电子信号，并以任意比例混合。在低压下（2kV）可以得到背散射电子图像 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.4 真空系统： /span /p p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲1.4.1真空泵: /span /p p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 机械泵:135L/s /span /p p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 涡轮分子泵（磁悬浮型）:300L/s /span /p p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 3级离子泵:60L/s 1, 20L/s 2 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.4.2 真空度：电子枪部分优于10-7Pa；样品室部分优于10-4Pa /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.4.3 保护：自动真空抽气及诊断系统,具有断电、缺水、失真空保护系统 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.4.4样品更换抽真空时间： 1分钟 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.5 图像处理软件：可以进行图像的处理、测量和编排实验报告 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.6 数据记录：照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.7图像显示：不低于1280 960像素 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.8图像储存：640 480，1280 960，2560 1920，5120 3840像素，照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等信息 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.9图像类型： TIFF, BMP或JPEG /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.10 信号/图像处理功能： /span /p p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 像素积分改善S/N，框架积分，彩色图像显示，2色合成图像显示（保存图像），伪彩色图像显示（保存图像），针对保存图片的图像处理（灰阶变换，伽马调整，各种空间过滤处理） /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.11 保存图像处理： /span /p p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 可以进行图像的处理、测量和编排实验报告，捕捉的图片可存储在临时图片栏内，可选择单张存储或批量存储，可自动连续命名 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.12 用户可自行完成红烘烤维护和镜筒合轴维护 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1.13 防污染措施：防污染冷阱 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲1.14订制样品台：包含一个电流电压测试单元；电流测量范围：1nA-30mA，9个量程；电流分辨率：优于100fA /span /p /td /tr tr td valign=" center" rowspan=" 6" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 53" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 2 /span /p /td td valign=" center" rowspan=" 6" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 68" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 离子溅射仪 /span /p /td td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲2.1与电镜同一精度配套型号 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 2.2含镀金镀碳2种功能 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 2.3最大样品尺寸：直径60mm，高度20mm /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 2.4溅射电流：0-40mA /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 2.5溅射时间：0~999s /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 2.6靶材：PT靶材 /span /p /td /tr tr td valign=" center" rowspan=" 11" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 53" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 3 /span /p /td td valign=" center" rowspan=" 11" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 68" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 能谱仪 电子背散射衍射仪 /span /p /td td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 3.1探测器：硅漂移（SDD）电制冷探测器探头系统，采用场效应管（FET）一体化集成设计的高速SDD芯片，探测器具有60mm2有效活区面积，超薄窗设计，独立真空 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 3.2能量分辨率：在双探测器总100,000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV，轻元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 3.3采用纤细化等技术提高固体角，单个探指直径仅18.2mm，改善系统分析效率 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲3.4能谱仪处理单元与计算机采用分立式设计，单探测器输出最大计数率优于600,000CPS，可处理最大计数率优于1,500,000CPS /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲3.5配备完善而精准的原子数据库，包含所有的分析线系(K, L, M 和 N线系)，实现1-30kv精确定量 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 3.6定量分析：标配P/B-ZAF以及XPP修正的PhiRhoZ定量方法，可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术，可对倾斜样品进行修正，并增强对轻元素的修正；可以得到归一化和非归一化定量结果，可以用化学配位法得到非归一化结果 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 3.7高速高灵敏CCD相机：高端16bitCCD相机， 640 480像素，在10pA下可采集到清晰菊池花样 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 3.8花样采集速度：945花样/秒@8 8binning 630花样/秒@4 4binning，并且在低至4kV时可采集到清晰菊池花样，角分辨率达到0.1 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 3.9原位EBSD 探测器倾斜角度调节：可在原位进行垂直方向+/-4.5 度角倾斜，电子传感器自动读取倾斜角 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 3.10标配两个磷荧光屏 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 3.11可实现EDS谱图采集与EBSD花样采集同步，同步采集速度可达170p/s，*衍射花样的再处理不低于54,000p/s； /span /p /td /tr tr td valign=" center" rowspan=" 29" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 53" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4 /span /p /td td valign=" center" rowspan=" 29" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 68" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 原位定量纳米力学测试仪 /span /p /td td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.1测试系统的本征控制模式必须是本征位置控制，不允许通过反馈来实现位置控制 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲4.2采用压电陶瓷来实现驱动施加载荷，采用电容式位置传感器和基于 MEMS 的电容式力传感 器 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.3最大载荷： 200 mN /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲4.4纵向载荷背景噪音（10 Hz 下测量） 0.5nN /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.5最大压痕深度： 25 m /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲4.6位移背景噪音（10 Hz 下测量） 0.05 nm /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.7通过内置的压电陶瓷控制样品的精准定位 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.8样品台可移动范围：X 12 mm，Y 12mm，Z 21mm /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.9 X/Y/Z 定位分辨率： 1 nm /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.10具有旋转轴，样品能围绕测量方向旋转 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.11样品台旋转范围： 360 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.12样品台旋转分辨率： 0.000035 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.13样品转轮能在不更换样品的情况下实现至少 3 个直径不小于 12 mm 样品的原位力学测试 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.14具有纳米划痕模块，通过两个独立的压电陶瓷来实现驱动，采用独立的电容式位置传感器 和一个电容式二维力传感器 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.15纳米划痕实验的最大横向力: 20mN /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.16纳米划痕实验的最大横向位移： 20 um /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.17纳米划痕实验的横向载荷背景噪声（10 Hz 下测量）： 100 nN /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.18纳米划痕实验的横向位移背景噪音（10 Hz 下测量） 0.05 nm /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.19具有连续的载荷、位移数据随时间变化的实时数据的功能 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.20具有载荷控制功能以及位置控制功能 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" margin-top:0 margin-right:0 margin-bottom:0 margin-left:0" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.21可以在 SEM 内控制原位拉伸、压缩、断裂、疲劳、蠕变、纳米压痕（含 CSM）、 纳米划痕、 纳米摩损等力学测试 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.22可与 SEM分析部件联用，可在力学测试同时通过 SE、EBSD、TKD、STEM等探头进行原位观察 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.23具备原位 SPM 成像功能，可以对样品进行连续不间断的 3D 原位扫描成像 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.24 提供硬件级别传感器保护模式，防止微力传感探针的力学过载 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.25 包含基于Windows操作系统的微力测试软件、微操作软件；允许用户生成自定义的微力测试 程序 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.26 软件使测量数据(比如力和位移、力和时间数据等)可视化，可记录和导出数据(.txt 或.xls) /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.27 连续刚度测量(CSM)频率: 500 Hz /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.28 最大疲劳测试频率: 500 Hz /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 4.29 数据采集率: 96000Hz /span /p /td /tr tr td valign=" center" rowspan=" 12" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 53" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 5 /span /p /td td valign=" center" rowspan=" 12" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 68" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 阴极荧光光谱仪 /span /p /td td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 5.1具有阴极荧光全谱成像、单谱成像和单光谱分析功能 /span /p p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲5.2配置自动切换三光栅谱仪，谱仪焦距320mm /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲5.3光栅台为3光栅台，谱仪安装3块光栅，软件控制切换： /span /p p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 150gr/mm光栅，闪耀波长500nm /span /p p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 300gr/mm光栅，闪耀波长500nm /span /p p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 1200gr/mm光栅，闪耀波长400nm /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" ▲5.4六档滤光片轮，装配有RGB滤光片，软件控制 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 5.5光谱探测范围300-900nm /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 5.6 光谱仪入口和出口狭缝宽度可调，可调范围0-3mm /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 5.7椭球镜工作距离可低于12mm /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 5.8具有电子束扫描控制及电镜图像采集功能 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 5.9具有阴极荧光光谱线/面分布功能 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 5.10软件自动控制荧光收集装置伸缩，伸缩尺寸满足电镜样品室要求 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 5.11荧光收集装置预对中调整 /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 5.12高性能椭球反射镜，理想荧光收集效率大于90% /span /p /td /tr tr td valign=" center" style=" background: rgb(251, 253, 254) border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " width=" 524" p style=" text-indent: 28px" span style=" font-family: 宋体 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 14px" 5.13光纤传导，光纤长度大于3m /span /p /td /tr /tbody /table

先进纳米压痕技术交流研讨会时间：2019.6.27-28地点：上海市合川路2570号科技绿洲三期2号楼11层虽然上周会议已经结束，没有来到现场的老师，也不用遗憾，让我们一起回顾下安东帕先进纳米压痕技术交流研讨会的精彩一刻！纳米压痕已被证明是最实用和有效的小体积机械测试方法之一。Oliver和Pharr理论已成为纳米压痕数据分析基本理论方法。Anton Paar一直努力为其提供最可靠和最具有创新性的测量设备，在这次研讨会上，我们介绍了最前沿的商品化的高温超纳米压痕仪， 同时国外同事还针对纳米压痕的各种不同应用进行讲解与展示。公司介绍奥地利安东帕始建于 1922 年，在全球有 32 家销售分公司，全球业务分为三大部分：表征业务、测量业务和解决方案。其中，表征业务主要包含材料表征仪器，即流变测量、颗粒特性分析、材料表面力学特征、纳米表面特性/原子力显微镜等。安东帕TriTec前身为瑞士微电子研究中心（CSEM），2013 年被安东帕收购，目前在世界各地有超过 5000 台的仪器。现场报道安东帕中国表面力学产品专家为现场参会人员带来“安东帕表面力学产品”和“纳米压痕测试基本原理”的精彩报告先进的表面力学测试涉及压痕测试，划痕测试，摩擦磨损测试等，通过以上测试我们可以获得材料表面机械性能：硬度、弹性模量、断裂韧性、涂层结合力以及表面的摩擦磨损性能。安东帕提供丰富的测试可能性，既有多模块设计组合，也有专用的定制化设备，用户可以获得最完整的表面力学解决方案。安东帕中国原子力显微镜产品经理 为现场参会人员带来“基于原子力显微技术的纳米力学测量”的精彩报告原子力显微镜始于1985年，由Binning等人在IBM和斯坦福大学发明。原子力显微镜利用纳米尺度的针尖扫描样品表面，与其他显微镜，如光学显微镜、电子显微镜等相比，原子力显微镜能够实现三维成像，在横向和纵向均具有较高的分辨率。现场介绍了力曲线，力曲线测量过程，力曲线解读，力曲线应用实例等。其中，Force-Dist曲线代表力和扫描器伸长量的关系，Force-Sep曲线代表力和探针-样品表面相对位置的关系，两者可以转化。原子力显微镜：Tosca 系列使用原子力显微镜进行纳米压痕测量，首先要进行探针选择。其中，长悬臂探针具有较低的弹性系数，因此对大部分样品有更好的测量灵敏度；短悬臂探针在黏附力影响下相对能有更好的控制；尖锐的探针相比钝探针而言，更容易是样品产生塑性形变，并不容易受黏附干扰。原子力显微镜纳米压痕测试具有微区测量定位精准、操作灵活的优点，同时也有测量稳定性相对偏弱、硬质材料测量受限的缺点。安东帕表面力学（划痕）产品经理（国外同事）远程连线带来关于“纳米压痕动态力学分析原理及典型应用”的精彩报告，涵盖动态测量原理和不同针尖类型的使用及标定的先进压痕理论，聚合物快速点阵模式等典型应用等。安东帕深入浅出的报告丰富的内容使现场参会人员受益匪浅现场讨论环节解开了技术人员的诸多疑问仪器参观活动让参会人员更直观深入的了解纳米压痕测试仪和原子力显微镜没有来参会的老师，也无需遗憾，可报名参与2019.09.18-20 安东帕纳米压痕、划痕 （兰州站）技术交流研讨会

高压漏电起痕试验机的测试原理是什么？实验原理：漏电起痕试验是在固体绝缘材料表面上，在规定尺寸（2mm×5mm） 的铂电极之间，-施加某一电压并定时（30s）定高度（35mm）滴下规定液滴体积的导电液体（0.1%NH 4CL），用以评价固体绝缘材料表面在电场和潮湿或污染介质联合作用下的耐漏电性能，测定其相比电痕化指数（CT1） 和耐电痕化指数（PT1） 。主要配件 序号型号产地1箱体(可选不锈钢箱体)宝钢A3钢板,喷塑2变压器浙江二变3调压器正泰4继电器及底座正泰5漏电保护器正泰6按钮正泰7计时器欧姆龙8短路电流智能表上海9温控器日本欧姆龙10导线上海启帆11计数器欧姆龙12无线控制器上海埃微自主研发13电磁阀亚德克在操作过程中要注意的事项：1、在操作过程中，人员应该注意个人防护，避免漏电受伤或被溶液沾染到口、眼部位造成伤害2、输入电源AC220±2%。3、排气管应通出窗外。4、在对样品进行时,请勿打开仓门,待试验完之后或当实验失效产生火烟时，先打开风扇排除烟雾后，再打开仓门进行作业。5、实验前须确认设备是否在计量有效期内，如超期则不能进行实验6、电源应用有地线的三极插座，保证接地可靠。主要技术指标：1） 空气环境：0~40°C；2） 相对湿度：≤80%；3） 无明显振动及腐蚀性气体的场所；4） 工作电压：AC220V±2% 50HZ±1%，1KVA；5） 试验电压：100~600V连续可调数显，电压表显示值误差：1.5%，显示值为:r.m.s；6） 延时电路：试验回路在（0.5±10%）A（r.m.s）或更大电流时延时（2±10%）S后动作；电极：a: 5㎜×2㎜矩形铂金电极和黄铜电极各一对；b: 电极尺寸要求：（5±0.1）㎜×（2±0.1）㎜×（≥12）㎜,其中一端凿尖角度为（30±2）°（即试验端呈30°±2°斜角）,凿尖平面宽度为0.01㎜~0.1㎜；c: 电极间所成角度为60°±5°,间距为（4±0.1㎜）；d: 对样品压力为:1.00N±0.05N；7） 滴液系统：a: （30±5）秒（开启滴液时间28S+开启滴液持续时间2S）自动计数、数显（可预置），50滴时间：（24.5±2）min b: 滴液针嘴到样品表面高度:35㎜±5㎜（附一个量规作测量参考） c: 滴液重量:20滴:0.380g~0.489g 50滴:0.997g~1.147g 8） 短路电流：两电极短路时的电流可调至（1±0.1）A,数显±1%,电流表显示值为有效值（r.m.s） 9） 仪器外形尺寸（宽*高*深）1100*1150*550㎜（0.5立方）；700*385*1000㎜（0.1立方）；10） 箱体由1.2厚的304不锈钢板制成，可订制0.75立方；11） 样品支撑平板：厚度≥4㎜的玻璃；12） 针嘴外径：A溶液：0.9㎜~1.2㎜B溶液: 0.9㎜~3.45㎜13） 滴液大小根据滴液系统而定；14） 风速：0.2M/S。产品特点：1、 本仪器支持5路试样同时进行试验，每路都有独立的控制系统进行控制2、 本仪器核心控制系统由西门子PLC控制，通过光电隔离方式进行采集电压和电流，有效解决抗干扰问题使数据采集保持稳定3、 本仪器显示部分是9寸触摸屏，操作方便，数据显示直观，能够实时显示每个试样的泄露电流4、 可以自由设定泄露电流数值，当实验中的电流超过设定电流值时，能够提示报警，并切断高压电源，并不影响其它试样继续做试验5、 滴液流量大小可根据实际需求自由设定6、 通过手动旋钮顺时针调到指定试验电压。7、 可以手动自由设定试验时间8、 本仪器具有排风和照明功能漏电起痕试验仪是IEC60112 ： 2003 《固体绝缘材料耐电痕化指数和相比电痕化指数的测定方法》是按GB4207、IEC60112等标准要求设计制造的专用检测仪器，适用于对电工电子产品、家用电器的固体绝缘材料及其产品模拟在潮湿条件下相比漏电起痕指数和耐漏电起痕指数的测定，具有简便、准确、可靠、实用等特点。满足标准：GB/T6553-2003 及 IEC60587：1984《评定在严酷环境条件下使用的电气绝缘材料耐电痕化和蚀损的试验方法》GB_T3048.7-2007电线电缆电性能试验方法_第07部分：耐电痕试验漏电起痕试验仪是IEC60112 ： 2003 《固体绝缘材料耐电痕化指数和相比电痕化指数的测定方法》

项目编号：LNZB02-ZBR2022-152项目名称：中国科学院金属研究所纳米压痕仪采购预算金额：190.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：190.0000000 万元（人民币）采购需求：本次招标货物分为1 个包，投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。（1）设备名称：纳米压痕仪；（2）数量：1套；（3）简要要求：可以完成微纳米尺度上材料力学性能测试和表征。可以用于金属材料、聚合物材料、无机非金属材料、膜材料及复合材料等的纳米压/划痕、纳米磨损等力学特性测试，获得相关条件下的硬度、模量、蠕变、屈服、纳米磨损性能、粘结失效、断裂韧性、应力松弛、疲劳等性能。（4）交货方式与地点：CIP沈阳机场，中国科学院金属研究所指定地点；（5）本项目允许采购进口产品。合同履行期限：合同生效后8个月本项目( 不接受 )联合体投标。

p 　　关于进行高温纳米压痕试验的最佳方法一直存在争议，其中热漂移、尖端腐蚀和噪声基底是阻碍此类试验的主要问题。安东帕TriTec高温超纳米压痕测试仪(UNHT sup 3 /sup HTV) 能够解决800℃下进行纳米压痕测试的问题。 /p p 　　前期工作已经证明，除了氧化之外，热漂移是导致高温试验误差的关键问题之一，随着温度的升高，漂移率趋于增加。在UNHT sup 3 /sup HTV中解决这个问题是一个重要的发展，需要很多修改来适应所有可能的变量。 /p p 　　基于安东帕尔在纳米压痕方面的长期经验，UNHT sup 3 /sup HTV的核心是基于非常成功和获得专利的超纳米压痕测试仪(UNHT sup 3 /sup )。 /p p style=" text-align: center " a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C181962.htm" target=" _self" img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202005/uepic/3bb9ac89-63a9-4c57-bf69-dffef04b3b04.jpg" title=" 安东帕高温高真空超纳米压痕仪 UNHT³ HTV.jpg" alt=" 安东帕高温高真空超纳米压痕仪 UNHT³ HTV.jpg" / /a /p p style=" text-align: center " a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C181962.htm" target=" _self" strong 安东帕高温高真空超纳米压痕仪 UNHT sup 3 /sup HTV /strong /a /p p 　　其测量探头经过优化，能在高温下运作，并与正在申请专利的样品台结合，使测量能够在工作范围内的任何温度下进行，具有极高的热稳定性。 /p p style=" text-align: center " a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C181962.htm" target=" _self" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 522px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202005/uepic/eb5e286c-e5b5-417b-afa9-c9d654bdaeda.jpg" title=" UNHT3 HTV系统的示意图.jpg" alt=" UNHT3 HTV系统的示意图.jpg" width=" 500" height=" 522" border=" 0" vspace=" 0" / /a /p p style=" text-align: center " a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C181962.htm" target=" _self" strong UNHT3 HTV系统的示意图 /strong /a /p p 　　如示意图所示，测量探头、光学视频显微镜和样品台安装在高真空腔室中，使用涡轮分子二次泵和一次泵抽至10 sup -7 /sup mbar。 /p p 　　真空操作的两个主要优点是： /p p 　　(i) 去除氧化的影响，这意味着可以在试样材料的表面力学性能不因氧化物而改变的情况下进行试验。此外，也可以使用不适应氧化环境的压头材料：例如，金刚石是在室温下可选择的压头材料，但它在约400° C以上会氧化，然后软化并容易钝化，从而使其实际上无法用于纳米压痕。 /p p 　　(ii)通过腔内对流减少热损失，从而大大有助于热稳定。 /p p 　　真空操作的主要缺点是，阀门和泵的运行将在测量中引入额外的机械噪声，因此，已采取具体措施以尽可能减少这种噪声，包括： /p p 　　(a) 材料选择：框架的内部构架已经通过使用铝、铸铁和不锈钢的混合物进行了优化，从而实现了最佳的机械阻尼。 /p p 　　(b) 在背压阀和二次泵之间连接一个真空缓冲器，允许在不需要一次泵的情况下运行数小时。这可以保持10 sup -6 /sup mbar真空超过10小时。 /p p 　　(c) 采用低摩擦轴承的5轴磁悬浮涡轮分子泵，将机械振动降到最低。 /p p 　　(d) 防振：整个真空室安装在4点防振台上，采用有效的压缩空气使真空室“浮”起来，消除了大部分振动噪声。 /p p 　　(e)提供6 Nmm sup -1 /sup 的弹簧常数的弹簧，加强了UNHT sup 3 /sup HTV测量探头的弹簧 (与标准UNHT sup 3 /sup 的3 Nmm sup -1 /sup 相比)，从而保持可接受的噪底，并补偿压头和基准的额外质量。 /p p 　　 a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/SH101011/" target=" _self" strong 关于安东帕 /strong /a /p p 　　安东帕成立于1922年，如今，全世界已经有超过3200名员工从事开发、生产和销售高精度的实验室仪器和过程测量系统，并提供定制的自动化和机器人解决方案。 /p p 　　安东帕提供从原子到宏观范围内测试各种材料的材料特性的全套仪器。除光谱、X射线等结构分析外，还提供了仪器压痕、摩擦学、划痕试验、涂层厚度测定和原子力显微镜等。此外，安东帕还提供采用化学和电化学方法用于表面电荷测定、流变学研究、粘度测定、颗粒表征等仪器。 /p p strong span 　　 /span a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/956.html" target=" _self" 关于 span 纳米压痕仪、划痕仪 /span /a /strong /p table border=" 0" cellpadding=" 0" cellspacing=" 0" style=" " align=" center" colgroup col width=" 95" style=" width:95px" / col width=" 288" style=" width:288px" / /colgroup tbody tr height=" 18" style=" height:18px" class=" firstRow" td height=" 18" width=" 222" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 仪器专场 /td td width=" 280" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/956.html?AgentSortId=11017& SampleId=& IMShowBigMode=& IMCityID=& IMShowBCharacter=& SidStr=" target=" _self" 安东帕纳米压痕仪、划痕仪 /a /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px" td rowspan=" 6" height=" 108" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" width=" 213" a href=" https://www.instrument.com.cn/zc/956.html" target=" _self" 纳米压痕仪、划痕仪 /a /td td style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" width=" 280" a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C181962.htm" target=" _self" 安东帕高温高真空超纳米压痕仪UNHT³ HTV /a /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px" td height=" 18" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" width=" 334" a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C59621.htm" target=" _self" 安东帕纳米划痕仪NST³ /a /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px" td height=" 18" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" width=" 127" a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C179250.htm" target=" _self" 安东帕生物纳米压痕仪UNHT³ Bio /a /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px" td height=" 18" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" width=" 127" a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C59577.htm" target=" _self" 安东帕微米压痕仪MHT³ /a /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px" td height=" 18" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" width=" 127" a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C59622.htm" target=" _self" 安东帕微米划痕仪MST³ /a /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px" td height=" 18" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" width=" 127" a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C59623.htm" target=" _self" 安东帕大载荷划痕仪RST³ /a /td /tr /tbody /table p br/ /p

可以利用维氏硬度压痕裂纹计算材料的断裂韧度，尤其适合表征硬脆材料的断裂性能。学者提出了很多半经验半定量的关系式。裂纹主要有巴氏（Palmqvist或径向）和中位（Median）裂纹两种形式，有些公式适用于特定的裂纹形式，有些公式对两种（Both）裂纹形式都适用。微米硬度实验设备简单，测试方便，分析直接，不仅在工程实践中有广泛应用，也是评估材料断裂韧度的有效工具。断裂韧度作为衡量材料抵抗裂纹扩展能力的力学性能指标通常用临界应力强度因子KⅠC表示，单位为MPam0.5。字母K为应力场强度因子，反映的是裂纹尖端区域应力场强弱；字母C指的是裂纹扩展的临界情况；下标罗马数字Ⅰ是指裂纹扩展形式为张开型，脆性材料的裂纹扩展类型为Ⅰ型。测量材料KⅠC的方法主要有：山形切口梁法(C. N. B)、单边预裂梁法(S. E. P. B)、表面弯曲裂纹法(S. C. F)、单边切口梁法(S. E. N. B)、单边V形切口梁法(S. E. V. N. B)、短V形切口杆法(S. R)、双扭法(D. T)、双悬臂梁法(D. C. B)、微米划痕法、纳米压痕法和维氏压痕法等。S. R、D. C. B和S. E. P. B法的测试试样难生产、成本高，难以广泛使用；S. E. N. B、S. E. V. N. B和C. N. B法加工试样缺口较困难；D. T法试件的几何尺寸会对测量值产生影响；S. C. F法必须要去除足够深度的表面层来消除残余应力场，才能保证KⅠC不被高估；微米划痕法需要考虑压头的磨损以确保测试结果的准确性；而压痕法具有制备试样简单、测试效率高、以及综合成本低等优点，已被广泛应用于表征陶瓷材料、硬质合金和玻璃材料的断裂韧度。虽然基于Griffith-Irwin平衡断裂力学的压痕法可以反映材料断裂的特征，有效表征材料的断裂韧度，但是使用压痕法确定KⅠC仍然存在不足，依然有争论，比如：诸多半经验半定量的公式在实际应用中受到裂纹模式(径向，中位，横向等)多样复杂的影响，计算的KⅠC结果不可靠；不适用于低泊松比的材料。如何根据不同的材料、不同的压头选择适合的公式和载荷，是当前利用压痕裂纹法表征材料断裂韧度亟需解决的问题。各种依据维氏硬度压痕裂纹长度计算断裂韧度的表达式列于表1，对于不同的裂纹模式有不同的表达式。裂纹主要有两种类型，见图1：一种是基于半椭圆型的中位裂纹(Median crack)；另一种是基于半月状的巴氏裂纹(Palmqvist crack)或径向裂纹(Radial crack)。可以基于曲线拟合的方法得到同时适用于两种(Both)裂纹模式的表达式。典型硬脆材料的压痕裂纹见图2，需要测量压痕的接触半径a和裂纹长度c，可以计算得到l=c-a。维氏硬度HV可以由载荷F除以残余压痕面积AV得到：式中，AV考虑了压痕的倾斜表面(sin68°可以由压头形状获得)，而不是压痕的投影面积；d (= 2a) 是压痕两个对角线长度的平均值；当F和d的单位分别是mN和μm时，维氏硬度的单位是GPa。值得注意的是工程上使用的维氏硬度没有单位，而且相关标准里面也没有单位，这不利于各种测试方法的比较，无法有效服务于科学研究。可见，即使维氏硬度如此基础、简单、成熟，仍然有待进一步发展。由于仪器化压入的兴起，压入硬度HIT是根据投影面积定义，并且努氏硬度HK也是根据投影面积计算，传统的维氏硬度HV可以通过投影面积转换成梅氏硬度(Meyer hardness)HMV(=2F/d2), 便于各种硬度之间的比较。表1中的维氏硬度HV也可以转换成HMV。表 1 利用维氏硬度HV计算材料的断裂韧度Kc[1]注: ϕ = 3, β2 = 0.059[15], Φ = -1.59-0.34ξ-2.02ξ2+11.23ξ3-24.97ξ4+16.32ξ5, ξ = lg(c/a). E是材料的弹性模量. Hv可以在每个载荷下多次测量取平均值，作为某一载荷下的Hv.图 1 维氏硬度压痕裂纹模式示意图图 2 典型硬脆材料的维氏硬度压痕裂纹[1, 15, 16]作者简介刘明，福州大学机械工程及自动化学院教授，全国钢标准化技术委员会力学及工艺性能试验方法分技术委员会金属材料微试样力学性能试验方法工作组（SAC/TC183/SC4/WG1）委员，ISO 14577系列国际标准制修订国内工作组成员。1985年出生于哈尔滨市，哈尔滨工业大学材料科学与工程学院本科、硕士，2012年12月获肯塔基大学（美国）材料科学与工程专业博士学位，法国巴黎高科矿业工程师学校材料研究所博士后，华盛顿州立大学（美国）博士后。2015年4月入职福州大学机械工程及自动化学院机械设计系力学教研室，获评福建省闽江学者特聘教授、福州大学旗山学者海外人才、福建省高层次境外引进C类人才，主要研究领域为微观力学及仪器化压入划入测试方法。作者邮箱：mingliu@fzu.edu.cn QQ：290716672 微信：hasanzhong参考文献[1] M. Liu, D. Hou, Y. Wang, G. Lakshminarayana, Micromechanical properties of Dy3+ ion-doped (Lu Y1-x)3Al5O12 (x = 0, 1/3, 1/2) single crystals by indentation and scratch tests, Ceramics International, 49 (2023) 4482-4504.[2] K. Niihara, A fracture mechanics analysis of indentation-induced Palmqvist crack in ceramics, J. Mater. Sci. Lett., 2 (1983) 221-223.[3] Z. Laiqi, H. Yongan, H. Lei, L. Jun-pin, Determination of empirical equation of fracture toughness for Mo5SiB2 alloy by indentation method, Trans. Mater. Heat Treat., 38 (2017) 178-183.[4] M. Laugier, New formula for indentation toughness in ceramics, J. Mater. Sci. Lett., 6 (1987) 355-356.[5] D. Shetty, I. Wright, P. Mincer, A. Clauer, Indentation fracture of WC-Co cermets, J. Mater. Sci., 20 (1985) 1873-1882.[6] B.R. Lawn, M. Swain, Microfracture beneath point indentations in brittle solids, J. Mater. Sci., 10 (1975) 113-122.[7] K. Tanaka, Elastic/plastic indentation hardness and indentation fracture toughness: the inclusion core model, J. Mater. Sci., 22 (1987) 1501-1508.[8] B.R. Lawn, E.R. Fuller, Equilibrium penny-like cracks in indentation fracture, J. Mater. Sci., 10 (1975) 2016-2024.[9] A.G. EVans, E.A. Charles, Fracture toughness determinations by indentation, J. Am. Ceram. Soc., 59 (1976) 371-372.[10] K. Niihara, R. Morena, D. Hasselman, Evaluation of KIc of brittle solids by the indentation method with low crack-to-indent ratios, J. Mater. Sci. Lett., 1 (1982) 13-16.[11] G. Anstis, P. Chantikul, B.R. Lawn, D. Marshall, A critical evaluation of indentation techniques for measuring fracture toughness: I, direct crack measurements, J. Am. Ceram. Soc., 64 (1981) 533-538.[12] C. Terzioglu, Investigation of some physical properties of Gd added Bi-2223 superconductors, J. Alloys Compd., 509 (2011) 87-93.[13] J. Lankford, Indentation microfracture in the Palmqvist crack regime: implications for fracture toughness evaluation by the indentation method, J. Mater. Sci. Lett., 1 (1982) 493-495.[14] J.E. Blendell, The origins of internal stresses in polycrystalline Al2O3 and their effects on mechanical properties, Massachusetts Institute of Technology, 1979, pp. 1-47.[15] M. Liu, Z. Xu, R. Fu, Micromechanical and microstructure characterization of BaO-Sm2O3–5TiO2 ceramic with addition of Al2O3, Ceramics International, 48 (2022) 992-1005.[16] 刘明, 侯冬杨, 高诚辉, 利用维氏和玻氏压头表征半导体材料断裂韧性, 力学学报, 53 (2021) 413-423.

5月21日下午，第四届纳米压痕国际研讨会在西安交通大学圆满结束。本届研讨会由西安交通大学金属材料强度国家重点实验室及材料学院微纳尺度材料行为研究中心主办，美国Hysitron（海思创）公司和德祥科技有限公司支持。大会分为5个单元，从19日至21日，历时三天，包含26个大会报告。来自美国、韩国、日本、新西兰等国内外的多位知名纳米材料专家分别介绍并讨论了各自的研究成果，大家总结已有研究成果，分析存在问题，此次会议为国内外材料科学工作者提供了一次宝贵的学习、交流平台，取得了良好的效果。　　 　　参会者合影 　　本届会议的中方主席是西安交大“千人计划”入选者、金属材料强度国家重点实验室副主任、Hysitron(海思创)中国应用研究中心主任单智伟教授，外方主席为美国南卡罗来纳大学的李晓东教授。 　　会上，西安交大金属材料强度国家重点实验室主任、材料学院院长孙军教授及李晓东教授致开幕词。Hysitron(海思创)公司总裁Thomas Wyrobek 先生作了题为“Beyond nanoindentation”的开场报告，介绍了近年来纳米压痕设备的相关成就并跟大家分享了他对纳米尺度材料优异性能研究的前景展望。来自麻省理工学院的Ming Dao教授、日本东北大学陈明伟教授、Hysitron(海思创)公司副总裁兼首席技术官Oden Warren博士等专家学者担任大会相关单元的主席。 　　美国约翰霍普金斯大学Evan Ma教授、匹斯堡大学Scott Mao教授、日本京都大学Nobuhiro Tsuji教授、大阪大学Shigenobu Ogata教授、新西兰奥克兰大学Michelle Dickinson教授、韩国科技学院纳米压痕测试和先进材料专家Seung Min Han教授、中科院金属所张广平教授、力学所魏悦广教授、南京航空航天大学航郭万林教授等国内外纳米材料领域的专家学者也都做介绍了自己最新的研究成果，并回答了大家的疑问。Hysitron(海思创)应用科学家宋双喜博士为大家做了《在室温条件下金属玻璃产生形变后的电阻率》的报告。　　 　　Hysitron总裁Thomas Wyrobek为会议展板比赛获奖者颁奖 　　20日下午，与会人员参观了金属材料强度国家重点实验室及微纳尺度材料行为研究中心，观看了Hysitron(海思创)纳米力学测试设备的样品测试过程，对Hysitron(海思创)技术有了更深入的了解。Hysitron(海思创)公司是*的纳米力学检测仪器的设计和制造商，其TI-750、TI-950纳米力学测试系统及配合原子力显微镜的TS 75纳米压痕仪具有压痕测试、划痕测试、模量成像、动态力学分析、声发射检测、接触电阻测量等功能，检测准确，重复性好 另外Hysitron(海思创)公司还开发了针对扫描电镜的PI 85纳米压痕仪、针对透射电镜的PI 95纳米压痕仪，可在电镜下实时观测压痕过程，进行纳米尺度的压痕、压缩、弯曲和拉伸测试，Hysitron(海思创)仪器采用三板电容传感器，大大降低了仪器热漂移，是认识和探索材料的微纳米尺度结构、形貌和性能的重要工具。 报告人及报告主题（节录） 报告人 报告人单位 报告主题 Thomas Wyrobek Hysitron（海思创）公司 Beyond nanoindentation Michelle Dickinson 新西兰奥克兰大学 Of Mice and Men-Advances in nanoindentation testing for biological materials Ming Dao 美国麻省理工学院 Quantifying size-dependent nanoscale heterogeneity of bone through nanoindentation Guangpin Zhang张广平 中科院金属所 Detecting mechanical behavior of nanoscale metallic multilayers by instrumented-indentation K.Ting 台湾成功大学 The measurements of nanomechanical properties and vibration modal analysis of dragonfly wing Evan Ma 美国约翰霍普金斯大学 Size matters for deformation twinning in single crystals Oden Warren Hysitron（海思创）公司 The often overlooked time domain in small-scale mechanical property measurements Xiaodong Li李晓东 美国南卡罗来纳大学 Environmental effects on the mechanical behavior and function performance of nanostructures 魏悦广 中科院力学所 A kind of trans-scale mechanics model and physical representation of materiallength scale Seung Min Han 韩国科技学院 Size dependent strength and plasticity of vanadium nanopillars: Ex-situ and In-situ TEM studies Min-Wei Chen陈明伟 日本东北大学 Experimental characterization of shear transformation zones for plastic deformation of metallic glasses Scott Mao 美国匹斯堡大学 In situ TEM on discrete plasticity in metallic nanowires Shigenobu Ogata 日本大阪大学 First-principles modeling of deformation and diffusion at nano-scale Wanlin Guo郭万林 南京航空航天大学 Mechanical-Electronic-Magnetic coupling effects in nanomaterials 德祥科技有限公司作为Hysitron（海思创）产品在中国的独家供应商，愿为您提供周到细致的售前、售后服务，帮助广大科研工作者实现精确、可靠、方便的微纳尺度力学分析测试，详细信息欢迎您登陆德祥网站（http://www.tegent.com.cn/）了解相关信息，欲获得此次会议的报告资料，欢迎您跟我们联系，德祥客服热线：4008 822 822。

仪器化划入方法已经成功应用于测试各种材料（包括硬的合金、陶瓷、金属、岩石[1]和软的高分子聚合物、碱硅酸盐凝胶[2]等）的断裂韧度（跨越两个数量级）在材料科学与工程领域具有巨大应用前景，尤其是评估微米级材料或多尺度复合材料（比如碎屑-橡胶混凝土[3]、再生混凝土[4]、水泥[5]、页岩[1, 6, 7]，骨头[8]、功能梯度和复合涂层[9]）的断裂性能，其诸多优势包括：结果与传统方法（比如单边缺口试样的三点弯曲、紧凑拉伸）测量值一致；重复性好；材料体积小；设备操作、数据分析简单；近乎无损检测（微米级划入测试划入深度一般在十几微米）；尤其是试样制备简单，不需要预制缺口或裂纹；测试成本和周期都大大减小[10]。仪器化划入过程的实物图和示意图见图 1[11]。在仪器化划入过程中，利用侧向力和压入深度可以计算出材料的断裂韧度。仪器化划入表征断裂韧度主要有两种理论：一种是线弹性断裂力学（linear elastic fracture mechanics or LEFM）；另一种是能量尺寸效应理论（microscopic energetic size effect laws or ESEL）。理论都是假设在压头前端存在沿水平扩展的裂纹，见图 2[12]。这种裂纹模式在直刚刀压头划入石蜡的实验中体现得最好，见图 3[13]。对于直压头：三维裂纹的横截面是长方形。能量释放率可以由J-积分计算，再结合断裂准则，即可以建立利用侧向力和压入深度计算断裂韧度的关系式。图 1 仪器化划入测试实物图及示意图：（a）直钢刀压头划入石蜡；（b）倾斜直钢刀压头划入测试示意图；（c）Rockwell C压头划入薄膜材料；（d）轴对称压头划入示意图（压入深度d，压头尖端圆角半径R，侧向力FT，划痕方向x）图 2 利用轴对称压头划入过程的侧视图（左图）和正视图（右图）。x 是划痕方向，FT 是水平侧向力，FV 是竖直正压力，d 是压入深度，n 是压头与材料接触界面朝材料外侧的单位法向，A 是承载侧向力的面积投影，p 是压头与材料接触界面的周长图 3 石蜡在直钢刀压头仪器化划入过程中压头前端水平扩展的裂纹：（a）实验结果；（b）理想的裂纹形状示意图（具有长方形横截面的三维裂纹，需要裂纹长度l、刀具宽度w、压入深度d 三个尺寸表征）不同的学者提出了不同的分析方法，断裂韧度Kc 可以通过拟合仪器化划入的实验数据获得[10, 14-19]：其中Λ=A/(2P)是名义长度，p 和A 分别是周长和水平投影面积（见图 2），都是压入深度d 的函数[12]。利用线弹性断裂力学可以直接计算出断裂韧度Kc已知压头几何形状可以得到p(d)和A(d)，f=2p(d)A(d) 即压头形状函数：对于圆锥压头，f 与d3 成正比；对于圆球压头，f 与d2 成正比。图 4是利用Rockwell C压头划入钢材的结果[20]。示意图见图 4（a）。在划入过程中，施加线性增大的正压力FV，如图 4（b），同时记录侧向力FT 和压入深度d。数据与划痕残余形貌一一对应，形貌见图 4（c），并且可以利用声发射分析断裂过程，如图 4（d）。图 4 利用圆锥压头分析钢材料的断裂韧度：（a）圆锥压头仪器化划入过程示意图（划痕方向沿X 轴，FV 和FT 分别是正压力和侧向力）；（b）划入过程中在施加线性加载的正压力的同时记录侧向力；（c）划痕残余形貌；（d）侧向力和压入深度的关系（左轴）和声发射（右轴）当圆锥部分起主导作用时，FT/d3/2趋近于一条水平线，这说明划入过程由断裂机制控制，声发射信号也直接验证了断裂的发生。可见，利用划入方法测试材料的断裂韧度需要适合的加载条件，只有当载荷足够大，断裂机制占主导时才能应用线弹性断裂力学的公式计算断裂韧度，但是过大的载荷会产生很多扩展方向不同的裂纹，使得只有一条裂纹扩展的假设不成立。声发射信号是确定断裂发生的有效手段，可以用于区分断裂的程度（剧烈的断裂会使得声发射信号饱和），寻找适合的加载力范围。FT/d3/2一直在波动，这种锯齿状数据是切削的典型特征，与传统测试（比如紧凑拉伸中只有一个裂纹产生）明显不同，划入过程中会产生很多裂纹，所以有必要对平稳段的数据取平均[21]。仪器化划入方法已经成功应用于各种材料的断裂韧度表征[22, 23]，比如：高分子材料（聚碳酸酯PC[18]、改性石墨烯添加的环氧树脂基复合材料[24]）、玻璃（熔融石英硅[25]、K9玻璃[26]）、金属（紫铜[27, 28]）、半导体材料（单晶硅和碳化硅[29]）等。表 1比较了部分材料的仪器化划入测试结果与传统方法测试结果，划入法测试与传统方法测试结果大体一致，差异很有可能是由于材料的各向异性和不均匀造成的，因为划入法表征的是表面微观区域的力学性能，传统方法测试的是宏观力学性能。所以划入法可以表征材料断裂韧度的分布，适合于异质复合材料各组织以及界面的力学性能表征，研究不同尺度结构的断裂性能，这些都是先进材料及微纳米器件发展迫切需要解决的关键测试表征技术，尤其在表面微观力学领域有广阔的应用前景。表 1 利用仪器化划入方法表征各种材料的断裂韧度（MPa• m1/2）压头（形状尺寸）及方法材料（牌号）：划入法测的断裂韧度（传统方法测试值）单位（国家）[参考文献]Rockwell C压头（2θ=120°，R=200 μm），线弹性断裂力学铝合金(AA 2024)：34.4±3 (32~37)热塑性聚合物（Delrin Grade 150）：2.5±0.2 (2.9±0.5)麻省理工学院（美国）[20] Rockwell C 压头（2θ=120°，R=200 μm），线弹性断裂力学钠钙玻璃：0.71±0.03 (0.70)耐热高硼硅玻璃：0.68±0.02 (0.63)热塑性聚合物(Delrin 150E) ：2.75±0.05 (2.8)热塑聚碳酸酯：2.76±0.02 (2.69)铝合金(2024-T4/T351) ：28.8±1.3 (26~37)AISI-1045：62.2±2.6 (50)AISI-1144：62.2±2.6 (57~67)Titanium 6Al-4V：77.0±3.4 (75)麻省理工学院（美国）[22]直钢刀压头，线弹性断裂力学（LEFM）和能量尺寸效应方法(ESEL)石蜡：0.14 (0.15)水泥：0.66~0.67 (0.62-0.66)侏罗纪石灰岩：0.56 (ESEL), 0.34 (LEFM)A-51w：0.82 (ESEL), 0.81 (LEFM)B-4w：0.74 (ESEL), 0.72 (LEFM)B-12w：0.78 (ESEL), 0.78 (LEFM)麻省理工学院（美国）西北大学（美国）伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校（美国）[21]直钢刀压头、Rockwell C线弹性断裂力学水泥（直钢刀压头）：0.66±0.05 (0.67)钢材（Rockwell C压头）：40±0.2 (50)麻省理工学院（美国）[11]直钢刀压头能量尺寸效应方法水泥：0.66(0.65~0.67)伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校（美国）[23]Rockwell C压头线弹性断裂力学（LEFM）和能量尺寸效应方法(ESEL)塑料（Delrin）：3.26 (LEFM)，2.85 (ESEL)聚碳酸酯（Lexan）：2.87 (LEFM)，2.38 (ESEL)熔融石英硅：0.96 (LEFM)，0.96 (ESEL)传统测试结果：塑料（2.8）、聚碳酸酯（2.2）、熔融石英硅（0.8）科罗拉多大学（美国）麻省理工学院（美国）[28]Rockwell C压头能量尺寸效应方法聚缩醛 ：3.16 (2.8)石蜡：0.14 (0.14)聚碳酸酯（Lexan 934）：2.8 (2.69)铝：32.53 (32)伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校（美国）[40]圆球压头线弹性断裂力学熔融石英硅：0.7 (0.68~0.75)K9玻璃：0.85 (0.82)福州大学（中国）[45,46]Rockwell C压头线弹性断裂力学聚碳酸酯：2.3 (2.2)福州大学（中国）[43]作者简介刘明，福州大学机械工程及自动化学院教授，福建省闽江学者特聘教授、福州大学旗山学者海外人才、福建省高层次境外引进C类人才，全国钢标准化技术委员会力学及工艺性能试验方法分技术委员会金属材料微试样力学性能试验方法工作组（SAC/TC183/SC4/WG1）委员、ISO 14577系列国际标准制修订国内工作组成员。1985年出生于哈尔滨市，哈尔滨工业大学本科、硕士，肯塔基大学（美国）博士，法国巴黎高科矿业工程师学校材料研究所博士后、华盛顿州立大学（美国）博士后。主要研究领域为微观力学及仪器化压入划入测试方法。作者邮箱：mingliu@fzu.edu.cn 参考文献[1] A.-T. 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碲锌镉（CZT）单晶材料作为碲镉汞（MCT）红外焦平面探测器的首选衬底材料，其表面质量的优劣将直接影响碲镉汞薄膜材料的晶体质量以及成品率，故生产出外延级别的碲锌镉衬底表面是极其重要的。目前，碲锌镉单晶片的主要表面加工处理技术包含机械研磨、机械抛光、化学机械抛光、化学抛光以及表面清洗。其中，机械研磨、机械抛光以及化学机械抛光工艺都会存在磨料残留、磨料嵌入、表面划痕较多、粗糙度较高等一系列问题，要解决这些问题需要对相应的表面处理技术进行了解和掌握，包括表面处理技术的基本原理以及影响因素。近期，昆明物理研究所的科研团队在《红外技术》期刊上发表了以“碲锌镉衬底表面处理研究”为主题的文章。该文章第一作者为江先燕，通讯作者为丛树仁高级工程师，主要从事红外材料与器件方面的研究工作。本文主要从碲锌镉表面处理工艺及表面位错缺陷揭示两个方面对碲锌镉衬底的表面处理研究进行了详细介绍。表面处理工艺碲锌镉单晶作为生长外延碲镉汞薄膜材料的首选衬底材料，要求其表面不能存在机械损伤及缺陷密度大于10⁵ cm⁻²的微观缺陷，如线缺陷、体缺陷等。衬底表面的机械损伤可通过后期的表面处理工艺进行去除[18]，而微观缺陷只能通过提高原材料的纯度以及合理调控晶体的生长过程方能得到有效改善。经垂直梯度凝固法或布里奇曼法生长出的低缺陷密度的碲锌镉体晶会先被切割成具有固定方向（如（111）方向）和厚度的碲锌镉晶片，然后再经过一系列的表面处理工艺才能用于碲镉汞薄膜的生长。通常情况下，碲锌镉晶片会经历机械研磨、机械抛光、机械化学抛光及化学抛光等表面处理工艺，通过这些工艺处理后的晶片才能达到外延级水平，因此本部分主要详细介绍上述4种表面处理工艺。机械研磨机械研磨工艺的研磨机理为：加工工件与研磨盘上的磨料或研磨剂接触时，工件表面因受到形状不规则磨料的挤压而产生破裂或裂纹，在加工工件与研磨盘的相互运动下，这些破裂的碎块会随着不规则磨料的滚动而被带离晶片表面，如此反复，从而达到减薄晶片厚度及获得低损伤表面的加工目的，机械研磨装置及磨削原理示意图如图1所示。图1 机械研磨装置及研磨机理示意图碲锌镉体晶切割成一定厚度的晶片后首先经历的表面处理工艺是机械研磨工艺。机械研磨的主要目的是去除机械切割对晶片表面造成的损伤层，从而获得一个较低损伤的晶片表面。表面处理工艺中，机械研磨还可细分为机械粗磨和机械细磨，两者的主要区别在于所使用的磨料粒径不一样，粗磨的磨料粒径大于细磨的磨料粒径。机械细磨的主要目的是去除机械粗磨产生的损伤层，同时减少抛光时间，提高工艺效率。研究报道，机械研磨产生的损伤层厚度通常是磨料粒径的3倍左右。影响机械研磨工艺对加工工件研磨效果的因素有磨料种类、磨料粒径及形状、研磨盘类型、磨料与溶剂的配比、磨料滴速、研磨盘转速、工件夹具转速以及施加在加工工件上的压力等。磨料种类一般根据加工工件的物理及化学性质（如强度、硬度、化学成分等）进行合理选择。常用于机械磨抛的磨抛料有MgO、Al₂O₃、SiC及金刚石等，其中，为了避免在碲锌镉衬底上引入其他金属杂质，MgO和Al₂O₃这两种研磨剂很少在碲锌镉表面处理工艺上进行使用，使用最多的是SiC和金刚石两类磨料。磨料的形状可分为规则（如球状、棒状、长方体等）和不规则（如多面体形状）两类，如图2所示。通常情况下，磨料形状越不规则，材料去除速率越快，同时造成的表面损伤也大，反之，磨料越规则，去除速率越慢，但造成的表面损伤也越小。图2 不规则磨料及规则磨料的扫描电镜图毛晓辰等人研究了这3种不同形状磨料对碲锌镉衬底机械研磨的影响。当磨粒形状为板片状时，材料的去除模型将不再遵从李岩等人提出的“不规则磨料研磨去除模型”，即三体磨粒去除模型，如图3(a)所示，而是会发生变化。基于此，毛晓辰等人提出了如下的去除模型，即：当磨粒为板片状时，磨粒以一定的倾斜角度平躺于磨盘表面，如图3(b)所示，当加工工件（晶片）与磨盘发生相互运动时，磨粒被短暂的固定在磨盘表面，形成二体磨粒，板片状磨粒便以其片状边缘对加工工件表面进行磨削，最终实现去除材料的目的。图3 不规则磨料及板片状磨料去除机理示意图常见的研磨盘类型可简单分为开槽和不开槽两类，如图4所示，开槽和不开槽研磨盘对晶片研磨效果的影响如表1所示。图4 磨盘示意图表1 开槽和不开槽研磨盘对晶片研磨效果的影响机械抛光机械抛光工艺的抛光机理为：加工工件与柔性抛光垫上的抛光粉或抛光颗粒接触后，工件表面将受到形状不规则的抛光颗粒的挤压而产生破裂或裂纹，在加工工件与抛光盘的相互运动下，这些破裂的碎块会随着不规则抛光颗粒的滚动而被带离晶片表面，反复如此，从而达到降低加工工件表面粗糙度和获得光亮、平整表面的目的。抛光粉是一种形状不规则且粒径很小的微纳米级颗粒，故而对加工工件造成的表面损伤较小且加工后的工件表面像镜面一样光亮。抛光垫的柔韧性削弱了抛光颗粒与加工工件表面的相互磨削作用，从而进一步降低了抛光颗粒对工件表面的损伤。机械抛光装置及抛光原理示意图如图5所示。图5 机械抛光装置及抛光原理示意图机械抛光的主要目的是去除机械研磨工艺对晶片表面造成的损伤层，同时降低晶片表面粗糙度和减少表面划痕，获得光亮、平整的表面。影响机械抛光工艺对加工工件表面抛光效果的因素有抛光粉种类或者抛光液种类、抛光粉粒径大小及形状、抛光垫种类、抛光盘转速、工件夹具转速、施加在工件上的压力、抛光液滴速以及抛光时间等。图6所示为碲锌镉晶片经不同厂家生产的同种抛光液机械抛光后的表面形貌图，如图所示，在相同的抛光条件下，不同厂家生产的抛光液的抛光效果差别较大。因此，机械抛光工艺中对抛光液的合理选择是极其重要的。图6 不同厂家生产的同种抛光液的机械抛光表面抛光粉的粒径大小和形状主要影响加工工件的表面质量和材料去除速率，通常，粒径越大以及形状越不规则，则材料的去除速率越快，表面质量也越差，如表面粗糙度大、划痕多等；反之，则去除速率慢，表面质量好。抛光垫具有贮存抛光液及去除抛光过程产生的残留杂质等作用，抛光垫的种类（或材质）也是影响工件抛光效果的主要因素之一。图7为目前一些常见抛光垫的表面纹理及根据仿生学理论研究设计的抛光垫表面纹理图，主要包括放射状纹理、栅格状纹理、同心圆状纹理、放射同心圆复合状纹理、螺旋状纹理及葵花籽状纹理。图7 抛光垫表面纹理图化学机械抛光化学机械抛光工艺的抛光机理为：加工工件表面与抛光垫上的抛光液接触后，将同时受到来自抛光液中的不规则抛光颗粒的挤压作用和强氧化剂的腐蚀作用，即工件表面同时受到机械作用和化学作用。化学机械抛光的主要目的包括去除工件表面损伤层、降低表面粗糙度、消除或减少表面划痕以及工件表面平坦化等。影响化学机械抛光工艺对加工工件表面抛光效果的因素有机械作用和化学作用的协同情况、抛光粉种类、抛光粉粒径大小及形状、氧化剂种类及浓度、抛光垫种类、抛光盘转速、工件夹具转速、施加在工件上的压力、抛光液滴速以及抛光时间等。抛光粉的粒径大小及形状、抛光垫的种类（或材质）、抛光垫的使用时长、抛光盘转速、工件夹具转速、施加在工件上的压力大小以及抛光时间等因素对工件抛光效果的影响原理与机械抛光工艺中所述影响原理类似。化学抛光化学抛光工艺的抛光机理为：当加工工件与抛光垫上的化抛液接触后，化抛液中的氧化剂将对工件表面进行腐蚀，在抛光垫与工件表面的相互运动作用下，工件表面上的损伤层以及浅划痕等都会被去除，得到光亮、平整且无任何划痕及损伤的外延级衬底表面。化学抛光工艺中使用的抛光液只包含氧化剂和溶剂，没有磨料颗粒或抛光颗粒。同时，对工件进行化学抛光时，没有对工件施加额外的压力，只有抛光夹具的自身重力。因此，化学抛光工艺中几乎不涉及到机械作用，只有纯化学腐蚀作用。化学抛光工艺的装置及抛光原理如图8所示。图8 化学抛光装置及抛光原理示意图化学抛光的主要目的是去除化学机械抛光或机械抛光工艺对晶片表面造成的损伤层，并同时为生长碲镉汞薄膜提供新鲜、洁净、无损的外延级表面。影响化学抛光工艺对加工工件表面抛光效果的因素有氧化剂种类及浓度、抛光垫种类、抛光盘转速、抛光夹具自重、化抛液滴速以及抛光时间等。表面位错揭示与硅等几乎无缺陷的单晶材料相比，碲锌镉单晶材料具有较高的位错密度（10⁴~10⁵/ cm⁻²）。目前，观察位错的主要手段是化学腐蚀法，虽然透射电子显微镜法（TEM）也能对材料的位错进行检测，但因其具有设备成本太高、制样非常困难、视场太小等原因而无法作为常规的位错检测手段。化学腐蚀法因具有成本低、制样简单、操作简单且所观察的视场较大等优势而成为了目前主要的表面位错检测手段。碲镉汞薄膜主要是通过在碲锌镉衬底的（111）面和（211）面上外延得到，因此，要求碲锌镉衬底表面不能存在损伤及大量的微观缺陷。衬底表面的损伤主要来自于表面处理工艺，而微观缺陷如沉淀物、位错、空位等则是在晶体生长过程中产生的。事实上，表面损伤对应的是晶格的周期性被破坏，即晶体表面形成大量的位错。所以，对于外延衬底而言，不管是损伤还是微观缺陷，只要超过一定的数量都会直接影响碲镉汞外延薄膜的质量，故而需要对碲锌镉衬底表面的缺陷（包括损伤和微观缺陷）进行检测，从而筛选出优质的外延级衬底。如上所述，化学腐蚀法是目前最常用的位错检测手段，因此这部分主要介绍用于揭示碲锌镉表面位错缺陷的腐蚀液。（111）A面位错揭示腐蚀液1979年，K. Nakagawa等人报道了一种可用来揭示碲化镉（111）A面位错缺陷的化学腐蚀液，其组分为20 mL H₂O:20 mL H₂O₂:30 mL HF。（111）和（211）B面位错揭示腐蚀液1995年，W. J. Everson等人报道了一种可用于揭示碲锌镉（111）和（211）B面位错缺陷的化学腐蚀液，其组分为6 mL HF: 24 mL HNO₃:150 mL C₃H₆O₃（乳酸），即体积比为1:4:25。由于这种化学腐蚀液是W.J.Everson首次提出并验证其有效性的，所以作者将这种腐蚀液命名为“Everson腐蚀液”。其他晶面位错揭示腐蚀液1962年，M. Inoue等人报道了一种可揭示碲化镉（CdTe）不同晶面上位错缺陷的EAg腐蚀液，EAg腐蚀液的组成为10 mL HNO₃ : 20 mL H₂O : 4 g K₂Cr₂O₇ 😡 g AgNO₃总结与展望本文主要从碲锌镉表面处理工艺及表面位错揭示两个方面对碲锌镉衬底的表面处理工艺研究进行了详细介绍。表面处理工艺主要包括机械研磨、机械抛光、化学机械抛光以及化学抛光，研磨或抛光工艺中的参数选择直接影响最终的衬底表面质量。碲锌镉衬底的表面位错缺陷主要通过Everson或Nakagawa两种化学腐蚀液进行揭示，Everson腐蚀液主要揭示碲锌镉（111）B面的位错缺陷，Nakagawa腐蚀液主要揭示（111）A面的位错缺陷。另外，随着碲镉汞红外焦平面探测器技术的发展，碲锌镉衬底的尺寸逐渐增大，这意味着获得外延级碲锌镉衬底表面将会更加困难，这对晶片表面平整度、晶片面型控制及表面清洗等都提出了更高的技术要求。因此，如何在现有的基础上探索出适用于大尺寸碲锌镉衬底的表面处理技术是至关重要的，这也是接下来亟待解决的技术问题和努力的方向。

锂离子电池产业作为我国“十二五”和“十三五”期间重点发展的新材料、新能源、新能源汽车三大产业中的交叉产业，国家出台了一系列支持锂离子电池产业发展的支持政策，直接带动了我国锂离子电池行业的持续高速增长。为了规范锂离子电池行业的健康稳健发展，国家相关部门先后制订了涉及到锂离子电池全产业链的相关行业标准，而相关电池材料的粒度分布检测就是其中一项重要检测指标。下面，我们看一看这些行业标准对粒度分布的相关规定。锂离子电池材料粒度分布要求电池材料的粒度分布影响电池材料的物理性能及电化学性能，进而影响锂离子电池的容量、能量密度、充放电性能、循环性能及安全性能等。在锂离子电池材料中，需要检测粒度的粉体材料主要有正极材料及原材料、负极材料及原材料、导电添加剂、电解质、隔膜涂覆材料。正负极材料正极材料颗粒的粒径越小，越有利于Li+的嵌入和脱嵌，有利于提升锂离子电池的倍率性能；同时，粒径越小的材料首次容量越高。但是，粒径越小的材料比表面积越大，颗粒表面能升高，易团聚并与电解液发生副反应，电池内阻升高，充放过程中会积聚过多能量，温度升高，从而导致安全隐患；同时，粒径越小的材料不可逆容量增加，降低电池的循环性能。如果材料中混入少数超大颗粒，会导致在极片生产过程中出现划痕、断带现象，严重影响产品质量。粒径较小的负极材料具有较大的首次容量，但不可逆容量也较大；随着粒径增大，首次充放电容量降低，不可逆容量减少。同时，粒径越小的颗粒，越有利于Li+的嵌入和脱嵌，有利于提升电池的倍率性能。如果材料中混入少数超大颗粒，会导致在极片生产过程中出现划痕、断带现象，严重影响产品质量。正极材料和负极材料原料的颗粒的粒径大小影响到正极材料和负极材料的生产工艺控制及成品性能。比如，三元前驱体的粒度影响三元材料的煅烧时间及晶粒大小一致性。粒径越小的前驱体煅烧时间越短；粒径分布越窄的前驱体，煅烧时热量从材料表面传导到材料中心的时间一致性越高，晶粒生长时间一致性越高，晶粒大小一致性也越高。碳酸锂作为正极材料的锂源材料，粒度大小对正极材料的生产工艺和性能也有着重大影响。导电添加剂导电添加剂颗粒的粒径太小，容易发生团聚，不能与活性物质充分接触，导致导电作用降低；如果粒径太大，导电添加剂颗粒不能嵌入到活性物质中，同样会降低导电添加剂的导电作用。如果材料中混入少数超大颗粒，会导致在极片生产过程中出现划痕、断带现象，严重影响产品质量。对于电解液的电解质来说，电解质颗粒大小越均匀，电解液性能的一致性越好。电解液作为锂离子电池的血液，承担着运输锂离子的重任，质量的好坏直接影响锂离子电池的电化学性能，并很大程度上影响锂离子电池的安全性能。涂覆隔膜涂覆隔膜是在基膜的单面或双面涂覆一层氧化铝、二氧化硅等粉体无机材料，从而提升隔膜的高温性能、穿刺强度、亲液性能等。涂覆材料粒度大小及分布对涂覆隔膜的性能起着决定性的作用。以最常用的氧化铝涂覆隔膜为例，一般采用亚微米级别的α相氧化铝材料，颗粒大小适中且粒度均匀的氧化铝能很好地粘接到隔膜表面，不会堵塞膜孔，成孔均匀，能够提高隔膜的耐高温性能和热收缩率，能够改善隔膜对电解液的亲和性，同时保持较好的机械性能，从而提高锂电池的安全性能。氧化铝涂层的粒径越大，隔膜的厚度会增加，隔膜的化学性能会迅速下降。综上所述，粒度分布测试已成为提升锂离子电池性能的重要检测手段，选择一款高性能的激光粒度分析仪就成为了研发机构、材料生产厂家、电芯生产厂家的共同需求。一款好的激光粒度分析仪应该具备良好的测试结果的真实性、重现性、分辩能力、易操作性等。测试结果的真实性是指测试结果能够反映颗粒的真实大小，尽管粒度测量不宜引用“准确性”这一指标，但这并不意味着测量结果可以漫无边际地乱给。测试结果的真实性是激光粒度分析仪最根本的分析性能，如果没有测试结果的真实性做基础，仪器的重复性、重现性等其它性能就失去了讨论的意义。测试结果的重现性是指将同一批样品多次取样的测试结果的重复误差，误差越小，表示重现性越好。重现性的好坏取决于仪器获取光能分布数据的稳定性、对杂散光的控制能力、对中精确度、光源和背景的稳定性、进样器的分散性能等。只有具备良好重现性的仪器才能对测试样品的粒度分布进行可靠的评价，有利于用于多个样品之间差异的准确识别。激光粒度分析仪的分辨能力指的是仪器对样品不同粒径颗粒的测量分辨能力以及对给定粒度等级中颗粒含量的微小变化识别的灵敏程度。一般来说，除了影响重现性的因素外，散射光能分布角度和光强的获取，低背景噪声的光学电子设计，高精度的模数转换及反演计算水平都对仪器的分辨能力有较大影响。只有高分辩能力的仪器才能准确识别测试样品的细微粒径变化。激光粒度分析仪的原理结构激光粒度分析仪的易操作性是指操作简单、故障率低、易于日常维护保养。如果仪器的易操作性不高，即便有良好的测试性能，也不能高效满足用户的测试需求。Topsizer激光粒度分析仪和Topsizer Pus激光粒分析仪就是这样两款在锂离子电池行业被广泛应用的高性能激光粒度分析仪。量程宽、重现性好、分辨能力强、自动化程度高、故障率低等优异性能保证了测试结果和分析能力，而且与国内外、行业上下游黄金标准保持一致，不仅为用户节省了方法开发和方法转移上的时间和成本，更重要的是可以避免粒径检测不准带来的经济损失和风险，无论在产品研发、过程控制还是质量控制上，都能够为用户带来真正的价值。● 测试范围：0.02-2000μm（湿法），0.1-2000μm（干法）● 重复性：≤0.5%（标样D50偏差）● 准确性：≤±1%（标样D50偏差）● 测量速度：常温测量10秒内完成欧美克Topsizer激光粒度分析仪Topsizer激光粒度分析仪是珠海欧美克仪器有限公司于2010年被英国思百吉集团全资收购后，利用思百吉集团的全球资源全新打造的旗舰产品，具有量程宽、重现性好、精度高、测试结果真实、自动化程度高等诸多优点，真正站在了当前粒度检测领域的前沿。● 测试范围：0.01-3600μm（湿法），0.1-3600μm（干法）● 重复性：≤0.5%（标样D50偏差）● 准确性：≤±0.6%（标样D50偏差）● 测量速度：常温测量10秒内完成欧美克Topsizer Plus激光粒度分析仪Topsizer Plus激光粒度分析仪是继广受赞誉的Topsizer 后，作为马尔文帕纳科的全资子公司，珠海欧美克仪器有限公司推出的又一款高端粒度分析仪器。该仪器引入了国际先进的光学设计，结合欧美克近30年的技术积累，采用全球化的供应链体系，使激光衍射法的测试范围达0.01-3600um。Topsizer Plus保持了Topsizer量程宽、重复性好、分辨力高、真实测试性能强和智能化程度高等优点，通过进一步提升光学设计、硬件和反演算法，拓展了其测试范围以及实际测试性能，代表了当前国产激光粒度仪的技术水平。

仪器化压痕测试如果您已经学习过如何使用压痕测试，并且想知道如何测试更加挑战的样品？或者您已经测量了一些样品，希望了解更多有关测量方法以及如何优化测量方法的信息？那么，仪器化压痕测试的高级线上研讨会就是为您准备的。知识点发展至今，Anton Paar TriTec团队研发了不同系列的仪器化压痕测试仪，其中包括MCT3(微观测试仪)、NHT3（纳米压痕仪）、UNHT3（超高性能纳米压痕仪）、UNHT3 Bio(生物纳米压痕仪)等。线上研讨会将阐述先进的力学性能测试方法，同时Jiří Nohava, PhD.和 Pavel Sedmak, PhD.还会使用Anton Paar推出的一系列仪器化压痕仪对具有挑战性的样品进行实践。从本次研讨会可学习到以下知识点：认识那些重要的却易被忽略的参数矩阵测试方法如何获取大量信息颗粒的力学表征该如何进行小尺寸样品该如何表征如何优化动态力学测试条件(sinus)生物软材料如何进行力学表征在液体浸没的环境下如何完成相关力学表征实验......时间/报名时间：2021-09-28, 15:00 - 18:30 语言：English主讲人：Jiří Nohava, PhD., Pavel Sedmak, PhD., Bin Zhang, Evelin Frank报名方式：点击下方“阅读原文”安东帕中国总部销售热线：+86 4008202259售后热线：+86 4008203230官网：www.anton-paar.cn在线商城：shop.anton-paar.cn

焊接质量一般是通过焊缝质量好坏来做评定，而焊缝质量取决于所焊接的物体、焊接填充物以及所选用的焊接工艺及参数。为了更好地去优化和改善焊接工艺，对于焊缝及其热影响区进行力学性能表征是极其有意义的。对局部弹塑性特性的兴趣导致了一种新检测技术的发展，该技术使用球形压头对焊缝及其热影响区进行局部应力应变性能表征，加载期间使用振动的压痕允许非常局部地确定试验材料的代表性应力-应变曲线。简单的应力应变分析在Anton-Paar压痕软件中实现。该方法可适用于焊缝及其附近不同区域的局部力学性能的表征。01焊缝裂纹尖端附近的弹塑性行为研究纳米压痕仪 NHT3通过展示仪器化纳米压痕测试方法获得低合金钢焊缝中裂纹尖端附近区域和远离裂纹尖端区域的应力应变行为。焊缝出现裂纹通常是由焊接过程中焊缝快速凝固产生的热应力引起的，或由内部显微结构的发生改变所引起的，导致硬度和屈服强度增加，但抗断裂性降低。为了了解局部区域的应力应变行为，仪器化纳米压痕法是能够提供此信息的少数方法之一，局部应力应变测量的目的是帮助理解焊缝开裂的原因。图1 ： 靠近或远离焊缝裂纹尖端局部区域的仪器化压痕测试使用Anton-Paar纳米压痕仪NHT3搭载半径为20 µm球型针尖对两个已经存在焊缝裂纹的样品进行测试，以获得局部的应力应变行为；与传统的静态测试方法不同的是，在这次的应用案例中将采用在加载过程增加正弦波加载方式的动态测试方法 (Sinus)，选取最大载荷为500 mN，加载卸载速率为1000 mN/min，动态加载振幅为50 mN，频率为5 Hz。图2：载荷位移曲线图3：应力应变曲线图2和图3显示了动态加载测试下获得的压痕曲线，以及从两个区域的压痕曲线中获得的应力应变曲线。可以看出裂纹尖端附近区域的屈服强度远高于远离裂纹尖端的区域。屈服强度的增加通常与延展性的降低有关，这可能对焊缝的抗断裂韧性产生至关重要影响。在外部荷载作用下，靠近裂纹尖端的材料屈服强度增加，往往会出现比基材更早断裂的情况，因此在整个结构中是个力学薄弱点。焊缝中的断裂会导致整个部件失效，因此应该去调整焊接参数，使裂纹尖端附近的材料具有较低的屈服应力和较高的抗断裂性。02焊接铝合金的应力应变行为研究仪器化纳米压痕测试方法中应力应变分析的另一个经典应用是研究金属焊缝周围的弹塑性，尤其是软金属，例如铝合金。铝合金比钢对高温更敏感，因此，研究铝合金的焊接热效应尤为更重要。在本应用所提及的研究中，在加载过程中使用正弦波动态加载模式，利用球形纳米压痕针尖的特性对两种不同的铝合金焊缝附近的弹塑性行为进行局部表征。球形纳米压痕针尖用于确定靠近焊缝（区域A）且距离焊缝约2mm（区域B）的应力应变特性。图4：对比距离焊缝近的区域A和距离焊缝2mm处区域B的应力应变行为使用NHT3纳米压痕仪搭载半径20µm球型针尖作为表征手段，选取的最大载荷为300 mN、加载卸载速率为600mN/min。在加载过程中采用正弦波的动态加载模式，振幅为30 mN，频率为5 Hz。图4展示了区域A和区域B的应力应变曲线的比较。两个区域表现出相类似的弹塑性行为，屈服应力约为0.3 GPa。这表明焊接过程中加热和冷却对材料的弹塑性性能的影响可以忽略不计。然而，并非所有情况下都是如此，焊接区域的局部应力应变行为仍然是优化焊接参数的重要信息。03搅拌摩擦焊接铝合金的应力应变研究搅拌摩擦焊（FSW）通常是铝合金焊接工艺更好地选择，而传统电弧焊由于铝的高导热性而容易产生较大的热影响区。FSW中的焊接温度远低于中心接触点，因此热效应的传导不如弧焊中明显。在这种情况下，将两种不同的铝合金AA6111-T4（T4）和AA6061-T6（T6）焊接在一起，并在距离熔核中心位置的1.1 mm、2.2 mm和3.3 mm处研究硬度、弹性模量和屈服应力。以下参数用于压痕：最大载荷300 mN，加载速率600 mN/min，动态加载模式下选取振幅30 mN，频率5 Hz。图5的结果表明随着距熔核距离的增加，所表现出的应力应变行为大致一样，仅存在微小差异。在所有的三个区域的屈服应力大约为0.33 GPa（两种基材中的屈服应力大约为0.27 GPa，图中未显示）。母材的硬度为0.8 GPa（T4合金）和1.1 GPa（T6合金）。所有三个区域（距焊缝熔核1.1 mm、2.2 mm和3.3 mm）的硬度均为1.1 GPa，这证实焊缝附近的弹塑性能并没有发生显著变化。图5：距熔核不同位置的应力应变曲线Aoton-Paar自研自产的纳米压痕仪能非常好地去胜任微观局部的应力应变分析，新一代的检测手段的开发有助于焊接行业的进一步发展。安东帕中国总部销售热线：+86 4008202259售后热线：+86 4008203230官网：www.anton-paar.cn在线商城：shop.anton-paar.cn

德国Tintometer® 集团Lovibond® （罗威邦® ）PTV1000在线浊度仪，由全球公认的浊度研究专家团队研发完成。研发的初衷，就是要设计一款基于90度散射光标准检测技术，且融会当今创新科技，高精度检测低浊度水样的在线仪器，解决用户之前使用在线浊度监测系统所遇到的种种间题。另外，借助于智能操控和用户交互界面，成就了我们的PTV1000 新一代智能型在线浊度仪。 Lovibond® PTV系列浊度仪，是实现连续检测和读数的过程监测仪器，用于过滤过程管理和饮用水浊度运行监管。包括有符合2种类型标准的产品- USEPA （the United States Environmental Protection Agency ) 标准或 ISO 7027 国际标准. Lovibond® PTV 系列浊度仪适用于水质监测，预期浊度值通常低于10 NTU或FNU. Lovibond® PTV 系列浊度仪被设计用于可以检测低于0 .05 NTU的，浊度增量变化小于0 .0005 NTU的环境中. 使用PTV仪器省时，省钱，省水。饮用水浊度监测追求低量程高精度，PTV在线浊度仪，专门针对此类要求而设计优化，达到超乎想象的监测效果并帮助用户节省资金和时间成本。测量原理：光源组件位于水面之上，不与水体接触，可避免脏污等干扰。从光源组件发出的光，垂直向下射入浊度仪水体内，遇到水体中的悬浮颗粒后产生散射光。检测器沉浸在水体中，其能够检测到与入射光束呈90度角的散射光。从而检测出水体的浊度值。同时，浊度仪内置气泡消除系统，该系统能够高效地去除水样中的气泡，有效地消除低浊度测量中最主要的干扰因素。 德国罗威邦® Lovibond® 低量程高精度PTV1000在线浊度仪技术参数：量 程：0.0001-100NTU；自动选择量程 光 源：固态白色光源，自动补偿修正，终身免维护分 辨 率：0.0001NTU准 确 度：± 2%或0.015,取大者 10-100NTU时， 读数± 4%重 现 性：优于读数的1%（1NTU时）信号平均：1,3,6,10,30,60,90秒,用户可选； 样品流速：30～500mL/min,省水，节约，环保样品温度：0～50℃ 模拟输出：0/4～20mA 可选。可编程数字通讯：MODBUS/RS485,Profibus等协议（可选）电源要求：90～264VAC,50/60Hz，自动选择； 进水管道：1/4" NPT 内螺纹 排水管道：3/8" NPT 内螺纹 外 壳：电源通讯模块IP66，测量模块IP65（水下部分IP68） 尺 寸：334.5 x 158.5 x 340.4 mm (L x W x H) 德国罗威邦® Lovibond® 低量程高精度PTV1000在线浊度仪主要特点：● 无玻璃测量瓶结构设计，减少玻璃脏污，划痕，冷凝雾，杂散光和静电吸附微尘等干扰造成的测量错误问题，减少大量清洁和更换玻璃测量瓶的维护工作。● 采用优质稳定，寿命可达10年的固态光源，无需维护和更换光源。● 内置气泡排除系统（专利技术），确保测量的高准确度，高精度和极高的稳定性。● 加热光学组件设计，避免冷凝和雾气的产生，无需干燥剂。● 模块化设计，其水流模块的结构设计光滑无死角，全部可见可触及，便于维护和清洗——没有任何藏污纳垢的角落。具有决速连接排空功能，易于清洗，校准，验证操作。安装选购的进出水管理装置模块，校准和验证过程中取样操作更加简单决速，无需为此进行任何管路拆卸操作。● 水流模块测量槽，采用低容量设计,此独特设计，不仅大大减小了水样和校准液用量，同时有效加快了浊度监测响应速度。系统流速可仅为50-80ml/每分钟。响应国家节能减排号召● 内置杂散光吸收器，有效消除降低杂散光影响，提高测量准确度和精度● T-CALplus校准包专利技术，使校准操作不会接触到有害溶液，校准过程决速，简单，安全。● 智能手机APP，近距无线操控仪器，智慧型动画指导式操作提示，仪器使用和操作更简单● 单点校准，校准过程非常便捷● US EPA（美国环保署）认可的方法创新点：德国Tintometer集团Lovibond® （罗威邦）PTV1000在线浊度仪，由全球公认的浊度研究专家团队研发完成。 Lovibond® PTV系列浊度仪，是实现连续检测和读数的过程监测仪器，用于过滤过程管理和饮用水浊度运行监管。监测预期浊度值通常低于10 NTU或FNU. Lovibond® PTV 系列浊度仪被设计用于可以检测低于0 .05 NTU的，浊度增量变化小于0.0005 NTU的环境中. 无玻璃测量瓶结构设计，减少玻璃脏污，划痕，冷凝雾，杂散光和静电吸附微尘等干扰造成的测量错误问题，减少大量清洁和更换玻璃测量瓶的维护工作。 采用优质稳定，寿命可长达10年的LED光源，无需更换光源。 内置气泡排除系统（专利技术），可在5分钟内完成清洁 加热光学组件设计，避免冷凝和雾气的产生，无需干燥剂。 水流模块测量槽，采用低容量设计（体积比某些品牌小70%) ,此独特设计，不仅大大减小了水样和校准液用量，同时有效加快了浊度监测响应速度。系统最佳流速仅为50-80ml/每分钟。响应国家节能减排号召。 T-CALplus校准包专利技术，使校准操作不会接触到溶液，校准过程决速，简单，安全。 智能手机APP，近距无线操控仪器，智慧型动画指导式操作提示，仪器使用和操作更简单。 PTV1000 智能在线浊度仪

- 工作原理：Hach EZ6000 的分析技术为阳极溶出伏安法（ASV），是一种经过时间检验的，灵敏的电化学分析方法，根据电极表面氧化过程中的电流-电压曲线行分析。此方法包括金属离子向电极表面的富集和溶出，溶出阶段在此电极上会发生选择氧化反应。分析过程的所有步骤，包括采样，样品传输，清洗和数据交换均通过工业级PC面板进行控制。- 应用行业：地表水、饮用水、矿泉水、污水排口- 仪器特点：? 灵活的分析性能? 内置样品消解装置，用来处理含复杂金属物质水样或高有机物含量的水样? 操作简单，维护便捷? 电子气元件和仪表湿区实现了完全分离? 最多可达八通道分析? 通过工业面板计算机进行控制和通讯? 具有扩展数据通信和交换功能? 较低的样品和试剂消耗? 与标准实验室方法的关联性优异? 高级设置：自动校准和自动清洗功能? 工厂配置，测试和校准创新点：哈希EZ6000痕量金属分析仪是一款阳极溶出伏安法（ASV）重金属检测仪，灵敏的电化学分析方法，性能优良，操作简单。该重金属检测仪内置样品消解装置，用来处理含复杂金属物质水样或高有机物含量的水样，相比其他重金属检测仪，EZ6000痕量金属分析仪对样品和试剂消耗更低。 哈希痕量金属分析仪 EZ6000

一、项目基本情况项目编号：0834-2341SH23A055/04项目名称：上海交通大学材料科学与工程学院纳米压痕仪预算金额：250.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：250.0000000 万元（人民币）采购需求：序号货物名称数量简要技术规格交货期交货地点1纳米压痕仪1套仪器须具有独立的位移测量元件、位移驱动元件和载荷测量元件，以保证测量的准确性；（详见第八章）签订合同后150日内关境外货物：CIP上海交通大学指定地点关境内货物：DDP上海交通大学指定地点合同履行期限：签订合同后150日内本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策均按照《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。3.本项目的特定资格要求：1）具有独立的法人资格，相应的经营范围；2）投标人是专业生产本次所需设备的制造商，或是制造商针对本项目唯一授权的代理商；3）投标人提供的投标机型应是原产地的全新产品；4）投标人必须在机电产品招标投标电子交易平台上注册，网址：http://www.chinabidding.com注册成功后还须通过网站的验证；5）不接受联合体投标；6）已购买本招标文件。三、获取招标文件时间：2023年02月25日 至 2023年03月03日，每天上午9:30至11:30，下午13:00至16:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：上海市共和新路1301号D座二楼方式：详见其他补充事宜售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2023年03月20日 13点30分（北京时间）开标时间：2023年03月20日 13点30分（北京时间）地点：上海市共和新路1301号D座二楼会议室五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜校内编号：招设2023A00082有意向的投标人可从2023年2月25日起至2023年3月3日，每天（节假日除外）上午9:30时至下午16：00时（北京时间）至在上海中招招标有限公司购买招标文件，本招标文件每套售价为人民币500元或美元75，标书售后不退。决定参与本项目投标的供应商还须于投标截止时间前完成在上海交通大学数字化采购平台（https://pboffice.sjtu.edu.cn/）上的供应商注册及审核，请尽早办理，以免因资料审核时间而影响项目进度。 本招标文件不现场发售，有意向购买的投标人将营业执照复印件、法人代表授权书、身份证复印件（以上材料须加盖公章）、汇款底单（须公对公）和开票信息发送至13764352603@163.com、18930181850@163.com，在邮件中注明项目名称、联系人和电话，经招标代理机构审核通过后购买招标文件。（购买标书登记表在附件内请填写好与相关报名资料一并发送至邮箱）招标机构：上海中招招标有限公司开户银行（人民币）：中国民生银行上海分行虹桥支行账号（人民币）：0208014210004789摘要：0834-2341SH23A055/04七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：上海交通大学地址：上海市东川路800号联系方式：陈老师 021-54747169，技术联系人：沈老师 电话：021-547408382.采购代理机构信息名称：上海中招招标有限公司地址：上海市共和新路1301号D座二楼联系方式：林佳文、吴乾清 电话：86-21-66271932、86-21-66272327，13764352603@163.com、18930181850@163.com3.项目联系方式项目联系人：林佳文、吴乾清电话：86-21-66271932、86-21-66272327

摘要随着对性能优于硅基器件的碳化硅（SiC）功率器件的需求不断增长，碳化硅制造工艺的高成本和低良率是尚待解决的最紧迫问题。研究表明，SiC器件的性能很大程度上受到晶体生长过程中形成的所谓杀手缺陷（影响良率的缺陷）的影响。在改进降低缺陷密度的生长技术的同时，能够识别和定位缺陷的生长后检测技术已成为制造过程的关键必要条件。在这篇综述文章中，我们对碳化硅缺陷检测技术以及缺陷对碳化硅器件的影响进行了展望。本文还讨论了改进现有检测技术和降低缺陷密度的方法的潜在解决方案，这些解决方案有利于高质量SiC器件的大规模生产。前言由于电力电子市场的快速增长，碳化硅（SiC，一种宽禁带半导体）成为开发用于电动汽车、航空航天和功率转换器的下一代功率器件的有前途的候选者。与由硅或砷化镓（GaAs）制成的传统器件相比，基于碳化硅的电力电子器件具有多项优势。表1显示了SiC、Si、GaAs以及其他宽禁带材料（如GaN和金刚石）的物理性能的比较。由于具有宽禁带（4H-SiC为~3.26eV），基于SiC器件可以在更高的电场和更高的温度下工作，并且比基于Si的电力电子器件具有更好的可靠性。SiC还具有优异的导热性（约为Si的三倍），这使得SiC器件具有更高的功率密度封装，具有更好的散热性。与硅基功率器件相比，其优异的饱和电子速度（约为硅的两倍）允许更高的工作频率和更低的开关损耗。SiC优异的物理特性使其非常有前途地用于开发各种电子设备，例如具有高阻断电压和低导通电阻的功率MOSFET，以及可以承受大击穿场和小反向漏电流的肖特基势垒二极管（SBD）。性质Si3C-SiC4H-SiCGaAsGaN金刚石带隙能量（eV）1.12.23.261.433.455.45击穿场（106Vcm−1)0.31.33.20.43.05.7导热系数（Wcm−1K−1)1.54.94.90.461.322饱和电子速度（107cms−1)1.02.22.01.02.22.7电子迁移率（cm2V−1s−1)150010001140850012502200熔点（°C）142028302830124025004000表1电力电子用宽禁带半导体与传统半导体材料的物理特性（室温值）对比提高碳化硅晶圆质量对制造商来说很重要，因为它直接决定了碳化硅器件的性能，从而决定了生产成本。然而，低缺陷密度的SiC晶圆的生长仍然非常具有挑战性。最近，碳化硅晶圆制造的发展已经完成了从100mm（4英寸）到150mm（6英寸）晶圆的艰难过渡。SiC需要在高温环境中生长，同时具有高刚性和化学稳定性，这导致生长的SiC晶片中存在高密度的晶体和表面缺陷，导致衬底和随后制造的外延层质量差。图1总结了SiC中的各种缺陷以及这些缺陷的工艺步骤，下一节将进一步讨论。图1SiC生长过程示意图及各步骤引起的各种缺陷各种类型的缺陷会导致设备性能不同程度的劣化，甚至可能导致设备完全失效。为了提高良率和性能，在设备制造之前检测缺陷的技术变得非常重要。因此，快速、高精度、无损的检测技术在碳化硅生产线中发挥着重要作用。在本文中，我们将说明每种类型的缺陷及其对设备性能的影响。我们还对不同检测技术的优缺点进行了深入的讨论。这篇综述文章中的分析不仅概述了可用于SiC的各种缺陷检测技术，还帮助研究人员在工业应用中在这些技术中做出明智的选择（图2）。表2列出了图2中检测技术和缺陷的首字母缩写。图2可用于碳化硅的缺陷检测技术表2检测技术和缺陷的首字母缩写见图SEM：扫描电子显微镜OM：光学显微镜BPD：基面位错DIC：微分干涉对比PL：光致发光TED：螺纹刃位错OCT：光学相干断层扫描CL：阴极发光TSD：螺纹位错XRT：X射线形貌术拉曼：拉曼光谱SF：堆垛层错碳化硅的缺陷碳化硅晶圆中的缺陷通常分为两大类：（1）晶圆内的晶体缺陷和（2）晶圆表面处或附近的表面缺陷。正如我们在本节中进一步讨论的那样，晶体学缺陷包括基面位错（BPDs）、堆垛层错（SFs）、螺纹刃位错（TEDs）、螺纹位错（TSDs）、微管和晶界等，横截面示意图如图3（a）所示。SiC的外延层生长参数对晶圆的质量至关重要。生长过程中的晶体缺陷和污染可能会延伸到外延层和晶圆表面，形成各种表面缺陷，包括胡萝卜缺陷、多型夹杂物、划痕等，甚至转化为产生其他缺陷，从而对器件性能产生不利影响。图3SiC晶圆中出现的各种缺陷。（a）碳化硅缺陷的横截面示意图和（b）TEDs和TSDs、（c）BPDs、（d）微管、（e）SFs、（f）胡萝卜缺陷、（g）多型夹杂物、（h）划痕的图像生长在4°偏角4H-SiC衬底上的SiC外延层是当今用于各种器件应用的最常见的晶片类型。在4°偏角4H-SiC衬底上生长的SiC外延层是当今各种器件应用中最常用的晶圆类型。众所周知，大多数缺陷的取向与生长方向平行，因此，SiC在SiC衬底上以4°偏角外延生长不仅保留了下面的4H-SiC晶体，而且使缺陷具有可预测的取向。此外，可以从单个晶圆上切成薄片的晶圆总数增加。然而，较低的偏角可能会产生其他类型的缺陷，如3C夹杂物和向内生长的SFs。在接下来的小节中，我们将讨论每种缺陷类型的详细信息。晶体缺陷螺纹刃位错（TEDs）、螺纹位错（TSDs）SiC中的位错是电子设备劣化和失效的主要来源。螺纹刃位错（TSDs）和螺纹位错（TEDs）都沿生长轴运行，Burgers向量分别为和1/3。TSDs和TEDs都可以从衬底延伸到晶圆表面，并带来小的凹坑状表面特征，如图3b所示。通常，TEDs的密度约为8000-10,0001/cm2，几乎是TSDs的10倍。扩展的TSDs，即TSDs从衬底延伸到外延层，可能在SiC外延生长过程中转化为基底平面上的其他缺陷，并沿生长轴传播。Harada等人表明，在SiC外延生长过程中，TSDs被转化为基底平面上的堆垛层错（SFs）或胡萝卜缺陷，而外延层中的TEDs则被证明是在外延生长过程中从基底继承的BPDs转化而来的。基面位错（BPDs）另一种类型的位错是基面位错（BPDs），它位于SiC晶体的平面上，Burgers矢量为1/3。BPDs很少出现在SiC晶圆表面。它们通常集中在衬底上，密度为15001/cm2，而它们在外延层中的密度仅为约101/cm2。Kamei等人报道，BPDs的密度随着SiC衬底厚度的增加而降低。BPDs在使用光致发光（PL）检测时显示出线形特征，如图3c所示。在SiC外延生长过程中，扩展的BPDs可能转化为SFs或TEDs。微管在SiC中观察到的常见位错是所谓的微管，它是沿生长轴传播的空心螺纹位错，具有较大的Burgers矢量分量。微管的直径范围从几分之一微米到几十微米。微管在SiC晶片表面显示出大的坑状表面特征。从微管发出的螺旋，表现为螺旋位错。通常，微管的密度约为0.1–11/cm2，并且在商业晶片中持续下降。堆垛层错（SFs）堆垛层错(SFs)是SiC基底平面中堆垛顺序混乱的缺陷。SFs可能通过继承衬底中的SFs而出现在外延层内部，或者与扩展BPDs和扩展TSDs的变换有关。通常，SFs的密度低于每平方厘米1个，并且通过使用PL检测显示出三角形特征,如图3e所示。然而，在SiC中可以形成各种类型的SFs，例如Shockley型SFs和Frank型SFs等，因为晶面之间只要有少量的堆叠能量无序可能导致堆叠顺序的相当大的不规则性。点缺陷点缺陷是由单个晶格点或几个晶格点的空位或间隙形成的，它没有空间扩展。点缺陷可能发生在每个生产过程中，特别是在离子注入中。然而，它们很难被检测到，并且点缺陷与其他缺陷的转换之间的相互关系也是相当的复杂，这超出了本文综述的范围。其他晶体缺陷除了上述各小节所述的缺陷外，还存在一些其他类型的缺陷。晶界是两种不同的SiC晶体类型在相交时晶格失配引起的明显边界。六边形空洞是一种晶体缺陷，在SiC晶片内有一个六边形空腔，它已被证明是导致高压SiC器件失效的微管缺陷的来源之一。颗粒夹杂物是由生长过程中下落的颗粒引起的，通过适当的清洁、仔细的泵送操作和气流程序的控制，它们的密度可以大大降低。表面缺陷胡萝卜缺陷通常，表面缺陷是由扩展的晶体缺陷和污染形成的。胡萝卜缺陷是一种堆垛层错复合体，其长度表示两端的TSD和SFs在基底平面上的位置。基底断层以Frank部分位错终止，胡萝卜缺陷的大小与棱柱形层错有关。这些特征的组合形成了胡萝卜缺陷的表面形貌，其外观类似于胡萝卜的形状，密度小于每平方厘米1个，如图3f所示。胡萝卜缺陷很容易在抛光划痕、TSD或基材缺陷处形成。多型夹杂物多型夹杂物，通常称为三角形缺陷，是一种3C-SiC多型夹杂物，沿基底平面方向延伸至SiC外延层表面，如图3g所示。它可能是由外延生长过程中SiC外延层表面上的下坠颗粒产生的。颗粒嵌入外延层并干扰生长过程，产生了3C-SiC多型夹杂物，该夹杂物显示出锐角三角形表面特征，颗粒位于三角形区域的顶点。许多研究还将多型夹杂物的起源归因于表面划痕、微管和生长过程的不当参数。划痕划痕是在生产过程中形成的SiC晶片表面的机械损伤，如图3h所示。裸SiC衬底上的划痕可能会干扰外延层的生长，在外延层内产生一排高密度位错，称为划痕，或者划痕可能成为胡萝卜缺陷形成的基础。因此，正确抛光SiC晶圆至关重要，因为当这些划痕出现在器件的有源区时，会对器件性能产生重大影响。其他表面缺陷台阶聚束是SiC外延生长过程中形成的表面缺陷，在SiC外延层表面产生钝角三角形或梯形特征。还有许多其他的表面缺陷，如表面凹坑、凹凸和污点。这些缺陷通常是由未优化的生长工艺和不完全去除抛光损伤造成的，从而对器件性能造成重大不利影响。检测技术量化SiC衬底质量是外延层沉积和器件制造之前必不可少的一步。外延层形成后，应再次进行晶圆检查，以确保缺陷的位置已知，并且其数量在控制之下。检测技术可分为表面检测和亚表面检测，这取决于它们能够有效地提取样品表面上方或下方的结构信息。正如我们在本节中进一步讨论的那样，为了准确识别表面缺陷的类型，通常使用KOH（氢氧化钾）通过在光学显微镜下将其蚀刻成可见尺寸来可视化表面缺陷。然而，这是一种破坏性的方法，不能用于在线大规模生产。对于在线检测，需要高分辨率的无损表面检测技术。常见的表面检测技术包括扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、光学显微镜（OM）和共聚焦微分干涉对比显微镜（CDIC）等。对于亚表面检测，常用的技术包括光致发光（PL）、X射线形貌术（XRT）、镜面投影电子显微镜（MPJ）、光学相干断层扫描（OCT）和拉曼光谱等。在这篇综述中，我们将碳化硅检测技术分为光学方法和非光学方法，并在以下各节中对每种技术进行讨论。非光学缺陷检测技术非光学检测技术，即不涉及任何光学探测的技术，如KOH蚀刻和TEM，已被广泛用于表征SiC晶圆的质量。这些方法在检测SiC晶圆上的缺陷方面相对成熟和精确。然而，这些方法会对样品造成不可逆转的损坏，因此不适合在生产线中使用。虽然存在其他非破坏性的检测方法，如SEM、CL、AFM和MPJ，但这些方法的通量较低，只能用作评估工具。接下来，我们简要介绍上述非光学技术的原理。还讨论了每种技术的优缺点。透射电子显微镜（TEM）透射电子显微镜（TEM）可用于以纳米级分辨率观察样品的亚表面结构。透射电镜利用入射到碳化硅样品上的加速电子束。具有超短波长和高能量的电子穿过样品表面，从亚表面结构弹性散射。SiC中的晶体缺陷，如BPDs、TSDs和SFs，可以通过TEM观察。扫描透射电子显微镜（STEM）是一种透射电子显微镜，可以通过高角度环形暗场成像（HAADF）获得原子级分辨率。通过TEM和HAADF-STEM获得的图像如图4a所示。TEM图像清晰地显示了梯形SF和部分位错，而HAADF-STEM图像则显示了在3C-SiC中观察到的三种SFs。这些SFs由1、2或3个断层原子层组成，用黄色箭头表示。虽然透射电镜是一种有用的缺陷检测工具，但它一次只能提供一个横截面视图，因此如果需要检测整个碳化硅晶圆，则需要花费大量时间。此外，透射电镜的机理要求样品必须非常薄，厚度小于1μm，这使得样品的制备相当复杂和耗时。总体而言，透射电镜用于了解缺陷的基本晶体学，但它不是大规模或在线检测的实用工具。图4不同的缺陷检测方法和获得的缺陷图像。（a）SFs的TEM和HAADF图像；（b）KOH蚀刻后的光学显微照片图像；（c）带和不带SF的PL光谱，而插图显示了波长为480nm的单色micro-PL映射；（d）室温下SF的真彩CLSEM图像；（e）各种缺陷的拉曼光谱；（f）微管相关缺陷204cm−1峰的微拉曼强度图KOH蚀刻KOH蚀刻是另一种非光学技术，用于检测多种缺陷，例如微管、TSDs、TEDs、BDPs和晶界。KOH蚀刻后形成的图案取决于蚀刻持续时间和蚀刻剂温度等实验条件。当将约500°C的熔融KOH添加到SiC样品中时，在约5min内，SiC样品在有缺陷区域和无缺陷区域之间表现出选择性蚀刻。冷却并去除SiC样品中的KOH后，存在许多具有不同形貌的蚀刻坑，这些蚀刻坑与不同类型的缺陷有关。如图4b所示，位错产生的大型六边形蚀刻凹坑对应于微管，中型凹坑对应于TSDs，小型凹坑对应于TEDs。KOH刻蚀的优点是可以一次性检测SiC样品表面下的所有缺陷，制备SiC样品容易，成本低。然而，KOH蚀刻是一个不可逆的过程，会对样品造成永久性损坏。在KOH蚀刻后，需要对样品进行进一步抛光以获得光滑的表面。镜面投影电子显微镜（MPJ）镜面投影电子显微镜（MPJ）是另一种很有前途的表面下检测技术，它允许开发能够检测纳米级缺陷的高通量检测系统。由于MPJ反映了SiC晶圆上表面的等电位图像，因此带电缺陷引起的电位畸变分布在比实际缺陷尺寸更宽的区域上。因此，即使工具的空间分辨率为微米级，也可以检测纳米级缺陷。来自电子枪的电子束穿过聚焦系统，均匀而正常地照射到SiC晶圆上。值得注意的是，碳化硅晶圆受到紫外光的照射，因此激发的电子被碳化硅晶圆中存在的缺陷捕获。此外，SiC晶圆带负电，几乎等于电子束的加速电压，使入射电子束在到达晶圆表面之前减速并反射。这种现象类似于镜子对光的反射，因此反射的电子束被称为“镜面电子”。当入射电子束照射到携带缺陷的SiC晶片时，缺陷的带负电状态会改变等电位表面，导致反射电子束的不均匀性。MPJ是一种无损检测技术，能够对SiC晶圆上的静电势形貌进行高灵敏度成像。Isshiki等人使用MPJ在KOH蚀刻后清楚地识别BPDs、TSDs和TEDs。Hasegawa等人展示了使用MPJ检查的BPDs、划痕、SFs、TSDs和TEDs的图像，并讨论了潜在划痕与台阶聚束之间的关系。原子力显微镜（AFM）原子力显微镜（AFM）通常用于测量SiC晶圆的表面粗糙度，并在原子尺度上显示出分辨率。AFM与其他表面检测方法的主要区别在于，它不会受到光束衍射极限或透镜像差的影响。AFM利用悬臂上的探针尖端与SiC晶圆表面之间的相互作用力来测量悬臂的挠度，然后将其转化为与表面缺陷特征外观成正比的电信号。AFM可以形成表面缺陷的三维图像，但仅限于解析表面的拓扑结构，而且耗时长，因此通量低。扫描电子显微镜（SEM）扫描电子显微镜（SEM）是另一种广泛用于碳化硅晶圆缺陷分析的非光学技术。SEM具有纳米量级的高空间分辨率。加速器产生的聚焦电子束扫描SiC晶圆表面，与SiC原子相互作用，产生二次电子、背散射电子和X射线等各种类型的信号。输出信号对应的SEM图像显示了表面缺陷的特征外观，有助于理解SiC晶体的结构信息。但是，SEM仅限于表面检测，不提供有关亚表面缺陷的任何信息。阴极发光（CL）阴极发光（CL）光谱利用聚焦电子束来探测固体中的电子跃迁，从而发射特征光。CL设备通常带有SEM，因为电子束源是这两种技术的共同特征。加速电子束撞击碳化硅晶圆并产生激发电子。激发电子的辐射复合发射波长在可见光谱中的光子。通过结合结构信息和功能分析，CL给出了样品的完整描述，并直接将样品的形状、大小、结晶度或成分与其光学特性相关联。Maximenko等人显示了SFs在室温下的全彩CL图像，如图4d所示。不同波长对应的SFs种类明显，CL发现了一种常见的单层Shockley型堆垛层错，其蓝色发射在~422nm，TSD在~540nm处。虽然SEM和CL由于电子束源而具有高分辨率，但高能电子束可能会对样品表面造成损伤。基于光学的缺陷检测技术为了在不损失检测精度的情况下实现高吞吐量的在线批量生产，基于光学的检测方法很有前途，因为它们可以保存样品，并且大多数可以提供快速扫描能力。表面检测方法可以列为OM、OCT和DIC，而拉曼、XRT和PL是表面下检测方法。在本节中，我们将介绍每种检测方法的原理，这些方法如何应用于检测缺陷，以及每种方法的优缺点。光学显微镜（OM）

2011年3月2日上午九点半，由高分子科学与工程学院研究生分会科技部筹划组织的第198期高分子论坛在高研所320报告厅成功举办。来自美国Hysitron（海思创）公司的应用科学家宋双喜博士给大家带来了一场精彩的学术报告。 本次报告的主题是《纳米力学测试技术在高分子材料方面的应用》，主要内容为以下几个方面：1、传统力学测试技术的概况；2、纳米力学测试技术：纳米压痕、划痕和磨损等的测试方法和基本原理；3、微纳尺寸的高分子材料的纳米力学性能表征。宋双喜博士的讲解深入浅出，鞭辟入里，同学们也纷纷发表了自己对于纳米力学测试系统在高分子方面的应用的看法，并与宋双喜博士进行了相关交流探讨。 本次报告使同学们了解了更多的专业知识，拓宽了同学们的学术视野，也激发了大家的科研兴趣，让到场的同学们都受益匪浅。 本文转自：http://cpse.scu.edu.cn/swd/sa.asp?aid=889 更多产品请登陆德祥官网：www.tegent.com.cn 德祥热线：4008 822 822 邮箱：info@tegent.com.cn

第三届“信立方杯”微课大赛火热招募中！（点击报名）面向全国高等院校、科研单位的精英教师们，第三届“信立方杯”微课大赛现已开启报名通道！无论您是科研实验领域的专家，还是教学一线的骨干，都可将您日常积累的宝贵实验方法和仪器使用心得，浓缩成5分钟以内的视频作品，与我们一同分享您的智慧与经验。（点击图片直达第三届微课大赛官网）专家评审，权威认证 大赛将由评审委员会，从专业性、创新性、视频内容及呈现等多方面对参赛作品进行严格评选。优秀作品将荣获一等、二等、三等奖项；同时将通过大众网络投票活动，与专家评审分数相结合，共同角逐“十佳主讲老师”的殊荣。最高奖金高达1万元，期待您的精彩表现！往届佳作，熠熠生辉下面与你一起分享第二届微课大赛电镜组别的微课视频~作品名称：透明薄膜样品的价带铺测试方法 （点击题目查看视频）作品讲师：段建霞 清华大学分析中心作品简介：作品以 ITO为基底的透明薄膜样品，介绍价带谱的检测方法，包括样品制备和安装注意事项、XPS 价带谱和 UPS 谱测试中的高度调节技巧和参数设置方法以及 XPS 价带谱和 UPS 谱结果对比。透明薄膜样品在测量价带谱时存在对焦困难的问题，因此透明薄膜样品的高度调节技巧非常重要。作品名称：扫描电镜不导电样品磁控溅射镀膜仪常见问题解决（点击题目查看视频）作品讲师：李丽 南京理工大学作品简介：本作品主要从两大方面介绍磁控溅射镀膜仪：1.简易演示真空磁控溅射镀膜过程。这点也是仪器培训中学员最需要了解并最感兴趣。 2.介绍常见问题和解决办法：真空问题、Ar气进气排气、靶材、成膜厚度、溅射速率。作品名称：激光扫描共聚焦显微镜应用技术（点击题目查看视频）作品讲师：周静 四川大学分析测试中心作品简介：激光共聚焦扫描显微镜是近代最先进的细胞生物医学分析手段之一。与传统荧光显微镜相比，共聚焦显微镜能得到更清晰的样品图像。它不仅可观察固定的细胞、组织切片，还可对活细胞的结构、分子、离子进行实时动态地观察和检测。作品名称：原子力显微镜的表面电势模式（点击题目查看视频）作品讲师：郭航 西安交通大学作品简介：本节微课主要介绍了原子力显微镜的表面电势模式，它主要用于研究材料微区形貌和表面电势分布图像，这里介绍了其工作原理和应用。作品名称：透射电镜中的选区电子衍射技术（点击题目查看视频）作品讲师：李雷 武汉大学作品简介：选区电子衍射技术是透射电子显微学中的一个重要组成部分，不仅可以用于对微区的样品进行结构表征，也可以辅助分析样品的生长方向，样品的结晶性等。同时由于在拍摄选区衍射时使用发散的电子束，对样品的辐照损伤较低，因此可以使用该技术对样品的结构演变进行原位表征。作品名称：透射电镜EDS元素面分布分析的工作原理（点击题目查看视频）作品讲师：王延茹 中国科学技术大学作品简介：本视频首先介绍了该方法的定性依据，即特征X射线的产生原理，随后展示了这种分析方法的工作过程，包括电子束的工作状态、原始数据记录方式、后期软件数据提取步骤等，基于这些讲解得出在进行EDS面分布分析时，只要保留原始数据谱图中出峰的元素可随时提取其面分布结果。最后拓展介绍了EDS线分析的工作过程作品名称：信号探测器对扫描电镜成像效果的影响（点击题目查看视频）作品讲师：王佳伟 西安交通大学作品简介：扫描电镜因其分辨率高、制样简单、扩展性强等特点，是常用的显微成像设备之一。电镜利用电子与物质相互作用产生的信号，经计算拟合后模拟出样品形貌。因此，电镜成像效果受捕获信号的类型影响。本作品介绍了扫描电镜中常见的3种信号探测器，讨论了其信号来源，并对不同类型信号成像的效果进行对比，从而说明信号探测器对扫描电镜成像效果的影响。作品名称：高粘性液体的冷冻透射电镜样品制备（点击题目查看视频）作品讲师：童慧敏 西安交通大学作品简介：随着科学研究的不断深入，冷冻透射电镜的研究领域不再仅仅局限于生物医学领域，而是朝着水环境有机及其复合体系、电子束敏感材料体系等等交叉学科领域不断护展。本作品着眼于一类特殊样品-高粘性液体样品，重点研究其冷冻样品制样法，通过对制样参数的不断优化，得到最优化的制样方法一一涂样冷冻制样法，并结合冷冻透射电镜成功观察到了此类液体的微观结构。作品名称：电镜超薄切片制样技术分享（点击题目查看视频）作品讲师：董鑫 中山大学测试中心作品简介：在透射电镜的样品制备方法中,超薄切片技术是最基本､ 最常用的制备技术，主要步骤包括包埋聚合､ 切片、捞片等步骤。作品主要内容是围绕透射电镜样品制备的技术展开，介绍超薄切片制样技术的规范化制备方法、分享样品表征的案例，清晰真实地展示出样品从切片到电镜表征的全流程。作品名称：如何获得质量更高的扫描电镜样品（点击题目查看视频）作品讲师：周雨萌 大连理工大学作品简介：电镜制样过程常常会对表征结果的真实性带来影响。在拍电镜的过程中可能会遇到：想要拍EBSD时由于样品表面划痕、应力过多而造成解析率较低；想拍截面时，剪刀等工具会造成界面变形、污染、膜层界面不清晰等等从而影响结果。为此我们介绍一种前处理制样设备——氩离子抛光仪，可以有效地消除划痕，减小应力损伤，氧化、污染、变形的可能性，制备得到高质量的平整表面。同时可控的低温还可以用来抛光一些敏感材料。（点击图片直达第三届微课大赛官网）

近日，中科院合肥研究院安光所方勇华研究员团队在痕量气体光声检测研究方面取得新进展，相关研究成果发表在国际知名光学期刊Optics Express上，并被选为“Editor’s Pick” 文章。博士生李振钢为论文第一作者。光声光谱是一种间接吸收光谱技术，通过检测气体吸收光能产生的光声信号来反演气体浓度，具有灵敏度高、选择性好、零背景检测等优点，广泛应用于环境监测、医疗诊断、燃烧分析、电力检测等领域。然而，光声检测性能容易受到各类噪声的影响，如气体流动噪声和电子学噪声等非相干噪声，以及光声池壁吸收光能产生的相干噪声等。此前，在同时抑制相干与非相干噪声、增强光声信号方面业内鲜有报道。该团队基于光声检测原理，研制了一种新型的差分式亥姆霍兹光声池，其特殊结构使光束能够在镀金内壁上多次反射，以激发出更强的光声信号。同时，采用波长调制与二次谐波技术抑制了光声池壁因吸收光能产生的相干噪声。此外，由于该光声池的差分特性，使非相干噪声得到极大抑制。该光声池经过详细的仿真优化，在获得高检测性能参数的同时，进一步提高了待测气体的置换速度。在甲烷气体检测实验中，该光声传感器表现出了良好的线性度和灵敏度。当激发光源为较低功率（6 mW）的近红外（1653 nm）分布式反馈激光器时，在1 s的检测时间内实现了甲烷气体177 ppb的最低检测限，对应的归一化噪声等效吸收系数为4.1×10–10 cm–1 WHZ–1/2（此前报道的归一化噪声等效吸收系数通常为10–8至10–10量级）。文章链接：https://opg.optica.org/oe/fulltext.cfm?uri=oe-30-16-28984&id=481186新型差分式亥姆霍兹光声池的（a）声压仿真和（b）多次反射示意图待测气体置换速率仿真；（a）连接管位置优化前（b）连接管位置优化后（a）光声检测装置原理图和（b）光声池机械结构图

开放日活动周2022年，正值安东帕100周年，已推出一系列【百年传承】活动，今天，给大家推荐的是：表面力学测试仪器开放日活动周~免费测试样品安东帕压痕、划痕、摩擦磨损、涂层厚度测试免费开放一星期！（9月5-9日）。安东帕表面力学测试仪可测量各种材料的表面力学性质，从最硬的类金刚石 (DLC) 膜到最软的水凝胶。应用领域覆盖工业和科研：切削工具、汽车、航天、电子器件、生物医学、半导体、聚合物、光学部件、玻璃、装饰物等。压痕仪：硬度、弹性模量、粘弹性、蠕变、断裂韧性等符合工业标准：ISO 14577、ASTM E2546等仪器化压痕技术 (IIT) 是将已知几何形状的压头压入样品表面，同时监测压入深度和法向载荷。可以从载荷-位移曲线中获得压痕硬度（HIT）、弹性模量（EIT）以及其他力学特性。安东帕的压痕仪采用独特的表面参比技术（欧洲专利 1828744，美国专利 7685868），实现低热漂移，具有极高的稳定性。“快速点阵”压痕模式可实现最高每小时600 次的测量速度，并获得完整的压痕曲线。动态力学分析 (DMA)可测量力学性质随深度变化曲线(硬度/模量vs.深度)，表征材料粘弹性 (存储及损耗模量、tan δ)。多物镜视频显微镜可以清晰显示样品，并且利用电动工作台精确定位。划痕仪：涂层附着力、摩擦力、耐划伤性等符合工业标准：ISO 20502、ASTM C1624等划痕测试仪技术可以在待测样品上用金刚石划针形成可控的划痕。达到一定的载荷时，涂层会开始脱落。通过集成的光学显微镜观察，结合摩擦力、划痕深度、声发射传感器等多种信号，可以精确地检测临界载荷，量化不同的膜-基材组合的结合性能。安东帕的划痕仪拥有独一无二的全景成像模式（美国专利 8261600，欧洲专利2065695），可直接观测整条划痕。获专利的深度前扫描和后扫描（美国专利6520004，欧洲专利1092142），可得到真实的划痕深度和残留深度，还可研究样品的弹性恢复。主动力反馈系统使得仪器可测量曲面及不平整样品。摩擦学测量：摩擦系数、磨损率、润滑符合工业标准：ASTM G99、G133、DIN 50324等安东帕的销盘式摩擦磨损试验机（TRB3）采用可靠的静加载，包括旋转、旋转往复和线性往复三种运动模式。通过两个LVDT摩擦力传感器和对称弹性臂最大限度地减少热漂移。使用集成的温度和湿度传感器实时监测环境状况。可配置加热、液体测试等多种选件。涂层厚度符合工业标准：ISO 26423:2009、ISO 1071-2、VDI 3198等球坑磨损测试法：使用已知尺寸的球在涂层上磨出一定尺寸的冠状球坑，利用光学显微镜观察并测量球坑尺寸，通过几何模型推导计算涂层厚度。适用于单层或多层涂层，可以测量平面、圆柱面或球面。测量方法简单快速，只需1到2分钟即可测量出涂层厚度。参与方式识别下方二维码，参与活动预约预约时间：即日起至9月2日免费测试周：9月5-9日请尽量详细填写样品信息及测试需求，方便我们判断安东帕上海实验室的仪器配置是否满足您的测试需求最终解释权归安东帕测试预约测样地点测试地址：安东帕（中国）有限公司上海市闵行区合川路2570号 科技绿洲三期2号楼11层

一基本介绍高温纳米压痕仪的主要用途是获得薄膜和材料在一定温度下的微观力学性能，其力学性能随温度变化的特性具有巨大的工业和科学意义。但高温测量中存在热漂移，信号稳定性（噪声），表面氧化和尖端样品反应的困难，安东帕研发了一种新型的高温真空纳米压痕仪，该压痕仪能够完成在特定温度下的超稳定的测量，是一款商业化的高温纳米压痕仪。二工作原理该系统基于超纳米压痕测试仪（UNHT），该测试仪利用一种主动表面参照技术，该技术包括两个独立的轴，一个用于表面参照，另一个用于压痕。在这种对称结构和差分深度测量技术中使用的极硬且热膨胀系数非常低的材料导致系统的柔量可忽略不计，并且热漂移率非常低。这样就可以进行稳定且长期的测量（例如蠕变测试），而不必担心漂移和噪声。每个轴都有自己的执行器，位移和负载传感器。对于两个轴，通过压电执行器A1和A2施加位移。压头和基准上的负载是从弹簧K1和K2的位移获得的，这些位移是用电容式传感器C1和C2测量的。压头的位移是通过差分电容传感器C3相对于基准进行测量的。精确的反馈回路确保连续控制压头和基准上的法向力。三针尖与样品表面温度的匹配-热漂移最小化实验过程中热电偶读取的温度不是压头和参比端以及样品表面的真实温度。因此，压头和样品的表面温度需要精确匹配，以避免热量流过触点，从而避免热漂移。我们开发了以下3个步骤的程序来匹配此压头的尖端样品表面温度：a.将压头尖端放在距离样品表面约100微米以内的位置，并使用PID控制将样品和尖端加热到目标温度。现在，安装在压痕头上的热电偶将直接与样品表面接触。将样品表面温度调节至目标温度。温度稳定后，请切换至恒定功率模式以防止瞬时温度波动b.温度粗调：通过调整针尖加热过程中热电偶的温度，以最大程度地减大载荷压入样品表面时引起针尖的温度变化c.温度微调：进一步微调针尖加热过程中的功率，以达到零热漂移率(a) 长时间蠕变测试时的压痕温度(b) 通过粗调压头温度，以最大程度减少接触产生时的温度变化(c) 直接在热漂移测量过程中微调压头的加热功率安东帕中国总部销售热线：+86 4008202259售后热线：+86 4008203230官网：www.anton-paar.cn在线商城：shop.anton-paar.cn

酸提纯器一、 产品简介：酸提纯器：又称酸纯化系统，高纯酸提纯器，酸试剂提纯器，高纯酸蒸馏纯化器等，实验室工作中常常由于酸的纯度较差，造成分析结果的偏差与错误。市售的纯酸往往由于价格较贵，难满足日常分析中对酸的大量需求。因此，提纯优化酸的质量，是为经济可行的途径，我厂的酸纯化器可用于实验室如HNO3、HCl、HF、碱溶液和有机溶剂的纯化，纯化后的酸和Merck的一样好，实验后期可配套我单位Teflon特氟龙系列试剂瓶收取高纯酸。二、工作原理：高纯酸提纯器是利用热辐射原理，保持液体温度低于沸点温度蒸发，再将其酸蒸气冷凝从而制备高纯水和高纯试剂，多应用于样品处理及分析实验中。三、我厂高纯酸蒸馏纯化器优势：1、密闭环境下提纯酸，不受环境污染，确保酸纯度；2、节约成本、方便实验:较短时间内纯化低成本的酸试剂以达到痕量分析要求；3、可以满足ICP、ICP-MS低的检测限需要及苛刻的分析应用中提供实验室超纯酸，所用容器均采用Teflon耐腐蚀无吸附塑料，可处理如HNO3、HCl、HF等实验室的常用酸；4、实验证明将金属杂质含量约10ppb的酸经过一次蒸馏后，金属杂质含量可以降低到0.01ppb左右。若对酸要求更高，可增加提纯次数；5、可拆卸清洗，避免腔体里面长期提纯，造成金属杂质含量沉积越来越多，影响提纯的质量；四、相关参数：型号CH-I 500mlCH-II 1000mlCH-Ⅲ 2000ml名称高纯酸提纯器高纯酸提纯器高纯酸提纯器产酸率30ml/h50ml/h70ml/h温控方式PID温控数显PID温控数显PID温控数显控温精度±1℃±1℃±1℃材质FEP、PTFE、硅胶电压220V/50Hz功率（W）350优势1.密闭环境下提纯酸，不受环境污染，确保酸纯度2.纯FEP、PTFE材质制造，值低无腐蚀3.结构合理，操作简单，一键式操作，蒸干自我保护4.提纯过程中，少量酸气逸出五、使用注意事项：1、所有配件（控制器、电源线、加热片等除外）放入按实验要求一定浓度的酸液中浸泡，去除杂质。2、加酸前必须做好个人防护如：防溅眼镜、防酸手套等（蒸水除外）。实验数据（仅供参考）：仪器：CH-I 高纯酸提纯器；试剂：优纯HF蒸馏后，经中国地质大学地质过程与矿产资源重点实验室ICP-MS检测出HF中杂质的含量：元素测量浓度（ng/g=ppb）元素测量浓度（ng/g=ppb）BeCrEuNiErRb0.01南京滨正红仪器有限公司 创新点：加大了提取酸的容量，使用中可拆卸清洗，方便操作，无需人员值守，提取的酸的纯度可达到0.01PP 满足ICP、痕量、超痕量分析用酸高纯酸提纯器

细胞迁移，指的是细胞在接收到迁移信号或感受到某些物质的浓度梯度后而产生的移动。移动过程中，细胞不断重复着向前方伸出突触/伪足，然后牵拉后方胞体的循环过程。细胞骨架和其结合蛋白，还有细胞间质是这个过程的物质基础，另外还有多种物质会对之进行精密调节。细胞的运动有很多种，有生理性运动，如发育过程中的细胞运动，生殖细胞、干细胞的成熟过程中的位置变化。也有病理性变化，如肿瘤的迁移和侵袭。从癌症的产生到转移，血管供给以及分裂增殖都一直是医学和生物学研究的热点。癌症细胞增殖失控，短时间内可以繁殖出大量后代，这样首先会造成生长空间的局促和养分，如氧气的紧张。这样恶性肿瘤内会形成一片坏死区，正如上面在组织损伤里面提到的，机体会尝试“修复”这些损伤。坏死组织会释放出一系列促血管生成因子，如血管内皮生长因子以及各种免疫细胞，如巨噬细胞。巨噬细胞也会释放大量促血管生成细胞因子和生长因子。因此肿瘤的研究伴随着复杂的细胞运动，如肿瘤细胞沿着循环系统的运动，血管内皮细胞和免疫细胞进入肿瘤实体的运动。划痕法是经典的细胞行为学检测方法。在平铺的细胞单层上划出一条痕迹，然后清洗更换培养液后，细胞会从原有位置向划痕处迁移。统计划痕宽度和面积的变化就可以监控细胞迁移的速度和细胞迁移的能力。以前在做划痕实验的时候受到诸多限制：首先微孔板的孔不能太小，孔越小，枪头越难伸进去；其次划出的痕迹边缘歪斜，无法形成一条直线；孔与孔之间的划痕宽度也不均一。这给划痕这个时间梯度的实验带来了很大的困扰。在多次的拍照过程中，由于划痕宽度的差异性对于划痕拍照位置的复位要求甚高。然而随着细胞迁移的发生，细胞的原位的形态和分布也发生的动态变化。所以复位划痕的拍照位置成为就成为了一个力气活：既然无法准确找到，那就全部拍下；既然每个位置宽度不一，那就全部统计。借助MuviCyte™ 长时间活细胞成像系统的划痕套装。轻轻一划，解决全部困扰。借助Scratcher整齐的96针，可以在96孔微孔板底面整齐的划出宽度均一的划痕。借助MuviCyte™ 长时间活细胞成像系统可以盯住一个视野不停的拍。然后生成无抖动的视频。借助专业的划痕分析软件，对划痕宽度、面积、愈合速度进行分析，可以获取的参数包括：划痕面积划痕的覆盖度划痕的宽度划痕的愈合速度相对划痕密度对于原始细胞区域、原始划痕区域、划痕分界线、迁移后细胞的区域进行精准的划分，保证分析结果的精确。轻松的完成整个实验，再也不用熬夜拍划痕了。MuviCyte™ 已于2020年1月1日全新上线，借助它的多荧光通道和多种物镜选择，可以完成多种复杂的复杂细胞模型的拍摄和观察，在肿瘤免疫、干细胞等多个领域都有重要的应用。扫描下方二维码或点击下载链接，即可下载珀金埃尔默MuviCyte™ 活细胞成像系统相关资料。下载链接: http://hyw3rjq7ezkfsnvu.mikecrm.com/naj9QZD

细胞迁移的背景与应用及实验方法！ 一、背景 细胞迁移指即细胞划痕法，是测定细胞迁移运动与修复能力的方法，类似体外伤口愈合模型。在体外培养皿或平板培养的单层贴壁细胞上，用微量枪头或其他硬物在细胞生长的中央区域划线，去除中央部分的细胞，然后继续培养细胞至实验设定的时间，取出细胞培养板，观察周边细胞是否生长至中央划痕区，以此判断细胞的生长迁移能力，实验通常需设定正常对照组和实验组，实验组是加了某种处理因素或药物、外源性基因等组别，通过不同分组之间的细胞对于划痕区的修复能力，可以判断各组细胞的迁移与修复能力。 当细胞长到融合成单层状态时，在融合的单层细胞上人为制造一个空白区域，称为“划痕”。划痕边缘的细胞会逐渐进入空白区域使“划痕”愈合。 二、实验方法 1、培养板接种细胞之前先用marker笔在12孔板背面画横线标记（方便拍照时定位同一个视野）。 2、细胞消化后接入12孔板，数量以贴壁后铺满板底为宜（数量少时可培养一段时间至铺满板底）。 3、细胞铺满板底后，用1ml枪头垂直于孔板制造细胞划痕，尽量保证各个划痕宽度一致。（人工枪头制造划痕难以保证划痕宽度的一致性，影响实验结果，这也是该方法最大的缺陷）。 4、吸去细胞培养液，用PBS冲洗孔板三次，洗去划痕产生的细胞碎片。 5、加入无血清培养基，拍照记录。 6、将培养板放入培养箱培养，每隔4-6小时取出拍照。 7、根据收集图片数据分析实验结果。 三、应用 细胞迁移可以用于NFIC1抑制乳腺癌细胞迁移和侵袭的分子机制的研究： 探究了NFIC1对Luminal A型和三阴型乳腺癌转移的影响和相关机制。本研究将NFIC1的过表达质粒和si RNA分别转染入MCF7和MDA-MB-231细胞中,Wound healing和Transwell实验结果显示,过表达NFIC1能明显抑制MCF7和MDA-MB-231细胞的迁移和侵袭 敲低NFIC1能显著促进MCF7和MDA-MB-231细胞的迁移能力和对Matrigel胶的侵袭能力。 为了探究NFIC1抑制迁移和侵袭的分子机制,我们在MCF7和MDA-MB-231细胞中分别瞬时过表达NFIC1后,对NFIC1过表达及其对照细胞进行了RNA测序。对MCF7细胞测序结果的分析发现,对照组与过表达NFIC1组差异基因主要富集在由干扰素介导的Jak-STAT通路上。 随后,我们证实了过表达NFIC1能促进IFNL1、IFNL2/3和IFNB1的表达和分泌,同时也能激活Jak-STAT通路。接下来,我们在过表达NFIC1后使用Jak-STAT通路抑制剂Filgotinib和Ruxolitinib来阻断Jak-STAT通路,发现阻断Jak-STAT通路能逆转NFIC1抑制MCF7细胞迁移和侵袭的效果。 进一步根据测序结果,在过表达NFIC1的细胞中分别敲低Jak-STAT通路的下游靶基因MX1、MX2和RARRES3,发现敲低MX1和MX2能减弱NFIC1过表达对迁移和侵袭的抑制作用。最后,我们在过表达NFIC1同时分别敲低IFNL1、IFNL2/3和IFNB1,此时Jak-STAT通路受到明显抑制、MX1和MX2的表达显著降低、并且NFIC1抑制迁移和侵袭的作用也遭到削弱。 以上结果表明NFIC1在MCF7细胞中通过促进IFNL1、IFNL2、IFNL3和IFNB1的表达激活了Jak-STAT通路,活化的Jak-STAT通路通过上调MX1和MX2的表达来抑制MCF7细胞的迁移和侵袭。通过对MDA-MB-231细胞测序结果中差异表达基因的筛选及验证,我们发现NFIC1能直接结合在S100A2启动子区域从而上调S100A2的表达。 敲低S100A2能逆转NFIC1对MDA-MB-231细胞迁移和侵袭的抑制效果。随后我们发现过表达NFIC1后MEK和ERK的磷酸化水平受到明显的抑制,敲低S100A2能逆转NFIC1对MEK/ERK通路的抑制状态。进一步,在MDA-MB-231细胞中过表达NFIC1同时敲低S100A2后,使用U0126抑制MEK/ERK通路能解除敲低S100A2对迁移和侵袭的逆转效果。 同时,过表达NFIC1上调S100A2后能通过抑制MEK/ERK通路来抑制MDA-MB-231细胞的上皮间充质转化。以上结果表明NFIC1在MDA-MB-231细胞中通过上调S100A2的表达来抑制MEK/ERK通路,进而诱导MDA-MB-231细胞由间充质形态转化为上皮形态,最终抑制MDA-MB-231细胞的迁移和侵袭。 北京百欧博伟生物技术有限公司的微生物菌种查询网提供微生物菌种保藏、测序、购买等服务,是中国微生物菌种保藏中心的服务平台，并且是集微生物菌种、菌种,ATCC菌种、细胞、培养基为一体的大型微生物查询类网站，自设设备及技术的微生物菌种保藏中心！欢迎广大客户来询！

泡罩药板密封性测试仪的工作原理在医药包装、食品封装等领域，产品的密封性能直接关系到其保质期、安全性和使用效果。因此，对包装材料的密封性进行准确、高效的检测显得尤为重要。泡罩药板密封性测试仪，作为一种采用色水法原理的检测设备，凭借其直观、可靠的检测方式，在行业内得到了广泛应用。本文将详细介绍基于色水法原理的泡罩药板密封性测试仪的工作原理、操作流程及其在评估试样密封性能中的关键作用。一、工作原理泡罩药板密封性测试仪MFY-05S通过模拟包装物在特定条件下的压力变化，检测其密封完整性。其核心在于利用色水（常选用亚甲基蓝溶液以增强观察效果）作为介质，在真空室内形成一定深度的水层。当测试样品置于该水层之上，并对真空室进行抽真空操作时，样品内外形成显著的压力差。这一压力差促使空气（如果存在泄漏通道）从样品内部通过潜在泄漏点逸出，并在释放真空后，通过观察样品形状的恢复情况及色水是否渗入样品内部，来评估其密封性能。二、济南三泉中石的MFY-05S泡罩药板密封性测试仪操作流程准备阶段：首先，向真空室中注入适量的清水，并加入适量的亚甲基蓝溶液，搅拌均匀，使水呈现明显的蓝色，便于后续观察。同时，将待测样品按照测试要求放置在真空室上方的指定位置。抽真空过程：启动真空泵，对真空室进行抽气，直至达到预设的真空度。在此过程中，随着真空度的增加，样品内外压力差逐渐增大，可能存在的微小泄漏通道将被放大，使得空气或气体从样品内部向外逸出。保压与观察：在达到所需真空度后，保持一段时间（根据测试标准设定），以便充分观察样品在压力差作用下的反应。此时，若样品密封良好，则形状基本保持不变，色水不会渗入；若存在泄漏，则可能观察到样品形状发生变化，且色水会沿泄漏路径渗入样品内部。释放真空与评估：释放真空室内的真空状态，恢复至常压。仔细观察样品表面是否有色水渗入痕迹，以及样品形状的恢复情况。根据观察结果，结合测试标准，判定样品的密封性能是否符合要求。三、济南三泉中石的MFY-05S泡罩药板密封性测试仪优势与应用直观性：色水法的应用使得泄漏现象一目了然，无需复杂的数据分析即可快速判断样品的密封性能。高效性：测试过程简单快捷，提高检测效率。广泛适用性：不仅适用于泡罩药板包装，还可用于其他类型包装材料的密封性检测，如瓶盖、软管等。总之，济南三泉中石的MFY-05S泡罩药板密封性测试仪以其独特的色水法原理，为包装材料的密封性检测提供了一种高效、直观且可靠的解决方案。

一、项目基本情况项目编号：0877-22GZTP01N840项目名称：阳江合金材料实验室纳米压痕仪采购项目采购方式：公开招标预算金额：2,920,000.00元采购需求：合同包1(纳米压痕仪):合同包预算金额：2,920,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1物理特性分析仪器及校准仪器纳米压痕仪1(套)详见采购文件2,920,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：在合同签订生效后 8 个月内完成安装调试工作，交付用户方使用。二、申请人的资格要求：1.投标供应商应具备《政府采购法》第二十二条规定的条件，提供下列材料：1）具有独立承担民事责任的能力：在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织或自然人， 投标（响应）时提交有效的营业执照（或事业法人登记证或身份证等相关证明） 副本复印件。分支机构投标的，须提供总公司和分公司营业执照副本复印件，总公司出具给分支机构的授权书。2）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录：提供2022年1月至今任意1个月依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料。 如依法免税或不需要缴纳社会保障资金的，提供相应证明材料。3）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度：提供2021年度财务状况报告或2022年1月至今任意一个月的财务报表复印件；或银行出具的资信证明材料复印件。4）履行合同所必需的设备和专业技术能力：按投标（响应）文件格式填报设备及专业技术能力情况。5）参加采购活动前3年内，在经营活动中没有重大违法记录：参加政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明。2.落实政府采购政策需满足的资格要求：合同包1(纳米压痕仪)落实政府采购政策需满足的资格要求如下:本项目非专门面向中小企业采购的项目。3.本项目的特定资格要求：合同包1(纳米压痕仪)特定资格要求如下:(1)供应商未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单；不处于中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。（以资格审查人员于投标（响应）截止时间当天在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）及中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）查询结果为准，如相关失信记录已失效，供应商需提供相关证明资料）。(2)单位负责人为同一人或者存在直接控股、 管理关系的不同供应商，不得同时参加本采购项目（或采购包） 投标（响应）。 为本项目提供整体设计、 规范编制或者项目管理、 监理、 检测等服务的供应商， 不得再参与本项目投标（响应）。 投标（报价） 函相关承诺要求内容。(3)投标产品生产厂家授权书（若投标货物是进口产品时适用；若投标货物是国产的，则不需提供）。(4)本项目不接受联合体投标。三、获取招标文件时间： 2022年12月22日 至 2022年12月29日 ，每天上午 00:00:00 至 12:00:00 ，下午 12:00:00 至 23:59:59 （北京时间,法定节假日除外）地点：广东省政府采购网https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/方式：在线获取售价： 免费获取四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点2023年01月12日 09时30分00秒 （北京时间）递交文件地点：阳江市江城区东风二路东怡花园8幢50号会议室（阳江市行政服务中心西侧仙踪路路口直入约50米）。开标地点：阳江市江城区东风二路东怡花园8幢50号会议室（阳江市行政服务中心西侧仙踪路路口直入约50米）。五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1.本项目采用电子系统进行招投标，请在投标前详细阅读供应商操作手册，手册获取网址：https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/help/transaction/download.html。投标供应商在使用过程中遇到涉及系统使用的问题，可通过020-88696588 进行咨询或通过广东政府采购智慧云平台运维服务说明中提供的其他服务方式获取帮助。2.供应商参加本项目投标，需要提前办理CA和电子签章，办理方式和注意事项详见供应商操作手册与CA办理指南，指南获取地址：https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/help/problem/。3.如需缴纳保证金，供应商可通过"广东政府采购智慧云平台金融服务中心"(http://gdgpo.czt.gd.gov.cn/zcdservice/zcd/guangdong/)，申请办理投标（响应）担保函、保险（保证）保函。4.最高限价：人民币292万元5.本项目需要落实的政府采购政策：（1）《关于印发的通知》（财库〔2020〕46号）（2）《财政部 司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》(财库〔2014〕68号)（3） 《财政部 民政部 中国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号)（4）《关于开展政府采购信用担保试点工作方案》（财库〔2011〕124号）（5）《关于环境标志产品政府采购实施的意见》（财库〔2006〕90号）（6）《财政部 国家发展改革委关于印发节能产品政府采购实施意见的通知》（财库〔2004〕185号）（7）《关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》（财库〔2022〕19号）七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：阳江合金材料实验室地 址：阳江市江城区罗琴路1号精诚楼联系方式：188262255412.采购代理机构信息名 称：广东广招招标采购有限公司地 址：阳江市江城区东风二路东怡花园8幢50号（阳江市行政服务中心西侧仙踪路路口直入约50米）联系方式：0662-33058223.项目联系方式项目联系人：陈工，王工电 话：0662-3305822广东广招招标采购有限公司2022年12月22日