漏电开关检测

8月13日，杭州市萧山区宁围镇好立方连锁超市前，发生了空调漏电致人死亡的惨剧，遇难者为一位10岁男童。事发后，经空调品牌销售方同意，作为空调的使用方，8月20日，好立方超市委托第三方浙江省质量技术监督检测研究院对空调漏电情况进行了检测，9月3日，该检测报告正式出炉。 　　通过有关渠道获悉的检测报告显示，就技术分析形成了四个结论，其中就此次事件中的志高空调，该检测报告认为，志高空调外机电阻为零，外机机壳电压达到100V，并能点亮220V-40W的白炽灯，泄漏电流在70mA以上，大大超过人体30mA摆脱电流。并通过活鸡试验证明，志高空调外机外壳带电电压能在短时间内将活鸡电击致死。 　　《21世纪经济报道》援引目击者称，当天的现场检测结果显示，志高空调在活鸡通电试验中，活鸡只经过短短8秒钟，就过电死亡，其中另一人士则称，“现场检测显示，志高的空调最高漏电有147V”。 　　检测报告因此认为，现场不符合GB4706-1国家标准中的相关电气安全性能要求，同时该产品存在严重电气安全缺陷。该检测报告还认为，志高空调开机运行时，其外壳超过100V以上的电压，是造成本次事故的直接原因 同时，志高空调外机电源插头内接地线悬空，不符合GB4706-1国家标准的相关要求，失去接地线保护功能。 　　该检测报告最后下鉴定结论称，志高空调外机机壳带电，泄露电流超标，存在严重的电气安全隐患，直接导致事故发生。 　　对于此检测报告，志高发言人接受港媒查询时，表示公司对事件检测报告有异议，将另聘机构检测，暂亦不会停售产品。 　　志高公司秘书梁汉文表示，公司对检测报告有异议，故亦未有签署。他指出，最初相关机构指事件与志高无关，但后来又将矛头指向志高，是前后矛盾，并且认为其采用的活鸡测试方法并不标准，故公司将另外委托一间或多间国家权威机构作检测。他又强调，公司产品一直全数依照国家标准制造，公司对产品有信心，并指是次只是个别事件，暂时亦无其它个案，故不会考虑停售，但如有客户要求公司作出检测，公司亦乐意提供协助。

恒温油浴使用时必须先将油加入锅内，再接通电源。数字温度控制表显示实际测量温度，调节旋钮开关，同时观察读数至所需设定温度值。当设定温度值超过油的温度时，加热指示灯亮，表明加热器已开始工作。当油的温度达到您所需的温度时，恒温指示灯亮，加热指示灯熄灭。应注意锅内的油不能使用电热管露出油面，以免烧坏电热管，造成漏电现象。　　其实，不一定非要用水和油，只要有固定沸点的物质都可以用，只是水和油比较常见。锅都是相同的，只是添加的传热介质不同。如果温度不要求高于100摄氏度，就加入水；如果要求高于100摄氏度，就要用一些高沸点的介质，如导热油。

记者日前从中国航天科工集团公司二院获悉，该院207所自主研发的紫外成像漏电检测仪近日正式面世并投入市场。该产品可为高压设备的运行评估和维修决策提供可靠依据。　　紫外成像漏电检测技术是近年新兴的一种远距离检测高压线路、输电设备状态的新技术，它主要通过检测电力高压设备电场发射的紫外线，发现引起电场异常的设备缺陷，观察放电情况并判断危害。　　207所研制的这款紫外漏电检测仪，将紫外和可见光技术结合形成融合图像，可快速发现、精确定位漏电位置。该产品还创造性地搭载无人机平台，适合对远距离、大范围的高压输电线进行空中巡检，在电力系统、高铁等领域有广泛应用前景。

高压漏电起痕试验机的测试原理是什么？实验原理：漏电起痕试验是在固体绝缘材料表面上，在规定尺寸（2mm×5mm） 的铂电极之间，-施加某一电压并定时（30s）定高度（35mm）滴下规定液滴体积的导电液体（0.1%NH 4CL），用以评价固体绝缘材料表面在电场和潮湿或污染介质联合作用下的耐漏电性能，测定其相比电痕化指数（CT1） 和耐电痕化指数（PT1） 。主要配件 序号型号产地1箱体(可选不锈钢箱体)宝钢A3钢板,喷塑2变压器浙江二变3调压器正泰4继电器及底座正泰5漏电保护器正泰6按钮正泰7计时器欧姆龙8短路电流智能表上海9温控器日本欧姆龙10导线上海启帆11计数器欧姆龙12无线控制器上海埃微自主研发13电磁阀亚德克在操作过程中要注意的事项：1、在操作过程中，人员应该注意个人防护，避免漏电受伤或被溶液沾染到口、眼部位造成伤害2、输入电源AC220±2%。3、排气管应通出窗外。4、在对样品进行时,请勿打开仓门,待试验完之后或当实验失效产生火烟时，先打开风扇排除烟雾后，再打开仓门进行作业。5、实验前须确认设备是否在计量有效期内，如超期则不能进行实验6、电源应用有地线的三极插座，保证接地可靠。主要技术指标：1） 空气环境：0~40°C；2） 相对湿度：≤80%；3） 无明显振动及腐蚀性气体的场所；4） 工作电压：AC220V±2% 50HZ±1%，1KVA；5） 试验电压：100~600V连续可调数显，电压表显示值误差：1.5%，显示值为:r.m.s；6） 延时电路：试验回路在（0.5±10%）A（r.m.s）或更大电流时延时（2±10%）S后动作；电极：a: 5㎜×2㎜矩形铂金电极和黄铜电极各一对；b: 电极尺寸要求：（5±0.1）㎜×（2±0.1）㎜×（≥12）㎜,其中一端凿尖角度为（30±2）°（即试验端呈30°±2°斜角）,凿尖平面宽度为0.01㎜~0.1㎜；c: 电极间所成角度为60°±5°,间距为（4±0.1㎜）；d: 对样品压力为:1.00N±0.05N；7） 滴液系统：a: （30±5）秒（开启滴液时间28S+开启滴液持续时间2S）自动计数、数显（可预置），50滴时间：（24.5±2）min b: 滴液针嘴到样品表面高度:35㎜±5㎜（附一个量规作测量参考） c: 滴液重量:20滴:0.380g~0.489g 50滴:0.997g~1.147g 8） 短路电流：两电极短路时的电流可调至（1±0.1）A,数显±1%,电流表显示值为有效值（r.m.s） 9） 仪器外形尺寸（宽*高*深）1100*1150*550㎜（0.5立方）；700*385*1000㎜（0.1立方）；10） 箱体由1.2厚的304不锈钢板制成，可订制0.75立方；11） 样品支撑平板：厚度≥4㎜的玻璃；12） 针嘴外径：A溶液：0.9㎜~1.2㎜B溶液: 0.9㎜~3.45㎜13） 滴液大小根据滴液系统而定；14） 风速：0.2M/S。产品特点：1、 本仪器支持5路试样同时进行试验，每路都有独立的控制系统进行控制2、 本仪器核心控制系统由西门子PLC控制，通过光电隔离方式进行采集电压和电流，有效解决抗干扰问题使数据采集保持稳定3、 本仪器显示部分是9寸触摸屏，操作方便，数据显示直观，能够实时显示每个试样的泄露电流4、 可以自由设定泄露电流数值，当实验中的电流超过设定电流值时，能够提示报警，并切断高压电源，并不影响其它试样继续做试验5、 滴液流量大小可根据实际需求自由设定6、 通过手动旋钮顺时针调到指定试验电压。7、 可以手动自由设定试验时间8、 本仪器具有排风和照明功能漏电起痕试验仪是IEC60112 ： 2003 《固体绝缘材料耐电痕化指数和相比电痕化指数的测定方法》是按GB4207、IEC60112等标准要求设计制造的专用检测仪器，适用于对电工电子产品、家用电器的固体绝缘材料及其产品模拟在潮湿条件下相比漏电起痕指数和耐漏电起痕指数的测定，具有简便、准确、可靠、实用等特点。满足标准：GB/T6553-2003 及 IEC60587：1984《评定在严酷环境条件下使用的电气绝缘材料耐电痕化和蚀损的试验方法》GB_T3048.7-2007电线电缆电性能试验方法_第07部分：耐电痕试验漏电起痕试验仪是IEC60112 ： 2003 《固体绝缘材料耐电痕化指数和相比电痕化指数的测定方法》

2021年12月10日，中科院上海微系统与信息技术研究所宋志棠、朱敏研究团队在国际顶级期刊《Science》上发表了题为“Elemental Electrical Switch Enabling Phase-Segregation-Free Operation”的研究论文（图1）。中科院上海微系统所博士生沈佳斌、贾淑静为共同第一作者，宋志棠研究员、朱敏研究员为通讯作者，中科院上海微系统所为第一完成单位和唯一通信单位。图1 科院上海微系统所在Science上发表单质新原理器件文章集成电路是我国的战略性、基础性和先导性产业，其中存储芯片是集成电路的三大芯片之一，直接关系到国家的信息安全。然而，现有主流存储器-内存（DRAM）和闪存（Flash），不能兼具高速与高密度特性，难以满足指数型增长的数据存储需要，急需发展下一代海量高速存储技术。三维相变存储器（PCRAM）是目前成熟的新型存储技术，其核心是两端开关单元和存储单元，然而，商用的开关单元组分复杂，通常含有毒性元素，严重制约了三维相变存储器在纳米尺度的微缩以及存储密度的进一步提升。图2 单质Te开关器件结构与性能针对以上问题，中科院上海微系统与信息技术研究所宋志棠、朱敏与合作者在Science (2021, 374, 1390) 上提出了一种单质新原理开关器件（图2）：该器件通过单质Te与电极产生的高肖特基势垒降低了器件在关态的漏电流（亚微安量级，图3）；利用单质Te晶态（半导体）到液态（类金属）纳秒级高速转变（图4），并产生类金属导通的大开态电流（亚毫安量级），驱动相变存储单元。单质Te开关器件基于晶态-液态新型开关机理与传统器件等完全不同，是一种全新的开关器件。单质Te具有原子级组分均一性，能与TiN形成完美界面，使二端器件具有一致性与稳定性，并可极度微缩，为海量三维存储芯片提供了新方案。图3 单质Te器件低漏电流物理机制：单质Te与电极形成的高肖特基势垒图4 单质Te器件新型开关机理：晶态-液态-晶态转变意大利国家研究委员会微电子和微系统所Raffaella Calarco教授同期在Science (2021, 374, 6573)上发表了评论文章，高度评价道：“沈等人取得的成果是前所未有的，为实现晶态单质开关器件提供了稳健的方法，此单质开关为3D Xpoint架构提供了新的视角”(What has been achieved by Shen et al., is unprecedented and provides a robust method to realize crystalline elemental switches that bear new perspectives for 3D Xpoint architectures)。该研究工作得到复旦大学刘琦教授、剑桥大学Stephen R. Elliott教授、日本群马大学Tamihiro Gotoh教授、德国亚琛工业大学Richard Dronskowski教授、赛默飞世尔科技中国有限公司史楠楠和葛青亲博士的大力支持。相关工作得到了国家重点研发项目（2017YFB0206101）、中科院先导B（XDB44010000）、中科院百人计划C类和上海科技启明星项目（21QA1410800）的资助。文章链接：https://www.science.org/doi/10.1126/science.abi6332评论文章链接：https://www.science.org/doi/10.1126/science.abm7316

2010年3月6日至7日，国网电科院电气设备检测中心顺利通过中国合格评定国家认可委员会(英文缩写为：CNAS)组织的实验室认可监督评审。评审组专家对电气设备检测中心8个质检站和2个实验室进行了现场评审，从文件、记录、测量溯源性、设施环境等方面进行了重点检查。通过现场评审，评审组专家对中心的实验室质量管理工作给予充分肯定和高度评价，认为电气设备检测中心实验室管理体系和技术能力满足CNAS认可要求，维持CNAS认可范围。 　　电气设备质量检测中心负责对电力生产所用的主要电工产品进行质量检测，协助国家电网公司有关部门对运行设备进行事故分析，同时负责低压成套开关设备、漏电断路器等的3C认证检测工作，于2000年获得CNAS认可。历次CNAS监督评审都表明，电气设备检测中心实验室质量管理体系完善，质量管理体系和实验室认可准则实施有效，检测、校准服务质量不断提高。2009年，电气设备检测中心确定建设成为专业齐全、国际知名、国内领先的权威实验室的目标，对组织机构、人员职责进行了调整，并及时同步对质量手册和程序文件进行了修订，组织专家对实验室质量体系管理相关人员进行了为期一周的新一轮专题培训，随后进行了多次自查工作，对实验室比对，能力验证，不确定度评定，标准查新，设备租赁等方面进行重点审查，并按照计划于2009年9月进行了管理体系的内部审核，12月实施了管理评审。 　　中国合格评定国家认可委员会是由国家认证认可监督管理委员会批准设立并授权的国家认可机构，统一负责对认证机构、实验室和检查机构等相关机构的认可工作。

日本富山大学最近开发出一项钯钴合金氢敏开关器件技术，能够检测出低浓度的氢泄露并断开开关电路报警。该技术有望在燃料电池(包括燃料电池汽车)的普及中创造出良好的商业价值。　　此次富山大学开发制作的钯钴合金氢敏开关器件，是利用钯钴合金常态磁性及吸收氢气后磁性降低的特性制作的。在没有氢气泄漏的正常状态时，载有钯钴合金的铜版被永磁铁的吸引而呈弯曲状，接通测试电路 当有氢气泄露时，该弯曲铜版上的钯钴合金磁性降低，铜版展平而切断测试电路，发出报警信号。与以往通过催化剂遇氢反应发热转导给半导体传感器的做法不同，该钯钴合金氢敏开关器件检测信号的传递更加直接，成本更低。　　接下来，该大学将与有关企业合作，解决“缩短钯钴合金与氢气反应时间”、“降低(器件)对甲烷等其他气体的敏感性”等技术难题，进一步推动技术的实用化。

智能数字式漏水检测仪/数字式漏水检测仪/漏水检测仪/测漏仪/查漏仪 型号：ZRX-7663ZRX-7663智能数字式漏水检测仪应用了的数字信号处理术和数字滤波电路，步提了仪器的抗干扰性能，其重要特点之是能够克服环境噪声的干扰行确探测，在大屏幕液晶显示屏上准确地显示出测量参数，自动区分环境噪声和漏水噪声信号，让操作人员直观地判断漏水疑点。 ●常用频率范围的频谱分析，实时显示出噪声信号在各频率上的相对分布。 ●自动记录（时间—信号噪声）曲线，连续监测噪声信号，为漏水点的确定提供可靠的分析依据。 ●拾振传感器内置有信号放大电路，拾振机构采用缓冲隔离，使得拾振的方向性更强，且有效降低了环境风和导线抖动对拾振传感器引起的噪声干扰。 ●采用品质传感器材料和电路，听音清晰度大大提。 ●可选配不型的拾振传感器，供操作人员选择使用。 ●频率覆盖漏水噪声范围，多达31个带通滤波器的选频范围，满足检漏人员在各种场合中选频使用。 ●可适时保存多段录音资料，能真实记录现场声音，随时重现探测现场实况。 ●操作手柄采用可靠性光电式无触点静音开关，杜了开关接触不良故障的发生。 ●手柄前端聚光照明，液晶显示屏和按键均具有背光照明。 ●采用性能、大容量可充电锂离子电池，无记忆效应；联机充电和脱机充电两种方式均可采用，充电方便快捷。 ●大屏幕液晶显示屏，信息量大，光条显示度，操作界面直观明晰，操作流程简单方便。 ●益求的电路板设计，消除了仪器中难以克服的由数字电路产生的脉动干扰噪声。

中国科学院上海微系统与信息技术研究所宋志棠、朱敏研究团队在集成电路存储器研究领域获重大进展，成功研制出一种单质新原理开关器件，为海量三维存储芯片的研发提供了新方案。12月10日，这项成果发表于《科学》。　　集成电路是我国的战略性、基础性和先导性产业，其中存储芯片是集成电路的三大芯片之一，直接关系国家的信息安全。然而，现有主流存储器——内存和闪存，不能兼具高速与高密度特性，难以满足指数型增长的数据存储需要，急需发展下一代海量高速存储技术。三维相变存储器是目前成熟的新型存储技术，其核心是两端开关单元和存储单元，然而，商用的开关单元组分复杂，通常含有毒性元素，严重制约了三维相变存储器在纳米尺度的微缩以及存储密度的进一步提升。　　针对以上问题，宋志棠、朱敏与合作者提出了一种单质新原理开关器件，该器件通过单质Te与电极产生的高肖特基势垒降低了器件在关态的漏电流（亚微安量级）；利用单质Te晶态（半导体）到液态（类金属）纳秒级高速转变，产生类金属导通的大开态电流（亚毫安量级），驱动相变存储单元。单质Te开关器件基于晶态—液态新型开关机理，与传统晶体管等完全不同，是集成电路全新开关器件。单质Te具有原子级组分均一性，能与TiN形成完美界面，使二端器件具有一致性与稳定性，并可极度微缩，为海量三维存储芯片的研发提供了新方案。　　据悉，该单质新原理器件为我国首次发明，打破了外国公司的专利壁垒，为我国自主高密度三维存储器的研发奠定了坚实的基础。　　意大利国家研究委员会微电子和微系统所教授Raffaella Calarco同期在《科学》上发表评论文章，认为该研究“取得的成果是前所未有的，为实现晶态单质开关器件提供了稳健的方法，此单质开关为3D Xpoint架构提供了新视角”。　　相关论文信息：https://doi.org/10.1126/science.abi6332

智能生态气象监测系统-适合在景区的负氧离子监测站#2022已更新ذكينظامالرصدالبيئيللأرصادالجوية-مناسبةلأنّأيونالأكسجين【品牌型号：天合环境TH-FZ5】雨后的空气人们感觉格外清新,因为水与空气大气的撞击处很容易产生负氧离子，除了雨后的空气，还有喷泉附近，河流附近，瀑布附近，人会在那里感到神清气爽就是这个原因。当负氧离子浓度高的时候对人体有害，但是若是由水与空气大气的撞击处产生的负氧离子，浓度不会达到有害的。在很多景区的瀑布旁会建设许多大屏幕一样的东西，那就是负氧离子监测站。一、产品简介高智能一体化负氧离子监测站可全天候监测空气中负氧离子浓度，同时可根据用户需求扩展监测项目，如：空气温度、空气湿度、PM2.5、PM10、大气压力、氧含量、噪声、风速、风向等气象要素。传感器一体化设计，无机械位移，精度高、使用寿命长现场可通过全彩液晶屏读取数据，亦可远程云平台/WEB/微信公众号实时查看数据现场用户可自定义添加歌曲，亦可超标语音播报二、应用范围旅游景区、生态庄园、湿地公园、瀑布公园、森林公园、自然保护区、售楼处、学校三、技术参数1、风速：测量原理超声波，0～60m/s（±0.1m/s）分辨率0.01m/s；2、风向：测量原理超声波，0～360°（±2°）分辨率1°；3、空气温度：测量原理二极管结电压法，-40-60℃（±0.3℃）分辨率0.01°；4、空气湿度：测量原理电容式，0-100%RH（±0.3%RH）分辨率0.1%RH；5、大气压力：测量原理压阻式，300-1100hpa（±0.25%），分辨率0.1hpa；6、PM2.5：测量原理光散射，0-1000ug/m3（±10%）分辨率1ug/m37、PM10：测量原理光散射，0-1000ug/m3（±10%）分辨率1ug/m38、噪声：测量原理电容式，30-120dB（±1.5dB）分辨率0.1db9、负氧离子：测量原理圆筒式电极吸入式，0-10万个/m3（±10%）分辨率1个/m310、氧含量：测量原理电化学，0～100%uol（±3%uol）分辨率0.1%11、屏幕：分辨率1920(RGB)×1080(FHD)，工作频率120Hz，亮度1500-2500 cd/m212、立杆：碳钢双立柱，可耐受15级强台风13、工作环境：温度-20℃-55℃，湿度0%-100%14、生产企业具有ISO质量管理体系、环境管理体系和职业健康管理体系认证15、生产企业具有知识产权管理体系认证证书、计算机软件注册证书17、数据存储：可存储一年的原始监测数据18、数据传输：4G/光纤19、供电方式：220V市电20、功耗：500w四、产品特点1、整机采用高集成模组化设计，标准化电器设计，工作状态一目了然，可实现快速维护2、防水：主体结构采用2-3mm碳钢，配合复合密封胶条，实现多角度防水3、防尘：设备底部配备过滤装置，可过滤5μm以上尘埃粒子，同时过滤棉可从外部快速更换，无需专业人员操作4、防雷、防漏电：内有防雷装置及漏电保护器，保护机器及周围人身安全5、采用高透、耐高温高强度钢化玻璃，防火、防划、防爆6、喇叭：户外大功率防水扬声器，双声道设计，声音清晰立体7、内置感光探头，可有效识别光照变化，自动调节屏幕亮度8、显示屏采用LED背光源，寿命达到50000小时，环保节能动态对比度高，显示画面更清晰9、散热系统采用工业级涡流离心风扇，风量大、转速高、噪声小，内置感温探头传感设备，有效识别内部温度变化，同时可根据现场环境调节响应温度及响应速度，实现低能耗精确控温10、内置时控开关，可设置预定开启和关闭时间11、全彩显示界面，设备开机自动进入气象监测平台（显示画面支持有限定制）12、可选配摄像头，显示界面可同步摄像头画面13、一体化传感器，传感器一体化集成，安装方便，维护简单

详细介绍产品简介 ZR-1000型口罩细菌过滤效率(BFE)检测仪主要性能指标不仅符合《医用外科口罩技术要求》YY0469-2004中附录B细菌过滤效率(BFE)试验方法第B.1.1.1试验仪器的要求，而且也符合美国试验材料学会ASTMF2100、ASTMF2101、欧洲EN14683标准规定的要求,并在此基础上进行了创新性改进，采用双气路同时对比采样方法，提高了采样的准确性，适用于计量检定部门、科研院所、口罩生产企业以及其它相关部门对口罩细菌过滤效率的性能测试。执行标准Q/0212 ZRB003-2011 医用外科口罩细菌过滤效率(BFE)检测仪技术特点负压实验系统，保障操作人员安全；负压柜内置蠕动泵，A、B两路六级安德森(Andersen)；蠕动泵流量大小可设定；专用微生物气溶胶发生器菌夜喷雾流量大小可设定，雾化效果好；嵌入式高速工业微电脑控制；10.4寸工业级高亮度彩色触摸显示屏；USB接口，支持U盘数据转存；柜体内置高亮度照明灯；内置漏电保护开关，保护操作人员安全；柜体内层不锈钢整体加工成型，外层喷塑冷轧板，内外层之间保温、阻燃；前置开关式玻璃门，便于实验人员观察操作；可拆卸式支架，支架高度可调；支撑、移动两用脚轮。创新点：1、 ZR-1000型口罩细菌过滤效率(BFE)检测仪主要性能指标不仅符合《医用外科口罩技术要求》YY0469-2004中附录B细菌过滤效率(BFE)试验方法第B.1.1.1试验仪器的要求，而且也符合美国试验材料学会ASTMF2100、ASTMF2101、欧洲EN14683标准规定的要求,并在此基础上进行了创新性改进，采用双气路同时对比采样方法，提高了采样的准确性； 2、负压柜内置蠕动泵，A、B两路六级安德森(Andersen)。 ZR-1000型 口罩细菌过滤效率(BFE)检测仪

详细介绍产品简介ZR-1000A型口罩病毒过滤效率（VFE）检测仪的主要性能指标符合YY/T1497-2016医用防护口罩材料病毒过滤效率评价Phi-x174噬菌体测试方法，采用双气路同时对比采样方法，提高了采样的准确性，适用于计量检定部门、科研院所、口罩生产企业以及其它相关部门对口罩病毒过滤效率的性能测试。 执行标准YY/T1497-2016 医用防护口罩材料病毒过滤效率评价Phi-X174噬菌体测试方法 技术特点负压实验系统，保证操作人员安全；负压柜内置蠕动泵，A、B两路液体冲击式采样器；蠕动泵流量大小可设定；专用微生物气溶胶发生器喷雾流量大小可设定，雾化效果好；嵌入式高速工业微电脑控制；10.4寸工业级高亮度彩色触摸显示屏；USB接口，支持U盘数据转存；柜体内置高亮度照明灯；柜体内置紫外线消毒杀菌灯；内置漏电保护开关，保护操作人员安全；柜体内层不锈钢整体加工成型，外层喷塑冷轧板，内外层之间保温、阻燃设计；前置开关式玻璃门，便于实验人员观察操作；可拆卸式支架，支架高度可调；支撑、移动两用脚轮。创新点：1、ZR-1000A型口罩病毒过滤效率（VFE）检测仪的主要性能指标符合YY/T1497-2016医用防护口罩材料病毒过滤效率评价Phi-x174噬菌体测试方法，采用双气路同时对比采样方法，提高了采样的准确性； 2、专用微生物气溶胶发生器喷雾流量大小可设定，雾化效果好； 3、柜体内层不锈钢整体加工成型，外层喷塑冷轧板，内外层之间保温、阻燃设计。 ZR-1000A型口罩病毒过滤效率（VFE）检测仪

电梯检验员在底坑工作 　　据记者了解，截至目前，岛城登记在册的各类电梯共有约1万4千余部，电梯的总数还以每年3000部的数量激增。数量如此庞大的电梯，是谁在背后默默保证其安全运行呢?这批电梯检验员又是如何工作的?带着这些疑问，12月13日上午，记者跟随锅炉压力容器检验所电梯部的工作人员，来到了位于海尔路的中商国际大厦，体验了电梯检验员的工作。 　　50多个项目需一一排查 　　“电梯自身有9大安全保护环节，但是并不能保证电梯百分之百安全，我们的工作就是要对青岛的这1万4千多部电梯进行安全检验，以保证其安全、正常地运行。”青岛市质监局锅炉压力容器检验所电梯技术负责人刘衍胜告诉记者：“咱们先不急着上电梯，就像开汽车一样，"开"电梯也得先有"行车证"和"驾照"。” 　　在中商国际大厦的物业办公室，物业管理人员拿出了一摞资料和表格。“这些是电梯的登记资料、安全技术档案、维保合同还有特种设备作业人员证，我们对这些证件都要一一检查，这是电梯运行的先决条件，少一份我们都可以拒绝下一步检验。这就像开车一样，就算你的车况再好，如果没有驾照也一样不能上路。”锅炉压力容器检验所电梯三科科长石岳一告诉记者。 　　出了物业办公室，刘衍胜递给记者一个安全帽：“进入作业区必须要戴安全帽，咱们现在到顶层的电梯机房看看。”乘坐电梯到达顶楼出门，在电梯检验员的带领下记者来到了电梯机房。轰鸣声中，五台巨大的主机正在工作，每台主机上有五根拇指粗的钢丝绳，主机通过钢丝绳的牵引来带动电梯进行工作。 　　石科长先把主机停了下来，拿出游标卡尺开始仔细测量起钢丝绳的直径：“每根钢丝的直径是13毫米，由于在电梯平时的运行过程中会有磨损，我们对其要求的最大磨损不能超过9% ，也就是只要这根钢丝绳的直径磨损超过1毫米就必须得更换，虽说只有1毫米，但是它关乎着电梯的安全问题，是万万马虎不得的。” 　　接下来工作人员测试起了电梯的超速限速器，“超速限速器就是在电梯突然超速时，通过安装在机房里的超速限速器来控制安装在电梯上的安全钳，对超速的电梯进行制停和减速，从而保护电梯的运行安全。”超速限速器检测显示运行正常，石科长又测试起了电梯的绝缘保护和接地保护，“在电梯漏电的时候，可以通过绝缘保护和接地保护来保证电梯乘客的人身安全，除了测试机房外，一会咱们还要上轿顶、进轿厢和下底坑，大大小小总共50多个检测项，必须一一检测，哪个都不能遗漏。”刘工程师告诉记者。 　　上轿顶像坐过山车 　　离开机房后，石科长告诉记者：“你肯定坐过多次电梯，但我敢保证这次电梯之旅一定会让你难忘。”随后电梯维保人员将电梯调整为手动状态，电梯门开之后，电梯顶部也就是“轿顶”呈现在记者面前，整个轿顶布满了各种零件，周围只有一圈高度及膝的扶手，记者随后跟随石科长以及另外一位检验人员上了轿顶。 　　打开应急照明灯之后，记者才看清了周围的环境 ，整个电梯井里竖着很多用来拉吊电梯的钢丝绳，电梯道轨镶嵌在黑洞洞的井壁上。“抓好扶手，我们准备下去了。”检验人员说完就手动开了电梯，记者此时体验到了一种坐过山车的感觉，惊险而又刺激，看到记者有些紧张，石科长笑着说：“电梯平时载人的速度是2.5米/秒，咱们现在的检修速度只有0.3米/秒，所以只要抓好扶手，一般是没什么大问题的。” 　　据了解，电梯检验之所以要上轿顶，是因为轿顶和电梯井壁里有很多保护电梯安全的装置和零件，比如用来制停电梯的极限开关，用来实现电梯减速的缓冲器，电梯运行时的道轨，为了保持电梯运行时重力平衡的钢板对重等。 　　下底坑全靠徒手攀爬 　　下了电梯轿顶之后，记者又跟随检验人员来到了电梯井的最底部，也就是底坑。底坑位于地下两米处，上下只能靠一部小的垂直铁梯，上下攀爬十分费力，也存在着不小的危险。记者从轿顶上下来的时候已经累得气喘吁吁，对再下底坑实在毫无信心，但是两个检验人员却身手矫健，手扶着铁梯很快就下到底坑开始了检验工作。 　　“由于环境相对封闭，底坑和电梯井的空气质量不是很好，对检验人员的健康也造成了不小的损害，特别是冬天，底坑异常湿冷，有时候防水没做好，工作人员还得踩在泥水里面工作。”刘衍胜告诉记者：“工作的时候我们一般要求两个人一组，相互配合，在有突发事件的时候两人可以互相有个照应。” 　　检查完底坑后工作人员返回了电梯轿厢，也就是我们乘坐电梯的内部。“在电梯轿厢主要是检测电梯的应急报警装置是否可用 ，摁下通话键后要实现电梯轿厢、轿顶、机房、底坑和值班室五方通话，在电梯困人时，能否与物业值班室顺利实现通话就显得尤为重要。”石科长说。文/图 记者 许永光来源半岛网-城市信报)

p style=" text-indent: 2em " span style=" text-indent: 2em " 新冠肺炎病例的居住、工作场所，感染风险有多大？近日，南昌市疾控中心前往新冠肺炎病例的居住、工作场所开展采样监测。 /span br/ /p p style=" text-indent: 2em " strong 警惕！南昌新冠肺炎病例家中和工作场所监测有重要发现 /strong /p p style=" text-align: center" img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/9b69ef77-490a-4d00-9e14-f070d541a589.jpg" title=" c26655b1-c4ca-413e-b624-4045bd69edd9.jpg" alt=" c26655b1-c4ca-413e-b624-4045bd69edd9.jpg" / /p p style=" text-indent: 0em text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) text-align: center text-indent: 0em " 对病例工作场所的马桶冲水开关采样 /span /p p style=" text-indent: 2em " & nbsp 据了解，采样人员分别在消毒前后采集涂抹样本进行监测：其中病例居所，对病例家门帘、鞋面、背包、门把手、电灯开关、马桶盖、蹲坑冲水开关、水龙头、洗漱台、遥控器、冰箱门把手、厨具、餐具、沙发扶手、床头柜以及楼梯间楼梯扶手等常被触及的物体表面进行监测采样。病例办公场所，对办公场所的办公桌桌面、办公椅、水杯、鼠标、键盘、文件柜、马桶冲水开关等常被触及的物体表面进行监测采样。最后发现，病例家中的冰箱门把手、床头柜、蹲坑冲水开关、卫生间洗漱台和办公室的马桶冲水开关等5处，检测结果显示：消毒前，新冠病毒核酸检测阳性；消毒后，新冠病毒核酸检测阴性。 /p p style=" text-indent: 2em " strong 疾控中心提醒：疫期减少接触公共场所公共物品和部位 /strong /p p style=" text-indent: 2em " 南昌市疾控中心提醒，居家也要保持手卫生，除了在公共场所要注意保持手卫生，如减少接触公共场所的公共物品和部位等。居家保持手卫生同样重要，尤其是从公共场所返回、咳嗽手捂之后、饭前便后，用洗手液或香皂流水洗手，或者使用含酒精成分的免洗洗手液。当家庭成员中有出现发热、咳嗽等症状，家庭其他人员应及时做好隔离防护，并及时送出现症状的家庭成员就诊，戴好口罩，尽量选择私家车前往医院。同时应对其隔离或居住过的、接触的物品如地面、卫生间、门把手等进行消毒，并定时开窗通风。家庭日常以通风、清洁卫生为主，在传染病流行期间，也建议定期消毒，如家中的门把手、床头柜、开关、冰箱门、马桶冲水开关、洗手盆等物体表面，推荐使用酒精或者含氯消毒液，其中含氯消毒液使用有效浓度250~500mg/L（市售5%的84药液稀释100~200倍），擦拭完半小时后，用清水再次擦拭。 /p p style=" text-indent: 2em " strong span style=" color: rgb(0, 112, 192) " ▊相关报道 /span /strong /p p style=" text-indent: 2em " a href=" https://www.instrument.com.cn/news/20200302/522949.shtml" target=" _blank" style=" text-decoration: underline color: rgb(0, 176, 240) " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " strong medRxiv: 首次发现，医院病房空气中检出新冠病毒 /strong strong /strong /span /a /p p style=" text-align: center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 209px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/53606970-1286-4f28-abdf-725d63d1b1c2.jpg" title=" 1.jpg" alt=" 1.jpg" width=" 450" height=" 209" border=" 0" vspace=" 0" / /p p /p p style=" text-indent: 2em " 2月27日，吉林大学第一医院华树成教授团队在医学预印本网站 medRxiv上发表关于“新型冠状病毒暴发期间医院环境卫生监测和医护人员保护的临床资料”重要成果。研究表明：疑似病人隔离区护士站相关物体表面和重症监护病人隔离病房空气中均可检出新冠病毒。 /p p style=" text-indent: 2em " 主要检测方法：采用自然沉降和空气颗粒取样器方法收集空气中的病毒。在早晨7点，消毒前，用棉签对预定的环境表面进行采样。密切接触的医务人员的样本为咽拭子样本。实时定量PCR方法用于确认COVID-19病原体是否存在。 /p p style=" text-indent: 2em " 检测结果：疑似患者隔离区的护士站检测样本表面上可检测到病毒，重症监护患者在隔离病房空气中可检测到病毒。即在物体表面和空气中都检测到了新冠病毒。 /p p style=" text-indent: 2em " 空气样本的阳性率分别为3.57％（1/28），表面样品的阳性率为0.77％（1/130），总阳性率为1.26％（2/158）。 /p p style=" text-indent: 2em " a href=" https://www.instrument.com.cn/news/20200228/522812.shtml" target=" _blank" style=" color: rgb(0, 176, 240) text-decoration: underline " strong span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 香港确诊新冠肺炎患者的宠物狗测出弱阳性反应 /span /strong strong span style=" color: rgb(0, 176, 240) " /span /strong /a /p p style=" text-align: center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 192px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/b4612c94-9b2d-45e5-8d19-88d6d5ae1519.jpg" title=" 2.jpg" alt=" 2.jpg" width=" 450" height=" 192" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-indent: 2em " span style=" text-indent: 2em " 2月28日凌晨，香港特区政府发布新闻公报，称特区政府渔农自然护理署（渔护署）发言人今日（二月二十八日）表示，一只居于2019冠状病毒病确诊者家中的狗只对有关病毒测试呈弱阳性反应。 /span /p p style=" text-indent: 2em " 渔护署发言人表示，为确保公众及动物的健康，署方强烈建议2019冠状病毒病确诊者的宠物（哺乳类动物）接受检疫。它会被送往渔护署指定动物居留设施接受为期14天的检疫和兽医学监察，及按情况进行新型冠状病毒测试。 /p

智能生态负氧离子监测站-一款十分钟爱的天然氧吧监测站#2022已更新【品牌型号：天合环境TH-FZ5】温度和湿度等环境因素对负氧离子的浓度有很大影响。负氧离子浓度在春、夏、秋、冬季具有明显的变化特征。夏季和秋季浓度较高，春季和冬季浓度较低，这与负氧离子含量与气温呈正相关。雷电日和降水日的负氧离子浓度明显较高，需要通过负氧离子监测站实时了解。一、产品简介高智能一体化负氧离子监测站可全天候监测空气中负氧离子浓度，同时可根据用户需求扩展监测项目，如：空气温度、空气湿度、PM2.5、PM10、大气压力、氧含量、噪声、风速、风向等气象要素。传感器一体化设计，无机械位移，精度高、使用寿命长现场可通过全彩液晶屏读取数据，亦可远程云平台/WEB/微信公众号实时查看数据现场用户可自定义添加歌曲，亦可超标语音播报二、应用范围旅游景区、生态庄园、湿地公园、瀑布公园、森林公园、自然保护区、售楼处、学校三、技术参数1、风速：测量原理超声波，0～60m/s（±0.1m/s）分辨率0.01m/s；2、风向：测量原理超声波，0～360°（±2°）分辨率1°；3、空气温度：测量原理二极管结电压法，-40-60℃（±0.3℃）分辨率0.01°；4、空气湿度：测量原理电容式，0-100%RH（±0.3%RH）分辨率0.1%RH；5、大气压力：测量原理压阻式，300-1100hpa（±0.25%），分辨率0.1hpa；6、PM2.5：测量原理光散射，0-1000ug/m3（±10%）分辨率1ug/m37、PM10：测量原理光散射，0-1000ug/m3（±10%）分辨率1ug/m38、噪声：测量原理电容式，30-120dB（±1.5dB）分辨率0.1db9、负氧离子：测量原理圆筒式电极吸入式，0-10万个/m3（±10%）分辨率1个/m310、氧含量：测量原理电化学，0～100%uol（±3%uol）分辨率0.1%11、屏幕：分辨率1920(RGB)×1080(FHD)，工作频率120Hz，亮度1500-2500 cd/m212、立杆：碳钢双立柱，可耐受15级强台风13、工作环境：温度-20℃-55℃，湿度0%-100%14、生产企业具有ISO质量管理体系、环境管理体系和职业健康管理体系认证15、生产企业具有知识产权管理体系认证证书、计算机软件注册证书17、数据存储：可存储一年的原始监测数据18、数据传输：4G/光纤19、供电方式：220V市电20、功耗：500w四、产品特点1、整机采用高集成模组化设计，标准化电器设计，工作状态一目了然，可实现快速维护2、防水：主体结构采用2-3mm碳钢，配合复合密封胶条，实现多角度防水3、防尘：设备底部配备过滤装置，可过滤5μm以上尘埃粒子，同时过滤棉可从外部快速更换，无需专业人员操作4、防雷、防漏电：内有防雷装置及漏电保护器，保护机器及周围人身安全5、采用高透、耐高温高强度钢化玻璃，防火、防划、防爆6、喇叭：户外大功率防水扬声器，双声道设计，声音清晰立体7、内置感光探头，可有效识别光照变化，自动调节屏幕亮度8、显示屏采用LED背光源，寿命达到50000小时，环保节能动态对比度高，显示画面更清晰9、散热系统采用工业级涡流离心风扇，风量大、转速高、噪声小，内置感温探头传感设备，有效识别内部温度变化，同时可根据现场环境调节响应温度及响应速度，实现低能耗精确控温10、内置时控开关，可设置预定开启和关闭时间11、全彩显示界面，设备开机自动进入气象监测平台（显示画面支持有限定制）12、可选配摄像头，显示界面可同步摄像头画面13、一体化传感器，传感器一体化集成，安装方便，维护简单

本仪器是根据《GB3095-2012 环境空气质量标准》基本环境空气污染项目为：二氧化硫、二氧化氮、一氧化碳、臭氧、颗粒物（PM10）、颗粒物（PM2.5），另扩展环境大气压、温湿度、其它污染气体等参数。该项目具备物联网功能，能够通过网络实时接入网格化监测平台。仪器内置3/4G物联网模组，监测站监测数据与数据后台实时同步；数据后台存储各监测站历史监测数据，支持监测数据各类可视化展示，如折线图、柱状图、仪表盘等（可根据业务需求定制开发）；配备移动端APP，移动端功能主要有监测数据查询、监测。 执行标准 《环境空气质量标准》（GB3095-2012）《环境空气质量评价技术规范》（HJ663-2013）《环境空气质量指数(AQI)技术规定》（HJ633-2012）《环境空气质量预报信息交换技术指南》（环办函〔2014〕1471-1）《环境空气质量可视化预报会商技术指南》（环办函〔2014〕1471-2）《环境空气质量数值预报模式源清单技术指南》（环办函〔2014〕1471-3）《全国环境空气质量预报预警实施方案》（环办函〔2015〕330号）《污染源在线自动监控(监测)系统数据传输标准》（HJ/T212-2005）《环境污染源自动监控信息传输、交换技术规范(试行)》(HJ/T 352-2007) 主要特点 n 采用激光颗粒物传感器，可实时检测PM1/PM2.5/PM10/PM100颗粒物浓度n 选用四电极高精度进口气体传感器n 模块化设计，配置任意组合，适合大规模网格化布点n 先进的环保喷涂工艺，外观平整，光洁，户外防雨雪防雷电，防电磁干扰功能设计，适合严苛恶劣的室外环境，配备独立的锁具及一对一钥匙，保证仪器安全。n 颗粒物采样采用动态加热控制，去除水雾对测量数据影响n 采用云平台数据链，数据传输稳定可靠，支持标准的MODBUS TCP/IP协议，符合HJ212标准 ，提供开放的网络接口，满足不同网络设备的接入，在全网中实现数据交换与信息共享。所有监测数据同时具有网络和4G/5G接口方式推送到指定平台，10S上传一次数据。n 可选配气象五参数测试仪n 现场实时数据显示，可选配户外LED屏幕n 提供数据服务平台，可显示分钟、小时均值、日均值。报表分析功能，可生成日 报表，月报表，年报表、趋势分析等功能，并且根据客户的具体需要进行定制。n 安装方式多样，可根据现场情况选择：支架安装，挂杆安装等多种方式，任何一种安装方式均牢固可靠n 仪器采用绝缘喷涂工艺，并配备接地线及漏电保护开关，绝缘电阻小于1Ω 有效保护操作人员，防止触电。n 仪器配备断电记忆功能，信号传输中断后，仪器能够自动保存数据，正常供电后，重新传输数据，实现数据传输完全正确。n 数据平台配备自动报错提醒功能，仪器运转异常，数据会上传数据平台，实现自动报警功能，并有推送通知。实现仪器长期可靠的运行。仪器配备反吹自清洁功能，定期进行自动反吹，检测到颗粒物数据异常，可以通过远程进行手动控制反吹，重新启动矫正等功能。n 通过计量器具型式实验验证，三台设备的平行一致性小于10%n 可配置太阳能板能够独立供电，内置长续航锂电池组，无需外接市电。可保证连续一周内阴雨天持续供电。 n独特的保护设计，防止蚊虫，棉絮等大颗粒进入，干扰测试结果。说 明： 以上内容完全符合国家相关标准的要求，因产品升级或有图片与实机不符，请以实机为准，本内容仅供参考。创新点：1.采用激光颗粒物传感器，可实时检测PM1/PM2.5/PM10/PM100颗粒物浓度； 2.选用四电极高精度进口气体传感器； 3.模块化设计，配置任意组合，适合大规模网格化布点； 4.颗粒物采样采用动态加热控制，去除水雾对测量数据影响； 5.采用云平台数据链，数据传输稳定可靠，支持标准的MODBUS TCP/IP协议，符合HJ212标准 ，提供开放的网络接口，满足不同网络设备的接入，在全网中实现数据交换与信息共享；所有监测数据同时具有网络和4G/5G接口方式推送到指定平台，10S上传一次数据； 6.提供数据服务平台，可显示分钟、小时均值、日均值。报表分析功能，可生成日 报表，月报表，年报表、趋势分析等功能，并且根据客户的具体需要进行定制。 崂应2092型环境空气质量监测仪（光散射法）

全彩屏负氧离子监测站-负氧离子在环境中有多少#2022已更新كمعددالأيوناتالسالبةفيالبيئةقدتمتحديثها【品牌型号：天合环境TH-FZ5】因为空气中绝大部分的有害物质都携带正离子，负离子与正离子中和后使空气中的正离子和氧气产生能量转移，导致有害物质无氧结合形成落尘效应，从而达到漂浮在空气中的都是负氧离子。因此，高浓度负离子具有消烟、除尘、杀菌、中和高压静电、预防辐射、净化空气的功能。要想知道环境中有多少负氧离子，全彩屏负氧离子监测站是不错的选择。一、产品简介高智能一体化负氧离子监测站可全天候监测空气中负氧离子浓度，同时可根据用户需求扩展监测项目，如：空气温度、空气湿度、PM2.5、PM10、大气压力、氧含量、噪声、风速、风向等气象要素。传感器一体化设计，无机械位移，精度高、使用寿命长现场可通过全彩液晶屏读取数据，亦可远程云平台/WEB/微信公众号实时查看数据现场用户可自定义添加歌曲，亦可超标语音播报二、应用范围旅游景区、生态庄园、湿地公园、瀑布公园、森林公园、自然保护区、售楼处、学校三、技术参数1、风速：测量原理超声波，0～60m/s（±0.1m/s）分辨率0.01m/s；2、风向：测量原理超声波，0～360°（±2°）分辨率1°；3、空气温度：测量原理二极管结电压法，-40-60℃（±0.3℃）分辨率0.01°；4、空气湿度：测量原理电容式，0-100%RH（±0.3%RH）分辨率0.1%RH；5、大气压力：测量原理压阻式，300-1100hpa（±0.25%），分辨率0.1hpa；6、PM2.5：测量原理光散射，0-1000ug/m3（±10%）分辨率1ug/m37、PM10：测量原理光散射，0-1000ug/m3（±10%）分辨率1ug/m38、噪声：测量原理电容式，30-120dB（±1.5dB）分辨率0.1db9、负氧离子：测量原理圆筒式电极吸入式，0-10万个/m3（±10%）分辨率1个/m310、氧含量：测量原理电化学，0～100%uol（±3%uol）分辨率0.1%11、屏幕：分辨率1920(RGB)×1080(FHD)，工作频率120Hz，亮度1500-2500 cd/m212、立杆：碳钢双立柱，可耐受15级强台风13、工作环境：温度-20℃-55℃，湿度0%-100%14、生产企业具有ISO质量管理体系、环境管理体系和职业健康管理体系认证15、生产企业具有知识产权管理体系认证证书、计算机软件注册证书17、数据存储：可存储一年的原始监测数据18、数据传输：4G/光纤19、供电方式：220V市电20、功耗：500w四、产品特点1、整机采用高集成模组化设计，标准化电器设计，工作状态一目了然，可实现快速维护2、防水：主体结构采用2-3mm碳钢，配合复合密封胶条，实现多角度防水3、防尘：设备底部配备过滤装置，可过滤5μm以上尘埃粒子，同时过滤棉可从外部快速更换，无需专业人员操作4、防雷、防漏电：内有防雷装置及漏电保护器，保护机器及周围人身安全5、采用高透、耐高温高强度钢化玻璃，防火、防划、防爆6、喇叭：户外大功率防水扬声器，双声道设计，声音清晰立体7、内置感光探头，可有效识别光照变化，自动调节屏幕亮度8、显示屏采用LED背光源，寿命达到50000小时，环保节能动态对比度高，显示画面更清晰9、散热系统采用工业级涡流离心风扇，风量大、转速高、噪声小，内置感温探头传感设备，有效识别内部温度变化，同时可根据现场环境调节响应温度及响应速度，实现低能耗精确控温10、内置时控开关，可设置预定开启和关闭时间11、全彩显示界面，设备开机自动进入气象监测平台（显示画面支持有限定制）12、可选配摄像头，显示界面可同步摄像头画面13、一体化传感器，传感器一体化集成，安装方便，维护简单五、云平台介绍1、CS架构软件平台，支持手机、PC浏览器直接观测、无需额外安装软件。2、支持多帐号、多设备登录3、支持实时数据展示与历史数据展示仪表板4、云服务器、云数据存储，稳定可靠，易于扩展，负载均衡。5、支持短信报警及阈值设置6、支持地图显示、查看设备信息。7、支持数据曲线分析8、支持数据导出表格形式9、支持数据转发，HJ-212协议，TCP转发，http协议等。10、支持数据后处理功能11、支持外置运行javascript脚本12、支持同步本地天气预报

天眼查显示，华羿微电子股份有限公司近日取得一项名为“一种低栅极电荷屏蔽栅MOSFET器件及其制作方法”的专利，授权公告号为CN117476770B，授权公告日为2024年7月19日，申请日为2023年11月16日。背景技术沟槽型功率MOS器件能够在节省器件面积的同时得到较低的通态电阻，因此具有较低的导通损耗，已经在中低压应用领域全面取代平面式功率MOS器件。但是采用密集而精细的沟槽栅后，由于沟道面积的增加导致栅极电荷增大，从而影响到器件的高频特性和开关损耗。特别是随着产品应用领域朝着薄，轻，小方向发展，要达到上述目的，就需要提升整个系统的开关频率，这样就导致普通的沟槽型功率MOS器件在开关特性的缺点表现的越来越明显，如何提高器件的开关速度和开关损耗以适应节能以及高频应用的需求具有十分重要的意义。造成开关损耗大和开关速度慢的主要原因是由于沟槽型功率MOS器件在栅-源之间和栅-漏之间存在有较大的寄生电容，即栅-源电容Cgs和栅-漏电容Cgd。功率MOS管在开和关两种状态转换时，Cgd的电压变化远大于Cgs上的电压变化，相应的充、放电量Qgd较大，所以Qgd对开关速度的影响较大。如华虹NEC在中国专利(专利申请号：200510026546.5)中提出了厚底栅氧技术(Thick Bottom Oxide)，从而达到降低Cgd的目的。但是该技术的不足在于Cgd只能降低约30%，仍不能满足节能以及高频应用的需求。因此，如何进一步显著的降低栅漏寄生电容，而不影响器件导通电阻，从而大大提高沟槽型功率MOS器件的高频特性和降低开关损耗成为本技术领域人员的努力方向。而基于电荷平衡原理的SGT(屏蔽栅型)MOSFET器件在很大程度上改变了动态特性和导通电阻之间的关系，使得器件FOM值更低(将导通电阻(Rdson)和栅电荷（Qg）的乘积最优值(FOM)作为评价器件性价比的标准)。发明内容本发明公开了一种低栅极电荷屏蔽栅MOSFET器件及其制作方法，将器件有源区部分沟槽区域的源极多晶硅或者栅极多晶硅通过接触孔与源极金属层相连，使得该部分区域不参与整个器件的导通，能够有效降低器件的栅极电荷，同时由于沟槽下方屏蔽栅的存在可以保障器件有足够击穿电压。该器件在中高压领域具有极大优势，当器件有源区50%的区域采用此种技术将使得器件的FOM最优值降低~46.5%（以150V耐压器件为例），从而最终使得器件最优值FOM降低并且拥有更高的性价比。该器件的制作方法能够很好的与现有屏蔽栅型MOSFET器件制造工艺兼容，因此不会带来不可实现工艺的技术瓶颈，具有很高的转化价值。

无线电产业展迅猛 监测检测保驾护航 ——访国家无线电监测中心副主任薛永刚 　　无线电频谱是一种稀缺资源，它归国家所有。在无线电业务和产品日益丰富的今天，如何科学有效地管理好无线频谱资源，不仅对于保障各种无线业务的发展和应用有积极意义，更重要的是，它对国家安全，以及人民群众生活、工作的正常进行，起着重要的保障作用。在我国，无线电管理工作中至关重要的监测检测任务，是由国家无线电监测中心承担的。为了让读者了解我国的无线电监测管理情况，更好地使用无线电产品和业务，年终岁末，记者采访了国家无线电监测中心副主任薛永刚。 　　无线电管理，保障国家信息安全 　　新中国的无线电管理起源于战火纷飞的战争年代，建国以后，由于特定的历史条件，无线电管理工作一直由军队实施，改革开放以后，为了更好地服务国民经济发展和人民群众日常生活，无线电的管理职责由军队转归地方，并且在经历了几次机构调整之后，最终于1998年划归信息产业部管理。目前，无线电管理主要由工业和信息化部无线电管理局进行，其职责是编制无线电频谱规划 负责无线电频率的划分、分配与指配等，国家无线电监测中心同样归属工业和信息化部，主要承担无线电监测和无线电频谱管理工作，是我国无线电管理的支撑机构。而在无线电监测中心，无线电设备检测也是非常重要的职能和业务之一。 　　根据相关规定，凡是在我国境内使用的无线电设备和产品，都必需通过我国相关机构的检测。在我国，无线产品认证有两个层面的内容：一是产品入网认证，二是产品无线频率检测认证，即型号核准。薛永刚介绍说，这二者是完全不同的概念，入网检测是检测无线设备能否在通信网中使用，需要符合网络的技术、参数、业务应用等要求。而无线频率检测则是检测无线电产品所使用的频率是否符合国家的频谱管理要求。比如手机不管是否加入公众通信网，只要在中国市场上使用，就需进行无线电频率检测。型号核准是无线电设备管理的一种非常重要的手段，无线电设备的型号核准在任何国家都有严格的规定，并且越来越受到重视。 　　那么，为什么要对无线电设备进行监测和检测呢?，薛永刚介绍，无线电产品会产生电磁波，如果其技术指标不合格，就可能导致其他无线电产品或业务不能正常工作，更重要的是，如果不从源头对设备加以管理，这些不合格的无线产品产生的无线电干扰会迅速扩大，导致重大安全问题。另外，无线电频谱管理也是国家主权体现的一个方面，无线电频谱资源是国有资源，频谱划分是政府行为，每个国家都会按照自己本国的情况制定无线频谱政策。所以，国外产品进入中国以及国产设备在国内市场销售使用都必须符合我国无线电管理相关规定。 　　从无线电管理的侧重点而言，无线电设备检测是从设备方面把住了第一关。薛永刚说，检测的根本目的是保证无线电频谱资源和卫星轨道资源的有效利用。在频谱已经规划好的情况下，各种无线设备应该发射多大功率、占用多少带宽，在什么地方能用，什么地方不能用等等有严格规定。拿汽车作个比喻，无线电检测就像是检测汽车合不合格，而无线电监测就是要监督并保障不同类型的汽车跑不同的车道。 　　适应市场需求，检测中心应运而生 　　近年来，我国无线电事业持续快速发展，各种无线电产品层出不穷，型号核准所涵盖的产品越来越多，小到无线话筒、无线门铃，汽车及家电的遥控器，无绳电话机、微波炉，大到通信、雷达、卫星及各种军用民用电子电气产品，都要进行型号核准，简单一句话，只要产品能向外发射、泄漏电磁波，就要进行无线电检测、监测和型号核准。为了满足企业的需求，尤其是适应3G技术的应用与发展，国家无线电监测中心组建了第三方检测机构“国家无线电监测中心检测中心”，并于2009年4月20日正式向社会开展服务。据薛永刚介绍，检测中心承担原来由国家无线电监测中心设备检测处承担的型号核准检测工作，为广大用户提供型号核准检测、国际认证检测和检测系统集成等服务。 　　事实上，为了更好地为企业服务特别是为中小企业服务，提高无线电设备检测工作的水平，工业和信息化部已经在全国范围内批准了9家无线电设备型号核准检测机构，而国家无线电检测中心则是其中最大的一家，并且也是实力最强的一家。 　　薛永刚表示，检测中心成立后，将引入社会化服务，使检测业务更好拓展和延伸，更好地提升服务质量。 　　第一，更好地帮助企业走向规范化道路。不论是在国内还是在国外，无线电设备的型号核准工作要求非常严格，一些中小企业，他们的产品要在市场上立足，要出口国外市场，需要符合国内和国外的无线电产品标准，但这些企业技术能力弱，市场份额小，产品开发不规范，检测中心给他们提供委托测试服务，并且会反馈不合格的项目，提供解决方案方面的咨询服务，帮助他们逐渐完善和改善产品的辐射特性。 　　第二，在检测时间上，将大大缩短。为了确保无线电设备对于无线电频谱资源的有效利用，帮助企业提高产品质量，特别是无线电发射的产品质量，同时尽可能地缩短检测时间，检测中心对实验室从人力和检测设备上进行了大规模投入，总金额达3亿多元，购置了更多先进的仪器仪表。目前，检测中心对手机的检测时间缩短到5～8个工作日。 　　第三，服务前移，贴近企业，贴近市场。深圳是我国电子工业非常发达的城市，生产无线电产品的企业数量很多。2009年11月27日，检测中心在深圳市福田区设立“国家无线电监测中心检测中心深圳实验室”签约仪式举行。建立这个实验室的目的，是为当地的电子通信企业提供上门的检测服务，为深圳及珠三角地区的无线电设备生产企业提供型号核准一站式服务，以及国内、国际认证一体化服务，企业不用出门就能做检测，大大节省了差旅费和时间。不仅如此，检测中心建立这样一个无线电设备检测的南方基地，将缩短电子产品的上市周期，进一步完善深圳及珠三角地区电子信息产业链的核心环节，强化产业的国际竞争力和辐射能力，为深圳市及周边城市建设国家创新型城市增加新的活力，也必将带动物联网、无线感知、射频识别、汽车电子等相关产业的进一步发展，进而加快深圳市的经济建设步伐。薛永刚表示，深圳模式只是检测中心贴近企业走出的第一步，检测中心还将根据国家布局，逐步扩展实验室区域。 　　提升检测技术和方法的先进性 　　无线设备检测遵循的是无线电管理部门对于无线电设备使用的有关规范，和按照这个规范所制订的相关标准。没有标准，无线电设备检测就成了无本之木。薛永刚介绍说，国家无线电检测中心正在做的，就是取得标准制订的主导权。他说，检测中心目前正在加大投入研究行业标准，缩短检测标准和规定的衔接周期，即管理文件形成以后，要在最短的时间内形成检测标准，及时让用户知晓标准，这样，用户产品检测的通过率将大大提高。据了解，检测中心已经成立了专门的标准起草部门，目前已经有三项具有一定影响力的国家标准起草任务。 　　检测中心积极跟踪技术发展趋势，适应市场需求，针对一些新的领域，走在产品生产的前头，只要有新的产品推出，就会推出相应产品的检测服务。据了解，近年来，非移动通信(不属于移动通信范畴)无线电业务增长迅速，包括物联网、RFID、超宽带产品、无线视频等，检测中心在这些产品研制阶段就已经着手研究相应产品的检测标准以及检测的设施和手段。2009年中国3G业务正式启动，而检测中心早在前两年就已经投资1.2亿多元搭建了针对三个3G标准的检测环境和设备。对于RFID，中心投资了2000万元自主开发了测试平台，该项目得到了国家科技部863重大专项的资助。记者在参观检测中心的时候看到，检测中心所涉及的范围，基本上包括了所有无线产品，其中就有目前最前沿的技术和产品。 　　进行基础性研究，改良检测方法，是检测中心正在做的又一项旨在领先检测市场的工作。无线技术应用的领域越来越宽，除了通信，其他领域，比如医疗领域的应用也非常广泛，并且产品越来越多样化，比如心脏起搏器、血糖测量仪等。对于这些和传统通信有别的无线应用，检测中心引入大量人才进行基础性研究，和检测方法的研究。据薛永刚介绍，目前，检测中心共有100多人，其中研发人员都是高学历人员，且具有大型企业和国外大型研究机构的工作经验，他们也在研究如何提高测试效率。 　　无线设备检测最重要的是检测方法和检测设备。目前，我国的检测仪表仪器大都依赖进口，这使我国的无线电产品检测业务在很大程度上受制于人。检测中心在大力改进检测方法和手段的同时，也在进行一些仪器仪表的开发研究工作。 　　另外，检测中心新成立的研发部门根据实际的检测工作需要，设计了自动化的测试程序，可以大大缩短检测的时间并避免了测试错误。薛永刚说：“我们曾经和国外的权威检测机构进行过数据比对，结果基本上是一致的，差别不大”。 　　加强国际合作，开拓国际市场 　　在中国，国家无线电检测中心的权威性是毋庸置疑的，一些大的公司，如中兴、华为、爱立信等，其产品大都在检测中心进行检测。不仅如此，检测中心和一些国外检测机构，一些行业或技术联盟实现了合作，为中国企业和中国产品走向国际提供了便利。 　　国内企业的产品要出口国外，一定要通过出口地国家的无线电检测认证，以前，企业每推出一款产品，就需要派人去这些国家的相关检测机构进行产品检测认证，不仅花费了大量的检测费用，而且推迟了产品的上市时间，影响企业发展。随着检测中心国际合作的日益密切，国内企业的产品不再需要送产品到国外去检测，只需到检测中心进行检测认证，便可获得相关国家的认可，为企业节省费用和时间。目前，检测中心已经可以做的国际认证包括欧盟的CE和美图的FCC等标准。薛永刚介绍，2009年，检测中心的国际认证业务增长很快，客户在这里进行型号核准的同时，还可做国际认证的检测，可谓是一次检测拿两个认证，所以很受客户欢迎，这也是检测中心服务客户的举措。 　　另外，一些行业组织和联盟，比如蓝牙技术联盟，他们对这种技术拥有专利使用权，企业如果生产这种技术的产品，需要经过这些机构的认可。检测中心基于和这些机构或联盟的合作，其对相关产品的检测得到了他们的认可。 　　由于得到了国际认可，检测中心也获得了越来越多跨国企业的信赖。薛永刚向记者举了个例子：有一个知名设备商，他们在国外拥有自己的测试实验室，由于成本很高，他们委托检测中心对他们的产品进行检测，并且用了一年的时间对自己实验室的检测数据和检测中心的检测数据进行比对，其结果是，检测中心的检测完全准确合格。为了节约成本，该公司关闭了本土的检测实验室，把检测中心作第三方检测机构。 　　采访中， 薛永刚主任简要介绍了检测中心2010年的工作，主要是要大力发展多项业务支撑的检测业务。首先仍是型号核准业务 第二，将为客户提供高附加值的业务，包括技术研发业务、运营商招标测试业务，还有一些国家核心部门的委托测试业务 第三，通过技术研发，实现管理工作的标准化 第四，继续开展一些国家科技主管部门的主导专项工作，像制定标准和专项课题等等，从而提升检测中心的影响。

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《挥发性有机物泄漏检测红外成像仪（OGI）技术要求及监测规范》于2023年11月18日在江西吉安正式发布。作为团体标准副主编单位，艾睿光电全程参与并大力支持该团标的编制工作，推动红外热成像在气体检测行业的应用和发展。作为红外热成像领军者，艾睿光电推出了一系列气体检测红外热成像机芯及整机产品，包括GT系列、CG系列、G系列等，能够检测甲烷、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫等多种VOC气体。积极部署三大技术密码极力解决行业难题一、 AI预警，快速定位泄漏点连续多帧气体目标的动态学习，实现AI识别预警，快速定位泄漏区域。二、 气体着色，让危险无处可藏将红外热成像视频流中泄漏气体的运动痕迹分割提取并彩色标注的增强显示方法，极大地提高人眼识别能力，让气体泄漏清晰可见。三、超长寿命，让客户无后顾之忧GT系列在线气体检测红外热成像采用线性制冷技术，寿命高达20000小时以上，非制冷产品更是无寿命限制，极大地降低维护成本。作为红外热成像领军者，艾睿光电凭借芯片能力、技术优势、产业集群优势，破解能源化工用户气体检测痛点。未来，艾睿光电将继续坚持红外热成像气体检测技术的研发和创新，为行业提供更多产品和解决方案。

谈及气候变化，二氧化碳通常是焦点，但未来几十年，削减甲烷排放可能对控制全球变暖产生更大的影响。据《自然》报道，在一颗即将从美国加利福尼亚州发射的卫星的帮助下，政府部门和企业终于有了一个工具，能帮助它们精确定位地球上的甲烷热点并堵住泄漏。MethaneSAT概念图。图片来源：BAE Systems这颗名为MethaneSAT的卫星耗资约8800万美元，旨在为观测全球油气田、农业设施和垃圾填埋场排放的甲烷提供全新视角。卫星运营方将与美国谷歌公司合作，利用一个大气模型处理来自卫星的数据。该模型可以追踪空气中的甲烷及其地面来源。谷歌还计划使用人工智能算法绘制全球油气田基础设施地图，并确定污染来源。美国环境保护基金会领导了MethaneSAT的开发。“这将是我们第一次获得温室气体的此类信息。”该组织首席科学家Steven Hamburg表示，MethaneSAT将通过“彻底的透明度”实现政府和企业的问责制。MethaneSAT起源于大约10年前帮助揭示美国油气田污染程度的航空器运动。环境保护基金会随后与学术界和工业界合作，进行一系列研究，记录了美国各地的甲烷排放量，最终表明石油和天然气部门的甲烷排放量比官方估计高60%。在这项工作的基础上，它们组织了一个团队设计这颗卫星。2018年，环境保护基金会及美国哈佛大学的主要科学合作伙伴通过“大胆计划”获得了启动资金，用于开发甲烷卫星。MethaneSAT与众不同之处在于高分辨率测量。如果成功，环境保护基金会将成为第一个开发出这种科学口径卫星的环保组织。“我们正在适应一个无人区。”哈佛大学大气科学家、MethaneSAT技术团队负责人Steve Wofsy说。MethaneSAT每天从大约30块面积为200平方公里的土地上向地球传输图像。这足以完成其监测全球油气田、农业设施的核心任务。对于运营方来说，最大的问题是卫星数据是否真的会推动相关部门采取行动，有所作为。环境保护基金会大气科学家Ilissa Ocko表示：“如果我们能够消除甲烷排放，那么在未来几十年里，基本上可以将全球变暖幅度减半。其中，石油和天然气行业可以在几乎没有额外成本的情况下，减少大部分甲烷排放。”

地下金属管道防腐层探测检漏仪/地下金属管道防腐层探测检测仪 型号：WN-SL-6 【能及用途】本仪器是目前界上广泛重视的稳定性、抗干扰的新颖仪器之，它能在不挖开复土的情况下，方便而准确地查出地下管道的走向、深度和缘防腐层的漏蚀点的确位置，使整个管道表面不再屡遭到处开搪破土之苦，是油田、化、输油、输气、水电等为保证地下管道防腐层的施质量检查和维修检查的种探测仪器。 【特点】1、仪器电源采用日本可靠性原装开关电源，充电时实行智能快速充电，无需人控制。2、仪器电压、输出电流信号能够自动转换。3、直流电源与交流供电能自动转换。4、仪器采用抗干扰线路，特别实用于城市管网的普查与维护。5、发射机采用液晶显示，提了输出度与仪器的性能。6、仪器特设保护自动调节能，克服产品致命的弱点。7、仪器的线路采用模块化结构、三防设计，从而大大提仪器的野外使用寿命和可靠性。 【主要术标】 1.检漏度：≥0.25mm2；2.位置偏差：＜20cm；3.准确率：＞98%4适用范围：各种直径的油、气、水等地下防腐金属管道。（）发射机术标：1.发射率：≥25W，可调；2.发射频率：1K±0.1Hz，节拍频率1-2Hz；3.输出阻抗匹配：0-100Ω；4.发射距离：50m-5Km（5公里以外可逐移动）；5.作电流：≤3A，1-3A可调；6.作电源：12V（系镉镍电池或汽车电源）；7.重　　量：2.8Kg(不计电池重量)；8.外形尺寸：99×220×220（二）探测仪术标：1.灵敏度：0.1mV；2.走向位置偏差：＜10cm；3.探测深度：≤5m；4.作电源：6V镉镍蓄电池组；5.重量：0.9Kg；6.外形尺寸：165×135×69。（三）检漏仪术标：1.检漏度：≥0.25mm2；2.检漏深度：≥0.5m；3.位置偏差：＜20cm；4.作电源：6V镉镍蓄电池组；5.重量：0.9Kg；6.外形尺寸：165×135×69。 【检测原理及方法】通过向地下管道发送出1KHz的电磁波信号，探测仪利用探头与磁力线地平面垂直相切时，收到的信号小（几乎为零）的原理来测定管道的走向和深度。 检漏原理：通过向地下管道发送个交流信号源，当地下管道防腐层被腐蚀后，该处金属分与大地相短路，在漏点处形成电流回路，将产生的漏点信号向地面辐射，并在漏点正上方辐射信号，根据这原理就可准确地找到漏蚀点。检漏方法：采用“人体电容法”，就是用人体做检漏仪的感应元件，当检漏员走到漏点附近时，检漏仪开始有反应，当走到漏点正上方时，喇叭中的声音响，表头示，从而准确找到漏蚀点。

失效分析是芯片测试重要环节，无论对于量产样品还是设计环节亦或是客退品，失效分析可以帮助降低成本，缩短周期。常见的半导体失效都有哪些呢？下面为大家整理一下：显微镜分析OM无损检测金相显微镜OM：可用来进行器件外观及失效部位的表面形状，尺寸，结构，缺陷等观察。金相显微镜系统是将传统的光学显微镜与计算机（数码相机）通过光电转换有机的结合在一起，不仅可以在目镜上作显微观察，还能在计算机（数码相机）显示屏幕上观察实时动态图像，电脑型金相显微镜并能将所需要的图片进行编辑、保存和打印。金相显微镜可供研究单位、冶金、机械制造工厂以及高等工业院校进行金属学与热处理、金属物理学、炼钢与铸造过程等金相试验研究之用，实现样品外观、形貌检测 、制备样片的金相显微分析和各种缺陷的查找等功能。体视显微镜OM无损检测体视显微镜，亦称实体显微镜或解剖镜。是一种具有正像立体感的目视仪器，从不同角度观察物体，使双眼引起立体感觉的双目显微镜。对观察体无需加工制作，直接放入镜头下配合照明即可观察，成像是直立的，便于操作和解剖。视场直径大，但观察物要求放大倍率在200倍以下。体视显微镜可用于电子精密部件装配检修，纺织业的品质控制、文物 、邮票的辅助鉴别及各种物质表面观察等领域，实现样品外观、形貌检测 、制备样片的观察分析、封装开帽后的检查分析和晶体管点焊检查等功能。X－Ray无损检测X-Ray是利用阴极射线管产生高能量电子与金属靶撞击，在撞击过程中，因电子突然减速，其损失的动能会以X-Ray形式放出。而对于样品无法以外观方式观测的位置，利用X-Ray穿透不同密度物质后其光强度的变化，产生的对比效果可形成影像，即可显示出待测物的内部结构，进而可在不破坏待测物的情况下观察待测物内部有问题的区域。X-Ray可用于产品研发，样品试制，失效分析，过程监控和大批量产品观测等，实现观测DIP、SOP、QFP、QFN、BGA、Flipchip等不同封装的半导体、电阻、电容等电子元器件以及小型PCB印刷电路板，观测器件内部芯片大小、数量、叠die、绑线情况，芯片crack、点胶不均、断线、搭线、内部气泡等封装缺陷，以及焊锡球冷焊、虚焊等焊接缺陷等功能。C-SAM（超声波扫描显微镜)无损检测超声扫描显微镜是一种利用超声波为传播媒介的无损检测设备。在工作中采用反射或者透射等扫描方式来检查材料内部的晶格结构，杂质颗粒、夹杂物、沉淀物、内部裂纹、分层缺陷、空洞、气泡、空隙等。I/V Curve量测可用于验证及量测半导体电子组件的电性、参数及特性。比如电压-电流。集成电路失效分析流程中，I/V Curve的量测往往是非破坏分析的第二步（外观检查排在第一步），可见Curve量测的重要性。I/V Curve量测常用于封装测试厂，SMT领域等，实现Open/Short Test、 I/V Curve Analysis、Idd Measuring和Powered Leakage（漏电）Test功能。SEM扫描电镜/EDX能量弥散X光仪（材料结构分析/缺陷观察，元素组成常规微区分析，精确测量元器件尺寸）扫描电镜（SEM）SEM/EDX（形貌观测、成分分析）扫描电镜（SEM）可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的，根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。通常EDX结合电子显微镜（SEM）使用，可以对样品进行微区成分分析。在军工，航天，半导体，先进材料等领域中，SEM/EDX（形貌观测、成分分析）扫描电镜（SEM）可实现材料表面形貌分析，微区形貌观察，材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析，薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析，纳米尺寸量测及标示和微区成分定性及定量分析等功能EMMI微光显微镜微光显微镜（Emission Microscope, EMMI）是常用漏电流路径分析手段。对于故障分析而言，微光显微镜（Emission Microscope, EMMI）是一种相当有用且效率极高的分析工具。主要侦测IC内部所放出光子。在IC元件中，EHP（Electron Hole Pairs）Recombination会放出光子（Photon）。如在P-N结加偏压，此时N阱的电子很容易扩散到P阱，而P的空穴也容易扩散至N，然后与P端的空穴（或N端的电子）做EHP Recombination。在故障点定位、寻找近红外波段发光点等方面，微光显微镜可分析P-N接面漏电；P-N接面崩溃；饱和区晶体管的热电子；氧化层漏电流产生的光子激发；Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等问题Probe Station 探针台测试探针台主要应用于半导体行业、光电行业。针对集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，可用于Wafer，IC测试，IC设计等领域。FIB（Focused Ion beam）线路修改FIB（聚焦离子束，Focused Ion beam）是将液态金属离子源产生的离子束经过离子枪加速，聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像，此功能与SEM（扫描电子显微镜）相似，或用强电流离子束对表面原子进行剥离，以完成微、纳米级表面形貌加工。在工业和理论材料研究，半导体，数据存储，自然资源等领域，FIB可以实现芯片电路修改和布局验证、Cross-Section截面分析、Probing Pad、 定点切割、切线连线，切点观测，TEM制样，精密厚度测量等功能。失效分析前还有一些必要的样品处理过程。取die用酸法去掉塑封体，漏出die decap（开封，开帽）利用芯片开封机实现芯片开封验证SAM，XRAY的结果。Decap即开封，也称开盖，开帽，指给完整封装的IC做局部腐蚀，使得IC可以暴露出来，同时保持芯片功能的完整无损，保持 die，bond pads，bond wires乃至lead-frame不受损伤，为下一步芯片失效分析实验做准备，方便观察或做其他测试（如FIB，EMMI）， Decap后功能正常。化学开封Acid DecapAcid Decap，又叫化学开封，是用化学的方法，即浓硫酸及发烟硝酸将塑封料去除的设备。通过用酸腐蚀芯片表面覆盖的塑料能够暴露出任何一种塑料IC封装内的芯片。去除塑料的过程又快又安全，并且产生干净无腐蚀的芯片表面。研磨RIERIE是干蚀刻的一种，这种蚀刻的原理是，当在平板电极之间施加10～100MHZ的高频电压（RF，radio frequency）时会产生数百微米厚的离子层（ion sheath），在其中放入试样，离子高速撞击试样而完成化学反应蚀刻，此即为RIE（Reactive Ion Etching）。 自动研磨机自动研磨机适用于高精微（光镜，SEM，TEM，AFM，ETC）样品的半自动准备加工研磨抛光，模块化制备研磨，平行抛光，精确角抛光，定址抛光或几种方式结合抛光，主要应用于半导体元器件失效分析，IC反向等领域，实现断面精细研磨及抛光、芯片工艺分析、失效点的查找等功能。 其可以预置程序定位切割不同尺寸的各种材料，可以高速自动切割材料，提高样品生产量。其微处理系统可以根据材料的材质、厚度等调整步进电动机的切割距离、力度、样品输入比率和自动进刀比率等。去金球 De-gold bump,去层,染色等，有些也需要相应的仪器机台，SEM可以查看die表面，SAM以及X－Ray观察封装内部情况以及分层失效。除了常用手段之外还有其他一些失效分析手段，原子力显微镜AFM ,二次离子质谱 SIMS,飞行时间质谱TOF － SIMS ,透射电镜TEM , 场发射电镜,场发射扫描俄歇探针, X 光电子能谱XPS ,L-I-V测试系统，能量损失 X 光微区分析系统等很多手段，不过这些项目不是很常用。芯片失效分析步骤:1、非破坏性分析：主要是超声波扫描显微镜（C-SAM）--看有没delamination，xray--看内部结构，等等；2、电测：主要工具，万用表，示波器，sony tek370a3、破坏性分析：机械decap，化学 decap芯片开封机4、半导体器件芯片失效分析 芯片內部分析，孔洞气泡失效分析（原作者：北软失效分析赵工）

日前，环保部发布《空气质量新标准第二阶段监测实施方案》，称全国116个城市年底前将发布PM2.5监测数据，如此看来，新一轮的PM2.5等环境监测仪器的采购热潮不日将至。2013年4月3日，牡丹江市环境监测中心站空气自动监测升级改造及服务项目开始进行国内公开招标，采购包括PM2.5监测仪在内的55套环境监测仪器设备。详情如下所示：　　黑龙江省牡丹江市政府采购中心受采购人的委托，对牡丹江市环境监测中心站空气自动监测升级改造及服务项目进行国内公开招标，请合格供应商前来参加投标。　　1.项目编号：MDJGP[2013]0256　　2.招标项目：牡丹江市环境监测中心站空气自动监测升级改造及服务。　　3.招标内容：技术参数附后，其它详细内容请参阅招标文件。　　4.供应商资质：符合政府采购法第二十二条规定，在国内注册生产或经营此次采购货物的供应商。　　5.报名时间及购买标书时间：2013年4月15日—2013年4月23日(公休日除外)，每日09:00时—11:30时，13:30时—16:30时(北京时间), 报名时请携带营业执照、税务登记证、法人授权委托书、代理商资格证明材料、环境保护部环境监测仪器质量监督检验中心出具的检测报告、中华人民共和国计量器具生产许可证、软件还需提供计算机信息系统企业集成资质。以上材料除法人授权委托书需原件外，其他材料为复印件并加盖公章。　　希望参加投标的供应商在牡丹江政府采购网进行供应商注册登记(只需注册一次即可)，以便及时参与网上政府采购活动，请注册登记的供应商保管好登录名和密码。网上注册技术咨询电话：0453-6261566　　6.标前答疑会(投标供应商应按时参加答疑会，如期不到将视为完全理解并默认招标文件所有条款，并同意放弃对招标文件有不明或误解等而询问、质疑、投诉的权利)时间：2013年4月24日09时。(北京时间)，地点：牡丹江市政府采购中心9楼会议室。请供应商准时参加，否则后果自负　　7.标书售价：每套500元(人民币)，标书售后一概不退。　　8.报名及购买标书地点：黑龙江省牡丹江市政府采购中心609室。　　9.投标截止时间和开标时间：2013年5月10日09:00时(北京时间)。　　10.开标地点：黑龙江省牡丹江市政府采购中心九楼招标大厅。　　11.联系方式：牡丹江市政府采购中心　　邮编：157006　　地址：牡丹江市东长安街70号　　网址：www.hljcg.gov.cn/hljcg/index.jsp?id=03　　标书款汇入行：　　户 名：牡丹江市政府采购中心　　开户行：中国建设银行牡丹江市分行营业部　　账号：23001705151050006469　　保证金汇入行：　　户名：牡丹江市政府采购中心保证金专户　　开户银行：哈尔滨银行牡丹江分行营业部　　帐号：1213511631898565　　电话：(0453)6233166　　传真：(0453)6233166　　联系人：陈女士　　技术参数如下：货物名称技术要求数量NOX自动监测仪氮氧化物分析仪1)设备用途：用于空气中氮氧化物浓度的监测1)配置要求：含过滤滤膜等2)技术参数：a)分析方法：化学发光法b)量程：0-150,100,200ppb或更多可选量程，具有量程自动切换功能c)最低检测限：1ppbd)零漂(24hour)：≤2ppbe)跨漂(24hour)：≤5ppbf)线性：5ppbg)重现性：5ppbh)响应时间：小于120秒（从0上升到90％满量程）i)转化率：≥98%j)诊断功能：仪器有自诊断及报警功能k)模拟输出信号：DC0-1.0V、0-5.0V、0-10.0V、0-20mAl)数字输出信号：RS232/485数字接口；数字接口至少2个（分别用于本地数采仪、VPN实时传输和智能维护和质控系统接口）m)数据存储功能：独立内存，支持参数存储，可存储超过100天的15分钟均值数据自动备份功能n)单位：ppm、ppb、mg/m3、μg/m3显示： 中文3套SO2自动监测仪二氧化硫分析仪1)设备用途：用于空气中二氧化硫浓度的监测2)配置要求：含过滤滤膜等3)技术参数：a)分析方法：紫外荧光法b)量程：0-50,100,500ppb或更多可选量程，具有量程自动切换功能c)最低检测限：1ppbd)精度：5.0ppbe)线性：5.0ppbf)零漂（24小时）：2.0ppbg)跨漂（24小时）：5.0ppbh)响应时间：小于120秒（从0上升到90％满量程）i)诊断功能：仪器有自诊断及报警功能j)电源要求：220±10%VAC，50Hzk)模拟输出信号：DC0-1.0V、0-5.0V、0-10.0V、0-20mAl)数字输出信号：RS232/485数字接口；数字接口至少2个（分别用于本地数采仪、VPN实时传输和智能维护和质控系统接口）m)数据存储功能：独立内存，支持参数存储，可存储超过100天的15分钟均值数据自动备份功能o)单位：ppm、ppb、mg/m3、μg/m3显示： 中文3套PM10自动监测仪a)PM10颗粒物分析仪b)设备用途：用于空气中PM10浓度的监测c)配置要求：含切割头、采样滤膜等d)技术参数：e)分析方法：β射线方法f)测量量程：（0～1或10）mg/m3g)采样流量：16.7L/min±2.5%h)最低检出限：2μg/m3i)测量周期：小时循环j)平行性：≤7%k)重现性：≤2%l)数字输出信号：RS232/485数字接口；数字接口至少2个（分别用于本地数采仪、VPN实时传输和智能维护和质控系统接口）m)模拟输出：DC0-1.0V、0-5.0V、0-10.0V、0-20mAn)采样系统：切割头通过切割效率鉴定；显示： 中文3套PM2.5自动监测仪PM2.5分析仪1)设备用途：用于空气中PM2.5浓度的监测2)配置要求：含切割头、采样滤膜等3)技术参数：a)分析方法：β射线法b)量程：软件可调量程（0～1、10）mg/m3c)最低检测限：≤2μg/m3（24小时平均值）d)显示分辨率：≤1μg/m3e)精度：±5μg/m3（24小时）以内f)平行性：≤7%g)测量时间：连续在线h)测量周期：小时循环i)采样流量：～16.7L/min，流量稳定性优于2.5%j)采样系统：切割头通过国家疾病预防中心切割效率鉴定；k)PM2.5颗粒物分析仪型号类型必须入选中国环境监测总站《关于印发《PM2.5自动监测仪器技术指标与要求（试行）》的通知》总站气字{2012}107号文件所规定要求；显示：中文6套CO自动监测仪一氧化碳分析仪1)设备用途：用于空气中一氧化碳浓度的监测2)配置要求：含过滤滤膜等3)技术参数：a)分析方法：红外吸收相关法（气体滤光相关法）b)量程：0～50ppb,500ppb,1000ppb,200ppm等（任意可设）c)浓度单位：mg/m3、ug/m3、ppm、ppbd)噪音：0.02ppme)最低检测限：0.04ppm；f)线性：1％F.Sg)零点漂移：0.1ppm/24h,0.1ppm/30daysh)量程漂移：0.5％读数值/24h,0.5％读数值/30daysi)重现性：100ppb或读数的1％j)响应时间：T9560sk)精度：0.5%读数l)采样流量：0.8L/minm)诊断功能：仪器有自诊断及报警功能n)模拟输出信号：DC0-1.0V、0-5.0V、0-10.0V、0-20mAo)数字输出信号：RS232/485数字接口；数字接口至少2个（分别用于本地数采仪、VPN实时传输和智能维护和质控系统接口）p)具有USB接口，方便数据存取；q)具有12V电源供电，仪器线路操作安全，维修方便；r)校准：能够具有自动校零、校跨，显示仪器的操作状态和远距离诊断l)单位：ppm、ppb、mg/m3、μg/m3显示：中文6套O3自动监测仪臭氧分析仪1)设备用途：用于空气中臭氧浓度的监测2)配置要求：含过滤滤膜等3)技术参数：a)分析方法：紫外光度法b)量程设置：0～50ppb,500ppb,1000ppb,20ppm等（任意可设）c)浓度单位：mg/m3、ug/m3、ppm、ppbd)最低检出限：0.6ppbe)线性：1%满量程f)零点漂移：1ppb/24h,1ppb/30daysg)量程漂移：0.5％读数值/24h,0.5％读数值/30daysh)响应时间：T9560si)精度：0.5%读数j)采样流量：0.8L/mink)诊断功能：仪器有自诊断及报警功能l)模拟输出信号：DC0-1.0V、0-5.0V、0-10.0V、0-20mAm)具有USB接口，方便数据存取；n)具有12V电源供电，仪器线路操作安全，维修方便；o)校准：能够具有自动校零、校跨，显示仪器的操作状态和远距离诊断p)所有接头材质为TEFLONm)单位：ppm、ppb、mg/m3、μg/m3显示：中文5套动态气体校准仪（钢瓶气及减压阀）动态校准仪a)流量计准确度：1%F.Sb)质量流量测量重现性：0.2%F.Sc)线性：0.5%F.Sd)零气流量计量程：5L/min，10L/min，20L/mine)标气流量计量程：50ml/min，100ml/minf)臭氧发生准确度：±2%g)臭氧发生器输出范围：0.05~1ppm/5slpmh)标气接口：4个i)电源：220VAC±10%，50Hz阀门技术参数：a)双级式减压结构；b)膜片与母体采用硬密封形式；c)安全压力：1.5倍的最大输出压力；d)内泄露：2×10-8atmcc/secHelium；e)CV值：0.08；f)材质：不锈钢316L，对标准气体无污染,无吸附。钢瓶气a)钢瓶标准气容量：8L，10MPa；钢瓶标准气浓度：SO2：50ppm，NO：50ppm，CO：3000ppm5套软件升级改造应把子站控制软件升级为新空气质量要求的技术要求3套零气发生器a)用途：作为稀释校准仪器的零气源b)压力：10～30psic)零气源通过转化去除空气中杂质后指标项目投标产品指标NO2＜0.5ppbSO2＜0.5ppbO3＜0.5ppbCO＜10ppb非甲烷总烃＜1ppb甲烷＜0.1ppbd)可再生分子筛对空气进行干燥，涤除效率高，维护量低。膜式干燥器，涤除空气中的气态水，降低结露点。4套城市摄像系统城市环境摄影系统1)数采仪软件功能：l实时显示能见度、气象测量数据和图像信息；l固定时刻拍照：用户设定每天固定时刻自动进行拍照，例如9:00AM,1:20PM；l事件触发拍照：用户设定能见度数据触发条件并自动拍照；l时间间隔拍照：用户设定固定时间间隔进行自动拍照,例如1分钟，5分钟，10分钟，1小时等；l随时手动拍照：支持用户本地或远程手动拍照；l存储监测信息，计算分钟、小时、日、月、季度数据均值，统计和绘制变动图表；l查询检索分析历史数据；l自动记录停电信息；l自定义存储路径，通过有线或无线网络将数据和图像信息上传到中心站；l雨刷和恒温装置维护室外拍照系统，定时、手动控制雨刷。2)中心站软件功能架构：l展示：多站图像展示l采集：数据、图像l记录：关系数据库存储l查询：站点历史时刻数据图像对比分析l维护：历史数据、历史图片回补l判断：标示提醒异常，依靠湿度区分雾、霾的数据自动审核、自动判断l扩展：与空气灰霾监测站互动l地图：多区域地图l管理：权限和站点管理3)相机技术要求：lAPS-C规格数码单反l有效像素：1800万l传感器尺寸：CMOSl最高分辨率：5184×3456l曝光模式：自动曝光手动曝光l多种测光方式l自动白平衡l短片拍摄：最大1920*1080l连拍功能：连拍速度最大约3.7张/秒l支持定时拍照l工作温度范围：0℃-40℃l工作湿度范围：85％或更小l交流电适配器套装(带连接器)ACK-E8AC100-240V50/60HzDC7.4V2Al镜头定位：APS画幅镜头l镜头类型：变焦l镜头卡口：佳能EF卡口l变焦方式：伸缩式镜头l滤镜尺寸：58mml最大光圈：F3.5-F5.6l最小光圈：F22-F38l视角范围：水平：64度30分-23度20分l垂直：45度30分-15度40分l镜头直径：68.5mml镜头长度：70mm4)室外防护罩l电源：220VAC50Hzl功率：80W(含风冷、加热)l材料主体：铝合金；视窗：透明玻璃；锁扣：不锈钢l视窗尺寸：102*89（W*H）l自动温控范围加热开：8°±5°；关：20°±5°（风扇同时运转）l风扇开：37°±5°；关：20°±5°l工作环境：温度-35℃~+65℃，湿度90%RHl防护罩等级：IP665)相机图像软件l实时展示反映实际环境状况的高清图像信息，支持数字图像解析；l多种条件和方式触发自动拍照功能；l自定义存储路径，支持有线局域网/广域网、无线、蜂窝式无线通讯和卫星传输等；l查询检索分析历史图片数据；l手动自动控制雨刷：5套多功能分配器l可实现各仪器自动校准功能，控制采样校准阀l具有采集气象传感器数据的功能l采用专用航空插头作为传感器接口；l预留模拟通道，计数通道，为以后传感器的扩展做好了准备l扩展通道测量范围模拟电压：(0-5)V或(4-20)mA计数频率：（0-65535）Hzl可提供电源+5VDC+12VDC2套空气系统采集仪l工控机及接口扩展模块：CPU：主频2.4GHz以上内存：1G以上硬盘：80G/7200R以上标准配置8个RS232通信口或以上机箱：19寸4U工业机箱(带PS-7271B工业电源)操作系统：预装windows2003server专业版以上键盘及显示器：通用型104键键盘，液晶显示器1024*768像素以上RJ45口两个或以上接口扩展模块：视站点仪器设备配置与集成情况选择如下接口模块（RS232接口模块、AD转换模块4017+、ADAM4520）RS232九针直联线及交叉线各8根模拟信号连接线30米l子站软件：中文界面，便于用户操作自动校时、自动校准、手动校准可以查询小时均值、日均值、月均值、年均值、配有图形显示具有数据的导入导出功能3套气象系统1)设备用途：用于气象五参数的测定2)配置要求：能够支持接入子站相关数据采集系统3)技术参数：室外传感器单元-50—+60℃，可全天侯野外工作测量参数测量范围精度模拟信号输出风速1-67m/s±0.3m/s4-20mA风向0-360°±1.5°温度-50-+65℃±0.3℃相对湿度0-100%(RH)±3%RH4-20mA气压800-1180hPa±0.5hPa2套机柜、采样、稳压电源等配套采样系统、机架、稳压电源等辅助设施设备用途：本次采购的SO2、NO2、CO、O3、PM2.5、PM10分析仪等设备所必要配备的采样系统、机架、稳压电源等辅助设施配置要求：协调监测设备形成完整的工作良好的系统技术参数：配套采样系统技术参数：a)采样头应能防止雨水、粗大颗粒物及昆虫等进入总管b)采样总管为多支路防水采样管路，材料应选用不与被监测污染物发生化学反应和不释放有干扰物质的材料，具备加热保温功能c)总管内径选择在1.5-15cm之间，采样总管内的气流应保持层流状态，气体在总管内的滞留时间小于20秒d)支管数量满足所有气态项目的需要e)采样管长度应能够保证高于站房房顶1.2米（保证采样不受周边障碍物影响）f)采样系统密封，与房体联接具有法兰或其他型式多级防渗水连接；与房体外联接的法兰必须为耐腐蚀和坚固不锈钢g)采样系统主管路为可拆卸式，在不影响房顶外部法兰连接和仪器端连接情况下方便拆洗维护机架技术参数：h)适当数量的立式机柜，散热性能良好，可容纳本次采购的SO2、NO2、CO、O3、PM2.5、PM10分析仪、零气发生器、校准仪、数采仪等仪器必要时也需要包括相应的其他配套设备i)使用机柜情况下，机柜采用航空级导轨抽拉连接装载仪器，方便拆卸仪器与清洗仪器内部管路，机柜后侧有纵向导轨汇总各仪器的电缆线路j)机柜有接地孔线，所有的连接管线、接头等应采用防腐材质，不与被测污染物发生化学反应稳压电源技术参数：k)稳压电源能够满足SO2、NO2、CO、O3、PM2.5、PM10分析仪、零气发生器、校准仪、数采仪等设备需求，确保上述仪器设备长期稳定运行，不受感应电影响跳变电压，稳压电源可负载超过5KW以上，供仪器正常使用，稳压电源接地3套中心站软件中心站软件l实时数据和历史数据查询功能：用户可随时查询某站点、某时刻的污染物和气象监测数据。l数据处理和报表功能:具有小时、日、月、季、年等均值数据形式及相应的曲线，并可进行打印输出。l空气质量日报和周报功能:具有某天或一周的空气污染指数（AQI）和污染指数历史记录。l仪器状态的查询功能:可实时查询各子站监测仪的工作状态，并可将各子站的停电记录、校准记录、仪器报警等状态信息记录下来。l遥控校时功能:可通过中心站遥控进行子站时间校准，使子站时间与中心站时间保持一致。l遥控校准:在中心控制室可对某个子站的监测仪进行遥控校准，使子站监测仪自动进行校零和校标操作。l多种数据格式的转换功能:监测数据可转换成文本、EXCEL、DBASE等文件格式输出。l界面美观:全中文操作界面，只要单击鼠标，即可完成全部工作。l操作日志记录功能:按时间顺序记录操作员对中心站软件的操作过程。1套能见度测定仪能见度测定仪l原理方法：光学方法l测量范围:10m～50kml测量精度：±15％l输出间隔:60秒；接口RS232长线驱动器（或按用户需求）l电源：电压AC220V（±10%）频率50±2Hzl温度：工作温度-45.0～+50.0℃l相对湿度:5%～95%RHl耐盐雾性：可在沿海地区使用1套站房12平米站房l站房样式：可拆卸彩钢板活动站房，面积4×3×2.65（长×宽×高）（站房外尺寸）l彩钢板厚度不小于0.5mml彩钢板喷涂工艺为：底层采用环氧树脂，面漆采用聚酯、硅改性聚酯工艺。l板材传热系数：0.38kcal/m2h℃l隔音量：20dBl站房底部要求：室内地面为瓷砖或木质地板；l站房房顶要求：密封不漏雨；承重500kg；l墙壁和屋顶材质：带隔热夹层彩钢板；板材厚度：100~150mm。l活动站房材料结构：瓦楞型窗结构，墙体材料应有较好的保温性能，并确保防尘、防水、防雨等。l站房采用平顶倾斜方式，便于排水。l安装的站房应保证抗12级台风。配电要求l站房内采用三相五线供电，入室处装有配电箱，配电箱内连接入室引线应分别装有三个单相15A空气开关作为三相电源的总开关，并安装电源过压、过载和漏电自动保护装置。压缩空气源采用三相五线供电。l站房内供仪器及空调使用的线路单股横截面积不得小于4平方毫米。l所有室内线路走线采用PVC材料护线槽保护。l子站应依照电工规范中的要求制作“保护地线”，用于机柜、仪器外壳等的接地保护，接地电阻应小于4Ω。l子站应装有照明灯，以保证操作人员工作时有足够的亮度。开关位置应在站房进门使用方便处。其它要求l站房内安装的冷暖式空调，所安装空调应具有来电自启动功能，空调的室外机要进行防盗、防雨处理；l站房装有报警式防盗门，配备防盗、自动灭火装置；l站房配备有打开后最大长度4米的折叠梯（折叠后长度2米）；l子站站房应安装有排气风扇，用于室内空气的换送；l子站应安装至少一个可供使用的直拨电话线插座，专门用于数据传输；l站房外壁不得有任何攀爬物；l子站采样亭附近应具有良好的避雷措施，并且要有良好的接地线路，接地电阻4Ω。2套

随着家用及类似场所用过电流保护断路器应用范围不断扩大,对此类断路器的性能要求也越来越严格，GB10963.1-2005《电气附件 家用及类似场所用过电流保护断路器 第1部分：用于交流的断路器》标准的要求，对家用及类似场所用过电流保护断路器产品的耐热性、耐异常发热和耐燃、温升试验及功耗测量、脱扣特性、运行短路能力等检验项目提出了较为严格的要求；每一年国家市场监督管理总局对家用及类似场所用过电流保护断路器产品质量国家监督抽查结果总会有很多企业的产品是不符合标准的规定。Delta德尔塔仪器针对GB10963.1-2005标准中28天（昼夜）试验专门设计研发了相应的28昼夜试验装置,通过实际试验验证断路器长期工作的可靠性。 2020年底，Delta德尔塔仪器接到天津电气科学研究院有限公司(原天津电气传动设计研究所)委托非标定制一款“断路器28昼夜及温升特性试验装置”，天津电传所老师对设备提出的要求如下，设备定制生产周期要求两个月内完成。本项目设备已经于2021年3月份顺利验收结束。 （Delta德尔塔仪器交付天津电传所&28昼夜及温升特性试验台） 1、设备概述： 1.1、总说明 本“采购技术要求”所要求采购的 28 周期试验装置用于“天津电气科学研究院有限公司低压元器件直流短路、交直流寿试验能力提升项目”。该设备以满足相关工程的试验能力为准，设备供应商为此可以进行必要的优化与性能提升，故最终技术数据以最终实际协商一致的数据为准。1.2 、供货范围： 本“采购技术要求”所要求的供货及服务范围包括：28周期试验装置的设计和制造与检验、运输、现场安装以及其他必要的售后服务和培训等。1.3、运行条件：海拔高度：≤1000m；环境温度：－10℃～＋45℃；z大日温差：≤25℃；日相对湿度平均值：≤95%；安装地点：户内；一般情况下仅有非导电性污染，必须考虑到凝露和潮湿引起的绝缘下降。2、性能要求：2.1、功能用途 依据国家标准GB10963.1中9.9款，对MCB进行28 天试验、断路器1.13~1.45倍延时脱扣试验，也适用于GB16916.1第9.22.1.5中1.25倍脱扣电流试验。兼顾产品做200A 以下的温升试验，环境温度、湿度本设备不包含。 2.2、技术标准： 本项目设备的设计、制造、试验等遵循以下标准，但不限于此，且下列相应标准号的标准在合同签订时有更新版本发布时，应满足该更新标准要求。（1）GB10963.1-2005 电气附件 家用及类似场所用过电流断路器 第 yi 部分：用于交流的断路器；（2）GB 10963.2-2008 家用及类似场所用过电流保护断路器第 2 部分:用于交流和直流的断路器；（3）GB16917.1-2014 家用和类似用途的带过电流保护的剩余电流动作断路器(RCBO)第 1 部分:一般规则；（4）GB14048.2-2008 低压开关设备和控制设备 第 2 部分:断路器。 3 、主要设备（部件）技术要求： 3.1 、电源构成： 本装置为三相电源，也可以作为 3 个单相回路进行检测。 3.2、关于输出电压的要求： 标准要求：电路的开路电压至少为 30V，分辨率不低于 0.1V。电源具备电容补偿， 以减少对实验室电源的容量要求。测试电流：0～200A 可长期连续工作，分辨率 0.1A。电流波形：正弦波。3.3、其他要求： 装置应配备稳流功能，配备 9 个工位的续流功能（即可同时进行 9 只 3 相试品的串联试验）。续流要求时间在 1～2s 内实现，并能防止续流后瞬间的电流过冲。装置应具备触摸屏或液晶显示器等元件用于电流显示和设定。标准规定在z后一个周期后需要将电流升到 1.45In，因此要求能够实现至少 2 段电流和时间设定，用于实现断路器特性检测 2 种电流的转换功能。2 个电流转换之间的时间应保证“5s 内稳定的从第yi个电流稳定的升到第二个电流”。3.4 、温升测量记录测试通道：54 通道；设备能带电测量：测量范围：0-200℃；温度传感器：镍铬—镍硅热电偶测量精度：0.2 级；温度曲线显示：具有温度数值以及曲线显示记录；系统应带记录温升的功能，在z后一个流过电流期间，应测量接线端子的温升。 3.5、安全配置：漏电保护，短路保护，过流保护，运行指示，试验结束指示，故障报警自动停机。 3.6 、其他要求 具有基于 Modbus RTU 或 Modbus TCP 通讯协议，可组成计算机控制的智能型设备。 4、安装与调试 在设备安装完毕后，需要根据相关设计文件和订货设备的技术资料，进行调试工作。调试前需确认技术资料完整、有效，与系统及设备实物状况一致，对备进行检查以及完好性和功能验证，也包括参数整定等。 天津电气科学研究院有限公司（原天津电气传动设计研究所）是原国家机械工业部直属研究所，现为中国机械工业集团有限公司所属科技型企业，主要从事电气传动自动化系统工程、中小型水力发电设备成套、低压电控配电装置和新能源电控设备的科研开发、生产制造和检测认证。自1954年8月成立以来，荣获了150余项省部级以上科技奖励，取得了近千项科技成果，承接了万余项国内外工程项目，见证了国家冶金、矿山、交通、国防、电力、石化等国民经济支柱行业的技术进步和产业发展。天津电传所是国家ji"国家电控配电设备产品质量监督检测中心"和部属 "中小型水力发电设备产品质量监督检测中心"的挂靠单位，所拥有的先进检测手段多年来承担着行业产品的试验、检验和认证任务，特别是低压配电产品强制性安全（3C）认证工作。依托于该所的"电气传动国家工程研究中心"拥有电气传动及自动化工程化系统和产业化产品的各类实验室，为国家电气传动工程化研究开发与工程化验证能力以及产业化开发提供了优越的科研条件，大大提高了国家电气传动及自动化行业的技术水平和装备水平。 Delta德尔塔仪器专业致力于为3C低压电器企业提供符合IEC 60898-1:2015+A1:2019 电气附件.家用和类似设施用的过电流保护断路器.第yi部分:交流操作断路器 《Electrical accessories - Circuit-breakers for overcurrent protection for household and similar installations - Part 1: Circuit-breakers for a.c. operation》、GB14048.1-2012《低压开关设备和控制设备 第yi部分：总则》、GB14048.2-2008《低压开关设备和控制设备 第yi部分：断路器》、GB10963.1-2005《电气附件-家用及类似场所用过电流保护 断路器 第yi部分：用于交流的断路器》、GB 10963.2-2008 《家用及类似场所用过电流保护断路器第 2 部分:用于交流和直流的断路器》、GB 16917.1-2014 《家用和类似用途的带过电流保护的剩余电流动作断路器（RCBO）第yi部分 一般规则》、IEC60947-1:2011《Low-votage switchgear and controlgear Part1:General rules》、IEC60947-2:2006《Low-votage switchgear and controlgear Part1:Circuit breakers》等标准的检测设备。 Delta德尔塔仪器为3C低压电器实验室提供以下项目的专业检测设备：低压断路器——检验项目及设备低压开关、隔离器、隔离开关及熔断器组合电器 ——检验项目及设备一般工作特性额定运行短路分断能力额定极限短路分断能力额定短时耐受电流带熔断器的断路器的性能综合试验耐湿热性能试验附录B剩余电流保护断路器附加试验附录C用于相地系统中的断路器附加试验附录F电子过电流保护断路器附加试验附录H用于IT系统中的断路器附加试验温升介电性能泄漏电流额定接通和分断能力操动器机构的强度操作性能额定短时耐受电流额定短路接通能力熔断器保护的短路耐受能力熔断器保护的短路接通能力耐湿热性能抗非正常热和着火危险过载试验接线端子机械性能电磁兼容(EMC)(如适用)低压机电式接触器和电动机起动器——检验项目及设备机电式控制电路电器——检验项目及设备耐湿性能耐非正常热和着火危险温升动作条件及动作范围介电性能额定接通和分断能力外壳防护等级(如适用)接线端子的机械性能接触器耐受过载电流能力约定操作性能短路条件下的性能电磁兼容(EMC)(如适用)辅助触头的通断能力和额定限制短路电流(如适用)保护功能报警功能控制功能(验证面板控制功能)热记忆功能故障记忆功能(验证面板显示)一般工作特性额定运行短路分断能力额定极限短路分断能力额定短时耐受电流带熔断器的断路器的性能综合试验耐湿热性能试验附录B剩余电流保护断路器附加试验附录C用于相地系统中的断路器附加试验附录F电子过电流保护断路器附加试验附录H用于IT系统中的断路器附加试验交流半导体电动机控制器和起动器——检验项目及设备控制和保护开关电器(设备)——检验项目及设备介电性能温升极限操作性能动作和动作范围混合式电器中串联的机械开关电器的接通和分断能力及约定操作性能短路条件下的性能接线端子的机械性能带外壳的控制器和起动器防护等级EMC的试验耐湿性能动作范围温升介电性能操作性能短路条件下的性能接通和分断能力电磁兼容性耐湿性能抗非正常热和着火危险外壳防护等级接近开关——检验项目及设备自动转换开关电器——检验项目及设备标志温升介电性能正常条件和非正常条件下开关元件的接通和分断能力限制短路电流性能结构要求防护等级动作距离操作频率电磁兼容性冲击耐受能力振动耐受能力耐湿性能抗非正常热和着火危险附录BII级封装绝缘的接近开关的附加试验具有整体连接电缆的接近开关的附加试验结构要求操作操作控制、程序及范围温升介电性能接通和分断能力操作性能能力短路接通能力短路分断能力短时耐受电流限制短路电流EMC耐湿性能抗非正常热和着火危险外壳防护等级设备用断路器 ——检验项目及设备家用及类似用途机电式接触器 ——检验项目及设备标志检查一般规则检查、机构检查电气间隙和爬电距离标志耐久性螺钉、载流部件及其连接的可靠性，连接外部导体的接线端子的可靠性防触电保护耐热耐异常发热和耐燃防锈介电性能温升28昼夜试验耐漏电起痕脱扣特性额定电流下的性能额定通断能力下的性能在规定的过电流条件下的性能限制短路电流能力温升试验动作与动作范围额定接通和分断能力介电性能约定操作性能耐湿性能过载电流耐受能力抗锈性能标志耐久性耐撞击性能检验电气间隙和爬电距离接线端子的机械性能安装、维修用螺钉和螺母性能验证耐热性能抗非正常热和着火危险试验耐漏电起痕耐老化性能外壳防护等级短路条件下的性能

近日，一台保险杠上长了8个“鼻孔”的怪车缓慢行驶在江北区读书梁附近，驾驶室内安装的一台电脑屏幕格外引人注目。这是我市正式投用的首台燃气泄漏检测车，只要用它“嗅一嗅”，就能快速检测出路面上发生燃气泄漏的地方。 　　“鼻孔”能辨不同气体 　　昨日上午10点，两名探测队员开着检测车从重庆燃气集团公司出发，沿建北二路一线进行巡查，检测车前端配备的8个探头垂落地表，持续不断地将路面上的气体输入后车厢内的工业计算机进行浓度分析，并将数据传输到副驾驶座前的显示屏，由工作人员进行监控。重庆市燃气集团管道公司探测科副科长袁昕介绍，检测车可以通过鉴别甲烷和乙烷的含量，分辨出天然气和沼气，方便工作人员及时排解安全隐患。 　　燃气泄漏检测车会报警 　　袁昕表示，如果有气体泄漏，燃气泄漏检测车会发出警报并立即计算浓度，在不影响安全的情况下，工作人员将气体采样并送到公司进行专门的气体成分分析。当确定是天然气泄漏后，调度中心会根据现场勘测的数据，及时派出抢险队队员和合适的仪器进行抢修。“如果发现危急情况，比如说气体浓度过高达到5%~15%的爆炸临界点，就会立即用车载仪器进行气体成分分析，及时将数据传回调度室。” 　　此外，车上还配备了手持检测仪，可将采集的气体样本进行更为精确的浓度分析。 　　主城管道10天就检测完 　　据悉，目前燃气集团共引进了两台燃气泄漏检测车，全面检测主城燃气管道。据袁昕称，以前靠人工作业每人每小时最多只能检测两公里，工作辛苦且统计数据繁琐，容易出现重复劳动，无法满足现实需求，而现在的检测车每天工作5~6小时，可以检测50~80公里管线，主城天然气管道10天就可以检测完毕。 　　加气站缺气随时能调配 　　据了解，除燃气泄漏检测车外，重庆燃气集团还配备了信息化管理系统，保证高峰期供气。记者昨日在重庆燃气集团调度中心看到，大屏幕上正显示着各加气站实时情况。 　　“我们会根据大屏幕上的实时监控图，调配各个CNG加气站的供气量。”调度中心副总调度长刘革伟表示，虽然目前市民用气基本得到满足，但出租车交班前后仍是加气高峰期，有排队现象。“如果出现了这种情况，调度中心会临时采取调配。”此外，重庆燃气集团抢险科还有100多人24小时坚守岗位，随时准备出动解决燃气泄漏事故。

摘要随着对性能优于硅基器件的碳化硅（SiC）功率器件的需求不断增长，碳化硅制造工艺的高成本和低良率是尚待解决的最紧迫问题。研究表明，SiC器件的性能很大程度上受到晶体生长过程中形成的所谓杀手缺陷（影响良率的缺陷）的影响。在改进降低缺陷密度的生长技术的同时，能够识别和定位缺陷的生长后检测技术已成为制造过程的关键必要条件。在这篇综述文章中，我们对碳化硅缺陷检测技术以及缺陷对碳化硅器件的影响进行了展望。本文还讨论了改进现有检测技术和降低缺陷密度的方法的潜在解决方案，这些解决方案有利于高质量SiC器件的大规模生产。前言由于电力电子市场的快速增长，碳化硅（SiC，一种宽禁带半导体）成为开发用于电动汽车、航空航天和功率转换器的下一代功率器件的有前途的候选者。与由硅或砷化镓（GaAs）制成的传统器件相比，基于碳化硅的电力电子器件具有多项优势。表1显示了SiC、Si、GaAs以及其他宽禁带材料（如GaN和金刚石）的物理性能的比较。由于具有宽禁带（4H-SiC为~3.26eV），基于SiC器件可以在更高的电场和更高的温度下工作，并且比基于Si的电力电子器件具有更好的可靠性。SiC还具有优异的导热性（约为Si的三倍），这使得SiC器件具有更高的功率密度封装，具有更好的散热性。与硅基功率器件相比，其优异的饱和电子速度（约为硅的两倍）允许更高的工作频率和更低的开关损耗。SiC优异的物理特性使其非常有前途地用于开发各种电子设备，例如具有高阻断电压和低导通电阻的功率MOSFET，以及可以承受大击穿场和小反向漏电流的肖特基势垒二极管（SBD）。性质Si3C-SiC4H-SiCGaAsGaN金刚石带隙能量（eV）1.12.23.261.433.455.45击穿场（106Vcm−1)0.31.33.20.43.05.7导热系数（Wcm−1K−1)1.54.94.90.461.322饱和电子速度（107cms−1)1.02.22.01.02.22.7电子迁移率（cm2V−1s−1)150010001140850012502200熔点（°C）142028302830124025004000表1电力电子用宽禁带半导体与传统半导体材料的物理特性（室温值）对比提高碳化硅晶圆质量对制造商来说很重要，因为它直接决定了碳化硅器件的性能，从而决定了生产成本。然而，低缺陷密度的SiC晶圆的生长仍然非常具有挑战性。最近，碳化硅晶圆制造的发展已经完成了从100mm（4英寸）到150mm（6英寸）晶圆的艰难过渡。SiC需要在高温环境中生长，同时具有高刚性和化学稳定性，这导致生长的SiC晶片中存在高密度的晶体和表面缺陷，导致衬底和随后制造的外延层质量差。图1总结了SiC中的各种缺陷以及这些缺陷的工艺步骤，下一节将进一步讨论。图1SiC生长过程示意图及各步骤引起的各种缺陷各种类型的缺陷会导致设备性能不同程度的劣化，甚至可能导致设备完全失效。为了提高良率和性能，在设备制造之前检测缺陷的技术变得非常重要。因此，快速、高精度、无损的检测技术在碳化硅生产线中发挥着重要作用。在本文中，我们将说明每种类型的缺陷及其对设备性能的影响。我们还对不同检测技术的优缺点进行了深入的讨论。这篇综述文章中的分析不仅概述了可用于SiC的各种缺陷检测技术，还帮助研究人员在工业应用中在这些技术中做出明智的选择（图2）。表2列出了图2中检测技术和缺陷的首字母缩写。图2可用于碳化硅的缺陷检测技术表2检测技术和缺陷的首字母缩写见图SEM：扫描电子显微镜OM：光学显微镜BPD：基面位错DIC：微分干涉对比PL：光致发光TED：螺纹刃位错OCT：光学相干断层扫描CL：阴极发光TSD：螺纹位错XRT：X射线形貌术拉曼：拉曼光谱SF：堆垛层错碳化硅的缺陷碳化硅晶圆中的缺陷通常分为两大类：（1）晶圆内的晶体缺陷和（2）晶圆表面处或附近的表面缺陷。正如我们在本节中进一步讨论的那样，晶体学缺陷包括基面位错（BPDs）、堆垛层错（SFs）、螺纹刃位错（TEDs）、螺纹位错（TSDs）、微管和晶界等，横截面示意图如图3（a）所示。SiC的外延层生长参数对晶圆的质量至关重要。生长过程中的晶体缺陷和污染可能会延伸到外延层和晶圆表面，形成各种表面缺陷，包括胡萝卜缺陷、多型夹杂物、划痕等，甚至转化为产生其他缺陷，从而对器件性能产生不利影响。图3SiC晶圆中出现的各种缺陷。（a）碳化硅缺陷的横截面示意图和（b）TEDs和TSDs、（c）BPDs、（d）微管、（e）SFs、（f）胡萝卜缺陷、（g）多型夹杂物、（h）划痕的图像生长在4°偏角4H-SiC衬底上的SiC外延层是当今用于各种器件应用的最常见的晶片类型。在4°偏角4H-SiC衬底上生长的SiC外延层是当今各种器件应用中最常用的晶圆类型。众所周知，大多数缺陷的取向与生长方向平行，因此，SiC在SiC衬底上以4°偏角外延生长不仅保留了下面的4H-SiC晶体，而且使缺陷具有可预测的取向。此外，可以从单个晶圆上切成薄片的晶圆总数增加。然而，较低的偏角可能会产生其他类型的缺陷，如3C夹杂物和向内生长的SFs。在接下来的小节中，我们将讨论每种缺陷类型的详细信息。晶体缺陷螺纹刃位错（TEDs）、螺纹位错（TSDs）SiC中的位错是电子设备劣化和失效的主要来源。螺纹刃位错（TSDs）和螺纹位错（TEDs）都沿生长轴运行，Burgers向量分别为和1/3。TSDs和TEDs都可以从衬底延伸到晶圆表面，并带来小的凹坑状表面特征，如图3b所示。通常，TEDs的密度约为8000-10,0001/cm2，几乎是TSDs的10倍。扩展的TSDs，即TSDs从衬底延伸到外延层，可能在SiC外延生长过程中转化为基底平面上的其他缺陷，并沿生长轴传播。Harada等人表明，在SiC外延生长过程中，TSDs被转化为基底平面上的堆垛层错（SFs）或胡萝卜缺陷，而外延层中的TEDs则被证明是在外延生长过程中从基底继承的BPDs转化而来的。基面位错（BPDs）另一种类型的位错是基面位错（BPDs），它位于SiC晶体的平面上，Burgers矢量为1/3。BPDs很少出现在SiC晶圆表面。它们通常集中在衬底上，密度为15001/cm2，而它们在外延层中的密度仅为约101/cm2。Kamei等人报道，BPDs的密度随着SiC衬底厚度的增加而降低。BPDs在使用光致发光（PL）检测时显示出线形特征，如图3c所示。在SiC外延生长过程中，扩展的BPDs可能转化为SFs或TEDs。微管在SiC中观察到的常见位错是所谓的微管，它是沿生长轴传播的空心螺纹位错，具有较大的Burgers矢量分量。微管的直径范围从几分之一微米到几十微米。微管在SiC晶片表面显示出大的坑状表面特征。从微管发出的螺旋，表现为螺旋位错。通常，微管的密度约为0.1–11/cm2，并且在商业晶片中持续下降。堆垛层错（SFs）堆垛层错(SFs)是SiC基底平面中堆垛顺序混乱的缺陷。SFs可能通过继承衬底中的SFs而出现在外延层内部，或者与扩展BPDs和扩展TSDs的变换有关。通常，SFs的密度低于每平方厘米1个，并且通过使用PL检测显示出三角形特征,如图3e所示。然而，在SiC中可以形成各种类型的SFs，例如Shockley型SFs和Frank型SFs等，因为晶面之间只要有少量的堆叠能量无序可能导致堆叠顺序的相当大的不规则性。点缺陷点缺陷是由单个晶格点或几个晶格点的空位或间隙形成的，它没有空间扩展。点缺陷可能发生在每个生产过程中，特别是在离子注入中。然而，它们很难被检测到，并且点缺陷与其他缺陷的转换之间的相互关系也是相当的复杂，这超出了本文综述的范围。其他晶体缺陷除了上述各小节所述的缺陷外，还存在一些其他类型的缺陷。晶界是两种不同的SiC晶体类型在相交时晶格失配引起的明显边界。六边形空洞是一种晶体缺陷，在SiC晶片内有一个六边形空腔，它已被证明是导致高压SiC器件失效的微管缺陷的来源之一。颗粒夹杂物是由生长过程中下落的颗粒引起的，通过适当的清洁、仔细的泵送操作和气流程序的控制，它们的密度可以大大降低。表面缺陷胡萝卜缺陷通常，表面缺陷是由扩展的晶体缺陷和污染形成的。胡萝卜缺陷是一种堆垛层错复合体，其长度表示两端的TSD和SFs在基底平面上的位置。基底断层以Frank部分位错终止，胡萝卜缺陷的大小与棱柱形层错有关。这些特征的组合形成了胡萝卜缺陷的表面形貌，其外观类似于胡萝卜的形状，密度小于每平方厘米1个，如图3f所示。胡萝卜缺陷很容易在抛光划痕、TSD或基材缺陷处形成。多型夹杂物多型夹杂物，通常称为三角形缺陷，是一种3C-SiC多型夹杂物，沿基底平面方向延伸至SiC外延层表面，如图3g所示。它可能是由外延生长过程中SiC外延层表面上的下坠颗粒产生的。颗粒嵌入外延层并干扰生长过程，产生了3C-SiC多型夹杂物，该夹杂物显示出锐角三角形表面特征，颗粒位于三角形区域的顶点。许多研究还将多型夹杂物的起源归因于表面划痕、微管和生长过程的不当参数。划痕划痕是在生产过程中形成的SiC晶片表面的机械损伤，如图3h所示。裸SiC衬底上的划痕可能会干扰外延层的生长，在外延层内产生一排高密度位错，称为划痕，或者划痕可能成为胡萝卜缺陷形成的基础。因此，正确抛光SiC晶圆至关重要，因为当这些划痕出现在器件的有源区时，会对器件性能产生重大影响。其他表面缺陷台阶聚束是SiC外延生长过程中形成的表面缺陷，在SiC外延层表面产生钝角三角形或梯形特征。还有许多其他的表面缺陷，如表面凹坑、凹凸和污点。这些缺陷通常是由未优化的生长工艺和不完全去除抛光损伤造成的，从而对器件性能造成重大不利影响。检测技术量化SiC衬底质量是外延层沉积和器件制造之前必不可少的一步。外延层形成后，应再次进行晶圆检查，以确保缺陷的位置已知，并且其数量在控制之下。检测技术可分为表面检测和亚表面检测，这取决于它们能够有效地提取样品表面上方或下方的结构信息。正如我们在本节中进一步讨论的那样，为了准确识别表面缺陷的类型，通常使用KOH（氢氧化钾）通过在光学显微镜下将其蚀刻成可见尺寸来可视化表面缺陷。然而，这是一种破坏性的方法，不能用于在线大规模生产。对于在线检测，需要高分辨率的无损表面检测技术。常见的表面检测技术包括扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、光学显微镜（OM）和共聚焦微分干涉对比显微镜（CDIC）等。对于亚表面检测，常用的技术包括光致发光（PL）、X射线形貌术（XRT）、镜面投影电子显微镜（MPJ）、光学相干断层扫描（OCT）和拉曼光谱等。在这篇综述中，我们将碳化硅检测技术分为光学方法和非光学方法，并在以下各节中对每种技术进行讨论。非光学缺陷检测技术非光学检测技术，即不涉及任何光学探测的技术，如KOH蚀刻和TEM，已被广泛用于表征SiC晶圆的质量。这些方法在检测SiC晶圆上的缺陷方面相对成熟和精确。然而，这些方法会对样品造成不可逆转的损坏，因此不适合在生产线中使用。虽然存在其他非破坏性的检测方法，如SEM、CL、AFM和MPJ，但这些方法的通量较低，只能用作评估工具。接下来，我们简要介绍上述非光学技术的原理。还讨论了每种技术的优缺点。透射电子显微镜（TEM）透射电子显微镜（TEM）可用于以纳米级分辨率观察样品的亚表面结构。透射电镜利用入射到碳化硅样品上的加速电子束。具有超短波长和高能量的电子穿过样品表面，从亚表面结构弹性散射。SiC中的晶体缺陷，如BPDs、TSDs和SFs，可以通过TEM观察。扫描透射电子显微镜（STEM）是一种透射电子显微镜，可以通过高角度环形暗场成像（HAADF）获得原子级分辨率。通过TEM和HAADF-STEM获得的图像如图4a所示。TEM图像清晰地显示了梯形SF和部分位错，而HAADF-STEM图像则显示了在3C-SiC中观察到的三种SFs。这些SFs由1、2或3个断层原子层组成，用黄色箭头表示。虽然透射电镜是一种有用的缺陷检测工具，但它一次只能提供一个横截面视图，因此如果需要检测整个碳化硅晶圆，则需要花费大量时间。此外，透射电镜的机理要求样品必须非常薄，厚度小于1μm，这使得样品的制备相当复杂和耗时。总体而言，透射电镜用于了解缺陷的基本晶体学，但它不是大规模或在线检测的实用工具。图4不同的缺陷检测方法和获得的缺陷图像。（a）SFs的TEM和HAADF图像；（b）KOH蚀刻后的光学显微照片图像；（c）带和不带SF的PL光谱，而插图显示了波长为480nm的单色micro-PL映射；（d）室温下SF的真彩CLSEM图像；（e）各种缺陷的拉曼光谱；（f）微管相关缺陷204cm−1峰的微拉曼强度图KOH蚀刻KOH蚀刻是另一种非光学技术，用于检测多种缺陷，例如微管、TSDs、TEDs、BDPs和晶界。KOH蚀刻后形成的图案取决于蚀刻持续时间和蚀刻剂温度等实验条件。当将约500°C的熔融KOH添加到SiC样品中时，在约5min内，SiC样品在有缺陷区域和无缺陷区域之间表现出选择性蚀刻。冷却并去除SiC样品中的KOH后，存在许多具有不同形貌的蚀刻坑，这些蚀刻坑与不同类型的缺陷有关。如图4b所示，位错产生的大型六边形蚀刻凹坑对应于微管，中型凹坑对应于TSDs，小型凹坑对应于TEDs。KOH刻蚀的优点是可以一次性检测SiC样品表面下的所有缺陷，制备SiC样品容易，成本低。然而，KOH蚀刻是一个不可逆的过程，会对样品造成永久性损坏。在KOH蚀刻后，需要对样品进行进一步抛光以获得光滑的表面。镜面投影电子显微镜（MPJ）镜面投影电子显微镜（MPJ）是另一种很有前途的表面下检测技术，它允许开发能够检测纳米级缺陷的高通量检测系统。由于MPJ反映了SiC晶圆上表面的等电位图像，因此带电缺陷引起的电位畸变分布在比实际缺陷尺寸更宽的区域上。因此，即使工具的空间分辨率为微米级，也可以检测纳米级缺陷。来自电子枪的电子束穿过聚焦系统，均匀而正常地照射到SiC晶圆上。值得注意的是，碳化硅晶圆受到紫外光的照射，因此激发的电子被碳化硅晶圆中存在的缺陷捕获。此外，SiC晶圆带负电，几乎等于电子束的加速电压，使入射电子束在到达晶圆表面之前减速并反射。这种现象类似于镜子对光的反射，因此反射的电子束被称为“镜面电子”。当入射电子束照射到携带缺陷的SiC晶片时，缺陷的带负电状态会改变等电位表面，导致反射电子束的不均匀性。MPJ是一种无损检测技术，能够对SiC晶圆上的静电势形貌进行高灵敏度成像。Isshiki等人使用MPJ在KOH蚀刻后清楚地识别BPDs、TSDs和TEDs。Hasegawa等人展示了使用MPJ检查的BPDs、划痕、SFs、TSDs和TEDs的图像，并讨论了潜在划痕与台阶聚束之间的关系。原子力显微镜（AFM）原子力显微镜（AFM）通常用于测量SiC晶圆的表面粗糙度，并在原子尺度上显示出分辨率。AFM与其他表面检测方法的主要区别在于，它不会受到光束衍射极限或透镜像差的影响。AFM利用悬臂上的探针尖端与SiC晶圆表面之间的相互作用力来测量悬臂的挠度，然后将其转化为与表面缺陷特征外观成正比的电信号。AFM可以形成表面缺陷的三维图像，但仅限于解析表面的拓扑结构，而且耗时长，因此通量低。扫描电子显微镜（SEM）扫描电子显微镜（SEM）是另一种广泛用于碳化硅晶圆缺陷分析的非光学技术。SEM具有纳米量级的高空间分辨率。加速器产生的聚焦电子束扫描SiC晶圆表面，与SiC原子相互作用，产生二次电子、背散射电子和X射线等各种类型的信号。输出信号对应的SEM图像显示了表面缺陷的特征外观，有助于理解SiC晶体的结构信息。但是，SEM仅限于表面检测，不提供有关亚表面缺陷的任何信息。阴极发光（CL）阴极发光（CL）光谱利用聚焦电子束来探测固体中的电子跃迁，从而发射特征光。CL设备通常带有SEM，因为电子束源是这两种技术的共同特征。加速电子束撞击碳化硅晶圆并产生激发电子。激发电子的辐射复合发射波长在可见光谱中的光子。通过结合结构信息和功能分析，CL给出了样品的完整描述，并直接将样品的形状、大小、结晶度或成分与其光学特性相关联。Maximenko等人显示了SFs在室温下的全彩CL图像，如图4d所示。不同波长对应的SFs种类明显，CL发现了一种常见的单层Shockley型堆垛层错，其蓝色发射在~422nm，TSD在~540nm处。虽然SEM和CL由于电子束源而具有高分辨率，但高能电子束可能会对样品表面造成损伤。基于光学的缺陷检测技术为了在不损失检测精度的情况下实现高吞吐量的在线批量生产，基于光学的检测方法很有前途，因为它们可以保存样品，并且大多数可以提供快速扫描能力。表面检测方法可以列为OM、OCT和DIC，而拉曼、XRT和PL是表面下检测方法。在本节中，我们将介绍每种检测方法的原理，这些方法如何应用于检测缺陷，以及每种方法的优缺点。光学显微镜（OM）

天眼查显示，芯恩(青岛)集成电路有限公司近日取得一项名为“晶圆承载装置和半导体检测系统”的专利，授权公告号为CN221176194U，授权公告日为2024年6月18日，申请日为2023年11月10日。 背景技术在半导体制程过程中，需要利用一种量测机台通过电容-电压特性曲线即CV特性曲线来检测晶圆的等效电容厚度(CET)、表面损伤(PDM)、表面势垒电压(VSB)、表面界面态密度(LI)等相关参数，以此来表征晶圆表面膜即介电质层的质量。晶圆检测仪(Semiconductor Diagnostics Inc，SDI)是利用电晕枪将电荷激发在晶圆即介电质层的表面，同时用非接触式振动探针来测量表面电压，并作CV特性曲线进而分析其晶圆表面膜的质量。在SDI的实际量测过程中，如图1和图2所示，电晕枪10激发出的电荷11会打在放置在承载台12上的晶圆13的表面，但在晶圆边缘14处的部分电荷11会发生偏移，导致电荷11出现在晶圆边缘14外。晶圆边缘14因电荷11丢失容易引起漏电，从而导致量测数据异常。因此，有必要提供一种新型的晶圆承载装置和半导体检测系统以解决现有技术中存在的上述问题。现有技术中的电晕枪激发出的电荷在晶圆边缘处发生偏移的侧视示意图电晕枪激发出的电荷在晶圆边缘处发生偏移的俯视示意图专利说明据专利摘要显示，本实用新型提供了一种晶圆承载装置和半导体检测系统，晶圆承载装置包括晶圆承载台和磁性件；晶圆承载台用于承载待检测晶圆；磁性件设有若干个，若干个磁性件间隔围设于晶圆承载台，磁性件由N极和S极相邻设置而成，任意一个磁性件沿顺时针围设方向或逆时针围设方向均为S极到N极排列，以使若干个磁性件形成环形磁场，待检测晶圆位于环形磁场内，磁性件利用环形磁场对电荷的洛伦兹力，使偏移于待检测晶圆的边缘外的至少部分电荷返回于待检测晶圆的表面。本实用新型避免了待检测晶圆的边缘处的电荷丢失，解决了电晕放电单元打到待检测晶圆的边缘处的电荷丢失而引起漏电，导致量测数据异常的问题。本实用新型第一种实施例中晶圆承载装置的侧视示意图本实用新型的实施例中电荷在待检测晶圆的边缘的俯视示意图

PartMiner宣布在中国深圳成立质量检测中心。该中心将对采购的电子元器件进行筛选和检测，包括被动元件、主动元件、低密度IC，以及高密度IC等。此外，该中心也将负责PartMiner在中国的仓储与物流运营。 　　PartMiner质量检测中心所提供的检测与筛选服务包括元器件真假辨别、法规符合检验(WEEE、无铅、RoHS)、功能和特征测试、烘烤性和可焊性方面的测试。其它测试服务，比如对X射线和解封的检测，也可由PartMiner当地的合作伙伴提供。该中心的部分检测设备包括LCR测试仪、逻辑IC测试仪、漏电测试仪、显微镜、可编程曲线跟踪仪、工业级数码相机、闪光测试台和烘箱等。可对所检测元器件提供详细的分析报告。 　　PartMiner CEO David Churchill说道：“新的质量检测中心是为保持我们所采购的电子元器件高质量计划中的一部分。而对该中心的巨额投资表明我们对客户的一贯承诺，为客户从全球市场采购到质量可靠的电子元器件产品。” 　　PartMiner质量检测中心将由Miles Wang负责管理，并由经验丰富的元器件测试工程师团队提供技术支持。