特征设备检测

中图仪器WD4000半导体晶圆多维度几何形貌特征检测设备通过非接触测量，将晶圆的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度，TTV，BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。WD4000半导体晶圆多维度几何形貌特征检测设备系统自动测量 Wafer 厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时生成Mapping图；2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数；3、基于白光干涉图的光谱分析仪，通过数值七点相移算法计算，达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度，实现膜厚测量功能；4、红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），可适用于测量BondingWafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度，包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。测量功能1、厚度测量模块：厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等； 2、显微形貌测量模块：粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等；粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数；结构分析包括孔洞体积和波谷。WD4000半导体晶圆多维度几何形貌特征检测设备兼容不同材质不同粗糙度、可测量大翘曲wafer、测量晶圆双面数据更准确。可实现砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、玻璃不同材质晶圆的量测。产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组，使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术（1）采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。 （2）搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘，晶圆规格可支持至12寸。（3）采用Mapping跟随技术，可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术（1）采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法，Z向分辨率高可到0.1nm；（2）隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声，获得高测量重复性。（3）机器视觉技术检测图像Mark点，虚拟夹具摆正样品，可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台（1）大行程龙门结构(400x400x75mm)，移动速度500mm/s。（2）高精度花岗岩基座和横梁，整体结构稳定、可靠。（3）关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动，搭配分辨率0.1μm的光栅系统，保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧（1）集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。（2）具备双重防撞设计，避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。（3）具备电动物镜切换功能，让观察变得快速和简单。无图晶圆厚度、翘曲度的测量 通过非接触测量，将晶圆上下面的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV)，有效保护膜或图案的晶片的完整性。无图晶圆粗糙度测量Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像，用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片，细磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次测量数据计算重复性为0.046987nm，测量稳定性良好。部分技术规格品牌CHOTEST中图仪器型号WD4000系列测量参数厚度、TTV(总体厚度变化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等可测材料砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、 铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、外延材料等厚度和翘曲度测量系统可测材料砷化镓 氮化镓 磷化 镓 锗 磷化铟 铌酸锂 蓝宝石 硅 碳化硅 玻璃等测量范围150μm~2000μm扫描方式Fullmap面扫、米字、自由多点测量参数厚度、TTV(总体厚度变 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、线粗糙度三维显微形貌测量系统测量原理白光干涉干涉物镜10X(2.5X、5X、20X、50X,可选多个)可测样品反射率0.05%~100粗糙度RMS重复性0.005nm测量参数显微形貌 、线/面粗糙度、空间频率等三大类300余种参数膜厚测量系统测量范围90um(n= 1.5)景深1200um最小可测厚度0.4um红外干涉测量系统光源SLED测量范围37-1850um晶圆尺寸4"、6"、8"、12"晶圆载台防静电镂空真空吸盘载台X/Y/Z工作台行程400mm/400mm/75mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

PAMS及厂界特征因子监测方案--斯特林一体式深冷核心技术该方案是专门应对环境空气中PAMS以及厂界PAMS特征因子监测而设计的在线监测设备。其符合HJ 1010-2018 《环境空气挥发性有机物气相色谱连续监测系统技术要求及检测方法》标准要求。环境空气通过采样系统采集，其中的VOCs（挥发性有机化合物）在低温条件下，可被在线冷阱系统捕集中，然后冷阱系统快速升温，将VOCs送入分析系统进行分离检测，结果可实时显示在界面上。性能特点：在线冷阱系统特点：采用斯特林一体式深冷核心技术，冷阱低温可达-130℃? 无需液体制冷剂，整体功耗低，提高运行效率；微捕集闪蒸机构，最高150℃/s升温速率 ? 避免峰型展宽及结果误差；专用冷阱模块? 免更换，性能稳定，适合在线应用；阀体、流路高精度温控控制，样品管路全程惰性化? 确保样品无残留。分析系统特点：无需两台设备，采用中心切割技术，一次进样分析57种PAMS挥发性有机物；C2-C3组分不流失线性良好；系统整体无需更换冷阱、无需更换液氮，适合在线连续运行。系统原理示意图应用实例：C2-C5 组分C6-C12 组分C2-C5 组分线性相关系数R2均在0.995以上应用范围：城市及周边空气质量监测、重点行业、化工、包装等污染行业VOCs排放监督、针对工厂偷排，在线监控等......

电厂特征量在线检测系统莱克舒特ctrlsys4800 电厂真空查漏 空冷岛查漏 气体泄漏 机械探伤 气密性 阀门内漏 漏电 温度 转速 量化分析 “特征量”检测技术介绍 科技精品 世界首创 昆山汉吉龙测控技术提供的LEAKSHOOTER“特征量”检测技术是世界范围内弱小信号检测领域的技术，已在美国航空航天和军事领域普通应用。该项技术针对被检设备声音中所承载的信息进行研究，建立在“特征量的提取、分析、处理”理论基础上，使弱小信号检测彻底摆脱了传统的检测模式。利用该技术所研制的检测产品填补了弱小信号检测领域的空白。正是“特征量”检测技术具有的独特性，使得该项技术在正负微量气体泄漏，机械传动设备的在线动态探伤、容器的气密性、阀门内漏、输变电及电气设备的漏电、温度和转速测量等方面具有强大的能力，在军工、电力、船舶、石油化工等领域取得非常好的成绩。 法国莱克舒特特征量在线检测系统七大功能、十大特点：一、功能强大：可检测正负压微量气体泄漏、机械传动设备的在线 电及电气设备的漏电、温度和转速测量等七大功能。二、数字化检测:测量过程和结果均以数字化形式即时、准确地显示 每名检测人员都可以得到重复性的测量结果，可储存测量数据。三、智能分析:专业分析软件，配合庞大的数据库，评估机械传动设备 四、灵敏度高:可快速准确定位微小气体的漏电（漏量≤1PaM3/S).五、抗干扰：可在嘈杂工作环境下，准确撷取所需信号。六、在线检测:可完成机械传动设备的在线动态探伤、输变电及电气设备七、远距离检测:可完成远距离气体泄漏检测，输变电线路漏电检测八、操作简便：不需要专家和专业工具，所有操作可单人完成。九、坚固耐用：氟化有机硅耐碳氢化合物橡皮外壳，通过了3米坠落破坏性十、环保型检测：检测过程无任何污染。 产品介绍检测仪主机及相关附件八方向信号发生器及其相关附件 （1）主机 功能：多功能超声波探测仪 显示器：高分辨率，带背光LCD.128*64像素 键盘：12个功能键 内置传感器：超声波传感器、红外温度传感器（选购） 外部传感器：通过特殊的连接器连接（lemo7插头连接） 数据记录器：法国莱克舒特适用于超声分析UAS分析软件 -10000+静态数据的测量节点 -动态测量：13分钟，例如,260次3秒记录 通讯:USB接口 数据转移软件：超声分析软件UAS 电池组（*）：可充电电池类型：8电芯，4、8伏，4、4Ah 使用寿命：500-1000次充/放电循环 用电时间：背光关闭时，使用8小时 充电时间:6小时 保护：短路、反极性和温度保护 自动关机：预设时间后自动关机 工作温度：-15°Cto +60°C 防护外壳材料：轧制铝材 重量：830克/29.3盎司。（包括电池、皮套） 尺寸：226*90*40mm 橡皮保护套：氟化有机硅耐氢化合物 耳机：130dB噪音隔离 （2）电池充电器 充电器类型：法国莱克舒特专用镍氢电池充电器 电源：220VAC or 110VAC+15%/-10% 50/60Hz 输出电压：+4.0 or 8.5VDC( 取决于操作模式） 电流：电流为1000mA 保护：保护温度，设置60°C/140°F 状态指示：绿色LED持续闪烁：表示电池完全充电完成 绿色LED均匀闪烁：表示正常充电 红光每5秒闪烁1次：表示电池电压误差 红光每5秒闪烁2次：表示温度误差 红光每5秒闪烁3次：表示超时充电完成，暂停充电 红光每5秒闪烁4次：表示暂停快速充电 红光每5秒闪烁5次：表示暂停激活充电 红光每5秒闪烁6次：表示1Wire通信错误 ：双绝缘 ：300克/10.6盎司 ：PPE （3传感器类型：内置US传感器 带宽：±2kHz at-6dB 中心频率：40kHz±1kHz 灵敏度：-65dB/V/ubar at 40 kHz 传感器类型：红外线温度传感器 温度测量精度：±0.5°C to ±4°C 测量分辨率：0.1°C 类型：光学转速传感器 范围：10 to 99999 转/分钟 ：测量值的±1位数的0.1% (4)柔性传感器 传感器类型：开发式传感器 带宽：±2kHz at-6dB 中心频率：40kHz±1kHz 灵敏度：-65dB/V/ubar at 40 kH 长度：550mm或820mm(不含电缆线） 感测器头部直径：外径20mm,内径16mm 电缆长度：卷0.5m to 2m (5）针形RS1-1接触式传感器 传感器类型：谐振式接触型传感器 中心频率@20°C:40kHz±1kHz RMS灵敏度（从36.4至40.4千赫）：9.7mV/g±2dB 中心频率温度灵敏度：-12Hz/°C(typical) 温度范围：-10°C to +40°C 尺寸：直径36mm*183mm 重量：205g (6) 蝶形传感器 传感器类型：蝶形集音器 带宽:2 kHz at -6dB 中心频率：40 kHz±1 kHz 测量增益：±25dBuV 精度：-10dBUV TO 120dBuV 测量分辨率：0.1dBuV 信噪比：-9dBuV typical 激光功率：≤2.5mW由按钮激活 激光光斑尺寸：±6mm at 5m 工作温度：±10°C to +40°C 蝶形面板材料：导电复合ABS 手柄材料：防滑手柄包覆铝层 重量：965g （7）磁性座 功能：与“螺纹RS1接触式传感器”配合使用 工作温度：-20°C to +80°C 重量：35g 牵引力：4Kg 直径：28mm （8）螺纹RS1接触式传感器 传感器类型:谐振式接触型传感器 带宽：2 kHz at -6dB 中心频率：40 kHz±3 kHz灵敏度：-73dB/V/ubar at 40 kHz 工作温度：-20°C to +150°C 重量：90g 螺纹：M6*15 直径：28mm 电缆长度：卷0.5m to 2m (9) 单方向超声波发生器 功能：单方向超声波发生器 超声波发生器频率：39.2kHz或39.6kHz 超声波发生器功率：200mW 超声波发生器角度：60° 内部电池：9.6V 110mAh 镍隔电池 用电时间：温度在20°C时，用电时间约为4小时 充电时间：6小时 产品功能● 可检测任何气体泄漏检测，压缩空气、氧气、氮气和蒸汽系统的泄漏检测 ● 真空系统负压泄漏/阀门内漏检测/热交换机/锅炉/冷凝器泄漏检测 ● 电气设备局部放电检测/开关柜局部放电/电晕产生的高电压绝缘子缺陷造成的局放检测 ● 气密性/密封性，压力容器及需要密封的环境（例如：列车/飞机/航空设备/潜艇/汽车等等） ● 机械领域中的有缺陷轴承/齿轮箱等预知性维修等检测● 温度检测/蒸汽疏水阀泄漏检测/机械损伤听诊功能