超高真空探针台

APT（atom probe tomography）技术是目前定量分析纳米尺度不同元素原子分布最微观的先进技术。图1是三位原子探针工作原理示意图，如图所示，采集数据时，样品分析室必须达到超高真空（一般小于10[sup]-8[/sup]Pa的真空度），然后将样品冷却至低温（20-80K，取决于样品性质），以减小样品中原子的热振动。样品作为阳极接入1-15KV正高压，使样品尖端原子处于待电离状态。在样品尖端叠加脉冲电压或脉冲激光后，其表面原子就会电离并蒸发。用飞行时间质谱仪（time of flight, TOF）测定蒸发离子的质量/电荷比值，从而得到该离子的质谱峰以确定其元素种类。用位置敏感探头记录飞行离子在样品尖端表面的二维坐标，通过离子在纵向的逐层累积，确定该离子的纵向坐标，进而给出不同元素原子的三维空间分布图像。图1为上海大学三维原子探针仪器示意图。[align=center][img=,515,315]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707051546_01_2423358_3.png[/img][/align][align=center][b]图1 三维原子探针实验仪器图[/b][/align]APT式样的制备要求也很高，具体如下：首先，利用电火花线切割将片状样品加工成0.5mm×0.5mm×15mm的棒状样品。采用两次普通电解抛光的办法获得晶界距离样品尖端仅几十纳米的概率很低，但距离为几百纳米的概率会高很多。电解抛光后的针尖状样品安装在改造后的TEM样品杆上，利用TEM观察针尖样品，确定针尖的曲率半径，晶界与针尖尖端的距离，及通过SAED确定晶界两侧晶粒的取向关系。[align=center][img=,329,254]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707051546_02_2423358_3.png[/img][/align][align=center][b]图2 三维原子探针实验仪器图[/b][/align]将那些样品尖端附近几百纳米范围内含有晶界的样品挑选出来进行毫秒脉冲电解抛光，经过这样的精细抛光后，可使得晶界距离样品尖端更近。经过多次试验统计，样品经过20V，1ms的脉冲电解抛光可以使样品尖端减短75～400nm。这样，利用毫秒脉冲电解抛光的办法，对已含有晶界的针尖样品进行精细抛光，可以获得合适APT分析晶界偏聚的针尖样品，如图3所示。[align=center][img=,690,517]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707051547_01_2423358_3.jpg[/img][/align][align=center][b]图3 三维原子探针针尖状式样图[/b][/align]

超低温实验室探针台不适用液氮罐能用吗？解决方案揭秘在超低温实验室中，液氮罐被广泛应用于维持低温环境，以确保实验的准确性和稳定性。然而，一些超低温实验室探针台由于空间限制或其他原因可能无法使用液氮罐。这种情况下，是否存在其他替代方案来维持超低温条件呢？本文将为您揭示超低温实验室探针台不适用液氮罐时的解决方案。[b]挑战：无法使用传统[url=http://www.yedanguan365.com/]液氮罐[/url][/b]超低温实验要求超低温实验通常需要在接近绝对零度的温度下进行，以研究材料的特殊性质。探针台作为实验平台之一，在如此低的温度下需要保持极高的稳定性和精确度。传统的液氮罐可以提供所需的超低温环境，但是由于探针台尺寸较小或者其他空间限制，使用液氮罐可能并不可行。[b]安全和便利性考量[/b]另外，液氮的存储和操作也带来了一些安全和便利性方面的考量。液氮具有极低的沸点和对人体组织的潜在危险，需要专门的设备和操作人员进行管理，这增加了实验室管理的复杂性和成本。[img=液氮罐,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/12/202312180934451229_7868_3312634_3.jpg!w690x517.jpg[/img][img=液氮罐,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/12/202312180934451229_7868_3312634_3.jpg!w690x517.jpg[/img]解决方案：新型超低温技术的应用[b]利用制冷技术[/b]针对无法使用液氮罐的情况，新型的超低温技术成为了解决方案之一。利用制冷技术，比如制冷剂循环系统或Peltier效应等，可以在较小的空间内提供所需的超低温环境。[b]纳米材料的应用[/b]另一个解决方案是利用纳米材料的特性来实现超低温环境。一些纳米材料在室温下就能够显示出类似于超导体的特性，可以在极低温度下保持其特殊性质。通过设计和应用这些纳米材料，可以在不使用液氮的情况下实现超低温实验的要求。[url=http://www.mvecryoge.com/]液氮容器[/url][b]热交换技术[/b]此外，热交换技术也可以被应用于超低温实验中。通过合理设计的热交换系统，可以将周围环境的热量排除并保持探针台的超低温状态。这种技术可以在不需要大型液氮罐的情况下，提供足够的制冷效果。[url=http://www.mvecryoge.com/]金凤液氮罐[/url]总的来说，即使探针台无法使用传统的[url=http://www.yedanguan1688.com/]液氮罐[/url]，在超低温实验领域仍然有多种替代方案可供选择。新型超低温技术的应用，纳米材料的特性以及热交换技术的应用为解决这一挑战提供了多种可能性。随着科学技术的不断发展，相信会有更多创新的解决方案出现，为超低温实验提供更多可能性。

扫描探针显微镜废针的改造再利用及分辨率的提高前言：扫描探针显微镜（SPM）一般操作模式有轻敲模式，接触模式，非接触模式等。我们实验室一般采用接触和轻敲模式，由于这两种模式都会与样品有接触，这就不可避免的给探针尖端造成磨损使其变钝，由于针尖较粗，探针的侧面将先于针尖与样品发生接触，从而引起所成图像的失真，将导致扫描出来的图片有严重的“加宽效应”影响图像准确度，造成探针严重浪费增加检测成本。本人在一次做纳米颗粒搬迁实验的过程中，本来是想用探针去移动一个细小颗粒a，结果颗粒粘附到针尖上了，之后扫描出来的粉末颗粒尺寸明显变小，如下图（一）B图和C图作对比明显（框定区域为扫描区域）B图颗粒大于C图。通过这个现象，如果在磨损后的探针针尖上，堆积上一层金字塔形纳米级的金颗粒，会不会使磨损的探针针尖变得更加尖锐呢？如果可以的话以此①可以提高扫描样品时探针的分辨率②减小由于探针针尖不够尖锐带来的“加宽效应”③可以使磨损探针再利用减少耗材成本。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312011628_480183_2224533_3.jpg图（一）原理：通过对钝探针针尖堆积纳米金颗粒使其变得尖锐，如图二http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312011628_480184_2224533_3.jpg图（二）实验设备：BRUKER布鲁克公司的扫描探针显微镜，仪器型号：Nanoman VSLeica莱卡的高真空镀膜仪，型号：LEICA EM SCD 500 探针为多次使用后磨损严重的废针，如图三http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312011629_480185_2224533_3.jpg图（三）实验过程：选取一块玻璃片，取少量粉末颗粒分散在其上，然后在玻璃片上划一道刻痕做个标记。目的是为了保证整个扫描过程都能找到同一个区域同一个粉末上做比较，以次确保实验的有效性，如图四http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312011629_480186_2224533_3.jpg图（四）随机选取一颗探针，不做任何处理在标记处扫描图像。如下图五http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312020832_480224_2224533_3.jpg图（五）在图像里头随机选取两个粉末，上面颗粒命名为A，下面颗粒命名为B，进行测量其尺寸分别为A=163nm,B=204nm；如图五http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312011629_480187_2224533_3.jpg图（六）取下探针放在另一快玻璃片上，然后放如高真空镀膜仪内，镀膜时间为20s。取出玻璃片拿下探针，可以明显看到玻璃片上探针放置处遮挡了玻璃片没有镀上膜的痕迹。如图六http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312011630_480188_2224533_3.jpg图（七）装上探针，寻找到同一区域，同一粉末颗粒，仪器使用的扫描速率尺寸等条件不变。扫描后对颗粒测量A=127nm; B=172nm.如图七http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312011630_480189_2224533_3.jpg[

[align=center][size=16px] [img=常压原子力显微镜实现从超高真空到1bar的可变压力精密控制解决方案,690,446]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310111648213082_8409_3221506_3.jpg!w690x446.jpg[/img][/size][/align][size=16px][color=#000099][b]摘要：针对原子力显微镜对真空度和气氛环境精密控制要求，本文提出了精密控制解决方案。解决方案基于闭环动态平衡法，在低真空控制时采用恒定进气流量并调节排气流量的方法，在高真空和超高真空控制时则采用恒定排气流量并调节进气流量的方法。原子力显微镜真空度控制系统主要由高速电控针阀、电动可变泄漏阀、高速电控球阀、电容真空计、电离真空计和超高精度PID调节器构成，在超高真空至一个大气压范围内可达到很高的控制精度。[/b][/color][/size][align=center][size=16px][color=#000099][b]=================[/b][/color][/size][/align][size=18px][color=#000099][b]1. 问题的提出[/b][/color][/size][size=16px] 环境可控型原子力显微镜（AFM）是一种可以选择真空环境、气氛环境、液体环境以及变温环境等不同工作环境，并基于检测被测样品与探针之间的弱相互作用来研究包括材料表面形貌和物理化学性质的精密仪器。原子力显微镜要具备真空和气氛环境功能，主要出于以下应用需求：[/size][size=16px] （1）众所周知，原子之间的相互作用力非常微小的，AFM在工作时，为了维持两者之间的作用力，探针和样品之间的距离非常近，通常只有几个纳米或几十个纳米，这就对仪器周围环境的要求非常之高。目前市场上的原子力显微镜都是在普通空气环境中进行操作，但由于空气中活跃着各种气体分子、存在各种机械振动以及电磁干扰的缘故，要想获得极高的分辨率还是比较困难的，要想利用原子力显微镜真正获得原子级别的分辨率，还是需要在真空和超高真空环境下进行工作。[/size][size=16px] （2）随着微纳尺度下研究的逐步深入，在诸多研究中，需要在真空环境或者同一气氛环境（如氮气、氧气、湿度以及酒精蒸汽等）中，对样品表面同一实验区域原位开展多种不同的探测实验（如摩擦能量耗散测量，需要在不破坏工作环境的前提下更换其他具有不同功能的探针，实现原位探测）。 [/size][size=16px] （3）在有些微纳尺度研究中，不同真空度和不同气氛下的力谱测量结果显示AFM针尖和所研究材料之间的粘附力显著依赖于所暴露的真空压力和气体。[/size][size=16px] 总之，为了使原子力显微镜具有环境可控功能，关键是解决原子力显微镜的真空度和环境气氛精密控制问题，为此本文提出以下解决方案。[/size][size=18px][color=#000099][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 解决方案的基本思路是在采用多个进气管路来选择具体工作气体的基础上，采用了两种技术途径来改变和精密控制原子力显微镜内的真空度。[/size][size=16px][color=#000099][b]2.1 回填技术[/b][/color][/size][size=16px] 在文献1所报道的如图1所示的环境压力原子力显微镜中，采用的就是回填技术，即先对环境压力腔室抽真空至超高真空度，然后通过泄漏阀的调节向环境压力腔室内回填所需的工作气体，使腔室内的压力达到所需的真空度。整个真空回填系统结构如图2所示。[/size][align=center][size=16px][color=#000099][b][img=带有制备室和环境压力室的超高真空度原子力显微镜,690,485]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310111651309750_3730_3221506_3.jpg!w690x485.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][b]图1 带有制备室和环境压力室的超高真空度原子力显微镜[/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][b][img=原子力显微镜真空压力回填系统结构示意图,550,361]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310111651565751_1942_3221506_3.jpg!w460x302.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][b]图2 原子力显微镜真空压力回填系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 如图2所示，回填系统主要由以下几部分构成：（1）涡轮分子泵、（2）旋转低真空泵、（3）一氧化碳气体管线的碳过滤器、（4）压力计、（5）冷阱、（6）AP室气体计量的泄漏阀和（7）AP室初始排空闸阀。[/size][size=16px] 环境压力室真空压力范围为超高真空1×10[sup]-7[/sup]mBar~1Bar，在打开泄漏阀之前，环境压力室与准备室和离子泵隔离。由于真空室压力最高可达1巴，因此关闭离子压力计，使用全量程压力计（冷阴极压力计和对流压力计的组合）监控压力。[/size][size=16px] 从图2可以看出，在文献1所描述气体回填系统是一个真空压力的开环控制系统，我们分析此真空度控制系统并未进行更详细的描述，甚至可能根本无法真正实现文中所述的从超高真空度到一个大气压的1%精度内的准确控制，主要原因如下：[/size][size=16px] （1）首先，文献1中所采用的真空度传感器是超高真空用离子压力计和全量程压力计（冷阴极压力计和对流压力计的组合），这些真空计本身的精度就无法达到1%以内的测量精度。[/size][size=16px] （2）文献1采用了调节泄漏阀的开环控制形式向AFM环境压力腔内回填气体来进行真空度调节，根本就无法做到实施的反馈控制，关闭泄漏阀后，腔体自身漏率的存在一定会使腔内压力逐渐回升，这种回升在超高真空度范围内会非常明显，会明显影响超高真空度的稳定性。[/size][size=16px] （3）泄漏阀是一种漏率极低的调节阀门，其微小的进气流量仅适合10[sup]-3[/sup]~10[sup]-10[/sup]mBar范围内的高真空和超高真空度调节。对于10[sup]-3[/sup]mBar~1Bar的低真空控制，泄漏阀的作用非常有限，或者需要非常长的进气时间才能达到所需真空度，因此对于低真空范围内的进气控制，一般都会采用进气流量较大的针阀。[/size][size=16px][color=#000099][b]2.2 闭环控制和不同流量阀技术[/b][/color][/size][size=16px] 针对上述文献1中所用的回填技术存在的问题，本文提出的解决方案将逐项予以解决，一方面采用闭环控制技术，即由真空计、电动进气流量调节阀和真空压力PID控制器过程闭环控制回路，对所设定的不同真空度进行准确控制。另一方面是针对不同的真空度范围，分别采用了微小进气流量的电动可变泄漏阀和较大流量的电动针阀。由此构成的真空控制系统结构如图3所示。[/size][align=center][size=16px][color=#000099][b][img=原子力显微镜真空压力闭环控制系统结构示意图,690,364]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310111652283772_3144_3221506_3.jpg!w690x364.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][b]图3 原子力显微镜真空压力闭环控制系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 如图3所示，整个真空压力闭环控制系统分为以下四条气体管路，各自功能如下：[/size][size=16px] 抽气管路：抽气管路主要由电动球阀、干泵和分子泵组成，其中干泵和分子泵的作用是提供相应的真空源，而电动球阀则是用于调节使用干泵时管道内的抽气速率。[/size][size=16px] 大流量进气管路：大流量进气管路主要由电动针阀组成，其作用是以较大的流量形式调节腔体的进气流量。[/size][size=16px] 微小流量进气管路：微小流量进气管路主要由电动可变泄漏阀组成，其作用是以极小的流量形式调节腔体的进气流量。[/size][size=16px] 进气管路：进气管路的作用是连接气源和为腔体提供多种压力恒定的工作气体，图3中并未绘出。进气管路中也可以通过增加混气罐来进行各种进气的混合。[/size][size=16px] 通过上述四条管路以及相应的真空度传感器和真空压力控制器，图3所示的闭环控制系统可实现从超高真空度至一个大气压的全量程真空压力精确控制，具体控制的过程如下：[/size][size=16px] （1）低真空度范围（10mBar~1Bar）：在低真空度范围内，双通道真空压力控制器的第一通道采集1000Torr电容真空计（测量精度0.25%）的真空度测量信号，与设定值比较后驱动电动球阀，通过快速改变电动球阀的开度调节排气流量，从而在低真空度范围内实现1%内的控制精度。需要注意的是在低真空度范围控制时，大流量进气管路上的电动针阀要保持恒定开度。[/size][size=16px] （2）高真空度范围（0.01mBar~10mBar）：在高真空度范围内，双通道真空压力控制器的第二通道采集10Torr电容真空计（测量精度0.25%）的真空度测量信号，与设定值比较后驱动电动针阀，通过快速改变电动针阀的开度调节进气流量，从而在高真空度范围内实现1%内的控制精度。需要注意的是在高真空度范围控制时，抽气管路上的电动球阀要始终处于全开状态。[/size][size=16px] （3）高真空度范围（10[sup]-10[/sup]mBar~0.01mBar）：在超高真空度范围内，真空压力控制器采集电离真空计（测量精度15%）的真空度测量信号，与设定值比较后驱动电动可变泄漏阀，通过快速改变泄漏阀的进气流量，从而在超高真空度范围内实现15%内的控制精度。需要注意的是在超高真空度范围控制时，抽气管路上的电动球阀要始终处于全开状态，大流量进气管路上的电动针阀处于关闭状态，而分子泵处于工作状态。[/size][size=16px] 在真空压力的控制过程中，要实现高精度控制，以下部件需要达到相应的技术指标要求：[/size][size=16px] （1）真空度传感器：真空度传感器的测量精度是决定控制精度的关键指标之一，本解决方案在低真空和高真空范围内采用了精度可达0.25%的薄膜电容真空计，而在超高真空范围内采用了精度最高可达15%的电离真空计。[/size][size=16px] （2）阀门：各种进气和排气阀门调节精度和速度也是决定控制精度的关键指标，解决方案所采用的电动针阀、电动球阀和电动可变泄漏阀都具有非常好的调节精度，响应速度都小于1秒以内，其中可变泄漏阀的响应速度可以到达十几微秒，完全可以满足超高真空度的进气控制。[/size][size=16px] （3）真空压力控制器：真空压力控制器的采集精度、调节输出精度和线性化处理功能也是决定控制精度的关键指标，解决方案采用了VPC2021系列超高精度PID调节器，具有24位AD、16位DA、0.01%最小输出百分比和八点拟合处理功能，可很好的实现全量程真空度的精密控制。[/size][size=18px][color=#000099][b]3. 总结[/b][/color][/size][size=16px] 综上所述，本文提出的解决方案可很好的实现环境可控原子力显微镜从超高真空至一个大气压全真空度范围内任意真空压力设定点的准确控制，也可以按照设定的真空度变化曲线进行程序控制。另外，此解决方案可以推广应用到各种显微镜的真空度和气氛环境的精密控制。[/size][size=18px][color=#000099][b]4. 参考文献[/b][/color][/size][size=16px] [1] Choi， Joong Il Jake， et al. "Ambient-pressure atomic force microscope with variable pressure from ultra-high vacuum up to one bar." Review of Scientific Instruments 89.10 （2018）.[/size][size=16px][/size][align=center][b]~~~~~~~~~~~~~~~[/b][/align][size=16px][color=#000099][b][/b][/color][/size]

[size=16px][color=#000099]摘要：超高真空度的控制普遍采用具有极小开度的可变泄漏阀对进气流量进行微小调节。目前常用的手动可变泄漏阀无法进行超高真空度的自动控制且不准确，电控可变泄漏阀尽管可以实现自动控制但价格昂贵。为了实现自动控制且降低成本，本文提出了手动可变泄漏阀与低漏率电控针阀组合的解决方案，结合真空压力PID控制器可实现超高真空度自动控制。[/color][/size][align=center][size=16px][/size][/align][size=16px][/size][align=center][color=#000099]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/align] [b][size=18px][color=#000099]1. 问题的提出[/color][/size][/b][size=16px] 超高真空一般是指10-7Pa~10-2Pa范围的真空度，相应的超高真空技术应用也十分广泛，特别是对于芯片级原子钟（CSACs）、电容膜片规（CDGs）、显微镜、质谱仪和和新型金属有机化学[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]沉积（MOCVD）等需要超高真空环境的设备，其真空度控制的稳定性通常非常重要。[/size][size=16px] 超高真空度控制的基本原理如图1所示，可采用开环和闭环两种控制形式，基本控制原理是固定真空泵的抽速，通过调节进气流量来实现不同真空度的控制。对于超高真空控制，要求进气量非常微小，所以一般采用可变泄漏阀（varible leakage valve）进行调节进气量。[/size][align=center][size=16px][color=#000099][b][img=01.超高真空度控制系统结构示意图和各种可变泄漏阀,650,493]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304272211542322_7977_3221506_3.jpg!w690x524.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][b]图1 超高真空度控制的基本原理和各种可变泄漏阀[/b][/color][/size][/align][size=16px] 如图1所示，目前常用的可变泄漏阀有手动和自动两种形式，但在实际应用中存在以下两方面的问题：[/size][size=16px] （1）手动可变泄漏阀只能组成开环控制回路，需要人工调节泄漏阀开度并同时观察真空计读数进行超高真空度控制。这种开环控制方法很难实现真空度的稳定，气源和真空腔体内稍有扰动就会带来严重的波动，另外就是在多个真空度点控制时很难操作和控制。[/size][size=16px] （2）自动可变泄漏阀是在手动泄漏阀上配置了一个电子致动器和PID控制器，与真空计可构成闭环控制回路，可实现超高真空度的精密控制，但存在的问题是价格昂贵，自动可变泄漏阀要比手动泄漏阀贵三倍左右。[/size][size=16px] 针对目前可变泄漏阀具体使用中存在的上述问题，本文提出了如下解决方案。[/size][size=18px][color=#000099][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 解决方案的基本思路是采用价格相对较低的手动可变泄漏阀以提供微小的很定进气流量，然后再配备低漏率的电控针阀对此微小进气流量进行电动调节，以实现最终超高真空度的自动控制，由此构成的超高真空度控制系统结构如图2所示。[/size][align=center][size=16px][color=#000099][b][img=02.手动泄漏阀和电动针阀组合式超高真空度控制系统结构示意图,600,267]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304272212262679_3036_3221506_3.jpg!w690x308.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][b]图2 手动泄漏阀和电动针阀组合式超高真空度控制系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 由图2所示的控制系统可以看出，整个系统由手动泄漏阀、电控针阀、真空计和PID真空压力控制器构成，并形成闭环控制系统。在具体控制过程中，首先将手动泄漏阀调节到某一固定位置使其保持恒定的微小进气流量，真空压力控制器根据采集到的真空计信号与设定值比较后对电控针阀进行动态调节。由于电控针阀自身有很小的真空漏率，所以电控针阀的开度变化相当于是对手动泄漏阀进气流量的进一步调节，由此电动针阀与手动泄漏阀配合可实现对进入腔体的流量进行调节而最终实现超高真空度的控制。[/size][size=16px] 在图2所示的控制系统中，真空计采用了组合式皮拉尼真空计，真空度测试范围可以从一个大气压到5×10-8Pa，全量程真空度对应的模拟信号输出为0~10V。此真空计信号可以直接被真空压力PID控制器接收，PID控制器具有24位AD、16位DA和0.01%最小输出百分比技术指标，并带有程序控制和RS485通讯功能，可很好的进行超高真空度的全量程自动控制。[/size][size=16px] 此解决方案除了可以满足小型真空腔室的超高真空度控制之外，也可以用于较大腔室的控制，所需的只是改变手动可变泄漏阀开度大小。[/size][align=center][size=16px][color=#000099]~~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][/color][/size][/align]