超高真空探针台

Side profile of a UHV Cryogenic Probe StationHigh Conductance 8” Vacuum Pump Out Port 美国ARS公司的 PS-L-UHV探针台是专为样品的非破坏检测和最~大的真空洁净而设计，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。 液氦/液氮型和闭循环低温探针台核心部件是相同的，可共用相同的桌面、真空腔和探针臂。如果您先购买了液氦/液氮型的探针台，那么可以在之后的任何时间内升级成一个闭循环（无任何制冷剂）的系统。 该类探针台使用了ARS液氦/液氮型低温恒温器，样品温度因制冷剂不同可达~4K（液氦）或 ~77K（液氮）。 Sample space of the UHV probe station.Close-up view of the Load-lock sample holder and 4 DC probes 该系统旨在提供一个大型的，可烘烤的超高真空样品环境。真空腔由不锈钢焊接而成，防热辐射屏由裸无氧铜制成。铜的高导热性使得样品空间处有更冷的防热辐射和更大的净制冷量。高质量的焊接刀口法兰和巨大的泵出端口是至关重要的，因为这样可以实现真正的10-11 Torr的超高真空环境，并最~大程度保证了样品的洁净度。 ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了系统的稳定性能，也利于系统的诊断和售后服务。 应用案例：l 电磁特性l 微波特性 l 低频，高频特性l MEMSl 纳米电子学l 超导特性l 纳米器件光电性能l 量子点及纳米线l 单电子l 低电流物理特性 典型结构l 液氦/液氮型低温恒温器l 传输管线-标准6英尺（8英尺或者10英尺）l 流量计l 10英寸的不锈钢真空腔带5个微操作探头端口和2个备用的NW80附件端口，安装在经阳极化处理的铝台面上，由铝制支撑架支撑l 8 英寸的镀镍无氧铜防热辐射屏l 2.25英寸的无氧铜接地样品座l DC, 微波或光纤探针l 4个温度计和2个加热器用于温度控制和监视l 涡轮分子真空泵l 四通道温度控制器及与恒温器连接电缆l 7:1变焦显微镜，分辨率小于2 微米，同轴或者环形光。包括一个高分辨的24寸的宽屏液晶显示器和显微镜光源 特点备注8英寸镀镍无氧铜防热辐射屏2.25英寸镀金无氧铜样品台可升级4英寸样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗标配4个三维微操作探针臂,可选6-8个可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器温度计安装位置：1、冷头温度计，用于诊断2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温3、样品温度计，用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样样品台综合振动 1微米样品台振动 100nm7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式开环恒温器，液氦/液氮温度范围液氦~3.5K - 400K（最大流量）(可选500K,800K)液氮~77K - 400K(可选500K,800K)温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约30到45分钟降温到4.5K真空腔焊接法兰，不锈钢真空腔直径11.97英寸（304mm）上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏直径8英寸上盖蓝宝石冷窗样品台镀金无氧铜样品台2.25英寸直径样品台连接接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）探针臂位移台手动驱动焊接刀口法兰的不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准） 2英寸行程（可选）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动样品台综合振动优于1微米温度计安装4个温度计，2套加热器 4个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温 2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头 三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆 卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选） 针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖 0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖 0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米

超高真空低温四探针扫描探针显微镜美国RHK Technology 成立于1981 年。作为SPM 工业中的领军仪器制造商，RHK-Technology 始终保持着鲜明的特色：创新性、可靠性、产品设计的开放性与的客户支持。凭借着其优异的系统设计、精良的制造工艺、再加上与著名科学家的紧密合作，二十多年来RHK Technology 源源不断地向全科学家们输送着先进的、高精度的科学分析仪器。变温QuadraProbe UHV 4-探针SPM系统是RHK公司生产的多探针UHV SPM系统中的一种，该系统提供了多种分析功能、配备了多个超高真空室和相应的电子控制单元与软件，可以大地满足客户全面的研究应用需要。基本系统中提供了低温4探针扫描隧道显微镜（SPM），扫描电子显微镜（SEM），样品准备室和用于传输样品和针的快速进样室。其他的设备如扫描俄歇显微镜（SAM）也可选配以满足客户特别的研究需要。技术参数：- 样品温度：10K（LHe）； 80K（LN2）- 扫描范围：1.5μm（300K）；500nm （10K）- X，Y，Z粗进针：±1.5mm/step motion- 样品定位精度：±1.5mm- STM分辨率：四个探针均可实现HOPG的原子分辨- SEM分辨率：小于20nm- 针材料：钨或者铂、金等金属修饰的钨针。 主要特点：- 四个探针都能实现原子分辨；- 真正的样品和针低温操作（10K），得到佳的高分辨谱图；- 探针与样品立地传输与准备；- 所有探针具有先进的控制操作；- 用户可编程控制的开放性控制环境；- 制冷采用Bath Cryostat构造，大地减少了液氦的消耗；- 可升到非接触式AFM；- 样品台处配有可选择的超导磁体；- 通过光纤实现样品的光学激发。

KP 超高真空开尔文探针系统开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种最灵敏的表面分析技术。 我们的开尔文探针系统包括：□ 单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)； □ 超高真空(UHV)开尔文探针；□ 湿度控制的腐蚀开尔文探针； 扫描开尔文探针系统 (ASKP) ASKP系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：□ 2毫米，50微米探针；□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；□ 表面势和样品形貌3维地图；□ 探针扫描或样品扫描选配；□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)； □ 备用的针尖放大器；□ 24个月超长质保期； 仪器的特色□ 全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统；□ 最高分辨率的功函数和表面势，最好的稳定性和数据重现性；□ 非零专利技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；□ 高度调节专利技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受　　　　　　　　　　　　　　　样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；□ 该领域内，拥有最好的信噪比；□ 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；□ 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；□ 所有开尔文探针参数的全数字控制；ON 非零探测 Off Null detection HR 高度调节模式 Height Regulation mode SM 实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvinprobe signal UC 用户通道，同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parameters DC 电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effects PP 平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode SA 信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) WA 功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting DC 所有探针及探测参数的数字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters QT 针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolution DE 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software OC 输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit FC 法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield) RS 金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample 额外选配项 SPV 表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package RH 相对湿度腔 Relative Humidity Chamber AC 控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet EDS 外部数据示波镜 External Digital Oscilloscope OPT 彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts ST 针尖置换 Replacement Tips GCT 镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement Tips XYZ 25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage 应用领域 吸附，电池系统，生物学和生物技术，催化作用，电荷分析，涂层，腐蚀，沉积，偶极层形成，显示技术，教育，光/热散发，费米级扫描，燃料电池，离子化，MEMs，金属，微电子，纳米技术，Oleds，相转变，感光染色，光伏谱学，高分子半导体，焦热电，半导体，传感器，皮肤，太阳能电池，表面污染，表面化学，表面光伏，表面势，表面物理，薄膜，真空研究，功函数工程学；

UHV-KP020超高真空扫描开尔文探针开尔文探针是一种非接触、非破坏性振动电容装置用于导电材料的功函或半导体或绝缘体材料表面的表面电势，表面功函由材料表面最顶部的1-3层原子或分子决定，因而开尔文探针是一种非常灵敏的表面分析技术，KP Technology公司目前可提供具有1-3 meV业界最高分辨率的测试系统 UHV-KP020 是超高真空室的一个完美补充工具，可靠的和可重复的可轻松获得，包括高质量的线性解码器，使得探针和样品的定位变得简单， 无与伦比的跟踪系统在测试过程中始终将探针和样品恒定的分开。对于薄膜研究，亚单层范围检测是很平常的；也可选购SPV020或SPS030表面光电压模块用于光敏材料研究。 技术参数： ● 功函分辨率1-3meV（2-10mm探针） ● 用户自定针尺寸（2-10mm） ● 用户自定探针长度（法兰到样品） ● DN40（2.75' ' 安装端口）-其他可选 ● 50mm手动平移器（100mm可选） ● 真空度2X10-11mbar ● 跟踪系统自动控制样品和探针距离 ● 过零信号检测系统抑制寄生电容 选件： ● 电动平移器 ● UHVSKP ● 表面光电压模块SPV020和SPS030

Instec来自液晶先驱院校美国科罗拉多大学的精密温控装置与液晶检测设备" _ue_custom_node_="true" 功能特点 可编程精密控温。可独立控制，也可从上位机软件控制软件可拓展性强，可提供LabView等语言的SDK#温度# 可选100℃ /200℃ / 400℃ / 600℃#温度# 可选 -190℃ / -40℃ / 常温 / 其他#腔体密封性# 可选 气密腔室 / 真空腔室#样品观察# 可选 透射光观察 / 反射光观察 / 无#样品区# 可选22x22mm / 35x35mm / 其他#台面电位# 可选 电接地 / 电悬空#电测试接口# 可选 BNC/电悬空BNC/Triaxial三同轴#探针类型# 可选 弯针探针 / 直针探针#探针支架# 可选 杠杆式 / 磁吸式#探针移动性# 可选 探针外部移动 / 探针开盖移动#霍尔效应测试# 可用非磁性材料制作，用于霍尔测试可做改动或定制，详询上海恒商另有可升至1000℃以上的超高温探针台，详询上海恒商 " _ue_custom_node_="true" 技术参数 通用性能温度分辨率0.001℃温度稳定性±0.05℃(at 100℃) 可提升稳定性控温速度±0.1℃/小时温度传感器100Ω铂质RTD温控方式开关式PID 可升级为LVDC式PID结构尺寸物镜距离8 mm样品腔高度2.5 mm 具体由探针决定样品观察范围26.5 mm 反光孔径腔室接口快速接头 (气密型号)KF16 (真空型号)*其他技术参数请参考 具体型号的彩页介绍 " _ue_custom_node_="true" 配置列表 标准温控探针台√mK2000温度控制器 软件免费，控制线有多种接口供选√选配件液氮制冷系统 包含液氮泵与液氮罐，使样品降至负温外壳水冷配件 用常温水或冰水循环防止外壳过热安装支架 把台体固定在使用平台上，防止滑动温控联动显微镜相机 温度-图像联动工作，附软件线性可变直流电源(LVDC) 装在温控器里，抑制电噪音 真空系统(真空腔型号适用) 真空泵、真空计、真空管路*注：产品有多种配置变化，详询上海恒商 " _ue_custom_node_="true" 杠杆式探针支架.vs.磁吸式探针座 杠杆式探针支架，对样品点针更准确，点针力度更大，电接触性更好。磁铁吸式探针座则通过底部的磁铁吸附于探针台外壳底座上，探针移操作方便。 欲咨询产品请访问本公司官网联系我们 本公司为美国Instec中国区总代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中国区代理，不经过中间商直接与原厂接触，能提供优惠的价格。

UHV-KP020超高真空扫描开尔文探针开尔文探针是一种非接触、非破坏性振动电容装置用于导电材料的功函或半导体或绝缘体材料表面的表面电势，表面功函由材料表面最顶部的1-3层原子或分子决定，因而开尔文探针是一种非常灵敏的表面分析技术，KP Technology公司目前可提供具有1-3 meV业界最高分辨率的测试系统UHV-KP020 是超高真空室的一个完美补充工具，可靠的和可重复的可轻松获得，包括高质量的线性解码器，使得探针和样品的定位变得简单， 无与伦比的跟踪系统在测试过程中始终将探针和样品恒定的分开。对于薄膜研究，亚单层范围检测是很平常的；也可选购SPV020或SPS030表面光电压模块用于光敏材料研究。 技术参数：● 功函分辨率1-3meV（2-10mm探针）● 用户自定针尺寸（2-10mm）● 用户自定探针长度（法兰到样品）● DN40（2.75''安装端口）-其他可选● 50mm手动平移器（100mm可选）● 真空度2X10-11mbar● 跟踪系统自动控制样品和探针距离● 过零信号检测系统抑制寄生电容选件：● 电动平移器● UHVSKP● 表面光电压模块SPV020和SPS030

Avantgarde 室温真空探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个室温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于室温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。PSV系列室温真空探针台是一款专门针对室温真空电测环境开发的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量和RF测量。特点1.真空腔极限真空度能够达到5E-4 mbar，通过真空泵连接KF25法兰抽真空。2. 样品座可以放置最大4英寸的晶圆样品，探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。探针臂可在X-Y-Z-R范围内进行四维调节，能满足最大4英寸范围内全部位置的扎针测试。3.真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。4.直流探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，使用4200实测漏电流小于100fA @1V。5.独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。6.可选微波探针臂，最高频率可达到110GHz。

室温真空探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个室温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于室温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。 PSV系列室温真空探针台是一款专门针对室温真空电测环境开发的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量和RF测量。特点&bull 真空腔极限真空度能够达到5E-4 mbar，通过真空泵连接KF25法兰抽真空。&bull 样品座可以放置4英寸的晶圆样品，探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。探针臂可在X-Y-Z-R范围内进行四维调节，能满足4英寸范围内全部位置的扎针测试。&bull 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。&bull 直流探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，使用4200实测漏电流小于100fA @1V。&bull 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。&bull 可选微波探针臂，频率可达到110GHz。型号分类：型号样品座尺寸PSV-22英寸PSV-44英寸参数和指标： 样品座样品座类型及材质：无氧铜接地样品座尺寸：2/4英寸可选配置：接地样品座、绝缘样品座、同轴样品座、三同轴样品座探针臂组件类型：直流探针臂数量：4个接头和线缆：三同轴接头漏电流：100fA@1V真空环境信号频率：直流~50MHz 交流匹配阻抗：50 Ω探针针尖直径：100μm铍铜探针位移行程：X-±35mm，Y-±12.5mm,Z-±6.5mm ，R-±10°读数精度：10μm光学系统显微镜放大倍数：10~180 倍分辨率：3μm视野范围：可到 22mm显微镜工作距离：90~100mm显微镜支架升级行程：65mm真空腔体材料：铝合金腔体容积：4/6L外形尺寸：800*800*600腔体入口尺寸：Ø 124mm可视窗口尺寸：50mm真空度：5E-4 torr真空抽口：KF25法兰真空腔体窗片：红外绝热材质防辐射屏窗片：石英材质充气阀接口：Ø 8 快拆接头预留接口：2个探针臂接口，2个电学接口减振支架（选件）尺寸（mm）：800×800×870；桌脚：有固定脚和滚轮可调换

CINDBEST CGO-4 | 2~6 高低温真空探针台测试系统特点/应用◆ 2至6英寸样品台◆ 高真空腔体◆ 防辐射屏设计，样品温度均匀性更好◆ 77K-675K高低温环境◆ 兼容IV/CV/RF测试◆ 外置多探针臂，移动行程大◆ 经济实用，可无缝升级极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。◆ 腔体规格：型号：CGO-2/CGO-4/CGO-6样品台尺寸：2英寸/4英寸/6英寸样品固定：弹簧压片观察窗口：2英寸/4英寸/6英寸真空度：10-6torr探针臂接口：4~6个探针臂接口其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口制冷方式：液氮/液氦/制冷机温度范围：77K到573K/4.5K到573K温控精度：0.1K/0.01K/0.001K稳定性：±1K/±0.1K/±0.01K外形：880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高重量：约100千克/120千克◆ 光学系统：显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜放大倍率：16X-200X/20X-4000X移动行程：水平360度旋转，Z轴行程50.8mm光源：外置LED环形光源/同轴光源CCD：200万像素/500万像素/1200万像素◆ 探针臂：X-Y-Z移动行程：50mm*50mm*50mm结构：外置探针臂，真空波纹管结构移动精度：10微米/1微米线缆：同轴线/三轴线/射频线漏电精度：10pA/100fA/10fA固定探针：弹簧固定/管状固定接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子频率支持：DC-67GHZ针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米◆ 其他组件：真空组件：分子泵组/机械泵/离子泵冷源组件：50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机◆ 可选附件超高温配件显示器转接头射频测试配件屏蔽箱光学平台镀金卡盘光电测试配件高压测试配件分子泵组激光系统气敏测试配件规格及设计如有更改，恕不另行通知。

公司主要经营产品：霍尔效应测试仪、探针台系列、显微镜系列：三维视频显微镜、超长工作距离视频显微镜、测量显微镜、红外/近红外显微镜、传统光学显微镜(体式、生物、偏光、荧光、金相、相衬、比对等常用教学及教研类显微镜)、光学产品组件、工业科研无损检测设备及光学自动一体化系统集成项目。测试噪声小于5E-13A 可扩展上下双透视窗口用于光电测试 可扩展凹视镜 。观察窗口可下凹，使物镜离样品更近，方便观察。 加热台材质纯银块，导热更好，不易氧化专业检测设备生产研发经验，实力见证品牌国内家专业研发探针台设备厂家，有强大技术研发实力已与国内2000多所高校和研究院合作，为您提供*价值的技术解决方案*信赖的检测设备服务商涉及光学、电学、电子、材料、生物、医学等各检测领域拥有国内专业的技术研发团队在探针台电学量测方面拥有近十年的经验小型真空探针台KT-Z4019MRL4T小型真空探针台KT-Z4019MRL4T参数真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 最大值 低温7℃/min温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

产品简介INSTEC HP1000V-PM 超高温探针台可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用。其可在 30℃ ~ 1000℃ 范围内控温，同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个真空腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品高温下氧化，也可通入不同气氛进行气敏性测试。功能特点INSTEC HP1000V-PM 超高温探针台可独立使用，可用于显微镜/光谱仪下，30℃~1000℃ 可编程控温25 mm x 25 mm加热区，可充入保护气体的气密腔，BNC接口四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试，可选增设腔内接线柱（样品接电引线），可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK。温控参数&bull 温度范围：30℃ ~ 1000℃&bull 传感器/温控方式：K型热电偶 / PID控制&bull 最大加热：+200℃/min （＜850℃时）&bull 最小加热：±0.5℃/min&bull 温度分辨率：0.1℃&bull 温度稳定性：±0.1℃&bull 软件功能：可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数&bull 探针：默认为铼钨材质的弯针探针&bull 探针座：杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好&bull 点针：手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置&bull 探针接口：默认为BNC接头，可选三同轴接口 *可增设腔内接线柱（样品接电引线）&bull 样品台面电位：默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口&bull 非磁性改造：台体可改用非磁性材质制造，用于变温霍尔效应探针测试光学参数适用光路：反射光路 *另有透射光路型号最小物镜工作距离：8.8 mm上盖窗片观察：窗片范围φ38mm，最大视角±60°底部窗片观察：最大视角±11.3°结构参数&bull 加热区/样品区：25 mm x 25 mm&bull 样品腔高：7.6 mm *样品最大厚度由探针决定&bull 放样：打开上盖后置入样品再点针，关上盖后无法移动探针&bull 气氛控制：气密腔，可充入保护气体&bull 外壳冷却：通循环水，以维持外壳温度在常温附近&bull 窗片与物镜冷却：吹气降温管路&bull 安装方式：水平安装 或 垂直安装

产品简介INSTEC HP1000V-PM 超高温探针台可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用。其可在 30℃ ~ 1000℃ 范围内控温，同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个真空腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品高温下氧化，也可通入不同气氛进行气敏性测试。功能特点INSTEC HP1000V-PM 超高温探针台可独立使用，可用于显微镜/光谱仪下，30℃~1000℃ 可编程控温25 mm x 25 mm加热区，可充入保护气体的气密腔，BNC接口四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试，可选增设腔内接线柱（样品接电引线），可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK。温控参数&bull 温度范围：30℃ ~ 1000℃&bull 传感器/温控方式：K型热电偶 / PID控制&bull 最大加热：+200℃/min （＜850℃时）&bull 最小加热：±0.5℃/min&bull 温度分辨率：0.1℃&bull 温度稳定性：±0.1℃&bull 软件功能：可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数&bull 探针：默认为铼钨材质的弯针探针&bull 探针座：杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好&bull 点针：手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置&bull 探针接口：默认为BNC接头，可选三同轴接口 *可增设腔内接线柱（样品接电引线）&bull 样品台面电位：默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口&bull 非磁性改造：台体可改用非磁性材质制造，用于变温霍尔效应探针测试光学参数适用光路：反射光路 *另有透射光路型号最小物镜工作距离：8.8 mm上盖窗片观察：窗片范围φ38mm，最大视角±60°底部窗片观察：最大视角±11.3°结构参数&bull 加热区/样品区：25 mm x 25 mm&bull 样品腔高：7.6 mm *样品最大厚度由探针决定&bull 放样：打开上盖后置入样品再点针，关上盖后无法移动探针&bull 气氛控制：气密腔，可充入保护气体&bull 外壳冷却：通循环水，以维持外壳温度在常温附近&bull 窗片与物镜冷却：吹气降温管路&bull 安装方式：水平安装 或 垂直安装

产品简介 Instec的真空型台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点 桌上型温控探针台，占地面积小可编程控温，涵盖-190℃~1000℃（具体由型号而定）适用 10 mm ~ 300 mm 晶圆和器件可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围涵盖 -190℃~1000℃（具体由型号而定）加热块材质铝合金 或 银 或 陶瓷传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）最小加热/制冷速度±0.01℃/min温度分辨率0.01℃ RTD传感器0.1℃ 热电偶传感器温度稳定性±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm点针从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数 适用光路反射光路窗片可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离25 mm *截面图中WD上盖窗片观察窗片范围φ50mm，大视角±40° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路结构参数 适用样品10 mm ~ 50 mm 直径 （标准）*可定至300mm的样品台面样品腔高6 mm探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm气氛控制气密腔，可充入保护气体 *另有真空腔型号外壳冷却可通循环水，以维持外壳温度在常温附近台体尺寸/重量1060 mm x 600 mm x 213.2 mm / 20kg选型表 TP102SV-PS温度范围 -40℃ ~ 180℃，真空腔HCP422V-PS温度范围 -190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统），真空腔HP1000V-PS温度范围 35℃ ~ 1000℃，真空腔定制型号按客户需求定制，适用300mm晶圆样品

科研小型气敏测试真空探针台高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。 为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。度科研小型气敏测试真空探针台真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 低温7℃/min温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

KT-Z1604T探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面温度-196-350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。（可定制：）

一、多功能手动探针台应用原理： （1）KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节。 （2）其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。 二、技术组织规格： 1．腔体材质：304不锈钢 2．上盖开启：铰链侧开 3．加热台材质：304不锈钢 4．内腔体尺寸：φ160x90mm 5．观察窗尺寸：Φ70mm 6．加热台尺寸：φ60mm 7．观察窗热台间距：75mm 8．加热台温度：-196-350℃ 9．加热台温控误差：±1℃ 10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa 11．允许正压：≤0.1MPa 12．真空抽气口：KF25真空法兰 13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头 14．电信号接头：SMA转BNCX4 15．电学性能：绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤500V漏电流≤-10次方安培 16．探针数量：4探针 17．探针材质：镀金钨针 18．探针尖：10μm 19．X轴移动行程：30mm±15mm 20．X轴控制精度：≤0.01mm 21．Y轴移动行程：13mm±12.5mm 22．Y轴控制精度：≤0.01mm 23．Z轴移动行程：13mm±12.5mm 24．Z轴控制精度：≤0.01mm 25．显微镜类别：物镜 26．物镜倍数：0.7-4.5倍 27．工作间距：90mm 28．相机：sony高清 29．像素：1920※1080像素 三、企业概括： （1）郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室及科学院校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一。 （2）公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！ （3）目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉CVD供气系统等离子清洗机小型离子溅射仪小型蒸镀仪石英管真空封口多功能手动探针台半导体检测等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 （4）公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

DCH系列高低温真空探针台产品概要DCH系列高低温真空探针台是我司自主研发的一款在极端环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试,射频测试,光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷,可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料,半导体器件等研究方向具有广泛运用。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试:当晶圆加热至300°C,400°C,500”C甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。技术特点防辐射屏和热沉设计 降温速度快,常温降至 77k25mins,大大提高测试效率 液氮自动控制系统,液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度。

大型真空高低温探针台郑科探，低温真空探针台可使物理科学家和研究员通过方便的，可重复的测量进行基础的科学研究并得到连续的结果。低温真空探针台是一个多用的灵活的研究平台，可被用于专用的或者多用的团体研究资源。典型的应用包括样品在整个温度范围内的IV和CV曲线测试，微波测试，光电测试，表征变磁环境下的磁输运特性，理解载流子浓度的霍尔效应测试，和其他材料的研究。大型真空高低温探针台郑科探真空腔体腔体材质304不锈钢上盖开启铰链侧开加热台材质304不锈钢内腔体尺寸φ160x90mm观察窗尺寸Φ70mm加热台尺寸φ60mm观察窗热台间距75mm加热台温度﹣196~350℃加热台温控误差±1℃真空度机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa允许正压≤0.1MPa真空抽气口KF25真空法兰气体进气口3mm-6mm卡套接头电信号接头SMA转BNC X 4电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V探针数量4探针探针材质钨针 探针尖10μm探针移动平台X轴移动行程30mm ±15mmX轴控制精度≤0.01mmY轴移动行程13mm ±12.5mmY轴控制精度≤0.01mmZ轴移动行程13mm ±12.5mmZ轴控制精度≤0.01mm电子显微镜显微镜类别物镜物镜倍数0.7-4.5倍工作间距90mm相机sony 高清像素1920※1080像素图像接口VGALED可调光源有显示屏8寸放大倍数19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm

基于 SEM 的纳米探针台 用于直观、原位、低电流电性能测量。 在扫描电镜的真空腔室中,在纳米尺度对样品进行观察和表征分析。Imina Technologies公司的纳米探针台 是一套独特的解决方案，特别适合在纳米尺度对电子器件和先进材料进行微纳操纵和表征。这套方案内含四个业界著。名的易用、多功能压电陶瓷驱动微型机器人miBotTM。miBot微机器人可以在毫米级样品上独立定位，定位精度高达纳米级。该方案是为低电流电性能测量量身定做 的，漏电流低达100fA/V。对纳米结构 进行电性能表征时要经由具有超高信噪 比的屏蔽电缆外接第三方半信号发生/分析器。

CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，以实现优异的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。 由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持温度，与高真空选件，最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K√ 可选低温1.9 K/1.6 K√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制√ 样品可面内±5°旋转√ 样品振动＜30 nm可选√ 超高真空选件√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境√ 环形磁体选件最大0.19T设备参数：温度范围最多安装6个探针臂基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K安装PS-LT低温选件基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K安装PS-VLT-CPX极低温选件基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K安装PS-LL-CPX选件（Load Lock）基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K温度稳定性液氦液氮基础温度 (无加热控制)±15 mK±20 mK10 K±50 mK—10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK真空以TPS-FRG分子泵组为标准PS-HV-CPX高真空选件抽真空时间30 min (1 × 10-3 Torr)10 min (1 × 10-3 Torr)室温5 × 10-4 Torr5 × 10-6 Torr基础温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr最高温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr循环时间总循环3 h抽真空0.5 h探针台冷却1.25 h探针台升温2 hLoad Lock样品更换时间1小时（配有PS-LL-CPX选件）样品最大尺寸51 mm（2英寸）标准25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件样品背光接口不可选样品旋转±5°面内旋转样品振动＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件探针配置最大探针数6探针臂温度计用于监视探针臂的温度冷却探针支架＜20 K(样品在基础温度下)探针支架连接样品台或4K防辐射屏热沉探针臂支架连接防辐射屏热沉DC/RF探针电绝缘100GΩ用于低漏电流测量微波探针频率范围从DC到67GHz光纤探针可用于电光测量落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

Avantgarde 液氮高低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。PSM-LN2系列液氮高低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电测试。特点：1.液氮高低温真空探针台，15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到最低温度只需0.2L液氮，使用方便快捷同时兼顾经济性。2.探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空 的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。3.独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足最大4英寸样品的测试。4.真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性5.探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@80K--800K测试温度范围宽，最大支持80K-800K连续变温。6.独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏7.上盖采用翻盖结构，换样更便捷。

基于 SEM 的纳米探针台 用于直观、原位、低电流电性能测量。 在扫描电镜的真空腔室中,在纳米尺度对样品进行观察和表征分析。Imina Technologies公司的纳米探针台 是一套独特的解决方案，特别适合在纳米尺度对电子器件和先进材料进行微纳操纵和表征。这套方案内含四个业界著。名的易用、多功能压电陶瓷驱动微型机器人miBotTM。miBot微机器人可以在毫米级样品上独立定位，定位精度高达纳米级。该方案是为低电流电性能测量量身定做 的，漏电流低达100fA/V。对纳米结构 进行电性能表征时要经由具有超高信噪 比的屏蔽电缆外接第三方半信号发生/分析器。

真空探针台是通过控制和测量获得输出数据的设备.在测量系统(IV、CV、RF、阻抗)和真空情况下，通过软件改变条件，如温度、光纤、气体、弯曲台等。此外，还可以根据用户的需求进行定制扩展.真空探针台是通过控制和测量获得输出数据的设备.在测量系统(IV、CV、RF、阻抗)和真空情况下，通过软件改变条件，如温度、光纤、气体、弯曲台等。此外，还可以根据用户的需求进行定制扩展.

1、通过PLC维持真空系统内部真空2、维持可维持-3Pa真空度——按照客户要求，加工订制；——一对一专业出图设计；——可配套指定真空机组系统；——耐高温、耐腐蚀；——高质量、高精度；加工工艺，采用真空焊接技术拼装焊接；先进的真空捡漏设备，更加保证产品；我公司采用三维建模软件，按照实际比例建立三维模型，根据客户文字、语言草图等需求描述，专业设计出适合客户所需产品方案（在方案定稿之前所有设计不收取任何费用）。为了生产出最匹配客户需求的产品，需要告知我公司以下几个问题点：1、产品在使用过程中是否有温度产生，高温和低温分别是多少摄氏度，是否需要通水或液氮冷却等内外在因素。2、对产品材质是否有特殊要求，真空领域腔体常用材质为：碳钢、铝、304不锈钢、316不锈钢等3、产品的链接方式，抽真空的方式，抽真空所用的真空泵等4、腔体真空度的要求，腔体抽完真空以后是否需要冲入保护气体或其他气体。通常常见真空腔体技术性能：材质：304不锈钢或客户指定材质。腔体适用温度范围：-190℃~+1200℃密封方式：氟胶“O”型圈或金属无氧铜密封圈出厂检测事项：1、真空漏率检测：标准检测漏率：1.3*10-8PaL/S 2、水冷水压检测：标准检测压力：8公斤24小时无泄漏检测。内外表面处理：拉丝抛光处理、喷砂电解处理、酸洗处理、电解抛光处理和镜面抛光处理等。实验室真空系统,真空腔体,真空探针台

美国ARS 公司的PS-CC闭循环探针台用于样品的非破坏性检测，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。 该款探针台使用DE204、DE210或DE215系列冷头，整个测试过程中无需使用任何制冷剂（液氦/液氮）。可根据不同测试要求，选用不同型号冷头，以便样品最低温度到达13K、10K、7K或4K。所有的ARS闭式循冷头均采用高制冷量的一级冷头，该设计可使系统快速降温并最大程度降低系统热负载。气动驱动GM冷头一级制冷量高，固有振动小，是该领域的理想选择。 该系统为科研工作者提供一个大的、洁净的样品环境。真空腔由焊接不锈钢制成，防热辐射屏由镀镍的无氧铜OFHC制成。镍镀层的低辐射率和无氧铜的高热传导使得样品空间的防热辐射屏温度更低净制冷量更大。高质的真空器件至关重要，可以使样品获得更高的真空环境，更洁净的表面，更好的电接触。 ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了该产品的稳定性能，也利于系统的诊断和服务。 The above picture shows the sample space of the probe station.The above picture shows a custom sample holder and 4 DC probes. 特点备注温度范围：7K-400K10英寸不锈钢真空室8英寸镀镍无氧铜防热辐射屏2.25英寸镀金无氧铜样品台可升级4英寸样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗多至6个三维微操作探针臂可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器温度计安装位置：1、冷头温度计，用于诊断2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温3、样品温度计，用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样三级减振系统样品台综合振动 1微米样品台振动 100nm7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式闭循环制冷，无需液氦温度范围7K-400K（可选更高制冷量DE215冷头冷台温度4K,安装高温隔热台高温度可达800K）温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约2到2.5小时（DE204P冷头）真空腔不锈钢真空腔直径10英寸上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏直径8英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头样品台镀金无氧铜样品台2.25英寸直径样品台连接接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）探针臂位移台手动驱动不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准） 2英寸行程（可选）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动三级减振，样品台综合振动优于1微米温度计安装4个温度计，2套加热器4个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选）针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米单模或多模

Reys600真空探针台可实现高真空和高低温环境下对样品电学性能的测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到4K-873K(分段选配），低温部分采用液氮或液氦冷却组件，真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-6Pa。对于材料和仪器进行变温（和变气氛）的电学特性(如I-V)和光电特性测量、发光二极管（LED）、场效应晶体管（FET）等半导体器件的参数测量、材料介电特性以及RF特性测量等。适用的材料包括有机（和无机）半导体、纳米线（和纳米管）、量子点，分子电子材料、薄膜材料等。特别适合对微小（亚毫米-微米）器件和器件阵列样品进行快速、准确和无损的测量。 可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

Lake Shore的CPX-VF探针台增加了±2.5T的超导磁体，可以进行C-V、I-V、微波和电光探测，以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CPX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CPX-VF 是Lake Shore探针台中结合微波和磁场测量的优秀探针台之一。 CPX-VF在直径达51mm（2英寸）的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。 CPX-VF使用液氦或液氮进行连续流制冷（使用超导磁体时必须使用液氦），其操作温度范围为4.2 K到400 K，使用低温选件可将基础低温扩展到2 K。 主要特征： √ 温度范围4.3 K~400 K √ 可选低温1.9 K √ 垂直磁场±2.5 T √ 最大2英寸（51 mm）样品 √ 样品可面内±5°旋转 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 90°探针样品测量 √ 霍尔效应测试选件 √ 超高真空选件 √ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境 设备参数： 磁场 磁体类型 超导螺线管 磁场方向 垂直方向（垂直于样品面） 磁场控制 电流控制 磁场大小 最大±25 KOe(±2.5 T) 磁场均匀性 0.5% 10 mm直径；1% 25 mm直径 探针针尖移动 5μm 整个磁场范围内 温度范围 最多配置6个探针臂 基础温度4.3 K，温度控制范围4.4 K ~ 400 K 安装PS-LT低温选件 基础温度1.9 K，温度控制范围2 K ~ 400 K 温度稳定性 液氦 基础温度 (无加热控制) ±15 mK 10 K ±50 mK 10 K ~ 100 K ±20 mK 101 K ~ 250 K ±15 mK 251 K ~ 350 K ±15 mK 351 K ~ 400 K ±50 mK 真空 以TPS-FRG分子泵为标准 PS-HV-CPX选件 抽真空时间 30 min (1 × 10-3 Torr) 10 min (1 × 10-3 Torr) 室温 5 × 10-4 Torr 5 × 10-6 Torr 基础温度 1 × 10-5 Torr 5 × 10-7 Torr 最高温度 5 × 10-5 Torr 5 × 10-7 Torr 循环时间 总循环 4 h 抽真空 0.5 h 探针台冷却 2 h 探针台升温 1.5 h 样品 最大尺寸 51 mm(2英寸) 样品背光接口 不可选 样品旋转 ±5°样品面内旋转 样品振动 ＜300 nm（标准），＜30 nm（配置减震选件PS-PVIS） 探针配置 最大探针数 6 探针臂温度计 用于监视探针臂的温度 冷却探针支架 ＜20 K(样品在基础温度下) 探针支架 连接磁体防辐射屏热沉 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 DC/RF探针 电绝缘100GΩ用于低漏电流测量 微波探针 频率范围从DC到67GHz 光纤探针 可用于电光测量 落针范围 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

产品简介：该款探针台可精确控制探针臂和探针的移动，通过搭配探针座、显微镜和源表等，来完成探针台的测试，精确下针，输入、输出测试电信号，漏电流50fA；精确度高，稳定性好，皮实耐用；适合高校/研究所研发用。主要配置：- 6"真空吸盘- 漏电流：50fA- X/Y平台行程：100X100mm- Z轴分辨率：1um- 显微镜&CCD: 放大倍数300x，更大倍数可订制- CCD相机：2.1M像素+液晶显示屏- LED环形照明（带亮度调节）- 探针座：磁性底座- 探针臂：三轴或同轴线缆- 探针：金钨合金- 真空泵：低噪音真空泵其他选项：- 防震桌- 暗箱（屏蔽箱）- 加热台- 转接头插线板- ......

CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，以实现优异的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。 由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持温度，与高真空选件，最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K√ 可选低温1.9 K/1.6 K√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制√ 样品可面内±5°旋转√ 样品振动＜30 nm可选√ 超高真空选件√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境√ 环形磁体选件最大0.19T设备参数： 温度范围最多安装6个探针臂基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K安装PS-LT低温选件基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K安装PS-VLT-CPX极低温选件基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K安装PS-LL-CPX选件（Load Lock）基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K温度稳定性液氦液氮基础温度 (无加热控制)±15 mK±20 mK10 K±50 mK—10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK真空以TPS-FRG分子泵组为标准PS-HV-CPX高真空选件抽真空时间30 min (1 × 10-3 Torr)10 min (1 × 10-3 Torr)室温5 × 10-4 Torr5 × 10-6 Torr基础温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr最高温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr循环时间总循环3 h抽真空0.5 h探针台冷却1.25 h探针台升温2 hLoad Lock样品更换时间1小时（配有PS-LL-CPX选件）样品最大尺寸51 mm（2英寸）标准25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件样品背光接口不可选样品旋转±5°面内旋转样品振动＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件探针配置最大探针数6探针臂温度计用于监视探针臂的温度冷却探针支架＜20 K(样品在基础温度下)探针支架连接样品台或4K防辐射屏热沉探针臂支架连接防辐射屏热沉DC/RF探针电绝缘100GΩ用于低漏电流测量微波探针频率范围从DC到67GHz光纤探针可用于电光测量落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，以实现优异的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。 由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持温度，与高真空选件，最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K√ 可选低温1.9 K/1.6 K√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制√ 样品可面内±5°旋转√ 样品振动＜30 nm可选√ 超高真空选件√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境√ 环形磁体选件最大0.19T设备参数： 温度范围最多安装6个探针臂基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K安装PS-LT低温选件基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K安装PS-VLT-CPX极低温选件基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K安装PS-LL-CPX选件（Load Lock）基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K温度稳定性液氦液氮基础温度 (无加热控制)±15 mK±20 mK10 K±50 mK—10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK真空以TPS-FRG分子泵组为标准PS-HV-CPX高真空选件抽真空时间30 min (1 × 10-3 Torr)10 min (1 × 10-3 Torr)室温5 × 10-4 Torr5 × 10-6 Torr基础温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr最高温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr循环时间总循环3 h抽真空0.5 h探针台冷却1.25 h探针台升温2 hLoad Lock样品更换时间1小时（配有PS-LL-CPX选件）样品最大尺寸51 mm（2英寸）标准25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件样品背光接口不可选样品旋转±5°面内旋转样品振动＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件探针配置最大探针数6探针臂温度计用于监视探针臂的温度冷却探针支架＜20 K(样品在基础温度下)探针支架连接样品台或4K防辐射屏热沉探针臂支架连接防辐射屏热沉DC/RF探针电绝缘100GΩ用于低漏电流测量微波探针频率范围从DC到67GHz光纤探针可用于电光测量落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针