自动血沉仪原理

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自动血沉仪原理相关的仪器

  • 产品简介ZR-3260E型自动烟尘烟气综合测试仪为便携式仪器,采用等速采样,滤膜(滤筒)称重的方法测量烟尘质量浓度;采用紫外差分吸收光谱技术、非分散红外技术和电化学技术测量SO2、NO、NO2、NOx、CO、CO2、H2S、O2等有毒有害气体的质量浓度;配合ZR-D09QT型烟尘多参数直读采样管,可实现β射线吸收称重原理完成对废气颗粒物浓度的现场精确测量和直读。以及对烟气流速、烟气温度、烟气湿度、烟道压力、排风量等参数的测量。适合对固定源排放中烟尘烟气的排放浓度、排放总量、脱尘脱硫效率的监测。适用范围:》 各种锅炉、工业炉窑的烟尘排放浓度、折算浓度和排放总量的测定;》 该仪器配油烟采样管,可以进行油烟采样;配沥青烟采样管,可以进行沥青烟采样;》 各类除尘设备效率的测定;》 烟道排气参数(动压、静压、温度、流速、标干流量等)的测定;》 烟气含氧量、空气过剩系数的测定;》 干、湿球温度的测定;》 烟气连续测量仪器准确度的评估和校准;》 各种锅炉、工业炉窑的SO2、NOx排放浓度、折算浓度和排放总量的测定及各类脱硫设备效率的测定(可选);》 其它可应用的场合。标配:ZR-D25A型一体式烟气多功能采样管ZR-X01型低浓度烟尘采样嘴箱ZR-V01型高效气水分离器蓝牙打印机执行标准GB/T 16157-1996 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法HJ 836-2017 固定污染源废气 低浓度颗粒物的测定 重量法HJ 1131-2020 固定污染源废气 二氧化硫的测定 便携式紫外吸收法HJ 1132-2020 固定污染源废气 氮氧化物的测定 便携式紫外吸收法HJ/T 48-1999 烟尘采样器技术条件JJG 968-2002 烟气分析仪检定规程JJG 680-2007 烟尘采样器检定规程JJG 518-1998 皮托管检定规程Q/0212 ZRB014-2015 自动烟尘烟气综合测试仪技术特点》 内置紫外差分烟气分析模块和大流量烟尘采样泵,可同时满足HJ 1131-2020、HJ 1132-2020、HJ 836-2017三个标准;》 配备多功能取样管,同时具备测量烟道温度、流速、含湿量(阻容法)、烟气预处理(磷酸法)、烟尘采样等功能,实现一支采样管满足现场监测需求;》 采用紫外光谱差分吸收技术(DOAS)测量固定污染源排气中的SO2、NO、NO2等气体浓度,测量精度高,不受烟气中水蒸气影响,特别适合高湿低硫工况;》 配备自主知识产权的紫外检测模块,关键部件带有恒温、减震装置,消除温度漂移,测量结果稳定可靠; 》高精度非分散红外吸收法测量模块,分析烟气成分;》双量程分析设计,根据SO2、NO、NO2高低浓度值自动切换量程;》光谱图形动态显示,方便用户掌握仪器工作情况;》采用进口全息光栅光谱仪,完美匹配SO2、NO、NO2等组分的吸收谱段;》紫外光源采用脉冲氙灯,预热时间小于10min,使用寿命长;》内置液态水防护及自动排水装置,防止采样气体中含有液态水影响采样;》内置恒温系统,保证红外模块在恒温环境下运行,提高测量稳定性;》烟气测试流量控制满足HJ/T 46 的要求;》获得国家计量器具型式批准证书CPA;》具备烟道信息数据库,自动记忆烟道工况配置信息,支持汉字输入,可快速提取历史数据;》同时支持触控和按键操作,7.0寸宽温高亮多角度翻转彩屏,耐高寒,视域广,汉字图形化显示,键盘采用防尘防水工业精密设计,适用于恶劣工况;》内置自动排水泵,实现烟尘、烟气采样的冷凝水自动排出,满足高湿度工况使用,操作便利高效;》板载大容量存储器,采样数据实时存储,支持SD卡、U盘等导出存储,实现文件无限量存储;》支持蓝牙通信功能和外置蓝牙高速打印机;》配备高负载低噪声大流量抽气泵,流量可达110L/min;》精确电子流量计控制,实时监测计温,计压,自动调节流量;》微电脑控制等速跟踪采样,专有调节方式,响应时间快;》烟气传感器类型、数量、维护日期动态管理,气体传感器自动配置,同时传感器供电无需更换电池,自动充电,增加传感器电池电量报警,提示用户注意,确保传感器处于安全状态;》具备操作导航功能,引导用户快速完成整个采样过程;》皮托管正负取压接嘴与连接管路进行颜色标识区分,便于操作;》具备烟尘系统气密性和整机故障自检与报警功能,方便用户使用及维护; 》具有气路缓冲功能,实现真正防倒吸,保证采样数据的准确性;》主机可视化优质尘滤芯、逃逸水陷阱一体化设计,有效滤尘且便于更换,进一步除水,保护气路及采样泵;》交直流电压供电,支持外接电源箱供电或AC/DC桌面电源适配器供电,采用220V供电、充电;》具有断电记忆功能,采样过程中,突然断电,自动保存工作数据,来电提示恢复继续采样;》标配电池25.9V 6AH,仪器功耗更低,20L/min,-8kPa负载时≥3小时 30L/min,-8kPa负载时≥2小时;可扩展备用电源箱供电;》具备DC24V输入和DC24V输出接口,可外接电源使用,亦可为外部附件提供电源;》具有大于AC250V过压保护功能,避免因接入电压过高而造成仪器损坏;》加强过滤除湿以及静电、摔碰等的防护,整机更结实耐用;》可选配无线通讯和定位;》预留2种湿度测量方法(阻容法和干湿球法)的接口。选配部分》可扩展β射线吸收法和微振荡天平法测量的烟尘直读模块,以及可扩展直读称量单元,实现烟尘浓度现场测量;》可配备阻容法含湿量测量仪,代替干湿球法独立测量湿度,无需外部动力抽取;》烟气预处理器,可有效进行脱水、除尘, 增强烟气成分检测精确度。
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  • 深圳中艺光影秀设计团队解析沉浸式互动投影的原理沉浸式投影原理就是利用投影机将画面投射到大型或者多面的投影幕上,然后再借助多通道投影融合技术使得画面能够呈现出更好的效果。该系统能够提供一个房间大小的四面(或六面)立方体投影显示空间,再结合音响系统和动作采集系统,制造一个沉浸式的立体三维视听的交互体验感。 深圳中艺光影秀设计团队利用沉浸式互动投影的特点,可以使所有参与者均完全沉浸在一个被立体投影画面包围的高级虚拟仿真环境中(通常左、中、右、上、下五组画面),获得一种身临其境的三维立体视听影像和交互感受。沉浸式互动投影商业合作,就找深圳建安中艺光影秀深圳建安中艺光影科技有限公司是致力于以3D光影技术为核心的夜景灯光创意,建筑投影丶灯光秀演落地实施,灯光项目提升改造EPC总承包为一体的综合性高科技企业。业务涵盖:3D投影秀丶水舞秀丶文旅夜游策划丶交互式多媒体应用及设备租赁等。为城市及文旅景区灯光空间构建提供策划丶设计丶内容丶工程丶运维”5位1体的“一站式灯光空间解决方案”。
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  • BIOBASE/博科 多功能旋涡混合器 BHY-100工作原理本仪器使用高效直流步进电机进行驱动,通过电机转动从而带动与左轴、右轴相连接的安装板转动,试管通过试管夹固定在安装板上,可根据程序模式选择进行不同转速的翻转、旋转、抖动、上下波浪式的运动状态。可供选择的8种模式中,旋转转速9-100RPM可调,翻转转速9-30RPM可调,抖动、翘板模式的转速9-20RPM可调。适用范围BHY-100混匀仪是一种转速可调及具有旋转、翻转、抖动等功能组合的试管混匀仪,它能够提供高效且温和的混合,使生物样品处于悬浮状态,适用于装夹1.5ml~50ml之间各类型离心管,Φ13、Φ16的血沉管,各种试管可根据更换安装板或更换试管夹进行配合使用。适用于预防血液凝固、乳胶诊断、免疫沉淀等应用,及液体物质的混匀。工作环境a)环境温度:10 ℃~30 ℃;b)相对湿度:≤70%;c)大气压力:86 kPa~106 kPa;d)周围无强烈震动及腐蚀性气体存在;e)应避免阳光直接照射或其它冷热源的影响;f)远离强电磁场干扰;g)电源电压:220V,50 Hz;技术参数速度范围9~100RPM外形尺寸485×199×207mm时间设置范围1min~99h59min输入电源AC220V±10%(50/60?)输入功率17W重量6.9KG运行方式旋转/翻转/抖动/上下波浪摇摆性能特点1、选用直流步进电机进行驱动,运行平稳,噪音小,使用寿命长2、数字控制时间与速度,控制更精确3、LCD显示速度、时间、工作模式,方便读取与操作4、旋钮操作模式,简单快捷5、多种托盘可选,用途广泛,可更换试管夹实现多种试管共同混匀6、可根据实际需要进行更换不同型号的安装板或试管夹7、8种工作模式可供任意选择
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  • 【资料】烟尘自动监测仪分类及应用

    一、引言及定义 烟尘颗粒物是指悬浮在大气中的固体和液体气溶胶。因为烟尘颗粒物是非气体的,所以浓度不能以体积单位表示,常用的单位为mg/m3 烟尘的习惯称呼有:颗粒物、尘粒、粉尘、超微粉尘、飘尘等 烟尘测量仪用于对固定污染源排放烟尘作长期的连续的监测,反映烟尘在某一时间的排放情况。目前得到广泛应用连续监测系统以下几种:不透明度(浊度)测尘仪、散射光测尘仪、射线吸收法测尘仪、电荷法测尘仪。二、烟尘连续测试技术简介 1、不透明度测尘仪 原理:光通过含有烟尘的烟气时,光强因烟尘的吸收和散射作用而减弱,通过测定光束通过烟气前后的光强比值来定量烟尘浓度。 透明度的定义:当一束光通过含有颗粒物的烟气时,参比光强和光束和光束通过烟气后的光强I的比值 透明度符合朗伯-比耳定理。朗伯-比耳定理表明光通过含有颗粒物的烟气的透过率与acL呈指数下降,即: 式中, ---光通过烟气的透过率; ---入射光强; I---出射光强; a---分子吸收率(与颗粒物直径、波长及吸光度有关); c---污染物浓度 L---光通过烟气的距离 不透光度用于表示被粒子遮挡后损失的光:O=1-T 透光度和不透光度相对于粒子浓度均为非线性参数。为了得到相对于粒子浓度的线性参数,引用了消光度的概念,透光度、不透光度和消光度之间的关系见下式:E=log(1/T)=-log(T)=kcl 对于稳定的介质和固定的波长,a为常数,对于固定的烟道,L为常数。因此,E与烟尘浓度成正比。 不透明度(浊度)测尘仪,分为单光程测尘仪和双光程测尘仪两种。单光程测尘仪的光源发射端与接受端烟道或烟囱两侧,光源发射的光通过烟气。由安装在烟道或烟囱对面的接受装置检测光强,并转变为电信号输出。双光程测尘仪的光源发射端与接受端在烟道或烟囱同一侧,由发射/接收装置和反射装置两部分组成,光源发射的光通过烟气,由安装在烟道对面的反射镜反射再经过烟气回到接收装置,检测光强并转变为电信号输出。 2、散射光测尘仪 一光束设人烟道,光束与烟尘颗粒相互作用产生散射,散射光的强弱与总散射截面成正比,当烟尘颗粒物浓度升高时烟尘颗粒物的总散射截面增大,散射光增强,通过测量散射光的强弱,即可得到烟尘颗粒物的浓度。 当粒子被照明时会出现不同的效应,这些效应互相重叠,在不同的角度他们的量是不同的。散射光是与辐射角相关的观察角的函数。 其关系式如下: 式中,N:测量敏感区颗粒物总数; f(D):颗粒物的粒径; Vv:测量敏感区的体积; g:重力参数 。 根据接收器与光源所呈角度的大小可分为前散射、边散射及后散射。前散射测尘仪,接收器与光源呈士60o;边散射测尘仪,接收器与光源呈土(60o-120o);后散射测尘仪,接收器与光源呈土(1200一180o)。测尘仪光学探头分插人烟道内和位于烟道外两种形式。 3,射线测尘仪 射线是放射线的一种,是一种电子流。所以,在通过物质时,和物质内的电子发生散射、冲突而被吸收。当射线的能量恒定时,这一吸收量就与物质的质量成正比,不受颗粒物的粒径、分布、颜色等的影响。测尘仪将烟气中颗粒物按等速采样方法采集到滤纸上,利用射线吸收方式,根据滤纸在采样前后吸收射线的差求出滤纸捕集颗粒物的质量,用质量浓度(mg/m3 )表示出颗粒物的浓度。 4,电荷法测尘仪: 任何两种不同的物质在动态状况下会互相之间产生静电荷。如果颗粒物互相碰撞;电子将从一种物质传导至另一种物质。这时,此静电荷会产生微弱电流,这就是我们熟悉的”摩擦生电”原理。如果颗粒物只是流经过一种材料(探头),两者之间会形成一种感应电荷:当流动中带正电荷的颗粒物接近探头的有效距离时,探针内的电子将被吸引到接近颗粒物的外层。当此颗粒物流过探头安装位置后,探针内的电子将被推移至远离颗粒物的另一面。当颗粒物离开有效感应距离时,探针内电子将恢复原来的分布状况。这种电子群的移动现象也能形成一股可被探测到的微弱电流。这就是”电荷感应”原理。 电荷法监测设备就是利用探测各烟尘颗粒物与探针之间所产生的静电荷,经过放大,分析和处理,转换成一种电子信号并传送进监测系统。利用”摩擦生电”原理来获取信号的烟尘排放监测设备称为”直流祸合”技术;利用”电荷感应”原理来获取信号的烟尘排放监测设备称为”交流祸合”技术。 实践证明,烟尘颗粒物排放量与”交流藕合”技术监测探头感应信号是一个线性关系。 5 光闪烁法 光闪烁法检测光源采用可调 LED ( 2KHz ,波长 637nm ),能自动识别调制光,排除背景外界光线强度,并自动补偿,以保持测量精度,其检测原理是利用粉尘颗粒通过探测光线时,会吸收光线,引起接收的光线强度迅速变化,接收器通过检测光线调制信号干涉幅度的变化,这种变化量直接反映粉尘浓度的变化,并成比列。粉尘的浓度越大,则调制信号的干涉幅度越强,因此该仪器只对管道或烟囱中移动的粉尘作出响应,而实质上并不受镜头积灰及不良连接或老化等因素的干扰,这是 该仪器独特的优点,不同于传统的浊度仪,只测量接受到的光线强度的衰减,而探测头不能区分出在管道中移动的粉尘和积聚在镜头上的粉尘。 该仪器的发射头与接收头安装了空气清吹接头,可以防止镜头积灰,由于 该仪器完全消除了假信号与其他干扰信号的影响,因此不需对检测探头做很多的维护。 三、烟尘测试仪的主要技术指标检验 烟尘分析仪的主要技术指标包括零点漂移,量程漂移,相关度,准确度。 1、零点漂移和量程漂移: 在检测期间开始时,人工或自动校准仪器的零点和量程,记录最初的模拟零点和量程读数,每隔24小时测定并记录零点和量程的读数,然后校准仪器的零点和量程值 零点漂移:可按下式计算零点漂移。 △Z=Zi一Zo Zd=△Zmax/R x 100%式中:Zo ------零点读数初始值 Zi-----一第i点零点读数值 Zd ------零点漂移 △Z------零点漂移绝对误差 △Zmax----零点漂移绝对误差最大值 R------仪器满量程值 量程漂移:可按下式计算量程漂移。 △S=Si-So Sd=△Smax/R x 100%式中: So ------量程读数初始值 Si -----第i点量程读数值 Sd-----量程漂移 △S-----量程漂移绝对误差 △Smax-----量程漂移绝对误差最大值 R-----一仪器满量程值 2、相关性:浓度相关性校准是建立不透明度与烟气中颗粒物质量浓度的关系曲线,利用关系曲线确定排放颗粒物的浓度。关系曲线在实际运用中,假定颗粒物特性与获得校准曲线时颗粒物的特性相同。如果颗粒物直径分布发生变化,对光的散射行为会发生变化,使由校准曲线获得的颗粒物浓度与烟气中颗粒物实际浓度存在一定的差距,由于校准曲线的置信区间和允许区间比较宽,只要存在的差距落在允许区间范围内,仍认为校准曲线得到的颗粒物浓度是可靠的。 在检测期间,生产设备和治理设施正常运行,在低中高生产能力或调节颗粒物控制装置改变颗粒物排放浓度条件下进行测试 参比方法与CEMS同步进行,CEMS同步进行,CEMS每分钟记录一次显示值,取与参比方法同时间区间显示值的平均值与参比方法测定值组成一个数据对,至少取得15个数据对。以CEMS的显示值为横坐标(X),参比方法测定的颗粒物质量浓度为纵坐标(Y)。由最小二乘法建立两个变量之间的关系。 一元回归方程: Y=a一bX a---一偏移量 b----一斜率 然后再求出两者的相关系数 3、准确度和相对误差:在复检期间,生产设备和治理设施正常运行,当达到被测设施最大生产能力70%以上时,可进行准确度和相对误差的测量。 计算方法:将参比方法测定值减去CEMS显示值除以参比方法显示值,计算相对误差。     三、烟尘连续监测仪的应用   1.监视烟尘排放浓度是否合格   为了确保环境不受污染,各国环保法对各种类型的工业窑炉烟尘排放浓度作了明确规定。非连续计重法测量一次需数个小时,显然不适合用来长期监视烟尘排放浓度。用直读式带有记录仪装置的连续测尘仪,可监视烟尘排放浓度是否合格。当烟尘排放浓度超标后,可发出报警信号,以便引起人们注意。记录装置可长期连续记录烟尘排放浓度,全面反映了烟尘排放规律,为环保部门提供完整的统计数据,也为设计部门设计合理除尘装置提供科学依据。   2.用于布袋除尘器破袋检查和确定清灰间隔时间和清灰时间   布袋除尘器是一种广泛应用的除尘设备。大、中型布袋除尘器一般设若干分隔仓,在每个仓内装有一定数量的袋子。袋子破损后会使烟尘排放浓度增大。对仓内破袋进行人工检查,不仅工作量大,而且费时。由微机控制的袋除尘器配置

自动血沉仪原理相关的耗材

  • 血容管(压积管)/血球沉降管(血沉管)
    血容管(压积管)/血球沉降管(血沉管) 通用型:适合Gilson、Pipetman和大多数移液器。 名称 规格 包装 价格(元) 血容管(压积管) 0-105mm,长120mm 1000支/箱 3.6 血沉管 0-195mm,找120mm
  • 动态加热粉尘仪
    动态加热粉尘仪规格参数:监测原理:光散射原理PM2.5测量范围/分辨率:0-1000/0.1ug/m3PM10测量范围/分辨率:0-2000/0.1ug/m3TSP测量范围/分辨率:0-20000/1ug/m3响应时间:1S 6、电源电压:DC12V输出方式:RS485 ZWIN-YC06-M动态加热粉尘仪是一款主要针对颗粒物扬尘在线监测的新型智能传感器,主要监测TSP、PM2.5、PM10等颗粒物参数。 原理:运用光散射原理,系统巧妙设计光敏感区作为粒子散射发生的场所,当粒子经过聚焦激光所形成的光敏感区后,粒子散射的光被探测窗口上的微光电探测器收集,微光电探测器把接收的光强度信号快速、准确的转化为等量电压信号,信号的密集度对应于粒子的单位浓度值,颗粒物浓度值进行系数转换后通过数据接口实时输出。 此款粉尘仪气体采样单元增加预处理模块,能够自动除尘、自动除湿、自动温度校准,提高气体检测的J准度。该传感器配备RS485信号传输接口,操作方便、测量准确、工作可靠,可嵌入各种与检测颗粒物浓度相关的仪器,适用于工地、道路扬尘及污染严重区域扬尘颗粒物监测等。
  • 化工原理实验仿真软件CES (以北化装置为原型)
    流程简述: 化工原理是化工、生物、食品、制药等专业必修课。化工原理实验是大部分学校必做的实验。因此化工原理实验被列为重点实验内容之一。东方仿真使用自主开发平台,利用动态数学模型实时模拟真实实验现象和过程,通过3D仿真实验装置交互式操作,产生和真实实验一致的实验现象和结果。每位学生都能亲自动手做实验,观察实验现象,记录实验数据,验证公式、原理定理。另外,该系统还配备开放的标准实验思考题生成器。该系统分为教师站和学生站。通过网络,教师站上的监控和管理程序方便地对学生站运行的实验仿真软件进行实时的监控和管理。本仿真软件以北京化工大学实验装置为主,兼顾华东理工大学的实验装置。包括了所有典型的化工原理实验装置。培训工艺:1.1 、离心泵特性曲线测定1.2 、流量计的认识和校核1.3 、流体阻力系数测定1.4 、传热(水-蒸汽)实验1.5 、传热(空气-蒸汽)实验1.6 、精馏(乙醇-水)实验1.7 、精馏(乙醇-丙醇)实验1.8 、吸收(氨-水)实验一1.9 、吸收(氨-水)实验二1.10 、丙酮吸收实验1.11 、干燥实验1.12 、板框过滤实验建议配置:学员站:CPU:奔腾E2140或更强的CPU(或AMD Athlon X2 4000)内存:1G以上显卡和显示器:分辨率1024x768以上硬盘空间:至少1G剩余空间操作系统:Windows XP SP2/SP3教师站:CPU:奔腾E5200或更强的CPU(或AMD Athlon X2 5000)内存:1G以上(推荐2G以上)显卡和显示器:分辨率1024x768以上硬盘空间:至少1G剩余空间操作系统:Windows Server 2003 SP2网络要求:网络必须稳定通畅(统一式激活)

自动血沉仪原理相关的资料

自动血沉仪原理相关的资讯

  • 448万!铅山县中医院检验设备采购(全自动血沉仪、全自动血细胞分析仪、流水线光学显微镜等)
    项目编号:0747-2261SCCJX144项目名称:铅山县中医院检验设备采购(全自动血沉仪、全自动血细胞分析仪、流水线光学显微镜等)采购方式:公开招标预算金额:4480000.00 元最高限价:4480000.00采购需求:采购条目编号采购条目名称数量单位采购预算(人民币)技术需求或服务要求饶购2022F000626286铅山县中医院检验设备采购(全自动血沉仪、全自动血细胞分析仪、流水线光学显微镜等)1批4480000.00元详见公告附件合同履行期限:签署合同后60天内交付。本项目不接受联合体投标。
  • 190万!北京大学第六医院全自动生化分析仪等采购项目
    1、项目编号:TC2203075/01项目名称:北京大学第六医院2022诊疗能力提升项目—检验设备购置全自动免疫分析仪和全自动血沉仪预算金额:90.0000000 万元(人民币)采购需求:包号项目名称设备名称及数量简要技术要求是否可以采购进口分包项目预算(万元人民币)1北京大学第六医院2022诊疗能力提升项目—检验设备购置全自动免疫分析仪和全自动血沉仪全自动免疫分析仪,1套具备rT3检测、降钙素(CT)检测、 AMH检测功能。否90全自动血沉仪,2套测试通道数:≥40。否2、项目编号:TC2203075/02项目名称:北京大学第六医院2022诊疗能力提升项目—检验设备购置全自动生化分析仪预算金额:100.0000000 万元(人民币)采购需求:包号项目名称设备名称及数量简要技术要求是否可以采购进口分包项目预算(万元人民币)2北京大学第六医院2022诊疗能力提升项目—检验设备购置全自动生化分析仪全自动生化分析仪,1套生化+ISE检测模式:≥2400测试/小时。否100具体详见附件技术需求书。本项目为非专门面向中小企业的项目。合同履行期限:预计2022年8月至质保期结束。本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 一文了解原子层沉积(ALD)技术的原理与特点
    什么是原子层沉积技术原子层沉积技术(ALD)是一种一层一层原子级生长的薄膜制备技术。理想的 ALD 生长过程,通过选择性交替,把不同的前驱体暴露于基片的表面,在表面化学吸附并反应形成沉积薄膜。 20 世纪 60 年代,前苏联的科学家对多层 ALD 涂层工艺之前的技术(与单原子层或双原子层的气相生长和分析相关)进行了研究。后来,芬兰科学家独立开发出一种多循环涂层技术(1974年,由 Tuomo Suntola 教授申请专利)。在俄罗斯,它过去和现在都被称为分子层沉积,而在芬兰,它被称为原子层外延。后来更名为更通用的术语“原子层沉积”,而术语“原子层外延”现在保留用于(高温)外延 ALD。 Part 01.原子层沉积技术基本原理 一个完整的 ALD 生长循环可以分为四个步骤: 1.脉冲第一种前驱体暴露于基片表面,同时在基片表面对第一种前驱体进行化学吸附2.惰性载气吹走剩余的没有反应的前驱体3.脉冲第二种前驱体在表面进行化学反应,得到需要的薄膜材料4.惰性载气吹走剩余的前驱体与反应副产物 原子层沉积( ALD )原理图示 涂层的层数(厚度)可以简单地通过设置连续脉冲的数量来确定。蒸气不会在表面上凝结,因为多余的蒸气在前驱体脉冲之间使用氮气吹扫被排出。这意味着每次脉冲后的涂层会自我限制为一个单层,并且允许其以原子精度涂覆复杂的形状。如果是多孔材料,内部的涂层厚度将与其表面相同!因此,ALD 有着越来越广泛的应用。 Part 02. 原子层沉积技术案例展示 原子层沉积通常涉及 4 个步骤的循环,根据需要重复多次以达到所需的涂层厚度。在生长过程中,表面交替暴露于两种互补的化学前驱体。在这种情况下,将每种前驱体单独送入反应器中。 下文以包覆 Al2O3 为例,使用第一前驱体 Al(CH3)3(三甲基铝,TMA)和第二前驱体 H2O 或氧等离子体进行原子层沉积,详细过程如下:反应过程图示 在每个周期中,执行以下步骤: 01 第一前驱体 TMA 的流动,其吸附在表面上的 OH 基团上并与其反应。通过正确选择前驱体和参数,该反应是自限性的。 Al(CH3)3 + OH = O-Al-(CH3)2 + CH4 02使用 N2 吹扫去除剩余的 Al(CH3)3 和 CH4 03第二前驱体(水或氧气)的流动。H2O(热 ALD)或氧等离子体自由基(等离子体 ALD)的反应会氧化表面并去除表面配体。这种反应也是自限性的。 O-Al-(CH3)2 + H2O = O-Al-OH(2) + (O)2-Al-CH3 + CH4 04使用 N2 吹扫去除剩余的 H2O 和 CH4,继续步骤 1。 由于每个曝光步骤,表面位点饱和为一个单层。一旦表面饱和,由于前驱体化学和工艺条件,就不会发生进一步的反应。 为了防止前驱体在表面以外的任何地方发生反应,从而导致化学气相沉积(CVD),必须通过氮气吹扫将各个步骤分开。 Part 03. 原子层沉积技术的优点 由于原子层沉积技术,与表面形成共价键,有时甚至渗透(聚合物),因此具有出色的附着力,具有低缺陷密度,增强了安全性,易于操作且可扩展,无需超高真空等特点,具有以下优点: 厚度可控且均匀通过控制沉积循环次数,可以实现亚纳米级精度的薄膜厚度控制,具有优异的重复性。大面积厚度均匀,甚至超过米尺寸。 涂层表面光滑完美的 3D共形性和 100% 阶梯覆盖:在平坦、内部多孔和颗粒周围样品上形成均匀光滑的涂层,涂层的粗糙度非常低,并且完全遵循基材的曲率。该涂层甚至可以生长在基材上的灰尘颗粒下方,从而防止出现针孔。 ALD 涂层的完美台阶覆盖性 适用多类型材料所有类型的物体都可以进行涂层:晶圆、3D 零件、薄膜卷、多孔材料,甚至是从纳米到米尺寸的粉末。且适用于敏感基材的温和沉积工艺,通常不需要等离子体。 可定制材料特性适用于氧化物、氮化物、金属、半导体等的标准且易于复制的配方,可以通过三明治、异质结构、纳米层压材料、混合氧化物、梯度层和掺杂的数字控制来定制材料特性。 宽工艺窗口,且可批量生产对温度或前驱体剂量变化不敏感,易于批量扩展,可以一次性堆叠和涂覆许多基材,并具有完美的涂层厚度均匀性。

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