镭射干涉仪原理

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镭射干涉仪原理相关的仪器

  • Difrotec点衍射激光干涉仪 400-860-5168转2831
    Difrotec点衍射激光干涉仪-大口径（≥700mm）高精度（≤0.6nm RMS） 姓名：陈工(Jack)电话：（微信同号）邮箱： Difrotec点衍射激光干涉仪--大口径（≥700mm）、高精度（≤0.6nm RMS），不需要出口许可。Difrotec公司专注于高精度光学表面测绘领域产品的研发。拥有超过30年的激光干涉仪系统研发经验。上海昊量光电设备有限公司为Difrotec公司在国内的总代理商，为客户提供专业的技术咨询及商业服务！ Difrotec公司开发、设计和制造了市场上首台商用点衍射激光干涉仪。该系统具备结构紧凑，用户界面友好，自动测量光学表面面形和光学系统透射波前质量等功能。Difrotec公司开发的点衍射干涉仪具有大口径（≥700mm）,高精度（≤0.6nm RMS）等特点。我们是一家以客户需求为导向的公司，根据客户的需求集思广益，提供合适的解决方案。 Difrotec公司的点衍射激光干涉仪广泛应用于平面，球面，非球面等面型的检测。点衍射激光干涉仪产品特点：绝对测量精度(Peak-to-valley): ± 0.6 nm (λ/1000) 分辨率(Peak-to-valley): 0.05 nm (λ/12000)波前重复精度(RMS): 0.23 nm (λ/2800)Simple RMS repeatability: 0.06 nm (λ/10500)数值口径 NA: 0.55 (f# 0.91)数据采集: phase-shifting interferometry (PSI)大口径：Up tp 700mm不需要出口许可点衍射激光干涉仪测试案例：
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    厂商： 上海昊量光电设备有限公司
    品牌： 爱沙尼亚Difrotec/Difrotec
    型号： 大口径（&#8805 700mm）高精度（&#8804 0.6nm R
    价格： 50万 - 100万元
  • 中图仪器白光干涉仪SuperView W3
    详细信息一、产品简介SuperViewW3白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。SuperViewW3白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。二、产品功能一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。测量中提供拼接测量功能。分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能，设置分析模板，结合测量中提供的自动测量和批量测量功能，可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。三、应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。半导体制造（减薄粗糙度、镭射槽道轮廓）光学元器件.曲率&轮廓尺寸&粗糙度（超精密）加工.轮廓尺寸&角度表面工程（摩擦学）.轮廓面积&体积3C电子（玻璃屏）.粗糙度标准块.台阶高&粗糙度
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    厂商： 中图仪器
    品牌： 中图仪器
    型号： SuperView W3
    价格： 面议
  • Zygo激光干涉仪红外干涉仪
    Zygo激光干涉仪红外干涉仪适用于高精度红外成像应用的测量方法光学成像的应用广泛，种类繁多。在系统的设计波长下进行测试对开发、最终对准和鉴定至关重要。用于航空航天和国防的夜视、红外和热成像系统、光刻子系统、遥感望远镜和外来材料鉴定对波长有不同的要求，而它们都受益于在红外干涉仪系统在设计波长下的测试。ZYGO长期以来被公认为是世界上干涉测试仪器的先行者，已经设计和制造了许多特殊装备的干涉仪系统，包括NIR、SWIR、MWIR和LWIR波长的系统。ZYGO还设计和制造了一系列用于这些波长的参考光学器件（透射球面镜和透射平面镜）。主要特点工作波长范围广：NIR：1.053μm&1.064μmSWIR：1.55μmMWIR：3.39μmLWIR10.6μm基于工作波长的QFAS十字快速对准视图简化了红外测试系统和组件的设置。ZYGO独有的QPSI™ 采集技术，可在振动较常见的环境中实现可靠的测量，NIR、SWIR和MWIR型号均配有这种技术。可选的DynaPhase™ 瞬时数据采集技术，对振动不敏感，可在最恶劣的环境中进行测量。
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    厂商： Zygo
    品牌： 翟柯
    型号： 红外干涉仪
    价格： 面议
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  • 激光干涉仪测量五轴机床平移轴直线度误差的应用原理

    激光干涉仪测量五轴机床平移轴直线度误差的应用原理

    激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。[align=center][img=,578,450]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/11/201911201754505855_5264_3712_3.jpg!w578x450.jpg[/img][/align]　　激光干涉仪最典型的应用就是测量机床精度，本文讲解如何使用激光干涉仪测量五轴机床平移轴直线度误差。　　对于平移轴而言，每根轴均有两个直线度误差，因此三根轴有六个直线度误差，均可采用激光干涉仪分别测得。　　原理：带有圆孔的是直线度干涉镜，其与待测轴相连一同运动；长条镜是直线度反射镜静止安装，其是对称结构，上下左右均对称。当一束激光从源头发出射入干涉镜，干涉镜将光束分成两束，形成一个很小的角度分别去往反射镜，由于反射镜上下对称，因此两束光被反射后又回到干涉镜，汇合成一股光束，去往激光头的探测器。当运动轴产生直线度误差时，会使得干涉镜相对于反射镜在水平横向方向发生相对运动，而反射镜是左右对称的（左右的镜片不在同一平面，有一定的角度），因此会使得两束分开的光束光程具有差别，根据此差别，即可测得运动轴产生的直线度误差。[align=center][img=,678,333]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/11/201911201755021895_7221_3712_3.jpg!w678x333.jpg[/img][/align][align=center]▲ 直线度测量的光路原理构建图[/align][align=center][img=,678,367]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/11/201911201755111914_6482_3712_3.jpg!w678x367.jpg[/img][/align][align=center]▲ 运动轴的横向直线度测量示意图[/align][align=center][img=,678,367]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/11/201911201755345695_9383_3712_3.jpg!w678x367.jpg[/img][/align][align=center]▲ 运动轴的纵向直线度测量示意图[/align]　　根据直线度误差测量原理可知，测量过程中不可避免的会引入斜率误差。该误差是由于测量直线度反射镜的光学轴线最初与待测轴不平行，为调整平行而引起的。如图 所示，A 为干涉镜和反射镜的距离，B 为激光头到干涉镜的距离（其中干涉镜是固定在运动轴上的）。在一开始，反射镜的光学轴线处于旋转前的位置，而由于机床运动轴与其之间存在的夹角θ，[img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910173125514.jpg[/img][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910177031118.png[/img][/align]　　因为斜率误差是稳定误差，因此可以采取上述的公式将其从直线度测量结果中分离出来，亦可以采用两端法拟合或者最小二乘法拟合将其分离出去。　　两端法拟合：即是将所有采集来的数据第一点和最后一点相连决定一直线，再将所有采集来的数据去除掉拟合的直线信息，由此得出的残值即为直线度误差。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910170000002.png[/img][/align]最小二乘法拟合：将采集回来的所有数据通过最小化误差的平方和方式来寻找数据的最佳函数匹配，而后将采集值与匹配函数对应值相比较，剩余的残值即为直线度误差。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910171562522.png[/img][/align]附：SJ6000激光干涉仪直线度测量精度。[table][tr][td][align=center]轴向量程[/align][/td][td][align=center]测量范围[/align][/td][td][align=center]测量精度[/align][/td][td][align=center]分辨力[/align][/td][/tr][tr][td][align=center]短距离[/align][/td][td][align=center](0.1~4.0)m[/align][/td][td][align=center]±3mm[/align][/td][td][align=center]±(0.5+0.25%R+0.15M[size=12px]2[/size]) μm[/align][/td][td][align=center]0.01μm[/align][/td][/tr][tr][td][align=center]长距离[/align][/td][td][align=center](1.0~20.0)m[/align][/td][td][align=center]±3mm[/align][/td][td][align=center]±(5.0+2.5%R+0.015M[size=12px]2[/size]) μm[/align][/td][td][align=center]0.1μm[/align][/td][/tr][tr][td=5,1]注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m[/td][/tr][/table]

  • 白光干涉仪是什么？有哪些作用？

    白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一，在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，除了[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][b][color=#333333]白光干涉仪[/color][/b][/url]，其它的仪器无法达到其测量精度要求。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803076710554.jpg[/img][/align][align=center]中图仪器SuperView W1白光干涉仪[/align]白光干涉仪测量原理：　　白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/5/201905302500097.jpg[/img][/align]白光干涉仪的测量应用：　　以测量单刻线台阶为倒，在检查仪器的各线路接头都准确插到对应插孔后，开启仪器电源开关，启动计算机，将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置，先手动调整载物台大概位置，对准白光干涉仪目镜的下方。　　在计算机上打开白光干涉仪测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的最低点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，白光干涉仪可自动进行扫描测量，测量完成后，转件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/5/201905303281565.png[/img][/align]　　白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪独有的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

  • 激光干涉仪的特征及作用

    激光干涉仪是以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。测量长度的激光干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。 激光干涉仪采用一个双光束激光头和一个双通道的处理器，采用飞行采样方式，在测量过程中无须停机采样检测，节约了测量时间和编程时间；利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可进行机床振动测试与分析，滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析。激光干涉仪的激光头和靶标反射镜二件之间只要发生相对位移就能进行测量，测量系统中无须分光镜、所以对光极其方便。 激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。激光干涉仪可用来精确测量和校准机床、三座标测量机和X-Y平台的机械精度，也测量轴的定位精度、重复定位精度及反向间隙，测量轴的角偏、直线度，测量平台的平面度。

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镭射干涉仪原理相关的耗材

  • 全光纤麦克尔逊干涉仪MFI
    全光纤迈克逊干涉仪-MFI Michelson Fiber Interferometer产品介绍：量青光电提供的美国Optiphase公司全光纤迈克逊干涉仪（Fiber Michelson Interferometer）不但可以用来作为精密的测试测量仪器，还可以应用在精密的干涉传感系统。光纤干涉仪内部采用PZ1小尺寸光纤拉伸器（参见 PZ1光纤拉伸器产品资料），内置的PZT通过前面板的BNC连接器驱动。全 光纤迈克逊干涉仪标准产品的工作波长从1064nm到1550nm。每个光纤干涉仪都具有“零米”光路偏差的设计，用于方便用户根据不同的测试应用来改变 光路延迟长度。标准产品的延迟光纤长度为50米，我们能够根据用户的实际要求提供各种定制的光纤干涉仪，请联系我们的销售人员.产品参数：参数单位指标产品型号MFI-10-50MFI-13-50MFI-15-50工作波长nm106413101550调制常数rad/V2.52.01.6两臂光路失配长度（无延迟）m0m0m0m两臂光路失陪长度偏差cm+/-10cm+/-10cm+/-10cm调制器接口BNCBNCBNC光纤类型HI-1060（或指定）SMF-28eSMF-28e光路接口FC/APCFC/APC FC/APC最大功率承受能力mW250250250封装尺寸(长x宽x高)mm260x160x90260x160x90260x160x90重量kg~2.7~2.7~2.7可定制的延迟范围m0.5m ~1000m标准产品的延迟长度m50光纤连接器FC/APC产品应用：激光器相位噪声测试激光器频率噪声测试干涉型光纤传感系统模拟科研实验室应用应用列举：1. 激光器相位/频率噪声测试（1）被测试的激光器经过衰减器后输入到光纤干涉仪，干涉仪的光路失配（光路差）可以由用户选择采用或者控制延迟线圈（延迟线圈）来设定。OPD-4000解调输 出电压应用到PZ1光纤拉伸器的BNC接口上，作为PZ1光纤拉伸器的驱动电压。OPD-4000的相位解调输出可以选择数字信号输出或者模拟信号输出， 数字信号输出通过PC进行后续处理，模拟信号通过信号分析仪进行分析。2. 激光器相位/频率噪声测试（2）被测试的激光器经过衰减器后输入到光纤干涉仪，干涉仪的光路失配（光路差）可以由用户选择采用或者控制延迟线圈（延迟线圈）来设定。通过为PZ1型光纤拉伸 器BNC接口提供控制电压保持其处于正交偏置（Quadrature Bias）。输出光信号由光接收机接收处理，输出信号进一步处理。3.光纤干涉仪传感器模拟（3）输入光信号代表干涉型光纤传感器的光源。选择合适的延迟光纤线圈，延迟长度作为需要模拟的传感器的长度。输出光信号通过光接收器件到信号分析仪进行处理分析。订货信息:MFI-10-50： 1064nm光纤迈克逊干涉仪MFI-13-50： 1310nm光纤迈克逊干涉仪MFI-15-50： 1550nm光纤迈克逊干涉仪
    供应商： 上海量青光电技术有限公司
    品牌： 量青光电
    价格： ¥100
  • 850nm VCSEL激光器_干涉仪激光器
    852±1/ ±10 nm single-mode VCSEL850nmVCSEL激光器适用于干涉仪检测，VSEL激光器拥有价格低廉，线宽很窄以及可调波长范围宽的优势。在各类激光器中出类拔萃深受全球客户的青睐
    供应商： 筱晓（上海）光子技术有限公司
    品牌： 筱晓光子
    价格： ¥9000
  • 中红外法布里-珀罗F-P干涉仪( F-P标准具/多光束干涉仪 2.5-14um)
    总览法布里－珀罗干涉仪（英文：Fabry–Pérot interferometer），是一种由两块平行的玻璃板组成的多光束干涉仪。其中两块玻璃板相对的内表面都具有高反射率。当两块玻璃板间用固定长度的空心间隔物来间隔固定时，它也被称作法布里－珀罗标准具或直接简称为标准具。F-P(法布里-珀罗）标准具因为平板反射率高，多光束等倾斜干涉条纹极窄，所以是一种高分辨率的光谱仪器。可用于高分辨光谱学，和研究波长非常靠近的谱线，诸如元素的同位素光谱、光谱的超精细结构、光散射时微小的频移，原子移动引起的谱线多普勒位移，和谱线内部的结构形状；也可用作高分辨光学滤波器、构造精密波长计；在激光系统中它经常用于腔内压窄谱线或使激光系统单模运行，可作为宽带皮秒激光器中带宽控制以及调谐器件,分析、检测激光中的光谱（纵模、横模）成分. 技术参数产品特点 适用于中红外平行度好端面平整度高表面质量好产品应用波长锁定器 波分复用电信网 手持光谱分析仪 光纤光栅传感系统 可调谐滤波器激光器 可调谐滤光片技术参数 技术参数技术指标工作波段近红外1.3-2.0um，中红外2.5-14um直径25.4mm+/-0.05mm通光孔径22.9mm长度100mm+/-0.2mm平行度5-10 arc sec端面平整度中红外 1/4 lambda；近红外 1/10 lambda表面质量中红外80-50；近红外60-40管壳铜 精细度(FSR)0.012cm-1实验测试： 测试步骤：1，安装1532nm激光器，连接电源，USB线2，激光器输出连接到光纤准直器 3，用BNC转BNC线连接信号发生器到激光器驱动的低频调制端口4，用BNC转BNC线连接探测器到示波器的通道2端口5，打开激光器，打开信号发生器（三角波调制，频率1KHZ,电压幅值500mW）6，激光器发出的光通过标准具，打在探测器光敏面上，通过调整标准具的角度，在示波器上查看调制波形测试结果：
    供应商： 筱晓（上海）光子技术有限公司
    品牌： 筱晓光子
    价格： 面议
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  • “等效原理实验用喷泉式高精度原子干涉仪”通过验收
    12月21日至22日，中国科学院武汉物理与数学研究所承担的中国科学院重大科研装备研制项目——“等效原理实验用喷泉式高精度原子干涉仪”通过了由中科院计划财务局组织的现场测试和验收。来自中科院的管理专家和来自中科院上海光机所、中国计量院、华中科技大学、武汉大学、华中师范大学的专家参加了验收会。与会领导和专家在认真听取了项目负责人王谨研究员所作的仪器研制工作报告、财务报告以及测试专家组所作的测试报告后，对取得的成果表示了充分的肯定，并就下一步如何充分利用该科研装备开展研究工作提出了很好的建议。 　　“等效原理实验用喷泉式高精度原子干涉仪”研制项目综合运用了超高真空、磁屏蔽、激光、磁光阱、原子喷泉等多项复杂技术，实施方案具有创新性。经过三年多的不懈努力，课题组逐项攻克各单项技术难题，完成了方案设计、部件加工、单元测试、安装调试等一系列任务。整套仪器自2010年4月28日起在原子频标实验大楼安装调试，2010年12月8日完成全部安装调试任务。经过现场测试，原子喷泉上抛高度为6米，原子干涉条纹对比度为76%，主要技术指标达到项目任务书的要求，标志着喷泉式高精度原子干涉仪在武汉物理与数学所研制成功。该仪器的整体高度为12.6米，设计的原子最大上抛高度为10米，是目前国际上最高的喷泉式原子干涉仪。 　　验收专家组认为，喷泉式高精度原子干涉仪的研制成功，为基于自由下落微观原子的重力加速度精确测量和等效原理检验实验提供了平台，也为利用原子干涉仪开展精密测量物理实验研究创造了条件。 　　据悉，在武汉建设大型喷泉式高精度原子干涉仪研究平台的最初设想，是2007年5月在中科院武汉物理与数学所学科发展战略研讨会上由冷原子物理研究组提出的，该设想于2007年10月正式付诸实施，先后得到了中科院科研装备研制项目、中科院武汉物理与数学所前沿部署项目和国家自然科学基金委仪器研制重点项目的资助。 　　验收会议现场 　　现场测试 　　等效原理实验用喷泉式高精度原子干涉
    时间： 2010-12-27
    作者： 杨丹丹
  • 我国双折射双频激光干涉仪实现批量生产
    3月2日，记者从清华大学精密仪器系获悉，该系张书练教授课题组进行原理研究并由北京镭测科技有限公司开发生产的双折射双频激光干涉仪实现批量生产。双频(两频率)激光干涉仪是科学研究、光刻机、数控机床、航空航天、舰船等行业都离不开的光学尺子，用于测量零部件的尺寸，角度，位置，直线性，也是检定各类数控机床、激光加工机床以及光刻机台的精度，进行误差补偿的基本仪器。张书练介绍，双频激光器是双频激光干涉仪的核心部件。国外干涉仪厂家都是自制专用激光器，称为塞曼双频激光器，不对外供应。此前我国的双频激光干涉仪只能进口普通激光器，从中选出可用的，淘汰率高，性能上不去，导致双频激光干涉仪国产化困难。据介绍，此次清华大学精密仪器系发明的双折射原理的双频激光器比传统的塞曼双频激光器的激光功率高一倍、频率间隔大一倍或两三倍、没有两个频率之间耦合串混。分辨率达到1纳米(十亿分之一米)，线性测量长度范围0到70米，非线性误差小于1纳米，测量速度超过2米。张书练指出，双折射双频激光器的使用带动了干涉仪整机的光机电系统创新设计，使双折射双频激光干涉仪具有便携，方便，鲁棒等优良性能。
    时间： 2021-03-04
    作者： KPC
  • 我国双折射双频激光干涉仪实现批量生产！
    3月2日，记者从清华大学精密仪器系获悉，该系张书练教授课题组进行原理研究并由北京镭测科技有限公司开发生产的双折射双频激光干涉仪实现批量生产。双频（两频率）激光干涉仪是科学研究、光刻机、数控机床、航空航天、舰船等行业都离不开的光学尺子，用于测量零部件的尺寸，角度，位置，直线性，也是检定各类数控机床、激光加工机床以及光刻机台的精度，进行误差补偿的基本仪器。张书练介绍，双频激光器是双频激光干涉仪的核心部件。国外干涉仪厂家都是自制专用激光器，称为塞曼双频激光器，不对外供应。此前我国的双频激光干涉仪只能进口普通激光器，从中选出可用的，淘汰率高，性能上不去，导致双频激光干涉仪国产化困难。据介绍，此次清华大学精密仪器系发明的双折射原理的双频激光器比传统的塞曼双频激光器的激光功率高一倍、频率间隔大一倍或两三倍、没有两个频率之间耦合串混。分辨率达到1纳米(十亿分之一米)，线性测量长度范围0到70米，非线性误差小于1纳米，测量速度超过2米。张书练指出，双折射双频激光器的使用带动了干涉仪整机的光机电系统创新设计，使双折射双频激光干涉仪具有便携，方便，鲁棒等优良性能。
    时间： 2021-03-04
    作者： 葱头
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