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常压等离子设备

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常压等离子设备相关的资讯

  • 天木生物常压室温等离子体( ARTP)育种仪获得UL认证
    近日,天木生物所研发的ARTP产品顺利通过UL认证所有的测试要求,获得美国UL证书,拿到了进军北美市场的通行证。这是天木公司产品在2017年获得了欧洲CE认证的基础上所获得又一国际安全认证证书,标志着天木生物ARTP产品的安全性能已经达到了国际先进水平。美国UL认证主要针对产品安全性能和保护性能,认证测试过程以严格全面、评估周期长著称,是全球范围内最权威的安全认证之一。天木团队研发的常压室温等离子体( ARTP)育种仪,采用的是一种全新的射频放电技术,该技术使用惰性气体放电,能够在常压室温条件下产生大量高能量的活性粒子;研究表明,活性粒子可以有效的用于细胞的遗传物质并导致DNA结构损伤,进而利用细胞自身高容错率的修复机制,产生大量的突变位点,最终获得大容量的基因突变库。产品具有突变性能更强、突变位点更丰富;测序结果分析表明,该方法比常规方法突变率高1000倍以上;另外,该产品具有放电条件温和,使用方便安全等特点,可广泛用于动物、植物及微生物的育种。
  • 超快电镜助力等离子体研究重要发现 万亿分之一秒的等离子体场检测
    阿贡纳米材料中心的超快电子显微镜,图片自:阿贡国家实验室每个去过大峡谷的人都能体会到靠近自然边缘的强烈感受。同样,美国能源部(DOE)阿贡国家实验室(Argonne National Laboratory)的科学家们发现,当接近一层单原子厚的碳薄膜(石墨烯)边缘时,金纳米颗粒会表现异常。这可能对新型传感器和量子设备的发展产生重大影响。这一发现是通过美国能源部科学用户设施办公室——阿贡纳米材料中心 (CNM) 新建立的超快电子显微镜 (UEM) 实现的。UEM能够实现在纳米尺度和不到一万亿分之一秒的时间尺度内的可视化和现象研究。 这一发现可能会在不断发展的等离子体领域引起轰动,该领域涉及光撞击材料表面并触发电子波,称为等离子体场。多年来,科学家们一直致力于开发具有广泛应用的等离子体设备——从量子信息处理到光电子学(结合光基和电子元件),再到用于生物和医学目的的传感器。为此,他们将具有原子级厚度的二维材料(例如石墨烯)与纳米尺寸的金属颗粒相结合。而要想理解这两种不同类型材料的组合等离子体行为,就需要准确了解它们是如何耦合的。在阿贡最近的一项研究中,研究人员使用超快电子显微镜直接观察金纳米颗粒和石墨烯之间的耦合。“表面等离子体是纳米粒子表面或纳米粒子与另一种材料界面上的光诱导电子振荡,”阿贡纳米科学家Haihua Liu说, “当我们在纳米粒子上照射光时,它会产生一个短寿命的等离子体场。当两者重叠时,我们 UEM 中的脉冲电子与这个短寿命场相互作用,电子要么获得能量,要么失去能量。然后,我们收集那些使用能量过滤器获得能量的电子来绘制纳米粒子周围的等离子体场分布。”在研究金纳米粒子时,Liu和他的同事发现了一个不寻常的现象。当纳米颗粒位于石墨烯薄片上时,等离子体场是对称的。但是当纳米颗粒靠近石墨烯边缘时,等离子体场在边缘区域附近集中得更强烈。Liu说:“这是一种非凡的新思考方式,可以思考我们如何利用纳米尺度的光以等离子体场和其他现象的形式操纵电荷。” “凭借超快的能力,当我们调整不同的材料及其特性时,很难预测我们将看到什么。”整个实验过程,从纳米粒子的刺激到等离子体场的检测,发生在不到几百千万亿分之一秒内。CNM 主管 Ilke Arslan 表示:“CNM 在容纳 UEM 方面是独一无二的,该 UEM 对用户开放,并且能够以纳米空间分辨率和亚皮秒时间分辨率进行测量。” “能够在如此短的时间窗口内进行这样的测量,开启了对非平衡状态中大量新现象的研究,而我们以前没有能力探测到这些现象。我们很高兴能够提供这种能力给国际用户。”对于这种纳米颗粒-石墨烯系统的耦合机制的理解,将是未来开发令人兴奋的新型等离子体装置的关键。基于这项研究的论文“使用超快电子显微镜可视化等离子体耦合”(Visualization of Plasmonic Couplings Using Ultrafast Electron Microscopy)发表在 6 月 21 日的《Nano Letters》上,DOI: 10.1021/acs.nanolett.1c01824。除了 Liu 和 Arslan,其他作者还包括 Argonne 的 Thomas Gage、Richard Schaller 和 Stephen Gray。印度理工学院的 Prem Singh 和 Amit Jaiswal 也做出了贡献,武汉大学的 Jau Tang 和 IDES, Inc. 的 Sang Tae Park 也做出了贡献(日本电子于2020年初收购超快时间分辨电镜商IDES)。文:Jared Sagoff,阿贡国家实验室关于CNM新建立的超快电子显微镜 (UEM)CNM 的超快电子显微镜 (UEM) 是一种独特的工具,可供美国能源部纳米科学研究中心的用户使用。CNM超快电子显微镜实验室。左起顺时针:Thomas Gage, Haihua Liu和Ilke ArslanUEM 的应用是利用电子研究纳米级材料中的超快(亚皮秒)结构和化学动力学,这是一个广受关注的新兴科学领域。CNM的 UEM 结合了以下功能:■具有高重复率的可调谐飞秒激光器■产生脉冲电子束的多种途径■配备高灵敏度相机和电子能量过滤的同步激光泵浦脉冲透射电子显微镜CNM精心设计的UEM打开了通向任何标准电子显微镜都不具备的科学理解领域的大门,即理解亚纳米空间分辨率材料中的快速(亚皮秒到纳秒)动力学和短期亚稳态相。它代表了一种关键的分析工具,可以提供超快的结构和化学变化,以广泛的系统。在未来几年,通过开发超快的电气和机械触发机制,CNM期望开发具有基础和设备相关性的新型样品环境和样品激发途径。结合超快探测,这将允许深入了解电场和应变的非平衡现象。例如,人们可以探索声学声子模式在量子信息科学感兴趣的材料和系统中产生的应变随时间变化的影响,例如金刚石或碳化硅中的空位缺陷。在纳米科学的许多领域中,UEM 在促进对瞬态过程的理解方面具有很高的价值,例如激子定位、短寿命亚稳相、光致分离、拓扑材料动力学、等离子体系统、分子马达和磁波动等。连同理论建模,UEM 将为纳米科学界提供对纳米材料的前所未有的理解。阿贡国家实验室是 1946 年在伊利诺伊州杜佩奇县成立的第一个也是最大的国家实验室。 美国能源部资助阿贡国家实验室和芝加哥阿贡大学有限责任公司管理该实验室。 阿贡国家实验室前身是芝加哥冶金实验室,也是恩里科费米 (Enrico Fermi) 第一个受控核链式反应演示的所在地。 目前,阿贡实验室由阿贡先进光子源、阿贡串联直线加速器系统组成,开展基础科学研究、清洁能源实验、全国环境问题管理,最重要的是审查和监测国家安全风险。
  • 第四届亚太地区冬季等离子体光谱化学会议
    第四届亚太地区冬季等离子体光谱化学会议(The 4th Asia-Pacific Winter Conference on Plasma Spectrochemistry,2010 APWC) 将于2010年11月26-30日在成都市望江宾馆举行。此次大会由四川大学、厦门大学和中科院贵阳地化所共同承办,并得到国家自然科学基金委的鼎力支持,大会名誉主席为厦门大学黄本立院士,大会主席为四川大学侯贤灯教授和厦门大学王秋泉教授。   本届会议拟就等离子体光谱、等离子体质谱、光谱分析仪器、便携式光谱仪器、光谱元素形态分析、光谱环境分析等多个领域的研究最新进展,以大会邀请报告、大会口头报告、报展、论文集、仪器展示等形式开展学术与技术交流。   国内征文截止日期延长至2010年9月30日。其它相关信息请登陆大会主页http://atc.scu.edu.cn/2010apwc/。   通讯地址:四川大学分析测试中心 邮编:610064   电话传真:028-85415695 85412798   Email: houxd@scu.edu.cn (侯贤灯) lvy@scu.edu.cn(吕弋)   第四届亚太地区冬季等离子体光谱化学会议组委会   2010年7月31日
  • 出口增长63%!2020年等离子体刻蚀机海关进出口数据盘点
    自美国提出终断该国企业与华为多年的芯片供应以来,研制中国自己的国产芯片提上了我国的发展日程,也是当前中国市场最为紧迫的一项技术,关于芯片技术发展的讨论不仅在专业领域盛行,也成为了普通民众议论的焦点所在。而芯片的制造离不开半导体设备,其中刻蚀设备是其中的重中之重。据了解,目前我国已经突破了刻蚀设备的技术难关,其中中微公司的5nm刻蚀设备已成功销往海外,更是进入台积电的生产线。如今最先进的芯片制造主要使用干法刻蚀技术即等离子体刻蚀技术,相对于湿法刻蚀,具有更好的各向异性,工艺重复性,且能降低晶圆污染几率,因此成为了亚微米下制备半导体器件最主要的刻蚀方法。伴随着国际半导体行业的产能危机,国内等离子体刻蚀机需求或将爆发。通过分析海关等离子体刻蚀机的进口情况,可以从一个侧面反映出中国等离子体刻蚀机市场的一些情况。2020年是特殊的一年,新冠肺炎疫情在全球爆发,各行各业都受到了一定的影响,包括半导体产业。为了解过去近两年中等离子体刻蚀机的进出口情况,仪器信息网特别对2019、2020年1-12月,等离子体刻蚀机(商品编码84862041)进出口数据进行了分析汇总,为大家了解中国目前等离子体刻蚀机市场做一个参考。2019、2020年1-12月海关等离子体刻蚀机进出口数据统计统计年月进口量(台)进口金额(人民币:元)出口量(台)出口金额(人民币:元)2019年1-12月109712,685,798,98279353,896,8762020年1-12月127616,949,614,747122577,419,680从上表可以看到,2020年1-12月,我国共进口等离子体刻蚀机1276台,进口额约为170亿元,进口单价约为1328万元。而2019年同期,等离子体刻蚀机进口1097台,进口额约为127亿元,进口单价约为1156.4万元。与去年同期相比,2020年1-12月我国等离子体刻蚀机进口台数增加约16.3%,进口额增加约33.6%,进口单价提高约15%。从整体来看,2020年进口等离子体刻蚀机市场增长非常明显,同时进口单价也略有提高。而从出口情况来看,2020年1-12月,我国共出口等离子体刻蚀机122台,出口额约为5.8亿元,出口单价约为473万元。而2019年同期,等离子体刻蚀机出口79台,出口额约为3.54亿元,出口单价约为448万元。总体而言,我国等离子体刻蚀机出口量仍然很少,但2020年比上年同期出口金额明显增加约63%,出口数量增加约54%,出口单价也略有提高。2019、2020年1-12月等离子体刻蚀机进口量逐月数据图(单位:台)对2020年1-12月等离子体刻蚀机进口量逐月数据分析发现,并对比2019年同期数据可以明显看出,2020年等离子体刻蚀机进口数量明显有所增加,且逐月变化较为明显,其中2020年1月受国内新冠肺炎疫情影响,等离子体刻蚀机进口数量较去年有所下降,而则2~4月份迎来“报复性”增长,等离子体刻蚀机进口台数比去年同期多大约一半,5~7月每月进口数量与去年有所增长,但增幅有所下降,8月进口数量较去年同期有所下降,可能受国外新冠疫情影响,而9月进口量的大爆发可能是为了弥补8月份进口量不足的部分。10-11月平稳增加,但12月进口量再次下降,这可能来自于特朗普政府将中芯国际列入“实体清单”和冬季疫情反扑的多重影响。2019、2020年1-12月等离子体刻蚀机进口金额逐月数据图(单位:人民币/亿元)对2020年1-12月等离子体刻蚀机进口金额逐月数据分析发现,并对比2019年同期数据可以明显看出,除12月较去年进口金额有所下降以外,等离子体刻蚀机每月进口金额都较去年同期有所增加,其中,6、7、11月较去年增长幅度较小之外,但其他月份增幅明显。值得注意的是,9月进口额更是达到了去年同期的两倍以上,一个可能的原因是9月份台积电停止为华为代工芯片,华为大量订单转向国内代工厂生产,国内代工厂的扩大产能所导致。2019、2020年1-12月等离子体刻蚀机主要海关进口贸易伙伴数量(单位:台)2019、2020年1-12月等离子体刻蚀机主要海关进口贸易伙伴金额(单位:人民币/亿元)2020年1-12月等离子体刻蚀机海关进口贸易伙伴金额分布图根据海关数据,近两年我国主要从美国、日本、新加坡、韩国、中国台湾、马来西亚、英国以及德国等贸易伙伴进口等离子体刻蚀机。其中进口金额最高的前5个贸易伙伴分别是美国、日本、新加坡、韩国和中国台湾。从数据中可以看出,我国等离子体刻蚀机对美日依赖严重。2020年1-12月等离子体刻蚀机进口企业注册地数量分布(单位:台)2020年1-12月等离子体刻蚀机进口企业注册地金额分布(单位:人民币/亿元)通过海关进口等离子体刻蚀机的企业注册地数据,可以大致了解到进口等离子体刻蚀机在国内的“落脚地”。可以看出 ,2020年,江苏、上海、湖北、陕西等省市进口等离子体刻蚀机数量较多,而这些地区也是我国经济较发达,半导体相关行业比较发达的省份和地区。就海关进出口数据来看,等离子体刻蚀机在国内的市场潜力非常巨大,2020年尽管新冠疫情爆发给各行各业造成一定影响,但我国等离子体刻蚀机市场增长依然明显,但由于进口等离子体刻蚀机美日产品占据主流,受到美国贸易战影响较大,国内产线等离子体刻蚀机的“去美化”迫在眉睫。另一方面,由于国内掌握等离子体刻蚀机所涉及的核心零部件、研发人才等仍然相对较少,虽然在介质刻蚀机上的研究已逐渐达到国际先进水平,但难度较大的深硅等离子体刻蚀机的发展距美、日还有一定差距。同时,由于半导体设备企业与晶圆代工厂的工艺深度绑定,也使得等离子体刻蚀机为代表的半导体设备仍依赖进口,受制于人。不过,近年来随着以中微半导体、北方华创等国内等离子体刻蚀机厂商的崛起,国产刻蚀机在一定程度上也能满足部分企业的要求。未来,伴随着中美半导体产业的争夺和全面“去美化”的浪潮,等离子体刻蚀机的国内市场占有率将有望进一步提升。
  • 第六届亚太冬季等离子体光谱化学国际会议在厦门召开
    仪器信息网讯 2015年5月20日,&ldquo 第六届亚太地区冬季等离子体光谱化学国际会议(The 6th Asia-Pacific Winter Conference on Plasma Spectrochemistry,2015 APWC)&rdquo 在福建厦门召开。2015 APWC由厦门大学主办,厦门大学化学化工学院承办。2015 APWC为期三天,5月20日至22日 共组织了56个口头报告,149个海报论文 会议名誉主席为黄本立院士,主席为厦门大学杭纬教授 300余位国内外专家学者参加了此次会议。 2015 APWC现场   2015 APWC议题包括:等离子体光谱/质谱分析、光谱分析仪器、便携式光谱仪器、元素形态分析、固体分析、环境分析、食品和药物分析、同位素分析、激光辅助等离子体光谱化学、新型等离子体光谱化学应用、样品制备与引入等,与会专家学者在多个领域的最新研究进展上开展了广泛的学术与技术交流。2015 APWC在厦门举行为我国谱学研究者向世界介绍自己的研究工作、与国际同行进行学术交流提供了一次良机。   大会开幕式由厦门大学杭纬教授主持,厦门大学化学化工学院院长江云宝先生、黄本立院士分别为此次大会致辞。来自ICP Information Newsletter. USA的Ramon M. Barnes先生介绍了冬季等离子体光谱化学会议的历史。 江云宝先生、黄本立院士 杭纬教授、Ramon M. Barnes先生   此次大会上提到次数最多的一个词可能就是&ldquo happy birthday&rdquo 了,原来今年是黄本立院士的90大寿,来自国内外的专家学者们纷纷向黄本立院士表达了祝福。   黄本立院士,1925年9月生于香港。60多年来,一直从事原子光谱分析研究,是国内外著名的原子光谱分析领域的学者,在其科研生涯中多项闪亮的&ldquo 第一&rdquo 一定程度上反映了我国原子光谱分析的发展历程:1957年第一个创立一种可测定包括卤素在内的微量易挥发元素的新型双电弧光源,被国外学者誉为&ldquo 最完善的&rdquo 双电弧光源 1960年在我国建立第一套原子吸收光谱装置并开展研究工作,发表了国内首批原子吸收论文 1984年成为我国第一位以原子光谱分析为研究方向的博士生导师 1988-1989年在国内首次以该研究方向招收一批从国外回来的博士后研究人员,中国一大批光谱分析的骨干师从于他 1991年其小组建立了流动注射电化学氢化物发生法 1993年成为我国第一位以原子光谱分析为研究方向的院士 2000年发表了不用一氧化碳的镍蒸气发生法 &hellip &hellip 详细内容请见:黄本立院士深度评析我国原子光谱分析&mdash &mdash 访厦门大学黄本立院士   Gary M. Hieftje(Indiana University, USA)、中科院生态环境中心江桂斌院士、Lieve Balcaen (Ghent University, Belgium)、北京大学刘虎威、Naoki Furuta(Chuo University, Japan)、东北大学王建华、HeungBinLim(Dankook University, Korea )、四川大学侯贤灯等国内外专家在会议第一天作报告。   珀金埃尔默、安捷伦、岛津、赛默飞、斯派克、Nu Instrument、耶拿、asi、禾信质谱、ESI、esi等厂商展示了相关仪器设备、技术应用资料,其应用专家也分别作学术报告,和与会专家进行了交流。 撰稿:刘丰秋   附录:冬季等离子体光谱化学会议历史   &ldquo 亚太地区冬季等离子体光谱化学会议&rdquo 起源于美国ICP Information Newsletter 最初发起的世界冬季等离子光谱会议。鉴于等离子体光谱发展迅速及其产生的巨大社会价值和社会影响,美国 ICP Information Newsletter, Inc.着手创办亚太地区冬季等离子体光谱化学会议,第1-5届亚太地区冬季等离子体光谱化学会议分别在泰国清迈(2005),泰国曼谷(2006)、日本筑波(2008)、中国四川(2010)及韩国济州岛(2012)举行。冬季等离子体光谱化学系列会议至今已有30余年的发展历史,该项会议一直是原子光谱分析领域最重要的高端国际学术会议之一。
  • 岛津成功赞助第四届亚太地区等离子体国际会议
    11月26日-30日,第四届亚太地区等离子体国际会议(APWC)在成都举行, APWC是亚太地区最大规模最权威的等离子体相关学术会议,岛津公司为本次会议提供了赞助。超过二百位专家学者出席了会议,很多来自欧美学术权威也踊跃到会。在此次会议上,专家学者就ICP、ICP-MS以及各种联用设备的研究进展进行了交流。 在本次会议中,岛津积极参与学术交流,发表了两个大会报告,两个Poster和三篇会议文章。北京分析中心杨桂香、侯艳红发表大会报告,报告题目分别为高盐样品前处理方法研究和高分辨ICPS-8100在稀土行业的应用。两个Poster分别由上海分析中心孙友宝和日本岛津制作所 Omori先生提供。 在此次会议期间,岛津举办了小型专家晚宴和Shimadzu Night。小型专家会晚宴邀请了原子光谱专业委员会成员、以及其他国内原子光谱分析业内顶级专家,共计约35人。岛津分析仪器事业部曹磊副事业部长出席了会议并致辞,曹磊部长介绍了岛津迅猛发展的状况,不仅贸易额迅速增加,更积极进行分析方法的开发,实现了从单纯的仪器供应商向&ldquo 整体解决方案的提供者&rdquo 的转变。四川大学分析测试中心领导暨973首席科学家李玉宝教授也出席会议并致辞,预祝会议圆满成功举行。 会议第二天晚上,在非常有成都特色的顺兴老茶楼,岛津举办了Shimadzu Night。会议主席侯贤灯教授主持,黄本立院士和岛津企划部小谷琦部长致辞。侯贤灯教授和黄本立院士回顾了岛津与中国的友好交流史,强调了岛津长期以来一直与中国分析仪器行业保持着极为良好的关系。小谷琦先生对此次会议给予了美好的祝愿,希望岛津能够与分析仪器届同仁共同开创更为美好的未来。 晚宴现场 在此次会议上,岛津设立了Shimadzu Best Poster的评选活动,以期鼓励在原子光谱分析行业中取得了丰硕成果做出突出贡献的各位学者, 希望岛津能够为原子光谱分析事业的发展贡献自己的一份力量。来自海内外的10名学者获此荣誉,岛津公司小谷琦部长与会议主席侯贤灯教授、会议秘书长王秋泉教授、日本中央大学Naoki Furuta教授、加拿大国家测定标准研究所杨璐女士为获奖者共同颁奖。 颁奖典礼 闭幕式上,举办者宣布下一届APWC将于2012年8月份前后在韩国济州岛举行。至此,2010 APWC国际会议完满结束,岛津中国在此次会议上积极参与学术活动,与与会代表密切交流,博得与会代表的高度赞赏。
  • 第六届亚太地区冬季等离子体光谱化学国际会议通知
    第六届亚太地区冬季等离子体光谱化学国际会议   (The 6th APWC,2015年5月19-22日)   会议简介   由厦门大学主办,厦门大学化学化工学院承办的&ldquo 第六届亚太地区冬季等离子体光谱化学国际会议&rdquo (The 6th APWC)将于2015年5月19日&mdash 5月22日在福建厦门召开。会议名誉主席为黄本立院士(厦门大学),主席为杭纬教授(厦门大学)。   亚太地区冬季等离子体光谱化学会议起源于美国ICP Information Newsletter 最初发起的世界冬季等离子光谱会议。鉴于等离子体光谱发展迅速及其产生的巨大社会价值和社会影响,美国 ICPInformation Newsletter, Inc.着手创办亚太地区冬季等离子体光谱化学会议,第1-5届亚太地区冬季等离子体光谱化学会议分别在泰国清迈(2005),泰国曼谷(2006)、日本筑波(2008)、中国四川(2010)及韩国济州岛(2012)举行。冬季等离子体光谱化学系列会议至今已有30余年的发展历史,该项会议一直是原子光谱分析领域最重要的高端国际学术会议之一。本次会议的举行将是我国谱学研究者向世界介绍自己的研究工作,与国际同行进行学术交流,增进友谊的一次良机。   本次会议预计有300名国内外专家学者参会,大会已邀请Ramon Barnes教授,Gary Hieftje教授, Richard Russo教授等共50多名国内外知名专家学者做邀请报告。会议将包括以下议题:等离子体光谱/质谱分析,光谱分析仪器,便携式光谱仪器,元素形态分析,固体分析,环境分析,食品和药物分析,同位素分析,激光辅助等离子体光谱化学,新型等离子体光谱化学应用,样品制备与引入等。并在多个领域的最新研究进展上开展广泛的学术与技术交流。   论文投稿   摘要/论文投稿截止日期为2015年3月15日,摘要要求及格式可在会议网站上(http://apwc2015.xmu.edu.cn)下载。摘要投稿需电邮到会议组秘书处邮箱(apwc2015@xmu.edu.cn),投稿成功后将会收到会议组的确认邮件确认。   联系方式:   秘书长: 林峻越女士, 殷志斌先生   传真: +86(592) 2183052   会议邮箱: apwc2015@xmu.edu.cn.   如需获取投稿要求,注册,住宿,会议议程及展商赞助等详细信息,请浏览会议网站(http://apwc2015.xmu.edu.cn),并且随时跟踪光谱网(http://www.sinospectroscopy.org.cn)新闻&mdash &mdash 我们将会及时更新会议动态。
  • 等离子体物理学家俞昌旋院士逝世
    p & nbsp & nbsp & nbsp 我国著名的等离子体物理学家及教育家、中国科学院院士、中国科学技术大学教授俞昌旋先生,因病医治无效,于2017年5月23日4时5分在合肥逝世,享年76岁。 /p p   俞昌旋,福建福清人,生于1941年7月7日。出生于印度尼西亚爪哇岛安褥埠,1948年随父母归国。1959年毕业于厦门集美中学,1965年毕业于中国科学技术大学近代物理系,同年加入中国共产党。大学毕业后留校任教,1979年晋升为讲师,1985年晋升为副教授,1992年晋升为教授,1993年被聘为博士生导师,2007年当选为中国科学院数理学部院士。1980至1983年、1989至1991年、2000至2001年,先后三次在美国加州大学洛杉矶分校、德克萨斯大学奥斯丁分校访问研究近六年。历任中国科学技术大学近代物理系主任、校学术委员会委员、中国核学会核聚变与等离子体物理学会理事、安徽省物理学会常务理事、国家磁约束聚变专家委员会委员、国家重大科技专项专家组成员、国家“863”计划专题专家组成员及顾问、高温高密度等离子体物理重点实验室学术委员会主任、全国归国华侨联合会委员、安徽省归国华侨联合会常务委员等职。 /p p   俞昌旋是我国等离子体物理与受控热核聚变研究领域的领军人物之一。他开创了我国等离子体湍流实验研究、等离子体非线性现象实验研究等学科方向,在磁约束等离子体湍流和反常输运、等离子体非线性现象、等离子体诊断等领域取得了多项有重要创新意义的研究成果。他首次实验证实了湍流雷诺胁强是触发约束模式转换的主要机制,首次观察到了带状流完整的三维特征,实验发现线性欧姆约束等离子体中湍流色散关系与理论预言一致。他最先观察到了无外驱动等离子体向混沌态过渡的三条途径,首次利用小扰动方法实现了对无外驱动等离子体混沌的控制。他在国内率先研制了激光相干散射等系列诊断系统,发展了电子速度超高斯分布的汤姆逊散射理论以及考虑波阻尼效应的极小角散射理论。曾获中国科学院自然科学奖二等奖、中国科学院科技成果奖二等奖、中国科学院科技进步奖三等奖、军队科技进步奖三等奖等多项重要科技奖项。 /p p & nbsp /p p & nbsp /p
  • 103万!南昌大学化学化工学院电感耦合等离子体质谱仪设备采购项目
    项目编号:JXYX2022-ZFCG-1001项目名称:南昌大学化学化工学院电感耦合等离子体质谱仪设备采购项目采购方式:竞争性谈判预算金额:1030000.00 元最高限价:1030000.00采购需求:采购条目编号采购条目名称数量单位采购预算(人民币)技术需求或服务要求赣购2022F000705795电感耦合等离子体质谱仪(刘艳珠)1台1030000.00元详见公告附件合同履行期限:合同签订生效之日起120日历天内交货、安装调试完毕(具体以采购人要求为准)本项目不接受联合体投标。
  • 101万!Thermo Scientific中标南昌大学化学化工学院电感耦合等离子体质谱仪设备采购项目
    一、项目编号:JXYX2022-ZFCG-1001二、项目名称:南昌大学化学化工学院电感耦合等离子体质谱仪设备采购项目三、中标(成交)信息:供应商名称:武汉强识科技有限责任公司供应商联系人:王路瑶供应商联系电话:17363302838供应商地址:武汉东湖新技术开发区关山大道以西珞喻路以南光谷世界城B地块第一幢2单元09层21号中标(成交)金额(元)\(%):1010000.00四、主要标的信息:名称品牌规格型号数量单价电感耦合等离子体质谱仪(刘艳珠)Thermo ScientificiCAP RQ11010000.0
  • 大连理工大学突破等离子体工艺腔室仿真软件,助力半导体关键设备研发
    超大规模集成电路(ULSI)产业直接关系到国家的经济发展、信息安全和国防建设,是衡量一个国家综合实力的重要标志之一。在半导体芯片制备过程中,约有三分之一的工序要使用等离子体技术,因此配备等离子体工艺腔室的材料刻蚀和薄膜沉积设备是ULSI制造工艺的核心。目前,半导体工艺中最常用的两种等离子体源是CCP(容性耦合等离子体)和ICP(感应耦合等离子体)。等离子体工艺腔室制造过程极为复杂,不仅涉及精密机械加工技术,还要统筹考虑电源、气体、材料等外部参数的优化,以及与晶圆处理工艺的兼容性。如果采用传统的“实验试错法”,不仅成本巨大,而且延长了设备的研发周期,将严重制约我国ULSI产业的快速发展。因此,采用建模仿真与实验诊断相结合的方式、为等离子体工艺腔室的研发与优化提供方案,成为一种必然趋势。等离子体放电过程是极其复杂的,受到多种外界参数的控制,如电源功率与频率、气体成分与压强、腔室尺寸及材料属性等。此外,等离子体系统还包含了多空间尺度和多时间尺度的变化,以及多物理化学场的耦合过程。例如等离子体、鞘层、表面微槽等空间特征尺度相差10个量级;电磁场、带电粒子、中性气体及化学反应等时间特征尺度相差9个量级。如此复杂的等离子体工艺环境,给物理建模和数值仿真都带来了巨大挑战。物理学院PSEG团队在王友年教授的带领下,自2005年开始,历经近二十年时间,在国内率先研发出具有自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真软件——MAPS(Multi-Physics Analysis of Plasma Sources)。通过采用物理建模、数值仿真与实验诊断相结合的方法,解决了制约等离子体工艺腔室设计和制造中的一些关键技术难题,为我国研发具有自主知识产权的等离子体工艺腔室提供了技术支撑。MAPS是一款专门面向等离子体工艺腔室的数值模拟软件平台,可以同时为等离子体工艺腔室的参数设计和表面处理工艺(材料刻蚀和薄膜沉积)的结果预测提供模拟服务。基于不同的等离子体模型,MAPS包含不同的数值模拟方法,如粒子/蒙特卡洛碰撞模拟方法、流体力学模拟方法、流体力学/蒙特卡洛碰撞混合模拟方法、整体模型模拟方法等。软件平台包含输入部分、输出部分以及七大模块,分别是等离子体模块、中性气体模块、电磁模块、鞘层模块、化学反应模块、表面模块及实验验证模块。此外,PSEG团队研制了结构可变的大面积、多功能等离子体实验平台和多套CCP和ICP放电平台,并自主研发了射频磁探针、微波发卡探针、光探针、吸收光谱诊断系统、布拉格光栅测温系统、悬浮双探针等诊断工具和集成了商用的Langmuir探针、质谱仪、离子能量分析仪、光谱仪、ICCD及光致解离负离子诊断系统等。这些诊断手段为等离子体源多参数诊断提供条件。大量研究表明,MAPS的模拟结果与实验测量结果在量级和变化趋势上达到一致,证明了MAPS仿真软件的可靠性。近期,针对工业中常用的CCP源,MAPS仿真软件提供了一种新的快速仿真算法:基于多时间步长、泊松方程的半隐式修正、超松弛迭代等,可以将模拟速度提高几十倍。此外,针对ICP源,PSEG团队也建立了一种新的双极扩散近似模型,可以对带有射频偏压的感性耦合放电过程进行仿真。该方法不仅模拟速度快,还适用于低气压放电。MAPS仿真软件具有外界控制参数多、耦合物理场多、数值求解器多、数值仿真模型多等优势,能够对ICP刻蚀机、CCP刻蚀机、PECVD(等离子体增强化学气相沉积)和PVD(物理气相沉积)工艺腔室进行仿真,支持对优化工艺过程参数的进一步探索,受到了国内的多家半导体设备制造企业的青睐。近十年中,MAPS仿真软件已分别为北方华创、中微半导体设备(上海)、拓荆科技、苏州迈为、武汉长江存储及理想能源设备(上海)等多家企业提供仿真服务。未来,PSEG团队将继续专注于对MAPS仿真软件的完善和升级,希望可以为半导体、光伏及平板显示等产业的创新与发展注入源源不断的强劲动力。
  • 等离子体质谱仪等百余套仪器落户雅安 肩负食品安全重任
    目前,四川雅安市已建成功能较齐全、设备较先进的农产品质量监测检验中心,为全市人民舌尖上的安全保驾护航。雅安农产品质量监测检验中心位于四川雅安国家农业科技园区大兴核心区,该中心共有电感耦合等离子体质谱等100台套先进仪器,可承担重金属、兽农药残等多项目检测。  100台套先进仪器  可检测农产品重金属等  走进雅安市农产品质量监测检验中心大门,“科学、公正、准确、高效”几个大字夺人眼球,整个中心工作环境安静,只听见监测检验设备运行的声音。  来到重金属检测室,一套名为“电感耦合等离子体质谱仪”的大型仪器前,工作人员王永佳正在进行实验操作。  王永佳介绍,这台仪器能够对茶叶、水果、土壤、蔬菜等的重金属含量进行检测,相比老仪器一次性检测一到两种重金属的效率,这台仪器可以一次性检测出铅镉汞砷铜等多种重金属。  农产品质量监测检验中心主任郞红介绍,现在的中心是“420”灾后重建异地重建的项目,占地1489平方米,拥有设备总数100台套,其中大型精密仪器20多台套,设备先进性和检测效率大大提升,能够对重金属、兽农药残等多种项目进行检测。  走进中心的前处理室,一个“电饭煲”模样的设备引人注目,这是用于无机物消解(检测之前的步骤)的专用工具。“以前的设备消解无机物需要一天一夜,现在的设备在同样实验条件下,只需要两个小时。”工作人员表示,新设备的效率大大提升了。  “前处理设备是灾后重建中新增的设备。前处理设备的增设,意味着检测前处理环节从人工操作走向设备操作,减少了操作误差,提高了准确度。”郞红说。  据悉,该中心内占地80平方米的微生物室即将投入使用,届时将能够检测黄曲霉、大肠杆菌等微生物,检测种类将更加丰富。中心楼上楼下有两组大型设施,楼上的是废气处理装置,楼下的是废水处理装置,能够及时处理废气废水清洁排放。这不仅能保障工作人员的安全,改善工作环境,还不会对周边环境造成污染。  检测参数  有望扩项到400多个  郎红介绍,雅安市农产品质量监测检验中心筹建于2009年,2010年通过了省质监局计量认证和省农业厅机构考核认证,拥有对社会出具2大类、122个项目、92个参数的农产品质量安全检测数据的资格。2013年底,通过复查换证扩项,能够出具的农产品检测数据增加为5大类、164个项目、314个参数。  下个月,中心将迎来新一轮的复查,届时,农药检测将纳入扩项范围,扩项检测参数预估将达到400多个。  据悉,目前雅安市农产品质量监测检验中心的服务范围包括:对亚娜市的种植、养殖等基地进行安全监测,为农业执法部门提供排查依据 定期对雅安市农业质量安全状况进行说明,掌握雅安市主导产业的质量安全状况,为农业部门工作提供数据支撑 按照省上的统一安排,对其他地区的农产品质量安全进行专项的交叉检查。
  • 成果:大气常压磁约束微型直流辉光放电质谱离子源
    p style=" text-align: justify "   近日,中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室与四川大学开展联合研究,发现在大气常压环境中磁场有效约束离子传播特性,并基于此研发出一种大气常压高效痕量检测磁约束微型质谱离子源。相关研究工作以通讯的形式发表在国际期刊Chemical Communications上。 /p p style=" text-align: justify "   直流辉光放电微型等离子体源,凭借其放电的稳定性和等离子体的非平衡特性,在化学分析和环境监测等领域有着独特的技术优势和广阔的应用前景。具有高灵敏度、高选择性和快速响应等特点的质谱法,已成为分析化学领域的核心技术之一,在痕量物种定性和定量检测中发挥着巨大作用。长期以来人们一直致力于提高质谱仪的分析性能。常压离子源,作为质谱仪的核心部件,主要作用是将样品解吸和电离,产生气态样品离子。能否有效将样品离子化和把离子化的待测物传输到检测入口,在很大程度上决定了整个质谱仪分析的灵敏度。 /p p style=" text-align: justify "   在大气环境中,一般通过气流将离子化的待测物输运到质谱仪检测入口。该种传输方式使得很大一部分离子逃逸到环境大气中损失掉,导致传输效率低下。为提高离子传输效率,该研究团队基于常压磁约束离子传播特性,提出一种大气环境中纵向磁场约束离子传输的新方法,研发出一种用于痕量物种检测与分析的大气常压磁约束微型直流辉光放电质谱离子源。该方法关键在于:1)在弱电场中,气流和洛伦兹力共同作用离子,使之做螺旋运动,降低逃逸概率 2)利用离子与环境氮气和氧气等分子的集体碰撞效应,进一步减少约束半径,使得更多的离子传输到检测入口,增加离子传输效率。通过质谱分析,该方法成功地将样品质谱信号强度提高到原来的10倍,检测限可降低到原有的1/10,使得部分有机物待测样品的检测限达到几十PPt的水平。该项工作为化学分析和环境监测等领域提供了更为可靠的检测手段,为低温等离子体的应用拓展了新的研究方向。该工作受到科技部、国家自然科学基金委和中科院“西部青年学者”项目的资助。 /p p style=" text-align: justify "   近几年来,瞬态光学与光子技术国家重点实验室在等离子体基础研究领域实现了一次又一次原理上的创新和技术上的突破,取得了一系列原创科研成果。研究团队曾首次将“透镜扩束”概念引入低温等离子体领域,提出“电场透镜模型”,构建大气压均匀弥散放电新的基础理论,该项工作以封面和亮点文章发表于国际应用物理类学术期刊JAP (2017)。此外,在低温等离子体领域已连续8篇论文发表于国际学术期刊APL。上述成果为西安光机所等离子体学科的发展奠定了坚实的基础。 /p p style=" text-align: center " img title=" 大气常压质谱离子源.webp.jpg" alt=" 大气常压质谱离子源.webp.jpg" src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201812/uepic/7631dd7f-9436-45d8-b144-ba3c9e5173cc.jpg" / /p p style=" text-align: center "   大气常压磁场约束离子运动轨迹及样品阿司匹林溶液质谱检测 /p p style=" text-align: justify "  文章链接: a href=" https://pubs.rsc.org/en/content/articlelanding/2018/cc/c8cc05360j#!divAbstract" target=" _blank" https://pubs.rsc.org/en/content/articlelanding/2018/cc/c8cc05360j#!divAbstract /a /p p style=" text-align: justify " & nbsp /p
  • 清华大学两台放电等离子烧结设备验收完毕
    清华大学两台放电等离子烧结设备验收完毕 由日本富士电波工机株式会社为清华大学制造的2台放电等离子烧结设备SPS-211Lx近日在清华大学材料学院顺利安装完毕。 创元公司代理的日本富士电波工机株式会社的放电等离子烧结设备以其优异的品质获得了用户的青睐。富士电波工机株式会社是最早开发出SPS制造技术的住友石炭公司的继承人,拥有世界上最先进的SPS技术。世界范围内拥有多达350多名的用户,其生产的放电等离子烧结设备已经广泛应用于各种新材料的研发和生产。 清华大学继2000年首次购置SPS-1050T以来取得了一系列令人瞩目的成果。时隔15年后清华大学材料学院李敬锋副院长和林元华副院长再次同时购置2台SPS设备说明了以其为代表的国内知名高校以及科研机构对于富士电波工机株式会社SPS产品的充分认可。
  • 稷以科技完成亿元级D轮融资,深耕等离子设备领域
    近日,上海稷以科技有限公司(以下简称“稷以科技”)宣布完成亿元级D轮融资。临港科创投、俱成投资、旭诺资本、鹏汇投资等共同投资。稷以科技成立于2015年,是一家专注于等离子体技术应用的半导体设备公司,为业内提供一流的等离子体应用整体解决方案,主要应用于化合物半导体制造、硅基半导体制造、半导体封装、LED 芯片、汽车电子等领域。公司核心团队人员均来自国内外半导体行业领军公司,团队经验丰富,在技术研发、应用、销售以及客户技术支持上都具备全方位的行业竞争力。稷以科技旗下多款设备包括“Triton”、“Hesita”、“Patron”、“Virgo”、“Mars”、“Metis”等,可用于化合物芯片、硅基半导体、晶圆级封装、传统封装、LED等行业的去胶、清洗、表面处理等多种工艺,设备在众多性能以及工艺方面超过海外龙头企业,打破了海外厂商垄断的局面。目前稷以科技的各类型设备已经进入传统芯片封装、LED芯片、先进芯片封装、化合物半导体制造、硅基半导体制造等领域的头部公司,获得大量订单。本次融资后,稷以科技将继续深耕等离子设备领域,同步从等离子体去胶、刻蚀拓展到成膜设备领域,致力于为客户提供更加丰富的解决方案,力争成为半导体行业特色设备的龙头。半导体设备是支撑半导体行业发展的基石,也是半导体产业链上游环节中市场空间广阔、战略价值最重要的环节之一。长期以来,中国大陆的半导体设备市场一直被海外厂商所垄断,主要的半导体设备国产化率普遍较低。随着美国对中国大陆的半导体产业进行针对性制裁,尤其是今年以来限制美国半导体设备厂商向大陆出售14nm及以下制程的设备,迫使国内半导体设备产业坚定不移向全面国产化奋进。发展独立自主的半导体设备产业,推动国产设备厂商替代海外厂商,成为了当前半导体行业发展最迫切的任务。
  • 清华大学两台放电等离子烧结设备从日本出港
    由日本富士电波工机株式会社为清华大学制造的2台放电等离子烧结设备SPS-211Lx近日从日本东京顺利出港。创元公司代理的日本富士电波工机株式会社的放电等离子烧结设备以其优异的品质获得了用户的青睐。富士电波工机株式会社是最早开发出SPS制造技术的住友石炭公司的继承人,拥有世界上最先进的SPS技术。世界范围内拥有多达350多名的用户,其生产的放电等离子烧结设备已经广泛应用于各种新材料的研发和生产。清华大学继2000年首次购置SPS-1050T以来取得了一系列令人瞩目的成果。时隔15年后再次同时购置2台SPS设备说明了以其为代表的国内知名高校以及科研机构对于富士电波工机株式会社SPS产品的充分认可。
  • 第四届亚太地区冬季等离子体光谱化学会议在成都召开
    仪器信息网讯 2010年11月27日,第四届亚太地区冬季等离子体光谱化学会议(The 4th Asia-Pacific Winter Conference on Plasma Spectrochemistry,2010 APWC)在四川省成都市望江宾馆举行。此次大会由四川大学、厦门大学和中科院贵阳地化所共同承办,并得到国家自然科学基金委的鼎力支持,厦门大学黄本立院士为大会名誉主席,四川大学侯贤灯教授和厦门大学王秋泉教授为大会主席。来自全球20多个国家200余位光谱专家齐聚一堂,进行了深入的沟通与学术交流。 会议现场   大会开幕式由四川大学侯贤灯教授主持,四川大学常务副校长李光宪先生、厦门大学黄本立院士分别为此次大会致辞。来自ICP Information Newsletter. USA的Ramon M. Barnes介绍了冬季等离子体光谱化学会议的历史。 李光宪先生、黄本立院士 侯贤灯教授、Ramon M. Barnes   此次大会以大会报告、主题报告、邀请报告、报展、仪器展示等形式,就等离子体光谱、等离子体质谱、光谱分析仪器、便携式光谱仪器、光谱元素形态分析、光谱环境分析等多个领域的最新研究进展等开展了广泛的学术与技术交流。 报告题目:Novel Mass Spectrometers for Plasma Spectrochemistry 报告人:Gary M. Hieftje(Department of Chemistry, Indiana University, USA)   Gary M. Hieftje报告中介绍和评价了几项等离子体光谱化学中替代技术。其中,着重介绍了被称为飞行距离质谱(distance-of-flight mass spectrometry,DOFMS)和新研发的1696通道阵列检测器,以及它们在金属组学研究中的应用。DOFMS是在飞行时间质谱(TOFMS)的基础上发展的新分析技术,通过测量离子的飞行距离来测定m/z值。它的分辨率可与四极杆和离子阱相媲美,而且还保持了TOFMS的优点,并提高了信噪比和动态学应用范围。 报告题目:ICP-MS and nuclear hybrid techniques for nanotoxicology 报告人:Zhifang Chai(Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Sciences, China)   随着纳米科学技术的快速发展,越来越多的纳米材料广泛的应用于日用品、制药、化妆品、生物制品等领域。纳米材料具有许多独特的物理化学特性,但同时它们对人类的健康等也存在着不可预期的负面影响。柴之芳院士的报告中,介绍了其实验室近期利用ICP-MS和 nuclear hybrid技术研究纳米毒理学的一些工作成果。 报告题目:Biological Application of ICP-MS WITH Single-Particle Mode 报告人:Xinrong Zhang(Department of Chemistry, Tsinghua University, China)   等离子体炬中单个纳米粒子离子化引发的信号可被检测,而该信号的瞬时频率与纳米粒子的浓度成比例,该方法可用于DNA杂交和蛋白质等分析。张新荣教授的报告重要介绍了基于单粒子模型的ICP-MS在生物分子分析中的重要应用。 报告题目:ICP-MS DETECTION IN CHROMATOGRAPHY AND ELECTROPHORESIS: THE ELECTROSPRAY MS CHALLENGE 报告人:Ryszard Lobinski(Laboratoire de Chimie Analytique Bio-inorganique et Environnement , France)   ES-MS仪器的发展要较快于ICP-MS,Molecular MS也已侵占了许多ICP-MS的领域。但是,从另一个角度来看,ICP-MS仍有许多独特的地方,尤其在生物无机物种形成分析中是不可缺少的。Ryszard Lobinski的报告中介绍了ES-MS、ICP-MS在检测生物化学中金属种类时各自的优缺点。 报告题目:ICP-MS: A NEW TOOL FOR PROTEOMICS 报告人:Norbert Jakubowski(BAM–Federal Institute for Materials Research and Testing, Germany)   Norbert Jakubowski的研究工作主要集中在蛋白质中不同元素间的相互作用以及它们在蛋白质中的功能,因此,其对以分析仪器作为工具对复杂生物样品中蛋白质进行定性、定量分析非常感兴趣。Norbert Jakubowski报告中,以不同的实验研究工作为例来说明ICP-MS必将成为蛋白质组学研究中的一个强有力的新型分析工具。   本次大会上还向黄本立院士、倪哲明教授颁发了“原子光谱终身成就奖”,以表彰他们在原子光谱领域所作的突出贡献。 获奖者与颁奖嘉宾合影 左起:侯贤灯教授、Ramon M. Barnes、黄本立院士、杨芃原教授(代倪哲明教授领奖)、Gary M. Hieftje、江桂斌院士   此次大会除了以上5个大会报告外,还有26个主题报告、14个邀请报告,17个参会报告,以及62个海报论文。   本次大会得到了赛默飞世尔科技、岛津国际贸易(上海)有限公司、珀金埃尔默仪器(上海)有限公司、安捷伦科技、Nu Instrument公司等分析仪器厂商的大力支持,并且仪器公司的专家分别作学术报告,和与会专家进行了交流。   等离子体源在原子光谱和质谱离子化方面的应用令人振奋,对等离子体原子光谱最新进展的研讨与交流的迫切性促成了在1980年举办了第一届冬季等离子体光谱化学会议,2005年在泰国举办了第一届亚太地区冬季等离子体光谱化学会议。冬季等离子体光谱化学会议是等离子体相关的最重要的学术会议之一,与会人员主要来自高校、科研院所的科学家、博士后、博士生,以及相关仪器公司的专家和技术人员。三十多年来,在历届冬季等离子体光谱化学会议上,许多国际知名的理论研究、仪器研制、仪器应用等方面的专家汇聚一堂,交流该领域的最新技术进展,积极促进了等离子体光谱化学的发展。
  • 75万!南平市产品质量检验所采购电感耦合等离子体发射光谱仪等设备
    项目概况 受南平市产品质量检验所委托,福建晖源工程咨询有限公司对[350700]fjhy[GK]2022001、南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目组织公开招标,现欢迎国内合格的供应商前来参加。 南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目的潜在投标人应在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目获取采购文件,并于2022-03-25 09:30(北京时间)前递交投标文件。一、项目基本情况 项目编号:[350700]fjhy[GK]2022001 项目名称:南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目 采购方式:公开招标 预算金额:750000元 包1: 合同包预算金额:750000元 投标保证金:7500元 采购需求:(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等)品目号品目编码及品目名称采购标的数量(单位)允许进口简要需求或要求品目预算(元)1-1A02100404-光学式分析仪器电感耦合等离子体发射光谱仪1(套)否2技术参数部分2.1 光学系统▲2.1.1:整个中阶梯光学系统无任何移动部件,所有光学元件均密封于35℃恒温光室中,保证最低的检出限和优异的长期稳定运行。2.1.2:中阶梯光栅+CaF2棱镜交叉色散多色器系统,波长连续覆盖167?785nm,无任何波长断点。■2.1.3:光学系统需让每一个波长在通过这个独特的自由曲面镜时,让每一个波长都很完美的形成聚焦,使检测器边缘波长的边缘效应影响降到最低。2.1.4:测定方式:紫外和可见区由同一狭缝,同一检测器同时测定,一次分析测定全谱覆盖,真正的全谱直读,一个样品选择任意多的元素波长,测试时间都不变;■2.1.5: 波长校正: 采用氩的发射谱线自动进行周期性的波长校准, 保证分析波长的正确性,没有汞灯或氖灯校准的预热和耗材问题。每半年或需要的场合可采用15种元素标准混合溶液进行波长例行校核。2.1.6:吹扫型光室:对189nm以下波长测定,可选择氩气或者氮气进行光路吹扫。吹扫流量:标准的光室吹扫气体流量为0.7L/Min,测定低紫外波长谱线时,电脑控制,增加3L/min 的气体流量,所有光室吹扫气体流量均由质量流量计(MFC)控制。■2.1.7:分辨率:光学分辨率<0.007nm (在As 188.980nm 处实际测量半峰宽) 。2.1.8:杂散光:≤2.0mg/L(10000mg/L Ca溶液在As 188.980nm处测定)。2.2 检测器 2.2.1:需要检测器覆盖从167-785nm整个波长范围;整个波长范围内所有元素一次测定一次读出。 2.2.2:紫外区平均量子化效率:独特的背投照射技术,使平均量子化效率≥75%,检测器表面无任何光转换化学涂膜。 ▲2.2.3:检测器冷却:半导体制冷,-40℃,暗电流和背景噪音低。检测器充氮密封,无需气体吹扫,开机即可点火,提高分析效率,降低气体消耗。 2.2.4: 防饱和溢出:针对每一个像素进行防饱和溢出保护,彻底消除谱线饱和溢出问题。2.2.5:积分方式:智能化积分,同时以最佳信噪比获得高强度信号和弱信号,使高低含量元素可以同时检测。2.3 射频发生系统 ▲2.3.1: 自激式27.12MHz固态发生器,耦合效率大于75%。2.3.2: 功率范围:700?1500W,10W增量,连续可调,计算机控制进行功率调节。■2.3.3:高效强劲的自激式固态发生器轻松应对从无机到有机各种复杂基体的样品,快速的功率反馈速度确保样品基体变化时仍然获得稳定准确的结果。2.4 观测方式★2.4.1:垂直火炬双向观测方式;更快分析效率;更高样品分析通量▲2.4.2:尾焰去除:需要有能够高效去尾焰CCI冷锥接口。检出限较垂直观测提高5-10倍,具有高的分析灵敏度。2.4.3: 冷锥接口无切割气体的消耗,降低运行成本。2.4.4: 观测位置调节:等离子体观测位置由计算机控制。 2.5 样品导入系统■2.5.1:进样系统:标配双通道玻璃旋流雾化室和玻璃同心雾化器,其它多种类型的雾化器和雾化室可选。■2.5.2:炬管:标配一体化炬管,快速插拔式炬管,无需气体管路连接和炬管准直定位,便于安装和维护,其它多种类型的炬管可选,同时可配置中心管为陶瓷或者石英的可拆卸式炬管。▲2.5.3:气体控制:所有等离子体相关气体均为质量流量计(MFC)控制,软件在线调节:等离子体气:8?20L/min,增量0.1L/min;辅助气:0?2.0L/min,增量0.01L/min;雾化气0-1.5L/min,增量0.01L/min;补偿气(用于可选附件):0?2.0L/min,增量0.01L/min; ▲2.5.4:蠕动泵:5通道蠕动泵,转速0-80rpm可调,全计算机控制,具有快泵功能。2.5.5:雾化器压力可以由用户自己设定阈值,当压力低于阈值下限或超过阈值上限的时候,软件会弹框提示雾化器压力异常,需要用户去检查进样系统。3、软件性能:3.1:软件需易学易用,可快速进行方法的开发、顺序的编辑。 3.2:计算机全自动化控制,仪器设置和参数选择可自动完成,包括气体流量、功率、点火、诊断等。具有自动安全连锁系统。3.3: 背景校正功能:包含传统的单边、双边离峰法背景校正技术,同时,具备多点自动拟合法(FITTED)背景校正技术。 ▲3.4: 谱图自动解析功能:快速自动谱线拟合技术(FACT),在线校正基体谱线干扰。3.5: 多重检量限(Multical)功能:根据不同的元素含量范围选择不同的谱线,使仪器能够同时测定高低含量的元素,使仪器的动态线性范围得到扩展。3.6:提供多种光谱分析方法:如标准比较法、内标法、干扰元素校正系数法(IEC)、标准加入曲线法等,丰富了用户多种分析研究的手段。 ■3.7:软件系统需内置计数器,能够在系统需要维护时为用户提供指导,可以在方便的时间安排维护,而不必中断工作进程,最重要的是,它能够帮助您最大程度延长仪器正常运行时间。3.8:数据存取:所有结果、方法和顺序可以在同一工作页面一起保存和读取;谱图、结果和标准曲线同时显示;实时图形显示光谱信号、结果和曲线谱图;快速运行过往数据的编辑。3.9:数据输出:提供多种报告打印和数据输出格式。 3.10: 需有详尽的中文在线帮助功能和操作、维护录像。 3.11:远程诊断功能:远程诊断—Web连接使远端的技术服务部门和应用支持部门能够对仪器实现完全远程控制和维修诊断。3.12:符合电子签名管理的21 CFR Part 11管理法规。 3.13:需实现快速全谱扫描,对样品中所有元素进行定性和半定量分析,并且可以设定阈值,实现样品的快速筛选,并且可以跟样品定量分析在同一个工作列表中,实现每一个样品的全元素监测。▲3.14: 需有强大的开发工具,能够针对不同的基体样品,快速的实现全元素扫描,实时反馈,根据不同基体样品和不同元素波长的各种干扰判断,自动选择最佳元素波长,可以把选定的波长直接导入定量工作表开始定量分析,还可以针对不同基体和不同的标准创建模板,让结果更精确。3.15:需有内标监测图,可以更直观准确的监控做样过程,快速的做出响应。3.16:软件需支持集成的高级采集阀,该高级采集阀系统可以极大的提升样品通量,降低氩气消耗,延长进样系统(炬管,雾化器,雾化室,蠕动泵管)使用寿命,降低后期维护消耗。3.17:需有强大的诊断软件,支持简便的仪器诊断和仪器错误提示。清晰的“仪表盘”式仪器状态显示,以及自检功能,使可能维修费用大大降低,并使仪器正常运行时间最大化。4、仪器性能指标:■4.1: 长期稳定运行:8小时,RSD≤1%(不加内标,不采用基线飘移修正);4.2: 短期稳定运行:RSD≤0.5%;▲4.3:冷启动时间:从待机状态到等离子体点燃时间小于35分钟;▲4.4: 做样速度:60个元素或波长,每个元素或波长积分时间10秒,测试时间小于60秒,内标和待测元素必须同时积分;4.5: 测定谱线的线性动态范围:≥106(以Mn257.610nm 来测定,相关系数≥0.9996);4.6: Pb220.353nm 2ug/L,4ug/L,6ug/L,8ug/L,10ug/L 拟合曲线,线性相关系数999以上;5、工作条件:5.1环境温度: 10℃-30 ℃;5.2环境湿度:20%-80% (不冷凝);5.3 电源:仪器整体功率不大于2.9kVA, 电源: 220VAC+/-10% ,50 或60Hz+/-1Hz;5.4 通风系统:最小流量要求:2.5m3/min。6、仪器配置要求:1.仪器主机一台2.循环冷却水机一台3.气源一套4.输入输出设备一套5.仪器耗材包一套750000 合同履行期限: 按招标文件要求 本合同包:不接受联合体投标二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;2.本项目的特定资格要求: 包1 (1)明细:招标文件规定的其他资格证明文件(若有) 描述:1、(强制类节能产品证明材料,若有,应在此处填写); 2、(按照政府采购法实施条例第17条除第“(一)-(四)”款外的其他条款规定填写投标人应提交的材料,如:采购人提出特定条件的证明材料、为落实政府采购政策需满足要求的证明材料(强制类)等,若有,应在此处填写)。 ※1上述材料中若有与“具备履行合同所必需设备和专业技术能力专项证明材料”有关的规定及内容在本表b1项下填写,不在此处填写。 ※2投标人应按照招标文件第七章规定提供。 (2)明细:具备履行合同所必需设备和专业技术能力专项证明材料(若有) 描述:1、招标文件要求投标人提供“具备履行合同所必需的设备和专业技术能力专项证明材料”的,投标人应按照招标文件规定在此项下提供相应证明材料复印件。 2、投标人提供的相应证明材料复印件均应符合:内容完整、清晰、整洁,并由投标人加盖其单位公章。(如项目接受联合体投标,对联合体应提出相关资格要求;如属于特定行业项目,供应商应当具备特定行业法定准入要求。) 三、采购项目需要落实的政府采购政策 进口产品,不适用于(本项目),节能产品,适用于(合同包1),按照财库[2019]19号文所附品目清单执行。环境标志产品,适用于(合同包1),按照财库[2019]18号文所附品目清单执行。信息安全产品,适用于(合同包1)。小型、微型企业符合财政部、工信部文件(财库〔2020〕46号),适用于(合同包1)。监狱企业,适用于(合同包1)。促进残疾人就业 ,适用于(合同包1)。信用记录,适用于(合同包1),按照下列规定执行:(1)投标人应在(填写招标文件要求的截止时点)前分别通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询并打印相应的信用记录(以下简称:“投标人提供的查询结果”),投标人提供的查询结果应为其通过上述网站获取的信用信息查询结果原始页面的打印件(或截图)。(2)查询结果的审查:①由资格审查小组通过上述网站查询并打印投标人信用记录(以下简称:“资格审查小组的查询结果”)。②投标人提供的查询结果与资格审查小组的查询结果不一致的,以资格审查小组的查询结果为准。③因上述网站原因导致资格审查小组无法查询投标人信用记录的(资格审查小组应将通过上述网站查询投标人信用记录时的原始页面打印后随采购文件一并存档),以投标人提供的查询结果为准。④查询结果存在投标人应被拒绝参与政府采购活动相关信息的,其资格审查不合格。四、获取招标文件 时间:2022-03-04 08:15至2022-03-19 23:59(提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日),每天上午00:00:00至11:59:59,下午12:00:00至23:59:59(北京时间,法定节假日除外) 地点:招标文件随同本项目招标公告一并发布;投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地,登录对应的(省本级/市级/区县))福建省政府采购网上公开信息系统操作),否则投标将被拒绝。 方式:在线获取 售价:免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2022-03-25 09:30(北京时间)(自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止,不得少于20日) 地点:福建省南平市建阳市武夷新区建安大街318号赤岸统建房A区4号楼1104室晖源公司开标室六、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。七、其他补充事宜 无八、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:南平市产品质量检验所 地 址:南平市文体路203号 联系方式:0599-8830407 2.采购代理机构信息(如有) 名 称:福建晖源工程咨询有限公司 地  址:南平市延平区八一路73号延水大厦6楼 联系方式:0599-8314701 3.项目联系方式 项目联系人:小刘 电   话:0599-8314701 网址:zfcg.czt.fujian.gov.cn 开户名:福建晖源工程咨询有限公司 福建晖源工程咨询有限公司 2022-03-04
  • 设备商、用户对话:刻蚀/沉积工艺如何助力“中国芯”——2018等离子技术应用研讨会侧记
    p    strong 仪器信息网讯 /strong 近来,中美贸易大战的背景下,“中国芯”成为热议话题,作为一个装备和工艺高度融合的产业,设计、制造、封测、材料设备等每个关键环节都对半导体的发展起着至关重要的作用。其中,以等离子技术为基础的刻蚀、沉积和生长等工艺设备,就是半导体各项最初设计得以实现的基础。 /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201805/insimg/aaf85acf-1392-40e4-a55c-58a5c78a206e.jpg" title=" 第01.jpg" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 研讨会现场 /span /p p   5月8日,作为刻蚀、沉积和生长等工艺设备知名供应商,牛津仪器公司在北京主办了“2018等离子技术应用研讨会”,会议邀请来自第三代半导体联盟、北京工业大学、中国科学院半导体所的科研用户专家,以及半导体生产企业的用户专家,从工艺设备用户与供应商不同角度,对等离子技术在半导体生产/研发中应用的最新进展及存在问题进行了交流探讨。会议间隙,仪器信息网编辑也与部分专家、牛津仪器高层就半导体研究进展等进行了简单交流。 /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201805/insimg/834c78ab-5016-4463-9193-04daa98cceba.jpg" title=" 第02.jpg" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 牛津仪器等离子技术部亚洲区销售和服务副总裁Ian Wright致辞 /span /p p    strong 关于研讨会:聚焦科研/生产热点——第三代半导体、VCSEL以及功率射频器件 /strong /p p   中国科学院半导体所研究员刘剑认为,从半导体发展历史来看,基础研究固然重要,但是市场对应用研究的影响也非常大。基于此,本次研讨会根据当下科研、工业需求热点,选择“宽禁带半导体”(或称为“第三代半导体”)作为主题,同时,报告内容也兼顾了时下工业应用热点——垂直腔面发射激光器(VCSEL)的相关研究。 /p p   研讨会由9个专家报告组成,报告内容主要包括第三代半导体现状与趋势、具有窄谱线和高光束质量的VCSEL介绍、VCSEL相关刻蚀和沉积技术、GaN基半导体电子器件研究进展、低损伤刻蚀和沉积技术等。 /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201805/insimg/a2860748-dcd3-42ef-a89f-991cf6935e47.jpg" title=" 第03.png" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 用户专家报告 /span /p p   (上至下,左至右:第三代半导体产业技术创新战略联盟秘书长 于坤山,北京工业大学教授 徐晨,中科院半导体所研究员 王晓亮,中科院半导体所研究员 王晓东,中科院半导体所研究员 张峰) /p p   会后,据刘剑介绍,他本人与牛津仪器已经有多年的合作,近十年前与牛津仪器共同举办了第一届等离子体研讨会,后续几乎每一届的研讨会也都协助举办。他认为,作为科研用户,通过参与这种形式会议,既增进了与仪器设备企业之间的交流,也可以现场讨论一些技术问题。对于半导体生产企业用户,他们多数会有自己的研发,尤其是一些先进的器件、模块,而研讨会中探讨的一些工艺解决方案,就可以为他们的研究提供帮助。 /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201805/insimg/3afa8c17-c9a1-41cb-829b-6450e1228d21.jpg" title=" 第4.png" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 牛津仪器应用专家报告 /span /p p style=" text-align: center " (左至右:牛津仪器Stephanie Baclet博士,杨小鹏博士,黄承扬博士) /p p    strong 我国半导体研究现状、热点如何?牛津仪器关注哪些热点? /strong /p p   关于当下半导体相关领域研究进展或研究热点,刘剑表示:“我之前研究领域主要在III-V族半导体材料,但最近又开始回归到传统半导体硅材料,当然也会涉猎部分III-V族半导体材料。从目前来看,类似我们这样的科研工作者,不太容易区分大家具体是做什么材料体系,基本是受一个学科进展的牵引或个人的兴趣,基于不同的材料在做相近的科研。而关于研究热点,其实这次研讨会主题内容中的第三代半导体以及垂直腔面发射激光器(VCSEL)都是当下大家比较关注的。值得一提的是,VCSEL并不是一个新的研究领域,相关研究也有多年的历史,但就是因为IphoneX用了这种3D图像技术之后,VCSEL才重新进入到大众视野。这也成为工业应用热点再次推动了相关科研的一个实例。” /p p   中国科学院半导体所研究员张峰介绍说:“我是研究碳化硅的,领域是宽禁带半导体。因为我们国家对宽禁带半导体的布局比较早,包括碳化硅衬底材料、外延材料、器件,还有最后的封装,所以相比传统半导体领域,与世界的差距并没有那么大,也就是2-3年的时间。因此这个领域在未来五到十年内,我们国家有很大希望能够迎头赶上,甚至在某些方面可以达到世界一流的水平。”关于半导体研究热点,他认为:‘从“中兴之痛”事件我们可以看到,半导体研究或关注的热点主要是极大规模集成电路方面,在14纳米、7纳米及5纳米这些制程方面的一个进展。也就是说我们国家在这个方面跟国际的差距还比较大,目前我们实现量产是28纳米,我们希望未来能向14纳米、7纳米及5纳米靠近。但这需要产业链整体的提高,包括我们的设备、设计、器件制作工艺,及最后的封装等各个方面,这样才能够跟得上世界的发展。目前半导体研究热点主要是在设计及工艺制备这两方面。工艺制备方面又跟设备很相关,所以说这些都是紧密相连的。’ /p p   牛津仪器的刻蚀、沉积、生长等相关设备及工艺解决方案在中国半导体领域的市场占有率较高,且拥有广泛的科研及生产企业用户群。设备厂商在前沿热点把控上,在时刻保持对用户最新需求的关注基础上,职业敏锐性往往赋予他们自己的优势。那么,牛津仪器又对哪些半导体领域的热点保持关注呢?牛津仪器等离子技术部亚洲区销售和服务副总裁Ian Wright表示:“牛津仪器接下来的关注重点,不光是那些具有研发创新能力但处于初期发展阶段的企业,我们更感兴趣的是那些已经成熟的解决方案,这需要更多更稳定的设备把之前好的工艺过程重复出来。对于我们关注的产业领域,主要有两个,第一是光电子领域,比如一些手机的3D面部识别功能,这个功能其实是运用到了我们VCSEL工艺,这个工艺还可以用在无人驾驶汽车的智能测距(测距机理即安装的各种光电传感器,通过各种光电传感器件的协同合作来实现自动驾驶功能)。第二个领域是5G信号网络,该领域会用到一些比较先进的光电子、功率器件,比如,之前的功率器件是基于硅,第二代是基于砷化镓,第三代是氮化镓和碳化硅工艺,牛津仪器是从第一代到三代全覆盖的,当然我们正在着手研究更先进的第四代、第五代半导体,如氧化镓、金刚石等。” /p p    strong 用户与设备商协同发展,用户怎么看?牛津仪器怎么看? /strong /p p   在半导体领域,工艺设备对科研或企业生产是至关重要的。张峰认为:“工艺设备是一个基础,如果没有工艺设备,我们设计的东西就没办法实现,但是我们国家在这方面实际上是跟世界有一些差距的,80%-90%工艺设备需要进口。所以,工艺设备方面,我们希望与像牛津仪器这样的国外优秀厂商合作,学习他们的先进技术及经验,使我们国家逐渐掌握工艺设备的研发及生产能力。另外,从科研用户角度讲,我们也有很好的合作。我们会及时向牛津仪器反馈一些最新的需求,比如我们做氮化镓,碳化硅的时候,需要让刻蚀设备刻蚀的更精密一些(如今天会上牛津仪器介绍的原子层刻蚀技术),还有就是在原子层刻蚀与传统等离子体刻蚀结合的需求等。当然,牛津仪器也在不断努力配合我们的需求。”关于如何实现用户与设备供应商更好的合作,张峰表示:“客户可以首先提出一些需求、提供一些样品,让设备厂商提供一些解决方案,及刻蚀的结果 另外,希望设备厂商针对客户提出的新需求,如定制化的需求等,能够积极的满足。” /p p   刘剑补充道:“从科研用户来讲,与生产用户不同的是,我们往往会提出一些特殊的需求。我们主要希望设备企业的工艺设备能够稳定,并能获得我们所需的实验结果。牛津仪器会和用户一起来开发新的工艺,接受客户提出的部分特殊需求,去单独开发一套工艺,然后结合设备一起提供给客户,这对客户研究过程中一些特殊情况是有很大帮助的。” /p p   Ian Wright对两位老师的看法表示赞同,并表示:“总结来看,用户对我们提出的需求主要有三个方面:第一是希望我们能够把牛津仪器一些成熟的解决方案尽快的提供给他们 第二就是他们提出一些特殊需求,我们如果没有一个对应方案的话,能够配合他们一起去解决 第三,售后服务保障,作为一个合格的生产先进器件厂商,并不是说你有了一台先进的工艺设备放在那里就可以没有后顾之忧,接下来的售后服务能力也对你之后的企业发展有很重要的影响。比如设备一旦出现故障,多长时间可以解决 需要一个备件,又需要多长时间可以提供,也是客户衡量设备供应商的一个标准。在此,我敢肯定的是,牛津仪器有能力也愿意在刚才提到的三方面需求全方位与客户合作,解决客户从售前到售后的后顾之忧。” /p p   “牛津仪器走进中国市场已经20余年,但等离子技术部门的大部分精力放在了高校院所科研用户上。为满足更广泛用户的需求,我们决定将工作重心逐渐向技术非常成熟的生产企业用户转移,增强深入合作,通过我们的设备及工艺再加上科研用户的技术来孵化出更多更新的成果。” Ian Wright继续说道。 /p p   牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟表示:“中国从过去的能源依赖,发展到现在成为芯片依赖社会形态,包括在各个国家国际环境的变化,都逐渐把矛盾转移到芯片研究上来。许多人认为这是一个危机,但我认为这对我们国家、对我们设备供应商都是一个机遇。现在中国在大力推广自己的芯片产业,这个过程,就需要像牛津仪器这样能够提供优秀设备、解决方案的公司来一起合作,把最新的芯片用最短时间开发出来,这样中国就不必再受制于人。”关于中国市场,他表示:“中国始终是牛津仪器十分重视的市场所在,公司也愿意投入更多的财力、物力到中国市场上来,接下来,牛津仪器将加强与用户的合作。如我们现在正在和一些客户讨论,以共建实验室的方法,来让客户在这方面有更快的突破,帮助一些有潜力客户实现量产。另外,如Ian Wright所说我们更加重视科研客户的同时,对于生产企业客户,我们也会不断加大服务力度,比如,近两年我们相关的售后服务团队就增加了一倍。” /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201805/insimg/418b86a0-2820-4b0c-98ac-4ca3401df3ef.gif" title=" 第05.gif" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 0, 0) " (右一:牛津仪器等离子技术部亚洲区销售和服务副总裁Ian Wright /span /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 0, 0) " 右二:牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟) /span /p
  • 赛默飞世尔科技将参展第四届亚太地区冬季等离子体光谱化学会议
    第四届亚太地区冬季等离子体光谱化学会议(2010 APWC)将于2010年11月26-30日在成都望江宾馆举办,届时将有来自全球20个国家150余位光谱专家齐聚一堂,进行深入的沟通与与学术交流。 做为本次大会最大的赞助商,赛默飞世尔在会议期间将为您全方位展现其在等离子体光谱、等离子体质谱和表面分析领域的独一无二的优势,并热忱欢迎广大分析工作者莅临指导! 27日上午11:45-12:10,赛默飞世尔科技德国不莱梅工厂的ICPMS产品经理Meike Hamester将为大家带来题为&ldquo Inductively Coupled Plasmas for Elemental Analysis: an overview&rdquo 的大会报告,为您系统介绍等离子体光谱、质谱技术及最新进展;此外,27日晚6:30的赛默飞世尔科技2010 APWC欢迎晚宴,将为您呈现精彩的富于四川特色的节目,并将与诸位嘉宾现场进行互动交流;11月27-28日期间,赛默飞世尔科技还将系统展现我们在等离子体光谱、质谱及表面分析领域完整、优异的服务方案,并有来自国内外的专家与您面对面的沟通交流,期待并欢迎您光临我们在国际会议厅的展台。 感谢您长期以来对赛默飞世尔科技优质产品和服务的支持与信任,我们期待您的光临! 如想了解赛默飞世尔科技产品更多信息, 可打电话:800-810-5118,400-650-5118,发邮件至sales.china@thermofisher.com ,或浏览我们的网站www.thermo.com.cn。 关于赛默飞世尔科技(Thermo Fisher Scientific) 赛默飞世尔科技有限公司(Thermo Fisher Scientific Inc.)(纽约证交所代码:TMO)是全球科学服务领域的领导者,致力于帮助客户使世界变得更健康、更清洁、更安全。公司年度营收超过100亿美元,拥有员工35,000多人,为350,000多家客户提供服务。这些客户包括:医药和生物技术公司、医院和临床诊断实验室、大学、研究院和政府机构以及环境与工业过程控制装备制造商等。该公司借助于 Thermo Scientific 和 Fisher Scientific 这两个主要品牌,帮助客户解决从常规测试到复杂的研发项目中所面临的各种分析方面的挑战。Thermo Scientific 能够为客户提供一整套包括高端分析仪器、实验室装备、软件、服务、耗材和试剂在内的实验室工作流程综合解决方案。Fisher Scientific 则提供了一系列用于卫生保健,科学研究,以及安全和教育领域的实验室装备、化学药品以及其他用品和服务。赛默飞世尔科技将努力为客户提供最为便捷的采购方案,为科研的飞速发展不断地改进工艺技术,并提升客户价值,帮助股东提高收益,为员工创造良好的发展空间。欲获取更多信息,请登陆:www.thermofisher.com(英文),www.thermo.com.cn (中文)。
  • 80万!大连海事大学电感耦合等离子体测试系统等设备采购
    项目概况大连海事大学电感耦合等离子体测试系统等设备采购项目 招标项目的潜在投标人应在大连机械设备成套有限公司(大连市沙河口区西南路350-2号)获取招标文件,并于2022年01月28日 09点30分(北京时间)前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号:DCZ202201009项目名称:大连海事大学电感耦合等离子体测试系统等设备采购项目预算金额:80.0000000 万元(人民币)采购需求:电感耦合等离子体测试系统1台,高效液相色谱仪1台,总有机碳分析仪1台。合同履行期限:合同签订后3个月内。本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求:1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;2.落实政府采购政策需满足的资格要求:无。3.本项目的特定资格要求:无。三、获取招标文件时间:2022年01月07日 至 2022年01月14日,每天上午8:30至11:30,下午13:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外)地点:大连机械设备成套有限公司(大连市沙河口区西南路350-2号)方式:本项目不接受现场报名,投标人须将以下资料PDF扫描件(加盖公章)一套发至邮箱guochongjin@163.com:(1)投标人购买文件报名表(格式自拟,内容为项目名称、项目编号、投标单位名称、联系人、联系方式、电子邮箱等)(2)营业执照副本、法定代表人授权委托书(3)招标文件费用银行电汇凭证(回单)复印件。售价:¥300.0 元,本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间:2022年01月28日 09点30分(北京时间)开标时间:2022年01月28日 09点30分(北京时间)地点:大连市高新园区黄浦路523号海事科技大厦A座(锦辉购物广场高新店漫咖啡后身)8楼会议室五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜采购代理机构信息开户名称:大连机械设备成套有限公司.开户行:中国银行大连沙河口支行.帐号:314256319366.七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。1.采购人信息名 称:大连海事大学     地址:大连市甘井子区凌海路1号        联系方式:石老师0411-84729221      2.采购代理机构信息名 称:大连机械设备成套有限公司            地 址:大连市沙河口区西南路350-2号            联系方式:郭崇瑾、张瑞宸0411-83608842-121、122            3.项目联系方式项目联系人:郭崇瑾、张瑞宸电 话:  0411-83609543-121、122
  • EAST装置实现1056秒长脉冲高参数等离子体运行
    记者从中科院合肥物质科学研究院获悉,2021年12月30日晚,中科院合肥研究院等离子体所EAST控制大厅里,正在运行的国家重大科技基础设施EAST全超导托卡马克装置(东方超环)再次创造新的世界纪录,实现了1056秒的长脉冲高参数等离子体运行,这是目前世界上托卡马克装置实现的最长时间高温等离子体运行。  据悉,EAST装置运行15年来,先后实现了1兆安、1.6亿度、1056秒的等离子体运行,通过开放共享的建制化管理模式,全面实现了EAST设计参数指标,在稳态等离子体运行的工程和物理上继续保持国际引领。EAST装置取得的系列创新成果,为自主建造聚变工程实验堆提供了重要的实验基础。近年来,在合肥综合性国家科学中心等部门支持下,EAST装置进行了系列性能升级,本轮实验于2021年12月初开始,将持续至2022年6月。EAST大科学团队将在未来聚变堆类似条件下向高参数稳态高约束等离子体运行等科学目标发起冲击。  核聚变能源具有资源丰富、无碳排放和清洁安全等突出优点,是人类未来最主要的清洁能源之一,可为实现碳达峰碳中和作出重大贡献。近年来,核聚变研究事业受到党和国家领导人的高度关注,在国家部委以及安徽省、合肥市、合肥综合性国家科学中心等大力支持下,合肥科学岛上的磁约束核聚变研究取得了突飞猛进的发展,物理实验成果和工程技术能力引领国际前沿。
  • 第四场研讨会 | 如何结合等离子FIB刻蚀和激光烧蚀,更高效完成毫米级半导体失效分析
    主题:Faster mm-scale Semiconductor Failure Analysis byCombining Plasma FIB Milling and Laser Ablation 演讲人:Jozef Vincenc Obona 博士Jozef Vincenc Obona 是TESCAN ORSAY HOLDING公司半导体市场部的产品营销总监,获得Slovak Academy of Sciences (Slovakia) 低温电子学博士学位。他有多年从事半导体失效分析(生产线前端、后端和封装应用)的经验,并与半导体行业领袖一直保持沟通。他在FIB-SEM方面拥有超过13年的工作经验,在西班牙萨拉戈萨的阿拉贡纳米科学研究院(Instituto de Nanociencia de Aragon)、荷兰格罗宁根大学(University of Groningen)以及特温特大学(University of Twente)进行了5年的超短激光脉冲处理应用研究,拥有3项专利并发表了52篇论文。时间段1:3月24日, 下午4:00 –5:00 (北京时间)时间段2:3月25日, 上午2:00 –3:00 (北京时间)长期以来,提高性能和降低功耗是电子器件设计的基本要求,这需要通过器件构件(晶体管、存储单元等)的小型化、信号通路的减少(将多个组件集成在一个先进封装中)以及优化其它组件(包括显示器、射频、微机电系统和电池)来实现。开发新产品是一件非常具有挑战性的工作,快速失效分析(FA)有助于确定缺陷的基本原因并向研发人员提供有效的反馈,以保证产品的上市时间和可靠性。对封装、先进封装、显示器、射频、微机电系统以及电池进行快速失效分析时,往往需要在样品表面以下几百微米甚至于几毫米寻找缺陷位置。由于样品结构的特殊性,需要对样品进行大面积的刻蚀以制备出截面才能够对特定的缺陷位置进行分析。因此,近10年来等离子FIB被普遍使用在这个过程中并受到了行业的广泛认可。然而,近年来随着器件结构越趋复杂、缺陷深度显著增加以及必须更快速获得分析结果等原因,对等离子FIB的能力提出了更高的要求。使用激光烧蚀可以将前期制样速度提升数千倍,因此将激光烧蚀技术加入到等离子FIB工作流程中不仅可以更快获得高质量的分析结果,同时也开启与实验室中不同类型设备协同合作的新篇章。在本次研讨会上,将为您介绍 TESCAN 样品大体积制备的工作流程。使用不同尺寸的要求苛刻的样品进行演示,样品包括复杂器件和不导电硬质材料,您可以看到非常灵活的工作流程。我们将为您展示如何结合超高分辨扫描电镜成像系统快速进行没有伪影的样品制备并揭示样品的真实细节。点击“我要报名”立即报名参会吧!说明:为了让更多的用户可以参与到本次研讨会中,每一场研讨会都有两个时间段可供选,内容相同,与会者可自行选择报名参加其中一个时间段的研讨会。
  • AGUS发布SPS-225Sx放电等离子烧结系统新品
    日本SUGA公司自SPS-放电等离子烧结技术诞生以来,一直伴随着SPS技术在全世界的发展,1997年开始代工生产SPS设备,经过多年的技术积累,现推出Sx、Rx系列SPS放电等离子烧结炉。 SPS-放电等离子烧结炉是当今世界上先进的快速热压炉之一,由于工件直接由热流脉冲加热,所以烧结工艺周期可以缩短至几分钟,因此具备烧结速度快,样品致密度高等优点,是烧结纳米相材料,梯度功能材料,介孔纳米热电材料,稀土永磁材料,合金非平衡态材料及生物材料最有力的工具。SPS-225Sx 主机压力系统立式单轴伺服电机最大压力20 kN最小压力0.5kN最高烧结温度2500℃加压行程50 mm开放高度200mm烧结电极特殊的密封水冷结构真空腔水冷腔脉冲电源电源AC 200V, 3相,50/60Hz输出电流2500A脉冲控制On 1~999 ms, Off 1~99 ms创新点:1.采用Tie-Bar框架,保证压力装置更稳固; 2.匹配中国电源要求,无需用户再配置变压器; 3.优于同行业的真空技术,可3min内从常压抽到5Pa; 4.多种安全措施,保证设备安全运行;如:烧结腔室门未关闭,烧结电源无法启动;
  • 第六届亚太地区冬季等离子体光谱化学国际会议将于2015年5月19-22日在厦门召开
    由厦门大学和国家自然科学基金委主办,厦门大学化学化工学院承办的&ldquo 第六届亚太地区冬季等离子体光谱化学国际会议&rdquo (2015APWC)将于2015年5月19 - 22日在素有&ldquo 海上花园&rdquo 美誉的厦门召开。会议名誉主席为黄本立院士,学术委员会主席为柴之芳院士和江桂斌院士,组委会主席为杭纬教授。   冬季等离子体光谱化学系列会议至今已有30余年的发展历史,该会议一直是原子光谱和元素分析领域的顶级国际学术会议。本次会议的举行将是我国谱学研究者及厂商向世界介绍自己的研究成果及产品,与国际同行进行学术交流及技术推广,增进友谊的一次良机。   本次会议预计有20个国家地区的300名国内外专家学者参会,大会特别邀请约50位国内外著名学者做邀请报告。会议议题将包括以下议题:原子光谱/质谱分析、光谱/质谱分析仪器、便携/快速分析仪器、样品富集与纯化、形态分析、材料分析、环境分析、生物分析、食品和药物分析、安检/质检技术等。同时英国皇家化学会JAAS期刊将出版专刊(正刊)发表peer reviewed会议论文。   此次会议旨在为从事等离子体相关领域基础、应用和开发研究的学者提供多学科交叉的、可实现广泛学术交流的平台,以促进相关学科的深入发展。会议历时4天,含大会报告、专题报告、邀请报告、口头报告、墙报等交流形式,组委会热忱欢迎您踊跃投稿并到会交流。会议将同时举办相关仪器设备和产品的展览会,将会有国内外相关分析仪器公司、厂商到会介绍和展出产品。第二轮会议通知已公布在我们的网站上,具体的参会信息及报名投稿,欢迎您浏览我们的会议网站 (http://apwc2015.xmu.edu.cn)。3月15日之后需要投稿及注册的参会人员直接与秘书处 (Email: apwc2015@xmu.edu.cn )联系。   详细内容可见:The second circular of conference   APWC组委会
  • 光电材料/器件最新等离子技术应用探讨——记牛津仪器等离子技术部用户交流会
    p    strong 仪器信息网讯 /strong 2016年11月17日,由牛津仪器等离子技术部和中山大学共同举办的“牛津仪器-中山大学用户学术交流研讨会”在名校环抱的广州南国会国际会议中心召开。近80名来自中山大学、华南理工大学等高校的用户专家代表及牛津仪器等离子技术部高层、应用专家参加了此次研讨会。 /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201611/insimg/ca7b023b-75cb-421c-8bb9-ec46c373a9a6.jpg" title=" 1.jpg" style=" width: 450px height: 300px " height=" 300" hspace=" 0" border=" 0" vspace=" 0" width=" 450" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) background-color: rgb(255, 255, 255) " strong 研讨会签到处 /strong /span /p p   此次交流会主题为“光电子材料及器件研讨”,旨在通过用户之间、用户与设备厂商的深入交流探讨,提高光电材料、器件等相关学科工作者的学术和技术水平,并促进等离子技术在刻蚀、沉积和生长等领域的应用和发展。 /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201611/insimg/15175e9c-fd9b-4d6e-82ec-c7f63c493f55.jpg" title=" 2.jpg" style=" width: 450px height: 300px " height=" 300" hspace=" 0" border=" 0" vspace=" 0" width=" 450" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) background-color: rgb(255, 255, 255) " strong 研讨会现场 /strong /span /p p   研讨会以七个大会报告和现场交流的形式进行。大会报告上,用户专家及牛津仪器应用专家为大家带来7个精彩报告,内容涉及二维材料的生长机理和应用、携带轨道角动量光束的产生和调控、功率器件的应用、层状过渡金属氧化物材料研究、ALD和ALE技术介绍及应用、以及薄膜晶体管的新兴应用等。现场交流部分,大家针对报告内容展开积极交流互动,展现出一派活跃的学术氛围。 /p p   为了让广大网友对牛津仪器等离子体技术部及相关用户进一步了解,仪器信息网编辑现场采访了牛津仪器等离子科技部亚洲区销售和服务副总裁 WRIGHT Ian、牛津仪器等离子科技部中国区经理陈世伟,以及中山大学王凯教授。 /p p    span style=" color: rgb(255, 255, 255) background-color: rgb(112, 48, 160) " strong 通过合办交流会——用户与厂商实现共赢 /strong /span /p p   作为薄膜晶体管领域的专家,王凯教授此次参会可谓双重身份,一方面是牛津仪器的用户,并做了薄膜晶体管新兴应用的精彩报告,另一方面,王凯教授所在中山大学还是此次交流会的合办方。提及本次研讨会的举办意义,王凯教授讲到:“这种活动为我们科研工作者提供了一个很好的经验分享机会。通过用户之间的交流及牛津仪器应用专家的讲解,用户可以学习到一些宝贵的设备使用经验以及设备的一些新的应用。比如此次交流会中,我可能会关注薄膜晶体管在能量采集、传感、生物医药等非显示领域的仪器设备应用等相关内容。” /p p   同时,陈世伟经理也表示:“通过这样与用户面对面的交流活动,首先,牛津仪器可以获得用户关于设备使用情况的反馈,从而指导我们更好的服务 其次,更重要的是,我们还可以了解科研用户的一些最新研发动态或用户直接提出的对设备的新需求,这些宝贵信息对我们新品研发都具有重要指导意义。比如,当下,石墨烯二维材料领域对于相关科研用户是一个十分热门的领域,与之对应的石墨烯及二维材料解决方案便成为我们的研发重点,而且,我们也很自豪牛津仪器已率先推出了石墨烯及二维材料行业解决方案。” /p p    span style=" color: rgb(255, 255, 255) background-color: rgb(112, 48, 160) " strong 牛津仪器等离子体技术部:注重高端设备研发,更多企业用户是发展趋势 /strong /span /p p   此次用户交流活动得到了牛津仪器的高度重视,多位牛津仪器总部高层和应用专家都参加了此次活动,等离子科技部亚洲区销售和服务副总裁 WRIGHT Ian就是其中一位。WRIGHT Ian先生在介绍等离子科技部时说:“从产品角度讲,我们主要提供刻蚀、沉积和生长设备,为材料的微米、纳米级工程提供工艺方法。牛津仪器向来重视并擅长高端科研级仪器设备的研发。比如,随着各种器件尺寸的逐渐微小化趋势,在小尺寸器件上实现刻蚀和沉积的同时保证低损伤,对于设备及工艺提出了更高的要求,而我们独到的ALD和ALE技术则完全可以保证这种工艺的实现。” /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201611/insimg/ef455111-cbc6-4292-b7b1-714770388fe4.jpg" title=" 3.jpg" style=" width: 450px height: 300px " height=" 300" hspace=" 0" border=" 0" vspace=" 0" width=" 450" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) background-color: rgb(255, 255, 255) " strong 采访现场 /strong /span /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " (左一:牛津仪器等离子科技部亚洲区销售和服务副总裁 WRIGHT Ian,左二:牛津仪器等离子科技部中国区经理陈世伟,左三:中山大学王凯教授) /span /p p   接着,陈世伟经理补充道:“目前,等离子体技术部在中国的客户主要集中在前沿晶片研发的高校院所,但随着科技发展的不断深入,企业用户逐渐增加是未来发展的必然趋势,比如我们在日本市场已经有部分企业用户出现,相信在中国当下科技研发投入不断增多的大背景下,中国市场的企业用户变得更多也只是时间问题。” /p p    span style=" color: rgb(255, 255, 255) background-color: rgb(112, 48, 160) " strong 以客户需求为导向——牛津仪器与客户共成长 /strong /span /p p   2016年已接近尾声,当被问及牛津仪器等离子体技术部的业绩表现时,WRIGHT Ian表示:“我很高兴我们在中国市场的业绩是保持稳定增长的,这除了得益于我们优秀的产品和完善的服务,也离不开我们对客户需求的足够重视。比如我们除了对客户进行一对一拜访、举行用户会、学术会等之外,还会针对那些对设备有特殊需求的科研客户提供定制化服务。并且,在帮助客户解决问题的同时,我们也实现了与客户的共同成长。” /p p   “我十分看好中国市场的发展前景,接下来,对于中国市场,我们会在产品研发及市场服务方面加大投入。”对于在中国市场的下一步计划,WRIGHT Ian讲到,“另外,在生产型客户的开拓上我们也会加大力度。” /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201611/insimg/bbef5148-e93a-4edd-8621-d6599e36010e.jpg" title=" 4.jpg" style=" width: 450px height: 300px " height=" 300" hspace=" 0" border=" 0" vspace=" 0" width=" 450" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 176, 240) background-color: rgb(255, 255, 255) " strong 全体合影留念 /strong /span /p p strong & nbsp & nbsp span style=" font-family: 宋体, SimSun " 后记 /span /strong /p p    span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " 据悉,此次交流会之所以选择在周围不算繁华的广州南国会国际会议中心召开,主要是考虑到此次参会人员中有许多大学城高校用户,选择在高校附近进行交流活动可以尽量减少对他们正常科研工作的影响。另外,笔者在茶歇期间还发现,一些用户正在填写牛津仪器的调研问卷,这些问卷中不仅包含了“功能是否够用”、“性能如何”、“易用性如何”等关于产品的评价,还包含了“培训交流”、“响应速度”、“交流态度”等服务评价。据牛津仪器工作人员介绍,“这样的评价调研,几乎涵盖了我们每次的线上线下活动,是我们获取客户反馈的最快途径,这些声音,也为我们从产品到服务的下一步策略提供了重要参照和导向。” /span /p p span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "   从事事为客户着想,到时时因客户而动,也许这便是牛津仪器能够不断在中国取得佳绩的原因。每个客户都有雪亮的眼睛,企业若能以客户需求为己任,把帮助客户取得成功当作一项终极目标,那么,相信这样的企业也一定能够在与客户的一起成长中实现共赢。 /span /p
  • 精确跟踪芯片蚀刻过程,用高分辨率光谱仪监测等离子体
    在半导体行业,晶圆是用光刻技术制造和操作的。蚀刻是这一过程的主要部分,在这一过程中,材料可以被分层到一个非常具体的厚度。当这些层在晶圆表面被蚀刻时,等离子体监测被用来跟踪晶圆层的蚀刻,并确定等离子体何时完全蚀刻了一个特定的层并到达下一个层。通过监测等离子体在蚀刻过程中产生的发射线,可以精确跟踪蚀刻过程。这种终点检测对于使用基于等离子体的蚀刻工艺的半导体材料生产至关重要。等离子体是一种被激发的、类似气体的状态,其中一部分原子已经被激发或电离,形成自由电子和离子。当被激发的中性原子的电子返回到基态时,等离子体中存在的原子就会发射特有波长的辐射光,其光谱图可用来确定等离子体的组成。等离子体是用一系列高能方法使原子电离而形成的,包括热、高能激光、微波、电和无线电频率。实时等离子体监测以改进工艺等离子体有一系列的应用,包括元素分析、薄膜沉积、等离子体蚀刻和表面清洁。通过对等离子体样品的发射光谱进行监测,可以为样品提供详细的元素分析,并能够确定控制基于等离子体的过程所需的关键等离子体参数。发射线的波长被用来识别等离子体中存在的元素,发射线的强度被用来实时量化粒子和电子密度,以便进行工艺控制。像气体混合物、等离子体温度和粒子密度等参数都是控制等离子体过程的关键。通过在等离子体室中引入各种气体或粒子来改变这些参数,会改变等离子体的特性,从而影响等离子体与衬底的相互作用。实时监测和控制等离子体的能力可以改进工艺和产品。一个基于Ocean Insight HR系列高分辨率光谱仪的模块化光谱装置用于监测等离子体室引入不同气体后,氩气等离子体发射的变化。测量是在一个封闭的反应室中进行的,光谱仪连接光纤和余弦校正器,通过室中的一个小窗口观察。这些测量证明了模块化光谱仪从等离子体室中实时获取等离子体发射光谱的可行性。从这些发射光谱中确定的等离子体特征可用于监测和控制基于等离子体的过程。等离子体监测可以通过灵活的模块化设置完成,使用高分辨率光谱仪,如Ocean Insight的HR或Maya2000 Pro系列(后者是检测UV气体的一个很好的选择)。对于模块化设置,HR光谱仪可以与抗曝光纤相结合,以获得在等离子体中形成的定性发射数据。从等离子体室中形成的等离子体中获取定性发射数据。如果需要定量测量,用户可以增加一个光谱库来比较数据,并快速识别未知的发射线、峰和波段。监测真空室中形成的等离子体时,一个重要的考虑因素是与采样室的接口。仪器部件可以被引入到真空室中,或者被设置成通过视窗来观察等离子体。真空通管为承受真空室中的恶劣条件而设计的定制光纤将部件耦合到等离子体室中。对于通过视口监测等离子体,可能需要一个采样附件,如余弦校正器或准直透镜,这取决于要测量的等离子体场的大小。在没有取样附件的情况下,从光纤到等离子体的距离将决定成像的区域。使用准直透镜可以获得更局部的收集区域,或者使用余弦校正器可以在180度的视野内收集光线。测量条件HR系列高分辨率光谱仪被用来测量当其他气体被引入等离子体室时氩等离子体的发射变化。光谱仪、光纤和余弦校正器通过室外的一个小窗口收集发射光谱,对封闭反应室中的等离子体进行光谱数据采集(图1)。图1:一个模块化的光谱仪设置可以被配置为真空室中的等离子体测量。一个HR2000+高分辨率光谱仪(~1.1nm FWHM光学分辨率)被配置为测量200-1100nm的发射(光栅HC-1,SLIT-25),使用抗曝光纤(QP400-1-SR-BX光纤)与一个余弦校正器(CC-3-UV)耦合。选择CC-3-UV余弦校正器采样附件来获取等离子体室的数据,以解决等离子体强度的差异和测量窗口的不均匀问题。其他采样选项包括准直透镜和真空透镜。结果图2显示了通过等离子体室窗口测量的氩等离子体的光谱。690-900纳米的强光谱线是中性氩(Ar I)的发射线,400-650纳米的低强度线是由单电离的氩原子(Ar II)产生的。图2所示的发射光谱是测量等离子体发射的丰富光谱数据的一个例子。这种光谱信息可用于确定一系列关键参数,以监测和控制半导体制造过程中基于等离子体的工艺。图2:通过真空室窗口测量氩气等离子体的发射。氢气是一种辅助气体,可以添加到氩气等离子体中以改变等离子体的特性。在图3中,随着氢气浓度的增加添加到氩气等离子体中的效果。氢气改变氩气等离子体特性的能力清楚地显示在700-900纳米之间的氩气线的强度下降,而氢气浓度的增加反映在350-450纳米之间的氢气线出现。这些光谱显示了实时测量等离子体发射的强度,以监测二次气体对等离子体特性的影响。观察到的光谱变化可用于确保向试验室添加最佳数量的二次气体,以达到预期的等离子体特性。图3:将氢气添加到氩等离子体中会改变其光谱特性。在图 4 和 5 中,显示了在将保护气添加到腔室之前和之后测量的等离子体的发射光谱。 保护气用于减少进样器和样品之间的接触,以减少由于样品沉积和残留引起的问题。 在图 4中,氩等离子体发射光谱显示在加入保护气之前,加入保护气后测得的发射光谱如图5所示。保护气的加入导致了氩气发射光谱的变化,从400纳米以下和~520纳米处的宽光谱线的消失可以看出。图4:加入保护气之前,在真空室中测量氩等离子体的发射。图5:加入保护气后,氩气发射特性在400纳米以下和~520纳米处有明显不同。结论紫外-可见-近红外光谱是测量等离子体发射的有力方法,以实现元素分析和基于等离子体过程的精确控制。这些数据说明了模块化光谱法对等离子体监测的能力。HR2000+高分辨率光谱仪和模块化光谱学方法在测量等离子体室条件改变时,通过等离子体室的窗口测量等离子体发射光谱,效果良好。还有其他的等离子体监测选项,包括Maya2000 Pro,它在紫外光下有很好的响应。另外,光谱仪和子系统可以被集成到其他设备中,并与机器学习工具相结合,以实现对等离子体室条件更复杂的控制。以上文章作者是海洋光学Yvette Mattley博士,爱蛙科技翻译整理。世界上第一台微型光谱仪的发明者海洋光学OceanInsight,30年来专注于光谱技术和设备的持续创新,在光谱仪这个细分市场精耕细作,打造了丰富而差异化的产品线,展现了光的多样性应用,坚持将紧凑、便携、高集成度以及高灵敏度、高分辨率、高速的不同设备带给客户。2019年,从Ocean Optics更名为Ocean Insight,也是海洋光学从光谱产品生产商转型为光谱解决方案提供商战略调整的开始。此后,海洋光学不仅继续丰富扩充光传感产品线,且增强支持和服务能力,为需要定制方案的客户提供量身定制的系统化解决方案和应用指导。作为海洋光学官方授权合作伙伴,爱蛙科技(iFrogTech)致力于与海洋光学携手共同帮助客户面对问题、探索未来课题,为打造量身定制的光谱解决方案而努力。如需了解更多详情或探讨创新应用,可拨打400-102-1226客服电话。关于海洋光学海洋光学作为世界领先的光学解决方案提供商,应用于半导体、照明及显示、工业控制、环境监测、生命科学生物、医药研究、教育等领域。其产品包括光谱仪、化学传感器、计量检测设备、光纤、透镜等。作为光纤光谱仪的发明者,如今海洋光学在全球已售出超过40万套的光纤光谱仪。关于爱蛙科技爱蛙科技(iFrogTech)是海洋光学官方授权合作伙伴,提供光谱分析仪器销售、租赁、维护,以及解决方案定制、软件开发在内的全链条一站式精准服务。
  • 第四届亚太地区冬季等离子体光谱化学会议上厂商活动掠影
    仪器信息网讯 2010年11月27-30日,第四届亚太地区冬季等离子体光谱化学会议(The 4th Asia-Pacific Winter Conference on Plasma Spectrochemistry,2010 APWC)在四川省成都市望江宾馆举行。此次大会由四川大学、厦门大学和中科院贵阳地化所共同承办,并得到国家自然科学基金委的鼎力支持。来自全球20多个国家200余位光谱专家齐聚一堂,进行了深入的沟通与学术交流。   会议同期还举行了展览会,赛默飞世尔科技、岛津国际贸易(上海)有限公司、珀金埃尔默仪器(上海)有限公司、安捷伦科技、Nu Instrument公司、斯派克公司等公司参展。 展会现场 赛默飞世尔科技展台、岛津展台 珀金埃尔默展台、Nu Instrument展台   来自赛默飞世尔科技、岛津国际贸易(上海)有限公司、珀金埃尔默仪器(上海)有限公司、安捷伦科技、Nu Instrument公司、斯派克公司的代表分别介绍了各自公司的等离子体光谱新技术、新仪器及新的解决方案。 Song yin(赛默飞世尔科技)、Steven Wilbur (安捷伦科技) Yan-hong Hou(岛津公司) 、Ching Tung Yong(珀金埃尔默) John Cantle(Nu Instruments)、Olaf Schulz(斯派克)   在此次会议上,赛默飞世尔科技、岛津国际贸易(上海)有限公司、珀金埃尔默仪器(上海)有限公司分别举办了晚宴,并为参加晚宴的嘉宾准备了富有四川特色的表演和丰富的礼品。   此外,岛津国际贸易(上海)有限公还赞助了本次大会的“优秀论文海报奖”。 赛默飞世尔科技27日欢迎晚宴、卓越客户服务中国区副总裁孙建一先生致辞 岛津公司28日招待晚宴、企画部部长小谷崎真先生致辞 珀金埃尔默29日招待晚宴、中国区市场总监程广辉先生致辞 优秀论文海报获奖者(岛津公司赞助)与颁奖嘉宾合影
  • 石墨烯等离子超介质可使药检达单分子水平
    据物理学家组织网1月14日(北京时间)报道,一个由英国曼彻斯特大学和法国艾克斯—马赛大学人员组成的研究小组,开发出一种新型的等离子超介质探测设备,利用了奇点光学中超常相位拓扑的性质,能通过简单的光学系统就看到单个分子,并在几分钟内分析出它的成分,药物检测精确度提高了3个数量级,可用于人体药检、机场安检、爆炸物探测等。相关论文发表在最近出版的《自然材料》上。   “该设备的总体设想是要通过一种简单的光学系统,如显微镜,来看到单个分子,真实地看到它们。”领导该研究的萨沙格里乔科说。他提出了一种新的传感设备:一种具有黑暗拓扑性的人造材料。这种设备极其灵敏,而其灵敏性是来自它的光相位拓扑性能,即使附着一个小分子也能引起反应。   奇点相位的超常性质是研究许多重要物理现象的关键,通过控制光相位,人们能造出“扭曲的”光子流,如光涡流结 打断相位使之分离,就会产生奇点光场。而等离子超介质经过恰当设计就会显出一种拓扑性,从而在其附近产生突然的相位改变。利用这一性质能造出一种等离子共振传感器,从根本上提高探测的灵敏度。   为了测试该设备,研究人员给一种等离子超介质涂了一层石墨烯,然后将氢气导入石墨烯上面,利用可逆的石墨烯氢化反应来测试其灵敏度。“石墨烯是用于检测分子灵敏性的最佳材料之一,可以很容易地把氢分子以可控的方式附着在上面。”格里乔科说,他们证明了该设备能探测到单个生物分子水平。通过验血可以检测人体内的毒素或药物,几分钟就能出结果,精确度比现有设备高出3个数量级。   研究人员指出,这一概念性论证结果提供了一种更简单的、可升级的单分子免标记生物感测技术,使药物检测更加快捷精确,可用于检查运动员是否服用了违禁药物以及机场或机密要地的安检,预防恐怖分子藏匿爆炸物、不法商贩走私药物等,还可能探测人们感染了哪种病毒。   格里乔科说,奇点光学是一门新兴学科,研究的是光在超常相位的性质,他们的成果显示了这一学科在实际应用方面的巨大价值。这只是个开始,它可能对药物与病毒探测、安全检查等产生深远影响。   总编辑圈点:   童话《豌豆公主》里,隔着十二张床垫和二十张鸭绒被,公主仍然能感觉出一颗豌豆的凹凸。英、法科学家开发的新技术,让仪器也具备了这样的灵敏度——增加一个分子,仪器就能察觉出“凹凸”。超级材料石墨烯,相当于一张平滑的床垫,为检测提供了纯净的光学背景,使微小形状的干扰也变得很显著。依靠新开发的这种精密探测手段,今后的医学检测可能不必借助生化试剂,直接“看”到病毒的模样,这将大大方便医生的快速诊断。
  • 第四届亚太地区冬季等离子体光谱化学会议日程公布
    第四届亚太地区冬季等离子体光谱化学会议(The 4th Asia-Pacific Winter Conference on Plasma Spectrochemistry,2010 APWC) 将于2010年11月26-30日在成都市望江宾馆举行。此次大会由四川大学、厦门大学和中科院贵阳地化所共同承办,并得到国家自然科学基金委的鼎力支持,大会名誉主席为厦门大学黄本立院士,大会主席为四川大学侯贤灯教授和厦门大学王秋泉教授。   会议将就等离子体光谱、等离子体质谱、光谱分析仪器、便携式光谱仪器、光谱元素形态分析、光谱环境分析等多个领域的研究最新进展,以大会邀请报告、大会口头报告、报展、论文集、仪器展示等形式开展学术与技术交流。   详细大会日程公布如下: The 4th Asia-Pacific Winter Conference on Plasma Spectrochemistry (2010 APWC) SCIENTIFIC PROGRAM Friday, November 26, 2010 Location: Wangjiang Hotel 10:00 -21:00 Whole day for on-site registration/hotel check in Wufu Building, Wangjiang Hotel 望江宾馆五福楼 12:00- 13:30 Lunch Songtao Restaurant, Wangjiang Hotel 望江宾馆松涛厅 18:30-19:30 Dinner Songtao Restaurant, Wangjiang Hotel 望江宾馆松涛厅 Saturday, November 27, 2010 Location: Juying Conference Hall, Wangjiang Hotel(望江宾馆聚英厅) SECTION I Chairman: Xiandeng (Dan) Hou 8:30-8:50 (1) OPENING SPEECH Benli Huang (Xiamen University, China) (2) WELCOME SPEECH (Sichuan University, China) 8:50-9:10 Winter Conference on Plasma Spectrochemistry: The Background Ramon M. Barnes ICP Information Newsletter, USA SECTION II Chairman: Naoki Furuta 9:10-9:50 PL-1 Novel Mass Spectrometers for Plasma Spectrochemistry Gary M. Hieftje Department of Chemistry, Indiana University, USA 9:50-10:30 PL-2 ICP-MS and nuclear hybrid techniques for nanotoxicology Zhifang Chai Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Sciences, China 10:30-10:45 Coffee Break SECTION III Chairman: Ryszard Lobinski, Pengyuan Yang 10:45-11:05 KN-1 A Chemical Etching Strategy to Generate “Ion-Imprinted” Sites on the Surface of Quantum Dots for Selective Fluorescence Turn-On Detecting of Metal Ions Xiuping Yan College of Chemistry, Nankai University, China 11:05-11:25 KN-2 Measuring Mn in Whole Blood and Urine by Q-ICP-MS: Standard or DRC Mode? Patrick J. Parsons Wadsworth Center, New York State Department of Health, USA 11:25-11:45 KN-3 The determination of trace elements in size-fractionated marine particles using magnetic sector ICP-MS Ashley T. Townsend Central Science Laboratory, University of Tasmania, Australia 11:45-12:10 CO-1 INDUCTIVELY COUPLED PLASMAS FOR ELEMENTAL ANALYSIS: AN OVERVIEW Meike Hamester Thermo Fisher Scientific 12:10-13:30 Lunch (Songtao Restaurant, Wangjiang Hotel 望江宾馆松涛厅) SECTION IV Chairman: Gary M. Hieftje, Guibin Jiang 13:30-13:45 Award presentation 13:45-14:25 PL-3 Biological Application of ICP-MS WITH Single-Particle Mode Xinrong Zhang Department of Chemistry, Tsinghua University, China 14:25-14:45 KN-4 Laser Plume Spectroscopy for Ultrasensitive Multi-elemental Analysis Nai Ho Cheung Department of Physics, Hong Kong Baptist University, China 14:45-15:05 KN-5 ATOMIC SPECTROMETRIC STUDY OF THE SOLUBILITY OF METAL CONTAMINANTS IN CARBON NANOTUBES (CNTS) Karl X. Yang Wadsworth Center, New York State Department of Health, USA 15:05-15:25 KN-6 Determination of Arsenic and Selenium compounds in foodstuffs using LC and CE ICP-MS Shiuh-Jen Jiang Department of Chemistry , National Sun Yat-sen University, Taiwan, China 15:25-15:45 Coffee Break SECTION V Chairman: Jianhua Wang, Joanna Szpunar 15:45-16:05 KN-7 RECENT DEVELOPMENTS IN APPLICATIONS OF MULTICOLLECTOR ICP-MS AT CHEMICAL METROLOGY, INMS, NRC Lu Yang Institute for National Measurement Standards, National Research Council Canada, Canada 16:05-16:25 KN-8 MICROEXTRACTION TECHNIQUES COMBINED WITH ICP-MS FOR BIOMEDICAL ANALYSIS Bin Hu Department of Chemistry, Wuhan University, China 16:25-16:45 KN-9 Protein Quantification from Peptides Quantification by Sulfur Determination with Using Nano HPLC-ICPMS Yoshinari Suzuki Department of Applied Chemistry, Chuo University, Japan 16:45-17:05 KN-10 ON-LINE CHIP-BASED DEVICES COUPLING WITH ICP-MS FOR DETERMINATION OF TRACE ELEMENTS AND THEIR SPECIES Yuh-Chang Sun Department of Biomedical Engineering and Environmental Sciences, National Tsing Hua University, Taiwan, China 17:05-17:25 KN-11 IDENTIFICATION OF METAL-BINDING PROTEINS BY METALLOPROTEOMICS AND METALLOMICS Hongzhe Sun Department of Chemistry, The University of Hong Kong, China 17:25-17:45 IL-1 HIGH IRRADIANCE LASER IONIZATION TIME-OF-FLIGHT MASS SPECTROMETRY Wei Hang College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, China 17:45-18:05 IL-2 ANALYTICAL SCIENCE AT THE ROYAL SOCIETY OF CHEMISTRY May Copsey Royal Society of Chemistry, UK 18:30-20:30 Thermo Fisher Welcome Banquet (Songtao Restaurant, Wangjiang Hotel 望江宾馆松涛厅) Sunday, November 28, 2010 Location: Juying Conference Hall, Wangjiang Hotel(望江宾馆聚英厅) SECTION I Chairman: Xinrong Zhang, Steven J. Ray 8:30-9:10 PL-4 ICP-MS DETECTION IN CHROMATOGRAPHY AND ELECTROPHORESIS: THE ELECTROSPRAY MS CHALLENGE Ryszard Lobinski Laboratoire de Chimie Analytique Bio-inorganique et Environnement (LCABIE), France 9:10-9:30 KN-12 A ROAD TO METALLOMICS AND WHERE? Hiroki Haraguchi Association of International Research Initiatives for Environmental Studies, Japan 9:30-9:50 KN-13 ENVIRONMENTAL METALLOMICS: GLOBAL HEALTH CRISIS CAUSED BY MULTI-METAL CONTAMINATION OF DRINKING WATER Bibudhendra Sarkar University of Toronto and The Hospital for Sick Children, Canada 9:50-10:10 KN-14 ICP MS IN SELENOPROTEOMICS AND SELENOMETABOLOMICS Joanna Szpunar CNRS/University of Pau, Laboratoire de Chimie Analytique Bio-inorganique et Environnement (LCABIE), France 10:10-10:30 Coffee Break SECTION II Chairman: Yong-Ill Lee, Bin Hu 10:30-10:50 KN-15 PLASMAS IN ANALYTICAL CHEMISTRY Yixiang Duan Research Center of Analytical Instrumentation, Sichuan University, China 10:50-11:10 IL-3 DETERMINATION OF PLATINUM GROUP ELEMENTS BY ICP-MS USING AN IMPROVED DIGESTION TECHNIQUE Liang Qi Institute of Geochemistry, Chinese Academy of Sciences, China 11:10-11:30 IL-4 METABOLIC STUDY FOR THE INTERPRETATION OF TOXICITY OF MERCURY AND CHROMIUM BY USING HPLC-ICP-MS Weiyue Feng Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Sciences, China 11:30-11:50 CO-2 HIGH RESOLUTION SEQUENTIAL ICP-AES ANALYSIS IN THE RARE EARTH INDUSTRY Yanhong Hou Shimadzu International Trading(Shanghai) Co. Limited Beijing Branch, China 11:50-12:05 CO-3 OPTIMIZATION OF A QUADRUPOLE ICP-MS COUPLED WITH A ARF LASER UNIT FOR ELEMENT MAPPING Yi Hu Advanced Analytical Centre, James Cook University, Australia 12:05-13:30 Lunch (Songtao Restaurant, Wangjiang Hotel 望江宾馆松涛厅) SECTION III Chairman: Xiuping Yan, Heung Bin Lim 13:30-14:10 PL-5 ICP-MS: A NEW TOOL FOR PROTEOMICS Norbert Jakubowski BAM – Federal Institute for Materials Research and Testing, Germany 14:10-14:30 KN-16 LASER-INDUCED BREAKDOWN SPECTROSCOPY WITH POWERCHIP – LASER Suh-Jen Jane Tsai Department of Applied Chemistry, Providence University, Taiwan, China 14:30-14:50 KN-17 MINIATURIZATION OF ATOMIC SPECTROMETER WITH DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE AS ATOMIZATION/EXCITATION SOURCE Jianhua Wang Research Center for Analytical Sciences, Northeastern University, China 14:50-15:10 IL-5 ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA BASED SAMPLE INTRODUCTION METHOD FOR ATOMIC SPECTROMETRY Zhenli Zhu China University of Geosciences, China 15:10-15:30 CO-4 UNDERSTANDING AND EXPERIENCE WITH THE NEXT GENERATION ICP-MS Ching Tung Yong PerkinElmer Singapore Pte Ltd, Singapore 15:30-15:50 Coffee Break SECTION IV Chairman: Norbert Jakubowski, Sichun Zhang 15:50-16:10 KN-18 PLASMONIC NANOPARTICLES FOR SENSING Chengzhi Huang College of Pharmacuetical Science, Southwest University, China 16:10-16:30 KN-19 ICP-MS Single-Particle Analysis Using Polydisperse Particles as Calibration Standards Wing-Tat Chan Department of Chemistry, University of Hong Kong, China 16:30-16:50 IL-6 Separation and Accurate Determination of Selenium Species with ORC HPLC-ICPMS Yong-Nam Pak Department of Chemistry, Korea National University of Education, Korea 16:50-17:05 CO-5 SPECIFIC DETERMINATION OF SELENOMETHIONINE, SELENOCYSTEINE AND INORGANIC SELENIUM IN FOODSTUFFS BY HPLC–ICPMS Katarzyna Bierla CNRS/University of Pau, Laboratoire de Chimie Analytique Bio-inorganique et Environnement (LCABIE), France 17:05-17:20 CO-6 THE POTENTIAL FOR ISOTOPIC ANALYSES USING A RAPID SCANNING MAGNETIC SECTOR ICP-MS John Cantle Nu Instruments, UK 17:20-17:35 CO-7 ADVANCEMENTS IN ICP SPECTROSCOPY USING SIMULTANEOUS SEMI CONDUCTOR DETECTION TECHNOLOGY Olaf Schulz Spectro Analytical Instruments, Germany 19:00-21:00 Shimadzu Reception Dinner Shunxin Tea House, Chengdu New International Convention & Exposition Center 成都新国际会展中心顺心茶馆 Time: Monday, November 29, 2010 08:30-18:00 Agilent Day One day excursion and you may choose one itinerary on November 26. Itinerary A: Dujiangyan(都江堰)and Sanxingdui Museum(三星堆)Itinerary B: Temple of Marquis Wu(武侯祠)and Chengdu Giant Panda Research Base(成都熊猫基地) 19:30-21:30 PerkinElmer Night (Songtao Restaurant, Wangjiang Hotel 望江宾馆松涛厅) Tuesday, November 30, 2010 Location: Juying Conference Hall, Wangjiang Hotel(望江宾馆聚英厅) SECTION I Chairman: Kazuaki Wagatsuma, Suh-Jen Jane Tsai 8:30-8:50 KN-20 RARE EARTH ELEMENTS (REES) CYCLE IN THE ENVIRONMENT - A POSITIVE ANOMALY OF EUROPIUM, GADOLINIUM AND TERBIUM – Naoki Furuta Department of Applied Chemistry, Chuo University, Japan 8:50-9:10 IL-7 BIO APPLICATION OF MICROARRAY CHIP IN HARMONY WITH LASER ABLATION ICP-MS Heung Bin Lim Department of Chemistry, Dankook University, Korea 9:10-9:30 IL-8 SLURRY NEBULIZATION ICP SPECTROMETRY FOR THE ANALYSIS OF ADVANCED CERAMIC MATERIALS0College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University 18:00-20:00 Dinner (Songtao Restaurant, Wangjiang Hotel 望江宾馆松涛厅)
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