探针轮廓仪原理

“摩擦，摩擦，在这光滑的地上摩擦…..”还记得庞麦郎的一首《我的滑板鞋》风靡大街小巷，广场上卷起了一股溜滑板鞋的浪潮。尔今浪潮已退，但摩擦声却未消失，作为一柄对社会发展起着双刃剑作用的武器，各大高校和科研机构一直都在对摩擦学进行着持续的研究，而中图仪器[b]SuperView W1光学3D表面轮廓仪[/b]，就是该领域最时尚的滑板鞋，载着研究人员疾驰，手持武器，所向披靡。　　摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科，摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数，量级从纳米到毫米不等，又由于不可破坏性测量，传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用，而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的光学3D表面轮廓仪登上了摩擦学研究的舞台。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238760989.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231572145.jpg[/img][/align][align=center]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/align]　　上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪，经过十数小时的摩擦，铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹，即为磨损区域，对磨损区域进行尺寸上的定量分析，是研究的重要组成部分，下面我们使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。一、一维：线_轮廓尺寸　　取一块摩擦处理过的铜板，使用SuperView W1光学3D表面轮廓仪对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描，获取其3D图像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808239913954.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234541029.jpg[/img][/align][align=center]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/align]　　从图中可以看到，相对光滑区细致较浅的划痕，磨损区充满了坑坑洼洼的槽，在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线，可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。二、二维：面_粗糙度　　分别在光滑区和磨损区选取若干点，测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808235791766.jpg[/img][/align][align=center]图6 光滑区域粗糙度[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808237197020.jpg[/img][/align][align=center]图7 磨损区域粗糙度[/align]三、三维：体_体积[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238604911.jpg[/img][/align][align=center]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/align]　　如右上图，利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中，位于基准面（蓝色方框）上面的顶点区域显示为红色，位于基准面下方显示为绿色，利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。　　一线二面三体，中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息，从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断，如同穿上了酷炫的滑板鞋，在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。

MMD-220A轮廓仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数，角度处理（坐标角度，与Z坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、轮廓度、倾斜度、垂直距离、水平距离等形状参数。 该MMD-220A轮廓仪测量长度≤220mm，Z 量 程：10mm，可测零件直径：内圈≤300mm，外圈可较大，国产贵阳光栅尺：精度±3μm/220mm ，X向分辨率1μm，Z向分辨率/量程：1/65536，工作压力：0.35～0.43Mpa，气源压力：0.45～0.80Mpa。

JJG (石油) 36-1994 螺纹轮廓仪[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=50876]JJG (石油) 36-1994 螺纹轮廓仪[/url]

禅宗有看山看水的参禅三重境，讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现，带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。　　一重境：看山是山，看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片，初看下面的这张塑料片，想必读者一看再看，也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同，“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识，此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align]　　二重境：看山不是山，看水不是水。既然肉眼不可辩，那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒，另一面则被条状沟槽所填满，构成了塑料片表面的微观世界，但只知其平面外形却不知其三维形态，知其一不知其二，可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align]　　三重境：看山仍是山，看水仍是水。为一窥真容，使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描，点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align]　　点颗粒是凸点，而沟槽则是弧形波，进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量，得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align]　　单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°，分布周期97μm；单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm，周期35μm。掌握了全部的轮廓数据，对这有着微结构的塑料片，我们有了全面而精确的认识，称得上“看山还是山，看水还是水”。　　超精密加工，是在传统精密加工上的升级，代表着先进制造业的发展方向，也代表着一个国家制造业的最高水准，超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器，而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，就像一双能够明察秋毫的眼镜，帮助我们在超精密加工的微观世界里，具备“看山还是山，看水还是水”的本领。

[quote]引言：半导体产业是一个点石成金的行业，将从普通的石英砂中提取的硅原料制成拥有现代工业系统“心脏”之称的IC芯片，中间须历经数十上百道工序，从硅晶圆的制备到晶圆IC的制造，每一步都对工艺流程的质量有着严格的管控要求，由各式各样的检测仪器共同组成了产品质量监控的守门员，而在这之中，作为产品表面质量检测仪器的光学3D表面轮廓仪，以其超高的检测精度和重复性，发挥着重要的作用。[/quote]　　中图仪器SuperView W1[b][color=#3333ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b]，是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器，其分辨率可达0.1nm。半导体产业作为超精密加工领域一颗璀璨的明珠，在其硅晶圆的制备和晶圆IC的制造过程中，光学3D表面轮廓仪都以其强大的表面质量检测功能给这颗明珠增添一份靓丽的色彩。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257216238.png[/img][/align][color=#ffffff]硅晶圆的粗糙度检测[/color]在半导体产业中，硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量，而硅晶圆的制备，要经过十数道工序，才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆，如下图所示，提取表面一区域进行扫描成像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804250029083.png[/img][/align]通过上图我们看到，制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内，其表面粗糙度在0.5nm左右，由于其粗糙度精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。[color=#ffffff]晶圆IC的轮廓检测[/color]晶圆IC的制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV蚀刻到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程，其中由于光罩中电路结构尺寸极小，任何微小的粘附异物和瑕疵均会导致制造的晶圆IC表面存在缺陷，因此必须对光罩和晶圆IC的表面轮廓进行检测。下图是一块蚀刻后的晶圆IC，使用光学3D表面轮廓仪对其中一个微结构扫描还原3D图像，并测量其轮廓尺寸。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804252060141.png[/img][/align][color=#ffffff]晶圆IC减薄后的粗糙度检测[/color]在硅晶圆的蚀刻完成后，根据不同的应用需求，需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理，在这个过程中，需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。在减薄工序中，晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序，下图是粗磨后的晶圆IC背面，选取其中区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804253935356.png[/img][/align]从上图可以看出，粗磨后的表面存在明显的磨削纹路，而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵，沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵，在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵最大起伏在2.4um左右，而磨削纹理起伏最大在1um范围内波动，并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm，剖面线的粗糙度Ra为241nm。而在经过细磨后，晶圆IC背面的磨削纹理已基本看不出，选取表面区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257060316.png[/img][/align]从上图可知，在经过细磨之后，晶圆IC背面的磨削纹理轮廓起伏已经降到36nm附近，其表面粗糙度也已经从200多nm直降到6nm左右。以上是SuperView W1光学3D表面轮廓仪在半导体产业中的几种典型应用案例。目前我国正在大力推进半导体产业跨越式大发展，中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪必将为此贡献更多力量。

样品测量厚度在100纳米，是溅射的金属网格，我希望测试网格线的厚度。想用台阶仪或者光学轮廓仪测试，请问北京哪里可以提供服务？谢谢！

样品测量厚度在100纳米，是溅射的金属网格，我希望测试网格线的厚度。想用台阶仪或者光学轮廓仪测试，请问北京哪里可以提供服务？谢谢！

禅宗有看山看水的参禅三重境，讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color][/url]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现，带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。　　一重境：看山是山，看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片，初看下面的这张塑料片，想必读者一看再看，也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同，“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识，此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align]　　二重境：看山不是山，看水不是水。既然肉眼不可辩，那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒，另一面则被条状沟槽所填满，构成了塑料片表面的微观世界，但只知其平面外形却不知其三维形态，知其一不知其二，可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align]　　三重境：看山仍是山，看水仍是水。为一窥真容，使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描，点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align]　　点颗粒是凸点，而沟槽则是弧形波，进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量，得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align]　　单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°，分布周期97μm；单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm，周期35μm。掌握了全部的轮廓数据，对这有着微结构的塑料片，我们有了全面而精确的认识，称得上“看山还是山，看水还是水”。　　超精密加工，是在传统精密加工上的升级，代表着先进制造业的发展方向，也代表着一个国家制造业的最高水准，超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器，而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，就像一双能够明察秋毫的眼镜，帮助我们在超精密加工的微观世界里，具备“看山还是山，看水还是水”的本领。

[font=宋体][size=16px][color=black]粗糙度轮廓仪使用干货：[/color][/size][/font]轮廓更换测针操作步骤（1）测杆安装注意：装到位后会听到定位声（机械声），手摸一下吸合处高低位置要对齐。[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/9311208da3fe4dbfae4af733c97e3a4d~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=JJLap7%2B31x44j9UsN1qQ6HCxxm0%3D[/img]（2）测杆拆卸[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/579ed6a4e3e345168b8b287d4ab3c976~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=x4RwSKenZBUjt0%2BeVKatZ17J300%3D[/img]（3）测针安装[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/d7e32312b28b4660906d1df71e7d1aab~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=5cbkAg7DebtrXrjT6wcQlImnZZE%3D[/img]（4）在软件中创建测针（5）在软件中切换测针【英徕铂】英徕铂ENLAB，物性检测仪器品牌，为国内市场提供数百种物性检测仪器，为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务

北京地区哪有光学轮廓仪可以测激光烧蚀坑的大小与深度？谢谢了。。。

哪儿有光学轮廓仪，可以表征三维形貌及纵向深度？谢谢了。。。

[color=#000000]粗糙度轮廓仪为粗糙度及轮廓的复合机。轮廓传感器对工件的宏观表面轮廓、二维尺寸进行测量 与检验，粗糙度传感器对工件的微观表面进行测量与检测[/color][b]特点[/b][color=#000000]1、高精度摩擦式导轨结构，具有优异稳定的运动精度。经专用算法修正后，具有极高的直线度精度。精度保持长久，只需简单的修正操作即可修复成出厂的高精度状态；[/color][color=#000000]2、轮廓测针测杆采用快速的磁吸结构，具有定位精度高、更换快捷的特点。软件对不同类型的测针测杆进行校正并保存校正参数，更换测针测杆时，因磁吸结构具有定位精度高的特点，而无需再次校正，大大提高仪器的使用便利性和测量效率；[/color][color=#000000]3、原始数据自动保存，便于多次标注，软件标注与 CAD 同理；[/color][color=#000000]4、可将测量的图形结果转化为 DXF 格式，可将测量结果以 Excel 表格格式输出；[/color][color=#000000]5、可以对操作进行无限次的撤销及恢复操作；[/color][color=#000000]6、采用独立的轮廓、粗糙度测量传感器，即保持大量程轮廓测量需求，亦能高精度测量粗糙度；[/color][color=#000000]7、粗糙度采用触针式无导头测量，残值轮廓可低于 5nm!实现高精度的粗糙度测量，特别在测量零件的圆弧面、斜面、窄槽的槽底、槽侧面的粗糙度时，具有带导头式粗糙度测量无法比拟的精度和测量便利性。[/color][img]https://p3.toutiaoimg.com/img/tos-cn-i-qvj2lq49k0/4372814fa2524f599af2d76e04cb37f0~tplv-tt-shrink:640:0.image[/img]【英徕铂】英徕铂ENLAB，物性检测仪器品牌，为国内市场提供数百种物性检测仪器，为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务

请教有没有表面轮廓仪(Profilometry)方面的专家. 对中国高精度表面轮廓仪(Ultra Precision Profilometry)应用方面,和生产方面的发展情况.谢谢

请问“圆度仪”、“轮廓仪”、“圆柱度仪”、凸轮轴测量仪的英语单词是什么？

成都地区有使用激光共聚焦显微及三维光学轮廓仪的吗？想测量一下激光烧蚀后的深度及形貌。感兴趣的可以用这两种仪器测量一下SPARK-OES烧蚀坑的深度及形貌，分析一下烧蚀形貌的特点。最好 估算一下烧蚀的样品量，与大家分享一下。

有没有哪位大神，总结过关于探针磨损的注意事项以及损坏掉的探针的特征之类的问题，求分享一下。最近试验总是出现测出的图像很奇怪的现象，拉长，斜向拉长，或者图形轮廓不明显，以及波形不匹配等等问题，求教哪些是参数引起的，那些可能是探针已经损坏了。

摘要：轮廓测量仪是测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状的精密设备。该仪器工作台采用高精度的横向气浮道轨和滚动垂直道轨，移动精度高、稳定性好、寿命长；测量效率高、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。

在许多的制造业领域如汽配、轴承、航空航天以及一些精密零部件生产企业等，在产品的生产过程中都离不开轮廓测量仪的检测。中图仪器的[b][color=#3333ff]SJ5760轮廓测量仪[/color][/b]改善了国内轮廓测量仪稳定性差、精度低等不足，减小与国外轮廓测量仪的差距，改变因高精度轮廓测量仪被国外高价格垄断的局面。在今年的北京机床展会现场上，SJ5760轮廓测量仪受到来自国内外许多参观者的驻足观赏，甚至有些公司的老板亲自带着自家公司生产的工件，来到展会现场请中图仪器的技术人员进行现场测量。我们通过对展会现场为用户测量工件的实例，来讲解轮廓测量仪的使用方法。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706127435008.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image002.jpg[/img]　　在测量工件之前，先做好准备工作，确定轮廓测量仪的正常启动运行，SJ5760轮廓测量仪为全自动测量设备，所以操作人员在测量时不需要太多的手工作业。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706124153674.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image004.jpg[/img]　　只需要装好被测工件，用中图仪器专用的万向工作台对工件进行固定，在计算机检定软件上设置扫描的起点、终点位置。然后点击“开始”按钮，测量系统会自动驱动测针接触工件表面，并按照事先设置好的位置进行扫描。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706125560160.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image006.jpg[/img]　　在进行测量的过程中，检定软件会实时将测针获取的参数，在计算机屏幕上以二维图形的方式描绘出轮廓曲线。扫描完成以后，操作人员可以通过轮廓分析工具对生成的轮廓曲线进行评定，得出圆度、角度、距离、间距、直线度等轮廓参数。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706127747739.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image008.jpg[/img]　　SJ5760轮廓测量仪操作便捷，功能广泛，可对各种工件轮廓的几何参数进行测量，可评定的表面轮廓参数包括：角度、半径、坐标、距离、圆、圆截面，确定各个点、相交各点、坐标轴、直线、垂直线、圆和圆截面，可对轮廓进行直线度、圆度分析等；并可同时实现：1.建立回归直线和圆形；2.建立点、交点、自由点、中心店、最高点和最低点；3.建立坐标系统；4.计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差；5.实际值与标称值比较；6.测量程序自动运行。

在4月份 CIMT2017北京国际机床展上，几位神秘观众来到我公司展台前拿出一份图纸，面带焦虑的询问道：“我们工件的这个沟槽凸台非常重要，之前咨询过国内外一些仪器厂家得到的答复是不能测量或者需要破坏式测量。为此公司的领导已经下了军令状，一定要找到好的解决方案，请问你们公司的仪器能否测量？”[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708058075979.jpg[/img][/align][align=center]图 1工件图纸[/align]　　我公司技术人员接过图纸一看：图纸上的沟槽较狭小，一侧是盲边且角度小，用传统仪器测量是有很大的难度。技术人员经过分析评估后，告知客户我们的[color=#3366ff][b]轮廓测量仪[/b][/color]可以测量，但需要定制测针，随后向客户讲解我司轮廓测量仪的工作原理、测量过程及相关技术参数，客户听后十分认可我们的方案，后期将工件邮寄至我司测量。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708054168013.jpg[/img][/align][align=center]图 2工件实物[/align]　　技术人员收到客户的工件后，先是对其特征进行分析，模拟测针在测量工件沟槽内的着力点和面时，测针需满足哪些要求与突破哪些限制。然后设计制作测针，我公司拥有完全自主的设计和加工制造能力，很快定制的测针及连接装置就迎刃而解，经过品质检测符合设计要求。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708053543905.jpg[/img][/align][align=center]图 3扫描过程模拟[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708059325952.jpg[/img][/align][align=center]图 4定制的测针[/align]　　紧接着就是实物测量过程，把定制的测针安装到SJ5760轮廓测量仪上，并对测针进行相关参数调试后，实物测量就正式开启，随着测针在工件的沟槽内有条不紊地行进扫描，检定软件将测针扫描的相关数据绘制在计算机屏幕中，形成一幅精美的二维效果分析图。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708055731400.jpg[/img][/align][align=center]图 5测量过程[/align]检测结果如下：[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708055418522.jpg[/img][/align][align=center]图 6测量结果[/align]　　将工件测量结果提供给客户后，客户惊讶的同时感慨道：“没想到是国内的厂家替我们解决了棘手难题，中图仪器快速响应客户需求的能力让我们对国产测量仪器设备厂家刮目相看。”附：SJ5760轮廓测量仪技术参数1.X轴1) 测量范围：0～200mm；2) 示值误差：±(1.2+2L/100)μm，其中L为水平测量长度，单位：mm；3) 分辨率：0.01μm；4) 直线度：2μm/200mm5) 测量速度：0.1～5mm/s；6) 移动速度：0～80mm/s；2.Z轴1) 测量范围：0～450mm；2) 移动速度：0～30mm/s；3.Z0轴1) 测量范围：±25mm；2) 示值误差：±(2+|2H|/40)μm，其中H为垂直测量高度，单位：mm；3) 分辨率：0.01μm；4.测量力：10～150mN；5.爬坡能力：上坡77o，下坡83o；[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708052450577.jpg[/img][/align][align=center]图7 SJ5760轮廓测量仪[/align]

[b][color=#3366ff]SJ5300螺纹及轮廓综合测量机[/color][/b]为全自动测量，操作者只需装好被测螺纹，在检测软件上选择被测螺纹的标准和输入被测螺纹的规格、检测量程等参数后，点击“开始”按钮，系统立即进行全自动检测，系统可以实时显示螺纹轮廓的牙型曲线图，自动计算出大径、中径、小径、螺距、牙型角等各项螺纹参数，并根据系统内置的螺纹标准数据库对被测件螺纹的各项参数进行合格判定，整个测量过程不超过2分钟，检测结束后自动生成测量结果。[align=center][img=,690,466]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705021640_01_3712_3.jpg[/img][/align]　　轮廓扫描功能模块同样为全自动测量，在轮廓扫描模式下，操作者只需选择扫描范围，装好被测零件，点击“开始”按钮，系统立即进行全自动检测，系统可以实时显示扫描轮廓的曲线图，通过计算，用户可以获得轮廓的尺寸、形位公差等参数的结果。用户完成所有参数的评定后，即可进行测量报告打印。系统带有数据库，所有评定参数都可以保存。1、 全自动检测螺纹综合参数测量中无需人工干预和计算，2分钟内即可完成所有被测参数的扫描测量，并显示所有测量结果，自动生成检测报告，大大简化了操作人员的工作强度，提高了测量效率和测量质量与精度。1) 客户选好螺纹类型、输入相关检测信息，点击“开始”后，计算机自动控制高精度伺服电机精确驱动测针与被测螺纹接触扫描，不需人工干预。 2) 高精度光栅测量系统自动记录扫描过程中的坐标变化，由计算机自动计算螺纹相关参数，自动形成分析图表。3) 检测软件自动生成检测报告。[align=center][img=,348,348]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705021641_01_3712_3.jpg[/img][/align]2、 单项、双向扫描轮廓功能能对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验，直接描绘出表面轮廓曲线的形状，对测量得到的零件轮廓形状数据可进行尺寸、形位公差等参数计算，测量速度快、结果可靠、操作方便。一机二用，大幅提高了仪器的性价比。3、 高精度、高稳定性、高重复性采用六大技术措施，保证仪器的高精度、高稳定性、高重复性。1) 领先的高速多路、高精度细分光栅系统：引进国际领先的高精度光栅测量系统，采用2000倍数字化细分算法和FPGA高速并行采样，实现分辨力达到0.01um和同时高速采样、处理多路光栅，完全满足被测件测量精度要求。同时设计非接触式光栅采集系统，彻底消除连接和传动带来的误差，精度更高，系统更灵敏、更可靠。2) 精确测力控制系统：精确控制的测力调节系统，实现扫描针对螺纹轮廓稳定、可靠的接触扫描测量，降低测力变化引起的测量误差。测力仅同类仪器的一半，甚至四分之一，提高了扫描针的耐用性（寿命超过1万多次），避免量规划伤。3) 高精度气浮导轨系统：掌握无磨损、超低摩擦力的高精度气浮导轨系统的核心制造工艺，保证导轨稳定、可靠地工作。4) 关键部件的特殊制作：进口特殊材料制作的高刚性、无变形测杆和刚性强、耐磨性好的扫描针，保证螺纹数据的真实采集。5) 精巧平衡臂技术：消除导轨的摆动，保证扫描时坐标系统的正交稳定性，奠定高精度测量的基础。6) 精密机械设计经验及加工、装配能力：公司拥有10多年的精密仪器设计制造经验，以及一批有丰富精密仪器设计制造经验的研发工程师和一批熟练的精密加工、装配技师，同时配有先进的检测、加工设备，保证制造工艺精良，进一步保证高精度、高稳定性。4、 SmartTouch智能扫描技术（专利一）　　通过实时测力控制装置和智能测力传感装置有效解决测针磨损、大坡度螺纹不能直接扫描等问题。实时测力控制装置实现实时测力0.1~10gf可调，实现测力的精确控制。智能测力传感装置精度达到0.1gf，可以有效地保护测针。采用SmartTouch智能探针技术达到的突破性效果是：1) 突破性实现大幅提升爬坡能力。新型仪器测力只需3gf（甚至更小，1~2gf），即还不到一代仪器的一半，是进口仪器的四分之一（IAC仪器14gf）。通过微小测力，精细测力控制，实现扫描上坡85°，下坡87°。该新型技术是实现梯形螺纹、偏梯形螺纹、锯齿形螺纹等螺纹精确测量的基础，是一次突破性实现。2) 真正恒力扫描。实现保持任意位置、任意斜面为相同接触力，提高测量精度。3) 高效解决针尖磨损。实现实时监测测针受力，有效保护测针，突破性解决针尖磨损问题，测针基本不磨损。通过实时监测测力，设计智能障碍规避能力，更有效保护测针。4) 智能变速扫描。根据不同牙型，采取智能变速扫描，实现任意表面上的数据分布均匀，使分析算法更可靠。5、 简便、人性化设计螺纹装夹方便快捷，无需复杂调整过程，无需记录数据，仪器操作界面友好，操作者几分钟内即可基本掌握仪器操作，使用十分简便。1) 10多年积累的实用计量检测软件设计经验，向客户提供简洁、实用、快速的操作体验。2) 集成众多螺纹标准、规程，功能强大、自动处理数据、打印各种格式的检测报告，自动显示、打印、保存、查询测量记录。3) 测量范围广，可满足绝大多数螺纹类型的综合参数测量。4) 纯中文操作软件系统，更好的为国内用户服务。5) 打印格式正规、美观。测量数据可存档，或集中打印，不占用检测操作时间。6) 本仪器采用计算机大容量数据库储存，可自动记录保存所有测量结果。

电子探针仪与X射线谱仪从工作原理＆应用上有那些区别?

Zeta 200自动三维测量系统Zeta 200是集多种测量手段于一身的高级表面测量系统。它功能配备齐全，使用方便，是三维测量系统中性能价格比最优的选择。Zeta 200能够自动采集样品上多点的工艺参数，如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等，为您提供监管及优化生产流程所需的数据。· 自动多点、多配方测量样品· 200毫米x200毫米XY轴驱动范围· 粗糙表面成像与分析· 金属栅线形状与尺寸测量· 防反射膜及光刻胶厚度分析· 真空吸盘保证样品定位一致· 本色三维成像· 台阶高度，线与面粗糙度、角度及尺寸测量Zeta 200特色功能1.多点测量 用户可按其所需设置每片样品上的采样点数——少许几点往往适用于快速检测，多点则可用于详细分析。2.大面积成像 Zeta 200可自动按次序对多个视场进行成像，然后由软件拼接成一张大面积的样品表面三维图像。3.自动形貌特征测量 用户可设置操作配方对样品的各种指定形貌特征如尺寸、间距、高度甚至整片样品的弧度等进行自动测量。标准系统配置显微镜系统光源：高亮度白光LED物镜：5x,10x,20x,50x,100x耦合透镜：0.5x自动载物台：200毫米x200毫米XY驱动范围Z轴：30毫米纵向驱动范围数码相机: 1024x768像素,1/3 英寸CCD计算机控制系统处理器：英特尔®酷睿2 双核（最低2.5GHz）随机存储器3GB硬盘驱动器：320GB显示器：22英寸宽屏液晶显示器（1680x1050像素） Zeta 三维测量软件实时视频成像快速数据采集（每处1分钟）三维表面浏览：倾斜，旋转，缩放，过滤•体积计算二维表面分析：特性尺寸，直径，面积图案间距，标准偏差表面粗糙度区域平均台阶高度轮廓测量台阶高度与粗糙度多横截面分析平均值测量标尺倾斜度与表面波度补偿阵列式采样序列自动数据与图像输出用于生产线SPC

[b][font='Microsoft YaHei', 宋体, sans-serif]【序号】：１[/font]【作者】：[font=&][size=13px][color=#0066cc]段晓健[/color][/size][/font][b][b][/b][/b][/b][font=&]【题名】：[/font][b][b][url=http://www.eope.net/EN/abstract/abstract17664.shtml][b]基于线阵CCD的镜片轮廓测量[/b][/url][/b][/b][font=&]【期刊】：[/font][font=Arial][size=12px]CNKI[/size][/font][b]【链接】：[font=&][size=13px][color=#0066cc]段晓健[/color][/size][/font][url=https://xueshu.baidu.com/usercenter/paper/show?paperid=dba2d7b2f949431c52425383b6a2fba3&site=xueshu_se]基于线阵CCD的镜片轮廓测量 - 百度学术 (baidu.com)[/url][/b][font=&][size=13px][color=#0066cc]段晓健[/color][/size][/font]