台阶仪行业标准

1.中瑞祥脆碎度测试仪 片剂硬度仪ZRX-19190行业标准 用于检查非包衣片的脆碎情况及其他物理强度，如压碎强度等。适用标准●行业标准《脆碎度检查仪》ＪＢ／Ｔ２０１０５－２００７。主要特点●单路单筒，单独运行；自动定时停机。●圆筒采用优质无色透明有机玻璃。●可以随意预置转盘圆筒圈数；分时显示预置值和实时值。●全自动智能化控制圆筒旋转速度、转动圈数两个参数；控制精度高。●圆筒旋转速度、转动圈数显示采用最新的ＬＣＤ显示模块。●自动化，自动检测、自动诊断、自动报警。技术指标●转盘圆筒数量　　１个●转盘圆筒内径　　Φ２８６ｍｍ●转盘圆筒深度　　３９ｍｍｍ●药物滑落高度　　１５６ＭＭ●旋转速度范围　　２５转／分●旋转速度精度　　±１转／分●转动圈数范围　　２０－９００圈●转动圈数精度　　±１圈●连续工作时间　　大于２４小时●电源　　　　　　２２０Ｖ／５０Ｈｚ／２０Ｗ●外型尺寸　　　　（３０×２０×３４）ｃｍ３●重量　　　　　　６ｋｇ2. 标准GB 7478-87氨氮在线分析仪/在线氨氮分析仪/在线氨氮检测仪 型号ZRX-19159 系统特点 1.化学试剂重复利用，极大的延长了试剂更换时间，每更换一次试剂可使用半年时间。 2.水样预处理装置采用免维护设计，可确保预处理装置维护周期超过半年时间。 3.化学消解时间可以调整，测定过程及结果即可满足国家标准GB 7478-87，同时也可满足环保行业标准HJ/T101-2003。 4.全进口器件及创新的分析流路设计和试剂配方保证了极高的测量重现性，目前测量重现性可达到3%。 5.全自动运行，无需人员值守，可实现自动调零、自动校准、自动测量、自动清洗、6.自动维护、自我保护、自动恢复等智能化功能。 7.在线监测方式多样化，可实现人工随时测量、自动定时测量、自动周期性测量等测定方式。 8.自动漏液报警功能，当出现试剂泄露时，仪器自动报警，提示用户进行维护。 ● 测试方法：逐出比色法/水杨酸法/纳氏法● 测试量程：0～10 \50100\300\500\1000\2000mg/L● 准 确 度：＞100mg/L:＜10%读数；＜100mg/L:＜±1mg/L● 重 现 性：＞100mg/L:＜3%读数；＜100mg/L:＜±1mg/L● 响应时间（90%）：可调整， 最小6min● 测试方式：定时、等间隔、手动● 试剂消耗：每天测量24个样，一年只需要购买一次试剂维护方式：自维护，用户维护间隔5个月● 自我监测：自我监测泄漏；仪器状态自我诊断● 模拟输出：4---20mA模拟输出● 继电器控制：2路24V 1A继电器高低点控制● 数据传输方式：RS232，RS485，GPRS● 显示：5.7寸大屏LCD触摸屏，分辨率320×240● 数据存储：一年有效数据●试剂更换：试剂重复利用● 工作温度：+0～40°C● 电 源：220 ±10% VAC；50-60Hz● 功 耗：约100 VA● 尺 寸：500mm×750mm×321mm● 重量：约70Kg 3.总锰在线分析仪/在线总锰分析仪/在线式总锰检测仪 型号ZRX-19158标准方法HJ/T344-2007 系统概述 总锰在线分析仪是技术上基于中国环保行业标准方法HJ/T344-2007而研制的新一代全自动水中总锰在线分析仪，该产品是多年水质分析类产品研究基础上推出的一系列免维护在线监测仪。经过预处理的水样由注射泵注入到一个特殊反应器中后首先与还原性试剂进行反应，将水样中所有形态的锰统一还原成二价锰离子，接着调整溶液的PH值，最后加入特性显色剂进行显色反应，在测量范围内，其颜色的改变程度与水样中的总锰浓度成正比，通过测量颜色变化的程度，就可以计算出水样中总锰的含量。 系统特点1.采用光学定量技术，极大的提高了测量的重复性，从而保证了测量的高准确性。2.水样预处理装置采用免维护设计，可确保预处理装置维护周期超过半年时间。3.测定过程及结果即可满足国家标准HJ/T344-2007。4.微量进样技术保证了试剂的低消耗。5.全进口器件及创新的分析流路设计和试剂配方保证了极高的测量重现性，目前测量重现性可达到3%。6.全自动运行，无需人员值守，可实现自动调零、自动校准、自动测量、自动清洗、自动维护、自我保护、自动恢复等智能化功能。7.在线监测方式多样化，可实现人工随时测量、自动定时测量、自动周期性测量等测定方式。 技术参数● 测试方法：光电比色法● 测试量程：0-1/5/10/20mg/L● 检测下限：0.01mg/L● 准确度：10%读数● 重现性：3%读数● 响应时间（90%）：约10min● 测试方法：定时测量、等间隔测量、手动随时测量● 校正方式：自动定时校正● 预处理维护：自动反冲清洗● 日常维护：自动维护，用户维护间隔1个月● 自检系统：自我监测泄漏；仪器状态自我诊断● 模拟输出：4-20mA模拟输出● 继电器控制：2路24V 1A继电器高低点控制● 数据传输方式：RS232，RS485，GPRS● 显示：5.7寸大屏彩色LCD显示，触摸屏，分辨率320×240● 数据存储：一年有效数据● 工作温度：+5～40°C● 电 源：220 ±10% VAC；50-60Hz● 功 耗：约50 VA● 尺 寸：500mm×750mm×300mm● 重 量：约70Kg 4.混凝土氯离子扩散系数测定仪型号ZRX-19146符合GB/T 50082-2009一、概述ZRX-19146混凝土氯离子扩散系数测定仪是我公司自主开发的检验混凝土的长期性耐久性性能的仪器,此仪器完全符合GB/T 50082-2009标准。本公司该产品是以微控制器为核心、大规模集成电路为外围部件组成的高精度测控仪器，软、硬件采用多种抗干扰技术，采用FLASH存储现场的工作数据，具有停、掉电数据不丢失，使用可靠性高的特点。是国内首创,功能最全,自动化程度最高的混凝土氯离子扩散系数精密测量仪器。二、技术参数环境温度： 0-50℃相对湿度： ≤75％，无腐蚀气体场合精 确 度：输出电压精度:±0.05V输出电流精度:±0.05mA温度显示精度:±0.5℃温度输入信号：DS18B20单总线温度传感器量 程:输出电压:0-70.00V输出电流范围:0-300.00mA温度显示范围:0-125.0℃电源电压： AC220V±10％／50Hz消耗功率： ≤20W 5.原油液体管线自动取样仪 在线自动取样器 型H18249 一、概述 H18249 系列型原油自动取样器针对原油（管输，船运、车运装卸）取样的现场实际和ISO3171和SY/T5317-2006两个标准设计制造。在产品结构、试样采集和试样保存方面进行了研究，是一款原油取样的产品。适用于原油管道输送及船运、车运装卸的试样采集，符合原油贸易管道交接口精确计量的要求。其主要特点有： 1、结构简单可靠，运行故障率低，便于维护。 2、自动化程度高，对试样采集和流量信号全过程监测，设有各种故障和异常情况报警。 3、针对流量比例样设计，同时兼顾时间比例样的采集。 4、取样探头入口取样线速度随输油速度自动调节，确保流量比例样采集的代表性及准确性。 5、样品接收器采用密闭式可变容积结构，样品与输油管道压力、温度同条件储存，无成分损失。 6、PLC控制系统，液晶屏显示，参数设置简单明了，可满足各种输油工作状态下的样品采集设置。 1、产品特点： （1）子样体积量设定范围：5-15mL （2）总取样量设定范围： 600~1500mL（可根据生产需求设置取样量，） （3）预期取样时间设定范围：1-99小时 （4）取样方式设定：循环流动时间比例样 ３、取样数据显示及处理 （1）取样量和取样时间实时显示 （2）工作状态显示 （3）报警类型文字显示 （4）管线温度显示 （5）取样完毕显示 6、控制及报警 （1）加热保温系统（手动）：循环回路原油介质加热和取样仪仪体加热均由防爆自限式伴热带提供。 （2）取样异常情况报警，取样超限自动停机并报警。 （3）采样回路密封失效自检报警。 （4）设备关键部件故障自检报警。 2、主要用途及适用范围 该自动取样仪安装方便、容易维护、安全性能好，可应用于任何液体管线非腐蚀性流体的取样。因而已在石油、炼化、油库、码头、输油管道等企业得到广泛应用。 适用于原油、石脑油、汽油及重质燃料等。 5、使用环境条件： 1)仪器使用环境：大气压力：86-106kPa；环境温度：-20-70℃；相对湿度：45-84％RH 2)安装避免爱结冰、环境温度急剧变化引起的结露、阳光直射、聚热之处。 6、主要技术指标 1)取样器特性系数PF（0.95～1.05）。 2)工作压力等级：1.6 MPa 、2.5 MPa 、4.0MPa。 3)工作介质温度：≤100℃ 4)供显示屏电源： 5V DC 5)电源： AC 三相四线/3000W（平均运行功耗600W） 6)重量：200kg 6.高斯计 磁场强度检测仪 自动特斯拉计 型号H18247量程240mT/2400mT(mT/GS单位切换)量程模式手动、自动测量范围0-2400mT/24000GS最小分辨率0.01mT/0.1GS准确度等级一级精度±1%全量程二级精度±2%全量程三级精度±5%全量程屏幕显示LED背光五位数显示可测磁场直流磁场(静态磁场)供电方式4*1.5V峰值保持 有工作温度0～50℃低电量提示有外形尺寸150×70×30mm产品重量450g探头配置横向霍尔探头(线长80cm)自动关机模式 不测量时放在无磁场的地方，5分钟自动关机 7.液体密度、浓度测试仪 型号ZRX-30213一键测量，无需人工计算 适用于：流动性液体、腐蚀性液体、高温液体、悬浮性液体、乳化液体 酒精、助焊剂、香精、血液、氯化钠、甘油、电解液、柴油、制冷剂、氢氟酸、胶水、二氯甲烷…等相似状态液体皆可测量。 原理：应用阿基米得原理的浮力法，快速读取液体相对密度、 产品介绍： 一键测量，无需人工计算，更方便、更快速、更省时。 优势： 高灵敏度传感器测量速度快，测量数据稳定 不同液体样品有不同的解决方案 傻瓜式操作，一键测量 定制标准石英玻璃砝码 符合根据： GB/T13531、T5526、T5009、 GB/T 611 、GB/T11540、GB/T12206、GB/T5518等标准规范。 秤重范围： 0.01-300g 密度解析： 0.001g/cm3 浓度说明 浓度值和密度有线性比的液体可以测量 硫酸、硝酸、盐水、酒精、双阳、氢氧化钠、盐酸、氨水等 浓度测试 无 传感器 应变式 样品量： 约50ml（可以定制 最少10ml） 测量时间： 约10秒 设定： 轻松设置各种重锤比重 通讯接口： 标配RS232通讯接口，可连接打印机、PC和其他外围设备 防风罩： 无 电压： AC100-240V-50/60HZ DC 7.5V 600mA 仪器尺寸： 280*190*200 8. 吸顶安装烟雾探测报警器/联网型烟雾报警仪 型号ZRX-13151联网型 烟雾探测器 吸顶安装金属屏蔽罩，抗电磁干扰防尘、防虫、抗白光干扰设计电源：DC12V-24V静态电流：≤2mA报警电流：≤10mA 　　工作温度：-10℃～50℃ 报警方式：联网输出 / LED指示报警 报警输出：继电器输出 房间内每20-30平方米装一个烟感外形尺寸：直径104mm,高51mm 9.氟离子浓度计 氟度计 氟离子检测仪 型号ZRX-22128ZRX-22128型氟离子浓度计是测量水溶液中氟离子浓度的电化学分析仪器。 ● 温度补偿功能（0～60℃） ● pF测量、pH测量、电极电位测量 ● 输出记录信号 其他说明: 主要技术指标： 测量范围：1．电计部分： pF：0～10.00±0.01； F-：19g/L～0.0019μg/L pH :0～14.00±0.01； mV：0～±1999 0.1% 2．配套测量（按电极性能而定）： pF：1～7 Cl-：1.9g/L～1.9μg/L注1：标配含一支氟电极，一支232参比电极 10表面污染测量仪 型号ZRX-29353适合医院、卫生疾控、环境监督部门一、仪器简介ZRX-29353表面污染测量仪是便携式放射性测量仪。可进行α、β（γ+β）、γ射线测量。适合医院、卫生疾控、环境监督部门及核工业场所现场快速检测及个人防护。仪器可显示日期、时间等参数。 二、ZRX-29353仪器特点1、仪器采用液晶显示，菜单提示，操作简单，使用方便。2、 α、β（γ+β）、γ测量。3、可存贮100组测量数据，方便用户的数据查询。二、主要指标剂量率及活度响应：0.01μSv/h～20mSv/h 累计剂量：0～1000 Sv(1)α本底≤3Min-1 241Am Rα≥6.25 S-1.Bq-1.cm2(2)β本底≤4S-1 90Sr+90Y Rβ≥6.25 S-1.Bq-1.cm2(3)γ测量65 Cps/μsv/h γ Cs137 能量范围及参考源：α＞2-6Mev β＞0.2-5 Mev γ＞20 kev～3Mev 计数范围：α：0-9999 Cpsβ：0-9999 Cps准 确 度：±10%供 电： 充电电池供电，可连续工作30h。报 警： 声音报警仪器声响频率与所测计数率成正比背 光： 仪器有背光灯，方便在较暗环境中读数。工作环境：环境温度：-10℃～50℃环境湿度：≤ 95%+3（40±2℃）外形尺寸：219×100×65（120手把）mm重 量： ＜1Kg（含电池） 以上参数资料与图片相对应

-河南中心供氧厂家手术室净化行业标准手术室净化行业哪里买,手术室净化行业多少钱层流手术室净化系统是运用室内空气净化技术对微生物空气污染实行不同效果的调控，以保证控制环境中室内空气洁净度等级适用各种手术治疗之标准；并具备合适的温度、环境湿度，造就窒内清新、洁净、舒适、病菌数低的手术室治疗环境，使患者在接受手术治疗时身体遭受尽可能的避免损伤，并降低感染率進入窒内的室内空气早已经过过滤器过滤，做到了无菌的要求 室内气体呈层流方式运动，促使窒内任何浮悬物体均在层流层中运动，则可避免出现浮悬物体聚结为大物体 窒内新形成的空气污染物能迅速被层流室内空气带走，排在户外 空气流动相对性提高，使物体在室内空气中浮悬，而不能积聚降下去，与此同时空气也不会出現停滞不前情况，可避免出现药物粉沫交叉式空气污染 净化沒有涡流，浮灰或粘附在浮灰上的病菌都不易向别的地方扩散转移，而只可以就地被清除掉。层流可达到万级，甚至百万级。此外为了避免出现净化室的空气污染，医护人员在清洗手、脸、腕后穿好无菌工作服装，进入 手术室前提先经过空气净化，即率过滤系统后的净化室内空气经喷头以高速度气流吹去医护人员身上附在工作服装上的浮灰，医护人员经风淋室后，即可進入 手术室。风淋室摆在手术室入口。风淋室由过滤器、密封室、增压室、风机组、加热器及喷头等构成。传统式供氧方式的缺点与中心供氧的优点　　传统式的用氧气罐供氧的方式将被取代，它的缺点是多方面的。①一般而言40 L的氧气罐，重达60 KG，在屋内靠人力运送，矗立床头旁，是一项危险性而笨重的用工。②影响病区洁净有序的医疔坏境 ，并有碍于床前各种各样医疗活动的开展。③氧气罐不仅与病况危重程度相关联，它矗立于患者身边，对患者心理状态造成不良的刺激作用。④氧气罐是1个高压容器，有一定的潜在性危险，引起事故的事列屡有新闻报道。　　相比之下，中心供氧系统的优点是不言而喻的：①根据上述缺点彻底可以避免。②在实行供氧工程后，病区加了一条新颖而庄重的裝饰，给患者心理状态造成良好的影响。③使医务人员在供氧使用上越来越简单便捷，有助于对患者的救治，有益于氧气的充分运用，提升疾病的疗效，提升救治成功率。④可降低供氧工作人员，节省开支经费。中心供氧系统，手术室净化系统，层流手术室净化，手术室净化工程，中心供氧设备，负压吸引器，病房呼叫器，病房呼叫系统，养老院中心供氧，护理院中心供氧，敬老院中心供氧，美容院手术室净化，医用防辐射，集中供氧系统，医用设备带，医用汇流排，手术室无影灯，输液天轨，艾灸理疗仪厂家

Charm ROSA霉菌毒素快速检测系统是目前市场上霉菌毒素检测项目最全的快速检测方法，客户可根据实际需要，选择定性检测试剂条和定量检测试剂条。使用读数仪读取定量检测试剂条检测结果，与使用仪器分析方法获得的检测结果具有很高的吻合度。Charm ROSA霉菌毒素快速检测系统，方法快速简便，无需复杂的前处理过程，5分钟即可获得检测结果，是一种快速、稳定、准确、高效的霉菌毒素检测方法。该方法目前获得了美国农业部、美国联邦谷物检测局、日本厚生省等机构的认证，在美国、日本、韩国、香港等国家和地区得到了广泛应用。系统特点5分钟快速定量检测拥有业内最齐全、最完整的霉菌毒素检测卡组合样品制备过程简单快速，呕吐毒素用水提取即可检测过程中无需添加标准品，对检测人员无毒无害检测结果与国标方法具有较高的一致性广泛适用于实验室、粮仓、田间地头、农产品收购站等各种场合产品通过USDA-GIPSA（美国农业部-美国谷物检验、批发及畜牧场管理局）和FGIS（联邦谷物检测局）认证 产品被列为国家粮食局行业标准检测项目黄曲霉毒素毒素玉米赤霉烯酮呕吐毒素赭曲霉毒素A伏马菌素T2/HT2毒素

快速温变试验箱系统介绍本系列环境实验箱可为用户检验、检测电子电工元器件、零配件或相关行业的实验部门提供一个模拟环境，为测试数据的准确性和*性（可重复）提供*条件。该产品具有简单的操作性能和可靠的设备性能，便捷操作的计测装置，温度控制器，采用先进的中文液晶显示画面触摸屏，可进行各种复杂的程序设定，程序设定采用对话方式，操作简单、迅速。可实现制冷机自动运转，*上实现自动化，减轻操作人员工作时间，可在任意时间自动启动、停止、工作运行，各系统工作（风机，制冷，加热，）由触摸屏人机界面集中控制。整体在客户方进行装配，运输摆放方便，并在客户方进行现场调试和验收，保证在客户方的使用性能；结构一体化程度高，在客户端装配调试时间短；科学的空气流通设计，使室内温度均匀，避免任何死角；完备的安全保护装置，避免了任何可能发生的安全隐患，保证设备的长期可靠性；每个产品都根据客户的要求订做，保证了设备的高效，节能。快速温变试验箱加热系统1.加热采用加热管加热、执行元件采用固态继电器。超低温试验箱控制系统1.设置方式：触摸，点击2.显示方式：彩色LCD触摸屏中文显示3.设定、显示分辨率:温度（0.1℃）；时间（1min）4.图形显示：完整显示设定程序曲线。5.设置参数保存时间:充满电后,数据可保存5年。6.程序数:1～10（Z大10个程序）。7.程序段：每个程序1～64段；可按组连接运行。8.能自动提示用户正确设置温湿度、时间参数。9.有的维护界面，用于调试设备和维护设备具有程序运行保持功能。10.具有程序运行等待功能。11.具有程序跳段功能。12.具有程序停止功能。13.有断电恢复功能。14.具有运行界面锁定功能。记录功能：可记录100天内的曲线及实验数据，可以详细查询100天内每一时刻的温度度情况，可用USB2.0导出，在PC机上打印记录曲线和生成数据报表（相当于无纸记录仪的功能）具有开机故障自检功能。15.计算机监控系统：控制系统通过计算机以太网通讯接口，可实现数据传输及监控功能。注：并提供日后软件免费升级快速温变试验箱制冷系统1.系统理念：此类实验室均采用业界的温度平衡技术（制冷不加热），通过能量调节技术在降温及低温平衡时不需要另外启动加热来平衡控温。能量调节技术即PID控制调节制冷剂流量，通过调节控制单位时间内进入蒸发器制冷剂的质量，来达到精确控制制冷功率，从而精确控制试验室的温度。2.相对以前“平衡控温方式”即边加热边制冷的方法，能耗非常大。而运用此技术可在Z大限度上降低客户的运营成本和延长压缩机的寿命，可在产品寿命周期内可为用户节约一笔不小的电费开支（因客户实际使用频率高低而已）3.制冷硬件:采用“泰康”全封闭压缩机。4.制冷剂：采用环保制冷剂R404a，R23。5.制冷蒸发器：采用波纹翅片制冷蒸发器，位于试验箱一端的风道夹层内，由鼓风电机强制通风，快速换热。6.辅助件:本试验箱制冷系统中其他辅助件，如电磁阀、过滤器等我公司也采用进口件；如采用意大利CAS的电磁阀、旁通阀等，其它配件也均选用国内品牌的制冷配件。7.低温管路：低温管路采用优质无氧铜管、充氮焊接（传统方式采用普通铜管，直接焊接方式，易使铜管内壁产生氧化物，造成制冷系统堵塞，使试验箱不降温或降温慢）在制冷系统底部设有凝结水接水盘，并排出箱外。8.减振：采用压缩机胶垫或弹簧减振措施；制冷系统管路采用增加R和弯头的方式避免因振动和温度的变化引起的铜管的变型，从而造成制冷系统管路破裂。9.降噪：采用波浪状的特种消音海绵吸音。快速温变试验箱道系统1.为保证较高的均匀度指标，试验箱设有内部循环送风系统及风道。工作室一端的风道夹层内，分布加热器、制冷蒸发器、风叶等装置。采用多台风机使箱内空气循环，当风机运行时，将工作室中空气从下部吸入风道内，经加热/制冷后从均匀地吹出，在工作室中与试品交换后的空气再被吸入风道内，反复循环，从而达到温度设定要求。快速温变试验箱技术参数及规格

影像专用台阶规专门用来计量影像测量仪，测量仪属于高效率的、新型的精密测量仪器，被广泛应用于航空航天、国防军工、模具制造、电子、塑胶、精密零部件加工、汽车及零配件生产等行业，是计量室和生产车间不可缺少的科学计量和工业计量设备 影像专用台阶规规符合JJF 1318-2011影像测量仪校准规范附录A各项指标。是各计量所院建标必备产品。

恒温恒湿机（恒温恒湿试验箱|可程式恒温恒湿试验机|高低温交变湿热试验箱）主要为电子零部件、工业材料、成品在研发、生产和检验各环节的试验提供恒定湿热、复杂高低温交变等试验环境和试验条件，适用于电子电器、通讯、化工、五金、橡胶、玩具等各行业。恒温恒湿机系统的运作是通过三个相互联系的系统：制冷剂循环系统、空气循环系统、电器自控系统；制冷剂循环系统，蒸发器中的液态制冷剂吸收空气的热量（空气被降温及除湿）并开始蒸发，最终制冷剂与空气之间形成一定的温度差，液态制冷剂亦完全蒸发变为低温低压气态，后被压缩机吸入并压缩（压力和温度增加）,气态制冷剂通过冷凝器（风冷/水冷）吸收热量，凝结成液体。通过膨胀阀（或毛细管）节流后变成低温低压制冷剂进入蒸发器，完成制冷剂循环过程。恒湿恒湿机温度范围：0℃～150℃,湿度范围：30%～98% RH,根据试验需求可分为立式和台式两种。产品特点1、 拥有自主知识产权和外观设计专利以及掌握环境试验箱核心技术2、 控制仪表采用日本原装进口“优易控”UMC1200，可实行远程监控3、 制冷系统采用法国原装泰康压缩机组，并配有凝结水接水盘4、 核心电气元器件均采用施耐德等进口知名品牌5、 沿袭国外环境试验设备先进设计理念，水电分离6、 浅槽加湿，新颖独特，抽屉式加水方式，超大水箱设计7、正面抽屉式补给水箱：大容量50L（手提式），含高低位水位指示，可拆卸清洗。8、 工作室底部采用引流槽设计，防止蒸气凝结，最大限度保护测试工件9、 照明系统采用飞利浦套件，观测窗采用漏斗形设计，观测视野更开阔10、 独特的漏电保护设计，操作更安全11、精益求精，专注于每一个细节，使用更倾心具体参数型号LK -012T/G LK -015T/G LK -020T/G LK -300T/G H:0℃~+150℃ C:-20℃~+150℃ L:-40℃~+150℃ U:-60℃~+150℃ J:-70℃~+150℃测试室尺寸LxDxHcm100x100x120 100x100x150 120x120x150150x120x150外形尺寸 LxDxHcm 125x194x210 125x250x203145x225x203175x 225x203温度范围 -40℃~+150℃湿度范围 20%-98%RH解析精度温度: 0.01℃:湿度: 0.1%RH温湿度偏差温度: ±1.0℃ 湿度: ±2.5%RH升温时间+20℃~150℃约30 min降温时间+20℃~-20C℃≤30min+20℃~-40℃≤55min+20℃~-70C ≤75min材质外箱:防锈处理冷轧钢板烤漆 内箱: SUS≠304或SUS ≠316不锈钢板绝缘材料硬质聚氨酯泡沫料(带阻燃剂)制冷方式进口泰康压缩机+鳍片式全铜蒸发器+风冷式冷凝器制冷剂美国杜邦HFC系列环保制冷剂: R404A、 R23 压缩机泠量3.0P*2台3.0P*2台3.0P*2台4.0P*2台控制器进口TEMI系列7"触摸式温湿度仪表电器元件法国施耐德工控产品、瑞士佳乐、台湾阳明等电器元件加热、加湿镍铬合金加热管、SUS316制护套式加湿管循环风机长轴电机+不锈钢风轮 故障报警压缩机过流、超压、过热、缺水、加热器无风空焚、加湿器无水干烧、漏电保护、超温保护、欠相、室内超温水质纯净水或去离子 电源380V AC3Φ4W 50/60Hz最大电流（A）AC380V23A25A 28A30A 其它配件样品架2块，引线孔硅胶塞1个，钢化除雾玻璃1块 备注: 可根据客户要求尺寸来订制，满足客户的要求

德国布鲁克DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以到5Å。台阶仪这项性能的到了过去四十年Dektak技术，更加巩固了其行业。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二管的研发以及材料科学领域。 台阶仪DektakXT能实现： 1、 使用温度条件：10-30℃； 2、无可匹敌的性能，台阶高度重现性低于4埃 3、Single-arch设计提供扫描稳定性 4、的“智能电子器件”设立了新低噪音基准 5、新硬件配置使数据采集时间缩短 6、64-bit，Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度高了10倍 7、频率，操作简易 8、直观的Vision64用户界面，操作简易 9、针尖自动校准系统 10、布鲁克（Bruker）以实惠的配置实现高的性能 11、单传感器设计，提供单一平面上低作用和宽扫描范围 建立在40多年的探针轮廓技术的知识和经验薄膜测试仪，在基于微处理器的轮廓仪，和300mm自动轮廓仪DektakXT继承了以往的。新的DektakXT是single-arch设计的探针轮廓仪，内置真彩高清光学摄像机，及安装64-bit并行处理架构已获得测量及操作效率的探针轮廓仪 当需要台阶高度、表面粗糙度、测量时，人们就会借助Dektak。引进DektakXT，Bruker能让您进一步获得表面测量数据采集和分析速度 直接驱动扫描平台，Dektak XT减少了扫描间的时间，而没有影响分辨率和背景噪声。这一改进大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描（就探针轮廓仪而言，通常是耗时的）的扫描速度。在行业的质量和重现性前提下，DektakXT可以将数据采集处理的速度。另外，DektakXT采用Bruker64-bit数据采集分析同步操作软件Vision64，它可以大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描是的数据分析。Vision64还具有行业内的直观用户界面，简化了实验操作设置，自动完成多扫描模式，让重复和常规的实验操作变得更快速简洁。

探针式轮廓仪新标杆-升级到最优性能 德国布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供更高的重复性和分辨率。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰，更加巩固了其行业领先地位。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT一定能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。薄膜测试—确保高产在半导体制造中严密监测沉积和蚀刻比率均匀性，薄膜应力，能节省大量时间和金钱。薄膜的不均匀或太大的应力会导致地产及成品性能欠佳。DektakXT能方便快捷地设置和运行自动多点测试程序来检验晶片薄膜的精确厚度，达到纳米级别。DektakXT无与伦比的重现性提供给工程师精确的薄膜厚度和应力测试，来精确调节蚀刻和沉积以提供收益表面粗糙度检测—确保性能DektakXT适合很多产业（包括汽车、航空和医疗设备）的精密机器零部件的表面粗糙度常规鉴定。例如，矫形植入物的背面的羟磷灰石涂层粗糙度会影响植入后的粘结力和功效。利用DektakXT进行表面粗糙度的快速分析能力判断晶质生产是否达到预期，植入物能否通过产品要求。使用Vision64数据库的pass/fail标准，质量管理部门能轻松判断植入物是重做或者确保其质量太阳能光栅线分析—降低制造成本在太阳能市场，Dektak是测量单晶硅和多晶硅太阳能面板上导电银栅线临界尺寸的首选。银线的高度、宽度和连续性与太阳能电池的能量引导紧密相关。生产的理想状态是恰如其分地使用银，以具有最好的导电性，而不浪费昂贵的银。Dektak XT 通过软件分析来实现，报告银栅线的临界尺寸，以确定出现导电性所需的精确分量。Vision64的数据分析方法和自动功能有助于该验证过程的自动化。微流体技术—检测设计和性能Dektak XT是唯一能在大垂直范围（高达1mm），测量感光材料达到埃级重现性的探针轮廓仪。MEMS和微流体技术行业的研究者能使用Dektak XT来进行鉴定测试，确保零件符合规格。低作用测量功能NLite+轻触感光材料来测量垂直台阶和粗糙度40多年不断创新建立在40多年的探针轮廓技术创新的知识和经验之上—第一部薄膜测试仪，在第一部基于微处理器的轮廓仪，和第一部300mm自动轮廓仪DektakXT继承了以往的“第一”。新的DektakXT是首部single-arch设计的探针轮廓仪，首部内置真彩高清光学摄像机，及安装64-bit并行处理架构已获得最佳测量及操作效率的探针轮廓仪全球有超过一万台设备，品牌Dektak以质量、可靠性及高性价比著称。当需要台阶高度、表面粗糙度的精确、可靠测量时，人们就会借助Dektak。引进DektakXT，Bruker能让您进一步获得可靠及高效的表面测量提高数据采集和分析速度利用独特的直接驱动扫描平台，Dektak XT减少了扫描间的时间，而没有影响分辨率和北京噪声。这一改进大大提高了大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描（就探针轮廓仪而言，通常是耗时的）的扫描速度。在保证行业领先的质量和重现性前提下，DektakXT可以将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker64-bit数据采集分析同步操作软件Vision64，它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描是的数据分析。Vision64还具有行业内最有效的直观用户界面，简化了实验操作设置，自动完成多扫描模式，让重复和常规的实验操作变得更快速简洁。实现测量的可重现性DektakXT的领先设计使其在测量台阶高度重现性方面具有优异的表现，台阶高度重现性可优于4埃。使用single-arch结构比原先的悬臂梁设计更加稳固，降低了对不利环境条件的敏感性，如声音和震动噪音应用行业：触摸屏、半导体、太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学、高校、研究所、微电子、金属等行业实现纳米级表面形貌测量台阶仪Dektak XT能实现：无可匹敌的性能，台阶高度重现性低于4埃Single-arch设计提供具突破性的扫描稳定性先进的“智能电子器件”设立了新低噪音基准新硬件配置使数据采集时间缩短40%64-bit，Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了10倍频率空前，操作简易直观的Vision64用户界面，操作简易针尖自动校准系统，无与伦比的价值布鲁克（Bruker）以实惠的配置实现最高的性能单传感器设计，提供单一平面上低作用和宽扫描范围

专用台阶规是用来计量影像测量仪，测量仪属于率的新型精密测量仪器，被应用于航空航天、模具制造、电子、塑胶、精密零部件加工、汽车及零配件生产等行业，是计量室和生产车间不可缺少的科学计量工业设备。台阶规符合《JJF1318-2011影像测量仪校准规范》影像测量仪校准规范附录各项指标。

德国布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以达到5&angst 。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新，更加巩固了其行业地位。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。台阶仪Dektak XT能实现： 台阶高度重现性低于4埃 Single-arch设计提供具突破性的扫描稳定性 先进的“智能电子器件”设立了新低噪音基准 新硬件配置使数据采集时间缩短40% 64-bit，Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了10倍 频率，操作简易 直观的Vision64用户界面，操作简易 针尖自动校准系统 布鲁克（Bruker）以实惠的配置实现高的性能 单传感器设计，提供单一平面上低作用和宽扫描范围 40多年不断创新 建立在40多年的探针轮廓技术创新的知识和经验之上薄膜测试仪，在基于微处理器的轮廓仪，和300mm自动轮廓仪DektakXT继承了以往的。新的DektakXT是single-arch设计的探针轮廓仪，内置真彩高清光学摄像机，及安装64-bit并行处理架构已获得测量及操作效率的探针轮廓仪 有超过一万台设备，品牌Dektak以质量、可靠性及高性价比著称。当需要台阶高度、表面粗糙度、可靠测量时，人们就会借助Dektak。引进DektakXT，Bruker能让您进一步获得可靠及表面测量 提高数据采集和分析速度 利用直接驱动扫描平台，Dektak XT减少了扫描间的时间，而没有影响分辨率和背景噪声。这一改进大大提高了大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描（就探针轮廓仪而言，通常是耗时的）的扫描速度。在保证行业的质量和重现性前提下，DektakXT可以将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker64-bit数据采集分析同步操作软件Vision64，它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描是的数据分析。Vision64还具有行业内有效的直观用户界面，简化了实验操作设置，自动完成多扫描模式，让重复和常规的实验操作变得更快速简洁。 参数： 测试技术探针式表面轮廓测量技术（接触模式）测量范围二维表面轮廓测量可选择三维测量以及数据分析样品观测可选择放大倍数，视场（FOV）范围：1~4mm探针传感器低惯性量传感器 （LIS 3）探针作用力LIS 3 传感器中 1~15mg低作用力模式N-Lite+ 低作用力 0.03~15mg探针选项探针曲率半径 50nm~25um高径比针尖（HAR）10um×2um 和200um×20um ；也可以采用客户定制针尖样品 X/Y 载物台手动 X/Y（4英寸）：100mm*100mm，可手动校平自动 X/Y（6英寸）：150mm*150mm，可手动校平样品载物台手动，360度连续旋转自动，360度连续旋转计算机系统64位多核并行处理器，Windows 7 系统；可选配23英寸平板显示器软件Version 64 操作分析软件，应力测量软件，悬臂偏转测试软件；选配：缝合软件；3D应力分析软件；3D测量软件隔振系统多种隔振方案可供选择。扫描长度范围55mm 2英寸）单次扫描数据采集点120，000样品厚度50mm (2英寸)晶片尺寸200mm (8英寸)台阶高度重复性5&angst , 1sigma on 0.1μm step垂直方向扫描范围1mm (0.039英寸.)垂直方向分辨率分辨率可达1&angst (在6.55um测量范围内 输入功率100 – 240 VAC, 50 – 60Hz温度范围可以操作温度为20~ 25°C (68~77°F)湿度范围≦80%，无凝结系统尺寸和重量455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H) 34kg (75lbs.) 隔离罩：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in.W x 17.5in. H) 5.0kg (11lbs.)

DektakXT台阶仪-第十代探针式表面轮廓仪布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）设计创新，实现了更高的重复性和分辨率，垂直高度重复性高达 5?。这项测量性能的提高，达到了过去四十年Dektak 体系技术创新的顶峰，更加稳固了其行业中的领先地位。不论应用于研发还是产品测量，在研究工作中的广泛使用使得 DektakXT 的功能更强大，操作更简便易行，检测过程和数据采集也更加完善。第十代 DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，实现了纳米尺度的表面轮廓测量，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。DektakXT 技术参数台阶高度重复性 5?—单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性—先进的”智能化电子器件”实现了低噪声的新标准—新的硬件配置使数据采集能力提高了 40%—64 位的 Vision64 同步数据处理软件，将数据分析速度提高十倍。功能卓越，操作简易—直观的 Vision64 用户界面操作流程简便易行—自对准式探针设计使得更换探针的步骤简便易行探针轮廓仪业界翘楚，无可匹敌的价值— 性能优异, 物超所值— 独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量DektakXT 技术规格参数：技术创新四十余载，不断突破勇攀高峰过去四十多年间，布鲁克的台阶仪研制和生产一直在理论和实践上不断实现创新性成果——首台基于微处理器控制的轮廓仪，首台实现微米测量的台阶仪，首台可以达到 3D 测量的仪器，首台个人电脑控制的轮廓仪，首台全自动300mm 台阶仪——DektakXT 延续了这种开创性的风格，全新的 DektakXT 成为世界上第一台采用具有单拱龙门式设计配备全彩 HD 摄像机，并且利用 64 位同步数据处理模式完成最佳测量和操作效率的台阶仪。世界范围内有成千上万台 Dektak 系列产品应用于各个领域，它们以优质，可靠，高效等诸多特性而得到赞誉。人们为了得到精确无误的台阶高度和表面粗糙度信息，首选使用 Dektak 来进行测量。这里，我们通过介绍DektakXT 的各项功能，帮助您可靠高效地完成表面测量工作。DektakXT设计完美，性能卓越台阶仪性能优劣取决于以下三方面: 测量重复性, 测试速度和操作难易程度，这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。DektakXT 采用全新的仪器系统构造和最优化的测量及数据处理软件来实现可靠、快速和简易的样品检测，达到最佳的仪器使用效果。提高操作的可重复性DektakXT 的多处领先设计保证了其无人能及的表现,达到优于 5 埃的测量重复性. 使用单拱龙门结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时，Bruker 完善了仪器的智能化电子器件，提高了其工作性能的稳定性，降低温度变化对器件的影响，并且采用最先进的数据处理器。在控制器电路中使用智能敏化电子器件,会把系统和环境噪音引起的测量误差降到最低。因此采用DektakXT 测量系统，能够更稳定可靠地扫描高度小于10nm 的台阶，获得其形貌特征。单拱龙门结构和智能器件的联用，大大降低了基底噪音，增强了稳定性，使其成为一个极具竞争力的表面轮廓仪。提高测量和数据分析速度首次采用独特高速的直接驱动扫描样品台, DektakXT 在不牺牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大缩短了每次描的间隔时间。这一改进，提高了进行大范围 3D 形貌表征或者表面长程应力扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的前提下，可以将数据采集处理的速度提高 40% 。另外，DektakXT 采 用 Bruker 具 有 64 位数据采集同步分析的Vision64，它可以提高大范围 3D 形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。Vision64 还具有最有效直观的用户界面，简化了实验操作设置，可以自动完成多扫描模式，使很多枯燥繁复的实验操作变得更快速简洁.简便易行的实验操作系统为了便于操作可供多用户使用的系统，一个必要条件就是能够迅速简便地更换不同模式所需要的探针。DektakXT 新颖的探针和部件自动对准装置，可以尽量避免用户在装针的过程中出现针尖损伤等意外。这一改进使原来费时耗力的实验步骤变得简便易行。为尽可能满足所有应用的需求，布鲁克提供各种尺寸的标准探针和特制探针，其中包括专为深槽测量定制的高深宽比的探针。完善的数据采集和分析系统与 DektakXT 的创新性设计相得益彰的配置是 Bruker Vision64 操作分析软件。Vision64 提供了操作上最实用简洁的用户界面，具备智能板块，可视化的使用流程，以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求，快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。简明的测量窗口集参数设定与硬件控制于一体，极富逻辑性，既可使不常使用仪器者轻松回忆起如何操作，又可使操作老手不至于为过多的基本重复步骤而烦恼或分心。数据获取后，软件的自动调平，台阶识别分析，以及数据分析模块的各种滤波功能等使得分析简便快捷。使用数据分析模块，不论是通过一个程式来处理单次扫描结果的标准分析，还是尝试使用多种滤波设置和计算，使用者都可以清晰地看到数据处理结果以及其他可用的分析手段。Vision64 随时为用户提供系统状态的信息。比如，如右图所示，软件界面上显示了得到整幅 3D 形貌图像的过程，同时可获得线性扫描的数据，可视化窗口还提供针尖在样品表面实时扫描的情况，以及完成整幅图像所需剩时。这一系列可视化的设置，帮助操作者迅速全面地得到所需的实验室数据。DektakXT在各个领域完成重要数据的采集处理薄膜监测 — 高效率的保证对于半导体制造行业而言，及时监测镀膜膜厚和刻蚀速率的均匀性以及薄膜应力，能节省宝贵的时间和金钱。不均匀的膜层或过大的应力，将导致差的优良率和不合格的终端产品性能。DektakXT 易于设定、测量快捷，通过不同位置的多点自动测量可确认整片硅表面上薄膜的准确厚度，其精度可达纳米级别。DektakXT 卓越的测量重复性为工程师们提供准确的薄膜厚度和应力测量，使其可以精确调节刻蚀和镀膜工艺来提高产品的优良率。 测量表面粗糙度 — 确保材料质量在自动化，航空航天，医药领域等各行各业，如果需要精确测量材料表面的粗糙度，DektakXT 是一个非常理想的检测仪器。比如在整形手术中需要植入的假体，在其背面涂覆的羟基磷灰石，它的表面粗糙度会影响假体植入到体内后的黏附性和手术效果。使用 DektakXT 快速检测材料表面的粗糙度，可以获悉晶体材料的生长是否符合工程师的要求，或者手术所需的植入体是否通过医学审核允许使用。使用 Vision64 软件中的数据库功能，设定合格/淘汰条件，品管人员可以轻松确定植入体是否需要再加工还是定为合格品。 太阳能电池栅线分析——降低生产成本在太阳能领域，Dektak 已被作为测量单晶和多晶硅电池上主栅、银线特征尺寸的首选设备。栅线的高度、宽度和连续性都直接影响了太阳能电池的能量传输能力。生产过程中的最佳方案是节约贵金属银的使用量，同时又保证银浆的量足够覆盖在电池板上，完成最佳的电导特性。 DektakXT 可使用线条分析功能为用户提供栅线的特征尺寸，以确保足够的银浆覆盖，导电良好。Vision64 的数据分析方法和自动操作功能使这一检验核实的过程可以通过特定设置后自动完成。 微流体- 确保符合设计和质量要求Dektak 是市场上唯一可以测量敏感材质上高达 1mm 垂直台阶的台阶仪，而且测量重复性在埃米级别。DektakXT 为微机电系统和微流体工业的研究者提供了关键尺寸测量的可靠手段，以确保器件符合规格要求。超微力测量，Nlite+，可以保证在测量敏感材质时轻触其表面而不破坏样品表面，得到台阶高度或表面粗糙度数据。

三维形貌仪概述Rtec 形貌仪在加利福尼亚硅谷制造。已被多个知名实验室、大学和行业使用。UP系列在一个头上组合了4种成像模式。能够在同一测试平台上运行多种测试，只需单击按钮，就能转换成像模式。这种组合可以轻松地对任何表面进行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、弯曲的表面等。每种成像模式都具有各自的优势，并且各项技术彼此互补。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。 3D光学轮廓仪组合l白光干涉仪l旋转盘共聚焦显微镜 l暗视野显微镜l明视野显微镜 主要平台规格 产品规格l标准电动平台150x150mm（可选210x310mm）l标准转塔，电动转塔可选l垂直范围可达100mml倾斜阶段6度lXY舞台分辨率0.1uml自动拼接楷模lSigma头 - 白光干涉仪lLambda头 - 白光干涉仪+共焦+暗场+明场 应用 ●粗糙度 ●体积磨损 ●台阶高度 ●薄膜厚度 ●形貌 测试图像示例 DLC涂层球 粗糙涂层表面 圆球磨斑 金刚石 生物膜 微流体通道 聚合物涂层 墨痕 硬币 研磨垫 铝的失效痕迹 划痕 涂层失效痕迹 芯片通道 晶圆 以上为双模式三维表面轮廓仪拍出的样品形貌。在同一平台上结合使用多种光学技术，测试仪可以测量几乎任何类型的nm分辨率样品。该表面轮廓仪配有功能强大的分析软件，符合多种标准。双模式三维表面轮廓仪能够在同一测试平台上运行多种测试，产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测，模式切换可实现自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。

P-170 Stylus Profiler P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能，适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。 P-170具有先进的图案识别算法、增强的光学系统和先进的平台，这保证了性能的稳定和系统间配方的无缝移植- 这是24x7生产环境的关键要求。产品描述 P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，将行业的P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP-260的机械传送臂相结合。 这样的组合为机械传送臂系统提供了极低的拥有成本，适用于半导体，化合物半导体和相关行业。 P-170可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。 该系统结合了UltraLite传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。P-170具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。主要功能 台阶高度：几纳米至1000μm 微力恒力控制：0.03至50mg 样品全直径扫描，无需图像拼接 视频：500万像素高分辨率彩色摄像机 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差 软件：简单易用的软件界面 生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化 晶圆机械传送臂：自动加载75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如蓝宝石）样品主要应用 台阶高度：2D和3D台阶高度 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度 形状：2D和3D翘曲和形状 应力：2D和3D薄膜应力 缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌工业应用 半导体 化合物半导体 LED：发光二极管 MEMS：微机电系统 数据存储 汽车 还有更多：请与我们联系以满足您的要求

NS系列国产膜厚检测台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，可测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数。NS系列台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。 NS系列国产膜厚检测台阶仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。典型应用 应用案例NS系列国产膜厚检测台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪，其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。针对测量ITO导电薄膜的应用场景，NS200台阶仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；部分技术指标型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术样品观察光学导航摄像头:500万像素高分辨率 彩色摄像机,FoV,2200*1700μm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

Tencor P-170是一款自动化轮廓仪，可为生产环节提供从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，扫描范围可达200毫米而无需拼接。Tencor P-170具有先进的图形识别算法、增强的光学系统和先进的样品台，可实现稳定的性能和系统之间程式传输的无缝衔接 - 这是实现全天候生产的关键。产品描述Tencor P-170是一款自动化轮廓仪，具有行业领先的P-17的台式系统测量性能和经HRP-260生产验证的机械手臂。这种组合为半导体、化合物半导体和相关行业提供了一种拥有机械手臂系统的低成本解决方案。Tencor P-170支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，扫描范围可达200毫米且无需拼接。通过结合UltraLite传感器、恒力控制和超平扫描样品台，可实现出色的测量稳定性。使用点击式样品台控制、顶视和侧视光学元件以及具有光学变焦功能的高分辨率相机，可快速轻松地设置程式。Tencor P-170支持2D或3D测量，可使用多种滤波、调平和分析算法来测量表面形貌。全自动测量是通过自动晶圆处理、图形识别、排序和特征检测实现的。主要功能● 台阶高度：纳米级至1000μm● 微力恒力控制：0.03至50mg● 样品的全直径扫描，无需图像拼接● 视频：500万像素高分辨率彩色相机● 圆弧校正：可消除由于探针的弧形运动引起的误差● 软件：简单易用的软件界面● 生产能力：全自动测量，具有测序、图形识别和SECS/GEM功能● 晶圆机械传送臂：自动加载直径为75mm至200mm的不透明（例如硅）和透明（例如蓝宝石）样品主要应用● 台阶高度：2D和3D台阶高度● 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度● 形状：2D和3D翘曲和形状● 应力：2D和3D薄膜应力● 缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌适用行业● 半导体● 化合物半导体● LED：发光二极管● MEMS：微机电系统● 数据存储● 汽车● 还有更多，请与我们联系以满足您的要求部分选件样品载台Tencor P-170拥有各种可用于支持应用需求的载台。该标准适用于测量从75毫米到200毫米样品的真空载台。应力载台可与3点定位销一起使用，以将样品支撑在中间位置以精确测量样品的翘曲度。提供用于弯曲晶圆样品处理的其他选项。机械手臂选项Tencor P-170机械手臂包括一个用于不透明晶圆（例如GaAs）的校准器和一个用于200毫米晶圆的晶盒站。该选项包括透明样品对齐（例如蓝宝石）、适用于从75毫米到150毫米的较小样品尺寸、第二个晶盒站、晶盒位置检测仪、信号塔和离子发生器。相关产品

影像专用台阶规专门用来计量影像测量仪，测量仪属于高效率的、新型的精密测量仪器，被广泛应用于航空航天、模具制造、电子、塑胶、精密零部件加工、汽车及零配件生产等行业，是计量室和生产车间不可缺少的科学计量和工业计量设备影像专用台阶规规符合JJF 1318-2011影像测量仪校准规范附录A各项指标。是各计量所院建标b备产品。上海标卓科学仪器有限公司为您提供专用台阶规（JJF 1318-2011影像测量仪校准规范）的参数、价格、型号、原理等信息，专用台阶规（JJF 1318-2011影像测量仪校准规范）产地为上海、品牌为标卓，型号为350mm，价格为66666RMB，更多相关信息可，公司客服电话7*24小时为您服务

Tencor P-17探针式轮廓仪支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维（2D）和三维（3D）测量，其扫描范围可达200mm而无需图像拼接。产品描述Tencor P-17是第八代台式探针式轮廓仪，它凝结了逾40年的表面量测经验。该行业领先的系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维（2D）和三维（3D）测量，扫描范围可达200mm，无需拼接。该系统结合了UltraLite 传感器、恒力控制和超平扫描样品台，因而具备出色的测量稳定性。通过使用点击式样品台控制、顶视和侧视光学元件以及具有光学变焦功能的高分辨率相机，可快速轻松地设置程序。Tencor P-17探针式轮廓仪支持2D或3D测量，可使用多种滤波、调平和分析算法来测量表面形貌。通过图形识别、序列和特征检测实现全自动测量。主要功能● 台阶高度：纳米级至1000μm● 微力恒力控制：0.03至50mg● 样品全直径扫描，无需图像拼接● 视频：500万像素高分辨率彩色相机● 圆弧校正：可消除由于探针的弧形运动引起的误差● 软件：简单易用的软件界面● 生产能力：全自动化测量，具有测序，图形识别和SECS / GEM功能主要应用● 台阶高度：2D和3D台阶高度Tencor P-17能够测量从纳米到1000µ m的2D和3D台阶高度。这能够对对蚀刻、溅射、二次离子质谱、沉积、旋涂、化学机械研磨和其他工艺中沉积或去除的材料厚度进行量化。Tencor P-17具有恒力控制，可以不管台阶高度如何，动态调整以在样品表面施加相同的力。这能够保持良好的测量稳定性，能够精确测量软材料，例如光刻胶。● 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度Tencor P-17测量2D和3D纹理，量化样品的粗糙度和波纹度。软件过滤器将测量结果分为粗糙度和波纹度两部分，并计算出均方根、粗糙度等参数。● 形状：2D和3D翘曲和形状Tencor P-17可以测量表面的2D和3D形状或翘曲度。这包括元件制造过程中不同工艺层材料不匹配导致的晶圆表面翘曲的测量，例如半导体或化合物半导体器件生产中的多层沉积。Tencor P-17还可以测量弯曲结构（例如透镜）的高度和曲率半径。● 应力：2D和3D薄膜应力Tencor P-17能够测量在制造具有多个工艺层的器件（例如半导体或化合物半导体器件）期间产生的应力。使用应力载台将样品支撑在中间位置以精确测量表面的翘曲度。应力的计算是通过诸如薄膜沉积等工艺的形貌变化然后运用Stoney公式来得到。2D应力是通过对样品直径进行单次扫描来测量的，样品直径可达200毫米，无需拼接。3D应力测量是使用2D扫描的组合来实现的，其中样品台在多次扫描之间旋转以测量整个样品表面。● 缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌缺陷检测可用于测量缺陷的表面形貌，例如划痕深度。缺陷检测工具可识别缺陷，并将位置坐标写到KLARF文件中。缺陷检测功能读取KLARF文件，排列样本，并允许用户选择缺陷进行2D或3D测量。适用行业● 大学、实验室和研究所● 半导体和化合物半导体● LED：发光二极管● 太阳能● MEMS：微机电系统● 数据存储● 汽车● 医疗设备● 还有更多：请与我们联系以满足您的要求选配件Tencor P-17 OFTencor P-17 OF（开放式框架）具有与Tencor P-17相同的功能，但具有更大的框架，可以装载更大的样品。该系统可为300毫米晶圆配置，或配备240×240毫米载台。探针选项Tencor P-17提供多种探针用于测量台阶高度、台阶高宽比、粗糙度、样品翘曲度和应力。探针针尖的半径从40纳米到50微米不等，这决定了测量的横向分辨率。探针角度从20到100度不等，这决定了所测量特征的最大高宽比。所有探针都采用金刚石制造，以减少磨损并增加其使用寿命。样品载台Tencor P-17拥有各种可用于支持应用需求的载台。标准配置是一个带有定位销的通用真空载台，可以用于50毫米至200毫米样品的精确定位。通用载台支持翘曲度和应力测量，通过3点定位器将样品保持在中间位置，以进行精确的翘曲测量。可提供更多针对太阳能板样品、硬盘和精确样品位置板的选项。防震台Tencor P-17提供桌面式防震台和独立防震台选项。GraniteIsolator&trade 系列提供将花岗岩和高品质硅胶垫结合在一起的桌面式系统来提供被动防震。Onyx系列桌面防震系统使用气动式防震台来提供被动防震。TMC 63-500系列防震台是一种使用气动式防震台来提供被动防震的独立钢架台。台阶高度标准片Tencor P-17使用VLSI提供的NIST可追踪的薄膜和厚膜台阶高度标准片。该标准片的特征图案是在石英台上制造了一个氧化物台阶，或是覆盖了铬涂层的蚀刻石英台阶。可提供8纳米至250微米的台阶高度。Apex 分析软件Apex 分析软件通过一套配带拉平，过滤，台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术的扩展组件增强了Tencor P-17的标准数据分析能力。Apex支持ISO粗糙度计算方法以及当地标准，例如ASME。Apex还可以作为报告编写平台，能够添加文本、说明和通过/失败标准。Apex支持11种语言。离线分析软件Tencor P-17离线软件具有与该机台相同的数据分析和程式创建功能。这使用户能够创建程式和分析数据，而不占用机时。图形识别图形识别使用预先学习的模式来自动对齐样本。这能够进行全自动测量，通过减少操作员误操作的影响来提高测量稳定性。图形识别与高级校准相结合，可减少样品台定位误差，并实现系统之间程式的无缝传输。SECS/GEM和HSMSSECS/GEM和HSMS通信支持工厂自动化系统并实现对Tencor P-17的远程控制。测量结果以及警报和关键校准/配置数据会自动报告给主机SPC系统。Tencor P-17符合SEMI标准E4、E5、E30和E37。相关产品

产品 概要：KOSAKA ET200A是KOSAKA新推出的经济型台式两用机型：6寸台阶仪（支持升级到8寸载物台）和粗糙度轮廓仪。可根据用户需求任意组合，是一款带有专用控制器的高精度、高性能的表面粗糙度测量仪器。基本信息：极佳重复性与线性度采用直动式检测方式，可避免圆弧补正误差，可避免Bearing间隙误差；台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm；Z方向线性度为±0.25% (样品厚度 2000A) 5A (样品厚度≤2000A)直动式检出器构造直动式检出器测量边沿效应重复测量数据 (10 times)Taylor Hobson 标准样直动式检出器测量边沿效应VLSI SHS-9400QCVLSI SHS-440QC实时监控测量位置超高直线度国际认证数据位移光栅尺与时间取样形状及粗度解析粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测量参数多达60种；可测量台阶及倾斜度。超大测定力范围测定力在10 ~ 500uN、1~50mgf可任意设定可测定软质材料面，如:COLOR FILTER、SPACER、PI等。触针保护盖板及方便更换技术优势：1、设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震2、独特的直动式传感器设计3、Z方向重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm4、Z方向线性度为±0.25% (样品厚度 2000A) 5A (样品厚度≤2000A)5、样品台的垂直直线度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm6、高精度的X方向位移光栅尺控制，X方向测量长度大至100mm，Y方向可移动150mm7、自带三维测量功能应用方向：主要用于平板显示器、硅片、硬盘等的微细形状台阶／粗度测定，对多种零件表面的粗糙度，波纹度以及原始轮廓进行多参数评定，另外也可利用微小测定力来对应软质样品表面测定。

Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪能够测量从几纳米到 1200微米的2D和3D台阶高度。D-600 还支持2D和3D的粗糙度测量，以及用于研发和生产环节的2D翘曲度和应力测量。D-600 包含一个带有200 毫米样品载台的电动样品台和具有增强影像控制的高级光学器件。产品描述Alpha-Step D-600探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D及3D测量，以及翘曲度和应力的2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。 通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。主要功能● 台阶高度：几纳米至1200μm● 低触力：0.03至15mg● 视频：500万像素高分辨率彩色相机● 梯形失真校正：可消除侧视视图造成的失真● 圆弧校正：可消除由于探针的弧形运动引起的误差● 紧凑的尺寸：系统占用面积小● 软件：用户友好的软件界面主要应用● 台阶高度：2D和3D台阶高度Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪能够测量几纳米到 1200 微米高的2D和3D台阶。这能够对蚀刻、溅射、沉积、旋涂、化学机械研磨和其他工艺等沉积或去除的材料厚度进行量化。Alpha-Step系列能够提供微力测量，可以测量软材料，例如光刻胶。● 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度可量化样品的粗糙度和波纹度。软件中的过滤器将测量结果分为粗糙度和波纹度两部分，并计算出均方根、粗糙度等参数。● 形状：2D和3D翘曲和形状可以测量样品表面的2D形貌或翘曲度。这包括元件制造过程中不同工艺层材料不匹配导致的晶圆表面翘曲度的测量，例如半导体或化合物半导体器件生产中的多层沉积。D-600 还可以测量弯曲结构（例如透镜）的高度和曲率半径。● 应力：2D薄膜应力能够测量在生产具有多个工艺层的器件（例如半导体或化合物半导体器件）期间产生的应力。使用应力载台将样品支撑在中间位置以精确测量样品的翘曲度。应力是先测量诸如薄膜沉积等工艺导致的晶圆表面形貌变化，然后运用Stoney公式计算得到的。适用行业● 大学，实验室和研究所● 半导体和化合物半导体● LED：发光二极管● 太阳能板● MEMS：微机电系统● 汽车● 医疗设备● 还有更多：请与我们联系并探讨您的要求选配件探针选项Alpha-Step D-600 提供多种探针用于测量台阶高度、高宽深比台阶、粗糙度、样品翘曲度和应力。探针针尖的半径从100纳米到50微米不等，这影响了测量的横向分辨率。探针角度从20到100度不等，这决定了所测量特征的最大高宽比。所有探针都采用金刚石制造，以减少磨损和增加其使用寿命。样品载台Alpha-Step D-600 可提供各种载台，用于支持不同应用需求。标准载台是一个镀镍的铝制真空载台，适用于直径长达 200 毫米的样品。还提供通用真空载台，并包括用于 50 毫米至 200 毫米样品精确定位的定位销。两个选项都支持通过 3 点定位器进行应力测量，从而将样品保持在中间位置，以进行精确的翘曲度测量。防震台Alpha-Step D-600 提供桌面式和独立防震台两种选项。GraniteIsolator&trade 系列提供将花岗岩和高品质硅胶垫结合在一起的桌面式防震台，来提供被动防震。Onyx系列桌面防震系统使用气动式防震台来提供被动防震。TMC 63-500 系列防震台是一种使用气动式防震台来提供被动防震独立钢架台。台阶高度标准片Alpha-Step D-600 采用 VLSI 提供的 NIST 可追踪的薄膜和厚膜台阶高度标准片。该标准片在石英片上制造了一个氧化物台阶。可提供8纳米至250微米的台阶高度标准片。Apex 分析软件Apex 分析软件具备调平、滤波、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术，增强了 D-600 的标准数据分析能力。Apex 支持 ISO 粗糙度计算方法以及当地标准，例如 ASME。Apex还可以作为报告编写平台，能够添加文本、说明和通过/失败标准。Apex 支持 11 种语言。离线分析软件Alpha-Step D-600 离线软件具有与该机台相同的数据分析功能。这使用户能够在不占用机时的情况下分析数据。相关产品

Dektak 150 台阶仪集40多年的探针轮廓技术创新于一身，该系统在行业内的表现遥遥领先，以重现性最佳和标准扫描范围最大而著称。它提供各种各样的配置和附加选项，用于程序化测量、低探针力表征和细节分析台阶仪Dektak 150 表面轮廓仪（探针式）规格：测试技术：探针轮廓技术测试功能：二维表面轮廓测试样品视场：640*480像素，USB；17 inc 平板显示器探针传感器：低惯量传感器（LIS 3）探针压力：使用LIS 3传感器：1至15 mg使用N-lite传感器：0.03至15 mg探针选项：探针曲率半径可选范围：50 nm至25 um 高径比针尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um样品载物台：手动X/Y/@：100*100 mm, 360度旋转，可手动校平；可选Y自动移动载物台，100 mm行程，1um重现性，0.5 um分辨率；可选X-Y自动移动载物台，150 mm行程；1um重现率，0.5 um 分辨率计算机系统：主机使用celeron或者semprom处理器软件：Dektak软件台阶检测软件可选应力测量软件可选三维Vision分析软件可选缝合软件减震装置：可选桌式震动隔离装置可选台式震动隔离装置性能扫描长度范围 55mm(2.1英寸)每次扫描数据点最多12万数据点最大样品厚度高达90 mm (4英寸)，取决于配置最大晶圆尺寸 150 mm(6英寸)台阶高度重现性 6埃垂直范围：标准524um(0.02英寸)；可选1mm垂直分辨率：最大1A（6.55um垂直范围下）尺寸：292 mm *508 mm*527 mm重量：34 kg电源要求：输入电压： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ

品牌日本KOSAKA型号ET200测量范围Max. 600μm测量精度0.001电源电压AC100V±10%,用途测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损 KOSAKA LAB ET 200微细形状测定机（探针接触式台阶仪）株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立的公司，也是日本第一家發表光學幹槓桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為最具代表性單位且在日本精密測定業佔有一席無法被取代的地位。设备特点：KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET 200能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。ET 200配备了各种型号探针，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。 规格一、測定工件：1.最大工件尺寸：φ160mm2.最大工件厚?：50mm3.最大工件重量：2kg二、檢出器（pick up）：1. Z方向測定範圍：Max. 600μm2. Z方向分解能：0.1nm3.測定?：min.1mgf,max.50mg4.觸針半徑：2μm5.驅動方式：直動式6.再現性：1σ= 1nm三、X軸(基準軸)：1.移动量(最大測長)：100mm2.移動的真直?：0.2μm/100mm3.移動,測定速?：0.02 ~ 10mm/s4.線性尺(linar scale)：分解能0.1μm四、Z軸：1.移动量：50mm2.移動速度：max.2mm/S3.檢出器自動停止機能4.位置決定分解能：0.2μm五、工件台：1.工件台尺寸：φ160mm2.機械手動倾斜：±1mm/150mm?、工件觀察：max.110倍(可選購其它高倍?CCD)七、床台：材質為花崗岩石八、防振台(選購)：?地型或桌上型九、電源：AC100V±10%,50/60HZ, 300VA十、本體外觀尺寸及重量：W494×D458×H610mm, 120kg(?含防震台) KOSAKA LAB ET 200 台阶仪设备特点： KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）****接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET 200能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET 200配备了各种型号****，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到****工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。 规格 一、測定工件： 1. 最大工件尺寸：φ160mm 2. 最大工件厚度：50mm 3. 最大工件重量：2kg 二、檢出器（pick up）： 1. Z方向測定範圍：Max. 600μm 2. Z方向分解能：0.1nm 3. 測定力：min.1mgf,max.50mg 4. 觸針半徑：2 μm 5. 驅動方式：直動式 6. 再現性：1σ= 1nm 三、X 軸 (基準軸)： 1. 移动量(最大測長)：100mm 2. 移動的真直度：0.2μm/100mm 3. 移動,測定速度：0.02 ~ 10mm/s 4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1μm 四、Z軸： 1. 移动量：50mm 2. 移動速度：max.2mm/S 3. 檢出器自動停止機能 4. 位置決定分解能：0.2μm 五、工件台： 1. 工件台尺寸：φ160mm 2. 機械手動倾斜： ± 1mm/150mm 六、工件觀察：max.110 倍(可選購其它高倍率CCD) 七、床台：材質為花崗岩石 八、防振台(選購)：落地型或桌上型 九、電源：AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA 十、本體外觀尺寸及重量： W494×D458×H610mm, 120kg (不含防震台)

品牌日本KOSAKA型号ET200测量范围Max. 600μm测量精度0.001电源电压AC100V±10%,用途测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损 KOSAKA LAB ET 200微细形状测定机（探针接触式台阶仪）株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立的公司，也是日本第一家發表光學幹槓桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為最具代表性單位且在日本精密測定業佔有一席無法被取代的地位。设备特点：KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET 200能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。ET 200配备了各种型号探针，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。 规格一、測定工件：1.最大工件尺寸：φ160mm2.最大工件厚?：50mm3.最大工件重量：2kg二、檢出器（pick up）：1. Z方向測定範圍：Max. 600μm2. Z方向分解能：0.1nm3.測定?：min.1mgf,max.50mg4.觸針半徑：2μm5.驅動方式：直動式6.再現性：1σ= 1nm三、X軸(基準軸)：1.移动量(最大測長)：100mm2.移動的真直?：0.2μm/100mm3.移動,測定速?：0.02 ~ 10mm/s4.線性尺(linar scale)：分解能0.1μm四、Z軸：1.移动量：50mm2.移動速度：max.2mm/S3.檢出器自動停止機能4.位置決定分解能：0.2μm五、工件台：1.工件台尺寸：φ160mm2.機械手動倾斜：±1mm/150mm?、工件觀察：max.110倍(可選購其它高倍?CCD)七、床台：材質為花崗岩石八、防振台(選購)：?地型或桌上型九、電源：AC100V±10%,50/60HZ, 300VA十、本體外觀尺寸及重量：W494×D458×H610mm, 120kg(?含防震台) KOSAKA LAB ET 200 台阶仪设备特点： KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）****接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET 200能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET 200配备了各种型号****，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到****工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。 规格 一、測定工件： 1. 最大工件尺寸：φ160mm 2. 最大工件厚度：50mm 3. 最大工件重量：2kg 二、檢出器（pick up）： 1. Z方向測定範圍：Max. 600μm 2. Z方向分解能：0.1nm 3. 測定力：min.1mgf,max.50mg 4. 觸針半徑：2 μm 5. 驅動方式：直動式 6. 再現性：1σ= 1nm 三、X 軸 (基準軸)： 1. 移动量(最大測長)：100mm 2. 移動的真直度：0.2μm/100mm 3. 移動,測定速度：0.02 ~ 10mm/s 4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1μm 四、Z軸： 1. 移动量：50mm 2. 移動速度：max.2mm/S 3. 檢出器自動停止機能 4. 位置決定分解能：0.2μm 五、工件台： 1. 工件台尺寸：φ160mm 2. 機械手動倾斜： ± 1mm/150mm 六、工件觀察：max.110 倍(可選購其它高倍率CCD) 七、床台：材質為花崗岩石 八、防振台(選購)：落地型或桌上型 九、電源：AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA 十、本體外觀尺寸及重量： W494×D458×H610mm, 120kg (不含防震台)

产品简介：布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）设计创新，实现了更高的重复性和分辨率，垂直高度重复性高达 5&angst 。详情页介绍德国布鲁克DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以到5&angst 。台阶仪这项性能的到了过去四十年Dektak技术，更加巩固了其行业。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二管的研发以及材料科学领域。产品优势台阶仪DektakXT能实现： 1、使用温度条件：10-30℃；2、无可匹敌的性能，台阶高度重现性低于4埃3、Single-arch设计提供扫描稳定性4、的“智能电子器件”设立了新低噪音基准5、新硬件配置使数据采集时间缩短6、64-bit，Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度高了10倍7、频率，操作简易8、直观的Vision64用户界面，操作简易9、针尖自动校准系统 11、单传感器设计，提供单一平面上低作用和宽扫描范围建立在40多年的探针轮廓技术的知识和经验薄膜测试仪，在基于微处理器的轮廓仪，和300mm自动轮廓仪DektakXT继承了以往的。新的DektakXT是single-arch设计的探针轮廓仪，内置真彩高清光学摄像机，及安装64-bit并行处理架构已获得测量及操作效率的探针轮廓仪 当需要台阶高度、表面粗糙度、测量时，人们就会借助Dektak。引进DektakXT，Bruker能让您进一步获得表面测量 数据采集和分析速度直接驱动扫描平台，Dektak XT减少了扫描间的时间，而没有影响分辨率和背景噪声。这一改进大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描（就探针轮廓仪而言，通常是耗时的）的扫描速度。在行业的质量和重现性前提下，DektakXT可以将数据采集处理的速度。另外，DektakXT采用Bruker64-bit数据采集分析同步操作软件Vision64，它可以大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描是的数据分析。Vision64还具有行业内的直观用户界面，简化了实验操作设置，自动完成多扫描模式，让重复和常规的实验操作变得更快速简洁。

Nano Step系列晶圆探针式轮廓仪台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。NS系列晶圆探针式轮廓仪台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。2.测量模式与分析功能1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.双导航光学影像功能在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。4.快速换针功能采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。磁吸针实物外观图（330μm量程）NS系列晶圆探针式轮廓仪台阶仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。典型应用 部分技术参数型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH 温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

德国布鲁克DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以到5Å。台阶仪这项性能的到了过去四十年Dektak技术，更加巩固了其行业。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二管的研发以及材料科学领域。 台阶仪DektakXT能实现： 1、 使用温度条件：10-30℃； 2、无可匹敌的性能，台阶高度重现性低于4埃 3、Single-arch设计提供扫描稳定性 4、的“智能电子器件”设立了新低噪音基准 5、新硬件配置使数据采集时间缩短 6、64-bit，Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度高了10倍 7、频率，操作简易 8、直观的Vision64用户界面，操作简易 9、针尖自动校准系统 10、布鲁克（Bruker）以实惠的配置实现高的性能 11、单传感器设计，提供单一平面上低作用和宽扫描范围 建立在40多年的探针轮廓技术的知识和经验薄膜测试仪，在基于微处理器的轮廓仪，和300mm自动轮廓仪DektakXT继承了以往的。新的DektakXT是single-arch设计的探针轮廓仪，内置真彩高清光学摄像机，及安装64-bit并行处理架构已获得测量及操作效率的探针轮廓仪 当需要台阶高度、表面粗糙度、测量时，人们就会借助Dektak。引进DektakXT，Bruker能让您进一步获得表面测量数据采集和分析速度 直接驱动扫描平台，Dektak XT减少了扫描间的时间，而没有影响分辨率和背景噪声。这一改进大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描（就探针轮廓仪而言，通常是耗时的）的扫描速度。在行业的质量和重现性前提下，DektakXT可以将数据采集处理的速度。另外，DektakXT采用Bruker64-bit数据采集分析同步操作软件Vision64，它可以大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描是的数据分析。Vision64还具有行业内的直观用户界面，简化了实验操作设置，自动完成多扫描模式，让重复和常规的实验操作变得更快速简洁。

NS系列中图微纳米测量接触式台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能NS系列中图微纳米测量接触式台阶仪配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。NS系列中图微纳米测量接触式台阶仪单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。 典型应用台阶仪在太阳能光伏行业的应用台阶仪利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。针对测量ITO导电薄膜的应用场景，NS200台阶仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；部分技术指标型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术样品观察光学导航摄像头:500万像素高分辨率 彩色摄像机,FoV,2200*1700μm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器NS系列国产薄膜台阶高度测量仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能 NS系列国产薄膜台阶高度测量仪配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。NS系列国产薄膜台阶高度测量仪是一种常用的膜厚测量仪器，它是利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。如针对测量ITO导电薄膜的应用场景，NS200台阶仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器 1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。NS系列台阶仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。典型应用部分技术指标型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术样品观察光学导航摄像头:500万像素高分辨率 彩色摄像机,FoV,2200*1700μm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

HRP-260 是一个高分辨率、自动化探针式轮廓仪，提供从几纳米到 300 微米的台阶高度测量功能。P-260 支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的 2D 和 3D 测量，扫描范围可达 200 毫米且无需拼接。HRP-260 配置了与 P-260 相同的功能，但增加了高分辨率样品台以获得类似 AFM 的扫描结果。HRP 系列高分辨率轮廓仪具有先进的图形识别算法，可增强系统之间程式的可传输性，从而实现 7x24 小时全天候生产。产品描述HRP-260是一款高分辨率、自动化探针式轮廓仪。HRP 提供用于产线的自动化晶圆产品测量能力，服务于半导体、化合物半导体、高亮度 LED、数据存储等相关行业。P-260支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D和3D测量，扫描范围可达200毫米且无需拼接。HRP-260提供与P-260相同的配置外加一个高分辨率样品台，可以以更高的分辨率去表征小型特征图案。HRP-260提供用于测量纳米和微米表面形貌的双样品台。P-260配置提供长程扫描（长达 200 毫米）功能，无需拼接，且HRP-260提供高分辨率扫描台，扫描行程长达90微米。P-260结合了 UltraLite传感器、恒力控制和超平扫描样品台，可达到出色的测量稳定性。HRP-260的高分辨率压电扫描样品台加强了整体性能。使用点击式样品台控制、低倍和高倍率光学器件以及高分辨率数码相机，可快速轻松地设置程式。HRP-260支持2D或3D测量，可使用多种滤波、调平和数据分析算法来分析测量得到的样品表面形貌。通过自动晶圆处理、图形识别、多点量测和特征检测实现全自动测量。主要功能● 台阶高度：纳米级至327μm● 恒力控制的低触力：0.03至50mg● 样品的全直径扫描，无需图像拼接● 影像：嵌入式低倍和高倍放大光学系统● 圆弧校正：可消除由于探针的弧形运动引起的误差● 软件：简单易用的软件界面● 生产能力：全自动多点测量，具有图形识别和SECS / GEM功能● 晶圆机械传送臂：自动加载直径为75mm至200mm的不透明（例如硅）和透明（例如蓝宝石）样品● HRP：具有匹配AFM的高分辨率扫描样品台主要应用● 台阶高度：2D和3D台阶高度● 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度● 形状：2D和3D翘曲和形状● 应力：2D和3D薄膜应力● 缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌适用行业● 半导体● 复合半导体● LED：发光二极管● MEMS：微机电系统● 数据存储● 汽车● 还有更多，请与我们联系以满足您的要求适用行业高分辨率样品台HRP-260 使用压电载台，该样品具有 90 x 90 微米扫描范围、1纳米分辨率，与 AFM 的功能类似。这一高分辨率样品台与特征查找相结合，可用于精确定位您感兴趣的特征，从而快速测量亚微米特征，以用于生产环节。高分辨率3D扫描可以使工艺研发环节更高效。使用 HRP-260 测量工艺参数变化产生的影响、新工艺层制程，或与缺陷检查功能结合使用来测量缺陷的表面形貌。升级到 HRP-260 探针式轮廓仪HRP-240 和 HRP-250 系统可以升级到 HRP-260。该升级利用 KLA 提供的最新电子器件延长了当前 HRP 系统的使用寿命。上述升级也包括软件中的新算法，可显着提高图形识别性能和程式在工具之间的可传输性。基于五点测量的标准程式，HRP-260 系统测量速度大约是 HRP-240 系统的两倍。升级套件包括一台配备 Windows 7 的新计算机、使用 USB 通信的新电子器件、高分辨率数字相机、23 英寸屏幕显示器和最新轮廓仪软件。探针选项HRP-260 提供多种探针用于测量台阶高度、台阶高宽比、粗糙度、样品翘曲和应力。探针针尖的半径从20纳米到50微米不等，这决定了测量的横向分辨率。探针角度从20到100度不等，这决定了所测量特征的最大高宽比。所有探针都采用金刚石制造，以减少压头磨损并延长其使用寿命。DuraSharp 探针的压头半径为 40 纳米，通常用于 HRP 生产测量，提供与 AFM 类似的分辨率。样品载台HRP-260拥有各种可用于支持应用需求的载台。标准配置是一个用于测量 75 毫米到 200 毫米晶圆的真空载台。应力载台可与 3 点定位器一起使用，以将样品支撑在中间位置以精确测量样品的翘曲度。还有用于承载弯曲晶圆的其他载台。机械手选项HRP-260 机械手包括一个用于不透明晶圆（例如 GaAs）的校准器和一个用于 200 毫米晶圆的晶盒站。该选项包括透明样品对齐（例如蓝宝石）、适用于从 75 毫米到 150 毫米的较小样品尺寸、第二个晶盒站、晶盒位置检测仪和信号塔。台阶高度标准片HRP-260 使用 VLSI 提供的 NIST 可追踪的薄膜和厚膜台阶高度标准片。该标准片的特点是在 200 毫米硅晶圆中间具有一个氧化物台阶。可提供8纳米至100微米的台阶高度标样片。Apex 分析软件Apex 分析软件通过配带的调平、滤波、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术组件增强了 HRP-260 的标准数据分析能力。Apex支持ISO粗糙度计算方法以及当地标准，例如ASME。Apex还可以作为报告编写平台，能够添加文本、说明和通过/失败标准。Apex支持11种语言。离线分析软件HRP-260离线软件具有与该机台相同的数据分析和程式创建功能。这使用户能够离线创建程式和分析数据，而不占用机时。图形识别图形识别使用预先选定的图案来自动对齐样本。这功能让机台能够进行全自动测量，从而减少操作误差带来的影响来提高测量稳定性。图形识别与高级校准相结合，可减少样品台定位误差，并实现系统之间程式的无缝传输。SECS/GEM 和 HSMSSECS/GEM 和 HSMS 通信支持工厂自动化系统并实现对 HRP-260 的远程控制。测量结果包括警报和核心校准/配置数据会自动报告给主机 SPC 系统。HRP-260 符合 SEMI 标准 E4、E5、E30 和 E37。相关产品

中图仪器NS系列探针接触式台阶高度仪主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量，是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。2.测量模式与分析功能1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.双导航光学影像功能在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。4.快速换针功能采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。磁吸针实物外观图（330μm量程）NS系列探针接触式台阶高度仪测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。NS系列探针接触式台阶高度仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。典型应用部分技术指标型号NS200样品观察500万像素彩色摄像机 正视视野：2.2×1.7mm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm630×610×500重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器NS系列接触式膜层厚度台阶仪采用接触式测量方式，主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。产品结构主要组成部分1、测量系统（1）单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。（2）线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。（3）传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。2、工件台（1）精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台，可以对样品的位置以及角度进行调节，三维位置均可以调节，利于样品调整。（2）超高直线度导轨，有效避免运动中的细微抖动，提高扫描精度，真是反映工件微小形貌。3、成像系统500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上，使得测量更加直观。4、软件系统 测量软件包含多个模块。5、减震系统防止微小震动对测量结果的影响，使实验数据更加准确。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能NS系列接触式膜层厚度台阶仪配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。NS系列接触式膜层厚度台阶仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。典型应用在太阳能光伏行业的应用台阶仪具有超微力可调和亚纳米级分辨率，对ITO膜厚进行测量，其厚度范围从十几纳米到几百纳米，测量的同时不损伤样件本身。针对测量ITO导电薄膜的应用场景，NS200台阶仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；部分技术指标型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术样品观察光学导航摄像头:500万像素高分辨率 彩色摄像机,FoV,2200*1700μm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。