安赛斯精密匀胶机,本型号适用于12英寸及以下晶元旋涂需要。更多产品信息,请登录安赛斯(中国)有限公司官网具体配置及报价,请咨询安赛斯工作人员。产品介绍: 名称:高精密匀胶机型号:SC200-SE产地:应用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。 产品概述: 精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。 不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;工业级别400瓦伺服电机系统,采用于track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中达到50000rpm/s的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。性能指标: l 主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁) l 旋涂程序:最多存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒 l 转动速度:0-5,000rpm(更高速可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm l 旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s l 马达旋涂转速稳定性能误差 ±1rpm l 转速调节精度1rpm,重复性 1rpm l 工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec l 支持wafer尺寸25px-300mm(12“圆晶) l 旋涂作业均匀性: ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量) 产品特点:l 内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。 l 7"触屏控制面板操作系统,更方便操作。 l Telon /polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。 l 标准配置转速5000rpm,并可根据用户需要进行定制。l 采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。 l 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,永不生锈,便于清洗。 l 排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。 l 透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。产品外型尺寸: 613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H) 咨询或索取详细产品资料,请联系ANALYSIS(安赛斯)工作人员。匀胶机,旋涂仪,甩胶机,安赛斯(中国)有限公司更多产品信息,请登录安赛斯(中国)有限公司官网
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