机械加工工艺手册

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机械加工工艺手册相关的仪器

  • 概要:DMA动态热机械分析仪是用来测量试样在周期交变应力作用下,动态力学性能与温度、时间、频率等函数关系的技术,可以获得与材料的结构、分子运动、加工与应用有关的特征参数。 EXSTAR DMS6100具有高载荷能力,可测试样品为几乎所有的实用性材料,可测试模量涵盖10E3至10E12Pa。型号参数特点:1.简易测定向导 以插图方式,对从测定条件设置到测定开始位置的一系列操作提供向导提示,新手也能轻松上手。2.Lissajous监控 标配了可以观察测量过程中的应力-应变关系的Lissajous监控功能。3.新型测定部 从人体工程学角度考虑,将结构改良,可轻松而可靠的进行装卸。   ●样品安装:样品固定螺丝从以往的2根变为1根。夹头部分可沿着导轨移动,因此从结构上不易产生样品安装错误。4.低功耗全自动液氮冷却装置 将液氮消耗量降低30%(与本公司原有产品比较)的节能型冷却装置。5.Real Wiew 支持样品观察选配项。DMA应用:1.模量测定范围2.增塑剂(DOP)的影响
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  • 酸奶味道好,营养价值高,很多人都喜欢喝,但是冬天来了,都想喝杯热牛奶,此时大家要注意了,酸奶是不能加热的,如果加热了,奶中富含的营养物质会被杀掉。酸奶的发酵过程使奶中糖、蛋白质有20%左右被水解成为小的分子(如半乳糖和乳酸、小的肽链和氨基酸等),奶中脂肪含量一般是3%~5%。经发酵后,乳中的脂肪酸可比原料奶增加2倍,这些变化使酸奶更易消化和吸收,各种营养素的利用率得以提高。酸奶由纯牛奶发酵而成,除保留了鲜牛奶的全部营养成分外,在发酵过程中乳酸菌还可以一产生人体营养所必须的多种维生素,如VB1、VB2、VB6、VB12等。酸奶加工机械厂家乳品工厂设备的清洗和消毒必须分两个不同操作阶段进行,不能将两个过程同时进行,否则得不到洗涤和消毒的预期效果。在洗涤和消毒两个过程中时进行,洗涤更为重要,酸奶加工设备厂家洗涤彻底则比不经洗涤而直接进行消毒的郊果要好得多。因此洗涤是首要的,丝毫不能草率从事,使用过的设备和管路首先必须立即清洗,然后才能进行消毒杀菌。板式换热器:板式换热器是由一系列具有一小型牛奶生产线价格定波纹形状的金属片叠装而成的一种新型高效换热器。各种板片之间形成薄矩形通道,通过板片进行热量交换。板式换热器是液—液、液—汽进行热交换的理想设备。它具有换热效率高、热损失小、结构紧凑轻巧、占地面积小、安装清洗方便、应用广泛、使用寿命长等特点。在相同压力损失情况下,其传热系数比管式换热器高3-5倍,占地面积为管式换热器的三分之一,热回收率可高达90%以上。酸奶加工机械厂家
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  • 产品概述GDS气体报警平台是我公司独立自主研发气体探测报警系统,整体采用SCADA系统思想设计,高度模块化设计:前端网络前置模块,数据处理模块,数据库管理模块,WEB服务后台模块,各模块相对独立,采用软总线连接,具有高度扩展功能机械加工行业GDS可燃有毒气体报警系统GDS系统能稳定地运行在WINDOWS,LINUX等多个平台,采用跨平台的C++框架设计,保证平台运行效率;前端部分采用HTML 5设计,交互方便,适合多个平台下访问使用。产品特点●采用html5设计,WEB式访问●支持负载均衡,系统健壮性高●可打包成客户端安装在本地●实时短信,声音等多种报警●GDS 系统可部署在云服务上●支持设置在线列表功能●GDS系统也可在本地单机部署●远程遥控多个主控制器功能●支持WINDOWS,LINUX系统部署●高并发网络设计●业务开放设置,配置系统信息●支持多种协议接入●实时数据库与历史数据库分开●数据库集群,数据长期保存Gds是英文Gas Detection System的简称,翻译过来就是气体检测系统,即可燃气体和有毒气体检测系统。机械加工行业GDS可燃有毒气体报警系统gds可燃气体报警系统,就是可燃气体报警检测系统。在化工生产装置及辅助设施内不可避免会存在很多可燃气体和有毒气体释放源。为防止可能产生的人身伤害及火灾爆炸事故的发生,保障企业安全生产,需在可能泄漏或聚集可燃气体、有毒气体的地方,设置气体检测报警仪,并将信号上传至显示报警控制单元。当现场存在危险时,可以及时预警。这一整套系统即可燃气体和有毒气体检测报警系统(以下简称GDS系统)。gds可燃气体报警系统探测器由于GDS系统目前仍处于发展中,尚无明确规范,且现有各要求存在相互冲突。如《石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范》(GB50493-2009)中规定“可燃气体和有毒气体检测报警系统宜独立设置”。但在安监总局116号文《国家安全监管总局关于加强化工安全仪表系统管理的指导意见》中又将GDS系统纳入化工安全仪表系统(SIS系统)中。同时可燃气体探测器又属于消防部门管理,需要取得CCCF认证。机械加工行业GDS可燃有毒气体报警系统混乱的要求让设计单位及厂家无所适从,GDS系统需不需独立?GDS系统是否需要SIL认证?GDS系统应如何设计?这些问题目前尚无标准可参考。近期住房城乡建设部公布了新版《石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准》(GBT 50493-2019),标准中对于GDS系统进行了详细解释,下面我们将以新标准条文为依据,对GDS系统的设计和选择进行探讨。规定了GDS系统的组成部分,即探测器、报警器和报警控制单元,并不包含联动。报警控制单元应采用独立设置的以微处理器为基础的电子产品,并具有以下基本功能1能为可燃气体探測器、有毒气体探测器及其附件供电:2.能接收气体探测器的输出信号,显示气体浓度并发出声、光报警3能手动消除声、光报警信,再次有报警信号输入时仍能发出报警4.具有相对独立、互不影响的报警功能,能区分和识别报警场所位号5.在下列情况下,报警控制单元应能发出与可燃气体和有毒气体浓度报警信号有明显区别的声、光故障报警信号:1)报警控制单元与探測器之间连线断路或短路 2)报警控制单元主电源欠压3)报警控制单元与电源之间的连线断路或短路。6.具有以下记录、存储、显示功能:1)能记录可燃气体和有毒气体的报警时间,且日计时误差不应超过30s 2)能显示当前报警部位的总数3)能区分先报警部位,后续报警点按报警时间顺序连续显示 4)具有历史事件记录功能
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机械加工工艺手册相关的方案

机械加工工艺手册相关的论坛

  • 【求助】求助金属抛光设计与加工新技术、新工艺应用手册,非常感谢

    《金属抛光设计与加工新技术、新工艺应用手册》 主要内容: 金属电沉积基础、 金属学及金属材料知识、 表面分析技术、 表面涂覆与处理方法标记符号及基本性能、 电解质与电解定律、 腐蚀的防护、 金属抛光技术概论、 金属表面抛光技术在国民经济中的作用金属表面前处理新工艺、 电镀金属及合金镀新工艺、 特种镀覆新工艺、 非法拉第区电镀、脉冲电镀与绿色电镀新工艺、 金属电焊新工艺、 金属表面氧化、着色与染色新工艺、 金属涂料新工艺、 金属热处理新工艺、 金属表面真 册数: 全四卷 作者: 编委会 出版社: 中国知识出版社 出版日期:2008年10月出版

  • 【分享】机械行业标准系列 JB-T 9168.1-13-1998 切削加工通用工艺守则 共13个

    http://www.instrument.com.cn/download/search.asp?keywords=JB+9168&sel=title&SN=5DBC98DCC983A70728BD082D1A47546E&Submit=%C1%A2%BC%B4%B2%E9%D1%AF今天和大家分享一个机械行业标准系列JB-T 9168.13-1998 切削加工通用工艺守则 钳工.pdfJB-T 9168.12-1998 切削加工通用工艺守则 划线.pdfJB-T 9168.11-1998 切削加工通用工艺守则 下料.pdfJB-T 9168.10-1998 切削加工通用工艺守则 数控加工.pdfJB-T 9168.9-1998 切削加工通用工艺守则 齿轮加工.pdfJB-T 9168.8-1998 切削加工通用工艺守则 磨削.pdfJB-T 9168.7-1998 切削加工通用工艺守则 拉削.pdfJB-T 9168.6-1998 切削加工通用工艺守则 镗削.pdfJB-T 9168.5-1998 切削加工通用工艺守则 钻削.pdfJB-T 9168.4-1998 切削加工通用工艺守则 刨、插削.pdfJB-T 9168.3-1998 切削加工通用工艺守则 铣削.pdfJB-T 9168.2-1998 切削加工通用工艺守则 车削.pdfJB-T 9168.1-1998 切削加工通用工艺守则 总则.pdf

机械加工工艺手册相关的耗材

  • 上海氙灯老化试验箱机械设备厂; 广州氙灯老化试验箱机械设备厂
    上海氙灯老化试验箱机械设备厂; 广州氙灯老化试验箱机械设备厂采用能模拟全阳光光谱的氙弧灯来再现不同环境下存在的破坏性光波,可以为科研、产品开发和质量控制提供相应的环境模拟和加速试验。 上海氙灯老化试验箱机械设备厂; 广州氙灯老化试验箱机械设备厂可用于新材料的选择、改变现有材料或评估材料组成变化后耐用性的变化试验,可以很好的模拟在不同环境条件下,材料暴露在阳光下所产生的变化。 通过材料试样暴露在氙弧灯的光照及热辐射下进行老化试验.来评价在高温光源作用下某些材料的耐光、耐候性能.主要用于汽车、涂料、橡胶、塑胶、颜料、粘合剂、织物等.型号:AP-XD-900 工作室尺寸: D950×W950×H850 单位:MM型号:AP-XD-500 工作室尺寸: D500 ×W760×H500温度范围:RT+10℃~80℃温度波动度:±0.5℃温度均匀度: ±2.0℃氙灯灯源:进口水冷式灯管降雨时间:0~9999min,连续降雨可调降雨周期:0~240min,间隔(断)降雨可调喷水周期(喷水时间/不喷水时间):18min/102min或12min/48min淋雨水压:0.12~0.15Mpa喷水嘴孔径:Ф0.8mm氙灯功率:5.4KW加热功率:2KW加湿功率:1.5KW样品架与灯距离:300~375mm波长:290~800nm光照周期连续可调,累计辐射量:14000~67000KJ / m2执行标准:本产品严格按GB14049-1993的技术参数设计制造。同时符合GB/T9344-88、GB2423.24-95、GB/T2424.14-95等对应的技术参数要求。箱体制作材料:上海氙灯老化试验箱机械设备厂; 广州氙灯老化试验箱机械设备厂设计完美,箱体采用数控机床加工成型,并采用无反作用把手,操作容易。内胆为优质镜面不锈钢板,外壳为A3板喷塑处理,更显光洁、美观。保温系统保温系统采用超细玻璃纤维填充保温区,内外胆连接部位采用非金属耐高、低温材料,有效降低温度传导;箱门密封采用精制硅橡胶,从而在高、低温下不存在老化及硬化现象。光照系统黑板温度计:金属黑板温度计;控制执行系统进口数显温度控制仪;进口小型可编程控制器;法国"施耐德"执行元器件;制冷系统采用法国原装"泰康"全封闭风冷制冷压缩机组;蒸发器采用鳍片式多段式;其它制冷附件如干燥过滤器、冷媒流量视窗、修理阀、油分离器、电磁阀、贮液筒均采用进口原装件;上海氙灯老化试验箱机械设备厂; 广州氙灯老化试验箱机械设备厂保护系统整机保护系统由超温保护、缺水断电保护、超压及报警装置构成。保证了执行元器件及试件的完好。免费送货上门,并安装调试操作介绍(直到需方员工独立操作并满意为止)我公司的试验设备现以通过国家环境试验设备检测中心检测合格。
  • 上海紫外线老化试验箱机械设备厂; 广州紫外线老化试验箱机械设备厂
    上海紫外线老化试验箱机械设备厂; 广州紫外线老化试验箱机械设备厂产品采用能最佳模拟阳光中UV段光谱的荧光紫外灯,并结合控温、供湿等装置来模拟对材料造成变色、亮度、强度下降;开裂、剥落、粉化、氧化等损害的阳光(UV段)高温、高湿、凝露、黑暗周期等因素,同时通过紫外光与湿气之间的协同作用使得材料单一耐光能力或单一耐湿能力减弱或失效,从而广泛用于对材料耐气候性能的评价,设备具有提供最好的阳光UV模拟,使用维护成本低廉,易于使用,设备采用程控器自动运行 试验周期,自动化程度高,灯光稳定性好,试验结果重现率高等特点。一.上海紫外线老化试验箱机械设备厂; 广州紫外线老化试验箱机械设备厂适用于ASTM G154,GB/T16422.3-1997,GB/T14522,GB/T5170.9等标准1.外形及尺寸1400×530×1340mm2.试验箱空间: 1100×450×5003.试验室材质:内外3042B不锈钢或者外壳高级钢板烤漆。4.试样架:铝合金框式基架衬板5.黑板温度计:70×100×1.5(mm) .6.控制仪:按键式控制仪7.灯管: UVB-313 8支(UVA可选配)紫外辐射:每面4只灯管共2面(进口灯管)8.暴露方式:蒸气冷凝机理9.辐射计:UV-B紫外辐射计, (选配UV-A紫外辐射计)10.可设定、测量紫外辐射强度并通过累时计算辐射功积算值.12.可双向联机(RS585通信接口),界面友好(选配)13.电源用漏电断路器,控制回路过载短路报警,超温报警,缺水保护.三.上海紫外线老化试验箱机械设备厂; 广州紫外线老化试验箱机械设备厂技术参数1.暴露温度:50℃-70℃±2℃,黑板(黑标准)温度 2冷凝温度:50℃±2℃(加湿水箱水温)3.控温控湿方式: 平衡式调温调湿(BTHC)4.试样与灯管距离: 50±2mm 5.灯管间中心距:70mm6.有效辐射试验面积:380000mm27.紫外灯波长:280~400nm(峰值波长313nm,340nm,365nm可选)8. 测试能力:24块,试样尺寸:75×150mm标准试样架9.电源:220v/50Hz /±10% 6KW(总功耗)四.上海紫外线老化试验箱机械设备厂; 广州紫外线老化试验箱机械设备厂系统配置及技术说明:1、 箱体结构1) 箱体采用数控设备制作、工艺先进、线条流畅,美观大方2) 箱体材质为1.2mm厚304SUS高级不锈钢板3) 箱内风道采用单循环系统,有壹只进口轴流风机,提高了空气流量,加热的能力,大幅改善了试验箱的温度均匀性4) 灯管:专用紫外灯管,二排共8只,40W/只5) 灯管寿命: 3000h以上6) 水源及耗量:洁净水或蒸馏水8升/天2、 电器及控制系统1) 采用智能数显温度控制仪,精度高,控制平稳2) 采用韩国按键式控制仪3) 输入方式:黑板温度计、Pt100传感器4) 电气线路设计新颖,安全可靠四.安全保护装置:1.接地保护,电源过载短路断路器。2.控制回路过载、短路熔断器,缺水保护,超温保护。五. 培训及服务1.卖方负责对买方操作人员及维修人员、工艺人员进行免费培训.2.使受训人员了解设备性能、维护及常见故障,能够独立地掌握操作、编程、调整、维修等要求.
  • 上海冷热冲击试验箱机械设备厂; 广州冷热冲击试验箱机械设备厂
    上海冷热冲击试验箱机械设备厂; 广州冷热冲击试验箱机械设备厂箱体结构小型恒温恒湿试验箱箱体采用数控机床加工成型,造型美观大方、新颖并采 用无反作用把手,操作简便。箱体内胆采用进口高级不锈钢(SUS304)镜面板或304B氩弧焊制作而成,箱体外胆采用A3钢板喷塑。采用微电脑温度湿度控制器,控温控湿精确可靠。大型观测视窗附照明灯保持箱内明亮,且采用双层玻璃,随时清晰的观测箱内状况。设有独立限温报警系统,超过限制温度即自动中断,保证实验安全运行不发生意外。性能指标温度范围:RT+10℃~100℃湿度范围 :20~98% RH波动/均匀度:≤±0.5℃ /±2℃温度偏差:+2%、-3%RH升温时间:室温~100℃约20min控制温度:±1℃ ±2%温湿度运行控制系统控制器 进口微电脑湿温度集成控制器(温度直接显示百分数) 精度范围 设定精度:温度±0.1℃、湿度±0.1%RH,指示精度:温度± 0.1℃、温度±0.1%RH 温湿度传感器 铂铂金电阻PT100Ω 加热系统 完全独立系统,镍铬合金电加热式加热器 加湿系统 外置隔离式,全不锈钢锅炉式浅表面蒸发式加湿器 循环系统 耐温低噪音空调型电机,多叶式离心风轮 上海冷热冲击试验箱机械设备厂; 广州冷热冲击试验箱机械设备厂统低温控制方式:制冷压缩机启停控制温度(温度波动大、严重影响压缩机寿命,已淘汰的技术)制冷压缩机恒定运行+加热PID控制(导致制冷量与加热相抵消实现温度动态平衡,浪费了大量的电能)新型PWM冷控制技术实现低温节能运行:低温工作状态,加热器不参与工作,通过PWM技术控制调节制冷机组制冷剂流量和流向,对制冷管道、冷旁通管道、热旁通管道三向流量调节,实现对工作室温度的自动恒定。此方式在低温工况下,可实现降低40%的能耗。该技术基于美国Sporlan公司定制型号的PWM控制阀:由于该技术通过电磁阀的频繁动作实现对各管道流量的调节,标准电磁阀不能适应,会在很短时间出现金属疲劳损坏,目前支持该技术的高性能阀门只有美国Sporlan公司生产的XM系列产品(该产品无法从正常渠道进口)。爱佩科技售后服务 用户的满意是我们服务的宗旨,完善的售后服务使您解除一切后顾之忧,我们坚信一个好的企业卖出去的不仅仅是一台好的产品,更重要的是良好的服务。东莞市爱佩试验设备有限公司负责对本公司产品提供以下售后服务: 1.技术培训:操作使用、日常维护保养、常见故障检测和排除 2.定期回访:设备巡检,排除故障隐患,传递最新消息 3.备品、备件专项储备支持 4.售后服务部提供维修服务的快速响应 5.专职维修人员确保及时、有效地排除故障上海冷热冲击试验箱机械设备厂; 广州冷热冲击试验箱机械设备厂规格型号型号:AP-HX-100 工作室尺寸:450×450×500mm 外形尺寸:1150×900×1650mm型号:AP-HX--225 工作室尺寸:500×600×750mm 外形尺寸:1200×1100×1900mm 型号:AP-HX--500 工作室尺寸:800×700×900mm 外形尺寸:1350×1280×2200m 型号:AP-HX--800 工作室尺寸:800×1000×1000mm 外形尺寸:1450×1480×2300mm型号:AP-HX--010 工作室尺寸:1000×1000×1000mm 外形尺寸:1650×1480×2300mm上海冷热冲击试验箱机械设备厂; 广州冷热冲击试验箱机械设备厂符合标准本产品满足GB/T2423.1-2001 GB/T2423.3-1993 GB/T2423.2-2001等国家标准,以及其它相关标准的要求。上海冷热冲击试验箱机械设备厂; 广州冷热冲击试验箱机械设备厂箱体结构小型恒温恒湿试验箱箱体采用数控机床加工成型,造型美观大方、新颖并采 用无反作用把手,操作简便。箱体内胆采用进口高级不锈钢(SUS304)镜面板或304B氩弧焊制作而成,箱体外胆采用A3钢板喷塑。采用微电脑温度湿度控制器,控温控湿精确可靠。大型观测视窗附照明灯保持箱内明亮,且采用双层玻璃,随时清晰的观测箱内状况。设有独立限温报警系统,超过限制温度即自动中断,保证实验安全运行不发生意外。性能指标 温度范围:RT+10℃~100℃湿度范围 :20~98% RH波动/均匀度:≤±0.5℃ /±2℃温度偏差:+2%、-3%RH升温时间:室温~100℃约20min控制温度:±1℃ ±2%温湿度运行控制系统 控制器 进口微电脑湿温度集成控制器(温度直接显示百分数) 精度范围 设定精度:温度±0.1℃、湿度±0.1%RH,指示精度:温度± 0.1℃、温度±0.1%RH 温湿度传感器 铂铂金电阻PT100Ω 加热系统 完全独立系统,镍铬合金电加热式加热器 加湿系统 外置隔离式,全不锈钢锅炉式浅表面蒸发式加湿器 循环系统 耐温低噪音空调型电机,多叶式离心风轮 制冷优点上海冷热冲击试验箱机械设备厂; 广州冷热冲击试验箱机械设备厂统低温控制方式:制冷压缩机启停控制温度(温度波动大、严重影响压缩机寿命,已淘汰的技术)制冷压缩机恒定运行+加热PID控制(导致制冷量与加热相抵消实现温度动态平衡,浪费了大量的电能)新型PWM冷控制技术实现低温节能运行:低温工作状态,加热器不参与工作,通过PWM技术控制调节制冷机组制冷剂流量和流向,对制冷管道、冷旁通管道、热旁通管道三向流量调节,实现对工作室温度的自动恒定。此方式在低温工况下,可实现降低40%的能耗。该技术基于美国Sporlan公司定制型号的PWM控制阀:由于该技术通过电磁阀的频繁动作实现对各管道流量的调节,标准电磁阀不能适应,会在很短时间出现金属疲劳损坏,目前支持该技术的高性能阀门只有美国Sporlan公司生产的XM系列产品(该产品无法从正常渠道进口)。 上海冷热冲击试验箱机械设备厂; 广州冷热冲击试验箱机械设备厂规格型号型号:AP-HX-100 工作室尺寸:450×450×500mm 外形尺寸:1150×900×1650mm型号:AP-HX--225 工作室尺寸:500×600×750mm 外形尺寸:1200×1100×1900mm 型号:AP-HX--500 工作室尺寸:800×700×900mm 外形尺寸:1350×1280×2200m 型号:AP-HX--800 工作室尺寸:800×1000×1000mm 外形尺寸:1450×1480×2300mm型号:AP-HX--010 工作室尺寸:1000×1000×1000mm 外形尺寸:1650×1480×2300mm上海冷热冲击试验箱机械设备厂; 广州冷热冲击试验箱机械设备厂符合标准本产品满足GB/T2423.1-2001 GB/T2423.3-1993 GB/T2423.2-2001等国家标准,以及其它相关标准的要求。爱佩科技售后服务 用户的满意是我们服务的宗旨,完善的售后服务使您解除一切后顾之忧,我们坚信一个好的企业卖出去的不仅仅是一台好的产品,更重要的是良好的服务。东莞市爱佩试验设备有限公司负责对本公司产品提供以下售后服务: 1.技术培训:操作使用、日常维护保养、常见故障检测和排除 2.定期回访:设备巡检,排除故障隐患,传递最新消息 3.备品、备件专项储备支持 4.售后服务部提供维修服务的快速响应 5.专职维修人员确保及时、有效地排除故障

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  • 第三代半导体材料化学机械抛光(CMP)工艺的检测难点
    近年来随着5G通讯技术以及新能源汽车行业已成为当前投资热点,而5G基站和电动汽车都使用了功率半导体器件,开发出符合市场要求的功率半导体器件成了半导体行业的又一重要方向。以硅作为衬底的传统的半导体芯片因为材料本身的局限性已难满足要求,以碳化硅、氮化镓为代表的宽禁带第三代半导体材料具有击穿电场高、热导率高、电子饱和速率高、抗辐射能力强等优势,因此采用第三代半导体材料制备的半导体器件不仅能在更高的温度下稳定运行,适用于高电压、高频率场景,还能以较少的电能消耗,获得更高的运行能力。第三代半导体材料虽然具有很多优点,但是其加工难度也是极大的。以碳化硅为例,其硬度世界排名第三,莫氏硬度为13,仅次于钻石(15)和碳化硼(14);而且其化学稳定性高,几乎不与任何强酸或强碱发生反应。晶体碳化硅还需要通过机械加工整形、切片、研磨、抛光等化学机械抛光和清洗等工艺,才能成为器件制造前的衬底材料。化学机械抛光(CMP)化学机械抛光(或化学机械平坦化)通常是使用专用抛光机在晶圆表面用抛光垫不断地旋转抛光并在过程中添加抛光液磨料以获得平坦光滑的衬底表面的工艺。为了获得均匀平坦的晶圆衬底,厚度监测作为常用的评价手段之一。但是第三代半导体材料由于硬度高,化学机械抛光的效率比较低,部分材料抛光过程的厚度变化甚至低于数十纳米常规的位移计等监测手段已经无法达到要求,而因为材料的特殊性一般也不会使用接触式或者破坏式的测量手段。大塚电子的SF-3系列膜厚计通过光干涉法原理,对晶圆界面之间干涉光信号进行计算从而获得晶圆的厚度信息。SF-3膜厚计 光干涉法由于采用了光学测量原理,SF-3系列膜厚计具有极高的频率5KHZ,因而可以对晶圆厚度进行在线实时监控;同时具有高精度以及可以有效避免晶圆翘曲对结果的影响。晶圆厚度实测CMP抛光液CMP抛光液作为化学机械抛光的辅助耗材,起到研磨腐蚀等作用,近年来CMP抛光液的国产化程度正在逐步提高。CMP抛光液的主要成分包括水、研磨颗粒(二氧化硅、金刚石、氧化铈、氧化锆)、氧化剂、分散剂等。不同的工艺步骤和不同的产品对CMP抛光液产品有不同的要求,通过对CMP抛光液的粒径监测、zeta电位监测可以评价CMP抛光液是否符合工艺要求以及在存储运输过程当中的稳定性。大塚电子ELSZ-neo系列纳米粒度zeta电位仪对抛光液的粒径和zeta电位检测均有大量应用。 ELSZ-neo以下考察了CMP抛光液在不同PH值的zeta电位,并记录了不同磨料的等电点(zeta电位为零),根据抛光液的粒径和zeta电位可以选择最优的PH值从而获得稳定的产品。晶圆清洗在晶圆的研磨和化学机械抛光处理以后,需要对晶圆进行清洗以避免污染物的附着。一些晶圆的颗粒污染物数量要求少于10个,然而由于静电作用力,颗粒污染物与晶圆在特定的PH值环境下容易吸附,颗粒污染物通常来源于抛光液当中研磨颗粒的残留。因此,评价晶圆表面和颗粒污染物的电性对于清洗工艺有重要作用。Zeta电位(Zeta potential)作为衡量固体电性或液体的稳定性的主要指标,通常使用电泳光散射法进行测量,然而在测量固体表面zeta电位时必须要充分考虑电渗作用的影响。(1)样品池内的粒子的电泳以负电荷的粒子为例,理想状态下粒子无论在cell 的什么位置,都以相同的速度向正电极侧电气泳动。(2)样品池内的电渗流通常cell(材质:石英)带有负电荷。所以,正电荷的离子、离子聚集在cell壁面附近,施加电场的话,壁面附近 正离子会往负极方向移动。Cell中心部为了补偿这个流动,产生相反方向的对流,这种现象叫做电渗流。(3)样品池内可观测粒子的电泳粒子分散在溶媒中,cell内粒子电气泳动的外观是算上这个电渗的抛物线状的流动。为此、cell内电气浸透流的速度为零的位置,即在静止面进行测定可以得出真正粒子的电泳速度,从而得出真实的泽塔电位值。大塚电子的ELSZ系列纳米粒度zeta电位仪使用了森岡本电渗校正专利,充分考虑了材料的电渗对电泳速度的影响。另外专用的平板样品池可选用电荷为0的涂层,并且使用中性的观测粒子,在不同PH值下测量不必考虑观测粒子电性带来的影响。大尺寸的平板样品池,可适用不同规格的晶圆测量实测应用时,通常会对晶圆表面和CMP抛光液的zeta电位同时进行测量。以下图为例,分别测量了硅晶圆(蓝色)和污染物粒子(红色)的zeta电位,在PH=4~8.5之间,晶圆表面与污染粒子的电性相反,因而污染粒子会依附在晶圆表面难以去除。总结大塚电子自1970年以来一直专业研究光学检测技术,秉承「多様性」「独創性」「世界化」的理念,大塚的光散射以及光干涉制品一直在包括FPD行业、半导体行业、新材料行业等专业领域占据领先地位。凭借对光学技术的深耕,大塚将继续为过国内客户提供专业的设备以及服务。
  • 农业部农产品加工机械设备质检中心(沈阳)通过评审
    10月23至25日,农业部双认证评审组专家组对农业部农产品加工机械设备质量监督检验测试中心(沈阳)进行了为期3天的计量认证、检验机构审查认可考核,并通过了现场评审。   专家组在3天的考核期间,全面审核了质量体系运行情况,并就质量体系运行的符合性进行考核,专家组认真听取了中心主任几年来的工作情况汇报,实地察看了中心全部实验室、技术档案室、业务科室、仪器设备及样品库,查验了中心工作人员上岗证及考核培训记录,考核了中心全部在用仪器设备的检定、运行状态和管理情况,查阅了中心各类管理文件和技术档案,审查了该中心质量手册、程序文件、作业指导书,查阅了内审、管理评审等质量记录,抽查了部分原始记录和检验报告等相关技术文件资料 从中心人员中随机抽取9人进行标准化、计量、质量监督等法律、法规与中心管理知识的闭卷考试,召开了20人参加的座谈会。   经过技术资料审查和现场跟踪考评,评审组认为中心基本符合《实验室资质认定评审准则》和《农业部产品质量监督检验测试机构审查认可评审细则》,一致同意通过国家计量认证复查现场评审。
  • 中国科大实现飞秒激光复合材料加工多关节微机械
    近年来,飞秒激光双光子聚合技术作为一种具有纳米精度的真三维加工方式已被广泛应用于制造各种功能微结构,这些微结构在微纳光学,微传感器和微机器系统等领域展现出广阔的应用前景。然而,如何利用飞秒激光实现复合多材料加工,并进一步构建具有多模态的微纳机械仍极具挑战。鉴于此,中国科学技术大学微纳米工程实验室吴东教授团队提出了一种飞秒激光二合一写入多材料的加工策略,制造了由温敏水凝胶和金属纳米颗粒组成的微机械关节,随后开发出具有多种变形模式(10)的多关节人形微机械。该工作于7月17日以“Light-triggered multi-joint microactuator fabricated by two-in-one femtosecond laser writing”为题发表于Nature Communications。 图1. 受人类多关节变形启发,利用飞秒激光二合一多材料加工策略构建多关节人形微机械。   飞秒激光二合一加工策略包括使用不对称双光子聚合构建水凝胶关节以及在关节局部区域激光还原沉积银纳米颗粒(Ag NPs)(图1)。其中,非对称光聚合技术使水凝胶微关节局部区域的交联密度产生各向异性,最终使其可以实现方向和角度可控的弯曲变形。原位激光还原沉积可以在水凝胶关节上精确加工银纳米颗粒,这些银纳米颗粒具有很强的光热转换效应,使多关节微机械的模态切换表现出超短响应时间(30 ms)和超低驱动功率( 图3. 通过设计微关节的位置和变形方向,双关节微机械臂能够收集不同位置和方向的多个微货物。   辛晨博士和任中国博士为该工作的共同第一作者,通讯作者为吴东教授。论文的合作者还包括中科大的褚家如教授、胡衍雷教授、李家文副教授、香港中文大学的张立教授等。该项研究工作得到了国家自然科学基金、科技部国家重点研发计划等基金的支持。
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