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扫描电镜能谱原理

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  • 【分享】扫描电镜与能谱仪使用技巧培训

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  • 【培训】扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧

    http://www.rac.ceprei.com/dongtai_details.asp?category_id=55&news_Id=231扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧 2005-7-1 课程对象电子工艺工程师 品质工程师 管理工程师 质检人员师资介绍:施明哲, 高级工程师,二十多年来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。在电子光学和真空技术方面有丰富的工作经验,在会议和刊物上发表了十多篇专业水平较高的文章,并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。参与的科研工作曾多次获得所一等奖、二等奖;《VLSI失效分析技术》获国防科学技术二等奖。培训时间:05年9月12日~16日培训地点:电子五所院内培训费用:4000元/人.五天培训证书 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心培训证书课时安排:日期 时间 授课内容9月12日 9:00-12:00 扫描电镜理论学习 14:00-17:00 同上9月13日 8:30-12:00 同上 14:00-17:00 同上9月14日 8:30-12:00 扫描电镜演示与答疑 14:00-17:00 能谱仪理论学习9月15日 8:30-12:00 同上 14:00-17:00 同上9月16日 8:30-12:00 同上 14:00-17:00 能谱仪演示与答疑联系人:韩越,李华 电话:020-87236986 传真:020-87237185网址:www.rac.ceprei.com EMAIL: han@ceprei.com培训报名表单位名称 专业领域 参加课程 联系人工作部门/职位联系电话传真Email参加人数 备注 说明:1,请详细填写报名表格,发传真或Email给我们。2,收到您的报名表后,本中心客户代表会致电给您进一步确认培训细则。3,现场以现金或支票方式支付1)费用包括:培训费、资料费、证书费、午餐费2)时间安排 报到:9月12日上午8:00~8:304,食宿自理,需要在广州住宿的客户,我室可以帮忙联系酒店:电子五所招待所:020-87237064 标准双人间:168元/天. 普通三人间:118元/天.课程内容提纲 第一部分:扫描电镜第一章:扫描电镜1.1 慨论1.2扫描电镜原理1.3扫描电镜结构1.4扫描电镜的分辨率1.5扫描电镜图像的形成第二章:高分辨扫描电子显微镜2.1 场发射扫描电子显微镜2.2 SE和BSE之差做为信号的方式2.3 工作距离2.4 使用强磁物镜的方式第三章:扫描电子显微镜的实践3.1 扫描电子显微镜的操作3.2 扫描电子显微镜图像的毛病3.3 扫描电子显微镜的保养3.4 扫描电子显微镜的安装条件3.5 扫描电子显微镜的验收与维护3.6小结第四章:计算机图像演示第二部分:能谱分析第一章、引 言第二章、EDS系统的工作原理1.系统概述2.吸收和处理过程3.计数率的考虑4.谱仪的分辨率第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用1.萤光产额2.连续辐射的产生3.莫塞莱定律X射线定性分析4.X射线的吸收5.二次发射(萤光)第四章、X射线测量第五章、能量定性分析1.检出限2.探测器的效率3.空间分辨率3.谱仪分辨率4.伪峰(“artifact”peaks)5.定性分析结果的表示方法第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择1.加速电压2.电子源3.孔径光栏选择4.镜筒的合轴5.样品/探测器的几何条件第七章、定 量 分 析1.脉冲计数统计误差2.块状试样的定量分析第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤1.定性分析概述2.定量分析概述第九章、能谱失真与杂散幅射 1.谱峰的失真2.背底的失真3.杂散辐射第十章、能谱的验收与维护第三部分:实际操作

  • 【原创】扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧研讨班

    信息产业部电子第五研究所(中国赛宝实验室)将举办《扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧研讨班》。欢迎大家参加《扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧研讨班》课程对象电镜操作人员 电子元器件失效分析工程师 电子工艺工程师 品质工程师师资介绍:施明哲, 高级工程师,二十多年来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。在电子光学和真空技术方面有丰富的工作经验,在会议和刊物上发表了十多篇专业水平较高的文章,并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。参与的科研工作曾多次获得所一等奖、二等奖;《VLSI失效分析技术》获国防科学技术二等奖。培训时间:06年9月18日——22日培训地点:电子五所院内培训费用:4000元/人.五天培训证书 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心培训证书课时安排:日期时间授课内容9月18日9:00-12:00扫描电镜理论学习14:00-17:009月19日8:30-12:0014:00-17:009月20日8:30-12:00能谱仪理论学习14:00-17:009月21日8:30-12:0014:00-17:009月22日8:30-12:00扫描电镜/能谱仪演示与答疑14:00-17:00扫描电镜/能谱仪实际操作与典型照片讲解联系方式:联系人:韩越,李华 电话:020-87236986 传真:020-87237185网址:www.rac.ceprei.com EMAIL: han@ceprei.com培训报名表单位名称专业领域参加课程联系人工作部门/职位Email联系电话传真参加人数备注说明:1,请详细填写报名表格,发传真或Email给我们。2,收到您的报名表后,本中心客户代表会致电给您进一步确认培训细则。3,现场以现金或支票方式支付1)费用包括:培训费、资料费、证书费、午餐费,食宿自理。2)时间安排 报到:9月18日上午8:00—9:004,需要在五所招待所住宿的客户,可以联系:020-87237064,标准双人间:168元/天。课程内容提纲 第一部分:扫描电镜第一章:扫描电镜1.1 慨论1.2扫描电镜原理 1.3扫描电镜结构1.5扫描电镜的分辨率1.6扫描电镜图像的形成第二章:高分辨扫描电子显微镜2.1 场发射扫描电子显微镜2.2 SE和BSE之差做为信号的方式2.3 工作距离 2.4 使用强磁物镜的方式第三章:扫描电子显微镜的实践3.1 扫描电子显微镜的操作3.2 扫描电子显微镜图像的毛病3.3 扫描电子显微镜的保养3.4 扫描电子显微镜的安装条件3.5 扫描电子显微镜的验收与维护3.6小结第四章:计算机图像演示第二部分:能谱分析第一章、引 言第二章、EDS系统的工作原理1.系统概述2.吸收和处理过程3.计数率的考虑4.谱仪的分辨率第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用1.萤光产额2.连续辐射的产生3.莫塞莱定律 X射线定性分析4.X射线的吸收5.二次发射(萤光)第四章、X射线测量第五章、能量定性分析1.检出限2.探测器的效率3.空间分辨率3.谱仪分辨率4.伪峰(“artifact”peaks)5.定性分析结果的表示方法第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择1.加速电压2.电子源3.孔径光栏选择4.镜筒的合轴5.样品/探测器的几何条件第七章、定 量 分 析1.脉冲计数统计误差2.块状试样的定量分析: 第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤1.定性分析概述2.定量分析概述第九章、能谱失真与杂散幅射 1.谱峰的失真2.背底的失真3.杂散辐射第十章、能谱的验收与维护第三部分:实际操作

  • 扫描电镜能谱培训

    谁知道近期哪里有扫描电镜能谱培训的话 麻烦您给说一声 能有详细信息最好 谢谢了

  • 扫描电镜的特点结构及工作原理

    扫描电镜的特点结构及工作原理扫描电子显微镜的设计思想和工作原理,早在1935年便已被提出来了。1942年,英国首先制成一台实验室用的扫描电镜,但由于成像的分辨率很差,照相时间太长,所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力,尤其是随着电子工业技术水平的不断发展,到1956年开始生产商品扫描电镜。近数十年来,扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中,促进了各有关学科的发展。一.扫描电镜的特点和光学显微镜及透射电镜相比,扫描电镜具有以下特点:(一)能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。(二)样品制备过程简单,不用切成薄片。(三)样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。(四)景深大,图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍,比透射电镜大几十倍。(五)图象的放大范围广,分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍,它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间,可达3nm。(六)电子束对样品的损伤与污染程度较小。(七)在观察形貌的同时,还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。

  • 【原创】中国赛宝实验室~扫描电镜与能谱仪使用技巧培训

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  • 扫描电镜的性能对能谱有多大的影响?

    我们的扫描电镜性能不是很好,放大倍数不是很高,样品好的话5000倍吧。现在领导想赔个能谱,想了解一下电镜的性能对能谱影响大吗?配个好一些的能谱的话,能不能发挥出能谱的性能?谢谢!!

  • 【求助】有关扫描电镜及能谱的标准

    我们准备申请实验室认可项目,扫描电镜及能谱的标准好象很少,有一个GB/T 17359 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量通则,不知道通则可否作为申报项目?另外通则上面涉及了有标样测量,而我们用的能谱是EDAX公司生产的能谱,工程师说主要适合无标样测量,可是无标样测量之后C含量非常不准,给结果带来影响很大,是不是也要建立标样数据库呢?

  • 牛津能谱和扫描电镜联机故障

    日本电子的扫描电镜,因故障停了三个月,工程师更换了与真空控制相关的一块主板,电镜恢复正常,但配套的牛津能谱出现联机故障。一起动能谱软件就提示连接不上电镜样品台。已经测试过两台电脑的网卡都是好的,IP设置正确,也能ping通,就是连不上。能谱的工程师也没有办法。

  • 扫描电镜能谱仪采集图像出现异常

    扫描电镜能谱仪采集图像时出现条纹异常,但是电镜部分拍照正常[img=,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/08/202208302108181257_4148_5554141_3.png[/img]

  • EDAX能谱电脑和扫描电镜如何联动

    使用的EDAX能谱,突然发现在抓取照片是突然CPS为零了,也采集不了能谱信号。FEI扫描电镜软件发现控制失灵了一样。重启能谱电脑和设备,故障依旧。谁有遇到过吗?

  • 【求助】扫描电镜/能谱仪环境配置要求

    [color=#000080]请教各位,扫描电镜[font=Arial][font=Arial]/[/font][/font][color=navy]能谱仪[/color][font=Arial][font=Arial] SEM/EDS[/font][/font][color=navy]的[/color][/color][color=red][color=red]面积需求,环境配置要求,水、电、气要求等等,[color=#0021b0]帮忙提供一下,扫描电镜JEOL的,能谱仪OXFORD,十分感谢![/color][/color][/color]

  • 【已应助】扫描电镜技术及其应用>

    扫描电镜技术及其应用出版社:厦门大学 作 者:郭素枝 开 本:16开 ISBN:7561525192 页 数:169 出版日期:2006-02-01 第1版 第1次印刷 导 语 本书是作者根据多年来从事扫描电镜技术工作及制样技术的实践经验,并结合扫描电镜技术的最新进展和一些典型的应用实例,以及为研究生讲授《生物电子显微技术》和《仪器分析》课程中“扫描电镜技术及其应用”所用讲义的基础上编写而成的。作者认为,本书的出版可为应用扫描电镜技术研究的科研人员提供具有实用价值的参考资料,也可为各个学科的教学、科研人员参考使用。此外,本书还可作为研究生、本科生的教材。 目 录 第一章 扫描电镜概述第一节 发展背景一、光学显微镜的极限分辨率二、扫描电镜的研制历程第二节 扫描电镜的类型及其展望一、扫描电镜类型介绍二、展望第二章 扫描电镜的用途第一节 在生命学科中的应用一、植物学二、动物学三、医学四、占生物学五、考古学第二节 在其他基础学科中的应用一、材料学二、物理学三、化学第三节 在工业中的应用一、半导体工业二、陶瓷工业三、化学工业四、石油工业五、食品科学第三章 扫描电镜的工作原理和结构第一节 工作原理和主要结构一、工作原理二、主要结构第二节 扫描电镜成像原理和成像过程一、成像原理三、扫描电镜的特点第三节 影响扫描电镜图像形成和图像质量的因素一、影响图像形成的因素二、影响图像细节清晰的因素三、影响图像反差的因素第四章 扫描电镜的使用第一节 扫描电镜的操作一、电镜启动二、样品的安装三、观察条件的选择四、观察图像的操作方法第二节 扫描电镜图像常出现的质量问题一、产生的原因二、损伤三、污染四、放电第五章 扫描电镜微区成分分析技术第一节 概述第二节 X射线波谱分析一、波谱仪的基本原理和分析特点二、波谱仪的结构和工作原理三、检测中常见的问题四、X射线波谱的注释五、分析方法第三节 X射线能谱分析一、能谱仪的基本原理和分析特点二、能谱仪的结构和工作原理三、能谱仪的操作要点四、能谱仪伪峰的识别五、能谱MCS分析模式六、能谱仪和波谱仪的比较第四节 X射线荧光谱分析一、分析原理和分析特点二、在样品室中X射线源的结构三、分析条件的选择第五节 X射线成分分析技术的应用一、在生物学领域中的应用二、在材料科学中的应用三、特殊试样的应用第六节 扫描电镜成分分析技术的发展前景第六章 样品的常规制备方法第一节 对样品处理的要求一、研究样品表面要处理干净二、研究样品必须彻底干燥三、非导体样品的导电处理四、保护样品研究面五、要求标记物要有形态第二节 取样、清洗、固定一、取样二、粗样清洗三、样品固定第三节 脱水一、脱水剂二、脱水的原理与要求三、脱水方法第四节 干燥一、干燥要求二、干燥方法第五节 粘样一、粘样的目的二、粘贴样品的材料三、注意事项第六节 样品的导电处理一、金属镀膜法二、导电染色法第七章 扫描电镜的暗室技术第一节 暗室概况一、暗室设计与设备要求二、暗室的工作内容三、暗室技能四、暗室常用的药品及其性能、作用五、安全灯的选用和控制第二节 底片的冲洗工艺一、D-76和D-72显影液配方二、定影液配方三、显影与定影的原理四、胶卷的冲洗程序五、胶卷冲洗中常出现的问题六、冲洗胶卷时应注意的事项七、底片的保存及注意事项第三节 照片的冲洗工艺一、照片的冲洗程序二、正确曝光是保证照片质量的关键三、影响印放的正确曝光的因素四、影响显影效果的主要因素第四节 底片和照片缺陷的处理技术一、提高底片和照片的反差二、底片减薄三、底片加厚第五节 实验废液处理一、废液的收集二、废液的处理三、废液处理的注意事项第八章 扫描电镜图像计算机处理和储存技术第一节 计算机处理图像一、二次电子图像的计算机处理过程二、二维图像的计算机处理三、计算机进行图像的三维重构四、图像识别技术五、计算机的图像处理语言第二节 计算机储存图像一、计算机储存图像的特点二、全自动图像处理技术第九章 不同试样的制备方法介绍第一节 生物样品制备技术一、孢子的固定二、酵母的固定三、原生动物的固定四、植物组织的特殊固定方法五、单固定快速脱水法六、鱼类细胞单固定半程序微波辐射法七、贴壁培养细胞的单固定氯化金染色法八、血细胞制样方法九、血细胞E花环样品制备十、明胶膜收集游离细胞的制样方法十一、单细胞藻类的制样方法十二、菌落制样方法十三、细菌液体培养物制样方法十四、真菌熏蒸制样方法十五、酵母菌苯乙烯割断扫描电镜观察十六、原生质体的制样方法十七、染色体的制样方法十八、植物花粉粒的制备技术十九、叶表皮制样方法二十、木材立方体扫描样品制备技术二十一、植物材料的冷冻割断制备技术二十二、动物器官的制样技术二十三、线虫扫描电镜样品的制备二十四、池塘底泥中轮虫冬卵的扫描电镜观察二十五、鱼类耳石日轮超微结构的扫描电镜观察二十六、肾结石的扫描电镜观察二十七、扫描电镜连续观察长毛发的方法二十八、针插或乙醇浸泡标本的样品制作二十九、扫描电镜样品的导电法三十、包埋与非包埋切片的样品处理方法三十一、免疫扫描电镜方法第二节 非生物样品制备技术一、块状导电样品制备二、粉末样品制备三、土壤试样的制备四、显示三维物理结构的制样技术五、斜剖金相面技术六、蚀坑技术主要参考文献

  • 想买一台带能谱的扫描电镜

    我们公司是做电动工具的,需要经常做断口分析,想买一台带能谱的扫描电镜,正在做预算,大家有什么好推荐?价格大约是多少?

  • S-3400N灯丝扫描电镜做能谱分析时能谱探测器显示关闭

    我是一名学生,经过培训已经会熟练操作扫描电镜一些常用的操作。暑假老师让留下做实验,申请使用S-3400N灯丝扫描电镜,于7月31日是我最后一次操作,当天有拍图像及做能谱分析,我很确定这一天仪器没有任何异常。第二天回家了,于今天返校,结果实验室老师说今天开机做扫描想做能谱分析能谱探测器显示关闭,问工程师工程师也不清楚,说要过来检查机器才能确定。有大神知道是什么原因吗?扫描电镜可以拍照,但能谱仪探测器显示关闭。

  • 扫描电镜能谱测试常见入门问题浅析

    扫描电镜能谱测试常见入门问题浅析

    [size=16px][b]此为分享引用,所有权归原微信公众号,原文链接:[/b]https://mp.weixin.qq.com/s/fWhR_Woh2nbT0jEdYQoP4A[/size][align=center][size=16px][b]扫描电镜能谱测试常见入门问题浅析[/b][/size][/align][size=16px] 扫描电镜测试中,除了获得样品的微观表面形貌,经常还会使用到配置的能谱对样品进行元素分析。本短文结合理化中心扫描电镜配置的能谱,针对我校课题组测试中几个常见问题,为需要进行能谱分析的同学做个简单的解析。[/size][align=center][b][size=18px][color=#ff9900]1、能谱(EDS)是什么?[/color][/size][/b][/align][font=&][/font] [size=16px]扫描电镜中配置的能谱全称为能量色散谱仪(Energy Dispersive Spectroscopy,EDS),用于检测元素特征X射线能量。不同的元素其外层电子向内壳层空位跃迁时,释放出的X射线能量不同,即为特征X射线,因此可以根据特征X射线能量进行元素判定。以一张能谱图为例,横坐标为X射线能量,通过峰在横坐标中的数值与元素特征X射线进行匹配来判定为某种元素。纵坐标代表收集到的信号强度,根据信号强度通过算法来计算某元素的相对含量。如Fe存在K[/size][font=Arial, sans-serif][size=13px]α[/size][/font][size=16px]6.3996和L[/size][font=Arial, sans-serif][size=13px]α[/size][/font][size=16px]0.7048为主的两个能量的特征X射线峰。[/size][align=center][size=16px][img=,690,346]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111231646292764_7097_1613111_3.jpg!w690x346.jpg[/img][/size][/align][align=center][b][size=18px][color=#ff9900]2、打个能谱?[/color][/size][/b][/align][size=16px] 经常有同学会说:[/size][size=16px]“我的样品再顺道打个能谱。[/size][size=16px]”其实打个能谱并不是以为的那样的顺道和简单。[/size][size=16px]能[/size][size=16px]谱常用的测试分:[/size][size=16px]点、线和面三种方式,需要根据实际测试[/size][size=16px]的目的要求进行方式选择。[/size][size=16px] 点(Point&ID):某个点位置或者选择的区域内元素的定性/定量分析。[/size][align=center][size=16px][img=,690,243]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111231647044451_413_1613111_3.jpg!w690x243.jpg[/img][/size][/align][size=16px] 线(Linescan):通过曲线对两点之间元素相对含量高低变化的线展示。[/size][align=center][size=16px][img=,690,249]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111231647187090_7216_1613111_3.jpg!w690x249.jpg[/img][/size][/align][size=16px] 面(Mapping):通过颜色亮度对选择区域内元素相对含量高低对比的面展示。[/size][align=center][img=,690,270]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111231647311213_4281_1613111_3.jpg!w690x270.jpg[/img][/align][size=16px]因此“打个能谱”只是能说明需要用能谱这个设备,具体需要分析测试什么还是需要进一步明确的。理化中心扫描电镜配置的为牛津仪器的能谱,其软件Aztec。软件中点、线和面选项显示如下图:[/size][align=center][size=16px][img=,690,456]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111231647502564_2247_1613111_3.jpg!w690x456.jpg[/img][/size][/align][align=center][size=16px] [/size][/align][align=center][b][size=18px][color=#ff9900]3、要测什么元素?[/color][/size][/b][/align][size=16px] 在能谱测试前,一般都需要知道测什么目标元素,为什么要知道需要测什么元素呢?[/size][size=16px]这个主要是由于根据元素特征X射线能量强度来大概判断一下能谱测试条件以及可能需[/size][size=16px]要避免的重峰干扰误导。[/size][size=16px]例如需要测Fe元素,其主特征X射线峰Kα能量为6.3996,因此为激发出Kα线,因此电镜加速电压需高于此值,一般推荐加速电压为特征X射线[/size][size=16px]能量的2-3倍。[/size][size=16px]此外,有些化合物元素特征X射线能量接近,容易引起干扰误导。[/size][size=16px]如代表性的化合物硫化钼,S元素的Kα为2.3075,Mo元素的Lα为2.2932,两者非常接近,容易引起重峰干扰。[/size][size=16px]类似的常见元素Al(1.4866)和Br(Lα1.4805);[/size][size=16px]以及P(Kα2.0134),Zr(Lα2.0424)和Pt(Mα2.0485)。[/size][size=16px]一般能谱的电脑桌上都会有如下图展示不同元素特征X射线能量的鼠标垫,便于进行加速电压和重叠峰的判断。[/size] [align=center][img=,690,343]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111231648353646_4888_1613111_3.jpg!w690x343.jpg[/img][/align][align=center][b][size=18px][color=#ff9900]4、给出的相对含量准吗?[/color][/size][/b][/align][size=16px] 能谱的定量分析基于在特定条件下对收集到一定量的特征X射线信号进行某种算法处理,再与特定条件下标准品校正或者与软件自带的标准库进行校正计算。因此涉及到特定的测试条件、样品的要求、数据处理的算法以及标准校正,且目前针对原子序数在11以下的元素尚未有准确通用的算法,所以能谱的定量分析是相对比较复杂的问题。针对我校以如纳米颗粒、纳米薄膜、有机复合物等等各类科研样品,与能谱进行定量分析对样品的要求和算法存在一定的差异,因此提供的相对含量为参考值。[/size][align=center][b][size=18px][color=#ff9900]5、纳米颗粒和薄膜进行能谱分析需要注意什么?[/color][/size][/b] [/align][size=16px] 在利用扫描电镜对纳米颗粒和薄膜进行能谱分析时尤其需要注意加速电压的影响。[/size][size=16px]加速电压越高,入射电子的能量能越[/size][size=16px]高,在样品中可穿透和散射的范围越大,伴随着产生的X射线信号范围也越大。[/size][size=16px]如下图模拟,入射电子在1kV加速电压时,在硅中散射范围主要在20nm区域内;[/size][size=16px]在5kV时,散射的主要范围扩大到300nm区域,因此5kV时X射线可产生的范围从入射点扩大到数百纳米。[/size][size=16px][/size][align=center][img=,690,223]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111231650040545_4479_1613111_3.jpg!w690x223.jpg[/img][/align][size=16px]因此在对纳米颗粒和薄膜进行能谱分析时,需要考虑入射电子实际影响的区域范围,往往打的是某个点,但是由于样品小或者很薄,入射电子已经穿透样[/size][size=16px]品,载体或者衬底都已经被激发出X射线了。[/size][align=center][b][size=18px][color=#ff9900]6、能谱的分辨率为什么经常没有扫描电镜高?[/color][/size][/b][/align][size=16px] 我校从事纳米材料研究的课题组比较多,也经常用扫描电镜和能谱进行样品表征。[/size][size=16px]对于几十纳米的颗粒往往出现扫描电镜能拍得非常清晰,但为什么能谱却达不到扫描电镜的图片效果?[/size][size=16px]扫描电镜拍的形貌是二次电子成像,二次电子由于能量比较低,一般不超过50eV,主要是在样品表面10nm以内深度发射出来的,因此它能非常有效地显示样品的表面形貌。[/size][size=16px]能谱收集的是X射线,入射电子在样品内散射的范围都可以产生X射线,而X射线穿透能力非常强,因此能谱收集到的X射线来源于整个入射电子散射范围,因此对表面细节的分辨率低于二次电子。[/size][size=16px]其次,在利用扫描电镜对微观纳米材料进行相貌表征时,为获得好的表面细节分辨率,往往会采取尽量低的加速电压低的束流,而在进行能谱分析时,为激发出元素特征X射线以及保证一定的X射线信号强度,往往需要较高的加速电压和较大的束流,两者的增加均会进一步加大入射电子的散射范围,进一步降低能谱对表面细节的分辨率。[/size][align=center][size=12px][img=,690,571]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111231651245778_2996_1613111_3.jpg!w690x571.jpg[/img][/size][/align][size=16px] 对扫描电镜能谱分析感兴趣的同学可以观看曾毅老师在仪器信息网的网络讲堂视频-- X射线能谱技术研究[/size][size=16px]https://www.instrument.com.cn/webinar/video_103719.html,[/size][size=16px]或者参阅《扫描电镜与能谱仪分析技术》张大同编著,华南理工出版社。[/size]

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