泰曼格林干涉仪原理

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  • 1.北京中瑞祥密干涉仪 型号:ZRX-29217ZRX-29217仪器简介该干涉仪在迈克耳孙模式下可以观察干涉现象(如等倾干涉,等厚干涉,白光干涉等),细波长对比,确定零光程差,测量空气及薄片的折射率。在法布里-珀罗模式下可以观察多光束干涉,测量光谱的细结构(如钠双线波长差)。在泰曼-格林模式下可以演示透镜,棱镜,窗片等光学元件的缺陷。迈克耳孙,法布里-珀罗及泰曼-格林三种模式之间可以方便地转换,适合大学物理实验及其它等教育机构。可开实验迈克尔逊干涉仪实验1.1 获得干涉条纹 1.2 观察等倾干涉条纹 1.3 观察等厚干涉条纹 1.4 观察白光干涉条纹 1.5 测量He-Ne激光的波长 1.6 测量钠光的波长1.7 测钠黄双线的波长差1.8 测量空气折射率1.9 测透明介质的折射率法布里-珀罗干涉仪2.1 观察多光束干涉现象 2.2 测量He-Ne激光波长 2.3观察钠双线的干涉泰曼-格林干涉仪实验3.1 演示泰曼-格林干涉仪的原理2.北京中瑞祥便携式油烟检测仪 快速油烟检测仪 直读式油烟检测仪 型号:ZRX-29216ZRX-29216产品特点ZRX-29216型便携式(直读式)快速油烟检测仪可以在现场立即得到的油烟排放数据,快速方便,灵敏度,重复稳定性好,大大提了烹饪油烟的监测效率。该产品经过大量环境监测使用,反映良好。1. 能够实现真正意义上的现场实时检测,实时显示油烟排放实际浓度值,避免了其他方法监测周期长,费用,定量难度大等缺点2. 自动测量,检测度,数据重复性好,避免了现场环境或人为操作带来的影响3. 采样间隔可在2-15之间设定,仪器自动计算并显示油烟排放的平均值,大值,小值。4. 操作简单方便,只需按几个键即可成。经过数分钟的培训,监测人员即可立操作和实际使用5. 低的运行和维护费用6. 打印机(选配)7. 可检测其他各种非食用油油烟8 满足家环保《环境保护产品术要求 便携式饮食油烟检测仪》(HJ2526-2012)ZRX-29216适用范围1. 餐厅、饭馆、食堂等单位烹调油烟浓度的现场监测2. 检测油烟发生器性能和油烟净化器的净化效率3. 非食用油烟(如沥青烟,松香烟等)产生场所的有害烟雾浓度检测4. 其他有毒烟雾的监测ZRX-29216术参数油烟测量范围 (0~60)mg/m3 油烟度: ±0.2mg/m3(浓度≤4mg/m3);读数的±5%(当浓度4mg/m3) 分辨率 0.1 mg/m3 存储数据: 500组 预热时间: 3分钟 电源: AC 220V+10%,50Hz 耗: ≤200W 作环境: -20~50℃,湿度低于90% RH 主机尺寸及重量: 360×260×150 mm 重约3.5kg 采样探头尺寸及重量: 长800mm 重约3kg 3.北京中瑞祥粉体真密度测试仪 型号:ZRX-29215应用于:硫化橡胶、非泡沫塑料、炭素真密度、岩石、煤真密度、沥青焦真密度、普通磨料密度、颜料密度、固体和半固体石油沥青密度、颜料、水泥粉末、防火材料、陶瓷材料、天然石材、水煤浆密度、炭素材料真密度煮沸法、土壤真密度测试法、离子树脂湿真密度、离子树脂湿真密度、粉末真密度研究实验室。原理:根据GB/T533-A 、GB/T1033.1、 GB/T6155、GB/T23561、YB/T5300、JB/T7984.3、GB/T 1713、GB/T8929、GB/T1713、GB/T208、GB/T5071、QB/T1010、GB/T9966、GB/T18856 、GB/T24203、GB/T8330、SL-237等。应用阿基米得的浸渍体积置换法,配合比重瓶,准确的读取密度。测量范 0.001-120g密度度 0.0001g/cm3密度测量范围 0.0001-99.9999g/cm3测试时间 约60秒显示值 密度特点:1.直读何粉末,粉体的密度2.操作简单、度、重复性好.3.可温度补偿设定、溶液补偿设定,更人性化的操作、更符合现场作业需求4、具有密度上、下限能,可判定待测物的比重合格与否。设有蜂鸣器装置5. 具有RS-232C计算机接口,可轻易的连接PC和打印机5. 内置蓄电池,配置防风罩,更适合现场测试标准配件:①比重计主机②比重瓶③50CC烧杯④粉末勺子4.北京中瑞祥密闭式智能微波消解/萃取仪 型号:ZRX-29214术标率和频率:具有非脉冲式变频微波率调节能;微波大率;1000W;微波频率:2450MHz;★微波辐射炉腔:业级316L不锈钢炉腔体积,35L;炉腔内表面为6层PFA耐腐蚀涂层,寿命长、易清洁;★样品体积和数量:每个样品消解罐体积,100mL;可同时消解1-6个样品;★转盘旋转方式:单向连续快速旋转(2秒/圈),使每个罐位可以更均匀地接收微波能量。★温度监控方式:采用光纤温度传感器,实时监控样品溶液的真实温度,并显示温度变化曲线;★罐压力监控:设计的非接触压力传感器,实时扫描和监控所有消解罐内样品的真实压力,并显示压力变化曲线;温-压测量系统:测温范围: 0~300℃(±0.1℃)。测压范围,0~10MPa(± 0.01MPa);压消解罐:外罐为口强度纤维复合PEEK材料,内罐为口改性聚四氟乙烯耐压≥15MPa,耐温≥300℃;作温度:室温-250℃,作压力范围:0-6Mpa。★安炉门设计:炉门具有双重微波屏蔽机构,炉门锁定自检装置,保障操作者免受微波辐射;炉门采用缓冲铰链设计,程度提炉腔的寿命和使用安。★多重安保障措施:仪器设有多达10种主动和被动安保护能,包括业级强度炉腔以及缓冲式防安门设计、炉门联动开关、样品压力实时监控和保护、压报警限制、异响探测、故障自检报警及内配两个大风量强力离心排风机,排风量5.8m3/min,避免仪器和操作者受有害气体影响等。作模式:1)可意编写、修改和存储256种消解方法;2)每种方法可设10个消解阶段;3)内置自动冷却模式,终止冷却条件可调; 智能化控制:触摸屏操作,直观、简便;7"大屏幕实时显示各种作参数和状态(如温度和压力变化曲线等)。电源:220V AC,50-60Hz;率:1500W★表示仪器的性能标5.北京中瑞祥电脑多能频计 频率计 型号:ZRX-29213ZRX-29213型电脑多能频计是种以8031单片机为主体的新型智能化仪表,它具有频率计和信号发生器双重能,且带频率~电压的模拟信号输出(采用12位D/A转换芯片),能机多用。因采用测试周期的方法,它具有响应速度快、度、操作简单、使用方便等特点,适用于确测量频频率和需要度稳定的频信号的何场所,特别适用于水电站水轮机调速器的各种试验。ZRX-29213能介绍 测量输入信号的频率并显示,确度为0.001HZ,记忆输入信号频率的值(和)并显示,显示器是采用六个数码管,同时对输入频率信号行频率~电压(F~V)转换,由D/A线性输出0~10V的电压;测频同时也可作信号发生器,由信号输出端子发出7.629~99.999HZ的信号,显示还是利用六个数码管。每次频率改变可以是0.001HZ,也可以意设定每次改变0.1~5.0HZ,同时专门为测量调速器死区开辟了档能,以便于测调速器死区。6.北京中瑞祥测振仪 振动检测仪 型号:ZRX-29212ZRX-29212便携式测振仪采用压电式加速度传感器,将振动信号转换成电信号。通过对输入信号的处理分析,获得振动测量的加速度峰值、速度有效值(均方根值)、位移峰-峰值或实时频谱图。本产品适用于常规振动测量,尤其是往复式机械中的振动测量,它不仅可以测量振动的加速度、速度或位移,而且还可以行简易故障诊断和打印输出。ZRX-29212术性能符合我家标准GB13823.3中正弦激励法振动标准的要求。它广泛地应用于机械制、电力、冶金、车辆等域。ZRX-29212术参数:振动测量范围加速度:0.1 m/s2 ~ 205.6 m/s2(峰值)速 度:0.1 mm/s ~ 400.0 mm/s(有效值)位 移:0.001 mm ~ 9.000 mm(峰-峰值)频率范围10Hz ~ 200Hz10Hz ~ 500Hz10Hz ~ 1kHz10Hz ~ 10kHz振动测量允许误差±5%分析频率间隔0.25Hz转速测量范围30 ~ 300000 rpm(5 ~ 5kHz)转速测量允许误差±(0.05% + 1)转速测量距离0.15 ~ 1m温度范围0℃~40℃湿度范围≤80%RH显示TFT彩色液晶屏,320 × 200像素存储容量800组数据和100幅频谱图(100个测量点)上位机软件选配通讯Mini USB外型尺寸212 × 80 × 35打印能嵌入式热敏打印机,随测随打电池续航1500mAh性能锂离子充电电池,持续作50小时整机重量320克7.北京中瑞祥自动固相萃取仪 型号:ZRX-29211 、仪器介绍: ZRX-29211自动固相萃取仪可应用于各类食品安检测、农产品残留监控、药卫生、环境保护、商品检验、自来水及化生产实验室。在样品处理过程中,以自动方式确控制各种溶液的过柱流速,同时具有正压洗脱、大体积连续样和定时能,确保目标分析物质的回收率和纯度,降低相对偏差,避免样品之间的交叉污染,可同时行多个样品的处理,步提作效率,操作、维护十分简便。二、ZRX-29211术参数: 1.通道数:8 通道(可拓展到 16 通道)2.设定时间:99′59″3.转速:0.1-100rpm4.流速:0.01-16.10ml/min5.电源:220V/50Hz6.率:150W7.重量:20kg三、ZRX-29211仪器特点: 1、单道流速 0.01~16.10ml/min,支持大体积样和正压洗脱,避免交叉污染;2、无级自动操作、大屏幕液晶显示、触摸屏与按键兼容操作、人体程力学设计;3、机箱磷化和多层环氧树脂喷涂处理;体化仪器组成使操作更简单快捷;4、配有萃取作软件模块 多种输出方式,可选配连接电脑操作;5、多通道,小柱接头耐酸、碱、有机溶剂、氧化剂腐蚀;6、电机采用度自动术,低耗能,确控速;7、自动泵管采用美原装长寿命管材;8、操作简单,单人操作可同时行 1~8 个样品的处理,且每条通道都可以通过标号简单对接,大提作效率;可拓展到 16 通道;9、萃取速度致性好、控制调整方便;密封性好,稳定性强;10、人性化设计,每条通道都可以通过标记简单对接;11、设计的多能接头,同个接头可适用于各 1ml、3ml、6ml、12ml 等多规格的固相萃取柱;12、专家系统方案,程度的减少客户的使用难度;13、作模式可意选择(流量模式、液量分配模式、时间分配模式等)各种分配模式预存五组分配参数。 四、ZRX-29211产品应用: 1.农残分析:蔬菜、水果、谷物、植物组织等 2.制药药检:中药制药和药检 ;3.环境分析:饮用水、地下水、污染水等;4.生物分析:血清、血浆、血液、尿液 ;5.商品检验:检验二恶英、克罗夫特等 6.食品饮料:牛奶、酒、液体饮料等 7.公安商检等 五、ZRX-29211标准配置:1、主机台;2、耐腐蚀洗脱样品架(24 道)1 套3、耐腐蚀萃取支架(8 通道)1 套4、备用小柱接头 2 个5、设计多能洗脱/大容量导流接头 1 包(8 支);6、备用手紧螺丝 2 个;7、500ml 方形 HDPE 试剂瓶 2 个; 8、绿色耐温耐腐蚀废液管 1 包(8 条);9、测试固相萃取小柱 1 包(2 支);8.北京中瑞祥橡胶低温脆性试验机(单试样法) 型号:ZRX-29210、ZRX-29210橡胶低温脆性试验机(单试样法)用途ZRX-29210型单试样法橡胶低温脆性测定仪是测定硫化橡胶在规定条件下试样受冲击出现破坏时的温度,即为脆性温度,可以对非硬质塑料及其他弹性材料在低温条件下的使用性能作性鉴定。可以测定不同橡胶材料或不同配方的硫化橡胶的脆性温度和低温性能的优劣。因此无论在科学研究材料及其制品的质量检验,生产过程的控制等方面均是不可缺少的。本仪器是根据GB/T1682-2014家标准设计的,研制开发的压缩机制冷设备。本设备采用复叠式压缩机制冷术,利用热平衡原理及循环搅拌方式,达到对试样的自动均匀冷却、恒温。严格采用标准规定的弹簧冲击装置,非市场上气动冲击机型。二、ZRX-29210橡胶低温脆性试验机(单试样法)术参数1、试验温度:-70℃—0℃2、冲击方式:弹簧冲击 3、降温速度: 0℃ ~ -20℃ 1.2℃/min-20℃ ~ -30℃ 1.0℃/min-30℃ ~ -60℃ 0.7℃/min-40℃ ~ -60℃ 约0.7℃/min-60℃ ~ -70℃ 约0.5℃/min (-70℃机型)4、冲击器中心到夹持器下端距离:11±0.5mm 5、恒温后,试验3min时间内温度波动:<±0.5℃6、外形尺寸:900×505×800mm(长××宽)7、作室外形尺寸:220×170×70mm(长××宽)8、冷却介质:乙醇或其他不冻液9、搅拌电机:8W10、作电源220V~240V,50Hz,1.5kW三、ZRX-29210橡胶低温脆性试验机(单试样法)结构原理1、本设备由制冷压缩机主机体、加热装置、电子控制箱、冷却槽、冷却介质循环系统、自动报警装置等分组成2、升降夹持器升降夹持器由带有夹持器的气缸和气缸座组成。从试样受冲击位,到夹持器下端的距离为11.0±0.5mm。3、冲击装置冲击装置由弹簧冲击器和复位气缸组成。4、冲击器冲击器头形状和尺寸。如图2所示。冲击器的重量为200±20g,其作行程为40±1mm。冲击气缸在复位状态下,冲击器端到试样的距离为25±1mm。四、ZRX-29210橡胶低温脆性试验机(单试样法)使用方法1、向冷井中注入冷冻介质(般为业乙醇),其注入量应保证夹持器的下端到液面的距离为75±10mm。2、接通电源,温控仪和计时器显示灯亮。按下搅拌、制冷开关,按照试验要求设定所需温度值,然后压缩机开始制冷,待温度降到所需温度值时,机器会有音乐提醒。3、将试样垂直夹在夹持器上。夹的不宜过紧或过松,以防止试样变形或脱落。4、按下试验按钮,夹持器将试样伸入冷井中开始冷冻试样,同时启动时序控制开关(或按动秒表)计时。试样冷冻时间规定为3.0±0.5min。试样冷冻期间,冷冻介质温度波动不得过±1℃。5、待冷冻时间结束时,气缸自动提起升降夹持器,并使冲击器在半秒钟内冲击试样。6、取下试样,将试样按冲击方向弯曲成180°,仔细观察有无破坏。7、试样经冲击后(每个试样只准冲击次),如出现破坏时,应提冷冻介质的温度,否则降低其温度,继续行试验。通过反复试验,确定至少有两个试样不破坏的温度和至少个试样破坏的温度,如这两个结果相差不大于1℃时,即试验结束。五、ZRX-29210橡胶低温脆性试验机(单试样法)试验标准1、规格试样的长为25.0±0.5mm,宽为6.0±0.5mm,厚为2.0±0.3mm。2、要求试样的表面应光滑,无外来杂质及损伤。成品应经打磨后裁制成相应尺寸。9.北京中瑞祥橡塑低温脆性试验机(多试样法) 型号:ZRX-29209、ZRX-29209橡塑低温脆性试验机(多试样法)用途橡塑低温脆性试验机是测定橡胶、塑料在规定条件下试样受冲击出现破坏时的温度,即为脆性温度,可以对非硬质塑料及其他弹性材料在低温条件下的使用性能作性鉴定、温度和低温性能的优劣。因此无论在科学研究材料及生产过程的控制等方面均是不可缺少的。本仪器是根据GB/T 15256和GB/T5470家标准设计的,研制开发的压缩机制冷设备。本设备采用复叠式压缩机制冷术,利用热平衡原理及循环搅拌方式,达到对试样的自动均匀冷却、恒温。二、ZRX-29209橡塑低温脆性试验机(多试样法)术参数1、控温范围: -70℃(室温≤25℃)2、降温速度: 0℃ ~ -20℃ 1.2℃/min-20℃ ~ -30℃ 1.0℃/min-30℃ ~ -60℃ 0.7℃/min-40℃ ~ -60℃ 约0.7℃/min-60℃ ~ -70℃ 约0.5℃/min (-70℃机型)注:使用环境在室温(23—25℃)下使用,作时保持压缩机散温效果,可将侧门打开。3、恒温后,试验3min时间内温度波动:<±0.5℃4、外形尺寸:900×505×800mm(长×宽×)5、作室外形尺寸:220×170×70mm(长×宽×) 6、冷却介质:乙醇或其他不冻液7、搅拌电机:15W8、作电源220V~240V,50Hz,2kW三、ZRX-29209橡塑低温脆性试验机(多试样法)结构原理1、本设备由制冷压缩机主机体、加热装置、电子控制箱、冷却槽、冷却介质循环系统、自动报警装置等分组成。启动制冷开关后,压缩机开始作,制冷系统入正式作状态。制冷压缩机连续不断的作,当接近设定温度时,冷却槽中的加热装置开始按比例提供热量,用以平衡制冷系统产生的多余冷量,以达到恒温的目的。搅拌可使冷却槽内的冷却介质不断循环,使温度均匀致。2、试样夹持器橡胶类:A试样每次可夹持5个,般不过4个;塑料类:A试样每次可夹持15个,B试样每次可夹持5个。3、冲击装置冲击装置由冲击锤和自锁机构组成。4、冲击器4.1橡胶类a) 冲击头半径为1.6±0.1mm;b) 冲击时,冲击头和试样夹持器之间间隙为6.4±0.3mm;c) 冲击头的中心线与试样夹持器之间的距离为8±0.3mm。4.2塑料类4.2.1 A试样: a)冲头半径为1.6±0.1mm; b)钳口半径为4.0±0.1mm; c) 冲头中心线与夹具间隙为3.6±0.1mm; d)冲头的外侧与夹具间隙为2.0±0.1mm4.2.2 B试样: a)冲头半径为1.6±0.1mm; b)冲头中心线与夹具间隙为7.87±0.25mm; c) 冲头的外侧与夹具间隙为6.35±0.25mm四、ZRX-29209橡塑低温脆性试验机(多试样法)使用方法4.1向冷井中注入冷冻介质(般为业乙醇),其注入量应保证夹持器的下端到液面的距离为75±10mm。4.2接通电源,温控仪和计时器显示灯亮。4.3将试样垂直夹在夹持器上。夹的不宜过紧或过松,以防止试样变形或脱落。4.4待温度达到设定值时,按下夹持器,开始冷冻试样,待温度稳定后,机器会自动启动时序控制开关(或按动秒表)计时。试样冷冻时间规定为橡胶类5.0±0.5min ,塑料类3.0±0.5min。试样冷冻期间,冷冻介质温度波动不得过±1℃。4.5拉动冲击拉手,使冲击器在半秒钟内冲击试样。4.6取下试样,将试样按冲击方向弯曲成180°,仔细观察有无破坏。4.7试样经冲击后(每个试样只准冲击次),如出现破坏时,应提冷冻介质的温度,否则降低其温度,继续行试验。通过反复试验,确定至少有两个试样不破坏的温度和至少温度,如这两个结果相差不大于1℃时,即试验结束。五、ZRX-29209橡塑低温脆性试验机(多试样法)试样标准5.1规格5.1.1橡胶类试样的长为25.0±0.5mm,宽为6.0±1mm,厚为2.0±0.2mm。5.1.2塑料类A:试样的长为20.0±0.25mm,宽为2.5±0.1mm,厚为2.0±0.1mm。B:试样的长为31.75±6.35mm,宽为6.35±0.51mm,厚为1.91±0.13mm5.2要求试样的表面应光滑,无外来杂质及损伤。成品应经模压制取或打磨后裁制成相应尺寸。10.北京中瑞祥甲醛检测仪 型号:ZRX-29207ZRX-29207甲醛检测仪,采用电化学法检测空气中甲醛浓度,仪器内置电化学传感器、内泵,当开启采样泵时,气体被吸入传感器中,甲醛传感器对空气中甲醛敏感,通过仪器显示屏数字甲醛浓度。操作简单、快速、几分钟就能成空气中甲醛浓度的测量应用范围:疗卫生和消毒中西药品农业熏蒸涂料和纸纺织印染生产建筑管理空调系统的管理环境和公共卫生机构产品特点以ppm和mg/m3位单位显示甲醛浓度不受湿度和温度影响,具备湿度及温度补偿能。套配置包括支甲醛校正源(有效期半年)和操作手册,只需数秒钟就能成校准程序。需按个键就能快速采样,并且迅速恢复到正常浓度ZRX-29207甲醛检测仪仪器规格采样方法:通过内置泵,采集 10ml空气样品采样频率:1-3分钟(取决于之前采集的样品)响应时间:低浓度大约8秒,浓度大约60秒体积 /重量:150×80×34mm / 270g含电池ZRX-29207甲醛检测仪甲醛传感器传感器:PPM公司自行研发电化学原理量程:0~10ppm;0~12.3mg/m3(标况下)分辨率:0.01ppm度:2%准确性:当甲醛浓度大于0.3ppm且湿度在25~70%的范围内时,94%的数据符合NIOSH的数据要求。校准:用户使用校准装置校准或返回厂家校准ZRX-29207甲醛检测仪温度和湿度模块类型:数字互换CMOSent术量程:-40~128摄氏度,0~相对湿度度:±0.4摄氏度,±3%相对湿度(可升级至±0.3摄氏度,±1.8%相对湿度)校准:厂家通过ISO/IEC17025行校准,通过家标准术研究所和家物理实验室认证。
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  • 法布里珀罗干涉仪 FPI 法布里珀罗干涉仪(Fabry-Perot Interferometer,FPI 100)是一款共聚焦扫描 FPI,它自带光电探测器单元,设计用于测量和控制连续波激光器的模场分布。其主要特点有: 激光模式分析简单方便可选八种反射镜用于波长范围 300 到 3000 纳米自由光谱范围 1GHz 或 4GHz标准反射镜反射率 99.8%,对应 finesse 大于 400可选配光纤耦合器套件 – 方便使用 FC/APC 光纤接头进行耦合光电二极管更换套件 – 可见光/近红外/红外,通过内置聚焦透镜自动对准用户规定 finesse 值扫描选项 – 集成光电二极管放大器的独立扫描发生器 miniScan 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商,致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域,可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有:微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态(脉冲)激光波前畸变检测干涉仪(用于流场、波前等分析)、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器,量子级联激光器,微型光谱仪,光机械,Oceanoptics,Thorlabs 。。。热线电话: / 传真:网址: /邮箱:
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  • 全光谱干涉仪 400-860-5168转3912
    武汉东隆科技为意大利米兰NIREOS的中国区独家代理,欢迎您来电垂询!GEMINI是一款新颖的紧凑型干涉仪,入射光所产生的两束复制光之间具有极高的稳定性。其卓越的性能可以被应用于许多科研领域,比如时间/频率分辨荧光探测,相干拉曼光谱,泵浦探针,二维光谱以及单分子的研究。主要特点高光通量,高灵敏度(1cm通光孔径,没有任何光栅或输入/输出孔径狭缝)宽光谱范围:标准版400-2300nm、超宽带版250-3500nm≈1阿秒稳定性(对两束复制光)自定义扫描范围对振动不敏感尺寸紧凑(176 x 44 x 54.5mm)轻便(≈400g)应用领域:干涉测量 激光对产生GEMINI在探测端时间/频率分辨荧光泵浦探针光谱相干拉曼光谱GEMINI在激发端单分子表现特征 和TCSPC探测器组成的时间/频率分辨荧光系统实验配置:GEMINI干涉仪放置于和TCSPC连接的单光子探测器之前,可以在保证时间分辨的同时获得荧光的波长信息。 相干拉曼(受激拉曼散射)和泵浦探针光谱实验配置:GEMINI干涉仪置于探针/斯托克斯光束入射样品后方,可以测量受激拉曼散射和MHz调制频率的泵浦探针光谱。单分子激发-发射图GEMINI干涉仪可以在短时间内以异常高的精确度和灵敏度获得单分子的特征描述 技术规格UV-SWIRVIS-MIDIR光谱范围200-3500nm500-5000nm延时稳定性小于1阿秒运行模式阶跃扫描或连续扫描尺寸10×8×8cm重量750g 武汉东隆科技为意大利米兰NIREOS的中国区独家代理,欢迎您来电垂询!
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    白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一,在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜,在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域,除了[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][b][color=#333333]白光干涉仪[/color][/b][/url],其它的仪器无法达到其测量精度要求。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803076710554.jpg[/img][/align][align=center]中图仪器SuperView W1白光干涉仪[/align]白光干涉仪测量原理:  白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光,分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光,并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉,在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差,根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/5/201905302500097.jpg[/img][/align]白光干涉仪的测量应用:  以测量单刻线台阶为倒,在检查仪器的各线路接头都准确插到对应插孔后,开启仪器电源开关,启动计算机,将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置,先手动调整载物台大概位置,对准白光干涉仪目镜的下方。  在计算机上打开白光干涉仪测量软件,在软件界面上设置好目镜下行的最低点,再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离,调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳,此时设置好要扫描的距离。按开始按钮,白光干涉仪可自动进行扫描测量,测量完成后,转件自动生成3D图像,测量人员可以对3D图像进行数据分析,获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/5/201905303281565.png[/img][/align]  白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。白光干涉仪独有的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

  • 激光干涉仪测量五轴机床平移轴直线度误差的应用原理

    激光干涉仪测量五轴机床平移轴直线度误差的应用原理

    激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。[align=center][img=,578,450]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/11/201911201754505855_5264_3712_3.jpg!w578x450.jpg[/img][/align]  激光干涉仪最典型的应用就是测量机床精度,本文讲解如何使用激光干涉仪测量五轴机床平移轴直线度误差。  对于平移轴而言,每根轴均有两个直线度误差,因此三根轴有六个直线度误差,均可采用激光干涉仪分别测得。  原理:带有圆孔的是直线度干涉镜,其与待测轴相连一同运动;长条镜是直线度反射镜静止安装,其是对称结构,上下左右均对称。当一束激光从源头发出射入干涉镜,干涉镜将光束分成两束,形成一个很小的角度分别去往反射镜,由于反射镜上下对称,因此两束光被反射后又回到干涉镜,汇合成一股光束,去往激光头的探测器。当运动轴产生直线度误差时,会使得干涉镜相对于反射镜在水平横向方向发生相对运动,而反射镜是左右对称的(左右的镜片不在同一平面,有一定的角度),因此会使得两束分开的光束光程具有差别,根据此差别,即可测得运动轴产生的直线度误差。[align=center][img=,678,333]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/11/201911201755021895_7221_3712_3.jpg!w678x333.jpg[/img][/align][align=center]▲ 直线度测量的光路原理构建图[/align][align=center][img=,678,367]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/11/201911201755111914_6482_3712_3.jpg!w678x367.jpg[/img][/align][align=center]▲ 运动轴的横向直线度测量示意图[/align][align=center][img=,678,367]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/11/201911201755345695_9383_3712_3.jpg!w678x367.jpg[/img][/align][align=center]▲ 运动轴的纵向直线度测量示意图[/align]  根据直线度误差测量原理可知,测量过程中不可避免的会引入斜率误差。该误差是由于测量直线度反射镜的光学轴线最初与待测轴不平行,为调整平行而引起的。如图 所示,A 为干涉镜和反射镜的距离,B 为激光头到干涉镜的距离(其中干涉镜是固定在运动轴上的)。在一开始,反射镜的光学轴线处于旋转前的位置,而由于机床运动轴与其之间存在的夹角θ,[img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910173125514.jpg[/img][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910177031118.png[/img][/align]  因为斜率误差是稳定误差,因此可以采取上述的公式将其从直线度测量结果中分离出来,亦可以采用两端法拟合或者最小二乘法拟合将其分离出去。  两端法拟合:即是将所有采集来的数据第一点和最后一点相连决定一直线,再将所有采集来的数据去除掉拟合的直线信息,由此得出的残值即为直线度误差。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910170000002.png[/img][/align]最小二乘法拟合:将采集回来的所有数据通过最小化误差的平方和方式来寻找数据的最佳函数匹配,而后将采集值与匹配函数对应值相比较,剩余的残值即为直线度误差。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910171562522.png[/img][/align]附:SJ6000激光干涉仪直线度测量精度。[table][tr][td][align=center]轴向量程[/align][/td][td][align=center]测量范围[/align][/td][td][align=center]测量精度[/align][/td][td][align=center]分辨力[/align][/td][/tr][tr][td][align=center]短距离[/align][/td][td][align=center](0.1~4.0)m[/align][/td][td][align=center]±3mm[/align][/td][td][align=center]±(0.5+0.25%R+0.15M[size=12px]2[/size]) μm[/align][/td][td][align=center]0.01μm[/align][/td][/tr][tr][td][align=center]长距离[/align][/td][td][align=center](1.0~20.0)m[/align][/td][td][align=center]±3mm[/align][/td][td][align=center]±(5.0+2.5%R+0.015M[size=12px]2[/size]) μm[/align][/td][td][align=center]0.1μm[/align][/td][/tr][tr][td=5,1]注:R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m[/td][/tr][/table]

泰曼格林干涉仪原理相关的耗材

  • 全光纤麦克尔逊干涉仪MFI
    全光纤迈克逊干涉仪-MFI Michelson Fiber Interferometer产品介绍:量青光电提供的美国Optiphase公司全光纤迈克逊干涉仪(Fiber Michelson Interferometer)不但可以用来作为精密的测试测量仪器,还可以应用在精密的干涉传感系统。光纤干涉仪内部采用PZ1小尺寸光纤拉伸器(参见 PZ1光纤拉伸器产品资料),内置的PZT通过前面板的BNC连接器驱动。全 光纤迈克逊干涉仪标准产品的工作波长从1064nm到1550nm。每个光纤干涉仪都具有“零米”光路偏差的设计,用于方便用户根据不同的测试应用来改变 光路延迟长度。标准产品的延迟光纤长度为50米,我们能够根据用户的实际要求提供各种定制的光纤干涉仪,请联系我们的销售人员.产品参数:参数单位指标产品型号MFI-10-50MFI-13-50MFI-15-50工作波长nm106413101550调制常数rad/V2.52.01.6两臂光路失配长度(无延迟)m0m0m0m两臂光路失陪长度偏差cm+/-10cm+/-10cm+/-10cm调制器接口BNCBNCBNC光纤类型HI-1060(或指定)SMF-28eSMF-28e光路接口FC/APCFC/APC FC/APC最大功率承受能力mW250250250封装尺寸(长x宽x高)mm260x160x90260x160x90260x160x90重量kg~2.7~2.7~2.7可定制的延迟范围m0.5m ~1000m标准产品的延迟长度m50光纤连接器FC/APC产品应用:激光器相位噪声测试激光器频率噪声测试干涉型光纤传感系统模拟科研实验室应用应用列举:1. 激光器相位/频率噪声测试(1)被测试的激光器经过衰减器后输入到光纤干涉仪,干涉仪的光路失配(光路差)可以由用户选择采用或者控制延迟线圈(延迟线圈)来设定。OPD-4000解调输 出电压应用到PZ1光纤拉伸器的BNC接口上,作为PZ1光纤拉伸器的驱动电压。OPD-4000的相位解调输出可以选择数字信号输出或者模拟信号输出, 数字信号输出通过PC进行后续处理,模拟信号通过信号分析仪进行分析。2. 激光器相位/频率噪声测试(2)被测试的激光器经过衰减器后输入到光纤干涉仪,干涉仪的光路失配(光路差)可以由用户选择采用或者控制延迟线圈(延迟线圈)来设定。通过为PZ1型光纤拉伸 器BNC接口提供控制电压保持其处于正交偏置(Quadrature Bias)。输出光信号由光接收机接收处理,输出信号进一步处理。3.光纤干涉仪传感器模拟(3)输入光信号代表干涉型光纤传感器的光源。选择合适的延迟光纤线圈,延迟长度作为需要模拟的传感器的长度。输出光信号通过光接收器件到信号分析仪进行处理分析。订货信息:MFI-10-50: 1064nm光纤迈克逊干涉仪MFI-13-50: 1310nm光纤迈克逊干涉仪MFI-15-50: 1550nm光纤迈克逊干涉仪
  • 850nm VCSEL激光器_干涉仪激光器
    852±1/ ±10 nm single-mode VCSEL850nmVCSEL激光器适用于干涉仪检测,VSEL激光器拥有价格低廉,线宽很窄以及可调波长范围宽的优势。在各类激光器中出类拔萃深受全球客户的青睐
  • 中红外法布里-珀罗F-P干涉仪( F-P标准具/多光束干涉仪 2.5-14um)
    总览法布里-珀罗干涉仪(英文:Fabry–Pérot interferometer),是一种由两块平行的玻璃板组成的多光束干涉仪。其中两块玻璃板相对的内表面都具有高反射率。当两块玻璃板间用固定长度的空心间隔物来间隔固定时,它也被称作法布里-珀罗标准具或直接简称为标准具。F-P(法布里-珀罗)标准具因为平板反射率高,多光束等倾斜干涉条纹极窄,所以是一种高分辨率的光谱仪器。可用于高分辨光谱学,和研究波长非常靠近的谱线,诸如元素的同位素光谱、光谱的超精细结构、光散射时微小的频移,原子移动引起的谱线多普勒位移,和谱线内部的结构形状;也可用作高分辨光学滤波器、构造精密波长计;在激光系统中它经常用于腔内压窄谱线或使激光系统单模运行,可作为宽带皮秒激光器中带宽控制以及调谐器件,分析、检测激光中的光谱(纵模、横模)成分. 技术参数产品特点 适用于中红外平行度好端面平整度高表面质量好产品应用波长锁定器 波分复用电信网 手持光谱分析仪 光纤光栅传感系统 可调谐滤波器激光器 可调谐滤光片技术参数 技术参数技术指标工作波段近红外1.3-2.0um,中红外2.5-14um直径25.4mm+/-0.05mm通光孔径22.9mm长度100mm+/-0.2mm平行度5-10 arc sec端面平整度中红外 1/4 lambda;近红外 1/10 lambda表面质量中红外80-50;近红外60-40管壳铜 精细度(FSR)0.012cm-1实验测试: 测试步骤:1,安装1532nm激光器,连接电源,USB线2,激光器输出连接到光纤准直器 3,用BNC转BNC线连接信号发生器到激光器驱动的低频调制端口4,用BNC转BNC线连接探测器到示波器的通道2端口5,打开激光器,打开信号发生器(三角波调制,频率1KHZ,电压幅值500mW)6,激光器发出的光通过标准具,打在探测器光敏面上,通过调整标准具的角度,在示波器上查看调制波形测试结果:

泰曼格林干涉仪原理相关的资料

泰曼格林干涉仪原理相关的资讯

  • “等效原理实验用喷泉式高精度原子干涉仪”通过验收
    12月21日至22日,中国科学院武汉物理与数学研究所承担的中国科学院重大科研装备研制项目——“等效原理实验用喷泉式高精度原子干涉仪”通过了由中科院计划财务局组织的现场测试和验收。来自中科院的管理专家和来自中科院上海光机所、中国计量院、华中科技大学、武汉大学、华中师范大学的专家参加了验收会。与会领导和专家在认真听取了项目负责人王谨研究员所作的仪器研制工作报告、财务报告以及测试专家组所作的测试报告后,对取得的成果表示了充分的肯定,并就下一步如何充分利用该科研装备开展研究工作提出了很好的建议。   “等效原理实验用喷泉式高精度原子干涉仪”研制项目综合运用了超高真空、磁屏蔽、激光、磁光阱、原子喷泉等多项复杂技术,实施方案具有创新性。经过三年多的不懈努力,课题组逐项攻克各单项技术难题,完成了方案设计、部件加工、单元测试、安装调试等一系列任务。整套仪器自2010年4月28日起在原子频标实验大楼安装调试,2010年12月8日完成全部安装调试任务。经过现场测试,原子喷泉上抛高度为6米,原子干涉条纹对比度为76%,主要技术指标达到项目任务书的要求,标志着喷泉式高精度原子干涉仪在武汉物理与数学所研制成功。该仪器的整体高度为12.6米,设计的原子最大上抛高度为10米,是目前国际上最高的喷泉式原子干涉仪。   验收专家组认为,喷泉式高精度原子干涉仪的研制成功,为基于自由下落微观原子的重力加速度精确测量和等效原理检验实验提供了平台,也为利用原子干涉仪开展精密测量物理实验研究创造了条件。   据悉,在武汉建设大型喷泉式高精度原子干涉仪研究平台的最初设想,是2007年5月在中科院武汉物理与数学所学科发展战略研讨会上由冷原子物理研究组提出的,该设想于2007年10月正式付诸实施,先后得到了中科院科研装备研制项目、中科院武汉物理与数学所前沿部署项目和国家自然科学基金委仪器研制重点项目的资助。   验收会议现场   现场测试   等效原理实验用喷泉式高精度原子干涉
  • 3分钟了解激光干涉仪——最精密的尺子
    本文作者:清华大学张书练教授1. 激光干涉仪的发展史做衣量身、体检量高都由尺子完成,这些日常的尺子的刻度是毫米。机械零件加工和检验都要用尺子,在机械制造企业,卡尺、千分尺随处可见,其精确度是0.1 μm,1 μm。1887年迈克尔逊(Michelson)和莫雷(Morley)研究以太[1]是否存在,使用了光。他们以光波长作尺子刻度测量了水平面和垂直面的光速之差,第一次否定了以太的存在。他们利用的是光的干涉现象,这就是光学干涉仪的诞生。注[1]:根据古代和中世纪科学,以太被称为第五元素,是填充地球球体上方宇宙区域的物质。以太的概念在一些理论中被用来解释一些自然现象,例如光和重力的传播。19世纪末,物理学家假设以太渗透到整个空间,以太是光在真空中传播的介质,但是在迈克尔逊-莫利实验中没有发现这种介质存在的证据,这个结果被解释为没有光以太存在。1961年研究人员发明了氦氖激光器,开始用氦氖激光器作为迈克尔逊干涉仪的光源,从而诞生了激光干涉仪。图1是迈克尔逊干涉仪简图。迈克尔逊干涉仪是普通物理的基本实验之一。但今天在科学研究和工业中应用的激光干涉仪出于迈克尔逊,但性能远远胜于迈克尔逊。图1 迈克尔逊干涉仪简图基本上,激光干涉仪都使用氦氖激光器的632.8 nm波长的光,橙红灿烂的光束射向远方,发散角可以小到0.1 mrad,光束截面的光斑均匀。氦氖激光器还可输出绿光、黄光、红外光,但只有632.8 nm波长的光适合作激光干涉仪的光源。其它类型的激光器,如半导体(LD)、固体激光器等的相干等性能都远不及氦氖激光器,研究人员多有尝试,但都没有成功。激光干涉仪有很多应用,但本质都是测量中学课本讲的“位移”,诸多应用都是“位移”的延伸和转化。激光干涉仪有两个主流类型:单频激光干涉仪和双频激光干涉仪。单频干涉仪能做的双频激光干涉仪都能做,但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因,两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上,双频激光干涉仪独占市场。单频干涉仪不需要对市场上的氦氖激光器进行改造,直接可用。但双频激光干涉仪用的激光器需要附加技术使其产生双频(两个频率)。历史上,双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪,自发明了双折射-塞曼双频激光器,双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米,与单频激光器看齐了。按产生双频的方法,双频激光干涉仪分为塞曼双频激光(国外)干涉仪和双折射-塞曼双频激光(国内)干涉仪。现在干涉仪的指标:最小可感知1 nm(十亿分之1 m),可以测量百米长的零件,且测量70 m长的导轨误差仅为几微米。2. 测量位移的干涉仪和测量表面的干涉仪?有几个概念的定义比较混乱(特别是有些研究发展趋势的报告),需要注意。一是“激光测距”和“激光测位移”没有界定,资料往往鹿马不分。二是不少资料所说“激光干涉仪”实际上包含两种不同的仪器,一种是测量面型(元件表面)的激光干涉仪,一种是测量位移(长度)的激光干涉仪。如海关的统计和一些年度报告往往混在一起。激光测距机发出的激光束是一个持续时间纳秒的光脉冲,利用光脉冲达到目标和返回的时间之半乘以光速得到距离,完全和光的干涉无关。尽管激光波面干涉仪和测量位移(长度)的干涉仪都是利用光干涉现象,但仪器的设计、光路结构、探测方式、应用场合几乎没有共同之处。激光波面干涉仪能够测量光学元件表面的形貌,光束直径要覆盖被测零件,在整个零件表面形成系列干涉条纹,根据测量条纹的亮度(也即相位)算出表面的形貌,其光束口径、零件直径可达百毫米;另一种则是测量位移(长度)干涉仪,光干涉发生在直径几毫米光路上,表现为只有光电探测器(眼睛)正对着射来的光线才能“看”到光强度的波动,由波动的整次数和(不足半波长的)小数算出被测件的位移。 3. 双频激光干涉仪的原理和构成当图1的可动反射镜有位移时,光电探测器光敏面会感受到的光强度正弦变化,动镜移动半个波长,光强变化一个周期。光电探测器将光强变化转化为电信号。如探测到电信号变化了一个周期,我们就知道动镜移动了半个波长。计出总周期数测得动镜的位移。 (1)式中:λ为激光波长,N 为电脉冲总数。今天的激光干涉仪使用632.8 nm波长的激光束,半波长即316.4 nm。动镜安装在被测目标上与目标一起位移,如光刻机的机台,机床的动板上。为了提高分辨力,半波长的正弦信号被细分,变成1 nm甚至0.1 nm的电脉冲,可逆计数器计算出总脉冲数,再由计算机计算出位移量S。也常用下式表示动镜的位移, (2)其中∆f为目标运动速度为V时的多普勒频移。式(1)和(2)是等价的,可以互相推导推出来,仅是表方式的不同。图2是今天的双频激光干涉仪框图。它由7个部分构成。图2双频激光干涉仪原理框图(1) 双频氦氖激光器氦氖激光器上有磁体。磁体为筒形,激光器上加的是纵向磁场,称为纵向塞曼双频激光器。四分之一波长(λ/4)片把激光器输出的左旋和右旋光变成偏振态互相垂直的线偏振光。前文所说的双折射-塞曼双频激光器则是在激光器内置入双折射元件(图内未画出),并加图2所示的磁条。双折射元件使激光器形成双频,横向磁场消除两个频率之间的耦合。双折射-塞曼双频激光干涉仪不需使用四分之一波长片。双频激光器是双频激光干涉仪的核心,很大程度上,它的性能决定激光干涉仪的性能,要求波长(频率)精度高,功率大,寿命长,双频间隔(频差)大且稳定,偏振状态稳定,两频率之间不偏振耦合。这一问题的解决是作者较突出的贡献之一。(2) 频率稳定单元它的作用是保证波长(频率)这把尺子的精确性,达到10-8甚至10-9,即4.74×1014的激光频率长期的变化仅1 MHz左右。(3) 扩束准直器实际上是一个倒装的望远镜,防止光束发散。要求激光出射80 m,光束光斑直径仍然在10 mm之内。(4) 测量干涉光路测量干涉光路包括:从分光镜向右直到可动反射镜(实际是个角锥棱镜),向下到光电探测器2。可动反射镜装在被测目标上(如光刻机工作台上的反射镜),目标的移动产生激光束的频移Δf,Δf和目标速度成正比,积分就是目标走过的距离(位移或长度)。积分由信号处理单元完成。(5) 参考光路参考光路由分光镜-偏振片-光电探测器1实现,参考光路中没有任何元件移动,它测得的位移是“假位移”真噪声。噪声来自环境的扰动。信号处理单元从干涉光路的位移中扣除这一噪声。(6) 温度和空气折射率补偿单元干涉仪测量的目标位移可能长达百米,空气折射率(及改变)和长度的乘积成为激光干涉仪的最主要误差来源之一。用传感器测出温度、气压、湿度,信号处理单元计算出空气折射率引入的假位移,并从结果中扣除。(7)信号处理单元光电探测器1和2,分别把信号f1-(f2±∆f)和f1-f2的光束转化为电信号,±∆f是可动反射镜位移时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示位移的方向。电信号经放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算即可得出可动反射镜的位移量。环境温度,气压,湿度引入的折射率变化(假位移)送入计算机计算,扣除他们的影响。最后显示。相当多的应用要求计算机和应用系统通讯,实现对加工过程的闭环控制。4. 激光干涉仪的应用一般说来,激光干涉仪的主要用途是测量目标的运动状态,即目标的线性位移大小、旋转角度(滚转、俯仰和偏摆)、直线度、垂直度、两个目标在运动的平行性(度)、平面度等。无论光刻机的机台,还是数控机床的导轨(包括激光加工机床),不论是飞行物,还是静止物的热膨胀、变形,一旦需要高精度,都要用激光干涉仪测量,得到目标的运动状态。运动状态用由多个参数给出。以光刻机两维运动中的一个方向运动时为例,位移(走过的长度)、机台位移过程中的偏 转( 角 )、俯仰 ( 角 )和滚转(角)都需要测出。很多类型的设备需要测量,如各类机床、三坐标测量机、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。图3(a)(b)(c)(d)(e)是几个应用的例子。美国LIGO激光干涉仪实验室宣称首次直接测量到了引力波(2016),使用的仪器是激光干涉仪,单程臂长4 km。见图4。图3 激光干涉仪几个应用的例子来源:(a)(b)(c)由北京镭测科技有限公司提供,(d)(e)来自深圳市中图仪器股份有限公司网页图4 LIGO激光干涉仪来源:https://www.ligo.caltech.edu/image/ligo20150731c 5. 双频激光干涉仪发展存在的问题(1)国内外单频和双频激光干涉仪的进展及问题多年来,国内外在单频和双频激光干涉仪方面进步不大,特例是双折射-塞曼双频激光器的发明。由于从国外购买的激光器不能产生大间隔的双频光,原有国内双频激光干涉仪的供应商基本停产。以前作为基础研究的双折射-塞曼双频激光器被推到前台。双频激光器是干涉仪的核心技术,走在了世界前端,也解决了国内无源的重大难题。北京镭测科技有限公司的开发、纠错,终于使双折射-塞曼双频激光干涉仪实现产品化,进入先进制造全行业,特别是光刻机。北京镭测科技有限公司双折射-塞曼双频激光器达到指标:频率间隔可在1~ 30 MHz之间选择,功率可达1 mW。 频率差与激光功率之间没有相互影响,没有塞曼效应的双频激光器高功率和大频率差不能兼得的缺点。尽管取得进展,但氦氖激光器的制造工艺等是个系统性技术问题,需要全面改善。特别是,国外双频激光干涉仪的几家企业的激光器都是自产自用,不对外销售,因此,我们必须自己解决问题。(2)业界往往忽略干涉仪的非线性误差很长时期以来,业界认为单频干涉仪没有非线性误差。德国联邦物理技术研究院(PTB) 经严格测试发现,单频干涉仪也存在几纳米的非线性误差,甚至大于10 nm。塞曼效应的双频干涉仪也有非线性误差,也是无法消除。对此干涉仪测量误差,大多使用者是不知情的。到目前,中国计量科学院的测试得出,北京镭测科技生产的双频激光干涉仪的非线性误差在1 nm以下。建议把中国计量科学院的仪器批准为国家标准,并和德国、美国计量院作比对。非线性误差发生在半个波长的位移内,即使量程很小也照样存在。图5 中国计量科学研究院:镭测LH3000双频激光干涉仪在进行测长比对6. 双频激光干涉仪的未来挑战本文作者从事研究双折射-塞曼双频激光器起步到成批生产双折射-塞曼双频激光干涉仪,历经近40年,建议加强以下研究。(1)高测速制造业的发展很快,精密数控机床运动速度已达几m/s,有特殊应用提出达到10 m/s的要求。目前单频激光的测量速度还没有超过5 m/s。双折射-塞曼双频激光干涉仪的测速也处于这一水平,但其频率差的实验已经达到几十MHz,有待信号处理技术的跟进发展,实现10 m/s以上的测量速度。(2)皮米干涉仪市场上的干涉仪基本都标称分辨力1 nm,也有0.1 nm的广告。需要发展皮米分辨力的激光干涉仪以满足对原子、病毒尺度上的观测要求。(3)溯源前文已经提到,小于半波长的位移是把正弦波动信号电子细分得到标称的1 nm,和真实的1 nm相差多少?没有人知道,所以需要建立纳米、皮米的标准。作者曾做过初步努力,达到10 nm的纯光学信号,还需做长期艰苦的研究。(4)提高氦氖激光器寿命在未来很长一段时间,氦氖激光器仍然是激光干涉仪最好的光源,但其漏气的特点导致其使用寿命有限,替换寿命终结的氦氖激光器导致光刻机停机,会带来巨大经济损失。因此,延长氦氖激光器寿命十分有必要。没有测量就没有科学技术,没有精密测量就没有当今的先进制造,为此作者最近出版了题名《不创新我何用,不应用我何为:你所没有见过的激光精密测量仪器》的书籍,书的主标题似是铭志抒怀,而实际内容是一本地道的学术专著,书籍内容为作者的课题组近40年做出的创新成果总结。作者简介张书练,清华大学教授,博导。曾任清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室主任,清华大学光学工程研究所所长,主要研究方向为激光技术与精密测量,致力于激光器特性的研究和把这些特性应用于精密测量,是国内外正交偏振激光精密测量领域的的主要创始人。
  • 我国双折射双频激光干涉仪实现批量生产
    3月2日,记者从清华大学精密仪器系获悉,该系张书练教授课题组进行原理研究并由北京镭测科技有限公司开发生产的双折射双频激光干涉仪实现批量生产。双频(两频率)激光干涉仪是科学研究、光刻机、数控机床、航空航天、舰船等行业都离不开的光学尺子,用于测量零部件的尺寸,角度,位置,直线性,也是检定各类数控机床、激光加工机床以及光刻机台的精度,进行误差补偿的基本仪器。张书练介绍,双频激光器是双频激光干涉仪的核心部件。国外干涉仪厂家都是自制专用激光器,称为塞曼双频激光器,不对外供应。此前我国的双频激光干涉仪只能进口普通激光器,从中选出可用的,淘汰率高,性能上不去,导致双频激光干涉仪国产化困难。据介绍,此次清华大学精密仪器系发明的双折射原理的双频激光器比传统的塞曼双频激光器的激光功率高一倍、频率间隔大一倍或两三倍、没有两个频率之间耦合串混。分辨率达到1纳米(十亿分之一米),线性测量长度范围0到70米,非线性误差小于1纳米,测量速度超过2米。张书练指出,双折射双频激光器的使用带动了干涉仪整机的光机电系统创新设计,使双折射双频激光干涉仪具有便携,方便,鲁棒等优良性能。

泰曼格林干涉仪原理相关的试剂

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