系统参数:◆原理非接触、三维白光扫描干涉仪。◆扫描装置:闭环反馈压电陶瓷,高线性电容传感器。◆物镜:1X,2X,2.5X,5X,10X,20X,50X,100X, 工作距离分别有标准/长焦/超长焦详见物镜参数表。◆物镜座选件: 电动4位塔台可选。◆视场放大倍数:高质量分立放大倍率镜头:0.5X,1.0X,2.0X。◆成像放大视场:电动3位系统成像放大0.04-16mm,跟物镜和放大倍率有关,运用图像拼接技术可以得到更大范 围。◆光源:特殊设计长寿命白光LED。◆控制:滤光板托架,视场光阑(辅助聚焦)。◆测量阵列:1600×1600。◆样件观察:专用液晶显示屏实时观察。◆精密聚焦:电控手动和自动聚焦◆Z 轴驱动(聚焦):直流无刷微步进电机驱动,100mm行程,0.1um的精度◆样品台: 电动,俯仰±3°和XY平移(±76mm)◆计算机:带液晶显示器的高性能DELL计算机◆软件:在Microsoft Windows7下运行的ZYGO Mx软件◆尺寸(HWD):总尺寸:151×73×61cm newview:75x64x56cm 防震台:76x61x61cm◆总重量: 约229Kg newview:约91Kg性能:◆纵向扫描范围:150 um,可扩展到20mm◆纵向分辨率:<0.08nm◆横向分辨率:0.34-16.42um 与所选物镜有关◆扫描速度:≥150um/sec,与所选的CCD和扫描模式有关◆RMS重复性:<0.008nm, RMSσ◆台阶测量:准确度 ≤ 0.8%;重复性≤0.1%@1σ被测样品特性:◆材料: 各种材料的表面:透明,不透明,镀膜,非镀膜,反射,弱反射◆最大尺寸(HWD):89 x 203 x 203mm 或更大◆反射率:0.05%-100%环境要求:◆温度: 15-30℃ <1.0°C/15 分钟◆湿度: 相对湿度 5%-95%,无凝结◆隔振:需要隔离 1-120Hz 的振动(VC-C)
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