概要30A气体质量流量控制器采用毛细钢管传热和温差量热原理测量气体的质量流量,其中质量流量控制器可以对气体的质量流量进行精确的控制,由于温差量热只和气体的质量流量相关,所以气体的温度和压力变化不会影响到测量值。本型号产品满量程可以再5sccm-30SLM的范围内任意定制。特点稳定性和可靠性高 ±0.2%F.S的高重复精度 可应用大多数腐蚀性气体同类产品尺寸最小 安装尺寸国际兼容 不受温度及压力变化影响 满量程可在5sccm-30SLM范围任意定制标定标准标定气体:氮气(N2) 标定温度:温度273.15K(0 oC) 标定压力:101325pa(760mm Hg)输入输出信号0~5.00V(输入阻抗大于100KΩ)输出电流不大于3mA流量规格0~5,10,20,50,100,200,300,500,1000 sccm0~1, 2 ,3 ,5 ,10, 20, 30 SLM注:满量程流量不限于此处列出的规格,可再满量程5sccm-30SLM范围内任意选择,列如:123sccm质保与服务我公司承诺对产品的质保期为壹年,再您收到产品壹年内,如果按照说明书要求使用,遵守安全注意事项,并且产品没有损坏,改装或翻新,若有任何故障和问题,我公司负责免费维修或更换产品部件。再质保期外,我们提供终生维修和维护服务,但适当收取维修和维护的成本费,维修和维护后,维修部分的部件同样质保壹年。我公司有专业的售后工程师可以帮助您解决关于安装和使用等各方面的问题,并提供产品的使用培训。规格参数功能质量流量计,质量流量控制器流量规格(N2)标定0~5,10,20,50,100,200,300,500,1000 sccm流量规格(N2)标定0~1, 2 ,3 ,5 ,10, 20, 30 SLM精度±1%F.S调节阀类型常闭式线性±1%F.S重复精度±0.2%F.S响应时间≤2ses输入输出信号0~5.00V(输入阻抗大于100KΩ)输出电流不大于3mA电缆接头DB15pin(针型)工作环境温度5~45℃工作压差范围0.1-0.5Mpa对外单点泄漏率≤1X10-8pa.m3/s(He)耐压3Mpa介质接触材质316,316L,密封填料介质接触材质氟橡胶,硅橡胶,丁晴橡胶,聚四氟乙烯,金属密封密封材料丁晴橡胶NBR,三元乙丙橡胶EPDM,氯丁橡胶CR,硅橡胶VMQ,氟橡胶FKM管道接头尺寸VCR型接头 1/4管道接头尺寸(公制)Φ3 Φ6 Φ8 Φ10 Φ12管道接头尺寸(英制)1/8 ,1/4 ,1/2供电电源要求+15VDC(50mA) -15VDC(200mA)工作环境湿度<80RH重量0.9KG尺寸127X28X100mm
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