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马尔轮廓仪控制器原理

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  • 光学3D表面轮廓仪测量磨损定量的原理

    “摩擦,摩擦,在这光滑的地上摩擦…..”还记得庞麦郎的一首《我的滑板鞋》风靡大街小巷,广场上卷起了一股溜滑板鞋的浪潮。尔今浪潮已退,但摩擦声却未消失,作为一柄对社会发展起着双刃剑作用的武器,各大高校和科研机构一直都在对摩擦学进行着持续的研究,而中图仪器[b]SuperView W1光学3D表面轮廓仪[/b],就是该领域最时尚的滑板鞋,载着研究人员疾驰,手持武器,所向披靡。  摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科,摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数,量级从纳米到毫米不等,又由于不可破坏性测量,传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用,而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的光学3D表面轮廓仪登上了摩擦学研究的舞台。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238760989.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231572145.jpg[/img][/align][align=center]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/align]  上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪,经过十数小时的摩擦,铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹,即为磨损区域,对磨损区域进行尺寸上的定量分析,是研究的重要组成部分,下面我们使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。一、一维:线_轮廓尺寸  取一块摩擦处理过的铜板,使用SuperView W1光学3D表面轮廓仪对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描,获取其3D图像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808239913954.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234541029.jpg[/img][/align][align=center]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/align]  从图中可以看到,相对光滑区细致较浅的划痕,磨损区充满了坑坑洼洼的槽,在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线,可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。二、二维:面_粗糙度  分别在光滑区和磨损区选取若干点,测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808235791766.jpg[/img][/align][align=center]图6 光滑区域粗糙度[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808237197020.jpg[/img][/align][align=center]图7 磨损区域粗糙度[/align]三、三维:体_体积[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238604911.jpg[/img][/align][align=center]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/align]  如右上图,利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中,位于基准面(蓝色方框)上面的顶点区域显示为红色,位于基准面下方显示为绿色,利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。  一线二面三体,中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息,从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断,如同穿上了酷炫的滑板鞋,在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。

  • 光学3D表面轮廓仪的测量原理

    光学3D表面轮廓仪的测量原理

    SuperView W11200[b][color=#3366ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b]是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。[align=center][img=,690,604]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201529_01_3712_3.jpg[/img][/align]  SuperView W11200光学3D表面轮廓仪只需操作者装好被测器件,在软件测量界面上设置好视场参数,调整镜头到接近器件表面,选择自动聚焦,仪器会对器件表面进行自动对焦并找到干涉条纹,调节好干涉条纹宽度后即可开始进行扫描测量;扫描结束后,软件分析界面自动生成器件3D图像,操作者可通过软件对生成的3D形貌进行数据处理与分析,获取表征器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。  SuperViewW1 1200 光学3D表面轮廓仪采用光学非接触式测量方法,它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点,其独特的光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。  系统软件为简体中文操作系统,操作方便。应用范例:[align=center][img=,690,352]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201530_01_3712_3.jpg[/img][/align][align=center][img=,690,543]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201530_02_3712_3.jpg[/img][/align] 性能特点:1、 高精度、高重复性、高稳定性1) 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块组成测量系统,保证测量精度高;2) 精密的Z向扫描模块和独特的测量模式,保证测量重复性高;3) 高性能的内部抗震设计,为测量高稳定性保驾护航。2、 自动化操作的测量分析软件1)测量初始的自动聚焦,帮助操作者省却繁琐的调节过程;2)独特测量模式,帮助操作者快速测量不同形貌的待检样品;3)可视化窗口,便于操作者实时观察扫描过程;4)直观的软件分析界面,便于操作者第一时间获悉样品参数信息;5)强大的数据处理与分析功能,帮助操作者深入了解被测样品情况;6)一键分析,便于操作者快速实现大批量测量;7)同步分析,实现对样品分析操作的所见即所得;8)可视化的报表导出(可选择导出的图像与数据结果到word、pdf等文档)。3、 测量参数齐全根据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)的多达300余种2D、3D参数,让操作者对被测样品的认识更加全面具体。4、 精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

  • 光学3D表面轮廓仪在半导体行业中的应用

    [quote]引言:半导体产业是一个点石成金的行业,将从普通的石英砂中提取的硅原料制成拥有现代工业系统“心脏”之称的IC芯片,中间须历经数十上百道工序,从硅晶圆的制备到晶圆IC的制造,每一步都对工艺流程的质量有着严格的管控要求,由各式各样的检测仪器共同组成了产品质量监控的守门员,而在这之中,作为产品表面质量检测仪器的光学3D表面轮廓仪,以其超高的检测精度和重复性,发挥着重要的作用。[/quote]  中图仪器SuperView W1[b][color=#3333ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b],是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器,其分辨率可达0.1nm。半导体产业作为超精密加工领域一颗璀璨的明珠,在其硅晶圆的制备和晶圆IC的制造过程中,光学3D表面轮廓仪都以其强大的表面质量检测功能给这颗明珠增添一份靓丽的色彩。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257216238.png[/img][/align][color=#ffffff]硅晶圆的粗糙度检测[/color]在半导体产业中,硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量,而硅晶圆的制备,要经过十数道工序,才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆,如下图所示,提取表面一区域进行扫描成像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804250029083.png[/img][/align]通过上图我们看到,制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内,其表面粗糙度在0.5nm左右,由于其粗糙度精度已到亚纳米量级,而在此量级上,接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求,只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。[color=#ffffff]晶圆IC的轮廓检测[/color]晶圆IC的制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV蚀刻到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程,其中由于光罩中电路结构尺寸极小,任何微小的粘附异物和瑕疵均会导致制造的晶圆IC表面存在缺陷,因此必须对光罩和晶圆IC的表面轮廓进行检测。下图是一块蚀刻后的晶圆IC,使用光学3D表面轮廓仪对其中一个微结构扫描还原3D图像,并测量其轮廓尺寸。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804252060141.png[/img][/align][color=#ffffff]晶圆IC减薄后的粗糙度检测[/color]在硅晶圆的蚀刻完成后,根据不同的应用需求,需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理,在这个过程中,需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。在减薄工序中,晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序,下图是粗磨后的晶圆IC背面,选取其中区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804253935356.png[/img][/align]从上图可以看出,粗磨后的表面存在明显的磨削纹路,而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵,沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵,在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵最大起伏在2.4um左右,而磨削纹理起伏最大在1um范围内波动,并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm,剖面线的粗糙度Ra为241nm。而在经过细磨后,晶圆IC背面的磨削纹理已基本看不出,选取表面区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257060316.png[/img][/align]从上图可知,在经过细磨之后,晶圆IC背面的磨削纹理轮廓起伏已经降到36nm附近,其表面粗糙度也已经从200多nm直降到6nm左右。以上是SuperView W1光学3D表面轮廓仪在半导体产业中的几种典型应用案例。目前我国正在大力推进半导体产业跨越式大发展,中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪必将为此贡献更多力量。

  • 【原创】MMD-220A轮廓仪

    MMD-220A轮廓仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数,角度处理(坐标角度,与Z坐标的夹角,两直线夹角)、圆处理(圆弧半径,圆心到圆心距离,圆心到直线距离,交点到圆心的距离,直线到切点的距离)、点线处理(两直线交点,交点到直线距离,交点与交点距离,交点到圆心的距离)、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、轮廓度、倾斜度、垂直距离、水平距离等形状参数。 该MMD-220A轮廓仪测量长度≤220mm,Z 量 程:10mm,可测零件直径:内圈≤300mm,外圈可较大,国产贵阳光栅尺:精度±3μm/220mm ,X向分辨率1μm,Z向分辨率/量程:1/65536,工作压力:0.35~0.43Mpa,气源压力:0.45~0.80Mpa。

  • 光学3D表面轮廓仪让你的慧眼飞升“三重境”

    禅宗有看山看水的参禅三重境,讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现,带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。  一重境:看山是山,看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片,初看下面的这张塑料片,想必读者一看再看,也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同,“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识,此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align]  二重境:看山不是山,看水不是水。既然肉眼不可辩,那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒,另一面则被条状沟槽所填满,构成了塑料片表面的微观世界,但只知其平面外形却不知其三维形态,知其一不知其二,可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align]  三重境:看山仍是山,看水仍是水。为一窥真容,使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描,点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align]  点颗粒是凸点,而沟槽则是弧形波,进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量,得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align]  单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°,分布周期97μm;单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm,周期35μm。掌握了全部的轮廓数据,对这有着微结构的塑料片,我们有了全面而精确的认识,称得上“看山还是山,看水还是水”。  超精密加工,是在传统精密加工上的升级,代表着先进制造业的发展方向,也代表着一个国家制造业的最高水准,超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器,而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪,就像一双能够明察秋毫的眼镜,帮助我们在超精密加工的微观世界里,具备“看山还是山,看水还是水”的本领。

  • 非接触式轮廓仪

    非接触式轮廓仪

    进口非接触式轮廓仪[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307051728587910_1104_6090019_3.jpg[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307051729039092_6171_6090019_3.jpg[/img]

  • 光学3D表面轮廓仪让你的慧眼飞升“三重境”

    禅宗有看山看水的参禅三重境,讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color][/url]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现,带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。  一重境:看山是山,看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片,初看下面的这张塑料片,想必读者一看再看,也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同,“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识,此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align]  二重境:看山不是山,看水不是水。既然肉眼不可辩,那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒,另一面则被条状沟槽所填满,构成了塑料片表面的微观世界,但只知其平面外形却不知其三维形态,知其一不知其二,可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align]  三重境:看山仍是山,看水仍是水。为一窥真容,使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描,点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align]  点颗粒是凸点,而沟槽则是弧形波,进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量,得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align]  单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°,分布周期97μm;单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm,周期35μm。掌握了全部的轮廓数据,对这有着微结构的塑料片,我们有了全面而精确的认识,称得上“看山还是山,看水还是水”。  超精密加工,是在传统精密加工上的升级,代表着先进制造业的发展方向,也代表着一个国家制造业的最高水准,超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器,而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪,就像一双能够明察秋毫的眼镜,帮助我们在超精密加工的微观世界里,具备“看山还是山,看水还是水”的本领。

  • 检测微观表面仪器:粗糙度轮廓仪特点

    [color=#000000]粗糙度轮廓仪为粗糙度及轮廓的复合机。轮廓传感器对工件的宏观表面轮廓、二维尺寸进行测量 与检验,粗糙度传感器对工件的微观表面进行测量与检测[/color][b]特点[/b][color=#000000]1、高精度摩擦式导轨结构,具有优异稳定的运动精度。经专用算法修正后,具有极高的直线度精度。精度保持长久,只需简单的修正操作即可修复成出厂的高精度状态;[/color][color=#000000]2、轮廓测针测杆采用快速的磁吸结构,具有定位精度高、更换快捷的特点。软件对不同类型的测针测杆进行校正并保存校正参数,更换测针测杆时,因磁吸结构具有定位精度高的特点,而无需再次校正,大大提高仪器的使用便利性和测量效率;[/color][color=#000000]3、原始数据自动保存,便于多次标注,软件标注与 CAD 同理;[/color][color=#000000]4、可将测量的图形结果转化为 DXF 格式,可将测量结果以 Excel 表格格式输出;[/color][color=#000000]5、可以对操作进行无限次的撤销及恢复操作;[/color][color=#000000]6、采用独立的轮廓、粗糙度测量传感器,即保持大量程轮廓测量需求,亦能高精度测量粗糙度;[/color][color=#000000]7、粗糙度采用触针式无导头测量,残值轮廓可低于 5nm!实现高精度的粗糙度测量,特别在测量零件的圆弧面、斜面、窄槽的槽底、槽侧面的粗糙度时,具有带导头式粗糙度测量无法比拟的精度和测量便利性。[/color][img]https://p3.toutiaoimg.com/img/tos-cn-i-qvj2lq49k0/4372814fa2524f599af2d76e04cb37f0~tplv-tt-shrink:640:0.image[/img]【英徕铂】英徕铂ENLAB,物性检测仪器品牌,为国内市场提供数百种物性检测仪器,为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务

  • 成都地区有使用激光共聚焦显微及三维光学轮廓仪的吗?

    成都地区有使用激光共聚焦显微及三维光学轮廓仪的吗?想测量一下激光烧蚀后的深度及形貌。感兴趣的可以用这两种仪器测量一下SPARK-OES烧蚀坑的深度及形貌,分析一下烧蚀形貌的特点。最好 估算一下烧蚀的样品量,与大家分享一下。

  • 粗糙度轮廓仪使用干货:轮廓更换测针操作步骤

    [font=宋体][size=16px][color=black]粗糙度轮廓仪使用干货:[/color][/size][/font]轮廓更换测针操作步骤(1)测杆安装注意:装到位后会听到定位声(机械声),手摸一下吸合处高低位置要对齐。[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/9311208da3fe4dbfae4af733c97e3a4d~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=JJLap7%2B31x44j9UsN1qQ6HCxxm0%3D[/img](2)测杆拆卸[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/579ed6a4e3e345168b8b287d4ab3c976~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=x4RwSKenZBUjt0%2BeVKatZ17J300%3D[/img](3)测针安装[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/d7e32312b28b4660906d1df71e7d1aab~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=5cbkAg7DebtrXrjT6wcQlImnZZE%3D[/img](4)在软件中创建测针(5)在软件中切换测针【英徕铂】英徕铂ENLAB,物性检测仪器品牌,为国内市场提供数百种物性检测仪器,为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务

  • SJ5760轮廓测量仪的测量应用

    SJ5760轮廓测量仪的测量应用

    [align=center][img=,482,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161531_01_3712_3.jpg[/img][/align]  [b][color=#3333ff]SJ5760轮廓测量仪[/color][/b]采用进口高精度光栅测量系统、高精度研磨导轨、高性能非接触直线电机、音圈电机测力系统、高性能计算机控制系统技术,实现对各种工件表面轮廓进行测量和分析。通过高精度研磨导轨、高性能直线电机保证测量的高稳定性及直线度,采用进口高精度光栅测量系统建立工件表面轮廓的二维坐标,计算机通过修正算法对光栅数据进行修正,最终还原出工件轮廓信息并以曲线图显示出来,通过软件提供的分析工具可对轮廓进行各种参数分析。[align=center][img=,690,398]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161531_02_3712_3.jpg[/img][/align]  轮廓仪为全自动测量设备,操作者只需装好被测工件,在检定软件上设定扫描的开始、结束位置,点击“开始”按钮,测针会自动接触工件表面,并按设定的位置扫描;在进行轮廓扫描的过程中,软件界面会实时描绘轮廓曲线;扫描结束后,操作者可通过轮廓分析工具对生成的轮廓曲线进行分析,得到如直线度、圆度、角度、距离、间距等轮廓参数。[align=center][img=,690,398]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161532_01_3712_3.jpg[/img][/align] 性能特点:1、 高精度、高稳定性、高重复性:分辨力0.01μm,完全满足被测件测量精度要求。1) 国际领先的高精度光栅测量系统,分辨力达到0.01μm,测量精度高;2) 自主研发高精度研磨导轨系统,导轨直线度达到2μm/200mm,导轨材料耐磨性好、保证系统稳定可靠工作;3) 高性能直线电机驱动系统,保证测量稳定性高、重复性好。2、 智能化管理与检测软件系统:仪器操作界面友好,操作者很容易即可基本掌握仪器操作,使用十分简便。1) 10多年积累的实用检定软件设计经验,向客户提供简洁、实用、快速的操作体验;2) 功能强大、自动处理数据、打印各种格式的检定报告,自动显示、打印、保存、查询测量记录;3) 测量范围广,可满足绝大多数类型的工件轮廓测量;4) 强大的CNC自动测量标注功能;5) 纯中文操作软件系统,更好的为国内用户服务;6) 打印格式正规、美观。检定数据可存档,或集中打印,不占用检定操作时间;7) 本仪器采用计算机大容量数据库储存,可自动记录保存所有检定结果。[align=center][img=,690,398]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161532_02_3712_3.jpg[/img][/align]3、 测量力系统: 采用音圈电机测力系统,测力可实现从10~150mN连续可调,测力分辨力可达0.2mN;避免了老式砝码加载因周围环境振动带来的测力误差,降低了测力变化引起的测量误差。4、 智能保护系统:一旦出现主机与被测工件或夹具相撞、或测针在扫描过程中出现拉力过大,仪器会停止扫描保护测量系统和测针,极大的保护测针的损坏。5、 灵活手动控制:仪器配置了操作杆,可在测量工件前对测针进行粗定位;在脱离电脑的情况下,让测针左右、上下快速移动。6、 成熟的标定技术通过简单的操作,能对仪器的参数进行误差补偿,对测针磨损进行针尖补偿,使其满足高精度测量。

  • 【原创大赛】气相色谱仪流量控制原理与维护 (一-二) 进样口手工流量控制器和电子流量控制器原理

    【原创大赛】气相色谱仪流量控制原理与维护   (一-二) 进样口手工流量控制器和电子流量控制器原理

    [align=center][font=宋体][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱仪[/url]流量控制原理与维护[/font][/align][align=center][font=宋体] [font=宋体](一)[/font] [font=宋体]进样口手工流量控制器原理[/font][/font][/align][align=center][font=宋体]概述[/font][/align][font=宋体][font=宋体]以分流[/font]/[font=宋体]不分流进样口为例,讲述[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱仪[/url]进样口手工流量控制的基本原理。[/font][/font][font=宋体] [/font][align=center][font=宋体]分流不分流进样口的流量工作原理[/font][/align][font=宋体][font=宋体][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱[/url]分析中使用的各类进样口中,最为常见的是分流[/font]/[font=宋体]不分流([/font][font=Calibri]Split/Spliless[/font][font=宋体])进样口。进样口流量控制方式有手工流量控制和电子流量控制两种,手工流量控制方式的色谱仪价格较为低廉,抗污染能力强,运行与维护成本较低,目前仍旧在普通化工分析等行业中使用。[/font][/font][font=宋体] [/font][align=center][font=宋体]常见的手工流量控制方式[/font][/align][font=宋体]进样口手工流量控制器大致分流两类,压力控制方式和总流量控制方式。[/font][font=宋体][font=宋体]图[/font]1[font=宋体]所示为压力控制方式,载气由压力控制器调节到适合压力,即为柱前压。[/font][/font][font=宋体]隔垫吹扫流量和分流流量分别由对应的针型阀控制,调节到合适的流量。[/font][font=宋体]柱流量由色谱柱来确定。[/font][font=宋体]压力控制器调节速度较快,适合气体阀进样或者样品气化体积较大的场合。分流流量、隔垫吹扫流量、柱流量各自独立,需要单独测定各流路流量,调节工作量较大。[/font][align=center][img=,690,457]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/09/202009010003569364_7168_1604036_3.png!w690x457.jpg[/img][font=Calibri] [/font][/align][align=center][font=宋体][font=宋体]图[/font]1 [font=宋体]压力控制方式原理[/font][/font][/align][align=center][img=,690,453]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/09/202009010004036078_273_1604036_3.png!w690x453.jpg[/img][font=宋体] [/font][/align][align=center][font=宋体] [/font][/align][align=center][font=宋体][font=宋体]图[/font]2 [font=宋体]总流量控制方式原理[/font][/font][/align][font=宋体]载气由总流量控制器调节,输入进样口固定的流量,进样口压力缓慢上升,当压力达到设定值后,分流控制器开启,使得进样口压力恒定于设定值。[/font][font=宋体]分流控制器一般是背压阀,当输入压力达到设定值时才能开启。进样口的压力最终由分流控制进行调节。[/font][font=宋体]总流量控制方式,进样口流量调节工作量较小,总流量和进样口压力之间有相互影响,系统的调节惯性较大。样品气化气体较大或者气体进样阀进样时一般可能会观测到相对较长时间的压力流量扰动。[/font][font=宋体] [/font][font=宋体] [/font][font=宋体] [/font][align=center][font=宋体]小结[/font][/align][font=宋体][font=宋体]分流[/font]/ [font=宋体]不分流进样口常见控制方式的原理和性能比较。[/font][/font][font=宋体][font=宋体][/font][/font][font=宋体][font=宋体][/font][/font][font=宋体][font=宋体][/font][/font][font=宋体][font=宋体][/font][/font][font=宋体][font=宋体][/font][/font]------------------[font=宋体][font=宋体][/font][/font][align=center][font=宋体][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱仪[/url]流量控制原理与维护[/font][/align][align=center][font=宋体] (二) 进样口电子流量控制器原理[/font][/align][align=center][font=宋体]概述[/font][/align][font=宋体]以分流/不分流进样口为例,讲述[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱仪[/url]进样口电子流量控制的基本原理。[/font][font=宋体] [/font][align=center][font=宋体]分流不分流进样口的流量工作原理[/font][/align][font=宋体][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱[/url]分析中使用的各类进样口中,最为常见的是分流/不分流([font=Calibri]Split/Spliless[/font])进样口。目前较多使用电子流量控制器,不同仪器厂家对于电子流量控制命名不同,如[font=Calibri]AFC[/font]、[font=Calibri]EPC[/font]、[font=Calibri]EFC[/font]等,其大致原理比较接近,都是采用了基于电磁阀通断气流结合流量控制器和压力计来实现进样口的流量(压力)控制。[/font][font=宋体]图1为常见的分流[font=Calibri]/[/font]不分流进样口电子流量控制器的结构框图,当[font=Calibri]GC[/font]系统开启后,总流量控制器向进样口注入设定的流量,压力计测定的进样口压力会逐渐上升,在分流控制器的调解下,进样口压力达到设定值,进样口的流量状态达到就绪。[/font][font=宋体]隔垫吹扫流量值较低,受进样口压力的限制。[/font][font=宋体]色谱柱流量为计算值,电子流量控制器实际上只控制进样口压力。色谱柱是否安装正确,色谱柱是否堵塞,色谱柱是否断开,实际上进样口并不能感知到。[/font][font=宋体] [/font][align=center][font=宋体] [img=,690,419]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/09/202009010005202895_1475_1604036_3.png!w690x419.jpg[/img][/font][/align][align=center][font=宋体]图1 分流[font=Calibri]/[/font]不分流进样口结构原理[/font][/align][font=宋体]在分流工作方式下,进样口的总流量等于分流流量、隔垫吹扫流量和柱流量之和。[/font][font=宋体]当由于某种原因,进样口压力发生增大现象,此时GC系统会控制分流控制器增加分流出口流量,以降低进样口压力,使得进样口压力恢复设定值;反之亦然。在进样较大体积的液体或者气体样品时,一般会观察到进样口压力(流量)的瞬间变化。[/font][font=宋体] [/font][font=宋体]在不分流进样状态下,进样瞬间分流控制器将分流流量关闭,此时进样口总流量等于柱流量和隔垫吹扫流量之和。[/font][font=宋体] [/font][align=center][font=宋体]小结[/font][/align][font=宋体] [/font][font=宋体]电子流量控制器,实际上只控制进样口的输入总流量和压力。[/font]

  • 水塔自动供水控制器原理是什么

    水塔自动供水控制器原理是什么

    [font=宋体][color=#1E1F24]水塔自动供水控制器是一种用于控制供水系统,保持水塔水位在一定范围内的装置。其基本原理是利用水位传感器来检测水塔中的水位高度,并将检测结果与设定值进行比较,从而控制水泵的运行状态,以达到自动供水的目的。[/color][/font][font=宋体][color=#1E1F24]当水位低于设定值时,控制器会启动水泵,将水从水源输送到水塔中,直到水位达到设定值。当水位高于设定值时,控制器会关闭水泵,停止供水。同时,控制器还会控制电磁阀的开启和关闭,以控制水塔的出水量,从而保持水塔水位的稳定。[/color][/font][align=center][img=自动补水器,673,582]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309181648219012_8230_4008598_3.jpg!w673x582.jpg[/img][/align][font=宋体][color=#1E1F24]此外,[url=https://www.eptsz.com]水塔自动供水控制器[/url]还可以通过设置不同的参数来实现不同的控制功能,例如定时开关机、水位报警等功能。这些功能可以根据实际需求进行设置和调整,以达到更好的使用效果。[/color][/font]

  • 【原创大赛】气相色谱仪分流不分流进样口 手工流量控制器的结构原理

    【原创大赛】气相色谱仪分流不分流进样口 手工流量控制器的结构原理

    [url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱仪[/url]分流不分流进样口 手工流量控制器的结构原理 [align=center]概述[/align][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱仪[/url]分流/不分流进样口手工流量控制原理简介,各部件介绍和控制方式的特点。[align=center]简介[/align]分流/不分流进样口是[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱仪[/url]的重要部件,其气流控制的稳定性、精确度会显著影响[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱[/url]分析的结果的重复性、样品的真实性。随着电子技术的发展、手工流量控制器再现性较差,调整不方便等原因,进样口配备有电子流量控制器的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱仪[/url]逐渐成为实验室仪器的主流配置。但是手工流量控制因其安装和维护成本低廉、性能可靠等优点,目前仍然在较多的实验室具有一定的存量。尤其是对于色谱行业的初学者,有机会使用手工流量控制类型的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱仪[/url],将会有助于较快的学习和领会到[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱仪[/url]的基本结构和原理。[align=center]手工流量控制模式[/align]目前实验室常见的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱仪[/url]分流/不分流进样口的手工流量控制模式大致有两种,压力控制模式和流量控制模式。1.1压力控制模式其结构原理如图1所示,色谱仪通过恒压阀的调节,提供进样口的柱前压力(即控制柱流量);通过分流流路和隔垫吹扫流路针型阀的调节,实现分流流量和隔垫吹扫流量的控制。[align=center][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/09/202109191903058201_1362_1604036_3.jpg[/img][/align][align=center]图1 压力控制模式基本原理图[/align]下面以较为经典的Shimadzu的GC-2014为例予以说明,其调节阀结构如图2所示。[align=center][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/09/202109191903059080_3480_1604036_3.jpg[/img][/align][align=center]图2 进样口压力控制模式阀结构图[/align]载气首先经由两级稳压阀的一级减压和二级减压,输送进入进样口,提供稳定的柱前压力,根据色谱柱尺寸、载气种类和操作温度,调节合适的压力。流出进样口的载气流量分成三部分,柱流量、分流流量和隔垫吹扫流量,其中分流流量和隔垫吹扫流量的具体调节都通过针型阀来实现。隔垫吹扫流路和分流流路均存在捕集阱,一般填充活性炭、硅胶之类的吸附剂,用以吸附流经气体中的高沸点杂质,用以保护针型阀和分流电磁阀,避免过多的杂质凝结在阀中造成堵塞和开关失效。在分流流路中设计有电磁阀,当进样口需要工作在不分流状态之下时,通过电磁阀的通断操作,实现分流流路的切断和恢复。1.2 压力控制模式的优点和缺点采用控制柱前压力的方法来实现色谱柱流量的控制,执行部件使用了恒压阀,恒压阀的调节速度较快。色谱进样时,由于液体样品的受热迅速膨胀或者进样阀造成的流路瞬间切断,会导致进样口压力变化。采用压力控制方案(即使用恒压阀控制),进样口的压力会快速恢复。恒压阀和针型阀各自独立工作,互相不存在干扰和反馈的问题。其缺陷是结构较为复杂,分析方法开发时,调节不太方便。例如更换不同色谱柱之后,进样口压力、分流流量和隔垫吹扫流量均需要进行调节。此外如果进样口存在一定程度泄漏时,系统并不会有明显的异常。在色谱柱安装之后,一定要仔细检查泄漏。2.1流量控制模式其结构原理如图3所示,色谱仪通过总流量控制器(恒流阀)的调节,向进样口提供正确的进样口载气流量,由分流控制器(背压阀)提供正确的柱前压,同时提供正确的分流比。[align=center][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/09/202109191903059959_5598_1604036_3.jpg[/img][/align][align=center]图3 流量控制模式原理[/align]其阀结构如图4所示,[align=center][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/09/202109191903060554_1498_1604036_3.jpg[/img][/align][align=center]图4 进样口流量控制模式阀结构图[/align]载气首先经由稳压阀进行减压,输送给恒流阀,向进样口提供稳定的载气流量。流出进样口的载气流量分成三部分,柱流量、分流流量和隔垫吹扫流量,其中隔垫吹扫流量的调节通过针型阀来实现。分流流量通过背压阀来调节,背压阀的工作特性是可以使阀输入的压力保持稳定不变。利用这个特点背压阀可以同时调节进样口压力。通过三通电磁阀的状态切换,实现进样口分流和不分流状态的调整,如图5所示。[align=center][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/09/202109191903062977_9863_1604036_3.jpg[/img][/align][align=center]图5 分流和不分流状态阀结构图[/align]流量控制模式结构简单,背压阀的调节较为重要,调节速度和进样口压力扰动的恢复速度比压力模式要低。另外还有一类采用混合控制模式的手工流量控制器,将进样口入口侧的恒流阀改换成恒压阀,进样口压力控制速度得到改善。但是进行方法开发时,稳压阀和背压阀会互相影响,流量调节就会比较耗费时间。

  • 自动水位控制器开关

    自动水位控制器开关

    [font=&][color=#333333]自动水位控制器开关,也称为鱼缸自动补水器,是一种用于鱼缸或水族箱的设备,可以自动监测和控制水位,确保鱼缸中的水位始终保持在适当的范围内。它通常包括一个水位传感器和一个控制开关。[/color][/font][font=&][color=#333333][/color][/font][font=&][color=#333333]水位传感器是自动水位控制器的核心部件,它可以通过不同的原理来检测水位。其中,光电液位传感器是一种常用的水位传感器。它利用发射器和接收器之间的光束来检测水位。当水位低于设定值时,光束被阻挡,接收器接收到的光信号减弱,从而触发控制开关,启动补水装置。当水位达到设定值时,光束不再被阻挡,控制开关停止补水。[/color][/font][font=&][color=#333333][/color][/font][font=&][color=#333333]鱼缸自动补水器的工作原理如下:首先,将水位传感器安装在鱼缸中,确保传感器的位置能够准确地检测到水位。然后,将补水装置连接到自动水位控制器,并将补水管放入鱼缸中。当水位低于设定值时,光电液位传感器会触发控制开关,启动补水装置,补充鱼缸中的水。当水位达到设定值时,光电液位传感器会停止触发控制开关,补水装置停止工作。[/color][/font][font=&][color=#333333][/color][/font][font=&][color=#333333]选择合适的自动水位控制器开关时,需要考虑以下几个因素:首先,根据鱼缸的大小和水位需求,选择适当的控制开关和水位传感器。其次,考虑自动水位控制器的稳定性和可靠性,选择具有高品质和可靠性的产品。此外,还需要考虑自动水位控制器的安装和操作便捷性,以及价格和性价比。[/color][/font][font=&][color=#333333][/color][/font][align=center][img=鱼缸补水器,673,582]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307071357083064_4373_4008598_3.jpg!w673x582.jpg[/img][/align][font=&][color=#333333] [/color][/font][font=&][color=#333333]总之,自动水位控制器开关是一种方便实用的设备,可以帮助鱼缸或水族箱保持适当的水位。通过光电液位传感器的检测和控制,自动水位控制器可以自动补充鱼缸中的水,确保鱼类的生活环境稳定和舒适。选择合适的自动水位控制器开关时,需要考虑水位需求、稳定性、可靠性、安装便捷性和价格等因素,以确保其能够满足鱼缸的需求。[/color][/font][font=&][color=#333333][/color][/font]

  • 控制器作用

    液相控制器的作用是什么就是连接机器和显示器吗,如果关掉控制器的话机器还能进行检测吗?只看到岛津的机器有单独的控制器,那安捷伦和WATERS是安在内部了还是不是所有的机器都需要控制器啊

  • 【分享】美国泽塔zeta 200 3D光学轮廓仪/三维显微镜

    Zeta 200自动三维测量系统Zeta 200是集多种测量手段于一身的高级表面测量系统。它功能配备齐全,使用方便,是三维测量系统中性能价格比最优的选择。Zeta 200能够自动采集样品上多点的工艺参数,如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等,为您提供监管及优化生产流程所需的数据。· 自动多点、多配方测量样品· 200毫米x200毫米XY轴驱动范围· 粗糙表面成像与分析· 金属栅线形状与尺寸测量· 防反射膜及光刻胶厚度分析· 真空吸盘保证样品定位一致· 本色三维成像· 台阶高度,线与面粗糙度、角度及尺寸测量Zeta 200特色功能1.多点测量 用户可按其所需设置每片样品上的采样点数——少许几点往往适用于快速检测,多点则可用于详细分析。2.大面积成像 Zeta 200可自动按次序对多个视场进行成像,然后由软件拼接成一张大面积的样品表面三维图像。3.自动形貌特征测量 用户可设置操作配方对样品的各种指定形貌特征如尺寸、间距、高度甚至整片样品的弧度等进行自动测量。标准系统配置显微镜系统光源:高亮度白光LED物镜:5x,10x,20x,50x,100x耦合透镜:0.5x自动载物台:200毫米x200毫米XY驱动范围Z轴:30毫米纵向驱动范围数码相机: 1024x768像素,1/3 英寸CCD计算机控制系统处理器:英特尔®酷睿2 双核(最低2.5GHz)随机存储器3GB硬盘驱动器:320GB显示器:22英寸宽屏液晶显示器(1680x1050像素) Zeta 三维测量软件实时视频成像快速数据采集(每处1分钟)三维表面浏览:倾斜,旋转,缩放,过滤•体积计算二维表面分析:特性尺寸,直径,面积图案间距,标准偏差表面粗糙度区域平均台阶高度轮廓测量台阶高度与粗糙度多横截面分析平均值测量标尺倾斜度与表面波度补偿阵列式采样序列自动数据与图像输出用于生产线SPC

  • 国产化替代艾默生ER5000系列电子压力控制器及其功能扩展

    国产化替代艾默生ER5000系列电子压力控制器及其功能扩展

    [color=#990000]摘要:本文主要介绍了国产化替代方面所做的工作,替代产品为艾默生TESCOM ER5000系列电子压力控制器及其背压阀。本文介绍了进口产品的性能特点和不足,提出了国产化替代技术路线,描述了国产化替代产品的性能指标,介绍了国产化替代产品的功能扩展和技术创新,使国产化替代产品具有了更高的性价比和使用灵活性。[/color][align=center][img=国产化替代,690,408]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111182018432207_7188_3384_3.jpg!w690x408.jpg[/img][/align][size=18px][color=#990000]1. 艾默生ER5000系列压力控制器[/color][/size][size=16px][color=#990000]1.1. 压力控制器结构和原理[/color][/size]艾默生最新一代TESCOM ER5000系列电子压力控制器,是一种多功能集成式的压力控制器,集成了压力传感器、PID(比例-积分-微分)控制器和电动比例阀三个部件,集传感器、控制器和电子阀门于一体构成一个完整的控制机构。TESCOM ER5000电子压力控制器及其基本结构如图1-1所示。[align=center][color=#990000][img=国产化替代,690,249]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111182025069214_3530_3384_3.png!w690x249.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图1-1 TESCOM ER5000电子压力控制器结构示意图[/color][/align]从图1-1可以看出,ER5000电子压力控制器的功能就是控制底部出口处的压力,将进气压力降低并控制在设定压力上,使底部出口处的压力始终与设定压力一致。ER5000电子压力控制器实际上是一款电子式的减压阀,其工作原理如图1-2所示。外部气源向ER5000供给压力,供给压力通过打开的进气阀成为出口处的输出压力,同时此输出压力通过压力传感器反馈至PID控制器。如果反馈值低于压力设定值,控制器继续控制进气阀处于开启状态直到反馈值与设定值相等。等到上述两个值相等,进气阀将关闭,此时出口处持续输出恒定的设定值压力。如果反馈值高于设定值,则控制器将启动排气阀,从而排放过量的出口压力直到反馈信号等于设定值。等到上述两个值相等,排气阀将关闭,此时出口处同样持续输出恒定的设定值压力。[align=center][img=国产化替代,690,284]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111182025348584_2251_3384_3.png!w690x284.jpg[/img][/align][color=#990000][/color][align=center][color=#990000]图1-2 TESCOM ER5000电子压力控制器原理图[/color][/align][size=16px][color=#990000]1.2. 典型应用[/color][/size]ER5000压力控制器主要有两类应用方向,一是单机应用,二是与其他特殊阀门的配合应用,以达到不同范围内的压力调节和控制。(1)单机应用:从上述结构和原理可知,TESCOM ER5000电子压力控制器是一款非常典型的电子式减压阀,在单机使用情况下,控制器本身可对压力8.2bar以下的气源进行减压并准确控制,甚至可以实现对粗真空的控制。另外,在单机应用中,可分别采用内部和外部反馈两种控制模式,如图1-3和图1-4所示。[align=center][img=国产化替代,690,244]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111182025483237_8169_3384_3.png!w690x244.jpg[/img][/align][align=center][color=#990000]图1-3 艾默生ER5000电子压力控制器内部反馈控制模式单机应用[/color][/align][color=#990000][/color][align=center][img=国产化替代,690,266]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111182025582943_2239_3384_3.png!w690x266.jpg[/img][/align][align=center][color=#990000]图1-4 艾默生ER5000电子压力控制器外部反馈控制模式单机应用[/color][/align](2)配合使用:ER5000电子压力控制器的一个重要应用是作为先导阀与其他调节阀配合使用,以调控更大的压力范围。更大压力减压应用如图1-5所示,与背压阀配合应用如图1-6所示[align=center][color=#990000][img=ER5000国产化替代,690,301]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111182026370215_476_3384_3.png!w690x301.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图1-5 艾默生ER5000电子压力控制器典型减压应用[/color][/align][color=#990000][/color][align=center][img=ER5000国产化替代,690,450]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111182026463023_179_3384_3.png!w690x450.jpg[/img][/align][align=center][color=#990000]图1-6 艾默生ER5000电子压力控制器典型背压应用[/color][/align][size=16px][color=#990000]1.3. 性能指标[/color][/size]由于TESCOM ER5000系列电子压力控制器是由压力传感器、PID控制器和双阀结构压力调节器三部分的集成,每部分的技术指标则代表了控制器的整体性能,相关技术指标和功能分列如下:(1) 压力控制原理:双电磁阀三通控压。(2) 介质类型:清洁、干燥的惰性气体或仪表级空气。(3) 进气口压力(绝对压力):最小(真空泵压力),最大8.2bar(820kPa)(4) 出气口压力(绝对压力):最小0.07bar(7kPa),最大8.2bar(820kPa)(5) 输入信号:USB、RS485、4~20mA、1~5V或0~10V。(6) 外部传感器反馈信号:4~20mA、1~5V或0~10V。(7) 内部压力传感器测量精度:±0.10%(FSO),其中包括了±0.05%(FSO)线性度和±0.05%(FSO)迟滞。(8) 控制器A/D转换:16位。(9) 控制器重复性:±0.05%(FSO)。(10) 控制器分辨率灵敏度:±0.03%(FSO)。(11) 控制方式:PID(需结合专用软件ERTune进行PID参数调试和优化)。(12) 控制模式:内部反馈、外部反馈和双环三种模式。这里特别介绍ER5000压力控制器的三种控制模式,这是此控制器的一个技术亮点:(1)内部反馈模式:该模式仅使用内部传感器。内部反馈模式使用ER5000内部压力传感器以监控控制器内部1~100psig/0.07~6.9bar范围内的绝对压力。(2)外部反馈模式:该模式仅使用外部传感器。外部反馈模式利用用户提供的外部传感器以监控系统压力,该传感器安装于过程管线中并向ER5000提供直接反馈。(3)双环模式:该模式是在“循环内循环”配置中同时使用内部和外部传感器。双环模式在一个PID循环中执行另一个PID循环。内部回路使用控制器的内部传感器,外部回路使用外部传感器。[size=16px][color=#990000]1.4. 功能和特点[/color][/size]从上述介绍,可归纳出ER5000压力控制器的以下几方面功能和特点:(1) ER5000压力控制器最主要功能是可进行气体压力(不是流量)控制,即可实现密闭型容器和管道内压力的准确控制。(2) 整体集成式结构,集成了压力传感器、PID控制器和双阀调节器执行结构,使得整体结构小巧,并便于安装使用和多台并行使用。(3) 作为一种典型的压力控制器,即可直接对最大8.2bar的气源压力进行减压并准确恒压控制(进气口为正压),也可用来控制低压(粗真空,进气口为真空),最低压力可达0.07bar(7kPa)。(4) ER5000压力控制器可作为先导阀来驱动各种大量程的减压阀和背压阀,控制器的出口与其他背压阀的先导口连接,可实现更大量程范围内压力调节和控制。(5) 压力传感器±0.1%的测量精度和16位的A/D转换,属于中高端技术指标,可满足大多数应用场合。(6) 数字PID控制方式可实现压力的快速和准确控制。(7) 内部反馈、外部反馈和双环三种控制模式,使ER5000压力控制器具有较大的使用灵活性,可根据实际使用要求选择最佳控制模式。[size=16px][color=#990000]1.5. 压力控制器存在的不足[/color][/size]尽管ER5000压力控制器有上述诸多功能和特点,但在实际应用中还存在以下多方面的限制和不足。(1) ER5000压力控制器集成了真空压力控制领域中三种最常用部件,但由于是集成式结构而不是模块化积木式结构,这反而限制了ER5000压力控制器应用。如ER5000压力控制器中集成了两个电磁阀,但仅能进行气体压力控制,而无法进行只需单电磁阀的气体流量控制。(2) ER5000压力控制器更侧重于正压控制,也可进行部分的负压控制,这主要是由于所用阀门的漏率太高造成,从而并未发挥传感器(特别是外置传感器)和PID控制的强大功能。如果能降低控制器内部阀门的气体漏率,则控制器完全可覆盖整个真空度范围的控制,将目前的7kPa的真空度扩展到1Pa左右。(3) 在驱动各种大量程减压阀和背压阀应用方面,使用价格较高的ER5000压力控制器作为先导阀其性价比非常低,完全可以使用高性价比的国产替代产品。(4) ER5000压力控制器16位的A/D转换,属于中高端技术指标,如果采用外置高精度的压力传感器则需要24位的A/D转换器,这使得ER5000压力控制器无法满足一些测量控制精度要求较高的场合。(5) 尽管ER5000压力控制器采用了PID控制方式,但PID参数的调节都需要使用专用软件,控制器自身缺乏PID参数自整定功能,还需连接计算机,现场操作非常繁复。(6) ER5000压力控制器自身缺乏显示功能,还需连接计算机和使用配套软件才能进行调试和显示控制过程和结果。(7) ER5000压力控制器的整体价格偏高,而且操作复杂,对操作人员有较高的要求。再结合控制器上述不足,这使得ER5000压力控制器的性价比并不高,很多场合下使用显着非常的奢侈和浪费。[size=18px][color=#990000]2. 国产化替代技术路线[/color][/size]对艾默生公司最新一代TESCOM ER5000系列电子压力控制器的国产化替代,技术路线是首先实现ER5000压力控制器的测控功能,提供高性价比国产压力控制器。然后采用模块结构技术路线,将真空压力传感器、PID控制器和电子阀门分离为各自独立模块,每一类模块由一系列不同技术指标的部件组成,通过这些不同性能指标模块的组合来实现不同控制功能和精度要求,拓展控制器功能,满足不同需求,并具有高性价比。[size=16px][color=#990000]2.1. 实现ER5000压力控制器功能[/color][/size](1) 国产化替代产品要达到ER5000电子压力控制器绝大部分功能,即实现ER5000压力控制器自身的减压和控压功能。(2) 国产化替代产品同时与ER5000压力控制器一样,可作用先导阀来对大量程高压范围的气体进行减压和控压。(3) 国产化替代产品具有设定值输入和显示功能,无需软件和连接计算机进行操作。(4) 国产化替代产品价格低,具有高性价比。[size=16px][color=#990000]2.2. 模块化结构和功能拓展[/color][/size](1) 模块化结构分为传感器、PID控制器和电子阀门三个模块。(2) PID控制器模块是所有模块的核心器件,决定了测控精度,决定了可配合使用的传感器和电子阀门的种类,决定了控制方式和控制模式。PID控制器模块将采用24位A/D转换器提高测控精度,集成两个独立控制通道可同时控制2路真空压力或1路真空压力和1路温度,可连接多种真空压力和温度传感器,2通道结合可进行正反双向控制以满足真空压力的上下游控制模式,2通道结合可具备双传感器自动切换功能以覆盖宽泛测控量程,PID控制器带程序设定功能可输入多条控制工艺曲线,可输入和存储多组PID参数,PID参数调整带自整定功能,控制器带彩色液晶屏显示全过程参数和结果。(3) 电子阀门模块由多种规格型号的电子阀门构成,主要有流量调节阀和压力调节阀两大类。流量调节阀主要有小流量电动针阀和大流量大口径电动球阀蝶阀,这些流量调节阀都属于高速调节阀,开闭速度都在1s以内。压力调节阀主要有真空型背压阀和高压型背压阀,两种背压阀都可以在水气两相介质下工作。(4) 传感器模块主要是外协配套件,由多种规格型号的压力传感器和温度传感器构成,主要分为高压传感器、低压(真空)传感器、热电偶、铂电阻、热敏电阻、红外测温仪和直流电压信号,由此可覆盖几乎所有压力和温度范围内的测量。[size=18px][color=#990000]3. 国产化替代产品[/color][/size]根据上述的国产化替代技术路线,上海依阳实业有限公司研制了相应的产品,现分别介绍如下。[size=16px][color=#990000]3.1. 数显压力控制器[/color][/size]国产化的数显式压力控制器包括正压型和真空型两种规格,其压力控制原理和基本结构与艾默生TESCOM ER5000系列电子压力控制器一样,如图3-1所示。[align=center][color=#990000][img=ER5000国产化替代,690,390]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111182027032534_5519_3384_3.png!w690x390.jpg[/img][/color][/align][color=#990000][/color][align=center][color=#990000]图3-1 国产化电子压力控制器及其结构原理[/color][/align]国产化的数显式压力控制器同样是压力传感器、控制器和双阀结构压力调节器三部分的集成结构,相关技术指标和功能分列如下:(1) 压力控制原理:双电磁阀三通控压。(2) 介质类型:清洁、干燥的惰性气体或仪表级空气。(3) 进气口压力(绝对压力):最小(真空泵压力),最大50bar(5MPa)(4) 出气口压力(绝对压力):最小0.21bar(21kPa),最大30bar(3M Pa)(5) 输入信号:4~20mA、0~5V或0~10V。(6) 外部传感器反馈信号:4~20mA、0~5V或0~10V。(7) 内部压力传感器测量精度:±1.0%(FSO),其中包括了±0.5%(FSO)线性度和±0.5%(FSO)迟滞。(8) 控制器A/D转换:12位。(9) 控制器重复性:±0.5%(FSO)。(10) 控制器分辨率灵敏度:±0.2%(FSO)。(11) 控制方式:内置PID自动控制,无需人工干预。(12) 控制模式:内部反馈和外部反馈。从上述技术指标可以看出,国产化压力控制器的有些技术指标进行了降低,如12位的A/D转换和±1.0%测量精度,但拓宽了使用压力范围,增加了显示和输入功能,压力控制器可独立使用无需外接计算机和软件调试,降低了操作难度,提高了性价比,基本上能满足绝大多数领域的应用。[size=16px][color=#990000]3.2. 背压阀(高压型和真空型)[/color][/size]国产化的新型背压阀模块单独分为高压型和真空型背压阀,两种背压阀都采用上述数显压力控制器做先导阀进行控制,但新型背压阀对艾默生TESCOM等传统背压阀做了重大改进。传统的背压阀,都具有一个固定在阀体上的阀座,此阀座与阀芯紧密贴合,来达到密封效果。它可以为大多数简单过程提供基本的压力控制,在这种设计中,通过弹簧或其他的方式提供一个预设加载力,这个加载力使得阀芯与阀座密封。当管路压力作用到阀芯上的力,与加载力相同时,则背压阀在预设的压力状态下正常工作;当阀门的入口端压力升高,使作用在阀芯上的力超过预设的加载力时,阀芯和阀座分离,释放入口端多余的压力,直至恢复预设的压力。传统背压阀结构,在瞬时流量变化较大、或入口压力波动频繁的情况下,控制压力的精度较低,原因如下:(1) 由于大多数控制压力超过20bar的传统背压阀,采用了活塞的方式作为阀芯的负载机构,活塞中的O形密封圈增加了动作摩擦,从而使阀芯动作卡滞;(2) 传统背压阀的进出口流道,多为单一且固定截面积的通路,当阀门入口的流量迅速增加或降低时,阀门的Cv值(流通能力)却没有变化,这样会使入口压力产生剧烈波动;(3) 传统背压阀阀芯和阀座,因密封需要,贴合时存在应力或摩擦,频繁的开合,会使其彼此互相磨损和消耗,破坏初始的形状,使Cv值发生不可预知的改变。新型背压阀是上向下相连接的阀盖和阀体结构,如图3-2所示。阀盖和阀体之间连接有膜片,阀盖顶部开设先导气孔,先导气孔通过阀盖内部开设的气源通道连通至阀盖底部开设的供膜片中部起伏运动的活动槽,形成上下贯通的通路,阀体侧壁上分别开设相对设置的介质入口和介质出口,介质入口与阀体上表面开设的多个入口小孔相连通,介质出口与阀体上表面开设的多个出口小孔相连通。新型背压阀的突出特点是整个动作无摩擦,不会产生压力滞后,入口压力稳定性高,具备更大的流通能力。[align=center][color=#990000][img=ER5000国产化替代,690,259]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111182027186867_2208_3384_3.png!w690x259.jpg[/img][/color][/align][color=#990000][/color][align=center][color=#990000]图3-2多孔式结构新型背压阀[/color][/align][size=16px][color=#990000]3.3. 双通道高精度PID控制器[/color][/size]针对PID控制模块,为满足广泛的真空压力控制要求,上海依阳实业有限公司出品了VPC2021系列PID控制器,此系列控制器可进行真空、压力和温度的测量、显示和控制。采用了24位数据采集和人工智能PID控制技术,可接入各种型号的真空、压力和温度传感器,可控制多种型号的电动针阀、电动阀门和加热器等执行结构,可实现高精度真空、压力和温度等参量的定点和程序控制,是替代国外高端控制器产品的高性能和高性价比控制器。如图3-3所示,VPC2021系列PID控制器具有双通道独立测控功能,可对不同通道上的参数同时进行测量、显示和控制。如果两个通道接入相同类型但量程不同传感器,如图3-4所示,可以根据测试值实现两个传感器之间自动切换,由此可覆盖宽量程的测量和控制。[align=center][img=ER5000国产化替代,690,348]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111182027332455_2803_3384_3.png!w690x348.jpg[/img][/align][align=center][color=#990000]图3-3 VPC2021系列双通道高精度PID控制器及其应用[/color][/align][color=#990000][/color][align=center][img=ER5000国产化替代,690,369]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111182027510730_967_3384_3.png!w690x369.jpg[/img][/align][align=center][color=#990000]图3-4 双通道高精度PID控制器的双传感器自动切换[/color][/align]VPC2021系列双通道高精度PID控制器主要技术指标如下:(1) 测量精度:±0.05%FS(24位A/D)。(2) 输入信号:可连接众多真空压力传感器,32种信号输入类型(电压、电流、热电偶、热电阻)。(3) 控制输出:4种控制输出类型(模拟信号、固态继电器、继电器、可控硅),可连接众多电动调节阀。(4) 控制算法:PID控制和自整定(可存储和调用20组PID参数)。(5) 控制方式:定点和程序控制,最大可支持9条控制曲线,每条可设定24段程序曲线。(6) 通道:双通道,双通道传感器自动切换。(7) 通讯方式:RS 485和以太网通讯。(8) 供电电源:交流(86-260V)或直流24V。(9)外形尺寸: 96×96×136.5mm (开孔尺寸92×92mm)[size=16px][color=#990000]3.4. 高速电动流量调节阀[/color][/size]针对电子阀门模块,为满足不同大小流量的高速调控,上海依阳实业有限公司推出了两个系列的电子阀门,一个系列是电动针阀用于小流量调控,另一个系列是电动球阀和蝶阀用于大流量调控。这两个系列电子阀门的最大特点是可电控,并具有1s以内的高速闭合时间,是国内非常罕见的快速电子阀门。如图3-5所示,电动针阀NCNV系列是将步进电机的精度和可重复性优势与针阀的线性和分辨率相结合,其结果是具有小于2%滞后、2%线性、1%重复性和0.2%分辨率的可调流量控制,是目前常用电磁比例阀的升级产品。与依阳公司VPC2021系列真空压力控制器相结合,可构成快速准确的真空压力闭环控制系统。[align=center][color=#990000][img=ER5000国产化替代,599,513]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111182028158401_6212_3384_3.png!w599x513.jpg[/img][/color][/align][color=#990000][/color][align=center][color=#990000]图3-5 NCNV系列电子针阀[/color][/align]NCNV系列电动针阀主要技术指标和特点如下:(1) 多规格节流面积:从低流量的直径0.9mm(0~50L/min气体)到高流量的直径4.10mm(0到660 L/min气体)的多种规格针阀节流面积,可满足不同的应用需要。(2) 高度线性:小于2%的线性度,简化了查表或外部控制硬件和软件的配套,简化了命令输入和流量输出之间的关系。(3) 高重复性:通过每次达到0.1%的相同流量,NCNV系列电动针阀可提供长期稳定的一致性。(4) 宽压力范围:通过5或7bar巴的真空,取决于孔的大小,入口环境可覆盖宽泛的压力范围。电机的刚度和功率确保阀门在相同的输入指令下打开,与压力无关。(5) 低迟滞:小于2%的迟滞使积分和编程变得简单,在增加和减少达到设定点时能提供一致的流量。(6) 高分辨率:0.2%的分辨率允许NCNV系列电动针阀根据调节指令的微小变化进行最小流量调整,提供了出色的可控性。(7) 快速响应:整个行程时间小于1秒,由此可提供及时快速的流量调节和控制。(8) 工作电压:VDC 24V。(9) 输入信号:4~20mA、0~5V和0~10V。如图3-6所示,电动球阀NCBV系列是将高速电动执行器及高品质V型球阀组成,是目前常用慢速电动球阀的升级产品。与依阳公司VPC2021系列真空压力控制器相结合,可构成快速准确的真空压力闭环控制系统。[align=center][color=#990000][img=ER5000国产化替代,377,500]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/11/202111182029196473_3852_3384_3.png!w377x500.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图3-6 NCBV系列电动球阀[/color][/align]NCBV系列电动球阀主要技术指标和特点如下:(1) 最大扭力:2N.m。(2) 阀球转动角度:90°。(3) 开关阀时间:小于1秒。(4) 工作电压:VDC 24V(5) 输入信号:4~20mA、0~5V和0~10V(6) 防护等级:IP67。(7) 环境温度\湿度:-20℃至45℃;≤85%(不凝露)。(8) 介质温度和压力:0~100℃;≤1.0MPa [size=18px][color=#990000]4. 总结[/color][/size]综上所述,通过一系列国产化替代产品的开发,基本可以完全替代艾默生最新一代TESCOM ER5000系列电子压力控制器及其背压阀,且性价比大幅度提高。重要的是,在国产化替代基础上,设计了更灵活易用的模块化结构,对单项模块产品进行了功能扩展和技术创新,开发了新型背压阀和高速电动流量调节阀,新开发的PID控制器具有更强大的功能和测量精度,整个系列的国产化替代产品具有较高的性价比。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

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