CIS / ALS / 光传感器晶圆测试仪SG-O产品介绍:提供您在 CIS / ALS / 光传感器晶圆级测试中所需的一切SG-O 是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圆测试仪,它结合了高度均匀的光源和半自动晶圆探测器。高度均匀光源可以提供从 400nm 到 1700nm 的连续白光光谱,以及在许多不同波长下具有一定 FWHM 的单色光输出。探测器可以处理最大。200mm 晶圆尺寸和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片。SG-O 集成了超低噪音热卡盘,可提供 -60°C 至 180°C 的温度范围,具有快速的升温速度和稳定性。SG-O 提供您在 CIS / ALS / 光传感器设计验证或工艺良率检查中所需的一切。特色:高度均匀的光源1. 从 UV 到 SWIR 的宽光谱范围2. 超过 50mm x 50mm 区域的高度均匀性超过 98%3. 超稳定光强度,可维持不稳定性 0.2% 长达10小时以上4. 高光强动态范围,高达 140dB可编程自动探测器1. 200mm ~ 10mm 晶圆或芯片处理能力2. 用于最准确可靠的 DC / CV、RF 测量3. 稳定的功能显微镜系统4. 整合硬件控制面板5. 自动晶圆装载机6. 智能晶圆映射宽温低噪音卡盘1. 模块化卡盘2. -80°C 至 180°C 的宽温度范围3. 先进的 CDA 热控制技术,高斜坡率和高 T 稳定性4. 用于精确 CIS / ALS/ 光传感器晶圆测试的超低噪声系统设计SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 测试仪(晶圆级)系统图。高度均匀的光源由 PC-1 控制。光输出由光纤引导到光学均化器以产生均匀的光束。显微镜和均质器由 PC-1 的自动平移台控制,以切换位置和功能。Prober 系统为 MPI TS2000,由 PC-2 控制。卡盘台的位置也由 PC-2 控制。热卡盘温度可控制在 -55 ℃ 至180 ℃ ,涵盖了大部分 IC 测试温度范围。光强度由一个 Si 光电探测器和一个 InGaAs 光电探测器通过皮安电流表检测和校准。高度均匀的光源光谱范围:400nm 至 1700nm色温:3000K 至 5200K均匀照明面积:42mm x 25mm,工作距离 200mm照度均匀度:优于98%短期光不稳定性:≤ 1% 超过 1 小时长期光不稳定性:≤ 1% 超过 10 小时DUT与最后一个光学组件之间的工作距离:≥200mm工作距离单色光生成: 1. 10nm FWHM 中心波长:420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm 2. 25nm FWHM 中心波长:1010nm, 1250nm, 1450nm 3. 45±5nm FWHM 中心波长: 815nm 4. 50nm FWHM 的中心波长:1600nm 5. 60±5nm FWHM 中心波长:650nm 6. 70±5nm FWHM 的中心波长:485nm, 555nm 7. 100±5nm FWHM 的中心波长:1600nm带外透光率 ≤ 0.01%带通区峰值传输 ≥ 80%中心波长容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nmFWHM 容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm可变衰减器:PC 控制的 3-decade 分辨率,至少 1000步半自动晶圆探针:晶圆尺寸能力:200mm、150mm、100mm 晶圆和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片晶圆处理:单晶圆,手动进料型半自动化:一步手动对准教和自动模步进XYZ 平台卡盘 XY 载物台行程:210mm x 300mm卡盘 XY 平台分辨率:优于 0.5um夹头 XY 平台精度:优于 2.0um卡盘 XY 平台速度:最慢:10 微米/秒,最快:50 毫米/秒Chuck Z 载物台行程:50mmChuck Z 平台分辨率:0.2um卡盘 Z 平台精度:±2.0umTheta 平台Theta 载物台行程:± 5 度运动范围Theta 分辨率:优于 0.01 度Theta 精度:0.1 度卡盘卡盘平整度 ≤ 10um卡盘热操作:-60°C 至 200°C25°C 时的卡盘泄漏: 25°C 时在 10V 偏压下每个电压 ≤ 20fA卡盘剩余电容 ≤ 95fF探针卡探针卡尺寸:4.5 英寸至 8 英寸长探针卡座与压板之间的间隙:≥ 7.5mm微型腔室EMI 屏蔽:在 1kHz 至 1MHz 范围内 ≥ 30dB系统交流噪声:≤ 5mVp -p光谱辐照度计光谱范围:400nm 至 1600nm波长分辨率:400nm 到 1000nm 增加步长 1nm;1000nm 到 1600nm 增加步长 3.5nm主要表现 SG-O 系统的操作软件。对于高度均匀光源控制软件,SG-O 提供光源系统控制和光强测量。提供了各个光学组件的 Labview 功能调色板、驱动程序 / DLL 文件。该软件控制所述平移台以促进照射大是在零件的设备。集成链接的整合包括发送 / 接收命令,例如芯片步进、芯片对齐 / 探测等。来自 SG-O 显微镜系统的 CIS / ALS / 光传感器芯片图像SG-O 的高度均匀光源具有一个超稳定的光引擎,在整个波长范围内,短期或长期的光强不稳定性均优于 0.2%。
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