一、技术原理: (1)小型蒸镀仪KT-Z1650CVD,台式设计、软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。 (2)通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为热蒸发镀膜,热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。 二、真空度越高越不易氧化越接近金属本色: ★玻璃钟罩真空腔室,最直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察; ★复合分子泵和直联旋片泵,大抽速准无油真空系统(分子泵抽速≥400L/S);★两组水冷式蒸发电极,可长时间稳定工作,兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计;★专业真空蒸发电源,数显工作电流和电压,恒流输出; ★可定制一体化高精度刻蚀掩膜板; ★衬底可选择加热或水冷,源基距≥300mm; ★可调速旋转靶台使薄膜更均匀; ★可沉积金属(Au,Ag,Al,Ca,Cu,Mg,Fe,Cr,Ni等)、非金属、化合物(MoO3,LiF等)及有机物材料,可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜; ★7寸显示器定时定点调节电流,达到控制功率效果; ★具有记忆储存功能,直接调出已储存的数据进行镀膜达到同样工艺效果; ★配置了靶台挡板,可手动调节或自动调节挡板,及时遮挡样品,保证样品效果;三、技术支持&服务: 1.技术支持:在合同签订之前,我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下,为客户做出*的选型和方案设计,使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等,以帮助客户做出正确的选择。2.安装与培训:在产品使用前,我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。 3.产品质保:我们对产品提供12个月的质保期,在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。(耗材和易损件除外) 4.终身维护:我们对提供的产品提供终身服务,对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费,免除一切人工费用。 以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图 原样品没有镀膜 115A 100秒 机械泵115A 100秒 分子泵抽12分钟 115A 120秒 分子泵抽20分钟四、小型蒸镀仪KT-Z1650CVD技术资料:控制方式7寸人机界面 手动 自动模式切换控制加热方式数字式功率调整器镀膜功能0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序最大功率≤1200W最大输出电压电流电压≤12V 电流≤120A真空度机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa挡板类型电控真空腔室石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm样品台可旋转φ62 (最大可安装φ50基底)样品台转速8转/分钟样品蒸发源调节距离70-140mm蒸发温度调节≤1800℃支持蒸发坩埚类型钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 预留真空接口KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口可选配扩展机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa) 数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa)分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa)
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