微机械陀螺仪工作原理

INNALABS的INL-CVG-GU100是一个单轴哥氏振动陀螺仪，它的设计和制造可以满足*具挑战性的惯性系统要求：. 运行偏置稳定性(室温，1σ)0.1°/hr. 低输出噪声(0.008°/s RMS @100Hz) . 大带宽(300Hz). 高MTBF(500,000hr). 鲁棒性(500高-g冲击) 应 用 本产品应用于很多场合,从**级性能和小尺寸的惯性系统到天线和平台稳定。INNALABS的陀螺仪应用在以下要求的例子中：. 稳定系统:-平台-天线-光学-车辆.... 远程系统和无人车辆:-AGV(自主导航车辆)-UUV(无人水下车辆)-UAV(无人机)-ROV(遥控操作的水下车辆).... 系统:-IMU(惯性测量单元)-INS & INS/GPS(惯性导航系统)-AHRS(姿态航向参考系统) 性 能 参数单位值轴数1(x或y轴)输出格式数字量输出接口VDCRS-232/422/485输出信号率Hz2000-9000温度补偿(偏置,SF)是测量范围Deg/sec±110(注1)带宽Hz300运行偏置稳定性(室温,1σ)Deg/hr0.1偏置稳定性,全温量程,1σDeg/hr10 (注2)偏置重复性,开启,1σDeg/hr0.5角度随机游走(稳态)Deg/0.008静态噪声(0.1-100Hz),RMSDeg/sec0.008比例因子误差，全温量程，1σppm2500 (注3)比例因子线性度ppm500启动时间sec1失调mrad8 (注4)输入信号（MIL-STD-461和1275）VDC+12 VDC到+36 VDC功耗watt1.7@15V工作温度degC-40至+85存储温度degC-55至+90振动，工作g RMS,Hz12g,1-2000Hz,10分/轴振动，运输g RMS,Hz3g,1-2000Hz,1h/axis冲击g,ms500g,0.5ms半正弦MTBF,（MIL-HDBK 217F)hr500,000电磁环境效应MIL-STD-461E寿命years17重量kg0.9尺寸mmH68 × L107 × W107内部自测试是

一体化无线Wi-Fi温振传感器（集成陀螺仪-磁力计-压力-湿度-光传感器）昊量光电全新推出的一体化无线Wi-Fi温振传感器（集成陀螺仪-磁力计-压力-湿度-光传感器）。是全新的便携式、适应性强且可靠的冲击和振动传感器解决方案。 紧凑型、无线和Wi-Fi支持，冲击、振动和环境的传感器和软件为工程师提供了方便 、准确和经济的测量和分析，几乎任何环境 。适用于制造、高价值资产运输、状态监测以及测试和开发等应用一体化无线Wi-Fi温振传感器将嵌入式传感器、信号调理、数据采集和电源集成到一个手持设备中，只需按一下按钮即可开始测试！ 一体化无线Wi-Fi温振传感器（集成陀螺仪-磁力计-压力-湿度-光传感器）具有高性能三轴压电加速度计、次级三轴电容式加速度计和其他环境传感器。因其广泛的应用范围而蕞受通用测试的欢迎。其铝制外壳提高了恶劣环境下的可靠性，并扩大了其频率响应。一体化无线Wi-Fi温振传感器（集成陀螺仪-磁力计-压力-湿度-光传感器）产品特点：带有传感器、存储和可充电电池的独立测量系统 手持式外形通过 USB 接口在几分钟内完成设置用于动态范围的多个加速度计在单个系统中增加了许多嵌入式传感器用户可编程唤醒条件和采样率在恶劣环境中受到 2,000 多家客户和美国海军的信赖使用 NIST 可溯源加速度计校准 |优势 |校准证书数十亿个数据点的存储容量一体化无线Wi-Fi温振传感器（集成陀螺仪-磁力计-压力-湿度-光传感器）规格加速度计类型范围采样率带宽噪声分辨率压电的± 100g20,000Hz5 至 2,000 Hz 0.04 gRMS0.003g数字电容式± 40g4,000Hz0 至 300 Hz 0.01 gRMS0.00008g一体化无线Wi-Fi温振传感器（集成陀螺仪-磁力计-压力-湿度-光传感器）频率响应图一体化无线Wi-Fi温振传感器（集成陀螺仪-磁力计-压力-湿度-光传感器）附加传感器规格:传感器测量范围分辨率采样率陀螺仪2000°/秒0.06 °/秒0（关闭）至 200 Hz磁力计± 1300 μT0.3uT0（关闭）至 10 Hz温度-40 至 85 °C0.01 摄氏度0（关闭）至 10 Hz压力1 至 200 kPa1.6 帕0（关闭）至 10 Hz湿度0 至 100 %RH0.04% 相对湿度0（关闭）至 10 Hz光0 至 20 uV100毫升0（关闭）至 4 Hz产品详细信息可联系我们或下载数据资料！更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电 关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。

MEMS加工|射频MEMS微型麦克风压力传感器加速度计陀螺仪纳米加工分为三个不同的领域：薄膜、光刻和蚀刻。关于薄膜，采用蒸镀等物理气相沉积方法；溅射；和脉冲激光和化学气相沉积对低压 CVD、等离子体增强 CVD 和原子层沉积等 (CVD) 进行了综述。关于光刻，首先讨论接触掩模光刻的原理，然后是紫外 (UV) 投影光刻，最后是用于集成电路制造的更先进的系统，如深紫外 193 纳米和浸没式光刻系统。简要回顾了诸如双图案和自对准图案等分辨率增强技术。还讨论了非光学光刻，例如电子束光刻、聚焦离子束光刻和纳米压印光刻。关于蚀刻的。主题包括湿法化学蚀刻、等离子蚀刻和深硅蚀刻中使用的技术。实验室平台拥有设备等共计200余台，其中主要设备（40余台）包括：图形化设备电子束曝光、激光直写、台式接触式光刻机、桌面式光刻机等薄膜沉积设备ICP-PECVD、LPCVD、磁控溅射、电子束蒸发镀膜、PE-ALD、DLC薄膜沉积等、电镀 （Au、Ag、Cu、Ni、Sn等）刻蚀设备ICP—RIE、RIE、IBE、DRIE深硅刻蚀、XeF2表硅刻蚀机、HF气相刻蚀等干法刻蚀设备和满足体硅、介质膜、金属氧化物、金属等的湿法刻蚀设备以及相配套的二氧化碳超临界释放设备表征和测试设备AFM、台阶仪、Raman光谱、SEM、FIB、共聚焦显微镜、白光干涉仪、红外热成像仪、FEMTO—TOOLS微纳力学测试仪、超高速相机、3D多普勒激光测振仪、DC／RF探针台（60GHZ）、网络分析仪（60GHz）、半导体分析仪、阻抗分析仪以及高精度电学原表等器件后道封装设备晶圆减薄、CMP抛光、晶圆键合、贴片机、划片机、打线机、固晶机、激光焊接机等团队自主研发的加工设备，封测设备。平台技术能力 工艺整合及平台能力—导电DLC膜层（超滑副，导电超硬膜层等）—AIN／PZT薄膜工艺（压电驱动材料）—大尺寸高定向碳材料生长和器件加工工艺—键合：阳极键合、玻璃焊料键合、共晶键合（AIGe）、扩散键合工艺—气氛或真空封装、Reseal—研磨减薄和原子级抛光工艺—硅基全湿法微纳加工工艺—柔性衬底微纳器件加工制造与封测能力—硅通孔（TSV）玻璃通孔（TGV）—压力／气体／红外／湿度传感器—微流控芯片加工和相关测试一超滑射频／惯性器件加工能力—Die的全封装能力应用类别设备名称设备型号工艺参数镀膜低压力化学气相沉积(LPCVD)HORIS L6471-1可沉积SIN，TEOS，poly等薄膜 1-50片/炉热氧化炉管热氧化退火快速退火炉RTPAnnealsys AS-One 150最高温度到1500℃, 升温速率最大200℃/sFIB加工聚焦离子束 FIBThermo Fisher Scios 2 HiVacTEM样品制备SEM形貌观测场发射环境扫描电镜ESEMThermo Fisher Quattro SSEM能谱分析电子束蒸发镀膜-金属电子束蒸发FU-20PEB-950蒸镀金属薄膜、可做lift-off工艺镀膜、8寸基片向下兼容电子束蒸发镀膜-介质电子束蒸发FU-12PEB蒸镀介质薄膜一炉可镀10片四寸基片磁控溅射镀膜-金属磁控溅射系统FSE-BSLS-RD-6inch溅射金属薄膜、6寸基片原子层沉积等离子体增强原子层沉积系统ICPALD-S200当前以Al2O3为主DLC镀膜类金刚石薄膜化学沉积系统CNT-DLC-CL200干法刻蚀干法刻蚀机北方华创硅Bosch和超低温刻蚀、SiO2与石英深刻蚀，8英以下IBE刻蚀离子束刻蚀系统(IBE)AE4三维结构材料刻蚀，刻蚀陡直度优于85度，刻蚀精度10nm等离子体去胶微波等离子体去胶机Alpha Plasma紫外光刻紫外光刻机SUSS MA6BA6GEN4对准精度：±0.5um，分辨率600nm电镀电镀机WPS-200MT镀Cu、镀Au、镀镍/镍合金临界干燥超临界点干燥仪Automegasamdri-915B划片切割机划片机Disco D323晶圆键合晶圆键合机SUSS MicroTec SB6Gen2阳极键合AFM测试高分辨原子力显微镜Oxford Cypher ES原子力显微镜Park Systems NX20电子束光刻电子束光刻机Elionix ELS-F125G8不含匀胶等费用，材料费根据用胶类型另计我们提供快速MEMS器件 / 微纳米结构加工设计服务, 欢迎留言咨询。