[align=center][b][color=#ff0000][/color][/b][/align][align=center][b][size=24px][color=#ff0000]AM-7000白光干涉三维形貌测量仪[/color][/size][/b][/align][align=center][/align][align=center][url=https://img1.17img.cn/ui/simg/instrument/child/2022/edm/bg/index.html?v=a1http://]点击打开链接[img=,303,734]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211251256261550_4854_5842670_3.png!w303x734.jpg[/img][/url][/align]
白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一，在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，除了[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][b][color=#333333]白光干涉仪[/color][/b][/url]，其它的仪器无法达到其测量精度要求。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803076710554.jpg[/img][/align][align=center]中图仪器SuperView W1白光干涉仪[/align]白光干涉仪测量原理： 白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/5/201905302500097.jpg[/img][/align]白光干涉仪的测量应用： 以测量单刻线台阶为倒，在检查仪器的各线路接头都准确插到对应插孔后，开启仪器电源开关，启动计算机，将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置，先手动调整载物台大概位置，对准白光干涉仪目镜的下方。 在计算机上打开白光干涉仪测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的最低点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，白光干涉仪可自动进行扫描测量，测量完成后，转件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/5/201905303281565.png[/img][/align] 白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪独有的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。
[table][tr][td][align=left][color=#333333] 摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科，摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数，量级从纳米到毫米不等，又由于不可破坏性测量，传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用，而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的[/color][url=http://www.chotest.com][b][color=#000000]白光干涉仪[/color][/b][/url][color=#333333]登上了摩擦学研究的舞台。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,658,496]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238760989.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333][img=,639,260]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231572145.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/color][/align][align=left][color=#333333] 上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪，经过十数小时的摩擦，铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹，即为磨损区域，对磨损区域进行尺寸上的定量分析，是研究的重要组成部分，下面我们使用中图仪器白光干涉仪对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。[/color][/align][align=left][color=#333333]一、一维：线_轮廓尺寸[/color][/align][align=left][color=#333333] 取一块摩擦处理过的铜板，使用白光干涉仪对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描，获取其3D图像。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,621,240]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808239913954.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333][img=,548,171]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234541029.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/color][/align][align=left][color=#333333] 从图中可以看到，相对光滑区细致较浅的划痕，磨损区充满了坑坑洼洼的槽，在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线，可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。[/color][/align][align=left][color=#333333]二、二维：面_粗糙度[/color][/align][align=left][color=#333333] 分别在光滑区和磨损区选取若干点，测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,495,157]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808235791766.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图6 光滑区域粗糙度[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,472,143]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808237197020.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图7 磨损区域粗糙度[/color][/align][align=left][color=#333333]三、三维：体_体积[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,642,234]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238604911.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/color][/align][align=left][color=#333333] 如右上图，利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中，位于基准面（蓝色方框）上面的顶点区域显示为红色，位于基准面下方显示为绿色，利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。[/color][/align][align=left][color=#333333] 一线二面三体，白光干涉仪能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息，从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断，如同穿上了酷炫的滑板鞋，在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。[/color][/align][/td][/tr][/table]
哪儿有光学轮廓仪，可以表征三维形貌及纵向深度？谢谢了。。。
[table][tr][td][align=left][color=#333333] “摩擦，摩擦，在这光滑的地上摩擦…..”还记得庞麦郎的一首《我的滑板鞋》风靡大街小巷，广场上卷起了一股溜滑板鞋的浪潮。尔今浪潮已退，但摩擦声却未消失，作为一柄对社会发展起着双刃剑作用的武器，各大高校和科研机构一直都在对摩擦学进行着持续的研究，而中图仪器[b]SuperView W1白光干涉仪[/b]，就是该领域最时尚的滑板鞋，载着研究人员疾驰，手持武器，所向披靡。[/color][/align][align=left][color=#333333] 摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科，摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数，量级从纳米到毫米不等，又由于不可破坏性测量，传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用，而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的白光干涉仪登上了摩擦学研究的舞台。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,658,496]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173108zmy3uxwyyf44pvay.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333][img=,639,260]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173108wggtggagt4vy684g.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/color][/align][align=left][color=#333333] 上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪，经过十数小时的摩擦，铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹，即为磨损区域，对磨损区域进行尺寸上的定量分析，是研究的重要组成部分，下面我们使用中图仪器[b]SuperView W1白光干涉仪[/b]对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。[/color][/align][align=left][color=#333333]一、一维：线_轮廓尺寸[/color][/align][align=left][color=#333333] 取一块摩擦处理过的铜板，使用[b]SuperView W1白光干涉仪[/b]对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描，获取其3D图像。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,621,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173109uq6666gog6pg2h8q.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333][img=,548,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173109tzxq34yyc522tj4j.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/color][/align][align=left][color=#333333] 从图中可以看到，相对光滑区细致较浅的划痕，磨损区充满了坑坑洼洼的槽，在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线，可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。[/color][/align][align=left][color=#333333]二、二维：面_粗糙度[/color][/align][align=left][color=#333333] 分别在光滑区和磨损区选取若干点，测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,495,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173109n3blb9399tawzdkk.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图6 光滑区域粗糙度[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,472,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173109itiu8uaizt5ti8f5.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图7 磨损区域粗糙度[/color][/align][align=left][color=#333333]三、三维：体_体积[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,642,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173110iuynrork3en0offq.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/color][/align][align=left][color=#333333] 如右上图，利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中，位于基准面（蓝色方框）上面的顶点区域显示为红色，位于基准面下方显示为绿色，利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。[/color][/align][align=left][color=#333333] 一线二面三体，[b]SuperView W1白光干涉仪[/b]能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息，从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断，如同穿上了酷炫的滑板鞋，在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。[/color][/align][/td][/tr][/table]
最近一直在使用 研究所里的白光干涉仪（Talysurf CCI 2000）做表面检测，发现了不少问题，比如说： 1. 如何调整能快速获得干涉条纹； 2. 如何能减少数据丢失点； 3. 如何校准我一直在钻研随机带的说明书，不过Taylor Hobson这些英国人太懒了，很多东西都是笼统的讲，根本不细说！ 所以，希望 有白光干涉仪操作经验的朋友，能在本楼讨论下，您也可给我发email：chenjc18@126.com。
请教专家 1.FT_IR光谱仪器中,如果取消白光信号,如何确定干涉图的零光程位置?2.在迈克耳干涉仪中,动镜的电磁驱动基本原理是什么?谢谢!
数字全息显微镜DHM测量材料动态的3D形貌，亚纳米分辨率，基于菲涅尔衍射的数字全息重建技术 [table=100%][tr][td][img=动态3D细胞监测,690,138]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/11/201711241018_01_1546_3.jpg!w690x138.jpg[/img]仅0.001秒即可测出物体三维形貌，并且是亚纳米的分辨率。不同于传统白光干涉仪、共聚焦显微镜、扫描探针轮廓仪等需要扫描的成像方式，DHM仅需0.001秒采集单张全息图即可测出物3D形貌信息，做到了快速动态监测。 和传统全息术不一样的是没有采用干板而是采用CCD记录全息图，全息图中 光强图：提供与传统显微镜一样对比度的图像 相位图：提供量化数值，得以对被测物体进行精确三维测量 该系统为预放大全息显微镜，其中的相位图解析中用到了大量的算法，实时相位解包裹技术 实时形貌测量的案例二：石墨烯薄膜受力形变实时测量[img=薄膜形变实时测量,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/11/201711241030_01_1546_3.gif!w384x216.jpg[/img][img=MEMS面内面外运动测量,201,220]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/11/201711241030_02_1546_3.gif!w201x220.jpg[/img][/td][/tr][/table]
但愿我找对地方了，请大神们支招！各种金属材质，表面有微坑，直径从几十微米到几百微米，深度也深浅不一，估计有一百到几百微米就是想看看微坑的三维形貌，比如坑是圆柱形还是圆锥形用SEM试过不行，因为高度差比较大，成像只能在某一层上，其他高度都虚化了不知AFM可以不，要获得真实形貌，而不是通过软件合成之类的谢谢了，另：如果不行，有没有其他设备可以实现
[*][作者]：[b][url=https://kns.cnki.net/kcms2/author/detail?v=Xlf5kQqXAOlm7l-65OU2lurUkXQXDNnV80swK9r6DI4FW-qMCaOI3BZE4rrkm7O0yKdNrnffasjG8N7d-CSnhfhYoDlEKF9h2DB8TeXPVEpkXvt55_Bp45HyZNWwC-6X&uniplatform=NZKPT&language=CHS][b]武子靖[/b][/url][/b][*][题名]：[b][b][url=https://iopscience.iop.org/book/mono/978-0-7503-3167-8][b]基于栅线投影法对牙冠三维形貌的研究[/b][/url][/b][/b][list][/list][*][b]【期刊】：cnki[/b][*][b]【链接】：[url=https://www.wiley.com/en-it/Digital+Signal+Processing%3A+Theory+and+Practice%2C+10th+Edition-p-9781394182664]基于栅线投影法对牙冠三维形貌的研究 - 中国知网 (cnki.net)[/url][/b]
我有一晶体材料，导电性几乎为无，在表面喷镀一层银后做ＳＥＭ效果也不好，利用专门做不导电晶体的环境扫描仪效果也不好，不知道还有什么检测设备可以获得表面的三维形貌？谢谢！
[*][作者]：[b][url=https://kns.cnki.net/kcms2/author/detail?v=Xlf5kQqXAOlm7l-65OU2lurUkXQXDNnV80swK9r6DI4FW-qMCaOI3BZE4rrkm7O0yKdNrnffasjG8N7d-CSnhfhYoDlEKF9h2DB8TeXPVEpkXvt55_Bp45HyZNWwC-6X&uniplatform=NZKPT&language=CHS]段存丽[/url][/b][*][题名]：[b][b][url=https://iopscience.iop.org/book/mono/978-0-7503-3167-8][b]利用莫尔条纹测量物体三维形貌新方法研究[/b][/url][/b][/b][list][/list][*][b]【期刊】：cnki[/b][*][b]【链接】：[url=https://www.wiley.com/en-it/Digital+Signal+Processing%3A+Theory+and+Practice%2C+10th+Edition-p-9781394182664]利用莫尔条纹测量物体三维形貌新方法研究 - 中国知网 (cnki.net)[/url][/b]
[*][作者]：[font=Archivo, &][size=16px][color=#222222][b][url=https://kns.cnki.net/kcms2/author/detail?v=Xlf5kQqXAOnWJ5C4coK7weJVg89BVtVqZS2pUhmF6A-yASGomkJsXsiTu-WZpjysmMvcbCtlXuJhAq3eR31muEiNAFkWx1sM259ViWqhcJp1x5gJ6uMexIEZsUvbId07&uniplatform=NZKPT&language=CHS]姜洪喜[/url][/b][/color][/size][/font][*][题名]：[b][b][url=https://iopscience.iop.org/book/mono/978-0-7503-3167-8]光学三维形貌测量技术的分析和应用[/url][/b][/b][list][/list][*][b]【期刊】：CNKI[/b][*][b]【链接】：[url=https://kns.cnki.net/kcms2/article/abstract?v=Xlf5kQqXAOmDw3TF8o5O7V-pyQ0q2lbka6ozM1wVMLXawrytP7tqm2nHHeI2PLzVBZZBQaP7H6iEDDeeB9ruQZmBWt30KXsPrANHBvPB2fm2RZZ1_Bvx7P-ZObEGt9iWe14ymKR_Boo=&uniplatform=NZKPT&language=CHS]光学三维形貌测量技术的分析和应用 - 中国知网 (cnki.net)[/url][/b]
[em0808] 请教:白光干涉显微镜(3D轮廓仪)的Z轴分辨率有这么高吗?0.01nm!是如何达到的?如下是英国TAYLOR HOBSON的一款产品简介,不知什么原因图片没有贴上.Talysurf CCI 3000AFor applications requiring the ultimate in high precision 3D profile analysis, Talysurf 3000A brings an unparalleled level of performance with specifications never seen before.△ 0.01 nm resolution △0.003 nm Rq repeatability△ 100μm vertical range △ 0.3 – 100% reflectivity△ 1,048,576 data points △300mm capacityTalysurf CCI 3000A delivers high accuracy, repeatability and stability by using an advanced type of interferometer and a patented correlation algorithm. This method provides both high resolution and excellent sensitivity to returning light. Measurement set-up is easy: place the component on the stage, set the focus height and push the start button. Cycle time is 10 – 20 seconds. Motorised stages are available to increase throughput and virtually eliminate operator errors.
Zeta 200自动三维测量系统Zeta 200是集多种测量手段于一身的高级表面测量系统。它功能配备齐全，使用方便，是三维测量系统中性能价格比最优的选择。Zeta 200能够自动采集样品上多点的工艺参数，如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等，为您提供监管及优化生产流程所需的数据。· 自动多点、多配方测量样品· 200毫米x200毫米XY轴驱动范围· 粗糙表面成像与分析· 金属栅线形状与尺寸测量· 防反射膜及光刻胶厚度分析· 真空吸盘保证样品定位一致· 本色三维成像· 台阶高度，线与面粗糙度、角度及尺寸测量Zeta 200特色功能1.多点测量 用户可按其所需设置每片样品上的采样点数——少许几点往往适用于快速检测，多点则可用于详细分析。2.大面积成像 Zeta 200可自动按次序对多个视场进行成像，然后由软件拼接成一张大面积的样品表面三维图像。3.自动形貌特征测量 用户可设置操作配方对样品的各种指定形貌特征如尺寸、间距、高度甚至整片样品的弧度等进行自动测量。标准系统配置显微镜系统光源：高亮度白光LED物镜：5x,10x,20x,50x,100x耦合透镜：0.5x自动载物台：200毫米x200毫米XY驱动范围Z轴：30毫米纵向驱动范围数码相机: 1024x768像素,1/3 英寸CCD计算机控制系统处理器：英特尔®酷睿2 双核（最低2.5GHz）随机存储器3GB硬盘驱动器：320GB显示器：22英寸宽屏液晶显示器（1680x1050像素） Zeta 三维测量软件实时视频成像快速数据采集（每处1分钟）三维表面浏览：倾斜，旋转，缩放，过滤•体积计算二维表面分析：特性尺寸，直径，面积图案间距，标准偏差表面粗糙度区域平均台阶高度轮廓测量台阶高度与粗糙度多横截面分析平均值测量标尺倾斜度与表面波度补偿阵列式采样序列自动数据与图像输出用于生产线SPC
微分干涉差显微镜 - 简介 1952年，Nomarski在相差显微镜原理的基础上发明了微分干涉差显微镜（differential interference contrast microscope）。DIC显微镜又称Nomarski相差显微镜（Nomarki contrast microscope），其优点是能显示结构的三维立体投影影像。与相差显微镜相比，其标本可略厚一点，折射率差别更大，故影像的立体感更强。 DIC显微镜的物理原理完全不同于相差显微镜，技术设计要复杂得多。DIC利用的是偏振光，有四个特殊的光学组件：偏振器（polarizer）、DIC棱镜、DIC滑行器和检偏器（analyzer）。偏振器直接装在聚光系统的前面，使光线发生线性偏振。在聚光器中则安装了石英Wollaston棱镜，即DIC棱镜，此棱镜可将一束光分解成偏振方向不同的两束光（x和y），二者成一小夹角。聚光器将两束光调整成与显微镜光轴平行的方向。最初两束光相位一致，在穿过标本相邻的区域后，由于标本的厚度和折射率不同，引起了两束光发生了光程差。在物镜的后焦面处安装了第二个Wollaston棱镜，即DIC滑行器，它把两束光波合并成一束。这时两束光的偏振面（x和y）仍然存在。最后光束穿过第二个偏振装置，即检偏器。在光束形成目镜DIC影像之前，检偏器与偏光器的方向成直角。检偏器将两束垂直的光波组合成具有相同偏振面的两束光，从而使二者发生干涉。x和y波的光程差决定着透光的多少。光程差值为0时，没有光穿过检偏器；光程差值等于波长一半时，穿过的光达到最大值。于是在灰色的背景上，标本结构呈现出亮暗差。为了使影像的反差达到最佳状态，可通过调节DIC滑行器的纵行微调来改变光程差，光程差可改变影像的亮度。调节DIC滑行器可使标本的细微结构呈现出正或负的投影形象，通常是一侧亮，而另一侧暗，这便造成了标本的人为三维立体感，类似大理石上的浮雕。
请问各路高手，傅里叶变换红外光谱仪的原理：1.是不是用红外光源先产生干涉光，通过样品后，得到干涉图。关键：干涉图是如何变成光谱图的？基于什么原理？我个人的理解是，得到的总的连续的干涉图，可以分解为一系列不同强度的连续正弦干涉图，而这一系列不同强度的正弦干涉图，就是一系列不同波数的光谱。对不对？（傅里叶变换：任何连续周期信号可以由一组适当的正弦曲线组合而成）2.光源里面为什么要有激光发生器？有何用途？3.好像还有一个白光源，用来校准？？4.动镜的移动速度有什么要求么？鄙人干仪表维修，看化学专业的东西真心头疼，看了一晚上，没看出个所以然。百度了一下傅里叶变换，看到高数公式，直接崩溃。。。再次先谢过！能提供有用回答，再额外加分！http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/01/201301192226_421457_1620528_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/01/201301192224_421454_1620528_3.jpg
本人读研究生期间一直做关于铁谱分析，后来发现在光学显微镜下可以重构物体的三维图像，也就一直在这个方向上面做，现在要毕业了，当时觉得这个方向其实非常不错，还想深入做下去，但是初步发现好像国内做这方面的公司不多，大多数都是代理，不知道大家有什么建议。我的qq号5060941，有空可以聊聊。附件中有我编写的软件效果图，下面是论文的摘要，由于论文还没有提交，所以不方便发全文。摘 要铁谱技术是以磨损磨粒分析为基础的故障诊断方法，在铁谱技术中，磨粒图像是反映机械设备内部零部件磨损状况的重要信息载体，磨粒特征分析是监测对象实际状态十分丰富而又有效的方法。磨粒识别是铁谱分析的核心环节，直接关系到磨损状态诊断的正确性。磨粒成分与磨损构件成分相同，正确判断磨粒成分可以确定机械磨损位置，给保养和维修带来极大的方便。磨粒颜色与磨粒组成成分有很大的关联，本文使用主成分分析法在HSI色度空间上判断磨粒颜色，通过磨粒颜色分布确定磨粒组成成分。长期以来，由于三维成像设备性能和成本的限制，磨粒分析一直局限在二维形貌分析上。本文利用光学显微镜聚焦范围有限的特点，以改进拉普拉斯算子作为聚焦评价函数进行磨粒表面高度的测量，提取与聚焦高度相对应的像素点叠合生成能够反映磨粒表面全貌的全景深图像，最后结合磨粒表面高度信息和全景深图像重构出磨粒表面三维形貌图。为了满足计算机实时进行三维重构需求，本文还给出了一种磨粒表面形貌三维重构的快速算法。本文使用DSP、步进电机、CCD摄像头和改装过的光学显微镜设计了进行磨粒三维形貌测量的装置，并编写了基于Visual C++.net的磨粒表面形貌实时分析及三维重构软件。本文的主要研究工作有：1．综合国内外有关文献，对铁谱磨粒分析技术和微观物体的三维测量技术的发展和现状进行综述，结合本课题研究的要求，阐述了本文的主要研究内容。2．应用主成分分析法在HSI色度空间对磨粒的颜色进行了分析，找出一种判断磨粒组成成分的方法。3．分析论述了铁谱图像的数字图像处理技术和微观物体三维测量的原理、方法以及在磨粒测量上的应用。4．使用DSP、步进电机、CCD摄像头、改装的光学显微镜和计算机设计并制作了一套微观物体三维形貌光学测量装置。5．使用VC++ 设计了磨粒表面形貌分析与三维重构软件并使用自行设计制作的微观物体三维形貌光学测量装置对磨粒进行分析并重构出磨粒表面形貌三维图像。关键词：铁谱技术，磨粒，图像处理，三维重构，显微镜[img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2005/11/200511131645_10117_1163957_3.jpg[/img][img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2005/11/200511131647_10118_1163957_3.jpg[/img]
科研史上前所未有的观测手段——数字全息DHM可高速实时测量三维形貌，达到了亚纳米精度。克服了传统AFM、CLSM等需要扫描进行三维成像的特性。 表征透明/半透明三维形貌Ø 测量厚度从几纳米到几十微米Ø 可测最高三层透明薄膜Ø 测量薄膜折射率Ø 微纳器件动态三维形貌时序图（1000fps）， 还可测频率响应（高达25MHz） 主要应用北京大学 搭建平面应变鼓膜实验平台测量纳米薄膜的动态力学性能天津大学 微结构表面形貌和运动特性测量华中科技大学 微纳制造与测试，微小光学元件检测，微电子制造封装与测试清华大学 透射式全息显微镜，测量透明样品形貌，还可以测量材料光学参数、内部结构以及缺陷杂质等 • 超快速高精度的三维成像，大面积三维形貌表征，表面粗糙度，MEMS振动测量分析，表征微流体器件和微颗粒三维追踪测试配合MEMS Analysis Tool、光学反射软件Reflectometry Analysis等专用软件实现更多功能[img=,600,400]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710131406_01_1546_3.gif[/img][img=,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710131407_01_1546_3.gif[/img][img=,690,]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710131406_02_1546_3.jpg[/img]
科研史上前所未有的观测手段——数字全息可高速实时测量三维形貌，达到了亚纳米精度。克服了传统AFM、CLSM等需要扫描进行三维成像的特性。 表征透明/半透明三维形貌Ø 测量厚度从几纳米到几十微米Ø 可测最高三层透明薄膜Ø 测量薄膜折射率Ø 微纳器件动态三维形貌时序图（1000fps）， 还可测频率响应（高达25MHz） 主要应用北京大学 搭建平面应变鼓膜实验平台测量纳米薄膜的动态力学性能天津大学 微结构表面形貌和运动特性测量华中科技大学 微纳制造与测试，微小光学元件检测，微电子制造封装与测试清华大学 透射式全息显微镜，测量透明样品形貌，还可以测量材料光学参数、内部结构以及缺陷杂质等 • 超快速高精度的三维成像，大面积三维形貌表征，表面粗糙度，MEMS振动测量分析，表征微流体器件和微颗粒三维追踪测试配合MEMS Analysis Tool、光学反射软件Reflectometry Analysis等专用软件实现更多功能[img=,690,]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710131349_01_1546_3.jpg[/img][img=,600,400]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710131350_01_1546_3.gif[/img][img=,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710131351_01_1546_3.gif[/img][img=,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710131354_01_1546_3.gif[/img][img=,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710131351_04_1546_3.gif[/img][img=,384,]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710131358_01_1546_3.jpg[/img]
科研史上前所未有的观测手段——数字全息DHM可高速实时测量三维形貌，达到了亚纳米精度。克服了传统AFM、CLSM等需要扫描进行三维成像的特性。 表征透明/半透明三维形貌Ø 测量厚度从几纳米到几十微米Ø 可测最高三层透明薄膜Ø 测量薄膜折射率Ø 微纳器件动态三维形貌时序图（1000fps）， 还可测频率响应（高达25MHz） 主要应用北京大学 搭建平面应变鼓膜实验平台测量纳米薄膜的动态力学性能天津大学 微结构表面形貌和运动特性测量华中科技大学 微纳制造与测试，微小光学元件检测，微电子制造封装与测试清华大学 透射式全息显微镜，测量透明样品形貌，还可以测量材料光学参数、内部结构以及缺陷杂质等 • 超快速高精度的三维成像，大面积三维形貌表征，表面粗糙度，MEMS振动测量分析，表征微流体器件和微颗粒三维追踪测试配合MEMS Analysis Tool、光学反射软件Reflectometry Analysis等专用软件实现更多功能[img=,600,400]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710131410_01_1546_3.gif[/img][img=,690,]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710131410_02_1546_3.jpg[/img][img=,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710131410_03_1546_3.gif[/img][img=,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710131410_04_1546_3.gif[/img]
激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。[align=center][img=,578,450]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/11/201911201754505855_5264_3712_3.jpg!w578x450.jpg[/img][/align] 激光干涉仪最典型的应用就是测量机床精度，本文讲解如何使用激光干涉仪测量五轴机床平移轴直线度误差。 对于平移轴而言，每根轴均有两个直线度误差，因此三根轴有六个直线度误差，均可采用激光干涉仪分别测得。 原理：带有圆孔的是直线度干涉镜，其与待测轴相连一同运动；长条镜是直线度反射镜静止安装，其是对称结构，上下左右均对称。当一束激光从源头发出射入干涉镜，干涉镜将光束分成两束，形成一个很小的角度分别去往反射镜，由于反射镜上下对称，因此两束光被反射后又回到干涉镜，汇合成一股光束，去往激光头的探测器。当运动轴产生直线度误差时，会使得干涉镜相对于反射镜在水平横向方向发生相对运动，而反射镜是左右对称的（左右的镜片不在同一平面，有一定的角度），因此会使得两束分开的光束光程具有差别，根据此差别，即可测得运动轴产生的直线度误差。[align=center][img=,678,333]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/11/201911201755021895_7221_3712_3.jpg!w678x333.jpg[/img][/align][align=center]▲ 直线度测量的光路原理构建图[/align][align=center][img=,678,367]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/11/201911201755111914_6482_3712_3.jpg!w678x367.jpg[/img][/align][align=center]▲ 运动轴的横向直线度测量示意图[/align][align=center][img=,678,367]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/11/201911201755345695_9383_3712_3.jpg!w678x367.jpg[/img][/align][align=center]▲ 运动轴的纵向直线度测量示意图[/align] 根据直线度误差测量原理可知，测量过程中不可避免的会引入斜率误差。该误差是由于测量直线度反射镜的光学轴线最初与待测轴不平行，为调整平行而引起的。如图 所示，A 为干涉镜和反射镜的距离，B 为激光头到干涉镜的距离（其中干涉镜是固定在运动轴上的）。在一开始，反射镜的光学轴线处于旋转前的位置，而由于机床运动轴与其之间存在的夹角θ，[img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910173125514.jpg[/img][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910177031118.png[/img][/align] 因为斜率误差是稳定误差，因此可以采取上述的公式将其从直线度测量结果中分离出来，亦可以采用两端法拟合或者最小二乘法拟合将其分离出去。 两端法拟合：即是将所有采集来的数据第一点和最后一点相连决定一直线，再将所有采集来的数据去除掉拟合的直线信息，由此得出的残值即为直线度误差。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910170000002.png[/img][/align]最小二乘法拟合：将采集回来的所有数据通过最小化误差的平方和方式来寻找数据的最佳函数匹配，而后将采集值与匹配函数对应值相比较，剩余的残值即为直线度误差。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/10/201910171562522.png[/img][/align]附：SJ6000激光干涉仪直线度测量精度。[table][tr][td][align=center]轴向量程[/align][/td][td][align=center]测量范围[/align][/td][td][align=center]测量精度[/align][/td][td][align=center]分辨力[/align][/td][/tr][tr][td][align=center]短距离[/align][/td][td][align=center](0.1~4.0)m[/align][/td][td][align=center]±3mm[/align][/td][td][align=center]±(0.5+0.25%R+0.15M[size=12px]2[/size]) μm[/align][/td][td][align=center]0.01μm[/align][/td][/tr][tr][td][align=center]长距离[/align][/td][td][align=center](1.0~20.0)m[/align][/td][td][align=center]±3mm[/align][/td][td][align=center]±(5.0+2.5%R+0.015M[size=12px]2[/size]) μm[/align][/td][td][align=center]0.1μm[/align][/td][/tr][tr][td=5,1]注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m[/td][/tr][/table]
拍的一些样片[img=,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271527_01_1546_3.gif[/img][img=,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271527_02_1546_3.gif[/img][b]光敏聚合物受光形变 plots-3D[/b][img=,384,244]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271527_03_1546_3.png[/img][img=,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271528_02_1546_3.gif[/img][b]红细胞 电化学刻蚀[/b][img=,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271528_03_1546_3.png[/img][img=,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271528_04_1546_3.gif[/img][b]静态三维形貌 加热降解[/b][img=,364,204]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271528_05_1546_3.gif[/img]电化学刻蚀[img=液体透镜形变,363,204]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271422_01_1546_3.gif[/img][img=24.7MHz表面声波,360,202]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271422_03_1546_3.gif[/img][b]液体透镜形变 24.7MHz表面声波[/b][img=MEMS麦克风,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271423_01_1546_3.gif[/img][img=MEMS微镜,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271424_01_1546_3.gif[/img][b]MEMS麦克风 MEMS微镜 [/b][img=,384,200]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271436_01_1546_3.gif[/img][b]酵母菌[/b]
成都地区有使用激光共聚焦显微及三维光学轮廓仪的吗？想测量一下激光烧蚀后的深度及形貌。感兴趣的可以用这两种仪器测量一下SPARK-OES烧蚀坑的深度及形貌，分析一下烧蚀形貌的特点。最好 估算一下烧蚀的样品量，与大家分享一下。
拍了一些样片[img]http://simg.instrument.com.cn/bbs/images/default/emyc1009.gif[/img][img=液体透镜形变,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271422_01_1546_3.gif[/img][img=24.7MHz表面声波,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271422_03_1546_3.gif[/img][b]液体透镜形变 24.7MHz表面声波[/b][img=MEMS麦克风,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271423_01_1546_3.gif[/img][img=MEMS微镜,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271424_01_1546_3.gif[/img][b]MEMS麦克风 MEMS微镜[/b][img=MEMS悬臂梁,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271425_01_1546_3.gif[/img][img=MEMS微执行器,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271425_02_1546_3.gif[/img][b]MEMS悬臂梁 MEMS微执行器[/b][img=超声传感器,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271426_01_1546_3.gif[/img][img=动态形貌,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271426_02_1546_3.gif[/img][b]超声传感器 动态形貌刻蚀[/b][img=,384,192]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271435_01_1546_3.gif[/img][img=,384,244]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271435_02_1546_3.png[/img][b]细胞筛选-HeLa cells treated with Doxorubicin 红细胞3D图[/b][img=,384,200]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/09/201709271436_01_1546_3.gif[/img][b]酵母菌[/b]
SuperView W11200[b][color=#3366ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b]是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。[align=center][img=,690,604]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201529_01_3712_3.jpg[/img][/align] SuperView W11200光学3D表面轮廓仪只需操作者装好被测器件，在软件测量界面上设置好视场参数，调整镜头到接近器件表面，选择自动聚焦，仪器会对器件表面进行自动对焦并找到干涉条纹，调节好干涉条纹宽度后即可开始进行扫描测量；扫描结束后，软件分析界面自动生成器件3D图像，操作者可通过软件对生成的3D形貌进行数据处理与分析，获取表征器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。 SuperViewW1 1200 光学3D表面轮廓仪采用光学非接触式测量方法，它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点，其独特的光源模式，保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。 系统软件为简体中文操作系统，操作方便。应用范例：[align=center][img=,690,352]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201530_01_3712_3.jpg[/img][/align][align=center][img=,690,543]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201530_02_3712_3.jpg[/img][/align] 性能特点：1、 高精度、高重复性、高稳定性1） 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块组成测量系统，保证测量精度高；2） 精密的Z向扫描模块和独特的测量模式，保证测量重复性高；3） 高性能的内部抗震设计，为测量高稳定性保驾护航。2、 自动化操作的测量分析软件1）测量初始的自动聚焦，帮助操作者省却繁琐的调节过程；2）独特测量模式，帮助操作者快速测量不同形貌的待检样品；3）可视化窗口，便于操作者实时观察扫描过程；4）直观的软件分析界面，便于操作者第一时间获悉样品参数信息；5）强大的数据处理与分析功能，帮助操作者深入了解被测样品情况；6）一键分析，便于操作者快速实现大批量测量；7）同步分析，实现对样品分析操作的所见即所得；8）可视化的报表导出（可选择导出的图像与数据结果到word、pdf等文档）。3、 测量参数齐全根据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)的多达300余种2D、3D参数，让操作者对被测样品的认识更加全面具体。4、 精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
数字全息显微镜DHM测量材料动态的3D形貌，亚纳米分辨率，基于菲涅尔衍射的数字全息重建技术 [table=100%][tr][td][img=动态3D细胞监测,690,138]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/11/201711241018_01_1546_3.jpg!w690x138.jpg[/img]仅0.001秒即可测出物体三维形貌，并且是亚纳米的分辨率。不同于传统白光干涉仪、共聚焦显微镜、扫描探针轮廓仪等需要扫描的成像方式，DHM仅需0.001秒采集单张全息图即可测出物3D形貌信息，做到了快速动态监测。 和传统全息术不一样的是没有采用干板而是采用CCD记录全息图，全息图中 光强图：提供与传统显微镜一样对比度的图像 相位图：提供量化数值，得以对被测物体进行精确三维测量 该系统为预放大全息显微镜，其中的相位图解析中用到了大量的算法，实时相位解包裹技术 实时形貌测量的案例二：石墨烯薄膜受力形变实时测量[img=石墨烯薄膜受力形变,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/11/201711241017_02_1546_3.gif!w384x216.jpg[/img][img=MEMS跟踪测量,690,389]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/11/201711241017_03_1546_3.gif!w690x389.jpg[/img][/td][/tr][/table]
1、红细胞3D2、粗糙度表面形貌3、加热可降解材料的挥发4、石墨烯薄膜受力形变测量原理是全息术：CCD采集物光与参考光干涉形成的全息图包含了物体的相位信息，再实时数值重建3D形貌。优点：1、超高速大面积3D形貌非扫描实时成像，成像速率能做到1000fps 2、纵向能做到亚纳米分辨率 3、非接触成像，无损样品，无惧振动[img=红细胞3D,384,244]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710090950_01_1546_3.png[/img][img=表面形貌粗糙度测量,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710090950_02_1546_3.png[/img][img=加热可降解材料的挥发,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710090950_03_1546_3.gif[/img][img=石墨烯薄膜形变,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710090950_04_1546_3.gif[/img][img=微热板,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710090950_05_1546_3.gif[/img][img=液体透镜结构形变,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/201710090950_06_1546_3.gif[/img]
对于一些固态相变析出的第二相，如何根据其在照片中的特征确定其三维形貌？plate，needle，rods在某个方向观察效果是一样。如何确定他们的 差别呢？
不知道我说清楚了没有感觉SEM拍一个有一定高度差的形貌时，一般都是某一层面达到最清晰，其他层面会虚化，这样的话没法看到直观的三维全貌不知软件有没有这种处理功能或者说SEM本身有这种操作技巧可以实现三维全貌的PS：日本电子场发射
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