扫描电子显微镜(SEM)是依靠电子束与样品相互作用产生俄歇电子、特征 X 射线和连续谱 X 射线、背散射电子等信号,对样品进行分析研究。扫描电镜在表征样品时,受诸多参数的影响,不同类型样品应选用合适的参数,才能呈现出样品更真实的表面信息。如在不同的加速电压下,电子束与样品作用所获得的信号会有很大的差别。从理论上说,入射电子在样品中的散射轨迹可用 Monte Carlo 的方法模拟(如图 1 所示),并且推导得到入射电子最大穿透深度 Zmax。
你是否经历过在电镜室里加班到深夜,头昏眼花,但却有大把的样品测不完,只能独自神伤。虽然扫描电镜越来越高级,但大部分繁琐的工作仍需要人工操作。找样品特征点所花费的时间太长,很多扫描电镜工程师都面临这样的处境,有的同学不以为然,但这往往是电镜测试难预约的原因。Particle X 能基于算法快速找到颗粒群中的“它”,并搭配能谱仪,可以直观的获取颗粒的形状和成分信息。同时,通过自动移动拍照——自动颗粒识别——自动颗粒分析,可以在短时间分析大量颗粒,弥补了电镜法检测效率低的问题。