日立电镜里面的伦谱其测试原理

日立新一代全数字化120kV透射电子显微镜HT7800，操作的一体化和自动化程度都有明显提高。随着时代的发展和科技的进步，全数字化必将是透射电镜的发展趋势。数字化的优势具体表现在以下几个方面：一、HT7800采用日立全新设计的第二代双隙物镜，很好地继承了日立120kV-TEM的基本理念，即兼顾低倍率与宽视野观察、高衬度与高分辨率观察可在同一仪器上一键切换等。对比于其他厂家的独立模式设计，HT7800可在同一台透射电镜上实现两台电镜的功能。集高衬度和高分辨两种模式于一体，可同时满足软材料/纳米材料类和生命科学类客户对电镜的需求。二、使用高速高灵敏度的CMOS荧光屏相机取代了传统的荧光屏观察窗，将 TEM 操作统一于显示器上，实现透射电镜操作的全数字化，可以在明亮的室内进行观察。 三、标准搭载涡轮分子泵(TMP)，实现绿色真空。HT7800所使用的真空泵包括机械泵和涡轮分子泵，均为标准配置。四、标配三维重构功能及±70°倾转样品台。一般情况下透射电子显微镜只能提供样品的平面投影图像，而无法直接获知其三维立体信息。在标准配置下，HT7800就可以通过±70°的连续倾转、拍摄及电脑重构，得到样品的立体形貌信息。五、强大的自动拼图功能。这是数字化带来的另一个优势。HT7800可通过样品台移动和电子束移动两种方式实现全倍率下的自动拼图，可得到像素16倍于主相机的无缝拼接大视野样品图片。图片存储时，自动保存样品位置与样品杆旋转信息，在自动拼接过程中实现高精度对中。自动连拍和自动拼图速度快，举例来说，一次3×3的拼接，全过程可在4min左右完成。六、方便而准确的自动连续拍摄功能。HT7800具有自动聚焦、自动定位并拍摄多张图片的功能。自动连拍功能可以一次性设置多达10000个拍摄的位置及放大倍数，通过快速的自动聚焦系统和智能化定位系统， 自动的完成拍摄任务，而无需人员看管。

【产品背景】　　在以纳米技术和生物技术为主的产业领域里，从物质的微细结构到组成成分，SEM在多种多样的观察与分析中得到了灵活应用。SEM用途日益扩大，但对于钢铁等工业材料和汽车零配件等超大/超重样品，由于电镜样品台能对应的样品尺寸和重量受到限制，所以观察时需要进行切割等加工。因此，对超大样品不施以加工处理，便可直接观察表面微细形貌和进行各种分析则成为重要的课题。　　近年来为了实现各种材料的高功能化和高性能化，需要观察并优化材料的微细结构。目前SEM的应用除了以往的研究开发以外，已扩展到质量和生产管理方面，使用频率日益高涨。同时市场也对仪器的操作性能提出了更高的要求，以进一步减轻操作人员的负担。　　此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最 大直径300mm *1、最 大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。　　同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。　　前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。　【主要特点】　　(1) 支持超大/超重样品测试　　可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品　　(2) 支持大视野观察　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像　　(3) 通过自动化功能提高操作性能　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

1) 支持超大/超重样品测试　　可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品　　(2) 支持大视野观察　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像　　(3) 通过自动化功能提高操作性能　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

日立高新热场式场发射扫描电镜SU5000--搭载全新用户界面，向所有用户提供高画质图像-- 日立高新技术公司（以下简称：日立高新）8月4日开始发售的肖特基式场发射扫描电子显微镜"SU5000"，搭载了全新的用户界面和"EM Wizard"，无论用户的操作技巧是否娴熟都可以拍出好的照片。 扫描电子显微镜在纳米技术领域、材料领域、医学生物等领域均被广泛使用。但随着近年来仪器性能的大幅提升，以及用户群体的不断扩大，使得用户对不需要任何经验和技术就能得到好照片的需求迅速扩增。而且，由于观察对象的样品的不断多样化，对样品的大小和性质的无制约观察变得尤为重要。 这次新开发的"SU5000"对用户没有任何操作技巧上的要求，通过”EM Wizard“只要选择好观察目的就可以得到好照片。"EM Wizard"以人为本的设计理念使电镜的操作性大幅上升，对于用户来说，再也不用去讨论该用什么条件进行观察，只要按照观察目的选择”表面细节观察“或是”成分分布“等就可以自动将适合的观察条件设置好。除此之外，使用经验丰富的操作人员也可以像往常一样自由的选择观察条件，按照自己的操作习惯进行设置。”EM Wizard“对于初学者或者使用经验尚浅的客户来说，它独有的操作简易性和各种学习工具可以帮助您迅速成长起来；对使用经验丰富的客户来说，开放了丰富的可设置选项，会令您操作起来更加得心应手。这正是"EM Wizard"的价值所在。 另外"SU5000"的寻找视野功能"3D MultiFinder"更是独一无二的。不但可大幅提高做样速度，更使视野再现性得到大大提高。并且，为了能适应各种分析的需求，最大束流可达到200nA。再加上全新设计的背散射电子探头和低真空二次电子探头等，都使该款电镜无论在是观察样品还是分析都具备了超强的功能与强大的扩展性。 日立高新在8月3日至8月7日在美国康涅狄格州举办的"Microscopy & Microanalysis"，9月3日至9月5日在日本千叶县幕张国际展览中心举办的"JASIS 2014"，9月7日至9月12日在捷克举行的"18th International Microscopy Congress"上都做了实机展出。*：肖特基式场发射电子显微镜：高亮度、大束流、超强稳定性汇聚一身肖特基式场发射电子显微镜。分辨率高和可做各种定量定性分析。 肖特基式场发射电子显微镜"SU5000" "EM Wizard"画面样式【主要参数】 电子枪ZrO/W 肖特基式场发射电子枪加速电压0.5~30kV着陆电压0.1~2kV分辨率2.0nm@1kV（*1）、1.2nm@30kV、3.0nm@15kV 低真空模式（*2）放大倍率底片倍率：10~600000倍、显示倍率：18~1000000倍5轴马达台X：0~100mm、Y：0~50mm、Z：3~65mm、T：-20~90°、R：360° *1：减速模式是选配项 *2：低真空模式是选配项 2014年，日立高新技术公司（以下简称：日立高新） 新型肖特基场发射扫描电镜*"SU5000"作为工业用设备荣获由公益财团法人日本设计振兴会颁发的GOOD DESIGN AWARD 2014”(2014年度最佳设计奖)。

日立发布的200kV球差校正透射电镜HF5000，具有高稳定冷场发射电子枪，自动球差校正器，可一键操作实现自动球差校正，HAADF-STEM分辨率可以达到0.78埃；可配置EDS双探头，固体角最大可达2.0sr；具备TEM、STEM，SEM和电子衍射等多种图像观测模式；镜筒和样品台经过了重新设计，显著提升了仪器的性能和稳定性......HF5000将是材料学、生命科学、半导体制造、石油煤炭等研究领域的可靠助手。特点：　 1、高度自动化球差校正，尽量减少人员介入，适用于繁忙的分析测试中心或设备平台 　　2、三位一体呈现(TEM、STEM、SEM)，内部结构成像和表面结构成像可同时进行同时获取 　　3、EDS超大球面角，无窗口探头。可实现快速，高灵敏度化学成分分析 　　4、前瞻性平台总体设计，为性能扩增预留选项，例如可扩增为气体环境电镜。参数配置：

FE-SEM获得的图像分辨率高，信息丰富，样品处理相对简单，并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生命科学、材料等领域。近年来，以Materials Integration为代表，其应用领域及用途在不断扩展，短时间内获取大量数据，减轻作业负荷成为市场的一大需求。为满足这一需求，此次特推出的SU8700作为一款面向新时代的SEM，在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上，增加了包括自动获取数据等高通量的功能。SU8700可配置各种分析附件，适用于从低加速观察到高束流的EBSD分析，支持陶瓷、金属等不同材料的解析。该系列产品的特点如下：1．支持自动获取数据在FE-SEM的观察和分析中，需要根据测量样品与需求调整观察条件。调整所需时间的长短取决于用户的操作熟练度，这是造成数据质量与效率差异的因素之一。此系列产品标配自动调整功能，可避免人为操作导致的差异。此外，随着仪器性能的提升，需要获取的数据种类与数量也在增加，手动获取各种大量数据会大大增加用户的作业负担。此系列产品可选配“EM Flow Creator”，用户可根据自身需求设定条件，自动获取数据，这对于未来通过获取大量数据实现数据驱动开发起到重要作用。2．增加获取信息的种类与数量通过SEM能够收集到多种信号，且此系列产品最多可以同时显示和存储6个检测器的信号。在减少图像获取次数的同时能够获取多种信息。此外，为一次性获取大量信息，单次扫描像素扩展到了40,960 x 30,720（选配），是之前型号的64倍。利用这一功能，可凭借一张数据图像有效评估多处局部的细微结构。3．增强信号检测能力SU8700的样品仓设计巧妙，可使用短工作距离进行EDS分析，通过提高EDS分析的空间分辨率，能够实现更微小部位的分析。

此次推出的SU7000采用全新设计的探测器，使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据不同的观察信号来调整样品与透镜之间的距离（工作距离／以下简称WD），以获得最佳的观察与分析条件，而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统，可在同样的WD的条件下更高效地接收各种信号，缩短了样品观察和分析的时间，提高了测试效率。　而且，SU7000还配置了可同时6通道显示界面（前代机型只能同时显示4通道），进一步升级电镜控制系统，大幅提高了信号获取速度，由此实现了样品的高效率观察。它还标配超大样品仓，增设了附件接口，可适用于各种样品的观察与分析。主要特点：在相同的WD条件下，可同时实现二次电子，背散射电子观察与X射线能谱分析。可同时实现6通道检测与显示；成像分辨率最大可达10240x7680像素；配置18个附件接口，支持低至300Pa的低真空模式观察；（选配）

高画质的钨灯丝扫描电镜, 图象质量更进一步。通过高画质提升扫描电镜的分析能力和操作性, 凝聚日立最先进科技“独具匠心”。SU3500钨灯丝扫描电镜具有实现了“3kV加速电压7nm分辨率”的全新电子光学系统, 可实现实时立体成像的“实时立体观察功能”＊1, 以及更高检测效率的 “UVD超高灵敏度可变压力检测器”＊1。它为观察和分析提出了崭新的标准。*1：自选特点低加速电压观察时分辨率更高，可更好地观察样品最表面的细微形状和更有效地降低样品的损坏全新设计的电子光学系统和信号处理技术实现了高速扫描和低噪音的观察和以前的常规扫描电子显微镜相比＊2，自动功能缩短＊3了大约11秒具有在低真空时可以非常好地观察样品最表面的细微形状的“UVD（超高灵敏度可变压力探测器）”＊4具有实现了实时立体成像的“实时立体观察功能”＊4（*2）：和日立SEM S-3400N相比（*3）：根据观察条件的不同，时间会有变动（*4）：自选规格 项目描述二次电子分辨率3.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm高真空模式）7.0nm（加速电压=3kV，WD=5mm高真空模式）背散射电子分辨率4.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm低真空模式）10.0nm（加速电压=5kV，WD=5mm高真空模式）放大倍率5 - 300,000倍（底片倍率＊5）7 - 800,000倍（显示器显示倍率＊6）加速电压0.3 - 30kV可变压力范围6 - 650Pa最大样品尺寸直径 200mm样品台X0 - 100mmY0 - 50mmZ5 - 65mmR360°T-20° - 90°可观察区域直径 130mm （旋转并用）最大样品高度80mm（WD=10mm）马达台5轴标配电子光学系统电子枪预对中的钨灯丝物镜光阑4孔可动光阑探检测器埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器高灵敏度半导体背散射电子检测器EDX分析 WD10mm（取出角35°）图像显示操作系统Windows 7＊7（如有更改，恕不另行通知）图像显示模式全屏模式（1,280 × 960 像素）小屏模式（800 × 600 像素）双图像显示（800 × 600 像素）四屏幕显示（640 × 480像素）信号混合模式排气系统操作全自动排气涡轮分子泵210升/秒 × 1机械泵135L/min（162L/min，60Hz）× 1（*2）：以127mm×95mm（图像尺寸4"×5"）的显示尺寸规定倍率（*3）：以345mm×259mm（像素1,280×960）的显示尺寸规定倍率（*4）：Windows是微软公司在美国和其他国家的注册商标

产品创新点上市时间：2019年4月此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最大直径300mm *1、最大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。 　　同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。 　　前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。产品简介【产品背景】在以纳米技术和生物技术为主的产业领域里，从物质的微细结构到组成成分，SEM在多种多样的观察与分析中得到了灵活应用。SEM用途日益扩大，但对于钢铁等工业材料和汽车零配件等超大/超重样品，由于电镜样品台能对应的样品尺寸和重量受到限制，所以观察时需要进行切割等加工。因此，对超大样品不施以加工处理，便可直接观察表面微细形貌和进行各种分析则成为重要的课题。近年来为了实现各种材料的高功能化和高性能化，需要观察并优化材料的微细结构。目前SEM的应用除了以往的研究开发以外，已扩展到质量和生产管理方面，使用频率日益高涨。同时市场也对仪器的操作性能提出了更高的要求，以进一步减轻操作人员的负担。此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最 大直径300mm *1、最 大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。【主要特点】　　(1) 支持超大/超重样品测试　　可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品　　(2) 支持大视野观察　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像　　(3) 通过自动化功能提高操作性能　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

产品创新点上市时间：2019年4月此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最大直径300mm *1、最大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。 　　同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。 　　前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。产品简介(1) 支持超大/超重样品测试可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品(2) 支持大视野观察　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像(3) 通过自动化功能提高操作性能　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

【产品背景】　　在以纳米技术和生物技术为主的产业领域里，从物质的微细结构到组成成分，SEM在多种多样的观察与分析中得到了灵活应用。SEM用途日益扩大，但对于钢铁等工业材料和汽车零配件等超大/超重样品，由于电镜样品台能对应的样品尺寸和重量受到限制，所以观察时需要进行切割等加工。因此，对超大样品不施以加工处理，便可直接观察表面微细形貌和进行各种分析则成为重要的课题。　　近年来为了实现各种材料的高功能化和高性能化，需要观察并优化材料的微细结构。目前SEM的应用除了以往的研究开发以外，已扩展到质量和生产管理方面，使用频率日益高涨。同时市场也对仪器的操作性能提出了更高的要求，以进一步减轻操作人员的负担。　　此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最 大直径300mm *1、最 大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。　　同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。　　前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。　【主要特点】　　(1) 支持超大/超重样品测试　　可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品　　(2) 支持大视野观察　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像　　(3) 通过自动化功能提高操作性能　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

1) 支持超大/超重样品测试　　可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品　　(2) 支持大视野观察　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像　　(3) 通过自动化功能提高操作性能　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

日立高新热场式场发射扫描电镜SU5000--搭载全新用户界面，向所有用户提供高画质图像-- 日立高新技术公司（以下简称：日立高新）8月4日开始发售的肖特基式场发射扫描电子显微镜"SU5000"，搭载了全新的用户界面和"EM Wizard"，无论用户的操作技巧是否娴熟都可以拍出好的照片。 扫描电子显微镜在纳米技术领域、材料领域、医学生物等领域均被广泛使用。但随着近年来仪器性能的大幅提升，以及用户群体的不断扩大，使得用户对不需要任何经验和技术就能得到好照片的需求迅速扩增。而且，由于观察对象的样品的不断多样化，对样品的大小和性质的无制约观察变得尤为重要。 这次新开发的"SU5000"对用户没有任何操作技巧上的要求，通过”EM Wizard“只要选择好观察目的就可以得到好照片。"EM Wizard"以人为本的设计理念使电镜的操作性大幅上升，对于用户来说，再也不用去讨论该用什么条件进行观察，只要按照观察目的选择”表面细节观察“或是”成分分布“等就可以自动将适合的观察条件设置好。除此之外，使用经验丰富的操作人员也可以像往常一样自由的选择观察条件，按照自己的操作习惯进行设置。”EM Wizard“对于初学者或者使用经验尚浅的客户来说，它独有的操作简易性和各种学习工具可以帮助您迅速成长起来；对使用经验丰富的客户来说，开放了丰富的可设置选项，会令您操作起来更加得心应手。这正是"EM Wizard"的价值所在。 另外"SU5000"的寻找视野功能"3D MultiFinder"更是独一无二的。不但可大幅提高做样速度，更使视野再现性得到大大提高。并且，为了能适应各种分析的需求，最大束流可达到200nA。再加上全新设计的背散射电子探头和低真空二次电子探头等，都使该款电镜无论在是观察样品还是分析都具备了超强的功能与强大的扩展性。 日立高新在8月3日至8月7日在美国康涅狄格州举办的"Microscopy & Microanalysis"，9月3日至9月5日在日本千叶县幕张国际展览中心举办的"JASIS 2014"，9月7日至9月12日在捷克举行的"18th International Microscopy Congress"上都做了实机展出。*：肖特基式场发射电子显微镜：高亮度、大束流、超强稳定性汇聚一身肖特基式场发射电子显微镜。分辨率高和可做各种定量定性分析。 肖特基式场发射电子显微镜"SU5000" "EM Wizard"画面样式【主要参数】 电子枪ZrO/W 肖特基式场发射电子枪加速电压0.5~30kV着陆电压0.1~2kV分辨率2.0nm@1kV（*1）、1.2nm@30kV、3.0nm@15kV 低真空模式（*2）放大倍率底片倍率：10~600000倍、显示倍率：18~1000000倍5轴马达台X：0~100mm、Y：0~50mm、Z：3~65mm、T：-20~90°、R：360° *1：减速模式是选配项 *2：低真空模式是选配项 2014年，日立高新技术公司（以下简称：日立高新） 新型肖特基场发射扫描电镜*"SU5000"作为工业用设备荣获由公益财团法人日本设计振兴会颁发的GOOD DESIGN AWARD 2014”(2014年度最佳设计奖)。

介绍FlexSEM1000是日立高新公司最新推出的一款机型小巧性能优异的钨灯丝电镜，拥有大束流和低球差的物镜和聚光镜设计，配备了高分辨率二次电子探头及高灵敏度五分割背散射探头，具有卓越的低真空成像能量，并且采用最新的SEM MAP高精度导航系统及最新最全的自动化功能，使性能更加优越，使用更加简便。特点1.节能环保的设计2.高效率的自动功能3.简捷的操作界面4.高分辨低真空观察技术参数 分辨率4.0nm（加速电压20kV，高真空模式，二次电子像）15.0nm（加速电压1kV，高真空模式，二次电子）5.0nm（加速电压20kV，低真空模式，背散射电子像）放大倍率底片倍率：6 – 300,000x显示器倍率：16 – 800,000x加速电压0.3-20kV低真空可变压力范围6-100Pa马达台标配三轴自动马达行程X： 0-40mmY： 0-50mmR： 360 °Z： 5-15mmT： -15- 90°电子光学系统电子枪：预对中钨灯丝信号检测系统：二次电子探测器；高灵敏度背散射探测器真空系统全自动阀门控制抽真空系统/涡轮分子泵：61L/S 1台机械泵：100L/min 1台安全装置：带停电、漏电保护的真空保护功能操作辅助功能电子束旋转；动态聚焦；画质优化功能数据输入；2点间测量、角度测量、文字；预设倍率；样品台位置导航功能（SEM MAP)；电子束标记

产品简介日立发布的200kV球差校正透射电镜HF5000，具有高稳定冷场发射电子枪，自动球差校正器，可一键操作实现自动球差校正，HAADF-STEM分辨率可以达到0.78埃；可配置EDS双探头，固体角最大可达2.0sr；具备TEM、STEM，SEM和电子衍射等多种图像观测模式；镜筒和样品台经过了重新设计，显著提升了仪器的性能和稳定性......HF5000将是材料学、生命科学、半导体制造、石油煤炭等研究领域的可靠助手。 特点：1、高度自动化球差校正，尽量减少人员介入，适用于繁忙的分析测试中心或设备平台 2、三位一体呈现(TEM、STEM、SEM)，内部结构成像和表面结构成像可同时进行同时获取 3、EDS超大球面角，无窗口探头。可实现快速，高灵敏度化学成分分析 4、前瞻性平台总体设计，为性能扩增预留选项，例如可扩增为气体环境电镜。 参数配置：

二手日立S-4300场发射电镜设计具有以下特点：1） 高亮度光源肖特基场发射扫描电子显微镜2） 高探针电流3） 长、短程电子束稳定4） 高分辨率S－4300SE可以与多种附件相结合，如阴J发光（CL），背反射电子衍射图形（EBSP），X－射线能谱（EDX），电子描画(EB)。技术指标二次电子成像分辨率：1.5nm(30kV), 5.0nm(1kV)20x～5,000,000x电子光学:电子枪:ZrO/W 肖特基发射电子源 (内置阳J加热)加速电压:0.5～30 kV (0.1kV/步)透镜系统:2级电磁透镜物镜光阑:4孔光阑，真空外选择和调校,加热自清理薄光阑板.象散校正:电磁象散校正器扫描线圈:2级电磁系统肖特基场发射扫描电子显微镜样品台:(1)标准台X:0～25 mmY:0～25 mmZ:5～ 30 mm 倾斜: -5～+45°(优中心)旋转:360°(连续)样品尺寸:直径120mm (Z大)(2)大样品台X:0～100 mm Y:0～50mmZ:5～35 mm 倾斜: -5～+60°(优中心)旋转:360°(连续)样品尺寸:直径160mm (Z大)(3)大的优中心样品台X:0～100mm Y:0～50 mm Z:5～35 mm倾斜: -5～+75°(优中心) 旋转:360°(连续)样品尺寸:直径160mm (Z大)肖特基场发射扫描电子显微镜图像显示系统:CRT显示语言:100 mmdia. × 17mm HPC操作系统 :(150 mmdia. × 6 mm H 可选)二手日立S-4300场发射电镜操作:显示器:英语（日语）自动调整功能:PC/AT兼容, Windows NT图像过程: 17 或 21 英寸彩色CRT图像储存:自动聚焦,自动象散校正,自动亮度、对比度调节,自动启动,自动摄像图像编辑:文件格式:SEM数据管理软件自动数据显示:640 x 480,1,280 x 960,2,560 x 1,920pixels 具有多种搜索功能的图像数据库.电子图像移动：BMP (TIFF, JPEG)真空系统:加速电压,放大微米标尺,微米值,胶卷号,工作距离,日期,时间,摄像放大倍率,检测器.离子泵:±30 μm (WD = 30 mm)前级泵:气动阀全自动控制涡管泵:~10-7 Pa (电子枪), ~10-4 Pa (样品室)

产品介绍：　　日立全新一代热场发射扫描电镜SU5000继承了日立半导体行业扫描电镜CD-SEM高稳定性和易操作的特点，不仅具有强大的观察分析能力，同时具有全新的操作体验。SU5000既满足了专业电镜操作者对高分辨观察和分析的需求，也满足了电镜初学者对高质量图片的需求，是一台操作简便且功能强大的扫描电镜。主要特点：1.　高稳定性热场发射电子枪2.　全新的EM Wizard软件，无需设置参数即可获得高质量图片3.　高分辨率和强大的分析能力4.　样品适用性强：不导电样品直接观察（低真空功能，10-300Pa）5.　全新的multi-finder功能，方便快捷的寻找样品6.　附件功能强大：拉伸台，冷热台，电子束曝光，红外CCD，离子束清洁系统等。

产品简介日立新一代全数字化120kV透射电子显微镜HT7800，属于日立瑠璃系列产品Ruli TEM，操作的一体化和自动化程度都有明显提高。HT7800系列产品有两个型号HT7800和HT7830。 HT7800系列产品的特点是采用日立设计的第二代双隙物镜，很好地继承了日立120kV-TEM的基本理念，兼顾低倍率与宽视野观察、高衬度与高分辨率观察，可在同一仪器上一键切换等。集高衬度和高分辨两种模式于一体，可同时满足软材料/纳米材料类和生命科学类客户对电镜的需求。 HT7800使用高速高灵敏度的CMOS荧光屏相机取代了传统的荧光屏观察窗，将 TEM 操作统一于显示器上，实现透射电镜操作的全数字化，可以在明亮的室内进行观察。这样，既可以保护操作者和样品，也可以显著改善操作环境。 产品参数：ItemHT7800(Standard)HT7830 (UHR) GunW, LaB6(option)LaB6, W(option) Resolution (lattice) ※１0.204 nm@120kV (Off-axis)0.19 nm@120 kV (on-axis)Magnification Zoomx200～x200,000 (HC)x4000～x600,000 (HR)(Non-rotation zooming system)x1,000～x300,000 (HC)x4000～x1,000,000 (HR)Low Magx50～x1,000x100～x1,000Stage4-axis eucentric goniometer stage5-axis eucentric goniometer stageMaximum tilt angle±70°±10°3D tomographyYes (Standardization)NoSTEM YesYesEDSYesYesStandard featuresAuto focus, Microtrace, Autodrive, Live FFT, Measurement, Low dose, API (auto pre-irradiation), Image navigation function,, Whole view function*2, Drift correction function, 3D tilt image acquisition function*2, etc.Main optionSTEM,　Cold finger, X-ray analysis system (EDX), LaB6 filament*3, Beam stopper*3, Selected area aperture*3, 5-axis eucentric goniometer stage*3, TEM mapping, Various specimen holders, Dry pump, etc.

产品简介日立高新热场式场发射扫描电镜SU5000--搭载全新用户界面，向所有用户提供高画质图像--日立高新技术公司（以下简称：日立高新）8月4日开始发售的肖特基式场发射扫描电子显微镜"SU5000"，搭载了全新的用户界面和"EM Wizard"，无论用户的操作技巧是否娴熟都可以拍出好的照片。扫描电子显微镜在纳米技术领域、材料领域、医学生物等领域均被广泛使用。但随着近年来仪器性能的大幅提升，以及用户群体的不断扩大，使得用户对不需要任何经验和技术就能得到好照片的需求迅速扩增。而且，由于观察对象的样品的不断多样化，对样品的大小和性质的无制约观察变得尤为重要。 这次新开发的"SU5000"对用户没有任何操作技巧上的要求，通过”EM Wizard“只要选择好观察目的就可以得到好照片。"EM Wizard"以人为本的设计理念使电镜的操作性大幅上升，对于用户来说，再也不用去讨论该用什么条件进行观察，只要按照观察目的选择”表面细节观察“或是”成分分布“等就可以自动将适合的观察条件设置好。除此之外，使用经验丰富的操作人员也可以像往常一样自由的选择观察条件，按照自己的操作习惯进行设置。”EM Wizard“对于初学者或者使用经验尚浅的客户来说，它独有的操作简易性和各种学习工具可以帮助您迅速成长起来；对使用经验丰富的客户来说，开放了丰富的可设置选项，会令您操作起来更加得心应手。这正是"EM Wizard"的价值所在。另外"SU5000"的寻找视野功能"3D MultiFinder"更是独有的。不但可大幅提高做样速度，更使视野再现性得到大大提高。并且，为了能适应各种分析的需求，最大束流可达到200nA。再加上全新设计的背散射电子探头和低真空二次电子探头等，都使该款电镜无论在是观察样品还是分析都具备了超强的功能与强大的扩展性。 日立高新在8月3日至8月7日在美国康涅狄格州举办的"Microscopy & Microanalysis"，9月3日至9月5日在日本千叶县幕张国际展览中心举办的"JASIS 2014"，9月7日至9月12日在捷克举行的"18th International Microscopy Congress"上都做了实机展出。*：肖特基式场发射电子显微镜：高亮度、大束流、超强稳定性汇聚一身肖特基式场发射电子显微镜。分辨率高和可做各种定量定性分析。【主要参数】 电子枪ZrO/W 肖特基式场发射电子枪加速电压0.5~30kV着陆电压0.1~2kV分辨率2.0nm@1kV（*1）、1.2nm@30kV、3.0nm@15kV 低真空模式（*2）放大倍率底片倍率：10~600000倍、显示倍率：18~1000000倍5轴马达台X：0~100mm、Y：0~50mm、Z：3~65mm、T：-20~90°、R：360° *1：减速模式是选配项 *2：低真空模式是选配项 2014年，日立高新技术公司（以下简称：日立高新） 新型肖特基场发射扫描电镜*"SU5000"作为工业用设备荣获由公益财团法人日本设计振兴会颁发的GOOD DESIGN AWARD 2014”(2014年度最佳设计奖)。

产品介绍：日立全新一代大型钨灯丝扫描电镜SU3900采用超大的样品仓和多接口设计，适合超大样品的观察（直径300mm）以及多种分析功能的拓展。同时，SU3900也采用了全新的HexBias偏压技术，也可以配置高灵敏度的背散射探测器和可变压力二次电子探测器，使其高、低电压性能都得到了提升。SU3900也具有IFT灯丝监控技术、全新的光镜导航、集成的能谱以及报告导出等功能，使其操作也变得更得非常简单。 主要特点：HexBias偏压钨灯丝电子枪超大样品仓和多接口实际优异的高、低电压性能高灵敏度五分割背散射电子探测器可变压力二次电子探测器（高、低真空可用）全新的操作界面和光镜导航功能全自动灯丝设定和合轴报告导出和图片处理可集成的EDS简单方便的维护（灯丝更换视频）应用领域：材料科学生命医学食品卫生半导体电子元器件汽车制造文物考古金属冶金 主要参数：电子枪预对中钨灯丝加速电压0.3kV – 30kV分辨率3.0nm@30kV (SE)15.0nm@1kV (SE)4.0nm@30kV (BSE, LV)放大倍率5x – 300,000x（底片倍率）7x – 800,000x（显示器倍率）探测器二次电子探测器，高灵敏度无分割背散射电子探测器可变压力探测器UVD 2.0*低真空可变压力范围6 – 650Pa样品台（三轴马达）X: 0 - 150 mmY: 0 – 150 mmZ: 5 – 85 mmR: 0 – 360°T: -20° - +90°*选配

日立Hitachi 扫描电镜 FlexSEM1000 产品介绍：FlexSEM1000是日立高新公司新推出的一款机型小巧性能优异的钨灯丝电镜，拥有大束流和低球差的物镜和聚光镜设计，配备了高分辨率二次电子探头及高灵敏度五分割背散射探头，具有卓越的低真空成像能量，并且采用新的SEM MAP高精度导航系统及新全的自动化功能，使性能更加优越，使用更加简便。 特点：1.节能环保的设计2.高效率的自动功能3.简捷的操作界面4.高分辨低真空观察 应用领域：1、 生物医学2、 食品卫生3、 电子半导4、 汽车制造5、 新能源

产品介绍：日立全新一代高分辨钨灯丝扫描电镜SU3800采用全新的HexBias偏压技术，使其低电压性能大大提升，同时升级的高灵敏度背散射探测器和可变压力探测器使得SU3800的观察能力进一步提升。SU3800还增加了IFT灯丝监控技术、全新的光镜导航、集成的能谱以及报告导出等功能，使其操作也变得更为简单。 主要特点：HexBias偏压钨灯丝电子枪优异的高、低电压性能高灵敏度五分割背散射电子探测器可变压力二次电子探测器（高、低真空可用）全新的操作界面和光镜导航功能全自动灯丝设定和合轴报告导出和图片处理可集成的EDS简单方便的维护（灯丝更换视频） 应用领域：材料科学生命医学食品卫生半导体电子元器件汽车制造 主要参数：电子枪预对中钨灯丝加速电压0.3kV – 30kV分辨率3.0nm@30kV (SE)15.0nm@1kV (SE)4.0nm@30kV (BSE, LV)放大倍率5x – 300,000x（底片倍率）7x – 800,000x（显示器倍率）探测器二次电子探测器，高灵敏度无分割背散射电子探测器可变压力探测器UVD 2.0*低真空可变压力范围6 – 650Pa样品台（三轴马达）X: 0 - 100 mmY: 0 – 40 mmZ: 5 – 65 mmR: 0 – 360°T: -20° - +90° *选配

日立发布的200kV球差校正透射电镜HF5000，具有高稳定冷场发射电子枪，自动球差校正器，可一键操作实现自动球差校正，HAADF-STEM分辨率可以达到0.78埃；可配置EDS双探头，固体角最大可达2.0sr；具备TEM、STEM，SEM和电子衍射等多种图像观测模式；镜筒和样品台经过了重新设计，显著提升了仪器的性能和稳定性......HF5000将是材料学、生命科学、半导体制造、石油煤炭等研究领域的可靠助手。特点：　 1、高度自动化球差校正，尽量减少人员介入，适用于繁忙的分析测试中心或设备平台 　　2、三位一体呈现(TEM、STEM、SEM)，内部结构成像和表面结构成像可同时进行同时获取 　　3、EDS超大球面角，无窗口探头。可实现快速，高灵敏度化学成分分析 　　4、前瞻性平台总体设计，为性能扩增预留选项，例如可扩增为气体环境电镜。参数配置：

详细介绍 HITACHI 日立 扫描电镜灯丝 51E-0240 51E-0250Agar钨灯丝在采用高延展性的钨材料，在精确的工艺下制作，使用寿命长。此钨灯丝为Hitachi 日立钨灯丝扫描电镜预对中灯丝，使用方便，无需再进行预对中操作即可直接安装使用，一盒10个灯丝。 是否要再次使用用完的碳粉盒灯丝？（更换灯丝）是环保的再利用服务。废弃物的量减少，而且与新产品相比可以控制价格。适用机型HITACHI 日立 扫描电镜灯丝 51E-0240SU3900、SU3800、SU3500、FlexSEM1000、S-3000シリーズ、SU1510、SU-1500、TM-1000/ TM3000シリーズ/TM4000シリーズ/AeroSurf 1500订购前使用后的长丝请不要扔掉，放回专用泡沫塑料中。10个齐了的话请吩咐。最多可以播放5次。在墨盒上刻印，以便知道播放次数。注意事项HITACHI 日立 扫描电镜灯丝 51E-0240不补充专用泡沫塑料。再生委托品中含有因变形等不能再生的墨盒时，请另行咨询。基本上灯丝不再生就返还。另外，即使在这种情况下，价格也是10个的价格，请事先谅解。关于灯丝的更换，请按照使用说明书的记载进行更换。

产品介绍：　　日立全新一代热场发射扫描电镜SU5000继承了日立半导体行业扫描电镜CD-SEM高稳定性和易操作的特点，不仅具有强大的观察分析能力，同时具有全新的操作体验。SU5000既满足了专业电镜操作者对高分辨观察和分析的需求，也满足了电镜初学者对高质量图片的需求，是一台操作简便且功能强大的扫描电镜。主要特点：1.高稳定性热场发射电子枪2.全新的EM Wizard软件，无需设置参数即可获得高质量图片3.高分辨率和强大的分析能力4.样品适用性强：不导电样品直接观察（低真空功能，10-300Pa）5.全新的multi-finder功能，方便快捷的寻找样品6.附件功能强大：拉伸台，冷热台，电子束曝光，红外CCD，离子束清洁系统等。

日立2005年在中国推出了S-4800型高分辨场发射扫描电镜，由于出色的应用性能、良好的稳定性和简易的维护，收到了各界用户的一致好评。　　日立2011年新推出了它的后续机型----SU8010，它继承了S-4800的优点，性能有进一步提高，1kv使用减速功能后，分辨率提升到1.3nm，相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像，明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果。特点：1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能5. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成

产品简介日立高新高画质的钨灯丝扫描电镜SU3500, 图象质量更进一步。通过高画质提升扫描电镜的分析能力和操作性, 凝聚日立最先进科技“独具匠心”。日立高新钨灯丝扫描电镜SU3500具有实现了“3kV加速电压7nm分辨率”的全新电子光学系统, 可实现实时立体成像的“实时立体观察功能”＊1, 以及更高检测效率的 “UVD超高灵敏度可变压力检测器”＊1。它为观察和分析提出了崭新的标准。特点低加速电压观察时分辨率更高，可更好地观察样品最表面的细微形状和更有效地降低样品的损坏全新设计的电子光学系统和信号处理技术实现了高速扫描和低噪音的观察和以前的常规扫描电子显微镜相比＊2，自动功能缩短＊3了大约11秒具有在低真空时可以非常好地观察样品最表面的细微形状的“UVD（超高灵敏度可变压力探测器）”＊4具有实现了实时立体成像的“实时立体观察功能”＊4（*1）：自选（*2）：和日立SEM S-3400N相比（*3）：根据观察条件的不同，时间会有变动（*4）：自选规格 项目描述二次电子分辨率3.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm高真空模式）7.0nm（加速电压=3kV，WD=5mm高真空模式）背散射电子分辨率4.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm低真空模式）10.0nm（加速电压=5kV，WD=5mm高真空模式）放大倍率5 - 300,000倍（底片倍率＊5）7 - 800,000倍（显示器显示倍率＊6）加速电压0.3 - 30kV可变压力范围6 - 650Pa最大样品尺寸直径 200mm样品台X0 - 100mmY0 - 50mmZ5 - 65mmR360°T-20° - 90°可观察区域直径 130mm （旋转并用）最大样品高度80mm（WD=10mm）马达台5轴标配电子光学系统电子枪预对中的钨灯丝物镜光阑4孔可动光阑探检测器埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器高灵敏度半导体背散射电子检测器EDX分析 WD10mm（取出角35°）图像显示操作系统Windows 7＊7（如有更改，恕不另行通知）图像显示模式全屏模式（1,280 × 960 像素）小屏模式（800 × 600 像素）双图像显示（800 × 600 像素）四屏幕显示（640 × 480像素）信号混合模式排气系统操作全自动排气涡轮分子泵210升/秒 × 1机械泵135L/min（162L/min，60Hz）× 1（*2）：以127mm×95mm（图像尺寸4"×5"）的显示尺寸规定倍率（*3）：以345mm×259mm（像素1,280×960）的显示尺寸规定倍率（*4）：Windows是微软公司在美国和其他国家的注册商标

日立2011年新推出了SU9000超高分辨冷场发射扫描电镜，达到扫描电镜世界顶级二次电子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改进的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能明显提升，而且作为一款冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作，可以高效率的快速获取样品超高分辨扫描电镜图像。特点：1. 新型电子光学系统设计达到扫描电镜世界最高分辨率：二次电子0.4nm（30KV），STEM 0.34nm（30KV）。2. Hitachi专利设计的E×B系统，可以自由控制SE和BSE检测信号。3. 全新真空技术设计使得SU9000冷场发射电子束具有超稳定和高亮度特点。4. 全新物镜设计显著提高低加速电压条件下的图像分辨率。5. STEM的明场像能够调整信号检测角度，明场像、暗场像和二次电子图像可以同时显示并拍摄照片。6. 与FIB兼容的侧插样品杆提高更换样品效率和高倍率图像观察效率。项目技术指标二次电子分辨率0.4nm （加速电压30kV，放大倍率80万倍）1.2nm （加速电压1kV，放大倍率25万倍）STEM分辨率0.34nm（加速电压30kV，晶格象）观测倍率底片输出显示器输出LM模式80~10,000x220~25,000xHM模式800~3,000,000x2,200~8,000,000x样品台侧插式样品杆样品移动行程X±4.0mmY±2.0mmZ±0.3mmT±40度标准样品台平面样品台：5.0mm×9.5mm×3.5mmH截面样品台：2.0mm×6.0mm×5.0mmH专用样品台截面样品台：2.0mm×12.0mm×6.0mmH双倾截面样品台：0.8mm×8.5mm×3.5mmH信号检测器二次电子探测器TOP 探测器（选配）BF/DF 双STEM探测器（选配）

FE-SEM获得的图像分辨率高，信息丰富，样品处理相对简单，并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生命科学、材料等领域。近年来，以Materials Integration为代表，其应用领域及用途在不断扩展，短时间内获取大量数据，减轻作业负荷成为市场的一大需求。为满足这一需求，此次特推出的SU8700作为一款面向新时代的SEM，在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上，增加了包括自动获取数据等高通量的功能。SU8700可配置各种分析附件，适用于从低加速观察到高束流的EBSD分析，支持陶瓷、金属等不同材料的解析。该系列产品的特点如下：1．支持自动获取数据在FE-SEM的观察和分析中，需要根据测量样品与需求调整观察条件。调整所需时间的长短取决于用户的操作熟练度，这是造成数据质量与效率差异的因素之一。此系列产品标配自动调整功能，可避免人为操作导致的差异。此外，随着仪器性能的提升，需要获取的数据种类与数量也在增加，手动获取各种大量数据会大大增加用户的作业负担。此系列产品可选配“EM Flow Creator”，用户可根据自身需求设定条件，自动获取数据，这对于未来通过获取大量数据实现数据驱动开发起到重要作用。2．增加获取信息的种类与数量通过SEM能够收集到多种信号，且此系列产品最多可以同时显示和存储6个检测器的信号。在减少图像获取次数的同时能够获取多种信息。此外，为一次性获取大量信息，单次扫描像素扩展到了40,960 x 30,720（选配），是之前型号的64倍。利用这一功能，可凭借一张数据图像有效评估多处局部的细微结构。3．增强信号检测能力SU8700的样品仓设计巧妙，可使用短工作距离进行EDS分析，通过提高EDS分析的空间分辨率，能够实现更微小部位的分析。

产品简介日立驰名的冷场发射电子源和300 kV加速电压技术共同打造了超高分辨率成像和高灵敏度分析功能。双棱镜全息技术，空间分辨电子能量损失谱以及高精度平行纳米电子束衍射技术开辟了高效，高精度样品分析的新途径。分辨率：0.1 nm（晶体点阵）0.19 nm（点对点）0.13 nm（信息极限）放大倍数：200倍 至 1,500,000倍加速电压：300 kV, 200 kV （*）, 100 kV （*）（*） 选购附件 解决方案 立扫描透射电镜HF3300在原位催化中的应用 应用领域：石油/化工检测项目：热性能检测样品：化工原料 方案优势近年来，在催化领域中，真实的催化反应过程成为广大学者的研究热点。原位扫描透射电镜能够实现实时观察样品的反应过程，监测样品的变化。其中日立的冷场300KV的HF3300型扫描透射电镜配备了独特的真空系统(差分泵) 。气体可以直接通入样品室与样品进行反应，到达样品表面的压力最 高能够达到10Pa；配备的新型冷场枪更加稳定，亮度更强，发射电流更加稳定；宽真空范围二次电子探头的加入，能够实现同时观察样品的明场，暗场及二次电子像，从而实现对催化反应过程全方位的了解。实验设备：HF-3300场发射透射电子显微镜