SuperView W11200[b][color=#3366ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b]是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。[align=center][img=,690,604]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201529_01_3712_3.jpg[/img][/align] SuperView W11200光学3D表面轮廓仪只需操作者装好被测器件,在软件测量界面上设置好视场参数,调整镜头到接近器件表面,选择自动聚焦,仪器会对器件表面进行自动对焦并找到干涉条纹,调节好干涉条纹宽度后即可开始进行扫描测量;扫描结束后,软件分析界面自动生成器件3D图像,操作者可通过软件对生成的3D形貌进行数据处理与分析,获取表征器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。 SuperViewW1 1200 光学3D表面轮廓仪采用光学非接触式测量方法,它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点,其独特的光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。 系统软件为简体中文操作系统,操作方便。应用范例:[align=center][img=,690,352]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201530_01_3712_3.jpg[/img][/align][align=center][img=,690,543]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201530_02_3712_3.jpg[/img][/align] 性能特点:1、 高精度、高重复性、高稳定性1) 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块组成测量系统,保证测量精度高;2) 精密的Z向扫描模块和独特的测量模式,保证测量重复性高;3) 高性能的内部抗震设计,为测量高稳定性保驾护航。2、 自动化操作的测量分析软件1)测量初始的自动聚焦,帮助操作者省却繁琐的调节过程;2)独特测量模式,帮助操作者快速测量不同形貌的待检样品;3)可视化窗口,便于操作者实时观察扫描过程;4)直观的软件分析界面,便于操作者第一时间获悉样品参数信息;5)强大的数据处理与分析功能,帮助操作者深入了解被测样品情况;6)一键分析,便于操作者快速实现大批量测量;7)同步分析,实现对样品分析操作的所见即所得;8)可视化的报表导出(可选择导出的图像与数据结果到word、pdf等文档)。3、 测量参数齐全根据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)的多达300余种2D、3D参数,让操作者对被测样品的认识更加全面具体。4、 精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
进口非接触式轮廓仪[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307051728587910_1104_6090019_3.jpg[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307051729039092_6171_6090019_3.jpg[/img]
“摩擦,摩擦,在这光滑的地上摩擦…..”还记得庞麦郎的一首《我的滑板鞋》风靡大街小巷,广场上卷起了一股溜滑板鞋的浪潮。尔今浪潮已退,但摩擦声却未消失,作为一柄对社会发展起着双刃剑作用的武器,各大高校和科研机构一直都在对摩擦学进行着持续的研究,而中图仪器[b]SuperView W1光学3D表面轮廓仪[/b],就是该领域最时尚的滑板鞋,载着研究人员疾驰,手持武器,所向披靡。 摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科,摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数,量级从纳米到毫米不等,又由于不可破坏性测量,传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用,而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的光学3D表面轮廓仪登上了摩擦学研究的舞台。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238760989.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231572145.jpg[/img][/align][align=center]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/align] 上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪,经过十数小时的摩擦,铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹,即为磨损区域,对磨损区域进行尺寸上的定量分析,是研究的重要组成部分,下面我们使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。一、一维:线_轮廓尺寸 取一块摩擦处理过的铜板,使用SuperView W1光学3D表面轮廓仪对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描,获取其3D图像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808239913954.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234541029.jpg[/img][/align][align=center]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/align] 从图中可以看到,相对光滑区细致较浅的划痕,磨损区充满了坑坑洼洼的槽,在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线,可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。二、二维:面_粗糙度 分别在光滑区和磨损区选取若干点,测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808235791766.jpg[/img][/align][align=center]图6 光滑区域粗糙度[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808237197020.jpg[/img][/align][align=center]图7 磨损区域粗糙度[/align]三、三维:体_体积[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238604911.jpg[/img][/align][align=center]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/align] 如右上图,利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中,位于基准面(蓝色方框)上面的顶点区域显示为红色,位于基准面下方显示为绿色,利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。 一线二面三体,中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息,从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断,如同穿上了酷炫的滑板鞋,在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。
[table][tr][td][align=left][color=#333333] 摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科,摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数,量级从纳米到毫米不等,又由于不可破坏性测量,传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用,而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的[/color][url=http://www.chotest.com][b][color=#000000]白光干涉仪[/color][/b][/url][color=#333333]登上了摩擦学研究的舞台。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,658,496]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238760989.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333][img=,639,260]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231572145.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/color][/align][align=left][color=#333333] 上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪,经过十数小时的摩擦,铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹,即为磨损区域,对磨损区域进行尺寸上的定量分析,是研究的重要组成部分,下面我们使用中图仪器白光干涉仪对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。[/color][/align][align=left][color=#333333]一、一维:线_轮廓尺寸[/color][/align][align=left][color=#333333] 取一块摩擦处理过的铜板,使用白光干涉仪对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描,获取其3D图像。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,621,240]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808239913954.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333][img=,548,171]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234541029.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/color][/align][align=left][color=#333333] 从图中可以看到,相对光滑区细致较浅的划痕,磨损区充满了坑坑洼洼的槽,在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线,可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。[/color][/align][align=left][color=#333333]二、二维:面_粗糙度[/color][/align][align=left][color=#333333] 分别在光滑区和磨损区选取若干点,测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,495,157]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808235791766.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图6 光滑区域粗糙度[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,472,143]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808237197020.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图7 磨损区域粗糙度[/color][/align][align=left][color=#333333]三、三维:体_体积[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,642,234]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238604911.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/color][/align][align=left][color=#333333] 如右上图,利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中,位于基准面(蓝色方框)上面的顶点区域显示为红色,位于基准面下方显示为绿色,利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。[/color][/align][align=left][color=#333333] 一线二面三体,白光干涉仪能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息,从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断,如同穿上了酷炫的滑板鞋,在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。[/color][/align][/td][/tr][/table]
白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一,在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜,在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域,除了[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][b][color=#333333]白光干涉仪[/color][/b][/url],其它的仪器无法达到其测量精度要求。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803076710554.jpg[/img][/align][align=center]中图仪器SuperView W1白光干涉仪[/align]白光干涉仪测量原理: 白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光,分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光,并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉,在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差,根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/5/201905302500097.jpg[/img][/align]白光干涉仪的测量应用: 以测量单刻线台阶为倒,在检查仪器的各线路接头都准确插到对应插孔后,开启仪器电源开关,启动计算机,将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置,先手动调整载物台大概位置,对准白光干涉仪目镜的下方。 在计算机上打开白光干涉仪测量软件,在软件界面上设置好目镜下行的最低点,再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离,调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳,此时设置好要扫描的距离。按开始按钮,白光干涉仪可自动进行扫描测量,测量完成后,转件自动生成3D图像,测量人员可以对3D图像进行数据分析,获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2019/5/201905303281565.png[/img][/align] 白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。白光干涉仪独有的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。
[quote]引言:半导体产业是一个点石成金的行业,将从普通的石英砂中提取的硅原料制成拥有现代工业系统“心脏”之称的IC芯片,中间须历经数十上百道工序,从硅晶圆的制备到晶圆IC的制造,每一步都对工艺流程的质量有着严格的管控要求,由各式各样的检测仪器共同组成了产品质量监控的守门员,而在这之中,作为产品表面质量检测仪器的光学3D表面轮廓仪,以其超高的检测精度和重复性,发挥着重要的作用。[/quote] 中图仪器SuperView W1[b][color=#3333ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b],是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器,其分辨率可达0.1nm。半导体产业作为超精密加工领域一颗璀璨的明珠,在其硅晶圆的制备和晶圆IC的制造过程中,光学3D表面轮廓仪都以其强大的表面质量检测功能给这颗明珠增添一份靓丽的色彩。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257216238.png[/img][/align][color=#ffffff]硅晶圆的粗糙度检测[/color]在半导体产业中,硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量,而硅晶圆的制备,要经过十数道工序,才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆,如下图所示,提取表面一区域进行扫描成像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804250029083.png[/img][/align]通过上图我们看到,制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内,其表面粗糙度在0.5nm左右,由于其粗糙度精度已到亚纳米量级,而在此量级上,接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求,只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。[color=#ffffff]晶圆IC的轮廓检测[/color]晶圆IC的制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV蚀刻到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程,其中由于光罩中电路结构尺寸极小,任何微小的粘附异物和瑕疵均会导致制造的晶圆IC表面存在缺陷,因此必须对光罩和晶圆IC的表面轮廓进行检测。下图是一块蚀刻后的晶圆IC,使用光学3D表面轮廓仪对其中一个微结构扫描还原3D图像,并测量其轮廓尺寸。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804252060141.png[/img][/align][color=#ffffff]晶圆IC减薄后的粗糙度检测[/color]在硅晶圆的蚀刻完成后,根据不同的应用需求,需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理,在这个过程中,需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。在减薄工序中,晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序,下图是粗磨后的晶圆IC背面,选取其中区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804253935356.png[/img][/align]从上图可以看出,粗磨后的表面存在明显的磨削纹路,而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵,沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵,在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵最大起伏在2.4um左右,而磨削纹理起伏最大在1um范围内波动,并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm,剖面线的粗糙度Ra为241nm。而在经过细磨后,晶圆IC背面的磨削纹理已基本看不出,选取表面区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257060316.png[/img][/align]从上图可知,在经过细磨之后,晶圆IC背面的磨削纹理轮廓起伏已经降到36nm附近,其表面粗糙度也已经从200多nm直降到6nm左右。以上是SuperView W1光学3D表面轮廓仪在半导体产业中的几种典型应用案例。目前我国正在大力推进半导体产业跨越式大发展,中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪必将为此贡献更多力量。
禅宗有看山看水的参禅三重境,讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现,带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。 一重境:看山是山,看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片,初看下面的这张塑料片,想必读者一看再看,也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同,“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识,此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align] 二重境:看山不是山,看水不是水。既然肉眼不可辩,那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒,另一面则被条状沟槽所填满,构成了塑料片表面的微观世界,但只知其平面外形却不知其三维形态,知其一不知其二,可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align] 三重境:看山仍是山,看水仍是水。为一窥真容,使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描,点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align] 点颗粒是凸点,而沟槽则是弧形波,进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量,得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align] 单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°,分布周期97μm;单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm,周期35μm。掌握了全部的轮廓数据,对这有着微结构的塑料片,我们有了全面而精确的认识,称得上“看山还是山,看水还是水”。 超精密加工,是在传统精密加工上的升级,代表着先进制造业的发展方向,也代表着一个国家制造业的最高水准,超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器,而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪,就像一双能够明察秋毫的眼镜,帮助我们在超精密加工的微观世界里,具备“看山还是山,看水还是水”的本领。
[table][tr][td][align=left][color=#333333] “摩擦,摩擦,在这光滑的地上摩擦…..”还记得庞麦郎的一首《我的滑板鞋》风靡大街小巷,广场上卷起了一股溜滑板鞋的浪潮。尔今浪潮已退,但摩擦声却未消失,作为一柄对社会发展起着双刃剑作用的武器,各大高校和科研机构一直都在对摩擦学进行着持续的研究,而中图仪器[b]SuperView W1白光干涉仪[/b],就是该领域最时尚的滑板鞋,载着研究人员疾驰,手持武器,所向披靡。[/color][/align][align=left][color=#333333] 摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科,摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数,量级从纳米到毫米不等,又由于不可破坏性测量,传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用,而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的白光干涉仪登上了摩擦学研究的舞台。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,658,496]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173108zmy3uxwyyf44pvay.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333][img=,639,260]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173108wggtggagt4vy684g.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/color][/align][align=left][color=#333333] 上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪,经过十数小时的摩擦,铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹,即为磨损区域,对磨损区域进行尺寸上的定量分析,是研究的重要组成部分,下面我们使用中图仪器[b]SuperView W1白光干涉仪[/b]对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。[/color][/align][align=left][color=#333333]一、一维:线_轮廓尺寸[/color][/align][align=left][color=#333333] 取一块摩擦处理过的铜板,使用[b]SuperView W1白光干涉仪[/b]对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描,获取其3D图像。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,621,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173109uq6666gog6pg2h8q.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333][img=,548,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173109tzxq34yyc522tj4j.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/color][/align][align=left][color=#333333] 从图中可以看到,相对光滑区细致较浅的划痕,磨损区充满了坑坑洼洼的槽,在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线,可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。[/color][/align][align=left][color=#333333]二、二维:面_粗糙度[/color][/align][align=left][color=#333333] 分别在光滑区和磨损区选取若干点,测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,495,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173109n3blb9399tawzdkk.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图6 光滑区域粗糙度[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,472,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173109itiu8uaizt5ti8f5.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图7 磨损区域粗糙度[/color][/align][align=left][color=#333333]三、三维:体_体积[/color][/align][align=center][color=#333333][img=,642,]http://bbs.21ic.com/data/attachment/forum/201908/20/173110iuynrork3en0offq.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#333333]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/color][/align][align=left][color=#333333] 如右上图,利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中,位于基准面(蓝色方框)上面的顶点区域显示为红色,位于基准面下方显示为绿色,利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。[/color][/align][align=left][color=#333333] 一线二面三体,[b]SuperView W1白光干涉仪[/b]能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息,从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断,如同穿上了酷炫的滑板鞋,在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。[/color][/align][/td][/tr][/table]
禅宗有看山看水的参禅三重境,讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color][/url]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现,带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。 一重境:看山是山,看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片,初看下面的这张塑料片,想必读者一看再看,也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同,“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识,此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align] 二重境:看山不是山,看水不是水。既然肉眼不可辩,那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒,另一面则被条状沟槽所填满,构成了塑料片表面的微观世界,但只知其平面外形却不知其三维形态,知其一不知其二,可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align] 三重境:看山仍是山,看水仍是水。为一窥真容,使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描,点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align] 点颗粒是凸点,而沟槽则是弧形波,进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量,得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align] 单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°,分布周期97μm;单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm,周期35μm。掌握了全部的轮廓数据,对这有着微结构的塑料片,我们有了全面而精确的认识,称得上“看山还是山,看水还是水”。 超精密加工,是在传统精密加工上的升级,代表着先进制造业的发展方向,也代表着一个国家制造业的最高水准,超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器,而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪,就像一双能够明察秋毫的眼镜,帮助我们在超精密加工的微观世界里,具备“看山还是山,看水还是水”的本领。
引言: 光学,一门古老又现代的学科,伽利略借助光学望远镜,研究了天体运动;生物学家借助光学显微镜,观察到了细胞结构;人类借助相机镜头,留住了无数难忘的瞬间。光,无可触摸,却又无处不在,借助光学,我们能直接感受和探索未知的世界,而作为光的载体,各种光学器件在其中承担着重要的角色,借助中图仪器[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][color=#0000ff][b]白光干涉仪[/b][/color][/url],我们可以对光学器件进行严格的表面质量检测。 光学器件,例如各种光学镜片和玻璃,属于超精密加工的产物,因此其表面质量等级都非常高,会划伤表面的接触式轮廓仪出师未捷身先死,由于其高透明度,一般的非接触式光学影像方法也束手无策,而中图仪器利用光学干涉原理研制而成的SuperView W1光学3D表面轮廓仪,能完美解决这两个难题,为光学镜片和玻璃的表面质量检测提供了标准解决方案。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803076710554.jpg[/img][/align][img=说明: C:\Users\ztyf007\Desktop\电脑显示图 拷贝副本 拷贝.png]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image002.png[/img][b]光学透镜检测:[/b] 在可见光领域,球面透镜是一种基础的光学器件,其表面粗糙度和曲率半径都关系着光的传播效果,光学3D表面轮廓仪可以一次完成这两项参数的检测;[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803073907984.jpg[/img][/align][align=center]剖面轮廓曲线[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803076094888.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803077344152.jpg[/img][/align][align=center] [/align] 上图为某型号双胶合透镜,取透镜上表面进行检测,得其粗糙度小于1nm,曲率半径为61.2mm左右,与理论值61.5mm仅差0.3mm左右,考虑到光学透镜的加工容许误差为2%,因此所测值与理论相符。[b]蓝宝石玻璃检测:[/b] 蓝宝石俗称刚玉,主要成分是氧化铝(Al₂ O₃ ),由于其优良的物理和化学特性,常用于制成各种光学元件,如摄像头保护玻璃、表镜、窗口片、棱镜等。一般加工出来的蓝宝石玻璃分为单面抛光和双面抛光两种,抛光程度——也就是表面粗糙度直接决定了其表面质量等级,下图为一片单面抛光蓝宝石玻璃的光面和糙面的粗糙度检测图像及数据。 [align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803078750797.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803070000051.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803071250325.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803072344327.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image025.png[/img][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image027.jpg[/img][img=说明: C:\Users\ztyf007\AppData\Local\Temp\376d7fe4-3704-4c79-a481-0253bd1b2a1f.tmp]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image028.png[/img] 如上图所示,光面的粗糙度曲线显示,光面上分布的凸点只有1nm左右的高度起伏,其表面粗糙度为0.1nm左右,而糙面的高度起伏则达到了3.2um,表面粗糙度则为500nm左右。[b]玻璃屏检测:[/b] 玻璃屏常见于我们日常所用的智能产品中,例如智能手机、智能手表,还有平板电脑等,为了获得更好的触屏体验,需要对玻璃屏的表面粗糙度和微观轮廓进行检测。以手机玻璃屏为例,说明光学3D表面轮廓仪在其中的应用: [img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image034.png[/img][img=说明: C:\Users\ztyfdell014\Desktop\2.png]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image036.png[/img][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803073750962.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803075469804.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803072576961.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image037.png[/img] 如上图,选取的测量区域发现了一条宽6um,深6nm的肉眼无法观测到的划痕,玻璃屏表面的粗糙度在1nm附近。[b]玻璃表面台阶检测:[/b] 下图为透明玻璃表面镀的一层金属膜,需要测膜层的厚度,由于其非透明的特性,薄膜测厚仪无法进行测量,而由于其膜层厚度精度在纳米级别,接触式的台阶仪和其它的非接触式光学仪器也存在测量误差较大的风险,而以光学干涉原理为基础研制成的中图仪器光学3D表面轮廓仪,以其亚纳米级别的测量精度,则可对该膜层厚度进行精确测量。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803074919227.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/3/201803077263920.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image040.png[/img][img=说明: C:\Users\ztyf007\AppData\Local\Temp\b55608cc-0007-44df-8519-7bd0a757c12f.tmp]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image042.png[/img][img=说明: C:\Users\ztyf007\Desktop\IMG20180301085257 拷贝.png]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image044.png[/img] 上图是利用软件的自动面台阶高检测功能对重建的3D图像两台阶高进行检测,从数值可知,两台阶面平均高度差为82nm,而最大高度差90nm,最小高度差为78nm。 投之以桃,报之以李,中图仪器光学3D表面轮廓仪作为一款光学检测仪器,受益于光学行业的进步与发展,也必将为光学行业的进一步提升贡献自己的力量。
MMD-220A轮廓仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数,角度处理(坐标角度,与Z坐标的夹角,两直线夹角)、圆处理(圆弧半径,圆心到圆心距离,圆心到直线距离,交点到圆心的距离,直线到切点的距离)、点线处理(两直线交点,交点到直线距离,交点与交点距离,交点到圆心的距离)、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、轮廓度、倾斜度、垂直距离、水平距离等形状参数。 该MMD-220A轮廓仪测量长度≤220mm,Z 量 程:10mm,可测零件直径:内圈≤300mm,外圈可较大,国产贵阳光栅尺:精度±3μm/220mm ,X向分辨率1μm,Z向分辨率/量程:1/65536,工作压力:0.35~0.43Mpa,气源压力:0.45~0.80Mpa。
[em0808] 请教:白光干涉显微镜(3D轮廓仪)的Z轴分辨率有这么高吗?0.01nm!是如何达到的?如下是英国TAYLOR HOBSON的一款产品简介,不知什么原因图片没有贴上.Talysurf CCI 3000AFor applications requiring the ultimate in high precision 3D profile analysis, Talysurf 3000A brings an unparalleled level of performance with specifications never seen before.△ 0.01 nm resolution △0.003 nm Rq repeatability△ 100μm vertical range △ 0.3 – 100% reflectivity△ 1,048,576 data points △300mm capacityTalysurf CCI 3000A delivers high accuracy, repeatability and stability by using an advanced type of interferometer and a patented correlation algorithm. This method provides both high resolution and excellent sensitivity to returning light. Measurement set-up is easy: place the component on the stage, set the focus height and push the start button. Cycle time is 10 – 20 seconds. Motorised stages are available to increase throughput and virtually eliminate operator errors.
北京地区哪有光学轮廓仪可以测激光烧蚀坑的大小与深度?谢谢了。。。
JJG (石油) 36-1994 螺纹轮廓仪[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=50876]JJG (石油) 36-1994 螺纹轮廓仪[/url]
样品测量厚度在100纳米,是溅射的金属网格,我希望测试网格线的厚度。想用台阶仪或者光学轮廓仪测试,请问北京哪里可以提供服务?谢谢!
样品测量厚度在100纳米,是溅射的金属网格,我希望测试网格线的厚度。想用台阶仪或者光学轮廓仪测试,请问北京哪里可以提供服务?谢谢!
[img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2007/10/200710221706_67576_1609636_3.jpg[/img]WGL型光电轮廓仪 上海精密科学仪器有限公司
哪儿有光学轮廓仪,可以表征三维形貌及纵向深度?谢谢了。。。
[color=#000000]粗糙度轮廓仪为粗糙度及轮廓的复合机。轮廓传感器对工件的宏观表面轮廓、二维尺寸进行测量 与检验,粗糙度传感器对工件的微观表面进行测量与检测[/color][b]特点[/b][color=#000000]1、高精度摩擦式导轨结构,具有优异稳定的运动精度。经专用算法修正后,具有极高的直线度精度。精度保持长久,只需简单的修正操作即可修复成出厂的高精度状态;[/color][color=#000000]2、轮廓测针测杆采用快速的磁吸结构,具有定位精度高、更换快捷的特点。软件对不同类型的测针测杆进行校正并保存校正参数,更换测针测杆时,因磁吸结构具有定位精度高的特点,而无需再次校正,大大提高仪器的使用便利性和测量效率;[/color][color=#000000]3、原始数据自动保存,便于多次标注,软件标注与 CAD 同理;[/color][color=#000000]4、可将测量的图形结果转化为 DXF 格式,可将测量结果以 Excel 表格格式输出;[/color][color=#000000]5、可以对操作进行无限次的撤销及恢复操作;[/color][color=#000000]6、采用独立的轮廓、粗糙度测量传感器,即保持大量程轮廓测量需求,亦能高精度测量粗糙度;[/color][color=#000000]7、粗糙度采用触针式无导头测量,残值轮廓可低于 5nm!实现高精度的粗糙度测量,特别在测量零件的圆弧面、斜面、窄槽的槽底、槽侧面的粗糙度时,具有带导头式粗糙度测量无法比拟的精度和测量便利性。[/color][img]https://p3.toutiaoimg.com/img/tos-cn-i-qvj2lq49k0/4372814fa2524f599af2d76e04cb37f0~tplv-tt-shrink:640:0.image[/img]【英徕铂】英徕铂ENLAB,物性检测仪器品牌,为国内市场提供数百种物性检测仪器,为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务
数字全息显微镜DHM测量材料动态的3D形貌,亚纳米分辨率,基于菲涅尔衍射的数字全息重建技术 [table=100%][tr][td][img=动态3D细胞监测,690,138]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/11/201711241018_01_1546_3.jpg!w690x138.jpg[/img]仅0.001秒即可测出物体三维形貌,并且是亚纳米的分辨率。不同于传统白光干涉仪、共聚焦显微镜、扫描探针轮廓仪等需要扫描的成像方式,DHM仅需0.001秒采集单张全息图即可测出物3D形貌信息,做到了快速动态监测。 和传统全息术不一样的是没有采用干板而是采用CCD记录全息图,全息图中 光强图:提供与传统显微镜一样对比度的图像 相位图:提供量化数值,得以对被测物体进行精确三维测量 该系统为预放大全息显微镜,其中的相位图解析中用到了大量的算法,实时相位解包裹技术 实时形貌测量的案例二:石墨烯薄膜受力形变实时测量[img=石墨烯薄膜受力形变,384,216]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/11/201711241017_02_1546_3.gif!w384x216.jpg[/img][img=MEMS跟踪测量,690,389]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/11/201711241017_03_1546_3.gif!w690x389.jpg[/img][/td][/tr][/table]
成都地区有使用激光共聚焦显微及三维光学轮廓仪的吗?想测量一下激光烧蚀后的深度及形貌。感兴趣的可以用这两种仪器测量一下SPARK-OES烧蚀坑的深度及形貌,分析一下烧蚀形貌的特点。最好 估算一下烧蚀的样品量,与大家分享一下。
请教有没有表面轮廓仪(Profilometry)方面的专家. 对中国高精度表面轮廓仪(Ultra Precision Profilometry)应用方面,和生产方面的发展情况.谢谢
请问“圆度仪”、“轮廓仪”、“圆柱度仪”、凸轮轴测量仪的英语单词是什么?
[align=center][img=,482,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161531_01_3712_3.jpg[/img][/align] [b][color=#3333ff]SJ5760轮廓测量仪[/color][/b]采用进口高精度光栅测量系统、高精度研磨导轨、高性能非接触直线电机、音圈电机测力系统、高性能计算机控制系统技术,实现对各种工件表面轮廓进行测量和分析。通过高精度研磨导轨、高性能直线电机保证测量的高稳定性及直线度,采用进口高精度光栅测量系统建立工件表面轮廓的二维坐标,计算机通过修正算法对光栅数据进行修正,最终还原出工件轮廓信息并以曲线图显示出来,通过软件提供的分析工具可对轮廓进行各种参数分析。[align=center][img=,690,398]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161531_02_3712_3.jpg[/img][/align] 轮廓仪为全自动测量设备,操作者只需装好被测工件,在检定软件上设定扫描的开始、结束位置,点击“开始”按钮,测针会自动接触工件表面,并按设定的位置扫描;在进行轮廓扫描的过程中,软件界面会实时描绘轮廓曲线;扫描结束后,操作者可通过轮廓分析工具对生成的轮廓曲线进行分析,得到如直线度、圆度、角度、距离、间距等轮廓参数。[align=center][img=,690,398]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161532_01_3712_3.jpg[/img][/align] 性能特点:1、 高精度、高稳定性、高重复性:分辨力0.01μm,完全满足被测件测量精度要求。1) 国际领先的高精度光栅测量系统,分辨力达到0.01μm,测量精度高;2) 自主研发高精度研磨导轨系统,导轨直线度达到2μm/200mm,导轨材料耐磨性好、保证系统稳定可靠工作;3) 高性能直线电机驱动系统,保证测量稳定性高、重复性好。2、 智能化管理与检测软件系统:仪器操作界面友好,操作者很容易即可基本掌握仪器操作,使用十分简便。1) 10多年积累的实用检定软件设计经验,向客户提供简洁、实用、快速的操作体验;2) 功能强大、自动处理数据、打印各种格式的检定报告,自动显示、打印、保存、查询测量记录;3) 测量范围广,可满足绝大多数类型的工件轮廓测量;4) 强大的CNC自动测量标注功能;5) 纯中文操作软件系统,更好的为国内用户服务;6) 打印格式正规、美观。检定数据可存档,或集中打印,不占用检定操作时间;7) 本仪器采用计算机大容量数据库储存,可自动记录保存所有检定结果。[align=center][img=,690,398]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161532_02_3712_3.jpg[/img][/align]3、 测量力系统: 采用音圈电机测力系统,测力可实现从10~150mN连续可调,测力分辨力可达0.2mN;避免了老式砝码加载因周围环境振动带来的测力误差,降低了测力变化引起的测量误差。4、 智能保护系统:一旦出现主机与被测工件或夹具相撞、或测针在扫描过程中出现拉力过大,仪器会停止扫描保护测量系统和测针,极大的保护测针的损坏。5、 灵活手动控制:仪器配置了操作杆,可在测量工件前对测针进行粗定位;在脱离电脑的情况下,让测针左右、上下快速移动。6、 成熟的标定技术通过简单的操作,能对仪器的参数进行误差补偿,对测针磨损进行针尖补偿,使其满足高精度测量。
[font=宋体][size=16px][color=black]粗糙度轮廓仪使用干货:[/color][/size][/font]轮廓更换测针操作步骤(1)测杆安装注意:装到位后会听到定位声(机械声),手摸一下吸合处高低位置要对齐。[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/9311208da3fe4dbfae4af733c97e3a4d~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=JJLap7%2B31x44j9UsN1qQ6HCxxm0%3D[/img](2)测杆拆卸[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/579ed6a4e3e345168b8b287d4ab3c976~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=x4RwSKenZBUjt0%2BeVKatZ17J300%3D[/img](3)测针安装[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/d7e32312b28b4660906d1df71e7d1aab~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=5cbkAg7DebtrXrjT6wcQlImnZZE%3D[/img](4)在软件中创建测针(5)在软件中切换测针【英徕铂】英徕铂ENLAB,物性检测仪器品牌,为国内市场提供数百种物性检测仪器,为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务
最近一直在使用 研究所里的白光干涉仪(Talysurf CCI 2000)做表面检测,发现了不少问题,比如说: 1. 如何调整能快速获得干涉条纹; 2. 如何能减少数据丢失点; 3. 如何校准我一直在钻研随机带的说明书,不过Taylor Hobson这些英国人太懒了,很多东西都是笼统的讲,根本不细说! 所以,希望 有白光干涉仪操作经验的朋友,能在本楼讨论下,您也可给我发email:chenjc18@126.com。
粗糙度∶以前一般叫表面光洁度,是用来评定工件表面质量的专业术语,最早一般用对比样板来评定工件表面粗糙度,从▲1到▲14一共分为14个等级,随着科技的发展使用者对工件表面质量要求也越来越高,原来的检测手段已经不能满足我们的需求,这也就加快了表面粗糙度仪的诞生。粗糙度仪是检测工件表面粗糙度的数字化电子仪器,由于准确度高、稳定性好、便于操作等优点迅速普及开来。 粗糙度仪分类: 粗糙度仪又叫表面粗糙度仪、表面光洁度仪、表面粗糙度检测仪、粗糙度测量仪、粗糙度计、粗糙度测试仪等多种名称,国外先研发生产后来才引进国内,目前市场上粗糙度仪品牌主要有:英国泰勒粗糙度仪、德国马尔粗糙度仪、德国霍梅尔表面粗糙度仪、日本三丰粗糙度仪、东京精密粗糙度、瑞士泰萨粗糙度仪、英国易高粗糙度这些都是国外生产厂商品牌;国内生产厂家品牌主要有:北京时代粗糙度仪、哈量粗糙度仪、宁波联合、上海泰明、304、威尔逊、兰泰等。其中时代集团生产的粗糙度仪(时代粗糙度仪)在国内占有80%左右的市场份额。粗糙度仪从测量原理上主要分为两大类:接触式和非接触式,接触式粗糙度仪主要是主机和传感器的形式,非接触式粗糙度仪主要是光学原理例如激光表面粗糙度仪。从测量使用的方便性上说又可分为:袖珍式表面粗糙度仪(代表性产品主要有:时代TR100、TR101、TR110、TR150袖珍式表面粗糙度仪和现已停产的英国泰勒DUO袖珍式表面粗糙度仪)、手持式粗糙度仪(代表性产品主要有TR200/220手持式粗糙度仪、泰勒25粗糙度仪、M1/M2粗糙度仪等品牌型号,不一一列举)、便携式粗糙度仪(代表性产品主要有TR240便携式粗糙度仪和TR300粗糙度形状测量仪等)、台式粗糙度仪(品牌型号较多一一列举,有些手持式粗糙度仪和便携式粗糙度仪配上相应的测量平台即可以当台式粗糙度仪使用)。粗糙度仪从功能又可划分为:表面粗糙度仪、粗糙度形状测量仪(TR300粗糙度形状测量仪是界于表面粗糙度仪和表面粗糙度轮廓仪之间的一款测量表面粗糙度的仪器,也可说是微观表面粗糙度轮廓仪)和表面粗糙度轮廓仪(代表性产品主要有英国泰勒表面粗糙度轮廓仪、德国马尔粗糙度轮廓仪、德国霍梅尔表面粗糙度轮廓仪、日本三丰表面粗糙度轮廓仪)。 粗糙度仪测量原理 测量工件表面粗糙度时,将传感器放在工件被测表面上,由仪器内部的驱动机构带动传感器沿被测表面做等速滑行,传感器通过内置的锐利触针感受被测表面的粗糙度,此时工件被测表面的粗糙度引起触针产生位移,该位移使传感器电感线圈的电感量发生变化,从而在相敏整流器的输出端产生与被测表面粗糙度成比例的模拟信号,该信号经过放大及电平转换之后进入数据采集系统,DSP芯片将采集的数据进行数字滤波和参数计算,测量结果在液晶显示器上读出,也可在打印机上输出,还可以与PC机进行通讯。
请教专家 1.FT_IR光谱仪器中,如果取消白光信号,如何确定干涉图的零光程位置?2.在迈克耳干涉仪中,动镜的电磁驱动基本原理是什么?谢谢!
Zeta 200自动三维测量系统Zeta 200是集多种测量手段于一身的高级表面测量系统。它功能配备齐全,使用方便,是三维测量系统中性能价格比最优的选择。Zeta 200能够自动采集样品上多点的工艺参数,如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等,为您提供监管及优化生产流程所需的数据。· 自动多点、多配方测量样品· 200毫米x200毫米XY轴驱动范围· 粗糙表面成像与分析· 金属栅线形状与尺寸测量· 防反射膜及光刻胶厚度分析· 真空吸盘保证样品定位一致· 本色三维成像· 台阶高度,线与面粗糙度、角度及尺寸测量Zeta 200特色功能1.多点测量 用户可按其所需设置每片样品上的采样点数——少许几点往往适用于快速检测,多点则可用于详细分析。2.大面积成像 Zeta 200可自动按次序对多个视场进行成像,然后由软件拼接成一张大面积的样品表面三维图像。3.自动形貌特征测量 用户可设置操作配方对样品的各种指定形貌特征如尺寸、间距、高度甚至整片样品的弧度等进行自动测量。标准系统配置显微镜系统光源:高亮度白光LED物镜:5x,10x,20x,50x,100x耦合透镜:0.5x自动载物台:200毫米x200毫米XY驱动范围Z轴:30毫米纵向驱动范围数码相机: 1024x768像素,1/3 英寸CCD计算机控制系统处理器:英特尔®酷睿2 双核(最低2.5GHz)随机存储器3GB硬盘驱动器:320GB显示器:22英寸宽屏液晶显示器(1680x1050像素) Zeta 三维测量软件实时视频成像快速数据采集(每处1分钟)三维表面浏览:倾斜,旋转,缩放,过滤•体积计算二维表面分析:特性尺寸,直径,面积图案间距,标准偏差表面粗糙度区域平均台阶高度轮廓测量台阶高度与粗糙度多横截面分析平均值测量标尺倾斜度与表面波度补偿阵列式采样序列自动数据与图像输出用于生产线SPC
目前,检测表面粗糙度比较常用的方法是比较法、光切法、干涉法、触针法和印模法等,而其中触针法因其测量迅速方便、测量精度高、使用成本较低等良好特性而得到广泛使用。当采用触针法对加工工件表面进行表面粗糙度测量时,探测头上的触针在被测表面轻轻划过。由于存在轮廓峰谷的起伏,所以触针将在垂直与被测轮廓表面方向上产生上下起伏的移动。这种移动量虽然非常微细,但足以被敏感的电子装置捕捉并加以放大。放大之后的信息则通过指示表或其他输出装置以数据或图形的方式输出。这就是触针式表面粗糙度测量仪的工作方式。其中,按其传感器类型可以分:电感式、压电式、光电式等;按其指示方式又可分为:积分式、连续移动式。触针式表面粗糙度测量仪由传感器、驱动箱、指示表、记录器和工作台等主要部件组织。其中电感传感器的工作原理为:传感器测杆一端装有触针(由于金刚石耐磨、硬度高的特点,触针多选用金刚石材质),触针的尖端要求曲率半径很小,以便于全面的反映表面情况。测量时将触针尖端搭在加工工件的被测表面上,并使针尖与被测面保持垂直接触,利用驱动装置以缓慢、均匀的速度拖动,当触针在被测表面拖动滑行时,将随着被测面的轮廓峰谷表面作反向上下运动,并将运动幅度放大,从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电感量发生变化,并将触针微笑的垂直位移转化为同步成比例的电信号。