质谱真空机械泵

油式旋片真空泵是一种十分成熟可靠的真空泵，通常也被叫做油泵、机械泵、旋片泵等，其价格便宜真空度好，广泛应用于热处理、镀膜、质谱仪器、样品前处理、冷冻干燥、手套箱、泄露检测等对油蒸汽不太敏感的应用，同时，还常常被用作分子泵的前级泵。

科研单位做元素分析测定和一般小型钢件的淬火/ 退火/ 回火和电子陶瓷等新材料的加热都会用真空管式炉. 一般常规使用机械泵: 10-2Torr, 如果客户要达到高真空会使用分子泵机组: 机组的真空度要求为10-5 Torr.

针对X射线窗口膜材料机械性能测试中对真空度和高压压力的准确控制需要，本文提出了相应的解决方案。解决方案中采用了薄膜电容真空计、压力传感器、电动针阀、压力调节阀和真空压力PID控制器，与真空泵和高压气源配合，可在膜材料样品两侧形成准确的真空压差、微压差和高压压差，由此为窗口膜材料的杨氏模量、破裂压力和压力循环测试提供所需的真空压力环境。控制器自带的计算机软件可独立进行上述真空压力控制操作，并可显示和存储整个控制过程中的多个参数随时间变化曲线。

上海伯东德国 Pfeiffer 热销款皮拉尼真空计 TPR 270 全新升级上市,测量准确,反应迅速,简单好用的优点外，还具有以下升级优点：1）真空计延展测量范围：1,000 -1 to 10-4 hPa2）提高测量精度：± 10 %3）可靠性更高-从2004年上市以来主要应用于大批量 OEM4）皮拉尼真空计优越的热稳定性，更完美的设计外观Pfeiffer 德国普发皮拉尼真空计 TPR 270 与同款真空计 TPR 280 对比，测量范围更广，测量精度更高型号 接口 测量范围 工作温度 测量精度 极限压力 重量 TPR 270 DN 16 ISO-KFDN 16 CF-F 1X10-4 - 1000 hPa 80 °C ± 10 % 400 kPa 135g TPR 280 DN 16 ISO-KFDN 16 CF-R1/8" NPT8 VCR 5X10-4 - 1000 hPa 80 °C ± 15 % 1000 kPa 80g TPR 280 DN 16 ISO-KFDN 16 CF-R 5X10-4 - 1000 hPa 250°C ± 15 % 1000 kPa 130g TPR 281(抗腐蚀系列) DN 16 ISO-KFDN 16 CF-R 5X10-4 - 1000 hPa 80 °C/250°C ± 15 % 1000 kPa 80g Pfeiffer 德国普发皮拉尼真空计 TPR 系列测量范围从1000 hPa 到 5 10-4 hPa,设计紧凑,测量准确,反应迅速,简单好用,适合一般的真空应用, Pfeiffer德国普发皮拉尼真空计TPR 系列多种接口可选.* 全系列真空产品维修保养促销活动:活动期间所有维修保养产品免收检测费,定期做保养服务可有效延长产品使用寿命,减少企业生产成本!上海伯东销售维修德国普发 Pfeiffer全系列产品已有10余年,公司自 1995 年成立以来已累计为数千家客户提供销售维修服务,维修次数累计超过数万余次保证 100 ％ 德国普发 Pfeiffer 原厂维修保养料件和受德国 Pfeiffer 专业培训的工程师,并用 Pfeiffer 原装进口检测设备对维修后的产品做全方面的性能测试,保证维修质量,并在上海,台湾等地区设立维修保养中心.上海伯东凭借其专业的技术背景及良好的服务质量是中国地区多家大型企业和国家研究机构长期合作指定供应商.上海伯东主要经营产品:德国普发Pfeiffer涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵:应用于各种条件下的真空计，氦质谱检漏仪，质谱分析仪，以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源，美国HVA真空阀门，Polycold冷冻机等

不一样的真空泵能够适用于不一样的技术种类，比如水环真空泵适用于真空浓缩、真空脱干等；往复式真空泵适用于真空水蒸气蒸馏、真空过虑等；骨架密封机械设备真空泵（包含旋片泵泵、旋片泵、定片泵）适用于真空干躁、真空表层的镀膜等；罗次真空泵适用于真空运输、真空冶炼厂等；螺杆真空泵适用于隔膜真空泵清理的真空加工工艺全过程。

如今，真空在我们日常生活中被广泛应用于高端产品的生产及制造，并且扮演着重要角色。例如：在科研，工业流程，手机芯片，硬盘，太阳能电池，塑料干燥或者食品真空包装等领域。在当今的生产活动中，我们对真空度测量的精确性、标准化、可靠性和重复性的要求是至关重要的。当我们在进行测量的时候，高精度又是关键中的关键：精度的高低会直接影响产品的生产质量，科学实验的准确性和设备使用的可靠性。要确保真空计使用时的高可靠性，就必须经常对它进行校准或标定。而根据每个不同应用的具体要求，这些校准工作必须符合国内或相关的国际标准。经济、高效、精准、国际化的机构校准及标定替代解决方案生产活动中，真空计往往需要对外专业机构进行校准和标定。然而在对量大或校准间隔要求短的条件下，使用经济的测量仪器进行现场校准能大大节约时间和费用。普发真空紧凑型的校准泵组就能够组建起这样一个系统。这个易于使用的便携式系统是专为同时在线进行多个仪器检测而量身定做的。其系统具有使用便捷、快速及符合人体工学标准的特点。

无油真空泵可应用于下列各项工作中：1、自动包装线上的真空吸拉列开袋、装料。2、印刷机械上的纸张真空吸送。3、各种液体注入瓶内的高效率真空灌装。4、各种塑料制品的真空吸塑成形。

伯东 Pfeiffer 真空泵及真空计等多种真空设备. 伯东 Pfeiffer 真空泵ACP 40作为前级干泵, 用于提供抽速动力, 干净/ 抽速大/ 无污染. 伯东 Pfeiffer 真空泵 Hipace 1200是用于提升真空度, 抽速大, 极限真空能满足深度制冷需求.

粒子加速器运行的一个重要因素是可靠且强大的真空系统。而像LHC这样非同寻常的机器对内置真空技术有着非常特殊的要求。极小误差可能导致整个加速器停止运行数小时。因此，整套真空系统必须是非常可靠的。此外，加速器中使用的所有设备必须能够承受高达1,000 Gy/a的辐射水平。而进行这些复杂测量的设备不能离开加速器的辐射区。因此，能在现场进行设备维护显得至关重要。为满足这些高要求，普发真空与CERN合作，对真空获得、真空测量和真空分析研发并实践了一套定制的真空解决方案。真空获得LHC分两种真空系统: 电子束真空和隔离真空。两种应用中都用到了普发真空的涡轮分子泵。这些泵经改进后都可以满足LHC的特殊要求。为了能在辐射环境中运行，泵体中都不能使用电子元件。要满足这些要求，普发真空研发了无传感器驱动概念，实现了泵的机械部件与电子部件的隔离。采用这一概念，电子部件可以放置在离真空泵1,000 m以外的地方，并定位在一个保护区域内。真空测量普发真空专门研发了特殊的测量设备，用来测量获得的真空。这些使用的设备是改进的皮拉尼和冷阴极真空计。它们用来长期监测加速器内的压力，并确保当压力增加时可以采取适当的行动。由于真空计同样暴露于高水平辐射中，它们被制造成无源传感器，没有集成的电子设备。所有电子设备都被安置在一个辐射安全区域内，并且经由长电缆连接至无源传感器。这些电缆通过精确的指令与CERN密切连接。这使冷阴极真空计可以测量达10-11 hPa的压力。通过一种特殊的点火过程，冷阴极真空计即使在压力非常低的情况下，也可以轻易打开。由于加速器的寿命约为30到40年，因此，只有采用寿命长的电子元件。氦检漏对LHC要求的超高真空压力，加速器使用的部件必须确保极低的漏率。因此，在安装部件之前，必须进行全方位的检漏。针对检漏，CERN采用了ASM系列检漏仪。使用这些设备，即使是细微到的10-13 Pa· m3/s 的泄漏也可以有效地被检测出来。真空分析除压力外，残余气体的组成也是加速器正常运行的一个重要因素。使用残余气体光谱仪，可以得出加速器内使用材料脱气相关的结论。为获得残余气体光谱，CERN采用了普发真空的质谱仪。对于超高真空中的残余气体测量，质谱仪分析仪本身具有较低的脱气率是非常重要的。除了真空退火离子源外，CERN使用的普发分析仪也拥有真空退火棒系统。使用这一方法，分析仪将产生一个极低的背景信号，尤其方便记录加速器内实际残余气体的比例。

氦质谱检漏仪和真空泵组应用于超导量子芯片装置中前段时间, 浙江大学, 中科院物理所, 中科院自动化所, 北京计算科学研究中心等国内单位组成的团队通力合作, 开发出具有 20个超导量子比特的量子芯片, 并成功操控其实现全局纠缠, 刷新了固态量子器件中生成纠缠态的量子比特数目的世界记录.

上海伯东为普发真空计/真空规IKR TPR BPR 等各种系列提供维修/校准服务（根据 ISO/TS 3567 或DAkkS校准进行工厂校准）, 以确保真空测量的准确性.

针对便携式真空计校准装置以实现真空计的现场校准，基于静态比对法校准技术，本文提出了一种采用微型数字针阀和上下游双向气体流量调控模式的技术方案，结合双通道高精度的真空度PID控制器，可在真空度精密控制的前提下解决现场校准和便携性问题。

2011 年年中，普发真空向EADS Astrium空间运输公司提供了国际空间站（ISS）的一项实验所需的涡轮分子泵和真空计。该涡轮分子泵以 HiPace 80 型号为基础，通过与客户合作开发的一项创新工艺，对包含真空计在内的设备进行了改装，以适应空间的特殊环境。涡轮分子泵和真空计将用于 Columbus 欧洲研究实验室的MSL-EML 模块中（材料科学实验室 - 磁悬浮装置）。计划将在这里对材料试样进行失重条件下的无容器熔化基础实验。此次研究的主要目的旨在高效地生产性能更佳的材料。该项目实施后，它将成为国际空间站上使用的第二台普发真空涡轮分子泵。2001年，一款经过特殊设计的Compact Turbo 型号产品已被用于 Columbus 模块中，用来研究等离子晶体。

随着科学技术突飞猛进，在很多应用领域，油封真空泵已经不能胜任，被各种新式真空泵所替代。但在普通的工业领域，如食品加工、电器制造、化工医药等行业，由于油封真空泵成本低、使用方便、维护费用低，仍是最合适的产品。然而当油封真空泵抽除水蒸汽时，往往会产生一些问题。如真空泵润滑油发生乳化、变质，达不到所需的真空度。甚至发生真空泵泵体、转子严重锈蚀，整机报废现象。之所以造成这种情况，主要在于对油封真空泵抽除（水）蒸汽的原理不甚了解，疏于真空泵的维护保养。为此笔者在本文中论述了油封真空泵抽除水蒸汽的原理方法。并根据实际使用经验，提出了真空泵在使用维护上的一些正确做法。

真空泵的作用是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。 实验室真空泵的使用越来越广泛，大多数实验室设备都会配上真空泵，因为真空泵不是一个单一的设备，它可以和其他的仪器配套使用。比如真空抽滤、微生物检测、废液抽取、旋转蒸发仪、真空干燥箱、冻干机等设备。 真空泵是每个实验室的辅助设备。不同仪器设备对真空泵的要求也不一样。下面介绍下实验室常用真空泵的类型。

在制冷行业，尤其是中央空调等大型的制冷设备，一般均采用涡旋式风冷冷水机组。在涡旋式风冷冷水机组的生产过程中，在充入制冷剂之前，为了保证机组内部管路的密闭，要通过多次氦检、卤素检测等。这个过程，需要多次、反复的使用到真空泵组和氦质谱检漏仪。这种涡旋式风冷冷水机组内部的腔体比较大，管路比较多。在正常使用的时候，都要充入上百公斤，甚至几百公斤的制冷剂。为了提高效率，要求真空泵组的抽气速度要高。由于生产环节恶劣，要求真空泵组能在恶劣的环境下，长期、稳定的工作。上海伯东代理的德国普发 Pfeiffer 阿尔卡特（adixen）真空泵组，以抽气速度高、性能稳定、对恶劣环境适应强等特点，在制冷行业中应用广泛。

分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵的正确使用和及时保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

同位素比质谱分析原理为首先将样品转化为气态, 在离子源中将气体分子离子化, 接着将离子化气体打入飞行管中. 在飞行管末端通过法拉第收集器来测试不同带电粒子从而测量出来.同位素比质谱分析原理为首先将样品转化为气态, 在离子源中将气体分子离子化, 接着将离子化气体打入飞行管中. 在飞行管末端通过法拉第收集器来测试不同带电粒子从而测量出来.赛默飞同位素比质谱分析上含有多种伯东 Pfeiffer 真空泵, 如前级泵为3台旋片泵 DUO系列油泵, 分子泵为 Hipace 系列两个.

在真空系统里面，旋片泵可以单独使用，也可以作为增压泵、扩散泵、罗茨泵等真空泵的前级泵。适合抽除干燥或含有少量可凝性蒸汽的气体，不适合抽含氧过高、爆炸性、腐蚀性、对真空泵油起化学作用和含有大量固体颗粒的气体。

普发真空的优化方案普发真空以其 DuoLine 系列双级旋片泵和大受欢迎的 HiPace 系列涡轮分子泵为飞轮质量储能系统提供符合要求的理想方案。其中 Duo 3 的特别版带有创新的直流电驱动器，在市场上脱颖而出。这种泵采用 24 V 直流电供电，可在 -20 ° C 至 +60 ° C 范围内工作，用于移动飞轮应用极为理想，因而可直接用于该领域。此外，普发真空的真空泵和真空计应用在全世界的飞轮系统中。能量储存的先锋依靠普发真空储能研发领域的法国先锋 Levisys 从一开始就信赖普发真空为其试验和研发提供的方案。这家创业公司研发生产了首台 10?kW 固定飞轮储能系统，并将其应用在法国电气工程巨头 Engie Ineo 位于 Toulouse 的生产现场。公司建立了所谓的 SmartGrid 智能电网，并使用固定飞轮系统均衡供能偏差。通过这种方法，为生产现场的常规供能提供了新的电能储存途径。它填补了使用至今的锂离子电池储能设备的不足。通过最初的测试阶段后，在 2016年将再加装 9 台固定飞轮储能系统，容量达到 100 kWh 。Levisys 的固定飞轮质量储能系统采用了 DuoLine 旋片泵、HiPace 涡轮分子泵以及真空计，以获取并测量所需的真空环境。对于真空设备的要求很高：其工作必须可靠，结构紧凑，以适合固定飞轮系统内部有限的空间，而且输入功率也必须低。

Aston™ 质谱分析仪通过在故障前, 提前更换或使干泵离线, 可以减轻灾难性的真空损失, 从而提高生产线产量.数据驱动干泵故障预测. 通过测量进入 (进气) 和排出 (排气) 干泵的气体的分子类型和合格性 (分压), 可以模拟破坏性腐蚀或沉积物堆积. 仅气体压力和体积仅部分指示气流的腐蚀性或堵塞性. 至关重要的是流经干泵的气体成分. Aston™ 质谱分析仪通过对干泵暴露在气体浓度下的情况进行建模, 并将模型与实际泵故障相关联, 可以以高置信度预测干泵的预期运行寿命.

隔膜真空泵的使用：1.隔膜真空泵只能用于抽空气，少量水蒸气也科。2.禁止让腐蚀性的液体或颗粒材料进入泵内。油类污染物或者其他液体必须先过滤出去。3.工作环境温度不能超过55度

普发真空解决方案的优势一览：HiPace 30 涡轮分子泵■ 市场上最小的大功率涡轮分子泵■ 易于集成到小型分析系统中■ 低重量，非常适合移动使用■ 较长的保养间隔保证了较长的寿命周期HiPace 300 涡轮分子泵■ 特别适用于高真空和超高真空应用■ 非常高的压缩率，尤其适用于小分子气体■ 与隔膜泵结合使用也能实现最好的结果■ 间歇式运行可以节省超过 90％ 的能量，而不会损失任何动力SplitFlow™ 涡轮分子泵■ 由于结构紧凑，所以需要最小的空间■ 对所有气体均具有高抽速和最大压缩比■ 通过监控所有运行数据来最大限度地提高运行可靠性DuoLine 旋片泵■ 可选的免维护磁耦合可实现更长的使用寿命■ 优化的泵冷却增加了使用寿命和应用范围■ 通过液压控制的高真空安全阀实现高运行可靠性■ 由于占地面积小且真空连接布置经过优化，可轻松地进行系统集成MVP 隔膜泵■ 绝对干燥的无油真空■ 低振动和低噪音水平■ 紧凑型设计■ 运行可靠性高，隔膜寿命长?■ 隔膜和阀门更换方便，从而使维护很方便

某真空系统集成商搭建的MBE设备, 由用户方采购 Pfeiffer 真空泵 HiPace 系列涡轮分子泵和 ACP干泵用于分子束外延系统,

MIT 的普发真空解决方案一览：隔膜泵在 MIT，隔膜泵用作涡轮分子泵的前级泵。由于其紧凑性，普发真空的隔膜泵是集成到系统中的最佳选择。该产品优势明显：■ 绝对干燥的无油真空■ 隔膜使用寿命长■ 低振动和低噪音水平■ 高操作可靠性■ 易于维护，因为膜和阀门更换简单■ 由于使用了双电压电机或直流驱动器，可在全球范围内使用涡轮分子泵普发真空的涡轮分子泵在 MIT 产生所需的超高真空条件。凭借其高性能和可靠性以及极好的经济性和效率，它们是满足离子束机器要求的最佳解决办法。其优势包括：■ 经验证的轴承系统实现了高可靠性■ 设计、技术组件和泵速度等级的差异实现了灵活性■ 高度发达的泵设计实现了高压缩性能和高效率■ 低能耗■ 很长的保养间隔周期质谱仪在 MIT，普发真空的 PrismaPlus 质谱仪用于在真空系统中进行残余气体分析。高灵敏度、稳定性和智能处理的结合使 PrismaPlus成为最佳解决方案。优势一览：■ 模块化设计实现了最佳适应性■ 紧凑的尺寸和高性能■ 通过各种接口实现了方便的系统集成■ 通过以太网联网■ 高测量速度、稳定性和分辨率测量设备MIT 使用普发真空的 ActiveLine 和 DigiLine 高精度真空计测量仪器。它们具有模拟和数字两种输出。它们非常适合离子束系统的要求，并具有许多优势：■ 磁性杂散场最小■ 轻松集成■ 耐用且易于维护

造纸工业是我国的基础工业之一, 国内纸浆造纸企业数量大, 分布广, 旧的造纸机传动系统多采用直流电动机带动各传动辊轴的传动方式, 可做到无级调速, 但由于碳刷的存在使维护相当麻烦. 目前市场上的真空泵广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业, 但是, 对于造纸用真空泵来说, 由于在使用时可能因真空泵的工作造成较大的振动, 影响了工作环境质量；且在进行安装时, 不利于进行安装, 造成操作的不便, 降低了安装效率. 因此, 针对上述问题, 上海伯东代理 pfeiffer 双级旋片泵 DuoVane抽速快, 体积小, 重量轻, 噪声低, 维修方便, 极限真空度高等优点, 符合造纸用真空泵的要求.

CombiNEG 吸气剂复合型离子泵，该泵大大增强了超高真空时离子泵的抽气能力，也弥补了NEG吸气剂泵无法抽除惰性气体的缺陷，为超高真空、极高真空系统的设计提供了新的选择。

放射性环境下的应用：对于在放射性环境或高磁场下的应用，会很快损坏到各种电子部件。对于经常靠近试验安装的涡轮分子泵，普发真空开发了拥有外部电子组件和电缆长达 1,000 m 的解决方案。对于机身装备了电子装置的现代化前级泵而言，有相同型号可用。对于 ACP 系列的泵，电子装置可选装于离泵最远达 100 米的地方。根据最近几年的经验，对于一系列的研发应用，普发真空 ACP 系列的多级罗茨泵与 HiPace 涡轮分子泵的组合都是理想的解决方案。这一泵组合相比于其它方案拥有的明显优势包括：■ 绝对无氟，因此无工艺污染的危险■ 极少需要维护■ 节能且节约成本■ 工作音量小■ 最终压力极低

分子束外延 MBE 与扫描隧道显微镜 STM 联用: 可以成功分析 MBE 生长晶体表面结构, 这种联用现已广泛应用于各大院校和研究院应用表面物理实验中. 分子束外延 MBE 与扫描隧道显微镜 STM 系统都需要在超高真空环境中进行, 对真空度要求及其高, 需要伯东 Pfeiffer 真空泵系列分子泵低振动, 低噪音, 清洁无油确保超高真空的稳定性已保证晶格的生长和后期的探测分析.

石油化工的应用：真空泵用于气体回收在石油和天然气工业领域，在气体被排放到大气。不管是上游生产还是下游精炼，气体回收都是回收储罐碳氢气体的程序。气体回收可以通过撤除真空，从储罐压缩气体来实现。通过采用干式泵，可以回收、液化，然后再利用乙烷气体。