数字三维显微镜

可信计量、逼真成像、清晰结果?逼真成像与可信测量数据的结合?简易直观的操作界面提供良好的用户体验?更快速地解决复杂研究和生产要求下的各种挑战布鲁克Contour Elite™ 三维光学显微镜在已经业界广泛使用的技术领先的平台上，进一步增强Vision64® 软件的用户易用性，创新性加入全新的成像软硬件，拓展高保真成像能力。在要求极高的研发、质量控制领域，Contour Elite™ 可为用户提供高速、准确和重复性极佳的测量结果。同时，它为用户提供在通常共聚焦显微镜下能得到的成像与显示效果，如彩色影像等。建立在Wyko® 专有白光干涉仪基础上，历经三十多年软硬件的积累与创新，布鲁克Contour Elite系统提供了直观可视化的操作界面，丰富的用户自定义方式，自动化程序控制功能，以及最快速、广泛适用的表面三维形貌的高保真成像与准确测量，来保证各种领域研发、生产应用的测试需求。 Contour Elite K高稳定性，具备一定防震性能设计的桌面式型号 Contour Elite I全自动，有集成防震垫设计的桌面式型号 Contour Elite X全自动，集成落地式防震台的型号

X射线显微CT：先进的无损三维显微镜显微CT即Micro-CT，为三维X射线成像，与医用CT（或“CAT”）原理相同，可进行小尺寸、高精度扫描。通过对样品内部非常细微的结构进行无损成像，真正实现三维显微成像。无需样本品制备、嵌入、镀层或切薄片。单次扫描将能实现对样品对象的完整内部三维结构的完整成像，并且可以完好取回样本品！特点：先进的扫描引擎—可变扫描几何：可以提高成像质量，或将扫描时间缩短1/2到1/5支持重建、分析和逼真成像的软件套件自动样品切换器技术规范：X射线源：20-100kV，10W，焦点尺寸＜5μm@4WX射线探测器：1600万像素（4904×3280像素）或1100万像素（4032×2688像素）14位冷却式CCD光纤连接至闪烁体标称分辨率（放大率下样品的像素）：1600万像素探测器＜0.35um；1100万像素探测器＜0.45um，重建容积图（单次扫描）：1600万像素探测器，14456×14456×2630像素 1100万像素探测器，11840×11840×2150像素扫描空间：0-直径75mm，长70mm辐射安全：在仪器表面的任何一点上＜1 uSv/h外形尺寸：1160（宽）×520（深）×330（高）毫米（带样品切换器高440毫米）重量：150千克，不含包装电源：100-240V / 50-60Hz

三维光学显微镜布鲁克作为全球三维表面测量与观察业界的ling dao者，提供从微观如MEMS（微机电系统）到宏观如发动机腔体等不同大小样品的快说非接触式分析。如今的三维显微镜已历十代，在原有Wyko专有技术基础上，不断积累创新，来保证面对各种应用环境时精确三维测量所需的高灵敏度和稳定性；而这一挑战往往是其他测量技术或测量系统难以克服的。布鲁克三维光学显微系统在业界一直以zui佳服务和支持著称，在性能稳定性上一贯口碑良好。从研究型实验室到生产型车间和半导体无尘间，数以几千计的系统被广泛使用。作为专门为先进质量控制和研发设计的测量仪器，可用于精密加工制造类应用的监控，在汽车、航空航天、高亮度LED、太阳能、半导体和医疗器械领域，布鲁克总有一款适合您应用和与预算的三维光学显微测量系统。 ContourX-100 3D光学轮廓仪粗糙度测量的精简而经济的台式 ContourX-100光学轮廓仪以zui佳的价格为准确和可重复的非接触式表面计量树立了新的标杆。小尺寸系统采用流线型封装，可提供无与伦比的2D / 3D高分辨率测量功能，并结合了数十年专有的布鲁克白光干涉测量（WLI）创新技术。具有测量功能的台式系统具有业界zui先进的用户友好界面，可直观访问广泛的预编程过滤器库，并用于精密加工的表面，厚膜和摩擦学应用分析。下一代增强功能包括新的5 MP摄像头，更新的载物台和新的测量模式，以实现更大的灵活性。您不会发现比ContourX-100更有价值的台式设备。 ContourX-100 3D光学轮廓仪轮廓GT-K无与伦比的计量 ContourX-100轮廓仪是非接触表面计量，表征和成像领域超过四十年的专有光学创新和行业ling dao者的结晶。该系统利用3D WLI和2D成像技术在一次采集中进行多种分析。 ContourX-100在从0.05％到100％的反射率的所有表面情况下都非常坚固。 轮廓X-100WLI为所有目标提供恒定且zui终的垂直分辨率。轮廓X-100ContourX-100手动平台。无与伦比的价值和分析 ContourX-100台式机具有成千上万的定制分析功能以及布鲁克简单而强大的VisionXpress™ 和Vision64用户界面，为实验室和工厂车间的生产率进行了优化。硬件和软件相结合，可提供对ding 级高通量光学性能的简化访问，完全超越了同类计量技术。 ContourX-200 3D光学轮廓仪用于表面纹理计量的灵活台式 ContourX-200光学轮廓仪将先进的特性，可自定义的选项以及易用性完美融合，可提供yi 流的快速，准确和可重复的非接触式3D表面度量。具有测量功能的小尺寸系统使用较大的FOV 5 MP数码相机和新型电动XY位移台，可提供毫不妥协的2D / 3D高分辨率测量功能。 ContourX-200还配有业界zui先进的操作和分析软件Vision64。新型VisionXpress™ 提供了更易于使用的界面和简化的功能，可访问广泛的预编程滤镜和分析库，用于精密加工的表面，厚膜，半导体，眼科，医疗设备，MEMS和摩擦学应用。 ContourX-200具有无与伦比的Z轴分辨率和精度，在不限制传统共聚焦显微镜和竞争性标准光学轮廓仪的情况下，提供了布鲁克专有的白光干涉仪（WLI）技术的所有业界公认的优势。 ContourX-200 3D光学轮廓仪轮廓GT-K毫不妥协的yi 流计量 基于ContourX-200光学轮廓仪超过四十年的专有WLI创新，该轮廓仪展现出定量计量所需的低噪声，高速，高精度和高精度结果。通过使用多个目标和集成的特征识别功能，可以在各种视野内以亚纳米级的垂直分辨率跟踪特征，从而为非常不同的行业中的质量控制和过程监控应用提供了与比例无关的结果。 ContourX-200在从0.05％到100％的反射率的所有表面情况下都非常坚固。 轮廓X-200WLI为所有目标提供恒定且zui终的垂直分辨率。轮廓X-200ContourX-200电动载物台。zui广泛的应用分析能力 利用强大的VisionXpress和Vision64用户界面，ContourX-200提供了数千种定制分析，以提高实验室和工厂车间的生产率。系统新相机提供的更大FOV和新型电动XY工作台提供的灵活性，为各种样品和零件提供了更大的灵活性和更高的通量。硬件和软件相结合，可提供对ding 级光学性能的简化访问，完全超越了同类计量功能。 ContourX-500 3D光学轮廓仪用于3D计量的全自动台式 ContourX-500光学轮廓仪是用于快速，非接触式3D表面度量的世界上zui全面的自动化台式系统。该系统集成了布鲁克专有的倾斜/倾斜光学头，可以完全编程，以在一定角度范围内测量表面特征，同时zui大程度地减少跟踪误差。具有测量功能的ContourX-500具有无与伦比的Z轴分辨率和精度，并在更小的占地面积下提供了布鲁克白光干涉仪（WLI）落地式机型的所有业界公认的优势。利用业界zui先进的用户界面，ContourX-500可以直观地访问广泛的预编程过滤器和分析库。借助其新的USI通用扫描模式，可以轻松地针对zui广泛的复杂应用定制分析器，从精密加工表面和半导体工艺的QA / QC计量学到眼科和MEMS器件的R＆D表征。 联系我们下载手册 ContourX-500 3D光学轮廓仪轮廓GT-K先进的自动化 布鲁克专有的头部倾斜/倾斜为生产设置和检查提供了无与伦比的用户灵活性。通过将自动倾斜/倾斜功能与显微镜头中的光路相结合，布鲁克将检测点与视线相结合，而与倾斜无关。这样可以减少操作员的干预，提供zui大的可重复性。此功能与自动登台和物镜相结合，使ContourX-500非常适合“按需测量”的工业需求，而且占地面积小。 轮廓X-500传统的俯仰和滚动舞台设计需要操作员进行调整五个运动轴以保持在线的检查点视线进行测量。头部独特的布鲁克提示/倾斜设计在检查点上保持了视线-不论倾斜度如何-都能优化图像采集和zui快的数据记录时间。轮廓X-500WLI为所有目标提供恒定且zui终的垂直分辨率。无与伦比的价值和分析 ContourX-500具有成千上万的自定义分析功能以及布鲁克简单易用但功能强大的VisionXpress™ 和Vision64用户界面，为实验室和工厂车间的生产率进行了优化。这种独特的硬件和软件组合提供了对高可重复性和高通量计量学测量的简化访问，从而超过了同类计量能力。

1611+3230B3D-LCD 三维液晶显微镜 三维液晶显微镜用于对样品进行360o的全方位观察，而图像直接在液晶屏上实时显示，使操作者摆脱了过去长期目视工作中人眼疲劳的困扰，更便于多人同时观察。高清晰度成像、智能化调节，体积小、重量轻、低能耗、配件齐全。 一、主要参数及性能： 1）、放大倍数：3.7X-158X2）、变倍范围：0.7-4.5机身带定位。3）、变倍比：1:6.54）、可选物镜：0.3X、0.5X、0.63X（标配）、 1X。5）、观察角度附加装置：使用0.63X物镜可达到35°标准。6）、机身尺寸：Φ76mm，可与多种支架、万向支架、摇臂万向支架。7）、 内置LED灯长寿命环形照明，亮度可调，有效实现无影观察。8）、 电压：100V-240V、50-60HZ宽带输入。 二、液晶显示器： 1）、液晶显示尺寸：8.4吋2）、分辨率：800ⅹ6003）、点距：0.213*0.2134）、对比度：300:15）、观察角度：1706）、响应时间：25ms7）、亮度：250cd/㎡ 三、视频输出： 可另外输出VIDEO视频信号，方便与其它监视设备或计算机相连接。1611+3230B特点：1611主机配3230B扇形导轨无光支架。

3D-LCD 三维液晶显微镜 三维液晶显微镜用于对样品进行360o的全方位观察，而图像直接在液晶屏上实时显示，使操作者摆脱了过去长期目视工作中人眼疲劳的困扰，更便于多人同时观察。高清晰度成像、智能化调节，体积小、重量轻、低能耗、配件齐全。 一、主要参数及性能： 1）、放大倍数：3.7X-158X2）、变倍范围：0.7-4.5机身带定位。3）、变倍比：1:6.54）、可选物镜：0.3X、0.5X、0.63X（标配）、 1X。5）、观察角度附加装置：使用0.63X物镜可达到35°标准。6）、机身尺寸：Φ76mm，可与多种支架、万向支架、摇臂万向支架。7）、 内置LED灯长寿命环形照明，亮度可调，有效实现无影观察。8）、 电压：100V-240V、50-60HZ宽带输入。 二、液晶显示器： 1）、液晶显示尺寸：8.4吋2）、分辨率：800ⅹ6003）、点距：0.213*0.2134）、对比度：300:15）、观察角度：1706）、响应时间：25ms7）、亮度：250cd/㎡ 三、视频输出： 可另外输出VIDEO视频信号，方便与其它监视设备或计算机相连接。1611+3150B特点：1611主机配3150B扇形立柱式无光支架。

1611+3411B3D-LCD 三维液晶显微镜 三维液晶显微镜用于对样品进行360o的全方位观察，而图像直接在液晶屏上实时显示，使操作者摆脱了过去长期目视工作中人眼疲劳的困扰，更便于多人同时观察。高清晰度成像、智能化调节，体积小、重量轻、低能耗、配件齐全。 一、主要参数及性能： 1）、放大倍数：3.7X-158X2）、变倍范围：0.7-4.5机身带定位。3）、变倍比：1:6.54）、可选物镜：0.3X、0.5X、0.63X（标配）、 1X。5）、观察角度附加装置：使用0.63X物镜可达到35°标准。6）、机身尺寸：Φ76mm，可与多种支架、万向支架、摇臂万向支架。7）、 内置LED灯长寿命环形照明，亮度可调，有效实现无影观察。8）、 电压：100V-240V、50-60HZ宽带输入。 二、液晶显示器： 1）、液晶显示尺寸：8.4吋2）、分辨率：800ⅹ6003）、点距：0.213*0.2134）、对比度：300:15）、观察角度：1706）、响应时间：25ms7）、亮度：250cd/㎡ 三、视频输出： 可另外输出VIDEO视频信号，方便与其它监视设备或计算机相连接。1611+3411B特点：1611主机配3411B方座万向支架带短立柱式支座组，使观察物体不再受尺寸限制，操作更加方便自如。

1611+3231B3D-LCD 三维液晶显微镜 三维液晶显微镜用于对样品进行360o的全方位观察，而图像直接在液晶屏上实时显示，使操作者摆脱了过去长期目视工作中人眼疲劳的困扰，更便于多人同时观察。高清晰度成像、智能化调节，体积小、重量轻、低能耗、配件齐全。 一、主要参数及性能： 1）、放大倍数：3.7X-158X2）、变倍范围：0.7-4.5机身带定位。3）、变倍比：1:6.54）、可选物镜：0.3X、0.5X、0.63X（标配）、 1X。5）、观察角度附加装置：使用0.63X物镜可达到35°标准。6）、机身尺寸：Φ76mm，可与多种支架、万向支架、摇臂万向支架。7）、 内置LED灯长寿命环形照明，亮度可调，有效实现无影观察。8）、 电压：100V-240V、50-60HZ宽带输入。 二、液晶显示器： 1）、液晶显示尺寸：8.4吋2）、分辨率：800ⅹ6003）、点距：0.213*0.2134）、对比度：300:15）、观察角度：1706）、响应时间：25ms7）、亮度：250cd/㎡ 三、视频输出： 可另外输出VIDEO视频信号，方便与其它监视设备或计算机相连接。1611+3231B特点：1611主机配3231B扇形导轨式光源支架， 落射卤素（6V,15W）亮度可调，透射荧光（5W,110/220V）。

1611+3412B3D-LCD 三维液晶显微镜 三维液晶显微镜用于对样品进行360o的全方位观察，而图像直接在液晶屏上实时显示，使操作者摆脱了过去长期目视工作中人眼疲劳的困扰，更便于多人同时观察。高清晰度成像、智能化调节，体积小、重量轻、低能耗、配件齐全。 一、主要参数及性能： 1）、放大倍数：3.7X-158X2）、变倍范围：0.7-4.5机身带定位。3）、变倍比：1:6.54）、可选物镜：0.3X、0.5X、0.63X（标配）、 1X。5）、观察角度附加装置：使用0.63X物镜可达到35°标准。6）、机身尺寸：Φ76mm，可与多种支架、万向支架、摇臂万向支架。7）、 内置LED灯长寿命环形照明，亮度可调，有效实现无影观察。8）、 电压：100V-240V、50-60HZ宽带输入。 二、液晶显示器： 1）、液晶显示尺寸：8.4吋2）、分辨率：800ⅹ6003）、点距：0.213*0.2134）、对比度：300:15）、观察角度：1706）、响应时间：25ms7）、亮度：250cd/㎡ 三、视频输出： 可另外输出VIDEO视频信号，方便与其它监视设备或计算机相连接。1611+3412B特点：1611主机配3412B方座万向支架带万向节，使观察物体不再受尺寸限制，操作更加方便自如。

1611+3151B3D-LCD 三维液晶显微镜 三维液晶显微镜用于对样品进行360o的全方位观察，而图像直接在液晶屏上实时显示，使操作者摆脱了过去长期目视工作中人眼疲劳的困扰，更便于多人同时观察。高清晰度成像、智能化调节，体积小、重量轻、低能耗、配件齐全。 一、主要参数及性能： 1）、放大倍数：3.7X-158X2）、变倍范围：0.7-4.5机身带定位。3）、变倍比：1:6.54）、可选物镜：0.3X、0.5X、0.63X（标配）、 1X。5）、观察角度附加装置：使用0.63X物镜可达到35°标准。6）、机身尺寸：Φ76mm，可与多种支架、万向支架、摇臂万向支架。7）、 内置LED灯长寿命环形照明，亮度可调，有效实现无影观察。8）、 电压：100V-240V、50-60HZ宽带输入。 二、液晶显示器： 1）、液晶显示尺寸：8.4吋2）、分辨率：800ⅹ6003）、点距：0.213*0.2134）、对比度：300:15）、观察角度：1706）、响应时间：25ms7）、亮度：250cd/㎡ 三、视频输出： 可另外输出VIDEO视频信号，方便与其它监视设备或计算机相连接。1611+3151B特点：1611主机配3151B扇形立柱式光源支架， 落射卤素（6V,15W）亮度可调，透射荧光（5W,110/220V）。

1611+3421B3D-LCD 三维液晶显微镜 三维液晶显微镜用于对样品进行360o的全方位观察，而图像直接在液晶屏上实时显示，使操作者摆脱了过去长期目视工作中人眼疲劳的困扰，更便于多人同时观察。高清晰度成像、智能化调节，体积小、重量轻、低能耗、配件齐全。 一、主要参数及性能： 1）、放大倍数：3.7X-158X2）、变倍范围：0.7-4.5机身带定位。3）、变倍比：1:6.54）、可选物镜：0.3X、0.5X、0.63X（标配）、 1X。5）、观察角度附加装置：使用0.63X物镜可达到35°标准。6）、机身尺寸：Φ76mm，可与多种支架、万向支架、摇臂万向支架。7）、 内置LED灯长寿命环形照明，亮度可调，有效实现无影观察。8）、 电压：100V-240V、50-60HZ宽带输入。 二、液晶显示器： 1）、液晶显示尺寸：8.4吋2）、分辨率：800ⅹ6003）、点距：0.213*0.2134）、对比度：300:15）、观察角度：1706）、响应时间：25ms7）、亮度：250cd/㎡ 三、视频输出： 可另外输出VIDEO视频信号，方便与其它监视设备或计算机相连接。1611+3421B特点：1611主机配3421B圆夹万向支架带短立柱式支座组，使观察物体不再受尺寸限制，操作更加方便自如。

多功能 3D 光学共聚焦显微镜（ OPTELICS HYBRID+，三维表面轮廓仪/三维表面形貌仪 ），高度方向测量精度达0.05nm；系统整合了白光共聚焦+激光共聚焦技术；以双共聚焦光学系统为基础，集6项测试功能于一体，包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉测量、垂直白光干涉测量、相差干涉测量、反射分光膜厚测量等功能；通常多台设备才能完成的测量，仅需一台设备即可实现，解决了需要使用多种工具的麻烦，满足在各种测量场景中的测试需求。提供6个测试功能模块，应对多样测量需求满足行业测试规格要求，High精度提供多种测量和分析自动化测量技术，高效测量适用于满足多样场景测试需求 三维光学共聚焦显微镜（三维表面轮廓仪/三维表面形貌仪） 一个平台提供6种测试功能: 1. 白光共聚焦宽视野+High精度测量高清彩色观察 2. 激光共聚焦高倍High 分辨率观察搭载波长405nm的紫色半导体激光，无需前处理，以可媲美电子显微镜的High分辨率，鲜明捕捉纳米级细微构造。3. 微分干涉测量纳米级凹凸观察共聚焦与微分干涉（DIC）相结合，实现细微凹凸形状的可视化。由于焦点深度极低，对于透明样品可以排除其背面的影响仅对表面进行观察。4. 垂直白光干涉测量数毫米宽广视野内的纳米级形状测量白光通过双光束干涉镜产生的干涉波形，通过垂直方向扫描找到干涉光强度高点，得到样品的高度分布数据。原理上，高度分辨率不受物镜放大倍数影响，因此可使用低倍镜快速完成宽视野范围测量。5. 反射分光膜厚测量纳米级透明膜厚测量利用波长切换功能对6个波长的绝对反射率进行测量，光学建模计算得到膜厚。数nm～1μm的单层/多层膜厚可测量。测量区域在共聚焦观察图像上指定，亚微米区域～全视野的数mm区域的平均膜厚均可测量。而且因各个像素(pixel)的膜厚能够计测，所以可以测量膜厚分布。6. 相差干涉测量埃米级形状测量白光通过双光束干涉镜产生的干涉条纹，与从样品反射回的反射光的光程差直接相关。在垂直方向细微移动得到4组干涉图像，通过解析实现高分辨率的高度分布测量。多种波长切换 测量速度快3D 形貌测量共聚焦显微镜（HYBRID）实现了业界快速帧率(15Hz~120Hz)扫描，实现图像拼接、自动测量、自动缺陷检测和快速测量。High精度测量三维形貌测量共聚焦显微镜（HYBRID）高度方向测量精度达0.05nm。提供各种测量，分析和支持功能，具有可用性LM eye是HYBRID的测量和分析软件，提供多种功能，帮助您顺利操作测量和分析功能可以测量和分析参数，包括轮廓，粗糙度和薄膜厚度 测量支持功能HYBRID提供各种测量、分析自动化操作，效率更高LIBRA LIBRA 是一个软件程序，它使用指定的平台执行自动测量。LM 检测 LM Inspect 是一个软件程序，可以自动检测基材上的小颗粒和缺陷。并且支持使用缺陷审查和深度学习进行高精度缺陷分类。其他型号：

VT6000三维共聚焦白光显微镜基于光学共轭共焦原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。VT6000三维共聚焦白光显微镜在半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。产品功能(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；(2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；应用领域VT6000三维共聚焦白光显微镜对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：功能特点1、测量模式多样单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择，适应多种现场应用环境；2、双重防撞保护功能Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重保护；3、分析功能丰富3D：表面粗糙度、平整度、孔洞体积、几何曲面、纹理方向、PSD等分析；2D：剖面粗糙度、几何轮廓测量、频率、孔洞体积、Abbott参数等分析。应用场景1、镭射槽测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。2、光伏在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。3、其他部分技术指标型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量重复性(1σ)12nm显示分辨率0.5nm宽度测量重复性(1σ)40nm显示分辨率1nmXY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

品牌：卡尔蔡司型号：Smartzoom5制造商：德国卡尔蔡司公司经销商：北京普瑞赛司仪器有限公司产地：德国 ZEISS一百多年的骄人历史从发明世界上首台显微镜开始。一个世纪后的今天，ZEISS仍致力于为用户研发最具创造力的显微镜系列产品。通过我们不断改进的显微技术，我们正在为全世界的用户开拓一条探索微观世界的道路。今天的显微镜与以往相比，它们的成像质量更好、效率更高、机械性能更加稳定，并且更加环保。总体描述蔡司公司面向全球最新发布一款智能3D数码显微镜Smartzoom5，这是一款为工业质量控制领域及高端研究方向的客户提供的一项全新解决方案。可对样品进行三维成像，数码变倍及光学变焦、让数码显微镜实现了无极连续变倍，并可快速便携地对样品进行二维、三维的观察和测量。产品性能（1）全自动操作：电动变倍、自动聚焦、电动载物台、全触摸屏操作。 （2）镜头可倾斜观察，满足多种观察角度。 （3）内置预览相机可自动拍摄样品的整体图像----导航功能（4）内置长寿命同轴LED及环形LED光源（5）大载物台设计，可放置大和重的样品，行程达130mmX100mm。（6）高速实时图像处理与测量 （7）更换镜头时可自动特征识别。（8）智能化设计与操作，特别设计的管理员模式与操作者模式，操作者只需根据管理员设计的程序操作即可，避免出错并提高工作效率，应用报告自动生成。导航功能对于大面积的样品，通过内置预览相机可自动拍摄样品的整体图像，通过触摸屏随意点击整体图像中要观测的点，切换到点界面，观测细微形貌。产品应用1) 电子行业（包括半导体IC邦定、印刷电路板、LED芯片、微电子MEMS等） 2) 机械零部件（包括汽车微小零部件等） 3) 材料（包括腐蚀、金相断口、镀膜厚度、熔融状态、疏水性材料接触角、无纺布等） 4) 刀具（包括常规刀具、金刚石涂层刀具等） 5) 医疗器械（包括心血管支架、 塑胶管断口、注射器等） 6) 电池行业（纽扣电池、锂电池、太阳能电池等） 7) 生命科学（包括昆虫、斑马鱼、植物、仿生材料等） 8) 公安（包括刑侦中的痕检等） 9) 文博（包括文物修复、古陶瓷表面观察等） 10) 食品药品（包括包装材料等） 11) 化妆品（包括皮肤、毛发等）12）其他（造纸、纺织、印刷）精巧设计，智 焊接断面 螺纹 IC芯片 电路板上元件 气囊 腐蚀 金属断口 文物金属 皮革 矿石颗粒

中图仪器VT6000共聚焦三维光学轮廓显微镜以共聚焦技术为原理，具有很强的纵向深度的分辨能力，能够清晰地展示微小物体的图像形态细节，显示出精细的细节图像。它具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。借助共聚焦显微镜，能有效提高工作效率，实现更准确的操作。应用领域测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数，对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。VT6000共聚焦三维光学轮廓显微镜基于光学共轭共焦原理，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。在材料生产检测领域中，对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。产品功能1)3D测量功能：设备具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能； 不同应用场景下的3D形貌VT6000共聚焦三维光学轮廓显微镜主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中，其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。2)影像测量功能：设备具备二维平面轮廓尺寸的影像测量功能，可进行长度、角度、半径等尺寸测量；影像测量功能界面3)自动拼接功能：设备具备自动拼接功能，能够实现大区域的拼接缝合测量；4)数据处理功能：设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；5)分析工具功能：设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；6)批量分析功能：设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；7)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；8)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；9)镜头安全功能：设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。自设计之初，VT6000便定下了“简单好用"四字方针的目标。1）结构简单：仪器整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成，控制单元集成在设备主机之内，亦可采用笔记本电脑驱动，实现了“拎着走"的便携式设计；2）真彩图像：配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像，对细节的展现纤毫毕现；3）操作便捷：采用全电动化设计，并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换，图像视窗和分析视窗同界面的设计风格，实现了所见即所得的快速检测效果；4）采用自研的电动鼻轮塔台，并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化，确保共聚焦显微镜在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能应对。部分技术指标 型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量宽度测量XY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

苏州卓显智能科技有限公司的ZEX-S3三维视频显微镜，采用高光学系统，具备低畸变、高分辨率、大景深、视场宽大且平坦、齐焦性好等特点，设计新颖，操作简单。三维视频显微镜系统支持2D/3D观察角的切换，采用3D镜头观测立体元器件和深孔，切换时清晰度不变，旋转中心位置一致，并可360°进行观察，观察工作距离达45mm。广泛用于微电子、精密电子、SMT焊点检查，精密五金等领域。项 目技术参数光学系统 无穷远光学系统，具备同轴共焦、倍率限定功能，具备 3D 观察功能变倍比1：7电子放大倍率24x~160x工作距离45mm图像传感器1/1.8像素500 万分辨率2560*2048帧率60fps图像输出HDMI图像存储U 盘/网络底座尺寸380*320*10mm升降范围300mm调焦范围60mm光源照明系统落射环形四驱LED 光源显示器21.5 寸软件功能拍照存储、图片预览、统计、标注、画线等测量功能实现点、面、线、圆等平面测量网络传输功能通过网络传输图片和数据，可对接工厂mes 系统选配扫码功能外接扫码枪， 以条码/二维码信息名命图片保存移动平台定制移动平台，可根据客户的要求进行定制照明功能LED 透射照明、LED 斜射照明

苏州卓显智能科技有限公司的ZEX-MD3三维视频显微镜，采用高光学系统，具备低畸变、高分辨率、大景深、视场宽大且平坦、齐焦性好等特点，设计新颖，操作简单。三维视频显微镜系统支持2D/3D观察角的切换，采用3D镜头观测立体元器件和深孔，切换时清晰度不变，旋转中心位置一致，并可360°进行观察，观察工作距离达45mm。广泛用于微电子、精密电子、SMT焊点检查，精密五金等领域。项目参数光学系统无穷远光学系统，具备同轴共焦变倍比1：7CCD接筒1x观察模式2D/3D电子放大倍率24x~160x工作距离45mm图像传感器1/1.7像素830万分辨率3840*2160帧率30fps图像输出HDMI图像存储U盘底座尺寸380*260*20mm升降范围300mm调焦范围60mm光源落射环形LED光源，亮度可调显示器27寸系统功能拍照、录相存储、图片预览、图像对比、标注、画线等测量功能点、面、线、圆平面测量等功能

ZEISS一百多年的骄人历史从发明世界上首台显微镜开始。一个世纪后的今天，ZEISS仍致力于为用户研发zui具创造力的显微镜系列产品。通过我们不断改进的显微技术，我们正在为全世界的用户开拓一条探索微观世界的道路。今天的显微镜与以往相比，它们的成像质量更好、效率更高、机械性能更加稳定，并且更加环保。总体描述蔡司公司面向全球zui新发布一款智能3D数码显微镜Smartzoom5，这是一款为工业质量控制领域及高端研究方向的客户提供的一项全新解决方案。可对样品进行三维成像，数码变倍及光学变焦、让数码显微镜实现了无极连续变倍，并可快速便携地对样品进行二维、三维的观察和测量。产品性能（1）全自动操作：电动变倍、自动聚焦、电动载物台、全触摸屏操作。（2）镜头可倾斜观察，满足多种观察角度。（3）内置预览相机可自动拍摄样品的整体图像----导航功能（4）内置长寿命同轴LED及环形LED光源（5）大载物台设计，可放置大和重的样品，行程达130mmX100mm。（6）高速实时图像处理与测量（7）更换镜头时可自动特征识别。（8）智能化设计与操作，特别设计的管理员模式与操作者模式，操作者只需根据管理员设计的程序操作即可，避免出错并提高工作效率，应用报告自动生成。导航功能对于大面积的样品，通过内置预览相机可自动拍摄样品的整体图像，通过触摸屏随意点击整体图像中要观测的点，切换到点界面，观测细微形貌。产品应用1) 电子行业（包括半导体IC邦定、印刷电路板、LED芯片、微电子MEMS等）2) 机械零部件（包括汽车微小零部件等）3) 材料（包括腐蚀、金相断口、镀膜厚度、熔融状态、疏水性材料接触角、无纺布等）4) 刀具（包括常规刀具、金刚石涂层刀具等）5) 医疗器械（包括心血管支架、 塑胶管断口、注射器等）6) 电池行业（纽扣电池、锂电池、太阳能电池等）7) 生命科学（包括昆虫、斑马鱼、植物、仿生材料等）8) 公安（包括刑侦中的痕检等）9) 文博（包括文物修复、古陶瓷表面观察等）10) 食品药品（包括包装材料等） 11) 化妆品（包括皮肤、毛发等）12）其他（造纸、纺织、印刷）精巧设计

三维超景深显微镜新挂载系统快速简易的摄像头挂载系统采用了Bayonet设计，内置了电子接触环，实现了镜头/接口自动识别、旋转控制以及更多待开发的功能，而无需一根额外的线缆。最大达100帧/秒Hirox采用最新型CMOS感光单元，以实现50fps的连续高动态、高质量的实时动态画面，且每帧分辨率均为1920×1200像素。提供给使用者极佳的实时在屏观察体验，动态画面及其平顺流畅，帧速率在双缓冲模式下最大可达100帧每秒。超快速USB3.0接口，可连接任何PC现在可自由选择运算速度更快的PC，全高清屏幕，支持Window 7/8/10，台式或笔记本。今后升级可以自由选择更快的电脑，全高清显示屏，Window 7/8或10，台式机或笔记本，使用超快速通用总线USB3.0，数据传输可达5Gb/s。 PC硬件是日新月异，但是未来的升级是无限的，时刻保证您强大的显微系统性能！高集成内置LED照明系统新型高集成度LED照明光源提供5700K色温，近似日光色温(5460K)。不仅能够高度真实还原样品表面的色彩，也能保证在全亮照明下色温绝不会出现变暖偏黄的情况出现。平均使用寿命可达30,000小时, 按平均使用频率来算，可接近使用14年(注：8小时/天 x 25天 x 12月 x 14年)。自动对焦 – 多焦平面复合超快速自动对焦和多焦点平面合成！得到一张全焦点图像，只需一次单击即可完成。凭借我们的高速逻辑运算和非常精准的Z轴电动马达行程移动(50nm每步进)。HDR 只需一次单击就能快速的传输图像，节省了大量的时间。HDR功能创建一副曝光完美的图像，系统会自动拍摄下多张单幅不同亮度的图片：所有的在高光和暗场中的图像细节都能毫无困难的保留下来。更详细规格请联系我们

fMOST荧光显微光学切片断层三维成像光片显微镜BioMapping9000是技术fMOST技术的荧光三维成像仪器搭载斜光片实现高通量快速成像样本仅需琼脂糖包埋即可上机采集，无需繁琐的制备操作样本形变小，方便与标准图谱比对成像模式斜光片照明荧光成像适用标记技术Dylight594，mCherry，PI，GFP， YFP等体素分辨率1.3 μm x 1.3 μm x 0.92 μm连续切削厚度20 - 200 μm最大样本体积5 cm x 5 cm x 2.5 cm应用案例▲Thy1-EGFP转基因小鼠全脑三维成像[1]▲c-fos阳性细胞全脑分布及各脑区定量统计文献列表[1]High-throughput light sheet tomography platform for automated fast imaging of whole mouse brain. J Biophotonics. (2018)[2]Brain-wide mapping of c-Fos expression with fluorescence micro-optical sectioning tomography in a chronic sleep deprivation mouse model,Neurobiology of Stress,(2022)

TESCAN UniTOM XL 这款高通量微米级 X射线显微镜具有超快的分析速度，适用于各类样品的无损分析，并提供了更灵活的研究方式。TESCAN UniTOM XL 为材料研究、失效分析和质量控制等领域提供高效且非破坏性的三维成像功能，该系统配置了高功率的发射源、高效的探测器和软件，可以提供最高效的工作效率和图像效果，时间分辨率可以达到10秒以下。 主要优势 ※ 原位和动态成像的X射线显微镜UniTOM 是一款配置灵活的高分辨 X 射线 显微镜，可根据用户的需求组合功能模块，最大限度的提高图像质量、分辨率和分析速度。※ 感兴趣区域的直观观测可在概览图上选择感兴趣区域进行实时缩放，获得孔隙结构和矿物的细节信息。※ 亚微米级分辨率UniTOM 可以获得 3um 的真实空间分辨率，并且适用于多种类型和尺寸的样品，可分析的样品最大直径为 50 cm, 最大高度115 cm。※ 模块化设置模块化设计，硬件模块（如可附加的X射线源或探测器）可以轻松集成到系统中，方便用户进行硬件升级或更换单个硬件，进而延长系统的使用寿命。 模块化灵活配置 UniTOM XL 模块化设计有助于用户可以随时添加、升级和拓展配件，尽可能减少受到系统自身性能的限制影响，系统中提供的“future-proof”平台能够帮助客户适应未来在发射源或探测器技术方面的创新发展。Acquila软件Acquila是一个用于断层图像采集和3维重构(GPU优化)的模块化软件，可以最大限度为集成设备后的复杂实验提供协助。Acquila软件能够运行在标准的、自动化的或定制的微型CT上，并实现图像采集、重建和外围实验设备(现场设备)之间的无缝集成。

NS3500三维激光共聚焦显微镜NS-3500是一种精确、可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，如半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等方面拥有无可比拟的解决方案。 Features & Benefits（性能及优势）：高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿实时共焦成像 简单的数据分析模式多种光学变焦 双Z扫描大范围拼接 半透明基材的特征检测实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备自动聚焦 Software (软件）：Application field（应用领域）：NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析Specifications：ModelMicroscope NS-3500备注Controller NS-3500E物镜倍率10x20x50x100x150x观察/ 测量范围 水平 (H): μm140070028014093垂直 (V): μm105052521010570工作范围: mm16.53.10.540.30.2数值孔径(N.A.)0.300.460.800.950.95光学变焦x1 to x6总放大倍率178x to 26700x观察/测量光学系统 针孔共聚焦光学系统高度测量测量扫描范围精细扫描 : 400 μm (and/or) 长扫描 : 10 mm [NS-3500-S]注 1长扫描 : 10mm [NS-3500-T]显示分辨率0.001 μm重复率 σ0.010 μm注 2宽度测量显示分辨率0.001 μm重复率 3σ0.02 μm注 3帧记忆像素1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96单色图像12 bit彩色图像8-bit for RGB each高度测量16 bit帧速率表面扫描20 Hz to 160 Hz线扫描~8 kHz自动功能自动增益激光共焦测量光源波长 405nm输出~2mW激光等级Class 3b激光接收元件PMT (光电倍增管)光学观察光源灯10W LED光学观察照相机成像元件1/2” 彩色图像 CCD 传感器记录分辨率640x480自动调整增益, 快门速度, White balance数据处理单元专用 PC电源电源电压100 to 240 VAC, 50/60 Hz电流消耗500 VA max.重量显微镜Approx. ~50 kg(Measuring head unit : ~12 kg)控制器~8 kg隔振系统有源隔离器Option精细和长距离扫描仪的双重扫描模式仅适用于NS-3500-S（单镜头类型）。 注1:精细扫描由压电执行器（PZT）执行。注2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（步长1μm）进行100次测量。 注 3 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（5μm间距）进行100次测量。Nanoscope system NS3500三维激光共聚焦显微镜信息由上海巨纳科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于Nanoscope system NS3500三维激光共聚焦显微镜报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

品牌：卡尔蔡司型号：Smartzoom5制造商：德国卡尔蔡司公司经销商：北京普瑞赛司仪器有限公司产地：德国 ZEISS一百多年的骄人历史从发明世界上首台显微镜开始。一个世纪后的今天，ZEISS仍致力于为用户研发最具创造力的显微镜系列产品。通过我们不断改进的显微技术，我们正在为全世界的用户开拓一条探索微观世界的道路。今天的显微镜与以往相比，它们的成像质量更好、效率更高、机械性能更加稳定，并且更加环保。总体描述蔡司公司面向全球最新发布一款智能3D数码显微镜Smartzoom5，这是一款为工业质量控制领域及高端研究方向的客户提供的一项全新解决方案。可对样品进行三维成像，数码变倍及光学变焦、让数码显微镜实现了无极连续变倍，并可快速便携地对样品进行二维、三维的观察和测量。产品性能（1）全自动操作：电动变倍、自动聚焦、电动载物台、全触摸屏操作。 （2）镜头可倾斜观察，满足多种观察角度。 （3）内置预览相机可自动拍摄样品的整体图像----导航功能（4）内置长寿命同轴LED及环形LED光源（5）大载物台设计，可放置大和重的样品，行程达130mmX100mm。（6）高速实时图像处理与测量 （7）更换镜头时可自动特征识别。（8）智能化设计与操作，特别设计的管理员模式与操作者模式，操作者只需根据管理员设计的程序操作即可，避免出错并提高工作效率，应用报告自动生成。导航功能对于大面积的样品，通过内置预览相机可自动拍摄样品的整体图像，通过触摸屏随意点击整体图像中要观测的点，切换到点界面，观测细微形貌。产品应用1) 电子行业（包括半导体IC邦定、印刷电路板、LED芯片、微电子MEMS等） 2) 机械零部件（包括汽车微小零部件等） 3) 材料（包括腐蚀、金相断口、镀膜厚度、熔融状态、疏水性材料接触角、无纺布等） 4) 刀具（包括常规刀具、金刚石涂层刀具等） 5) 医疗器械（包括心血管支架、 塑胶管断口、注射器等） 6) 电池行业（纽扣电池、锂电池、太阳能电池等） 7) 生命科学（包括昆虫、斑马鱼、植物、仿生材料等） 8) 公安（包括刑侦中的痕检等） 9) 文博（包括文物修复、古陶瓷表面观察等） 10) 食品药品（包括包装材料等） 11) 化妆品（包括皮肤、毛发等）12）其他（造纸、纺织、印刷）精巧设计，智 焊接断面 螺纹 IC芯片 电路板上元件 气囊 腐蚀 金属断口 文物金属 皮革 矿石颗粒

SENSOFAR公司作为干涉共焦显微镜的发明者，开创性地将共聚焦和干涉技术结合在一起，设计和制造了SNEOX系列的3D光学干涉共焦显微镜。无需插拔任何硬件就可以在软件内自动实现共聚焦、白光干涉和相位差干涉模式的切换。使客户无需花费高昂的费用就能同时拥有共聚焦显微镜和干涉仪。客户即拥有共聚焦技术的超高XY轴分辨率最高0.14um,又有干涉技术的亚纳米级Z轴分辨率可达0.1nm及高达0.1%的测量重复性。SENSOFAR在1999年创立之初，就是以三维表面形貌测量为主要研发方向，通过持续不断地研发和申请专利技术，在全球范围内创造了数百种表面形貌测量应用产品，积累了最丰富的技术实力。新型SNEOX主要技术优势如下：优势1第5代干涉共焦显微镜，更加精准易用新型Sneox是sensofar公司开发的第5代干涉共焦显微镜，在性能、功能、效率和设计方面远远优于现有的共聚焦显微镜或白光干涉仪。第5代Sneox系统的诞生，使得操作更易于使用、直观且更快速。即使是初学者，只需点击一下，即可操作测量，可快速切换共焦、白光干涉和相位差干涉测量模式，满足从粗糙表面到平滑表面测量需求。优势2专利的Microdisplay共焦技术，可实现扫描头内无运动部件SENSOFAR专利设计的Microdisplay共焦技术（微型程控显示扫描共焦技术），做到了扫描头内无运动部件，解决了共聚焦扫描一直以来的问题---有部件要高速运动，实现了既能高速扫描，又能避免部件运动造成震动影响精度。优势3前所未有的扫描速度，数据采集速度高达180帧/秒新型Sneox作为第5代最新干涉共焦显微镜，通过采用新的智能和独特的算法以及新型相机（500万像素相机），达到前所未有的速度。数据采集速度达180帧/秒。标准测量采集速度比以前快5倍。典型三维图片获取时间仅需3秒。优势4测量的可追溯性每一台Sneox皆为提供准确和可追溯的测量而精心制造。系统使用符合ISO25178标准的可追溯标准进行校准，包括：纵向精度、横向尺寸、平面度误差以及偏心度。可一键实现ISO25178和ISO4287粗糙度测量，无需复杂的粗糙度参数设置。优势5三合一的3D测量技术（共聚焦、干涉、多焦面叠加）Sensofar的三合一3D测量方法—只需点击一次，系统即可切换到适合当前测量任务的最合适技术。在Sneox传感器头中配置三种3D测量技术：共聚焦测量、干涉测量、Ai多焦面叠加测量，这些都为系统的多功能性做出了重要贡献，并有助于最大限度地减少数据采集中的噪点。Sneox是所有实验室环境的理想之选,适用范围广泛，适合粗糙，到光滑及超光滑表面3D测量。优势6Sensofar最新专利的共焦技术：连续共聚焦扫描技术针对一般共聚焦设备扫描速度慢的问题，Sensofar研发了世界专利技术的连续共聚焦扫描方式，即保证了扫描精度，提高了图像支架，又将扫描速度提高了3倍。优势7Sensofar最新专利的共焦技术：融合共聚焦测量SENSOFAR还推出了独特的融合共聚焦扫描模式，将共聚焦和多焦面叠加两种模式的优势结合，实现了可测最大86度的斜率并具有纳米级Z轴精度的三维测量。融合共聚焦能提供更好的测量效果，获取更好的图像质量，同时可获得比共聚焦和多焦面叠加更可靠的数据。优势8智能噪音检测—有效提高图像质量，消除噪点Sneox使用检测算法(SND)检测那些不可靠的数据像素。与使用空间平均的其他技术相比，Sneox在不损失横向分辨率的情况下逐像素处理。优势9高性能软件分析系统SensoViewSensoView是一种交互式分析工具，2D和3D的交互式视图提供多种缩放、显示和渲染选项。提供一套全面的工具，用于3D或2D测量的初步检查和分析。可以测量关键尺寸、角度、距离、直径，并使用新的注释工具突出显示特征。可实现剖面线上多段高度差测量；可测量剖面线多段高度信息，并实时显示在剖面线测量图上。

SKYSACN 3d纳米x射线显微镜ct - 一款用于显微样品三维成像的实验室级超高分辨率CT扫描仪,可对直径为30cm，长度40cm样品的内部结构进行3D无损检测与重建，对样品的细节检测能力（标称分辨率）最高可达60纳米。利用 X 射线无损成像的特性提供样品内部结构的三维图像，并且无需对相关区域进行切割或切片。 ▼维护成本低,开放管，只需要更换灯丝。 SkyScan 2214采用了布鲁克独家所有的自动可变扫描几何系统，不但样品到光源的距离可调，探测器到光源的距离也可调。因此，可变几何系统能在空间分辨率、可扫描样品尺寸、扫描速度、图像质量之间找到完美的平衡。相比于传统的探测器-光源固定距离模式，在分辨率不变的情况下，扫描速度可提高2-5倍，同时保证得到相同的甚至更好的图像质量。而且这种扫描几何的改变，无需人工干预，软件会自动根据用户选定的图像放大倍数，自动优化扫描几何，以期在最佳分辨率、最短时间内得到高质量数据。SkyScan 2214配备了分层重构软件InstaRecon，得益于其独特的算法，重建速度比常规Feldkamp算法快10-100倍，适用于更大规模数据的成像处理。 了解更多应用方向，请致电束蕴仪器（上海）有限公司

X射线显微CT：先进的无损三维显微镜显微CT即Micro-CT，为三维X射线成像，与医用CT（或“CAT”）原理相同，可进行小尺寸、高精度扫描。通过对样品内部非常细微的结构进行无损成像，真正实现三维显微成像。无需样本品制备、嵌入、镀层或切薄片。单次扫描将能实现对样品对象的完整内部三维结构的完整成像，并且可以完好取回样本品！特点：先进的扫描引擎—可变扫描几何：可以提高成像质量，或将扫描时间缩短1/2到1/5支持重建、分析和逼真成像的软件套件自动样品切换器技术规范：X射线源：20-100kV，10W，焦点尺寸＜5μm@4WX射线探测器：1600万像素（4904×3280像素）或1100万像素（4032×2688像素）14位冷却式CCD光纤连接至闪烁体标称分辨率（放大率下样品的像素）：1600万像素探测器＜0.35um；1100万像素探测器＜0.45um，重建容积图（单次扫描）：1600万像素探测器，14456×14456×2630像素 1100万像素探测器，11840×11840×2150像素扫描空间：0-直径75mm，长70mm辐射安全：在仪器表面的任何一点上＜1 uSv/h外形尺寸：1160（宽）×520（深）×330（高）毫米（带样品切换器高440毫米）重量：150千克，不含包装电源：100-240V / 50-60Hz

SKYSCAN 微纳米ct/高容量三维X射线显微镜, 该探测器具有600万像素，视野范围大，输出速度快，15秒内即可提供高清晰度图像，是快速CT的理想之选。即使是大尺寸样品，也能在数分钟内完成扫描。 高分辨率X射线三维成像系统具有较低的拥有成本。不同于落地式系统，台式SKYSCAN 高分辨率X射线三维成像系统在寸土寸金的实验室中占地面积较小。它无需冷水机或其它压缩机，只需一个简易的家用电源插座。它采用封闭式X射线源，无需维护，不存在其它隐藏成本。 达到真正的4D效果检测~ 特点介绍：节省空间的台式系统与最低安装要求家用电源插头，无水或压缩空气，免维护封闭式X射线源大的样品室，以适应样品样品尺寸可达 ?300 mm和高500 mm ,扫描体积 ?250 mm和高250 mm 130 kV 反射式X射线源，带 6 Mpix平板探测器通过更大、密度更高的材料传输支持自动选择最优能量设置的8位滤波更换器像素尺寸 3 μm (小样本)综合3D套件软件1)重构，2)通过面和体渲染可视化，3)分析 可根据不同需求订制了解更多应用方向，请致电束蕴仪器（上海）有限公司

SENSOFAR公司作为干涉共焦显微镜的发明者，开创性地将共聚焦和干涉技术结合在一起，设计和制造了S NEOX系列的3D光学干涉共焦显微镜。无需插拔任何硬件就可以在软件内自动实现共聚焦、白光干涉和相位差干涉模式的切换。使客户无需花费高昂的费用就能同时拥有共聚焦显微镜和干涉仪。客户即拥有共聚焦技术的超高XY轴分辨率最高0.14um,又有干涉技术的亚纳米级Z轴分辨率可达0.1nm及高达0.1%的测量重复性。 SENSOFAR在1999年创立之初，就是以三维表面形貌测量为主要研发方向，通过持续不断地研发和申请专利技术，在全球范围内创造了数百种表面形貌测量应用产品，积累了最丰富的技术实力。新型S NEOX主要技术优势如下：优势1 第5代干涉共焦显微镜，更加精准易用新型 S neox 是sensofar公司开发的第5代干涉共焦显微镜，在性能、功能、效率和设计方面远远优于现有的共聚焦显微镜或白光干涉仪。第5代 S neox 系统的诞生，使得操作更易于使用、直观且更快速。即使是初学者，只需点击一下，即可操作测量，可快速切换共焦、白光干涉和相位差干涉测量模式，满足从粗糙表面到平滑表面测量需求。 优势2 专利的Microdisplay共焦技术，可实现扫描头内无运动部件SENSOFAR专利设计的Microdisplay共焦技术（微型程控显示扫描共焦技术），做到了扫描头内无运动部件，解决了共聚焦扫描一直以来的问题---有部件要高速运动，实现了既能高速扫描，又能避免部件运动造成震动影响精度。 优势3 前所未有的扫描速度，数据采集速度高达 180帧/秒新型 S neox作为第5代最新干涉共焦显微镜，通过采用新的智能和独特的算法以及新型相机（500万像素相机），达到前所未有的速度。数据采集速度达 180帧/秒。标准测量采集速度比以前快 5 倍。典型三维图片获取时间仅需3秒。 优势4 测量的可追溯性每一台 S neox 皆为提供准确和可追溯的测量而精心制造。系统使用符合ISO 25178 标准的可追溯标准进行校准，包括：纵向精度、横向尺寸、平面度误差以及偏心度。可一键实现ISO25178和ISO4287粗糙度测量，无需复杂的粗糙度参数设置。 优势5 三合一的3D测量技术（共聚焦、干涉、多焦面叠加）Sensofar 的三合一3D测量方法—只需点击一次，系统即可切换到适合当前测量任务的最合适技术。在 S neox 传感器头中配置三种3D测量技术：共聚焦测量、干涉测量、Ai 多焦面叠加测量，这些都为系统的多功能性做出了重要贡献，并有助于最大限度地减少数据采集中的噪点。S neox 是所有实验室环境的理想之选,适用范围广泛，适合粗糙，到光滑及超光滑表面3D测量。 优势6 Sensofar最新专利的共焦技术：连续共聚焦扫描技术针对一般共聚焦设备扫描速度慢的问题，Sensofar研发了世界专利技术的连续共聚焦扫描方式，即保证了扫描精度，提高了图像支架，又将扫描速度提高了3倍。 优势7 Sensofar最新专利的共焦技术：融合共聚焦测量SENSOFAR还推出了独特的融合共聚焦扫描模式，将共聚焦和多焦面叠加两种模式的优势结合，实现了可测最大86度的斜率并具有纳米级Z轴精度的三维测量。融合共聚焦能提供更好的测量效果，获取更好的图像质量，同时可获得比共聚焦和多焦面叠加更可靠的数据。 优势8 智能噪音检测—有效提高图像质量，消除噪点S neox 使用检测算法(SND) 检测那些不可靠的数据像素。与使用空间平均的其他技术相比，S neox 在不损失横向分辨率的情况下逐像素处理。 优势9 高性能软件分析系统Senso ViewSenso View是一种交互式分析工具，2D 和 3D 的交互式视图提供多种缩放、显示和渲染选项。提供一套全面的工具，用于 3D 或2D 测量的初步检查和分析。可以测量关键尺寸、角度、距离、直径，并使用新的注释工具突出显示特征。可实现剖面线上多段高度差测量；可测量剖面线多段高度信息，并实时显示在剖面线测量图上。

VT6000中图仪器三维形貌共聚焦材料测量显微镜用在材料生产检测领域中，对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。VT6000中图仪器三维形貌共聚焦材料测量显微镜单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择，适应多种现场应用环境；Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重保护。产品功能1)3D测量功能：设备具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；2)影像测量功能：设备具备二维平面轮廓尺寸的影像测量功能，可进行长度、角度、半径等尺寸测量；3)自动拼接功能：设备具备自动拼接功能，能够实现大区域的拼接缝合测量；4)数据处理功能：设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能； 5)分析工具功能：设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；6)批量分析功能：设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；7)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；8)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；9)镜头安全功能：设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。不同应用场景下的3D形貌VT6000中图仪器三维形貌共聚焦材料测量显微镜主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中，其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。3D形貌图片：影像测量功能界面应用场景1、镭射槽测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。2、光伏在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。3、其他部分技术指标型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量重复性(1σ)12nm显示分辨率0.5nm宽度测量重复性(1σ)40nm显示分辨率1nmXY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器VT6000材料共聚焦三维成像显微镜基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，可以对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。产品功能(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；(2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；功能特点1、测量模式多样VT6000材料共聚焦三维成像显微镜单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择，适应多种现场应用环境；2、双重防撞保护功能Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重保护；3、分析功能丰富3D：表面粗糙度、平整度、孔洞体积、几何曲面、纹理方向、PSD等分析；2D：剖面粗糙度、几何轮廓测量、频率、孔洞体积、Abbott参数等分析。应用领域VT6000材料共聚焦三维成像显微镜可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所中，对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例： 应用场景1、镭射槽测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。2、光伏在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。VT6000可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。3、其他部分技术指标 型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量宽度测量XY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

SKYSCAN 2214 CMOS Edition – 多量程纳米级三维X射线显微镜多量程纳米级三维X射线显微镜SKYSCAN 2214 CMOS涵盖了完普遍的物体尺寸和空间分辨率，能够对石油和天然气勘探中的地质材料、复合材料、锂电池、燃料电池、电子组件以及体外临床前应用（如肺部成像或**血管化）进行先进的三维成像和精确建模。该仪器既可以对直径大于300毫米的物体的内部微观结构进行扫描和三维无损重建，也可以对小样品进行亚微米级的分辨。另外，该系统配备了一个0.5微米大小的 "开放型 "透射X射线源和一个金刚石窗口。它可容纳四个X射线探测器，具有极大的灵活性。自动可变的采集几何和相位对比度增强可以在相对较短的扫描时间内实现优秀质量。SKYSCAN 2214 CMOS将为用户免费提供全套的3D Suits软件套装。这个的软件套装涵盖了GPU加速重建、二维/三维形态学分析以及表面和体积渲染可视化等用户所需的全部功能。并且该软件套装可以进行免费升级。主要特点：● X射线光源SKYSCAN 2214采用最新一代的开放型X光源。该光源可达到优于500 nm的实际空间分辨率，高达160 keV的X光能量，以及高达16 W的功率。因为拥有极其简单的预先配准的灯丝更换程序，该光源几乎不需要维护。SKYSCAN 2214拥有带金刚石窗口的开放型（泵式）纳米焦点X光源。它能产生峰能量从20 kV到160 keV不等的X光束，并提供有两种类型的阴极。钨（W）阴极适用于最高达到160 kV的完整加速电压范围，光斑尺寸最小达到800 nm。六硼化镧（LaB6）阴极适用于从20 kV到100 kV的加速电压，X光束的光斑尺寸可以小于500 nm，从而确保在成像和三维重建中达到最高分辨率。JIMA分辨率测试卡显示，它能轻松解析出500 nm的结构。为了确保焦斑尺寸和发射源的位置能够长期保持稳定，X光源还能配备水冷系统，该系统含有一个循环装置，能精准地控制冷却液体的温度以维持温度的稳定。● 探测器SKYSCAN 2214最多可以配备4个X射线探测器，以获得最大的灵活性：其中包括三台具有不同分辨率和视场平衡的科研及sCMOS探测器，以及一台平板探测器以覆盖超大视场。用户只需点击一下鼠标，就可以进行探测器间的任意切换。使用小像素的大尺寸CMOS探测器可以将高分辨率的三维成像扩展到大型物体。内置探测器的灵活性使其能够根据物体的大小和密度来调整视场和空间分辨率。从感兴趣的体积进行先进的重建，从而在不影响图像质量的情况下对大型物体的选定部分进行局部高分辨率扫描。此外，通过使用偏移的探测器位置和垂直方向的物体移动，可以分别增加水平和垂直的视场。之后，3D.SUITE软件自动将不同的图像拼接在一起，并对偏移和可能的强度差异进行准确的补偿。随着研究课题和分析需求的发展，探测器可以在系统使用期内的任何时间点进行现场升级。● 原位实验台SKYSCAN 2214 CMOS Edition拥有高度精准的样品台，支持直径达到300 mm和重量达到20 kg的物体。空气悬浮式旋转马达能以非常高的准确度精准地旋转物体位置，集成的精密定位平台能保证样品完全对准。SKYSCAN 2214 CMOS Edition拥有一个很大的且使用方便的样品室，方便扫描大型物体和安装可选的试验台。它有足够的空间可供容纳原位试验台等外围设备。Bruker的材料试验台可以进行最大4400 N的压缩试验和最大440 N的拉伸试验。所有试验台都能通过系统的旋转台自动联系到一起，而无需任何外接线缆。通过使用所提供的软件，可以设置预定扫描试验。布鲁克的加热台和冷却台可以达到最高+80º C或最低低于环境温度低30º C的温度。和其它的试验台一样，加热和冷却台也不需要任何额外的连接，系统可以自动地识别不同的试验台。通过使用加热台和冷却台，可在非环境条件下检测样品，从而评估温度对样品微观结构的影响。SKYSCAN 2214 CMOS Edition与DEBEN试验台完全兼容。借助自带的适配器，DEBEN试验台可以很容易地被安装到SKYSCAN 2214的旋转台上。高低温原位试验台力学拉伸/压缩原位试验台兼容Deben样品台