紫外飞秒激光系统

深紫外飞秒激光器概述以可调谐的锁模钛宝石激光器作为基频光源，经过多级倍频/和频来产生192-200nm波段的深紫外超短脉冲激光（图1）。 图1. 192-200 nm超短脉冲激光产生方案示意图 基于基频光源的不同选择，激光波长还可以实现大范围的调谐，最大范围可覆盖192-300 nm波段，且连续可调。另外还可输出覆盖二次谐波(375-500 nm)、三次谐波（（230-300 nm）波段的可见、紫外超短脉冲激光。另外，基频光源也可选择1 μm波段（1064 nm、1030 nm）锁模激光器，可获得四次谐波（~260 nm）和五次谐波（~210 nm）的紫外激光。 图2. 激光器实物图（192-300 nm连续调谐，尺寸1300*600*200mm3，不含基频源） 技术特点： 覆盖深紫外、紫外、可见光的大范围波长调谐 电动控制波长调谐 高指向稳定性 图形化人机交互界面 波长可扩展深紫外飞秒激光器应用领域： 超快光谱探测 高精密激光加工 荧光寿命探测 非线性光学2. 基频光源技术参数典型的基频光源可选择Coherent公司CHAMELEON 系列钛宝石激光器或Spectra-Physics公司的Maitai HP系列激光器。主要技术指标如下： 技术指标典型参数波长 780 nm或波长可调谐 根据需求固定激光波长，或可调波长脉冲宽度100 fs、50 fs重复频率 80 MHz光束质量M21.3功率 ~2.5W@780 nm 取决于最终需求的深紫外激光功率，2.5W基频光对应于约4mW的195nm激光功率 3. 输出技术指标（1）195 nm激光输出功率约4 mW（基频功率2.5W@780nm）.（2）195 nm激光输出功率约0.5 mW（基频功率1.4W@780nm） 技术指标典型参数波长195nm或波长可调谐192-300nm根据需求固定激光波长，或可调波长脉冲宽度~500fs@266nm基频光脉冲宽度100fs时测试结果重复频率80MHz功率~4mW@195nm典型调谐功率见下图（（基于MaitaiHP基频源测试）图3.各波段激光输出功率：（a）二次谐波；（b）直接四次谐波；（c）三次谐波；（d）四次谐波（和频）。

紧凑型紫外飞秒激光器系统（型号：UV-fs-compact） UV-fs-compact 是一款自成一体，紧凑型的紫外飞秒激光器系统。它包括一套准分子激光泵浦的染料激光器系统作为前端种子源。这款特殊设计的装置还包括第二套放电腔用于放大经过倍频的染料激光脉冲。表: 技术指标 波长248 nm单脉冲能量10 mJ重复频率0 - 10 Hz光斑尺寸25 x 25 mm2 光束质量1,5 x 衍射极限 (输入端M2 = 1)

组成部分：序号型号名称数量1LLG-ultimateHigh power sub-picosecond UV laser system，including高功率亚皮秒紫外激光器系统，包括：11.1XeCL pump laser氯化氙泵浦激光器11.2LLG-100 proKrF amplifier氟化氪放大器11.3Fs dye laser system飞秒染料激光器系统（客户定制）1 工作原理：亚皮秒紫外激光器系统，型号LLG-ultimate 由氯化氙泵浦激光器，飞秒染料激光器，倍频和紫外放大系统 LLG-100-Pro系统构成一系列染料激光器在氯化氙激光器泵浦下提供亚皮秒，接近傅里叶变换极限激光脉冲。经过非线性BBO晶体倍频后在经氟化氪激光放大器放大输出。下图为系统组成框图。 飞秒染料激光系统安装在一个光学平台上。光学平台由特别设计的可放置准分子泵浦激光器的支架支撑。该飞秒染料激光器为哥廷根激光实验室的独立设计制造产品。整个系统配置了泵浦光学元件，机械调整支架，染料循环泵，染料激光器亚系统包含下列主要级次：淬灭染料腔激光器，短腔染料激光器和门控饱和吸收分布反馈染料激光器，放大器，倍频器等。染料激光器子系统的光路原理示意图如下：前级产生的种子光，注入到由一台专门的双腔氟化氪放大模块组成的高功率亚皮秒紫外放大系统进行两级放大。放大后的光脉冲在经过一个基于干涉复合机理的脉冲宽度重整系统，最后获得输出波长为248.5纳米，脉冲宽度小于1皮秒，单脉冲能量不小于100毫焦的紫外超短脉冲激光输出。主要功能：提供紫外波段，小于一个皮秒的超短脉冲宽度，能量高达100毫焦的激光光源。 设备用途： 供基础研究用。主要应用领域包括。等离子体研究 激波发生 原子核研究 X-射线产生；作为特种测试设备的紫外标定源。 商品实物图片： 系统组装完成后局部图片-染料激光器部分 系统安装完成后局部图片-染料激光器部分。 系统组装完成后局部图片-染料激光器部分。 系统组装完成后局部图片-染料激光器部分。 系统组装完成后外观图片。系统参数指标： 序号主要技术指标1激光波长 248.5 nm；2脉冲宽度 ＜1ps；3能量≥100 mJ；（新充气体，光学镜片清洁状态下的结果）4脉冲重复频率0-10 Hz；5系统抖动± 3ns（相对触发脉冲）；6束斑尺寸 ~ 35 mm × 25 mm；7光束近场非均匀性＜10%；对于90% 激光输出光斑区域（估计值）8发散度 小于3倍衍射极限；9触发输出10 V @ 50 Ohm；30ps jitter；~30ns 提前于激光脉冲输出。固定值。

紫外（UV）飞秒激光器系统。型号：UV-fs-vario 这一系列紫外（UV）飞秒激光器系统，通常采用掺钛蓝宝石飞秒前端激光器作为注入种子激光源。种子激光均采用知名厂家的商品产品，但对于紫外激光器系统的应用做了相应的调整。这种调整主要表现在输出波长要设置在745.5 nm。所提供的系统中均会包括一套紧凑稳定自动化程度高的三倍频组件。 不论选配哪种放大器模块，系统都包含一个同步组件，以保证注入种子激光和激光放大器之间的长期稳定同步触发。系统的技术指标和所选用的放大器模块相关 (参考紫外（UV） 飞秒放大器产品的介绍)。

紫外（UV）飞秒激光放大器，型号： TwinAmp TwinAmp 是一款特别设计的具有双放电腔的准分子激光放大器。采用这种系统架构可以实现非常高的整体增益。不仅如此，这种结构光路中还能再两个放大模块之间安装空间滤波器和脉冲压缩器。于是在输出端可以获得脉宽更短，信噪比更高的激光脉冲。这种型号特别适合需要极高聚焦强度的应用场合。表 : 技术指标 波长248 nm单脉冲能量40 mJ (for 50 μJ seed pulse energy @ 248 nm)抖动± 2 ns (relative to trigger pulse)光斑尺寸36 x 36 mm2 光束质量1.5 x diffraction limited (for M2 = 1 at the input)脉冲宽度250 fs (for 180 fs seed pulse)ASE 本底 1010 in the far field系统光路原理图: 紫外（UV）飞秒激光放大器，型号:TwinAmp

产品性能：一体化设计，体积小超低噪声，稳定性强优越的光束质量（M21.3）长期工作稳定性高，24/7工业级运用产品用途：飞秒紫外系列激光器适用于OLED切割、晶圆切割、薄聚合物薄膜和薄膜的切割、柔性电路和低介电常数材料的加工。产品包装：加固的产品包装，有效防止激光器在运输过程中受到碰撞和损害。机器包装既便捷，也有效做到了防湿、防潮、防锈、防震。售后服务：1、终身提供维护服务2、免费为客户提供专业的技术咨询服务3、免费为客户提供打样服务4、电话服务与现场服务

紫外（UV）飞秒激光放大器。型号：LLG 50 LLG 50型准分子激光放大器设计用来放大倍频超短脉冲激光器产生的激光脉冲。利用此装置可以产生亮度极高的紫外激光脉冲。根据前端248nm注入种子激光能量的不同，可以采用双程或3程放大几何光路。LLG 50系统包含一套同步控制组件以保证种子激光和放大器之间长期可靠的精确时间同步。表: 技术指标参数 波长248 nm单脉冲能量50 mJ (for 50 μJ seed pulse energy @ 248 nm)抖动± 2 ns (relative to trigger pulse)光斑尺寸36 x 36 mm2 光束质量2 x diffraction limited (for M^2 = 1 at the input)产品样本: LLG 50 - 型紫外（UV） 超快放大器

紫外（UV）飞秒激光放大器（型号：PowerLine） 许多应用，例如工业尺度的材料处理，需要采用高平均功率的激光源。这只能在高脉冲重复频率下运行激光器系统才能实现。一种创新的，型号为PowerLine的KrF激光放大器就是为了实现这一目的而研发的。该放大器的主体是一款工业激光器，型号为“NovaLine”。该装置可将脉冲宽度小于1皮秒的，重复频率为350赫兹的超短紫外激光脉冲进行放大。输出脉冲能量可达30毫焦，换算成平均功率接近 ~10 瓦.表: 技术指标 波长248 nm单脉冲能量30 毫焦 (注入种子脉冲能量 50 微焦 @ 248 nm)重复频率0 - 350 赫兹平均功率 9瓦时间抖动± 2 纳秒 (相对于外触发脉冲)光斑尺寸25 x 25 mm2 光束质量2 x 衍射极限 (输入端 M^2 = 1 )

立陶宛Workshop of Photonics公司从2003年进入飞秒激光微加工领域，成为全球领先的飞秒激光微加工设备以及解决方案提供商。WOP主要业务包括：飞秒激光微加工可行性分析，定制飞秒激光系统和光学组件，激光微加工车间，激光微加工自动化软件，定制激光系统和设备控制电路。■ 实验室级飞秒激光系统 FemtoLABFemtoLAB飞秒激光微加工系统适用于科研机构进行飞秒激光微加工实验。配置纳米精度和分辨率的线性位移台，高性能扫描振镜，通用微加工软件SCA，是一套光学平台上的完整激光实验室。WOP公司实验室级激光微加工系统也可以根据客户的应用定制。WOP具有很强的技术能力和应用经验，通过优化FemtoLAB系统，为客户节省宝贵的实验和培训时间可调参数：●脉宽（200fs-10ps）●重频（1-1000KHz）●平均功率（最高12W）●波长（1030nm，515nm，343nm，258nm）产品特点：●高速精细微加工●高端工业级飞秒激光器PHAROS●加工不同物体精度亚微米量级●飞秒微加工模式具有最小热影响区●物体定位达纳米精度●使用扫描振镜高精度激光束导向●激光参数方便改变●原版软件界面控制所有集成的硬件设备软件控制功能：●XYZ位移台●旋转轴●扫描振镜●激光参数●机器视觉●工作区域平均功率（反馈）●偏振加工便利性：●使用显微镜转台切换波长●使用显微镜转台改变光学部件聚焦●使用共焦自动聚焦系统确定焦点●CCD相机视场自动校正●CCD自动聚焦到样品表面●自动判断样品倾斜●加工过程拍照和录像●加工轨迹和CCD视场重合●实时加工追踪●键盘式操纵杆全部配置包括：●飞秒激光器PHAROS●SHG，THG，FHG和光束传输系统●SHG用于振荡器输出●XYZ位移台系统●扫描振镜系统●4个衰减器用于WAIT PILOT●4个偏振旋转器●自动聚焦和机器视觉单元●SLM或其他光束整形器●转台用于调整谐波镜和聚焦光学部件●系统可以组装在已有的光学平台上，区域1m×2.5m应用举例：光纤钻孔

LLG100型紫外（UV）飞秒激光放大器 。 LLG 100型激光放大器是LLG50型的升级扩展型。采用干涉复合技术使最终输出单脉冲能量得到倍增。按照这种机理，线性偏振的输入光被分解成正交偏振的两个分量。这两个分量沿着相同的光路相向传播通过放大器激活区。这种输入传播方式保证了两个分量光束在激光放大器输出端的相位锁定。。表。: 指标参数。 波长248 nm单脉冲能量。100 毫焦( 在 50 微焦@ 248 nm 种子光脉冲能量条件下)时间抖动。± 2 ns (相对于触发脉冲。)光斑36 x 36 mm2 光束质量2 x 衍射极限 (在 M^2 = 1 输入端)

OAI 超过35年的历史按照您的具体规格设计和制造紫外线仪器和曝光系统在世界范围内亨有声誉无论复杂还是简单，OAI都有最聪明的解决方案。Model 800E 型正面和背面半自动掩模曝光系统提供了昂贵的自动化生产掩模对准器中最常见的先进功能和规格。随着这款掩模曝光系统的开发，OAI 通过专为研发和小批量生产而设计的新型掩模曝光系统来应对动态半导体和 MEMS 市场日益增长的挑战。Model 800E 基于 OAI 经过验证的模块化平台构建，是一款增强型、高性能、高分辨率光刻系统，能够以极具吸引力的价格提供一定水平的性能。该对准器系统采用 OAI 的先进光束光学器件，可提供卓越的均匀性。800E 型可使用 OAI 的精密光刻模块进行升级，是实验室或小批量生产中的高度通用工具。800E 型采用 Windows 7 PC 控制平台，具有大量配方存储容量。该系统还配备了操纵杆控制的对准和光学平台，并且可以配置非接触式、3 点楔形效应校正和自动对准功能。这些组合功能通常出现在自动化生产掩模对准系统中，但现在可以在 Model 800E 上以更实惠的价格获得。800E 型的独特之处在于它包含了 OAI 6000 型生产掩模对准器工具中的先进功能。通过利用经过验证的 OAI 模块化掩模对准器平台，我们能够采用更先进的工具中的技术，以更实惠的价格生产强大的系统。标准正面功能：双100万像素分辨率CCD相机最大8英寸的基板，掩膜尺寸9' X 9''Windows PC 控制，带配方储存功能调整和定位的电动操纵杆曝光模式：真空、硬软接触和接近模式自动楔形效应补偿标准背面功能：包含正面所有功能另外2个CCD相机数码变焦电动背面光学对焦

DC系列激光器提供1W到10W的紫外和2W到14W的绿光的窄脉宽输出光。 由于核心技术的成功研发，实现了激光器的腔内倍频比腔外倍频转换效率更高，在三倍频上无需转点等功能。从而使激光器拥有更高的转换效率、良好的光斑质量、稳定的光束指向以及紧凑的外部结构。提供功能丰富的标准软件，使用者可通过实时TTL 信号或模拟量信号来控制激光输出功率，以保证高质量的制程参数控制，具有操作简单、产出高效、品质稳定的特点。 优势高功率风冷紫外和绿光纳秒激光器 小巧的，效率最高的风冷激光器 高电光转换效率激光器：绿光：~10%。紫外：~6% 窄脉宽以及重复频率达 500kHz TEM00 的光斑模式：M21.2 优秀的光斑指向稳定性：25μrad 一体式 (AIO) 纳秒紫外和绿光激光器 可选择水冷为散热方式

Idonus基于高功率LED和高档微透镜阵列的基础上提出了一个 GE MING性的紫外光照系统。这个产品应用于光刻胶曝光工艺，适用多种基材。光照质量保证了高的同质性的临界尺寸和整个面上的侧壁角。实际上，由于使用了一种完全远心的光学，我们的设计提供了完美的稳定光照条件，即整个表面的高同质性的强度和低的发散角。 可以根据用户需求进行产品开发定制，可以极大缩短您的想法变成产品的时间。 LED BENEFITS优点目前随着LED技术的发展，紫外LED表现出了比汞光源更大的优势。● 长寿命LED，测试不需要耗材● 不需要每天校准，即刻稳定光照● 有限的发热，这降低了空气冷却费用● 低功率消耗● 光源仅仅在曝光时开启（不需要快门）● 用户可以根据需求进行照射系统定制。也可以按照用户旧机器的尺寸设计照射系统，以替代旧的机器上的汞灯照射系统。TYPICAL PERFORMANCES 典型参数分辨率 ：0.5 μm光学功率 ：20 to 200 mW/cm2曝光区域 ：50x50 to 300x300 mm2光学辐照不均匀性 ： ±2%ZUI大发散角(FWHM) ：±1.5°to 3°波长 ：365 / 385 / 405 nm光谱半宽幅 ：12 nm设备尺寸 ： 65x30x30 cm3总功率 ：20 to 1200 WEXAMPLE SYSTEM SPECIFICATIONS 系统规格举例可能的曝光系统的不同配置如下表所示，系统可以根据您的需要设计。System Type 系统型号ABCResolution [um] 分辨率211Optical power [mW/cm2] 光学功率42152165Exposition area [mm2] 曝光面积80x80100x100300x300Optical irradiance inhomogeneity [%] 光照幅度不均匀性±2±2±2Max divergence angle [°] (Full Width Half Maximum)最大发散角（半宽幅）±2.5°±1.5°±1.5°Wavelength [nm] 波长405365385Spectrum half width [nm] 光谱半宽幅121212System size [cm] 系统尺寸65x30x3065x30x301100x60x60Power consumption [W] 功耗201801200

立陶宛Workshop of Photonics公司从2003年进入飞秒激光微加工领域，成为全球领先的飞秒激光微加工设备以及解决方案提供商。WOP主要业务包括：飞秒激光微加工可行性分析，定制飞秒激光系统和光学组件，激光微加工车间，激光微加工自动化软件，定制激光系统和设备控制电路。■ 光伏电池飞秒激光工作站 SOLLASSOLLAS是WOP专门为硅基太阳能电池行业开发的激光加工机床，配置有飞秒紫外激光器和纳秒红外激光器，具有多任务操作功能，用于工业和研究，最高产能3MW/a。产品特点：●工业研究生产线产量2.5 MW/a●飞秒紫外和纳秒红外激光源●机器视觉系统探测旋转和调整激光扫描区域●使用高性能扫描振镜精细激光束控制●5”和6”晶圆加工●生产模式下直观的触摸屏用户使用界面（SCA工程设计）●研究模式下全功能软件（SCA工程设计）SOLLAS 执行4项工艺：●选择性刻蚀SiNx/SiO2●后触点激光烧制●边缘绝缘处理●激光标刻●可行性测试后整合其他加工过程

OAI 超过35年的历史 按照您的具体规格设计和制造紫外线仪器和曝光系统在世界范围内亨有声誉 无论复杂还是简单，OAI都有最聪明的解决方案。 6000 型建立在经过验证的 OAI 模块化平台上，具有完全自动化的正面和背面对准，具有亚微米印刷功能以及亚微米从上到下的正面对准精度，可提供任何价格都无法比拟的性能。选择顶部或可选的背面对齐，使用 OAI 定制的高级识别模式软件。这些掩模对准器采用 OAI 的先进光束光学器件，均匀性优于 ±3%，在第一掩模模式下每小时可处理 200 片晶圆，从而实现更高的良率。6000 系列可以处理各种晶圆，包括厚的粘合基板（最大 7000 微米）、翘曲晶圆（最大 7 毫米 - 10 毫米）、薄基板（最小 100 微米厚）和厚光刻胶。OAI 的增强型模式识别软件具有 +/- 0.5 微米的顶部对准，可提供可靠的可重复结果。对于背面对准，6000 型掩模对准机具有稳定的光学系统、长距离显微镜和先进的自动对准软件，可提供最可重复的正面到背面对准精度。6000 系列具有卓越的工艺重复性，是所有生产环境的完美解决方案。对于整个光刻工艺，Model 6000 可以与集群工具和 OAI 的自动掩模更换器无缝集成。OAI 的生产掩模对准器是完整的套件，也可配备 UV LED 光源。 标准正面功能： 双100万像素分辨率CCD相机 最大8英寸的基板，掩膜尺寸9' X 9'' Windows PC 控制，带配方储存功能 调整和定位的电动操纵杆 曝光模式：真空、硬软接触和接近模式 自动楔形效应补偿 标准背面功能： 包含正面所有功能 另外2个CCD相机 数码变焦 电动背面光学对焦

RX 系列激光器采用全新的封装，具有更小的外形尺寸和更高的性能。可为客户提供更丰富的激光器种类选择：红外激光器10W到100W、绿光激光器 5W至70W以及紫外激光器 3W至 45W。高脉冲能量可以通过分光满足多平台加工，从而提升加工效率，降低运营成本。软件的控制界面简洁易懂，提供输出脉冲完全控制同时提供Burst模式。在Burst模式下用户可以选择单个脉冲串中包络多个子脉冲。子脉冲的脉宽为10ps，子脉冲间隔14ns，并且每个子脉冲的大小都可以完全通过编程控制。频率调节范围为单脉冲到8MHz。用户可以改变激光器输出频率也可以通过改变PEC从而改变输出功率，从而最大程度满足各种制成多样性。 优势窄脉宽的皮秒激光器 ( 红外 10ps, 绿光和紫外 ~7ps) 多种波长可选 :1064nm,532nm,355nm。266nm 可按要求提供 低 用 电 功 耗 的 皮 秒 激 光 器（ 功 耗 杰 出 的 TEM00 光 斑 模 式（M2 ≤ 1.2） 优秀的光斑指向稳定性（20μrad） PEC( 功率或脉冲能量控制 ) PSO（位置同步输出）支持对任意 RX 系列进行外部触发，同时保持恒定、稳定的脉冲能量Burst 模式，可单独控制最多 10 个 Burst 脉冲，脉冲间隔为 14ns POD（按需脉冲），其中间隔等于 PRF 的 Brust 脉冲，可以在内部、外部或连续触发，同时保持恒定的脉冲能量

深紫外纳秒固体激光器IMPRESS系列213/224是高重频二极管泵浦调Q固体激光器。其优异的TEM00光束模式非常适合用于计量学和微细加工（如半导体或显示器修复等），其极短的波长适合于直接刻写应用。系统通过RS-232接口完全由电脑控制运行，可接受不同的触发控制模式。深紫外纳秒固体激光器IMPRESS系列213/224典型参数型 号IMPRESS 213IMPRESS 224波 长213 nm224 nm平均功率150 mW300 mW脉 宽 7 ns 9 ns脉冲能量15 μJ30 μJ重复频率0.1-30 kHz0.1-30 kHzM2 因子 1.6 1.6深紫外纳秒固体激光器IMPRESS系列213/224特点 极短紫外波长 插槽安装激光二极管泵浦 优异的光束形貌 超低运行与维护成本 “绿色光电” 24/7连续工业使用IMPRESS 213光束质量IMPRESS 224光束质量深紫外纳秒固体激光器IMPRESS系列213/224应用 光纤布拉格光栅刻写 波长敏感加工 立体光刻 显示器修复 微细加工 半导体检测 倍频氩离子激光器替换 光致发光测量IMPRESS 213-典型值IMPRESS 224-典型值优异的FBG刻写性能 超快刻写速度，仅需数分钟 光纤无需预载氢 高重频刻写光纤光栅质量更高 超低运行与维护成本，体积小 参考文献

单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193IXION-193是单频二极管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换极限。中心波长以0.01nm的精确度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪，精确度可达1pm以保证对激光器调谐的最大控制。 单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193典型参数型 号IXION-193 SLM波 长193.368 nm平均功率10 mW脉 宽 10 ns脉冲能量1.6 μJ重复频率6 kHzM2 因子 1.6线 宽120MHz 0.015pm 0.004cm-1调谐范围80GHz 10pm 2.6cm-1相干长度1 m 单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193特点 工业级的频率转换，密封封装 插槽安装激光二极管泵浦 优异的TEM00光束形貌 脉冲到脉冲之间波动小 免维护与热电温控管理 LabVIEW驱动 内置光谱仪用于波长实时控制单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193应用 193 nm波长计量 光谱仪校准 干涉测量 准分子激光器的种子注入脉冲宽度光谱带宽长时间功率稳定性光束质量

威斯利牌紫外激光打标机采用紫外激光器,三阶腔倍频技术, 与红外激光相比，紫外激光在355nm提供一个小尺寸的点和大的聚焦深度, 短的激光波长打断了材料的分子链,能大大降低材料的机械变形和温度变形，它是一个冷激光，主要运用于高精度的打标和雕刻，特别适合食物， 药品包装材料标识，微孔，玻璃的高速度分划，硅材料的复杂图形晶片切割等。 应用威斯利牌紫外激光打标机主要用于：1.手工艺品、医药、化妆品、录像带等高分子材料包装瓶的精密加工等；2.柔性PCB打标与划线，硅晶片穿孔等；3.液晶玻璃二维码打标、玻璃器皿打孔、金属表面涂层打标等；4.塑料按钮打标、通讯设备打标、电子产品打标、礼品打标、建材打标打标等。 机器特点1）高精度：打标精度高达0.0005mm，为您带来满意打标效果。2）速度快：最快速度达7000毫米/秒，是传统产品的3-5倍。3）热效应小：冷激光，热效应极低，有效防止材料被烧伤或变形。4）能耗低：整机功率500W，每小时耗电0.5度，经济环保。5）超精细激光束：微米级别，是传统产品的10倍之多，尤其适用于精密精细打标。6）高性能控制系统：USB端口传输，传输快速稳定，软件操作简便，功能强大，界面友好易操作。7）兼容性强：可兼容CorelDraw, AI, PS, AutoCAD, Solidworks等软件导出的PLT, BMP, JPG, DXF, TTF, SHX, AI等格式文件。8）打标内容广：可打标数字、文本、图片、图案（含LOGO）、条形码（支持跳码）、二维码（支持跳码）等。 技术参数型号 MY-UV03 激光功率 3W 可选激光功率 5W/7W/10W 激光波长 355nm 工作区域 150*150mm 光束质量 M2 1.1 输出激光功率 0~100%可调整 输出频率 5KHz~80KHz可调整 功率稳定性 (8h) ±1%rms 脉宽 10-50ns 焦点直径 0.01mm 紫外激光器（制造商） 英谷激光 振镜 (制造商) 加沃泰克 控制器(制造商) 北京金橙子 打标速度 7000mm/s 最小线宽 ≤0.005mm 最小字符 0.15mm 重复精度 ±0.003mm 兼容的文件格式 PLT, DXF, AI, BMP, JPG and so on. 运行环境系统 Windows XP/7/8/10 64bits 冷却方式 水冷 操作环境 15℃~35℃ 紫外激光器寿命 最大20000小时

产品性能：百级超净实验室封装优越的光束质量（M21.3）长期工作稳定性高，24/7工业级运用一体化设计，结构简单，性能可靠波长短，聚焦小，适用于精密加工RS232控制，外部GATE/TTL/PWM控制INNGU 0S 2.0版本，WINDOWS操作软件可选的操作人员锁定和报警设置功能产品用途：皮秒紫外激光器适用于先进的精密激光加工领域（玻璃、蓝宝石、OLED和陶瓷等硬脆性材料加工）。产品包装：加固的产品包装，有效防止激光器在运输过程中受到碰撞和损害。机器包装既便捷，也有效做到了防湿、防潮、防锈、防震。售后服务：1、终身提供维护服务2、免费为客户提供专业的技术咨询服务3、免费为客户提供打样服务4、电话服务与现场服务

IMPRESS 213/224深紫外激光器IMPRESS系列激光器是一款高重复率固态二极管泵浦调Q激光器，激光器波长有213nm和224nm。213nm激光器的脉冲宽度7ns，224nm激光器脉冲宽度9nm，M2都小于1.6。激光器系统通过RS232接口完全由电脑控制。可选不同的重发控制模式。应用 光纤布拉格光栅制造 波长灵敏工艺 激光立体制版 显示器修理 微型加工 半导体检测 替代倍频亚离子激光器光致发光测量特点 极短UV波长 二极管激光器泵浦 二极管激光器装在插槽内 优良的光束质量 高脉冲功率 超低维护费用 “绿色光电子学”24/7连续使用杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：网址： /邮箱：

New Wave NWR femto——飞秒激光剥蚀系统分馏效应解决方案 - 减少热效应以达到精确化学计量分析和获得良好的分析数据集成式飞秒激光剥蚀系统，大大推进了LA-ICP-MS中的飞秒激光应用。飞秒激光剥蚀系统，将所有包含其中的组成部分结合成为一个整体，用户只需要通过一套软件，就可以完成对激光、光路、显微成像、样品室控制等所有LA-CIP-MS实验的步骤，使更多实验室进行飞秒激光剥蚀进样实验成为可能，必将对LA-CIP-MS在微区、原位分析的准确性和应用领域扩展产生深远影响。飞秒激光脉冲冲产生超强的辐照度，剥蚀过程几乎不产生热效应，大大降低激光造成的分馏现象。一体式飞秒激光剥蚀系统为用户提供了一个完整的飞秒激光剥蚀解决方案。　　　 飞秒激光剥蚀进样系统——紧凑稳固 高能量的Pharos HE飞秒激光源，出自Light Conversion 较小的占用面， 新型加强型紧凑推车 (RUCC) 积，较好的移动性能 紫外和远紫外可选 高清晰度视野 重复频率1-1000Hz 触摸屏设计，广角导航 100mm x 100mm 高性能剥蚀池 ActiveView 2 软件，图片分层管理可选附件 150mm x 150 mm超大LFC样品室 附加软件-加N2 条件下调控质量流量控制器 多路质量流量控制器 用户定制的样品承载件

Skylark Lasers公司成立于2013年，总部位于苏格兰光子学和光电子产业中心的爱丁堡，专注于设计和生产高性能紧凑型二极管泵浦固态（C-DPSS）激光器，具有优异的光谱特性，可从狭窄的光谱范围中提供高输出功率。Skylark利用了专利BRaMMS技术平台对高功率单频连续DPSS激光器进行开发、设计和制造创新。该专利技术平台具有市场上最高的输出功率。Skylark的单频激光器系列涵盖从紫外到近红外的波长范围，为许多高精度应用提供解决方案，包括拉曼光谱、布里渊散射、全息、计量、流式细胞术、显微技术和量子技术等，受到全球科研和工业客户的信赖。Skylark 349激光器可提供半导体激光器泵浦（DPSS）连续单频紫外光信号，提供高达200 mW的输出功率、出色的光谱特性、超稳定的输出和极低的噪声，具有紧凑的占地面积和多功能软件包，使其适用于系统集成和各种要求苛刻的应用。 产品特点-超窄带宽＜0.5 MHz-光谱稳定性高（8小时测试）＜0.2 pm-功率稳定性高（8小时测试）＜2%（P-P值）-集成设计，易于安装 应用领域半导体检查、晶圆制造、光刻、共聚焦显微镜、拉曼光谱、生物医学/生物工程、流式细胞仪、荧光、磁盘母板制造、衍射光栅母板制造等 产品参数 中心波长349 nm输出功率最高200 mW（功率范围内为固定值）光谱带宽≤0.5 MHz空间模式TEM00操作模式连续、SLM光谱稳定性（超8小时测试）±0.2 pm输出功率稳定性（超8小时测试）≤ 2%（P-P）输出功率噪声（10 Hz-10 MHz）≤ 0.1% RMS预热时间5-30分钟功耗＜200 W光束高度65 mm出瞳光斑直径0.6-1.2 mm光束发散角1.0 mrad，衍射极限光束指向稳定性≤5 μrad/℃相干长度＞100 m偏振比≥100:1，垂直偏振激光头长×宽×高240 mm×150 mm×100 mm控制器长×宽×高238 mm×170 mm×54 mm环境温度范围18-30℃激光接口稳定性±1.5℃储存温度0-50℃湿度0-50%，无冷凝激光头全密封插入式USB连接联合热沉多功能控制软件远程诊断支持热沉（可选配件）风扇辅助风冷或水冷式热电制冷外部手动功率控制（可选配件）0-100%连续可调 可选附件或配置1.闭环冷水机组通过紧凑的闭环冷却增强强度稳定性。实现激光系统的便携性，无需依赖水管连接。 2.风扇辅助散热片紧凑、低成本的系统冷却，集成到激光平台中。智能控制，保持稳定的波长输出和强度。 3.光纤耦合提供外部光纤耦合选项，以实现更轻松的集成。多模光纤通常可实现 95%的耦合效率，而单模光纤则有 70%的耦合效率。 4.软件电源控制灵活、简便的输出功率调节，以延长系统寿命。 5.外部功率调制AOM 配置可在输出强度上实现高达 200 kHz 的调制

Skylark Lasers公司成立于2013年，总部位于苏格兰光子学和光电子产业中心的爱丁堡，专注于设计和生产高性能紧凑型二极管泵浦固态（C-DPSS）激光器，具有优异的光谱特性，可从狭窄的光谱范围中提供高输出功率。Skylark利用了专利BRaMMS技术平台对高功率单频连续DPSS激光器进行开发、设计和制造创新。该专利技术平台具有市场上最高的输出功率。Skylark的单频激光器系列涵盖从紫外到近红外的波长范围，为许多高精度应用提供解决方案，包括拉曼光谱、布里渊散射、全息、计量、流式细胞术、显微技术和量子技术等，受到全球科研和工业客户的信赖。Skylark 320激光器可提供半导体激光器泵浦（DPSS）连续单频紫外光信号，提供高达200 mW的输出功率、出色的光谱特性、超稳定的输出和极低的噪声，具有紧凑的占地面积和多功能软件包，使其适用于系统集成和各种要求苛刻的应用。 产品特点-超窄带宽＜0.5 MHz-光谱稳定性高（8小时测试）＜0.2 pm-功率稳定性高（8小时测试）＜2%（P-P值）-集成设计，易于安装 应用领域半导体检查、晶圆制造、光刻、共聚焦显微镜、拉曼光谱、生物医学/生物工程、流式细胞仪、荧光、磁盘母板制造、衍射光栅母板制造等 产品参数 中心波长320 nm输出功率最高200 mW（功率范围内为固定值）光谱带宽0.5 MHz空间模式TEM00操作模式连续、SLM光谱稳定性（超8小时测试）±0.2 pm输出功率稳定性（超8小时测试）≤ 2%（P-P）输出功率噪声（10 Hz-10 MHz）≤ 0.1% RMS预热时间5-30分钟功耗＜200 W光束高度65 mm出瞳光斑直径0.6-1.2 mm光束发散角1.0 mrad，衍射极限光束指向稳定性≤5 μrad/℃相干长度＞100 m偏振比≥100:1，垂直偏振激光头长×宽240 mm×150 mm×100 mm控制器长×宽×高238 mm×170 mm×54 mm环境温度范围18-30℃激光接口稳定性±1.5℃储存温度0-50℃湿度0-50%，无冷凝激光头全密封插入式USB连接联合热沉多功能控制软件远程诊断支持热沉（可选配件）风扇辅助风冷或水冷式热电制冷外部手动功率控制（可选配件）0-100%连续可调 可选附件或配置1.闭环冷水机组通过紧凑的闭环冷却增强强度稳定性。实现激光系统的便携性，无需依赖水管连接。 2.风扇辅助散热片紧凑、低成本的系统冷却，集成到激光平台中。智能控制，保持稳定的波长输出和强度。 3.光纤耦合提供外部光纤耦合选项，以实现更轻松的集成。多模光纤通常可实现 95%的耦合效率，而单模光纤则有 70%的耦合效率。 4.软件电源控制灵活、简便的输出功率调节，以延长系统寿命。 5.外部功率调制AOM 配置可在输出强度上实现高达 200 kHz 的调制

STA-01-OEM紫外单频皮秒激光器STA-01-OEM是一款被动调Q单纵膜激光器，脉冲宽度＜1ns，峰值功率可达200kW，重频可达120kHz，光束质量M21.2。该款激光器可靠性高，由激光头和供电模块组成。供电模块包括一个LD电源驱动，光纤耦合LD和内部脉冲信号发生器。产品特点:● TEM00，SLM● 性价比高的1062.5/1064nm激光器● 高输出能量和峰值功率● 重复频率可达120kHz● 高光束质量＜1.1● 超短脉冲＜1ns● 高度可靠和稳定性● OEM设计● 性价比高型号STA-01-THSTA-01-FH波长，nm355266最大输出功率，mW1520脉冲能量，μJ＞1.520脉冲宽度（FWHM），ns＜0.5＜0.5最大重复频率，Hz*100000.1-1000M2＜1.2光谱特性单纵模偏振比＞100:1 光束腰直径，μm**25-200光谱宽度（FWHM），pm＜5脉冲能量稳定性，RMS＜0.6%功率稳定性@6小时***＜±1.5%接口USB, 外触发工作电压，VAC100-240激光头尺寸，mm直径30 长度120质保期12个月 或 5000小时*厂商设定工作重频**模式决定束腰位置***5-10分钟预热之后，温度变化±3℃或3℃/小时。可提供的波长：1062nm，531nm，354nm，265.5nm

产品说明激光系统控制器用于驱动需要短脉冲或长脉冲的高电流非线性响应的器件，包括光学器件，如高功率量子级联激光器、红外激光二极管、led或电子器件，如耿氏二极管或高速晶体管和整流器。 激光系统控制器很好地替代了过时的Keysight/Agilent 8114A或Avtech的AV-107，并提供了额外的功能。 S-3提供了许多可编程的选项，可以通过USB端口从电脑上编程，一经完成，如果您打算持续使用设备，您可以只在开机时启动，不需要任何电脑命令来打开它进行完全独立的操作。激光系统控制器适用于Mac OS X、Linux和Windows计算机。产品特点： 输出电流为500MA、1A、1.5A或2A 低噪声：0.4μA RMS，最高100kHz（500mA型号S-4，典型） 顺从电压可调，10至20 V(注意:该单元将只交付电压负载要求的，达到顺从电压限制。) 模拟调制高达2-3MHz 模拟调制输入在-5V和+5V之间 恒流模式运行 触摸屏提供更直观的用户界面 符合 CE 标准，符合 CDRH 激光法规驱动程序兼容性：标准的二极管驱动器，具有数字和模拟控制界面 脉冲模式选项择单脉冲，脉冲的，突发序列脉冲和CW模式突发序列脉冲计数1 to 65535 个脉冲内部速率发生器速率0.1 to100,000 Hz分辨率100 ns精度25ns抖动（plus to plus）1ns RMS计时脉冲宽度范围100ns to10s脉冲宽度分辨率100ns精度25ns模拟测量范围0.01 to10 VDC分辨率10mVDCQ-开关触发模式可行/不可行延迟范围-6.5 ms to + 6.5 ms (从脉冲控制的下降沿) *脉冲控制的上升沿总延迟时间为13毫秒。.振幅4 to 5V宽度5us频率0.1 to 50KHz分辨率200ns精度25ns抖动（从脉冲控制的下降沿）2ns（峰值）同步模式脉冲控制，Q开关控制, 脉冲/Q开关振幅4 to 5V延迟脉冲控制的上升沿460ns脉冲控制的下降沿750nsQ-开关上升沿75nsQ-开关下降沿105ns抖动脉冲控制25ns（峰值）Q-开关控制2 ns (峰值)外触发模式启动，中止，启动/中止，门和上升或下降沿模式输入电平2 to 20V插入延迟1.7us插入抖动100ns（峰值）频率0 to 100KHz光电二极管范围0 to 330uA分辨率10 位热敏电阻（A&B）范围2K to 100KΩ分辨率10 bit通信USB，以太网可选*未来的选择包括：板级的OEM集成，和以太网通信产品可定制 & OEM

Evolution 201/220 紫外可见分光光度计 E201紫外可见分光光度计2011年度R&D 100 大奖获得者。 该紫外可见分光光度计采用新型 Thermo Scientifi Evolution 201 和 220 紫外-可见光系统进行分析，扩展了实验室的应用范围，并提高了工作效率。 借助新一代 INSIGHT 软件实现机载控制和计算机控制，您的仪器始终将保持最新状态，并能随时应对下一个挑战。 我们的自定义用户环境 (CUE) 软件允许您完全自定义逻辑测量步骤和输出环境，从而将您的常规测量提升到新的水平。E201紫外可见分光光度计无论常规分析还是研究分析，该系列仪器真正的创新之处在于增强了实用性和性能 － 却不会增加复杂性。 简单的软件、先进的仪器以及广泛的附件选择让 Evolution 201 和 220紫外分光光度计 系统能按您希望的方式进行实验并获得您需要的结果。 E201紫外可见分光光度计INSIGHT 软件——化繁为简个性化的主屏幕，易于导航，增强了便利性工作手册工具可以节省时间，确保实验结果的准确性CUE 脚本允许创建定制的界面和简化的工作流程E201紫外可见分光光度计优化的工程学设计可提供最佳性能1.0nm的分辨率，双光束（Double-Beam）配置适应所有的QA/QC应用程序1nm 光谱带宽的双光束几何元件实现各种精密测量光学汇聚 (AFBG) 技术极大程度上优化了微量池、固体样品和光纤探针的性能氙闪光灯无需预热时间，可进行瞬时测量采用电子触发，为快速混合动力学测定提供最高水平的准确度精密的单色器驱动设计，提供快速扫描数据采集和波长准确度指尖轻点，轻松完成利用彩色触摸屏和内置计算机进行仪器控制采用集成式键盘与 INSIGHT 软件通讯灵活便利的本机或计算机配置选项E201紫外可见分光光度计满足所有采样需求的附件多种附件选择，包括各种温度控制选件、样品转换器、吸样器和固体采样装置，帮助您完成分析任务选择 Peltier 单个池架或智能 Peltier 8 联池系统来进行温度控制，并对样品实施 0°到 100 °C 的监控易于使用的软件集成化帮助您完全控制整个测定过程E201紫外可见分光光度计保障系统性能赛默飞紫外校验包支持各种系统认证和验证工作文件记录功能确保您的系统符合 FDA、GxP、ISO 9001:2000 和 ISPE 2001 规定和条例的要求汞灯附件可用于进行仪器校准赛默飞 INSIGHT security 软件能够提供完整的工具以符合 21 CFR 第 11 部分要求技术参数：光学系统设计 双光束配有样品和参比池架位置，Czerny-Turner 单色仪 AFBG（ 光学汇聚技术）光谱带宽 1.0nm（201 型） 1nm 和2nm 可变（220 型）光源 闪烁氙灯，质保3 年，一般情况寿命大于5 年检测器 双硅光二极管可测数据模式 吸光度Abs，透射率T%，反射率R%， Kubelka-Munk，log（1/R），log（Abs），Abs*Factor，强度Intensity分辨率 1.6波长范围 190nm 至1100nm波长准确度 ±0.5 nm（546.11 nm 汞线）波长重复性 0.1nm扫描速度 1 至6000nm/min，可调节数据点间隔 10，5，2，1.0，0.5，0.2，0.1 nm吸光度范围 3.5A吸光度准确度 ±0.004A噪声 0.0001（260nm）稳定性（漂移） 0.0005A/h（500nm）杂散光 0.05%T（220nm）基线平直度 ±0.0010A键盘 膜密封本机控制显示 触摸屏LCD 面板；800×480；17.8 cm（对角线）屏幕操作系统 内置微软Windows XP尺寸 62.2 cm 长 ×48.6 cm 宽 × 27.9 cm 高重量 14.4 公斤电源 100-240 伏，50-60Hz，自动选择，最大功率150 瓦

立陶宛Workshop of Photonics公司从2003年进入飞秒激光微加工领域，成为全球领先的飞秒激光微加工设备以及解决方案提供商。WOP主要业务包括：飞秒激光微加工可行性分析，定制飞秒激光系统和光学组件，激光微加工车间，激光微加工自动化软件，定制激光系统和设备控制电路。■ 飞秒激光加工系统 FemtoFABFemtoFAB是一款工业用飞秒激光微加工设备。配置选定后，根据客户特定激光加工应用调试，包括对任何材料激光切割，激光划片，激光钻孔，3D激光铣削（使用的激光峰值功率2.4GW）。系统使用Class 1激光安全防护罩，通过单个SCA工程软件窗口控制。FemtoFAB提供激光同步移动控制和/或集成扫描振镜系统控制，对不同工业微加工应用，提供最佳的速度和精度参数。产品在立陶宛设计和装配。产品特点：●高加工速度，最高350000px/s●加工不同物体亚微米分辨率●飞秒加工模式具有最小热影响区●直驱亚微米精度位移台●使用高性能扫描振镜精细激光束控制●点数控制（单点到350KHz）●激光脉冲和移动物体在空间和时间上同步●原版软件界面控制所有集成的硬件设备产品应用：●微光学●光伏产业●多光子聚合●生物医学技术传感器●其他精细微加工任务样品特性材料固体材料，液态聚合物尺寸（mm）150×150×150光束成型和控制脉冲选择集成、自动控制扫描振镜10m/s扫描速度，5×5聚焦高NA非球面镜或物镜，焦长1.45-18.4mmSLM（选配）1920×1080,15.36mm×8.64mm，16bit，反射式位置类型XYZ，线性电机，交叉定位，空气轴承（选配）加工速度350mm/s工作区域（mm）160×160分辨率（nm）1位置精度（nm）±300重复性（nm）±50稳定度（nm）3样品支架真空夹头激光参数激光介质Yb:KGW波长1028±5nm功率（W）4（6，8，10选配）振荡器输出功率（W）0.7-1.5脉冲能量（mJ）1重频（KHz）200（600,1000选配）脉宽200fs-10ps（可调）；80fs（振荡器）光束质量M21.2输出脉冲稳定性1%RMS谐波产生器谐波SH（515nm），TH（343nm）选配，FH（258nm）选配转换效率（@200KHz）50%（SH），30%（TH）选配，10%（FH）选配谐波产生器功率控制激光输出，电动衰减器位移台控制2.5D微加工，3D XYZ指令控制界面算法窗口，虚拟或GUI操纵杆图形或矢量格式.bmp，.plt

1. 采用进口高功率高稳定紫外皮秒激光器直接烧蚀气化材料，无热影响区，最小4μm加工光斑，亚微米级粗糙度和直线度。2. 通过精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现小幅面高速精细加工，加工精度优于±3μm，局部尺寸精度优于2μm。3. 通过高精度直线电机驱动平台平移实现大幅面精密加工，重复精度高达±1μm。4. Z轴电动可调，以适应不同厚度材料，满足立体结构精细加工要求。5. 旁轴高分辨率工业网口相机用于振镜全幅面误差校正，保证系统长期使用稳定性和精度；同时，用于高精度对焦，刻蚀深度测量以及加工尺寸测量。6. 支持工件高精度定位加工，自带偏移补偿功能。7. 系统采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度。8. 可用于加工玻璃、有机物、金属、陶瓷等基本所有固体材料，实现蚀刻、盲孔、通孔、开槽、切割等。9. 最小加工线宽5μm，加工范围300*300mm可定制。应用范围：生物芯片制备、半导体柔性电路板切割、ITO膜层蚀刻、微电子器件制造、印刷模板制备、精密微型模具成型

紫外线激光打标机采用355nm的紫外器研发而成，该机采用三联阶腔内倍频技术，355nm紫外光焦光斑极小，能在很大程度上降低材料机械变形且加工热影响小，紫外激光主要是以小功率为主，其系列产品主要有 \ML-W3\ML-W5\ML-W8\ML-W10等系列，其功率主要根据加工材料的要求来定制，加工效果和功率有着很大的关联。