运动平台二轴三轴

两轴倾斜平台 OMXC127B产品特点：材质：6061-T6 铝合金 产品介绍：OMTOOLS 两轴倾斜平台 OMXC127B可提供倾斜调整，以对准光学组件。它具有运动学特性，带有硬化和抛光的钢球枢轴以及弹簧预加载的球头调节装置。这个平台使用测微头为长轴提供了-3.5°到14°的角度调节，为短轴提供-5°到16°的角度调节。这使得组件可以定向到与任意平面平行。 型号倾斜角度范围俯仰角度范围灵敏度负载OMXC127B-3.5°～+14°-5°～+16°7”67N

产品特点 l &Yuml XY轴直驱结构，Z轴丝杆结构 &Yuml 精密滚柱直线导轨导向l &Yuml 三轴光栅闭环反馈 &Yuml 优化线缆管理系统l &Yuml 结构、行程可定制 &Yuml 用于激光加工、3D打印等 应用领域RBLM-XY-ZSG系列三轴精密运动台，定龙门结构，XY轴直驱结构安装到大理石基座上，Z轴伺服电机驱动安装到大理石横梁上，用于激光加工、3D打印等领域。 结构特点XY轴为直驱结构，精密滑块滚柱导轨直接安装到大理石基座上，光栅尺闭环反馈。三片式十字叠层结构，有效降低XY轴上工作点的高度，X轴的宽度是Y轴长度的2/3，避免移动到极限位置时不稳，提升整体精度性能。 Z轴结构Z轴安装在大理石龙门桥架上，伺服电机驱动带断电抱闸功能，防止断电负载脱落或出现人身伤害。可选配光栅尺闭环反馈，提升精度性能。根据用户的应用，确认Z轴到XY轴工作点的高度和间距。 精度性能瑞邦精控对结构设计、材料选择、加工工艺、装配及检测方法等综合应用，XY轴重复定位精度±0.3μm，Z轴重复定位精度±0.5μm。 大理石机体大理石作为机体，大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。 规格指标型号 Model单位 UnitsRBLM-200XY-50ZSGRBLM-300XY-100ZSG轴系 Axis—XYZXYZ行程 Travelmm20020050300300100补偿后定位精度Accuracy高精版 Plusμm±0.5±1±0.5±1普通版 Standard±1±1±1±1.5双向重复定位精度Bi-Dir Repeatability高精版 Plusμm±0.3±0.5±0.3±0.5普通版 Standard±0.5±1±0.5±1直线度 (1)Straightness高精版 Plusμm±1±1±1.25±1.5普通版 Standard±2.5±1.5±3.5±2.5平面度 (1)Flatness高精版 Plusμm±1.25±1±1.5±1.5普通版 Standard±2.5±1.5±3.5±2.5电子分辨率 Electronic Resolution (2)nm0.3 或 5（XY选配）最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)m/s10.210.2最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3)m/s² 1, (5, 10 定制)11, (5, 10 定制)1最大负载 Max Load30153015 规格指标型号 Model单位 UnitsRBLM-400XY-150ZSG轴系 Axis—XYZ行程 Travelmm400400150补偿后定位精度Accuracy高精版 Plusμm±0.75±1.5普通版 Standard±1±2双向重复定位精度Bi-Dir Repeatability高精版 Plusμm±0.4±0.5普通版 Standard±0.5±1直线度 (1)Straightness高精版 Plusμm±1.75±2普通版 Standard±4.5±4平面度 (1)Flatness高精版 Plusμm±2±2普通版 Standard±4.5±4电子分辨率 Electronic Resolution (2)nm0.3 或 5（XY选配）最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)m/s10.2最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3)m/s² 1, (5, 10 定制)1最大负载 Max Loadkg3015注：以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。1. 取决于平台安装表面的平面度。2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。 订购信息型号RBLM-200XY-50ZSG-N-N-1-0-C3-3-N描述三轴精密运动台X轴行程200mm；Y轴行程200mm；Z轴行程50mm普通版默认增量式光栅1Vpp反馈零点在行程中心位置坦克拖链线缆长度3米无支撑钢架 名称型号描述龙门系统RBLM三轴精密运动台行程-200XY-50ZSG-300XY-100ZSG-400XY-150ZSGX轴行程200mm；Y轴行程200mm；Z轴行程50mmX轴行程300mm；Y轴行程300mm；Z轴行程100mmX轴行程400mm；Y轴行程400mm；Z轴行程150mm精度等级-N-PLUS普通版高精版电子分辨率-N-0.3-5默认电子分辨率0.3nm电子分辨率5nm反馈方式-1-T-ABS增量式光栅1Vpp反馈增量式光栅TTL反馈绝对式光栅反馈零点位置-L-0-R零点在行程左极限位置零点在行程中心位置（标配）零点在行程右极限位置线缆管理-C2-C3无尘拖链坦克拖链线缆长度-3-5-DZ长度3米（标配）长度5米定制支撑钢架-Y-N有支撑钢架无支撑钢架（标配）

OMSDH03交叉滚柱导轨系列三维手动平移台（XYZ方向）产品介绍：OMSDH03交叉滚柱导轨系列三维手动平移台（XYZ方向），主体材料采用铝合金，灵敏度高，外形尺寸小使用交叉滚柱导轨，为分厘卡或螺纹副驱动，该系列产品具有小于2um的灵敏度。平移台采用交叉滚柱导轨结构，承载能力更大，移动的稳定性和平稳性更好。采用微分头调节，可以直接读数，使用十分方便，是最广泛应用的平移台款式之一。产品底部有安装螺孔，可以直接连接其他台面，或者转接到安装底板上再固定于光学平台或平板上使用。标准产品材料是优质航空铝，如有特殊需要也可做不锈钢材质的平移台。 产品特点：■采用交叉滚柱导轨，负载能力强，耐磨性好，保证了产品的灵敏度等关键指标■ 主体材料采用铝合金，表面发黑处理，适合于光学实验等对于手动调节精度要求较高的领域使用■ 具有分厘卡驱动方式，每种产品分为左侧、右侧、中间驱动，非常灵活方便,客户可根据需求选择■产品尺寸丰富，配套性好，交货期短，性价比高。 选型表：型号OMSDH03AEOMSDH03AFOMSDH03AGOMSDH03AHOMSDH03AIOMSDH03AJ 机械规格台面尺寸(mm)40X4060X6065X6580X80100X100125X125行程(mm)X轴:13X轴:13X轴:25X轴:25X轴:25X轴:25Y轴:13Y轴:13Y轴:25Y轴:25Y轴:25Y轴:25Z轴:13Z轴:13Z轴:25Z轴:25Z轴:25Z轴:25使用标准平移台X轴: SPYD40L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD60L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD65L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD80L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD100L(R)(ZL)(ZR)X轴: SPYD125L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD40L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD60L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD65L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD80L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD100L(R)(ZL)(ZR)Y轴: SPYD125L(R)(ZL)(ZR)Z轴: SPYZ40L(R)Z轴: SPYZ60L(R)Z轴: SPYZ65L(R)Z轴: SPYZ80L(R)Z轴: SPYZ100L(R)Z轴: SPYZ125L(R)传动机构分厘卡导轨（导向机构）交叉滚柱导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理 自重(kg)0.50.91.02.02.73.8 精度规格分厘卡最小读数0.01mm灵敏度 2 um平行度30 um运动平行度10 um偏摆(”)25选配安装底板OMLA01NAOMLA02OMLA03OMLA04负载(kg)2.13.53.54.910.514OMSDH03燕尾副导轨系列三维手动平移台（XYZ方向）产品介绍：OMSDH03燕尾副导轨系列三维手动平移台（XYZ方向），采用细牙研磨丝杠调节，结构紧凑，高度较小，可在有限的空间内安装使用，调节方便。平移台采用燕尾副导轨结构，负载能力强。产品底部有标准安装螺孔，可直接固定于光学平台或平板上使用。标准产品材料是优质航空铝，如有特殊需要也可做成不锈钢材质的平移台。 产品特点：■燕尾副导轨，大行程，负载能力强■研磨丝杠螺距小，灵敏度较高■带有刻度尺，读取数据快速便捷■具有锁紧功能，锁紧效果好，稳定性高■具有各种行程和尺寸，产品非常丰富产品选型表：型号OMSDH03AAOMSDH03ABOMSDH03ACOMSDH03AD 机械规格台面尺寸(mm)65X65行程(mm)X轴:25X轴:50X轴:75X轴:100Y轴:25Y轴:50Y轴:75Y轴:100Z轴:25Z轴:50Z轴:75Z轴:100使用标准平移台X轴:SPYB25 X轴:SPYB50X轴:SPYB75X轴:SPYB100Y轴:SPYB25Y轴:SPYB50Y轴:SPYB75Y轴:SPYB100Z轴:SPYB25Z轴:SPYB50Z轴:SPYB75Z轴:SPYB100传动机构细牙研磨丝杠导轨（导向机构）燕尾副导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重(kg)1.21.41.51.8最小读数0.1mm负载5kg

MacroBlock三轴挠性平台 Related Products 特性挠性设计确保了连续平稳的移动紧凑型设计：桌面到移动载物台的高度：62.5毫米桌面到配件光轴的距离：75毫米无滑动配件避免摩擦挠性设计避免了油脂的使用，并且增强了长期稳定性MicroBlock&trade 三轴移动平台提供的连续平稳移动使得该装置几乎适用于所有的微定位应用。新颖的挠性设计可以产生三个互相垂直的线性移动自由度，从而避免了传统轴承传递平台的静摩擦和摩擦造成的严重的限制。润滑剂是定位装置偏移的主要来源之一，套嵌式挠性平台允许该平台在不需要任何润滑剂的情况下无限制的使用。延伸到平台顶部安装面的中间的键槽允许系统在保证准直的前提下快速重装。Thorlabs还为该MicroBlock系统提供了很多配件。MBT616平台具有紧凑的差动调节器，在300微米的微调范围内提供了50纳米的精度（理论值）。 MBT602平台是经济型的三轴挠性平台，包括一个节距为0.5毫米的翼形螺钉调节器。带固定差分调节器的3轴NanoMax平台 Related Products 特性每轴的行程为4毫米挠性设计，确保无摩擦的平滑连续运动紧凑型设计：157.4毫米x160.4毫米x62.5毫米（6.2英寸x6.31英寸x2.46英寸），包含驱动器在内增强的长期稳定性所有调节器都固定在底板上，消除串扰包含压电电缆和反馈电缆NanoMax平行挠性平台当MAX300系列平行挠性平台应用于亚微米精度的对准应用时，其优势是显而易见的。使用传统的多轴层叠式平台时，接触两个驱动器中任何一个不以底座为参考的驱动器都会在装置内产生不必要的运动。相反，把NanalMax系列平台的每个驱动器都直接耦合到平台底座上，将会消除这些不利影响。 Common SpecificationsTravel4.0 mmLoad Capacity (Max)2.2 lbs (1 kg)Coarse Adjustment Range0.5 mm/revFine Adjustment50 µ m/rev (300 µ m Range)Piezo Specifications (MAX314 and MAX315 Only)Piezo Voltage Range0 - 75 VPiezo Range20 µ mPiezo Resolution (Theoretical)20 nm (5 nm with Strain Gauge)Piezo Bidirectional Repeatability200 nm Open Loop,5 nm Closed LoopPiezo Absolute On-Axis Accuracy1.0 µ m精密差分驱动器差分驱动器提供4毫米的粗调行程和300微米的细调行程，其分辨率为每转50微米。在精密行程调整器上的刻度为要求绝对定位的应用提供了一个清晰的参考点。配件的简易对准顶部平台的中心键槽能在保持配件对准的前提下实现快速的系统重新配置。多种配件可供选择，用于安装显微物镜，准直镜，波导和光纤等。如果需要安装偏离中心的元件，可将带槽顶板替换为带有1/4英寸-20（M6）和#8-32（M4）阵列安装孔的RB13P1转接板（参见本页面上方的图）。另外，还提供多种转接板，可将NanoMax系列平台安装到一系列Thorlabs旋转平台和大行程线性平台上。总之，这些特性使得MAX300挠性平台成为需要高稳定性和高重复性的对准应用的坚实工作平台。3轴NanoMax平台，带差分驱动和闭环压电驱动器Zoom 闭环压电驱动器 20微米压电驱动行程 5纳米细调分辨率MAX341采用直接嵌入在平台主体内部的闭环压电驱动器，能提供20微米的行程和5纳米的定位分辨率（闭环控制）。它有三个应变计位置传感器，将提供与压电元件的位置成线性关系的反馈电压信号。该信号可以用来补偿迟滞、蠕变和压电元件本身存在的热漂移。如果用闭环控制器（比如BPC203，MPZ601，或者TPZ001和TSG001结合）驱动，压电驱动器就能以闭环模式控制，可以把定位精度从20纳米提高到5纳米。此外，迟滞、蠕变和压电器相关的漂移能通过闭环控制来监测和补偿。此外，当平台与NanoTrak控制器（BNT001 ，MNA601，或者TNA001）耦合使用时，系统变为一个功能强大的自动对准装置，它既能保正光通量，又能消除热漂移和其它外部压力引起的耦合效率的降低。3轴NanoMax平台，差分驱动，压电驱动器Zoom 开环压电驱动器 20微米压电驱动行程 20纳米细调分辨率MAX315采用开环压电驱动器（该驱动器直接集成在平台主体内），提供20微米的行程和20纳米的定位分辨率。兼容的控制器有MDT693A，BPC203，MPZ601，和TPZ001。此外，当平台与NanoTrack控制器（BNT001，MNA601，或TNA001）结合使用时，系统变为一个功能强大的自动对准装置，既能保正光通量，又能消除热漂移和其它外在压力引起的耦合效率的降低。带螺纹孔的顶板Zoom这种顶板可替代标准的带槽顶板。它有许多13个1/4英寸-20（M6）和12个8-32（M4）的安装孔阵列，能将通用的配件和组件转接到平台上。带步进电机的三轴NanoMax平台 Related Products 特性每轴的行程为4毫米挠性设计，确保无摩擦的平滑连续运动紧凑型设计增强的长期稳定性所有调节器都连接到一个共同的底面和侧面内附压电和反馈电缆NanoMax平行挠性平台拥有专利的MAX300系列平行挠性设计的优势是显而易见的，特别是在要求亚微米或更高分辨率的对准应用中。通常，在多轴层叠式平台中，接触两个驱动器中任何一个不以底座为参考的驱动器都会在装置内产生不必要的运动。把每个NanalMax系列平台驱动器直接耦合到平台底座上，将会消除这些不利影响。Item #MAX300 SeriesTravel4.0 mmStepper Motor TypeDRV001Backlash7 µ mMax Acceleration4 mm/sec2Max Velocity2.5 mm/secMin Achievable Incremental Movement60 nmBidirectional Repeatability500 nmAbsolute On-Axis Accuracy1.0 µ mHome Location Accuracy± 1.5 µ m步进电机驱动器与MAX341和343平台一起出售的DRV001控制器具有60纳米的步长和高达4毫米/秒的速度，同时还提供500纳米的双向重复性。带陶瓷头高精度限位开关为电机复位提供了高重复性。这对依赖于高重复的零点定位的自动对准应用非常重要。闭环内置压电驱动器MAX341和MAX342采用直接嵌入在平台主体内部的压电驱动器，提供20微米的行程和20纳米的定位分辨率。MAX341还有三个应变计位移传感器，提供与压电元件的位移成正比的电压信号。这个信号用于补偿迟滞，蠕变，和所有压电元件固有的热漂移。如果用闭环控制器（如BPC203，MPZ601，或TPZ001和TSG001 组合）驱动，压电驱动器能用反馈模式控制，将定位精度从20纳米提高到5纳米。此外，还能通过闭环控制监测和补偿迟滞，蠕变和压电陶瓷相关的热漂移。把附加的压电扩展器和DRV001步进电机驱动器组成一个系列的模块设计，能增加压电陶瓷的移动量。此外，当平台与BNT001，MNA601或者TNA001NanoTrak控制器结合使用时，这个系统将成为一个强大的自动准直器，既能保证光通量，又能消除温度漂移或其它外在压力引起的耦合效率降低。配件的简易对准顶部平台的中心键槽能在保持配件对准的前提下实现快速的系统重新配置。多种配件可供选择，用于安装显微物镜，准直包，波导和光纤等。如果需要安装偏离中心的元件，可将带槽顶板替换为带有1/4英寸-20（M6）和#8-32（M4）阵列安装孔的RB13P1转接板（参见本页面上方的图）。另外，还提供多种转接板，用于将NanoMax系列平台安装到一系列Thorlabs旋转平台和大行程线性平台上。总之，这些特性使得MAX300挠性平台成为需要高稳定性和高重复性的对准应用的坚实工作平台。带移动平台的压电控制器 Related Products 该MDT630A是一个预配置的、压电型运动控制系统，配有驱动电子设备，用户界面软件，3轴挠性平台，精密手动调节器和连接到系统需要的所有缆线。该压电控制器是我们的流行MDT693A三通道压电驱动器，它具有以下特性： 高输出电压（3至150伏）高电流驱动能力（60 毫安）高精度，低噪声输出单个通道控制或主扫描控制图形用户界面软件 请注意，MDT693A可通过开关选择输入电压为115或230 V，并附带一根美制电源线。带差分测微头驱动的三轴滚动支座底板 Related Products 特性高负载能力：9.7磅（4.4千克）所有磨损面都采用硬化钢构造带凹槽的顶板确保配件的对准提供多种配件左手系或右手系的版本可供选择可升级到压电辅助的测微头Item #RB13DTravel X-Y-Z1/23 (13 mm)BearingsCross RollerMax Load9.7 lbs (4.4 kgs)Coarse Adjustment Range13 mm TravelCoarse Adjustment Pitch0.5 mmFine Adjustment Range300 µ m TravelFine Adjustment Pitch0.05 µ mX-Y-Z整体设计相比与其它的模块化设计，该产品提供了更紧凑的平台，使得该三轴移动平台能在13毫米的行程范围内满足许多定位应用的要求。相比于层叠式单轴平台构造的移动平台，整体钢构造设计可提高产品的使用寿命和热稳定性。兼容全系列的NanoMax&trade 和 MicroBlock&trade 挠性平台配件可移动的载物台在三个正交方向的行程均为13毫米，沟槽状的顶板使其能够与全系列的光学配件相连。该紧凑型平台的载物台高度与Thorlabs的载物台高度为62.5毫米的挠性移动平台匹配。使用这个标准的载物台高度，可以将行程更长的平台集成到基于Thorlabs通用的挠性底座平台，如 MicroBlock 和NanoMax 系列，建立的光学系统中。差分测微头用于RB13D的TDRV304差分测微头利用独特的机制，将外部旋钮相对较大的位移转换成中心细调主轴相对较小的位移。这种设计另外的好处就是具有一致的平滑感，且不受负载的影响。提供有两个大的旋钮，一个用于粗调，另一个用于差分调节，因此增加该单元的整体灵敏度。粗调旋钮提供13毫米的总位移、1微米的分辨率，而微分旋钮提供300微米的总位移、50纳米的分辨率。可更换的顶板可用上面提到的RB13P1转接板替换RB13平台的顶板。这种可供选择的安装板有大量的1/4英寸－20（M6 x 1.0）和#8-32（M4 x 0.7）的安装孔，使得RollerBlock平台可用于通用的面包板类应用中。定制配置对于需要精确控制的应用，可用压电辅助差分测微头(DRV517)取代手动驱动器。除了上文所述的标准测微头调节器，这种驱动可提供30微米的行程，分辨率为10纳米。我们也提供左手系配置，或者不带驱动器的版本，用户可以自己安装第三方的驱动器。带差分测微头驱动的三轴滚动支座底板Zoom结合了钢质和铝质构造的RollerBlock&trade 移动平台是一系列光电子应用的理想选择。交叉滚珠轴承设计提供了9.7磅（4.4千克）的垂直负载，同时仍能保持由高精度驱动器提供的亚微米级的分辨率。带螺纹孔的顶板Zoom这种顶板可替代标准的带槽顶板。它有许多13个1/4英寸-20（M6）和12个8-32（M4）的安装孔阵列，能将通用的配件和组件转接到平台上。带测微头驱动的RollerBlock三轴移动平台 Related Products 特征高负载能力所有磨损面都采用硬化钢构造提供多种配件左手系或者右手系可供选择可升级成压电驱动的测微头Item #RB13MTravel1/2&Prime (13 mm)BearingsCross RollerMax. Load9.7 lbs (4.4 kgs)Standard Micrometer13 mm travel (10 µ m Graduations)带有手动测微头的RollerBlock&trade XYZ移动平台结合钢和铝构造的RollerBlock&trade 移动平台广泛适用于光电系统，交叉的滚动轴承设计使得其垂直负载能力达9.7磅（4.4千克），高精度的驱动器使精度达到亚微米级。小心地放置RollerBlock&trade 中的交叉滚动轴承，保证轴承表面不受污染。与使用表面外露轴承的底座相比，这大大提高了产品的使用寿命。 xyz整体设计相比与其它的模块化设计，该产品提供了更紧凑的平台，在整个13毫米的行程范围内，能够实现较好的定位特性。相比于层叠式单轴平台构造的移动平台，整体钢构造设计可提高产品的使用寿命和热稳定性。兼容全系列的NanoMax&trade 和 MicroBlock&trade 挠性平台配件可移动的载物台在三个正交方向的行程均为13毫米，沟槽状的顶板使其能够与全系列的光学配件相连。该紧凑型平台的载物台高度与Thorlabs的载物台高度为62.5毫米的挠性移动平台匹配。使用这个标准的载物台高度，可以将行程更长的平台集成到基于Thorlabs通用的挠性底座平台，如 MicroBlock 和NanoMax 系列，建立的光学系统中。可更换的顶板可用上面提到的RB13P1转接板替换RB13平台的顶板。这种可供选择的安装板有大量的1/4英寸－20（M6 x 1.0）和#8-32（M4 x 0.7）的安装孔，使得RollerBlock平台可用于通用的面包板类型的应用中。定制Thorlabs提供左手系构造的平台，或者不带驱动器的版本。光纤发射系统：基本解决方案 Related Products Zoom 特性125至400微米裸光纤的理想选择压力可变的压臂4毫米行程调节范围包括300微米的细调，分辨率为50纳米（理论值）适合任意RMS螺纹物镜不含物镜MBT612具有高分辨率的差分调节器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。它可最大程度地将自由空间激光的耦合优化为单模光纤，即使是光纤的模场直径仅为3微米的可见光。光缆应力消除的加入可防止系统的意外损坏，该特性可节省大量时间。该预设置好的光纤发射系统是理想的入门套件，可快速适应许多应用。提供的额外附件可大大增强该平台多用途的灵活性。Zoom特性125至400微米裸光纤的理想选择压力可变的压臂4毫米行程调节范围包括300微米的细调，分辨率为50纳米（理论值）适合任意RMS螺纹物镜不含物镜MBT612发射系统具有高分辨率的差分调节器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。它可最大程度地将自由空间激光的耦合优化为单模光纤，即使是光纤的模场直径仅为3微米的可见光。光缆应力消除的加入可防止系统的意外损坏，该特性可节省大量时间。该预设置好的光纤发射系统是理想的入门套件，可快速适应许多应用。提供的额外附件可大大增强该平台多用途的灵活性。Zoom 特性带有快速释放压块的顶部装载光纤旋转器360° 旋转，精度为2° 4毫米行程调节范围包括300微米的细调，分辨率为50纳米（理论值）适合任意RMS螺纹物镜不含物镜MBT621发射系统具有我们的高分辨率驱动器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。旋转式光纤架可提供平稳的转动，其摆动可以忽略。当使用保偏光纤时，该系统提供一种简单的方法优化通过PM光纤耦合的信号的消光比。提供的额外附件可大大增强该平台多用途的灵活性。光纤发射系统：专业解决方案 Related Products 特性挠性设计确保平滑，无摩擦地连续移动紧凑型设计：包括驱动器157.4毫米x160.4毫米x62.5毫米（6.2英寸x 6.31英寸 x 2.46英寸）增强的长期稳定性调节器皆固定在底座，消除了串扰NanoMax平行挠性平台3轴NanoMax挠性平台是光纤耦合应用的理想选择。该完整的光纤输入系统可满足很多最普遍的实验室应用的需求。下文详细介绍了每种输入系统。有关这些套件所包含的平台的更多具体细节请查看NanoMax三轴挠性平台的介绍。 配件易对准 顶部平台的中心键槽可快速重新配置系统而保持配件对准。提供各种各样的附件，可安装显微镜物镜、准直设备、波导、光纤以及其他设备。此外，多重转接板可将NanoMax系列平台安装到各种其他的Thorlabs旋转和长行程线性平台上。MAX300挠性平台的这些特点使其成为要求高稳定性和重复性的对准应用的可靠平台。用于裸光纤的单模光纤发射系统Zoom特性适合裸光纤，透镜光纤，带涂覆层光纤独特的，可变的，六角形安装架，适合Ø 125微米至Ø 2毫米的光纤压力可变的夹钳臂平移调节范围是4毫米包括300 微米精调，分辨率为50纳米适合任意RMS螺纹物镜 Included with the MAX350DMAX313D3轴挠性平台，带固定差动驱动AMA009固定角度支架HCS010RMS显微物镜安装座HFF001可变V形槽光纤夹具HFS001应力释放缆线裸单模光纤的MAX351光纤输入系统具有高分辨微分调节器，适合将自由空间激光优化为单模光纤，即使是光纤的模场直径只有3 µ m的可见光。可快速释放的光纤固定器有6个安装面，每个面可接合一个不同尺寸的光纤。增加光缆应变消除有助于防止系统意外损伤，该特点可节省大量时间。该预先安装好的系统是一个理想的输入装置，可快速适合许多应用。X，Y和Z轴之间耦合，使调节过程中的稳定性最大当对准应用要求亚微米的分辨率，或者更好分辨率时，我们具有专利的MAX300系列平行挠性移动设计的优点就非常明显。对于多轴堆叠式平台，触动2个驱动中不是参考&ldquo 地面&rdquo 的任一个都将导致装置的不必要的移动。NanoMax&trade 系列平台的任一个驱动直径参照平台底座，即可消除该负面影响。固定的微分驱动提供4毫米粗调和300微米的细调（每次转动的分辨率为50纳米）。粗移和精移轨道上刻有标度，是要求绝对位移应用的清晰的参考点。 FC连接跳线到Grin透镜的单模光纤发射系统Zoom特性用于FC连接的单模光纤跳线适合直径为1毫米至3毫米的Grin透镜3轴平移的调节范围为4毫米包括300微米细调，分辨率为50纳米 MAX355D附带组件MAX313D3轴挠性平台，带差分驱动AMA009固定角度支架HGI003GRIN透镜固定架HFB004FC连接光纤固定架HFS001应力释放缆线该系统由我们的MAX313D三轴挠性平台配合FC适配器和Grin透镜架组成。对于光纤输入系统，使用嵌套式挠性板替代传统的线性轴承具有很多优点。首先，挠性机制可得到近乎完美的平滑连续移动。其次，该平台结构不需要润滑油。传统轴承的较小瑕疵，或者润滑油里的污染物都能产生局部粗糙的斑点，导致斑点处的移动分辨率显著降低。无需润滑剂也可最大程度减小平台蠕动。带快速释放光纤旋转器的保偏光纤发射系统Zoom特性4毫米行程高分辨率差分调节器高精密光纤旋转器，360° 的离心率为10微米（中心偏移量）适合任意带RMS螺纹的物镜 MAX361D附带组件MAX3133轴挠性平台，带有差分驱动AMA009固定角度支架HCS010RMS显微物镜安装座HFR007快速释放光纤旋转器MAX361D光纤发射系统是为保偏裸光纤设计的，由最高性能的挠性平台和3个高分辨率双平台测微头构成。这样的组合能真正达到亚微米定位控制所要求的高分辨率和高稳定性。该系统的HFR007光纤旋转器刻有分度为5° 的刻度。此外，快速释放光纤压块可快速便捷地顶部装载光纤。HFR007增加了优化PM光纤消光比所需的旋转自由度。使用我们最新一代的3轴移动平台，新的MAX361保偏光纤输入系统相对线性轴承的设计，以及其他不太先进的3轴挠性平台具有大量改进。该底座式移动台使用我们具有专利的高稳定挠性设计，具有独特的特点，即3个调节器都坚固地连接到平台主结构的固定部件上。同类产品或者由3个层叠式的独立平台构成，或至少设计成三个驱动器中的两个随平台的可移动部件平移的单个集成系统。当驱动器被操作者的手接触时，这种3个驱动器中有2个&ldquo 浮动&rdquo 的设计会引起有害的移动（以串扰的形式）。这种机械系统噪声使其不能达到真正的纳米定位。自动对准单模裸纤发射系统Zoom特性裸纤，带透镜光纤或套管光纤的理想选择独特可变六角形安装架适合Ø 125微米至Ø 2毫米的光纤压力可变的压臂4毫米平移调节范围包括300 微米细调，分辨率为50纳米适合任意RMS螺纹物镜 MAX373D包含的组件MAX311D带差动驱动的3轴挠性平台，和带反馈的内部压电驱动AMA009固定角度支架HCS010RMS显微物镜安装座HFF001可变V形槽光纤夹具HFS001应力释放缆线MAX373D光纤发射系统具有高分辨率差分调节器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。可快速释放的光纤安装架有六个安装面，每个面可安放一根不同尺寸的光纤。光缆应力消除的加入可防止系统的意外损坏，该特性可节省大量时间。该预设置好的光纤输入系统是理想的入门套件，可快速适应许多应用。采用内部闭环压电驱动器进行自动对准MAX373D利用3个应变位移传感器产生电压信号，该电压与压电元件的位移成线性关系。利用该电压信号，可弥补压电元件固有的磁滞，蠕变或热漂移效应。此外，位移传感器与我们的NanoTrak&trade 自动对准系统一起使用，可精确地优化光学系统的耦合效率。一旦对准，在随后的操作过程中，位移传感器可用来稳定系统的位置。参考上面的NanoTrak标签可知NanoTrak应用背后的理论。光纤对准套件我们供应平台和NanoTrak控制器，及其所有缆线。MAX373DK1和MAX373D1/M都是完全自动对准套件，并带有用于红外波长的铟镓砷（InGaAs）探测器。 硅探测器是单独用于可见光波长。对于不需要自动对准的应用，平台的压电驱动器可由我们的BPC20X系列台式压电控制器控制。

三轴倾斜平台 OMXC114C 产品特点：材质：6061-T6 铝合金 产品介绍：OMTOOLS 三轴倾斜平台 OMXC114C可提供倾斜和旋转调整，以对准光学组件。它具有运动学特性，带有硬化和抛光的钢球枢轴以及作用于硬化钢制底座上的弹簧预加载的球头调节装置。它提供了完整的三轴角定位自由度并且使用测微头实现了倾斜调整和旋转调整，使得组件可以定向到与任意平面平行。当与XYZ三维位移台一起使用时，它可以提供六个自由度，从而实现完全的定位功能。 型号倾斜角度范围俯仰角度范围旋转角度范围灵敏度负载OMXC114C±4°±4°±4°2”67N

MLS-1730系列 MLS-1730系列产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成，即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。Nators可提供预装配多轴纳米定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。MLS-1730-3D产品描述 MLS-1730-3D所用定位台为LS-1730，运动为21x21x21mm。概观轴数3所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21x21XY 负载[N]10Z 负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x59 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]30.75x30x54 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

艾罗德克Aerotech PlanarDL系列两轴机械轴承直线电机平台产品经理：赵贵军 性能1.集成平台，小体积，X-Y两轴直线电机平台2.优异的几何性能(±0.4μm平直度 平面度±1μm)3.高刚性，精密交叉滚子轴承4.可选范围广，9个行程系列可选Aerotech的planardl系列级在一个紧凑、低姿态的封装中提供了出色的几何和动态性能。多种行程和性能选项使这一阶段的理想应用范围从表面轮廓测量到LED晶片划片。用途：PlanarDL XY设计允许工业的平面几何性能在应用中，直线度和平直度的运动是至关重要的。高精度的抗蠕变交叉滚子轴承，精密加工的表面和Aerotech直线电机驱动通过轴的刚度中心，导致一个特殊的几何公差的定位阶段。平面的结构元素是优化的高动态和高刚度的要求最严格的动态应用。能够达到1m /s的速度和1.5 g的加速度，PlanarDL能够实现高吞吐量、高精度的处理，从而获得优异的工艺成品率和较低的总拥有成本。与使用循环轴承的竞争性产品不同，本设计中使用的抗蠕变交叉滚子轴承允许平稳的运动，使其成为挑战性扫描应用的理想阶段解决方案。非接触式直接驱动技术只有非接触式，直接驱动技术提供高速、准确的定位，免维护操作，使用寿命长。该计划的核心是Aerotech公司专有的直接驱动技术。这种驱动技术允许无与伦比的性能相比，其他竞争的螺旋和直线电机设计。PlanarDL-200XY和-300XY级每轴都有一个或两个电机，可以根据特定的应用和工艺对每个轴进行优化。无论选择多少个电机，产生的驱动力通过摩擦中心和刚度产生，从而获得优异的几何性能和精度。集成的电缆管理系统集成到舞台上，优化使用寿命和性能。额外的标准选项可用于额外的伺服轴或真空卡盘或其他工艺气动的空气/真空管道。极限定位性能PlanarDL有三种定位性能选项。凭借数十年的系统级设计经验，不仅包括定位机制，还包括软件和电子技术，Aerotech已经开发出先进的技术来推动精度的极限。高性能的-PLUS和-ULTRA选项可以使精度和直线度值下降到400 nm，正交性下降到1角秒。型号：PlanarDL-100XYPlanarDL-200XYPlanarDL-300XY

MLS-1730系列 MLS-1730系列产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成，即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。Nators可提供预装配多轴纳米定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。MLS-1730-2D产品描述 MLS-1730-2D所用定位台为LS-1730，运动为21x21mm。概观轴数2所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21XY 负载[N]10靠板安装尺寸[mm]60x60x25 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]30x30x20 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

Thorlabs提供多种用于纳米定位的三轴、四轴、五轴和六轴平台。我们的平台采用非常可靠、可重复的柔性技术，与其他技术相比还具有其他多种优势。另外，Thorlabs还提供各种配件和固定座。三轴组合式平台 四轴组合式平台 五轴可调平台 Nanomax系列6轴灵活平台 光纤发射平台 平台配件 高速显微镜平台 XY和Z轴旋转安装座 三维挠性平台本页突出介绍了Thorlabs的三维挠性平台系列产品。Thorlabs提供不同的单元部件，包括步进电机驱动器、差动调节器、压电驱动器和用于闭环反馈操作的位置探测器。在这些平台的设计上，驱动器直接耦合到平台的底座上，从而消除逆向移动。带测微计的MicroBlock 带差分驱动器的NanoMax300 带步进电机的NanoMax300 带内交换驱动器的NanoMax300 开环控制器和3轴压电平台套装 带差分测微头驱动的RollerBlock三轴移动平台 带测微头驱动的RollerBlock三轴移动平台 基本的光纤发射解决方案 专业的光纤发射解决方案 灵活平台配件 四轴挠性平台Thorlabs提供四轴配置的NanoBlock和MicroBlock系列平台。NanoBlock四轴平台的载物台高度为112.5毫米，位移精度为50纳米，角分辨率为1弧度秒。MicroBlock四轴平台的载物台高度为62.5毫米，位移精度为50纳米，角分辨率为1弧度秒。四轴，载物台高度62.5mm 四轴，载物台高度112.5mm 灵活平台配件 5轴NanoBlock装置平台，载物台高度为112.5毫米 Related Products 概述规格Documents & Drawings Feedback Tag Cloud NanoBlock&trade 5轴装置平台，载物台高度为112.5毫米5轴装置平台设计用于和NanoMAX&trade 600系列6轴波导调节器配套使用。在要求将光学元件或装置固定在高性能多轴对准系统前面时，这款5轴平台非常适合。该装置的5个自由度可以将光学组件相对于另一个定位平台精确定位。通过5个差动调节器可以实现方位对准。粗调是通过0.5毫米节距的丝杆实现的。微调是通过我们专利技术（差动机制）实现的，每转移动量为50微米，行程300微米。NBM513五轴装置平台的所有转动自由度均通过挠性铰链实现，而x和y线性轴用的是传统的轴承平台，以获得更长的行程。NBM513的顶部载物台距离底部安装面112.5毫米，可与任意NanoBlock配件匹配。6轴NanoMax纳米定位器 Related Products 概述规格详细信息引脚示意图Documents & Drawings Feedback Tag Cloud 特性移动范围：X，Y， Z： 0.16英寸 （4 毫米）&theta x，&theta y， &theta z： 6° 可选择用于闭环操作的压电驱动器高硬度挠性设计：X和Z方向为1 N· m in，Y方向为0.5 N· m in高共振频率：大于130赫兹（± 10%）整体的，单一移动平台设计具有专利的的带固定驱动器的平行挠性机械装置所有的自由度具有公共的支点，简化了对准程序低维护机械装置，从而降低了总成本。NanoMax&trade 600系列是一种强大纳米定位工具，它具有两大创新点：第一点是所有旋转有一个公共的支点；第二点是专利设计允许所有驱动器连接到一个公共的支点。关于兼容的控制器，请参阅详细信息 标签。 Common SpecificationsResonant Frequency130 Hz (± 10%), No Load on the StageRMS Repeatability30 nm over 30 &mu m 0.1% Over Full Travel RangeStiffness&emsp &bull X and Z1 N/&mu m&emsp &bull Y0.5 N/&mu mCrosstalk, Max*Max 20 &mu m/mm of TravelMoving Top Plate Size2.75" x 2.36" (70.0 mm x 60.0 mm)Load Capacity2.2 lbs (1 kg)*Also Known as Arcuate Motion具有专利的平行挠性设计增加了装置的稳定性能 对于复杂的多轴定位，平行挠性平台把三个或者更多个自由度的部件合成单个的紧凑的部件中，与层叠式移动平台相比，该挠性平台极大地提高了系统的性能。平行挠性技术是Thorlabs 的专利产品，它是NanoMax&trade 家族的所有纳米定位平台的核心技术。九种型号可供选择我们提供预配置差动测微头或步进电机驱动的装置，带有或者不带压电驱动器，或者带有压电位置传感器的装置。我们同样也提供了不包括驱动器的基本配置，可以选择压电或者压电位置传感器。这样您可以选择添加步进电机、差动测微头、翼形螺钉驱动器。我们的基本配置包括左手系和右手系两种选择。如果你所选择不带压电控制器的型号，我们可提供外部压电扩展器，能够适用于任何我们公司的驱动装置。.Item #External Drive TypeInternal Precision DriveMax ResolutionMAX611Differential Micrometer Drive DRV3None50 nm/4 arcsecMAX612Piezoelectric Actuator30 nm/0.1 arcsecMAX613Piezoelectric Actuator and Displacement Sensor10 nm/0.03 arcsecMAX604Stepper Motor Drive DRV001None20 nm/0.1 arcsecMAX605Piezoelectric Actuator30 nm/0.1 arcsecMAX606Piezoelectric Actuator and Displacement Sensor10 nm/0.03 arcsecMAX607None CustomizableNoneDepends on Drive ChosenMAX608Piezoelectric Actuator30 nm/0.1 arcsecMAX609Piezoelectric Actuator and Displacement Sensor10 nm/0.03 arcsec 光纤输入系统这些三轴的基本型和专业型光纤输入系统，为将自由空间激光耦合入单模、多模或保偏光纤中提供了理想的解决方案。此外，Thorlabs还提供六轴工业平台，该平台为相关应用，如将光耦合进入波导中，提供全部维度的定位控制。小巧的光纤端口耦合器 笼式共轴系统套装 基本的光纤发射解决方案 专业的光纤发射解决方案 六轴工业光纤发射平台 光纤发射配件 挠性平台配件Thorlabs为纳米定位平移台提供挠性平台配件。我们的可调式平台与三维挠性平台的高度匹配，并提供俯仰，旋转和转动的结合调整。转接板和扩展平台提供了更加灵活的安装表面。我们的挠性平台通常用于光纤耦合应用，提供光纤旋转器和光纤支架等光纤组件。其他附件包括光学无调节安装座和可调安装座，以及激光二极管安装座。裸光纤和终端光纤固定器 光纤旋转器 波导安装座 带TEC的二极管安装座 无调节的安装座和配件 可调安装座和配件 扩展平台 光纤夹具和转接器 显微镜载玻片固定架 可调平台 转接板 显微镜平台这些平台经过专门设计，为显微镜样品提供电动操纵。通过转接板可以兼容正置和倒置的显微镜（查看每个产品的介绍以获得具体信息）。另外，为了用在用户自制的显微镜系统种，平台可以安装在工作表面上。高速显微镜平台 Z轴压电平台&控制器 生理学平台套件 生理学平台配件 用于尼康FN1显微镜的手动XY平移台 XY线性移动加Z轴旋转平台 Related Products 概述应用Documents & Drawings Feedback Tag Cloud XYR1是一个带有Z轴360度连续旋转的低剖面XY轴移动平台，中心SM1螺纹通孔可用于成像系统载物平台，可以从样品下面照明。平台包含1/4英寸－20（M6）和8－32（M4）的阵列螺纹孔，用于安装样品和组件。此外，平台的中心通孔周围还有8个4－40的螺纹孔，可以不需要转接件就能配合30毫米或者60毫米的Thorlabs笼式共轴系统使用。X、Y轴测微头的行程为1/2英寸（13毫米）。平台的安装表面的外边缘带有角度刻度，便于用户设置角度，并可以通过锁定螺丝进行固定。旋转轴的锁定不会妨碍X、Y轴的移动。旋转平台的上表面在XYR1框架的上方，可避免安装的元件受旋转或移动的影响。 SpecificationValueLinear Translation MechanismBearings in V-GrooveMax Horizontal Load10 lbs (4.5 kg)Max Vertical Load*2 lbs (0.9 kg)Mounting Platform DimensionØ 4.18" (Ø 106 mm)Stage Height1.08" (27.4 mm)Stage Footprint Including Actuators6.33" x 6.1" (160.8 mm x 154.9 mm)XY MicrometersTravel0.025" (0.5 mm) per RevolutionTranslation Range1/2" (13 mm)Graduation0.001" (10 µ m) per DivisionRotationContinuous Rotation Range360° Graduation1° * 为了达到最大的载重，必须将垂直方向的驱动器推至平台上。

一, Z030 音圈电机模组运动台Z030 音圈电机模组运动台Z030 音圈电机模组运动台,Z030 音圈电机模组运动台通用参数特点音圈电机设计提供更高动态表现多个可调节配重选项高刚性，交叉滚柱导轨导向精度高，精准定位技术参数型号Z030行程30mm运动分辨率 *120nm装载质量 *3 1-4.4kg最大加速度 *21g最大速度 *2100mm/s精度1.0μm重复定位精度(3σ)0.5μm直线度2μm *1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计，可实现不同的运动分辨率。*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计，可实现不同的速度和加速度。*3 装载质量范围根据配重弹簧选择。*4 欢迎与工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。尺寸图二,Z010 音圈电机模组 运动台 Z010运动台Z010 音圈电机模组 运动台,Z010 音圈电机模组 运动台通用参数特点 音圈电机设计提供更高动态表现 多个可调节配重选项 高刚性，交叉滚柱导轨 导向精度高，精准定位技术参数型号Z010行程10mm运动分辨率 *120nm装载质量 *3 1-4.4kg最大加速度 *21g最大速度 *2100mm/s精度1.0μm重复定位精度(3σ)0.5μm直线度2μm *1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计，可实现不同的运动分辨率。*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计，可实现不同的速度和加速度。*3 装载质量范围根据配重弹簧选择。*4 欢迎与工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。型号示例Z010-AA-CB10-C01系列行程光栅尺类型编码器输出电缆输出Z010: 10AA: Sin/CosCBxx: 参考平衡弹簧选择指南C01: 1m Cable三, XYT450 精密运动系统XYT450 精密运动系统XYT450 精密运动系统,XYT450 精密运动系统通用参数产品特点直线电机驱动，速度 1m/s，最大加速度 2g 高刚性滚柱导轨，10kg 承载 高精度光栅尺反馈，亚微米级分辨率 全封闭防尘设计（无尘拖链）型号XYT450M轴XYT行程450mm450mm360负载110kg定位精度3um3um重复定位精度(3σ)2um2um±3arcsec运动分辨率2100nm100nm0.0005deg最大速度31000mm/s1000mm/s最大加速度32g1g水平方向直线度3um3um径跳10um竖直方向直线度3um3um轴跳10umXY正交10arcsec平台质量约1000kg*1 欢迎与厂家工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。*2 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率。 *3 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度。 *XYT450 精密运动系统可定制 Z 轴、基座等四,XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台,XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台通用参数型号XC050BS行程50mm运动分辨率 10.2um重量 36.5kg最大加速度 20.1g最大速度 250mm/s精度典型值（保证值)±0.5(±1.5)um重复定位精度(3σ)典型值（保证值)±0.3(±1.0) um水平方向直线度典型值（保证值)±0.5(±1)um垂直方向直线度典型值（保证值）±0.5(±1.5) um*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。*3 欢迎与工程师团队交流具体参数要求，优化高精密运动平台设计。五,MC025 可堆叠式运动台MC025 可堆叠式运动台MC025 可堆叠式运动台,MC025 可堆叠式运动台通用参数型号MC025行程25mm运动分辨率 150nm重量600g最大加速度 20.5g最大速度 2200mm/s精度典型值（保证值）±0.1（±0.25)um重证复定位精度(3o)典型值（保证值)±0.1（±0.2)um水平方向直线度典型值（保值）±0.1（土0.4)um垂直方向直线度典型值（保证值)±0.15(土0.4) um*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。 *2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。六,IXY100CA 双轴中空运动平台IXY100CA双轴中空运动平台IXY100CA 双轴中空运动平台,IXY100CA 双轴中空运动平台通用参数 技术参数型号IXY100CA行程100mm精度1.0μm重复定位精度(3σ)0.5μm运动分辨率 *1AA: 10nmDS: 200nm最大速度 *2200mm/s最大加速度 *20.5g水平方向直线度2μm垂直方向直线度2μm偏航角15μrad俯仰角50μrad装载质量 *310kg *1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。七,美国 dataray M-Squared M2测量系统 M2DU系列DataRay基于模块化的系统为用户提供了灵活性很强的M2 测量系统。支持选择最佳 M2 测量配置：基于相机或基于狭缝扫描的系统、镜头可选择50或 200毫米长平移台。dataray M-Squared M2测量系统 M2DU系列,dataray M-Squared M2测量系统 M2DU系列通用参数为什么关心 M2 它是激光器或激光系统的交付质量保证或验收标准。您需要了解为什么实际“聚焦”的激光光斑直径比计算预测的要大。您需要测量 M2，和/或有人给您一份 ISO 11146 标准。因为 M2 是通过良好光学系统传播的激光束的不变属性。 因此，M2 可用于描述该光学系统中任意点的光束。 （*光学系统既不会扭曲也不会缩短光束。）M2 或光束质量因子是一个无量纲参数，用于表征实际激光束的缺陷程度。 M2 的值越低，光束可以越紧密地聚焦到一个小点上。 良好的 TEM00 光束的 M2 = 1。没有任何激光束是“wan美的”。 激光腔、激光介质和/或输出/辅助光学器件的局限性意味着大多数光束不是教科书中描述的衍射限制、高斯分布、纯TEM00 模式。 复杂光束包含多种增加M2的因素。 即使是“理想的”的实验室氦氖激光器的M2大约1.05 到1.2，而不是“wan美”TEM00 光束的1.0。简单的 M2 可以定义为： 实际光束的发散度与具有相同腰部直径的理论衍射极限光束的发散度之比。M2 = (Θ/θ) 其中 Θ是实际光束的实测远场全角发散角，θ是“wan美”TEM00 高斯光束的理论远场发散角，其束腰直径与被测光束。DataRay 提供成像相机和狭缝扫描系统来测量M2、发散度、光束轮廓、光束位置、瑞利范围等。&fnof BeamR'2 和 WinCamD 轮廓相机结合线性平台移动，通过束腰位置以执行符合 ISO 11146 的测量。&fnof BeamMap2 通过多平面扫描系统提供实时 M2。移动平台上符合 ISO 11146 标准的单平面测量系统ISO 11146 标准要求测量光束腰部的多个平面 (≥5) 和远场中的多个平面 (≥5) 的二次矩光束直径。 在大多数情况下，这需要单个平面光束分析仪通过一个Z平台沿传播轴移动。DataRay 基于模块化的系统为用户提供了 灵活性很强的M2 测量。 电子表格支持选择最佳 M2 测量配置：基于相机或基于狭缝扫描的系统、镜头选择50 或 200 毫米长平移台。WinCamD&trade 相机提供最灵活的成像系统，可以在脉冲和连续波束上测量非常广泛的 M2。 波长从 190 nm 到 1350 nm，传感器尺寸为 11.3 x 11.3 mm，像素尺寸小至 3.2 µ m。 Beam’R2&trade 是一种高分辨率 (0.1 µ m) 单平面扫描系统，具有从 190 nm 到 2.5 µ m 的多种波长选项以及用于测量 M2、发散度、瑞利范围等的配置选项。M2DU-50 和 -200平台 分辨率 1 µ m DataRay 软件控制 符合 RoHS 和 CE 标准实时 M2 (Real-time M2)BeamMap2&trade 是一种高分辨率 (0.1 µ m) 多 z 平面 XYZθθ 测量系统，可实时测量 M2、校准、发散和束腰位置和尺寸。 BeamMap2 有两个版本，涵盖狭缝平面分离 d 选项为 50、100、250、500 或 750 µ m 的聚焦光束。 ColliMate&trade 版本涵盖接近准直的光束，平面间距为 5mm。BeamMap2 操作原理带有多个 XY 狭缝对的磁盘 ['puck'] 围绕平行于 z 轴的轴旋转，这符合 ISO 11146 标准的正交线性扫描要求。狭缝在聚焦区域中以 z 轴方向的多个平面中精确校准。狭缝放置在与局部径向方向的 ±45° 处。 有效狭缝宽度比实际狭缝宽度大 2 倍。M2测量系统相机系统WinCamD-LCM4WinCamD-UCD seriesBeam’R2&trade BeamMap2&trade -190-355√√355-1100√√355-1350√√扫描系统 单平面模型多平面 实时 M2型号1190-800√BR2-Si√BMS2-Si-XXX800-1800√BR2-IGA√BMS2-IGA-XXX800-2500√BR2-IGA2.5√BMS2-IGA-2.5-XXX1 不同的狭缝/平面配置可能有多个型号。 请咨询筱晓上海光子销售工程师确认选择范围：订购信息 镜头选择模型描述LNZ-UV-Focal Length 190-380 nm可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500 mm，直径 25 或 50 mm，带安装座和垫片LNZ-VIS-Focal Length 400-800 nm可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500 mm，直径 25 或 50 mm，带安装座和垫片LNZ-NIR- Focal Length 650-1050 nm可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500,750,1000 mm，直径 25 或 50 mm，带安装座和垫片LNZ-TEL- Focal Length 1050-1620 nm 1可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500,750,1000 mm，直径 25 或 50 mm，带安装座和垫片 相机/扫描系统模型描述相机S-WCD-LCM4完整的全局 CMOS 光束分析相机和配件 USB 3.0，1” 传感器，5.5 µ m 像素S-WCD-UCD23完整的全局 CCD 系列光束分析相机和配件 USB 2.1、2/3” 传感器、6.5 µ m 像素S-WCD-UCD15完整的全局 CCD 系列光束分析相机和配件 USB 2.1、1/1.8” 传感器、4.4 µ m 像素S-WCD-UCD12完整的全局 CCD 光束分析相机和附件 USB 2.1、1/2” 传感器、4.65 µ m 像素S-WCD-UHR完整的 CMOS 光束分析相机和配件 USB 2.1、1/2” 传感器、5.2 µ m 像素S-WCD-XHR完整的 CMOS 光束分析相机和配件 USB 2.1、1/2” 传感器、3.2 µ m 像素平台M2DU-WCD-50M2 线性平台，2.5 µ m 步长，50 mm 行程，用于相机M2DU-WCD-200M2 线性平台，2.5 µ m 步长，200 mm 相机行程狭缝扫描系统S-BR2-Beam’R2 扫描系统 - 选择 Si、IGA 或 IGA2300S-BMS2完整的 BeamMap2 系统 - 选择 Si、IGA 或 Ext IGA2300 无需平台StageM2DU-BR2用于 BR2 扫描系统的线性平台 配件IC仪表盒，包含客户自定义配置的泡沫单元ND 衰减片全系列 ND 衰减片，包括我们新的 MagND 衰减片，可快速更换OD数 0.5、1.0、2.0、3.0、4.0、5.0八,IXY 系列双轴高精密运动平台优秀的高精密运动台设计: IXY系列高精密运动平台优化了高刚性和高动态性能设计，满足最高动态性能要求的各种应用，是适用于光学、生化、电子制造等领域的理想的双轴高精密运动系统。优秀的精度和稳定的性能: IXY系列运动平台具有高精度和高运动性能等特点。瑞荧公司基于高精度机械和运动控制相结合的先进整体系统设计，生产出高精度和高性能的单轴、双轴、多轴高精密运动平台。IXY 系列双轴高精密运动平台,IXY 系列双轴高精密运动平台通用参数产品特点结构精巧的双轴高精密运动平台双电机可实现高产量高刚性，良好的兼容性导向精度高，精zhun定位产品应用二维激光加工激光直写光学测量自动显微镜技术参数IXY100IXY200行程100mm200mm精度-P: 1.0μm-C: 1.5μm-P: 1.5μm-C: 2.0μm重复定位精度(3σ)-P: 0.3μm-C: 0.6μm-P: 0.5μm-C: 0.8μm运动分辨率 *1AA: 10nmDS: 200nmAA: 10nmDS: 200nm最大速度 *2200mm/s300mm/s最大加速度 *20.5g0.5g水平方向直线度1.5μm3μm垂直方向直线度2μm4μm偏航角15μrad30μrad俯仰角50μrad100μrad装载质量 *310kg20kg*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。*3 欢迎与瑞荧公司工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。订购信息型号示例：IXY100/IXY200 – PAA – CMS型号说明:系列行程光栅尺类型编码器输出电缆输出IXY100: 100X100-P: Invar Based ScaleAA: Sin/Cos-CMS: With CMS Box200: 200X200-C: Gold Tape ScaleDS: 100nm A/B/Z-C01: 1m CableDC: Customize-C03: 3m Cable 控制系统：1、根据精密运动平台参数和应用要求，提供不同的控制系统方案。 2、精密运动台端口和电机参数兼容常见运动控制卡及驱动器。

MLS-1720-4D产品描述 MLS-1720-4D所用定位台为LS-1720，运动为12x12x12x12mm。概观轴数4所用的定位台LS-1720运动行程[mm]12x12x12x12XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x48.5 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]40.5x41.5x43.5 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1740-3D产品描述 MLS-1740-3D所用定位台为LS-1740，运动为26x26x26mm。概观轴数3所用的定位台LS-1740运动行程[mm]26x26x26XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x68 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]40x40x63 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1720-3D产品描述 MLS-1720-3D所用定位台为LS-1720，运动为12x12x12mm。概观轴数3所用的定位台LS-1720运动行程[mm]12x12x12XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x48.5 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]28x22x43.5 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1720-2D产品描述 MLS-1720-2D所用定位台为LS-1720，运动为12x12mm。概观轴数2所用的定位台LS-1720运动行程[mm]12x12XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x25 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]28x22x20 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1740-2D产品描述 MLS-1740-2D所用定位台为LS-1740，运动为26x26mm。概观轴数2所用的定位台LS-1740运动行程[mm]26x26XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x25 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]40x40x20 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1730-3D产品描述 MLS-1730-3D所用定位台为LS-1730，运动为21x21x21mm。概观轴数3所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21x21XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x59 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]30.75x30x54 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1740-4D产品描述 MLS-1740-4D所用定位台为LS-1740，运动为26x26x26x26mm。概观轴数4所用的定位台LS-1740运动行程[mm]26x26x26x26XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x73x68 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]43.25x63x63 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MLS-1730-4D产品描述 MLS-1730-4D所用定位台为LS-1730，运动为21x21x21x21mm。概观轴数4所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21x21x21XY 最大负载[N]20Z 最大负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x66x59 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]43.25x51x54 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座(-ST)、钛基(-TI) 均黑色阳极氧化(-BK)真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容(1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators可提供预装配多轴定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

应用　　Bertec公司的4060系列测力台完美适用于步态、平衡、体育运动、人机工效等领域中的静态和动态分析。Bertec三维测力平台应用了应变原理，先进的电子技术、创新的机械设计、高品质的制造水平，使Bertec测力平台自诞生之始便处于业内领先水平，广泛适用于任何临床或科研应用。　　　　设计　　Bertec测力平台由精密设计的应变载荷传感器构成，这些传感器可精准地测量六个分量：三个正交力以及每个轴的力矩。每块测力平台均内置一个16-bit数字增益放大器以及信号调节单元，摆脱了传统测力平台对标定矩阵的依赖。系统支持使用超长输出线缆而不会有任何的信号衰减。其中数字输出可直接通过USB连接传输至您的计算机。对于模拟输出，我们提供两种选项：6个独立的BNC输出，或7个独立的裸线输出。系统自带支持快速数据采集的软件包，免去了自行编写软件的繁琐工序。Bertec拥有自己的软件库和设备驱动，以满足自主开发数字数据采集软件的科研工作者们的需求。　　特性　　4060-08测力台拥有轻量的铝制表面，重量轻巧而又经久耐用。具有两个标准载荷范围（5,000N，10,000N），并支持定制载荷范围。先进的电子设计使其可在力台内部校正串扰，使得输出信号为真实的直读数据。极高的分辨率和自然频率是Bertec测力平台的标准。4060-08可提供两种不同的安装固定版本：底部安装和顶部安装。支持与Delsys表面肌电测试系统，三维运动捕捉系统进行同步采集。技术参数：　　* 静态分辨率：静态信号下的峰间噪声幅度　　** 分辨率：此处即内置数字化的灵敏度，表示每LSB（最低有效位）数字化信号对应的力学量化信号（以N或lb为单位）　　? FSO：满量程输出　　安装位置，mm(in)　　底部安装╪：A=24(0.94)，B=29(1.13)　　C=552(21.74)，D=343(13.50)　　顶部安装╪：A=110(4.33)，B=67(2.64)　　C=380(14.97)，D=266(10.47)　　L=600(23.62)，W=400(15.75)　　╪需配合Bertec安装板使用时，底部安装版本需要4枚M8×1.25螺栓和平垫圈。顶部安装必须配合使用4枚受载弹簧M8螺栓。

压电三轴纳米探针台实现了三维空间上的准确定位，它具有分辨率高，尺寸紧凑，行程大，操作简单，能在真空下使用等优点，可应用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。压电三轴纳米探针台使用压电陶瓷驱动，运动无需润滑，真空兼容，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。三轴纳米探针台由三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。 压电三轴纳米探针台应用案例：通过压电纳米位移台的纳米精度定位，两个探针通过与样品接触，完成在SEM里实现对二维材料的电学测量。同样的,通过压电纳米位移台也可以在更多领域完成高精度实验,例如可应用于纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等。同时产品可以适配市面上绝大多数的SEM，例如：日本电子，日立，FEI,TESCAN等。 压电三轴纳米探针台尺寸参数探针台外形尺寸（长*宽*高）107.0*75.6*43.3mm三轴外形尺寸（长*宽*高）48.6*33.2*38.6mm样品台面平面度10 μm探针台总重量225g运动参数三轴X行程±10mm三轴Y行程±10mm三轴Z行程15.7mm运动分辨率0.05nm以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电三轴纳米探针台的介绍，了解更多直接咨询： 原文： 随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展，精密定位不仅在实验室用途广泛，工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上，发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品，填补了国产空白。一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块，通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移，可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前，在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内，团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台。安徽泽攸科技有限公司为您提供压电旋转纳米位移台RF-5950A的参数、价格、型号、原理等信息，压电旋转纳米位移台RF-5950A产地为安徽、品牌为泽攸科技，型号为旋转纳米位移台，价格为面议，更多相关信息可来电咨询，公司客服电话7*24小时为您服务

产品介绍：OMSDH03AL 三轴中空组合位移台由OMTOOLS的几款标准产品组合而成，可提供X、Y、Z三个方向的运动。其中，Z方向上可提供30mm行程（底部限位可调），X和Y方向上提供50 mm的行程（最大行程限位可调），组合结构灵活，方便拆装。顶部平移台具备通光口，可用在显微、检测等设备上作为工作平台，也可直接连接到其他台面或标准光学平台、平板上。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■台面安装孔组合形式多样；■结构紧凑，调节读数方便；■顶部平台中部为中空结构，可满足通光需求； 选型表：型号OMSDH03AL行程（°）X:±25mm Y:±25mm（最大行程限位可调）Z：30mm（行程限位可调）台面尺寸(mm)200X200中空尺寸（mm）90X90驱动方式X、Y:精密测微头；Z：丝杆传动主体材料及表面处理 铝合金，黑色阳极氧化处理自重Kg）14.5KG最小刻度X、Y：0.01mm；Z：0.01mm动态平行度(mm)≦0.05水平负载（Kg）10组成产品OMLA22B 组合型转接板、OMLA21B 组合型转接板、OMZS40N竖直手动升降台、OMYE200Z 二维中空手动位移台、HPBC04503 铝合金光学面包板

两轴倾斜平台 OMXC110B 产品特点：材质：6061-T6 铝合金 产品介绍： OMTOOLS 两轴倾斜平台 OMXC110B可提供倾斜和旋转调整，以对准光学组件。它具有运动学特性，带有硬化和抛光的钢球枢轴以及作用于硬化钢制底座上的弹簧预加载的球头调节装置。这个平台使用测微头实现仰角倾斜调整和旋转调整，使安装平台能够绕着运动枢轴点旋转，使其非常适合用作指示器。将组件安装在与测微头相同的面上，旋转可以提供方位角调整； 安装在相对侧的组件在平面内旋转。 型号倾斜角度范围旋转角度范围灵敏度负载OMXC110B -3°～+7°±2.5°2”67N

空气轴承系统——ALIO纳米级高精度运动系统空气轴承系统产品描述：ALIO Industries推出了6-D Nano Positioning空气轴承运动系统，6-D指运动的6个维度；线性，直线度，平面度，俯仰，偏航和滚动。Nano Precision 指的是在 +/- 450 nm 水平或以下的性能证明文件。6-D Nano Precision 是指在纳米级精度下运动的身体的所有 6 个自由度的性能证明文件。空气轴承系统适用于制造、检测/维修和计量等各种应用领域。ALIO Industries空气轴承运动系统，是一种用气浮导轨或空气轴承做支撑的精密运动装置，适用于下一代TRUE NANO精密应用。空气轴承系统提供出色的定位性能，适用于高精度要求的应用。空气轴承系统适用于多个行业，包括光伏、半导体、喷墨沉积、光刻和光学检测等领域。空气轴承系统产品特点：&bull 零摩擦和无振动的平滑移动&bull 速度稳定超高精度的移动&bull 运动不产生颗粒，适用于无尘环境&bull 轴承损耗低，表面不易损坏定制二维平面 XY 空气轴承系统由于两个轴都使用相同的高精度花岗岩底座作为参考，因此可以在数百毫米（甚至米）的行程范围内实现仅一微米的平面度。这种高刚性平面 xy 空气轴承运动系统系列提供亚微米精度和 +/- 100 纳米双向可重复性，即使在批量机器的批量生产中也是如此生产。凭借 200 毫米至 800 毫米的标准版本，以及可定制超过 3 米的 X 和 Y 行程，该产品系列在任何类型的测量/计量应用和半导体行业中都具有True Nano精度。强大的线性直接驱动器和空气轴承使这些运动系统非常适合高精度、高吞吐量的应用，这些应用需要平滑的连续扫描或非常长距离的快速步进和稳定过程。定制空气轴承平衡式Z轴位移台（垂直位移台）ALIO 的直线电机驱动、带空气轴承平衡的垂直 Z 升降平台系列的特点是外形低矮且行程极长。使用高精度交叉滚子轴承和线性编码器，平台配备无摩擦空气轴承气缸。与 GeoSymmetric 系列平台类似，这些长行程 Z 平台具有配重、电机、轴承和编码器，所有这些都放置在平台的大致中心线上。有效负载可以直接安装到舞台的表面。Z-ABCB 系列——配备无摩擦空气轴承气缸平衡装置——可在 200 毫米或以上承载高达 25 公斤的有效载荷。定制空气轴承旋转台当需要很高的旋转精度时，制造商可以从 ALIO 的空气轴承旋转平台系列中进行选择。空气轴承允许载物台在没有机械接触的情况下移动，因此移动无摩擦且无磨损。即使在高速或旋转平台垂直安装时，摆动、偏心或跳动等误差也尽可能消除，以接近完美、平滑的 360 度运动。如果您对我们全新的空气轴承系统感兴趣，请与我们联系，了解更多详细信息。我们将为您提供定制的解决方案，满足您的精密运动和定位需求。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息，或直接来电咨询4006-888-532。

压电平台XY200M沿X和Y轴的行程为200 μm，最高可承受3kg的负载。应用领域包括原子力或扫描隧道显微镜和掩膜定位等等。这种平台基于APA200M设计，具有很高的硬度，可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X，Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。紧凑型XY25XS平台非常适合用于光纤定位，微扫描等应用。参数单位XY25XSXY200M型号V-XYXS25V-XYM200备注--传感器SGSG,ECS主动轴 TX,TYTX,TY最大空载位移[Tx,Ty]um25200Z方向最大面外位移um0.501.00Z方向的最大转动urad50240XY方向的最大转动urad1050电压范围V-20…150-20…150硬度N/um2.500.59高度(Z 轴) mm18.022.0尺寸(X&Y 轴)mm50*50100*100分辨率nm0.32.0质量g80180空载共振频率(在致动方向)Hz3000580响应时间ms0.170.86电容 (每个电气接口)uF0.506.30机械接口(有效负载)1Ф17mm hole+4Ф1.8mm onФ20mm3Ф2.7mm holes onⅡ38机械接口 (框架)4 Ф2.8mm holes on []454 Ф4.5mm holes on []84电气接口2 RG178B/U同轴电缆2 RG178B/U同轴电缆

压电平台X60S / X120S沿X轴的行程可达110 μm，可以配备精度高达10nm的应变计。平台沿X和Y轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。

压电平台XY200M沿X，Y和Z轴的行程为200 μm，最高可以承受3kg的负载。应用领域包括共焦微镜，掩膜定位和检测。这种平台基于APA200M设计，具有很高的硬度。平台可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X，Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。这种结构要求驱动器的前两个通道为推拉式。参数单位XYZ200M型号V-XYZM200备注-传感器SG,ECS主动轴TX,TY,TZ最大空载位移[Tx,Ty]um180Z方向最大面外位移um200Z方向的最大转动urad240XY方向的最大转动urad50电压范围V-20…150硬度N/um0.66高度(Z 轴)mm44.0尺寸(X&Y 轴)mm100*100分辨率nm1.8质量g540空载共振频率(在致动方向)Hz380响应时间ms1.32电容(每个电气接口)uF6.30机械接口(有效负载)物镜接口最大4/55 *1.36(指定)机械接口(框架)4 Ф4.5mm 孔 []84电气接口3 RG178B/U 同轴电缆

NNS-X60-01是一款X轴方向的运动台，闭环行程60μm，可提供0.5nm的闭环分辨率。采用表面阳极氧化黑工艺。典型应用&bull 显微成像 &bull 激光加工&bull 光学移相 &bull 光栅刻写&bull 光学对准 &bull 晶圆检测

NS-X20-01是一款X轴方向的运动台，采用压电陶瓷作为驱动，超精密电容传感器提供反馈，可提供高达0.1nm的闭环分辨率。典型应用：&bull 显微成像&bull 激光加工&bull 光学移相&bull 光栅刻写&bull 光学对准&bull 晶圆检测

NNS-X100-01是一款X轴方向的运动台，闭环行程100μm，可提供0.5nm的闭环分辨率。采用表面阳极氧化黑工艺。典型应用&bull 显微成像&bull 光学移相&bull 激光领域&bull 半导体加工&bull 光学对准&bull 光栅刻写&bull 生物材料分析&bull 光学

压电单维扫描运动 S100/300.z.C➡ 紧凑型单轴Z轴方向运动，电容位置闭环控制&bull Z 方向运动范围 100/300 um；&bull 外形尺寸，40 mm x 40 mm x 18 mm；&bull 闭环定位精度优于1 nm (开环版本可选)；&bull 最大负载 500 g；&bull 支持无磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 选件升级； 压电扫描台，Z轴扫描运动，兼容无磁高真空——详细参数： 压电扫描台，Z轴扫描运动，兼容无磁高真空——尺寸图：多场科技“压电扫描台紧凑型"解决方案主要包含：S —— 扫描标准系列；SD —— 高动态系列；SH —— 高负载系列。S, SD & SH 系列覆盖X轴单维度运动、Z轴单维度运动、XY轴双维度运动和XYZ轴三维度运动等应用场景，支持电容闭环传感，可选无磁/高真空/超高真空选件升级。