亚微米位移促动器

美国Micronix 公司成立于2006 年，总部位于美国加州圣塔安那市，专注于微米和纳米定位机构的生产和研发，主要产品包括压电马达微位移平台，步进电机驱动位移台和直线电机驱动位移台。产品种类丰富，满足不同客户的需求， 特别是生物医学领域得到广泛应用。可以提供整套的解决方案，所有位移机构都有配套的控制系统。压电马达微米级位移平台特点： 超大行程 超高稳定性 超高精密，纳米级精度 可以使用在真空和无磁的环境中（需要发货前特殊处理）

更大的仪器化压入（IIT）测试范围根据仪器化压入测试 (IIT) 的要求，微米压痕仪非常适合于对硬度和弹性模量等机械性能的测量。它适用于块状样品和薄膜，从软材料到硬材料（金属、陶瓷、聚合物），可以进行大位移测量（最大 1 mm）。可以根据需求添加划痕测试模式。主要特点仪器化压入测试 (IIT) 用于测量硬度和弹性模量位移-仪器化压痕：持续测量与施加的载荷和相关的位移，获得材料硬度和弹性模量一台仪器即可进行从纳米到宏观尺度的压痕从小位移（几纳米）到大位移（最大 1 mm）的压痕大载荷范围（从10 mN 到 30 N）以满足样品特性的要求大载荷范围 对测量粗糙表面尤为有用高精度的位移和载荷可进行精确的微米压痕测量两个独立的传感器：一个用于载荷，一个用于位移，来进行准确的计量测量高框架刚度：2 x 108 N/m，更高的位移准确度材料性能的位移曲线连续多周期 (CMC) 的位移曲线：硬度和弹性模量与压入位移的关系压入载荷和位移控制模式可视点阵模式通过显微镜观察对样品进行多点定位测试通过多个测试模式：可使用用户自定义程序根据需要设置测试参数载荷最大载荷30 N分辨率6 μN本底噪音100 [rms] [μN]*位移最大位移1000 μm分辨率0.03 nm本底噪音1.5 [rms] [nm]*载荷框架刚度 107 N/m国际标准ISO 14577, ASTM E2546, ISO 6507, ASTM E384

针对高需求用户范围广泛的的测试仪主要特点全景成像模式：将所有传感器进行同步，轻松快速地分析涂层结合力和耐划伤性能安东帕持有美国专利 8261600 和欧洲专利 2065695。全景模式是划痕仪软件最重要的特征。划痕后，您可以选择用选配的自动同步的传感器：声发射、位移、载荷和摩擦力传感器来记录全景。当采用全景成像模式记录时，可以随时重新分析划痕。粘弹性材料表征使用前扫描和多次后扫描测量专利模式 (US 6520004)在划痕之前、过程中和之后，位移传感器 (Dz) 一直记录样品的表面的轮廓。因此，它可以在划痕过程中和划痕之后评估针尖的划入深度。根据时间进行多次后扫描让您可以获得随时间变化聚合物的粘弹性恢复。即使在曲面和粗糙表面也可进行测试由于采用了独特的力传感器控制技术，微米划痕系统可检测载荷偏差，并且通过主动力反馈系统来修正该偏差。微米划痕系统即使在粗糙表面和曲面上也可获得可靠的测量。多种划痕测试功能具有多个测试模式渐近的、恒定的或插入的载荷多次磨损测试可使用单次或多次可以快速轻松地更换夹具上的划痕针尖可使用不同类型的划痕针尖：球形、锥形、维氏、努氏、刀具等高质量光学成像系统带“自动跟踪聚焦”集成显微镜包括配置高质量物镜的转塔和 USB 照相机。“跟踪聚焦”功能可以将进行多个划痕的 Z 样品台自动聚焦到正确位置。技术指标划痕深度精细量程最大量程最大位移 [μm]1001000位移分辨率 [nm]0.050.5本底噪音 [rms] [nm]*1.5法向载荷精细量程最大量程最大载荷 [N]1030载荷分辨率 [mN]0.010.03本底噪音 [rms] [μN]*100摩擦力精细量程最大量程最大摩擦力 [N]1030摩擦力分辨率 [mN]0.010.03*理想实验室条件下规定的本底噪音值，并使用减震台。

产品描述“简易执行机构”系列是具有结合在弹性铰链机构中的压电元件的致动器。带有螺纹孔，易于固定和拆卸，简易执行机构内部无内置传感器，所以本产品开环操作时具有迟滞和蠕变特性。压电执行器通电后会收缩运动。采用机械放大结构设计，因此行程比单个压电元件长几倍。柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。高推拉力，大行程，紧凑的尺寸，亚纳米分辨率，亚毫秒级快速响应。机械放大式压电促动器是由不锈钢材质的外部椭圆框架将压电陶瓷的主轴变形沿短轴进行放大。这个椭圆形的框架也提供了压电陶瓷对拉力的抵抗。为客户提供了易于集成机械接口。此预应力和放大曲张框架给压电陶瓷施加预紧力保证其比传统的基于杠杆臂和弯曲支点的传统的机械式放大器，在动态应用下有更长的使用寿命和更好的性能。产品特性—轴向收缩运动—行程：1500μm—出力: 1300 N—位移放大式选配功能—可定制安装固定螺纹尺寸—可定制线缆长度—可定制闭环方式—可定制位移典型应用:• 光子学/集成光学 • 纳米级微调操作纳米定位 • 光纤拉伸 • 高速切换• 微扫描 • 激光腔调谐 • 测流技术 • 生物技术迟滞和蠕变特性：在开环操作中，具有滞后和蠕变现象 位移放大结构形式：行程比单个压电陶瓷大几倍

Thorlabs 压电陶瓷促动器，PC4WL光学仪器组件特性镀有环氧树脂，以防装卸不当及机械/化学污染共烧式设计将堆栈烧结成一个整体结构zui大位移从4.6 µ m到20.0 µ mzui大驱动电压150 V方形、方形带通孔、圆形或环形截面快速响应时间：谐振频率的1/3内部电极跨越整个有源横截面，堆栈上绝缘Thorlabs 共烧式压电陶瓷促动器由PZT层堆叠而成，这些叠层由跨越整个叠层表面区域的电极分隔开来。整个堆栈烧结成一个整体结构。这些压电促动器将电能转换为精确控制的机械位移，非常适合纳米或微米级中需要快速、精确改变位置的应用。共烧式压电堆栈的绝缘和导体设计不同于分立式压电堆栈。在共烧式压电堆栈中，少量的玻璃丝被精确位于堆栈的每一侧，因此每个内部电极都与带相反极性的外部电源电极绝缘。这种分隔使顺序层可以交替连接正极和负极(或施加偏压和接地)。对比分立式压电堆栈中使用的绝缘间隙，此设计具有更大的接触面积和活性PZT材料的百分比，这样助于降低内部应力。更多详细信息以及进一步比较两种压电堆栈绝缘方法的图解，请查看工作标签。这些多层装置非常适用于纳米和微米级定位。随着施加到促动器的电压从0 V上升到最大驱动电压，压电元件将纵向扩展。这些开环压电陶瓷促动器提供4.6 µ m至20.0 µ m的最大位移。压电陶瓷装置(比如这些促动器)存在迟滞现象，因此促动器的位移不仅仅取决于施加的电压。如需精确追踪促动器的位移，Thorlabs推荐带应变片的压电堆栈促动器。集成我们的PC4系列压电堆栈兼容半球端帽和尾帽，可最大限度地减少安装时的内部应力。为安装PC4系列压电陶瓷堆栈，并连接半球端帽和尾帽，我们建议使用固化温度低于80 °C(176 °F)的环氧树脂，比如我们的353NDPK或TS10环氧树脂或Loctite® Hysol® 9340。机械负载与压电陶瓷促动器连接时，将其居中于压电促动器的端面是很重要的，这可以避免可能会损坏促动器的扭矩。另外，压电陶瓷促动器应该连接外部负载，以使感应力沿着促动器的位移轴方向。如果将促动器集成到需要预载的设计中，我们建议预载不要超过规定夹持力的50%。压电陶瓷促动器的绿色引线必须连接到用于驱动促动器的电源的高电压端。请勿用反向偏置电压驱动压电陶瓷促动器，这样可能会损坏设备。压电陶瓷促动器不能在液体中或有yi燃气体或液体的地方使用，不能用有机溶剂进行清洗。注意：驱动后，压电元件充满电。直接连接绿线和白线存在产生放电、火花甚至故障的危险。我们建议在绿线和白线之间使用电阻(1 kΩ)以释放电荷。Thorlabs还提供75 V、100 V和150 V的压电陶瓷堆栈和芯片，包括5.2 µ m - 100.0 µ m行程的分立式压电陶瓷堆栈和0.7 - 3.6 µ m行程的压电陶瓷芯片，它们非常适合OEM应用。对于需要更大位移的应用，我们提供220 µ m - 2500 µ m行程的放大型压电促动器。

P-007 – P-056-PICA堆叠型压电陶瓷促动器工作电压为0至1000伏。使用寿命长，无降额。特定位移大。高力量。亚纳米级分辨率，微秒级响应。工作温度范围为-20至85摄氏度可用选项应变片传感器可实现位置稳定性压电陶瓷材料工作电压范围，位移，层厚度负载能力，力量生成几何形状：圆形、矩形机械接口：平面型、球型、金属、陶瓷、玻璃、蓝宝石等。集成式压电检测器层特殊高/低温版本，温度传感器真空兼容型和无磁性版本超级严苛的长度公差应用领域工业和科研。用于高负载定位、精密机械/-加工、开关多年来，PI的产品一直以高品质和创新技术而著称。在提供产品质量的同时，PI更为用户提供创新的技术服务和解决方案。从精密加工到数字与模拟控制电路，从亚纳米级的电容位置传感器到PICMA 压电陶瓷促动器，PI已掌握全套关键技术，强大的技术实力推动着微米纳米定位技术不断地向前沿发展，也使得PI成为全球众多高科技企业、著名实验室的合作伙伴。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。

长行程纳米促动器基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑，具有较高的保持力与长期的稳定性，能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。技术特点：超长行程：10mm~数百mm高分辨率：传感器分辨率为1.2nm超高精度：重复定位精度小于5nm运动速度：可达10mm/s高稳定性：保持力可达8N超高真空兼容性；运动模式：支持开环与闭环轻量化、结构紧凑，高可靠性模块化设计，摩擦单元可替换应用领域：扫描电镜（SEM）样品操纵主动光学超分辨成像样品移动大范围电子束直写（EBL）微纳装备及制造集成电路制造与检测高真空样品精度对准及调姿纳米聚焦与扫描显微及纳米CT规格参数： 型号 NH-X-16A NH-X-16B NH-X-36A NH-X-36B 运动轴 X轴 X轴 X轴 X轴 传感器类型 光栅编码器 光栅编码器 光栅编码器 光栅编码器 行程(mm) 16 16 36 36 保持力（N） 5 5 5 5 最大承载力（N） 20 20 20 20 尺寸（mm） 50x52x12.5 50x50x12.5 65x50x12.5 65x50x12.5 重量 ( g) 75.5 75 115 112 速度（mm/s） 5 5 5 5 分辨率（nm） 1.22 12.51.2212.5 闭环重复定位精度（nm） 550550 材料 铝合金/钛合金 真空度 (mBar) 超真空兼容（5X10-9 ）

Thorlabs 压电陶瓷促动器 PK2FSF1光学仪器组件特性分立式压电陶瓷堆栈，挠性外壳预连导线，易于集成适用于开环实验装置适合OEM应用Thorlabs放大型压电陶瓷促动器由一个分立式压电陶瓷堆栈和一个挠性外壳安装座组合而成。挠性安装座起到杠杆臂的作用，用于放大单个分立式堆栈的自由行程位移。此组件可实现的位移明显大于压电堆栈的位移，同时保留了分立式堆栈的快速响应时间和低驱动电压范围。由于此位移由挠性安装座内的压电堆栈产生，因此，促动器不会受到反冲的影响。PK2F系列PK2F系列放大型压电促动器的驱动电压为0到75 V，包含U形金属保护盖和球形接触件，以便将负载安装在顶部。这些压电陶瓷促动器预连导线；连接红线的电极应该施加正偏压，连接黑线的电极应该接地。U形金属盖可保护压电堆栈和连接线。促动器外壳顶部有碳化钨球形接触件可以沿位移轴精密安装负载，并预防其他轴方向上不必要的应力。此外，它还带有两个M2.5螺孔，可提供简便且牢固的安装选项。每个堆栈的四个侧面都有一层绝缘的陶瓷层，可用作防潮层。与环氧树脂层相比，陶瓷层的防潮能力更佳。APF系列APF系列的驱动电压为-30到150 V，安装在带螺孔的开放式框架中，用于安装其他组件，因此非常适合OEM集成。这些压电陶瓷促动器预连导线。在一般使用条件下，连接黑线(APF503)或白线(APF705和APF710)的电极应该接地，而使用双极电源将-30 V到+150 V电压施加至红线。另外，如果双极电源不可用，可以通过将黑线或白线电压保持在+30 V，并将红线电压在0和+180 V之间变化来实现满行程的运动。挠性外壳的顶部和底部各具有一个螺纹安装孔，前面和后面各具有四个螺纹安装孔。将促动器集成到装置时，这些安装选项提供了灵活性，但请务必注意将负载与促动器的位移轴正确对准，以防引入角共振模式。注意：搭建装置时，请将每个压电装置的引线都绑在一起，以防止因静电放电造成压电陶瓷元件损坏。这些促动器可以使用MDT69xB和KPZ101开环控制器，以及MPZ601或BPC30x闭环控制器来驱动。这些控制器可以提供0到150 V的驱动电压，因此不能达到APF系列压电陶瓷促动器的满行程。请注意，这些促动器不包含应变计，因此使用闭环控制器时也不提供位置反馈信息。如需闭环反馈，请考虑我们带应变计的压电陶瓷促动器。有关这些压电陶瓷装置的集成应用指导、操作时的特别注意事项，以及在已知工作条件下估算其使用寿命的数据。Thorlabs也提供共烧式压电陶瓷堆栈，位移在4.6 µ m到20.0 µ m之间，其中一款带有内置应变片，可用于提供反馈。与PZT芯片粘合而成的分立式压电陶瓷堆栈不同，共烧式压电陶瓷堆栈通过烧结PZT芯片形成单片式结构。我们的压电陶瓷教程包含更多有关压电陶瓷堆栈设计和功能的信息。

产品描述压电陶瓷执行器能够在0 μm至200 μm甚至更高的运动范围内实现出色的性能，并产生高达1200N的输出力。PAL M14在非常紧凑的直径为M14mm外壳中提供了标称行程范围内的纳米分辨率和毫秒级的响应时间。M14系列促动器可以产生高达1200 N的力。在开环版本中，分辨率仅受控制电路的噪声限制，但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变，其可重复性和稳定性受到影响。固定是通过压电促动器壳体M14外螺纹完成的，移动端应避免弯矩载荷和侧向力。M14系列封装压电促动器的内部为压电直驱结构，因此，高度越高，位移将越大。可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿压电陶瓷的蠕变特性。SGS采用全桥方式传感器，并且对温度不敏感，闭环装置可以用于开环或闭环控制。产品特性—负载: 1200 N—出力: 1200 N—高刚度—高谐振频率选配功能—可选择移动端为内螺纹、外螺纹、平头、球头—可选LEMO/ BNC输出端连接器及线缆长度—可选闭环(SGS) 位置反馈系统—可选热稳定性管理方式及各种移动端转接方式应用范围—模态分析—振动控制—材料测试—机械工业PAL M14系列外形尺寸订购信息 产品型号移动端形式传感器移动端转接形式（选配）电气连接线缆长度PAL..M14-S球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端SGS外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端BNC / LEMO1.5mPAL..M14球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端/外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端BNC / LEMO1.5m

P-841预载压电陶瓷促动器应用领域静态和动态精密定位光纤定位激光调谐纳米技术适用于复杂真空应用压电陶瓷促动器无需润滑，不会造成磨损。全瓷绝缘PICMA促动器也不需要聚合物绝缘，因此非常适合真空应用。PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

P-882多层压电陶瓷促动器PICMA Stack多层压电陶瓷促动器，具有高可靠性工作电压为-20至120伏。陶瓷绝缘，无聚合物。耐湿。优异的温度稳定性。超高真空兼容至10-9百帕，无排气，耐高温。非常适用于动态操作。多种设计选择。封装版本用于喷溅水或油中的操作规格有所修改的定制设计用于高达200摄氏度的工作温度用于高达20安电流的特殊电极多种几何形状：内孔，圆形，矩形多个版本中的陶瓷或金属端件德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

XY长行程纳米促动器基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑，具有较高的保持力与长期的稳定性，能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。技术特点：超长行程：10mm~数百mm高分辨率：传感器分辨率为1.2nm超高精度：重复定位精度小于5nm运动速度：可达10mm/s高稳定性：保持力可达8N超高真空兼容性；运动模式：支持开环与闭环轻量化、结构紧凑，高可靠性模块化设计，摩擦单元可替换应用领域：扫描电镜（SEM）样品操纵主动光学超分辨成像样品移动大范围电子束直写（EBL）微纳装备及制造集成电路制造与检测高真空样品精度对准及调姿纳米聚焦与扫描显微及纳米CT规格参数：型号 NH-XY-16A NH-XY-16B NH-XY-36A NH-XY-36B NH-XY-36MS 运动轴 X轴、Y轴 X轴、Y轴 X轴、Y轴 X轴、Y轴 X轴、Y轴 传感器类型 光栅编码器 光栅编码器 光栅编码器 光栅编码器 光栅编码器 行程(mm) 16 16 36 36 36 保持力（N） 5 5 5 5 5 最大承载力（N） 20 20 20 20 20 尺寸（mm） 52x52x22.5 60x60x26.6 52x52x22.5 60x60x26.6 60x60x26.6 重量 ( g) 150 160 150 160 160 速度（mm/s） 5 5 5 5 5 分辨率（nm） 1.22 12.51.2212.512 闭环重复定位精度（nm） 55055050 材料 铝合金/钛合金 真空度 (mBar) 超真空兼容（5X10-9 ）

德国PI压电纳米位移台应用领域扫描显微镜测量技术测试程序和质量保证光子光纤定位带电容式传感器，实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。自动配置和快速部件更换机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。零间隙柔性铰链导向带来高导向精度柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对振动和冲击不敏感。它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。直接位置测量带来最大精度运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现优异的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

C7促动修理包厂家387-94343879434适配于卡特产品组件C7促动修理包厂家387-94343879434适配于卡特产品组件中路通是国内汽车零部件生产厂商和供应商，是一家从事柴油燃油喷射系统配件研发、制造、销售、出口贸易为一体的企业， 产品广泛应用于轻、中、高功率柴油发动机，涵盖车用、工程用、船用、农用等多领域。公司一直秉承着“精益求精，不断完善”的企业核心理念，着力自主创新，培育和提升核心技术，为公司提供科技储备与保证。中路通公司致力于为中国为客户提供柴油机燃油喷射系统（简称EFI或EGI系统）产品和服务，一直与商用车维修市场的零配件供应商之一的德国DT公司保持良好的合作伙伴关系。主要的产品有VE分配泵配件、适配于LUCAS DPA配件、泵头（VE泵泵头）、喷油嘴（油嘴）、柱塞、出油阀、喷油器、柴油共轨系统配件等，并且公司重视品牌价值的构建，2011开始就创建和拥有自主品牌“DICSCL PARCS”等系列产品为客户提供信誉保障。因为产品比较多，我们无法全部展示，如有需要，请与在线人员及时交流，我们有充足的配件库存和技术人员竭诚为你服务，欢迎广大客户光临惠顾。BRO-GT-sram@china-lutong.n e t*

PIMars纳米定位平台 应用领域扫描显微镜掩模/晶圆定位干涉测量测量技术生物技术扫描和筛选带电容式传感器，实现亚纳米分辨率电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。自动配置和快速部件更换机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。适用于复杂真空应用压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。 PIMars纳米定位平台PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。 零间隙柔性铰链导向带来高导向精度柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对震动和冲击不敏感不敏感。它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。 并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

\一, Erin-914 压电式控制器/单通道控制器该单通道控制器为916B型光纤拉伸器的压电致动器提供连续可变的0至+150V电压。压电致动器是大电容负载，需要大电流容量的驱动器。所需电源为115V AC，0. 2Amp。此外，还提供在220V AC下使用的控制器。BNC连接器的输入信号为0至5V，通过Telco 4导体带状电缆连接至916B的配套插座上，输出信号为0至+150V。914控制器还可以集成915B驱动程序，无需使用+/-15V实验室电源来驱动随附的915B驱动卡。信号输入+/-5V。914-1型为单通道，附有915或916驱动卡。914-2型为双通道，附有两个915驱动卡。 二, 压电迷你多通道压电驱动器 压电堆叠驱动器/压电堆栈大电流压电驱动器压电驱动器是多通道压电驱动器，它是变形镜和任何类型的压电驱动器的理想选择。压电迷你多通道压电驱动器 压电堆叠驱动器/压电堆栈大电流压电驱动器,压电迷你多通道压电驱动器 压电堆叠驱动器/压电堆栈大电流压电驱动器技术参数一,微型压电驱动器型号 Piezo-Mini微型压电驱动器是多通道压电驱动器，它是变形镜和任何类型的压电驱动器的理想选择。 通道32工作电压-125/+125V或0-250V通信通用串行总线最大电流暂无大小32mm x 79mm x 120mm带宽5kHz 八,压电驱动器 M-2695 (致动/促动器 开环控制)2CH 独立输入/输出非常适合驱动 XY 压电平台。低噪声输出可实现压电致动器的高分辨率驱动。由于它可以暂时输出额定电流的三倍，因此可以高速驱动压电致动器。也可作为稳定的外控可变电源使用。压电驱动器 M-2695 (致动/促动器 开环控制),压电驱动器 M-2695 (致动/促动器 开环控制)通用参数特 性M-2695频道数2输出电压－15~+150V输出电流Max. 值 ±100mA 有效值 70.7mArms ,平均 63.7mAavg 高峰值±300mApk增益×0~×15 Max. 值小于等于±1％ (使用精密螺丝刀调整面板正面)频率特性DC ~ 50kHz(无负载)非线性≤±0．1％偏移电压调整范围－15~+150V输出噪声≤0.5mV(rms) (无负载)温度漂移±5mV／℃(typ)输入电压±10V输入电阻100kΩ输出电阻33Ω输入输出端口BNC 连接器电源、温湿度 使用环境电源 AClOOV±10％、50／60Hz、 温湿度 小于等于－10~50℃、 85％RH, 不含腐蚀性物质的几乎1个气压的室内消耗电流额定输出时（容量负荷C=1uF）：0.3A(typ) ,无负载时：0.2A(typ)外部尺寸210W × 150H × 280D (尺寸除去突起部分)重量大约 4 Kg二,多路压电驱动器多路压电驱动器是一款模块化的变形镜和压电驱动器的电子解决方案。它可以配置USB或以太网端口多达128个执行器。 通道32或64或96或128工作电压-125/+125V或0-250V通信通用串行总线最大电流暂无大小暂无带宽暂无 三,压电堆叠驱动器/压电堆栈大电流压电驱动器型号:Piezo Stack压电堆叠驱动器是一种款高电流多通道电子驱动器，用于变形镜和多层压电致动器。它通过即插即用USB端口进行通信。 通道10至40个通道工作电压0V/+100V通信通用串行总线最大电流暂无大小暂无最大负载暂无三,台式单通道高电压功率放大器 2.5A 输出DC 30-150V (用于压电PZT测试)MP-VA150用于压电器件的高电压功率放大器是一种台式开环放大器，适用于筱晓光子的的PZT窄线宽可调谐激光器、光纤拉伸器。这种放大器的电压增益为15，能够产生的最大输出电压为+150 V，连续输出电流为2.5 A(峰值电流10 A)，且噪声低。MP-VA150非常适合需要用高脉冲电流给高电容负载迅速充放电的动态应用，比如液体分配和减振应用。放大器的前面板有用于输入低电压的BNC母接头，能够接收外部信号发生器、计算机控制器或反馈网络发出的-2 V - 10 V信号波形。此外，还有一个用于监控输出电压和波形的BNC母接头。监控器的缩放比例为10:1，也就说，150 V的输出电压可以产生15 V的监控电压。为了防止工作期间产生内部损害，MP-VA150放大器还配有保护电路，能够在电压过载或仪器过热时启动。发生这些错误时，分别会点亮红色的ERROR和OVERLOAD LED指示灯。台式单通道高电压功率放大器 2.5A 输出DC 30-150V (用于压电PZT测试),台式单通道高电压功率放大器 2.5A 输出DC 30-150V (用于压电PZT测试)产品特点● 输出电压范围：-30 V - 150 V● SHV母接头● SHV电缆(60英寸)单独提供● 15X固定电压增益● 峰值电流10 A，连续电流2.5 A● 单通道输入(BNC)：-2 V - 10 V● 监控输出(BNC)：-3 V - 15 V● 温度传感器，用于过热保护● 电压过载保护● 最大驱动电压为150 V产品应用● PZT调制● 高压驱动● 测试测量● 非线性效应研究● 高电压任意波形输出，变得如此简单配套使用产品：633nm窄线宽PZT波长可调谐模块 单模光纤PZT拉伸器技术参数压电输出电压输出范围-30 V to 150 V DC电压增益15输出电流2.5 A Continuous (AC RMS), 10 A Peak电压稳定性100 ppm Over 24 hours (30分钟热机以后)噪声 0.5 mV RMS (Bandwidth 20 Hz to 100 kHz)典型压电电容1 to 10 µ Fa输入输入类型Single Ended输入阻抗10 kΩ输入电压范围-2 V to 10 V DC全量程输入电压10 V DC ±2%监控输出 (BNC)输出电压范围-3 V to 15 V输出阻抗220 Ω最小推荐负载阻抗10 kΩ短路/过载保护Yes温度传感器Yes比例因子（HV 监视器）1/10 (15 V for a Max Piezo Voltage of 150 V)输入电学功率要求 (IEC Connector)供电电压85 - 264 VAC供电电流 2 A (Ignoring Power on Transient)保护Internal Fuse, Qty. 2, T3. 15 A H 250 V Anti-Surge Ceramic通用参数尺寸300.0 mm x 305.0 mm x 154.9 mm (11.81" x 12.01" x 6.10")重量6.0 kg (12.12 lbs)工作温度5 °C to 40 °C备注：连接压电器件，放大的电压通过仪器后面板的安全高压(SHV)母接头输出，以提升安全性。与BNC接头相比，SHV接头还有额外的绝缘层和凹进去的导电销，以防未连接时意外接触。SHV母头与BNC公头不匹配，以防接入低电压接头。四, 电压放大器 (带宽DC-100/DC-500/AC-100/AC-500等)VA系列电压放大器是筱晓光子针对微弱传感电压信号放大，数据采集前置放大的应用需求研发。该系列电压放大器内部集成了低噪声隔离电源以及超低噪声放大电路，具备高带宽、低噪声、高增益的特点。并且还根据不同应用需求推出了增益可调电压放大器。电压放大器 (带宽DC-100/DC-500/AC-100/AC-500等),电压放大器 (带宽DC-100/DC-500/AC-100/AC-500等)产品特点● 高带宽● 固定/可变增益● 低噪声● 内置低噪隔离电源产品应用● 分布式光 纤传感● 激光测风雷达● 光电倍增管放大器● 自动测量系统● ADC前置放大器通用参数类型固定增益增益可调单位型号WVA-100MWVA-200MWVA-500MAGVA-100MAGVA-200MAGVA-500M带宽DC-100DC-200DC-500AC-100AC-200AC-500MHZ增益20/4020/4020/4020/4020/4020/40dB输入噪声电压0.90.90.90.90.90.9nV/√(Hz)输入阻抗50(1M)50(1M)50(1M)50(1M)50(1M)50(1M)Ω输出阻抗505050505050Ω输出耦合方式DC/ACDC/ACACACACAC最大输出电压2.5Vpp50Ω 负载2.5Vpp50Ω 负载2.5Vpp50Ω 负载2.5Vpp50Ω 负载2.5Vpp50Ω 负载2.5Vpp50Ω 负载V连接器SMASMASMASMASMASMA外形尺寸80*80*3080*80*3080*80*3080*80*3080*80*3080*80*30mm相关测试数据典型应用领域五,J波段低噪声放大器 (220-270GHz 15dB增益 在线WR-03波导)SBL-2242741585-0303-E1 是一款 J 波段低噪声放大器，在 220 至 270 GHz 的频率范围内具有 15 dB 的典型小信号增益和 8.5 dB 的标称噪声系数。WR-03 频段低噪声放大器的直流电源要求为 +8 VDC/50 mA。输入和输出端口配置提供带 WR-03 波导和 UG-387/UM 防翘曲法兰的内联结构。J波段低噪声放大器 (220-270GHz 15dB增益 在线WR-03波导),J波段低噪声放大器 (220-270GHz 15dB增益 在线WR-03波导)型号参数电性能指标:参数Min值典型值Max值频率范围220 GHz270 GHz增益 Gain15 dB噪声因数 Noise Figure8.5dBP1dB-5 dBmPin10 dBm输入回波损耗5dB输出回波损耗5dB直流电压+8 VDC+12VDC直流电源电流 DC Supply Current50 mA温度规范 Specification Temperature+25 °C操作温度 Operation Temperature0 °C+50 °C机械指标: 项目及规格输入WR-03 Waveguide with UG-387/U-M Anti-Cocking Flange输出WR-03 Waveguide with UG-387/U-M Anti-Cocking Flange偏差 Bias焊接引脚 Solder Pin外壳材质Case Material铝合金Finish 饰面镀金重量1.6 oz尺寸1.40”(L) x 1.00"(W) X 0.75”(H)OutlineBG-S03-2-A增益和回波损耗vs.频率偏差: +8 VDC/40 mA六,WR-04波段 标准功率放大器 210-230GHzSBP-2142341507-0404-E1 是一款 WR-04 功率放大器，在 210 至 230 GHz 的频率范围内具有 15 dB 的典型小信号增益和 7.0 dBm 的标称 P1dB。功率放大器的直流电源要求为 +8 VDC/300 mA。输入和输出端口配置提供带 WR-04 波导和 UG-387/UM 抗翘曲法兰的内联结构。WR-04波段 标准功率放大器 210-230GHz,WR-04波段 标准功率放大器 210-230GHz型号参数电气规格参数Min值典型值Max值频率范围210 GHz230 GHz增益 Gain15 dB噪声因数 Noise Figure7.0dBP1dB10 dBmPin12 dBm输入回波损耗8dB输出回波损耗5dB直流电压+8 VDC+12VDC直流电源电流 DC Supply Current300 mA温度规范 Specification Temperature+25 °C操作温度 Operation Temperature0 °C+50 °C机械指标: 项目及规格输入WR-04 Waveguide with UG-387/U-M Anti-Cocking Flange输出WR-04 Waveguide with UG-387/U-M Anti-Cocking Flange偏差 Bias焊接引脚 Solder Pin外壳材质Case Material铝合金Finish 饰面镀金重量1.6 oz尺寸1.40”(L) x 1.00"(W) X 0.75”(H)OutlineBG-S04-2-A七, 紧凑型WR-10波导台式RF功率放大器 75-110GHz是一种紧凑型台式放大器，在75至110GHz的频率范围内具有25dB的典型小信号增益和+15dBm和+20dBm PSAT的标称P1dB，使放大器饱和所需的输入功率通常为-5 dBm。提供交流到直流电源适配器，以便所需的电源是100到240 VAC范围内的单相交流电压，可以通过墙上的插座或实验室工作台供电。风扇有助于使放大器在室温下工作。输入和输出端口为WR-10波导，带有标准UG-387/U-M防翘法兰。紧凑型WR-10波导台式RF功率放大器 75-110GHz,紧凑型WR-10波导台式RF功率放大器 75-110GHz产品特点全波导带覆盖 高增益高输出功率产品应用通信系统台式功率放大器检测设备通用参数电气规格参数最小值典型值最大值频率75 GHz110 GHz增益25 dBP1dB+15 dBmPsat+20 dBmPin0dBm端口回波损耗10 dB电源（提供交流适配器）100 VAc240 VAc规格温度+25 °C运行温度0 °C+50 °C机械规格项目特征射频端口 RF Ports带uG-387/U-M防旋塞法兰的WR-10波导直流偏置 DC Bias2.5毫米直流插座（包括交流到直流电源转换器）外壳材质挤压铝抛光彩色重量1.5 lbs尺寸2.36”(W)x2.36”(L)x4.10”(H)OutlineTB-SW-A-C增益和回波损耗与频率的关系

更大的仪器化压入（IIT）测试范围根据仪器化压入测试 (IIT) 的要求，微米压痕仪非常适合于对硬度和弹性模量等机械性能的测量。它适用于块状样品和薄膜，从软材料到硬材料（金属、陶瓷、聚合物），可以进行大位移测量（最大 1 mm）。可以根据需求添加划痕测试模式。主要特点仪器化压入测试 (IIT) 用于测量硬度和弹性模量位移-仪器化压痕：持续测量与施加的载荷和相关的位移，获得材料硬度和弹性模量一台仪器即可进行从纳米到宏观尺度的压痕从小位移（几纳米）到大位移（最大 1 mm）的压痕大载荷范围（从10 mN 到 30 N）以满足样品特性的要求大载荷范围 对测量粗糙表面尤为有用高精度的位移和载荷可进行精确的微米压痕测量两个独立的传感器：一个用于载荷，一个用于位移，来进行准确的计量测量高框架刚度：2 x 108 N/m，更高的位移准确度材料性能的位移曲线连续多周期 (CMC) 的位移曲线：硬度和弹性模量与压入位移的关系压入载荷和位移控制模式可视点阵模式通过显微镜观察对样品进行多点定位测试通过多个测试模式：可使用用户自定义程序根据需要设置测试参数载荷最大载荷30 N分辨率6 μN本底噪音100 [rms] [μN]*位移最大位移1000 μm分辨率0.03 nm本底噪音1.5 [rms] [nm]*载荷框架刚度 107 N/m国际标准ISO 14577, ASTM E2546, ISO 6507, ASTM E384

单轴长行程压电纳米位移台基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑，具有较高的保持力与长期的稳定性，能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。技术特点：长行程：16mm高分辨率：传感器分辨率为1.2nm超高精度：最小步长2nm运动速度：可达10mm/s高稳定性：保持力可达8N超高真空兼容性；运动模式：支持开环与闭环轻量化、结构紧凑，高可靠性模块化设计，摩擦单元可替换应用领域：扫描电镜（SEM）样品操纵主动光学超分辨成像样品移动大范围电子束直写（EBL）微纳装备及制造集成电路制造与检测高真空样品精度对准及调姿纳米聚焦与扫描显微及纳米CT

根据仪器化压入测试 (IIT) 的要求，微米压痕仪非常适合于对硬度和弹性模量等机械性能的测量。它适用于块状样品和薄膜，从软材料到硬材料（金属、陶瓷、聚合物），可以进行大位移测量（最大 1 mm）。可以根据需求添加划痕测试模式。 仪器化压入测试 (IIT) 用于测量硬度和弹性模量• 位移-仪器化压痕：持续测量与施加的载荷和相关的位移，获得材料硬度和弹性模量 一台仪器即可进行从纳米到宏观尺度的压痕• 从小位移（几纳米）到大位移（最大 1 mm）的压痕• 大载荷范围（从10 mN 到 30 N）以满足样品特性的要求• 大载荷范围 对测量粗糙表面尤为有用 高精度的位移和载荷可进行精确的微米压痕测量• 两个独立的传感器：一个用于载荷，一个用于位移，来进行准确的计量测量• 高框架刚度：2 x 108 N/m，更高的位移准确度 材料性能的位移曲线• 连续多周期 (CMC) 的位移曲线：硬度和弹性模量与压入位移的关系• 压入载荷和位移控制模式• 可视点阵模式通过显微镜观察对样品进行多点定位测试通过• 多个测试模式：可使用用户自定义程序根据需要设置测试参数 典型应用• 冶金：块状金属、高载荷合金（粗糙表面）和/或显微硬度• 聚合物的表征（块状材料和粗糙表面）• 仪器化压痕热喷涂涂层的表征• 涂层表面的物理特性分析• 胶凝的机械性能技术规格载荷最大载荷30 N分辨率6 μN本底噪音100 [rms] [μN]*位移最大位移1000 μm分辨率0.03 nm本底噪音1.5 [rms] [nm]*载荷框架刚度 107 N/m国际标准ISO 14577, ASTM E2546, ISO 6507,ASTM E384*理想实验室条件下规定的本底噪音值，并使用减震台。

中图仪器NS系列微米到纳米尺度表面形貌接触式台阶测量仪用于测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数，是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。NS系列微米到纳米尺度表面形貌接触式台阶测量仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。工作原理测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。产品功能 1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能NS系列微米到纳米尺度表面形貌接触式台阶测量仪配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。 性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。在太阳能光伏行业的应用台阶仪通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。针对测量ITO导电薄膜的应用场景，NS200台阶仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；部分技术参数型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB 空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统—mIRage美国PSC (Photothermal Spectroscopy Corp, 前身Anasys公司)最新发布的一款应用广泛的非接触式亚微米分辨红外拉曼同步测量系统。基于PSC专利的光热诱导共振（PTIR）技术，mIRage显微红外光谱仪突破了传统红外的光学衍射极限，其空间分辨率高达500 nm，可以帮助科研人员更全面地了解亚微米尺度下样品表面微小区域的化学信息。O-PTIR (Optical Photothermal Infrared) 光谱是一种快速简单的非接触式光学技术，克服了传统IR衍射的极限。与传统FTIR不同，不依赖于残留的IR 辐射分析，而通过检测由于本征红外吸收引发的样品表面快速的光热膨胀或收缩，来反映微小样品区域的化学信息。mIRage显微红外克服了传统红外光谱的诸多不足： &bull 空间分辨率受限于红外光光波长，只有10-20 μm&bull 透射模式需要复杂的样品准备过程,且只限于薄片样品&bull 无传统ATR模式下的散射像差和接触污染 mIRage显微红外的优势之处在于: &bull 亚微米空间分辨的IR光谱和成像（~500 nm），且不依赖于IR波长&bull 与透射模式相媲美的反射模式下的图谱效果&bull 非接触测量模式——使用简单快捷，无交叉污染风险&bull 很少或无需样品制备过程 （无需薄片）, 可测试厚样品&bull 可透射模式下观察液体样品&bull 实现同时同地相同分辨率的IR和Raman测试，无荧光风险 测试数据1、多层薄膜 高光谱成像： 1 sec/spectra. 1 scan/spectra样品区域尺寸：20 μm x 85 μm size. 1 μm spacing. 图谱中可以明显看出在不同区域上的羰基，氨基以及CH2 拉伸振动的分布很少或无需样品制备的多层高分子膜的O-PTIR分析高分子薄膜层间的亚微米空间分辨O-PTIR分析2、高分子 高分子膜缺陷。左：尺寸为240 μm的两层薄层上缺陷的光学图像；右：在无缺陷处（红色）和缺陷处（蓝色）的样品的IR谱图，998 cm-1处为of isotactic polypropylene 的特征红外吸收峰环氧树脂包埋聚苯乙烯球的亚微米分辨O-PTIR线扫描PS和PMMA微塑料混合物的亚微米红外拉曼同步O-PTIR光谱和成像分析3、生命科学 左：70*70 μm范围的血红细胞的光学照片；中：红色条框区域在1583cm-1处的Raman照片；右：红血细胞选择区域的同步的IR和Raman图谱 矿物质的红外成像：小鼠骨骼中的蛋白质分布分析 上左：水中上皮细胞的光学照片；上右：目标分子能够在红外光谱上很容易的区分和空间分离，可以明显看到0.5-1.0 μm的脂肪包体；下：原理示意图：红外光谱测量使用透射模式，步长为0.5 μmPLA/PHBHx生物塑料薄片的O-PTIR光谱和成像分析 4、医药领域 左：PLGA高分子和Dexamethasone药物分子的混合物表面的光学照片中：在1760 cm-1 出的高光谱图像，显示了 PLGA在混合物中的分布，图像尺寸40 μm * 40 μm 右：在1666 cm-1 出的高光谱图像，显示了 Dexamethasone在混合物中的分布，图像尺寸40 μm *40 μm 5、法医鉴定 左：800 nm纤维的光学照片右：纳米纤维不同区域的O-PTIR图谱 6、其他领域 &bull 故障分析和缺陷&bull 微电子污染&bull 食品加工&bull 地质学 &bull 考古和文物鉴定发表文章[1] Depth-resolved mid-infrared photothermal imaging of living cells and organisms with submicrometer spatial resolution, Ji-Xin Cheng et al., Sci. Adv. 2016, 2, e1600521.[2] Mid-Infrared Photothermal Imaging of Active Pharmaceutical Ingredients at Submicrometer Spatial Resolution, Ji-Xin Cheng et al., Anal. Chem. 2017, 89, 4863-4867.[3] Label-Free Super-Resolution Microscopy. Springer, Biological and Medical Physics, Biomedical Engineering.[4] Advances in Infrared Microspectroscopy and Mapping Molecular Chemical Composition at Submicrometer Spatial Resolution, Spectroscopy 2018.[5] Evolution of a Radical-Triggered Polymerizing High Internal Phase Emulsion into an Open-Cellular Monolith, Macromolecular Chemistry and Physics, 2019.[6] A Global Perspective on Microplastics, Journal of Geophysical Research: Ocean, 2019.[7] Super-Resolution Infrared Imaging of Polymorphic Amyloid Aggregates Directly in Neurons (Front Cover), Advanced Science, 2020.[8] Self-formed 2D/3D Heterostructure on the Edge of 2D Ruddlesden-Popper Hybrid Perovskites Responsible for Intriguing Optoelectronic Properties and Higher CellEfficiency, Applied Physics, 2020.[9] Two-Dimensional Correlation Analysis of Highly Spatially Resolved Simultaneous IR and Raman Spectral Imaging of Bioplastics Composite Using Optical Photothermal Infrared and Raman Spectroscopy, The Journal of Molecular Structure, 2020.[10] Super resolution correlative far-field submicron simultaneous IR and Raman microscopy: a new paradigm in vibrational spectroscopy, Advanced Chemical Microscopy for Life Science and Translational Medicine, 2020.[11] Submicron-resolution polymer orientation mapping by optical photothermal infrared spectroscopy, International Journal of Polymer Analysis and Characterization, 2020.[12] Bulk to nanometre-scale infrared spectroscopy of pharmaceutical dry powder aerosols, Analytical Chemistry, 2020.[13] Optical Photothermal Infrared Micro-Spectroscopy – A New Non-Contact Failure Analysis Technique for Identification of10mm Organic Contamination in the Hard drive and other Electronics Industries. Microscopy Today, 2020.[14] Spontaneous Formation of 2D-3D Heterostructures on the edges of 2D RuddlesdenPopper Hybrid Perovskite Crystals, Chemistry of Materials, 2020.[15] Simultaneous Optical Photothermal Infrared (OPTIR) and Raman Spectroscopy of Submicrometer Atmospheric Particles, Analytical Chemistry, 2020.[16] Detection of high explosive materials within fingerprints by means of optical-photothermal infrared spectromicroscopy, Analytical Chemistry, 2020.[17] Polarized O-PTIR of collagen and individual fibril strands reveals orientation, Molecules Special Edition: “Biomedical Raman and Infrared Spectroscopy: Recent Advancement and Applications, 2020.用户单位科学研究生物医学应用部分用户评价：应用案例■ 偏振红外光谱助力胶原蛋白的分子取向研究在过去的十年里，红外（IR）光谱已被广泛应用于哺乳动物组织中的胶原蛋白研究。对有序胶原蛋白光谱的更好理解将有助于评估受损胶原蛋白和疤痕组织等疾病。因此，利用偏振红外光研究胶原蛋白（I型胶原和II型胶原）的层状结构和径向对称性逐渐成为研究热点。近期，在Kathleen M. Gough等人的研究中[1]，作者采用基于光学光热红外（O-PTIR）专利技术的PSC非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统 mIRage对样品?500 nm单点区域收集振动光谱，如图1所示。该光学光热红外（O-PTIR）技术的工作原理是光热检测，其中红外量子级联激光器（QCL）激发样品在1800–800 cm-1光谱范围内的分子振动。产生的光热效应通过短波长探测激光器检测。图1A-B中的光谱表明，固有的激光偏振所获得的高对比度所产生的光谱与使用FTIR焦平面阵列和偏振器组合进行的光谱测试近乎一致。并且对于安装在玻璃显微镜的不同载玻片，样品均获得了具有良好SNR的高质量光谱。图1. 从CaF2窗口利用O-PTIR测试控制肌腱原纤维获得的光谱。用平行于激光偏振的原纤维获得的顶光谱（红色）；蓝色是垂直方向上的光谱。右侧是在垂直方向基于1655 cm-1的单波长图像。正方形表示光谱采集位置。比例尺= 1 μm。 光学光热红外（O-PTIR）技术可以通过在载物台上轻易地旋转样品来测试平行和垂直于红外激光偏振方向的光谱。并利用光学光热红外（O-PTIR）技术在几个单一频率下对原纤维成像，以获得表观物理宽度的确定性估计。如图1右侧所示，在垂直方向上， 1655 cm-1处记录的单波长图像的红黄带表明该原纤维的宽度不超过500 nm。该尺寸将目标物标定为真正的原纤维，并且可与红外s-SNOM实验中检测到的300 nm原纤维相当。光学光热红外（O-PTIR）技术与nano-FTIR的测试结果相互印证，反映了“原纤维”宽度的标准范围。此外作者观察到，来自原纤维的酰胺I和II谱带比完整肌腱的窄，并且相对强度和谱带形状都发生了变化。这些光谱反映出在偏振红外光下正常I型胶原纤维的更多有用信息，并可作为研究胶原组织的基准。与基于焦平面阵列检测器的偏振远场傅立叶变换红外（FF-FTIR）光谱相比，光学光热红外（O-PTIR）具有更高的空间分辨率，且可提供单波长光谱。使用FF-FTIR FPA探测往往包括其他非胶原材料。同时，光学光热红外（O-PTIR）还可以提供偏振平行于原纤维取向的原纤维光谱。这也是光学光热红外（O-PTIR）和纳米FTIR光谱对直径为100~500 nm的胶原原纤维给出证实性和互补性结果的首次证明。综上所述，这些结果为进一步研究生物样品中的胶原蛋白提供了广阔的基础。 参考文献：[1]. Gorkem Bakir, Benoit E. Girouard, Richard Wiens, Stefan Mastel, Eoghan Dillon, Mustafa Kansiz, Kathleen M. Gough, Molecules 2020, 25, 4295 doi:10.3390/molecules25184295.■ 光热红外显微技术首次应用于刑侦领域指纹中易爆炸物的检测传统的可视化指纹检测手段，如扑粉，茚三酮熏蒸，真空金属沉积等，尽管可以重建指纹图案，但其同时可能对一些指纹脊状突起中含有的化学物质造成破坏。近年来，许多技术被用于指纹中痕量外源物质的分析鉴定，如解吸电喷雾电离质谱(DESI-MS)，液相色谱-质谱(LC-MS)，但通常需要额外的溶剂喷雾处理，且空间分辨率不足（~150 μm），或者分析过程会对指纹造成破坏。傅里叶变换红外(FTIR)光谱显微镜，可以探测样品中分子间化学键的固有分子振动，并提供丰富的化学信息, 已成为一种快速、无需标记、无损的样品表征方法，被广泛应用于包括刑侦在内的众多领域。FTIR透射模式测试通常选用红外光透明的材料，而反射模式则选用硅片，聚酯薄膜或铝覆盖的玻璃基底，但两者在指纹分析上多局限于收集在选定波数下指纹中组分物质的二维分布信息。另外对于那些沉积在既不透明也不反射红外的基底上的样品，衰减全反射法（Attenuated total reflectance，ATR）成为选择，但ATR通常不是法医鉴定的一种理想方法，因为ATR要求被分析的样品和ATR晶体紧密接触，往往会导致样品变形甚至最后破坏剩余的证据。基于以上考虑，新加坡国立大学同步辐射光源线站的科学家们和新加坡刑事调查局刑侦部门共同合作开发出了一种新的红外检测手段，即使用基于新型光热红外（Optical- Photothermal InfraRed，O-PTIR）技术的非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统mIRage来分析指纹中含有的痕量易爆炸物微粒，该技术带来了一系列的优势，如亚微米级的红外光谱和成像分辨率，易操作的远场、非接触显微镜工作模式和明显高于FTIR光谱显微镜的灵敏度。作者认为O-PTIR技术是一种分析具有挑战性样品的理想手段，如隐藏的指纹，提供隐藏在大量外源物质中的微小(亚微米)粒子的化学信息（如易爆物）且不需要复杂的样品制备过程。这些信息可以通过单波数红外成像和亚微米空间分辨率的红外光谱获得，后者使用目前的FTIR光谱显微镜是无法做到的（分辨率受限于红外波长，约10-20 μm）。另外，该分析手段非常简单快捷，无破坏性，且不需要基于接触的方法（例如ATR光谱技术），使得样品的完整性被完全的保持。特别指出的是，该技术的非破坏性非常重要，尤其是在法医领域，因为它可以允许同时使用其他技术对相同样本进行互补和比对分析，并作为法律证据。此外，随着技术的发展，O-PTIR现在可以与拉曼显微镜相结合，以提供真正的亚微米同步的红外拉曼测试，使得在一个仪器上通过一次测量即可进行互补和验证分析。■ 亚微米空间分辨同步IR + Raman光谱成像分析 PLA/PHA生物微塑料薄片来源于石油中的塑料产品已经成为现代生活不可分割的一部分，它们性能优异，用途广泛且相对便宜，但同时也引发了人们对于塑料垃圾在环境中累积问题的担忧，迫使我们尽快采取行动探索替代传统塑料的新型材料。生物塑料, 如聚乳酸(PLA)和聚羟基烷酸酯(PHA)等均来源于天然资源（如糖，植物油等），它们在适当条件下可发生生物降解，因此其制成的产品即使不小心泄漏到环境中，也不会像传统塑料一样长期残留在土壤和水道中，而是最终回归自然，安全而又环保。虽然典型的PLA和PHA在分子层面上基本不混溶，但得益于其优异的相容性，它们可以以不同比例形成复合材料，创造出许多性质迥异的功能材料。为了更好地理解这两种材料在微观上的相互作用，美国特拉华大学Isao Noda教授课题组与Photothermal Spectroscopy Corp公司合作，利用基于光学光热红外技术（O-PTIR）的新一代非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统mIRage对PLA和PHA的复合薄片进行红外拉曼同步成像分析，探究了这两种材料结合的方式和内在机理。PHA/PLA羰基伸缩振动区域二维同步(A)和异步(B)相关光谱（2D-COS）分析以及交界区域同步O-PTIR红外和拉曼光谱分析（左为红外，右为拉曼）。O-PTIR作为一种新型的光谱技术，具有传统FTIR显微镜不可比拟的优点，并克服了许多限制。首先，O-PTIR可以提供空间分辨率约为500 nm的红外谱图，远远超过了典型的红外衍射极限空间分辨率，且不依赖于入射红外波长。更重要的是，它能够以反射/非接触(远场)工作模式简单快速的生成高质量的类似于FTIR的谱图，从而避免了制备样本薄切片的必要，且光谱与商用FTIR数据库搜索完全兼容和可译。另外，即使样品中包含易产生荧光干扰的组分（压制拉曼信号或造成其饱和），O-PTIR的可调制信号收集特性也确保它完全不受任何荧光的影响。IR和Raman在O-PTIR方法的结合下，可以充分利用这两种互补性技术的优势，实现同步的红外吸收和拉曼散射测量，并相互印证。参考文献：[1] Two-dimensional correlation analysis of highly spatially resolved simultaneous IR and Raman spectral imaging of bioplastics composite using optical photothermal Infrared and Raman spectroscopy，Journal of Molecular Structure， DOI: 10.1016/j.molstruc.2020.128045.■ 非接触式亚微米O-PTIR光谱成像技术研究Ruddlesden-Popper混合钙钛矿边缘的形成低能量边缘光致发光的研究，对提高Ruddlesden-Popper钙钛太阳能电池效率有着十分重要的影响和意义。在本篇研究中，电子科技大学王志明教授课题组与Photothermal Spectroscopy Corp公司合作，使用O-PTIR技术及新一代的非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统mIRage研究MAPbBr3在(BA)2(MA)2Pb3Br板边缘分布情况。本研究使用O-PTIR技术探测具有以下优势：首先(BA)2(MA)2Pb3Br10和MAPbBr3之间由于缺少BA，因此其红外光谱具备显著的差异；其次，这种非接触式探测能够有效避免样品高度，探针污染所带来的问题；另外，无论是BA缺陷，还是BA对MA的比例已有使用FTIR光谱研究的报道，具备良好的基础。图1 O-PTIR观测边缘的MAPbBr3的红外光谱信息。(a)(BA)2(MA)n-1 bn br3n+1(n = 1，2，3，∞)钙钛矿的红外光谱；（b-c）(BA)2(MA)2Pb3Br10和MAPbBr3的中MA+分子在1480 cm-1 (b)和BA+分子 1580 cm-1 (c)的图谱；(d) (BA)2(MA)2Pb3Br10的PL图像；(e)在(d)中所示的中心区域和边缘的红外光谱图通过O-PTIR的测量（图1），能够观测到随着BA的含量降低，~1580 cm-1处的峰的相对强度减小，峰值伴随着向1585 cm-1的峰值偏移。这主要是由于(BA)2(MA)2Pb3Br10在1580 cm-1附近有两个涉及NH3振动的红外吸收带:一个在1575 cm-1处(BA+)，另一个在1585 cm-1处(MA+)。当BA含量降低时，1575 cm-1处的带强度降低，导致峰值强度在约1580 cm-1处降低，并伴随向1585 cm-1偏移。在测试中观测到的另外一个现象为~1480 cm-1与~1580 cm-1的相对强度比增大，因为1478 cm-1的振动(CH3振动)仅与MA+相关，因此~1480 cm-1的强度没有变化，而1580 cm-1却由于BA含量降低而降低，导致比值的降低。■ 非接触式亚微米O-PTIR光谱成像技术研究高内相乳液聚合演变过程在高内相乳液(HIPE)中，初始离散单元在聚合过程中或之后转变成由窗口高度互联聚合体的时间和方式，一直是一个有争议的问题。2D O-PTIR(optical photothermal infrared)新表面成像技术为探索这个polyHIPE的窗口形成机理提供了机会，只要检测目标区域的大小相对于分辨率来说足够大。2D PTIR技术基于以下工作原理：一束红外激光聚焦在样品表面 被吸收的红外光使样品升温，诱导光热响应 这种本征的光热响应被一束可见光所检测；因此可与FTIR透射模式质量相媲美的图谱被使用反射模式所得到。该技术有四大优势：使用可见光为检测光，可以将分辨率提高到 ~ 500 nm；非接触式的光学显微镜；分辨率不依赖于红外光波长；不会产生弥散的伪影。同济大学万德成教授课题组与Photothermal Spectroscopy Corp公司合作，利用光学光热红外技术（O-PTIR）技术及新一代的非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统mIRage（图1）对polyHIPE的聚合体进行了红外光谱和成像分析，探究其演变过程及形成机理。图1. A) 3% 表面活性剂用量诱导的polyHIPE选取区域的光学照片, B) 相应的mIRage 2D O-PTIR图像。C) 插图为典型的选定区域附近的局部表面形貌(通过SEM)，D) 插图为立方状样品的光学照片(≈5×5×5 cm3)。(B)图条件:红色代表强烈的反应，绿色代表几乎没有反应，而黄色代表对1492 cm-1处的激光束的中等反应。图2. 在1600 (绿色)和1492 cm -1(红色)激光束照射下的多聚体表面的mIRage 2D O-PTIR图像。B) 一系列的FTIR光谱提取采样点(箭头尾)。每个采样点的高度比为1600/1492 cm-1，如(C)所示，相邻的采样点为250 nm■ 科学家借助mIRage首次成功直观揭示神经元中淀粉样蛋白聚集机理老年神经退行性疾病，如阿尔茨海默症(AD)、肌萎缩性侧索硬化症、Ⅱ型糖尿病等，目前困扰着全世界大约5亿人，且这个数字仍在不断迅速增长。尤其是阿尔兹海默症（占70%以上），目前仍未有行之有效的诊断方法，因此无法得到有效的治疗或预防。尽管当代病理学研究已经证实这种病理变化与具有神经毒性的β淀粉样蛋白质的聚集有关，但其在神经元或脑组织中的聚集机制目前尚不清楚。现有的方法, 如电子显微镜、免疫电子显微镜、共聚焦荧光显微镜、超分辨显微镜，通常都需要对样品进行化学加工（标记染色等）,可能会对淀粉样蛋白结构本身造成影响。而非标记方法，如表面增强拉曼光谱（SERS）和傅里叶变换红外光谱（FTIR）, 前者受限于亚细胞水平上的低信噪比、自发荧光及不可逆的光损伤，后者其空间分辨率受限于红外光波长（≈5–10 μm），且光谱可解译性和准确性受到弹性细胞光散射所产生的米氏散射效应(Mie scattering effects)的严重影响，使得直接在亚微米尺度上研究淀粉样蛋白质在神经元内的聚集行为十分困难。近日，瑞典隆德大学的Klementieva教授团队与美国PSC公司的Mustafa Kansiz博士合作，使用全新非接触式亚微米分辨红外测量系统，在亚微米尺度上研究了淀粉样蛋白沿着神经突直到树突棘的聚集行为（图1B和C），这是以往的实验技术手段所不可能实现的。该技术是在非接触模式下工作，不会对神经元造成损伤，这在研究脆弱或粘性的物质时显得尤为重要。另外，该技术还能获得亚微米尺度的红外光谱，且不含由于背景失真或米氏散射造成的散射伪影。最新的技术进步表明，全新的非接触式亚微米分辨红外测量系统mIRage现在可以用来做活细胞成像,并保持相同的亚微米空间分辨率。在这种情况下，全新的非接触式亚微米分辨红外测量系统有望在β片层结构在活神经元的突触附近的化学成像中发挥关键作用，并提供一个新的机会来研究神经毒性淀粉样蛋白如何从一个患病的神经元传播到一个健康的神经元，揭示阿尔茨海默症的形成和发展机制。该工作发表在2020年的Advanced Sciences上（DOI: 10.1002/advs.201903004）。

非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统—mIRagemIRage是美国PSC公司发布的一款应用广泛的非接触式亚微米分辨红外拉曼同步测量系统。基于光热诱导共振（PTIR）技术，mIRage显微红外光谱仪突破了传统红外的光学衍射极限，其空间分辨率可达亚微米级，可以帮助科研人员更全面地了解亚微米尺度下样品表面微小区域的化学信息。O-PTIR (Optical Photothermal Infrared) 光谱是一种快速简单的非接触式光学技术，克服了传统IR衍射的限。与传统FTIR不同，不依赖于残留的IR辐射分析，而通过检测由于本征红外吸收引发的样品表面快速的光热膨胀或收缩，来反映微小样品区域的化学信息。mIRage显微红外克服了传统红外光谱的诸多不足： - 空间分辨率受限于红外光光波长，只有10-20 μm- 透射模式需要复杂的样品准备过程,且只限于薄片样品- 无传统ATR模式下的散射像差和接触污染 mIRage显微红外的优势之处在于: ☆ 亚微米空间分辨的IR光谱和成像（~500 nm），且不依赖于IR波长☆ 与透射模式相媲美的反射模式下的图谱效果☆ 非接触测量模式——使用简单快捷，无交叉污染风险☆ 很少或无需样品制备过程 （无需薄片）, 可测试厚样品☆ 可透射模式下观察液体样品☆ 实现同时同地相同分辨率的IR和Raman测试，无荧光风险 测试数据1、多层薄膜 高光谱成像： 1 sec/spectra. 1 scan/spectra样品区域尺寸：20 μm x 85 μm size. 1 μm spacing. 图谱中可以明显看出在不同区域上的羰基，氨基以及CH2 拉伸振动的分布很少或无需样品制备的多层高分子膜的O-PTIR分析高分子薄膜层间的亚微米空间分辨O-PTIR分析2、高分子 高分子膜缺陷。左：尺寸为240 μm的两层薄层上缺陷的光学图像；右：在无缺陷处（红色）和缺陷处（蓝色）的样品的IR谱图，998 cm-1处为of isotactic polypropylene 的特征红外吸收峰环氧树脂包埋聚苯乙烯球的亚微米分辨O-PTIR线扫描PS和PMMA微塑料混合物的亚微米红外拉曼同步O-PTIR光谱和成像分析3、生命科学 左：70*70 μm范围的血红细胞的光学照片；中：红色条框区域在1583cm-1处的Raman照片；右：红血细胞选择区域的同步的IR和Raman图谱 矿物质的红外成像：小鼠骨骼中的蛋白质分布分析 上左：水中上皮细胞的光学照片；上右：目标分子能够在红外光谱上很容易的区分和空间分离，可以明显看到0.5-1.0 μm的脂肪包体；下：原理示意图：红外光谱测量使用透射模式，步长为0.5 μmPLA/PHBHx生物塑料薄片的O-PTIR光谱和成像分析 4、医药领域 左：PLGA高分子和Dexamethasone药物分子的混合物表面的光学照片中：在1760 cm-1 出的高光谱图像，显示了 PLGA在混合物中的分布，图像尺寸40 μm * 40 μm 右：在1666 cm-1 出的高光谱图像，显示了 Dexamethasone在混合物中的分布，图像尺寸40 μm *40 μm 5、法医鉴定 左：800 nm纤维的光学照片右：纳米纤维不同区域的O-PTIR图谱 6、其他领域 故障分析和缺陷微电子污染食品加工地质学 考古和文物鉴定......部分应用案例■ 微塑料检测——微塑料颗粒新来源及形成机制南京大学环境学院季荣教授和苏宇副研究员团队与美国麻省大学邢宝山教授等合作，利用mIRage O-PTIR显微光谱仪，建立了一种新型的（微）塑料表面亚微米尺度化学变化表征方法。研究团队通过对比分析四个国际主流品牌奶嘴产品在蒸汽消毒前后表面形貌及分子结构的变化，首先证实了蒸汽消毒引起硅橡胶老化具有普遍性。研究发现，硅橡胶婴儿奶嘴的主要成分为聚二甲基硅氧烷（PDMS）及树脂添加剂聚酰胺（PA）(图2b和2c)，在经过蒸汽消毒（100 °C）时表面发生降解并释放出微纳塑料颗粒(图2a)。另外借助O-PTIR特有的单一波长大范围成像技术，作者统计了奶嘴消毒过程中PDMS降解产生的1.5 μm以上塑料颗粒数量，并估算出正常奶瓶喂养一年进入婴儿体内的该类微塑料总量约为66万颗，比此前文献报道的儿童从空气、水和食物中摄入的热塑性微塑料数量之和高出一个数量级；假如这些微塑料全部被排入环境，全球平均排放量可能高达5.2万亿个/年。上述结果表明硅橡胶奶嘴消毒产生的颗粒物可能是儿童体内和环境中微纳塑料的重要来源。图2. 使用水热分解法对硅橡胶试样表面进行蒸汽腐蚀；(a) 实验装置及O-PTIR工作原理示意图 (b)样品蒸煮60 × 10 min表面前后的光学图像 (c) 图(b)中位置1-16的归一化O-PTIR光谱■ 偏振红外光谱助力胶原蛋白的分子取向研究在过去的十年里，红外（IR）光谱已被广泛应用于哺乳动物组织中的胶原蛋白研究。对有序胶原蛋白光谱的更好理解将有助于评估受损胶原蛋白和疤痕组织等疾病。因此，利用偏振红外光研究胶原蛋白（I型胶原和II型胶原）的层状结构和径向对称性逐渐成为研究热点。近期，在Kathleen M. Gough等人的研究中[1]，作者采用基于光学光热红外（O-PTIR）技术的PSC非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统 mIRage对样品?500 nm单点区域收集振动光谱，如图1所示。该光学光热红外（O-PTIR）技术的工作原理是光热检测，其中红外量子联激光器（QCL）激发样品在1800–800 cm-1光谱范围内的分子振动。产生的光热效应通过短波长探测激光器检测。图1A-B中的光谱表明，固有的激光偏振所获得的高对比度所产生的光谱与使用FTIR焦平面阵列和偏振器组合进行的光谱测试近乎一致。并且对于安装在玻璃显微镜的不同载玻片，样品均获得了具有良好SNR的高质量光谱。图1. 从CaF2窗口利用O-PTIR测试控制肌腱原纤维获得的光谱。用平行于激光偏振的原纤维获得的光谱（红色）；蓝色是垂直方向上的光谱。右侧是在垂直方向基于1655 cm-1的单波长图像。正方形表示光谱采集位置。比例尺= 1 μm。 光学光热红外（O-PTIR）技术可以通过在载物台上轻易地旋转样品来测试平行和垂直于红外激光偏振方向的光谱。并利用光学光热红外（O-PTIR）技术在几个单一频率下对原纤维成像，以获得表观物理宽度的确定性估计。如图1右侧所示，在垂直方向上， 1655 cm-1处记录的单波长图像的红黄带表明该原纤维的宽度不超过500 nm。该尺寸将目标物标定为真正的原纤维，并且可与红外s-SNOM实验中检测到的300 nm原纤维相当。光学光热红外（O-PTIR）技术与nano-FTIR的测试结果相互印证，反映了“原纤维”宽度的标准范围。此外作者观察到，来自原纤维的酰胺I和II谱带比完整肌腱的窄，并且相对强度和谱带形状都发生了变化。这些光谱反映出在偏振红外光下正常I型胶原纤维的更多有用信息，并可作为研究胶原组织的基准。与基于焦平面阵列检测器的偏振远场傅立叶变换红外（FF-FTIR）光谱相比，光学光热红外（O-PTIR）具有更高的空间分辨率，且可提供单波长光谱。使用FF-FTIR FPA探测往往包括其他非胶原材料。同时，光学光热红外（O-PTIR）还可以提供偏振平行于原纤维取向的原纤维光谱。这也是光学光热红外（O-PTIR）和纳米FTIR光谱对直径为100~500 nm的胶原原纤维给出证实性和互补性结果的次证明。综上所述，这些结果为进一步研究生物样品中的胶原蛋白提供了广阔的基础。 参考文献：[1]. Gorkem Bakir, Benoit E. Girouard, Richard Wiens, Stefan Mastel, Eoghan Dillon, Mustafa Kansiz, Kathleen M. Gough, Molecules 2020, 25, 4295 doi:10.3390/molecules25184295.■ 光热红外显微技术次应用于刑侦领域指纹中易爆炸物的检测传统的可视化指纹检测手段，如扑粉，茚三酮熏蒸，真空金属沉积等，尽管可以重建指纹图案，但其同时可能对一些指纹脊状突起中含有的化学物质造成破坏。近年来，许多技术被用于指纹中痕量外源物质的分析鉴定，如解吸电喷雾电离质谱(DESI-MS)，液相色谱-质谱(LC-MS)，但通常需要额外的溶剂喷雾处理，且空间分辨率不足（~150 μm），或者分析过程会对指纹造成破坏。傅里叶变换红外(FTIR)光谱显微镜，可以探测样品中分子间化学键的固有分子振动，并提供丰富的化学信息, 已成为一种快速、无需标记、无损的样品表征方法，被广泛应用于包括刑侦在内的众多领域。FTIR透射模式测试通常选用红外光透明的材料，而反射模式则选用硅片，聚酯薄膜或铝覆盖的玻璃基底，但两者在指纹分析上多局限于收集在选定波数下指纹中组分物质的二维分布信息。另外对于那些沉积在既不透明也不反射红外的基底上的样品，衰减全反射法（Attenuated total reflectance，ATR）成为选择，但ATR通常不是法医鉴定的一种理想方法，因为ATR要求被分析的样品和ATR晶体紧密接触，往往会导致样品变形甚至后破坏剩余的证据。基于以上考虑，新加坡国立大学同步辐射光源线站的科学家们和新加坡刑事调查局刑侦部门共同合作开发出了一种新的红外检测手段，即使用基于新型光热红外（Optical- Photothermal InfraRed，O-PTIR）技术的非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统mIRage来分析指纹中含有的痕量易爆炸物微粒，该技术带来了一系列的优势，如亚微米的红外光谱和成像分辨率，易操作的远场、非接触显微镜工作模式和明显高于FTIR光谱显微镜的灵敏度。作者认为O-PTIR技术是一种分析具有挑战性样品的理想手段，如隐藏的指纹，提供隐藏在大量外源物质中的微小(亚微米)粒子的化学信息（如易爆物）且不需要复杂的样品制备过程。这些信息可以通过单波数红外成像和亚微米空间分辨率的红外光谱获得，后者使用目前的FTIR光谱显微镜是无法做到的（分辨率受限于红外波长，约10-20 μm）。另外，该分析手段非常简单快捷，无破坏性，且不需要基于接触的方法（例如ATR光谱技术），使得样品的完整性被完全的保持。特别指出的是，该技术的非破坏性非常重要，尤其是在法医领域，因为它可以允许同时使用其他技术对相同样本进行互补和比对分析，并作为法律证据。此外，随着技术的发展，O-PTIR现在可以与拉曼显微镜相结合，以提供真正的亚微米同步的红外拉曼测试，使得在一个仪器上通过一次测量即可进行互补和验证分析。■ 亚微米空间分辨同步IR + Raman光谱成像分析 PLA/PHA生物微塑料薄片来源于石油中的塑料产品已经成为现代生活不可分割的一部分，它们性能优异，用途广泛且相对便宜，但同时也引发了人们对于塑料垃圾在环境中累积问题的担忧，迫使我们尽快采取行动探索替代传统塑料的新型材料。生物塑料, 如聚乳酸(PLA)和聚羟基烷酸酯(PHA)等均来源于天然资源（如糖，植物油等），它们在适当条件下可发生生物降解，因此其制成的产品即使不小心泄漏到环境中，也不会像传统塑料一样长期残留在土壤和水道中，而是终回归自然，安全而又环保。虽然典型的PLA和PHA在分子层面上基本不混溶，但得益于其优异的相容性，它们可以以不同比例形成复合材料，创造出许多性质迥异的功能材料。为了更好地理解这两种材料在微观上的相互作用，美国特拉华大学Isao Noda教授课题组与Photothermal Spectroscopy Corp公司合作，利用基于光学光热红外技术（O-PTIR）的新一代非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统mIRage对PLA和PHA的复合薄片进行红外拉曼同步成像分析，探究了这两种材料结合的方式和内在机理。PHA/PLA羰基伸缩振动区域二维同步(A)和异步(B)相关光谱（2D-COS）分析以及交界区域同步O-PTIR红外和拉曼光谱分析（左为红外，右为拉曼）。O-PTIR作为一种新型的光谱技术，具有传统FTIR显微镜不可比拟的优点，并克服了许多限制。先，O-PTIR可以提供空间分辨率约为500 nm的红外谱图，远远超过了典型的红外衍射限空间分辨率，且不依赖于入射红外波长。更重要的是，它能够以反射/非接触(远场)工作模式简单快速的生成高质量的类似于FTIR的谱图，从而避免了制备样本薄切片的必要，且光谱与商用FTIR数据库搜索完全兼容和可译。另外，即使样品中包含易产生荧光干扰的组分（压制拉曼信号或造成其饱和），O-PTIR的可调制信号收集特性也确保它完全不受任何荧光的影响。IR和Raman在O-PTIR方法的结合下，可以充分利用这两种互补性技术的优势，实现同步的红外吸收和拉曼散射测量，并相互印证。参考文献：[1] Two-dimensional correlation analysis of highly spatially resolved simultaneous IR and Raman spectral imaging of bioplastics composite using optical photothermal Infrared and Raman spectroscopy，Journal of Molecular Structure， DOI: 10.1016/j.molstruc.2020.128045.■ 非接触式亚微米O-PTIR光谱成像技术研究Ruddlesden-Popper混合钙钛矿边缘的形成低能量边缘光致发光的研究，对提高Ruddlesden-Popper钙钛太阳能电池效率有着十分重要的影响和意义。在本篇研究中，电子科技大学王志明教授课题组与Photothermal Spectroscopy Corp公司合作，使用O-PTIR技术及新一代的非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统mIRage研究MAPbBr3在(BA)2(MA)2Pb3Br板边缘分布情况。本研究使用O-PTIR技术探测具有以下优势：先(BA)2(MA)2Pb3Br10和MAPbBr3之间由于缺少BA，因此其红外光谱具备显著的差异；其次，这种非接触式探测能够有效避免样品高度，探针污染所带来的问题；另外，无论是BA缺陷，还是BA对MA的比例已有使用FTIR光谱研究的报道，具备良好的基础。图1 O-PTIR观测边缘的MAPbBr3的红外光谱信息。(a)(BA)2(MA)n-1 bn br3n+1(n = 1，2，3，∞)钙钛矿的红外光谱；（b-c）(BA)2(MA)2Pb3Br10和MAPbBr3的中MA+分子在1480 cm-1 (b)和BA+分子 1580 cm-1 (c)的图谱；(d) (BA)2(MA)2Pb3Br10的PL图像；(e)在(d)中所示的中心区域和边缘的红外光谱图通过O-PTIR的测量（图1），能够观测到随着BA的含量降低，~1580 cm-1处的峰的相对强度减小，峰值伴随着向1585 cm-1的峰值偏移。这主要是由于(BA)2(MA)2Pb3Br10在1580 cm-1附近有两个涉及NH3振动的红外吸收带:一个在1575 cm-1处(BA+)，另一个在1585 cm-1处(MA+)。当BA含量降低时，1575 cm-1处的带强度降低，导致峰值强度在约1580 cm-1处降低，并伴随向1585 cm-1偏移。在测试中观测到的另外一个现象为~1480 cm-1与~1580 cm-1的相对强度比增大，因为1478 cm-1的振动(CH3振动)仅与MA+相关，因此~1480 cm-1的强度没有变化，而1580 cm-1却由于BA含量降低而降低，导致比值的降低。■ 非接触式亚微米O-PTIR光谱成像技术研究高内相乳液聚合演变过程在高内相乳液(HIPE)中，初始离散单元在聚合过程中或之后转变成由窗口高度互联聚合体的时间和方式，一直是一个有争议的问题。2D O-PTIR(optical photothermal infrared)新表面成像技术为探索这个polyHIPE的窗口形成机理提供了机会，只要检测目标区域的大小相对于分辨率来说足够大。2D PTIR技术基于以下工作原理：一束红外激光聚焦在样品表面 被吸收的红外光使样品升温，诱导光热响应 这种本征的光热响应被一束可见光所检测；因此可与FTIR透射模式质量相媲美的图谱被使用反射模式所得到。该技术有四大优势：使用可见光为检测光，可以将分辨率提高到 ~ 500 nm；非接触式的光学显微镜；分辨率不依赖于红外光波长；不会产生弥散的伪影。同济大学万德成教授课题组与Photothermal Spectroscopy Corp公司合作，利用光学光热红外技术（O-PTIR）技术及新一代的非接触亚微米分辨红外拉曼同步测量系统mIRage（图1）对polyHIPE的聚合体进行了红外光谱和成像分析，探究其演变过程及形成机理。图1. A) 3% 表面活性剂用量诱导的polyHIPE选取区域的光学照片, B) 相应的mIRage 2D O-PTIR图像。C) 插图为典型的选定区域附近的局部表面形貌(通过SEM)，D) 插图为立方状样品的光学照片(≈5×5×5 cm3)。(B)图条件:红色代表强烈的反应，绿色代表几乎没有反应，而黄色代表对1492 cm-1处的激光束的中等反应。图2. 在1600 (绿色)和1492 cm -1(红色)激光束照射下的多聚体表面的mIRage 2D O-PTIR图像。B) 一系列的FTIR光谱提取采样点(箭头尾)。每个采样点的高度比为1600/1492 cm-1，如(C)所示，相邻的采样点为250 nm■ 科学家借助mIRage次成功直观揭示神经元中淀粉样蛋白聚集机理老年神经退行性疾病，如阿尔茨海默症(AD)、肌萎缩性侧索硬化症、Ⅱ型糖尿病等，目前困扰着全大约5亿人，且这个数字仍在不断迅速增长。尤其是阿尔兹海默症（占70%以上），目前仍未有行之有效的诊断方法，因此无法得到有效的治疗或预防。尽管当代病理学研究已经证实这种病理变化与具有神经毒性的β淀粉样蛋白质的聚集有关，但其在神经元或脑组织中的聚集机制目前尚不清楚。现有的方法, 如电子显微镜、免疫电子显微镜、共聚焦荧光显微镜、超分辨显微镜，通常都需要对样品进行化学加工（标记染色等）,可能会对淀粉样蛋白结构本身造成影响。而非标记方法，如表面增强拉曼光谱（SERS）和傅里叶变换红外光谱（FTIR）, 前者受限于亚细胞水平上的低信噪比、自发荧光及不可逆的光损伤，后者其空间分辨率受限于红外光波长（≈5–10 μm），且光谱可解译性和准确性受到弹性细胞光散射所产生的米氏散射效应(Mie scattering effects)的严重影响，使得直接在亚微米尺度上研究淀粉样蛋白质在神经元内的聚集行为十分困难。近日，瑞典隆德大学的Klementieva教授团队与美国PSC公司的Mustafa Kansiz博士合作，使用全新非接触式亚微米分辨红外测量系统，在亚微米尺度上研究了淀粉样蛋白沿着神经突直到树突棘的聚集行为（图1B和C），这是以往的实验技术手段所不可能实现的。该技术是在非接触模式下工作，不会对神经元造成损伤，这在研究脆弱或粘性的物质时显得尤为重要。另外，该技术还能获得亚微米尺度的红外光谱，且不含由于背景失真或米氏散射造成的散射伪影。新的技术进步表明，全新的非接触式亚微米分辨红外测量系统mIRage现在可以用来做活细胞成像,并保持相同的亚微米空间分辨率。在这种情况下，全新的非接触式亚微米分辨红外测量系统有望在β片层结构在活神经元的突触附近的化学成像中发挥关键作用，并提供一个新的机会来研究神经毒性淀粉样蛋白如何从一个患病的神经元传播到一个健康的神经元，揭示阿尔茨海默症的形成和发展机制。该工作发表在2020年的Advanced Sciences上（DOI: 10.1002/advs.201903004）。 图1. (A) 美国PSC公司非接触式亚微米分辨红外测量系统mIRage实物图；（B）亚微米红外成像示意图：神经元树突的AFM形貌图,其中神经元直接在CaF2基底下生长。mIRage采用两束共线性光束: 532 nm可见(绿色)提取光束和脉冲红外(红色)探测光束，样品的光热响应被检测为样品由于对脉冲红外光束的吸收而引发的绿色光部分强度的损失，使红外检测的空间分辨率提高到≈500 nm. (C) 小鼠大脑皮层初神经元, 在CamKII促进下表达为tdTomato荧光蛋白，使得神经元结构填满红色，图片标尺为20 μm。(D) 图C区域放大图片，箭头指示树突上的神经元刺。参考文献：Super‐Resolution Infrared Imaging of Polymorphic Amyloid Aggregates Directly in Neurons.用户单位科学研究生物医学应用部分用户评价：发表文章[1] Optical photothermal infrared spectroscopy for nanochemical analysis of pharmaceutical dry powder aerosols. Khanal, D. et al. International Journal of Pharmaceutics, 2023Pharmaceuticals[2] Fluorescently Guided Optical Photothermal Infrared Microspectroscopy for Protein-Specific Bioimaging at Subcellular Level. Prater, C et al.Journal of Medicinal Chemistry, 2023Life Science[3]SOLARIS national synchrotron radiation centre in Krakow, Poland. Szlachetko, J. et al. The European Physical Journal Plus, 2023Central facility[4]Innovative Vibrational Spectroscopy Research for Forensic Application. 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90Plus亚微米激光粒度分析仪基于动态光散射原理，是一种快速、便捷的纳米、亚微米粒度分析测试仪器。详细说明：NanoBrook产品系列项目90Plus90Plus ZetaZetaPlus功能粒度测量功能●●○分子量测量功能●●○Zeta电位测量功能○●●技术参数粒度测量范围0.3nm-6μm○分子量测定范围342～2×107Dalton○散射角15°与90°○相关器4×522个物理通道，4×1011个线性通道○适用粒度范围○1nm～100μmZeta电位测量范围○－500mV～500mV电导率范围○0-20S/m电泳迁移率范围○10-10～10-7m2/V.s电极○开放式永久型电极系统参数温控范围与精度－5～110℃，±0.1℃激光源35mW固体激光器检测器PMT或APD分析软件Particle Solution粒度与Zeta电位分析软件大小及重量233mm（H）×427mm（W）×481mm（D），15kg选件BI-ZTU自动滴定仪可对PH值、电导率和添加剂浓度作图BI-870介电常数仪直接测量溶剂的介电常数值BI-SV10粘度计用于测量溶剂及溶液的粘度●代表“有” ○代表“无”动态光散射原理 由于颗粒在悬浮液中的布朗运动，使得光强随时间产生脉动。采用数字相关器技术处理脉冲信号，可以得到颗粒运动的扩散信息后，进而利用Stokes－Einstein方程计算得出颗粒粒径及其分布。典型应用1.蛋白质/complex/DNA2.聚合物胶乳3.药物制备4.油/水、水/油乳液5.油漆、涂料、颜料6.油墨、调色剂7.化妆品技术指标1.粒度范围：0.3nm～6μm（与折射率，浓度，散射角有关）2.典型精度：1％3.样品类型：任何胶体范围大小的颗粒（悬浮于清液中）4.样品体积：1～3ml5.分子量测定范围：1×103～2×107Dalton6.温控范围：-5℃～110℃，±0.1℃7.pH值测量范围：1-148.激光源：35mW固体激光器（可选5mW He-Ne激光器）9.检测器：PMT或APD10.自动趋势分析：对时间、温度及其他参数11.散射角：15°与90°

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siskiyou显微镜位移台MXMS-115系列 40或80-pitch促动器可选 兼容正置显微镜 电控版本可选 丰富的各类显微镜型号配置案例Preconfigured with solid mounting hardware for standard commercial upright microscopes, our MXMS-115cr microscope translators are designed to be stable XY translators for fixed stage experiments. The MXMS-115cr translators have a full 25 mm of XY translation and have full crossed roller bearing stages in all three locations for precise adjustment and high load requirement. This manual adjusted translator can be fitted with either 40 or 80 TPI adjustment screws with resolution from 5 µ m down to submicron, respectively. Please specify which pitch of adjustment screw you require when ordering. The K-Kit option is needed for the correct mounting configuration based on the matching upright microscope model.MXMS-115 显微镜位移台

针对高需求用户范围广泛的测试仪微米划痕测试仪广泛用于表征厚度小于 5 μm 的薄膜和涂层的结合力。它还是分析有机和无机软质涂层和硬质涂层的常用仪器。 全景成像模式：将所有传感器进行同步，轻松快速地分析涂层与基体结合力和耐划伤性能安东帕持有美国专利 8261600 和欧洲专利 2065695。全景模式是划痕仪软件最重要的特征。划痕后，您可以选择用选配的自动同步的传感器：声发射、位移、载荷和摩擦力传感器来与全景进行同步。当采用全景成像模式时，可以随时离线分析划痕。 粘弹性材料表征使用前扫描和多次后扫描测量模式在划痕之前、过程中和后，位移传感器 (Dz) 一直跟踪并记录样品的表面的轮廓。因此，它可以在划痕过程中和划痕之后评估针尖的划入深度。根据时间进行多次后扫描可以获得聚合物的粘弹性随时间的依赖性。 即使在曲面和粗糙表面也可进行划痕实验由于采用了独特的力传感器控制技术，微米划痕系统可检测载荷的偏差，并且通过主动力反馈系统来修正该偏差。微米划痕系统即使在粗糙表面和曲面上也可获得可靠的测量结果。 多种划痕测试功能具有多个测试模式• 渐近的、恒定的或台阶式的载荷• 多次磨损测试可使用单次或多次/往复• 可以快速轻松地更换夹具上的划痕针尖• 可使用不同类型的划痕针尖：球形、锥形、维氏、努氏、刀具等 高质量光学成像系统带“自动跟踪聚焦”集成显微镜包括配置高质量物镜的转塔和 USB 照相机。“跟踪聚焦”功能可以将进行多个划痕的 Z 样品台自动聚焦到正确位置。 典型应用• 汽车保险杠漆的附着力• 汽车透明清漆• 涂层表面的物理特性分析• 硬质涂层（PVD、CVD 涂层）：厚度范围为 1 微米至 20 微米• 热/等离子喷涂涂料 技术规格划痕深度精细量程最大量程最大位移 [μm]1001000深度分辨率 [nm]0.050.5本底噪音 [rms] [nm]*1.5法向载荷精细量程最大量程最大载荷 [N]1030载荷分辨率 [mN]0.010.03本底噪音 [rms] [μN]*100摩擦力精细量程最大量程最大摩擦力 [N]1030摩擦力分辨率 [mN]0.010.03*理想实验室条件下规定的本底噪音值，并使用减震台。

特点：体积小巧，分辨率高于30 nm极高的长期稳定型使用寿命1,000,000,000次调节应用：真空环境下的精密运动控制不可接触镜架镜片的位置控制对于受力敏感的光学器件的位置调节Picomotor促动器非常适用于您的光学或机械系统中的精密定位应用。可应用于光机械平台或者您自己定制的系统上。它们有着很小的后坐力，分辨率优于30 nm，并可承受5磅（22N）的力。 此外，Picomotor促动器还拥有极好的长期稳定性，使它在众多运动控制产品中独树一帜，保持优势。830X型和832X型的12X0.5螺纹，使它们适合标准的微米安装孔；8351型适用于极小尺寸的应用；8341型适用于无平动的转动应用。 与Picomotor促动器配套的设备有，8753型智能Picomotor（iPicoTM）驱动器、8703型TTL/模拟驱动器等等。 Controller and driver example We also offer integrated motion-control solutions. 控制器和驱动器 集成化的运动控制解决方案

ULTRAlign&trade 精密光纤对准平移台采用全不锈钢结构，用于光纤的精确和坚固对准，且对准的角度偏差小于 100 μrad。这些平移台提供 6 mm（0.24 英寸）的水平调整和 13 mm（0.51 英寸）的垂直调整，用于在 XZ 或 XYZ 配置中对齐。全不锈钢结构可实现稳健而精确的运动控制交叉滚子轴承确保任何轴上的角度偏差均小于 100 Â µ rad可用于 XZ 和 XYZ 配置也可提供左手版本对比型号M-561D-XYZ光纤对准位移台，ULTRAlign，右手系，6 mm XY 13 mm Y ，M4M-562F-XYZ光纤对准位移台，ULTRAlign，右手系，13 mm XYZ ，M4和M6M-561D-YZ光纤对准位移台，ULTRAlign，右手系，6 mm Z 13 mm Y ，M4M-561D-XYZ-LH光纤对准位移台，ULTRAlign，左手系，6 mm Z 13 mm Y ，M4M-562F-XYZ-LH光纤对准位移台，ULTRAlign，左手系，13 mm XYZ ，M4和M6型号561D-YZ561D-XYZ561D-XYZ-LH562F-XYZ562F-XYZ-LH位移台类型Right-HandedRight-HandedLeft-HandedRight-HandedLeft-Handed位移轴YZXYZXYZXYZXYZ行程范围 X、Y、Z0 mm, 13 mm, 6 mm6 mm, 13 mm, 6 mm6 mm, 13 mm, 6 mm13 mm, 13 mm, 13 mm13 mm, 13 mm, 13 mm负载22 N22 N22 N156 N156 N角度偏差100 µ rad100 µ rad100 µ rad100 µ rad100 µ rad光轴高度79.4 mm79.4 mm79.4 mm98.4 mm98.4 mm螺纹类型 18-328-328-328-32 and 1/4-208-32 and 1/4-20推荐使用调节螺丝AJS100-0.5AJS100-0.5AJS100-0.5AJS100-0.5AJS100-0.5推荐的游标卡尺SM-13SM-13SM-13SM-13SM-13推荐使用TRA 电动促动器 2TRA12CC or TRA12PPDTRA12CC or TRA12PPDTRA12CC or TRA12PPDTRA12CC or TRA12PPDTRA12CC or TRA12PPD推荐使用 TRB 电动促动器 3TRB12CC or TRB12PPTRB12CC or TRB12PPTRB12CC or TRB12PPTRB12CC or TRB12PPTRB12CC or TRB12PP推荐使用 LTA 电动促动器 4LTA-HSLTA-HSLTA-HSLTA-HSLTA-HS

中图仪器VT6000微米级工件共聚焦3d测量显微镜基于光学共轭共焦原理，以转盘共聚焦光学系统为基础，能在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析。一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。自设计之初，VT6000微米级工件共聚焦3d测量显微镜便定下了“简单好用"四字方针的目标。1）结构简单：仪器整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成，控制单元集成在设备主机之内，亦可采用笔记本电脑驱动，实现了“拎着走"的便携式设计；2）真彩图像：配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像，对细节的展现纤毫毕现；3）操作便捷：采用全电动化设计，并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换，图像视窗和分析视窗同界面的设计风格，实现了所见即所得的快速检测效果；4）采用自研的电动鼻轮塔台，并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化，确保共聚焦显微镜在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能应对。产品功能(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；(2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量； (3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；VT6000微米级工件共聚焦3d测量显微镜可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。应用领域对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：功能特点1、测量模式多样单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择，适应多种现场应用环境；2、双重防撞保护功能Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重保护；3、分析功能丰富3D：表面粗糙度、平整度、孔洞体积、几何曲面、纹理方向、PSD等分析；2D：剖面粗糙度、几何轮廓测量、频率、孔洞体积、Abbott参数等分析。在材料生产检测领域中，共聚焦显微镜在陶瓷、金属、半导体、芯片等材料科学及生产检测领域中也具有广泛的应用。应用场景1、镭射槽测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。2、光伏在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。VT6000可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。3、其他部分技术指标型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量宽度测量XY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SJ5100国产亚微米级高精度光栅测长机常用于工业制造业精确测量物体长度、角度和位置等参数。它采用进口高精度光栅测量系统、高精密研磨直线导轨、高精度温度补偿系统、双向恒测力系统、高性能计算机控制系统技术，具有精度高、操作便携、稳定性强、功能齐全实用等优点。应用领域SJ5100国产亚微米级高精度光栅测长机能够测量及检定精密量具、精密量规，如块规、环塞规、卡规、螺纹规、花键规、表类、尺类。还可以检测各种精密工件内外尺寸，如齿轮、花键、校对棒、非标量规等，具有通用性强的特点。典型应用案例机械制造：在机械制造过程中，可以用来测量各种零件的尺寸和形状，以确保产品的质量和精度。半导体制造：在半导体制造行业中，可以用来测量芯片线宽和间距等微小尺寸参数。光学加工：在光学加工领域中，可以用来测量光学元件的表面形貌和厚度等参数。航空航天：在航空航天领域中，可以用来测量航空器的外形和尺寸，以及检测零部件之间的配合精度。仪器主要功能1、标配功能：检测量块&块规：（0.1~300mm）；光滑环规：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞规：φ1~φ220mm；螺纹环规：M5~M200（螺距0.8~4mm）螺纹塞规：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；光滑卡规：内卡5~200mm，外卡1~300mm千分尺校对杆：25~300mm；塞尺：0.02~1mm针规：φ0.1~φ10mm三针：0.118~6.585mm；两点内径千分尺：25~300mm；2、可选配功能：小型光滑环规：φ0.8~φ5mm；螺纹环规：规格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；光滑锥度环规：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）； 光滑锥度塞规：φ5~φ60mm（长度10~100mm）；φ60~φ200mm（长度≤50mm）；螺纹锥度环规：M5~M200mm（厚度≤50mm）；螺纹锥度塞规：M5~M60mm（长度10~100mm）；M60~M200mm（长度≤50mm）；锯齿螺纹、梯形螺纹：M3~M400（螺距0.5~6mm）；花键环塞规/花键及标准齿轮（跨棒距测量）：内φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模数0.8~6mm；外径千分尺示值误差手动校准：25~300mm；数显及游标卡尺示值误差手动校准：75~300mm；深度千分尺示值误差手动校准：0~25、25~50、50~75mm；三爪内径千分尺手动校准：φ6~φ200mm；表类（百分表、千分表、杠杆表手动校准）；数显半径规手动校准：R5~R700mm；轴承内外圈锥度、沟槽底径内外径及沟槽宽度、精密零部件的长度尺寸，内外径尺寸测量；SJ5100国产亚微米级高精度光栅测长机整个测量过程不超过3分钟，结束后自动生成结果及记录报表。标准系统软件为简体中文操作系统（可选择切换英语、俄语等多种语言），操作方便简洁。性能特点1. 全程直接测量：SJ5100系列高精度光栅测长机采用进口高精度长玻璃光栅尺作为长度方向定位，可进行高精度全行程直接测量。2. 高精度、高稳定性：1)高精度光栅测量系统，分辨力达到0.01μm，测量精度高；2)精密研磨导轨系统导轨直线度高，材料耐磨性好、保证系统高精度稳定可靠的工作；3)进口特殊材料制作的高刚性、无变形测杆，保证测试数据的高精度真实采集；4)采用大理石基座，通过有限元分析优化仪器基座结构保障几十年稳定不变形，高刚性大理石底座结构保证了仪器在头座及工作台在测量移动过程中几乎不产生变形，仪器受外界震动干扰小，保证仪器的长期稳定可靠性；5)采用紧凑型摩擦驱动结构，移动摩擦驱动力小，保证了头座移动过程中的稳定性。3. 双向恒测力：1) 特殊传感器双向恒测力系统，减小了测力对测量结果的影响，保证了高的系统测量精度；2) 测力较大范围的连续可调；3) 非砝码加载，测力传感器原理避免了仪器台面不水平及周围环境振动带来的测力误差。 4. 智能化管理与检测软件系统：1)仪器操作界面友好，操作者很容易基本掌握仪器操作，使用十分简便；2)十多年积累的实用软件设计经验，向客户提供简洁、实用、便捷的操作体验；3)集成众多长度标准、规程，功能强大、自动处理数据、打印各种格式的检测报告，自动显示、打印、保存、查询检测记录；4)测量范围广，可满足绝大多数类型的量规、量块等长度参数测量；5)软件配备快速找拐点指示功能，方便客户快速便携地找到被测件的拐点；6)纯中文操作软件系统，更好的为国内用户服务；7)打印格式正规、美观。检定数据可存档，或集中打印，不占用检测操作时间；8)本仪器采用计算机大容量数据库储存，可自动记录保存所有检测结果。5. 方便快捷的仪器操作体验：1)测帽无需调节，高精度测帽加工保障测量精度，直接安装即可使用；2)螺纹塞规测量三针带支板，配合仪器测帽可快速的进行螺纹塞规的中径测量；3)支持客户使用模糊搜索量规标准，并支持用户特殊规格量规自动计算公差带。6. 高性能五轴工作台：1)X，Y，Z三轴采用高性能交叉滚子导轨：摩擦力小，稳定性好，承载高； 2)Y轴平移、倾斜、水平旋转设计了高调节细度的结构，方便客户更好地找到三个轴的拐点；3)Z轴及Y轴可配置数显表，可将数据传输到电脑，可用于锥度量规测量及螺纹螺距观察。7. 高性能内尺寸测量装置：配置高性能环规内测装置，可测量小M3螺纹环规（根据选配测针），同时可完成小（φ0.8mm）光滑环规检测（选配测针）；测量力为电子测力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N，由软件选择测力大小（可根据客户需求定制更小测力）。部分技术规格型号SJ5100-Prec300（精密测量型）测量范围外尺寸直接测量：0~340mm内尺寸比较测量：5~200mm（配置比较测量环规）外尺寸示值误差≤±（0.2+L/1000）μm，其中：L为被测长度，单位：mm内尺寸重复性(2S或2δ)≤0.1μm内尺寸重复性(2S或2δ)≤0.2μm（使用测钩）≤0.3μm（使用内测装置）分辨力0.01μm（可选0.1μm、1μm）测力内测装置传感器测力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N、主测力1~10N手动连续可调测量直径环规200mm（标配） 、塞规250mm（标配）仪器尺寸1400*400*450mm仪器重量150kg五轴工作台型号ST-30.1(标配)Z轴0~50mmY轴±25mX轴浮动±10mmZ轴旋转±3°Y轴摆动±3°负载50kg台面尺寸350*25mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。