压痕力学测试系统

KLA Gemini压痕力学测试系统 每时每刻用正确的答案对摩擦学进行突破性的改变使用KLA公司的Gemini系统探索新命令的准确性，精确度和控制，这是世界上第一台用于研究纳米级摩擦学和机械测试动力学的多维仪器。准确性- Gemini提供无与伦比的自由，可以在多个方面探索接触力学，因为它来自Nanomechanics，每次都对正确答案有强烈的信心。精确度 - Gemini的等轴测量轴实现了无与伦比的分辨率力范围和动态性能，意味着正常轴和横轴都能提供KLA所期望的精确度。控制 - 使用Gemini系统的多轴功能有效地解决了硬度，磨损和粘附问题，Gemini系统是以前所未有的分辨率准确研究摩擦学问题的必不可少的工具。摩擦学+单一的粗糙表征, 粘滑滑动 ,超薄膜 ,润滑 ,阻尼 ,各向异性 ,泊松比 ,模数 ,耐刮擦性 ,形貌 ,MEMS测试 ,附着力准确的多维测量第一个提供等距力位移测量的工具，用于研究硬度，摩擦学，磨损和粘附性。优越的规格多维动态性能宽负载和位移范围：50 mN和50μm张力或压缩：无过渡快速时间常数：20μs，具有亚纳米级噪声电磁激活：低漂移和动态精度高载荷框架刚度：7e5 N / m精确的属性测量亚纳米分辨率的样品阶段补充了致动器，以产生高精度的靶向和压痕测量。控制横向力测量准静态和动态模式下的力和位移，采用亚纳米和纳米牛顿分辨率。

产品信息Micro Materials 产品纳米力学综合性能测试系统NanoTest Xtreme可以实现真空环境下的纳米力学测试！ 为了更加准确、可靠地预测材料的性质，研究学者们对测试条件模拟真实环境程度的要求越来越高。Micro Materials 公司的NanoTest Vantage 产品可以提供最全面的纳米力学测试功能。现在Micro Materials 公司的最新产品NanoTest Xtreme 可以实现真空环境下-40℃至1000℃这一温度范围内的纳米级力学测试， 并且没有氧化和结霜的影响。自1988年以来，我们一直处于纳米力学创新的前沿： ► 第一个商用高温纳米压痕平台 ► 第一台商用纳米冲击测试仪器 ► 第一个商用液体池 ► 第一台用于高真空、高温纳米力学的商用仪器更适合以下极端环境条件的研究：1、 航空发动机部件的高温 2、 用于高速加工的工具涂层 3、 电站蒸汽管的高温4、核反应堆覆层中的辐射效应 5、低温对油气管道焊缝修复的影响 NanoTest Xtreme 特点：a、500 mN加载头在真空下最高测试温度：1000°Cb、30 N加载头在真空下的最高测试温度：800°C c、真空下的最低测试温度：-40°C d、极限真空度：10-7 mbar e、与真空下所有标准纳米测试技术兼容（纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损、纳米冲击、纳米微动） f、可选配第二个加载头，最大负载从500mN增加到30 N g、填充功能可在非空气环境中进行测试 h、高分辨率光学显微镜 i、可选配在整个温度范围内均可使用的SPM 成像/纳米定位平台 NanoTest Xtreme 优点：1、 将高温能力扩展到1000°C，超出NanoTest Vantage提供的850°C 2、 将低温能力提高至-40°C，且无样品结霜 3、超低的热漂移归因于与NanoTestVantage相同的仪器设计原理 4、 完整的纳米力学测试(例如压痕、划痕、磨损、摩擦、冲击) 5、能够填充气体以匹配材料操作环境参数指标1、加载框架 高度抛光的铝，用于快速脱气 加载应用：电磁 标准压头最大负载 500 mN 最大负载，可选高负载头 30 N 位移传感器 ：电容式 负载分辩率 3 nN 位移分辨率 0.002 nm 重新定位精度 0.4 µ m 样品处理 ：手动控制，网格压痕，特定位置选择，多个同时安装的样本 热漂移 0.005 nm/s 符合标准 ：符合ISO 14577和ASTM 2546标准 2、高温平台 最高温度 1000 º C 压头尖端加热 ：是 可测试样本区 16 mm x 16 mm 温度控制 ：反馈和恒定功率 温度精度 0.1 º C 3、低温平台 最低温度 -40 º C 4、SPM纳米定位平台 扫描范围 100 µ m x 100 µ m X Y定位精度 2 nm 5、真空 工作模式 ：真空或气体吹扫 真空度 ：极限10-7 (标准10-6 )mbar 6、选件 纳米划痕，纳米磨损，纳米冲击，动态硬度 应用NanoTest&trade Xtreme可以广泛应用于：航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、薄膜和涂层，以及太阳能/燃料电池等。

产品简介MML公司的纳米力学性能测试系统NanoTest&trade Vantage可以提供新型材料和特种材料开发和优化的大量信息。是世界上最灵活、功能最强大的纳米力学测试系统。它可以为用户提供高精度的纳米压痕测试，同时提供相关的全面综合测试：如纳米划痕和磨损测试、纳米冲击和疲劳测试、以及在高温、液体环境中的测试。这些纳米水平上的测试可以为我们提供材料表面局部的定量信息，数据可靠、测试省时。这些因数使得NanoTest&trade Vantage在世界范围内成为大学、工业实验室和标准机构中很多表征和优化项目的最关键设备。自1988年以来，我们一直走在纳米力学创新的前沿： ► 第一个商用高温纳米压痕平台 ► 第一台商用纳米冲击试验机 ► 第一个商用液体池 ► 第一台用于高真空、高温纳米力学的商用仪器产品优势：► 无与伦比的技术多样性 无纳米压痕，纳米划痕，纳米冲击，纳米微震动磨损，纳米磨损 ► 高精度的多种载荷纳米（至500mN）和微米（至30N） ► 引领市场的环境兼容能力 引高温（至850°C）、低温（至-20°C）、液体和湿度环境 ► 真正测量多 真 样性动态、静态、电气和多种成像模式技术指标1、加载框架 花岗岩复合材料设计专门用于计量应用 2、加载应用 电磁 标准头最大载荷 500 mN 位移传感器 线性电容 负载分辨率 3 nN 位移分辨率 0.002 nm 重复定位精度 0.4 µ m 可测试区域 50 mm x 100 mm 样品处理 手动控制并点击显微镜图像 热漂移 0.005 nm/s 接触力 1 µ N 显微镜– 4个物镜 x5, x10, x20 和 x40 屏幕放大率 x410, x825, x1650, x3300 隔振 负K，机械被动 压头交换时间 1 min 符合标准 完全符合ISO 14577和ASTM 2546 3、划痕模块 最大摩擦力 250 mN 摩擦载荷分辨率 10 µ m 最大划痕距离 10 mm 划痕速度 100 nm/s 至 0.1 mm/s 4、冲击模块 加速距离 高达20 µ m 接触应变率 高达104 s-1 微动磨损模块 轨道长度 ≤20 µ m 频率 ≤20 Hz 最大磨损次数 10 5、SPM纳米定位平台 XY扫描范围 100 µ m x 100 µ m Z扫描范围 20 μm 定位精度 ≤2 nm 闭环线性 99.97% 6、AFM XY扫描范围 110 µ m x 110 µ m Z范围 22 µ m 7、高温选项 温度 850 °C 主动，独立的样品和压头加热 是 压头材料 金刚石，氮化硼，蓝宝石 8、高负载头 最大载荷 30 N 摩擦载荷分辨率 300 μN 应用范围航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、薄膜和涂层，以及太阳能/燃料电池等

美国KLA InSEM HT原位高温纳米力学测试系统，纳米压痕仪

KLA NanoFlip原位纳米压痕力学测试模块 NanoFlip纳米压痕仪可以提供您的材料研究实验室带来无限的便捷。 高性能多功能性是NanoFlip设计的标志，当需要进行成像集成，需要进行频繁的转换和广泛的样本控制时，无论是环境测量还是原位测试，无论有无真空，都能提供同样出色的结果。Fib2Test技术允许用户将样品倾斜90度，以便在双光束SEM内从FIB无缝过渡到压痕测试，而无需移除样品。设计为完全真空兼容，并且具有独特的样品触发功能，NanoFlip非常适用于现场环境，如SEM，FIB和真空室，或者当您的实验带您迁移时，可以在任何情况下工作 可以想象的成像系统，如AFM，光学显微镜和光学Pro测量仪，为您提供几乎无限的成像选项。电磁执行器用于KLA生产的所有系统，包括NanoFlip。 这些执行器是坚固的线性装置，固有地解耦力和位移。 它们的最大力为50 mN，分辨率为3 nN，超低噪声电流小于200 nN。NanoFlip的时间常数为20微秒，是唯一同时符合规格的商用纳米压痕仪，最大压痕行程为50μm，噪声0.1nm，数字分辨率为0.004 nm，漂移率为 0.05nm/s。为了确保业内最广泛，最可靠的数据，NanoFlip能够实现0.1 Hz至1 kHz的动态激励频率。样品台移动，Z轴为25 mm，X为20 mm，Y轴为20 mm，分辨率为nm，可在大面积上精确定位样品。载荷框架刚度 7 e5N/m独特的尖端校准系统集成到软件中，可实现快速，准确和自动的尖端校准。可用的方法包，包含聚合物，薄膜和生物材料的提示，方法和标准可用刮擦选项，最大正常载荷为50 mN，最大刮擦距离为2.5 mm，最大刮擦速度为500μm/ s。可选的NanoBlitz地形和层析成像软件，用于材料的3D和4D映射。

产品详情Nano Indenter G200X可提供纳米级的力学测试功能，简单易用，能够精确进行各种力学定量分析。G200X系统中配置了高精度纳米马达样品台、最 大的样品安装系统和高分辨率光学显微镜。InView软件、InQuest控制器和InForce驱动器让KLA全线压痕产品系列具有一致的卓 越性能。 G200X系统可选功能包括连续刚度测量(CSM)、扫描探针显微成像、划痕测试、动态力学分析频率扫描，、IV电压电流特性测试、超高速压痕测试和冲击测试等等。主要功能电磁驱动器可轻松实现载荷和位移的宽动态范围的控制高分辨率光学显微镜与精密XYZ 移动系统结合，实现高精度观察与定位测试样本。便捷的样本安装台与多样本定位设置功能实现高通量测试。高度模块化设计，设备提供扫描探针成像功能、划痕及磨损测试功能、高温纳米力学测试功能、连续刚度测试(CSM) 和高速3D及4D力学图谱等模块化升级选件。直观的用户操作界面便于快速的进行测试设置；仅需点击几下鼠标即可完成复杂测试的参数设置。实时高效的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置。全新的InView软件，提供用于分析数据的Review软件和生成各种综合性测试报告的 InFocus软件。独 家发明并获得美国R&D奖的材料表面力学图谱功能和高速测试功能，极大的提高了定量数据的可靠性。InQuest高速数字控制器，数据采集速率最 高可达100kHz，时间响应常数最快为20µ s。主要应用高速硬度和模量测量 (基于Oliver-Pharr 模型)高速材料表面力学特性分布测量ISO 14577 标准化硬度测试薄膜及涂层测试界面附着力测量断裂韧性测量粘弹性测量,储能模量和损耗模量及损耗因子扫描探针显微成像（3D 成像）定量划痕和磨损测试高温纳米压痕测试IV电学测试行业分布高校、科研实验室和研究所半导体芯片行业PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN)MEMS：微机电系统/纳米级通用测试陶瓷与玻璃金属与合金制药膜层材料与油漆复合材料电池与储能汽车与航空航天应用硬度与模量测试 (Oliver-Pharr模型)在薄膜的工艺控制和制造过程中，表征其力学性能至为重要，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。G200X纳米压痕仪可在宽泛材料上测量硬度和模量，对从超软凝胶类样品到硬质涂层等各种材料提供解决方案。更快，更好和更具成本效益的解决方案为生产线提供可靠的品质控制及保障。高速材料力学性能图谱功能对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能会有很大差异。 G200X系统能够在X轴和Y轴方向上各提供 100 毫米的样品台移动，并在Z轴方向上提供25毫米的移动，在大面积样本区域下轻松表征不同厚度，宽度，长度的样本。可升级选件NanoBlitz 力学形貌图谱和断层谱图 软件能够快速输出力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试Nano Indenter G200X 包括预先内置的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、仪表硬度、维氏硬度和归一化压痕功。界面附着力测试膜层材料的界面粘附性的测量对于帮助用户了解薄膜的失效模式至关重要。内应力的存在常常会导致镀层样品的薄膜分层现象，Nano Indenter G200X系统可以通过膜层界面的断裂及黏附特性和残余应力等性能的测试，实现对多层界面的性能评估。断裂韧性测试断裂韧性反映了结构阻止宏观裂纹失稳扩展能力，是结构抵抗裂纹脆性扩展的参数。低断裂韧性值意味着样品存在的缺陷。G200X特有的刚度成像功能可以轻松地对材料的断裂韧性进行评估。（刚度分布测量需要连续刚度测量和NanoVision选件）粘弹材性测试聚合物是结构异常复杂的材料，力学性能易受其化学特性、加工工艺和热力学历史的影响。力学性能取决于母链的类型和长度、支化、交联、应变、温度和频率等，而这些因素通常是相互关联的。G200X可在特定测试环境中对相关聚合物样本进行力学测试，为聚合物高分子材料设计参数决策提供了有价值的数据信息。/p纳米压痕测试所需样本尺寸小，样本制备要求简单，可高效简化这种特定环境的测量。Nano Indenter G200X 系统还可以通过与材料充分接触的同时激发高频振动来测量聚合物样品的复合模量和粘弹性。扫描探针显微成像 (3D 成像)Nano Indenter G200X 系统提供两种扫描探针显微成像方式，用户可利用三维成像来表征断裂韧性研究中产生的裂纹长度等。 Nano Indenter G200X 与NanoVision选件结合，可提供高达1nm步进的横向分辨率的高精度PZT样品台，实现高精度定位，100µ m x 100µ m的最 大横向扫描范围。Nano Indenter G200X测试平台标准的高精度X/Y 纳米马达台与Inview 软件及扫描测量选件结合，可提供500µ m x 500µ m的最 大横向扫描范围。定量划痕和磨损测试G200X 系统可以对多种材料进行划痕和磨损测试。在涂层和薄膜经过化学机械抛光 (CMP) 和引线键合等的多种工艺处理的时候，其强度及其对基材的附着力会备受考验。在加工工艺中，材料是否能抵抗塑性变形并保持完整而不从衬底上起泡非常重要。理想情况下，介电材料具有高硬度和高弹性模量，因为这些参数有助于了解材料在制造工艺中的性能变化。产品优势NanoIndenter G200X纳米级力学测试平台，简单易用，能够快速准确的提供各种定量的力学测试结果。G200X系统能够轻松表征广泛的材料力学性能，从硬质涂层到超软聚合物样品，并针对不同应用提供综合全面的纳米力学测试升级选件和解决方案。

NMI iMicro 桌面式微米压痕原位力学测试系统 Nanomechanics 当材料测试要求需要灵活性，数据准确性和易于使用就显得至关重要，IMicro 纳米压痕仪在这方面始终如一。 这家iNano公司的老大哥具有开创性，他测试了可靠性，用户友好型软件和仪器功能，然后通过高负载纳米压痕提升性能，这是全球质量控制和研发实验室不可分割的特性更高的负载和更广泛的应用使IMicro成为世界上研究实验室的唯一选择；允许进行广泛的测试，包括但不限于特定频率的实验、存储和损失模量、模量和硬度（Oliver和Pharr）和恒定应变率。多功能执行机构可用于测试任何材料，从超软凝胶到硬涂层。 可用的划痕选项，最大负载为50mN，最大划痕偏差为2.5mm，最大划痕速度为500um/s。 电磁制动器适用于包括IMicro在内的纳米力学公司生产的所有系统,这些执行器是一种坚固的线性装置，具有固定的解耦力和位移。最大的力为1N，分辨率为6nN，最低噪音200nN。 IMicro的时间常数为20us，是唯一一种能满足规格要求，最大压痕为80um噪声小于0.1nm，数字分辨率为0.04nm，漂移率0.05nm/s IMicro包括InView软件，它提供了一个非常强大和直观的实验脚本平台，可以用于设计新颖的实验。有经验的用户可以使用IMicro进行几乎所有小规模的机械测试。 样品台移动Z轴为25 mm，X为100 mm，Y轴为150 mm，可测试各种样品高度和大样品区。 载荷刚度3,500,000N/m 独特的TiP-calibration系统集成到软件中，可以快速、准确、自动的对尖端进行校准。可选择NanoBlitz地形和断层扫描软件来执行3D

——纳米力学和纳米摩擦学测试系统，加速纳米力学研究进入更高阶段。布鲁克的海思创TI 980 TriboIndenter同时具有良好的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。基于海思创几十年的技术创新，它为纳米力学表征带来了更高水平的性能、功能和易用性。TI 980达到了一台优异纳米力学测试仪器所需的所有要求，实现了控制上突出的先进性和高效性，试验上的灵活度与可实现性，测量稳定性，以及系统设计的模块化。先进的Performech II控制模块和电子设计高性能的高速闭环控制业界噪音控制集成的带输入/输出信号的多参数控制五百倍于前代产品的力学测试速度多维度测量耦合充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等。丰富的系统控制和数据分析软件TriboScan(TM) 10提供了创新性的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试程序。Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能。极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质布鲁克纳米压痕仪Ti 980提供了多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品。始终处于材料研究和开发的最前沿海思创从1992年起就在全球范围内处于纳米力学和纳米摩擦学表征的位置。通过与研究人员和工程师的持续合作，布鲁克理解您的独特需求，通过创新的技术帮助您解决当下和将来面临的材料挑战。海思创TI 980 TriboIndenter是这些努力的集大成者。它提供了卓越的性能，能满足您持续更新的材料表征需求。简洁、高速的自动控制——系统自动校正使得每次测试都无懈可击针尖面积函数自动校正传感器自动校正压针和光学系统校正自动测试程序快速、多样品自动测试功能实现高通量表征智能化自动程序确保用户选择合适的针尖高分辨多尺度成像结合全尺寸样品的光学搜索，极大简化测试流程低的噪音水平，实现真正纳米尺度表征从微米到几个纳米的多尺度测量纳牛级别的力噪音水平和小于90%原子直径的位移测量能力，实现几乎任何材料的定量表征系统可实现超过6个数量级的力测量和10个数量级的位移测量力和位移噪音水平保证在客户现场安装时实现最快的反馈控制速率布鲁克纳米压痕仪Ti 980精确控制测试过程实现精度、可信度和重复性的真正定量纳米力学和纳米摩擦学表征特殊的力和位移反馈控制方法用于海思创的传感器-专门针对海思创传感器物理特性开发的力与位移反馈控制算法每隔0.013毫秒实现一次完整反馈控制，使得系统能测量快速瞬态过程，并对其作出反馈，真正实现用户的测试意图-每隔0.013毫秒实现一次完整的感知-分析-控制的循环，使得系统能对瞬态过程进行测量与反馈，以此重现用户定义的测试方式强大的测试模块配置，放大化您的表征潜能自下而上的先进设计提供了世界zui xian jin的纳米力学测试系统实现最丰富的潜在测试能力Performech II高级控制模块精确控制纳米力学测试过程力和位移噪音水平实现测量精度和重复性超快反馈控制算法提供整个测试过程的精确控制专为各种不同测试而开发的一整套高性能传感器多达24个通道的数据采集能力，每个通道都能同时达到1.2MHz采样率多个测试头的耦合——一整套传感器适用于各种测试任务任意两个测头之间无缝连接标配二维传感器和nanoDMA III传感器实现系统的多种测试功能和高性能多种有效的测试模块配置纳米压痕：硬度，模量，蠕变，应力弛豫，断裂韧性、高速力学性能成像纳米摩擦：薄膜结合力，摩擦系数，抗划擦性能，磨损扫描探针显微镜成像：形貌和梯度成像，纳米级别定位精度，摩擦力成像动态纳米压痕：随着深度连续测量硬度和模量，存储模量，损失模量，损耗角正切布鲁克纳米压痕仪Ti 980nanoDMA III：动态纳米压痕布鲁克的nanoDMA III是强大的动态纳米压痕技术。它提供了弹/塑性和粘弹性随着压入深度、频率和时间的变化关系。全面表征各种材料的普适性方法，从较软的聚合物到硬质镀层都能适用；集成直流和交流调制使得从初始接触点开始就能实现纳米尺度动态性能的可靠、定量表征；原位参考频率法校正温漂使得长时间测试的精度大大提高。XPM：快速力学性能成像不论是测量分辨率和精度，还是测量速度，XPM都是纳米力学测试的业界新标杆。有了XPM，原来可能需要一整年才能获得的数据，现在只需要一个下午就能获得。这些性能是通过以下三个技术实现的。1）高带宽静电激励传感器；2）快速控制和数据采集电子系统；3）自上而下的原位扫描探针显微镜成像。这些技术联用能实现每秒六次纳米压痕测试，从而获得全面的定量纳米力学性能图谱以及性能分布的统计数据。更少时间测量更多参数超高速定量力学性能测量（每秒6次测量）快速、高分辨空间硬度和模量分布统计一分钟内可靠完成针尖函数自动校正；比传统纳米压痕测试快500倍的数据采集速率 xSol 环境控制腔及载台，可实现极端环境条件下高通量测量。SPM+实现纳米力学测试前后的准确原位成像布鲁克首创的扫描纳米压痕技术使用同一根探针实现样品表面形貌成像和纳米压痕测试。这种方法实现了定位精度，并且可以在纳米压痕测试后立即对样品塑性形变进行成像，加快测试速度。高定位精度（+/-10nm）——可以从64x64到4096x4096范围内设定扫描分辨率，可以对各种高长宽比的特征形貌进行不同X-Y分辨率成像，纳米力学性能成像分辨率和调色板，可以和摩擦力成像，nanoDMA III，nanoECR和xSol环境控制腔等联用强大的系统控制和分析TriboScan 10：强大的测试灵活性提供了无限的测试可能性将布鲁克纳米压痕全套测试技术集成到一个直观的软件内，基于标签页架构的软件设计使得用户可以方便的使用软件功能，灵活的测试过程分段定义方法提供了适用于所有测试模式的优异控制TriboIQ: 可编程数据分析程序易用的操作界面，从简单到复杂的可定制数据分析包直观的数据组织和分析流程，简单点击即可生成数据报告直观可自定义的数据处理和分析模块开放式架构使得多用户合作更加容易海思创TI980升级选项xSol环境控制腔与载台环境控制腔实现了定量纳米力学性能和纳米摩擦学特征随着温度、气氛和湿度的变化。nanoECR纳米压痕测试的原位导电特性可以和纳米力学性能，材料形变行为和接触电阻等同步研究。xProbe基于MEMS传感器的探针可以实现原子力显微镜级别的超低力和位移噪音水平。iTF专利的原位薄膜力学性能分析包提供了排除基底效应影响的薄膜和多层膜结构的定量力学性能。3D OmniProbe和多量程通过扩展力和位移测量量程实现微米尺度的力学和摩擦学特性表征。NanoProbe同步拉曼光谱原位研究力学性能和摩擦学特性与材料结构和化学成分的相关性。模量成像动态扫描纳米压痕模式提供材料表面的定量、高分辨模量分布。荧光显微镜联用集成荧光显微镜可实现荧光共定位纳米力学测试等。电化学模块实现氧化和还原环境下的原位定量纳米力学和纳米摩擦学行为研究。自动探针更换模块按钮操作的自动探针更换模块。样品台多尺度的磁性、机械和真空固定方式可以固定几乎所有待测样品，包括300mm晶圆。TriboAE&trade 声音传感器能通过针尖原位监测纳米压痕过程中的断裂和形变产生的声音信号。TriboImage&trade 纳米尺度划痕/磨损的实时表征。

Hysitron TS 77 Select™ 自动化纳米力学和纳米摩擦学测试系统是一台具有最高的性能、功能和易用性的台式纳米压痕仪。这款新测试系统采用了布鲁克著名的 TriboScope 电容式传感器技术，能可信地测试从纳米到微米尺度上的机械和摩擦特性。TS Select 支持模式包括定量纳米压痕、动态纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损和高分辨率机械性能成像等功能。 Ts Select特性：提供核心测试技术， 包括纳米压痕、动态纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损和原位 SPM 成像通过电容式传感器技术，使用静电力驱动同时提供高灵敏度和低温漂具有高速纳米压痕功能，可快速对机械性能进行成像，获得具有统计性的结果使用直观且易于使用的控制软件，使操作人员能够进行可靠的测量系统预设了满足ISO 14577 和 ASTM E2546标准的测试脚本具有系统自动校正功能和多样品自动测试功能，更快地获得结果

FT-NMT04纳米力学测试系统是一种多功能的原位SEM/FIB纳米压痕仪，能够在微米和纳米尺度上准确量化材料的力学行为。 FT-NMT04原位纳米压痕仪针对金属、陶瓷、薄膜以及超材料和MEMS等微观结构的机械测试进行了优化。此外，通过使用各种附件，FT-NMT04的功能可以扩展到各个研究领域的各种要求。 典型应用包括通过微柱的压缩测试或狗骨试样、薄膜或纳米线的拉伸测试来量化塑性变形机制。典型应用包括通过微柱的压缩测试或狗骨试样、薄膜或纳米线的拉伸测试来量化塑性变形机制。此外，在压缩测试期间进行连续刚度测量，可以在微梁断裂测试期间量化裂纹扩展和断裂韧性。由于 FT-NMT04 分别具有 500 pN 和 50 pm 的无可比拟的低本底噪声，因此可实现具有无可比拟的可重复性的浅纳米压痕，以及纳米压痕与 EBSD 成像的前所未有的相关性。

奥地利安东帕Anton Paar高温纳米压痕测试仪HT-UNHT高温纳米压痕测试仪 (HT-UNHT) 是一个低载荷的纳米力学测试系统，可用于测量在高达 700 ℃ 温度下薄膜和涂层的硬度和弹性模量。已获专利的 UNHT 主动式表面参比技术与独有的加热技术相结合，可在任何温度条件下提供高稳定性解决方案。目前提供 3 种解决方案：- 高达 200 ℃（带有液体冷却）- 高达 450 °C（带有液体冷却）- 高达 700 ℃（真空）力： 100 mN深度：100 um温度： 700 °C

iMicro纳米压痕仪iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬质涂层、薄膜和小尺寸材料等。其准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度测试、划痕和纳米级万能试验等多种纳米力学测试。作动器易于更换，能够提供大范围的动态载荷和位移，对于从软质聚合物到硬质金属/陶瓷等材料，均可以进行准确而可重复的测试。模块化的功能选项可以适配各种应用：材料力学特性图谱、频率相关特性测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iMicro提供一整套的扩展功能选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D材料力学性能成像、Gemini 2D作动器用于摩擦学和其它双轴力学测量。 产品描述iMicro 纳米压痕仪标配InForce 1000作动器，用于进行纳米压痕和万能纳米力学试验，并可选配InForce 50作动器用于测试较软的材料。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iMicro是一款紧凑型测试平台，其箱体中内置高速InQuest控制器和隔振框架。各种不同的材料和器件均可以进行测试，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等。 产品特色InForce 1000作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换InForce 50作动器选件，提供最大50mN的法向力，可用于测量较软的材料；Gemini 2D作动器选件，可实现两个方向的动态测量独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µ sXY运动系统以及易于安装的磁性样品台高刚度框架，且集成隔振功能集成显微镜，数字变焦，可实现精确的压痕定位符合ISO 14577等标准的测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在线培训和InView移动应用程序 产品应用硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）快速材料力学性能成像ISO 14577 硬度测试聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量定量的划痕和磨损测试高温纳米压痕测试 适用行业大学、科研实验室和研究所半导体与封装产业PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN）MEMS：微机电系统/万能纳米力学试验陶瓷与玻璃金属与合金制药涂层 涂料复合材料电池与储能汽车与航空航天主要应用硬度和模量测量（基于 Oliver-Pharr 模型）力学性能表征在薄膜的制造和工艺控制中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量控制，以及半导体制造中前段和后段的工艺控制。iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬质涂层的各种材料的硬度和模量。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速材料力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iMicro的样品台在X轴和Y轴方向上能够分别移动100mm，且其在Z轴方向上能够移动25mm，因此可以测试尺寸大且高度不同的样品。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试iMicro 纳米压痕仪内置预先编写的 ISO 14577 测试方法，其依据 ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化压痕功。聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量iMicro 纳米压痕仪能够测量超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子、储存模量和损耗模量。储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。定量的划痕和磨损测试iMicro 可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。理想情况下，电介质材料应具有较高的硬度和弹性模量，这将有助于其在经历制造流程时有效抵抗外界影响。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。

Global Leader in Process Control since 1976KLA-Tencor 是全球半导体在线检测设备市场最大的供应商；KLA-Tencor2018 年 3 月从 Keysight Technologies 公司收购了行业的龙头产品-高精度原位微纳米力学测试系统-Nano Indenter G200 和高精度微纳米拉伸系统-UTM T150；该力学设备的工厂是全球最大的高精度力学测试系统的供应商，1983 年成功制造了世界上第一台商用Nano Indenter。该力学设备的工厂是业内唯一拥有超过 35 年的 Nano Indenter 生产和研究经验的供应商，成熟的工艺保证了新一代 Nano Indenter G200 具有最好的稳定性和可靠性。该力学设备的工厂拥有最广泛的顾客群，在高端力学测试系统领域内拥有最高的的市场占有率。 1． 产品技术水平KLA-Tencor 公司拥有最多的 Nano Indenter 的核心专利技术，包括已成为业界标准的连续刚度测量功能、接触刚度成像功能以及快速纳米压入测试技术等等；KLA-Tencor 公司的连续刚度测量功能已经成为薄膜、涂层、多相材料等样品检测最常用的的测试技术，并已经录入各种力学领域的国际标准和中国国家标准内。KLA-Tencor 拥有世界上最快压痕测试技术的专利，最快可达到 1 压痕点/秒。 2． 售后服务和技术支持KLA-Tencor 公司在中国有超过 600 名员工，在国内配备本土 Nano Indenter 方面的技术专家，在业内拥有最好的口碑。KLA-Tencor 公司在中国拥有自己的纳米科学示范实验室，并有专职的应用专家在实验室工作，负责用户的应用技术支持工作；KLA-Tencor 公司还定期地举办高级用户培训班，由公司的应用科学家为不同学科的用户进行各个领域应用的深层次培训。 特点和优势– 广受赞誉的高速测试选项可以和所有G200 型纳米压痕仪配合使用, 包括DCMII 和 XP 模块以及样品台– 快速进行面积函数和框架刚度校对– 精确和可重复的结果, 完全符合ISO14577 标准– 通过电磁驱动, 可在无与伦比的范围内连续调整加载力和位移– 结构优化, 适合传统测试或全新应用– 模块化选项, 适合划痕测试, 高温测试– 和动态测试– 强大的软件功能, 包括对试验进行实时控制, 简化了的特殊测试方法的开发Nano Indenter G200在微/纳尺度范围内的加载和位移构成精确的力学测试 应用– 半导体器件, 薄膜– 硬质涂层, DLC薄膜– 复合材料, 光纤, 聚合物材料– 金属材料, 陶瓷材料– 无铅焊料– 生物材料, 生物及仿生组织等等先进的设计所有的纳米压痕试验都取决于精确的加载和位移数据，要求对加载到样品上的 载荷有精确的控制。KT最新的第五代 G200 型纳米压痕仪采用电磁驱动的载荷装置，从而保证测量的精确度，独特的设计避免了横向位移的影响。 KT最新的第五代 G200 型纳米压痕仪的杰出设计带来很多的便利性，包括方便的测试到整个样品台，精确的样品定位，方便的确定样品位置和测试区域，简 便的样品高度调整，以及快速的测试报告输出。模块化的控制器设计为今后的 升级带来极大的方便。 此外，最新的第五代 G200 型纳米压痕仪完全符合各种国际标准，保证了数据的完整性。客户可以通过每个力学传感器自主设计试验，在任何时候对其进行切换，同时整个设备占地面积小，适合各种实验室环境。KLA-Tencor技术顾问服务KT拥有一支经验丰富的技术支持和服务工程师团队，可针对客户的 特殊应用与测试需求提供定制化的技术顾问服务。 经过超过 35 年的发展，NanoSuite 已经成为业内公认的界面友好、操作简便、功能齐全的数据采集和处理软件包，NanoSuite 不仅可以自动测试，也可以使用户利用网络远程遥控进行实验控制，NanoSuite 不仅能够做到压入过程中硬度和弹性模量等力学性能的实时计算和显示，同时允许用户根据自 己的研究需求以及提出的新模型随时添加新的软件通道，此外，根据实验参 量的变化快慢能够自动调整数据的采集速率，实现了智能化的数据采集功 能，从而既获得您真正需要的数据，又可避免不必要的垃圾数据。增强的载荷加载系统新一代 Nano Indenter G200 系列纳米压痕仪是具有从纳牛到牛顿最为完整的加载力范围，并且不同的加载装置可自动软件切换，整个测试流程都是全 自动的，极大的提高了测试数据的可靠性和可重复性，避免了可能的人为因 素的影响，确保每个测试都是合理、一致、精确。标准的加载装置Nano Indenter G200 纳米压痕仪标准配置是 XP 加载系统 (最大为500mN)， 位移分辨率 0.01纳米，最大压入深度 500 微米,该装置可应用到所有的测试功能。压头更换轻松完成，非常好的机架刚度极大的减少了系统对测试的影响。高精度加载装置DCM II 是高分辨的纳米纳牛力加载模块，它既可以单独工作，也可以作为一个附件与Nano Indenter G200 协同工作。由于其惯性质量很低，使得纳米压痕中的初始表面的选取更加灵敏、精确， DCM II 在超低载荷下的纳米压痕测试具有极高的精确度和可重复性，由于它自身的空载共振频率远高于一般建筑物的振动频率，这就使得一般的环境振动对它几乎没有影响，DCM II 具有很宽的动态频率范围 (0.1 Hz 到 300 Hz)，所有这些特点使得 DCM II 可以提供同类设备不可比拟的高信噪比和高可靠性的试验数据，例如右图所示的蓝宝石上三个纳米深度的压痕测试，在几个纳米的压痕深度范围内获得了非常可靠的弹性模量。大载荷加载装置Nano Indenter G200的大载荷加载选件，大大强化了 G200 系列纳米压痕仪的应用范围。这个选件可以用于标准的 XP 加载模块，将 G200 型纳米压痕仪的加载能力扩展至 10N，可对陶瓷、金属块材和复合材料进行力学表征。大载荷选件的巧妙设计，使得 G200 既避免了在低载荷的情况下牺牲仪器的载荷和位移精度，同时又保证了用户在需要大加载力的测试时，通过鼠标操作就可以在测试实验中进行无缝加载装置切换。

先进的Performech II控制模块和电子设计1.最高性能的高速闭环控制2.业界超过的噪音控制3.集成的带输入/输出信号的多参数控制4.五百倍于前代产品的力学测试速度 多维度测量耦合1.充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合2.多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等 丰富的系统控制和数据分析软件1.TriboScan(TM) 10提供的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试2.Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能 极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质1.多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口2.万能样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品应用实例

iNano纳米压痕仪使测量薄膜、涂层和小体积材料变得更简单。准确、灵活、用户友好的仪器可以进行多样的纳米材料力学测试，包括压痕、硬度、划痕和通用的纳米尺度测试。大的力和位移动态测量范围允许对从软聚合物到金属材料进行精确和可重复的测试。 模块选项可以适配各种应用：材料性能分布图、特定频率测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iNano纳米压痕仪拥有一整套可扩展的测试选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz 3D/4D性能分布图和远程视频选项。产品描述iNano纳米压痕仪使测量薄膜、涂层和小体积材料变得更简单。准确、灵活、用户友好的仪器可以进行多样的纳米材料力学测试，包括压痕、硬度、划痕和通用的纳米尺度测试。大的力和位移动态测量范围允许对从软聚合物到金属材料进行精确和可重复的测试。 模块选项可以适配各种应用：材料性能分布图、特定频率测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iNano纳米压痕仪拥有一整套可扩展的测试选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz 3D/4D性能分布图和远程视频选项。iNano采用InForce 50作动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试。InForce 50的50mN力荷载和50μm位移范围使得该系统适合各种测试。InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。iNano是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。该系统可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能● InForce 50作动器，用于电容位移测量和电磁力驱动，具有可互换的压头● 独特的软件集成压头校准系统，可实现快速准确的压头校准● InQuest高速电子控制器，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数● XY移动系统带有易于安装的磁性样品架● 具有数字变焦功能的集成显微镜，可获得精确的压痕定位● ISO 14577和标准化测试方法● InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView University在线培训和InView移动应用程序主要应用● 硬度和模量测量（Oliver Pharr）● 材料力学性能分布图● ISO 14577硬度测试● 聚合物损耗因子，储存模量和损耗模量● 高温纳米压痕测试硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）在薄膜的工艺控制和制造过程中，表征其力学性能至关重要，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。iNano 纳米压痕仪可以测量各种材料的硬度和模量，从超软胶到硬涂层。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速材料力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iNano提供了X和Y轴100毫米和Z轴25毫米的样品台移动，允许在大样品面积上测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试iNano纳米压痕仪包括一个预先编写的ISO 14577测试方法，用于测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化压痕功。聚合物损耗因子iNano纳米压痕仪能够测量 超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子。 储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。适用行业● 大学、研究实验室和研究所● 半导体和封装行业● 聚合物和塑料● MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试● 陶瓷和玻璃● 金属和合金● 制药● 涂料和油漆● 聚合物制造● 复合材料● 电池和储能● 更多应用，请联系我们以满足您的要求适用行业举例半导体晶圆半导体制造商通常致力于生产高质量的薄膜，而薄膜柔韧性较差将导致开裂和剥离。基底和外延层中未检测到的缺陷，也可能导致长期隐患和裂纹延展，造成器件失效。KLA纳米压痕仪能够测量超薄膜的弹性模量和硬度，及断裂韧性和开裂阈值，且不受基底的影响。将纳米力学性能与工艺参数建立关联，对于最大化半导体器件产能至关重要。半导体封装电子元件的性能和寿命可能取决于其封装的完整性。KLA纳米压痕仪让半导体封装厂商可以评估聚合物底部填充物的力学性能、焊料应变速率敏感因子和金属部件的强度。聚合物与塑料聚合物与塑料由于其时效变形特性，而被用于许多应用之中。无论聚合物是用作减振器、挤出材料还是医疗植入物，通常都通过动态力学分析（DMA）对其进行分析。在许多情况下，塑料部件的几何形状不适合采用传统的DMA仪器进行测试。无论样品的几何形状如何，KLA纳米压痕仪都能够局部定位塑料部件上的目标区域，并测量与频率相关的储能模量、损耗模量和损耗因子。iNano也可用于测量粘弹性蠕变和应力松弛特性。陶瓷与玻璃陶瓷和玻璃因其独特的光学、力学和电学特性，而成为许多应用中使用的重要材料。陶瓷与玻璃的传统力学测试（例如，四点弯曲测试）可能既耗时又昂贵。iNano可以快速表征少量材料的弹性模量和硬度。纳米压痕仪的划痕测试功能也非常适合定量评估光学涂层的耐划擦性。金属与合金金属与合金在许多行业中发挥着重要作用，例如汽车、航空航天、医疗和半导体。金属与合金的传统力学测试（例如，拉伸测试）可能既耗时又昂贵。iNano可以对少量材料进行快速表征。它还让用户可以表征弹性模量、硬度和抗蠕变性，以及这些特性随空间位置变化的梯度。电池与储能电池材料的力学性能与电池的稳定性、充电容量和续航时间密切相关。iNano 纳米压痕仪非常适合测试各种电池材料，从软质锂金属到硬质陶瓷基片。iNano提供面向多种环境的先进测量解决方案，其中包括干燥室和手套箱。制药、食品和个人护理药品、食品和个人护理产品的力学性能与客户满意度和体验密切相关。材料的弹性模量或刚度可能与质地和触感有关。药物糖衣的力学性能对于准时释放药性也至关重要。iNano 纳米压痕仪提供定量信息，补充定性客户反馈。纳米级通用测试iNano纳米压痕仪系统能够测量纳米级力学形变和其它纳米力学特性。iNano的多种测试能力包括纳米压痕、压缩、拉伸、蠕变、应力松弛和疲劳的测量。此外还支持标准和自定义试验方法。KLA纳米压痕仪团队的专职科学家还可提供咨询和实验设计。选配件连续刚度测量（CSM）连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测试选项，包括 ProbeDMA&trade 选项以测量存储模量和损耗模量，以及AccuFilm&trade 选项以获得不受衬底影响的薄膜性能。CSM 功能集成在 InQuest 控制器和 InView 软件中，使用极为简便，且确保数据质量。300°C样品加热300°C样品加热选项允许将样品放入加热室中进行均匀加热的同时使用InForce 50作动器进行测试。 该选项包括高精度温度控制系统、惰性气体保护系统以减少氧化、冷却系统以移除余热。ProbeDMA、AccuFilm、NanoBlitz和CSM功能均与样品加热选项兼容。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D利用InForce 50作动器和Berkovich压头来生成高模量 ( 3GPa)材料的纳米机械特性的3D图。 NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）。大量的测试数据能够提高统计的准确性。统计直方图可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D方法包还包含可视化软件和数据处理功能。NanoBlitz 4DNanoBlitz 4D公司利用InForce 50作动器和Berkovich压头来生成低模量/硬度和高模量 (3GPa)材料的纳米机械性能的4D图。 NanoBlitz 4D每个压痕仅需5-10秒，单次测试可包含多达10,000个压痕点（100×100阵列），获得每个压痕点的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）等随深度的变化。NanoBlitz 4D 采用恒应变率方法。其软件包还包含可视化软件和数据处理功能。AccuFilm&trade 薄膜方法包AccuFilm&trade 薄膜方法包提供基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，其采用连续刚度测量(CSM)获得不受衬底影响的薄膜材料性能。AccuFilm&trade 能够修正薄膜力学性能测量中衬底的影响，其应用既包括“硬膜软基底”，也包括“软膜硬基底”的情况。ProbeDMA&trade 聚合物方法包聚合物方法包可以测量聚合物的复模量随频率的变化。该方法包中包括平压头、粘弹性标样和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征纳米尺度聚合物和聚合物薄膜，填补传统的动态力学分析(DMA)测试仪在此领域的空白。Biomaterials生物材料方法包生物材料方法包基于连续刚度测量（CSM）技术，可以测量剪切模量低至1kPa的生物材料的复模量。该方法包中包括一个平压头和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征小尺寸生物材料，填补传统的流变仪在此领域的空白。划痕和磨损测试方法包划痕测试中，在压头上施加恒定或线性变大的载荷，并使其以设定速度在样品表面划过。划痕测试可以表征多样的材料体系，例如薄膜、脆性陶瓷和聚合物等。DataBurst对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。配备了“用户方法开发”选项的iMicro系统，也可以修改方法以启用DataBurst。InView的“用户方法开发”选项InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。经验丰富的用户使用配备独有InView选项的iNano系统几乎可以设置和执行所有微力学测试。主动减震系统以及一体式机柜可选的高性能主动隔振系统在其内置隔振的基础上，为iNano纳米压痕仪提供了额外的隔振。 该系统易于安装，可在所有六个自由度上减少震动，且无需调试。一体式模组托架将所有模组集成在一处，方便使用。True TestI-V电气测量iNano微力学系统的True Test I-V选项采用InView软件控制，使用了精密电流表和电压源、一个可以通过压头的导通电路和导电压头。 该设计帮助用户对样品施加特定电压，测量压头处的电流，且同时操作InForce 50。压痕仪压头和校准样品InForce 50和Gemini作动器采用可互换的压头。 有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列也提供标准参考材料和校准标准。远程视频选项除了现有的显微镜物镜之外，远程视频选项还在iNano腔室内提供了两个视角。 第一个安装的支架专门关注测试过程中的压痕仪压头，此设置非常适合于柔性和软材料。 第二个支架安装在机架上，用于在测试设置期间观察样品和显微镜物镜。 标准显微镜物镜和USB摄像头之间的视图切换由软件控制。相关产品

这是一款先进的纳米压痕仪，用户可以在操作界面上灵活、方便地进行纳米级力学测试。Nano Indenter G200X采用高速控制器电子设备、升级后的用户界面和先进的InView&trade 软件能实现各种可选的高级应用模块功能：特定频率测试、定量划痕和磨损测试、基于探针的集成成像、高温测试和自定义测试协议。能够快速准确的提供各种定量的力学测试结果。能够轻松表征广泛的材料力学性能，从硬质涂层到超软聚合物样品，并针对不同应用提供综合全面的纳米力学测试升级选件和解决方案。产品描述Nano Indenter G200X可提供纳米级的力学测试功能，简单易用，能够精确进行各种力学定量分析。G200X系统能够轻松表征广泛的材料力学性能，从硬质涂层到超软聚合物样品，并针对不同应用提供综合全面的纳米力学测试升级选件和解决方案。G200X系统中配置了高精度纳米马达样品台、我们最大的样品安装系统和高分辨率光学显微镜。InView软件、InQuest控制器和InForce驱动器让KLA全线压痕产品系列具有一致的卓越性能。 G200X系统可选功能包括连续刚度测量(CSM)、扫描探针显微成像、划痕测试、动态力学分析频率扫描，IV电压电流特性测试、超高速压痕测试和冲击测试等等。主要功能● 电磁驱动作动器可轻松实现载荷和位移的宽动态范围的控制● 高分辨率光学显微镜与精密XYZ 移动系统结合能实现高精度观察与定位测试样本。● 便捷的样本安装台与多样本定位设置功能实现高通量测试。● 高度模块化设计使设备远不止能进行压痕测试，设备还提供扫描探针成像功能、划痕及磨损测试功能、高温纳米力学测试功能、连续刚度测试(CSM) 和高速3D及4D力学图谱等模块化升级选件。● 直观的用户操作界面便于快速地进行测试设置；仅需点击几下鼠标即可完成复杂测试的参数设置。● 实时高效的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置。● 全新的InView软件，提供用于分析数据的Review软件和生成各种综合性测试报告的 InFocus软件。● 备受赞誉的材料表面力学图谱功能和高速测试功能，极大地提高了定量数据的可靠性。● InQuest高速数字控制器，数据采集速率最高可达100kHz，时间响应常数最快为20μs。主要应用● 快速硬度和模量测量 (基于Oliver-Pharr 模型)● 快速材料表面力学特性分布测量● ISO 14577 标准化硬度测试● 薄膜及涂层测试● 界面附着力测量● 断裂韧性测量● 粘弹性测量，包括储能模量和损耗模量及损耗因子● 扫描探针显微成像（3D 成像）● 定量划痕和摩擦磨损测试● 高温纳米压痕测试● IV电学测试硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）材料的力学性能表征在薄膜的工艺控制和制造过程中表征力学性能发挥着至关重要的作用，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。G200X纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬质涂层的各种材料的硬度和模量。对这些特性进行快速评估可以为生产线提供可靠的品质控制及保障。快速压痕力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能会有很大差异。G200X系统在X和Y轴方向上各提供100毫米的样品台移动范围，在Z轴方向上提供25毫米的移动范围，在大面积样本区域下轻松表征不同厚度、宽度、长度的样本。可选的NanoBlitz表面形貌和断层扫描软件能快速生成任何测量力学性能的彩色图。ISO 14577硬度测试Nano Indenter G200X包括一个预编程的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577标准测量材料的硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。界面附着力测量薄膜剥离通常是由沉积可以储存弹性能量的高压缩层引起的。界面附着力测量对于帮助用户了解薄膜失效模式而言至关重要。Nano Indenter G200X系统可以通过膜层界面的断裂及黏附特性和残余应力等性能的测试，实现对多层界面的性能评估。断裂韧性断裂韧性指在平面应变条件下应力强度因子发生突然性失效的临界值。低断裂韧性值意味着样品预先存在缺陷。使用刚度成像法可轻松通过纳米压痕仪获得断裂韧性。（刚度成像测量需要连续刚度测量和NanoVision选件。）粘弹性能聚合物是结构异常复杂的材料，其力学性能易受化学特性、加工工艺和热力学过程的影响。具体而言，力学性能由母链的类型和长度、支化、交联、应变、温度和频率等因素决定，而他们通常是相互关联的。应在相关环境中对聚合物样本进行力学测试，为聚合物设计参数决策提供有用的数据信息。纳米压痕测试所需样本尺寸小，制作简单，更容易进行这种特定环境的测量。Nano Indenter G200X系统在压头与材料充分接触的同时可激发压头的高频振动来测量聚合物样品的复模量和粘弹性。扫描探针显微成像（3D成像）Nano Indenter G200X系统有两种扫描探针显微成像方式，可用于表征压痕的裂纹长度，和测量设计应用中的断裂韧性。断裂韧性指含有裂缝的缺陷材料防止断裂扩展的能力。Nano Indenter G200X的压电样品台具有高定位精度的NanoVision选件，可提供高达1nm步进的编码器分辨率，最大扫描尺寸为100µ m x 100µ m。Survey Scanning软件选件将X/Y运动系统与InView软件相结合，可提供500µ m x 500µ m的最大扫描尺寸。NanoVision样品台和Survey Scanning选件均需要对样品的精确区域进行纳米压痕测试和断裂韧性计算。定量划痕和摩擦磨损测试涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。理想情况下，电介质材料应具有较高的硬度和弹性模量，这将有助于其在经历制造流程时有效抵抗外界影响。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。适用行业● 高校、实验室和研究所● 半导体芯片行业● PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN)● MEMS：微机电系统/纳米级通用测试● 陶瓷与玻璃● 金属与合金● 制药● 膜层材料与油漆● 复合材料● 电池与储能● 汽车与航空航天● 更多应用：请联系我们探讨您的需求应用举例硬质涂层通常，厚度5µ m的硬质涂层用于表面保护、提高耐磨性、摩擦/润滑、提高耐温性和生物相容性。Nano Indenter G200X系统可以精确地执行ISO标准化的纳米压痕测试，并在不受衬底影响的情况下测量涂层的弹性模量和硬度。Nano Indenter G200X还可测量划痕硬度和耐磨性。在涂层表面粗糙度较大的情况下，NanoBlitz 3D选件可对材料特性进行快速的定量评估。半导体晶圆半导体制造商往往致力于生产具有高度机械完整性的薄膜。我们的纳米压痕仪可以测量几乎最薄薄膜的弹性模量和硬度，而不会出现来自底层衬底的影响。探明实际材料变化与工艺参数之间的相关性，对于半导体应用至关重要。半导体封装电子元件的性能和寿命可能取决于其封装的完整性。我们的纳米压痕仪能让半导体封装厂商评估聚合物底部填充物的力学属性、焊料应变率灵敏度和金属部件的强度。陶瓷与玻璃陶瓷和玻璃因其独特的光学、力学和电学特性，而成为许多应用中使用的重要材料。陶瓷与玻璃的传统力学测试（例如，四点弯曲测试）可能既耗时又昂贵。G200X工具可以快速表征小尺寸材料的弹性模量和硬度。划痕测试功能也非常适合定量评估光学涂层的抗划伤性。聚合物与塑料聚合物与塑料由于其随时间产生形变的特性，而被用于许多应用之中。无论聚合物是用作减振器、挤压材料还是医疗植入物，通常都通过动态力学分析(DMA)对其进行分析。在许多情况下，塑料部件的几何图形不适合采用传统的DMA仪器进行测试。无论样品的几何图形如何，KLA纳米压痕仪都能够局部定位塑料部件上的目标区域，并检测与频率相关的储存模量、损耗模量和损耗因子。Nano Indenter G200X也可用于测量粘弹性蠕变和应力弛豫特性。金属与合金金属与合金在许多行业中发挥着重要作用，例如汽车、航空航天、医疗和半导体。金属与合金的传统力学测试（例如，拉伸测试）可能既耗时又昂贵。G200X可以对小尺寸材料进行快速表征。它还能让用户表征弹性模量、硬度和抗蠕变性，以及这些特性随空间位置变化的梯度。电池与储能电池材料的力学属性与电池的稳定性、充电容量和续航时间密切相关。Nano Indenter G200X系统非常适合测试各种电池材料，从软质锂金属到硬质陶瓷基片。Nano Indenter G200X提供面向多种环境的先进测量解决方案，其中包括干燥室和手套箱。研发KLA Instruments纳米压痕仪，不仅能满足要求严苛的研发应用所需的精度和准确度，还是应用灵活的科学仪器。无论是测量新型材料的力学性能、检测金属的形变机制，还是分析随温度变化的应变速率敏感因子，Nano Indenter G200X拥有应用多样的纳米压痕测量能力，以实现先进的研究和加速开发进程。制药、食品和个人护理药品、食品和个人护理产品的力学性能与客户满意度和体验密切相关。材料的弹性模量或刚度可能与质地和触感有关。药物糖衣的力学性能对于准时释放药性也至关重要。G200X系统可提供定量信息，以对定性客户反馈进行补充。汽车与航空航天KLA Instruments的纳米压痕仪可以根据温度对材料进行高级表征，这对于汽车和航空航天应用而言是一项关键功能。强度、刚度和随时间变化的力学性能都可使用Nano Indenter G200X 纳米压痕技术进行测量。纳米级通用测试G200X系统能够测量纳米级力学形变和其它纳米力学特性。对纳米压痕、压缩、张力、蠕变、应力松弛和疲劳的测量展现了该系统功能多样的特点。此外还支持标准和自定义试验方法。KLA纳米压痕仪团队的专职科学家还可提供咨询和实验设计。选配件InForce 1000作动器InForce 1000作动器采用高达1000mN的压痕载荷进行纳米压痕测试。获得专利的电磁力驱动技术可确保测量的可靠性和载荷与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计可确保单一方向自由度的简谐运动，从而沿单轴方向控制加载力和位移。整个InForce系列作动器的压头均可互换。InForce 1000作动器与CSM、NanoBlitz、样品加热、划痕、磨损和ISO 14577等测试选件兼容。InForce 50作动器InForce 50作动器采用高达50mN的压痕载荷执行纳米压痕测试。获得专利的电磁力驱动技术可确保测量的可靠性和载荷与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计可确保一个自由度的简谐运动，从而沿单轴方向控制载荷和位移。整个InForce系列作动器的压头均可互换。InForce 50座动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA&trade 、生物材料、样品加热、划痕、磨损和 ISO 14577等测试选项兼容。连续刚度测量（CSM）连续刚度测量用于量化动态材料特性，例如应变速率和频率引起的影响。CSM技术可在压痕过程中振荡压头测量随深度、荷载、时间或频率而变化的力学特性。该选项附带一个恒定应变速率实验，该实验测量硬度和模量作为深度或载荷的函数，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测量选项，包括用于储存模量和损耗模量测量的 ProbeDMA&trade 方法和与基底无关的薄膜的杨氏模量测量方法 AccuFilm&trade 。CSM集成于InQuest控制器和InView软件中，易于使用，且能保证数据质量。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D利用InForce 50或InForce 1000驱动器和Berkovich压头绘制高模量（ 3GPa）材料的纳米力学性能3D分布图。NanoBlitz 以每个压痕 1 秒的速度最多可执行 100,000 个压痕（300x300 阵列），并在指定载荷下对阵列中的每个压痕测量杨氏模量 (E)、硬度 (H) 和刚度 (S) 值。大量的测试数据能够提高统计的准确性。直方图显示多相材料的性能分布。NanoBlitz 3D方法包具有可视化和数据处理能力。300°C 样品加热300°C 样品加热选项允许将样品放入腔室均匀加热，同时使用 InForce 1000 或 InForce 50 作动器进行测试。该选项包括高精度温度控制、惰性气体保护以减少氧化，以及冷却循环以去除多余的热量。ProbeDMA，AccuFilm，NanoBlitz和CSM均可与样品加热选件兼容。NanoBlitz 4DNanoBlitz 4D 利用 InForce 50 或 InForce 1000作 动器和 Berkovich 压头为低 E/H 值和高-E (3GPa) 材料生成纳米力学特性 4D 图。NanoBlitz 4D以每个压痕 5-10 秒的速度最多可执行 10,000 个压痕（100×100 阵列）测试，并提供杨氏模量 (E)、硬度 (H) 和刚度 (S)，作为阵列中每个压痕深度的函数。NanoBlitz 4D 采用恒应变速率方法。该功能包具备可视化和数据处理功能。AccuFilm 薄膜方法组合AccuFilm 薄膜方法组合是一种基于 Hay-Crawford 模型的 InView 测试方法，采用连续刚度测量 (CSM) 对与基片无关的材料特性进行测量。AccuFilm对软基底上硬质薄膜测量进行基底材质影响的校正，也对硬基底上的软性薄膜进行同类的校正。ProbeDMA 聚合物方法组合聚合物方法组合提供了对聚合物随频率变化的复模量进行测量的能力。该方法组合中包括平压头、粘弹性参考材料和用于评估粘弹性的测试方法。传统动态力学分析(DMA)测试仪器无法很好地表征的纳米级聚合物和聚合物薄膜，而这种技术对其进行表征又十分关键。生物材料方法包生物材料方法包基于连续刚度测量（CSM）技术，可以测量剪切模量低至1kPa的生物材料的复模量。该方法包中包括一个平压头和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征小尺寸生物材料，填补传统的流变仪在此领域的空白。NanoVisionNanoVision选件配备了用于高分辨3D成像方法和能精确定位的闭环纳米定位样品台。NanoVision让用户能够以纳米级精度对压痕测试位置进行定位，从而实现对复杂材料的各个相进行独立表征。NanoVision用户还可以通过检查残余压痕形貌，获取到凸起高度、变形体积和断裂韧性等材料特性的量化分析。Survey ScanningSurvey Scanning选件利用Nano Indenter G200X系统的精确、可重复的X/Y运动来提供500μm x 500μm的最大扫描尺寸。10nm线性编码器的成像效果比G200更好。NanoVision样品台和Survey Scanning选件可配合使用，为纳米压痕测试精确定位，这对于确定样品断裂韧性尤其有用。InView软件版本所有Nano Indenter G200X系统均采用了标准的InView软件，可以让用户可以访问预编程测试方法，其中包括符合ISO 14577标准的方法。InView方法开发选件能让研究人员使用简单的协议编写自己的InView测试方法。InView软件包中内置InView ReviewData和InFocus应用程序，可用于轻松查看数据和创建演示文稿。InView拥有模拟模式，用户可以离线编写测试方法、处理和分析数据。相关产品

iNano纳米压痕仪iNano纳米压痕仪使测量薄膜、涂层和小体积材料变得更简单。准确、灵活、用户友好的仪器可以进行多样的纳米材料力学测试，包括压痕、硬度、划痕和通用的纳米尺度测试。大范围的力和位移动态测量范围允许对从软聚合物到金属的材料进行精确和可重复的测试。 模块选项可以适配各种应用：材料性能分布图、特定频率的测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iNano纳米压痕仪拥有一整套可扩展的测试选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz 3D/4D性能分布图和远程视频选项。产品描述iNano纳米压痕仪采用了用于执行纳米压痕和通用纳米机械测试的InForce 50作动器。InForce 50的50 mN力和50µ m位移范围允许该系统执行广泛的测试。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iNano是一个紧凑的平台，内置有高速InQuest控制器和隔振机架。可以测试各种材料和装置，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物物质和凝胶。 功能InForce 50作动器用于电容位移测量和电磁力驱动，具有可互换的压头独特的软件集成压头校准系统，精确的压头校准Inquest高速电子控制器，具有100kHz数据采集速率和20µ s时间常数XY移动系统带有易于安装的磁性样品架具有数字变焦功能的集成显微镜，可获得精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、 InView University 在线培训和InView移动应用程序的InView软件包 应用硬度和模量测量(Oliver-Pharr)材料力学性能分布图ISO 14577硬度测试聚合物损耗因子高温纳米压痕测试 行业大学、研究实验室和研究所半导体和封装行业聚合物和塑料MEMS：微机电系统/纳米尺度通用测试陶瓷和玻璃金属和合金药品涂料和油漆聚合物制造复合材料电池和储能主要应用硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）在薄膜的工艺控制和制造过程中，表征其力学性能至关重要，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。iNano 纳米压痕仪可以测量各种材料的硬度和模量，从超软胶到硬涂层。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速压痕力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iNano提供了X和Y轴100毫米和Z轴25毫米的样品台移动，允许在大样品面积上测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iNano纳米压痕仪包括一个预编程的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577标准测量材料的硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。聚合物损耗因子iNano纳米压痕仪能够测量 超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子。 储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。

NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下，准确、精密地进行硬度、模量、屈服强度、刚度和其它纳米力学性能的测试。无论在扫描电子显微镜（SEM）或是聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip均可出色完成微柱压缩等测试，并将SEM图像与力学测试数据同步。NanoFlip是一款紧凑、灵活的原位纳米力学测试仪，其测试速度快，这对于在惰性条件下（例如手套箱中）测试非均质材料至关重要。基于InForce 50电磁力作动器等多种可用功能选项，可获取定量结果，为材料研究提供有价值的解决方案。产品描述NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下对硬度、模量、屈服强度、刚度和其他纳米力学测试进行高精确度的测量。在扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip在测试（例如柱压缩）方面表现优异，可以将SEM图像与机械测试数据同步。NanoFlip测量迅速，这对于惰性环境（例如手套箱）中测试异质材料很关键。系统所配置的可选套件，例如InForce50电磁驱动器，可以提供定量结果，从而为材料研究提供有价值的解决方案。NanoFlip配备高精度的XYZ移动马达，以定位样品进行测试，并配备翻转机构，以定位样品进行观察成像。InView软件标配一套包括多种测试协议的测试方法，且支持用户创建自己独特的测试方法。InForce 50作动器在真空和气氛条件下表现同样出色。InView 软件可以记录SEM或其它显微镜图像，并与力学测试数据同步。FIB-to-Test技术容许将样品倾斜90°，实现从FIB到压痕测试的无缝转换，而无需重新安装样品。主要功能● InForce 50作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换● InQuest高速数字控制器，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数● XYZ运动系统，用于样本定位的● SEM视频捕获，可以将SEM图像和测试数据进行同步● 独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速，准确的压头校准● InView控制和数据处理软件，与Windows10兼容，可选测试方法开发工具，实现用户自定义实验主要应用● 硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）● 连续刚度测量● 高速材料力学性能分布图● ISO 14577硬度测试● 纳米动态力学分析（DMA）● 定量划痕和磨损测试硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）NanoFlip纳米压痕仪可测量从超软凝胶到硬质涂层的各类材料的硬度和模量。对这些性能进行高通量的评估，可以为产线提供可靠的质量管理。连续刚度测量（CSM）连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。NanoFlip纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激励，可实时监测数据，以准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。快速材料力学性能成像对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。NanoFlip样品台在X和Y方向上行程可达21mm，Z方向马达行程可达25mm，可以实现不同区域、不同高度样品的测试。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577硬度测试NanoFlip纳米压痕仪标配包含ISO 14577测试方法，可以依照ISO 14577标准测量材料硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、仪器化压入硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。纳米动态力学分析（DMA）聚合物是极为复杂的材料。为了获取对聚合物设计有用的信息，应在相应的条件下对相应的样品进行力学性能测试。纳米压痕测试所需样品尺寸小、制备要求简单，更易于实现这种特异性的测量。NanoFlip纳米压痕仪还可在压头与材料接触时振荡压头，实现聚合物复模量和粘弹性的测量。定量划痕和磨损测试NanoFlip可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光（CMP）和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。适用行业● 大学、实验室和研究所● 支柱和微球制造● MEMS（微机电系统）● 材料制造（结构压缩/拉伸/断裂测试）● 电池和组件制造● 更多应用，请与我们联系以满足您的要求选配件连续刚度测量（CSM）CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测试选项，包括 ProbeDMA&trade 选项以测量存储模量和损耗模量，以及AccuFilm&trade 选项以获得不受衬底影响的薄膜性能。CSM功能集成在InQuest控制器和InView软件中，使用极为简便，且确保数据质量。Gemini 2D多轴作动器Gemini 2D多轴设计，保证增加的横向轴与常规压痕具有相同的性能，且CSM能够在两个方向同时工作。基于这项专利技术获得更多测试结果，有助于形成对材料特性和失效机制新的认知。二维作动器是横向力和摩擦学测量的独特解决方案，其可以用于测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切特性和形貌特征。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D可以采用InForce 50作动器和玻式压头，获得杨氏模量较高 (3GPa)的材料的纳米力学特性3D图。NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量、硬度和接触刚度。大量的测试数据能够提高统计的准确性，统计直方图还可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D还包含可视化软件和数据处理功能。NanoBlitz 4DNanoBlitz 4D可以采用InForce 50作动器和玻式压头，获得较低杨氏模量/硬度以及较高杨氏模量（3GPa）的材料的纳米力学特性4D图。NanoBlitz 4D每个压痕仅需5-10秒，单次测试可包含多达10,000个压痕点（100×100阵列），获得每个压痕点的杨氏模量、硬度和接触刚度等随深度的变化。NanoBlitz 4D采用恒应变速率方法，并包含可视化软件和数据处理功能。AccuFilm&trade 薄膜方法包AccuFilm&trade 薄膜方法包提供基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，其采用连续刚度测量（CSM）获得不受衬底影响的薄膜材料性能。AccuFilm&trade 能够修正薄膜力学性能测量中衬底的影响，其应用既包括“硬膜软基底”，也包括“软膜硬基底”的情况。ProbeDMA&trade 聚合物方法包聚合物方法包可以测量聚合物的复模量随频率的变化。该方法包中包括平压头、粘弹性标样和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征纳米尺度聚合物和聚合物薄膜，填补传统的动态力学分析(DMA)测试仪在此领域的空白。划痕和磨损测试方法包InForce 50作动器无需特殊配置即支持划痕和磨损测试。划痕测试中，在压头上施加恒定或线性变大的载荷，并使其以设定速度在样品表面划过。划痕测试可以表征多样的材料体系，例如薄膜、脆性陶瓷和聚合物等。DataBurst对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。配备了“用户方法开发”选项的NanoFlip系统，也可以修改方法以启用DataBurst。InView的“用户方法开发”选项InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。使用NanoFlip，经验丰富的用户几乎可以设计和运行任何小尺度力学测试。KLA独家提供此功能。True Test I-V测试NanoFlip纳米压痕仪的I-V选项通过InView软件控制，包含精密的电流/电压源表、经过压头和InForce 50/1000作动器的导电通路以及导电压头。该设计确保用户能够对样品施加特定电压、测量通过压头的电流，并同时操作InForce作动器进行力学测试。压头和标准样品有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列均提供标准样品和校准标准。相关产品

NanoFlip纳米压痕仪NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下，准确、精密地进行硬度、模量、屈服强度、刚度和其它纳米力学性能的测试。无论在扫描电子显微镜(SEM)或是聚焦离子束(FIB)系统中，NanoFlip均可出色完成微柱压缩等测试，并将SEM图像与力学测试数据同步。NanoFlip是一款紧凑、灵活的原位纳米力学测试仪，其测试速度快，这对于在惰性条件下（例如手套箱中）测试非均质材料至关重要。基于InForce 50电磁力作动器等多种可用功能选项，可获取定量结果，为材料研究提供有价值的解决方案。产品描述NanoFlip配备高精度的XYZ移动马达，以定位样品进行测试，并配备翻转机构，以定位样品进行观察成像。InView软件标配一套包括多种测试协议的测试方法，且支持用户创建自己独特的测试方法。InForce 50作动器在真空和气氛条件下表现同样出色。InView 软件可以记录SEM或其它显微镜图像，并与力学测试数据同步。革 命性的FIB-to-Test技术容许将样品倾斜90°，实现从FIB到压痕测试的无缝转换，而无需重新安装样品。 产品特色InForce 50作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µ sXYZ运动系统实现样品定位SEM视频采集实现SEM图像和力学测试数据同步独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准InView设备控制和数据处理软件，与Windows10兼容，可选测试方法开发工具，实现用户自定义实验 产品应用硬度和模量测试（基于Oliver-Pharr模型）连续刚度测量快速材料力学性能成像ISO 14577硬度测试纳米动态力学分析(DMA)定量划痕和磨损测试 适用行业大学、科研实验室和研究所微柱和微球制造MEMS：微机电系统材料制造（压缩/拉伸/断裂测试）电池和组件制造主要应用硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）NanoFlip纳米压痕仪可测量从超软凝胶到硬质涂层的各类材料的硬度和模量。对这些性能进行高通量的评估，可以为产线提供可靠的质量管理。连续刚度测量(CSM)连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。NanoFlip纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激励，可实时监测数据，以准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。快速材料力学性能成像对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。NanoFlip样品台在X和Y方向上行程可达21mm，Z方向马达行程可达25mm，可以实现不同区域、不同高度样品的测试。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577硬度测试NanoFlip纳米压痕仪包括一个预编程的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577标准测量材料的硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。纳米动态力学分析(DMA)聚合物是极为复杂的材料。为了获取对聚合物设计有用的信息，应在相应的条件下对相应的样品进行力学性能测试。纳米压痕测试所需样品尺寸小、制备要求简单，更易于实现这种特异性的测量。NanoFlip纳米压痕仪还可在压头与材料接触时振荡压头，实现聚合物复模量和粘弹性的测量。定量划痕和摩擦磨损测试NanoFlip可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。

灵活且用户友好的纳米压痕仪，适用于测量模量、硬度（Oliver-Pharr模型，ISO 14577）、储存模量/损耗模量以及万能力学试验。能够施加高达1N的力，为硬质材料测试提供更高载荷和更大深度。可供选配的不同作动器，用于软质材料、摩擦学研究、横向力测量和其它需要双轴测量力和位移的场景。产品描述iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬质涂层、薄膜和小尺寸材料等。其准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米力学测试。作动器易于更换，能够提供大范围的动态载荷和位移，对于从软质聚合物到硬质金属/陶瓷等材料，均可以进行准确而可重复的测试。模块化的功能选项可以适配各种应用：材料力学特性图谱、特定频率测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iMicro提供一整套的扩展功能选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D材料力学性能成像，以及Gemini 2D作动器用于摩擦学和其它双轴力学测量。iMicro 纳米压痕仪标配InForce 1000作动器，用于进行纳米压痕和通用纳米力学测试，并可选配InForce 50作动器用于测试较软的材料。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iMicro是一款紧凑型测试平台，其箱体中内置高速InQuest控制器和隔振框架。可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能● InForce 1000驱动器，采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换● InForce 50作动器选件，提供最大50mN的法向力，可用于测量较软的材料；Gemini 2D作动器选件，可实现两个方向的动态测量。独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准● InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µ s● XY运动系统以及易于安装的磁性样品台● 高刚度龙门架，且集成隔振功能● 集成显微镜，数字变焦，可实现精确的压痕定位● 符合ISO 14577等标准的测试方法● InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在线培训和InView移动应用程序主要应用● 硬度和模量测量（基于Oliver Pharr模型）● 快速材料力学性能成像● ISO 14577硬度测试● 聚合物损耗因子，储存模量和损耗模量● 定量划痕和磨损测试● 高温纳米压痕测试硬度和模量测量（基于 Oliver-Pharr 模型）力学性能表征在薄膜的制造和工艺控制中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量控制，以及半导体制造中前段和后段的工艺控制。iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬质涂层的各种材料的硬度和模量。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速材料力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iMicro的样品台在X轴和Y轴方向上能够分别移动100mm，且其在Z轴方向上能够移动25mm，因此可以测试尺寸大且高度不同的样品。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试iMicro 纳米压痕仪内置预先编写的 ISO 14577 测试方法，其依据 ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化压痕功。聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量iMicro 纳米压痕仪能够测量超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子、储存模量和损耗模量。储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。定量的划痕和磨损测试iMicro 可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光（CMP）和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。理想情况下，电介质材料应具有较高的硬度和弹性模量，这将有助于其在经历制造流程时有效抵抗外界影响。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。适用行业● 大学、实验室和研究所● 半导体与封装行业● PVD / CVD硬涂层（DLC，TiN）● MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试● 陶瓷与玻璃● 金属与合金● 制药● 涂层涂料● 复合材料● 电池与储能● 汽车与航空航天● 更多应用，请联系我们以满足您的求选配件连续刚度测量（CSM）连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测试选项，包括 ProbeDMA&trade 选项以测量存储模量和损耗模量，以及AccuFilm&trade 选项以获得不受衬底影响的薄膜性能。CSM 功能集成在 InQuest 控制器和 InView 软件中，使用极为简便，且确保数据质量。InForce 50作动器InForce 50作动器可以施加最高50mN的力以进行纳米力学测试。KLA专利的电磁力加载技术，确保测量的可靠性以及加载力与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计，确保作动器简谐运动仅有单一方向自由度，从而使加载力和位移仅发生在该方向。InForce 50作动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA、生物材料、样品加热、划痕、磨损和 ISO 14577等测试选项兼容。InForce和Gemini全系列作动器均使用统一规格的压头。Gemini双轴作动器Gemini双轴技术，保证增加的横向轴与常规压痕具有相同的性能，且CSM能够在两个方向同时工作。基于这项专利技术获得更多测试结果，有助于形成对材料特性和失效机制新的认知。横向力和摩擦学测量可以通过双轴作动器实现，其可以用于测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切特性和形貌特征。300°C 样品加热300°C 样品加热选项使用准密闭腔室装载样品，均匀加热的同时进行力学测试，InForce 1000或InForce 50作动器均可使用。该选项包括高精度温度控制系统、惰性气体保护系统以减少氧化、冷却系统以移除余热。ProbeDMA、AccuFilm、NanoBlitz和CSM功能均与样品加热选项兼容。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头，获得杨氏模量较高（3GPa）的材料的纳米力学特性3D图。NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）。大量的测试数据能够提高统计的准确性。统计直方图可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D方法包还包含可视化软件和数据处理功能。NanoBlitz 4D NanoBlitz 4D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头，获得较低杨氏模量/硬度以及较高杨氏模量 (3GPa)的材料的纳米力学特性4D图。NanoBlitz 4D每个压痕仅需5-10秒，单次测试可包含多达10,000个压痕点（100×100阵列），获得每个压痕点的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）等随深度的变化。NanoBlitz 4D 采用恒应变率方法。其软件包还包含可视化软件和数据处理功能。AccuFilm&trade 薄膜方法包AccuFilm&trade 薄膜方法包提供基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，其采用连续刚度测量（CSM）获得不受衬底影响的薄膜材料性能。AccuFilm&trade 能够修正薄膜力学性能测量中衬底的影响，其应用既包括“硬膜软基底”，也包括“软膜硬基底”的情况。ProbeDMA&trade 聚合物方法包聚合物方法包可以测量聚合物的复模量随频率的变化。该方法包中包括平压头、粘弹性标样和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征纳米尺度聚合物和聚合物薄膜，填补传统的动态力学分析(DMA)测试仪在此领域的空白。Biomaterials生物材料方法包生物材料方法包基于连续刚度测量（CSM）技术，可以测量剪切模量低至1kPa的生物材料的复模量。该方法包中包括一个平压头和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征小尺寸生物材料，填补传统的流变仪在此领域的空白。划痕和磨损测试方法包划痕测试中，在压头上施加恒定或线性变大的载荷，并使其以设定速度在样品表面划过。划痕测试可以表征多样的材料体系，例如薄膜、脆性陶瓷和聚合物等。DataBurst对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。配备了“用户方法开发”选项的iMicro系统，也可以修改方法以启用DataBurst。InView的“用户方法开发”选项InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。KLA独家提供该选项，使用配备该选项的iMicro，经验丰富的用户几乎可以设计和运行任何小尺度力学测试。主动减震系统以及一体式机柜可选高性能主动减震系统，凭借其内置防震装置，为 iMicro 纳米压痕仪提供额外减震。该系统易于安装，可在所有六个自由度上减少震动，且无需调试。一体式模组托架将所有模组集成在一处，方便使用。True Test I-V测试iMicro 纳米压痕仪的True Test I-V选项通过InView软件控制，包含精密的电流/电压源表、经过压头的导电通路以及导电压头。该设计确保用户能够对样品施加特定电压、测量通过压头的电流，并同时操作InForce 50/InForce 1000作动器进行力学测试。线性光学编码器（LOE）iMicro的线性光学编码器选项集成在X和Y移动台中，可以提高测试过程的定位精度和速度。压头和校准样品InForce 50、InForce 1000和Gemini作动器使用统一规格的压头。有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列均提供标准样品和校准标准。相关产品

Hysitron TI 980 TriboIndenter加速纳米力学研究进入更高阶段 布鲁克的海思创TI 980 TriboIndenter同时具有最 高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。基于海思创几十年的技术创新，它为纳米力学表征带来了高水平的性能、功能和易用性。TI 980达到了一台优 异纳米力学测试仪器所需的所有要求，实现了控制上突出的先进性和高效性，试验上的灵活度与可实现性，测量稳定性，以及系统设计的模块化。 先进的Performech II控制模块和电子设计。 最 高性能的高速闭环控制。 业界领 先的噪音控制。集成的带输入/输出信号的多参数控制。 五百倍于前代产品的力学测试速度 多维度测量耦合。充分优 化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合。 多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等 丰富的系统控制和数据分析软件。TriboScan(TM) 10提供了创新的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试程序。Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能。 极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质。多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口。万 能样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品 保持处于材料研究和开发的最 前沿海思创从1992年起就在全球范围内处于纳米力学和纳米摩擦学表征的领 先位置。通过与研究人员和工程师的持续合作，布鲁克理解您的独特需求，通过创新的技术帮助您解决当下和将来面临的材料挑战。海思创TI 980 TriboIndenter是这些努力的集大成者。它提供了卓越的性能，能满足您持续更新的材料表征需求。 简洁、高速的自动控制系统自动校正使得每次测试都无懈可击。 针尖面积函数自动校正。 传感器自动校正。压针和光学系统校正 自动测试程序。快速、多样品自动测试功能实现高通量表征。 智能化自动程序确保用户选择正确的针尖。 高分辨多尺度成像结合全尺寸样品的光学搜索， 极大简化测试流程最 低的噪音水平，实现真正纳米尺度表征。从微米到几个纳米的多尺度测量。 纳牛级别的力噪音水平和小于90%原子直径的位移测量能力，实现几乎任何材料的定量表征。系统可实现超过6个数量级的力测量和10个数量级的位移测量。力和位移噪音水平保证在客户现场安装时实现 最 快的反馈控制速率精确控制测试过程。实现最 大精度、可信度和重复性的真正定量纳米力学和纳米摩擦学表征。 特殊的力和位移反馈控制方法用于海思创的传感器-专门针对海思创传感器物理特性开发的力与位移反馈控制算法。每隔0.013毫秒实现一次完整反馈控制，使得系统能测量快速瞬态过程，并对其作出反馈，真正实现用户的测试意图-每隔0.013毫秒实现一次完整的感知-分析-控制的循环，使得系统能对瞬态过程进行测量与反馈，以此重现用户定义的测试方式 在纳米力学测试上领 先一步nanoDMA III：动态纳米压痕布鲁克的nanoDMA III是强大的动态纳米压痕技术。它提供了弹/塑性和粘弹性随着压入深度、频率和时间的变化关系。。 全面表征各种材料的普适性方法，从较软的聚合物到硬质镀层都能适用。 集成直流和交流调制使得从初始接触点开始就能实现纳米尺度动态性能的可靠、定量表征。 原位参考频率法校正温漂使得长时间测试的精度大大提高 XPM：快速力学性能成像不论是测量分辨率和精度，还是测量速度，XPM都是纳米力学测试的业界新标杆。有了XPM，原来可能需要一整年才能获得的数据，现在只需要一个下午就能获得。这些领 先的性能是通过以下三个业界领 先的技术实现的。1）高带宽静电激励传感器；2）快速控制和数据采集电子系统；3）自上而下的原位扫描探针显微镜成像。这些技术联用能实现每秒六次纳米压痕测试，从而获得全面的定量纳米力学性能图谱以及性能分布的统计数据。 更少时间测量更多参数。 超高速定量力学性能测量（每秒6次测量）。 快速、高分辨空间硬度和模量分布统计。 一分钟内可靠完成针尖函数自动校正。 比传统纳米压痕测试快500倍的数据采集速率。 xSol 环境控制腔及载台，可实现极端环境条件下高通量测量 SPM+实现纳米力学测试前后的准确原位成像布鲁克首创的扫描纳米压痕技术使用同一根探针实现样品表面形貌成像和纳米压痕测试。这种方法实现了最 高的定位精度，并且可以在纳米压痕测试后立即对样品塑性形变进行成像，加快测试速度。。 高定位精度（+/-10nm）。 可以从64x64到4096x4096范围内设定扫描分辨率。 可以对各种高长宽比的特征形貌进行不同X-Y分辨率成像。 业界领 先的纳米力学性能成像分辨率和调色板。 可以和摩擦力成像，nanoDMA III，nanoECR和xSol环境控制腔等联用 强大的系统控制和分析TriboScan 10：强大的测试灵活性提供了无限的测试可能性。 将布鲁克纳米压痕全套测试技术集成到一个直观的软件内。 基于标签页架构的软件设计使得用户可以方便的使用软件功能。灵活的测试过程分段定义方法提供了适用于所有测试模式的优 异控制 TriboIQ: 可编程数据分析程序。易用的操作界面，从简单到复杂的可定制数据分析包。 直观的数据组织和分析流程，简单点击即可生成数据报告。 直观可自定义的数据处理和分析模块。 开放式架构使得多用户合作更加容易

先进的设计 所有的纳米压痕试验都取决于精确的加载和位移数据，要求对加载到样品上的载荷有精确的控制。是德科技最新的第五代G200型纳米压痕仪采用电磁驱动的载荷装置，从而保证测量的精确度，独特的设计避免了横向位移的影响。 是德科技最新的第五代G200型纳米压痕仪的杰出设计带来很多的便利性，包括方便的测试到整个样品台，精确的样品定位，方便的确定样品位置和测试区域，简便的样品高度调整，以及快速的测试报告输出。模块化的控制器设计为今后的升级带来极大的方便。 此外，最新的第五代G200型纳米压痕仪完全符合各种国际标准，保证了数据的完整性。客户可以通过每个力学传感器自主设计试验，在任何时候对其进行切换，同时整个设备占地面积小，适合各种实验室环境。NanoSuite的特点和优势 经过近40年的发展，NanoSuite已经成为业内公认的界面友好、操作简便、功能齐全的数据采集和处理软件包，NanoSuite不仅可以自动测试，也可以使用户利用网络远程遥控进行实验控制，NanoSuite不仅能够做到压入过程中硬度和弹性模量等力学性能的实时计算和显示，同时允许用户根据自己的研究需求以及提出的新模型随时添加新的软件通道，此外，根据实验参量的变化快慢能够自动调整数据的采集速率，实现了智能化的数据采集功能，从而既获得您真正需要的数据，又可避免不必要的垃圾数据。– 极其灵活、精确的数据采集和控制– 不断更新的测试方法– 最新的批处理测试功能– 新型的2D 图形输出功能– 测试数据更有效的分析功能– PDF测试数据的直接输出– 优越的自我定制测试模型的建立– 非常方便的个性化测试方法的建立– 功能齐全完善的图像处理功能– 用户可轻松便捷的编辑自己的测试方法已满足特殊的应用与需求– 定制化的测试方法同样可满足ISO 14577国际标准– 可提供专业的建模和仿真软件，帮助用户实现特殊的离线研究需要– Windows 10操作系统增强的载荷加载系统新一代G200型纳米压痕仪是具有从纳牛到牛顿最为完整的加载力范围，并且不同的加载装置可自动软件切换，整个测试流程都是全自动的，极大的提高了测试数据的可靠性和可重复性，避免了可能的人为因素的影响，确保每个测试都是合理、一致、精确。标准的加载装置G200型纳米压痕仪标准配置是XP加载系统（最大为500mN）, 位移分辨率 0.01纳米，最大压入深度 500微米,该装置可应用到所有的测试功能。压头更换轻松完成，非常好的机架刚度极大的减少了系统对测试的影响。高精度加载装置DCM II 是高分辨的纳米纳牛力加载模块，它既可以单独工作，也可以作为一个附件与G200协同工作。由于其惯性质量很低，使得纳米压痕中的初始表面的选取更加灵敏、精确， DCM II 在超低载荷下的纳米压痕测试具有极高的精确度和可重复性，由于它自身的空载共振频率远高于一般建筑物的振动频率，这就使得一般的环境振动对它几乎没有影响，DCM II 具有很宽的动态频率范围(0.1 Hz 到 300 Hz)，所有这些特点使得 DCM II 可以提供同类设备不可比拟的高信噪比和高可靠性的试验数据，例如右图所示的蓝宝石上三个纳米深度的压痕测试，在几个纳米的压痕深度范围内获得了非常可靠的弹性模量。大载荷加载装置是德科技的大载荷加载选件，大大强化了G200型纳米压痕仪的应用范围。这个选件可以用于标准的XP加载模块，将G200型纳米压痕仪的加载能力扩展至10N，可对陶瓷、金属块材和复合材料进行力学表征。大载荷选件的巧妙设计，使得G200既避免了在低载荷的情况下牺牲仪器的载荷和位移精度，同时又保证了用户在需要大加载力的测试时，通过鼠标操作就可以在测试实验中进行无缝加载装置切换。

Hysitron TS 77 Select 纳米压痕仪可靠的定量表征 TS 77 Selec产自动台式纳米力学和纳米摩擦测试系统提供了同级别仪器中高的测试性能，功能性和易用性。基千布鲁克zhu 名的Triboscop铲电容式传感器技术，这套新的测试系统支持从纳米到微米尺度的可靠的力学和摩擦学表征。 TS Select具有极高的性价比，提供众多性能优异的测试模块，包括定量纳米压痕、 动态纳米压痕、 纳米划痕、 纳米磨损和高分辨力学性能成像功能。 • HysitronTS SelectTesting Modes 纳米压痕高精度力学表征 纳米压痕是表征局部微结构、界面＼表面微结构和薄 膜的弹性模噩、硬度 ＼ 蠕变、应力松弛和断裂韧性的常见技术 。采用布鲁克独创的 Hysit ron T「iboScope 电容式传感器技术，丁 S Select 支持纳米到微米尺度定星可靠的力学 性能测量。 力学性能成像快速数据采集和高速成像 TS Select 提供比传统纳米压痕测试快180倍的高速测试能力。在写秒两次的纳米压痕测试速度下， 可以在几分钟内得到非均相材料的高分辨率力学性能图像 。此外， 高 速测试可以快速采集和统计分析大量测试数据， 从而提高则罩结果的可信度。 原位SPM成像实现卓越的纳米力学 布鲁克原位扫描探针显微技术( SPM ) 利用纳米力学测试的压头扫描样品表面从而实现表面形貌成像。同—尺度下的力学测试和形貌扫描保证了纳米力学表征结果的卓越性 和可靠性。原位 SPM 成像可以实现纳米尺度的精确定位， 确保力学测试在材料上指定的位置进行。 磨损测试定量纳米尺度耐磨性能 利用TS Select 的SPM 原位扫描成像技术 ， 可以精确测噩磨损量和磨损率随接触力＼滑动速度和磨损次数的变化。得 益千宽泛的空间测噩范围， TS Select可以轻松实现局部微观结构、界面和薄膜的摩擦性能测试。 TS Select 控制软件简化的系统操作和数据分析 布鲁克 丁S Select 的 控制和分析软件包专门针对测试过程进行了精简优化。优化内容涵盖了样品加载、测试设置、测试执行和数据分析。TS Select 控制软件集成了自动化样品测试和仪器校准程序， 来实现简单、高效和无误的表征。 Hysitron TS Select Options 动态纳米压痕 纳米划痕 动态纳米压痕通过在准静态力上登加—个小的振荡力来实现材料表面硬度和模量随深度变化的连续测星。 基于—个针对动态测试优化的电容传感器和一个集成的锁相放大器， 动态纳米压痕非常适用千表征力学性能与测试深度、 频率和时间的关系。 纳米划痕利用— 个静电驱动的二维传感器来精确控制法向力， 同时测星探针移动所需的横向力。 由于其横向位移不依赖千电动样品台， 纳米划痕提供了市场上最灵敏和最可靠的纳米尺度摩擦和薄膜粘附力的测噩手段。 OnlyTS 77 Select• 提供核心测试技术的基本工具包：包括纳米压痕、 动态纳米压痕、 纳米划痕、 纳米磨损和原位SPM成像• 通过静电驱动的电容式位移传感器实现高灵敏度和低热漂移• 具有快速力学性能成像和大数据统计分析的快速压痕功能• 通过直观易用的软件设计，使入门级操作人员都能够进行可靠的测呈• 通过预先编入基于ISO 14577和ASTM E2546标准的测试函数，使测试设备简单易用• 自动化的系统校准和多样品程序化测试可以大大缩减测试周期

产品描述NanoFlip提供高精度XYZ位移，可定位样品进行测试，还提供翻转机制，可定位样品进行成像。InView软件附带一套测试方法，涵盖一系列测试协议，并允许用户创建自己的新颖测试方法。InForce50驱动器在真空和常压条件下表现同样出色。InView软件可以记录SEM或其他显微镜图像，并与机械测试数据进行同步。创新的FIB-to-Test技术允许样品倾斜90°，无需移除样品即可实现从FIB到压痕测试的无缝过渡。主要功能InForce 50驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数用于样本定位的XYZ移动系统SEM视频捕获，可以将SEM图像和测试数据进行同步独特的软件集成压头校准系统，可实现快速，准确的压头校准与Windows10兼容的InView控制和数据查看软件以及协助用户设计实验的方法开发功能主要应用硬度和模量测量（Oliver-Pharr）连续刚度测量高速材料性质分布图ISO 14577硬度测试聚合物的纳米动态力学分析（DMA）定量刮擦和磨损测试工业应用大学、研究实验室和研究所支柱和微球制造MEMS（微机电系统）材料制造（结构压缩/拉伸/断裂测试）电池和元件制造应用硬度和模量测量（Oliver-Pharr）NanoFlip纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。连续刚度测量 （CSM）连续刚度测量用于量化动态材料特性，例如应变率和频率引起的影响。 NanoFlip纳米压痕仪提供0.1Hz至1kHz的动态激发，采用随时间变化进行监测以准确确定初始表面接触，并根据深度或频率持续对接触刚度进行测量。材料特性分部对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。NanoFlip的样品平台可以在X轴和Y轴上移动21mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在样品区域上进行测量。可选的NanoBlitz形貌和断层成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。ISO 14577硬度测试NanoFlip纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可用于测量符合ISO 14577标准的材料硬度。该测试方法自动测量并报告杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕。纳米动态力学分析（DMA）聚合物是非常复杂的材料。为了获取决定聚合物设计的有用信息，需要对相关样品在相关的条件下进行机械性能测量。纳米压痕测试帮助这种特定相关的测量易于进行，因为只需要制备很小或很少量的样品。NanoFlip纳米压痕系统还可以通过在与材料接触时振荡压头来测量聚合物的复数模量和粘弹性。定量划痕和磨损测试NanoFlip可以对各种材料进行刮擦和磨损测试。涂层和薄膜会经过化学机械抛光（CMP）和引线键合等多道工艺，考验薄膜的强度及其与基板的粘合性。重要的是这些材料在这些工艺中抵制塑性变形，并且保持原样而不会基板起泡。产品优势NanoFlip纳米压痕仪可在真空和常压条件下对硬度、模量、屈服强度、刚度和其他纳米力学测试进行高精确度的测量。在扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip在测试（例如柱压缩）方面表现优异，可以将SEM图像与机械测试数据同步。NanoFlip测量迅速，这对于惰性环境（例如手套箱）中测试异质材料很关键。系统所配置的可选套件，例如InForce50电磁驱动器，可以提供定量结果，从而为材料研究提供有价值的解决方案。

1 产品概述: 超显微压痕硬度计，作为显微硬度计的一种高级形式，是专为微小、薄型和脆硬材料硬度测试设计的精密仪器。它结合了现代光学、电子技术和机械设计的最新成果，能够在极小的尺度下精确测量材料的硬度。该设备广泛应用于材料科学、机械工程、冶金、地质学、生物医学等领域，是实验室质检部门、计量院所及科研机构质量控制、材料研究的重要工具。2 设备用途： 微小试件测试：超显微压痕硬度计特别适用于测量微小、薄型试件的硬度，如金属箔、薄膜、微小零件等。 脆硬材料测试：能够测试玻璃、玛瑙、人造宝石、陶瓷等脆硬非金属材料的硬度，满足这些材料在特殊应用中的性能评估需求。 表面加工层测试：用于电镀层、硬化层（如氧化层、渗层、涂镀层）等表面加工层的硬度测试，评估表面处理质量。 多点测量与深层分析：在细微部分进行精密定位的多点测量，以及压痕的深层测试与分析，为材料的微观力学行为研究提供数据支持。3 设备特点 高精度测量：采用高倍率光学测量系统和先进的浮点计算方法，确保测试结果的准确性和可靠性。 无损检测：压痕小，对样品几乎无损伤，适合在狭小范围内进行多点测量。 操作便捷：配备超大屏幕和中文操作系统，操作界面友好，易于上手。 功能丰富：具备数据存储、输出功能，支持多种测试模式和数据分析方法，满足不同用户的测试需求。 稳定性强：机械结构稳定，采用高品质的光学材料和电子器件，确保设备长期稳定运行。 4 技术参数和特点： 高负载单元・ 可进行5μN～2N的试验。・ 适用于从金属材料到高分子材料的各种材料的硬度试验。低负载单元兼容 0.5 μN 至 10 mN。对于软质材料（弹性模量：几GPa以下）和10nm以下压痕深度的测量具有出色的再现性和稳定性，可以对100nm以下的超薄膜进行纳米压痕测试。・ 能够以0.1μm为单位进行定位・ 以 2,000 倍的观察倍率测量任何位置（使用 20 倍标准物镜和数码变焦时）・ 支持从 0.5 μN 到 2,000 mN 的广泛测试负载・ 挡风玻璃内的温度控制在±0.1℃・ 测量部件采用低热膨胀材料（nobinite）

此微纳米力学原位测试系统可以对各种微纳米薄膜、涂层材料或块体材料微纳米尺度上进行压痕、划痕、摩擦磨损和原位扫描探针成像测试功能，通过软件直接实现连续更换不同实验模式，具有高分辨率，高控制精度，高稳定性的特点。设备可直接测试出器件及各种微纳米薄膜、涂层材料或块体材料微纳米尺度上在不同温度下的硬度、表面粗糙度、薄膜厚度、杨氏模量、基底效应、断裂韧性、附着性能、抗磨损能力、储能模量、损耗模量及损耗因子等。设备可直接观测器件及各种纳米薄膜涂层材料在微/纳米尺度上的失效、断裂、蠕变、摩擦磨损等各种力学行为的发生，结合上述工作对材料的制备工艺和服役性能进行评价。应用领域涵盖了聚合物、复合材料、金属、陶瓷、MEMS、生物材料等几乎所有的材料领域。美国KLA-Tencor公司是全球微纳米力学(压痕)测试设备的开创者，全球第一台纳米力学测试系统于上世纪80年代初在此诞生，多种测量方法和物理模型都是来自该公司。经过近40年不断地努力和改进，目前该公司微纳米力学测试不仅实现了静态纳米压痕测试，同时实现了高水平的动态纳米压痕测试和原位纳米压痕测试，当前中华人民共和国纳米压痕测试标准GB/T 22458—2008和GB/T 25898-2010均包括了KLA-Tencor 的连续刚度测量专利技术，在该领域具有很高的权威性，KLA-Tencor在连续刚度测试（CSM）、高分辨率、扫描成像、快速测试方面拥有独有技术。KLA-Tencor是该领域知名的跨国公司，中国设立地区总部, 拥有高水平的专业技术支持和售后服务人员，国内用户得到很好的售后服务和技术支持，国内主要高校和中科院下属多个研究机构以及测试中心均采购该微纳米力学测试系统。更多应用，请联系我们探讨您的需求。

Hysitron TI 980 TriboIndenter加速纳米力学研究进入更高阶段 布鲁克的海思创TI 980 TriboIndenter同时具有最高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。基于海思创几十年的技术创新，它为纳米力学表征带来了高水平的性能、功能和易用性。TI 980达到了一台优异纳米力学测试仪器所需的所有要求，实现了控制上突出的先进性和高效性，试验上的灵活度与可实现性，测量稳定性，以及系统设计的模块化。 先进的Performech II控制模块和电子设计。 最高性能的高速闭环控制。 业界领先的噪音控制。集成的带输入/输出信号的多参数控制。 五百倍于前代产品的力学测试速度 多维度测量耦合。充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合。 多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等 丰富的系统控制和数据分析软件。TriboScan(TM) 10提供了重要的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试程序。Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能。 极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质。多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口。万能样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品 保持处于材料研究和开发的最前沿海思创从1992年起就在全球范围内处于纳米力学和纳米摩擦学表征的领先位置。通过与研究人员和工程师的持续合作，布鲁克理解您的独特需求，通过创新的技术帮助您解决当下和将来面临的材料挑战。海思创TI 980 TriboIndenter是这些努力的集大成者。它提供了卓越的性能，能满足您持续更新的材料表征需求。 简洁、高速的自动控制系统自动校正使得每次测试都无懈可击。 针尖面积函数自动校正。 传感器自动校正。压针和光学系统校正 自动测试程序。快速、多样品自动测试功能实现高通量表征。 智能化自动程序确保用户选择正确的针尖。 高分辨多尺度成像结合全尺寸样品的光学搜索， 极大简化测试流程最低的噪音水平，实现真正纳米尺度表征。从微米到几个纳米的多尺度测量。 纳牛级别的力噪音水平和小于90%原子直径的位移测量能力，实现几乎任何材料的定量表征。系统可实现超过6个数量级的力测量和10个数量级的位移测量。力和位移噪音水平保证在客户现场安装时实现 最快的反馈控制速率精确控制测试过程。实现最大精度、可信度和重复性的真正定量纳米力学和纳米摩擦学表征。 特殊的力和位移反馈控制方法用于海思创的传感器-专门针对海思创传感器物理特性开发的力与位移反馈控制算法。每隔0.013毫秒实现一次完整反馈控制，使得系统能测量快速瞬态过程，并对其作出反馈，真正实现用户的测试意图-每隔0.013毫秒实现一次完整的感知-分析-控制的循环，使得系统能对瞬态过程进行测量与反馈，以此重现用户定义的测试方式 在纳米力学测试上领先一步nanoDMA III：动态纳米压痕布鲁克的nanoDMA III是强大的动态纳米压痕技术。它提供了弹/塑性和粘弹性随着压入深度、频率和时间的变化关系。。 全面表征各种材料的普适性方法，从较软的聚合物到硬质镀层都能适用。 集成直流和交流调制使得从初始接触点开始就能实现纳米尺度动态性能的可靠、定量表征。 原位参考频率法校正温漂使得长时间测试的精度大大提高 XPM：快速力学性能成像不论是测量分辨率和精度，还是测量速度，XPM都是纳米力学测试的业界新标杆。有了XPM，原来可能需要一整年才能获得的数据，现在只需要一个下午就能获得。这些领先的性能是通过以下三个业界领先的技术实现的。1）高带宽静电激励传感器；2）快速控制和数据采集电子系统；3）自上而下的原位扫描探针显微镜成像。这些技术联用能实现每秒六次纳米压痕测试，从而获得全面的定量纳米力学性能图谱以及性能分布的统计数据。 更少时间测量更多参数。 超高速定量力学性能测量（每秒6次测量）。 快速、高分辨空间硬度和模量分布统计。 一分钟内可靠完成针尖函数自动校正。 比传统纳米压痕测试快500倍的数据采集速率。 xSol 环境控制腔及载台，可实现极端环境条件下高通量测量 SPM+实现纳米力学测试前后的准确原位成像布鲁克首创的扫描纳米压痕技术使用同一根探针实现样品表面形貌成像和纳米压痕测试。这种方法实现了最高的定位精度，并且可以在纳米压痕测试后立即对样品塑性形变进行成像，加快测试速度。。 高定位精度（+/-10nm）。 可以从64x64到4096x4096范围内设定扫描分辨率。 可以对各种高长宽比的特征形貌进行不同X-Y分辨率成像。 业界领先的纳米力学性能成像分辨率和调色板。 可以和摩擦力成像，nanoDMA III，nanoECR和xSol环境控制腔等联用 强大的系统控制和分析TriboScan 10：强大的测试灵活性提供了无限的测试可能性。 将布鲁克纳米压痕全套测试技术集成到一个直观的软件内。 基于标签页架构的软件设计使得用户可以方便的使用软件功能。灵活的测试过程分段定义方法提供了适用于所有测试模式的优异控制 TriboIQ: 可编程数据分析程序。易用的操作界面，从简单到复杂的可定制数据分析包。 直观的数据组织和分析流程，简单点击即可生成数据报告。 直观可自定义的数据处理和分析模块。 开放式架构使得多用户合作更加容易

纳米力学和纳米摩擦学测试的一大飞跃Bruker’s Hysitron TI 980 TriboIndenter海思创TI 980 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克最先进的纳米力学测试设备，同时具有最高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。TI 980纳米压痕仪是布鲁克著名的海思创纳米压痕设备的新一代产品。它建立在几十年的技术创新上，提供了纳米力学和纳米摩擦学表征领域全新水平的非凡性能、能力和功能。Contact Us Download Brochure 让您时刻保持在材料探索和发展前沿采用布鲁克的Performech II先进控制模块，TI 980纳米压痕仪在控制能力、测试通量、测试灵活性、适用性、灵敏度、可信度和系统模块化等方面有了显著的进步。TI 980包含以下多种强有力的功能：纳米压痕与微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速机械性能成像。这些测试功能有助于全面理解材料纳米尺度下的行为。 简易高速的自动化海思创TI 980提供了高通量表征所需的快速、多样品和多技术自动测试能力。它可以按照设定时间间隔自动验证针尖形状，还可以实现多尺度下的高分辨成像和全样品光学扫描。 不会过时的表征潜力鉴于将来会出现不同与今日的表征需求，TI 980纳米压痕仪被设计为具有最好的灵活性。TI 980支持大量集成和具有相关性的纳米力学表征技术，使您时刻保持在材料研发前沿。集成多种系统控制模块和数据分析软件、通用样品固定选项（机械、磁性和真空）和模块化环境腔，TI 980也适用于您将来的表征需求。

生物组织纳米压痕仪介绍Piuma纳米压痕仪的核心部件是其安装在压痕移动平台上极其敏锐的压痕探头1.压痕移动平台，具备粗进以及精进两级移动精度，使得探针可以自动寻找到表面并且提供高精度压痕。除了压痕移动平台，Piuma纳米压痕仪还有一个手动样品移动平台2.方便样品的安放。你的样品可以放在X-Y移动台上piuma生物软组织纳米压痕仪3.进行杨氏模量的测试或者进行多点阵测试。一个内置式的显微镜4.可以直接观察实验过程！piuma生物软组织纳米压痕仪 生物组织纳米压痕仪是一个简单易用的产品，为软物质以及生物材料组织的微观以及纳观研究带来希望。依靠自身*的新型光学技术以及杰出的微加工工艺，Piuma纳米压痕仪可以测量杨氏模量软的样品，范围甚至是从5Pa到5GPa!Piuma同样非常适合在液体中测试样品。其操作非常简单易学，只需将探头插入仪器中，简单定标后，即可马上开始压痕实验。产品构件详细介绍：1.PROBE探头纳米压痕仪核心:一个微加工工艺制作的光学压痕探头如果您感兴趣的话，我们可以为您提供试样服务请联系2.SAMPLE样品从水凝胶到骨组织等，在大气中或者浸没在液体中3.SAMPLEXYSTAGEXY样品台在X-Y（12x12mm）范围内测试样品4.INDENTATIONSTAGE压痕移动台粗进以及精进移动台实现精确压痕以及自动寻找样品表面5.MANUALSTAGE手动平台为任何样品以及容器创造空间 纳米以及微米级别的生物机械性能Piuma是一个创新的，具有成本效益的工具，用来表征生物材料、组织、细胞器、细胞层、软骨、静电支架、力学性能，3D打印材料，水凝胶等的微纳米机械性能。The Piuma 纳米压痕仪专为迎合生物材料以及组织研究人员和工程师的需求，提供易用性和便携性，同时提供高精度、高通量和多样化的数据。Optics11小型化的玻璃探针式压头，特别适合在液体中测量水合样品。组织工程和再生医学的研究者，Piuma纳米压痕仪是衡量他们感兴趣材料刚度的一个解决方案。 软物质材料表征在生物材料、组织工程、再生医学和医学研究领域，Piuma可以在溶液里进行非破坏性测量测量某点或者某个区域的杨氏模量、蠕变和松弛实验，点阵测量粘附力，描述应变硬化行为，样品的粘度等。测试生物材料和组织样本的软硬度可以很容易地在Piuma纳米压痕仪上用其optics11 PIUMA探头和专用的Piuma软件来实现。 Piuma Nanoindenter是荷兰Optics11公司出品的新型生物纳米压痕仪。主要应用范围为生物组织、生物支架、水凝胶、聚合物、细胞等软物质以及生物材料的机械性能研究。采用了新型探头设计，弥补了传统其他纳米压痕仪无法测试软物质的问题也解决了原子力显微镜在软物质测试中的数据波动大，操作困难、制样严苛等常见问题。更开创性的在压痕仪中加入了动态力学测试模式DMA，可以获得材料与振动频率相关的储存模量、损失模量和损失因子，用于研究材料在交变力作用下的滞后现象和力学损耗。

生物组织纳米压痕仪介绍Piuma纳米压痕仪的核心部件是其安装在压痕移动平台上极其敏锐的压痕探头1.压痕移动平台，具备粗进以及精进两级移动精度，使得探针可以自动寻找到表面并且提供高精度压痕。除了压痕移动平台，Piuma纳米压痕仪还有一个手动样品移动平台2.方便样品的安放。你的样品可以放在X-Y移动台上piuma生物软组织纳米压痕仪3.进行杨氏模量的测试或者进行多点阵测试。一个内置式的显微镜4.可以直接观察实验过程！piuma生物软组织纳米压痕仪 生物组织纳米压痕仪是一个简单易用的产品，为软物质以及生物材料组织的微观以及纳观研究带来希望。依靠自身*的新型光学技术以及杰出的微加工工艺，Piuma纳米压痕仪可以测量杨氏模量软的样品，范围甚至是从5Pa到5GPa!Piuma同样非常适合在液体中测试样品。其操作非常简单易学，只需将探头插入仪器中，简单定标后，即可马上开始压痕实验。产品构件详细介绍：1.PROBE探头纳米压痕仪核心:一个微加工工艺制作的光学压痕探头2.SAMPLE样品从水凝胶到骨组织等，在大气中或者浸没在液体中3.SAMPLEXYSTAGEXY样品台在X-Y（12x12mm）范围内测试样品4.INDENTATIONSTAGE压痕移动台粗进以及精进移动台实现精确压痕以及自动寻找样品表面5.MANUALSTAGE手动平台为任何样品以及容器创造空间 纳米以及微米级别的生物机械性能Piuma是一个创新的，具有成本效益的工具，用来表征生物材料、组织、细胞器、细胞层、软骨、静电支架、力学性能，3D打印材料，水凝胶等的微纳米机械性能。The Piuma 纳米压痕仪专为迎合生物材料以及组织研究人员和工程师的需求，提供易用性和便携性，同时提供高精度、高通量和多样化的数据。Optics11小型化的玻璃探针式压头，特别适合在液体中测量水合样品。组织工程和再生医学的研究者，Piuma纳米压痕仪是衡量他们感兴趣材料刚度的一个解决方案。 软物质材料表征在生物材料、组织工程、再生医学和医学研究领域，Piuma可以在溶液里进行非破坏性测量测量某点或者某个区域的杨氏模量、蠕变和松弛实验，点阵测量粘附力，描述应变硬化行为，样品的粘度等。测试生物材料和组织样本的软硬度可以很容易地在Piuma纳米压痕仪上用其optics11 PIUMA探头和专用的Piuma软件来实现。 Piuma Nanoindenter是荷兰Optics11公司出品的新型生物纳米压痕仪。主要应用范围为生物组织、生物支架、水凝胶、聚合物、细胞等软物质以及生物材料的机械性能研究。采用了新型探头设计，弥补了传统其他纳米压痕仪无法测试软物质的问题也解决了原子力显微镜在软物质测试中的数据波动大，操作困难、制样严苛等常见问题。更开创性的在压痕仪中加入了动态力学测试模式DMA，可以获得材料与振动频率相关的储存模量、损失模量和损失因子，用于研究材料在交变力作用下的滞后现象和力学损耗。如果您感兴趣的话，我们可以为您提供试样服务请联系：