新时代手动探针台

MPI TS200- 半自动探针台产品描述：1. 单机多应用设计适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP) 2. 工效学设计 方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计坚固可承载多达10根DC 或4根RF微定们器在工作台三段式工作台快升把手设计 (contact - separation- loading)，实现高重现性3. 弹性选配与升级性 另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、影像镜头、电磁屏蔽箱等可搭载，以完全支援您的应用需求MPI探针台系统是由来自于Cascade和安捷伦等公司的专家们研发和设计，专业提供探针台及所有相关直流/射频附件以及相关半导体测试整体解决方案。得益于其极高的性价比，广受国内外用户的好评。TS150,TS200,TS300是常用的手动式探针台，简单，直观，方便， 并确保 高度准确的测量。以下是MPI探针台的特点： Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。b. Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。c.温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。d. Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 e. 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

可升级手动150mm-200mm晶圆探针台可针对直流、射频、微波和高功率应用进行配置环境温度至 400C 可配置高效手动150mm-200mm晶圆探针台单手压板升降，实现高效样品更换显微镜升降和锁定可针对直流、射频、微波和高功率应用进行配置-65C 至 400C 可配置最高性能手册150mm-200mm晶圆探针台亚微米定位和真正的单点接地单手平板和显微镜快速升降机可针对直流、射频、微波和高功率应用进行配置-65C 至 400C 可配置

MPI High power manual probe systems MPI高功率手动探测系统。 MPI 大功率器件表征系统是专为晶片高功率器件测试而设计的。MPI TS150-HP 和 TS200-HP 探头系统提供了一个完整的150毫米和200毫米的晶片解决方案。它们被设计成在广泛的温度范围内实现对功率半导体的低接触电阻测量。 AIR bearing stage 空气轴承阶段 MPI空气轴承平台设计采用简单的单手圆盘控制，提供无与伦比的操作便利性，可实现快速XY导航和快速晶圆装载，同时不会影响精确的定位能力，并具有额外精细的25x25mm XY-Theta千分尺机芯。 10 KV coaxial or 3KV triaxial ambient chucks 10kv同轴或3KV三轴环卡盘 卡盘选项包括 MPI 的10kV 同轴或3kV 三轴环境吸盘或各种热卡盘, 以支持温度测量高达300摄氏度。 该热触控控制器的设计是安装在探针本身, 以方便快捷的操作。 HV/HC PROES 高压/ HC探针 MPI高功率探测解决方案包括专用的高电压和高电流探头, 使用 MPI 适当的多接触小贴士, 以减少接触电阻。MPI 的高压探头能够在同轴安装的3kv 三轴或5kv和10 kv的高压试验中进行低泄漏电流测量。 Safe AND Accurate 安全、准确 标准手动高功率探头系统配置与 屏蔽箱 提供安全和 EMI 屏蔽能力的联锁, 以确保低噪音, 准确和安全的测量。周边附件：CCD、防震平台、屏蔽罩、Laser mark、探针卡、BNC转接头、RF探针、有源探针、高压探针、真空泵。

Avantgarde 室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下的芯片、晶圆和器件的非破坏性测试。PSM系列室温手动探针台是一款高品质的探针台能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。科学的桌面设计是学术和实验研究的最佳选择。特点:1.稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。2.样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，采用多孔分区控制气体吸附固定。3.移动样品座下面的滑台，可以实现最大X-Y轴±100mm的移动行程，使得样品测试和换样更加便捷。 滑台采用磁力吸附固定。4.最多可安装6个探针臂。5. 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针 可以扎到样品的任意位置。6.探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内。7. CCD最大放大倍数为180倍，最大工作距离为100mm。

室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下的芯片、晶圆和器件的非破坏性测试。 PSM系列室温手动探针台是一款高品质的探针台能够对2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。科学的桌面设计是学术和实验研究的选择。特点&bull 稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。&bull 样品座可以放置8英寸的晶圆样品，采用多孔分区控制气体吸附固定。&bull 移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±100mm的移动行程，使得样品测试和换样更加便捷。滑台采用磁力吸附固定。&bull 可安装6个探针臂。&bull 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内。&bull CCD放大倍数为180倍，工作距离为100mm。型号分类：型号PSM-2PSM-4PSM-6PSM-8样品座尺寸2英寸4英寸6英寸8英寸参数和指标： 样品座卡盘尺寸：2/4/6/8英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道滑台X-Y移动行程：2/4寸: X-Y轴±50mm；6/8寸: X-Y轴 ±100mm读数精度：10μm探针臂固定方式：磁铁吸附XYZ微调移动行程：XYZ-13mm微调可分辨精度：10μm探针臂数量：可安装6个探针臂（左右各3个）电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：10-180倍显微镜工作距离：90-100mm显微镜分辨率：3μm（可选1μm）光源类型：兼配同轴和环形光源可加选件光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

随着新兴太赫兹应用的大量扩展，如高速5G通信，卫星，非侵入性光谱，安全和监视，医疗和保健设备以及短程汽车雷达，对精确，可靠和可重复测量数据的需求比以往变得更加重这些THzMPI TS150-THZ 工程探针台系统是一种专用的，经济高效的手动探头系统，专为基板和亚太赫兹150 mm晶圆的精密分析而设计。该系统非常稳定，具有大型探头压板和低调设计。这些基本元件中的每一个都需要支持各种RF和mmW应用，例如高达110 GHz的宽带，高达1.1THz的带状解决方案，负载牵引和RF噪声。单机多应用设计无缝集成各种宽带、差分、毫米波或宽带频率扩展器和自动阻抗调谐器全新设计的扩展器、调谐器集成，可实现非常大的动态测量极大的机械稳定性和重复性，实现方便和安全的操作人体工程学设计方便单手操作的，快速移动气浮式样品台设计坚固且空间充足的工作台，可乘载大型微定位器和毫米波模块扩展器三段式工作台快升把手设计 (contact - separation - loading)，实现接触、分离和加载的高性能弹性选配与升级可选振动隔离支持大型自动阻抗调谐器专用光学元件，用于缩短电缆和波导的长度，实现非常大的测量方向性各种夹头选件，印刷电路板和各种附件，如DC / RF /毫米波定位器 直流、射频和THZ微定位器的探针板设计 MPI探针悬停控制TM配有悬停高度（50、100或150μm）， 便于探针与Pad的对准。 世界上数一数二极精确的接触/超大行程控制， 精度为1um,便于测量的重复性和精确性无缝集成任何扩频器，以在200毫米晶片上获得 非常佳测量方向性陶瓷辅助夹头 用于测试单个集成电路的专用ERS热夹头

Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用非常新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

艾博纳手动探针台是一种精密的电子测量设备， 专为高精度测试需求而设计。包括一个6英寸或8英寸的台体，配备了真空吸附功能，可以360°旋转。显微镜部分包括体式和金相显微镜，支持高稳定的 显微观察，配备了1270万像素的高品质艾博纳手动探针台是一种精密的电子测量设备，专为高精度测试需求而设计。包括一个6英寸或8英寸的台体，配备了真空吸附功能，可以360°旋转。 显微镜部分包括体式和金相显微镜,支持高稳定的 显微观察，配备了1270万像素的高品质尼康CCD。艾博纳手动探针台的构造精巧，具有1微米的探 针座调节精度，配备射频线和多种接头类型，满足不同测试需求。适配多种类型的探针，如美国GGB 探针、韩国进口探针及国产探针，确保广泛的应用范围。探针台还配备了高性能的真空泵和27英寸的2K全高清专业显示器，为用户提供了便捷的操作体 验和高质量的显示效果。

Avantgarde紧凑型室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下超小芯片晶圆和器件的非破坏性测试。SPSM系列紧凑型室温手动探针台是一款经济实惠、入门级的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。紧凑的桌面设计是学术和实验研究的最佳选择。特点&bull 样品座可以放置最大4英寸的晶圆样品&bull 样品座下方位移座可实现样品座三维精细位移调节使得样品测试和换样更加便捷。&bull 最多可安装6个探针臂&bull 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。&bull 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内&bull CCD最大放大倍数为180倍，最大工作距离为100mm型号分类：型号样品座尺寸SPSM-22英寸SPSM-44英寸参数和指标：样品座卡盘尺寸：2/4英寸，可定制材质：无氧铜镀金样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道位移行程：X-±6.5mm，Y-±6.5mm，Z-±5mm读数精度：10μm探针臂固定方式：磁铁吸附XYZ微调移动行程：XYZ-13mm读数精度：10μm探针臂数量：可安装6个探针臂（左右各3个）电学线缆：三同轴线缆漏电流：100fA探针类型：直流探针光学系统显微镜放大倍数：50-1000倍显微镜工作距离：90-100mm显微镜分辨率：最小可识别3μm可加选件光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤

适用于最大 150 毫米晶圆测试的 SPS-1000 系列是 MicroXact 手动探针台的缩小版，仍然保留了更高价格系统的所有相关规格。该系统小巧、符合人体工程学且使用方便，是半导体器件和电路的实验室测试和表征的理想选择。全手动载物台组件包含精密交叉滚子轴承，运动范围为 100mm x 100mm 或 150mm x 150mm（或更大）。额外的预载滑轨可轻松装卸晶圆或内含样品,通过粗调和微调以及 12.7 毫米、25 毫米或 40 毫米的范围方便地手动控制压板 光滑的磁性钢压板最多可容纳10 个磁性或真空定位器。具有高达 200 毫米工作距离和高强度 LED 照明的高质量立体变焦显微镜在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范围内提供出色的视觉效果。适用于最大 200 毫米晶圆测试的 SPS-1200 系列是 MicroXact 的 SPS-2200 手动探针台的缩小版，它仍然保留了更高价格系统的所有相关规格。小巧、符合人体工程学且使用方便的系统是半导体器件和电路的实验室测试和表征的理想选择。全手动载物台装配，带精密交叉滚子轴承，运动范围为 200mmx200mm。包含一个预载滑轨，可轻松装载和卸载晶圆或样品。方便的手动控制压板，粗调和精调范围为 12 毫米或 25 毫米。光滑的磁性钢压板最多可容纳 10 个磁性或真空定位器。具有高达 200 毫米工作距离和高强度 LED 照明的高质量立体变焦显微镜在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范围内提供出色的视觉效果。SPS-2000 系列是 MicroXact 首屈一指的手动探针台，设计灵活且易于使用。我们的系统提供了一定水平的高性能，使这些站点独树一帜。凭借多种可用选项，包括热晶圆卡盘、立体变焦、复合或数字显微镜以及全射频外壳，该系统的灵活性几乎是无限的。全手动载物台装配，带精密交叉滚子轴承，运动范围为 100mm x 100mm（或更大）。还提供额外的预加载滑块，以便轻松加载和卸载晶圆或样品。完全手动控制压板，粗调和精调范围为 12.7 毫米（可根据要求提供更大范围）。光滑的粉末涂层钢板可容纳多达 10 个磁性或真空定位器。具有高达 200 毫米工作距离和高强度 LED 照明的高质量立体变焦显微镜在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范围内提供出色的视觉效果。SPS-2200 系列是 MicroXact 首屈一指的手动探针台，用于测试最大 200 毫米的晶圆，设计灵活且易于使用。我们的系统提供了一定水平的高性能，使这些站点独树一帜。由于提供了多种选择，该系统的灵活性几乎是无限的。全手动载物台装配，带精密交叉滚子轴承，运动范围为 225mm x 225mm。用于轻松装载和卸载晶圆或样品的预载滑块包含在基本模型中。完全手动控制压板，粗调和精调范围为 12.5 毫米（可根据要求提供更多范围）。光滑的粉末涂层钢板可容纳多达 10 个磁性或真空定位器。具有高达 200 毫米工作距离和高强度 LED 照明的高质量立体变焦显微镜在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范围内提供出色的视觉效果。

一、多功能手动探针台应用原理： （1）KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节。 （2）其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。 二、技术组织规格： 1．腔体材质：304不锈钢 2．上盖开启：铰链侧开 3．加热台材质：304不锈钢 4．内腔体尺寸：φ160x90mm 5．观察窗尺寸：Φ70mm 6．加热台尺寸：φ60mm 7．观察窗热台间距：75mm 8．加热台温度：-196-350℃ 9．加热台温控误差：±1℃ 10．真空度：机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa 11．允许正压：≤0.1MPa 12．真空抽气口：KF25真空法兰 13．气体进气口：3mm-6mm卡套接头 14．电信号接头：SMA转BNCX4 15．电学性能：绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤500V漏电流≤-10次方安培 16．探针数量：4探针 17．探针材质：镀金钨针 18．探针尖：10μm 19．X轴移动行程：30mm±15mm 20．X轴控制精度：≤0.01mm 21．Y轴移动行程：13mm±12.5mm 22．Y轴控制精度：≤0.01mm 23．Z轴移动行程：13mm±12.5mm 24．Z轴控制精度：≤0.01mm 25．显微镜类别：物镜 26．物镜倍数：0.7-4.5倍 27．工作间距：90mm 28．相机：sony高清 29．像素：1920※1080像素 三、企业概括： （1）郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室及科学院校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一。 （2）公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！ （3）目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉CVD供气系统等离子清洗机小型离子溅射仪小型蒸镀仪石英管真空封口多功能手动探针台半导体检测等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 （4）公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

产品概要：MPI TS50 手动探头系统专为 IC 工程、单芯片探测和 DC/CV 和 RF 测量应用中的学术用途而设计。基本信息：TS50 的占地面积 (300 x 300 mm)较小，设计形式也较为简单，方便操作并可以提供快速设置，而且不会影响功能和测量能力。技术优势：简易载物台TS50 可以配置两种不同版本的卡盘平台控制。Easy Stage 是非常简单的真空控制、单手操作单元，可实现非常快速和直观的 XY-Theta 运动。这是简单 DC/CV 应用的典型配置。线性50×50mmXY载物台线性 50×50 mm XY 载物台可实现快速且独立的轴移动，并具有额外的精细和准确的 25×25 mm XY-Theta 千分尺定位。RF 或与热卡盘结合使用的必备选项。20毫米高度调整探针台具有支持各种应用所需的 20 mm 微调高度，可用于所有 MicroPositioner 的接触/分离控制。三轴卡盘对于射频应用，TS50 的 50 毫米三轴卡盘安装有一个内置陶瓷材料的辅助卡盘，用于精确的射频校准。MicroPositioners的矩形调整此外，两个端口 RF MicroPositioner 的矩形调整是保证 RF 探头之间对齐的标准功能。微定位器的多种配置它可以配置多达 8 个 MPI MP25 或 6 个 MPI MP40 MicroPositioner，以满足多个焊盘和设备布局要求。各种光学选项提供多种光学器件，可选择适用于所有常见 DC/CV 应用的立体显微镜或适用于射频或负载牵引配置的单管高放大倍率显微镜。集成电路座可选的单个 IC 支架将 TS50 转变为理想的平台，用于测试小至 1×1 mm 的单个 DUT。它包括一个稳定且方便的真空开关，可正确固定大至 10×10 mm 的芯片尺寸。在平行高度上集成了一个集成校准基板支架，可以进行射频测量，并且可以安装在任何卡盘上，包括各种热卡盘。 应用方向：专为 IC 工程、单芯片探测和 DC/CV 和 RF 测量应用中的学术用途而设计。

PicoFemto国产探针台,物理实验室专用探针台,可定制探针台系统，整套系统包配置如下：探针台主体- 可测试晶圆尺寸：4英寸- 样品台行程：100mm*100mm- 移动分辨率：~0.1mm- 样品台旋转范围：360度- 超低漏电底栅接口，标准Triax输出- 可选400度高温样品台显微镜- 舜宇三目连续变倍体视镜，LED环形照明- 光学变倍总倍率45倍，物镜0.7~4.5倍连续变倍- 可选配高清摄像头，总放大倍率约700倍针座- 磁性吸附底座，XYZ移动范围：12mm- 移动分辨率2um- 标配4个，最多可装6个探针线缆- 超低漏电探针设计，漏电流低于100fA- Triax标准接口输出，Keithley原装低噪声Triax线缆探针- 超低漏电探针设计，针尖直径标配10um，最小1um尺寸和自重- 尺寸：450mmW*450mmD*500mmH- 自重：约30Kg以上就是关于手动探针台配置介绍，如果需要详细了解请致电：

SPS-1000，SPS-2000和SPS-2200系统是MicroXact首要的手动探针台，设计灵活且易于使用。这些手动探针系统的高性能和经济性使它们属于自己的一类。凭借高达200mm的晶圆功能，DC或RF探头和可选的热卡盘以及各种屏蔽选项，我们的探针台可用于广泛的应用，例如故障分析，可靠性测试，IV / CV测试，低目前的测试，微波和射频表征等等。使用MicroXact手动探针台进行IV，CV和低电流测试，可提供半导体器件表征所需的精确和精确测量。由于提供多种选项和MicroXact手动探针台的灵活性，晶圆上的晶圆级电容和低电流测试从未如此简单。特征手动平台组装可提供额外的预载滑块，便于装载和卸载晶圆或样品。手动控制压板和卡盘Z位置，进行粗调和微调。光滑的铸钢压板可容纳多达10个磁性或真空定位器。同轴和三轴卡盘以及外壳可用于低泄漏电流测试。标准吊杆安装组件，用于显微镜的全范围XYZ定位。可用的高分辨率微定位器，带80TPI螺钉，用于探针的μm级定位可用的高分辨率微定位器，带80TPI螺钉，用于探针的μm级定位。可用的RF选项包括可定制的RF探头，RF卡盘和屏蔽罩。型号SPS-1000SPS-2000SPS-2200晶圆尺寸高达150mm高达100mm高达200mmXY舞台行程100mmx100mm或150mmx150mm标准高达125mmx125mm高达200mmx200mm系统尺寸56厘米宽x 51厘米深x 61厘米高92米宽x 122厘米深x 92厘米高系统重量35kg至45kg，具体取决于所选的选项~70公斤

PS4L 手动探针台 SemiProbe的手动探针台是模块化结构设计最明显和最灵活的300mm手动探针台。它采用了SemiProbe独家专利技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供了无与伦比的灵活性和大大地节省了设备资金费用。PS4L系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求。. 晶圆探针系统的PS4L系列探针台是基于SemiProbe独家专利技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构而设计的。与传统的探针台相比，SemiProbe的PS4L系列探针台中所有的基础模块-基座，平台，卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等等都是可以更换的。这样的特点使得PS4L系列探针台以非常有竞争力的价格满足了多种应用需求和预算要求，为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。独特的模块化设计使得客户可获得测试性能精准地满足了他们的要求。更重要的是，PS4L可随着测试环境和测试条件的改变从而轻易地进行现场升级以满足新的要求。比起传统的探针台，这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最经济的费用完成最有效的测试。 SemiProbe M12探针台可有完整的整套附件可选，包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座，探针，激光，光学部件，CCTV系统，隔振台，暗箱等等。 产品特征和优势： 1.可现场升级，300mm手动探针台可升级为450mm手动探针台 2.可现场升级，300mm手动探针台可升级为450mm半自动探针台3.所有关键部件都是可以更换的，这样使得系统更便于配置满足各种应用需求和预算要求-无论是现在还是未来 4.软件和硬件模块提供了永久性的现场升级功能主要应用/服务市场： 设备特性，MEMS，光电，高频/微波，光伏，失效分析，光伏，材料科学等等 规格参数 尺寸1200mm X 550 mm X 900 mm (47.3” X 21.6” X 35.4”) (W,H, L) – with optics重量250Kg (550 lbs.) - Vibration Isolation (table and frame)卡盘平台 X-Y 移动Severalstages to select from to meet performance and budget requirements Travel:305 mm x 305 mm Planarity:+/- 10 μm over travel range Resolution:5 μm IndependentX and Y linear movement卡盘平台Z 移动ZTravel: 10 mm ZContact/Separation Stroke: 4 mm adjustableTheta移动Travel:360 degrees卡盘Vacuumor mechanical clamping, round orsquare, ambient, thermal and custom Handledie, waffle packs, sawn wafers on frame, broken wafers and full wafers up to300 mm Nickelplated steel with concentric vacuum rings (standard), other plating materialsavailable Planarity:15 μm压盘Aluminumwith stainless steel top 360degree manipulator placement Manipulatorfixation – magnetic, vacuum压盘移动PlatenLift: Choice of fixed or adjustable Adjustable:Coarse - 25 mm, Fine – 6 mm显微镜装置/移动Mounting – Boom, Post or Bridge Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm, 50 x 75 mm, 100 x 100 mm 光学组件StereoZoom, Zoom Tube, A-Zoom or Compound Microscope其它工具Power:AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A Vacuum:23 Hg or -0.8 bar

EPS-300是韩国Ecopia公司最畅销的一款手动探针台。尺寸紧凑，适合放置在手套箱、屏蔽箱内使用。高性价比。 产品规格：- 镀金真空样品吸盘：4英寸；- 样品尺寸：5x5mm ~ 4英寸；- 显微镜：立体显微镜；- 最大放大倍数：90X, 135X, 200X；- 样品卡盘平整度：10um；- 探针座精度：5um, 选配0.7um；- 样品卡盘移动X-Y-Z：50mm-50mm-12mm；- 探针锁位设计，防止回针(选配)； 可选附件：- CCD视频镜头；- 加热台；- 黑箱、屏蔽箱；- 防振台； ... 参考用户：上海交大、浙江大学、西南交大、贵州大学、长春理工大学、福州大学、天津理工大学、中科院上海有机所、新疆理化所、苏州纳米所、苏州AMD等...

产品概要：MPI TS300-SE手动探针台系统具有很强的功能，具有高度可重复性(1µ m)的压板提升设计，具有用于安全，接触(0µ m)，分离(300µ m)和加载(3mm)的三个抬升位置，这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的触点定位和安全设置； 附加的Probe Hover Control&trade 具有悬停高度(50、100或150 µ m)，可轻松方便地将探针与卡盘对齐。基本信息：MPI TS300-ShielDEnvironment&trade (TS300-SE)12英寸探针台旨在对300mm晶圆及以下微小器件提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪声，低泄漏测量功能环境。它将适宜的高度与防震台结合在一起，使日常操作非常方便。1、适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)2、MPI ShielDEnvironment&trade 屏蔽环境，专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境3、支援飞安级低漏电量量测4、内置防震系统5、温度量测范围 -60 °C 至 300 °C技术优势：ShielDEnvironment&trade MPI ShielDEnvironment&trade 是一个高性能的微暗室屏蔽系统，可提供超低噪声、低电容测量提供出色的EMI和不透光的测试环境ShielDCap&trade MPI ShielDEnvironment&trade 微暗室屏蔽系统提供多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin等多种搭配测试组合。MPI ShielDCap&trade 便于屏蔽，易于重新配置,在简化日常操作方面发挥了重要作用。空气轴承MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手定标器控制，为快速的XY导航和晶圆装载提供了很好的操作便利性，同时又具有精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯，不影响精确定位能力。独特的卡盘Z调整TS300-SE除空气轴承XY工作台外还包括5mm的Z吸盘调整(μm分辨率)，可实现精确的接触/超程控制或探针卡跌落尖端校正，1毫米刻度指示器为操作员提供了简便的反馈，另外20毫米气动举升机提供了便携式的一键升降程序。多种卡盘选项TS300-SE可提供多种卡盘选件，以满足不同的预算和应用要求；MPI和ERS共同设计了新型300mm热卡盘AirCoolPRIME技术系列，提供很好的热弹性，温控时间可减少60%，同时还可提供较大的热范围，减少转换时间，改善电气性能，使在惰性气体环境下的测试更容易，另外的现场可升级性是AirCoolPRIME热卡盘系统的附加价值；卡盘有以下几种型号：同轴、三轴或RF、高压等多种型号，带有两个辅助陶瓷卡盘，可用于精确稳定的校准。温度控制集成晶圆装载门可在低于15°C的温度下锁定，此独特功能使TS300-SE成为市场上较安全的手动探针台，此外，温控系统可以通过集成式的触摸屏进行操作，该触摸屏按人体工程学原理安装在探测器上的方便位置，以实现快速调整和即时反馈。 ERS独特的AC3冷却技术MPI旗下探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术及其空气管理系统，可直接从“已用”空气中清除MPI ShielDEnvironment&trade ，可减少多达30％至50％的干燥空气消耗。多种光学选项MPI光学器件可以选择单筒显微镜MPI SuperZoom&trade SZ10，高达12倍光学变焦的MegaZoom&trade MZ12或超过42毫米工作距离的EeyZoom&trade EZ10 ——其具有人体工程学20倍目镜的10倍光学变焦系统，90mm工作距离和低至2um以下的光学分辨率。应用方向：应用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)。

产品概要：MPI TS200-SE手动探针测试系统具有很强的功能。具有高度可重复性（1µ m）的压板提升设计，具有用于安全，接触，分离（300µ m）和加载（3mm）的三个离散位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的触点定位和安全设置，附加的Probe Hover Control&trade 具有悬停高度（50、100或150 µ m），可轻松方便地将探头与Chuck对齐。基本信息：MPI TS200-ShielDEnvironment&trade (TS200-SE)8英寸探针台可提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪声，低泄漏测量功能。1、适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)2、MPI ShielDEnvironment&trade 屏蔽环境，专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境3、支援飞安级低漏电量量测4、温度量测范围 -60 °C 至 300 °C技术优势：ShielDEnvironment&trade MPI ShielDEnvironment&trade 是一个高性能的屏蔽系统，可为超低噪声，低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。ShielDCap&trade MPI ShielDEnvironment&trade 的一个完全可配置的部分，它允许多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin等多种组合测试；MPI ShielDCap&trade 便于屏蔽，易于多种搭配，在简化日常操作方面发挥了重要作用；完整的ShielDCap&trade 可以很容易地用EMI屏蔽版本的探针卡支架替换。空气轴承MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手冰球控制，为快速的XY导航和晶圆装载提供了操作的便利性，同时又具有额外精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯，不影响精确定位能力。独特的卡盘Z调整TS200-SE除空气轴承XY工作台外还包括5mm的Z吸盘调整(μm分辨率)，可实现精确的接触/超程控制或探针卡跌落尖端校正，1毫米刻度指示器为操作员提供了简便的反馈。另外20毫米气动抬升搭配提供了简便的快速升降功能。多种卡盘选项TS200-SE可提供多种卡盘选件， 以满足不同的预算和应用要求：同轴，三轴或射频、高功率等，RF卡盘独特带有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘，用于精确的射频校准 -60°C至300°C的多种ERS AirCool卡盘。温度控制集成晶圆装载门可以在15°C以下的任何温度下锁定，此独特功能使TS200-SE成为市场上安全的手动探针台，此外，温控系统可以通过集成式的触摸屏来操作，该触摸屏放置在操作员面前的便利位置，以实现快速，操作和即时的反馈。ERS独特的AC3冷却技术MPI旗下探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术及其空气管理系统，可直接从“已用”空气中清除MPI ShielDEnvironment&trade ，可减少多达30%至50%的干燥空气消耗。多种光学选项MPI光学器件可以选择单筒显微镜MPI SuperZoom&trade SZ10，高达12倍光学变焦的MegaZoom&trade MZ12或超过42毫米工作距离的EeyZoom&trade EZ10 ——其具有人体工程学20倍目镜的10倍光学变焦系统，90mm工作距离和低至2um以下的光学分辨率。应用方向：应用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)。

SPS-1000，SPS-2000和SPS-2200系统是MicroXact首要的手动探针台，设计灵活且易于使用。这些手动探针系统的高性能和经济性使它们属于自己的一类。凭借高达200mm的晶圆功能，DC或RF探头和可选的热卡盘以及各种屏蔽选项，我们的探针台可用于广泛的应用，例如故障分析，可靠性测试，IV / CV测试，低目前的测试，微波和射频表征等等。使用MicroXact手动探针台进行IV，CV和低电流测试，可提供半导体器件表征所需的精确和精确测量。由于提供多种选项和MicroXact手动探针台的灵活性，晶圆上的晶圆级电容和低电流测试从未如此简单。特征 手动平台组装可提供额外的预载滑块，便于装载和卸载晶圆或样品。手动控制压板和卡盘Z位置，进行粗调和微调。光滑的铸钢压板可容纳多达10个磁性或真空定位器。同轴和三轴卡盘以及外壳可用于低泄漏电流测试。标准吊杆安装组件，用于显微镜的全范围XYZ定位。可用的高分辨率微定位器，带80TPI螺钉，用于探针的μm级定位可用的高分辨率微定位器，带80TPI螺钉，用于探针的μm级定位。可用的RF选项包括可定制的RF探头，RF卡盘和屏蔽罩。型号SPS-1000SPS-2000SPS-2200晶圆尺寸高达150mm高达100mm高达200mmXY舞台行程100mmx100mm或150mmx150mm标准高达125mmx125mm高达200mmx200mm 系统尺寸56厘米宽x 51厘米深x 61厘米高92米宽x 122厘米深x 92厘米高系统重量35kg至45kg，具体取决于所选的选项~70公斤

探针台配置根据客户要求定制，以下数据仅供参考！具体数据欢迎来电咨询！规格Chuck（可选）4" 不锈钢，真空吸附型，独立开关控制Chuck X-Y轴行程，精度4" x4"，10umChuck 旋转角度0~360 度Chuck 旋转角度微调精度0.01°Chuck快速升降（选配） 8mm Chuck微调升降（选配） 8mm ，1um精度Chuck 平整度5um针座平台C型设计，可放置8个针座，可扩展为O型平台针座平台平整度5 um探针座移动精度 2um（精度要求可选）探针夹具 同轴弹簧夹具、三轴管状夹具（可选）显微镜Z轴行程，精度2"，细调精度0.1um需求电力220 VAC, 60Hz 真空-250 mmHg, 7 liter/min 尺寸320mm宽*320mm长*400mm高（带显微镜）重 20 Kg（带显微镜）　可选附件激光切割加热台防震桌显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件射频测试探头和线缆有源探头低电流/电容测试高压测试CCD视频系统液晶漏电分析套装屏蔽箱镀金Chuck

产品概要：Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁，不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针，这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。基本信息：TS150&TS200&TS300应用于测试半导体晶圆级、器件类电学特性，具备可以快速拖动样品台，更换样品功能，并且有着独特Platen平台设计，测试重复性提高95%。MPI 全系列探针台具备模块化设计,可搭配不同变倍比显微镜，同时与德国ERS联合开发设计具有气冷温控技术的Thermal Chuck同步使用。技术优势：气浮式样品移动系统MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手冰球控制，为操作人员提供了很强的便利性，可实现快速XY导航和快速晶圆装载，同时又不影响精确的定位功能，并具有精确的25×25 mmXY-θ 千分尺运动。高度调整比例探针台工作台面具有25毫米的精细高度调节，以支持各种应用。独特的1mm精确刻度可提供有关当前位置的直接反馈。多种卡盘选项手动系统可提供多种卡盘选项，以满足不同的预算和应用需求。 卡盘选件包括MPI的同轴、三轴、高功率chuck或各种ERS高低温chuck，以支持高达300°C的温度测量，热触摸控制器的无缝集成可快速便捷地进行操作。紧凑而刚性的设计 Platen 平台紧凑而坚固的压盘设计可容纳多达十个DC或四个RF MicroPositioner，以满足各种应用需求。高度可重复的压板提升机设计具有三个不连续的位置，用于接触，分离和加载，并带有安全锁实用程序，可实现轻松的步进和重复功能。此外，四端口RF MicroPositioner的矩形调节是保证RF探针之间对准的标准功能。辅助AUX卡盘射频卡盘包括两个专用陶瓷材料制成的辅助卡盘，用于精确的射频校准。多种光学系统选择提供多种光学器件，可以在用于普通DC / CV应用的立体声或用于射频配置的单管MPI SZ10或MZ12之间进行选择。光学倾斜这些光学器件经过精心选择，可以满足客户对方便将探针放置到焊盘的要求。90度倾斜是标准功能，甚至是气动驱动，线性Z升降器提供了非常方便的设置和容易更换的探针头。振动隔离平台手动系统包括减震基座，以实现稳定可靠的探头与焊盘的长期接触，从而确保可靠的测量结果。在实验室环境需要广泛的振动保护的情况下，振动隔离平台或工作台是可选的。屏蔽系统可用的暗箱选项为超低噪声直流测量提供EMI屏蔽和不透光的测试环境。应用方向：适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)。

手动探针台 测试探针台半导体领域探针台 在集成电路的研发、生产制造、实效分析过程中，经常要量测内部的电参数，由于制成的越来越低，没有办法用简单的万用表、示波器的表笔来探测信号。手动分析探针台能很好的帮助工程人员实现微小位置的电学参数测试。Advanced在中国推出手动分析探针台近10年历史，销售实绩800多台，并且以每年的销量稳居行业销量榜首。行业知名客户有：友达光电、华映光电、奇美光电、群创光电、飞兆半导体、德州仪器、华虹集成、华为、电子五所、航天808所、航天201所、中科院微电子所、苏州中科院纳米研究所、复旦大学、上海交通大学、西安电子科技大学、温州大学、福州大学、厦门大学等等……手动探针台 测试探针台手动探针台 测试探针台型号： PW-600/PW-800规格：chuck尺寸150mm（200mm）X,Y电动移动行程150mm（200mm）chuck粗调升降8mm，微调升降30mm可搭配MOTIC金相显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数6～8颗显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“可搭配Probe card测试适用领域：6寸/8寸Wafer、IC测试之产品手动探针台 测试探针台型号： PW-400 规格：chuck尺寸100mmX,Y移动行程100mmchuck Z轴方向升降10mm（选项）搭配AEC实体显微镜针座摆放个数2～4颗适用领域：4寸Wafer，如晶圆厂、LED、学术单位等 RF高频探针台 手动探针台 测试探针台东、南、西、北测试臂搭配美国GGB高频测试头DC~10/40/50/67GHZ （GSG,GS,SG）Pitch 100～1500um探针材料：BeCu/Tungsten

产品简介磁场探针台主要用于半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件及相关技术领域的电、磁学特性测试,能够提供磁场或变温环境，并进行高精度的直流/射频测量。本公司产品设计和生产各类磁场探针台稳定性强、功能多样、可升级扩展,适用于各大高校、研究所及半导体行业的实验研究和生产。

LA-150 DC 实验室探针台LA-150 DC是SemiProbe一款价格适中、体积小的150mm（6英寸）探针台，适用于研发中心和各大高校，具有高稳定性和灵活性，满足你实验室测量的需求。它配置完整，安装经由客户完成，操作可在一小时内完成。 SemiProbe的实验室探针台专门设计于满足研究人员的测试需求 --- 操作简单轻松、体积小型便于携带、价格适中具有竞争力以及它的模块化设计。与之相比，一般情况下，这样功能的探针台是非常昂贵的，但这款实验室探针台能以非常有竞争力的价格实现提供了多种产品特点和选择 ---多种平台、卡盘、光学组件和操纵器。并且可在之后增加各种附件从而增强系统功能性。 产品特点和优势： ? 体积小--- 适用于桌面，小型工作台，手套式操作箱或者暗箱 ? 系统配置完整 ? 组件可更换---可当做单独应用系统或者多个应用系统使用 ? 模块化设计--- 可增加多个配件实现更多的性能 ? 直流电、高频/微波和Kelvin版本 配置包括： ? 硬铝基座，带有橡胶隔振脚? 粗糙和精细的晶圆平台调整，附有可更换的平台选择--- 包装部件或者热部件? 精细的平台移动，使用精准的测微计控制--- X (25 mm), Y (25 mm) & Z (20 mm)? 粗糙（360度）和精细（10度）theta调整? 150mm(6英寸)卡盘，附有隔离适配器和真空控制系统? 材质为铝，镀不锈钢，附有可移动的前锲子? 精准的测微计 台板Z上升（13mm）? 两个DC MA-8005 操纵器，附有磁性基座，面板和同轴探针臂（标准）? 显微镜杆，附有同轴和线性显微镜X，Y移动50 mm x 75 mm? 6.7:1变焦(130x 放大倍率) 三目立体变焦显微镜，工作距离为100mm 规格参数 尺寸420 mm X 540 mm X 535mm(16.5” X 21.3” X 21.1”) (W,H,L) – with Optics重量32 kg (70 lbs.)基座Solid Aluminum rigidbase on rubber vibration isolation feet卡盘平台X-Y 移动Adjustable magneticslide for coarse adjustment ( 150 mm) Fine micrometeradjustment – 25 mm (X, Y) Entire stage easilyremoved via magnetic base卡盘平台Z 移动Z travel: 20 mm(0.78”) with micrometer driven contact/separationTheta 移动Travel: 360 degrees(coarse) and 10 degrees (fine) with theta locking knob卡盘Vacuum or mechanicalclamping, round or square, HF, ambient, thermal and custom Handle die, wafflepacks, sawn wafers on frame, broken wafers and wafers up to 150 mm Nickel plated steelwith concentric vacuum rings (standard), other materials available台板Aluminum withstainless steel top and removable front wedge for easy wafer handling Manipulator fixation– magnetic (standard), vacuum (with optional vacuum manifolds)台板移动Micrometer drivenplaten Z adjustment显微镜安装Rigid aluminum post(standard) or boom available显微镜移动Manual coaxial andlinear fine microscope movement - 50 mm (X) and 75 mm (Y) (2”x3”)光学组件Trinocular stereozoom microscope (standard), compound or zoom tube (optional)其它工具Power: AC 110/220V AC50-60 Hz 20A Vacuum: 23 Hg or -0.8bar可选配件CCTV Systems (camera,monitor and adapter) and stand (shown in picture page 1) Manipulators, ProbeArms, Probes, Cables – Coaxial, Triaxial, Kelvin, HF, Optical Probe Card andPackage Part Holders Vibration IsolationTables, Dark Box Stages – wafer,packaged part, thermal 备注：规格参数的数值具体取决于探针系统的配置和配件要求

适用于多种晶圆量测应用，• 如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境• 支援飞安低漏电量量测• 温度量测范围 -60 °C 至 300 °CTS200-SE Probe System细节优势MPI TS200-SE手动探针测试系统具有无与伦比的功能。具有高度可重复性（1μm）的压板提升设计，具有用于安全，接触，分离（300μm）和加载（3mm）的三个离散位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的触点定位和安全设置。附加的Probe Hover Control™ 具有悬停高度（50、100或150 μm），可轻松方便地将探头与Chuck对齐。MPI ShielDEnvironment™ 是一个高性能的屏蔽系统，可为超低噪声，低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。 MPI ShielDEnvironment™ 的一个完全可配置的部分，它允许多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin等多种组合测试。MPI ShielDCap™ 便于屏蔽，易于多种搭配，在简化日常操作方面发挥了重要作用。完整的ShielDCap™ 可以很容易地用EMI屏蔽版本的探针卡支架替换。 空气轴承MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手冰球控制，为快速的XY导航和晶圆装载提供了无与伦比的操作便利性，同时又具有额外精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯，不影响精确定位能力。 独特的卡盘Z调整TS200-SE除空气轴承XY工作台外还包括5mm的Z吸盘调整（μm分辨率），可实现精确的接触/超程控制或探针卡跌落尖端校正。1毫米刻度指示器为操作员提供了简便的反馈。另外20毫米气动抬升搭配提供了简便的快速升降功能。 多种卡盘选项TS200-SE可提供多种卡盘选件， 以满足不同的预算和应用要求：同轴，三轴或射频、高功率等，RF卡盘独特带有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘，用于精确的射频校准；-60°C至300°C的多种ERS AirCool卡盘。 温度控制集成晶圆装载门可以在15°C以下的任何温度下锁定，此独特功能使TS200-SE成为市场上安全的手动探针台。此外，温控系统可以通过集成式的触摸屏来操作，该触摸屏放置在操作员面的便利位置，以实现快速，操作和即时的反馈。 ERS独特的AC3冷却技术MPI旗下探针台系统均采用ERS独特的AC3冷却技术及其空气管理系统，可直接从“已用”空气中清除MPI ShielDEnvironment™ ，与市场上的其他系统相比，可减少多达30％至50％的干燥空气消耗。 多种光学选项MPI光学器件可以选择单筒显微镜MPI SuperZoom™ SZ10，高达12倍光学变焦的MegaZoom™ MZ12或超过42毫米工作距离的EeyZoom™ EZ10 ——其具有人体工程学20倍目镜的10倍光学变焦系统，90mm工作距离和低至2um以下的光学分辨率。 独特的升途径MPI旗下全系列探针台系统均具有模块化设计创造了独特的升途径。所有TS200-SE探测附件，例如热卡盘，显微镜和定位器，都可以升或重新配置，以适应涵盖工具寿命的各种应用需求，从而使拥有成本降低。具有ShielDEnvironment™ 的MPI TS200-SE探针系统可提供大的EMI屏蔽，并允许进行低噪声的器件在片测量，从而可广泛用于各种应用，例如器件表征和建模，RF /微波，晶片可靠性，失效分析， 设计验证和大功率。

一、产品概述：探针台是一种用于微小电子元件和材料的测试设备，广泛应用于半导体、材料科学和微电子领域。它提供一个稳定的平台，用于精确定位和连接探针，以实现对样品的电气测试和分析。二、设备用途/原理：设备用途探针台主要用于测试集成电路、薄膜材料和微结构等的电气性能。常见应用包括半导体器件的参数测试、材料的电阻率测量和故障分析等。通过高精度的定位和可调节的探针，研究人员能够获取样品的详细电气特性。工作原理探针台的工作原理是通过机械系统将探针精确地定位到样品的特定接触点。设备通常配备高分辨率的光学系统，用于观察样品并调整探针的位置。当探针接触样品时，可以通过外部测试设备（如源测量单元）施加电流或电压，并测量相应的电压或电流反应。通过这种方式，研究人员可以获取样品的电气参数，分析其性能和特性。三、主要技术指标：1. 探针台主要应用于晶圆、芯片、器件、封装等半导体制程测试环节2. 样品尺寸：碎片~12英寸3. 自动化：手动、半自动、全自动4. 测试环境：高低温、磁场、真空5. 探针台类型：分析探针台、直流、射频、高压、毫米波、太赫兹、硅光测量、芯片测量、定制化等。

产品概要：MPI TS150-THZ是150 mm高频专用探针台，旨在对基板和150 mm晶圆进行精确分析。基本信息：TS150-THZ可以支持多种RF和毫米波(mmW)应用，例如高达1.5THz的宽带，带状波导，次THz，负载牵引和RF噪声。它提供了很强的功能：1、无缝集成任何高达1.5 THz的宽带，差分或宽带扩频器2、不错的机械稳定性和可重复性，结合方便和安全的操作3、小化测量路径以获得较佳的测量方向性技术优势：卡盘移动系统TS150-THZ具有10mm的精确卡盘Z调整，旨在灵活地集成不同的扩频器，例如Rohde&Schwarz，VDI或OML。 在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案进行设置时极为有利，可以轻松快速地进行设置。MicroPositioners的多种配置 专用且极坚固的探针压板设计可容纳两个东西方向固定的MP80大面积MicroPositioner。 通过将两个南北“电桥”作为标准配置，可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。探针座系统独特的MP80-DX具有低至1µ m精确的清晰度，搭配三丰数显千分尺。成像系统可以选择单管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光学变焦高达12倍，工作距离超过45毫米。由于集成测试头/调谐器固有的空间限制，因此这种显微镜的体积小，非常适合RF和mmW应用。多种卡盘选项TS150-THZ提供多种卡盘选件，以满足不同的预算和应用要求，例如MPI的标准RF，带BNC连接器 专用mmW 卡盘，完全内置具有高导热率( 180W / Km)的特殊陶瓷 ERS AirCool射频卡盘(温度范围从20°C到200°C，或更高)，带有集成的镀金顶面和小的真空孔。每个卡盘包括两个用陶瓷材料制成的辅助卡盘，用于精确的RF校准。应用方向：TS150-THZ可以支持多种RF和毫米波(mmW)应用，例如高达1.5THz的宽带，带状波导，次THz，负载牵引和RF噪声。

手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片（晶圆及碎片），并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。还可以设计验证/IC工程，晶圆级可靠性，MEMS，高功率和器件表征和建模。

产品概要：MPI TS200-THZ手动探针系统具有很强的功能。这些高度可重复性（1µ m）的压板提升设计，具有用于安全，接触，分离（300µ m）和加载（3mm）的三个离线位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的触点定位和安全设置，附加的Probe Hover Control&trade 具有悬停高度（50、100或150 µ m），可轻松方便地将探头与焊盘对齐。基本信息：TS150-AIT和TS200-THZ探针系统专为新兴的THz应用而设计，例如高速5G通信，卫星，非侵入性光谱，医疗保健设备以及短距离汽车雷达等，其方法是在同一探针台上增加有源阻抗调谐器集成。可结合毫米波，太赫兹(THz)和自动阻抗调谐器应用的要求，以较好的测量方向性提供准确的测试。1、可达1.5THz的带宽、差分或宽带扩频器和/或自动阻抗调谐器的无缝集成 2、扩展器/调谐器集成的新颖设计，可实现很好的测量动态 3、较强的机械稳定性和可重复性，结合方便和安全的操作。技术优势：气浮式移到系统MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手定标器控制，为快速的XY导航和晶圆装载提供了很好的的操作便利性，同时搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯，不影响精确定位能力。卡盘Z调整TS150-THZ具有10mm的精细卡盘Z调整，旨在灵活地集成不同的扩频器，例如Rohde&Schwarz，VDI或OML。对于在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案的设置非常有利，可以轻松快速地进行设置。微型定位器专用的极刚性探针台板设计可容纳两个东西方向的粗体——东西向配置的下行MP80大面积微选址器。通过将两个南北“电桥”作为标准配置，可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。MP80-DX市场上另一个MPI开拓性解决方案——独特的MP80-DX，具有低至1µ m的简单、精确的精确度，是精确且经济高效的多线TRL的理想选择，即多行TRL——毫米波和次太赫兹范围内的RF校准方法。多种光学选项提供专用的MPI光学元件，可以选择单管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光学变焦高达12倍，工作距离超过45毫米。由于集成扩频器固有的空间限制，要求与DUT的距离较短，因此这种显微镜的体积小，非常适合RF和mmw应用。扩频器集成TS200-THZ集成了全新的扩频器集成设计。为了很好地减少到DUT的距离并提供较佳的测量方向性，MPI引入了一种新颖的概念，将扩展器悬停在整个200mm晶圆上。新型TS200-THZ探针台的附加关键功能是轻松，便捷和快速地重新配置。多种卡盘选项TS200-THZ提供多种卡盘选件，以满足不同的预算和应用要求，例如MPI：带BNC连接器的标准RF卡盘 专用mmW卡盘，完全内置具有高导热率( 180 W / Km)的特殊陶瓷 甚至ERS AirCool射频卡盘(从20°C到200°C或更高)，带有集成的镀金顶面和小的真空孔。所有卡盘都有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘，用于精确的RF校准，尤其是在40 GHz以上的范围内应用方向：TS150-AIT和TS200-THZ探针系统专为新兴的THz应用而设计，可应用于高速5G通信，卫星，非侵入性光谱，医疗保健设备以及短距离汽车雷达等领域。

E 系列是一款功能进阶级探针台，能实现 1μm 以上的电较为 Pad 测试，工效学设计简单易操作，灵活的 UPStart&trade 模块化设计， 客户可通过较低的成本升级更多的测试功能，如：毫米波 mmW，FA、MEMS、WLR 和光电等测试。