开尔文探针系统

大面积扫描开尔文探针系统配件能够在垂直方向移动开尔文探针实现电动控制开尔文探针与样品的距离。 样品安装到真空吸盘上，真空吸盘可带着样品移动150x150mm位移，从而实现开尔文扫描探针系统大面积扫描样品表面。大面积扫描开尔文探针系统配件特色: 电动控制开尔文探针与样品的距离 电动控制样品XY移动范围150 mm x 150 mm 具有编码器的主动定位定位追踪系统 Z方向步进大小: 625 nm X - and Y-方向: 5 μm / microstep 功函分辨率:: 1 meV with 1.4 mm tip diameter on metals 最小的探针直径: 0.1 mm 集成法拉第防护功能 框架表面镀金 开尔文探针头采用纯金工艺 最大外形尺寸: 50 cm (W) x 60 cm (D) x 25 cm (H) 最大样品尺寸: 150 mm x 150 mm 真空样品吸盘 包含参考样品标准: HOPG, Au on Si, Al/Au-edge, Potential Check 可选配温度和湿度传感器

单点开尔文探针系统配件是全球首款用于室温条件和普通实验室条件下的系统，具有极为紧凑结构，可安放到各种环境箱或防尘罩中，探针头与振荡薄膜一起使用，预放大器集成到探针头中，方便更换。 单点开尔文扫描探针系统配件参数 探针与样品表面之间采用电动控制调节距离 Z轴定位分辨率: 5 μm 功函分辨率: 1 meV with 1.4 mm tip diameter on metals 最小的探针直径: 0.1 mm 集成法拉第防护功能 开尔文探针头采用纯金工艺，底板表面镀金 样品架磁性固定到底板上 样品架直径：40mm 带有 3 mm 孔用于标准SEM样品架子 最大可测样品尺寸: 100 mm x 100 mm (mounted on Base plate) 振动隔离腿设计 包括参考样品材料: HOPG, Au on Si 配备汤姆森控制器和计算机 可选配温度和湿度传感器

产品概要：英铂为您提供MPI品牌的DC、各类开尔文探针，以供产品测试使用。基本信息：技术优势：DC探针：适用于常规漏电流测试开尔文探针：更低的漏电流和更好的可靠性，可以适用于高低温下的测试应用方向：适用于各种晶圆测试。

多种探针支架供选配，如：常规支架，真空支架，射频支架，2D支架，开尔文支架等......

汲取式光纤探针对于过程中的实时在线样品检测和实验室应用特别有用。在一个液态样品不能用比色皿测量的情况下，汲取式光纤探针附件能够测量其吸光度和透过率。反射式光纤探针结合S-3100使用可以生成小的光感系统以测量固体表面的反射。

产品概要：MPI提供了完整的探针臂产品组合，如：同轴、三轴、高压版本、开尔文、射频，所有这些都能在高达300°C的温度下运行。基本信息：简便快速，无需工具所有标准MPI探针臂均采用适用宽温度范围(-60°C…300°C)的不锈钢管设计开发，并由独特的通用探针支架固定，可轻松快速且免工具更换针杆、高度和角度调整；更换探针臂，适用于各种不同的设置，通用探头支架与所有MPI MicroPositioner兼容。高度指示器所有MPI探针针杆均具有适合高度刻度，可以非常快速，轻松地进行主动设置。 直流探头尖端支架所有直流探头尖端支架的设计均易于更换和调节探头。探头尖端可以固定在任何变量上，也可以预先配置45°、60°、及与针杆平行等三种角度可选，用于在不同应用中进行特定的尖端散射控制。开尔文探针架MPI Kelvin探头支架与DUT尖端尽可能分离，并提供：垂直自找平探头尖端对准 专用力和感测电缆布置 快速方便地更换探针。这是精确进行超低噪声，阻抗或脉冲IV测量的新基准。开尔文探头甚至使新手用户都可以执行快速而准确的测量，从而易于重新配置4TP连接或/和进行脉冲IV测试。免工具垂直高度调整 独特的无需工具的垂直高度调整以及内置的毫米刻度，可快速切换适配高度。轻松更换RF探头MPI独特的螺丝磁力吸附，搭配射频支臂能够迅速实现探针更换。 Mitutoyo 千分尺 MPI旗下均采用Mitutoyo千分尺，以保证1um级的移动，可准确进行定位。技术优势：1、耐高温2、角度调整方便快捷3、轻松更换RF探头4、具有直流探头尖端支架和开尔文探针架应用方向：可在高达300°C的温度下使用。

反射式光纤探针结合scinco S-3150或者S-4100使用可以生成小的光感系统以测量固体表面的反射。

系统解剖探针-头直径1.2mm/15c

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Doped Diamond这个系列的探针在针尖的一侧涂有可导电的金刚石涂层。由于金刚石的硬度很高，所以涂层也很耐磨。这类探针的典型应用包括：扫描扩散电阻显微镜 (SSRM)，扫描电容显微镜 (SCM)，和隧道/导电原子力显微镜。 NameMountDescriptionPack SizeTip Radius (nm) DDESP-10UnmountedDoped DLC Coated Tips, 42N/m, 320kHz, Al Reflective Coating1035作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。 布鲁克AFM探针制造优势：*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。

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Eachwave推出的低温砷化镓光电导太赫兹近场探针系列是新一代的高性能光电导型微探针，利用此太赫兹近场探针，样品表面的近场太赫兹电场可被以被空前的分辨率测量，信号质量好，噪声低。这些太赫兹探针可以无缝的与激发波长低于860nm的THz-TDS系统配合使用。THz近场探针提供了一个低成本的解决方案，可将您的THz-TDS升级为高分辨率的近场扫描成像系统。产品特点：— 市场上最小的太赫兹近场探针— 专利设计— 空间分辨率可达3um— 探测频率范围：0-4THz— 适用于所有基于激光的THz系统 — 安装可兼容标准的光机械组建— 集成过载保护电路横向场太赫兹近场探针规格参数TeraSpike TD-800-X-HRHRS最小空间分辨率3um20umPC gap size1.5um2um暗电流 @1V 偏置电压0.5nA0.5nA光电流1uA0.6uA激发波长700..860mW平均激发功率0.1-4mW接头类型SMP纵向场太赫兹近场探针规格参数TeraSpike TD-800-A-500GN最大空间分辨率8 um8 umPC gap size5 um2 um暗电流 @1V 偏置电压0.4 nA0.4 nA光电流0.5 uA0.1 uA激发波长700..860mW平均激发功率0.1-4mW接头类型SMP反射式太赫兹近场探针 反射式太赫兹近场探针是一款收发一体化的太赫兹近场探针产品。探针具有双天线结构，此结构极大的缩短了太赫兹的传输路径，可有效的应用于太赫兹近场时域谱测试以及成像测试系统中。规格参数 型号暗电流@1V偏压光电流激发波长平均激发功率链接头TeraSpike TD-800-TR.5 1.5nA 0.5uA700-860nm0.1-4mW2×SMP适用于1550nm波长的太赫兹近场探针规格参数型号脉冲上升时间带宽激发波长激发功率悬臂材料TeraSpike TD-1550-Y-BF1ps0.01-2.5THz700-1600nm 0.1-4mWInGaAs(n-type)

Omniprobe公司提供扫描电子和离子束显微镜纳米实验设备，处于行业领先水平。钨探针针尖由Omniprobe公司生产，包括 AutoProbe? 200, AutoProbe? AutoProbe? 250, 300, Short-Cut?, OmniGIS? 和 SST? 400-1 。 l 钨/镍探针针尖Tungsten /Nickel Probe Tips 常规设计，镍管柄、钨尖，钨尖尺寸：半径0.5um，13o锥角。使用寿命长。货号产品名称规格75960-01钨/镍探针针尖Tungsten/Nickel Probe Tip10/bx l 钨探针针尖Tungsten Probe Tips常规设计，钨尖尺寸：半径0.5um，13o锥角。使用寿命长。货号产品名称规格75960-02钨探针针尖All Tungsten Probe Tip10/bx l 原位探针针尖In-Situ Probe Tips常规的钨针尖，不锈钢柄，适合AutoProbe? 300、原位探针针尖更换系统和Short-Cut? 。钨尖尺寸：半径0.5um，8-10o锥角。 货号产品名称规格75960-03原位探针针尖In-Situ Probe Tip10/bx l Xtreme Access ?” 钨探针针尖 Tungsten Probe Tips 常规设计，钨尖尺寸：半径小于0.5um，13o锥角。使用寿命长。货号产品名称规格75960-04XA ?” 钨探针针尖 Tungsten Probe Tip10/bx l Autoprobe 250钨探针针尖Tungsten Probe Tips常规设计，钨尖尺寸：半径小于0.5um，6o锥角。使用寿命长。（兼容Short-Cut?）货号产品名称规格75960-05AP250钨探针针尖 Tungsten Probe Tip10/bx l Xtreme Access Short-Cut? Probe Tips常规设计，钨尖尺寸：半径小于0.5um，6o锥角。使用寿命长。（兼容Short-Cut?）货号产品名称规格75960-06XA Short Cut Tungsten Probe Tip10/bx l XA探针针尖夹持器 Probe Point Holder适合 ?”钨探针针尖，, #75960-04 和 #75960-06. 货号产品名称规格75961-10 XA探针针尖夹持器 Probe Point Holder个 l AP250 探针针尖夹持器Probe Tip HolderAutoProbe? 250探针针尖夹持器适合的钨针尖是75960-05.兼容 Short-Cut?。货号产品名称规格75961-105AP250 探针针尖夹持器Probe Tip Holder个

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NameMountDescriptionPack SizeTip Radius (nm) MESPUnmountedStandard MFM Coated Tips, 2.8N/m, 75kHz, Co/Cr Reflective Coating1020探针的指标主要分三个部分，分别对应了基片，微悬臂梁，和针尖三个部分。1. 基片，就是基片的长，宽，高，各种探针的基片尺寸是基本一致的。 2. 悬臂梁，分为矩形梁和三角形悬臂梁，他们的长宽厚的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数，一般来说，接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。3. 针尖，针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有，曲率半径(Tip Radius)，探针高度（Tip Height），对应于四面体的指标，前角（Front Angel），后角（Back Angel），侧角（Side Angel），还有一个是Tip Set Back，对应的是针尖离悬臂梁最末端的水平距离。材质：1. 轻敲探针：一般是单晶硅，型号如RTESP； 2. 接触模式探针：材质是SiN，而新型号的SNL接触探针，悬臂梁是SiN，而针尖则Si（曲率半径2nm左右），这种探针可以提供接触模式下的分辨率图；3. 功能探针：如磁力探针（MESP），导电探针，则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr，SCM-PIT的镀层是Pt。常用探针型号介绍： 常用探针型号介绍1. 轻敲模式，RTESPA-300，TESP，FESP 2. 接触模式，SNL，NP，3. 智能扫描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+4. 磁力显微镜，MESP-V2,MESP-RC-V25. 静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。6. 其他特殊功能探针。如金刚石探针，大长径比探针。

MEMS技巧MPI TITAN™ 探针经过精确制造，具有完美匹配的50ΩMEMS触点。由于出色的探头电气特性（最小的插入损耗和串扰以及高的回波损耗），它们可确保在最宽的频率范围内提供无与伦比的校准和测量结果。独特的接触结构与市场上的其他针尖不同，由于独特的突起式针尖设计，MPI TITAN™ RF探针可提供出色的实时可视性。首次，即使对于没有经验的操作人员，也无需使用探头对准标记，就可以将RF探头高精度地定位在校准标准件或DUT焊盘上。减少接触探针MPI公司通过引入TITAN-RC探针来扩展RF TITAN探针的系列。新的探针模型的特点是触头尖端的宽度减小了33％，减小到20μm。TITAN-RC探针与进一步减小RF器件和IC的焊盘尺寸的行业趋势完全吻合，大大降低了下一代商用RF和毫米波硅器件和IC的测试成本。对于铝焊盘金属化小至30 x 35μm的Si器件，它可以获得准确且可重复的测量结果。TITAN-RC探针具有GSG探针配置，探针间距为50μm至150μm。杰出的寿命TITAN™ 探针技术的最强功能之一是其均匀的磨损：经过数十万次探针循环后，探针尖端的长度自然会缩小。然而，由于独特的探头设计，其电气特性保持不变。因此，TITAN™ 探针的使用寿命超过了同类探针技术的使用寿命。 最后但并非最不重要的一点是，TITAN™ 探针以实惠的价格脱颖而出。