氦镉激光器PLASMA公司是世界上顶尖的气体激光器生产商,其产品主要特点是高质量、长寿命、中等价格。1. 标准设计,HCL系列波长442nm型号功率(mW)横模偏振光斑尺寸(mm)发散角 (mrad)HCL-50V60TEMOO100:11.60.9HCL-60V(I)80TEMOO100:11.60.9HCL-70VМ(I)100多模1:12.02.5HCL-100V100TEMOO100:12.10.9HCL-100V(I)150TEMOO100:12.10.9波长325nm型号功率(mW)横模偏振光斑尺寸(mm)发散角 (mrad)HCL-30UM(I)P30多模100:11.62.5HCL-10U10TEMOO100:11.50.9HCL-30UM(I)35多模1:11.62.5HCL-100U(I)30TEMOO100:11.70.9波长442nm和325nm型号功率(mW)横模偏振光斑尺寸(mm)发散角 (mrad)HCL-405/35多模/TEMOO100:1/100:11.4/1.40.9/0.9HCL-40M10/40多模/TEMOO100:1/100:11.5/1.52.5/0.9HCL-40(I)15/50多模/TEMOO100:1/100:11.5/1.52.0/0.9HCL-100(I)20/100多模/TEMOO100:1/100:12.0/2.02.0/0.9注:带(I)的型号激光相干长度为30cm,不带(I)的型号相干长度为10cm2. 紧凑型设计,HCCL系列 波长442nm型号功率(mW)横模偏振光斑尺寸(mm)发散角 (mrad)HCCL-10V10TEMOO100:11.51.3HCCL-20VМ20多模1:11.82.5HCCL-25V25TEMOO100:11.51.3波长325nm型号功率(mW)横模偏振光斑尺寸(mm)发散角 (mrad)HCCL-4UM6多模1:11.82.5HCCL-8UM(I)12多模1:11.82.5HCCL-15UM15多模1:11.82.5HCCL-30UM(I)25多模1:11.82.5注:带(I)的型号激光相干长度30cm,不带(I)的型号相干长度10cm。 氮分子激光器 氮分子激光器的发射带在UV波段,主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。 PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器,由于其独特的性能(波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W),被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑,因此被用于加工亚微米量级的元件。此外,还被用于多种感光材料的高效曝光光源。 参数 NPL-3 LGI-505 LGI-511 波长, μm 0.337 0.337 0.337 脉冲能量, μJ 30 120 240 平均功率, mW 3 120 240 光束直径, mm 2 5 5 脉冲重复频率: 1-100 5-1000 1 -1000 脉冲宽度, ns 5±1 8 ±2 8 ±2 尺寸, mm 350x325x150 484x510x215 1140x525x345 重量, kg 10 35 105 电压, V 220 220 220 功率消耗, w 50 1200 1500 制冷方式风冷水冷水冷工作温度, OC 0...+40 0...+40 +10...+40 质保工作时间, h 500 1000 500
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