双炉体滑动管式炉

RACA系列滑动座采用燕尾结构，与RAOB 系列导轨配合使用，调整方便，重复性好。带塑料头的刚性锁紧手轮，锁紧牢固，不伤光具座。多种孔位的安装孔适用性强。各种宽度的滑动座适合不同距离的需要。特别是RACA-4 滑动座可横向微调，调整机构为M6×0.25 细牙螺杆驱动，精密线性导轨导向，弹簧复位，精度高，稳定性好。 RACA系列滑动座关联产品RAOB系列导轨

小型光学滑轨及滑动座RAOB-M 系列导轨采用微型燕尾设计，结构精巧，可以自由组合，适合在桌面上搭建光学系统。 小型光学滑轨及滑动座选型表：? RACA-M1 宽度22mm? RACA-M2 宽度35mm? RACA-M3 宽度56mm

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉，炉管为Φ50×1400mm的石英管，并配有不锈钢密封法兰，仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动，实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热，最大升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。 技术参数炉体结构两个炉体在一个滑动轨道上，炉体最高工作温度1200℃每个炉体加热区为200mm,恒温区为60mm一个滑动轨道安装在两炉体底部，可手动推动炉体滑动仪器中配有不锈钢密封法兰总功率2.5KW电压AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, （需要20A的空气开关）最高工作温度1200℃连续工作温度1100℃加热&冷却速率 加热速率: 15°C/sec (RT - 150°C) 10°C/sec (150°C - 250°C) 7°C/sec (250°C - 350°C) 4°C/sec (350°C - 500°C) 3°C/sec (350°C - 550°C) 2°C/sec (550°C - 650°C) 1°C/sec (650°C - 800°C) 0.5°C/sec (800°C - 1000°C) 冷却速率:15°C/sec (1000 - 950°C) 10°C/sec (950°C - 900°C) 7°C/sec (900°C - 850°C) 4°C/sec (850°C - 750°C) 2°C/sec (750°C - 600°C) 1.5°C/sec (600°C - 500°C) 1°C/sec (500°C - 400°C) 0.5°C/sec (400°C - 300°C) 注意: 最大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的，将炉体加热到目标温度，然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后，滑动炉体，使样品暴露在加热区外，来实现快速冷却 加热区长度每个炉体的加热区为200mm恒温区60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)加热元件掺钼铁铬铝合金炉管高纯石英管尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL温度控制系统两个炉体都采用PID方式来调节温度，可设置30段升降温程序。控温仪表操作视频设置有超温和断热偶报警包括2个K型热电偶（已安装在炉体上）可选:可选择控制模块MTS-02，可使用电脑来控制炉体的升降温 （点击图片查看详细资料）真空法兰仪器中包含一对不锈钢密封法兰，法兰上安装有机械压力表可选购KF25接口的法兰（提高抽气速率)，防腐型真空计 滑轨长度1200mm真空度10E-2 torr（采用机械泵）如您想获得更高的真空度(10-5 torr or better) 可选国产或进口高真空机组可在本公司选购真空泵 可选可选择电动滑轨，更好的控制快速升降温速率1-9通道质量流量计（MFC）控制的供气系统100W-500W的射频等离子源这些模块与管式炉配合可搭建起等离子增强的TCVD系统 尺寸1500 x 380 x 620 mm（炉体＋滑轨）净重约80kg质保期一年质保期，终身维护（不包括炉管、密封圈和加热元件）质量认证CE认证所有电器元件（输入电压24V）都通过了UL/MET/CSA认证本公司保证此设备通过TUV(UL61010）或CSA认证（需额外出认证费用） 使用注意事项炉管内气压不可高于0.02MPa由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全进入炉管的气体流量需小于200SCCM当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态