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数字式精密压力计

仪器信息网数字式精密压力计专题为您提供2024年最新数字式精密压力计价格报价、厂家品牌的相关信息, 包括数字式精密压力计参数、型号等,不管是国产,还是进口品牌的数字式精密压力计您都可以在这里找到。 除此之外,仪器信息网还免费为您整合数字式精密压力计相关的耗材配件、试剂标物,还有数字式精密压力计相关的最新资讯、资料,以及数字式精密压力计相关的解决方案。

数字式精密压力计相关的论坛

  • 压力传感器和数字式压力计区别在哪里

    请问各位高手,小第最近遇见个问题,客户问我压力传感器和数字式压力计有什么区别,我一时间回答不上来,他们的工作原理有什么不同呢?请哪位大哥帮我解释下好吗?

  • 0.05级活塞式压力计与0.05级数字压力计比较

    以(0.04~0.6)活塞式压力计为标准值,测出来的数字压力计的值为41.75KPa, 81.11KPa, 121.00KPa, 160.80KPa, 200.60KPa,240.50KPa,280.50KPa,320.52KPa,360.35KPa,400.44KPa,,请问为什么数值会越来越小,两套设备都是合格的!

  • 气象专用高精度数字压力计

    高精度压力数字压力计以其量程的灵活匹配,最大限度满足客户需求。此设备标配为单通道单模块,还可以选装大气压参考模块以模拟表压和绝压。可根据用户具体需求定制。这个特点使LPG2500特别适合用于需要对不同量程的压力装置进行数据比对的场合。应用领域:实验室,工业现场等LPG2500高精度数字压力计可测量当前压力。精确定度可达到:0.01%,解决现场测量标准,比如:实验室测量当前大气压力,达到高精度要求。解决风洞微压测量和高压风洞测量。产品特点. 精确度最高达到:0.01%FS. 支持多通道. 人性化智能设计. 支持外部通讯. 可用于差压表测试等. 多精度可选择:0.01%、0.02%、0.05%. 工作最大压力范围可订制应用客户:理化研究所、中国物理所等。服务理念:系统软件终身免费服务;定期进行用户回访;免费系统使用培训提供7X24小时服务,服务热线:13520277456选购配件l 工业级仪表箱:工业级仪表箱用于 LPG2500的运输,也可作为LPG2500空运容器。箱子由高强度抗冲击材料做成,外观为黑色,包含一个把手和一个伸缩拉杆;箱体内部专门根据LPG2500定制的高密度EVC泡沫,并且箱体内具有设备备件的储存空间。仪表箱体结实的特性和在恶劣环境的对设备的保护,非常适合成为LPG2500运输的保护箱体。l 校准证书每台LPG2500出厂时可溯源至计量院,可代送国家计量单位出具证书。

  • 气象专用高精度数字压力计

    气象专用高精度数字压力计

    [font=&][color=#333333]高精度压力数字压力计以其量程的灵活匹配,最大限度满足客户需求。此设备标配为单通道单模块,还可以选装大气压参考模块以模拟表压和绝压。可根据用户具体需求定制。这个特点使LPG2500特别适合用于需要对不同量程的压力装置进行数据比对的场合。[/color][/font][font=&][color=#333333]应用领域:实验室,工业现场等[/color][/font][font=&][color=#333333]LPG2500高精度数字压力计可测量当前压力。精确定度可达到:0.01%,解决现场测量标准,比如:实验室测量当前大气压力,达到高精度要求。解决风洞微压测量和高压风洞测量。[/color][/font][font=&][color=#333333]产品特点[/color][/font][font=&][color=#333333]. 精确度最高达到:0.01%FS[/color][/font][font=&][color=#333333]. 支持多通道[/color][/font][font=&][color=#333333]. 人性化智能设计[/color][/font][font=&][color=#333333]. 支持外部通讯[/color][/font][font=&][color=#333333]. 可用于差压表测试等[/color][/font][font=&][color=#333333]. 多精度可选择:0.01%、0.02%、0.05%[/color][/font][font=&][color=#333333]. 工作最大压力范围可订制[/color][/font][font=&][color=#333333]应用客户:理化研究所、中国物理所等。[/color][/font][font=&][color=#333333]服务理念:系统软件终身免费服务;[/color][/font][font=&][color=#333333]定期进行用户回访;[/color][/font][font=&][color=#333333]免费系统使用培训[/color][/font][font=&][color=#333333]提供7X24小时服务,服务热线:13520277456[/color][/font][font=&][color=#333333]选购配件[/color][/font][font=&][color=#333333]l 工业级仪表箱:[/color][/font][font=&][color=#333333]工业级仪表箱用于 LPG2500的运输,也可作为LPG2500空运容器。箱子由高强度抗冲击材料做成,外观为黑色,包含一个把手和一个伸缩拉杆;箱体内部专门根据LPG2500定制的高密度EVC泡沫,并且箱体内具有设备备件的储存空间。仪表箱体结实的特性和在恶劣环境的对设备的保护,非常适合成为LPG2500运输的保护箱体。[img=,520,520]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/05/202205261433047774_606_5627570_3.jpg!w520x520.jpg[/img][img=,520,520]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/05/202205261433047676_8628_5627570_3.jpg!w520x520.jpg[/img][img=,520,520]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/05/202205261433046017_1593_5627570_3.jpg!w520x520.jpg[/img][/color][/font][font=&][color=#333333]l 校准证书[/color][/font][font=&][color=#333333]每台LPG2500出厂时可溯源至计量院,可代送国家计量单位出具证书。[/color][/font]

  • 【资料】数字式仪表概述

    随着生产和科学技术的发展,对电测技术提出了更高的要求,一般的电工指示仪表、已不能满足某些测量的需要。数字式仪表、晶体管电压表等电子测量仪器具有高精确度、高灵敏度、高速度以及易于实现自动化等优点,因此得到了迅速的发展和广泛的应用。数字式仪表是利用半导体脉冲数字电路自动地将被测量数值用数字形式直接显示出来的一种电子仪表。 和电工指示仪表相比,数字仪表有以下的优点: (1)准确度高,如六位数字电压表测直流电压的误差可低于10—s数量级。 (2)灵敏高度,如积分式数字电压表的分辨率可达1微伏。 (3)测量速度快,一秒内可测多次,有些数字电压表可达每秒几万次。 (4)输入阻抗高、仪表功耗小。如数字电压表的基本量程的输入阻抗提高达2500兆欧。而消耗功率只有4×10 瓦,这是一般指示仪表根本达不到的。 (5)读数方便,没有读数误差这是由于测量结果直接用数字给出,所以不会由于使用者读数时站立角度不同而产生视差。数字仪表的缺点是:由于采用了大量的电子元件和其它部件,所以结构比较复杂,成本也较高。但是由于大规模集成电路的发展,现已有可能制造出价格低廉的数字式仪表。不同数字仪表的工作原理和测试功能是各不相同的,但都是由模拟一数字变换系统(简称模/数变换或A/D变换)和计数系统两部分组成。模拟一数字变换系统的作用是将被测的模拟量,如电压、电阻等变换为数字量,即将被测信号变换成与之成比例的脉冲参量,而计数系统的作用是对转换成的数字量进行计数和显示。由于数字仪表具有以上特点,它主要应用于:精密测量;对大批生产的精密指示仪表进行刻度与校验;对大量生产的元件进行分选;远距离测量;生产过程自动检测系统和控制等方面。常用的数字仪表有计数器、数字频率表、数字电压表、数字相位表和数字功率表等。

  • 数字式温度计10聂氏度检定点修正值如何得到

    数字式温度计10聂氏度检定点修正值如何得到

    对于机械式温度计按JJG205-2005《机械式温湿度计》检定(15、20和30)聂氏度点,而作为检定温湿度计的标准精密露点仪,上级技术机构检定时也是会给出相对应点的修正值:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/04/201604121051_590044_1626275_3.jpg而数字式温度计,目前还没有国家检定规程或校准规范,不少省都制定了地方检定规程而且都大同小异,可能是考虑到数字温度计线性会更好些,还是基于别的什么原因,温度检点都是(10、20和30)聂氏度:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/04/201604121101_590045_1626275_3.png而不是(15、20和30)聂氏度。而作为检定温湿度计的标准,不知各位同行是怎样得到10聂氏度的修正值?

  • 精密数字压力表的6点维护技巧

    [color=#330033][color=#0000ff][b]精密数字压力表[/b][/color][color=#000000]类仪表是常见的计量器具,广泛应用于各个领域。它能直观地显示出各个工序环节的压力变化,洞察产品或介质流程中的条件形成,监视生产运行过程中的安全动向,并通过自动连锁或传感装置,构筑了一道迅速可靠的安全保障,为防范事故、保障人身和财产安全发挥了重要作用,被称作安全显示的“眼睛”。[/color][color=#000000](1)量程装在锅炉、压力容器上的数字压力表,其最大量程(表盘上刻度极限值)应与设备的工作压力相适应。数字压力表的量程一般为设备工作压力的1.5~3倍,最好取2倍。[/color][/color][color=#330033][color=#000000][/color][color=#000000](2)工作用[/color][color=#0000ff][b]精密数字压力表[/b][/color][color=#000000]的精度是以允许误差占表盘刻度极限值的百分数来表示的。[/color][/color][color=#330033][color=#000000][/color][color=#000000](3)表盘直径为了使操作人员能准确地看清压力值,数字压力表的表盘直径不应过小,如果数字压力表装得较高或离岗位较远,表盘直径应增大。[/color][color=#000000](4)[/color][color=#0000ff][b]精密数字压力表[/b][/color][color=#000000]用于测量的介质如果有腐蚀性,那么一定要根据腐蚀性介质的具体温度、浓度等参数来选用不同的弹性元件材料,否则达不到预期的目的。[/color][color=#000000](5)日常重视使用维护,定期进行检查、清洗并做好使用情况记录。[/color][color=#000000](6)精密数字压力表一般检定周期为半年。[/color][/color]

  • HX601D精密数字压力表,现场应用大显身

    随着我国计量行业的飞速发展,国家逐步完善各项规程,提高检定要求,严格管控标准表的生产,华信一贯坚持行业创新与领先,为响应国家和广大行业客户第一时间选择最优秀标准表产品的需求,针对现场应用优化了产品功能,免除了广大标准表应用商的后顾之忧。1.智能数据存储,海量数据导出。 HX601D精密数字压力表实现自动采集并存储数据,仅30分钟即可导出10000条数据,EEPROM非易失性存储器可防止断电丢失数据;数字补偿、数字通讯功能也方便数据的导出。2.环境易用性高,即测即用。 业内独特的0-50℃温度补偿技术,确保精准测量;低功耗可持续3000小时;采用独特的软件处理技术,无需预热;防爆防护功能提高测量安全性,在煤气管道等密闭应用环境中更能体会此项功能的独一无二。3.读数方便,精确度高。 HX601D精密书压力表小巧玲珑,大屏幕液晶5位数字显示;背光灯设计方便各种光线环境下读数;9种压力单位切换;标准仪表的压力零点、满程及线性修正;精度可达到0.05%F.S,可选0.2、0.1、0.02、0.4%F.S.

  • LPG2500高精度数字压力计技术参数

    [b][font=宋体]概述:[/font][/b][font=宋体] [/font][font=宋体]高精度数字压力计可测量当前压力。精确定度可达到:0.01%,解决现场测量标准,比如:实验室测量当前大气压力,达到高精度要求。解决风洞微压测量和高压风洞测量。其量程的灵活匹配,最大限度满足客户需求。此设备标配为单通道单模块,还可以选装大气压参考模块以模拟表压和绝压。[/font][font=宋体]可根据用户具体需求定制。这个特点使LPG2500特别适合用于需要对不同量程的压力装置进行数据比对的场合。[/font][b][font=宋体]技术参数:[/font][/b][font=宋体]1) [/font][font=宋体]精确度 : 0.01%、0.02%、0.05%可选;[/font][font=宋体]2) [/font][font=宋体]量程范围:-0.1~40MPa;[/font][b][font=宋体]3) [/font][/b][font=宋体]泄露:密封0泄露;[/font][font=宋体]4) [/font][font=宋体]系统供电:220VAC,1A; [/font][font=宋体]5) [/font][font=宋体]压力接口:7/16-20内螺纹接口;[/font][font=宋体]6) [/font][font=宋体]支持多通道:最多4通道;[/font][font=宋体]7) [/font][font=宋体]重量:约3kG;[/font][font=宋体]8) [/font][font=宋体]支持绝压及表压,可用于差压表测试等;[/font][font=宋体]9) [/font][font=宋体]选装大气参考:支持模拟;[/font][font=宋体]10) [/font][font=宋体]工作环境:15~55℃,5…95%RH;[/font][font=宋体]11) [/font][font=宋体]时尚外观:7寸大显示屏触摸操作;[/font][font=宋体]12) [/font][font=宋体]控制:触摸屏操作;[/font][font=宋体]13) [/font][font=宋体]可远程通讯操作,支持:RS232与RS48[/font][font=宋体]5[/font][font=宋体]。[/font][font=宋体] [/font]

  • 【分享】便携式精密压力检测仪带打印功能

    一、产品概述  SDM-2是最新的便携式燃气精密压力检测仪,测量瞬时压力及气密性检测压力,可以替代传统打压仪表及U型压力计。多个压力通道,具有气密性检测专用数显及打印设计,高精度,大大缩短了气密性检测时间,结果打印列表。  二、产品特点  ● 精度高±0.4%  ● 重量轻485克,携带方便  ● 气密性实验确认快捷准确  ● 根据现场环境不同,测出瞬间压力并打印 (可适用于调压器等多种现场设备)  ● 测压范围宽0-17kgf/cm2(最大过压值35kgf/cm2)  ● 内置三支高精度压力传感器,分三个量程段精确测量  ● 可设定测压时间,并可连续24小时检测  ● 可现场打印压力数据  三、使用  SDM-2已广泛应用于燃气公司各工程部门、运行部门、质检部门等  ● 涵盖从微压到高压即0-1700KPa的压力范围  ● 户内管试压严密性检测  ● 灶前压力例行检查  ● 调压器出口压力例行检查  ● 工程公司严密性快速自检  ● 质检部门严密性检测抽查  ● 外管线管道严密性检测验收

  • 机械式or数字式,实验室中的温湿度计,你选对了吗?

    [align=center][b][size=16px]机械式or数字式,实验室中的温湿度计,你选对了吗?[/size][/b][/align][size=12px][color=rgba(0, 0, 0, 0.3)][back=rgba(0, 0, 0, 0.05)]原创[/back][/color][/size] [size=15px][color=var(--weui-FG-2)]化验员之家[/color][/size] [size=15px]化验员之家[font=宋体] 大家都知道在实验室中,必须是要悬挂温湿度计的,温湿度数据也是我们原始记录中必须要体验出来的重要记录之一。不同的温湿度环境条件下,数据结果可能会是天壤之别,因此温湿度也是影响我们实验数据的重要因素之一。但是,你们实验室的温湿度悬挂的对吗?[/font][/size][align=center][img=,629,635]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/04/202404261110457726_9841_1626275_3.png!w629x635.jpg[/img][/align][font=宋体] 温湿度主要分为两大类一种需要安装电池的(数字式温湿度计),还有一种不需要安装电池的(机械式温湿度计)。[/font][align=center][img=,690,303]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/04/202404261111100796_5767_1626275_3.png!w690x303.jpg[/img][/align][font=宋体] 先说下数字式温湿度计原理:既然安装电池了,数字式的基本由一些测温元器件,测湿元器件组成,或者就是由温湿度变送器[i][/i]构成。看着比较高大上。[/font][align=center][img=,525,572]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/04/202404261111556437_5779_1626275_3.png!w525x572.jpg[/img][/align][font=宋体] 机械式的基本原理就比较简单了,常见的有三种,一种就是[/font][font=Calibri][font=宋体]机械式湿度计[i][/i][/font][/font][font=宋体],用毛发或者[/font][font=Calibri][font=宋体]尼龙[/font][/font][font=宋体]作为感应湿度的元器件,记录湿度;另一种就是干湿表,[/font][font=Calibri][font=宋体]玻璃液体温度计[i][/i]湿球上水套、篮水器和湿度査算表或计算[/font][/font][font=宋体]得到湿度值。[/font][align=center][img=,690,610]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/04/202404261112588461_9667_1626275_3.png!w690x610.jpg[/img][img=,690,108]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/04/202404261113048912_5805_1626275_3.png!w690x108.jpg[/img][/align][font=宋体] 还有一种就是两种类型的组合,来现实温湿度。机械式的温湿度虽然看起来比较复杂,但由于可以长时间不用放电池,没有用电焦虑,很多实验室仍然使用机械式的温湿度计。[/font][font=宋体]那么,我们该如何正确的使用温湿度计呢?[/font][align=center][img=,690,509]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/04/202404261113472266_5419_1626275_3.png!w690x509.jpg[/img][/align][font=宋体] 首先我们要明白的是,我们使用温湿度的目的,以及使用的温湿度是否能够满足我们的需求。之前我们已经说明,机械式的温湿度计没有用电焦虑,机械原理相对简单,适用一些相对恶劣的环境。但是明显的缺点就是,误差相对较大。具体的误差见下表:[/font][font=宋体][/font][align=center][img=,550,211]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/04/202404261114360971_12_1626275_3.png!w550x211.jpg[/img][/align][font=宋体] 数学式温湿度由于使用相对精密的电子元器件,恶劣的环境会影响其精度,甚至还会影响其显示的准确性。但是相对机械式温湿度计,数字式更加准确,一些对环境要求比较高的试验,只有数字式的温湿度计才能满足其要求。[/font][font=Calibri][/font]

  • 精密压力表比对中不能忽视的影响因素

    [size=15px]精密压力表比对是为了验证不同实验室之间对精密压力表检定结果的一致性,它涉及活塞压力计是否准确、实验室环境是否满足要求、人员操作是否正确等主要因素。但是,还有一些因素也会对比对结果产生影响,这就要求在比对工作中加以注意,以便使比对结果更能反映参比实验室工作中存在的真实问题。[/size][color=#d92142][b]一、每次检定的时间间隔[/b][/color][size=15px]精密压力表比对,一般至少应对精密压力表进行3次以上全量程的进回程检定。由于弹簧管一般存在弹性后效,一次检定结束后,指针完全归零需要一定时间,每次检定的时间间隔不同,直接关系下一次检定的结果。因此,主导实验室要掌握作为比对样品的精密压力表完全归零的时间,在比对大纲中对时间间隔作出明确规定。[/size][color=#d92142][b]二、估读误差[/b][/color][size=15px]在JJG49-2013《弹性元件式精密压力表和真空表检定规程》中规定了检定精密压力表读数时按精密压力表最小分度值的1/10进行估读。在实际检定中,这种规定只适用于0.4级精密压力表。如果比对中使用0.25级精密压力表,由于0.25级精密压力表的最小分度值只有0.4级精密压力表的一半,因此要求对0.25级精密压力表进行1/10估读根本无法实现(至多只能进行1/4估读)。如果主导实验室不对估读作出规定,每个参比实验室不按同一标准进行估读,除了会造成读数结果不一致,还会造成估读误差不确定度分量不同。比如:0.25级60MPa的精密压力表,最小分度值为0.2MPa,如果按照规程要求进行1/10估读(根本无法做到),估读结果为0.02MPa,由估读带来的不确定度分量为0.012MPa;如果按照1/4估读,估读结果为0.05MPa,由估读带来的不确定度分量为0.029MPa。由此可见,两种估读结果的不确定度分量相差一倍多。一些参比实验室为了对0.25级精密压力表进行1/10估读,甚至使用了放大镜读数,但是指针的宽度同时被放大,因此也毫无意义。这就要求主导实验室在制定比对大纲时,应该明确规定怎样估读,使各参比实验室的比对数据和不确定度趋于一致。[/size][color=#d92142][b]三、耐压时间[/b][/color][size=15px]虽然JJG49-2013中规定对精密压力表在测量上限处做3min耐压试验,但规程中并未规定使用何种计时设备。在日常检定中,耐压试验只是作为检定弹簧管是否泄漏和弹性迟滞对于进回程示值的影响。但是在比对中,我们更关心的是各参比实验室检定结果的一致性,耐压时间不一致,很可能引起检定进回程示值不一致,从而导致检定结果不一致。因此,要求主导实验室在比对大纲中对使用计时设备和计时方法作出具体规定。 [/size][color=#d92142][b]四、数据修约[/b][/color][size=15px]在日常精密压力表检定中,一般是根据能够估读到的数值,对检定结果进行修约,修约间隔一般为“1”“2”“5”。并且如果计算检定结果不确定度,一般不考虑修约误差的分量,而且修约时,还要遵循“偶数法则”。比如一块60MPa精密压力表的最小分度值为0.5MPa,按照规程要求进行1/10估读,估读值为0.05MPa,则数据修约间隔应为0.05MPa。如果10MPa点测量平均值为9.925MPa,按照通常修约法则,应当修正为9.90MPa。舍入误差为0.025MPa。而10MPa测量点测量结果不确定度(使用标准器为0.05级活塞压力计)约为0.029MPa,与该点舍入误差相近。这很可能造成由于数据修约而导致比对结果的En值大于1的情况。所以为了确保比对结果的公平,我们要么考虑数据修约产生的不确定度,要么对修约作出规定(如规定9.925MPa按0.01间隔修约,修约后为9.92MPa),这样能减少由于修约造成的较大误差。[/size]

  • 【原创】手持式压力计

    【原创】手持式压力计

    http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/09/201209051017_388774_2571111_3.jpgK0601手持式压差计是一种测量精度高、性能稳定操作简便的多功能压力计。该仪表根据压力源的波动情况选择实验室、标准工况及复杂工况三种测量方式,并具有温度显示和数据自动记录功能。该仪表广泛应用于气体的正压、负压、差压的测量。 分辨率:0.1Pa、1Pa 精度等级:0.5FS、1.0 FS 工作温度:-20-60℃电源:9V DC重量:0.3Kg外形尺寸:1407025(㎜) 液晶显示,数字直读、数码清零温度显示和9组数据自动记录功能自动温度补偿和智能数值稳定功能电池连续使用最高可达100小时以上功能选择和数值稳定功能,适合各种工况状态使用原装进口微差压传感器、高分辨率、高精度、高稳定性 常用量程范围:(单位:Pa 可根据客户需求定制)

  • 【原创】便携式精密压力检测仪(带打印功能)

    【原创】便携式精密压力检测仪(带打印功能)

    http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/09/201209051016_388772_2571111_3.jpg 一、产品概述  SDM-2是最新的便携式燃气精密压力检测仪,测量瞬时压力及气密性检测压力,可以替代传统打压仪表及U型压力计。多个压力通道,具有气密性检测专用数显及打印设计,高精度,大大缩短了气密性检测时间,结果打印列表。  二、产品特点  ● 精度高0.4%  ● 重量轻485克,携带方便  ● 气密性实验确认快捷准确  ● 根据现场环境不同,测出瞬间压力并打印 (可适用于调压器等多种现场设备)  ● 测压范围宽0-17kgf/cm2(最大过压值35kgf/cm2)  ● 内置三支高精度压力传感器,分三个量程段精确测量  ● 可设定测压时间,并可连续24小时检测  ● 可现场打印压力数据  三、使用  SDM-2已广泛应用于燃气公司各工程部门、运行部门、质检部门等  ● 涵盖从微压到高压即0-1700KPa的压力范围  ● 户内管试压严密性检测  ● 灶前压力例行检查  ● 调压器出口压力例行检查  ● 工程公司严密性快速自检  ● 质检部门严密性检测抽查  ● 外管线管道严密性检测验收http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/09/201209051016_388772_2571111_3.jpg

  • JDN 数字式离子计

    【题名】:JDN 数字式离子计【全文链接】: https://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-XMGD200002012.htm

  • 双高阻数字式活度计

    [font=&]【题名】:双高阻数字式活度计[/font][font=&]【全文链接】: https://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-HYJS197902008.htm[/font]

  • 步进电机驱动的数字针阀和电动球阀在MOCVD工艺真空压力精密控制中的应用

    步进电机驱动的数字针阀和电动球阀在MOCVD工艺真空压力精密控制中的应用

    [color=#990000]摘要:针对目前MOCVD设备和工艺中真空压力控制方面存在的问题,如多数设备仅能使用下游控制模式、节流阀响应速度不够、节流阀耐腐蚀问题和压力控制器采集精度不高,本文提出了相应的解决方案,以进行MOCVD设备的改进和提高工艺和产品质量。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [size=18px][color=#990000]一、问题提出[/color][/size]在半导体行业内,MOCVD具有许多显著特点,可用于大面积生长,可精确控制成分和厚度,具有高重复性和生长速率,可覆盖复杂基板形状,可快速切换气路制备陡峭的多层界面,适用于原位退火等。但在MOCVD设备的开发和工艺调试中,需要研究和选择与生产相关的生长参数,这些参数包括反应室形状、工作压力、生长温度、基座转速、气体流速和入口温度等。MOCVD的工作压力一般为10 mtorr-500 torr范围内,工作压力的精密控制决定了反应室的流动稳定性,但在目前的真空压力控制中还存在以下问题:(1)如图1所示,目前的MOCVD设备基本都采用下游模式对工作压力进行控制,即在排气端安装节流阀进行排气流量调节实现反应室内的压力控制,但这仅适用于压力较高的工艺,如工作压力100~500torr范围。但对于有些工艺的低压要求,采用下游控制模式会造成工作压力波动较大,无法准确控制,从而影响产品质量。对于低工作压力的精密控制最好采用上游控制模式,即控制进气端的流量实现反应室的压力稳定。[align=center][img=MOCVD压力控制,600,265]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/02/202202050858525574_7248_3384_3.png!w690x305.jpg[/img][/align][align=center][color=#990000]图1 MOCVD典型压力控制系统示意图[/color][/align](2)MOCVD工艺过程始终伴随着温度变化,而温度变化会严重影响工作压力的稳定性和可控性,因此要求在温度变化过程中同时实现工作压力的准确控制,这就要求进气和排气控制阀的响应速度越快越好,控制阀从全开到全闭至少要控制在5秒内,1秒以内更佳。(3)有些MOCVD工作气体带有腐蚀性,相应的阀门也需具有较强的抗腐蚀性以提高设备的连续正常工作寿命。(4)目前绝大多数控制都采用PLC模组,但极少PIC控制器能达到24位的模数转换精度,对于工作压力的精密控制,建议采用24位精度的PID控制器以充分发挥电容式压力传感器的高精度测量优势。本文将针对目前MOCVD设备和工艺中存在的上述问题,提出相应的解决方案。[size=18px][color=#990000]二、压力精密控制方案[/color][/size]在MOCVD工作压力范围内,一般要求在一定范围内,反应室内的工作压力可以在任意设定点上准确恒定。为了满足低压和高压的不同压力范围精密控制,所提出的压力控制方案是在原有的下游控制模式上增加上游控制模式,真空压力控制系统结构如图2所示,具体内容如下:[align=center][color=#990000][img=MOCVD压力控制,600,330]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/02/202202050900060793_95_3384_3.png!w690x380.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图2 MOCVD真空压力控制系统结构示意图[/color][/align](1)在反应室的进气口和排气口分别安装步进电机驱动的电子针阀和电动球阀,电子针阀直接安装在进气口处,电动球阀安装在排气口和真空泵之间。对于MOCVD设备,可增加一个气囊以对进入的工作气体进行按比例混合后再经电子针阀进入反应室。当在高压下进行控制时,可固定电子针阀的开度,仅调节下游的电动球阀;在低压下进行控制时,可固定电动球阀的开度,仅调节上游的电子针阀。由此可满足不同压力控制的需要。(2)电子针阀和电动球阀都有高速型节流阀,电子针阀的响应速度为0.8秒,电动球阀有两种响应速度型号,分别是5秒和1秒。针阀和球阀的阀体采用不锈钢,密封件采用FFKM全氟醚橡胶,超强耐腐蚀性,可用于各种腐蚀性气体和液体。(3)在MOCVD中一般采用1000torr或10torr量程的电容压力计进行压力测量,其精度可达±0.2%。也可采用更高精度±0.05%的真空压力传感器进行测量。由此,方案中采用专用的24位A/D采集的高精度PID真空压力控制器,以匹配高精度电容式压力传感器的测量精度,并保证控制精度。综上所述,通过以上方案的实施,可以在整个真空压力范围内,将压力波动控制在±1%以内,并会快速响应反应室的温度变化实现压力的快速恒定,同时耐腐蚀性密封件将大幅度提高阀门的使用寿命。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

  • 指针式与数字式万用表各有什么优缺点

    指针万用表是一种平均值式仪表,它具有直观、形象的读数指示。(一般读数值与指针摆动角度密切相关,所以很直观)。 数字万用表是瞬时取样式仪表。它采用0.3秒取一次样来显示测量结果,有时每次取样结果只是十分相近,并不完全相同,这对于读取结果就不如指针式方便。指针式万用表一般内部没有放大器,所以内阻较小,比如MF-10型,直流电压灵敏度为100千欧/伏。MF-500型的直流电压灵敏度为20千欧/伏。 数字式万用表由于内部采用了运放电路,内阻可以做得很大,往往在1M欧或更大。(即可以得到更高的灵敏度)。这使得对被测电路的影响可以更小,测量精度较高。 指针式万用表由于内阻较小,且多采用分立元件构成分流分压电路。所以频率特性是不均匀的(相对数字式来说),而指针式万用表的频率特性相对好一点。指针式万用表内部结构简单,所以成本较低,功能较少,维护简单,过流过压能力较强。数字式万用表内部采用了多种振荡,放大、分频保护等电路,所以功能较多。比如可以测量温度、频率(在一个较低的范围)、电容、电感,做信号发生器等等。 数字式万用表由于内部结构多用集成电路所以过载能力较差,(不过现在有些已能自动换档,自动保护等,但使用较复杂),损坏后一般也不易修复。数字式万用表输出电压较低(通常不超过1伏)。对于一些电压特性特殊的元件的测试不便(如可控硅、发光二极管等)。

  • PXJ-1型数字式离子计

    【题名】:PXJ-1型数字式离子计【全文链接】: https://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-DZJY198005006.htm

  • 【分享】U型管压力计的使用和安装

    [img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2007/01/200701111818_38605_1644966_3.gif[/img] U型管压力计的使用和安装 U型管压力计属液柱式压力计。根据流体静力学原理用一定高度的液柱所产生的静压力平衡被测压力的方法来测量正压力、差压和真空度.由于它结构简单、坚固耐用、价格低廉、使用寿命长若无外力破坏可永久使用,读取方便、而且在0.1MPa范围内其测量准确度比较高,并可通过注入不同的工作液而灵活地测量不同介质的正压力、差压和真空度.因此被广泛地用于工矿企业和科研院所各部门.U型管压力计的U型管是用高硼玻璃加工而成,其物理和化学性质稳定透明度好且不易碎裂,安装架是用优质木材加工的平板,可根据现场工作需要在上面灵活的钻孔和安装挂勾等配件.U型管压力计的安装可悬挂在墙壁和安放在工作台上,再用橡胶软胶管将被测介质接口与U形管的一个或二个管口连接, 安装中应注意尽可能地保持垂直这样可提高测量精度,读数时眼睛应与液面平齐,以工作液弯月面顶部切线为准读取液面高度.工作液注入量为标尺刻度的1/2处为好,常用的U型管压力计工作液有:水、水银、酒精、四氯化碳、三溴甲烷等.其测量公式为:P=(ρ1-ρ2)hg。式中: P为被测介质的压力即物理学中的压强.ρ1为工作液的密度。ρ2为被测介质的密度。h为液注高度差。 g为当地重力加速度(m/s2) 一般取9.8(m/s2).使用中还应注意被测压力必须小于或等于U型管压力计的测量范围的上限值,并注意保持U型管压力计管内壁及工作液的清洁纯净,不用时应将橡胶软胶管口扎紧或用纱布或者棉花堵住管口,以保持U型管压力计的测量精度。 武汉仪器仪表-吴欣民 027-62411040,027-82429843 E-mail:zpzgwd@126.com http://zpzgwd.blog.bokee.net

  • 广东第三方检测机构为你介绍:常见仪器计量校准

    力学计量是在力学现象从定性描述转变为定量描述中,研究力学测量理论与实践的计量科学。一般认为,它包括对质量、容量、压力、流量、密度、力值、力矩、功率以及描述振动物体运动状态的位移、速度、加速度等物理量的测量,也包括对表征材料机械性能的硬度等仪器校准技术参量以及基本物理常数重力加速度的测量。华品计量配备了一等活塞压力计、0.3级标准测力仪、能量发生器、扭矩测试仪、标准转速装置、压力校准装置、十万分精密天平、微差压检定装置、振动分析系统等精密仪器及标准件。可开展质量、衡器、力值、能量、扭矩、转速、压力、硬度、振动、冲击、密度、容量等项目的校准。[img]http://p2.pstatp.com/large/pgc-image/c0ffba0d987647b9a4bb3861f070bff3[/img][color=#cccccc][/color]常见仪器计量校准:砝码、质量测量仪器:标准砝码、专用砝码等。数字指示秤、模拟指示秤、非自行指示秤等衡器:电子天平、机械天平、架盘天平、扭力天平、液体比重天平、电子秤、电于皮带秤、定量包装秤、定量自动衡器、台秤等。拉力试验机、推拉力计、扭矩等力值测量仪器:推拉力计、数字式压力计、万能材料试验机等。压力表和真空表:精密压力表、数字压力表、压力(差压、绝对压)变送器、液体压力计、U型压力计、氧气乙炔表、各种级别的压力表等。

  • NPXM系列数字式显示仪表

    NPXM系列数字式显示仪表NPXM系列数字式显示仪表接受来自传感器或变送器的模拟信号,在表内部经模/数(A/D)转换变成数字信号,再由数字电路处理后直接以十进制数码显示测量结果。 NPXM系列数字式显示仪表具有测量速度快、精度高、抗干扰能力强、体积小、读数清晰、便于与工业控制计算机联用等特点,已经越来越普遍地应用于工业生产过程中。NPXM系列数字式显示仪表典型型号:NPXM-2011P3N、NPXM-2011P5N、NPXM-2012P5N、NPXM-2012P5N、NPXM-2012P3N、NPXM-2011P0N、NPXM-2011P1、NPXM-2011P2N、NPXM-2012P2NNPXM系列数字式显示仪表一般具有模/数转换、非线性补偿和标度变换三个基本部分。由于许多被测变量与工程单位显示值之间存在非线性函数关系,所以必须配以线性化器进行非线性补偿。NPXM系列数字式显示仪表通常以十进制的工程单位方式或百分值方式显示被测变量。NPXM系列数字式显示仪表的精度有三种表示方法:满度的±α %±n字、读数的±α %±n字、读数的±α %±满度的b %。n为显示仪表读数最末一位数字的变化,一般n=1。NPXM系列数字式显示仪表的性能指标还有分辨力和分辨率两概念。所谓分辨力是指仪表显示值末位数字改变一个字所对应的被测变量的最小变化值;分辨率是指仪表显示的最小数值与最大数值之比。NPXM系列数字式显示仪表外形尺寸:尺寸选择:160mm×80mm×94mm横式80mm×160mm×94mm竖式96mm×96mm×130mm方式96mm×48mm×110mm横式48mm×96mm×110mm竖式72mm×72mm×102mm方式48mm×48mm×110mm方式

  • 【求购】PH-3C数字式PH计的使用问题

    我现在是使用PH-3C数字式PH计测量水质的氟化物和PH值,原来测量数值在正常范围内,但现在开机时mv数值是-1,测量时mv数值也是-1,且换电极或短路也是在-600——-900之间变动,测量PH值是正常呢,我不知道是什么原因,恳请各位同仁予以指导为谢

  • 【分享】环境标志产品技术要求 数字式多功能复印设备(HJ/T 424-2008 )

    环境标志产品技术要求 数字式多功能复印设备 Technical requirement for environmental labeling products Digital multi-function copier device ( HJ/T 424-2008 代替HJBZ 40-2000 2008-07-01实施) 为贯彻《中华人民共和国环境保护法》,减少数字式多功能复印设备在生产、使用和处置过程中对人体健康和环境的影响,促进环保、节能产品的使用,制定本标准。本标准规定了数字式多功能复印设备(以下简称复印设备)环境标志产品的定义、基本要求、技术内容及检验方法。本标准适用于以复印为其基本功能,使用干式显影剂、热定影、普通纸的数字式复印机、数字式多功能一体机(多功能数码复印机、多功能数码复合机、多功能打印复印一体机、彩色复印机等)等复印设备。本标准为指导性标准,适用于中国环境标志产品认证。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:HJBZ 40-2000。 [img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=92282]环境标志产品技术要求 数字式多功能复印设备(HJ/T 424-2008 )[/url]

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