数字精密定位系统

北京时间4月20日8点02分，四川省雅安市芦山县(北纬30.3度，东经103.0度)发生7.0级地震，震源深度13千米。 　　国家卫星定位系统工程技术研究中心——武汉大学卫星导航定位技术研究中心利用“广域实时精密定位系统”成功捕获芦山地震信号。图中显示的是四川天全GNSS观测站(SCTQ)在地震期间的水平运动曲线和水平运动速度曲线。该测站为“中国大陆构造环境监测网络”观测站，位于震中的西部，距震中约33公里，观测站建设在基岩上，地震造成的最大振幅为2-3cm。 　　“广域实时精密定位系统”是“十一五”国家863计划支持完成的重点科研成果，该系统以广域差分和精密单点定位技术为基础，集成先进GNSS实时数据处理、互联网和卫星通信等技术，可实现全国范围厘米级到分米级的实时精密定位服务。该项研究成果可广泛应用于精密农业、交通运输、空中交通管理、国土资源调查、物联网、精确位置服务等重要领域，使其向信息化、服务型结构转变，实现跨越式发展。

近日，日照阿米精控科技有限公司参展了第十三届纳博会。展会现场，仪器信息网就解决方案、市场热点、国产替代等话题采访了日照阿米精控科技有限公司孟令臣工程师。孟令臣表示，日照阿米精控致力于解决精密仪器以及半导体产业的精密控制的一些“卡脖子”问题，带来了纳米电容传感器、系列纳米扫描平台、纳米定位平台等产品......更多观点请查看视频以下是对日照阿米精控科技有限公司孟令臣工程师的现场采访视频：2022年3月1-3日，由科技部、中国科学院指导，中国微米纳米技术学会、中国国际科学技术合作协会、国家第三代半导体技术创新中心（苏州）主办，苏州纳米科技发展有限公司承办的第十三届中国国际纳米技术产业博览会（CHInano 2023）在苏州国际博览中心举行。本届纳博会为期3天，聚焦第三代半导体、微纳制造、纳米新材料、纳米大健康等热门领域，开设1场大会主报告、11场专业论坛、344场行业报告、22000平米展览、2场创新创业大赛，包括19位院士在内的300余位顶级专家、行业精英齐聚一堂，新技术、新产品、新成果集中亮相，为大家奉上一场干货满满、精彩纷呈的科技盛会，推出专业论坛、创新赛事、沉浸式游学等系列活动，全方位释放大会红利，推动产业生态建设，共绘美好发展蓝图。回望过去，寄语未来。展会现场，仪器信息网采访了15位专家、厂商代表，分别谈了各自的与会感受以及他们眼中中国半导体、MEMS、OLED、半导体设备、科学仪器、微流控、封装技术等产业的发展现状和前景展望。

成果名称 高精密半导体激光系统的研制 单位名称 北京大学 联系人 马靖 联系邮箱 mj@labpku.com 成果成熟度 &radic 研发阶段 □原理样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产 成果简介： 在新一代高精度卫星全球定位系统中，星载原子钟、新一代原子干涉仪、新一代重力测量仪等精密测量设备都迫切需要频率稳定度高、对参考谱线具有自动识别功能的高精密外腔半导体激光器。此外，发展具有我国自主知识产权的高精密半导体激光技术，使我国摆脱此类高端激光依赖进口的被动局面，将为我国新一代的高精度卫星全球定位系统、环境检测技术和生物检测技术等高新技术的发展打下坚实的基础。 北京大学信息科学与技术学院陈徐宗教授申请的&ldquo 高精密半导体激光系统的研制&rdquo 项目，以研制具有国际先进水平的高精度可调谐半导体激光器和高精度倍频激光器为目标，瞄准该课题中的关键技术，着力解决高精度可调谐外腔半导体激光器的光栅反馈的稳定性、宽连续可调谐范围、中心波长范围等核心问题。 2009年，该项目获得了北京大学&ldquo 仪器创制与关键技术研发&rdquo 基金资助。在基金的资助下，通过关键器件的购置和实验材料的加工，课题组开展了一系列富有成效的工作，包括：外腔半导体激光头的研制、精密电源与高精密频率控制器的研制、精密光谱监测系统的研制、激光倍频光学系统的研制、倍频腔稳频电路的设计和精密控温器的研制等，实现了激光自动锁频、连续稳频、迁谱线智能识别等创新功能。在未来的工作中，课题组将进一步提升该系统的稳定性和可靠性，优化相关工艺设计，推动高精密半导体激光技术的发展与产业化。 应用前景： 在新一代高精度卫星全球定位系统中，星载原子钟、新一代原子干涉仪、新一代重力测量仪等精密测量设备都迫切需要频率稳定度高、对参考谱线具有自动识别功能的高精密外腔半导体激光器。

南极天文望远镜、空间引力波探测装置、极大规模集成电路制造装备、光刻机… … 这一系列关键装备的加工制造，都需要依靠超高精度的测量仪器对大量光学元件的各项参数进行测量。以往，超精密测量技术受到国外封锁，成为制约高端装备制造发展的瓶颈问题。近日，由上海理工大学光电学院庄松林院士领衔的韩森教授团队与苏州慧利仪器有限责任公司共建联合实验室所研发的国产化高端产品——数字化激光干涉仪进展顺利。据介绍，该项目研究成果技术难度大、创新性强，取得了多项自主知识产权，部分产品填补国内空白，PV值测量等核心指标及相关技术达到国际领先水平。有装备制造的地方就需要精密的测量仪器“简单来说，干涉仪就是将激光分为两束，照射至需要测量的器件上，再汇合产生干涉，从而精确地测量出被测件表面的形貌误差，包括平面、球面、柱面或者自由曲面。”韩森向科技日报记者介绍，数字化干涉检测技术是结合光学干涉测量原理与计算机技术、能够实现纳米精度的非接触式测量技术，是超精密光学计量、国家大科学装置及工程、高端工业检测领域最重要的手段之一。中国装备制造要实现突破，首先要解决制造质量问题，其核心关键就是超精密测量能力。“有装备制造尤其是高端装备制造的地方，就需要精密的测量仪器，国内精密测量仪器不能照搬国外的那一套，我们必须把核心技术掌握在自己手中。”韩森说道。团队针对中国高端检测仪器和技术的需求，系统性地开展了模块化激光干涉仪设计以及应用的关键技术的研究与攻关。他们首先基于模块化设计思路开发了激光干涉仪的核心关键部件和测量软件，形成了多种型号高精密数字化激光干涉仪；接着在满足高精度相对测量基础上提出绝对检测算法和闭环自检技术，使平面面形检测精度提高5倍。在双重身份中缩短创新与市场的距离技术创新到市场，还有多远的路需要走？“最后一公里”是科技成果转化的普遍难题。“早在2018年，上理工就与苏州慧利仪器有限责任公司共建联合实验室，以人为纽带，让高校教授长期深度对接产业，更有利于盘活一系列资源。”韩森表示，在“大学教授”和“创业者”的双重身份下，高校的基础创新与企业的技术实践紧密绑定，提高了科研成果转化率和使用效益。目前，项目成果完成了数字化激光干涉仪的工程化，研制出多种口径的商业化检测仪器，实现“产学研用”的完美结合。相关产品及技术已经在国家计量单位、国家大科学装置及工程、高精密光学机械加工行业等多家企事业单位进行推广应用，有助于提升中国高端检测仪器在市场的占有率，推动高精密检测技术发展。项目团队还参与起草国家行业标准、国家平晶检测规程和数字式球面干涉仪校准规范工作，填补国内空白。项目授权发明专利5项、实用新型专利5项，发表论文10余篇，荣获中国产学研创新成果一等奖、日内瓦发明展特别金奖等多个奖项。

近日，第3届高端测量仪器国际论坛暨第13届精密工程测量与仪器国际会议（IFMI & ISPEMI 2024）在山东青岛成功举办。会议邀请各国精密工程测量与仪器领域的高层科学家、专家与业界领袖，就国际精密工程测量与仪器领域面临的重大机遇、重大科学问题和关键技术问题展开深入研讨，展望其未来发展方向和技术路线等。会议期间，仪器信息网特别策划了专访环节，荣幸地邀请到了中国计量学会秘书马爱文，就我国精密测量仪器产业发展现状与建议、精密测量技术未来发展方向、制造业转型升级面临的挑战等话题展开分享。国产精密测量仪器产业发展面临瓶颈马爱文秘书长表示，“国内精密测量仪器的发展正面临瓶颈期。从更宏观的视角审视，精密测量技术是社会发展水平的缩影。我们过去常言，测得准才能造得精。这意味着，只有不断推进高精度测量仪器的研发与应用，才能引领产品向更高质量、更高精度迈进。以机械制造业为例，要实现高精尖产品的制造，其背后的工业母机必须具备远超产品本身的精度标准，而测量技术则需再上一层楼，至少达到母机精度的三分之一以上额外精度，方能确保产品的质量。然而，不可否认的是，我国在机械加工领域，包括精度、可靠性等方面，仍面临诸多挑战，这也在一定程度上折射出我国精密测量仪器及其技术与国际先进水平之间的显著差距。更为严峻的是，国际上的高精度产品禁运政策，如同一道无形的壁垒，严重制约了我国多个产业，尤其是高精度仪器仪表产业的发展。但我坚信，挑战与机遇并存，中华民族自古以来便以坚韧不拔、勇于探索著称，面对重重困难，我们定能迎难而上，研发出具有自主知识产权的高精度测量仪器，满足社会高质量发展的迫切需求。”多措并举，推动精密仪器产业高质量发展马爱文秘书长进一步谈到：“推动精密仪器产业的全面发展，需采取多维度策略，首要且核心的是计量测试技术的坚实基础。2018年国际单位制迎来重大变革，将七个基本量被定义于基本物理常数之上，为全球测量技术领域树立了统一的基准线。然而，要精准定义这七个基本量、构建坚实的计量基准体系，仍面临漫长且艰巨的探索之路。鉴于此，国家应聚焦基础研究，攻克计量基准难题，研发高精度仪器，为技术转化与社会应用奠定基础。同时，仪器仪表产业需加大科研投入，加速成果转化，将创新应用于实践。国家与产业界共同努力，才能推动我国精密仪器产业的蓬勃发展。高精密测量仪器的性能，实为整个产业技术水平的集中展现。其内部集成的芯片、精密齿轮及诸多基础零部件，其性能与品质直接决定了仪器的测量精度。这些部件共同构建了一个精密而复杂的产品系统，而系统性问题的解决，如误差调控，便成为推动仪器仪表产业向前发展的关键所在。以激光干涉仪为例，其高精度的实现同样依赖于多元零部件的精密配合。因此，零部件的质量、设计思路、制造工艺等因素，均对精密测量仪器的整体精度产生影响。中国若要在高精度测量仪器领域取得突破，不仅需计量部门的不懈努力，更需整个产业链上下游的协同提升。近年来，我持续关注国产仪器与国外同行在性能与市场上的差距。从设计等多个维度来看，国产仪器已在众多领域展现出替代进口产品的强劲实力。然而，在稳定性和可靠性方面，国产仪器及设备存在一定短板。以机床制造为例，德国机床采用经过30年应力消除的钢材制作导轨，以确保长期精度稳定，而国内企业往往难以达到这种高标准，甚至存在直接使用未经充分应力消除的钢材制作导轨的情况。这直接导致机床在使用一两年后，因应力变化而影响测量精度，发生精度漂移。此现象并非个例，也广泛存在于各类精密测量与测试设备中。国产设备在初期往往表现出色，但长期使用后精度下降的问题较为突出。尽管国家已建立了严格的检定校准制度作为外部保障，但提升设备自身的稳定性和可靠性才是治本之策。此外，在科研领域，前沿理论的探索与现场实际应用的紧密结合也至关重要。针对仪器设备在不同应用环境下的性能变化，特别是测量精度的波动及其对最终结果的潜在影响，亟需深入探究。当前，我国计量体系已臻完善，国家计量院专注于计量基准的研究，各省计量院则负责计量标准的制定。同时，众多高校与科研院所也在测量技术领域深耕细作。我们应凝聚各方智慧与力量，共同推动高精度测量技术及仪器的研发与转化进程，以切实满足企业及社会发展的实际需求。当前，国家高度重视这一领域的协同发展，通过NQI等支撑项目，积极促进产学研深度融合，确保企业界的广泛参与。”AI与量子测量赋能精密测量技术发展聚焦精密测量技术，仪器厂商正积极拥抱人工智能（AI）技术，通过深度融合与创新应用，实现测量精度与效率的双重提升。对此，马爱文秘书长认为，人工智能与精密测量之间相辅相成，不可分割。精密测量借助人工智能的算法优化，显著提升了测量精度；然而，若过度聚焦于人工智能，可能导致对测试技术基础工艺及零部件材料研究的忽视，从而限制了测量技术的整体进步。因此，他强调两者应形成良性的互动循环，人工智能为精密测量提供算法支持，精密测量则为人工智能算法提供精确数据，共同推动整个系统性能的大幅提升。在探讨精密测量的未来发展方向时，马爱文秘书长则表示：“量子测量技术无疑是一个极具潜力和前瞻性的领域。随着2018年国际单位制中七个基本单位全面基于基本物理常数重新定义，人类社会正式迈入了量子时代，极大地促进了量子测量技术的发展。量子测量技术，简而言之，是利用量子、原子、分子等微观粒子作为测量工具，依托其独特的物理特性（如体积小、能量高、带电性、磁性等）来精确感知和测量外界环境的变化。这一技术因其极高的灵敏度，在精密测量领域展现出前所未有的优势，被视为未来发展的重要方向。然而，量子测量仍需攻克诸多技术难题，如离子干涉、离子阱的精确控制、单控温色芯技术的突破等。这些技术挑战要求我们在研发过程中不断创新，攻克难关，以实现量子测量技术的突破与应用。尽管如此，量子测量的潜力和价值不容忽视。它将成为人类认知世界、利用自然规律的重要工具。因此，我衷心希望仪器仪表产业能够紧跟量子测量技术的发展步伐，积极投入研发创新，推出具有自主知识产权的量子测量产品与设备。”精密测量：筑牢数字化与智能化转型的基石2024年3月，工信部等七部门联合印发《推动工业领域设备更新实施方案》，围绕推进新型工业化，以大规模工业设备更新为抓手，实施制造业技术改造升级工程，以数字化转型和绿色化升级为重点，推动制造业高端化、智能化、绿色化发展。针对此重大举措，马爱文秘书长发表了深刻见解：“数字化转型是一个多维度、深层次的变革过程。基于我在工业计量与测量领域的研究，以及对众多工业企业的实地考察，我深刻体会到，我国工业发展尚处在1.0至2.0的初级阶段，数字化与智能化水平与国际前沿存在显著差距，这主要受限于历史工业基础薄弱。然而，值得注意的是，国内大型企业已积极投身数字化、智能化、网络化转型，并初显成效，特别是在汽车制造业中，智能化技术的应用彻底革新了这一传统行业。关于精密测量技术，对于大多数工业企业而言，当前或许并不需要过于高端的测量设备；但在高端装备制造领域，如芯片制造与航空航天关键部件（如齿轮）的制造中，高精度测量仪器不可或缺。这种高精度需求推动了精密测量技术的发展，反过来精密测量技术也促进了工业企业的智能化与快速化进程。传感器作为智能化的基石，其高精度制造同样离不开先进测量技术的有力支撑。因此，精密测量技术与工业智能化之间形成了相辅相成、共同发展的良性循环。工信部最新推出的大规模设备更新政策，旨在通过优化生产工艺与流程，引领工业企业借助数字化转型实现制造质量的提升。在此过程中，我强烈建议加强对测量仪器与设备的集成应用，将其直接嵌入生产流程，确保产品质量的显著提升。以汽车制造业为例，高精度测量技术是机床与机器人高效运作的关键。只有确保机器人装配精准无误，才能组装出高质量汽车。因此，我们必须将计量与高精度测试技术融入设备更新与工艺改造之中，确保每一次升级都是对品质追求的深刻实践，而非简单的设备替换。此外，国家大力倡导的数字化转型及大数据应用，其根基源自精准的测量技术，特别是稳定可靠的高精度数据。这些数据不仅是提升产品质量的基石，也是节能减排、精细化管理及应对气候变化等战略决策的重要依据。因此，我们呼吁将计量与测试技术贯穿于产品全生命周期的每一个环节，从设计、研发、制造到检验、报废，全程赋能产业升级，减少资源浪费，促进可持续发展。同时，这也为测量仪器制造企业与供应商带来了前所未有的发展机遇，但前提是他们必须持续提供高质量的产品与服务，以满足市场的测量需求。”采访中，马爱文多次强调，精密测量技术不仅是产业升级的基石，更是国家高端科研不可或缺的支撑。作为科学研究的先行者，高精度的测量仪器应广泛服务于各科研领域，提供可靠的测量手段。与此同时，智慧城市、智慧交通、医疗及生命科学等领域都离不开精密的测量设备与仪器。我衷心希望，全国的仪器仪表制造企业能够瞄准社会需求，研发出更多高质量、高性能的测量仪器设备，共同促社会进步与发展。

随着科技的进步，人们想要了解的现象越来越精细、想测量的信号也越来越微弱。而微弱信号常淹没在各种噪声中，锁相放大器可以将微弱信号从噪声中提取出来并对其进行准确测量。锁相放大器在光学、材料科学、量子技术、扫描探针显微镜和传感器等领域的研究中发挥着重要作用。国仪量子，赞1锁相放大器在精密磁测量中的应用在精密磁测量领域，特别是低频磁场测量领域，系综氮-空位（NV）色心磁测量方法发展迅速。其中连续波测磁系统是对NV色心施加连续的微波和激光进行自旋操控，从而实现高精度磁测量的实验系统。其基于NV色心基态的零场分裂和磁共振现象，当没有外磁场时，NV色心的ODMR谱如图所示，对NV色心打入共振频率的微波，其荧光强度最小。当存在外磁场时，外磁场会影响NV色心的塞曼劈裂的能级差，从而产生偏共振现象，使得荧光强度发生变化。我们将微波频率定于NV色心连续波谱的斜率最大处，则当外磁场发生变化，其荧光强度的变化最明显，从而提高测量的灵敏度。NV色心的ODMR谱为了提高测量信号的信噪比，通常采用锁相放大的方法，将微波信号进行频率调制，从而避开电测量系统的1/f噪声，实现更高的测量精度。其系统如下图所示，锁相放大器的参考输出信号和微波源进行频率调制后，通过辐射结构将微波电信号转化成磁场信号，作用于NV色心，然后将NV色心发射的荧光信号进行光电转换后用锁相放大器的电压输入通道进行采集，通过解调后即可得到系综NV色心样品的周围环境的磁场信号大小。参考文献：基于金刚石氮-空位色心系综的磁测量方法研究 -- 谢一进锁相放大器在磁成像——扫描NV探针显微镜中的应用扫描NV探针显微镜是利用金刚石NV色心作为磁传感器的扫描探针显微镜，其将光探测磁共振ODMR和AFM进行了巧妙结合，通过对钻石中NV色心发光缺陷的自旋进行量子操控与读出，来实现磁学性质的定量无损成像，具有纳米级的高空间分辨率和单自旋的超高探测灵敏度。国仪量子推出的量子钻石原子力显微镜其系统结构如下图所示，包括了NV色心成像系统和AFM控制系统。AFM控制系统负责将金刚石NV色心在待测样品上进行平面二维扫描，而NV色心对扫描区域的微弱磁信号进行高分辨率的探测，从而最终形成高分辨率的磁成像。在AFM的扫描过程中，金刚石与样品的距离是通过锁相放大器来进行控制的。金刚石NV色心固定在石英音叉上，形成探针。石英音叉有固定的振动频率，当探针在样品表面移动时，随着样品与探针的距离变化，石英音叉的共振幅度会发生变化。我们使用锁相放大器对音叉的振动信号进行采集和解调后，通过锁相放大器内部的PID反馈控制就可以实现样品位移台垂直方向（Z方向）的动态调节，从而使样品到NV色心探针的距离保持相同。锁相放大器主要用于AFM的控制系统中国仪量子数字锁相放大器LIA001MLIA001M锁相放大器是一款高性能、多功能的数字锁相放大器，基于先进硬件和数字信号处理技术设计，配合丰富的模拟输入输出接口，集可视化锁相放大器、虚拟示波器、参数扫描仪、信号发生器、PID控制器等多种功能于一体，有效的简化科研工作流程和设备依赖，提高科研效率和质量。数字锁相放大器LIA001M

托普云农全资子公司——浙江森特信息打造的桐乡“生猪精密智管”应用内设服务、治理两个端口，于在2021年7月15日正式上线，并于9月14日在“浙政钉”上架，在操作上实现电脑端和移动端的无缝衔接。且依托生猪智能生物耳标的信息采集监测和数据自动传输功能，对生猪生长性能和生产性能指标进行精细化管理，对生猪饲养、防疫、检疫、屠宰、调运、无害化处理等环节实施精准监管，让生猪生产管理更加智能精细，让政府监管服务更加高效便捷。 一、改革需求 生猪生产是事关国计民生的基础产业，但一直以来都存在数据采集统计费时费力、个体异常难以及时发现、政策需求不能及时满足等问题。 ①生猪生产周期长，业务环节多，政府部门难以精准掌握生猪数据，统计分析不够精细，对生猪生产形势研判和生产过程监管不能做到精准及时。 ②养殖主体疫病防控中个体异常难以及时发现，疫病防控任务较重，对生产技术、政策服务等方面的需求不能及时满足，产供销信息不能及时掌握，价格波动较大，抗风险能力弱。 ③生猪养殖管理流程复杂，疫病发现难、防控任务重、用工量大、养殖效率低。 二、改革创新 从重构养殖模式、建立预警体系以及再造服务流程三个方面进行改革： ①重构养殖模式 通过智能耳标将饲养管理由群体精准到个体，精确掌控生猪个体生产全流程，及时淘汰低下产能。 ②建立预警体系 及早预警个体异常、及时统计生产数据，提升养殖主体疫病防控的实效性和政府部门稳产保供的科学性。 ③再造服务流程 重塑“先打后补”政策补助制度，打通生猪生产与金融、保险等的关联数据，实现补助、服务一网办结。 三、改革成效 桐乡依托生猪智能生物耳标的信息采集监测和数据自动传输功能，在全省第一批开展数字畜牧多跨应用场景的“先行先试”，建设应用于生猪企业的服务端和应用于部门监管的治理端，让企业生产管理更加智能精细，政府监管服务更加精准高效，金融保险等三方服务更加便捷及时。 ①重塑生猪业务流程 重构生猪养殖、屠宰、防疫、检疫、饲料兽药、无害化处理等业务闭环流程，打造保险、贷款、产销、重大风险防控等精密智控体系，有利于政府部门准确研判形势，提前谋划工作政策。 ②企业服务更加便捷 生猪数据精准统计分析，产供销信息及时发布，免疫效果和健康状况及时掌握，检测服务线上开展，服务监管更加高效。 ③数据采集更加精准 养殖主体可通过智能生物耳标自动采集传输生产数据，提高数据采集的及时性和精确度，减少人工操作的工作量，还可对采集来的生猪信息进行分类，为主体安排生产提供数据依据。 ④饲养管理更加智能 通过智能生物耳标的体温监测功能，可以及时对体温异常猪只进行预警，便于管理人员及早发现问题，及早采取措施，起到积极防控动物疫病作用。另外，对生猪生产免疫等关键节点开展提示，免疫检测结果进行提醒预警，养殖档案数字化记录查询，生产指标开展对比分析，让养殖主体精准发现生产薄弱环节，更加有针对性开展提升。 桐乡“生猪精密智管”应用为养殖企业提供了精细化、智能化、便捷化的贴心服务，也撬动了畜牧业数字化改革的再深化。接下来，浙江森特信息将以此撬动畜牧业数字化改革再深化，全力打造“互联网+”高地上的人民群众满意的“智慧菜篮子”。

高端精密装备精度测量基础理论与方法谭久彬1 蒋庄德2 雒建斌3 叶 鑫4** 邾继贵5 刘小康6 刘 巍7 李宏伟4 谈宜东8 胡鹏程1 胡春光5 杨凌5 赖一楠4 苗鸿雁4 王岐东41. 哈尔滨工业大学 仪器科学与工程学院，哈尔滨 2. 西安交通大学 机械工程学院，西安3. 清华大学 机械工程系，北京4. 国家自然科学基金委员会 工程与材料科学部，北京 5. 天津大学 精密仪器与光电子工程学院，天津 6. 重庆理工大学 机械工程学院，重庆 7. 大连理工大学 机械工程学院，大连8. 清华大学 精密仪器系，北京 摘要完整而精确的测量信息获取是装备设计优化、制造过程调控和服役状态保持的基础，是实现重大装备“上水平”“高性能”的内在要素。本文分析了我国高端精密装备精度测量基础理论发展所面临的重大需求挑战，总结了当前高端精密装备制造精度测量理论、方法与技术领域的主要进展，凝炼了该领域未来5~10年的重大关键科学问题，探讨了前沿研究方向和科学基金资助战略。关键词：精密测量；高端精密装备；可溯源；极限测量；多场耦合测量；半导体测量；大尺寸测量在以超精密光刻机、高端飞机舰船为代表的复杂战略性装备制造领域，多源、多维、多尺度的测量信息及其融合实现装备性能优化设计、部件精度检验匹配、制造过程精细调控、服役状态长期保持的核心技术，是实现重大装备“上水平”“高性能”的内在要素支撑。 高端装备性能指标逼近理论极限，结构极其复杂，尺寸更加极端，材料物化特性更加特殊，多物理场耦合效应更加显著，传统基于产品几何精度逐级分解单向传递的制造精度测量理论体系难以保证超高性能指标要求。一方面，几何制造精度对最终性能的影响非线性效应显著，在零件—部件—组件—整机高度相关的序列制造过程中，单个环节的精度失调失配都会耦合发散传递；为避免装备整体性能失控，必须具备大量程、高精度、高动态、全流程实时监控的测量能力，在整体系统层面进行精度协调优化，保障最终制造质量与性能；另一方面，为保证超高性能的稳定实现，必须最大限度消除内在应力，全面分析材料物性、几何结构、环境工况等要素变化及其相互影响，急需突破现有技术条件，通过多源、多维、多尺度测量信息获取，对制造过程进行全面控制，使整机装备运行于设计最优状态，从而保证最高性能表现[1-5]。在当前全球制造面临智能化升级，我国以超高精度光刻机、先进飞机船舶为代表的诸多核心装备普遍存在“卡脖子”现象的背景下，召集相关领域同行专家，为我国高端精密装备制造精度测量技术发展把脉选向、凝聚共识，研讨面向高端精密装备制造的高精度测量发展路线，尤为迫切重要。1 高端精密装备精度测量研究现状与挑战 当前高端装备制造已从传统机械、电子、光学等单一制造领域主导，发展为创新聚集、信息集成、智慧赋能的多领域综合复杂产业体系，涵盖从芯片等核心元件到高端飞机船舶等重大装备各个方面。高端装备最终能够实现的性能源于对每个环节精度的精细调控，源于对整体状态信息的充分获取，源于测量理论方法及技术设备的不断完善。探索建立面向复杂装备制造的测量理论、方法与技术，支撑多环节、多层次、高精度的精度匹配调控已经成为精密复杂装备制造中的重要基础问题，并聚焦于：极端条件下可直接溯源几何量超精密测量；多物理场耦合多约束精度调控；多源、多维、多尺度测量信息高性能传感；智能制造大场景精密测量方法等四个重要方面(图1)。图1 高端精密装备精度测量研究聚焦领域1.1 极端条件下可直接溯源几何量超精密测量 在高端精密装备制造领域，极端条件下的可直接溯源几何量超精密测量，贯穿了装备核心零部件制造、整机集成、在役工作、制品质量表征和工艺提升整个过程，是装备自身精度和装备线工艺质量调控不可或缺的核心技术基础。可溯源能力将超精密测量结果直接参考到国际计量基准，可为极限测量精度的稳定实现提供根本保证，最大限度提升装备性能和运行品质，是超精密测量技术的公认发展方向。 传统计量溯源体系建立在严格控制、环境稳定的实验室条件下，而高端精密装备制造及运行过程伴随高速运行、严苛环境等极端条件，对实现可直接溯源的几何量超精密测量提出严峻挑战。如在光刻机制造领域，基于干涉原理的超精密多轴测量可将测量结果溯源至光波长基准[6,7]，对提高装备精度性能意义重大。下一代EUV光刻机线宽将达到1 nm，其核心部件——双工件台的运动速度超过1 m/s。为在高速运行条件下保证优于1 nm的超高定位精度，需要对工件台和曝光镜头进行高达22轴的冗余测量（图2a）。能满足ASML光刻机测量要求的高端超精密双频激光干涉仪只有美国Keysight、ZYGO等公司生产，“卡脖子”问题严重。尤其在下一代光刻机开发中，针对更高速、更多轴数的纳米精度测量问题，国内相关技术与装备尚需从光源系统、信号处理系统、光学元件和集成式干涉系统等方面展开全面深入研究[3, 9]，追赶国际先进水平。 在航空航天特种装备领域，其高温、高压、高速、高真空等特殊使用环境也对超精密测量技术提出极高要求。如航空超高音速飞行器的新型复材的工作温度超过1600 ℃，准确测量复材热膨胀系数可为飞行器气动外形设计和全周期寿命评估提供重要依据（图2b）[10]；对地观测用相机的地面装调和在轨工作环境条件完全不同，迫切需要适应真空、超低温且失重环境的在线原位超精密测量技术支持等[11,12]。我国在极端条件下精密测量方面的研究总体处于起步阶段，相关测量理论、技术装备和实验条件仍不完备，面对国内相关需求的急迫性和普遍性，开展可溯源的极限测量技术攻关，将具有重要战略意义和社会效益。图2 可溯源的极限测量典型应用场景1.2 多物理场耦合多约束精度调控 高端装备制造与服役环境更加恶劣，性能要求更加苛刻，智能化要求更加迫切。复杂恶劣环境下多物理场高精度感知技术、智能在线动态监测技术、测量可靠性与可溯源性已成为实现高端重大装备智能制造与高可靠服役的核心驱动技术和本领域前沿热点、难点问题。 国内外学者在多物理场智能感知方面的研究，聚焦于智能制造过程中的多物理场在位测量与重构方法[13]、多物理场动态监测与预测方法[14, 15]、典型构件制造工艺参数调控方法[16]等方向。在工业应用层面，波音、空客等航空公司已应用数字孪生技术初步实现了零构件制造中全局力位状态监测，但当前仍处于系统工程技术探索与优化阶段。我国在装备构件制造及服役过程中的多物理场感知领域亦开展了较深入研究，如在飞机机翼、发动机压缩盘等薄壁件制造中位移/应变/温度场动态监测与重构[17-19]、复材构件加工中多物理场多参量监测[20]、装备服役过程温度场、磁场全场感知与动态重构等方面[21]，已形成了系列静/动态多物理场全场在线感知与重构方法，但尚未形成完备的理论与技术体系。面向高端装备制造及服役工况高温、强磁场、狭小空间等极端复杂化的发展新趋势，多参量测量及精度溯源、多物理量强耦合动态演变机制、多物理场全场状态与边界约束映射关系、工艺参数实时调控，以及航空高端装备制造及服役维护性能的高性能动态测量等方面的研究需求将更加迫切，未来需要重点关注复杂物理场耦合原位高精测试、智能制造中的多物理量测量与解耦等相关原理与技术（图3）。图3 复杂制造工况下多物理场智能感知测量需求1.3 多源、多维、多尺度测量信息高性能传感 半导体芯片产业是国民经济的关键基础，芯片制造已经上升为国家最紧急和最重要的战略任务之一。半导体芯片的制造是一项极其复杂的系统性工程，其制造质量高度依赖于高精度检测技术及设备的支持，检测技术呈现出多源、多维、多尺度、高性能感测等突出特点，研发难度大、综合要求高，相关高端仪器装备已成为我国重点“卡脖子”问题[22]。 在半导体芯片制造领域，台积电和三星已实现了5 nm制程大规模量产并正在开展3 nm制程试产，而国内目前14 nm以下制程尚未量产。同时，半导体芯片制程已经从二维向三维发展[23, 24]，现有技术难以对具有高深宽比纳米结构的三维芯片进行准确测量，新型测量方法和相关设备的技术革新迫在眉睫[25-29]。从半导体芯片的发展趋势看，未来在工艺制程中，测量精度必然要求达到亚纳米量级。由于界面效应和尺度效应的影响，在加工过程中材料除了发生几何尺寸变化，还时常伴随着理化属性变化，使得在高功率、高频以及高速运行状态下，芯片热态参数的获取成为技术挑战[30,31]。半导体芯片测量技术及装备除了要求具备传统几何量测量能力，还需要具备热、磁、电等多物理场表征能力，亟需开展微观尺度下超越散粒噪声极限的多维/多物理场芯片原位测试技术及仪器研究，形成具有自主知识产权的半导体芯片核心测量方法和技术，解决三维半导体芯片中纳米结构多维多尺度测量难题（图4），推动新一代半导体芯片制造技术的发展，为我国在芯片领域实现“并跑”甚至“领跑”提供支持。图4 半导体芯片制造过程多源、多维、多尺度测量信息高性能传感需求1.4 智能制造大场景精密测量方法 航空航天大型复杂装备的超高性能必须依靠精确外形控制来实现，外形尺寸信息是控制制造过程、保证制造质量、提升产品性能的关键条件。目前，以激光跟踪仪为代表的球坐标单站测量仪器仍是该领域主流测量设备。以大飞机机身制造为例，通过一台或多台跟踪仪对大部件关键控制点坐标进行精准测量，为姿态分析、工装协同定位提供基础数据和决策依据，已成为机身数字化对接、总装等核心环节的标准工艺要求[32,33]。 作为数字化制造的发展进阶，智能制造将进一步由针对少量工艺控制点的坐标测量定位拓展为对人员、设备、物料、环境等多元实体外形、位姿及相互关系的全面、全程测量感知，测量需求表现出全局、并发、多源、动态、可重构、共融等全新特点[34,35]。大规模、多层次、实时持续的物理空间数据获取，特别是高精度空间几何量获取是实现复杂装备智能制造的前提和国内外相关研究的关注重点。虽然新型跟踪仪、激光雷达等通过绝对测距技术创新部分克服了传统跟踪仪遮挡导致断光的问题，提升了测量效率，但单站球坐标测量模式原理上只能实现单点空间坐标顺序测量，视角受限、功能单一，无法满足智能制造现场多目标、多自由度、快节拍的自动化测量需求[36,37]。以室内GPS、激光跟踪干涉仪为代表的多站整体测量设备采用空间角度、长度交会约束原理实现大尺度空间坐标测量，具有时间和空间基准统一的突出优势，但系统组成较为复杂，误差因素多，精度控制难度大，简化结构、控制成本、提升动态测量性能是其未来面临的技术挑战[38-42]。目前，上述高端仪器大部分处于欧、美、日少数厂商垄断生产状态，针对“工业4.0”等智能制造场景的预研布局也已启动。国内高校及研究机构虽已开展相关仪器研制，还需紧密把握全球智能制造升级机遇，面向下一代智能制造大场景新需求新特点，持续探索精密测量新体制、新方法、新技术，实现原理、技术、器件、装备系统性突破（图5），为我国制造业升级转型提供强有力的测量感知技术支撑。图5 智能制造大场景精密测量需求2 高端精密装备精度测量未来发展趋势预测2.1 极端条件下可直接溯源几何量超精密测量发展趋势 (1) 几何量超精密测量精度极限即将进入皮米尺度。当前主流光刻机中平面反射镜面型测量精度优于1 nm，下一代面型检测重复精度将达到10 pm，光刻机集成和长期在役工作中超精密运动部件的测量精度正从1 nm量级突破至0.1 nm量级；硅片光刻过程特征线宽测量精度也已进入原子尺度；空间引力波探测装备中镜片面型检测精度达到0.1 nm，相对位移测量精度达10 pm。面向高端装备核心零部件制造的皮米级超精密测量已成为下一阶段发展必然要求和重点攻关方向。 (2) 从静态/准静态测量向高速高效动态测量发展。超精密机床、光刻机等加工装备中，超精密运动目标的速度从0.1 m/s量级逐步提升到3 m/s以上；引力波探测中超精密位移测量对象，也将从地面的静止目标转变为4 m/s的准静态目标。随着上述动态测量技术和仪器的发展，相应的仪器计量校准装置也需从目前的完全静态计量测试升级到高速率动态计量测试。 (3) 从一维单参量离线测量转向多维复杂参量在线、在役测量。光刻机、超精密数控机床等先进装备多参量耦合、多轴运动加工的工作特性对传统机床基于单维多步测量的定期校准方式提出巨大挑战，迫切需要嵌入可直接溯源的7~22轴精密仪器进行在线在役测量。航空发动机叶片测量中，传统离线条件下测量低速转动叶片形状精度已无法满足研制需求，实际高速转动工作状态下对叶片形状进行在线在役的超精密测量成为亟待解决的问题。 (4) 从传统物理量/场精密测试到基于量子传感的超精密测试。先进制造技术与装备在制造过程中需要开展位置、姿态、压力等多维力学量的超精密感知，磁、温、电等多物理场的精确测量，即高性能高质量信息传感能力。未来亟需突破超高精度、超高分辨传感与溯源等关键技术，不仅需要通过技术和工艺创新，实现传统传感技术的微型化、精密化和智能化，更要开展基于量子信息调控的多场解耦方法与信息解算关键技术研究，研制核心传感器件与测试仪器，实现传感技术的跨越式发展。2.2 多物理场耦合测量与精度调控发展趋势 (1) 面向重大装备的复杂物理场耦合原位高精度测试。重大装备制造、服役过程伴随高温、高压、高转速、高冲击等复杂物理场强耦合作用，常规方法“测不了”“测不准”“难存活”。聚焦极端环境下感知机理与信号传输、多场环境因子耦合作用机制与抑制、多场耦合环境标定与量值溯源等科学问题，重点研究复杂物理场强耦合环境下传感测试新方法、环境因子作用模型及抑制/衰减方法、封装防护、可溯源测试与标校方法等，发展面向精密复杂测量体系的人工智能技术，通过智慧赋能解决复杂物理场耦合环境下超/跨量程、大动态范围、高精度测试难题，为原位高精测试开辟新思路。 (2) 面向高端装备制造的多物理量测量与解耦。高端装备关键部件制造过程待测参量呈多元、高动态、强耦合、表里兼顾等发展新趋势，传统测量方法难以满足。聚焦多物理场敏感机制与一体化传感解耦、多物理场全场状态与边界约束间映射、复杂多因素强耦合测量精度调控等科学问题，强调多源数据的有效集成，重点研究高端装备多参数测量多敏感功能柔性传感器、复杂环境下多物理场全场状态信息智能感知与估算、多参量关联演变下的工艺参数调控等，为保障高端装备制造性能提供理论支撑与技术基础。 (3) 微纳尺度形态性能多参数测量。微纳制造过程中材料形态、性能参数变化过程相互关联耦合，多参数同时观测是准确揭示制造过程内在规律机理的前提条件。聚焦高空间分辨力激光共焦显微成像、近场光学显微成像和原子力显微成像等原理，重点研究上述显微成像技术与散射光谱、LIBS光谱和质谱的高效、高分辨率联合测量方法，研究新型光谱/质谱信息高灵敏度探测机理与方法，实现微纳米制造中微纳尺度下力学、热学、光学等性能的多参数高分辨、高灵敏、高准确探测。2.3 多源、多维、多尺度测量信息高性能传感发展趋势 (1) 纳米/亚纳米量级高分辨率检测。随着半导体工艺结点的不断缩小，高分辨率检测技术面临空前挑战。比如：EUV掩模版检测分辨率需要达到原子级，等效检测分辨率达到10 nm以下。目前仅有德国Zeiss和日本LaserTech有商业化产品，我国在这方面尚无技术储备；前道晶圆检测方面，世界范围内10 nm以下节点的CD和缺陷在线检测技术仍未成熟。 (2) 三维复杂微纳结构精确检测。芯片制程正在从二维向三维发展。具有三维结构FinFET已经成为14 nm以下乃至5 nm工艺节点的主要结构，存储芯片也向具有大深宽比（80∶1）三维垂直结构的3D NAND发展，工艺难度随层数呈指数上升，必须对芯片三维结构进行精确测量，才能指导工艺优化并保证芯片功能。但现有检测设备仍难以对上述结构进行无损定量检测，极限特征尺度下的大深宽比芯片结构检测已经上升为世界性难题。 (3) 满足量产速度的高性能在线检测。量产速度决定生产成本。根据英特尔发布的需求数据，更大晶圆尺寸和更小工艺结点已成发展趋势，裸晶圆的量产速度需达到2～3分钟/片，这对检测设备的速度提出了更高的要求，极大地增加了研制难度。目前满足量产速度的在线检测方法在全球范围内仍处于研究探索阶段，高性能在线检测技术与设备将在半导体产业发挥至关重要的作用。2.4 智能制造大场景精密测量的现状与发展趋势 (1) 新型智能制造综合测量系统构建理论。面向智能制造过程超高精度、高动态、多模态、多尺度、多维度测量需求的全局信息测量感知是当前研究重点和难点。需要从底层理念创新入手，探索覆盖复杂智能制造大场景需求的综合测量新理论，解决统一空间、时间基准构建，多物理场耦合约束条件下的精度调控，面向生产场景的测量系统设计重构等基础原理问题，突破具备多目标绝对测距能力的新型可溯源光学定位、制造场景多模型精度分析及优化设计、制造环境因素实时监测与修正等关键技术，最终构建可服务智能制造大场景、全流程的多维、多层次、多任务可溯源高精度综合测量体系。 (2) 广域全局空间、时间基准统一测试方法。基于“测量场”概念构建全域整体测量系统可实现大场景空间基准统一，具有多任务、高精度、可扩展等独特优势，进一步完善多体、多自由度动态测量能力是相关技术能否融入智能制造的关键和重点。需要突破现有静态测量理论框架，探索融合时间—空间信息的高精度、可溯源动态测量新原理方法，研究整体网络精确时统、多观测量高速同步获取、时间—运动—空间信息联合建模表达及精度控制、溯源与补偿等系列关键技术，有效提升测量网络动态测量能力。 (3) 物理信息融合测量新原理。通过测量完成物理状态到信息数据的高质量转换，是建立物理信息融合，实现智能生产和精准服务的基础前提。还可预见，在全新物理信息融合环境下，高性能算力大为丰富、多元要素交互更为广泛、大数据记录更加完备，将为机械测试学科发展更高性能的新型感知测量理论提供前所未有的基础条件。面向未来物理信息融合制造环境的测量新原理将改变以往从“物理”到“信息”的单向传感模式，引入有限元分析模型、人工智能、大数据挖掘等先进信息手段与AR、VR新型交互模式，和现有物理传感方法形成映射联动，实现多源时空信息处理与物理实测手段相互补充，构建面向“人—机—环”共融的测量新模式，为进一步突破现有测量方法物理分辨率，拓展机械测试学科研究领域提供新的基础手段。3 未来5～10年高端精密装备精度测量发展目标及若干建议 针对以超精密光刻机、高端飞机舰船为代表的复杂战略性装备制造的“卡脖子”测量难题以及未来发展战略，通过顶层设计、集中力量、先期布局和协同攻关，在未来5～10年时间应实现以下突破： (1) 微纳特征结构(深)亚纳米级在位/动态测量方法及微环境误差传递与微环境超精密调控基础理论，多维高速高动态超精密测量方法与动态计量校准基础理论，量子精密测量与溯源方法； (2) 面向高端制造的微区形态性能多物理场多参数耦合机理、不确定度评估与量值溯源，光子—声子/自旋量子调控及其高精度传感与测量方法，以及传感器件与测试仪器； (3) 面向半导体制造的电磁波与物质相互作用的纳米量测新机理，泛薄膜体系跨尺度光学精密测量新原理，接触—非接触复合测量新模式，以及测量装备的校准与可溯源问题； (4) 面向智能制造的新型可溯源光学定位原理方法，融合惯性、时间信息的高性能全局测量网络动态测量方法，现场环境因素实时监测与修正方法，以及物理—信息融合测量新原理与方法。 建议着重围绕以下4个领域，通过关键技术攻关、前沿探索及多学科交叉深入开展原创性研究。 (1) 面向高端精密装备的核心零部件加工、集成及服役中的精密测量基础理论与复杂物理场耦合原位高精测试理论； (2) 面向高端制造与微纳精密制造的多物理量、多参数的形性测量基础理论； (3) 面向半导体制造的测量新原理，特别是超光学衍射分辨极限、高性能非破坏、智能质量检测等方面的测量基础理论； (4) 面向智能制造的测量基础理论，特别是综合测量系统构建方法，现场广域全局空间、时间基准统一测试新方法，物理信息融合测量新原理等。4 结 语 在当前国际形势深刻复杂变化的时代背景下，发展自主可控的高端精密装备精度测量技术及仪器，满足我国以超高精度光刻机、先进飞机船舶为代表的诸多核心装备制造急需，为中国制造在智能化升级中提供强有力支持，是历史赋予的重要使命。精密测量技术研究必须坚决贯彻“四个面向”的科研思想，深入高端装备一线，持续跟踪、预判高端精密装备精度测量基础理论最新动向，抽取真科学问题，深度解决挑战性问题；必须快速推进基础研究、技术突破及成果转化，与国家重点领域发展规划无缝衔接，实现对国家重大产业亟需的快速响应。同时，建议今后对高端精密装备精度测量基础理论持续高强度支持，推动重点突破，设立重大项目、重点项目群、或重大研究计划，资助“极端条件下可直接溯源几何量超精密测量方法”、“多物理场耦合测量与精度调控”、“多源、多维、多尺度测量信息高性能传感”、“智能制造大场景精密测量方法”等前沿领域，引领机械测试研究新方向，推动全国优势研究资源的协同攻关，实现“并跑”，甚至“领跑”，为全面支撑我国高端装备制造能力跨越式发展提供精密测量理论与技术保障。参 考 文 献（略）

智能制造装备产业“十二五”发展路线图 　　智能制造装备是具有感知、决策、执行功能的各类制造装备的统称。作为高端装备制造业的重点发展方向和信息化与工业化深度融合的重要体现，大力培育和发展智能制造装备产业对于加快制造业转型升级，提升生产效率、技术水平和产品质量，降低能源资源消耗，实现制造过程的智能化和绿色化发展具有重要意义。 　　“十二五”期间，智能制造装备将面向国民经济重点产业的转型升级和战略性新兴产业培育发展的需求，以实现制造过程智能化为目标，以突破九大关键智能基础共性技术为支撑，以推进八项智能测控装置与部件的研发和产业化为核心，以提升八类重大智能制造装备集成创新能力为重点，促进在国民经济六大重点领域的示范应用推广。经过5～10年的努力，形成完整的智能制造装备产业体系，总体技术水平迈入国际先进行列，部分产品取得原始创新突破，基本满足国民经济重点领域和国防建设的需求。具体是： 　　一、九大关键智能基础共性技术 　　1.新型传感技术——高传感灵敏度、精度、可靠性和环境适应性的传感技术，采用新原理、新材料、新工艺的传感技术(如量子测量、纳米聚合物传感、光纤传感等)，微弱传感信号提取与处理技术。 　　2.模块化、嵌入式控制系统设计技术——不同结构的模块化硬件设计技术，微内核操作系统和开放式系统软件技术、组态语言和人机界面技术，以及实现统一数据格式、统一编程环境的工程软件平台技术。 　　3.先进控制与优化技术——工业过程多层次性能评估技术、基于海量数据的建模技术、大规模高性能多目标优化技术，大型复杂装备系统仿真技术，高阶导数连续运动规划、电子传动等精密运动控制技术。 　　4.系统协同技术——大型制造工程项目复杂自动化系统整体方案设计技术以及安装调试技术，统一操作界面和工程工具的设计技术，统一事件序列和报警处理技术，一体化资产管理技术。 　　5.故障诊断与健康维护技术——在线或远程状态监测与故障诊断、自愈合调控与损伤智能识别以及健康维护技术，重大装备的寿命测试和剩余寿命预测技术，可靠性与寿命评估技术。 　　6.高可靠实时通信网络技术——嵌入式互联网技术，高可靠无线通信网络构建技术，工业通信网络信息安全技术和异构通信网络间信息无缝交换技术。 　　7.功能安全技术——智能装备硬件、软件的功能安全分析、设计、验证技术及方法，建立功能安全验证的测试平台，研究自动化控制系统整体功能安全评估技术。 　　8.特种工艺与精密制造技术——多维精密加工工艺，精密成型工艺，焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，微机电系统(MEMS)技术，精确可控热处理技术，精密锻造技术等。 　　9.识别技术——低成本、低功耗RFID芯片设计制造技术，超高频和微波天线设计技术，低温热压封装技术，超高频RFID核心模块设计制造技术，基于深度三位图像识别技术，物体缺陷识别技术。 　　二、八项核心智能测控装置与部件 　　1.新型传感器及其系统——新原理、新效应传感器，新材料传感器，微型化、智能化、低功耗传感器，集成化传感器(如单传感器阵列集成和多传感器集成)和无线传感器网络。 　　2.智能控制系统——现场总线分散型控制系统(FCS)、大规模联合网络控制系统、高端可编程控制系统(PLC)、面向装备的嵌入式控制系统、功能安全监控系统。 　　3.智能仪表——智能化温度、压力、流量、物位、热量、工业在线分析仪表、智能变频电动执行机构、智能阀门定位器和高可靠执行器。 　　4.精密仪器——在线质谱/激光气体/紫外光谱/紫外荧光/近红外光谱分析系统、板材加工智能板形仪、高速自动化超声无损探伤检测仪、特种环境下蠕变疲劳性能检测设备等产品。 　　5.工业机器人与专用机器人——焊接、涂装、搬运、装配等工业机器人及安防、危险作业、救援等专用机器人。 　　6.精密传动装置——高速精密重载轴承，高速精密齿轮传动装置，高速精密链传动装置，高精度高可靠性制动装置，谐波减速器，大型电液动力换档变速器，高速、高刚度、大功率电主轴，直线电机、丝杠、导轨。 　　7.伺服控制机构——高性能变频调速装置、数位伺服控制系统、网络分布式伺服系统等产品，提升重点领域电气传动和执行的自动化水平，提高运行稳定性。 　　8.液气密元件及系统——高压大流量液压元件和液压系统、高转速大功率液力偶合器调速装置、智能润滑系统、智能化阀岛、智能定位气动执行系统、高性能密封装置。 　　三、八类重大智能制造成套装备 　　1.石油石化智能成套设备——集成开发具有在线检测、优化控制、功能安全等功能的百万吨级大型乙烯和千万吨级大型炼油装置、多联产煤化工装备、合成橡胶及塑料生产装置。 　　2.冶金智能成套设备——集成开发具有特种参数在线检测、自适应控制、高精度运动控制等功能的金属冶炼、短流程连铸连轧、精整等成套装备。 　　3.智能化成形和加工成套设备——集成开发基于机器人的自动化成形、加工、装配生产线及具有加工工艺参数自动检测、控制、优化功能的大型复合材料构件成形加工生产线。 　　4.自动化物流成套设备——集成开发基于计算智能与生产物流分层递阶设计、具有网络智能监控、动态优化、高效敏捷的智能制造物流设备。 　　5.建材制造成套设备——集成开发具有物料自动配送、设备状态远程跟踪和能耗优化控制功能的水泥成套设备、高端特种玻璃成套设备。 　　6.智能化食品制造生产线——集成开发具有在线成分检测、质量溯源、机电光液一体化控制等功能的食品加工成套装备。 　　7.智能化纺织成套装备——集成开发具有卷绕张力控制、半制品的单位重量、染化料的浓度、色差等物理、化学参数的检测仪器与控制设备，可实现物料自动配送和过程控制的化纤、纺纱、织造、染整、制成品等加工成套装备。 　　8.智能化印刷装备——集成开发具有墨色预置遥控、自动套准、在线检测、闭环自动跟踪调节等功能的数字化高速多色单张和卷筒料平版、凹版、柔版印刷装备、数字喷墨印刷设备、计算机直接制版设备(CTP)及高速多功能智能化印后加工装备。 　　四、六大重点应用示范推广领域 　　1.电力领域——重点推进在百万千瓦级火电机组中实现燃烧优化、设备预测维护功能，在百万千瓦级核电站实现安全控制和特种测量功能，在重型燃气轮机中实现快速启停和复合控制功能，3MW以上风电机组的主控功能，变桨控制功能，太阳能热电站实现追日控制功能，在智能电网中实现用电管理、用户互动、电能质量改进、设备智能维护功能。 　　2.节能环保领域——重点推进在固体废弃物智能化分选装备、智能化除尘装备、污水处理装备上推广应用，实现各种再生原料的高效智能化分选、除尘设备和污水处理装备的自动调节与高效、稳定，在地热发电装备中实现地热高效发电建模与控制功能。 　　3.农业装备领域——重点推进在大型拖拉机及联合整地、精密播种、精密施肥、精准植保等配套机具成套机组，谷物、棉花、油菜、甘蔗等联合收获机械，水稻高速插秧机等种植机械装备上的应用，实现故障及作业性能的实时诊断、检测和控制，实现作业过程的智能控制和管理。 　　4.资源开采领域——重点推进在煤炭综采设备、矿山机械上应用，实现综采工作面设备信息与环境信息的集成监控、安全环境预警、精确人员定位等功能，在天然气长距离集输设备中实现全线数据采集和监控、运行参数优化、管道泄漏检测定位、站场无人操作或无人值守以及中心远程遥控功能，在油田设备中实现井口关键参数检测、数据处理及集中监测功能。 　　5.国防军工领域——重点推进专用机器人、精密仪器仪表、新型传感器、智能工控机在航天、航空、舰船、兵器等国防军工领域的应用。 　　6.基础设施建设领域——重点推进在挖掘机、盾构机、起重机、装载机、叉车、混凝土机械等施工装备上应用，实现远程定位、监测、诊断、管理等智能功能，在机场和码头建设领域推广应用，实现机场行李和货物的自动装卸、输送、分拣、存取全过程的智能控制和管理，集装箱装卸的无人操作与数字化管理。

2023年9月6日至8日，第二十届北京分析测试学术报告会暨展览会（简称BCEIA）在北京中国国际展览中心（顺义馆）成功举办。　　皖仪科技董事长臧牧、副总裁黄文平、副总裁臧辉、先进技术研究院院长张鑫、分析仪器事业部总经理程小卫、生命科学业务部总经理薛滔、市场与品牌中心总经理陈艳凤莅临现场，携手中国科学院江桂斌院士、中国科学院张玉奎院士、中国计量科学研究院高运华研究员等重磅嘉宾莅临新品媒体发布会，为新产品揭幕。　　BCEIA上首发展出三款新品分别是大气VOCs多组分动态监测系统、三重四极杆液质联用仪和数字PCR分析系统，均聚焦于高端质谱和生命科学领域，推动国内科学仪器行业技术发展。　　皖仪科技的综合实力和科研技术也吸引了众多媒体的关注。新品媒体发布会前后，多家媒体分批赶赴展台参观采访，深入报道了皖仪科技在精密科学仪器上的技术沉淀结果与未来发展方向。　　皖仪科技董事长臧牧在接受分析测试百科网记者的采访中说道：“分析仪器是高端仪器制造行业的基础，长期以来，一直受到国外技术的“卡脖子”。实现技术突破，打破国外技术垄断，是皖仪科技谋求未来长期有效发展的使命和必然要求。我们始终坚持研发创新和产品领先的战略，以实现‘国产替代’为初心，坚持‘客户导向、以人为本、诚实正直、严谨开放’的核心价值观。皖仪人不是做仪器，而是通过仪器为客户创造价值，解决客户痛点，踏踏实实地做中国科学仪器行业自主化进程的推动者。”　　黄文平先生在接受实验与分析网采访中表示：“我们希望通过展示四大事业部的综合实力，向市场传达我们在多元化领域的深厚专业知识和技术能力。为我们的各项业务开拓更广阔的市场。其次，我们正努力强化各个事业部的独立性和专业性，以更好地满足不同领域客户的需求。同时，我们也重视事业部之间的协同效应，通过合作创新，实现资源的最大化利用，提高公司整体的竞争力，更好地适应市场的变化和需求。”　　程小卫先生分享道：“同其他国产厂商相比，皖仪科技分析仪器产品定位高端，对标进口。LC3600超高效液相色谱仪，是国内第一家商品化的UPLC；IC6600多功能离子色谱仪，也是国内第一家商品化的多功能双系统离子色谱。我们先从高端产品开始研发，真正理解产品的底层技术，再向下延伸产品，形成产品矩阵。可靠与好用也是关键，从硬件到软件再到应用，全维度的产品可靠性满足客户在使用上的便捷与周全。同时，我们的应用解决方案团队对售前、售中和售后同步负责；对客户需求、市场热点、培训体系同步把控；形成从理解客户需求到满足客户需求的一站式服务体系。　　陈艳凤女士说：“皖仪科技致力于研发和制造高质量、高性能的科学仪器。我们坚持质量上上，价格中上、服务至上的经营理念；理解每个用户的需求都是独特的，提供个性化的解决方案，通过做仪器到帮助客户解决痛点，与客户协同共进；我们注重与客户的合作和沟通，建立“更可靠 共长远”的客户关系。持续关注客户的需求变化和反馈，以不断进化迭代的生命力，铸就更可靠的企业品牌，构建更为坚实共进的伙伴关系。”　　张鑫先生在接受仪器信息网采访中提到：“公司会持续不断地加强研发投入。在产品线方面，皖仪科技在未来会进一步加强工业与环境、工业检漏、分析仪器三大领域的新产品开发力度。不断开拓产品全新的应用场景，紧跟科技前沿，占领全新应用赛道。开展应用基础研究和重大核心技术攻关，解决精密科学仪器产业共性难题，研制一批光谱、色谱、质谱等高端仪器；未来不断开拓生命科学和医疗领域，比如分子诊断、微创手术和血液透析等方向。”　　为期三天的盛会中，众多业内专家、合作伙伴、用户及国际来宾踏足皖仪科技展台，参观、咨询、洽谈。我们认真倾听每位的需求为他们提供定制化的产品解决方案，贯彻着皖仪人从“做仪器”到“通过仪器为客户创造价值，解决客户痛点”的底蕴转变。　　二十岁的皖仪科技正值蓬勃年华，我们胸怀初心，是各行各业科研及分析测试用户路上更可靠的伙伴，奔向长远未来的同行者；我们夯实发展路径，追求卓越，客户至上；我们汇科学仪器之精密，融生命科学于未来！

近日，精密测量院影像大地测量与地球动力过程团队，开展了国内首次冰川透视与层析遥感飞行试验的地面测量工作，采集了青藏高原八一冰川冰下地形、冰崖等数据，并开展了机载P波段SAR地面定标同步观测，为此次中科院青藏所组织的八一冰川航空遥感试验提供了重要的地面观测资料，也为中科院西北院八一冰川冰芯钻取位置精确确定提供了可靠参考。 　　精密测量院研究员江利明组织制定了此次地面测量总体方案，并受邀参与了航空遥感方案论证的指导工作。由精密测量院博士后杨波和博士生庞校光、刘易、李晓恩、蒲颂文、闻鑫等6人组建而成的八一冰川空地联合野外观测党员突击队，历时近20天，圆满完成了航空立体测绘像控点和雷达角反射器布设与定位、GPR冰下地形测量、冰崖地面激光三维扫描等地面观测任务。 　　本次作业难度大、任务繁重，仪器需搬运到海拔高度4800米以上开展陡坡冰面上测量，包括22处像控点与角反射器 GPS-RTK同址观测、7条总长超7公里GPR测线观测和1公里长冰崖激光点云扫描。多数队员首次登上高海拔地区，出现头痛、发烧等不同程度高原反应，但热情高涨，克服了各种困难，坚持完成既定任务。 　　2023年3~4月，中科院青藏所牵头，联合中科院空天信息院、精密测量院、西北生态环境资源研究院等多家单位，在黑河上游青海省海北藏族自治州八一冰川开展冰川透视与层析遥感航空飞行试验。利用新舟60遥感飞机，同时集成航空遥感系统多波段合成孔径雷达P波段、L波段调频连续波雷达、激光雷达、高分辨率线阵数字航空相机，并同步开展机载SAR地面定标和冰川厚度等地面观测。低频SAR层析技术是青藏高原冰下地形精细重建的一种新途径，可透视冰雪并对冰川内部结构三维成像，此次航空遥感飞行试验为国产P波段冰冻圈卫星的计划论证提供重要支撑。

当今世界正经历百年未有之大变局，国内外环境的深刻变化既带来一系列新机遇，也带来一系列新挑战。习近平总书记指出，制造业是国家经济命脉所系，是立国之本、强国之基。“十四五”时期，是推动制造业高质量发展的关键期，也是产业进入全面工业化的攻坚期、深度工业化的攻关期。广东省从2019年12月开始，组织省有关单位开展制造业高质量发展系列调查、研究、论证，出台《广东省制造业高质量发展“十四五”规划》（以下简称“《规划》”），作为“十四五”时期推动全省制造业高质量发展的重要指引性文件。本《规划》纳入广东省“十四五”重点专项规划，是制造业领域唯一的一个“十四五”省重点专项规划。《规划》提出，“十四五”时期将立足广东省制造业发展基础及未来发展趋势，继续做强做优战略性支柱产业，高起点培育壮大战略性新兴产业，谋划发展未来产业：一是巩固提升战略性支柱产业。战略性支柱产业是广东制造稳定器，具体包括新一代电子信息、绿色石化、智能家电、汽车、先进材料、现代轻工纺织、软件与信息服务、超高清视频显示、生物医药与健康、现代农业与食品。二是前瞻布局战略性新兴产业。战略性新兴产业是广东制造推进器，具体包括半导体及集成电路、高端装备制造、智能机器人、区块链与量子信息、前沿新材料、新能源、激光与增材制造、数字创意、安全应急与环保、精密仪器设备。三是谋划发展未来产业。未来产业是会对未来经济社会发展产生重要支撑和巨大带动作用的先导性产业。聚焦发展前沿领域，立足全省技术和产业发展基础优势，积极谋划培育卫星互联网、光通信与太赫兹、干细胞、超材料、天然气水合物、可控核聚变-人造太阳等若干未来产业领域。精密仪器产业集群纳入广东省“十四五”十大战略性支柱产业布局之一。《规划》指出，未来将在广州、深圳、珠海、佛山、东莞、惠州、中山、江门、肇庆、汕头、潮州、湛江、茂名、韶关、梅州、河源、清远、云浮18个城市布局建设精密仪器设备产业集群。广东省各城市仪器产业发展布局城市仪器发展布局广州健康监测仪器和检测设备智能水电气表和智能传感器钟表与计时仪器产品医疗仪器设备及器械制造数控设备精密仪器工业自动化测控仪器与系统大型精密科学测试分析仪器高端信息计测与电测仪器（高精度电测仪器、户外高加速老化试验仪、高精度多声道超声波流量计、5G数据采集综合测试仪、高精密触发测量、高精密扫描测量等）深圳健康监测仪器和检测设备智能水电气表和智能传感器钟表与计时仪器产品医疗仪器设备及器械制造数控设备精密仪器工业自动化测控仪器与系统大型精密科学测试分析仪器高端信息计测与电测仪器（高精度电测仪器、户外高加速老化试验仪、高精度多声道超声波流量计、5G数据采集综合测试仪、高精密触发测量、高精密扫描测量等）珠海医疗仪器设备及器械制造大型精密科学测试分析仪器佛山医疗仪器设备及器械制造数控设备精密仪器大型精密科学测试分析仪器红外光谱仪等测量仪器东莞智能水电气表和智能传感器数控设备精密仪器大型精密科学测试分析仪器中山数控设备精密仪器共焦显微仪器、超精密多轴基台和平板在线检测装备等大型精密科学测试分析仪器江门医疗仪器设备及器械制造数控设备精密仪器大型精密科学测试分析仪器肇庆数控设备精密仪器大型精密科学测试分析仪器汕头医疗仪器设备及器械制造大型精密科学测试分析仪器阳江数控设备精密仪器韶关数控设备精密仪器河源钟表与计时仪器产品广州、深圳、珠海、佛山四大城市被纳入精密仪器设备产业集群布局核心城市，东莞、惠州、中山、江门、肇庆、汕头、韶关、河源八大城市被纳入精密仪器设备产业集群布局重点城市，潮州、湛江、茂名、梅州、清远、云浮六城被纳入精密仪器设备产业集群布局一般城市。“十四五”时期全省制造业总体空间布局图（说明：产业集群区域布局的重要程度用★的数量表示，其中★★★标注核心城市，★★标注重点城市，★标注一般城市；未标星的地市可以结合自身实际谋划发展。）“十大”战略性支柱产业布局产业集群珠三角地区沿海经济带东翼沿海经济带西翼北部生态发展区具有布局该集群的地市数量广州深圳珠海佛山东莞惠州中山江门肇庆汕头汕尾揭阳潮州湛江茂名阳江韶关梅州河源清远云浮（个）11.半导体与集成电路★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★1112.高端装备制造★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★1513.智能机器人★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★1314.区块链与量子信息★★★★★★★★★★★★★★★815.前沿新材料★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★1616.新能源★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★1417.激光与增材制造★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★1318.数字创意★★★★★★★★★★★★★★★★819.安全应急与环保★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★1820.精密仪器设备★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★18各地市布局的新兴产业集群数量（个）101010101089107844562443532此外，在广东省多个重点领域发展布局中也提到了大力发展科学仪器：（一）新一代电子信息重点细分领域发展健康监测仪器和检测设备、智能水电气表和智能传感器。（二）现代轻工纺织重点细分领域发展钟表与计时仪器产品。（三）生物医药与健康重点细分领域发展医疗仪器设备及器械制造，包括体外诊断产品、先进医疗设备、医学影像诊断类、放射治疗类、医用电子仪器类、基因测序等。（四）高端装备制造重点细分领域发展智能化数控设备精密仪器、激光装备、高端医疗设备装备与精密制造、智能化仪器仪表、新型传感器、专用智能检测设备、专用核心元器件、高端装备零部件等。（五）区块链与量子信息领域，开展量子计算、量子精密测量与计量、量子网络等新兴技术研发与应用，建立先进科学仪器与“卡脖子”设备研发平台。（六）前沿新材料领域开发高端测试仪器设备，突破材料基因工程的高通量计算/实验/专用数据库等关键技术，促进平台融合和协同。（七）精密仪器设备领域，巩固提升示波器、监护仪、血细胞分析仪、功率分析仪、基因测序仪、质谱仪等国内国际领先优势。重点突破工业自动化测控仪器与系统、大型精密科学测试分析仪器、高端信息计测与电测仪器等领域技术研发与产业化应用。支持新型传感技术、智能化技术、计量测量技术、功能安全控制技术等共性核心技术研究与产业化应用，打造贯穿创新链、产业链的创新生态系统。到2025年，精密仪器设备产业规模达到约3000亿元，基本建成产业结构布局合理、自主创新能力突出、具有核心国际竞争力的世界级现代化产业集群。精密仪器设备重点细分领域发展空间布局1.工业自动化测控仪器与系统。以珠三角地区为核心，重点支持广州、深圳开展精密仪器设备研发创新、制造，广州加快推进面向消费电子产线的模块化嵌入式仪器平台、基于AI的产线视觉测试平台、面向自动化产线的模块化夹具与载板平台等研制工作。深圳加快OCA(光学胶)自动全贴合设备研发。中山加快“超精密仪器技术与工程产业化及研发中心”建设，研发共焦显微仪器、超精密多轴基台和平板在线检测装备等。2.大型精密科学测试分析仪器。以广州、深圳为核心，支持东莞、佛山、江门、肇庆、珠海、中山、汕头等市发挥生产制造优势，建设精密仪器设备生产基地，支持其他市做好产业配套发展。支持广州、深圳等市高校、科研院所加强精密仪器设备检测创新原理和方法的基础研究，解决精密仪器设备的关键技术问题，逐步实现精密仪器设备产业的短板技术与关键设备国产化突破和进口替代。支持广州加快建设粤港澳大湾区高端科学仪器创新中心，以质谱仪器开发为主线，重点攻克激光器、离子源、真空系统、数据采集等关键核心技术。在广州、深圳、佛山、东莞、珠海等市布局建设精密仪器设备科技产业园区，支持中山西湾国家重大仪器科学园、东莞松山湖科技产业园区、广州生命科学大型仪器区域中心等各类专业园区(中心)建设。3.高端信息计测与电测仪器。以广州、深圳为核心，加快高精度电测仪器、户外高加速老化试验仪、高精度多声道超声波流量计、5G数据采集综合测试仪、高精密触发测量、高精密扫描测量等仪器研发创新，支持开展环境应力筛选、可靠性强化、产品寿命等可靠性工程试验、产品可靠性检验检测等应用。支持佛山加快红外光谱仪等测量仪器研发创新。《规划》提出，到2025年，广东省制造强省建设迈上重要台阶，制造业整体实力达到世界先进水平，创新能力显著提升，产业结构更加优化，产业基础高级化和产业链现代化水平明显提高，部分领域取得战略性领先优势，培育形成若干世界级先进制造业集群，成为全球制造业高质量发展典范。展望2035年，制造强省地位更加巩固，关键核心技术实现重大突破，率先建成现代产业体系，制造业综合实力达到世界制造强国领先水平，成为全球制造业核心区和主阵地。全文如下：广东省制造业高质量发展“十四五”规划目录前言… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 5第一章发展现状和发展趋势… … … … … … … … … … … … … … 7第一节发展现状… … … … … … … … … … … … … … … … … … … 7第二节发展趋势… … … … … … … … … … … … … … … … … … 11第二章总体要求… … … … … … … … … … … … … … … … … … 13第一节指导思想… … … … … … … … … … … … … … … … … … 14第二节基本原则… … … … … … … … … … … … … … … … … … 14第三节发展定位… … … … … … … … … … … … … … … … … … 16第四节主要发展目标… … … … … … … … … … … … … … … … 17第三章发展重点方向… … … … … … … … … … … … … … … … 20第一节巩固提升战略性支柱产业… … … … … … … … … … … 20第二节前瞻布局战略性新兴产业… … … … … … … … … … … 39第三节谋划发展未来产业… … … … … … … … … … … … … … 54第四章重大工程… … … … … … … … … … … … … … … … … … 55第一节实施强核工程，完善制造业协同创新体系… … … … 55第二节实施立柱工程，打造具有国际竞争力的产业集群和企业群… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 58第三节实施强链工程，

近期，天津市工业和信息化局公布了2022年第29批天津市企业技术中心认定名单，含天津三英精密在内的46家企业顺利通过认定。企业技术中心是由市工业和信息化局主导发起的为深入实施创新驱动发展战略，充分发挥企业技术中心在建立以企业为主体、市场为导向、产学研深度融合的技术创新体系而开展的认定评审。天津三英精密品牌始于2013年，作为国际上少数几家掌握微纳米级三维显微透视成像检测技术的企业，公司定位于聚焦X射线三维成像检测装备研发和制造，专注为多领域的科研及高端制造提供科学完善的数字解决方案。自成立以来，三英精密积极拓展技术创新体系，重点发展自主核心技术的研发，拥有博士后工作站及数十家国内外知名科研院企联合建立的研发基地，共同开展科研合作、分享创新成果，增强成果转化能力。同时，以适配市场需求为导向，公司丰富自身多系列产品线，基本覆盖X射线CT全品类产品，无论是应用于科学研发还是为工业生产的智能制造提供可靠的解决方案，均可以满足。目前，三英精密已成为国际国内工业CT产品技术指标领先、产品线齐全的高新技术企业。三英精密此次获认定标志着公司在研发创新体系、技术制造的整体实力迈入新台阶，为企业继续保持核心竞争力创造了良好条件。未来，公司将持续加强公司自主技术创新能力以及科技成果转化能力，为企业持续、健康、快速发展提供强有力的技术支撑！

近期，BMF摩方公司面向全球市场发布第二代超高精密微立体光刻3D打印系统microArch™ S240，该款新机在深圳研发生产，现已开启全球预售。microArch™ S240一直以来，摩方超高精密3D打印系统，以其超高分辨率和微尺度加工能力闻名于业界。那么，microArch S240作为第二代机型，拥有哪些特点呢？首先，S240保持了第一代S140打印机在高精密方面的特点——10μm打印精度，±25μm加工公差。同时，为了更进一步满足客户在精密结构件加工尺寸、加工效率及加工材料等方面的需求，S240具备更大的打印体积（100mm×100mm×75mm），打印速度提升最高10倍以上，能够生产更大尺寸的零部件，或实现更大规模的小部件产量。在打印材料方面，S240支持高粘度陶瓷(≤20000cps)和耐候性工程光敏树脂、磁性光敏树脂等功能性复合材料，极大满足了工业领域制造对产品耐用的需求，也为科研领域开发新型功能性复合材料提供支持。microArch™ S240使microArch S240超高精密3D打印机成为理想的科研和工业生产设备，其附加特性包括：①先进的薄膜滚刀涂层技术允许更高的打印速度，使打印速度最高提升10倍以上；②能够处理高达20000cps的高粘度树脂，从而生产出耐候性更强、功能更强大的零部件；③能够打印工业级复合聚合物和陶瓷光敏材料，包括与巴斯夫合作开发的全新功能工程材料。microArch S240技术原理microArch S240基于BMF摩方的专利技术——面投影微立体光刻技术（PμSL）构建，并融入了摩方自主开发的多项专利技术。摩方PμSL是一种微米级精度的3D光刻技术，这一技术利用液态树脂在UV光照下的光聚合作用，使用滚刀快速涂层技术大大降低每层打印的时间，并通过打印平台三维移动逐层累积成型制作出复杂三维器件。因其复杂精密零部件快速成型的特点，摩方PuSL技术成为众多领域原型器件开发验证和终端零部件小批量制备的最佳选择。这些领域包括：电子通讯、微电子机械系统、医疗器械、生物科技和制药、仿生材料、微流控、微观力学等众多领域。“microArch S240 是摩方的一款面向工业批量生产的超高精密3D打印机。”摩方首席技术官夏春光博士说道，“它不但解决了市场上高精密3D打印技术慢的缺陷，同时还极大放宽了精密3D打印对材料的要求，比如拓宽了树脂的粘度范围，树脂中添加纳米颗粒等。因此它极大的推动了高精密3D打印从科研向工业的扩展。”

BMF摩方公司面向全球市场发布第二代超高精密微立体光刻3D打印系统microArch™ S240，该款新机在深圳研发生产，现已开启全球预售。microArch S240一直以来，摩方超高精密3D打印系统，以其超高分辨率和微尺度加工能力闻名于业界。那么，microArch S240作为第二代机型，拥有哪些特点呢？首先，S240保持了第一代S140打印机在高精密方面的特点——10µm打印精度，±25µm加工公差。同时，为了更进一步满足客户在精密结构件加工尺寸、加工效率及加工材料等方面的需求，S240具备更大的打印体积（100mm×100mm×75mm），打印速度提升最高10倍以上，能够生产更大尺寸的零部件，或实现更大规模的小部件产量。在打印材料方面，S240支持高粘度陶瓷(≤20000cps)和耐候性工程光敏树脂、磁性光敏树脂等功能性复合材料，极大满足了工业领域制造对产品耐用的需求，也为科研领域开发新型功能性复合材料提供支持。技术原理 microArch S240技术原理microArch S240基于BMF摩方的专利技术——面投影微立体光刻技术（PµSL）构建，并融入了摩方自主开发的多项专利技术。摩方PµSL是一种微米级精度的3D光刻技术，这一技术利用液态树脂在UV光照下的光聚合作用，使用滚刀快速涂层技术大大降低每层打印的时间，并通过打印平台三维移动逐层累积成型制作出复杂三维器件。因其复杂精密零部件快速成型的特点，摩方PuSL技术成为众多领域原型器件开发验证和终端零部件小批量制备的最佳选择。这些领域包括：电子通讯、微电子机械系统、医疗器械、生物科技和制药、仿生材料、微流控、微观力学等众多领域。“microArch S240 是摩方的一款面向工业批量生产的超高精密3D打印机。”摩方首席技术官夏春光博士说道，“它不但解决了市场上高精密3D打印技术慢的缺陷，同时还极大放宽了精密3D打印对材料的要求，比如拓宽了树脂的粘度范围，树脂中添加纳米颗粒等。因此它极大的推动了高精密3D打印从科研向工业的扩展。”microArch S240 附加特性 使microArch S240超高精密3D打印机成为理想的科研和工业生产设备，其附加特性包括： 先进的薄膜滚刀涂层技术允许更高的打印速度，使打印速度最高提升10倍以上；能够处理高达20000cps的高粘度树脂，从而生产出耐候性更强、功能更强大的零部件；能够打印工业级复合聚合物和陶瓷光敏材料，包括与巴斯夫合作开发的全新功能工程材料。官网：https://www.bmftec.cn/links/4

一家公司的品牌定位，往往反映了公司的经营理念和发展方向。近日，正值朗铎科技建立八年之际，朗铎科技官宣对品牌定位进行全面升级，正式升级为“材料分析数字化解决方案服务商”。2014年，朗铎科技以“成就客户，以人为本，专业高效，创新共赢”为初心，怀抱“让实验更简单”的情怀，将工业实验室分析与便携快速检测相结合，凭借过硬的产品技术，在工业分析领域画上了浓墨重彩的一笔！从2014到2021，朗铎科技经历了无数次具有里程碑意义的瞬间，完成了一次次蜕变：2014年 朗铎科技成立，与赛默飞世尔建立战略合作伙伴关系2015年 成立朗铎创新研究中心，专注产品与应用研发2016年 朗铎科技销售额破亿，实现业绩100%增长2017年 朗铎科技成为尼通产品全国授权售后服务提供商，尼通中国区技术服务中心挂牌成立2018年 朗铎科技成为ARL EasySpark中国区经销商、服务提供商2019年 发布朗铎科技手持式X荧光光谱仪FAS21002020年 朗铎科技成为赛默飞世尔LIBS全国总代理商及售后服务商2021年 发布朗铎科技FASO自动化在线成分分析仪回顾过往的八年，朗铎科技很骄傲，能成为众多朗铎人迈向更广阔人生的起点；也很荣幸，在这个风起云涌的时代，能与众多信任朗铎的客户一起，见证了彼此的成长。2021年12月1日，朗铎科技正式完成品牌定位的全面升级，正式成为“材料分析数字化解决方案服务商”。此次品牌升级基于国家“工业4.0”的发展目标，在公司全面向数字化、自动化、智能化转型的战略背景下，将为客户提供更前沿的仪器，更专业、更智能、更完善的技术服务。与此前相比，此次公布的全新品牌定位中“数字化”和“服务”两大旗帜鲜明的关键元素尤为突出。在国家工业向着“4.0时代”发展的今天，数字化、自动化、智能化已经成为发展的主流。朗铎科技也顺应时代发展，自主研发了自动化产品——FASO 智能在线成分分析仪和FASO Pro全自动成分分析系统，可以帮助客户在无人或少人的参与下，实时评估产品质量、改进生产工艺、提升生产效率。产品的数字化、自动化、智能化将是朗铎科技未来发展的目标。另一方面，在产品同质化日益加剧的今天，除了产品质量过硬外，市场对服务也提出了更高的要求。朗铎相信：优质的产品与完善的服务才是企业生存的必要条件。因此，公司不断加强在服务方面的投入，并将汽车的4S理念“移植”到了仪器领域，建立实体的客户体验中心，为客户提供整机销售（Sale）、零配件供应（Sparepart）、售后服务（Service）、信息反馈（Survey）为一体的一站式服务。截至目前，朗铎科技已在全国开通7家手持光谱仪4S店。同时，朗铎科技已连续3年开展“技术服务万里行”活动，通过走访交流、维护保养、演示培训等上门服务，让客户的手持光谱仪保持优秀的性能，用行动诠释成就客户的价值理念。八年是一个具有圆满意义的节点，也是一个全新篇章的序曲。在2022年的开端，我们期待以“材料分析数字化解决方案服务商”为全新的制高点，希冀每一位选择朗铎的客户，能够在我们的助力下收获更大的价值。新定位，新征程，新未来，新起点，朗铎科技全新起航！

凝新聚力 以学促效8月18日，三英精密携手赛默飞联合举办的X射线CT三维图像研修班圆满落幕。来自全国各地的求知学员齐聚三英精密天津总部，跟随资深老师面对面研修，学习提升专业技能。研修在三英精密副总经理张宗的致辞中拉开序幕，张总通过阐述CT技术与三维图像在各行业中的广泛应用前景，鼓励大家尽快熟练掌握技术，学以致用，攻克各类技术难题，在行业应用中发挥更大效能。图：三英精密副总经理张宗致辞三英精密产品工程师康馨予，为各位学员介绍了三英精密全品类产品线并分享了《X射线CT成像技术及其应用》，展示了利用高性能CT实现的各行业成像案例。图：三英精密产品工程师康馨予在接下来的实操练习阶段，赛默飞大中国区销售总监何沛霖（Eric）为各位学员介绍了AVIZO 图像处理软件的基础理论并以实际案例带领着学员一步步操作，详尽解答各学员在图像处理过程中遇到的各类技术关卡与细节难题。图：赛默飞大中国区销售总监何沛霖（Eric）为了让学员更深刻的理解并掌握图像处理软件在实际案例中的应用，三英精密相关工作人员带领各学员前往测试中心参观讲解。图：学员参观测试中心作为国际上少数几家掌握微纳米级三维显微透视成像检测技术的企业，三英精密定位于聚焦X射线三维成像检测装备研发和制造，专注为多领域的科研及高端制造提供科学完善的数字解决方案。长期以来，三英精密与赛默飞就共同推进工业CT三维可视化和分析，满足用户对无损检测与各类三维可视化图像分析处理及创新解决方案上不断努力精进。未来，三英精密将举办各类X射线CT检测的技术研修班，让更多有需求的用户能够更便捷接触实际应用场景，激发三维图像视界无限潜能。

蠕动泵是一种高效稳定的流体输送设备，在化工、医药、环保等领域被广泛使用。选择和使用进口蠕动泵对于构建高效精密供应链系统至关重要。本文将详细介绍进口蠕动泵的工作原理、优势和应用领域，以及探讨其在供应链管理中的重要性。进口蠕动泵可以提高生产效率、降低成本，保证产品质量和运输安全。让我们一起深入了解。　　让我们先了解一下进口蠕动泵的工作原理。这种泵是通过蠕动轮的轴向滑动来推动管道中的液体，从而实现了液体的输送和控制。蠕动泵有着简单的结构、小巧的体积、低噪音、易于维护等特点，适用于输送各种粘度和含有固体颗粒的液体。相对于其他类型的泵，蠕动泵在输送过程中不会产生剪切力或破坏液体结构，因此能够保持液体的原始性质和颗粒分布，确保产品质量的稳定性。　　进一步比较进口蠕动泵与国产泵的优势。首先，进口蠕动泵采用先进制造工艺和材料，耐腐蚀性更强，使用寿命更长。其次，进口蠕动泵应用精密控制技术，实现更高的精确度和稳定性，确保输送流量、压力和速度控制更准确。此外，进口蠕动泵具备灵活的泵头结构和多样配件选择，可以适应不同场合需求。最后，进口蠕动泵的售后服务更全面，提供及时技术支持和维修服务，减少生产故障和停机时间。　　蠕动泵广泛应用于不同领域。在化工行业中，可用于输送各种酸碱、盐类和有机溶剂，在化肥、涂料和颜料等生产中得到广泛应用。在医药领域，蠕动泵用于输送精细化工品、药液和生物制品，确保药物纯度和有效成分稳定。在环保领域，蠕动泵用于输送废水、废气和污泥等固液混合物，具有高效清洁处理效果。　　在供应链管理中，蠕动泵的重要性不可忽视。首先，它具备出色的泵头可调性，可根据不同的流量和压力要求进行精确调节，确保产品稳定供应和质量标准。其次，蠕动泵在输送过程中不会产生涡流和剪切力，有效避免氧化和降解，保持产品性能不变。此外，蠕动泵体积小巧、结构简单，便于安装和维护，提高工作效率并节约成本。最后，蠕动泵提供全程可追溯性，具备灵活的数据采集和分析功能，有助于优化供应链管理，提升企业运营效率和竞争力。　　综上所述，进口蠕动泵作为一种高效精密的流体输送装置，在供应链管理中发挥着重要作用。其先进的工作原理、卓越的性能和广泛的应用领域，使其成为建立高效精密供应链系统的关键工具。无论是在化工、医药、环保或其他行业，进口蠕动泵都能够为企业提供稳定的供应和优质的产品，助推企业实现可持续发展。　　常州普瑞流体技术有限公司，专业蠕动泵生产商，专注于为全球医疗、制药、化工、环保等企业提供专业的蠕动泵解决方案。公司产品涵盖多个系列、多个型号，无论是在功能、外观、性能、价格、服务等方面。PreFluid可以提供多种标准产品应用解决方案供客户选择，也可以根据具体应用为客户提供定制化服务解决方案满足客户不同的应用需求。产品对标国际，进口平替，欢迎新老客户在线咨询。

前文回顾：几何量数字化测量技术发展趋势我们目前经常讨论的测量，一般都是对于某个特性和指标开展的。但随着测量技术的发展，面向过程的在线检测、面向应用的性能综合测试，以及面向产品全生命周期的监控等需求也日益呈现，已成为一种新的趋势，使测量的对象和范围得到了极大的拓展，同时也对测量技术，以及测量技术的融合应用提出了全新的要求，这对测量界而言更是一种挑战。为了应对挑战，近年来，测量技术本身的数字化、自动化和系统化水平也在不断提升，同时大批的技术规范和操作规程被修制订，从而在根本上保障了测量数据的可信度。随着数字化进程的推进，测量又会担纲一个怎么样的角色呢？今天在讨论数字化转型时，都会谈到数字孪生（Digital Twin）这一概念。国际ISO在《ISO 23247-1:2021自动化系统和集成制造系统数字孪生架构 第1部分:概述和一般原则》标准中给出了数字孪生的定义：Digital Twin fit for purpose digital representation of an observable manufacturing element with a means to enable convergence between the element and its digital representation at an appropriate rate of synchronization数字孪生制造系统可观测要素满足要求且具有同步特性的数字表达。（注：作者译）这里的制造系统可观测要素（Observable manufacturing element ，OME）是指制造系统中可观测的物理存在以及操作的内容，包括人、设备、材料、过程、设施、环境 、产品、以及支持文档等。从ISO数字孪生的定义中我们可以看到数字孪生的核心在于实体和对象相关特征属性与其数字表达之间的同步，以及实时性。在这个数字环境的表达过程中，实体方面特征参数的获取就是靠测量来实现的。换句话说，没有测量就没有ISO标准中所定义的数字孪生。面对数字孪生的同步表达要求，其对测量操作要求就不仅是精准、还有实时的要求，因为数字孪生另一个特点是需要在实时精准数据基础上完成实时的控制和互动。在这种情况下，就形成了对测量操作更高的要求：1. 测量数据的精准可信是测量根本，其间，规范和控制测量操作是核心，它要求操作者关注人、机、料、环和法的影响，通过规范操作来控制这些影响，并通过测量不确定度估算等数字化手段来评估和控制测量系统的能力，确保测量数据可信度，并支撑数据的交付。随着实时、同步和全生命周期的数字表达要求，对测量系统能力的控制要求也必然会拓展到这些场景；2. 当测量操作走出实验室，融入进系统和设备、融合到生产现场，实时实地开展动态数据的高精度采集，海量的数据必然会对边缘计算、基于互联网的数据处理和数据管理提出全新的要求；3. 对测量操作而言有一个最基本的对偶原则，即必须正确响应前端设计给出的要求，并按规范进行测量操作。换句话说，测什么是由前端设计给出的。因此，要真正形成数字孪生的数字表达，其被测对象和要素的定义将是关键，在这个定义过程中，就必然会要求测量介入前端，以配合前端被测要素定义时的可测性分析，以及测量结果的表达形式、处理操作、集成方法和管理方法；4. 在用数字表征要素时，甚至整个系统要素属性的测量数据到手后，就必然会有开展更深层次的数据关联需求，以便更为精准地描述孪生模型，此时大数据工具将会有用武之地，当然这方面工作到底由谁有做是一个问题，但当成体系的数据在测量手里时，测量也确实能够做一些数据处理，如边缘计算、相关性分析及换视角的深层次观察等；从上面的讨论和分析中我们可以看到，数字化时代的测量技术除了本身的专业性以后，还将被数字时代赋以同步性和系统性特点，在此，需要重点关注以下几个方面的问题：1. 测量技术的应用在测得了（被测对象的多样性和复杂性）、测得快（被测对象的动态性和实时性）、测得准（各种尺度下技术参数的高精度测量）和测得省（系统角度的经济性）、测得全（被测对象的全数字表达）等方面又有了更新、更高的要求；2. 基于互联网/物联网的全方位、多参数的同步测量、数据融合和边缘计算能力等，已成为现代数字测量的一个全新特征，并将推动测量传感器、测量仪器和测量系统的发展；3. 测量操作重心将在原有的基础上得到前移，特别是在前端采用基于模型的定义（MBD）技术传输测量要求并驱动后端时，测量操作的自动化程度将越来越高，值得注意的是这种趋势并不是简单的淘汰第一线的测量操作人员，用机器换人，而是对测量从业人员和行业提出了更高的要求，它进一步要求测量从业人员在坚守原测量操作专业性的基础上，更具有测量可行性分析、测量规范设计、自动化测量操作转换和系统构建、测量能力数字化评估、测量数据分析和协同管理等能力。而对于测量行业而言，则提出了数字化转型的更高要求。测量作为一项基础技术，不仅在数字化转型中必不可少，而且在联合国和我们国家目前积极创导的双碳中的碳轨迹、碳排放和碳交易活动中，同样扮演着不可或缺的角色，因为在整个双碳过程中，所有决策的数据全部依赖于第一线通过测量得到的基础数据。换句话说，只有具备了强大的测量技术和能力，特别是基础平台的支撑，才会有双碳、绿色，可持续发展。由于测量的重要性，联合国将其列为国家质量基础（National Quality Infrastructure，NQI）中三大要素之一。此外，2021年，国务院印发了《计量发展规划（2021-2035）》，明确提出到2025初步建立“国家现代先进测量体系”。总之，测量在整个国家数字化和制造业转型升级中将发挥更加重大的作用，测量的价值也将越来越重要，并被释放。 作者介绍：李明，上海大学机电工程与自动化学院，教授/博导。robotlib@shu.edu.cn韦庆玥，上海大学机电工程与自动化学院，实验师

作为微纳3D打印的先行者和领导者，摩方始终秉承将光固化3D打印转变为真正的精密快速成型及直接生产制造的理念，其nanoArch系列3D打印系统已经被中国、日本、新加坡、美国、德国、英国、阿联酋等国家的客户广泛使用，为客户解决了高精密复杂零件的加工和制造难题。 为更好推动微纳3D打印的发展，摩方已经全面开启高精密微纳3D打印系统经销商招募计划，合作共赢、共创辉煌！ 关于摩方 深圳摩方材料科技有限公司（BMF Material Technology Inc）于2016年在中国深圳成立，秉承将3D打印转变为真正的精密快速成型及直接生产制造的理念，自主研发nanoArch® 系列3D打印系统，为精密增材制造量身定做。摩方设备采用面投影微立体光刻（PμSL: Projection Micro Stereolithography）技术，是目前行业极少能实现超高打印精度、高精密公差加工能力的3D打印系统。PμSL技术具有成型效率高、加工成本低等突出优势，被认为是目前最具有前景的微尺度加工技术之一，已被广泛用于新材料、组织工程、微流控器件、连接器、精密医疗器械、消费电子、精密加工等行业和应用。

6月6日，《深圳市人民政府关于发展壮大战略性新兴产业集群和培育发展未来产业的意见》（以下简称《意见》）发布，旨在衔接落实国家、省关于培育发展战略性新兴产业中长期规划，发展壮大战略性新兴产业集群，积极培育发展未来产业。《意见》明确了半导体与集成电路、精密仪器设备、新能源、新材料、生物医药等20个战略性新兴产业重点细分领域，以及合成生物、细胞与基因、量子信息等8个未来产业重点发展方向，并提出6条保障措施。《意见》提出到2025年，战略性新兴产业增加值超过1.5万亿元，成为推动经济社会高质量发展的主引擎，培育一批具有产业生态主导力的优质龙头企业，推动一批关键核心技术攻关取得重大突破，打造一批现代化先进制造业园区和世界级“灯塔工厂”，形成一批引领型新兴产业集群。本文特摘录精密仪器设备及相关应用领域等战略性新兴产业发展重点与保障措施。一、发展重点（一）战略性新兴产业重点细分领域1.半导体与集成电路产业集群。加快完善集成电路设计、制造、封测等产业链，开展EDA工具软件、半导体材料、高端芯片和专用芯片设计技术攻关，推进12英寸芯片生产线、第三代半导体等重点项目建设，支持福田、南山、宝安、龙岗、龙华、坪山等区建设集聚区，打造全国集成电路产业集聚地、人才汇聚地、创新策源地。2.智能传感器产业集群。聚焦智能传感器设计、制造、封测、装备材料等环节，加快新型传感器材料、CMOS-MEMS集成技术、先进封装工艺等核心技术攻关，建设MEMS中试线、MEMS传感器产业基地，丰富智能传感器在消费电子、汽车电子、智慧城市等领域应用场景，支持南山、龙华、光明等区建设集聚区，打造全要素完备的智能传感器产业集群。3.软件与信息服务产业集群。推动操作系统、数据库、中间件、办公套件、低代码开发平台等关键性基础软件和CAD、CAE、BIM、CIM等工具软件实现源头创新，加大基础共性标准、应用示范标准研制及推广力度，实施开源生态孵化工程，推进软件技术在制造业、服务业深度融合，依托福田、罗湖、南山、宝安、龙岗等区建设集聚区，打造具有竞争力的软件名城。4.工业母机产业集群。聚焦数控机床、锂电池制造装备、半导体制造装备、显示面板制造装备等重点领域，突破主轴、丝杠导轨等关键零部件制造技术，加强装备数字化技术攻关，建设新型显示技术智能装备总部基地、集成电路检测装备研发及生产基地等重点项目，支持宝安、龙华等区建设集聚区，增强工业母机对先进制造业的基础支撑能力。5.智能机器人产业集群。重点发展工业机器人、服务机器人、特种机器人、无人机（船）等领域，突破减速器、控制器、伺服系统等关键零部件和集成应用技术，扩展智能机器人在电子信息制造、汽车、航空航天等高端制造应用场景，依托福田、南山、宝安、深汕等区及前海建设集聚区，打造智能机器人产业技术创新、高端制造、集成应用示范区。6.激光与增材制造产业集群。重点发展高功率超快激光器与装备、增材制造装备与系统等行业，提高特种光纤、高功率光栅、高功率激光芯片、高性能激光器等上游材料和器件国产化率，开展专用特色装备技术攻关，建设光电光纤激光总部及研发中心等重点项目，支持宝安、龙华、坪山等区及前海建设集聚区，巩固激光与增材制造产业竞争优势。7.精密仪器设备产业集群。围绕工业自动化测控仪器与系统、信息计测与电测仪器、科学测试分析仪器等领域，提高探测器、传感器、高端示波器、频谱分析仪等关键零部件和产品创新能力，建设深圳中国计量科学研究院技术创新研究院、先进测试与高端仪器研究平台等重大创新载体，支持南山、宝安、龙华、光明等区建设集聚区，提高精密仪器制造国产化、智能化、绿色化、服务化发展水平。8.新能源产业集群。重点发展智能电网、分布式光伏、氢能、海上风电等细分产业，加强高效燃气轮机、高能量密度储能、燃料电池等关键核心技术攻关，推进虚拟电厂落地，加快综合能源补给设施建设，依托龙华、龙岗等区推进数字能源融合发展示范区、国际低碳城和求雨岭氢能产业园等建设，构建清洁低碳、安全高效、智慧创新的现代能源体系。9.安全节能环保产业集群。提升监测预警技术装备、应急处置救援技术装备、高效节能技术装备、先进环保装备等行业发展水平，加强固体废弃物综合利用，大力发展安全节能环保服务业，健全安全应急物资生产保供体系和绿色生产消费体系，支持罗湖、宝安、龙岗、龙华、光明、深汕等区建设集聚区，为建设韧性城市提供坚实保障。10.智能网联汽车产业集群。重点发展智能感知系统、车载计算平台、车用无线通信、云服务终端、动力电池、电机电控、快速充电设施等细分领域，突破感知设备、线控底盘、智能驾驶操作系统等关键技术，建设智能网联交通测试示范平台、深汕汽车工业园等重点项目，依托南山、坪山、深汕等区建设集聚区，引领智能网联汽车产业高质量发展。11.新材料产业集群。推动新材料与新一代信息技术、新能源、生物等产业融合发展，发展电子信息材料、新能源材料、生物医用材料、高分子材料、绿色建筑材料、前沿新材料等，推进高端锂离子电池负极材料、超高模量透明聚酰亚胺薄膜工程化项目建设，支持罗湖、宝安、龙岗、光明、深汕等区建设集聚区，建成新材料创新中心和技术转化中心。12.高端医疗器械产业集群。发展新型医学影像、生命监测与生命支持、高端植介入产品等细分领域，突破高端影像系统、手术机器人、新型体外诊断设备、高通量基因测序仪等重大装备、关键零部件，充分发挥国家高性能医疗器械创新中心作用，支持南山、龙华、坪山、光明等区建设集聚区，推动高端医疗器械产业高质量发展。13.生物医药产业集群。支持化学创新药、全新剂型及高端制剂、现代中药、先进制药设备以及数字化医疗等领域发展，推动新型基因治疗载体研发、工程细胞构建、抗体工程优化、人工智能辅助药物设计等瓶颈技术突破，加快宝龙生物药创新发展先导区、坪山生物医药产业加速器园区等项目建设，支持坪山、南山、福田、龙岗、光明和大鹏等区创建产业集聚区，推动生物医药产业集群成为产业发展新亮点。14.大健康产业集群。重点发展精准医疗、康复养老、现代农产品、医疗美容、化妆品等行业，扩大健康产品高质量供给，加强再生医美材料、康复器具、种质资源与基因发掘、精准药物开发等技术攻关，建设精准营养研发与应用平台、健康设备计量测试平台等创新平台，支持罗湖、盐田、宝安、坪山、大鹏等区建设集聚区，促进大健康产业创新发展。15.海洋产业集群。巩固提升海洋交通运输业、滨海旅游业、海洋能源与矿产业、海洋渔业等产业优势，培育壮大海洋工程和装备业、海洋电子信息业、海洋生物医药业、海洋现代服务业等产业，推进国际海洋开发银行、深圳国家远洋渔业基地、海洋新城、蛇口国际海洋城等重大项目建设，以深圳西部海岸—东部海岸—深汕合作区为主轴，构建“一轴贯通、多区联动”海洋产业区域协同格局，建设全球海洋中心城市。（二）未来产业重点发展方向1.合成生物。重点发展合成生物底层技术、定量合成生物技术、生物创制等领域，加快突破人工噬菌体、人工肿瘤治疗等创制关键技术，推进合成生物重大科技基础设施建设，建设合成生物学研发基地与产业创新中心。2.细胞与基因。重点发展细胞技术、基因技术、细胞与基因治疗技术、生物育种技术等领域，完善细胞和基因药品审批机制、监管体系、临床试验激励机制、应用推广机制，加快建设细胞与基因产业先导区。3.空天技术。重点发展空天信息技术、先进遥感技术、导航定位技术、空天装备制造等领域，推动航空航天材料及部件、无人机、卫星等技术创新，规划建设国内领先的空天技术产业研发与制造基地。4.脑科学与类脑智能。重点发展脑图谱技术、脑诊治技术、类脑智能等领域，开展类脑算法基础理论研究与前沿技术开发，推进脑解析与脑模拟重大科技基础设施建设，抢占脑科学领域发展制高点。5.深地深海。重点发展深地矿产和地热资源开发利用、城市地下空间开发利用、深海高端装备、深海智能感知、深海信息等领域，推进国家深海科考中心、海洋大学等重大项目建设，打造深地深海科技创新高地。6.量子信息。重点发展量子计算、量子通信、量子测量等领域，建设一流研发平台、开源平台和标准化公共服务平台，推动在量子操作系统、量子云计算、含噪声中等规模量子处理器等方面取得突破性进展，建设粤港澳大湾区量子科学中心。二、保障措施（一）建立“六个一”工作体系。完善重点产业链“链长制”，坚持一个产业集群对应一份龙头企业和“隐形冠军”企业清单、一份招商引资清单、一份重点投资项目清单、一套科技创新体系、一个政策工具包、一家战略咨询支撑机构，逐步实现“一集群、一基金、一展会、一论坛、一协会、一联盟、一团队”，做到专员负责、挂图作战，精准高效推动战略性新兴产业集聚发展。（二）完善产业空间保障体系。坚持集中连片、集约节约，突出高端先进制造，在宝安、光明、龙华、龙岗、坪山、深汕等区，规划建设总面积300平方公里左右的20个先进制造业园区，形成“启动区、拓展区、储备区”空间梯度体系，加大园区土地连片整备力度，实施区域生态环境评价，建设一批定制化厂房，为战略性新兴产业发展提供坚实的空间保障。（三）健全市场主体培育体系。实施培育壮大市场主体“30条”，推进“个转企”“小升规”“规做精”“优上市”，实施企业上市发展“星耀鹏城”计划，培育壮大国家高新技术企业，打造一批国家级专精特新“小巨人”企业，大力培育“独角兽”企业，形成一批专注于战略性新兴产业集群的“隐形冠军”企业、创新领军企业、未来新兴企业。（四）创新财政金融支持体系。积极探索多样化、专业化的金融支持战略性新兴产业发展模式，充分发挥财政资金引导作用，优化存量资金结构，打通市、区两级产业基金通道，强化产业专项资金与引导基金协同联动，提升基金管理团队专业化水平，实现“一产业集群、一专项基金”，建设国际风投、创投中心，撬动更多社会资本参与战略性新兴产业集群建设。（五）强化创新支撑体系。发挥全过程创新生态链整体效应，围绕战略性新兴产业集群和未来产业发展需求，推动政产学研深度融合，前瞻布局建设一批概念验证中心、小试中试基地、公共技术服务平台，加快高水平大学和学科建设，加大战略科学家、科技领军人才、青年科技人才、卓越工程师等人才培养引进力度，为产业集群建设提供有力的科技和人才支撑。（六）构建市区联动推进体系。加强对产业集群建设的组织领导，制定出台战略性新兴产业集群和未来产业行动计划，按照“五年规划、三年滚动、年度计划”原则，加快产业集群发展，市、区联动开展精准招商、产业链招商、以商招商。健全统计监测体系，每半年滚动更新反映世界产业发展趋势和我市推进成效的产业报告，及时总结推广经验做法。

近日，清华大学深圳国际研究生院李星辉团队与国防科技大学团队合作提出了一种基于反射型二维光栅的外差式三自由光栅干涉仪。团队自主设计具有高光敏度、高频差和高信噪比的双频激光系统，基于二维反射型光栅和采用创新的共光路设计，搭建三自由度位移测量系统，设计并优化外差信号相位检测算法，最终实现了亚纳米的测量分辨率和重复定位精度。这项工作将有效推动多自由度光栅精密定位技术的发展。多自由度精密定位技术在纳米计量、显微成像、精密机床、半导体制造等领域具有重要地位。以半导体制造为例，光刻机是半导体行业的“掌上明珠”，在先进制程的光刻机中，晶圆台需要亚纳米位移测量精度的六自由度超精密定位技术。当前光刻机常用激光干涉仪和光栅干涉仪对晶圆台进行多自由度超精密定位，然而激光干涉仪由于暴露在环境中的光路长、难以实现单测量点多自由度测量等限制，会引入环境噪声和阿贝误差，而以光栅栅距为测量基准的光栅干涉仪正成为光刻机晶圆台超精密定位的主流方法。（a）光刻机晶圆台中“四读数头—四光栅”的六自由度测量系统；（b）外差式三自由度光栅干涉仪基本原理针对光刻机等先进装备中的超精密定位需求，团队提出了一种新型的基于外差干涉原理的三自由度光栅干涉仪，可以实现亚纳米的测量分辨率和重复测量精度，并通过 “四读数头—四光栅”的晶圆台测量系统可以实现六自由度位移/角位移测量。该外差光栅干涉仪使用一束双频激光，通过二维反射型光栅的四束衍射光产生外差干涉，实现光栅在X/Y方向上的位移测量，通过光栅反射光与固定反射镜反射光产生外差干涉，实现光栅在Z方向上的位移测量，从而完成光栅ΔX、ΔY、ΔZ三自由位移测量。该方案创新地采用了二维反射型光栅，利于光路系统读数头的集成化和小型化，在未来应用中，可以将读数头和光栅分别安装于固定部件和运动部件上，来检测运动部件的位移，其相对于基于透射型光栅的测量方法具有更广的适用性。此外，研究团队提出并采用了自主设计的双频激光系统，相比于传统的基于塞曼效应的商用双频激光器，具备更大更稳定的频差，以及更强的激光功率，可以实现更高的光源稳定性和信噪比以及更大的外差频率，有利于提升系统的整体精度和测量速度。最终实验结果显示，该系统具备0.5 nm的分辨率，0.6 nm的重复定位精度和2.5×10-5的测量线性度。该研究提出的外差式三自由度光栅干涉测量方法有利于多自由度超精密定位技术的发展，同时对先进装备和精密仪器的发展具有指导意义，尤其是需要多轴超精密定位的纳米科学和技术。 （a）自主设计的双频激光系统；（b）外差式三自由度光栅干涉仪测量系统 （a）三轴分辨率测试结果；（b）三轴在10 nm和40 nm处的重复定位精度测试结果相关成果以“三自由度亚纳米测量反射型外差光栅干涉仪”（A Reflective-Type Heterodyne Grating Interferometer for Three-Degree-of-Freedom Subnanometer Measurement）为题，在线发表在仪器仪表领域期刊《IEEE仪器与测量汇刊》（IEEE Transactions on Instrumentation & Measurement）上。论文第一作者为清华大学深圳国际研究生院2020级硕士生朱俊豪，清华大学深圳国际研究生院李星辉副教授为通讯作者，国防科技大学为共同通讯作者单位。该研究工作得到了广东省基础与应用基础研究基金、国家自然科学基金、清华大学科研启动基金、湖南省自然科学基金、中国博士后科学基金等项目的支持。论文链接：https://ieeexplore.ieee.org/document/9913946/

精密位移传感器技术比较PIEZOCONCEPT 在其压电级中使用什么类型的位移传感器？为什么它优于其他传感器技术？PIEZOCONCEPT 使用单晶硅传感器，称为Si-HR 传感器。尽管它是应变仪传感器大系列的一部分，但它的性能优于其他两种常用技术（电容式传感器和金属应变仪）。这两种位置传感技术有其自身的特定缺点。 电容式传感器与 PIEZOCONCEPT 公司Si-HR 传感器的比较电容式传感器非常常用。他们提供了不错的表现，但他们对以下情况很敏感：• 气压变化：空气的介电常数取决于气压。电容测量将受到任何压力变化的影响。• 温度变化：同样的，空气的介电常数会随温度变化• 污染物的存在以上所有都会导致一些纳米级的不稳定性，因此如果您想实现真正的亚纳米级稳定性，则需要将它们考虑在内。即使可以对气压和温度进行校正，也无法校正其他因素（污染物、脱气）的影响。这解释了电容式传感器在真空环境中性能不佳的原因。此外，电容式传感器非常昂贵且体积庞大。因此，带有电容传感器的位移台不可能做的有像的 BIO3/LT3 这样薄，即使设计的好也会在稳定性方面进一步牺牲性能。因为它是一种固态技术，所以Si-HR 传感器的电阻不依赖于气压或污染物的存在。其次，温度变化会对测量产生影响（主要是因为材料的热膨胀），但这可以通过使用传感器阵列来纠正。基本上，我们为每个轴平行使用 2 个硅传感器 - 一个用于测量，另一个用于考虑由于温度变化导致的材料膨胀。金属应变计与 PIEZOCONCEPT Silicon HR 技术的比较金属应变计与我们的 Silicon HR 技术（也是应变计）之间的差异更大。金属应变计和硅传感器应变计之间存在两个巨大差异。竞争对手试图说所有的应变仪都具有相同的性能，因为它们测量的是应变。这是不正确的。半导体应变计在稳定性方面与金属应变计有很大不同。金属应变计和Si-HR 传感器（PIEZOCONCEPT 使用）之间的第yi个区别是应变系数：半导体应变仪（Si-HR）的应变系数大约是金属应变仪的 100 倍。更高的规格因子导致更高的信噪比，最终导致更高的稳定性。 更重要的是，第二个区别是金属应变计不能直接安装在弯曲本身上（即实现运动的地方）：金属应变计必须安装在某种“背衬”上。因此，它必须安装在执行器本身上，因为您没有足够的空间将其安装在挠性件上。仅在执行器上测量的问题是压电执行器有很多缺陷......存在蠕变或滞后等现象。因此，由于压电执行器的伸长不均匀，因此仅测量执行器的部分伸长率并不能精确地扣除其完全伸长率。通过对弯曲本身进行测量，我们不会遇到这种“不均匀”问题。由于上述原因，如果您比较应变计（金属）和 PIEZOCONCEPT 的Si-HR 传感器，在信噪比和稳定性方面存在巨大差异。 关于法国PIEZOCONCEPT公司 PIEZOCONCEPT 是压电纳米位移台领域的领宪供应商，其应用领域包括但不限于超分辨率显微镜、光阱、纳米工业和原子力显微镜。其产品已被国内外yi流大学和研究所从事前沿研究的知名科学家使用，在工业和科研领域受到广泛好评。 多年来，纳米定位传感器领域电容式传感器一直占据市场主导地位。但这项技术存在明显的局限性。PIEZOCONCEPT经过多年研究，开发出硅基高灵敏度位置传感器（Silicon HR）技术，Si-HR传感器可以实现更高的稳定性和线性度，以满足现代显微镜技术的更高分辨率要求。 PIEZOCONCEPT的目标是为客户提供一个物美价廉的纳米或亚纳米定位解决方案，让客户享受到市面上蕞高的定位准确性和稳定性的产品使用体验。我们开发了一系列超稳定的纳米定位器件，包含单轴、两轴、三轴、物镜扫描台、快反镜和配套器件，覆盖5-1500um行程，品类丰富，并提供各类定制化服务。与市场上已有的产品相比具有显着优势，Piezoconcept的硅传感器具有很好的稳定性、超本低噪声和超高的信号反馈，该技术优于市场上昂贵的高端电容传感器。因此，我们的舞台通过其简单而高效的柔性设计和超本低噪声电子器件提供皮米级稳定性和亚纳米（或亚纳米弧度）本底噪声。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。

p 　　为深入贯彻习近平新时代中国特色社会主义思想和党的十九大精神，认真落实党中央、国务院关于统筹推进疫情防控和经济社会发展的决策部署，深入落实省委“1+1+9”工作部署，坚定推动高质量发展，加快建设现代产业体系，促进产业迈向全球价值链中高端，满足人民美好生活需要，现结合本省实际，广东省人民政府提出了关于培育发展战略性支柱产业集群和战略性新兴产业集群的意见。其中包括打造精密仪器设备产业集群。 /p p 　　精密仪器设备产业集群包括：在工业自动化测控仪器与系统、大型精密科学测试分析仪器、高端信息计测与电测仪器等领域取得传感、测量、控制、数据采集等核心技术突破与产业化应用，打造贯穿创新链、产业链的创新生态系统。以珠三角为核心重点发展中高端产品，辐射带动粤东、粤北错位有序发展，形成高中低端互补的区域协同发展布局。培育形成一批国内领先、具有主导地位和国际影响力的自主品牌产品，基本建成结构布局合理、自主创新能力突出、重点领域优势明显的产业集群。 /p p 　　全文如下： /p p 　 strong 　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " 一、发展基础 /span /strong /p p 　　改革开放以来，广东产业经济发展先行一步，规模质量走在全国前列，市场消费规模巨大，区域创新综合能力多年保持全国第一，形成了强大的产业整体竞争优势，但也存在发展支撑点不多、新兴产业支撑不足、关键核心技术受制于人、高端产品供给不够、发展载体整体水平不高、稳产业链供应链压力大等困难和问题，在提升供应链、产业链和价值链，增强自主创新能力，培育本土领军企业和自主知名品牌等方面仍有较大空间，急需攻坚克难不断突破。 /p p 　　世界产业发展实践表明，产业集群是产业现代化发展的主要形态，是提升区域经济竞争力的内在要求，也是现代产业体系建设的主要内容。目前，广东产业集群化发展具备一定基础，新一代电子信息、绿色石化、智能家电、汽车产业、先进材料、现代轻工纺织、软件与信息服务、超高清视频显示、生物医药与健康、现代农业与食品等十大战略性支柱产业集群2019年营业收入合计达15万亿元，具有坚实发展基础和增长趋势，是广东经济的重要基础和支撑 半导体与集成电路、高端装备制造、智能机器人、区块链与量子信息、前沿新材料、新能源、激光与增材制造、数字创意、安全应急与环保、精密仪器设备等十大战略性新兴产业集群2019年营业收入合计达1.5万亿元，集聚效应初步显现，增长潜力巨大，对广东经济发展具有重大引领带动作用。立足广东实际，谋划高起点、稳中求进培育发展战略性支柱产业集群和战略性新兴产业集群(简称“战略性产业集群”)，十大战略性支柱产业集群突出“稳”，十大战略性新兴产业集群体现“进”，对推动我省产业链、创新链、人才链、资金链、政策链相互贯通，加快建立具有国际竞争力的现代化产业体系意义重大。 /p p 　　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 二、发展思路及基本原则 /strong /span /p p 　　 strong (一)发展思路。 /strong 以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，深入贯彻习近平总书记对广东重要讲话和重要指示批示精神，落实新发展理念，深化供给侧结构性改革，紧紧抓住建设粤港澳大湾区和支持深圳建设中国特色社会主义先行示范区重大机遇，突出抓创新、强主体、拓开放、促融合，促进产业由集聚发展向集群发展全面提升，提升产业链、供应链的稳定性和竞争力，实现集群质量变革、效率变革、动力变革，为我省经济高质量发展奠定坚实基础。 /p p 　　 strong (二)基本原则。 /strong /p p 　　市场主导，政府引导。充分发挥市场在资源配置中的决定性作用，强化企业主体地位。更好发挥政府作用，强化顶层设计，优化产业布局，提高要素配置效率，推动产业集群联动发展。 /p p 　　创新引领，重点突破。坚持创新驱动，推动科技创新、产业创新与制度创新协调互促，带动重点领域和关键环节取得新突破，增强产业集群发展能级。 /p p 　　质量为先，绿色发展。大力推动品质革命，以质量品牌提档升级带动产业集群提质增效，促进集群价值链整体跃升。树立绿色发展理念，加强绿色技术、工艺推广应用，构建绿色产业体系。 /p p 　　目标导向，分类施策。对标最好最优最先进，聚焦产业共性短板，因地制宜，采取“一群一策”方式，分行业、分步骤，积极推动产业集群专业化、差异化发展。 /p p 　　开放合作，协同推进。充分发挥双区驱动、双核联动优势，着力推进“一核一带一区”产业协同，加强“一带一路”建设，推动产业集群深度参与全球分工，提升国际分工地位。 /p p 　　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 三、发展目标 /strong /span /p p 　　到2025年，瞄准国际先进水平，落实“强核”“立柱”“强链”“优化布局”“品质”“培土”等六大工程，打好产业基础高级化和产业链现代化攻坚战，培育若干具有全球竞争力的产业集群，打造产业高质量发展典范。 /p p 　　 strong (一)现代化产业体系更加完善。 /strong 十大战略性支柱产业集群营业收入年均增速与全省经济社会发展增速基本同步，成为我省经济社会发展的基本盘和稳定器 十大战略性新兴产业集群营业收入年均增速10%以上，不断开创新的经济增长点。区域分工合理、差异化发展的产业集群发展格局基本确立。 /p p 　　 strong (二)供给侧结构性改革持续深化。 /strong 十大战略性支柱产业集群加快转型升级，十大战略性新兴产业集群持续优化提升，集群供给体系更好适应社会需求结构变化。集群技术、人才、资本、土地等要素配置更加优化科学，形成与产业集群发展相匹配的学科建设和人才支撑体系。 /p p 　　 strong (三)产业结构更加优化。 /strong 集群产业链上中下游衔接协同更加紧密，大部分产业集群达到国际先进水平。高端产品供给能力显著增强，培育一批世界顶尖产品。集群绿色发展和可持续发展取得明显成效。集群深度融入全球产业链、价值链和创新链，更加开放包容。 /p p 　　 strong (四)创新能力显著增强。 /strong 集聚全球创新资源，突破一批集群关键核心技术和薄弱环节，部分领域形成战略优势，基本解决“卡脖子”问题。区域创新综合能力继续保持全国前列，有效支撑产业集群发展需要。集群产业链、供应链安全性和自主性全面提升。 /p p 　 strong 　(五)质量、品牌与标准化水平持续进步与提升。 /strong 集群主要行业产品质量水平达到国际先进水平。培育一批国内领先的集群区域品牌和世界一流的企业品牌。各集群标准体系进一步完善升级，部分优势特色行业标准成为全球标准。 /p p 　 strong 　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " 四、发展重点 /span /strong /p p 　　 strong (一)十大战略性支柱产业集群。 /strong /p p 　 strong 　1.新一代电子信息产业集群。 /strong 重点发展新一代通信设备、新型网络、手机与新型智能终端、高端半导体元器件、物联网传感器、新一代信息技术创新应用等产业。以补齐短板做强产业链、以市场导向提升价值链、以核心技术发展创新链，基本解决“缺芯少核”问题。继续做强做优珠江东岸电子信息产业带，推动粤东粤西粤北地区主动承接珠三角产业转移发展配套产业。保持全球领先地位，实现从“世界工厂”向“广东创造”转变，形成世界级新一代电子信息产业集群。 /p p 　　 strong 2.绿色石化产业集群。 /strong 充分发挥广东沿海“两种资源、两个市场”优势，扩大提升炼油化工规模和水平，延伸中下游产业链条，提升有机原料、电子化学品等高端精细化工产品和高性能合成材料、功能性材料、可降解材料等化工新材料占比，推动石化产业绿色化、智能化改造，提升安全环保水平。打造以湛江、茂名、广州、惠州、揭阳等为核心的沿海石化产业带，形成“一带、两翼、五基地、多园区协同发展”特色产业布局。打造国内领先、世界一流的绿色石化产业集群。 /p p 　　 strong 3.智能家电产业集群。 /strong 巩固扩大空调、冰箱、电饭锅、微波炉等家电产品世界领先地位，做优做强电视机、照明灯饰等优势产业。推动传统家电、小家电与互联网深度融合，实现数字化、智能化转型。打造以广州、深圳、佛山为核心的创新网络和生产性服务业网络，以深圳、珠海、佛山、惠州、中山、湛江等为核心的制造网络。形成全球领先的智能家电产业集群。 /p p 　 strong 　4.汽车产业集群。 /strong 坚持传统与新能源汽车共同发展，推广新能源及智能网联汽车，扩大高端车型比例，提升新能源车比重。建立安全可控的关键零部件配套体系，显著提高自主品牌影响力。结合国内外汽车产业发展新趋势，立足现有汽车产业园区基础，优化以广州、深圳、珠海、佛山、肇庆为重点的汽车产业区域布局，打造具有国际影响力的汽车产业集群。 /p p 　　 strong 5.先进材料产业集群。 /strong 推动现代建筑材料、绿色钢铁、有色金属、化工材料、稀土材料等先进材料向规模化、绿色化、高端化转型发展，优化产业布局、完善产业链供应链、稳步提升关键技术水平和高端产品。在广州、深圳、珠海、佛山、韶关、惠州、东莞、阳江、湛江、茂名、肇庆、清远、云浮等地形成若干个特色优势产业集群。巩固支撑经济社会发展的基础性地位，力争迈入世界级先进材料产业集群行列。 /p p 　　 strong 6.现代轻工纺织产业集群。 /strong 推动纺织服装、塑料、皮革、日化、五金、家具、造纸、工艺美术等重点行业创新发展模式，加快与新技术、新材料、文化、创意、时尚等融合，发展智能、健康、绿色、个性化等中高端产品，培育全国乃至国际知名品牌。构建以广州、深圳为核心的创新创意中心，以沿海经济带、各特色产业集聚地为重点的先进制造基地网络。形成国内领先、具有全球竞争力的现代轻工纺织产业集群。 /p p 　　 strong 7.软件与信息服务产业集群。 /strong 加快研发具有自主知识产权的操作系统、数据库、中间件、办公软件等基础软件，重点突破CAD、EDA等工业软件，推动大数据、人工智能、区块链等新兴平台软件实现突破和创新应用。强化广州、深圳等中国软件名城的产业集聚效应和辐射带动作用，支持珠海、佛山、惠州、东莞、云浮等地市大力发展特色软件产业，加强新一代信息技术与优势特色产业的创新应用，加快培育自主软件产业生态。打造国内领先、具有国际竞争力的软件和信息服务产业发展高地。 /p p 　　 strong 8.超高清视频显示产业集群。 /strong 支持发展OLED、AMOLED、MicroLED、QLED、印刷显示、量子点、柔性显示、石墨烯显示等新型显示产业。推进摄录设备、核心芯片、内容制作、编解码、信号传输、终端显示等关键技术取得突破。以建设超高清视频显示产业发展试验区为契机，促进珠三角核心区超高清视频产业各有侧重、紧密协作，带动沿海经济带和北部生态发展区配套发展上下游产业。巩固国内领先优势，打造具有全球竞争力的超高清视频显示产业集群。 /p p 　　 strong 9.生物医药与健康产业集群。 /strong 推动精准医疗、智慧医疗、海洋医药、医养融合等新业态发展壮大，在岭南中药、化学药、生物药、高端医疗器械、生物医用材料、体外诊断、医疗服务、公共卫生等领域形成若干个优势产业。在精准医学与干细胞、新药创制、生物安全、生物制造等领域突破一批关键核心技术。打造广州、深圳、珠海、佛山、惠州、东莞、中山等创新集聚区。布局建设化学原料药生产基地、道地药材和岭南特色中药材原料产业基地。加快进位赶超，建成具有国际影响力的产业高地。 /p p 　　 strong 10.现代农业与食品产业集群。 /strong 重点发展粮食、岭南水果、蔬菜、畜禽、水产、南药、饲料、特色食品及饮料、花卉、茶叶、现代种业、调味品等产业。聚焦菠萝、荔枝、茶叶、柚子、生猪、深海网箱养殖等优势产业区(带)，推动集群一二三产业融合创新发展。聚力发展烘焙、凉果、糖果、腊味、特殊膳食用等特色食品，加快发展中央厨房、即食食品、速冻快消食品等潜力新兴食品。科学布局“一县一园、一镇一业、一村一品”现代农业产业平台，重点推进数字农业试验区等“三个创建”，推动数字农业产业园区等“八个一批培育”，打造综合效益和竞争力全国领先的产业集群。 /p p 　　 strong (二)十大战略性新兴产业集群。 /strong /p p 　　 strong 1.半导体与集成电路产业集群。 /strong 积极发展第三代半导体芯片，加快推进EDA软件国产化，布局建设较大规模特色工艺制程生产线和先进工艺制程生产线，积极发展先进封装测试。着重解决“缺芯少核”问题，保持芯片设计领先地位，补齐芯片制造短板。以广州、深圳、珠海等为核心形成两千亿级芯片设计产业集群，做强广州、深圳特色工艺制造，加快深圳、珠海、东莞等第三代半导体发展。建成具有国际影响力的半导体与集成电路产业聚集区。 /p p 　　 strong 2.高端装备制造产业集群。 /strong 以服务国家战略需求为导向，发挥广东应用市场规模大的独特优势，重点发展高端数控机床、航空装备、卫星及应用、轨道交通装备、海洋工程装备等产业，推动集群企业与科研单位、用户单位协同创新，着力突破机床整机及高速高精、多轴联动等产业发展瓶颈和短板。将广州、深圳、珠海、佛山、东莞、中山、江门、阳江等地打造成为主导产业突出的全国高端装备制造重要基地。 /p p 　 strong 　3.智能机器人产业集群。 /strong 以需求为导向，培育一批深度应用场景，重点发展工业机器人、服务机器人、特种机器人、无人机、无人船等产业，集中力量突破减速器、伺服电机和系统、控制器等关键零部件和集成应用技术。支持广州、深圳等地市开展机器人研发创新，珠海、佛山、东莞、中山等地市建设机器人生产基地，其它各地市做好产业配套。持续优化产业生态，完善产业支撑体系，建设国内领先、世界知名的机器人产业创新、研发和生产基地。 /p p 　　 strong 4.区块链与量子信息产业集群。 /strong 突破共识机制、智能合约、加密算法、跨链等关键核心技术，开发自主可控的区块链底层架构，推进可信服务网络基础设施建设 聚焦自主可控和互联互通等关键要素，完善标准体系 强化区块链技术在数字政府、智慧城市、智能制造等领域应用 在广州、深圳、珠海、佛山、东莞等地打造全国领先的产业集聚区、创新引领区、应用先行区，推动区块链技术和产业发展走在全国前列。开展量子计算、量子精密测量与计量、量子网络等新兴技术研发与应用，建立先进科学仪器与“卡脖子”设备研发平台，打造全国量子信息产业高地。 /p p 　　 strong 5.前沿新材料产业集群。 /strong 重点发展低维及纳米材料、先进半导体材料、电子新材料、先进金属材料、高性能复合材料、新能源材料、生物医用材料等前沿新材料。加快先进研发、测试和验证等创新能力建设，强化应用基础研究和关键技术攻关，着力提高关键原材料、高端装备、先进仪器设备等的支撑保障，推动上下游产业协同发展，在广州、深圳、珠海、佛山、韶关、东莞、湛江、清远、潮州等地打造各具特色的前沿新材料集聚区，巩固综合实力全国前列地位，在若干领域实现引领全国发展。 /p p 　　 strong 6.新能源产业集群。 /strong 大力发展先进核能、海上风电、太阳能等优势产业，加快培育氢能等新兴产业，推进生物质能综合开发利用，助推能源清洁低碳化转型，保持非化石能源消费全国领先地位，逐步建立满足全省经济社会发展需求的现代化能源体系。建设沿海新能源产业带，重点打造阳江海上风电全产业链基地，建设珠三角太阳能制造业集聚区，培育广州、深圳、佛山、湛江、茂名、云浮等地市氢能产业基地，形成国内领先、世界一流的新能源产业集群。 /p p 　　 strong 7.激光与增材制造产业集群。 /strong 重点发展前沿/领先原创性技术、高性能激光器与装备、增材制造装备与系统、应用技术与服务等，突破基础与专用材料、关键器件、装备与系统等关键共性技术。促进以广州、深圳为核心，珠海、佛山、惠州、东莞、中山、江门等地各具特色的产业集聚区，在航空航天、电子信息、汽车、船舶、核电、模具、新能源、量子信息、医疗器械、文化创意等领域实现产业创新应用与融合。巩固国内领先优势，形成具有国际竞争力的激光与增材制造产业集群。 /p p 　　 strong 8.数字创意产业集群。 /strong 以数字技术为核心驱动力，以高端化、专业化、国际化为主攻方向，大力推进5G、AI、大数据、VR/AR等新技术深度应用，巩固提升游戏、动漫、设计服务等优势产业，提速发展电竞、直播、短视频等新业态，培育一批具有全球竞争力的数字创意头部企业和精品IP，高标准建设一批省级数字创意产业园等发展载体，形成以广州、深圳为核心引擎，珠海、汕头、佛山、东莞、中山等地特色集聚的“双核多点”发展格局，打造全球数字创意产业高地。 /p p 　　 strong 9.安全应急与环保产业集群。 /strong 重点推动安全应急监测预警设备、救援特种装备、公共卫生等突发事件应急物资、高效节能电气设备、绿色建材、环境保护监测处理设备、固体废物综合利用、污水治理、安全应急与节能环保服务等跨行业、多领域协同发展。健全安全应急物资生产保供体系和绿色生产消费体系。在珠三角地区形成以技术研发和总部基地为核心的产业聚集带，在粤东粤西粤北地区形成以安全应急装备制造和资源综合利用为特色的产业聚集带，建成国内先进的产业集群。 /p p 　　 strong 10.精密仪器设备产业集群。 /strong span style=" color: rgb(0, 176, 240) " strong 在工业自动化测控仪器与系统、大型精密科学测试分析仪器、高端信息计测与电测仪器等领域取得传感、测量、控制、数据采集等核心技术突破与产业化应用，打造贯穿创新链、产业链的创新生态系统。以珠三角为核心重点发展中高端产品，辐射带动粤东、粤北错位有序发展，形成高中低端互补的区域协同发展布局。培育形成一批国内领先、具有主导地位和国际影响力的自主品牌产品，基本建成结构布局合理、自主创新能力突出、重点领域优势明显的产业集群。 /strong /span /p p 　　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 五、保障措施 /strong /span /p p 　　 strong (一)改革创新治理方式。 /strong 依托制造强省建设领导小组，统筹协调战略性产业集群培育发展全局性工作。省各有关部门要加大产业集群建设支持力度，分别制订出台20个战略性产业集群行动计划。各地要加强对集群建设的组织领导，加大政策支持力度，省市联动、协同推进产业集群培育发展工作。深化“放管服”、要素市场化配置改革，在集群内率先建设高标准市场体系，实现要素价格市场决定、流动自主有序、配置高效公平，创造稳定公平透明可预期的一流营商环境。按照“一核一带一区”发展新格局，调整优化集群发展布局，推动城市功能定位与集群发展协同匹配。鼓励各地区培育一批区域特色产业集群，争创国家级产业集群。鼓励发展由市场主体牵头的新型集群促进机构，促进政产学研金介用合作。加大产业集群跟踪评估及重点企业、项目服务力度，试点开展企业高质量发展综合评价，探索完善集群统计监测分析指标，对集群发展较好的地市予以通报表扬，及时总结推广成功经验。 /p p 　　 strong (二)有效提升创新水平。 /strong 对标世界最先进水平，系统梳理集群的突出短板与弱项，实施短板突破计划，以揭榜制等方式持续支持关键核心技术产业化协作攻关。围绕集群需求，推进高水平大学和学科建设，布局重大科技基础设施和重大创新平台。大力推进集群内企业建立研发机构，全球布局研发网络，开展前沿先导技术和重大战略产品研发。完善科技成果转化机制，积极推动集群企业开展高价值专利培育布局，强化知识产权保护与产业化应用。深入实施新一轮技术改造，持续支持企业加大设备更新和质量基础设施提升，加速建设5G网络、数据中心、人工智能、物联网等新型基础设施，促进集群数字化网络化智能化转型升级。持续推进质量品牌标准建设，树立质量标杆，推动质量认证国际合作互认，推行“先进标准+”工程，支持集群参与国际标准化活动，建立全产业链质量标准管理体系，建设一批“出口产品质量安全示范区”。全面推进绿色化改造，推动全产业链和产品全生命周期绿色发展，提升产业集群绿色发展水平。 /p p 　　 strong (三)全面增强要素保障能力。 /strong 各地各部门要聚焦政策资源协同支持集群发展，引导社会各界围绕集群发展需要配置要素资源。充分发挥省产业发展、创新、农业等政策性基金作用，省财政结合财力统筹安排资金支持产业集群建设。切实提升金融服务集群建设能力，拓宽产业融资渠道，支持集群中符合条件的重点企业境内外上市、挂牌，多渠道扩大直接融资，大力发展龙头企业带动上下游中小企业的供应链金融。将产业集群建设内容纳入各地国土空间规划，加强用地、用海、用能和交通设施保障。实施产业人才专项工程，依托“双区”面向全球汇聚关键领军人才和团队。推进实施“广东技工”“粤菜师傅”“南粤家政”、高素质农民培育工程，围绕集群高质量发展布局，建立紧密对接的职业技能发展体系。 /p p 　　 strong (四)着力提升企业竞争力。 /strong 深入实施大型骨干企业培育计划、高新技术企业树标提质计划、“专精特新”中小企业专项培育工程、农业龙头企业培育工程，打造一批集群领军企业、创新型企业、“隐形冠军”企业。支持社会资本参与集群国有企业改制重组，支持重点企业瞄准产业链关键环节和核心技术实施兼并重组，加快产业链关键资源整合，培育一批“链主”企业和生态主导型企业。构建线上线下相结合的大中小企业创新协同、产能共享、产业链供应链互通的新型产业生态。推动集群企业与信息服务、数字创意、智慧物流、现代供应链、会展经济等生产性服务业融合发展，提升集群产业价值链。 /p p 　 strong 　(五)高水平推进开放合作。 /strong 整合发布粤港澳大湾区科技、产业合作供需信息，促进粤港澳大湾区集群联动发展。依托省领导联系跨国公司直通车机制和国际交流平台，构建招商网络，围绕产业集群开展招商引资。积极推进产业链国际合作，支持集群企业开拓欧洲、日韩、东南亚和“一带一路”沿线市场，实现原产地多元化、出口市场多元化和资产组合多元化布局。鼓励优势企业海外并购重组，推动研发技术的国际化，引导龙头企业带动上下游企业“结伴出海”，深度参与全球分工。 /p p br/ /p

随着人们生活品质的不断提高，大家都开始关心自己的健康问题，于是便有越来越多的人热衷于健身及运动。为了让自己运动得更“专业”，除了高价聘用私教之外，功能各异的高科技智能服饰也逐渐获得人们青睐。无可否认，这是一个“拼技术”的年代，科技的日新月异能够令智能产品的功能变得更完善及专业。此外，高科技除了会改变人们原有的生活和运动模式之外，是否存在一定“弊端”，也是人们所顾及的方面之一。　　智能服饰　　让运动事半功倍　　现有许多可穿戴设备都能做到在运动时收集相关数据，此外还能不断地根据你锻炼的类型和强度，调整对肌肉的刺激力度，模拟大脑给出的信号以锻炼肌肉。为了用更短的时间达到更好的健身效果，研究者们脑洞大开，纷纷依据各种不同科学原理设计出“高智商”的运动服饰。　　比如最近由德国研制的“高效”智能运动服，特别之处在于内置电极，据称可以通过刺激肌肉以增强锻炼效果——只要穿上这款运动服，20分钟的锻炼效果就可媲美穿平常的运动服锻炼3小时。缩短运动时间却能达到更好的健身效果，对于懒虫而言无疑是福音。除了能够“刺激肌肉”，智能运动服还能“追踪肌肉”。由加拿大所研制的智能运动服，内置EMG运动传感器，能够感应和追踪到肌肉纤维内部的活动，并通过应用程序告诉用户各个部分肌肉的运动状态。另一方面，可提供教练般的反馈，是智能服饰存在的意义之一。近日印度研制的一款智能运动服，由压缩上衣和裤子组成。研究人员将119轴加速度计、心率传感器和温度传感器全部连接至一个动力组件，并嵌入至运动服内。贴心的是，应用程序会为用户提供专业的及时反馈，这意味着如果运动者的生物动力学、形式或姿势不正确，它会在第一时间发出通知，这点非常适合瑜伽爱好者的需求。除此之外，这款智能运动服还能在训练过程中帮助你保持最佳的心脏速率，或者在身体处于过热危险时提醒你停下来休息，十足“教练”般认真负责。　　无论是可以检测各种体能数据的智能T恤衫、能够精确测算步数的智能袜子，还是能够检测到潜在危及生命情形（比如缺氧）的智能头部装备，不难发现，大多智能服饰都配置了可以捕捉身体动作的传感器——能够及时提供反馈，告诉你如何才能运动得更加专业。智能服饰设计者的目标，就是为了让你不需要进入虚拟世界，也可以像你最爱的运动员那样运动。　　健康咨询：　　不盲目膜拜 “适度使用”是关键　　科技发展对于人类而言，好处是显而易见的，然而存在的健康隐患却不容易被发现。比如说，高科技的智能穿戴设备，大多会利用传感器技术在运动时收集相关数据，因此会涉及数据的传送和接收。科技在为人类服务的同时，是否发过来也存在一定“危害”？　　中山大学孙逸仙纪念医院神经科主任医师刘军教授告诉记者，脑电图主要利用仪器检测脑部自发的生物电位，一般容易受到被检查者情绪、睡眠觉醒状态、外界磁场等干扰。如果超过一定限度的外界信号，会给人体甚至大脑产生一定影响，然而轻微的干扰（如正常使用手机等电子产品）不超过人体的承受范围，人体通过精密的自我调节应该不会受到不良影响。“自世界上第一部商业化手机于1973年面世以来，不过数十年时间，普及的时间则更短，对于人体健康的影响如何，仍需更长时间的观察、随访研究。”他认为，科技的发展是一把双刃剑，既带来福利也带来弊端。而随着科技的发展，人们会努力让福利更大化，弊端最小化。对于如今的手机、WiFi等新技术带来的便利很多，我们既不能顶礼膜拜，也不能谈虎色变、杯弓蛇影，更理智的做法是适度使用，趋利避害。　　如今高科技产品日新月异，许多以前只出现在电影中的智能服装也成为现实。“人体是目前世界上最精密的‘仪器’，任何人工产品都无法与之媲美，通过传感器、智能服装自动调节人体的生物学功能，还为时尚早。”在黄翰教授看来，日常生活中已经充斥着手机、电脑、平板等电子产品，运动时如果能够返璞归真、亲近自然，才能充分感受机体的美妙，尽情享受运动的乐趣。　　专家声音　　技术剖析：　　智能穿戴科技：　　由航天领域逐步渗入民用　　智能服装属于一种身体内外部信息的采集和反馈系统，同时具有感知和反应双重功能的服装。它不仅能感知身体外部环境或内部状态的变化，而且通过反馈机制，能实时地对这种变化作出反应，从而使服装变得有了智能的“感觉”。　　华南理工大学软件学院智能算法与智能软件实验室主任黄翰教授告诉记者，最初，“智能服饰”主要应用在航空、航天及国防军工等特殊领域，随着传感器、无线通讯网络和微型芯片等技术的进步，智能穿戴技术渗入民用，逐步演变为目前的“智能服饰”。就黄翰教授认为，智能服饰的目的在于为人们日常生活提供便利。“这些服装可以简化我们与数字世界的联接，又不影响正常的人际交流，智能服装可以让人更多地与外界沟通，而不是盯着手机屏幕。”他说。　　黄翰教授告诉记者，未来智能服饰的发展方向将由功能单一向多功能转换。随着电子技术的迅猛发展，智能服装逐渐趋于多功能化。“例如，同时具备生理数据采集、环境数据采集、卫星定位及交友娱乐等功能，并使用多样化的传感器和运行器件集成，提高精确度和稳定性，在不影响穿衣舒适度的前提下使其与服装融为一体。”他说，“其次要确保对人体无害，且具有抗辐射和防雷防电的功能。”而传感器和电子元件应的柔软性，以及面料本身的可水洗性，同样也成为智能服饰能否能够“飞入寻常百姓家”的关键。　　“传感器技术”还有待提升　　关于智能服饰，大家最熟悉的莫过于功能性相对比较成熟的“传感器技术”。面前市面上的可穿戴设备，大部分都不支持添置传感器。但模块化设计可穿戴设备是其发展的趋势。　　“运动装备是目前可穿戴设备产品比较集中的领域，智能手环通过加速度传感器估算用户走的步数，智能跑鞋中通常采用压力传感器采集用户双脚落地的压力数据，由此分析用户的跑步数据。”黄翰表示，“相对于传统传感器的工业应用，智能服饰更需要新型符合服饰舒适美观要求的传感器。”　　就目前而言，传感网络仍面临着通信能力有限、电源能量有限、计算能力有限等诸多挑战，传感器网络具有很强的动态性，因此必须具有可重构和自调整性。“因其感知数据采集环境复杂，数据实时性强、数据量大，我们需要研究稳定高效的数据流采集、管理、查询、分析和挖掘方法。”　　据介绍，传感器在智能穿戴设备中仅仅担任数据采集的角色，最终设备是否能准确输出我们关心的信息，这中间还涉及复杂的信号处理过程，由于可穿戴设备有限的计算能力，限制了许多前沿的人工智能技术应用，因此其准确性还有待提升。“例如，运动手环很可能将手的摆动误认为一定是走路或者跑步。”黄翰这样说道。

C-FINS系统集成了C3水下荧光仪，通过数字输出与GPS定位数据结合。通过一个简单的软件模型，可将C-FINS和ArcGIS® 结合起来实现实时相关数据（荧光、温度、深度、浊度）定位。C-FINS能够准确可靠的捕获及定位数据，可以预见它将会成为研究人员强有力的数 据定位工具。 C-FINS套装包括: C3水下荧光仪 C-ray拖曳主机 C-ray遮光冒 ArcGIS® 10.0 C3 Add-In Module软件 扩展线缆 其它所需设备及条件： 可使用 ArcGIS® 10.0 Software的计算机至少含2个九针串口 带RS232端口的GPS,NMEA 格式( USB不可) (eTrex-Hand interface cable recommended) 可供计算机及C3工作用电源 ArcGIS® 10.0 C3 Add-In Module软件可免费下载使用

量子力学是近代科学技术的支柱，可以追溯到1895年X射线的发现，之后普朗克于1900年提出量子论， 1905年，爱因斯坦提出光量子的概念。此后，量子力学迎来了蓬勃发展，广泛应用于诸如原子弹、晶体管、激光、核磁共振、高温超导、巨磁阻等领域的研究中，被称为“第一次量子革命”。近年来，“第二次量子革命”被提出，不同于“第一次量子革命”对量子现象的理解和直接利用，对微观量子世界进行被动观察和解释，“第二次量子革命”通过掌控量子效应、定制量子系统，扎根于纯粹量子效应的量子技术，以实现对量子状态进行人工制备和主动调控。量子科学很可能是21世纪促进人类文明进步的最重要基础科学。“第二次量子革命”的提出，引发了各国的关注，面临着激烈的国际竞争态势。2016年5月，欧盟发布《量子宣言》；同年12月，英国发布《量子时代》；2018年9月，美国公布《量子信息国家计划》；同年 11月，德国发布《量子技术-从科研到市场》。此外，中国、日本等均发布了国家支持计划，谷歌、华为、微软、IBM等也加入了量子产业竞争。2020年3月12日，在发布的《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》中更是将量子信息列到了科技前沿领域攻关的第二位，要求实现量子精密测量技术突破。而近日，德国提出了量子系统新的研究计划，德国联邦教研部随后将在该议程基础上推出2022年开始的量子系统研究计划。未来德国量子领域的研究重点主要是量子计算机、量子通信、量子测量技术、量子系统的基础技术。量子科学技术受到广泛关注主要是由于其可以突破信息和物质科学技术的经典极限。量子科学技术主要研究方向包括量子通信，量子计算和量子精密测量。量子精密测量的基本原理是利用磁、光与原子的相互作用，实现对各种物理量超高精度的测量，可大幅超越经典测量手段。目前量子精密测量已在生物与医疗、食品安全、化学与材料科学等领域显示出其独特的优势和广阔的应用前景。但我国量子精密测量在系统工程化和实用化仍有待探索，科研成果转化应用机制不成熟，产业合作和推动力量有限。为推动量子精密测量产业化进程，2021年4月23日，第十五届中国科学仪器发展年会（ACCSI2021）将召开量子精密测量产业化发展论坛，邀请领域内技术专家教授、研究院、技术公司、资本投资专家等，共同研讨如何推进并加快量子精密测量产业化。现诚邀各领域相关从业人员参加学习 ! （报名参会） ACCSI 2021“量子精密测量产业化发展论坛”邀请报告及报告嘉宾一、论坛时间：2021年4月23日 9:00-12:00　　二、论坛地点：无锡融创万达文华酒店　　三、参会嘉宾：领域内技术专家教授、研究院、技术公司、资本投资专家；相关仪器企业及上下游企业董事长、总经理、总工、市场总监、研发总监、销售总监等。　　四、会议形式：现场会议 / 线上会议内容嘉宾国仪量子：引领量子精密测量技术产业化国仪量子 联合创始人、CEO贺羽皮秒高重频相干脉冲产生及量子光学应用复旦大学 教授吴赛骏量子测控系列新品在量子精密测量领域的应用国仪量子 测控事业部总经理吴亚量子精密测量在地球物理探测中的应用国仪石油技术（无锡）有限公司 系统工程师孙哲新型电子信息功能材料的原子构筑和性能调控中国科学技术大学 教授廖昭亮基于量子精密测量的科学仪器——从系综到单自旋国仪量子 高级应用工程师代映秋2021第十五届中国科学仪器发展年会(ACCSI2021)将于2021年4月21-23日在无锡市召开。ACCSI定位为科学仪器行业高级别产业峰会，经过14年的发展，单届参会人数已突破1000人，被业界誉为科学仪器行业的“达沃斯论坛”。ACCSI2021以“创新发展，产业共进”为主题，力求对过去一年中国科学仪器产业最新进展进行较为全面的总结，力争把最新的产业发展政策、最前沿的行业市场信息、最新的技术发展趋势、最新的科学仪器研发成果等在最短的时间内呈现给各位参会代表。会议期间将颁发 “年度优秀新品”、 “年度绿色仪器”、“年度行业领军企业”、“年度十大第三方检测机构”、“年度售后服务厂商”、“年度网络营销奖”“年度人物”等多项行业大奖，引领科学仪器产业方向。参会咨询报告及参会报名：010-51654077-8124 13671073756 杜老师 15611023645李老师 赞助及媒体合作：010-51654077-8015 13552834693魏老师微信添加accsi1或发邮件至accsi@instrument.com.cn （注明单位、姓名、手机）咨询报名。报名链接：https://insevent.instrument.com.cn/t/qK 报名二维码扫描二维码查看最新会议日程

6月10日，精密测试技术及仪器国家重点实验室（天津大学）发布2022年度开放课题申请通知。申请时间为2022年06月11日～06月30日，资助金额不超过8万元人民币，资助期限不超过3年，课题起始时间为2022年09月01日。一、申请指南与条件本次申请在重点实验室研究方向内自主立题进行申请，可重点聚焦下述研究范围，同时，需提出本实验室固定研究人员做联系人。1、极限测量理论与技术 （1）微纳测试新方法 针对微电子、光电子等先进制造领域的发展需求，研究高分辨力、多尺度的 扫描探针/光学显微测试新方法，在极限空间分辨力和超快测量等方面取得突破； 研究基于新型材料的传感器件特性表征与测量方法；研究分子水平生物过程的测 量方法，为生命科学研究提供更为先进的研究手段；研究重大工程实践中的微纳 测量问题，发展现场复杂环境下的精密测量方法与技术。 （2）新型三维传感及测量技术 新型三维传感及测量技术在超精密加工、智能制造、生物医学、材料科学等 领域具有重要的研究价值和现实意义，开放课题聚焦以光谱色散扫描、衍射光学 投影、二维超表面、近场光学为核心的新型微结构三维测量技术： ① 低反射率微结构三维测量技术； ② 基于衍射光学线激光扫描测量技术； ③ 超表面微纳光学系统技术； ④ 近场光学探针超分辨成像技术。 （3）半导体缺陷测试技术研究方向 以第三代和第四代半导体晶圆/片、芯片、器件等国家战略性材料产业的重 大检测需求以及国际学术前沿为背景，开展半导体缺陷形成与调控机理测试研 究，为国家制备高质量半导体与工程应用提供技术支持。征集下列范围内研究课 题： ① 面向金刚石、氧化镓、氮化铝等第四代半导体缺陷形成与调控测试研究； ② 面向 4H-SiC、GaN 等第三代半导体缺陷形成与调控测试研究； ③ 基于半导体晶片离子、中子、质子、电子等辐照缺陷的形成与退火调控 测试研究。2、微纳制造与微传感器 （1）光学自由曲面制造与评价新方法 以空间遥感、全景成像、虚拟现实、短焦投影等重点领域内的大视场光学系 统需求为背景，重点研究光学自由曲面应用于大视场高像质光学系统制造的关键 技术，研究具有可加工性的连续自由曲面空间表达和数学实现方法，研究多参数 控制下面型设计及像差优化理论，研究自由曲面面形和装配误差对光学性能的影响规律，完善自由曲面光学系统设计理论。研究纳米切削机理，研究刀具伺服技 术在加工自由曲面时的误差模型、误差补偿方法和关键技术，进一步发展自由曲 面加工方法。 面向复杂光学自由曲面表面形貌高精度自动化快速测量需求，突破测量精度 与测量动态范围的制衡，研究全维度、全频段测量评价新方法。研究跨尺度多物 理量综合测量原理，解决极限测量空间限制测量难题；研制高端智能化测量仪器 装置，实现真正意义上任意未知光学自由曲面高精度全自动测量。研究核心高精 度标定及复原新算法，构建系统误差智能补偿数学模型，制定应用端为基础的科 学评价策略，完善光学自由曲面测量理论体系。 （2）原子及近原子尺度制造新方法 针对在下一代核心器件与高端传感器的巨大潜在驱动下制造精度再一次提 升并接近材料极限的趋势，提前布局亚纳米至原子精度、原子及近原子尺度制造 新方法、新技术的探索研究。采用特殊波段的电磁辐照以及电化学等方法，研究 材料在亚纳米至原子尺度下的增减机理与加工极限，构建过程模拟、可控性与工艺优化、加工质量评价等关键技术体系；研究原子及近原子尺度制造与纳米精度 制造的工艺衔接、表面状态演化等跨尺度问题。 3、精密测量与制造智能 （1）声学无损检测研究 声学无损检测研究面向航空航天、石油石化、能源电力、深海远洋等重大行 业需求为背景，重点研究基于包括常规超声、电磁超声、合成孔径超声等超声检 测技术，基于超声导波检测技术，光纤光学传感等无损检测技术，海底自主航行 智能球及海洋声学检测技术。开放课题选题定位于新型检测技术的基础理论早期研究与探索： ① 海洋环境监测的多参数传感器研发与应用； ② 基于压电材料的面阵声发射传感器研制。 （2）海洋磁场检测技术与磁流体动力学研究 海洋磁场检测技术以海洋资源探测、海洋环境保护以及军事海洋学等重点领 域内的磁场精密测量需求为背景，重点研究基于激光技术的磁场测量新原理、新 型激光磁场探测处理技术及新型激光海洋磁场精密测量装置。 磁流体动力学研究方向以航空、航天及航海等重点领域内的高精度传感需求 为背景，重点研究基于磁流体动力学的惯性传感新原理、新型磁流体动力学惯性 传感技术及器件、新型磁流体动力学高精度姿态测量装置、液态金属的灌装和密 封、与内外电极的浸润性调节和新型高密度液态金属材料的研制。 （3）激光与光电测试技术 以先进制造、航空航天、能源交通等重点领域内的精密测量需求为背景，重 点研究基于激光与光电传感新原理、新型光电探测处理技术及器件，具有重要学 术价值和重大工程应用前景的几何量测量新方法、新技术、新系统。开放课题选 题与设置定位于基础原理探索和创新技术的早期研究与验证，为后续技术研发与 工程应用提供源头动力。征集下列范围内研究课题： ① 面向先进制造的高精度几何量测量新原理、方法与技术；② 高动态条件下多自由度几何量测量新原理、方法与技术；③ 面向现场非可控环境精密测量的精度控制与误差修正方法与技术； （4）高性能声/光子晶体微腔与传感技术 针对航空航天、先进制造、智能装备等重点领域对高精度传感的需求，重点 研究基于声/光子晶体的高精度传感新原理、新型声光耦合技术与传感器件；研 究基于能带拓扑的高性能声/光子晶体微腔设计方法，新型声光传感器件特性表 征与测量方法。开放课题定位于基础理论探索和前瞻性创新技术的早期研究，为后续技术研发与工程应用提供源头动力。 （5）水下传感网络时间同步技术 以水下多节点分布式探测、识别与跟踪领域内的时钟参数精密测量需求为背 景，重点研究水下传感网络中高精度的时钟参数估计方法和低能耗的时间同步方案设计，力图改善水下传感网络的协同工作性能。开放课题选题定位于基础理论 和方法的早期研究与探索： ① 面向水下蜂窝网络的高精度的时钟参数估计方法； ② 面向节点随机部署水下传感网络的时间同步方案；③ 节点时间同步与被动目标定位的联合方案设计。 4、生物与环境检测技术及仪器 征集下列范围内研究课题： （1）海洋生物电生理检测技术及仪器 以鱼类等海洋经济物种为研究对象，探究听觉行为等国际学术前沿问题，研 究涉及脑电传感器、放大器、滤波器等方面的脑电检测技术及仪器，开放课题选 题定位于基础理论和方法的早期研究与探索： ① 基于听觉诱发电位响应的传感技术； ② 脑电电位放大器及信号增强方法； ③ 脑电电位滤波器件设计与构建。 （2）生物信息检测技术及仪器 围绕精准诊断、智慧医疗和食品安全等关系国民生命健康的重大检测需求， 以世界科技前沿和经济主战场为背景，研究基于微流体、纳流体和柔性传感器的 生物信息检测仪器及设备，推动现代检测技术与重大疾病诊断和慢病监测技术的 融合创新，开放课题选题定位于基础理论和方法的早期研究与探索： ① 基于纳米颗粒耦合的高灵敏度电化学传感技术； ② 基于喷墨打印的柔性传感器制造技术；③ 基于功能化微针的慢性病无创监测技术；④ 生物传感器的表面结构化修饰及信号增强方法； ⑤ 基于纳米光子的高灵敏度生物传感器； ⑥ 基于纳米孔道的高灵敏生物检测技术。此外，本次申请优先考虑与精密测试技术及仪器国家重点实验室有实质性合作研究的申请人或申请单位，并提供证明材料（如合作发表的高水平论文、项目、专利等）；本校教职工和学生不能申请。二、申请材料经专家评审和实验室学术委员会批准的课题，可获得实验室开放基金资助。申请人需提交的材料有：电子申请书（WORD 或 PDF 格式）和纸质原件一式三份，申请书原件需签名，申请者所在单位需同意并加盖公章（国内申请单位划拨经费时会涉及到财务部门，因此需要法人级别的申请单位盖章；国外可只签名）；电子版文件统一命名为“所属研究方向-单位-姓名”（所属研究方向详见申请书简表）。在申请受理截止时间06月30日前将相关证明材料及电子版申请书发送到指定的邮箱；纸质申请书原件（三份）最迟07月15日前邮寄到重点实验室。三、开放课题的经费使用及日常管理根据天津大学经费管理办法，获得资助的开放课题经费分期拨款到国内承担单位，经费应严格按照科技部、财政部《国家重点实验室专项经费管理办法》相关财务规定使用。凡申请拨款的课题负责人均需事先提供当次拨款金额发票，并在课题中期检查和结题时，提供经费使用情况说明并加盖有效的单位财务公章。重点实验室将通过开放课题进一步加强与课题承担单位的合作与交流，课题申请除相关研究内容外，需说明与重点实验室的合作或交流方式。为方便开放课题联络、运行和管理，所有申请课题都需指定精仪国家重点实验室固定研究人员作为联系人。同时，拟利用重点实验室条件进行开放课题研究的，请通过联系人协调，实验室将尽力解决好研究人员的相关工作条件。请申请者仔细阅读《精密测试技术及仪器国家重点实验室开放课题管理办法》，并严格按照管理办法的规定进行申请，凡不符合规定的将不予受理。四、联系方式联 系 人：王明方通信地址：天津市南开区卫津路 92 号天津大学17号楼东配楼精仪国家重点实验室邮政编码：300072联系电话：022-27406643传 真：022-27404778电子邮箱：pilab@tju.edu.cn附件1：精密测试技术及仪器国家重点实验室开放课题申请书.docx附件2：精密测试技术及仪器国家重点实验室开放课题管理办法.pdf精密测试技术及仪器国家重点实验室2022年06月10日

软件工业领域世界500强、三坐标行业的“国家制造业单项冠军企业”、徕卡3D压雪车引导系统为北京2022年冬奥会提供雪务保障，入围青岛市“工业赋能”场景示范认定项目名单… … 这是海克斯康的“金字招牌”。日前，青岛对首批47家先进制造业产业链链主企业进行了授牌，海克斯康作为青岛市十大战略性新兴产业链——精密仪器仪表产业链主企业，参加了链主企业授牌仪式。精密仪器仪表产业对制造业发展有何作用？记者走进位于青岛高新区华贯路上的这家链主企业，探访其如何做优精密仪器仪表，推动以质量为核心的智能制造。“精密仪器仪表产业是‘工业强基’之基，是制造实现突破的基础支撑和核心关键，”海克斯康制造智能技术（青岛）有限公司智能制造研究院执行院长隋占疆介绍，“我们常说推动制造业高质量发展，那高质量产品如何完成？这需要对制造全过程进行严格精密测量，并依据测量数据不断改进和完善工艺，包括材料加工工艺、零件加工工艺和装配工艺。谁的测量数据更精准、更全面，谁在各个工艺环节上做得更扎实，做得更精益求精，谁的产品质量就更胜一筹。”测量精度可达头发丝直径的二百分之一走进海克斯康双智赋能中心，在航空智造展岛处，记者看到一个小机器人正在对着一片飞机蒙皮进行扫描，在扫描的同时，一旁的电脑屏幕上也在实时显示着数据信息。这是海克斯康针对蒙皮等航空大型结构件测量推出的大尺寸蒙皮扫描方案。海克斯康智慧系统扫描检测飞机蒙皮的同时，电脑屏幕上实时显示着检测信息。“如果蒙皮表面有肉眼看不到的突起或凹陷，电脑上就会显示出不同的颜色。”海克斯康制造智能技术（青岛）有限公司数字化商务运营中心高级顾问孙智宏说，该方案将激光跟踪仪传统的反射球测量功能与先进的计量级非接触式扫描测量技术完美融合，对飞机蒙皮表面进行扫描测量和云数据采集。在搭载智能运输车后，还可实现航空大型结构件的自动化、批量化测量，省时省力。正所谓失之毫厘，差之千里。对于航空叶片等一些航空小零部件而言，看似很小的偏差也会影响整架飞机的质量。海克斯康推出了矩阵式叶片测量方案，采用三坐标测量机，应用柔性矩阵式夹具及独立研发的矩阵式测量软件，可实现叶片类小型零部件的批量检测，测量过程还能在软件中直观显示，一键式测量，极大提升了检测效率，而且精度极高。“最高精度能达到0.3微米。”孙智宏说，一微米大概是一根头发丝直径的1/70，0.3微米，意味着测量精度约等于头发丝的直径1/233。“在直径3公里平地上检测到沙粒高的凸起”“海克斯康在精密计量领域拥有200多年的丰富经验，拥有全球测量精度最高、测量范围最大和产品线最广的计量产品和方案，是三坐标行业的‘国家制造业单项冠军企业’。目前，在‘工业传感器领域’和‘工业软件’领域拥有14项全球首创产品，8项世界之最测量技术。”隋占疆说。根植中国市场20多年，海克斯康立足本土化研发，见证并参与了中国制造业的高速发展。“我们以自主可控的高精度测量装备、智能制造工业软件和智能制造整体方案三大战略路径，深度参与到企业数字化转型，以智能计量装备确保产品质量，大数据分析并预测生产运行状况，为产品设计和制造提供改进依据。”隋占疆表示，凭借贯穿设计、工艺和制造的智能制造技术生态，海克斯康助力企业实现数据驱动品质与生产力的双重提升，为中国制造业发展贡献力量。隋占疆介绍，目前海克斯康已构成面向智能制造领域的全生命周期的数字化核心技术组合，在航空航天、电子、轨道交通、汽车、医疗器械等行业被广泛使用。不仅助力了C919国产大飞机的机身精密装配，为和谐号高速动车组车厢提供尺寸保证，还为一汽-大众、比亚迪新能源汽车的研发和量产，华为、小米等智能消费电子行业和锂电、风电、光伏等新能源行业提供了交钥匙方案。其中，在中国超级海上风机项目中，海克斯康的高精度三坐标测量机以亚微米的精度实现超大齿轮的超高精度检测任务，“打个比方，就是在直径3公里的平整地面上检测一个沙粒高度的凸起。”隋占疆说。“作为精密仪器仪表行业链主，海克斯康将继续发挥自身优势资源，精准把握产业发展趋势，一方面，聚焦突破面向新兴行业与垂直领域的产业创新，实施强链补链；另一方面，持续优化贯通产品全生命周期的行业解决方案，推动以质量为核心的智能制造，并建立和稳固产业链全局生态资源，营建创新服务平台，开展延链行动，促进产业链与创新链融合升级。”隋占疆说。

Luna精密天平的型号覆盖了广泛的量程和精度，能满足各类实验室的 各种称重需求。Luna系列提供了更高的性能，速度更快，读数更精 确。Luna将经久耐用的特点和高性能完美地结合在时尚设计中，配有 LCD液晶显示屏，将结果在黑色背景上用24mm高的白色大数字显示出 来。Luna还提供了多语言文本和显示功能，适合国际上使用。RS-232 和USB接口使天平和电脑、打印机能快速连接，传输数据结果。为了 能经受住实验室的粗糙使用，Luna设计时使用了方便清洁的ABS塑料 外壳和经久耐用的304级不锈钢秤盘。一、主要特征：• 背光LCD显示屏在任何光线条件下轻松可见 。 • 彩色按键更便于快速找到常用按钮 。 • 水平仪和调节脚便于调整天平水平位置，以获得最佳的称量结果。 • 下装金仕顿锁孔以防止天平被盗 。 • 304不锈钢大秤盘方便清洁 。 • 密封的键盘可防止灰尘和意外泄漏 。 • RS-232和USB接口连接打印机和电脑 。 • 可用砝码对天平进行外部校准 。 • 锁定功能可长时间锁定称重结果 。 • 有多种语言选择 。 • 零件计数功能可预先设置样品大小 。 • 打印结果显示日期和时间，方便数据追踪，符合GLP良好的实验室操作规范。 • 可选数字滤波对称量动态物品时保障了可靠的结果。 • 自动关机系统更能有效的节省电源 。 • 配有电源适配器。二、主要参数：内部校准型号LTB 2602iLTB 3602iLTB 4602iLTB 6002i外部校准型号LTB 2602eLTB 3602eLTB 4602eLTB 6002e量程2600g3600g4600g6000g可读性0.01g重复性误差0.02g线性误差(±）0.03g最小称重20g稳定时间(s)2称量单位g, kg, ct, GN, N, dr, lb, oz, lb:oz, ozt, dwt, tl.T, tl.H, tl.S, T, 自定义单位接口RS-232,USB工作温度15oC - 35oC电源18VDC,50/60Hz, 830mA 适配器校准i型号为全自动内部校准，e型号为外部校准显示背光LCD，24mm数高液晶显示外壳材料ABS塑料外壳称盘尺寸185mm×185mm 整体尺寸224mm×374 mm×95mm（宽×深×高）净重i型号5.9kg， e型号4.5kg功能模式称重、零件计数、百分比称重、检测称量、检测计数、动物/动态称量、密度称量、净总称重、显示锁定、峰值锁定创新点：Luna精密天平的型号覆盖了广泛的量程和精度，能满足各类实验室的 各种称重需求。Luna系列提供了更高的性能，速度更快，读数更精 确。Luna将经久耐用的特点和高性能完美地结合在时尚设计中，配有 LCD液晶显示屏，将结果在黑色背景上用24mm高的白色大数字显示出 来。Luna还提供了多语言文本和显示功能，适合国际上使用。RS-232 和USB接口使天平和电脑、打印机能快速连接，传输数据结果。为了 能经受住实验室的粗糙使用，Luna设计时使用了方便清洁的ABS塑料 外壳和经久耐用的304级不锈钢秤盘。 Luna系列精密天平