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激光无掩膜光刻机
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激光无掩膜光刻机相关的方案
MicroWriter ML3无掩膜激光直写光刻机制备分子微纳机电芯片,助力新冠病毒快速检测
由于许多疾病相关生物标志物的浓度超低,所产生的信号往往会被其他高浓度分子所产生的信号所干扰,因此从生物流体中进行超低浓度样品(每100 μ L中有1到10份)的检测一直是医学/生物分析领域的一个难题。近日,复旦大学魏大程教授课题组使用小型台式无掩膜光刻机- MicroWriter ML3制备了基于石墨烯场效应管的分子微纳机电芯片解决了这一难题。所制备的芯片实现了对低浓度离子,生物分子和新冠病毒(每100 μ L中有1到2份)的快速检测。使用该芯片对新冠病毒进行检测时,仅需鼻咽样本即可,无需RNA提取和核酸扩增,四分钟内就可得到检测结果。相关研究论文已在国际知名期刊《Nature Biomedical Engineering》(IF=25.7)上发表。
氦质谱检漏仪光刻机检漏
上海伯东客户日本某生产半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求, 为了方便进行快速检漏, 采购伯东 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310.
氦质谱检漏仪电子束光刻机检漏
上海伯东客户某光刻机生产商, 生产的电子束光刻机 Electron Beam Lithography System 最大能容纳 300mmφ 的晶圆片和 6英寸的掩模版, 适合纳米压印, 光子器件, 通信设备等多个领域的研发及生产. 经过伯东推荐采购氦质谱检漏仪 ASM 310 用于电子束光刻机腔体检漏.
小型台式无掩膜光刻机助力开发新型晶体管实现新冠肺炎快速筛选
在新冠疫情大流行的背景下,从大量人群中快速筛查出受感染个体对于流行病学研究有着十分重要的意义。目前,新冠病毒诊断方法包括血清学和病毒核酸测试,主要是以分析逆转录聚合酶链反应作为金标准,此方法在检测中核酸提取和扩增程序耗时较长,很难满足对广泛人群进行筛查的要求,因此,亟需发展一种快速的监测方法应对新冠疫情。近期,复旦大学魏大程教授课题组利用MicroWriter ML3小型台式无掩膜光刻机制备出基于石墨烯场效应晶体管(g-FET)的生物传感器。该传感器上拥有Y形DNA双探针(Y-双探针),可灵敏且快速的实现新冠病毒的核酸检测分析。该传感器中的双探针设计,可以同时靶向新冠病毒核酸的两个目标基因区域:ORF1ab和N基因,从而实现更高的识别率和更低的检出限(0.03份μ L− 1)。这一检出限比现有的核酸分析低1-2个数量,可避免混检过程中样本病毒载量较低而产生漏网之鱼,实现的混合测试。该传感器也具有快的检测速度,快的核酸检测速度约为1分钟。由于快速、超灵敏、易于操作等特点以及混合检测的能力,这一传感器在大规模范围内筛查新冠病毒和其他流行病感染者方面具有巨大的应用前景。
MC方案:实时监控由于环境光暴露引起的光刻胶膜的光谱灵敏度
通常,普通光刻胶的光谱灵敏度范围从DUV到光谱的短波VIS部分。 如果没有合适的黄色/橙色滤光片,人造光和日光都会在几秒钟内使涂有光刻胶层的基材曝光,从而使可重复的光刻工艺变得不可能。 在我们的研究中,研究了在显微镜玻璃上涂覆的?3μ m厚的AZ5214光致抗蚀剂上的标准室内曝光量。
准分子激光器及离子激光器在FBG刻写方向上的应用
在FBG以及其他布拉格光栅刻写领域,先锋科技可提供深紫外准分子激光器、深紫外连续激光器、深紫外准连续脉冲激光器以及超快直写平台。无论是掩膜干涉刻写、全息刻写、深紫外直写、超快直写,先锋科技都可为您提供性能优越稳定、使用成本优化的激光器
通过激光直写技术制造光子设备:SEM如何作出贡献
光子设备被广泛应用于自然科学中,用于制造,操作和探测光。在未来,制造先进的光子设备将是一种挑战,并需要灵活性和可调谐性。因为它们需要先进的三维光刻技术, 制造这些设备并非易事。激光直写技术(DLW)是一种有趣的方式,它的目标是运用液态晶体光刻胶作为感光材料。
纳米粒子光刻需要高度有序的粒子沉积
考虑使用纳米微球光刻技术的人都会很快注意到制备胶体掩膜的一些问题。乍一看,似乎在固体基底上获得纳米颗粒只是将固体浸入到纳米粒子溶液中。对于某些应用来说,这种做法可能是正确的,但对于纳米微球的光刻技术来说,这几乎是不可能成功的。如果要想形成均匀的单层纳米颗粒,则需要一个可控性更好的制备技术。LB膜沉积技术则是首选的方法。
瑞典百欧林:光刻胶薄膜的溶涨性能研究
采用具有耗散功能的石英晶体微天平(QCM-D)和红外光谱技术研究了不同类型光刻胶薄膜的溶涨性能及其影响因素。
中智科仪逐光IsCMOS像增强相机拍摄激光诱导等离子体羽流
本次实验采用中智科仪的逐光IsCMOS像增强相机(TRC411),拍摄了激光诱导等离子体羽流的形貌演化过程。基于逐光IsCMOS像增强相机的纳秒级快门门控、高精度的时序同步技术和变延迟序列推扫功能,记录了等离子体羽流的完整演化过程。
红外光谱法分析光刻胶的主成分
光刻胶是微电子制造的核心材料之一,具有极高的技术壁垒,其成分配方工艺对光刻产品的性能具有重大影响。本文探索建立红外光谱定性分析光刻胶主要成分的方法,通过测试烘干光刻胶溶剂前后的红外光谱图,结合标准谱库和官能团分析等手段,可获得光刻胶中主要成分信息。该法具有分析速度快、操作简单、成本低和结果可靠等优势,可作为分析光刻胶成分的手段之一。
应用MALDI-8030检测光刻胶中酚醛树脂的分子量
本文应用基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪(MALDI-TOF)对光刻胶样品进行分析,采用反-2-[3-(4-叔丁基苯基)-2-甲基-2-亚丙烯基]丙二腈(DCTB)基质,在正离子模式下进行数据采集,结果显示,在m/z 1-3600范围内,检测到一系列不同聚合度的质谱峰,相邻质谱峰平均相差约120 Da,与酚醛树脂单体-(C8H8O)n-分子量相符,聚合物质谱分布模式与酚醛树脂理论结构式相符。结果表明MALDI-TOF适用于光刻胶中酚醛树脂的分子量表征和合成情况确认,分析过程具有无需复杂前处理、分析速度快、分析成本低的特点。
激光衍射元件DOE在激光医美行业的应用
激光正在成为医疗美容中越来越流行的工具,而在激光医美设备中,对作用光斑的控制非常重要。通过衍射光学元件(DOE)可以各种方式操纵光束,同时重量轻、结构紧凑、使用简便,具备独特的优势。
减轻肩膀的重量:激光衍射不同的衡量模式
激光衍射是一种测试广泛样品的测量技术,无论是液态还是固态样品。使用不同的衡量模式不仅合理地说明样品粒径,也能确保用户将结果与其它测量技术做对比。在这篇应用报告中,我们提供Kalliope软件衡量模式的概览和解释,衡量模式之间和不同测量技术间的相互对比。
Agilent 8700 LDIR 激光红外成像系统鉴定和检测药物片剂的盐交换
片剂中的活性药物成分 (API) 需保持其化学形态(酸、碱或盐)以使药物达到预期疗效。由于不合格的包装和/或环境条件,API 常常从酸或碱转化为盐(反之亦然)。这些不期望的转化会严重影响片剂的溶出度、稳定性和生物利用度。Agilent 8700 LDIR 激光红外成像系统可以检测和鉴定片剂中的盐交换,是故障排除和制剂开发研究的一种快速有效的工具。
利用MProbe Vis系统进行光刻胶厚度测量
使用MProbe-Vis系统可以轻松测量光刻胶厚度。实际上,任何光刻胶都可以快速可靠地测量:烧结或部分烧结,薄的或厚的。尽管如此,第一次测量可能会令人困惑——光致抗蚀剂的类型和处理条件多种多样。本应用说明试图通过烧结和两个部分烧结的光致抗蚀剂样品来阐明测量过程。使用500nm-1000nm波长范围进行光致抗蚀剂测量,以最小化吸收的影响。
利用空间无烧孔增益的本质稳定高功率单纵模激光器
激光器的一个基本优势是能够在单个光学模式中产生大量光子,但由于称为空间空穴燃烧的不稳定性机制,这只能在一小部分设备中实现。在这里,我们利用受激散射增益介质的空间无空穴燃烧特性,在普通驻波腔中演示了单纵模(SLM)操作。在不使用额外的模式选择元件的情况下,展示了具有多瓦特电平输出功率和80MHz频率稳定性的连续波金刚石拉曼振荡器。通过考虑斯托克斯功率与增益介质中热引起的光程长度变化的耦合,来解决模式稳定性问题。该结果预示着一种新的方法可以极大地扩展SLM激光源的功率和波长范围,并具有在强度噪声和亚肖洛-汤森线宽中实现亚泊松的潜在优势。
共聚焦显微镜+光刻胶+形状
共聚焦显微镜和干涉仪是常用的表面形状测量仪器,具有无损,高精度等特点。然而对于基板上的透明薄膜的凹凸形状,对于较薄的膜(1um上下),测量是受到基板反射光的影响,会导致测量失败。如,在测量Si晶圆上的光刻胶的形状时。为解决上述问题,我们推荐反射分光法,测量光刻胶的膜厚,从而得到表面形状信息。
研究论文集(理论篇)--论文五:棒状和片状颗粒在激光粒度仪中的等效粒径(二)
任何粒度测试设备测得的非球形颗粒的粒径都是等效粒径。棒状和片状颗粒是两种比较典型的非球形颗粒,本文研究这两种颗粒在激光粒度仪中的等效粒径。论文五是本文的第二部分--有关结论,该部分结合激光粒度仪的光能数据分析方法,用模拟计算的方法推算出各种径厚比的片状颗粒和各种长径比的棒状颗粒的等效粒径(分布),从中分析、总结出结论。
纳克级激光计数检测器NQAD对胆酸类似物的分析
综上所述,使用纳克级激光计数检测器NQAD对胆酸类似物进行分析能够得到良好分析结果。精密度2.3%,定量限为1.6 μ g/mL,3.0-48 μ g/mL线性范围内线性良好,并能够完成相应杂质定量检测。若使用更小粒径色谱柱(3 μ m 或 2 μ m )可进一步获得更小定量限结果。
使用高速激光诊断技术对旋流喷雾火焰中心涡核的实验研究。
中心级旋流燃烧可以有效地降低NOx排放。但是,这种复杂的燃烧场容易产生大规模的相干结构,例如旋转涡核和中心涡核(CVC)。本研究主要利用10 kHz高速CH化学发光(CL)、20 kHz颗粒图像测速仪(PIV)和CH2O平面激光诱导荧光(PLIF),在高温高压下研究中心级旋流喷雾燃烧器中CVC对流场和火焰的影响。对于试验火焰,CH CL和CH2O PLIF火焰都是三叉形状的,并且火焰动力学的中心部分表明了CVC结构。对于分层火焰,在燃烧器中心线附近的一个强旋涡带区域内存在CVC结构。适当正交分解(POD)模式的分析表明,CVC的运动主要是摆动,其次是进动。同时诊断表明,CVC的吸入导致CH2O从剪切层输送到燃烧器的中心区域。总体而言,CH2O信号主要分布在两个正的速度区域,即主燃气和中心涡核周围。利用CVC对自由基输运的作用是改善燃烧器混合,例如温度分布的潜在方法。
液体颗粒计数器在光刻胶颗粒管控中的应用
为了减少光刻胶中的颗粒数量,我们可以采取以下措施:1. 选择质量优良的光刻胶,并在使用前进行严格的的质量检测,确保光刻胶的颗粒数量在允许范围内。2. 确保操作环境清洁,定期进行环境清洁和检测,使用无尘手套等工具,减少环境中的颗粒对光刻胶的污染。3. 采取正确的操作流程,如使用前对光刻胶进行充分搅拌、储存和运输,确保光刻胶的质量稳定。4. 使用滤网、滤芯等过滤设备,对光刻胶进行过滤,进一步减少光刻胶中的颗粒数量。光刻胶中的液体颗粒管控方案,对于提高芯片的质量和性能有着重要的作用。通过选择优质的光刻胶、保持操作环境的清洁、采取正确的操作流程,以及使用过滤设备等措施,可以有效减少光刻胶中的颗粒数量,提高产品的质量和性能。希望这个短视频能帮助大家更好地了解光刻胶中的液体颗粒管控方案。
LCMS-QTOF用于光刻胶中感光树脂轮廓分析
树脂是光刻胶的主要成分之一,本文采用岛津高效液相色谱—四极杆飞行时间质谱联用系统,建立了光刻胶中酚醛树脂的轮廓分析方法。光刻胶原液经四氢呋喃稀释,C18色谱柱分离,LCMS-QTOF正负离子模式同时采集,LabSolutions Insight Explore软件解析。结果显示,该树脂正离子模式以[M+NH4]+、[M+Na]+为主,负离子为[M-H]-峰,是一种以甲酚或二甲酚为起始,二甲酚或三甲酚为延长单元的聚合物,端聚合度(DP)2-10。该方法灵敏度高,分离度好,适用于光刻胶树脂成分分析。
激光粒度仪测试乳糖颗粒粒度方法学研究
建立激光衍射法测定乳糖粉体颗粒粒度的方法学。方法:采用丹东百特 Bettersize 2600 激光粒度分析仪,配置全自动干法分散系统,对不同的乳糖粉体粒度测试进行了系统研究;通过测试不同分散压力下药物颗粒的粒径,系统考察分散能量对粒度测量结果的影响。结论:通过比对,最终确认干法分散能够较好地控制风险,数据相关性也更加合理。
激光粒度仪测试中药粉体颗粒粒度方法学研究
建立激光衍射法测定多种中药粉体颗粒粒度的方法学。方法:采用丹东百特 Bettersize2600 激光粒度分析仪,配置全自动干法 & 湿法分散系统,对不同的中药粉体粒度测试进行了系统研究;湿法对浸润和分散等因素进行了考察,而干法通过测试不同分散压力下药物颗粒的粒径,系统考察分散能量对粒度测量结果的影响。结论:通过比对,最终确认干法分散风险更低,数据相关性也更加合理。
Microtrac激光技术在测颜料粒度中的应用
美国麦奇克有限公司(Microtrac Inc.)是世界上最著名的激光应用技术研究和制造厂商,其先进的激光粒度分析仪已广泛应用于水泥,磨料,冶金,制药,石油,石化,陶瓷,军工等领域,并成为众多行业指定的质量检测和控制的分析仪器。Microtrac Inc.公司非常注重技术创新,近半个世纪以来,一直领先着激光粒度分析的前沿技术,可靠的产品和强大的应用支持及完善的售后服务,使得其不断超越自我,推陈出新,独领风骚。坐落在风景优美美国佛罗里达州,Microtrac Inc.公司致力于与全球各地的代理商精诚合作,用户遍及世界86个国际和地区。其麾下所有产品均已通过ISO9001质量标准认证,GMP标准认证,欧洲EMC标准认证。公司总部设有服务平台,应用实验室,保证24小时回复用户咨询。在中国设有技术服务中心,并有专家巡回访问,为用户提供及时周到的服务。
激光中激光脉宽检测方案(激光产品)
由于飞秒激光的频率远远高于THz的频率,可以认为,在第二束飞秒激光到探测晶体的时候,对此时的THz信号进行探测。达由于延迟线可以控制探测束飞秒激光的光程,因此,可以让探测的时间点和产生的THz信号的时间起点有一定的时间差,通过不断地改变这个时间差(光程差),可以探测到不同时间点的THz信号。由于飞秒激光是连续不断地发射,每一次飞秒激光的发生都会得到一个探测信号,通过若干次地改变延迟线的长度,进而改变对透射(反射)THz信号的探测时间点,最终就可以得到一个完整的透射(反射)THz信号的强度随时间变化的图谱,也就是THz-TDS结果。
研究论文集(理论篇)--论文六:用激光粒度仪测量大颗粒时使用衍射理论的误差
2微米)时,其散射可以用相对比较简单的夫琅和费(Fraunhoff)衍射理论描述。通过实验发现,用衍射理论分析大颗粒的散射光能数据时,会在1微米附近“无中生有”出一个粒度分布峰来。本文首先描述和分析了上述现象,然后用光学理论进行了解释,证实这是由衍射理论的误差造成的,最后指出只有当颗粒的折射率带有虚部,即颗粒具有吸收性时,衍射理论才能在激光粒度仪中使用。
利用激光二极管进行光输出功率的建模方法
本文提出了一种激光二极管光输出功率的建模方法,包括其对温度的依赖性。本研究使用的设备是一个40W的Monocrom二极管,发射波长为808nm的光,带有一个19个发射器的CS安装激光板条,使用Monocrom的夹紧方法安装。本研究的目的是提出激光二极管器件的Pspice模型,主要关注光学输出功率随温度的变化,并允许其计算机模拟。还要建立一个表征系统,以获得光学模型数学表达式所需的参数值。因此,本文解释了所提出的激光条形二极管光输出功率模型生成方法及其参数值的获取方法、光输出功率测量装置及其校准、所获得的Pspice模型及其仿真,以及能够获得具有短上升时间电流斜率的必要参数的表征系统。最后,给出了评价结果和相关结论。
相对湿度对面粉激光衍射的影响
面粉在不同的环境下由于受到环境和湿度等因素的影响,颗粒化、面筋属性、吸水特性会有不同的表现,因此需要在严密的条件监控与调节下进行生产才能达到好的品质。安东帕凭借六十多年的行业经验,为面粉生产和加工企业提供质量控制和研发的简易操作工具:安东帕—康塔的蒸汽吸附仪检测能够检测样品的水吸附性以及表面特征。激光衍射方法可测量颗粒和聚集体的尺寸;粉体流变仪可以测量面粉流动和物理特性。
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